KR101776166B1 - Efem 제조공정방법 및 efem 제조공정설비 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 EFEM 제조공정방법 및 EFEM 제조공정설비에 관한 것이다.
여기서, EFEM 제조공정방법은 제1승강부에서 복수 개의 부재를 연결하며 EFEM(Equipment Front End Module)의 프레임을 조립하는 (A)단계, 복수 개의 상부작업대가 설치된 상부작업모듈로 프레임을 진입시켜 프레임의 상부에 복수 개의 전기장치를 설치하는 (B)단계, 프레임을 제2승강부로 이동시키고 제2승강부의 높낮이를 조절하며 프레임의 하부에 복수 개의 전기장치를 설치하는 (C)단계, 부재의 조립상태를 확인하고, 프레임에 설치된 전기장치를 검사하는 (D)단계를 포함한다.
또한, EFEM 제조공정설비는 바닥면과 수직한 방향으로 상하 이동하는 제1승강부, 내부에 적어도 하나의 족장부를 포함하는 복수 개의 상부작업대가 바닥면에 설치된 레일부를 중심으로 서로 마주보게 설치된 상부작업모듈, 바닥면과 수직한 방향으로 상하 이동하는 제2승강부를 포함한다.

Description

EFEM 제조공정방법 및 EFEM 제조공정설비{Manufacturing process method of Equipment Front End Moudle and Manufacturing process system of Equipment Front End Moudle}
본 발명은 EFEM 제조공정방법 및 EFEM 제조공정설비에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 EFEM의 제조 효율을 높일 수 있는 EFEM 제조공정방법 및 EFEM 제조공정설비에 관한 것이다.
EFEM(Equipment Front End Moudle)은 반도체 생산라인에서 카세트 내의 웨이퍼를 공정모듈에 공급하는 반도체 이송장치이다.
통상, 반도체 이송장치는 많은 부재들이 연결된 프레임과 프레임 상단에 프레임 내부 공기를 청정하게 하는 전기장치와 하단에 웨이퍼를 이송하는 전기장치 등을 포함하고 있다. 숙련된 작업자들은 각 섹션에서 반도체 이송장치를 조립하며, 여러 전기장치 및 기구들을 설치하고 있다.
그러나, 현재 반도체 이송장치의 제조방식은 복수 개의 부재들을 연결하는 과정에서 작업자의 고된 작업 예를 들어, 작업자가 허리를 숙여 조립해야 하는 작업과 작업자가 사다리를 타고 올라가 전기장치를 설치해야 하는 작업 등을 수반하고 있다.
이와 같은 작업은 작업자의 업무 능률을 저하 시킬 뿐만 아니라, 제조 효율도 감소시키는 문제가 있다.
대한민국 공개특허 제10-2008-0027977호 (2008.03.31)
본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 이러한 문제점을 해결하기 위한 것으로서 EFEM의 제조 효율을 높이면서도, EFEM을 안정적으로 제조할 수 있는 EFEM 제조공정방법 및 EFEM 제조공정설비를 제공하는 것이다.
본 발명의 기술적 과제는 이상에서 언급한 과제들로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 기술적 과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
상기 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명의 EFEM 제조공정방법은 제1승강부에서 복수 개의 부재를 연결하며 EFEM(Equipment Front End Module)의 프레임을 조립하는 (A)단계,
복수 개의 상부작업대가 설치된 상부작업모듈로 상기 프레임을 진입시켜 상기 프레임의 상부에 복수 개의 전기장치를 설치하는 (B)단계,
상기 프레임을 제2승강부로 이동시키고 상기 제2승강부의 높낮이를 조절하며 상기 프레임의 하부에 복수 개의 전기장치를 설치하는 (C)단계,
상기 부재의 조립상태를 확인하고, 상기 프레임에 설치된 상기 전기장치를 검사하는 (D)단계를 포함한다.
상기 (A)단계는, 상기 제1승강부를 상기 바닥면에서 수직한 방향으로 상승 이동시키고, 요(yaw)방향으로 회전 이동시켜 상기 부재를 조립할 수 있다.
상기 (B)단계에서, 상기 상부작업모듈은 적어도 하나의 레일부를 포함하되,
상기 상부작업대는 족장부를 포함하여, 상기 레일부의 일측에서 이격된 제1상부작업대와 상기 족장부를 포함하여 상기 레일부의 타측에서 이격된 제2상부작업대를 포함하고, 상기 프레임은 상기 제1상부작업대와 상기 제2상부작업대 사이에서 상기 레일부와 접하며 구름 이동할 수 있다.
