KR102100032B1 - Gate valve apparatus and substrate treatment system - Google Patents

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도쿄엘렉트론가부시키가이샤
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Abstract

(과제) 기판의 반입출구의 변형을 억제한다.
(해결 수단) 게이트 밸브 장치는 감압 환경하에서 기판에 소정의 처리를 실시하는 처리 용기의 측벽에 형성된 기판의 반입출구에 접속되는 게이트 밸브 장치로서, 반입출구에 연통하는 개구부가 형성된 벽부와, 벽부의 개구부보다 위의 부분인 개구 상부에 형성된 홈과, 처리 용기의 측벽의 반입출구보다 위의 부분인 반입출구 상부에 형성된 홈에 삽입되고, 반입출구 상부의 홈의 상면으로부터 반입출구 상부를 지지하는 키 부재를 갖는다.(Task) Suppression of deformation of the entry / exit of the substrate is suppressed.
(Solution means) A gate valve device is a gate valve device connected to a substrate inlet and outlet formed on a sidewall of a processing container that performs a predetermined treatment on a substrate under a reduced pressure environment, a wall portion having an opening communicating with the inlet and outlet, and a wall portion The key is inserted into the groove formed in the upper portion of the opening above the opening and the groove formed in the upper portion of the inlet and outlet portion of the side wall of the processing container, and supports the upper portion of the inlet and outlet from the upper surface of the groove in the upper portion of the inlet and outlet. Have an absence.

Description

게이트 밸브 장치 및 기판 처리 시스템{GATE VALVE APPARATUS AND SUBSTRATE TREATMENT SYSTEM}Gate valve device and substrate processing system {GATE VALVE APPARATUS AND SUBSTRATE TREATMENT SYSTEM}

본 발명의 여러 측면 및 실시 형태는 게이트 밸브 장치 및 기판 처리 시스템에 관한 것이다.Various aspects and embodiments of the invention relate to gate valve devices and substrate processing systems.

FPD(플랫 패널 디스플레이) 용의 글라스 기판 등의 기판에 대해서 소망의 플라즈마 처리를 행하는 기판 처리 시스템이 알려져 있다. 기판 처리 시스템은 예를 들면, 기판에 대한 플라즈마 처리를 행하는 프로세스 모듈, 기판의 반입 및 반출을 행하는 반송 장치를 수용한 반송 모듈, 및 프로세스 모듈과 반송 모듈의 사이에 마련된 게이트 밸브 장치 등을 구비하고 있다.Background Art A substrate processing system that performs desired plasma processing on a substrate such as a glass substrate for an FPD (Flat Panel Display) is known. The substrate processing system includes, for example, a process module for performing plasma processing on a substrate, a transport module accommodating a transport device for carrying in and out of the substrate, and a gate valve device provided between the process module and the transport module. have.

프로세스 모듈은, 감압 환경하에서 기판에 대한 플라즈마 처리를 행하는 처리 용기를 가지며, 처리 용기 내에는, 기판을 탑재하고 하부 전극으로서 기능하는 탑재대(이하 「서셉터」라고 부른다)와, 서셉터에 대향하는 상부 전극이 배치되어 있다. 또, 서셉터 및 상부 전극의 적어도 한쪽에는 고주파 전원이 접속되고, 서셉터와 상부 전극의 사이의 공간에 고주파 전력이 인가된다.The process module has a processing container that performs plasma processing on the substrate under a reduced pressure environment, and in the processing container, a mounting table (hereinafter referred to as a "susceptor") on which the substrate is mounted and functions as a lower electrode is opposed to the susceptor. The upper electrode is arranged. In addition, a high frequency power supply is connected to at least one of the susceptor and the upper electrode, and high frequency power is applied to the space between the susceptor and the upper electrode.

프로세스 모듈에서는, 서셉터와 상부 전극의 사이의 공간에 공급된 처리 가스를 고주파 전력에 의해 플라즈마화해서 이온 등을 발생시키고, 발생된 이온 등을 기판에 유도해서, 기판에 소망의 플라즈마 처리, 예를 들면 플라즈마 에칭 처리를 실시한다.In the process module, the processing gas supplied to the space between the susceptor and the upper electrode is plasmad by high-frequency power to generate ions and the like, and the generated ions and the like are induced to the substrate, and the desired plasma treatment is performed on the substrate, eg For example, plasma etching treatment is performed.

또, 처리 용기의 측벽에는, 기판의 반입 및 반출에 이용되는 반입출구가 형성된다. 게이트 밸브 장치는 처리 용기의 측벽에 있어서의 반입출구에 접속된다. 그리고, 기판의 반입 및 반출 시에 게이트 밸브 장치의 동작에 의해 반입출구의 개폐가 행해진다.In addition, on the side walls of the processing container, a carry-in and outlet used for carrying and carrying out the substrate is formed. The gate valve device is connected to the inlet and outlet at the side wall of the processing container. Then, the opening and closing of the carrying in / out is performed by the operation of the gate valve device when carrying in and carrying out the substrate.

게이트 밸브 장치는 예를 들면, 프로세스 모듈에 있어서의 기판의 반입출구에 연통하는 개구부가 형성된 벽부를 갖는다. FPD용의 유리 기판의 사이즈는 매우 크기 때문에, 반입출구와 개구부는 정밀도 좋게 위치 맞춤할 필요가 있다. 이 때문에, 벽부에 있어서의 개구부보다 위의 부분(이하 「개구 상부」라고 한다)에 형성된 홈과, 처리 용기의 측벽에 있어서의 반입출구보다 위의 부분(이하 「반입출구 상부」라고 한다)에 형성된 홈에 키 부재가 삽입됨으로써, 게이트 밸브 장치측의 개구부와, 처리 용기측의 반입출구의 위치 맞춤이 행해진다.The gate valve device has, for example, a wall portion in which an opening communicating with the entry / exit of the substrate in the process module is formed. Since the size of the glass substrate for FPD is very large, it is necessary to precisely position the entry and exit and openings. For this reason, the groove formed in the portion above the opening in the wall portion (hereinafter referred to as "opening top") and the portion above the loading and exiting sidewall of the processing container (hereinafter referred to as "the top of loading and exiting"). When the key member is inserted into the formed groove, the alignment of the opening on the side of the gate valve device and the carrying in / out on the processing container side is performed.

