KR102102939B1 - 노광 장치, 노광 방법 - Google Patents

Abstract

본 발명은 간단한 구성으로 기판의 노광면 전(全) 영역에 걸쳐 안정적으로 결상할 수 있는 노광기술을 제공한다.
플렉시블한 띠 형상의 기판(S)을 노광하는 노광 장치는, 광 투과성의 부재로 형성되며, 평탄면을 갖는 투과부를 가지고, 평탄면의 각각에 의해 기판을 끼움지지할 수 있는 제 1 끼움지지부(20a) 및 제 2 끼움지지부(20b)를 구비하는 2개의 끼움지지부(20)와, 2개의 끼움지지부가 가까워지는 방향 및 멀어지는 방향으로 이동시키는 제 1 이동부(50)와, 제 1 끼움지지부(20a)측에 위치 고정된 제 1 노광부(30)와, 제 2 끼움지지부(20b)측에 배치된 제 2 노광부(40)와, 기판의 끼움지지상태에 있어서, 2개의 끼움지지부와 2개의 노광부를 상대 이동시키는 제 2 이동부(60)를 구비한다. 노광 장치는, 끼움지지상태에 있어서, 2개의 끼움지지부(20)의 각각의 평탄면과 2개의 노광부간의 거리를 일정하게 유지하면서, 제 1 및 제 2 끼움지지부(20a, 20b)를 이동시켜 기판을 길이방향으로 보내며, 2개의 끼움지지부(20)의 투과부를 통해 기판의 양면을 동시에 노광한다.

Description

노광 장치, 노광 방법{LIGHT EXPOSURE DEVICE AND LIGHT EXPOSURE METHOD}

본 발명은, 노광 장치를 이용한 기판의 노광 기술에 관한 것이다.

종래, 표면에 감광층을 갖는 기판의 노광면에 도전(導電) 패턴 등을 형성하기 위하여, 기판과, 패턴이 그려진 포토마스크(photomask)를 포개어 배치하고, 포토마스크를 통해 기판에 광을 조사함으로써, 패턴을 기판 표면의 감광층에 전사하는 노광 방법이 널리 행해져 왔다. 이에 대하여, 포토마스크를 이용하지 않고 소정의 패턴을 기판에 직접 형성하는 마스크리스(maskless) 노광(직접 노광) 방식이 제안된 바가 있다(예컨대, 하기의 특허문헌 1). 이러한 마스크리스 노광 방식에 의하면, 포토마스크가 불필요해지기 때문에, 비용적으로 유리하고, 또, 고정밀도 노광이 가능한 것으로 되어 있다.

일본 특허 공개 공보 제2006－250982호

그러나, 기판은, 두께 방향에 대한 불균일성이나, 제작 오차나 온도, 습도 변화, 노광 공정에 이르기까지의 열이력(熱履歷) 등에 의한 신축, 휨, 등에 의해 노광면이 비(非)평탄 형상을 가지고 있는 경우가 많으며, 그 경우 노광면 전(全) 영역에 걸쳐 결상(結像)시키기가 어려워, 결상 광학계를 이용하는 마스크리스 노광 방식으로는 고정밀도 노광을 행할 수 없는 경우가 있다. 이러한 문제를 해결하기 위하여, 오토 포커스(auto focus) 기능을 구비한 광학계를 도입하는 것도 가능하지만, 제어가 복잡해지고, 또, 장치 비용이 고가화된다. 이러한 점 때문에, 간단한 구성으로 노광면 전 영역에 걸쳐 안정적으로 결상할 수 있는 노광 기술이 요구된다. 또, 기판이 플렉시블(flexible)한 띠 형상인 경우에는, 기판이 굴곡되기 쉬우며, 굴곡을 해소하기 위하여, 혹은, 기판을 굴곡 없이 반송하기 위하여, 기판에 대해 길이방향으로 소정의 장력을 작용시킬 필요가 있다. 그러나, 기판에 과잉의 장력을 작용시키면, 기판이 길이방향으로 늘어나기 때문에, 그 상태에서 노광을 행하면, 본래의 기판 형상과 다른 기판에 대해 노광하게 되어, 양호한 정밀도로 패턴을 기판에 형성할 수가 없다. 이러한 점 때문에, 플렉시블한 띠 형상 기판에 대해서, 본래의 기판 형상에 대해 노광함으로써, 양호한 정밀도로 패턴을 형성할 수 있는 노광 기술이 요구된다.

본 발명은, 상술한 과제 중 적어도 일부를 해결하기 위해 이루어진 것으로서, 예컨대, 이하의 형태로서 실현할 수 있다.

본 발명의 제 1 형태는, 플렉시블한 띠 형상의 기판을 노광하는 노광 장치로서 제공된다. 본 노광 장치는, 광 투과성의 부재로 형성되는 동시에 평탄면을 갖는 투과부를 가지며, 평탄면의 각각에 의해 기판을 끼움지지할 수 있는 제 1 끼움지지부 및 제 2 끼움지지부와, 제 1 끼움지지부 및 제 2 끼움지지부 중 적어도 일방(一方)을, 제 1 끼움지지부와 제 2 끼움지지부가 가까워지는 방향 및 멀어지는 방향으로 이동시키는 제 1 이동부와, 제 1 방향으로 광을 조사하여, 상기 제 1 끼움지지부의 상기 평탄면 상에 결상하는 결상 광학계를 갖는, 제 1 노광부와, 제 1 노광부와 이격(離隔)하여 배치되며, 제 1 방향과 반대인 제 2 방향으로 광을 조사하여, 상기 제 2 끼움지지부의 상기 평탄면 상에 결상하는 결상 광학계를 갖는, 제 2 노광부와, 제 1 이동부에 의해 제 1 끼움지지부 및 제 2 끼움지지부 중 적어도 일방이 이동됨에 따라 제 1 끼움지지부 및 제 2 끼움지지부의 평탄면의 각각의 사이에 배치된 기판이 평탄면의 각각에 끼움지지된 끼움지지상태에 있어서, 제 1 끼움지지부 및 제 2 끼움지지부와, 제 1 노광부 및 제 2 노광부를, 제 1 끼움지지부 및 제 2 끼움지지부가 제 1 노광부와 제 2 노광부의 사이를 하나의 방향으로만 통과하도록 상대 이동시키는 제 2 이동부를 구비한다. 노광 장치는, 끼움지지상태에 있어서, 제 1 끼움지지부 및 제 2 끼움지지부의 각각의 평탄면과, 제 1 노광부 및 제 2 노광부의 거리를 일정하게 유지하면서, 하나의 방향으로 상대 이동을 행하면서, 제 1 노광부 및 제 2 노광부의 각각으로부터 광을 조사하여, 제 1 끼움지지부 및 제 2 끼움지지부의 투과부를 통해 기판의 양면을 동시에 노광한다. 제 2 이동부는, 끼움지지상태에 있어서 제 1 끼움지지부 및 제 2 끼움지지부를 이동시키며, 이동에 의해, 기판이 기판의 길이방향으로 보내진다.

이러한 노광 장치에 의하면, 플렉시블한 띠 형상의 기판이 다소의 굴곡이 있는 상태로 설치되어도, 플렉시블한 띠 형상의 기판의 양면의 노광면은, 제 1 끼움지지부 및 제 2 끼움지지부에 끼움지지됨으로써, 평탄화된다. 또한, 제 1 끼움지지부가, 제 1 이동부가 제 1 끼움지지부 및 제 2 끼움지지부 중 적어도 일방을 이동시키는 방향에 있어서의 위치가 고정되어 있는 경우에는, 끼움지지상태에 있어서, 제 1 끼움지지부의 평탄면과 제 1 노광부간의 제 1 방향의 거리는, 일정하게 유지된다. 이 때문에, 제 1 노광부는, 기판의 노광면에 접촉하는 하나의 끼움지지부의 평탄면 상에 안정적으로 결상할 수 있다. 또, 이 경우, 플렉시블한 띠 형상의 기판은, 통상적으로, 두께가 얇기 때문에, 끼움지지상태에 있어서, 제 2 끼움지지부의 평탄면과 제 2 노광부간의 제 2 방향의 거리에 대해서도, 일정하게 유지된다. 이 때문에, 제 2 노광부는, 제 1 노광부에 가까워지는 방향 또는 멀어지는 방향으로 이동하지 않아도, 기판의 노광면에 접촉하는 제 2 끼움지지부의 평탄면 상에 안정적으로 결상할 수 있다. 따라서, 간단한 구성으로, 기판의 양면의 노광면 전 영역에 대해서, 안정적으로 결상할 수가 있다. 이 점은, 제 2 끼움지지부가, 제 1 이동부가 제 1 끼움지지부 및 제 2 끼움지지부 중 적어도 일방을 이동시키는 방향에 있어서의 위치가 고정되어 있는 경우, 제 1 끼움지지부와 제 2 끼움지지부의 양방이 이동하여, 미리 정해진 일정한 위치에서 기판을 끼움지지하는 경우, 제 1 끼움지지부와 제 2 끼움지지부의 양방이 이동하며, 또한, 그 이동량에 따라, 제 1 노광부 및 제 2 노광부가 이동하는 경우도 마찬가지이다. 또한, 제 1 끼움지지부 및 제 2 끼움지지부에 끼움지지됨으로써 노광면이 평탄화되므로, 평탄화하기 위해 기판의 길이방향으로 필요 이상의 장력을 가하지 않아도 된다. 이 때문에, 기판에 과잉의 장력이 작용하여 노광면이 길이방향으로 늘어난 상태에서 노광되는 일이 없다. 따라서, 양호한 정밀도로 기판상에 패턴을 형성할 수가 있다.