상기 (B)단계에서, 상기 제1상부작업대는 상기 레일부와 평행하게 슬라이딩 이동하며 롤(roll)방향 회전하는 임의족장부를 상기 제2상부작업대에 임시로 고정할 수 있다.
또한, 상기 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명의 EFEM 제조공정설비는 바닥면과 수직한 방향으로 상하 이동하는 제1승강부, 내부에 적어도 하나의 족장부를 포함하는 복수 개의 상부작업대가 상기 바닥면에 설치된 레일부를 중심으로 서로 마주보게 설치된 상부작업모듈, 상기 바닥면과 수직한 방향으로 상하 이동하는 제2승강부를 포함한다.
상기 제1승강부와 상기 제2승강부는 요(yaw)방향으로 회전할 수 있다.
상기 상부작업대는 상기 족장부의 외측에 설치된 난간부와 상기 난간부에 적어도 일부가 삽입되어 상기 레일부와 평행하게 슬라이딩 이동하는 임의족장부를 더 포함할 수 있다.
상기 난간부는 상기 임의족장부의 이동을 제한하는 잠금쇠를 더 포함할 수 있다.
상기 레일부는 제1라인과 상기 제1라인에서 이격된 제2라인을 포함하되, 상기 제1라인과 상기 제2라인은 일단부와 타단부 중 어느 하나의 단부가 내측을 향해 예각으로 굴절될 수 있다.
본 발명에 따른 EFEM 제조공정방법 및 EFEM 제조공정설비는 작업자의EFEM 제조 공정의 동선을 최소화하며 제조 및 조립 시간을 단축시킬 수 있다.
또한, 종래의 EFEM 제조 과정에서 수반되던 고된 작업 즉, 허리를 숙여 조립해야 하는 작업을 제조과정에서 배제시켜 작업자의 작업 피로도를 감소시킬 수 있고, 사다리를 올라탄 후 제조해야하는 작업을 배제시켜 작업 안정성을 높일 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 의한 EFEM 제조공정설비의 사시도이다.
도 2는 도 1의 EFEM 제조공정설비의 제1승강부와 제2승강부의 사시도이다.
도 3은 도 1의 EFEM 제조공정설비의 상부작업대의 사시도이다.
도 4는 도 1의 EFEM 제조공정설비의 검사단계에서 작업자가 EFEM을 검사하는 상태를 나타낸 도면이다.
도 5는 도 2의 제1승강부를 A-A’선으로 절단한 단면도이다.
도 6은 도 4의 상부작업대의 임의족장부의 작동도이다.
도 7은 도 1의 EFEM의 프레임이 레일부와 접촉되는 상태를 나타낸 도면이다.
도 8은 본 발명의 일 실시예에 의한 EFEM 제조공정방법을 나타낸 순서도이다.
본 발명의 이점 및 특징 그리고 그것들을 달성하기 위한 방법들은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 수 있으며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하고 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이다. 본 발명은 청구범위는 청구항을 비롯해 청구항을 뒷받침하는 설명에 의해 정의될 수 있다. 아울러, 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조부호는 동일 구성요소를 지칭한다.
또한, 명세서 상에 기술된 ‘롤(roll)방향’은 도면상에 표시된 좌표축에서 x축을 중심으로 회전하는 것을 의미하고,‘요(yaw)방향’은 도면상에 표시된 z축방향으로 회전하는 것을 의미한다. 그리고, 명세서 전체에 걸쳐 기술된 EFEM 제조공정설비에 관한 모든 설명은 EFEM 제조공정방법에 그대로 적용될 수 있다.
이하, 도 1 내지 도 8을 참조하여 본 발명의 일 실시예에 의한 EFEM 제조공정방법 및 EFEM 제조공정설비에 대해 상세히 설명한다. 다만, 설명이 간결하고 명확해 질 수 있도록 EFEM 제조공정설비에 대해 상세히 설명한 후, 이를 바탕으로 EFEM 제조공정방법에 대해 설명하도록 한다.