일본 특허 제4546460호 공보Japanese Patent No. 4546460 일본 특허 출원 제2009-230870호 공보Japanese Patent Application No. 2009-230870 일본 특허 제3043848호 공보Japanese Patent No. 3043848 일본 특허 출원 제2015-81633호 공보Japanese Patent Application No. 2015-81633

그런데, 게이트 밸브 장치측의 개구부와 처리 용기측의 반입출구의 위치 맞춤에 있어서, 개구 상부의 홈과 반입출구 상부의 홈에 키 부재가 삽입되는 경우, 일반적으로, 개구 상부와 반입출구 상부의 각각에 형성된 홈과 키 부재의 높이 방향의 위치를 조정함으로써, 키 부재가 반입출구 상부의 홈의 하면에 탑재된다. 이것에 의해, 처리 용기의 측벽에 있어서의 반입출구 상부가, 반입출구 상부의 홈의 하면에 탑재된 키 부재를 통해서, 게이트 밸브 장치의 벽부에 있어서의 개구 상부를 지지하게 된다.By the way, when the key member is inserted into the groove at the top of the opening and the groove at the top of the entry / exit in the alignment of the opening on the gate valve device side and the entry / exit on the processing container side, in general, each of the top of the opening and the top of the entry / exit By adjusting the position in the height direction of the groove and the key member formed in the key member, the key member is mounted on the lower surface of the groove above the entry / exit port. Thereby, the upper part of the inlet and outlet in the side wall of the processing container supports the upper part of the opening in the wall portion of the gate valve device through a key member mounted on the lower surface of the groove above the inlet and outlet.

그렇지만, 처리 용기의 측벽에 있어서의 반입출구 상부가 게이트 밸브 장치의 벽부에 있어서의 개구 상부를 지지하는 구조에서는, 처리 용기 내가 감압되는 감압 환경하에 있어서, 대기압에 따른 힘에 더하여 게이트 밸브 장치 자체의 무게에 따른 힘이 반입출구 상부에 부여된다. 이 때문에, 반입출구 상부가 휘어지고, 반입출구가 변형해 버린다. 반입출구의 변형은 처리 용기 내의 기밀성을 저하시키는 요인으로 되어, 바람직하지 않다.However, in a structure in which the upper portion of the inlet / outlet on the side wall of the processing container supports the upper portion of the opening in the wall portion of the gate valve device, in a reduced pressure environment in which the processing container is depressurized, in addition to the force due to atmospheric pressure, the gate valve device itself The force according to the weight is applied to the top of the entry / exit. For this reason, the upper part of the entry / exit is bent, and the entry / exit is deformed. Deformation of the entry / exit is a factor that deteriorates the airtightness in the processing container and is not preferable.

특히, 근래에는, 처리 용기 내에 발생하는 플라즈마의 균일성을 향상하는 관점에서, 처리 용기 내에 있어 서셉터와 상부 전극의 간격이 짧아지고, 또한 처리 용기의 측벽에 있어서의 반입출구 상부의 두께가 얇아지는 경향이 있다. 처리 용기의 측벽에 있어서의 반입출구 상부의 두께가 얇아질수록, 반입출구 상부의 휘어짐이 증대하기 때문에, 반입출구의 변형이 더 증대해 버릴 우려가 있다.Particularly, in recent years, from the viewpoint of improving the uniformity of plasma generated in the processing container, the distance between the susceptor and the upper electrode in the processing container is short, and the thickness of the upper part of the inlet / outlet on the side wall of the processing container is thin. Tend to lose. As the thickness of the upper portion of the inlet / outlet on the side wall of the processing container becomes thinner, the warpage of the upper portion of the inlet / outlet increases, so that the deformation of the inlet / outlet may increase.

개시하는 게이트 밸브 장치는, 1개의 실시 형태에 있어서, 감압 환경하에서 기판에 소정의 처리를 실시하는 처리 용기의 측벽에 형성된 상기 기판의 반입출구에 접속되는 게이트 밸브 장치로서, 상기 반입출구에 연통하는 개구부가 형성된 벽부와, 상기 벽부의 상기 개구부보다 위의 부분인 개구 상부에 형성된 홈과, 상기 처리 용기의 측벽의 상기 반입출구보다 위의 부분인 반입출구 상부에 형성된 홈에 삽입되고, 상기 반입출구 상부의 상기 홈의 상면으로부터 상기 반입출구 상부를 지지하는 키 부재를 갖는다.The gate valve device disclosed in one embodiment is a gate valve device that is connected to the inlet and outlet of the substrate formed on the sidewall of a processing container that performs a predetermined process on the substrate under a reduced pressure environment, and communicates with the inlet and outlet. The opening is formed in a wall portion, a groove formed in an upper portion of the opening portion of the wall portion above the opening portion, and a groove formed in an upper portion of the inlet / outlet portion of the side wall of the processing container, and the carry-in / out port It has a key member that supports the upper portion of the entry / exit port from the upper surface of the upper groove.

개시하는 게이트 밸브 장치의 일 태양에 따르면, 기판의 반입출구의 변형을 억제할 수 있다고 하는 효과를 갖는다.According to one aspect of the disclosed gate valve device, there is an effect that it is possible to suppress deformation of the entry / exit of the substrate.

도 1은 본 실시 형태에 따른 기판 처리 시스템을 개략적으로 가리키는 사시도이다.
도 2는 본 실시 형태에 따른 플라즈마 에칭 장치의 개략 구성을 나타내는 단면도이다.
도 3은 본 실시 형태에 따른 게이트 밸브 장치의 구성을 나타내는 단면도이다.
도 4는 고정 부재의 배치를 설명하기 위한 도면이다.1 is a perspective view schematically showing a substrate processing system according to the present embodiment.
2 is a cross-sectional view showing a schematic configuration of a plasma etching apparatus according to the present embodiment.
3 is a cross-sectional view showing the configuration of a gate valve device according to the present embodiment.
4 is a view for explaining the arrangement of the fixing member.

이하, 도면을 참조하여 본원의 개시하는 게이트 밸브 장치 및 기판 처리 시스템의 실시 형태에 대해 상세하게 설명한다. 또한, 각 도면에 있어 동일 또는 상당한 부분에 대해서는 동일한 부호를 부여한다.Hereinafter, embodiments of the gate valve device and the substrate processing system disclosed herein will be described in detail with reference to the drawings. In addition, the same code | symbol is attached | subjected to the same or significant part in each figure.

＜기판 처리 시스템＞<Substrate processing system>

도 1은 본 실시 형태에 따른 기판 처리 시스템(100)을 개략적으로 나타내는 사시도이다. 기판 처리 시스템(100)은 예를 들면 FPD용의 유리 기판(이하, 단순히 「기판」이라고 한다)(S)에 대해서 플라즈마 처리를 행한다. 또한, FPD로서는, 액정 디스플레이(LCD), 전계 발광(Electro Luminescence ; EL) 디스플레이, 플라즈마 디스플레이 패널(PDP) 등이 예시된다.1 is a perspective view schematically showing a substrate processing system 100 according to the present embodiment. The substrate processing system 100 performs plasma processing on the glass substrate for FPD (hereinafter simply referred to as "substrate") S, for example. Moreover, a liquid crystal display (LCD), an electroluminescence (EL) display, a plasma display panel (PDP), etc. are illustrated as FPD.