본 발명의 제 2 형태로서, 제 1 형태에 있어서, 제 1 끼움지지부는, 제 1 이동부가 제 1 끼움지지부 및 제 2 끼움지지부 중 적어도 일방을 이동시키는 방향에 있어서의 위치가 고정되어 있어도 무방하다. 제 2 끼움지지부는, 제 1 이동부에 의해, 위치가 이동 가능하게 구성되어 있어도 무방하다. 이러한 형태에 의하면, 제 2 끼움지지부만을 이동 가능하게 구성하면 되기 때문에, 구성이 간단하다. 기판이 제 1 끼움지지부와 제 2 끼움지지부의 사이에, 제 1 끼움지지부 및 제 2 끼움지지부에 접촉하지 않도록 배치되는 경우에도, 기판의 길이방향으로 필요 이상으로 장력이 생기지 않는 상태로 기판을 배치하면, 기판은, 제 1 이동부가 제 2 끼움지지부를 이동시키는 방향으로 굴곡될 수 있다. 이 때문에, 제 2 끼움지지부가 기판을 제 1 끼움지지부 측으로 가압하여, 기판을 용이하게 끼움지지할 수가 있다. 또한, 제 1 끼움지지부는, 제 2 끼움지지부를 이동시키는 방향에 있어서의 위치가 고정되어 있기 때문에, 끼움지지상태에 있어서, 제 1 끼움지지부의 평탄면과, 제 1 노광부간의 제 1 방향의 거리는, 일정하게 유지된다. 이 때문에, 제 1 노광부는, 제 1 끼움지지부의 평탄면 상에 안정적으로 결상할 수가 있다. 또, 플렉시블한 띠 형상의 기판은, 통상적으로, 두께가 얇기 때문에, 끼움지지상태에 있어서, 제 2 끼움지지부의 평탄면과 제 2 노광부간의 제 2 방향의 거리에 대해서도, 일정하게 유지된다. 이 때문에, 제 2 노광부는, 제 1 노광부에 가까워지는 방향 또는 멀어지는 방향으로 이동하지 않아도, 제 2 끼움지지부의 평탄면 상에 안정적으로 결상할 수 있다. 따라서, 간단한 구성으로, 기판의 양면의 노광면 전 영역에 대해, 안정적으로 결상할 수가 있다.

본 발명의 제 3 형태로서, 제 1 형태에 있어서, 노광 장치는, 제 2 노광부를, 제 1 노광부에 가까워지는 방향 및 멀어지는 방향으로 직선적으로 이동시키는 제 3 이동부와, 제 1 노광부를, 제 2 노광부에 가까워지는 방향 및 멀어지는 방향으로 직선적으로 이동시키는 제 4 이동부와, 끼움지지상태의 기판의 위치 및 형상 중 적어도 일방을 검출하는 검출부를 구비하고 있어도 무방하다. 제 2 노광부는, 제 3 이동부에 의해 이동 가능한 제 1 지지 부재에 고정되어 있으며, 검출부에 의한 검출 결과에 따른 노광을 행하여도 무방하다. 제 1 노광부는, 제 4 이동부에 의해 이동 가능한 제 2 지지 부재에 고정되어 있으며, 검출부에 의한 검출 결과에 따른 노광을 행하여도 무방하다. 검출부는, 제 2 노광부와 공통의 제 1 지지 부재, 및, 제 1 노광부와 공통의 제 2 지지 부재 중 적어도 일방에 고정되어 있어도 무방하다. 이러한 형태에 의하면, 끼움지지상태, 즉, 노광시와 같은 상태에서, 기판의 위치 및 형상 중 적어도 일방을 검출하므로, 정확한 위치에 노광할 수가 있다. 또한, 제 1 끼움지지부의 평탄면에 결상하기 위하여 제 1 끼움지지부의 위치에 따라 제 1 노광부가 이동되고, 제 2 끼움지지부의 평탄면에 결상하기 위하여 제 2 끼움지지부의 위치에 따라 제 2 노광부가 이동되었을 경우, 검출부도 제 1 노광부 및 제 2 노광부 중 적어도 일방과 동일한 방향으로 동일한 거리만큼 동시에 이동하게 된다. 이 때문에, 검출부에 대해서도, 제 1 끼움지지부 및 제 2 끼움지지부의 평탄면에 결상하게 된다. 즉, 검출부에 오토 포커스 등 별도의 수단, 혹은 별도의 기구를 설치하지 않아도, 제 1 끼움지지부 및 제 2 끼움지지부의 기판을 끼움지지하는 위치에 따라서 항상 기판의 노광면에 접촉하는 제 1 끼움지지부 및 제 2 끼움지지부의 평탄면에 결상할 수 있으며, 장치 구성도 간단하게 할 수가 있다.

본 발명의 제 4 형태는, 기판을 노광하는 노광 장치로서 제공된다. 본 노광 장치는, 광 투과성의 부재로 형성되는 동시에 평탄면을 갖는 투과부를 가지며, 평탄면의 각각에 의해 기판을 끼움지지할 수 있는 제 1 끼움지지부 및 제 2 끼움지지부와, 제 2 끼움지지부를, 제 1 끼움지지부에 가까워지는 방향 및 멀어지는 방향으로 이동시키는 제 1 이동부와, 제 1 끼움지지부 측에 위치가 고정된 상태로 배치되며, 제 1 방향으로 광을 조사하여, 제 1 끼움지지부의 평탄면 상에 결상하는 결상 광학계를 갖는, 제 1 노광부와, 제 2 끼움지지부 측에, 제 1 노광부와 이격하여 배치되며, 제 1 방향과 반대인 제 2 방향으로 광을 조사하여, 제 2 끼움지지부의 평탄면 상에 결상하는 결상 광학계를 갖는, 제 2 노광부와, 제 1 이동부에 의해 제 2 끼움지지부가 이동됨에 따라 제 1 끼움지지부 및 제 2 끼움지지부의 평탄면의 각각의 사이에 배치된 기판이 평탄면의 각각에 끼움지지된 끼움지지상태에 있어서, 제 1 끼움지지부 및 제 2 끼움지지부와, 제 1 노광부 및 제 2 노광부를, 제 1 끼움지지부 및 제 2 끼움지지부가 제 1 노광부와 제 2 노광부의 사이를 통과하도록 하나의 방향으로만 상대 이동시키는 제 2 이동부와, 제 2 노광부를, 제 1 노광부에 가까워지는 방향 및 멀어지는 방향으로 직선적으로 이동시키는 제 3 이동부를 구비한다. 제 1 끼움지지부는, 제 1 이동부가 제 2 끼움지지부를 이동시키는 방향에 있어서의 위치가 고정된다. 노광 장치는, 끼움지지상태에 있어서, 제 1 끼움지지부 및 제 2 끼움지지부의 각각의 평탄면과, 제 1 노광부 및 제 2 노광부의 거리를 일정하게 유지하면서, 하나의 방향으로 상대 이동을 행하면서, 제 1 노광부 및 제 2 노광부의 각각으로부터 광을 조사하여, 제 1 끼움지지부 및 제 2 끼움지지부의 투과부를 통해 기판의 양면을 동시에 노광한다.

이러한 노광 장치에 의하면, 기판의 노광면이 비(非)평탄 형상을 가지고 있는 경우라 하더라도, 기판이 제 1 끼움지지부와 제 2 끼움지지부에 끼움지지됨에 따라, 기판의 노광면이 제 1 끼움지지부의 평탄면과 제 2 끼움지지부의 평탄면에 대해 가압되어, 이들 평탄면을 추종하므로, 해당 비평탄 형상이 저감된다. 또, 제 1 끼움지지부는, 제 1 이동부가 제 2 끼움지지부를 이동시키는 방향에 있어서의 위치가 고정되어 있기 때문에, 끼움지지상태에 있어서, 제 1 끼움지지부의 평탄면에 접촉하는 기판의 노광면과, 제 1 노광부간의 제 1 방향의 거리는, 일정하게 유지된다. 이 때문에, 제 1 끼움지지부의 평탄면에 접촉하는 기판의 노광면 전 영역에 걸쳐 안정적으로 결상할 수가 있다. 또한, 끼움지지상태에 있어서, 제 2 끼움지지부의 평탄면에 접촉하는 기판의 노광면의 제 2 방향의 위치는 기판의 두께에 따라 변화하지만, 기판의 노광면의 비평탄 형상은, 상술한 바와 같이 저감되어 있다. 이 때문에, 제 3 이동부에 의해, 제 2 노광부를, 제 2 끼움지지부의 평탄면에 접촉하는 기판의 노광면의 변화량(기판의 두께의 차이에 기인하는 변화량)과 같은 양을 직선적으로 이동시키면, 오토 포커스 기능을 사용하지 않아도, 제 2 끼움지지부의 평탄면에 접촉하는 기판의 노광면과, 제 2 노광부간의 제 2 방향의 거리를, 기판의 두께에 의존하는 일 없이 일정하게 유지할 수가 있다. 그 결과, 제 2 끼움지지부의 평탄면에 접촉하는 기판의 노광면 전 영역에 걸쳐 안정적으로 결상할 수 있다. 따라서, 간단한 장치 구성으로, 기판의 양면에 대해 안정적으로 결상할 수가 있다.