도 1 내지 도 5를 참조하여 본 발명의 일 실시예에 따른 EFEM 제조공정설비(1)에 대해 설명한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 의한 EFEM 제조공정설비의 사시도이고, 도 2는 도 1의 EFEM 제조공정설비의 제1승강부 및 제2승강부의 사시도이고, 도 3은 도 1의 EFEM 제조공정설비의 상부작업대의 사시도이다. 그리고, 도 4는 도 1의 EFEM 제조공정설비의 검사단계에서 작업자가 EFEM을 검사하는 상태를 나타낸 도면이다.
본 발명의 일 실시예에 따른 EFEM 제조공정설비(1)는 작업자의 EFEM(Equipment Front End Moudle) 제조 공정의 동선을 최소화하여 작업자(M, 도 4참조)가 EFEM의 프레임(100)을 효율적으로 제조할 수 있도록 하며, 제조된 프레임(100)에 각종 전기장치를 안전하게 설치할 수 있도록 한다.
이러한 EFEM 제조공정설비(1)는 제1승강부(10)에서 복수 개의 부재를 연결하며 EFEM의 프레임을 조립하는 (A)단계, 복수 개의 상부작업대가 설치된 상부작업모듈(20)로 프레임(100)을 진입시켜 프레임의 상부에 복수 개의 전기장치를 설치하는 (B)단계, 프레임(100)을 제2승강부(30)로 이동시키고 제2승강부의 높낮이를 조절하며 프레임의 하부에 복수 개의 전기장치 및 각종 기구를 설치하는 (C)단계를 진행한다. 그리고, 부재의 조립상태를 확인하고, 프레임(100)에 설치된 전기장치를 검사하는 (D)단계를 끝으로 진행하며 양품의 EFEM의 프레임(100)을 제조할 수 있다.
특히, EFEM 제조공정설비(1)는 제1승강부(10)에서 최소한의 작업 동선으로 EFEM의 프레임을 제조하고, 작업자가 프레임의 상부에 전기장치를 안전하게 설치할 수 있도록 이동 공간을 제공하는 상부작업모듈(20)로 원활히 이송시켜 작업자가 안전하게 EFEM의 상부에 전기장치를 설치할 수 있도록 한다.
이와 같은 EFEM 제조공정설비(1)는 바닥면(G)과 수직한 방향으로 상하 이동하는 제1승강부(10), 내부에 적어도 하나의 족장부(211)를 포함하는 상부작업대(21, 22)가 바닥면(G)에 설치된 레일부(23)를 중심으로 서로 마주보게 설치된 상부작업모듈(20), 바닥면(G)과 수직 방향으로 상하 이동하며 프레임의 하부에 전기장치를 설치할 수 있도록 하는 제2승강부(30)를 포함한다.
이하, EFEM 제조공정설비(1)를 구성하는 제1승강부(10), 상부작업모듈(20), 제2승강부(30)에 대해 상세히 설명한다.
제1승강부(10)는 바닥면(G) 내측에 삽입 설치되어, 바닥면(G)과 수직한 방향으로 상하 이동한다. 제1승강부(10)의 상단부에는 다각형의 판재모듈(11)이 설치되어, 복수 개의 부재가 용이하게 놓여질 수 있다. 제1승강부(10)와 제2승강부(30)는 바닥면(G)으로부터 판재모듈(11)를 상승시킨 후, 판재모듈(11)의 판재를 요(yaw) 방향으로 회전시킬 수 있다.
이와 같은 제1승강부(10)는 바닥면(G)과 수직 방향으로 용이하게 승강 이동 가능하게 하는 실린더모듈(12) 및 실린더모듈(12)과 연결되어 내부에서 좌우슬라이딩 이동하며 상승 이동하는 절첩부(13), 절첩부의 일단부에 설치되어 판재(111)를 요 방향으로 회전시킬 수 있는 판재모듈(11), 바닥면(G)과 판재모듈(11) 사이에 설치되어 길이가 가변되는 자바라 커버(14)를 구성요소로 포함할 수 있다.
이와 같은 제1승강부(10)의 작동과정에 대해서는 제1승강부(10)의 작동과정에 대해 설명할 때 구체적으로 설명하도록 한다.
작업자는 제1승강부(10)에 복수 개의 부재를 올려놓고, 제1승강부(10)의 승강 높이 및 판재(111)를 회전시켜 가며 제1승강부(10)에 적재된 각종 부재를 연결해 EFEM의 프레임(100)을 간편하고 조립할 수 있다.