기판 처리 시스템(100)은 +자형으로 연결된 5개의 진공 모듈을 구비하고 있다. 구체적으로는, 기판 처리 시스템(100)은 5개의 진공 모듈로서, 3개의 프로세스 모듈(101a, 101b, 101c)과, 반송 모듈(103)과, 로드록 모듈(105)을 구비하고 있다.The substrate processing system 100 is provided with five vacuum modules connected in a + shape. Specifically, the substrate processing system 100 includes five vacuum modules, and includes three process modules 101a, 101b, 101c, a transfer module 103, and a load lock module 105.

프로세스 모듈(101a, 101b, 101c)은 그 내부 공간을 소정의 감압 분위기(진공 상태)로 유지할 수 있도록 구성되어 있다. 프로세스 모듈(101a, 101b, 101c) 내에는, 각각, 기판(S)을 탑재하는 탑재대(도시 생략)가 배치되어 있다. 프로세스 모듈(101a, 101b, 101c)에서는, 기판(S)을 탑재대에 탑재한 상태에서, 기판(S)에 대해서, 예를 들면 감압 환경하에서 에칭 처리, 애싱 처리, 성막 처리 등의 플라즈마 처리가 행해진다.The process modules 101a, 101b, and 101c are configured to maintain their internal spaces in a predetermined reduced pressure atmosphere (vacuum state). In the process modules 101a, 101b, and 101c, a mounting table (not shown) on which the substrate S is mounted is disposed, respectively. In the process modules 101a, 101b, and 101c, in the state where the substrate S is mounted on a mounting table, plasma processing such as etching treatment, ashing treatment, and film forming treatment is performed on the substrate S under a reduced pressure environment, for example. Is done.

반송 모듈(103)은 프로세스 모듈(101a, 101b, 101c)과 마찬가지로 소정의 감압 분위기로 유지할 수 있도록 구성되어 있다. 반송 모듈(103) 내에는, 도시하지 않은 반송 장치가 마련되어 있다. 이 반송 장치에 의해, 프로세스 모듈(101a, 101b, 101c)과 로드록 모듈(105)의 사이에서 기판(S)의 반송이 행해진다.The conveying module 103 is configured to be maintained in a predetermined pressure-reduced atmosphere like the process modules 101a, 101b, and 101c. A conveying device (not shown) is provided in the conveying module 103. The substrate S is conveyed between the process modules 101a, 101b, 101c and the load lock module 105 by this conveying device.

로드록 모듈(105)은 프로세스 모듈(101a, 101b, 101c) 및 반송 모듈(103)과 마찬가지로 소정의 감압 분위기로 유지할 수 있도록 구성되어 있다. 로드록 모듈(105)은 감압 분위기의 반송 모듈(103)과 외부의 대기 분위기의 사이에서 기판(S)의 수수를 행하기 위한 것이다.The load lock module 105 is configured to be maintained in a predetermined reduced pressure atmosphere, similarly to the process modules 101a, 101b, 101c and the transfer module 103. The load lock module 105 is for transferring the board | substrate S between the conveyance module 103 of a pressure-reduced atmosphere and an external atmospheric atmosphere.

기판 처리 시스템(100)은 5개의 게이트 밸브 장치(110a, 110b, 110c, 110d, 110e)를 더 구비하고 있다. 게이트 밸브 장치(110a, 110b, 110c)는 각각 반송 모듈(103)과 프로세스 모듈(101a, 101b, 101c)의 사이에 배치되어 있다. 게이트 밸브 장치(110d)는 반송 모듈(103)과 로드록 모듈(105)의 사이에 배치되어 있다. 게이트 밸브 장치(110e)는 로드록 모듈(105)에 있어서의 게이트 밸브 장치(110d)와는 반대 측에 배치되어 있다. 게이트 밸브 장치(110a~110e)는 모두, 인접하는 2개의 공간을 구획하는 벽에 마련된 개구부를 개폐하는 기능을 가지고 있다.The substrate processing system 100 further includes five gate valve devices 110a, 110b, 110c, 110d, and 110e. The gate valve devices 110a, 110b, and 110c are disposed between the transfer module 103 and the process modules 101a, 101b, 101c, respectively. The gate valve device 110d is disposed between the transfer module 103 and the load lock module 105. The gate valve device 110e is disposed on the opposite side to the gate valve device 110d in the load lock module 105. All of the gate valve devices 110a to 110e have a function of opening and closing an opening provided in a wall that divides two adjacent spaces.

게이트 밸브 장치(110a~110d)는 닫힌 상태로 각 모듈을 기밀하게 시일함과 아울러, 열린 상태로 모듈간을 연통시켜 기판(S)의 이송을 가능하게 한다. 게이트 밸브 장치(110e)는 닫힌 상태에서 로드록 모듈(105)의 기밀성을 유지함과 아울러, 열린 상태에서 로드록 모듈(105)의 내부와 외부의 사이에서 기판(S)의 이송을 가능하게 한다.The gate valve devices 110a to 110d seal each module tightly in a closed state, and allow the transfer of the substrate S by communicating between the modules in an open state. The gate valve device 110e maintains the airtightness of the load-lock module 105 in a closed state, and enables the transfer of the substrate S between the inside and the outside of the load-lock module 105 in an open state.

기판 처리 시스템(100)은 로드록 모듈(105)과의 사이에서 게이트 밸브 장치(110e)를 끼우는 위치에 배치된 반송 장치(125)를 더 구비하고 있다. 반송 장치(125)는 기판 유지 기구로서의 포크(127)와, 포크(127)를 진출, 퇴피 및 선회 가능하게 지지하는 지지부(129)와, 이 지지부(129)를 구동하는 구동 기구를 구비한 구동부(131)를 가지고 있다.The substrate processing system 100 further includes a conveyance device 125 disposed at a position where the gate valve device 110e is fitted between the loadlock module 105. The conveying device 125 includes a fork 127 as a substrate holding mechanism, a support portion 129 for supporting the fork 127 to advance, retract, and pivot, and a drive portion provided with a drive mechanism for driving the support portion 129 (131).