본 발명의 제 5 형태로서, 제 4 형태에 있어서, 또한, 끼움지지상태의 기판의 위치 및 형상 중 적어도 일방을 검출하는 검출부를 구비하고 있어도 무방하다. 제 2 노광부는, 제 3 이동부에 의해 이동 가능한 지지 부재에 고정되어 있으며, 검출부에 의한 검출 결과에 따른 노광을 행하여도 무방하다. 검출부는, 제 2 노광부와 공통의 지지 부재에 고정되어 있어도 무방하다. 이러한 형태에 의하면, 끼움지지상태, 즉, 노광시와 같은 상태에서, 기판의 위치 및 형상 중 적어도 일방을 검출하므로, 정확한 위치에 노광할 수 있다. 또한, 기판의 노광면에 접촉하는 제 2 끼움지지부의 평탄면에 결상하기 위하여 기판의 두께에 따라 제 2 노광부가 이동된 경우, 검출부도 제 2 노광부와 동일한 방향으로 동일한 거리만큼 동시에 이동하게 된다. 이 때문에, 검출부에 대해서도, 기판의 노광면에 접촉하는 제 2 끼움지지부의 평탄면에 결상하게 된다. 즉, 검출부에 오토 포커스 등 별도의 수단, 혹은 별도의 기구를 설치하지 않아도 기판의 두께에 따라 항상 기판의 노광면에 접촉하는 제 2 끼움지지부의 평탄면에 결상할 수 있으며, 장치 구성도 간단하게 할 수가 있다.

본 발명의 제 6 형태로서, 제 4 또는 제 5 형태의 노광 장치는, 또한, 제 1 끼움지지부 및 제 2 끼움지지부의 일방에 탄성 부재에 의해 형성된 시일부로서, 제 1 끼움지지부 및 제 2 끼움지지부의 타방에 맞닿았을 때에, 평탄면의 각각의 사이에 배치된 기판의 주위를 둘러싸며, 기판의 주위를 시일하는 시일부와, 시일부가, 타방의 평탄면에 맞닿은 상태에 있어서, 시일부의 내측의 공간을 감압(減壓)하는 감압부를 구비하고 있어도 무방하다. 이러한 형태에 의하면, 시일부의 내측의 공간을 감압함으로써, 시일부가 눌려 찌그러지는 동시에, 제 2 끼움지지부가 제 1 끼움지지부 측으로 이동되어, 제 1 끼움지지부 및 제 2 끼움지지부가 한층 더 강한 힘으로 기판을 끼움지지할 수 있다. 그 결과, 비평탄 기판, 즉, 두께 방향에 대해 불균일한 기판이나 굴곡이 큰 기판이라 하더라도, 해당 기판을 제 1 끼움지지부 및 제 2 끼움지지부의 평탄면에 확실히 추종시킬 수 있기 때문에, 고정밀도의 노광을 행할 수가 있다.

본 발명의 제 7 형태로서, 제 1 내지 제 6중의 어느 형태에 있어서, 제 1 끼움지지부 및 제 2 끼움지지부의 평탄면은, 대향하여 설치되어 있어도 무방하다. 제 1 이동부는, 제 1 끼움지지부 및 제 2 끼움지지부 중 적어도 일방을 평탄면과 직교하는 방향으로 이동시켜도 무방하다. 이러한 형태에 의하면, 제 1 끼움지지부 및 제 2 끼움지지부 중 적어도 일방을 하나의 방향으로만 이동시키는 것만으로 기판을 끼움지지할 수 있으므로, 장치 구성이 간단하다.

본 발명은, 노광 장치에 의해 플렉시블한 띠 형상 기판을 노광하는 노광 방법, 노광 장치에 의해 기판을 노광하는 노광 방법 등으로서도 실현 가능하다.

도 1은 본 발명의 일 실시예로서의 노광 장치의 개략 구성을 나타내는 설명도이다.
도 2는 도 1에 나타내는 노광 장치의 A－A 화살선도이다.
도 3은 도 2에 나타내는 노광 장치의 B－B 화살선도이다.
도 4는 노광 장치의 동작의 흐름을 나타내는 플로우차트이다.
도 5는 도 4에 나타내는 플로우차트의 각 공정에 있어서의 노광 장치의 상태를 나타내는 설명도이다.
도 6은 제 2 실시예로서의 노광 장치의 개략 구성을 나타내는 설명도이다.
도 7은 제 3 실시예로서의 노광 장치의 개략 구성을 나타내는 설명도이다.
도 8은 도 7에 나타내는 노광 장치의 C－C 화살선도이다.

A. 제 1 실시예：

도 1~도 3은, 본 발명의 일 실시예로서의 노광 장치(10)의 개략 구성을 나타낸다. 도 2는, 도 1에 나타내는 노광 장치(10)의 A－A 화살선도이고, 도 3은, 도 2에 나타내는 노광 장치(10)의 B－B 화살선도이다. 노광 장치(10)는, 표면에 감광층을 갖는 기판의 노광면에 대하여, 전기회로 등의 2차원 패턴을 나타내는 노광 데이터에 근거하여, 노광을 행함으로써, 해당 패턴을 기판상에 형성한다. 노광 장치(10)는, 포토마스크를 사용하지 않고, 기판의 양면에 대해서 패턴을 형성한다. 도 1에 나타내는 바와 같이, 노광 장치(10)는, 베이스 부재(15) 상에 설치되어 있으며, 제 1 끼움지지부(20a), 제 2 끼움지지부(20b), 제 1 노광부(30), 제 2 노광부(40), 제 1 이동부(50), 제 2 이동부(60), 제 3 이동부(70) 및 검출부(81~84)를 구비하고 있다. 이하의 설명에 있어서, 제 1 끼움지지부(20a) 및 제 2 끼움지지부(20b)를 끼움지지부(20)라고도 부른다.

제 1 끼움지지부(20a)는, 투과부(21a)와 지지부(22a)를 구비하고 있다. 투과부(21a)는, 광 투과성의 부재로 형성되어 있다. 본 실시예에서는, 투과부(21a)는, 유리에 의해 형성되어 있다. 단, 유리 대신에, 아크릴 등을 사용하여도 무방하다. 또, 본 실시예에서는, 투과부(21a)는, 직사각형 평판 형상을 가지고 있으며, 그 상면은, 평탄한 평탄면(23a)으로서 형성되어 있다. 투과부(21a)를 하측 유리판(21a)이라고도 부른다.

지지부(22a)는, 투과부(21a)의 주위를 둘러싸며, 투과부(21a)를 지지한다. 구체적으로는, 지지부(22a)는, 직사각형의 평판의 중앙에 관통구멍이 형성된 프레임 형상을 가지고 있다. 지지부(22a)의 관통구멍은, 상대적으로 작은 직사각형 형상을 갖는 제 1 관통구멍과, 상대적으로 큰 직사각형 형상을 갖는 제 2 관통구멍이 조합된 형상을 가지고 있다. 제 1 관통구멍은, 하측에 형성되고, 제 2 관통구멍은, 상측에 형성되어 있다. 그리고, 제 2 관통구멍에 투과부(21a)가 끼워 넣어져 있다. 투과부(21a)의 외측 가장자리부는, 상술한 2개의 관통구멍의 크기의 차이를 이용하여, 지지부(22a)에 접착되어 있다.

제 2 끼움지지부(20b)는, 투과부(21b)와 지지부(22b)를 구비하고 있다. 투과부(21b) 및 지지부(22b)는, 투과부(21a) 및 지지부(22a)와 동일한 구성을 가지고 있다. 단, 투과부(21b) 및 지지부(22b)는, 투과부(21a) 및 지지부(22a)와 비교할 때, 상하가 반대로 배치되어 있다. 투과부(21b)의 하면은, 평탄한 평탄면(23b)으로서 형성되어 있다. 투과부(21b)를 상측 유리판(21b)이라고도 부른다.

본 실시예에서는, 제 1 끼움지지부(20a)와 제 2 끼움지지부(20b)는, 연직(鉛直) 방향으로 대향하여 배치되어 있다. 이로써, 평탄면(23a)과 평탄면(23b) 모두 대향하고 있다. 제 1 끼움지지부(20a)는, 연직 방향의 위치가 고정되어 있다. 한편, 제 2 끼움지지부(20b)는, 제 1 이동부(50)에 의해, 연직 방향, 환언하면, 제 1 끼움지지부(20a)와 제 2 끼움지지부(20b)가 가까워지는 방향 및 멀어지는 방향으로 이동 가능하도록 구성되어 있다. 하측 유리판(21a)의 평탄면(23a)에 기판(S)을 재치(載置)한 상태에서 제 2 끼움지지부(20b)가 하방으로 이동함으로써, 기판(S)은, 평탄면(23a)과 평탄면(23b)의 사이에 끼움지지된다. 이와 같이 기판(S)이 끼움지지된 상태를 끼움지지상태라고도 부른다. 또한, 평탄면(23a)과 평탄면(23b)은, 반드시 대향하여 배치되어 있을 필요는 없으며, 제 1 끼움지지부(20a) 및 제 2 끼움지지부(20b) 중 적어도 일방이, 수평방향 및 연직 방향으로 이동 가능하게 구성되고, 해당 양방향으로의 이동에 의해, 기판(S)이 끼움지지되는 구성이어도 무방하다.

제 1 이동부(50)는, 가이드 샤프트(51)를 구비하고 있다. 가이드 샤프트(51)는, 제 1 끼움지지부(20a) 및 제 2 끼움지지부(20b)의 네 모서리에 있어서, 제 1 끼움지지부(20a) 및 제 2 끼움지지부(20b)를 연직 방향으로 관통하도록 배치되어 있다. 제 1 이동부(50)는, 액추에이터(도시생략)에 의해, 제 2 끼움지지부(20b)를 가이드 샤프트(51)를 따라, 연직 방향으로 왕복 이동시킨다.