프레임(100)은 상단부에 공기 청정장치가 설치될 수 있는 공간과 하단부에 웨이퍼를 이송하는 장치가 설치될 수 있는 공간 및 측면에 개폐 도어가 설치될 수 있는 구조로 형성될 수 있다.
프레임(100)은 하부에 적어도 하나의 바퀴(101)가 설치되어 바닥면(G)을 구름이동 하며 상부작업모듈(20)로 이동할 수 있다.
상부작업모듈(20)은 이동된 프레임(100)의 상단부에 작업자가 각종 전기장치를 설치할 수 있도록 한다. 상부작업모듈(20)은 내부에 적어도 하나의 족장부(211)를 포함하는 복수 개의 상부작업대(21,22) 및 바닥면(G)에 제1라인(231)과 제2라인(232)이 이격되어 형성된 레일부(23)를 포함할 수 있다.
이때, 제1라인(231)과 제2라인(232)은 구름이동 하는 프레임(100)이 원활히 레일부(23)로 원활히 진입할 수 있도록 일단부가 내측을 향해 예각으로 굴절된 형상으로 형성될 수 있다. 또한, 프레임(100)이 레일부(23)를 따라 제2승강부(30)로 이동 후에도, 다시 레일부(23)로 용이하게 재진입이 될 수 있도록 타단부 또한 내측을 향해 예각으로 굴절된 형상으로 형성될 수 있다.
아울러, 복수 개의 상부작업대(21,22)는 바닥면(G)에 설치된 레일부(23)를 중심으로 서로 마주보게 설치된 제1상부작업대(21)와 제2상부작업대(22)가 될 수 있다. 즉, 복수 개의 상부작업대(21,22)는 제1라인(231)에 인접하게 설치된 제1상부작업대(21)와 제2라인(232)에 인접하게 설치된 제2상부작업대(22)가 될 수 있다.
여기서, 제1상부작업대(21)와 제2상부작업대(22)는 설명의 편의상 프레임(100)의 이동방향을 기준으로 레일부(23)의 좌측에 위치한 상부작업대를 제1상부작업대(21)로 하고, 레일부(23)의 우측에 위치한 상부작업대를 제2상부작업대(22)로 정하여 설명하도록 한다.
제1상부작업대(21)와 제2상부작업대(22)는 족장부(211)의 외측에 설치된 난간부(212)와 난간부(212)에 적어도 일부가 삽입되어 레일부(23)와 평행하게 슬라이딩 이동하는 임의족장부(211)를 포함할 수 있다. 아울러, 프레임(100)은 임의족장부(211)의 슬라이딩 이동을 제한하는 잠금쇠(216)와 임의족장부(211)가 롤(roll)방향으로 용이하게 회전되도록 하는 힌지를 포함하여, 임의족장부(211)의 이동 및 회동을 제한할 수 있다. 이러한 임의족장부(211)의 작동에 대해서는 후술하여 구체적으로 설명하도록 한다.
제2승강부(30)는 전술한 제1승강부(10)와 동일하게 바닥면(G) 내측에 삽입 설치되어 바닥면(G)과 수직한 방향으로 상하 이동할 수 있다. 또한, 제2승강부(30)의 상단부에는 다각형의 판재모듈(11)이 설치되어 조립된 EFEM의 프레임을 판재모듈(11)에 적재하여 승강시킬 수 있다.
또한, 제2승강부(30)는 바닥면(G)으로부터 프레임(100)을 상승시킨 후, 요(yaw)방향으로 회전 가능 시킬 수 있다. 제2승강부(30)는 전술한 제1승강부(10)와 동일하게 바닥면(G) 내부에 설치된 유압실린더나 공압실린더를 포함하고, 실린더의 내부에서 외부로 돌출되는 피스톤이 외부로 노출을 방지하는 자바라 커버를 포함할 수 있다.
즉, 제2승강부(30)는 제1승강부(10)와 상부작업모듈(20)을 사이에 두고 동일 선상에 이격되어 설치되어 설치위치가 상이할 뿐, 구조 및 작동 방법이 동일하다.
이러한 제2승강부(30)의 작동 설명은 후술한 제1승강부(10)의 작동을 설명으로 대체하도록 한다.
작업자는 제2승강부(30)의 승강 높이 및 회전량을 조절해가며 제2승강부(30)에 적재된 프레임의 하단부에 전기장치를 신속히 설치할 수 있다.