기판 처리 시스템(100)은 구동부(131)의 양측에 배치된 카세트 인덱서(cassette indexer)(121a, 121b)로 각각 카세트 인덱서(121a, 121b) 위에 탑재된 카세트(C1, C2)를 더 구비하고 있다. 카세트 인덱서(121a, 121b)는 각각 카세트(C1, C2)를 승강하는 승강 기구부(123a, 123b)를 가지고 있다. 각 카세트(C1, C2) 내에는, 기판(S)을 상하로 간격을 두고 다단으로 배치할 수 있도록 되어 있다. 반송 장치(125)의 포크(127)는 카세트(C1, C2)의 사이에 배치되어 있다.The substrate processing system 100 further includes cassettes C1 and C2 mounted on the cassette indexers 121a and 121b, respectively, with cassette indexers 121a and 121b disposed on both sides of the driving unit 131. . The cassette indexers 121a and 121b have elevation mechanism portions 123a and 123b for elevating and raising the cassettes C1 and C2, respectively. In each of the cassettes C1 and C2, the substrates S can be arranged in multiple stages with vertical spacing. The fork 127 of the conveying apparatus 125 is arrange | positioned between the cassettes C1 and C2.

또, 도 1에서는 도시하지 않지만, 기판 처리 시스템(100)은 기판 처리 시스템(100)에 대해 제어가 필요한 구성 요소를 제어하는 제어부를 더 구비하고 있다. 제어부는 예를 들면, CPU를 구비한 컨트롤러와, 컨트롤러에 접속된 유저 인터페이스와, 컨트롤러에 접속된 기억부를 가지고 있다. 컨트롤러는 기판 처리 시스템(100)에 대해 제어가 필요한 구성 요소를 통괄해서 제어한다. 유저 인터페이스는, 공정관리자가 기판 처리 시스템(100)을 관리하기 위해서 커멘드의 입력 조작 등을 행하는 키보드나, 기판 처리 시스템(100)의 가동 상황을 가시화해서 표시하는 디스플레이 등으로 구성된다. 기억부에는, 기판 처리 시스템(100)에서 실행되는 각종 처리를 컨트롤러의 제어로 실현하기 위한 제어 프로그램(소프트웨어)이나 처리 조건 데이터 등이 기록된 레시피가 보존되어 있다. 그리고, 필요에 따라서, 유저 인터페이스로부터의 지시 등으로 임의의 레시피를 기억부로부터 호출해서 컨트롤러로 하여금 실행하게 함으로써, 컨트롤러의 제어하에서, 기판 처리 시스템(100)에서의 소망의 처리가 행해진다.In addition, although not illustrated in FIG. 1, the substrate processing system 100 further includes a control unit that controls components required to be controlled with respect to the substrate processing system 100. The control unit has, for example, a controller having a CPU, a user interface connected to the controller, and a storage unit connected to the controller. The controller comprehensively controls components that require control of the substrate processing system 100. The user interface includes a keyboard for a process manager to input commands and the like to manage the substrate processing system 100, a display to visualize and display the operation status of the substrate processing system 100, and the like. In the storage unit, a recipe in which a control program (software) for realizing various processes executed in the substrate processing system 100 under control of the controller, processing condition data, and the like is stored. Then, if necessary, the desired processing in the substrate processing system 100 is performed under the control of the controller by invoking an arbitrary recipe from the storage unit with an instruction from the user interface or the like to cause the controller to execute.

상기의 제어 프로그램이나 처리 조건 데이터 등의 레시피는, 컴퓨터 판독 가능한 기억 매체, 예를 들면 CD-ROM, 하드 디스크, 플렉시블 디스크, 플래시 메모리 등에 저장된 상태의 것을 이용할 수 있다. 또는, 다른 장치로부터, 예를 들면 전용회선을 통해서 수시 전송시켜 온라인으로 이용하거나 하는 것도 가능하다.As the recipes for the control program and processing condition data, a computer readable storage medium such as a CD-ROM, a hard disk, a flexible disk, or a flash memory can be used. Alternatively, it is also possible to transmit it from another device, for example, through a dedicated line, and use it online.

＜플라즈마 처리 장치＞<Plasma processing equipment>

다음으로, 도 1에 나타낸 프로세스 모듈(101a, 101b, 101c)의 구성을 설명한다. 본 실시 형태에서는, 프로세스 모듈(101a, 101b, 101c)이 모두 플라즈마 에칭 장치(101A)인 경우를 예로 들어 설명하지만, 이것으로는 한정되지 않는다.Next, the configuration of the process modules 101a, 101b, 101c shown in Fig. 1 will be described. In the present embodiment, the case where all of the process modules 101a, 101b, 101c are plasma etching apparatuses 101A will be described as an example, but it is not limited to this.

도 2는 본 실시 형태에 따른 플라즈마 에칭 장치(101A)의 개략 구성을 나타내는 단면도이다. 플라즈마 에칭 장치(101A)는 기판(S)에 대해서 에칭을 행하는 용량 결합형의 평행 평판 플라즈마 에칭 장치로서 구성되어 있다.2 is a cross-sectional view showing a schematic configuration of a plasma etching apparatus 101A according to the present embodiment. The plasma etching apparatus 101A is configured as a capacitively coupled parallel flat plate plasma etching apparatus that performs etching on the substrate S.

플라즈마 에칭 장치(101A)는 내측이 양극 산화 처리(알루마이트 처리)된 알루미늄으로 이루어지는 각통 형상으로 성형된 처리 용기(1)를 가지고 있다. 처리 용기(1)는 저벽(1a), 4개의 측벽(1b)(2개만 도시) 및 덮개(1c)에 의해 구성되어 있다. 처리 용기(1)는 전기적으로 접지되어 있다. 측벽(1b)에는, 기판(S)의 반입 및 반출에 이용되는 반입출구(1b1)와, 반입출구(1b1)를 개폐하는 게이트 밸브 장치(110)가 마련되어 있다. 또한, 게이트 밸브 장치(110)는 도 1에 나타낸 게이트 밸브 장치(110a, 110b, 110c)의 어느 하나이어도 좋다.The plasma etching apparatus 101A has a processing container 1 molded into a cylindrical shape made of aluminum with anodized inside (anodized). The processing container 1 is composed of a bottom wall 1a, four side walls 1b (only two are shown), and a cover 1c. The processing container 1 is electrically grounded. The side wall 1b is provided with a carry-in and outlet 1b1 used for carrying in and taking out the substrate S, and a gate valve device 110 that opens and closes the carry-in and outlet 1b1. Further, the gate valve device 110 may be any of the gate valve devices 110a, 110b, and 110c shown in FIG. 1.

덮개(1c)는 도시하지 않는 개폐 기구에 의해, 측벽(1b)에 대해서 개폐 가능하게 구성되어 있다. 덮개(1c)를 닫은 상태에서 덮개(1c)와 각 측벽(1b)의 접합 부분은 O 링(3)에 의해 시일되어, 처리 용기(1) 내의 기밀성이 유지되고 있다.The lid 1c is configured to be opened and closed with respect to the side wall 1b by an opening / closing mechanism (not shown). In the state in which the lid 1c is closed, the bonding portion between the lid 1c and each side wall 1b is sealed by the O-ring 3 to maintain airtightness in the processing container 1.