제 2 이동부(60)는, 리니어 모터(61)와, 2개의 가이드(62)와, 2개의 가이드 레일(63)을 구비하고 있다. 2개의 가이드 레일(63)은, 평행하게 배치되어 있으며, 연직 방향과 직교하는 소정의 방향으로 직선 형상으로 연장되어 형성되어 있다. 2개의 가이드(62) 중 일방은, 리니어 모터(61)의 가동자(可動子)에 고정되어 있다. 또, 2개의 가이드(62)에는, 제 1 끼움지지부(20a)의 지지부(22a)가 고정되어 있다. 리니어 모터(61)를 구동하면, 제 1 끼움지지부(20a)와, 가이드 샤프트(51)를 통해 제 1 끼움지지부(20a)에 접속된 제 2 끼움지지부(20b)는, 2개의 가이드(62)를 통해 가이드 레일(63) 상을 이동한다. 이러한 구성에 의해, 제 2 이동부(60)는, 끼움지지상태의 끼움지지부(20)(끼움지지부(20)에 끼움지지된 기판(S))를, 후술하는 제 1 노광부(30)와 제 2 노광부(40)의 사이를 통과하도록 이동시킨다.

제 1 노광부(30)는, 제 1 방향으로 광을 조사한다. 제 1 노광부(30)는, 제 1 끼움지지부(20a) 및 제 2 끼움지지부(20b) 중의 제 1 끼움지지부(20a)측, 즉, 하방측에 배치되어 있다. 제 1 방향은, 본 실시예에서는, 하방으로부터 상방을 향하는 방향이다. 본 실시예에서는, 제 1 노광부(30)는, 도 2에 나타내는 바와 같이, 2개의 노광 유닛(31, 32)을 구비하고 있다. 노광 유닛(31, 32)의 각각은, 광원(여기에서는, 레이저 광원)과, 광 빔을 편향주사(偏向走査)하는 폴리곤 미러(polygon mirror)를 구비하고 있다. 노광 유닛(31, 32)은, 제 2 이동부(60)가 기판(S)을 이동시키는 방향으로 배열되어 있다. 이러한 노광 유닛(31, 32)은, 베이스 부재(15) 위에 설치된 지지 부재(16)상에 고정되어 있다.

제 2 노광부(40)는, 제 1 노광부(30)보다 상방(제 2 끼움지지부(20b)측)에, 제 1 노광부(30)와 이격하여 설치되며, 제 1 방향과 반대인 제 2 방향, 즉, 상방으로부터 하방을 향하는 방향으로 광을 조사한다. 제 2 노광부(40)는, 2개의 노광 유닛(41, 42)을 구비하고 있다. 본 실시예에서는, 노광 유닛(41, 42)은, 노광 유닛(31, 32)과 동일한 구성을 가지고 있으며, 노광 유닛(31, 32)과 연직 방향으로 대향하는 위치에 설치되어 있다. 노광 유닛(41, 42)은, 그 상방에 설치된 지지 부재(17)에 고정되어 있다.

제 1 노광부(30) 및 제 2 노광부(40)의 구성은, 기판(S)이 이동하는 영역을 사이에 끼고 연직 방향으로 이격하여 설치되어 있으면, 상술한 예로 한정하지 않고, 임의의 구성으로 할 수 있다. 예컨대, 레이저 광원은, 노광 유닛(31, 32)의 외부에 설치되고, 광섬유를 통해, 노광 유닛(31, 32)에 광이 공급되어도 무방하다. 혹은, 폴리곤 미러 대신에, DMD(Digital Mirror Device)를 채용하여도 무방하다. 혹은, 제 1 노광부(30) 및 제 2 노광부(40)는, 각각 단일의 유닛만으로 구성되어 있어도 무방하다. 혹은, 제 2 이동부(60)가 기판(S)을 이동시키는 방향과 직교하는 방향으로, 2 이상의 유닛이 배열되어 있어도 무방하다. 혹은, 제 1 노광부(30)와 제 2 노광부(40)는, 다른 구성을 가지고 있어도 무방하다.

이러한 제 1 노광부(30) 및 제 2 노광부(40)의 동작은, 노광 데이터를 취급하는 화상 처리 유닛(도시생략)에 의해 제어된다. 상기 화상 처리 유닛은, 후술하는 검출부(81~84)의 검출 결과에 따라 제 1 노광부(30) 및 제 2 노광부(40)로부터의 광의 조사를 제어한다.

제 3 이동부(70)는, 가이드(71)와 가이드 레일(72)을 구비하고 있다. 가이드 레일(72)은, 연직 방향으로 직선 형상으로 연장되어 형성되어 있다. 가이드(71)는, 지지판(18)을 통해, 지지 부재(17)에 고정되어 있다. 또, 지지 부재(17)는, 액추에이터(도시생략)에 연결되어 있으며, 액추에이터를 구동함으로써, 가이드 레일(72) 위를 가이드 레일(72)을 따라 슬라이딩한다. 이러한 지지 부재(17)의 이동에 의해, 지지 부재(17)에 고정된 노광 유닛(41, 42)은, 연직 방향으로, 환언하면, 제 1 노광부(30)에 가까워지는 방향 및 멀어지는 방향으로, 직선적으로 이동한다. 액추에이터는, 특별히 한정되는 것은 아니며, 예컨대, 모터 및 볼나사를 사용할 수 있다.

검출부(81~84)는, 각각 카메라를 가지고 있다. 이들 카메라는, 끼움지지상태에 있어서, 기판(S)상의 소정 위치에 미리 형성된 위치 맞춤 마크나 패턴(이하, 단순히 마크라고도 부름)을 광학적으로 읽어냄으로써, 읽어낸 마크의 좌표 위치에 근거하여, 끼움지지상태의 기판(S)의 위치 및 형상을 검출한다. 검출부(81, 82)는, 기판(S)의 상면(제 2 노광부(40)가 노광하는 측)의 위치 및 형상을 검출하고, 검출부(83, 84)는, 기판(S)의 하면(제 1 노광부(30)가 노광하는 측)의 위치 및 형상을 검출한다. 또한, 검출부(81~84)는, 기판(S)의 위치 및 형상 중의 일방만을 검출하는 것이어도 무방하다.

이러한 검출부(81~84)는, 제 1 노광부(30) 및 제 2 노광부(40)보다, 기판(S)이 제 1 노광부(30) 및 제 2 노광부(40)를 향해 이동할 때의 상류 측에 배치되어 있다. 검출부(81, 82)는, 제 2 노광부(40)를 지지하는 지지 부재(17)에 고정되어 있다. 즉, 검출부(81, 82)는, 제 2 노광부(40)와 공통의 지지 부재(17)에 고정되어 있다. 이 때문에, 제 3 이동부(70)는, 간단한 구성에 의해, 제 2 노광부(40)와 검출부(81, 82)를, 동일한 방향으로 동일한 거리만큼 동시에 이동시킬 수가 있다. 또한, 검출부의 수는, 특별히 한정되는 것은 아니며, 기판(S)의 양면의 각각에 대하여, 각각 1개 이상의 임의의 수만큼 설치하여도 무방하다. 또, 검출부는, 기판(S)의 일방의 면 측에만 설치하여도 무방하다.

이러한 노광 장치(10)의 노광 동작에 대해 설명한다. 도 4는, 기판(S)의 노광 처리의 흐름을 나타낸다. 도 5는, 도 4에 나타내는 각 공정에 있어서의 노광 장치(10)의 상태를 나타낸다. 기판의 노광 처리에서는, 우선, 도 5(a)에 나타내는 바와 같이, 제 1 끼움지지부(20a)와 제 2 끼움지지부(20b)의 사이에 기판(S)이 투입되며, 하측 유리판(21a)의 평탄면(23a)에 기판(S)이 재치된다(단계 S110). 이러한 동작은, 예컨대, 기판(S)을 흡착 유지하는 클램프 장치(도시생략)에 의해 행할 수 있다.

기판(S)을 재치하면, 다음으로, 노광 장치(10)는, 제 1 이동부(50)에 의해 제 2 끼움지지부(20b)를 하강시켜, 상측 유리판(21b)의 평탄면(23b)과 하측 유리판(21a)의 평탄면(23a)의 사이에서, 기판(S)을 끼움지지한다(단계 S120). 이때, 기판(S)은, 상측 유리판(21b)에 의해 하측 유리판(21a)측으로 가압되므로, 기판(S)의 노광면이 비평탄 형상을 가지고 있어도, 해당 비평탄 형상은 저감된다.

기판(S)을 끼움지지하면, 다음으로, 노광 장치(10)는, 제 2 이동부(60)에 의해 기판(S)을 제 1 노광부(30) 및 제 2 노광부(40) 측으로 전진시켜, 검출부(81~84)에 의해, 끼움지지상태의 기판(S)의 양면의 마크를 읽어낸다(단계 S130). 본 실시예에서는, 마크는, 기판(S)의 양면의 네 모서리 부근에 형성되어 있다. 우선, 도 5(c)에 나타내는 바와 같이, 끼움지지상태의 기판(S)의 일단측(제 1 노광부(30) 및 제 2 노광부(40)측)의 2개의 마크가 판독된다. 그리고, 기판(S)이 한층 더 전진된 후, 도 5(d)에 나타내는 바와 같이, 끼움지지상태의 기판(S)의 타단측의 2개의 마크가 판독된다. 본 실시예에서는, 노광시와 같은 상태, 즉, 끼움지지상태에서 마크의 판독을 행함으로써, 양호한 정밀도로 노광할 수가 있다.

마크를 읽어내면, 다음으로, 노광 장치(10)는, 검출부(81~84)의 판독 결과로부터 기판(S)의 위치 및 형상을 인식하고, 그 인식 결과에 따라, 노광 데이터를 보정한다(단계 S140). 다음으로, 노광 장치(10)는, 도 5(e)에 나타내는 바와 같이, 기판(S)을 한층 더 전진시키면서, 제 1 노광부(30) 및 제 2 노광부(40)로부터 끼움지지상태의 기판(S)의 양면에 광을 조사하여, 기판(S)의 양면을 동시에 노광한다(단계 S150). 광의 조사 타이밍은, 검출부(81~84)의 판독 결과, 즉, 기판(S)의 위치, 형상, 기울기 등에 따라 제어된다. 기판(S)은, 하측 유리판(21a) 및 상측 유리판(21b)에 끼움지지되어 있기 때문에, 제 1 노광부(30) 및 제 2 노광부(40)로부터 조사되는 광은, 하측 유리판(21a) 또는 상측 유리판(21b)을 투과하여, 기판(S)에 도달한다.