또한, 작업자(M)는 제2승강부(30)를 하강시켜, 프레임(100)을 제2승강부(30)로부터 검사공간으로 이동시킨 후, 도 4에 도시된 바와 같이 프레임(100)의 조립상태 및 프레임(100)에 설치된 각종 전기장치를 검사한다.
이하, 도 5를 참조하여 제1승강부 및 제2승강부의 작동상태에 대해 설명한다.
제1승강부(10)와 제2승강부(30)는 모두 실린더모듈(12), 절첩부(13), 판재모듈(11) 및 커버(14)를 구성요소로 포함한다. 즉, 제1승강부(10)와 제2승강부(30)는 동일한 구성요소로 형성되어, 동일한 작동 방법으로 작동된다. 본 명세서 상에서는 동일한 제1승강부(10)와 제2승강부(30)의 작동에 대한 중복적인 설명을 피하며, 승강부의 설명이 간결해 질 수 있도록 제1승강부(10)의 작동에 대해서만 설명하도록 한다.
제1승강부(10)는 도 5의 (a)에 도시된 바와 같이 바닥면(G) 내부에 수축된 상태로 있으며, 판재모듈(11)의 판재(111)가 바닥면(G)과 평행한 상태를 유지할 수 있다.
제1승강부(10)는 판재에 각종 부재 또는 프레임(100)이 놓여지게 되면 도 5의 (b)에 도시된 바와 같이 실린더모듈(12)이 작동하며 절첩부(13)를 상승시켜 판재모듈(11)에 놓여진 각종 부재 또는 프레임(100)을 상승시킬 수 있다. 이때, 절첩부(13)는 하단부의 일단에 바퀴를 포함하여 구름이동 하며 실린더모듈(12)의 상승 운동에 대응해 원활히 상승 될 수 있다.
아울러, 판재모듈(11)은 내부에 요(yaw)방향 회전축(15)을 적어도 하나 포함하고 있다. 판재모듈(11)은 요방향 회전축(15)을 이용해 판재(111)를 요방향으로 원활히 회전시킬 수 있다.
이하, 도 6을 참조하여 임의족장부의 작동상태에 대해 설명한다.
도 6은 도 3의 상부작업대의 임의족장부의 작동도이다.
임의족장부(211)는 막대바(215a)와 막대바(215a)에서 롤방향으로 회동하는 발판(215b)을 포함하는 구조로 형성될 수 있다.
임의족장부(211)는 난간부(212) 내부에 막대바(215a)가 삽입되어 난간부(212)로부터 레일부(23)와 평행하게 슬라이딩 이동하고, 난간부(212)가 형성되지 않은 위치에서 발판(215b)이 회동하여 제1상부작업대(21)와 제2상부작업대(22) 사이를 연결할 수 있다.
이때, 임의족장부(211)는 족장의 회동을 제한하는 힌지부(217)를 포함하여, 발판(215b)이 일측에서 타측으로만 회동 가능할 수 있으며, 난간부(212)에 설치된 잠금쇠(216)의 회동 방향 즉, 시계방향 또는 반시계 방향에 의해 슬라이딩 이동이 제한될 수 있다.
이러한 임의족장부(211)는 제1상부작업대(21)와 제2상부작업대(22)에 각각 형성되거나, 제1상부작업대(21)와 제2상부작업대(22) 중 어느 하나의 상부작업대의 일단부와 타단부에 설치되어, 제1상부작업대(21)와 제2상부작업대(22)를 임시로 연결하며 작업자가 서서 일할 수 있는 고소의 공간을 제공한다. 아울러 임의족장부(211)의 상측면에는 작업자가 이동하면 미끄러지지 않도록 복수 개의 미끄럼 방지 돌기가 형성될 수 있고, 하측면에는 작업자가 임의족장부(211)를 용이하게 파지하여 회동 시킬 수 있도록 손잡이(218)가 형성될 수 있다.
이하, 도 7을 참조하여 레일부에 프레임이 진입하는 상태에 대해 설명한다.
도 7은 도 1의 EFEM의 프레임이 레일부와 접촉되는 상태를 나타낸 도면이다.