처리 용기(1) 내의 저부에는, 프레임 형상의 절연 부재(9)가 배치되어 있다. 절연 부재(9) 위에는, 기판(S)을 탑재 가능한 탑재대인 서셉터(11)가 마련되어 있다. 하부 전극인 서셉터(11)는 기재(12)를 구비하고 있다. 기재(12)는 예를 들면 알루미늄이나 스테인리스강(SUS) 등의 도전성 재료로 형성되어 있다. 기재(12)는 절연 부재(9) 위에 배치되고, 양 부재의 접합 부분에는 O 링 등의 시일 부재(13)가 배치되어 기밀성이 유지되고 있다. 절연 부재(9)와 처리 용기(1)의 저벽(1a)의 사이도, O 링 등의 시일 부재(14)에 의해 기밀성이 유지되고 있다. 기재(12)의 측부 외주는 절연 부재(15)에 의해 둘러싸여 있다. 이것에 의해, 서셉터(11)의 측면의 절연성이 확보되어, 플라즈마 처리시의 이상 방전이 방지되고 있다.A frame-shaped insulating member 9 is disposed at the bottom of the processing container 1. On the insulating member 9, a susceptor 11, which is a mounting base on which the substrate S can be mounted, is provided. The lower electrode, the susceptor 11, is provided with a substrate 12. The base material 12 is made of, for example, a conductive material such as aluminum or stainless steel (SUS). The base material 12 is disposed on the insulating member 9, and a sealing member 13 such as an O-ring is disposed at the joint portion of both members to maintain airtightness. The airtightness between the insulating member 9 and the bottom wall 1a of the processing container 1 is also maintained by a sealing member 14 such as an O-ring. The outer periphery of the base 12 is surrounded by an insulating member 15. Thereby, the insulating property of the side surface of the susceptor 11 is ensured, and abnormal discharge during plasma processing is prevented.

서셉터(11)의 위쪽에는, 이 서셉터(11)와 평행하게, 또한 대향해서 상부 전극으로서 기능하는 샤워 헤드(31)가 마련되어 있다. 샤워 헤드(31)는 처리 용기(1)의 상부의 덮개(1c)에 지지되어 있다. 샤워 헤드(31)는 중공 형상을 이루고, 그 내부에는, 가스 확산 공간(33)이 마련되어 있다. 또, 샤워 헤드(31)의 하면(서셉터(11)와의 대향면)에는, 처리 가스를 토출하는 복수의 가스 토출 구멍(35)이 형성되어 있다. 샤워 헤드(31)는 전기적으로 접지되어 있고, 서셉터(11)와 함께 한 쌍의 평행 평판 전극을 구성하고 있다.Above the susceptor 11 is provided a shower head 31 that functions as an upper electrode in parallel and opposite to the susceptor 11. The shower head 31 is supported by the top cover 1c of the processing container 1. The shower head 31 has a hollow shape, and a gas diffusion space 33 is provided therein. Further, a plurality of gas discharge holes 35 for discharging the processing gas are formed on the lower surface of the shower head 31 (opposite to the susceptor 11). The shower head 31 is electrically grounded, and together with the susceptor 11 constitutes a pair of parallel plate electrodes.

샤워 헤드(31)의 상부 중앙 부근에는, 가스 도입구(37)가 마련되어 있다. 가스 도입구(37)에는, 처리 가스 공급관(39)이 접속되어 있다. 처리 가스 공급관(39)에는, 2개의 밸브(41, 41) 및 매스 플로우 컨트롤러(MFC)(43)를 통해서, 에칭을 위한 처리 가스를 공급하는 가스 공급원(45)이 접속되어 있다. 처리 가스로서는, 예를 들면 할로겐계 가스나 O2 가스외, Ar 가스 등의 희가스 등을 이용할 수 있다.A gas introduction port 37 is provided in the vicinity of the upper center of the shower head 31. The process gas supply pipe 39 is connected to the gas introduction port 37. A gas supply source 45 for supplying a processing gas for etching is connected to the processing gas supply pipe 39 through two valves 41 and 41 and a mass flow controller (MFC) 43. As the processing gas, for example, a halogen gas, an O 2 gas, or a rare gas such as Ar gas can be used.

처리 용기(1) 내의 저벽(1a)에는, 복수의 개소(예를 들면 8개소)에 관통한 배기용 개구(51)가 형성되어 있다. 각 배기용 개구(51)에는, 각각 배기관(53)이 접속되어 있다. 각 배기관(53)은 그 단부에 플랜지부(53a)를 가지고 있고, 플랜지부(53a)와 저벽(1a)의 사이에 O 링(도시 생략)을 개재시킨 상태로 고정되어 있다. 각 배기관(53)에는, APC 밸브(55) 및 배기 장치(57)가 접속되어 있다.The bottom wall 1a in the processing container 1 is provided with an opening 51 for exhaust that has penetrated a plurality of places (for example, eight places). An exhaust pipe 53 is connected to each of the exhaust openings 51. Each exhaust pipe 53 has a flange portion 53a at its end, and is fixed in a state with an O-ring (not shown) between the flange portion 53a and the bottom wall 1a. An APC valve 55 and an exhaust device 57 are connected to each exhaust pipe 53.

플라즈마 에칭 장치(101A)에는, 처리 용기(1) 내의 압력을 계측하는 압력계(61)가 마련되어 있다. 압력계(61)는 제어부와 접속되어 있고, 처리 용기(1) 내의 압력의 계측 결과를 실시간으로 제어부에 제공한다.The plasma etching apparatus 101A is provided with a pressure gauge 61 that measures the pressure in the processing container 1. The pressure gauge 61 is connected to the control unit, and provides the control result in real time with the measurement result of the pressure in the processing container 1.

서셉터(11)의 기재(12)에는, 급전선(71)이 접속되어 있다. 이 급전선(71)에는, 매칭 박스(M.B.)(73)를 통해서 고주파 전원(75)이 접속되어 있다. 이것에 의해, 고주파 전원(75)으로부터 예를 들면 13.56MHz의 고주파 전력이 하부 전극으로서의 서셉터(11)에 공급된다. 또한, 급전선(71)은 저벽(1a)에 형성된 관통 개구부로서의 급전용 개구(77)를 통해서 처리 용기(1) 내에 도입되어 있다.The power supply line 71 is connected to the base material 12 of the susceptor 11. A high-frequency power supply 75 is connected to the power supply line 71 through a matching box (M.B.) 73. Thereby, the high frequency power of 13.56 MHz, for example, is supplied from the high frequency power supply 75 to the susceptor 11 as a lower electrode. In addition, the feeder line 71 is introduced into the processing container 1 through the opening 77 for feeding as a through opening formed in the bottom wall 1a.