이와 같이 노광하고 있는 동안, 제 1 끼움지지부(20a) 및 제 2 끼움지지부(20b)는, 연직 방향의 위치를 바꾸지 않고 수평방향으로 이동하기 때문에, 평탄면(23a(즉, 기판(S)의 하면측의 노광면))과 제 1 노광부(30)간의 광의 조사 방향의 거리(연직 방향의 거리), 및, 평탄면(23b(즉, 기판(S)의 상면 측의 노광면))과 제 2 노광부(40)간의 광의 조사 방향의 거리는, 모두, 일정하게 유지된다. 특히, 제 1 끼움지지부(20a)는, 그 위치가 고정되어 있기 때문에, 기판(S)의 두께에 의존하는 일 없이, 평탄면(23a)과 제 1 노광부(30)간의 거리는, 항상 일정해진다.

도 5(f)는, 기판(S)이 더 전진하여, 기판(S)의 소요(所要)의 노광 영역 전체에 대하여 노광이 종료된 상태를 나타낸다. 이와 같이 노광이 종료되면, 다음으로, 노광 장치(10)는, 제 2 이동부(60)에 의해, 끼움지지상태의 기판(S)을 초기 위치(도 5(b) 참조)까지 후퇴시킨다(단계 S160). 그리고, 노광 장치(10)는, 제 1 이동부(50)에 의해, 제 2 끼움지지부(20b)를 상승시켜 끼움지지상태를 해제하고, 노광이 종료된 기판(S)을 배출한다(단계 S170). 본 실시예에서는, 기판(S)의 배출은, 상술한 클램프 장치에 의해 행해진다. 이러한 단계 S110~S170의 사이클이 반복됨에 따라, 복수의 기판(S)이 연속해서 노광된다.

본 실시예에서는, 이러한 노광 장치(10)는, 제 3 이동부(70)에 의해, 기판(S)의 두께에 따라 소정 위치까지 제 2 노광부(40)의 위치를 미리 이동시켜 두는 위치 설정부를 가지고 있다. 구체적으로는, 기판(S)의 두께에 따라, 끼움지지상태에 있는 제 2 끼움지지부(20b)의 평탄면(23b(기판(S)의 노광면))의 연직 방향의 위치가 바뀌기 때문에, 위치 설정부는, 끼움지지상태에 있는 제 2 끼움지지부(20b(평탄면(23b))의 연직 방향의 위치를 특정할 수 있는 정보(이하, 위치정보라고도 부름)에 따라 평탄면(23b) 상에 결상하는 위치까지 제 2 노광부(40)를 연직 방향으로 이동시킨다. 이러한 위치 설정부는, 노광 장치(10)의 동작 전반(全般)을 제어하는 제어장치에 포함된다. 본 실시예에서는, 위치 설정부는, 사용자가 입력하는 위치 정보를 받아들여, 그 입력값에 따른 위치까지 제 2 노광부(40)를 이동시킨다. 위치 정보는, 예컨대, 기판(S)의 두께(예컨대, 기판(S)의 설계 치수)로 할 수 있다. 이러한 구성에 의하면, 처리 대상인 기판(S)의 두께가 다른 경우에도, 기판(S)의 노광면에 대해 안정적으로 결상할 수가 있다.

기판(S)의 종류에 따른 두께의 차이는, 불과 수 ㎜ 정도까지인 것이 통상적이다. 이 때문에, 제 3 이동부(70)에 의한 제 2 노광부(40)의 가동영역(可動域)은, 수 ㎜ 정도여도 무방하다. 단, 본 실시예에서는, 제 2 노광부(40)는, 평탄면(23b) 상에 결상하기 위해 필요한 가동영역보다 넓은 가동영역(예컨대, 수십 ㎝)을 확보하고 있다. 이러한 구성으로 함으로써, 제 1 노광부(30) 및 제 2 노광부(40)의 유지 관리(maintenance)를 행할 때에, 제 2 노광부(40)를 제 1 노광부(30)로부터 멀어지는 방향으로 이동시킴으로써, 유지 관리 작업을 행하기 쉽게 할 수가 있다.

또한, 노광 장치(10)는, 제 2 노광부(40)와, 끼움지지상태의 기판(S)의 노광면(상면) 간의 거리를 측정하는 측정부를 구비하고 있어도 무방하다. 이 경우, 위치 설정부는, 측정부의 측정 결과를 위치 정보로서 받아들여, 측정부의 측정 결과에 따라, 제 2 노광부(40)의 위치를 변경하여도 무방하다. 측정부는, 예컨대, 레이저 거리계여도 무방하다. 측정부는, 지지 부재(17)에 고정되어 있어도 무방하다. 이 경우, 측정부와 제 2 노광부(40)는, 모두 지지 부재(17)에 고정되므로, 양자의 거리는, 항상 일정하다. 이 때문에, 측정부에 의해 계측된, 측정부와 노광면 간의 거리에 대하여, 측정부와 제 2 노광부(40)간의 거리를 가산 또는 감산하여, 제 2 노광부(40)와, 기판(S)의 노광면(상면) 간의 거리를 용이하게 계측할 수가 있다. 이러한 구성으로 하면, 상술한 사용자의 입력이 불필요해져, 사용자의 편리성이 향상된다. 이러한 측정부의 측정은, 기판(S)마다 행하여도 무방하며, 노광 장치(10)에서 처리하는 기판(S)의 종류마다 행하여도 무방하다.

상술한 노광 장치(10)에 의하면, 기판(S)이 비평탄 형상을 가지고 있는 경우라 하더라도, 기판(S)이 끼움지지부(20)에 끼움지지됨으로써, 기판(S)이 노광면에 수직인 방향으로 가압되어, 비평탄 형상이 저감된다. 즉, 기판(S)의 비평탄 형상이, 평탄 형상에 가까워지도록 수정된다. 또, 제 1 끼움지지부(20a)는, 제 1 이동부(50)가 제 2 끼움지지부(20b)를 이동시키는 방향에 있어서의 위치가 고정되어 있기 때문에, 끼움지지상태에 있어서, 제 1 끼움지지부(20a)의 평탄면(23a)에 접촉하는 기판(S)의 노광면과, 제 1 노광부(30)간의 연직 방향의 거리는, 일정하게 유지된다. 이 때문에, 평탄면(23a)에 접촉하는 기판(S)의 노광면 전 영역에 걸쳐 안정적으로 결상할 수 있다. 또한, 끼움지지상태에 있어서, 제 2 끼움지지부(20b)의 평탄면(23b)에 접촉하는 기판(S)의 노광면의 연직 방향의 위치는, 기판(S)의 두께에 따라 변화하지만, 기판(S)의 노광면의 비평탄 형상은, 끼움지지됨으로써 저감되어 있다. 이 때문에, 제 2 끼움지지부(20b)의 평탄면(23b)에 접촉하는 기판(S)의 노광면의 위치가 기판(S)의 두께에 따라 변화하는 양과 동일한 양만큼, 제 3 이동부(70)에 의해 제 2 노광부(40)를 직선적으로 이동시키면, 오토 포커스 기능을 사용하지 않아도, 제 2 끼움지지부(20b)의 평탄면(23b)에 접촉하는 기판(S)의 노광면과, 제 2 노광부(40)간의 연직 방향(광의 조사 방향)의 거리를, 기판(S)의 두께가 바뀌어도 일정하게 유지할 수가 있다. 그 결과, 제 2 끼움지지부(20b)의 평탄면(23b)에 접촉하는 기판(S)의 노광면 전 영역에 걸쳐 안정적으로 결상할 수 있다. 따라서, 간단한 장치 구성으로, 기판(S)의 양면에 대해서 안정적으로 결상할 수가 있다.

또, 노광 장치(10)에 의하면, 검출부(81, 82)는, 제 2 노광부(40)와 공통의 지지 부재인 지지 부재(17)에 고정되어 있다. 이 때문에, 제 3 이동부(70)는, 간단한 구성에 의해, 제 2 노광부(40)와 검출부(81, 82)를, 동일한 방향으로 동일한 거리만큼 동시에 이동시킬 수 있다. 따라서, 원래 제 2 노광부(40) 및 검출부(81, 82)가 기판(S)의 제 2 끼움지지부(20b)측의 노광면에 결상하는 위치에 있으면, 기판(S)의 두께에 따라 제 2 노광부(40)가 이동되었을 때에, 그 이동과 동일한 방향으로 동일한 거리만큼 검출부(81, 82)가 이동하므로, 검출부(81, 82)의 위치를 재조정하지 않아도 된다. 이 때문에, 사용자의 편리성이 향상된다. 혹은, 검출부(81, 82)에, 오토 포커스 기능을 도입하지 않아도, 안정적으로 기판(S)의 제 2 끼움지지부(20b)측의 노광면에 결상할 수 있기 때문에, 장치 구성을 간단하게 할 수가 있다. 또한, 제 2 노광부(40)와 검출부(81, 82)를 이동시키는 액추에이터는, 1개이면 되므로, 그 점에 있어서도, 장치 구성을 간단하게 할 수 있다. 또한, 제 2 노광부(40)와 검출부(81, 82)가 각각 독립적으로 이동 가능한 구성인 경우에는, 제 2 노광부(40) 및 검출부(81, 82)를 이동시켰을 때에, 제 2 이동부(60)에 의한 끼움지지부(20)(기판(S))의 이동 방향에 있어서의 검출부(81, 82)와 제 2 노광부(40)의 상대 위치가, 부재의 설치 고정 정밀도에 기인하여 어긋날 우려가 있으나, 본 실시예의 구성에 의하면, 제 2 노광부(40)와 검출부(81, 82)는, 지지 부재(17)를 통해 일체화되어 있기 때문에, 그러한 우려도 생기지 않는다.