도 7의 (a)에 도시된 바와 같이, 레일부(23)는 일단부와 타단부가 예각으로 굴절된 제1라인(231)과 제2라인(232)으로 구성될 수 있다. 일례로, 제1라인(231)과 제2라인(232)의 일단부는 20~30도로 내측으로 굴절되어, 프레임(100)에 설치된 바퀴(101)가 원활하게 구름이동 할 수 있도록 정렬시킬 수 있다. 도 7의 (b)에 도시된 바와 같이, 레일부(23)는 레일부(23)와 일정각도 경사지게 진입하는 프레임(100)의 바퀴(101)를 중심축으로 프레임(100)이 회전하며 레일부(23)로 용이하게 진입할 수 있도록 할 수 있다.
아울러, 제1라인(231)과 제2라인(232)의 타단부 또한 20~30도로 내측으로 굴절되어, 레일부(23)를 빠져 나가 프레임(100)이 다시 상부작업대로 진입해야할 때에도 바퀴(101)를 원활히 정렬시킬 수 있다.
이하, 지금까지 설명한 EFEM 제조공정설비(1)에 대한 설명을 바탕으로 본 발명의 일 실시예에 의한 EFEM 제조공정방법에 대해 설명하도록 한다.
EFEM 제조공정방법은 도 8의 순서도를 기준으로 한다.
도 8은 본 발명의 일 실시예에 의한 EFEM 제조공정방법을 나타낸 순서도이다.
도 8을 참조하면, 도 8은 본 발명의 일 실시예에 의한 EFEM 제조공정방법은 제1승강부(10)에서 복수 개의 부재를 연결하며 EFEM의 프레임을 조립하는 (A)단계(S110), 복수 개의 상부작업대(21,22)가 설치된 상부작업모듈(20)로 프레임(100)을 진입시켜 프레임의 상부에 복수 개의 전기장치를 설치하는 (B)단계(S120), 프레임(100)을 제2승강부(30)로 이동시키고 제2승강부의 높낮이를 조절하며 프레임의 하부에 복수 개의 전기장치를 설치하는 (C)단계를 진행한다(S130). 그리고, 마지막으로 부재의 조립상태를 확인하고, 프레임(100)에 설치된 전기장치를 검사하는 (D)단계를 진행한다(S140).
이와 같은 각 단계에 좀 더 구체적으로 설명하도록 한다.
우선, EFEM 제조공정방법은 작업자가 복수 개의 부재를 제1승강부(10)에 올려놓고, 복수 개의 부재를 조립하여 EFEM의 프레임을 조립하는 단계(S110)로 시작될 수 있다. 이때, 작업자는 제1승강부(10)를 바닥면(G)에서 수직한 방향으로 이동시키고, 제1승강부(10)의 판재모듈을 요(yaw)방향으로 회전이동시키며 프레임(100)을 제조할 수 있다. 특히, 작업자는 제1승강부(10)를 상승 및 회전 이동시키며, 허리를 숙이거나 쪼끄리지 않고 최소화된 작업 동선으로 부재를 조립하며 프레임을 신속하게 제조할 수 있다.
이후, EFEM 제조공정방법은 제조된 프레임(100)을 상부작업모듈(20)로 진입시켜 작업자가 프레임(100)의 상부에 전기장치를 설치할 수 있는 단계(S120)로 진행된다. 이때, 상부작업모듈(20)은 레일부(23)의 일측에서 이격된 제1상부작업대(21)와 레일부(23)의 타측에서 이격된 제2상부작업대(22)를 포함하며, 제1상부작업대(21)와 제2상부작업대(22)는 내부에 포함된 임의족장부(211)를 통해 프레임(100)의 너비 방향에 작업자가 서서 작업할 수 있도록 한다. 작업자는 제1상부작업대(21)와 제2상부작업대(22)의 족장부 및 임의족장부(211)를 통해 형성된 발판을 자유롭게 이동하며 프레임의 상부에 전기장치를 용이하게 설치할 수 있다.
프레임(100)의 상단부에 전기장치의 설치가 완료되면, 임시로 고정된 임의족장부(211)를 원위치로 회동하여 제1상부작업대(21)와 제2상부작업대(22)를 분리하여 프레임(100)이 상부작업모듈(20)을 빠져나갈 수 있도록 한다.
이후, EFEM 제조공정방법은 제2승강부(30)로 프레임(100)이 이동하는 단계(S130)로 진행된다. 이때, 제2승강부(30)를 바닥면(G)에서 수직한 방향으로 상승 이동시키고, 상승된 상태에서 요(yaw)방향으로 회전 이동시켜, 작업자가 서서 프레임(100)의 하부에 각종 전기장치를 원활히 설치할 수 있도록 한다. 제2승강부(30)는 작업자에 의해 높낮이 및 회동각도가 자유롭게 조절될 수 있다.