플라즈마 에칭 장치(101A)의 각 구성부는 제어부에 접속되어 제어되는 구성으로 되어 있다.Each component of the plasma etching apparatus 101A is configured to be connected to and controlled by a control unit.

다음으로, 이상과 같이 구성되는 플라즈마 에칭 장치(101A)에 있어서의 처리 동작에 대해 설명한다. 우선, 게이트 밸브 장치(110)가 개방된 상태로 반입출구(1b1)를 통해서, 피처리체인 기판(S)이, 도시하지 않는 반송 장치에 의해 반송 모듈(103)로부터 처리 용기(1) 내로 반입되어 서셉터(11)에 전달된다. 그 후, 게이트 밸브 장치(110)가 닫히고, 배기 장치(57)에 의해 처리 용기(1) 내가 소정의 진공도까지 진공된다.Next, the processing operation in the plasma etching apparatus 101A configured as described above will be described. First, the substrate S, which is the object to be processed, is carried into the processing container 1 from the transfer module 103 by a transfer device (not shown) through the transfer outlet 1b1 with the gate valve device 110 open. It is delivered to the susceptor 11. Thereafter, the gate valve device 110 is closed, and the processing container 1 is evacuated to a predetermined degree of vacuum by the exhaust device 57.

다음으로, 밸브(41)를 개방해서, 처리 가스를 가스 공급원(45)으로부터 처리 가스 공급관(39), 가스 도입구(37)를 통해서 샤워 헤드(31)의 가스 확산 공간(33)에 도입한다. 이 때, 매스 플로우 컨트롤러(43)에 의해 처리 가스의 유량 제어가 행해진다. 가스 확산 공간(33)에 도입된 처리 가스는 추가로 복수의 가스 토출 구멍(35)를 통해서 서셉터(11) 상에 탑재된 기판(S)에 대해서 균일하게 토출되고, 처리 용기(1) 내의 압력이 소정의 값으로 유지된다. 이것에 의해, 처리 용기(1) 내에 감압 환경이 형성된다.Next, the valve 41 is opened, and the processing gas is introduced from the gas supply source 45 into the gas diffusion space 33 of the shower head 31 through the processing gas supply pipe 39 and the gas introduction port 37. . At this time, the flow rate of the processing gas is controlled by the mass flow controller 43. The processing gas introduced into the gas diffusion space 33 is further uniformly discharged to the substrate S mounted on the susceptor 11 through a plurality of gas discharge holes 35, and is disposed in the processing container 1 The pressure is maintained at a predetermined value. Thereby, a pressure-reduced environment is formed in the processing container 1.

감압 환경하에서 고주파 전원(75)으로부터 고주파 전력이 매칭 박스(73)를 통해서 서셉터(11)에 인가된다. 이것에 의해, 하부 전극으로서의 서셉터(11)와 상부 전극으로서의 샤워 헤드(31)의 사이에 고주파 전계가 발생하고, 처리 가스가 해리해서 플라즈마화된다. 이 플라즈마에 의해, 기판(S)에 에칭 처리가 실시된다.Under the reduced pressure environment, high frequency power is applied from the high frequency power supply 75 to the susceptor 11 through the matching box 73. As a result, a high-frequency electric field is generated between the susceptor 11 as the lower electrode and the shower head 31 as the upper electrode, and the processing gas is dissociated to be plasmad. The plasma S is etched by this plasma.

에칭 처리를 실시한 후, 고주파 전원(75)으로부터의 고주파 전력의 인가를 정지하고, 가스 도입을 정지한 후, 처리 용기(1) 내를 소정의 압력까지 감압한다. 다음으로, 게이트 밸브 장치(110)를 개방하고, 서셉터(11)로부터 도시하지 않는 반송 장치에 기판(S)을 주고 받고, 처리 용기(1)의 반입출구(1b1)로부터 반송 모듈(103)에 기판(S)을 반출한다. 이상의 조작에 의해, 1매의 기판(S)에 대한 플라즈마 에칭 처리가 종료된다.After the etching treatment is performed, application of the high frequency electric power from the high frequency power supply 75 is stopped, gas introduction is stopped, and the inside of the processing container 1 is reduced to a predetermined pressure. Next, the gate valve device 110 is opened, the substrate S is transferred to and from the susceptor 11 to a conveying device (not shown), and the conveying module 103 is transferred from the inlet / outlet 1b1 of the processing container 1 The substrate S is taken out. By the above operation, the plasma etching process for one substrate S is completed.

＜게이트 밸브 장치＞<Gate valve device>

다음으로, 도 3을 참조해서, 본 실시 형태에 따른 게이트 밸브 장치(110)의 구성에 대해 자세하게 설명한다. 도 3은 본 실시 형태에 따른 게이트 밸브 장치(110)의 구성을 나타내는 단면도이다.Next, with reference to FIG. 3, the structure of the gate valve apparatus 110 which concerns on this embodiment is demonstrated in detail. 3 is a cross-sectional view showing the configuration of the gate valve device 110 according to the present embodiment.

게이트 밸브 장치(110)는 도 1에 나타낸 기판 처리 시스템(100)에 있어서의 5개의 게이트 밸브 장치(110a, 110b, 110c, 110d, 110e)의 어느 것에도 적용할 수 있다. 게이트 밸브 장치(110)는 특히, 프로세스 모듈(101a, 101b, 101c)과 반송 모듈(103)의 사이에 마련된 게이트 밸브 장치(110a, 110b, 110c)에 적용되는 것이 바람직하다. 그래서, 이하의 설명에서는, 게이트 밸브 장치(110)가 게이트 밸브 장치(110a, 110b, 110c)에 적용되는 경우를 예로 들어 설명한다. 게이트 밸브 장치(110)는 프로세스 모듈(101)과 반송 모듈(103)의 사이에 배치되어 있다. 프로세스 모듈(101)은 프로세스 모듈(101a, 101b, 101c)의 어느 하나, 즉, 도 2에 나타낸 플라즈마 에칭 장치(101A)에 상당한다. 또한, 도 3에서는, 반송 모듈(103)의 도시가 생략되어 있다.The gate valve device 110 can be applied to any of the five gate valve devices 110a, 110b, 110c, 110d, and 110e in the substrate processing system 100 shown in FIG. 1. The gate valve device 110 is particularly preferably applied to the gate valve devices 110a, 110b, 110c provided between the process modules 101a, 101b, 101c and the transfer module 103. So, in the following description, the case where the gate valve apparatus 110 is applied to the gate valve apparatus 110a, 110b, 110c is demonstrated as an example. The gate valve device 110 is disposed between the process module 101 and the transfer module 103. The process module 101 corresponds to any one of the process modules 101a, 101b, 101c, that is, the plasma etching apparatus 101A shown in FIG. 2. In addition, in FIG. 3, illustration of the conveyance module 103 is omitted.