B. 제 2 실시예：

도 6은, 제 2 실시예로서의 노광 장치(210)의 개략 구성을 나타낸다. 도 6은, 제 1 실시예의 도 2에 대응하고 있다. 도 6에 있어서, 제 1 실시예와 동일한 구성 요소에 대해서는, 도 2와 동일한 부호를 사용하고, 설명을 생략한다. 도 6에 나타내는 바와 같이, 노광 장치(210)는, 제 1 실시예로서의 노광 장치(10)의 구성에 추가하여, 시일부(281)와 감압부(290)를 구비하고 있다. 시일부(281)는, 탄성 부재에 의해 형성되어 있으며, 지지부(22a)의 상면에 하측 유리판(21a)을 둘러싸도록 부착되어 있다. 시일부(281)의 높이는, 기판(S)의 두께보다 크게 형성되어 있다. 하측 유리판(21a)에는, 관통구멍(285)이 형성되어 있고, 관통구멍(285)에는, 배관을 통해 감압부(290)가 접속되어 있다. 감압부(290)는, 예컨대, 진공 펌프로 할 수 있다.

이러한 노광 장치(210)에서는, 하측 유리판(21a)에 기판(S)을 재치한 상태에서, 제 2 끼움지지부(20b)를 하강시키면, 우선, 시일부(281)와, 지지부(22b)의 하면이 기판(S)의 주위에 걸쳐 맞닿아, 기판(S)의 주위는, 시일부(281)에 의해 시일된 상태가 된다. 이때, 기판(S)과 평탄면(23b)의 사이에 근소한 틈새가 형성되거나, 또는, 기판(S)과 평탄면(23b)이 거의 접촉한다. 이러한 상태에 있어서, 감압부(290)를 구동시켜, 시일부(281)의 내부의 공간을 감압한다. 이로써, 시일부(281)가 연직 방향으로 찌그러지는 동시에, 제 2 끼움지지부(20b)가 더 하방으로 이동한다. 그 결과, 평탄면(23b)은, 기판(S)과 맞닿으며, 매우 강한 힘으로 기판(S)을 하방으로 가압한다. 노광 장치(210)에서는, 이와 같이 하여, 끼움지지상태가 얻어진다.

이러한 구성에 의하면, 보다 강한 힘으로 기판(S)이 끼움지지되므로, 기판(S)이 비평탄 형상을 가질 경우에, 비평탄 형상을 한층 더 저감할 수 있다. 그 결과, 기판(S)의 노광면에 대해 안정적으로 결상할 수가 있다. 또한, 관통구멍(285)은, 지지부(22a)에 형성되어 있어도 무방하다. 또, 시일부(281)는, 하측 유리판(21a) 상에 형성되어 있어도 무방하다. 또한, 시일부(281) 및 관통구멍(285)은, 제 2 끼움지지부(20b)에 형성되어 있어도 무방하다.

C. 제 3 실시예：

도 7은, 제 3 실시예로서의 노광 장치(310)의 개략 구성을 나타낸다. 도 8은, 도 7에 나타내는 노광 장치(310)의 C－C 화살선도이다. 도 7은, 제 1 실시예의 도 2에 대응하고 있으며, 도 8은, 도 3에 대응하고 있다. 도 7, 8에 있어서, 제 1 실시예와 동일한 구성 요소에 대해서는, 도 2, 3과 동일한 부호를 사용하고, 설명을 생략하도록 한다. 본 노광 장치(310)에서는, 기판(S)으로서, 플렉시블한 띠 형상 기판을 사용한다.

도 7, 8에 나타내는 바와 같이, 노광 장치(310)는, 조출(繰出, feeding) 장치(381)와, 롤러(382, 383, 385, 386)와, 반송 장치(384)와, 권취(卷取, winding) 장치(387)를 구비하고 있다. 조출 장치(381)는, 노광 처리의 대상이 되는 롤형상의 기판(S)이 세팅된 드럼(감기 통(卷胴))을 회전시켜, 기판(S)을 풀어낸다. 조출 장치(381)로부터 풀어낸 기판(S)은, 롤러(382) 위를 통해, 제 1 끼움지지부(20a)와 제 2 끼움지지부(20b)의 사이를 지나며, 또한, 제 1 노광부(30)와 제 2 노광부(40)의 사이를 지나고, 롤러(383) 위, 반송 장치(384), 롤러(385, 386) 위를 통해, 권취 장치(387)에 감긴다. 권취 장치(387)는, 드럼을 회전시켜, 노광된 기판(S)을 드럼 상에 감는다. 반송 장치(384)는, 조출 장치(381)와 권취 장치(387)의 사이에서 기판(S)을, 조출 장치(381)로부터 권취 장치(387)를 향하는 방향 및 권취 장치(387)로부터 조출 장치(381)를 향하는 방향으로 반송한다. 본 실시예에서는, 반송 장치(384)는, 닙 롤러(nip roller)이다. 조출 장치(381)와 권취 장치(387) 사이의 기판(S)은, 기판(S)에 길이방향의 장력이 최대한 작용하지 않도록, 텐션 조정이 이루어져 있다. 이러한 텐션(tension) 조정은, 기판(S)이 제 1 끼움지지부(20a)와 접촉하지 않을 정도로 행해지는 것이 바람직하다. 이렇게 하면, 끼움지지부(20)가 기판(S)을 끼움지지하지 않고 있는 상태에서 끼움지지부(20)가 이동했을 때에, 기판(S)이 제 1 끼움지지부(20a) 상을 슬라이딩하는 일이 없으므로, 기판(S)이 손상되는 것을 억제할 수가 있다.

이러한 노광 장치(310)는, 예컨대, 이하와 같이 동작한다. 우선, 노광 장치(310)는, 도 7에 나타내는 바와 같이, 롤러(382)와 검출부(81~84)의 사이의 위치에 있어서, 제 2 끼움지지부(20b)를 하강시켜, 평탄면(23a)과 평탄면(23b)에 의해 기판(S)의 소정의 노광 영역을 끼움지지한다. 다음으로, 노광 장치(310)는, 끼움지지상태인 채로 끼움지지부(20)를 제 1 노광부(30) 및 제 2 노광부(40)의 방향으로 이동시킴으로써, 기판(S)을, 그 길이방향(조출 장치(381)로부터 권취 장치(387)를 향하는 방향)으로 보낸다. 이때, 조출 장치(381) 및 권취 장치(387)는, 기판(S)에 장력이 최대한 발생하지 않는 범위에서 드럼을 회전시킨다. 즉, 조출 장치(381) 및 권취 장치(387)는, 기판(S)의 송출, 또는, 권취 동작을 행하고 있는 것에 불과하며, 기판(S)의 이송에 필요한 힘을 기판(S)에 작용시키고 있는 것은 아니다. 마찬가지로, 이 때, 반송 장치(384)도 기판(S)의 반송 동작에는 기여하지 않는다.

기판(S)이 소정 위치까지 보내지면, 노광 장치(310)는, 검출부(81~84)에 의해 소정의 노광 영역, 혹은 그 근방에 설치된 기판(S)상의 마크를 검출한다. 그리고, 노광 장치(310)는, 기판(S)을 보내면서, 그 검출 결과에 따라, 제 1 노광부(30) 및 제 2 노광부(40)에 의해, 끼움지지상태의 기판(S)의 소정의 노광 영역을 노광한다. 소정의 노광 영역의 노광이 종료되면, 노광 장치(310)는, 제 2 끼움지지부(20b)를 상승시켜, 끼움지지상태를 해제한다. 끼움지지상태를 해제하면, 노광 장치(310)는, 반송 장치(384)에 의해 기판(S)을 역방향, 즉, 권취 장치(387)로부터 조출 장치(381)를 향하는 방향으로 이동시킨다. 이때, 조출 장치(381) 및 권취 장치(387)도, 기판(S)에 장력이 생기지 않는 범위에서 드럼을 반대로 회전시킨다. 이러한 역방향으로의 기판(S)의 이동은, 다음에 노광해야 할 노광 영역이 롤러(382)와 검출부(81~84)의 사이의 소정 위치까지 돌아올 때까지 행해진다.

그리고, 다음의 노광 영역이 소정 위치까지 돌아온 시점에서, 노광 장치(310)는, 끼움지지부(20)를, 제 2 끼움지지부(20b)가 상승한 상태에서, 즉, 끼움지지하지 않는(非挾持) 상태에서, 다음의 노광 영역을 끼움지지할 수 있는 위치까지 이동시킨다. 그리고, 노광 장치(310)는, 제 2 끼움지지부(20b)를 다시 하강시켜, 기판(S)의 다음의 노광 영역을 끼움지지한다. 그 후, 상술한 노광 사이클이 반복하여 행해진다.

이러한 노광 장치(310)에 의하면, 기판(S)에 다소의 굴곡이 발생되어 있는 경우라 하더라도, 기판(S)은, 평탄면(23a)과 평탄면(23b)에 끼움지지되므로, 매우 평탄한 상태로 끼움지지된다. 또한, 끼움지지상태에 있어서, 제 1 끼움지지부(20a)의 평탄면(23a)에 접촉하는 기판(S)의 노광면과, 제 1 노광부(30)간의 연직 방향의 거리는, 제 1 실시예와 마찬가지로, 일정하게 유지된다. 또, 플렉시블한 띠 형상의 기판(S)은, 통상적으로, 두께가 얇기 때문에, 끼움지지상태에 있어서, 제 2 끼움지지부(20b)의 평탄면(23b)에 접촉하는 기판(S)의 노광면과 제 2 노광부(40)간의 연직 방향의 거리에 대해서도, 일정하게 유지된다. 따라서, 간단한 구성으로, 기판(S)의 양면의 노광면에 대하여, 안정적으로 결상할 수가 있다.