이후, EFEM 제조공정방법은 프레임(100)을 검사공간으로 이동하는 단계(S140)로 진행된다. 이때, 작업자는 이동된 프레임(100)의 조립상태를 확인하고, 프레임(100)에 설치된 각종 전기장치를 검사할 수 있다.
EFEM 제조공정방법은 전술한 일련의 단계를 진행하며 작업자의 조립 동선을 축소하며, 작업자가 부재를 조립하거나 전기장치를 설치하는 작업을 수월하게 하며 작업자의 업무 능률을 향상시켜 EFEM의 생산성을 증가시킬 수 있다.
이상 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들을 설명하였지만, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야 한다.
1: EFEM 제조공정설비 10: 제1승강부
11, 31: 판재모듈
20: 상부작업모듈
21: 제1상부작업대 22: 제2상부작업대
211: 족장부 212: 난간부
215: 임의족장부 215a: 막대바
215b: 발판
216: 잠금쇠
23: 레일부
231: 제1라인 232: 제2라인
30: 제2승강부
100: 프레임 101: 바퀴
G: 바닥면

Claims (9)

  1. 제1승강부에서 복수 개의 부재를 연결하며 EFEM(Equipment Front End Module)의 프레임을 조립하는 (A)단계;
    복수 개의 상부작업대가 설치된 상부작업모듈로 상기 프레임을 진입시켜 상기 프레임의 상부에 복수 개의 전기장치를 설치하는 (B)단계;
    상기 프레임을 제2승강부로 이동시키고 상기 제2승강부의 높낮이를 조절하며 상기 프레임의 하부에 복수 개의 전기장치를 설치하는 (C)단계;
    상기 부재의 조립상태를 확인하고, 상기 프레임에 설치된 상기 전기장치를 검사하는 (D)단계를 포함하되,
    상기 (B)단계에서, 상기 상부작업모듈은 적어도 하나의 레일부를 포함하되,
    상기 상부작업대는 족장부를 포함하여, 상기 레일부의 일측에서 이격된 제1상부작업대와 상기 족장부를 포함하여 상기 레일부의 타측에서 이격된 제2상부작업대를 포함하고, 상기 프레임은 상기 제1상부작업대와 상기 제2상부작업대 사이에서 상기 레일부와 접하며 구름 이동하는 EFEM 제조공정방법.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 (A)단계는, 상기 제1승강부를 바닥면에서 수직한 방향으로 상승 이동시키고, 요(yaw)방향으로 회전 이동시켜 상기 부재를 조립하는 EFEM 제조공정방법.
  3. 삭제
  4. 제1항에 있어서,
    상기 (B)단계에서, 상기 제1상부작업대는 상기 레일부와 평행하게 슬라이딩 이동하며 롤(roll)방향 회전하는 임의족장부를 상기 제2상부작업대에 임시로 고정하는 EFEM 제조공정방법.
  5. 바닥면과 수직한 방향으로 상하 이동하는 제1승강부;
    내부에 적어도 하나의 족장부를 포함하는 복수 개의 상부작업대가 상기 바닥면에 설치된 레일부를 중심으로 서로 마주보게 설치된 상부작업모듈;
    상기 바닥면과 수직한 방향으로 상하 이동하는 제2승강부를 포함하되,
    상기 상부작업대는 상기 족장부의 외측에 설치된 난간부와 상기 난간부에 적어도 일부가 삽입되어 상기 레일부와 평행하게 슬라이딩 이동하는 임의족장부를 더 포함하는 EFEM 제조공정설비.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 제1승강부와 상기 제2승강부는 요(yaw)방향으로 회전 가능한 EFEM 제조공정설비.
  7. 삭제
  8. 제5항에 있어서,
    상기 난간부는 상기 임의족장부의 이동을 제한하는 잠금쇠를 더 포함하는 EFEM 제조공정설비.
  9. 제5항에 있어서,
    상기 레일부는 제1라인과 상기 제1라인에서 이격된 제2라인을 포함하되, 상기 제1라인과 상기 제2라인은 일단부와 타단부 중 어느 하나의 단부가 내측을 향해 예각으로 굴절된 EFEM 제조공정설비.
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