프로세스 모듈(101)은 도 3에 나타내는 바와 같이, 프로세스 모듈(101) 내의 공간을 획정하는 처리 용기(1)를 구비하고 있다. 상술한 대로, 처리 용기(1)는 게이트 밸브 장치(110)에 인접하는 측벽(1b)을 구비하고 있다. 측벽(1b)은 프로세스 모듈(101) 내의 공간과 그것에 인접하는 게이트 밸브 장치(110) 측의 공간을 구획하고 있다. 측벽(1b)에는, 프로세스 모듈(101)과 반송 모듈(103)의 사이에서 기판(S)의 이송을 가능하게 하는 반입출구(1b1)가 마련되어 있다. 측벽(1b)은 게이트 밸브 장치(110)를 향하는 면(1b2)을 가지고 있다.As shown in FIG. 3, the process module 101 is provided with the processing container 1 which defines the space in the process module 101. As shown in FIG. As described above, the processing container 1 has a side wall 1b adjacent to the gate valve device 110. The side wall 1b defines a space in the process module 101 and a space on the side of the gate valve device 110 adjacent to it. The side wall 1b is provided with a carry-in / out port 1b1 that enables the transfer of the substrate S between the process module 101 and the transfer module 103. The side wall 1b has a surface 1b2 facing the gate valve device 110.

또, 측벽(1b)의 반입출구(1b1)보다 위의 부분(이하 「반입출구 상부」라고 부른다)(1b3)에는, 후술되는 게이트 밸브 장치(110) 측의 개구부(201b)와 반입출구(1b1)의 위치 맞춤에 이용되는 홈(1b4)이 형성되어 있다.The opening 201b on the side of the gate valve device 110, which will be described later (hereinafter referred to as "the upper portion of the entry / exit") 1b3 above the entry / exit 1b1 of the side wall 1b, and the entry / exit 1b1 ) A groove 1b4 used for alignment is formed.

게이트 밸브 장치(110)는 프로세스 모듈(101)과 반송 모듈(103)의 사이에 배치된 하우징(201)을 갖는다. 하우징(201)은 저부와, 천정부와, 저부와 천정부를 연결하고 또한 처리 용기(1)에 인접하는 벽부(201a)를 포함하는 직사각형의 통 형상으로 형성되어 있다. 하우징(201)의 처리 용기(1) 측의 벽부(201a)에는, 개구부(201b)가 형성된다. 개구부(201b)는 처리 용기(1)의 측벽(1b)에 있어서의 반입출구(1b1)에 연통한다. 한편, 하우징(201)의 반송 모듈(103) 측의 측부는 개구되어 있고, 반송 모듈(103)의 내부에 접속되어 있다.The gate valve device 110 has a housing 201 disposed between the process module 101 and the transfer module 103. The housing 201 is formed in a rectangular cylindrical shape including a bottom portion, a ceiling portion, and a wall portion 201a connecting the bottom portion and the ceiling portion and adjacent to the processing container 1. An opening 201b is formed in the wall portion 201a of the housing 201 on the processing container 1 side. The opening 201b communicates with the carry-in / out 1b1 in the side wall 1b of the processing container 1. On the other hand, the side of the housing 201 on the side of the conveying module 103 is open, and is connected to the inside of the conveying module 103.

또, 하우징(201) 내에는, 도시하지 않는 밸브체 및 밸브체 이동 기구가 마련되어 있고, 밸브체 이동 기구는 폐색 위치와 퇴피 위치의 사이에서 밸브체를 이동시킨다. 밸브체 이동 기구에 의해 밸브체가 폐색 위치로 이동된 경우, 밸브체에 의해 개구부(201b)가 폐색되고, 밸브체 이동 기구에 의해 밸브체가 퇴피 위치로 이동된 경우, 개구부(201b)가 해방된다.Further, a valve body and a valve body movement mechanism (not shown) are provided in the housing 201, and the valve body movement mechanism moves the valve body between the closed position and the evacuation position. When the valve body is moved to the closed position by the valve body moving mechanism, the opening 201b is closed by the valve body, and when the valve body is moved to the retracted position by the valve body moving mechanism, the opening 201b is released.

또, 벽부(201a)의 개구부(201b)보다 위의 부분(이하 「개구 상부」라고 부른다)(201c)에는, 반입출구 상부(1b3)의 홈(1b4)에 대응하는 홈(201d)이 형성되어 있다. 개구 상부(201c)의 홈(201d)에는, 키 부재(251)가 삽입되어 고정된다. 키 부재(251)의 고정은 예를 들면 감합에 의해 행해진다. 개구 상부(201c)의 홈(201d)에 고정된 키 부재(251)는 개구부(201b)와 반입출구(1b1)의 위치 맞춤이 행해질 때에, 반입출구 상부(1b3)의 홈(1b4)에 삽입되고, 반입출구 상부(1b3)의 홈(1b4)의 상면으로부터 반입출구 상부(1b3)를 지지한다. 그 때, 반입출구 상부(1b3)의 홈(1b4)의 위쪽의 면을 키 부재(251)의 상면이 지지하고, 또한, 키 부재(251)의 하면을 개구 상부(201c)의 홈(201d)의 아래쪽의 면이 지지하는 위치 관계가 성립한다. 환언하면, 반입출구 상부(1b3)의 홈(1b4)을 통해서 처리 용기(1)가 키 부재(251)에 탑재되고, 또한 부재(251)와 홈(201d)을 통해서 개구 상부(201c)에 탑재된다.Further, a groove 201d corresponding to the groove 1b4 of the upper portion 1b3 of the entry / exit port is formed in the portion 201c above the opening portion 201b of the wall portion 201a (hereinafter referred to as "opening top"). have. The key member 251 is inserted into and fixed to the groove 201d of the upper portion of the opening 201c. The key member 251 is fixed, for example, by fitting. The key member 251 fixed to the groove 201d of the upper portion of the opening 201c is inserted into the groove 1b4 of the upper portion 1b3 of the carrying in and out when the alignment of the opening 201b and the carrying in / out 1b1 is performed. , The upper and lower portions 1b3 of the entry and exit are supported from the upper surface of the groove 1b4 of the upper portion of the entry and exit 1b3. At this time, the upper surface of the key member 251 supports the upper surface of the groove 1b4 of the upper portion of the entry / exit port 1b3, and the lower surface of the key member 251 is a groove 201d of the upper opening 201c. The positional relationship supported by the bottom side of the table is established. In other words, the processing container 1 is mounted on the key member 251 through the groove 1b4 of the upper portion 1b3 of the carry-in / out port, and is also mounted on the opening upper portion 201c through the member 251 and the groove 201d. do.