또, 노광 장치(310)에 의하면, 기판(S)을 보낼 때, 즉, 노광중에, 기판(S)의 노광면에 과잉의 길이방향의 장력이 생기지 않는다. 즉, 기판(S)에 과잉의 장력이 작용하여 노광면이 길이방향으로 늘어난 상태에서 노광되는 일이 없다. 따라서, 양호한 정밀도로 기판(S)상에 패턴을 형성할 수가 있다.

또, 노광 장치(310)는, 반송 장치(384)를 구비하고 있으므로, 기판(S)의 교환시에 있어서, 조출 장치(381)에 신규로 부착된 기판(S)을 반송 장치(384)에 의해 권취 장치(387)의 방향으로 송출하여, 권취 장치(387)에 감을 수가 있다. 또, 기판(S)의 텐션 조정을 용이하게 행할 수가 있다. 또한, 반송 장치(384)는, 생략할 수도 있다. 이 경우, 기판(S)의 역방향으로의 이동도, 제 1 끼움지지부(20a) 및 제 2 끼움지지부(20b)에 의해 행하여도 무방하다.

D. 변형예：

D－1. 변형예 1：

상술한 실시예에서는, 제 2 끼움지지부(20b)만이 이동함으로써 기판(S)을 끼움지지하는 구성을 예시하였으나, 기판(S)을 끼움지지하기 위한 양태는, 상술한 예로 한정되지 않는다. 예컨대, 제 1 끼움지지부(20a)만이 이동하여도 무방하고, 제 1 끼움지지부(20a) 및 제 2 끼움지지부(20b)의 양방(兩方)이 이동하여도 무방하다.

상술한 제 3 실시예에 있어서, 제 1 끼움지지부(20a) 및 제 2 끼움지지부(20b)의 양방이 이동 가능하게 구성되는 경우, 노광 장치(310)는, 미리 정해진 일정한 위치에 있어서, 제 1 끼움지지부(20a) 및 제 2 끼움지지부(20b)에 의해 기판(S)을 끼움지지하는 구성이어도 무방하다. 혹은, 노광 장치(310)는, 제 2 노광부(40)를 제 1 노광부(30)에 가까워지는 방향 및 멀어지는 방향으로 직선적으로 이동시키는 제 3 이동부(70)에 추가하여, 제 1 노광부(30)를 제 2 노광부(40)에 가까워지는 방향 및 멀어지는 방향으로 직선적으로 이동시키는 제 4 이동부를 구비하고 있어도 무방하다. 제 1 노광부(30)는, 제 4 이동부에 의해 이동 가능한 지지 부재(제 2 지지 부재라고도 부름)에 고정되어 있어도 무방하다. 검출부(83, 84)는, 제 2 지지 부재에 고정되어 있어도 무방하다. 제 4 이동부는, 제 3 이동부와 같은 구성으로 할 수 있다. 이러한 구성에 의해서도, 기판(S)의 양면의 노광면 전 영역에 대하여, 안정적으로 결상할 수가 있다.

D－2. 변형예 2：

상술한 실시예에서는, 투과부(21a, 21b)는, 지지부(22a, 22b)에 의해 지지되어 있었으나, 지지부(22a, 22b)는, 생략 가능하다. 예컨대, 투과부(21a, 21b)는, 상술한 투과부(21a, 21b) 및 지지부(22a, 22b)를 조합한 형상을 가지고 있어도 무방하다.

이상, 몇 가지 실시예에 근거하여 본 발명의 실시형태에 대해 설명하였으나, 상기한 발명의 실시형태는, 본 발명의 이해를 용이하게 하기 위한 것이며, 본 발명을 한정하는 것은 아니다. 본 발명은, 그 취지를 벗어나는 일 없이, 변경, 개량될 수 있는 동시에, 본 발명에는 그 등가물(等價物)이 포함되는 것은 물론이다. 또, 상술한 과제 중 적어도 일부를 해결할 수 있는 범위, 또는, 효과 중 적어도 일부를 나타내는 범위에 있어서, 특허청구범위 및 명세서에 기재된 각 구성 요소의 조합, 또는, 생략이 가능하다.

10, 210, 310; 노광 장치
15; 베이스 부재
16, 17; 지지 부재
18; 지지판
20; 끼움지지부
20a; 제 1 끼움지지부
20b; 제 2 끼움지지부
21a; 투과부(하측 유리판)
21b; 투과부(상측 유리판)
22a, 22b; 지지부
23a, 23b; 평탄면
30; 제 1 노광부
31, 32; 노광 유닛
40; 제 2 노광부
41, 42; 노광 유닛
50; 제 1 이동부
51; 가이드 샤프트
60; 제 2 이동부
61; 리니어 모터
62; 가이드
63; 가이드 레일
70; 제 3 이동부
71; 가이드
72; 가이드 레일
81~84; 검출부
281; 시일부
285; 관통구멍
290; 감압부(減壓部)
381; 조출(繰出) 장치
382, 383, 385, 386; 롤러
384; 권취(卷取) 장치
387; 권취 장치
S; 기판

Claims (10)

1. 플렉시블(flexible)한 띠 형상의 기판을 노광하는 노광 장치로서,
   광 투과성의 부재로 형성되는 동시에 평탄면을 갖는 투과부를 가지며, 상기 평탄면의 각각에 의해 상기 기판을 끼움지지할 수 있는 제 1 끼움지지부 및 제 2 끼움지지부와,
   상기 제 1 끼움지지부 및 상기 제 2 끼움지지부 중 적어도 일방(一方)을, 상기 제 1 끼움지지부와 상기 제 2 끼움지지부가 가까워지는 방향 및 멀어지는 방향으로 이동시키는 제 1 이동부와, 제 1 방향으로 광을 조사하여, 상기 제 1 끼움지지부의 상기 평탄면 상에 결상(結像)하는 결상 광학계(光學系)를 갖는, 제 1 노광부와,
   상기 제 1 노광부와 이격하여 배치되며, 상기 제 1 방향과 반대인 제 2 방향으로 광을 조사하여, 상기 제 2 끼움지지부의 상기 평탄면 상에 결상하는 결상 광학계를 갖는, 제 2 노광부와,
   상기 제 1 이동부에 의해 상기 제 1 끼움지지부 및 상기 제 2 끼움지지부 중 적어도 일방이 이동됨에 따라 상기 제 1 끼움지지부 및 상기 제 2 끼움지지부의 상기 평탄면의 각각의 사이에 배치된 상기 기판이 상기 평탄면의 각각에 끼움지지된 끼움지지상태에 있어서, 상기 제 1 끼움지지부 및 상기 제 2 끼움지지부와, 상기 제 1 노광부 및 상기 제 2 노광부를, 상기 제 1 끼움지지부 및 상기 제 2 끼움지지부가 상기 제 1 노광부와 상기 제 2 노광부의 사이를 통과하도록 상기 기판의 길이방향으로 상대 이동시키는 제 2 이동부
   를 구비하고,
   상기 끼움지지상태에서는, 상기 제 1 끼움지지부 및 상기 제 2 끼움지지부는, 상기 제 1 끼움지지부 및 상기 제 2 끼움지지부의 상기 평탄면의 각각과 상기 기판이 접촉하도록 상기 기판을 끼움지지하며,
   상기 노광 장치는, 상기 끼움지지상태에 있어서, 상기 제 1 끼움지지부 및 상기 제 2 끼움지지부의 각각의 상기 평탄면과, 상기 제 1 노광부 및 상기 제 2 노광부의 거리를 일정하게 유지하면서, 상기 기판의 길이방향으로 상기 상대 이동을 행하면서, 상기 제 1 노광부 및 상기 제 2 노광부의 각각으로부터 상기 광을 조사하여, 상기 제 1 끼움지지부 및 상기 제 2 끼움지지부의 상기 투과부를 통해 상기 기판의 양면을 동시에 노광하고,
   상기 제 2 이동부는, 상기 끼움지지상태에 있어서 상기 제 1 끼움지지부 및 상기 제 2 끼움지지부를 이동시켜, 상기 이동에 의해, 상기 기판이 상기 기판의 길이방향으로 보내지는
   노광 장치.
2. 제 1항에 있어서,
   상기 제 1 끼움지지부는, 상기 제 1 이동부가 상기 제 1 끼움지지부 및 상기 제 2 끼움지지부 중 적어도 일방을 이동시키는 방향에 있어서의 위치가 고정되고,
   상기 제 2 끼움지지부는, 상기 제 1 이동부에 의해, 위치가 이동 가능하게 구성된
   노광 장치.
3. 제 1항에 있어서,
   상기 제 2 노광부를, 상기 제 1 노광부에 가까워지는 방향 및 멀어지는 방향으로 직선적으로 이동시키는 제 3 이동부와,
   상기 제 1 노광부를, 상기 제 2 노광부에 가까워지는 방향 및 멀어지는 방향으로 직선적으로 이동시키는 제 4 이동부와,
   상기 끼움지지상태의 상기 기판의 위치 및 형상 중 적어도 일방을 검출하는 검출부
   를 구비하고,
   상기 제 2 노광부는, 상기 제 3 이동부에 의해 이동 가능한 제 1 지지 부재에 고정되어 있으며, 상기 검출부에 의한 검출 결과에 따른 상기 노광을 행하고,
   상기 제 1 노광부는, 상기 제 4 이동부에 의해 이동 가능한 제 2 지지 부재에 고정되어 있으며, 상기 검출부에 의한 검출 결과에 따른 상기 노광을 행하며,
   상기 검출부는, 상기 제 2 노광부와 공통의 상기 제 1 지지 부재, 및, 상기 제 1 노광부와 공통의 상기 제 2 지지 부재 중 적어도 일방에 고정되어 있는
   노광 장치.
4. 제 1항 내지 제 3항 중 어느 한 항에 있어서,
   상기 제 1 끼움지지부 및 상기 제 2 끼움지지부의 상기 평탄면은, 대향하여 설치되며,
   상기 제 1 이동부는, 상기 제 1 끼움지지부 및 상기 제 2 끼움지지부 중 적어도 일방을 상기 평탄면과 직교하는 방향으로 이동시키는
   노광 장치.
5. 기판을 노광하는 노광 장치로서,
   광 투과성의 부재로 형성되는 동시에 평탄면을 갖는 투과부를 가지며, 상기 평탄면의 각각에 의해 상기 기판을 끼움지지할 수 있는 제 1 끼움지지부 및 제 2 끼움지지부와,
   상기 제 2 끼움지지부를, 상기 제 1 끼움지지부와 상기 제 2 끼움지지부가 가까워지는 방향 및 멀어지는 방향으로 이동시키는 제 1 이동부와,
   상기 제 1 끼움지지부 측에 위치가 고정된 상태로 배치되며, 제 1 방향으로 광을 조사하여, 상기 제 1 끼움지지부의 상기 평탄면 상에 결상하는 결상 광학계를 갖는, 제 1 노광부와,
   제 2 끼움지지부 측에, 상기 제 1 노광부와 이격하여 배치되며, 상기 제 1 방향과 반대인 제 2 방향으로 광을 조사하여, 상기 제 2 끼움지지부의 상기 평탄면 상에 결상하는 결상 광학계를 갖는, 제 2 노광부와,
   상기 제 1 이동부에 의해 상기 제 2 끼움지지부가 이동됨에 따라 상기 제 1 끼움지지부 및 상기 제 2 끼움지지부의 상기 평탄면의 각각의 사이에 배치된 상기 기판이 상기 평탄면의 각각에 끼움지지된 끼움지지상태에 있어서, 상기 제 1 끼움지지부 및 상기 제 2 끼움지지부와, 상기 제 1 노광부 및 상기 제 2 노광부를, 상기 제 1 끼움지지부 및 상기 제 2 끼움지지부가 상기 제 1 노광부와 상기 제 2 노광부의 사이를 통과하도록 상기 기판의 길이방향으로 상대 이동시키는 제 2 이동부와,
   상기 제 2 노광부를, 상기 제 1 노광부에 가까워지는 방향 및 멀어지는 방향으로 직선적으로 이동시키는 제 3 이동부
   를 구비하고,
   상기 끼움지지상태에서는, 상기 제 1 끼움지지부 및 상기 제 2 끼움지지부는, 상기 제 1 끼움지지부 및 상기 제 2 끼움지지부의 상기 평탄면의 각각과 상기 기판이 접촉하도록 상기 기판을 끼움지지하며,
   상기 제 1 끼움지지부는, 상기 제 1 이동부가 상기 제 2 끼움지지부를 이동시키는 방향에 있어서의 위치가 고정되고,
   상기 노광 장치는, 상기 끼움지지상태에 있어서, 상기 제 1 끼움지지부 및 상기 제 2 끼움지지부의 각각의 상기 평탄면과, 상기 제 1 노광부 및 상기 제 2 노광부 간의 거리를 일정하게 유지하면서, 상기 기판의 길이방향으로 상기 상대 이동을 행하면서, 상기 제 1 노광부 및 상기 제 2 노광부의 각각으로부터 상기 광을 조사하여, 상기 제 1 끼움지지부 및 상기 제 2 끼움지지부의 상기 투과부를 통해 상기 기판의 양면을 동시에 노광하는
   노광 장치.
6. 제 5항에 있어서,
   또한, 상기 끼움지지상태의 상기 기판의 위치 및 형상 중 적어도 일방을 검출하는 검출부를 구비하고,
   상기 제 2 노광부는,
   상기 제 3 이동부에 의해 이동 가능한 지지 부재에 고정되어 있으며,
   상기 검출부에 의한 검출 결과에 따른 상기 노광을 행하고,
   상기 검출부는, 상기 제 2 노광부와 공통의 상기 지지 부재에 고정되어 있는
   노광 장치.
7. 제 5항 또는 제 6항에 있어서,
   또한, 상기 제 1 끼움지지부 및 상기 제 2 끼움지지부의 일방에 탄성 부재에 의해 형성된 시일부로서, 상기 제 1 끼움지지부 및 상기 제 2 끼움지지부의 타방에 맞닿았을 때에, 상기 평탄면의 각각의 사이에 배치된 상기 기판의 주위를 둘러싸며, 상기 기판의 주위를 시일하는 시일부와,
   상기 시일부가, 상기 타방의 상기 평탄면에 맞닿은 상태에 있어서, 상기 시일부의 내측의 공간을 감압하는 감압부
   를 구비한 노광 장치.
8. 제 5항 또는 제 6항에 있어서,
   상기 제 1 끼움지지부 및 상기 제 2 끼움지지부의 상기 평탄면은, 대향하여 설치되며,
   상기 제 1 이동부는, 상기 제 1 끼움지지부 및 상기 제 2 끼움지지부 중 적어도 일방을 상기 평탄면과 직교하는 방향으로 이동시키는
   노광 장치.
9. 노광 장치에 의해 플렉시블한 띠 형상 기판을 노광하는 노광 방법으로서,
   광 투과성의 부재로 형성되는 동시에 평탄면을 갖는 투과부를 가지며, 상기 평탄면의 각각에 의해 상기 기판을 끼움지지할 수 있는 제 1 및 제 2 끼움지지부를 이용하여, 상기 제 1 끼움지지부 및 상기 제 2 끼움지지부의 상기 평탄면의 각각과 상기 띠 형상 기판이 접촉하도록, 상기 띠 형상 기판을 끼움지지하는 제 1 공정과,
   상기 띠 형상 기판을 끼움지지한 상태의 상기 2개의 끼움지지부를, 제 1 방향으로 광을 조사하여 상기 제 1 끼움지지부의 상기 평탄면 상에 결상하는 결상 광학계를 갖는 제 1 노광부와, 상기 제 1 노광부와 이격하여 설치되며 상기 제 1 방향과 반대인 제 2 방향으로 광을 조사하여 상기 제 2 끼움지지부의 상기 평탄면 상에 결상하는 결상 광학계를 갖는 제 2 노광부의 사이를 통과하도록, 또한, 상기 평탄면과 상기 제 1 노광부 및 상기 제 2 노광부의 거리를 일정하게 유지하도록, 상기 기판의 길이방향으로 이동시킴으로써, 상기 띠 형상 기판이 상기 띠 형상 기판의 길이방향으로 보내어지고, 상기 띠 형상 기판의 이송에 맞추어, 상기 제 1 노광부 및 상기 제 2 노광부의 각각으로부터 상기 광을 조사하여, 상기 2개의 끼움지지부의 상기 광 투과성의 부재를 통해 상기 띠 형상 기판의 양면을 동시에 노광하는 제 2 공정
   을 구비한 노광 방법.
10. 노광 장치에 의해 기판을 노광하는 노광 방법으로서,
    광 투과성의 부재로 형성되는 동시에 평탄면을 갖는 제 1 투과부를 갖는 제 1 끼움지지부와, 광 투과성의 부재로 형성되는 동시에 평탄면을 갖는 제 2 투과부를 갖는 제 2 끼움지지부를 구비하는 끼움지지부로서, 상기 제 1 끼움지지부와 상기 제 2 끼움지지부가 가까워지는 방향 및 멀어지는 방향으로 이동 불가능하게 고정된 상기 제 1 끼움지지부와, 상기 가까워지는 방향 및 멀어지는 방향으로 이동 가능하게 구성된 제 2 끼움지지부를 구비하는 끼움지지부를 이용하여, 상기 평탄면의 각각으로 상기 기판을 끼움지지하는 제 1 공정과,
    상기 기판을 끼움지지한 상태에 있어서의 상기 2개의 끼움지지부 중의 상기 제 1 끼움지지부 측에 위치가 고정된 상태로 배치된 제 1 노광부로서, 제 1 방향으로 광을 조사하여, 상기 제 1 끼움지지부의 상기 평탄면 상에 결상하는 결상 광학계를 갖는, 제 1 노광부와 이격하여 설치된 제 2 노광부로서, 상기 제 1 방향과 반대인 제 2 방향으로 광을 조사하여, 상기 제 2 끼움지지부의 상기 평탄면 상에 결상하는 결상 광학계를 갖는, 제 2 노광부를, 상기 기판에 따라, 상기 제 1 노광부에 가까워지는 방향 또는 멀어지는 방향으로 직선적으로 이동시키는 제 2 공정과,
    상기 기판을 끼움지지한 상태의 상기 2개의 끼움지지부와, 상기 제 1 노광부 및 상기 제 2 노광부를, 상기 2개의 끼움지지부가 상기 제 1 노광부와 상기 제 2 노광부의 사이를 통과하도록, 또한, 상기 평탄면과, 상기 제 1 노광부 및 상기 제 2 노광부의 거리를 일정하게 유지하도록, 상기 기판의 길이방향으로 상대 이동시키면서, 상기 제 1 노광부 및 상기 제 2 노광부의 각각으로부터 상기 광을 조사하여, 상기 2개의 끼움지지부의 상기 광 투과성의 부재를 통해 상기 기판의 양면을 동시에 노광하는 제 3 공정
    을 구비한 노광 방법.

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