여기서, 처리 용기(1)가 감압되는 감압 환경하에서는, 대기압에 따른 힘이 처리 용기(1)의 반입출구 상부(1b3)에 부여된다. 그러면, 반입출구 상부(1b3)는 반입출구(1b1) 측으로 휘어지고, 결과적으로, 반입출구(1b1)가 변형되어 버린다. 반입출구(1b1)의 변형이 과도하게 커지면, 덮개(1c)와 측벽(1b)의 간극이 O 링(3)에 의한 시일 가능한 범위를 넘어 버려, 결과적으로, 시일이 깨져 처리 용기(1) 내의 기밀성이 저하해 버린다.Here, under a reduced pressure environment in which the processing container 1 is depressurized, a force corresponding to atmospheric pressure is applied to the upper portion 1b3 of the inlet and outlet of the processing container 1. Then, the upper part 1b3 of the carrying in / out is bent toward the carrying in / out 1b1, and as a result, the carrying in / out 1b1 is deformed. When the deformation of the carry-in / out port 1b1 becomes excessively large, the gap between the cover 1c and the side wall 1b exceeds the sealable range by the O-ring 3, and as a result, the seal breaks and breaks in the processing container 1 The airtightness decreases.

그래서, 본 실시 형태에서는, 키 부재(251)가 반입출구 상부(1b3)의 홈(1b4)의 상면에 당접하고, 반입출구 상부(1b3)가 감압 환경하에서 휘어지는 방향과는 반대 방향의 힘을 반입출구 상부(1b3)의 홈(1b4)의 상면에 부여함으로써 반입출구 상부(1b3)를 지지한다. 이것에 의해, 감압 환경하에 있어서, 반입출구 상부(1b3)의 휘어짐이 저감되고, 결과적으로, 반입출구(1b1)의 변형이 억제된다.Thus, in the present embodiment, the key member 251 abuts on the upper surface of the groove 1b4 of the upper portion of the entry / exit port 1b3, and the force of the opposite direction to the direction in which the upper portion of the entry / exit port 1b3 is bent under a reduced pressure environment is carried in. The upper part 1b3 of the carrying in / out port is supported by applying it to the upper surface of the groove 1b4 of the upper part outlet 1b3. By this, in the reduced-pressure environment, the warpage of the upper portion 1b3 of the entry / exit is reduced, and as a result, deformation of the entry / exit 1b1 is suppressed.

또, 본 실시 형태에서는, 상술한 바와 같이, 반입출구 상부(1b3)가 홈(1b4)의 상면으로부터 키 부재(251)에 의해 지지되도록, 게이트 밸브 장치(110) 측의 개구부(201b)와 처리 용기(1)측의 반입출구(1b1)의 위치 맞춤이 행해진다. 그래서, 본 실시 형태에 있어서는, 이 위치 맞춤을 용이하게 하기 위해서, 반입출구 상부(1b3)의 홈(1b4)의 형상을 연구하는 것이 바람직하다. 예를 들면, 반입출구 상부(1b3)의 홈(1b4)은 홈(1b4)에 대해서 키 부재(251)가 삽입된 상태에서, 키 부재(251)의 하면과, 키 부재(251)의 하면에 대향하는 홈(1b4)의 하면의 사이에 간극이 생기도록, 형성된다. 이것에 의해, 홈(1b4)에 대한 키 부재(251)의 삽입이 효율적으로 행해지므로, 위치 맞춤이 용이해진다.In addition, in the present embodiment, as described above, the opening 201b on the side of the gate valve device 110 is processed so that the upper portion 1b3 of the entry / exit is supported by the key member 251 from the upper surface of the groove 1b4. Positioning of the carry-in / out port 1b1 on the container 1 side is performed. So, in this embodiment, in order to facilitate this alignment, it is preferable to study the shape of the groove 1b4 of the upper portion 1b3 of the carry-in / out port. For example, the groove 1b4 of the upper portion 1b3 of the entry / exit port is provided on the lower surface of the key member 251 and the lower surface of the key member 251 with the key member 251 inserted into the groove 1b4. The gap is formed between the lower surfaces of the opposing grooves 1b4. Thereby, since the insertion of the key member 251 into the groove 1b4 is performed efficiently, positioning is facilitated.

또한, 키 부재(251)가 반입출구 상부(1b3)를 지지하므로, 키 부재(251)를 통해서 개구 상부(201c)에 대해서 처리 용기(1) 자체의 무게를 포함한 힘이 부여되어 개구 상부(201c)가 개구부(201b) 측으로 휘게 될 가능성이 있다. 그래서, 개구 상부(201c)의 휘어짐을 저감하기 위한 구조를 개구 상부(201c)에 마련해도 좋다.In addition, since the key member 251 supports the upper portion 1b3 of the entry / exit, a force including the weight of the processing container 1 itself is applied to the upper portion of the opening 201c through the key member 251, thereby providing the upper portion of the opening 201c. ) May be bent toward the opening 201b. Therefore, a structure for reducing the curvature of the opening upper portion 201c may be provided in the opening upper portion 201c.

구체적으로는, 개구 상부(201c)는, 벽부(201a) 이외의 다른 부분(예를 들면, 하우징(201)의 천정부)보다 높은 위치까지 돌출하는 돌출부(201e)를 갖는다. 개구 상부(201c)에 돌출부(201e)를 마련함으로써, 벽부(201a)의 높이 방향을 따르는 개구 상부(201c)의 두께가 증대한다. 이것에 의해, 개구 상부(201c)의 강성이 향상되고, 결과적으로, 개구 상부(201c)의 휘어짐이 저감된다.Specifically, the upper portion of the opening 201c has a protrusion 201e that protrudes to a position higher than a portion other than the wall portion 201a (for example, the ceiling of the housing 201). By providing the protrusion 201e in the opening upper portion 201c, the thickness of the opening upper portion 201c along the height direction of the wall portion 201a increases. Thereby, the rigidity of the opening upper part 201c is improved, and as a result, the curvature of the opening upper part 201c is reduced.

그런데, 키 부재(251)에 의해 개구부(201b)와 반입출구(1b1)의 위치 맞춤이 행해진 후에, 일반적으로, 나사 등의 고정 부재에 의해 벽부(201a)가 처리 용기(1)의 측벽(1b)에 고정된다. 이 경우, 고정 부재는 벽부(201a) 중 개구부(201b)를 둘러싸는 부분에 배치된다. 개구부(201b)를 둘러싸는 부분에는, 개구 상부(201c)가 포함된다. 상술한 바와 같이, 개구 상부(201c)에는, 홈(201d)이 형성되어 있고, 개구 상부(201c)의 홈(201d)에는, 키 부재(251)가 삽입된다. 이 때문에, 개구부(201b)의 연장 방향(즉, 도 3의 안쪽 방향)을 따르는 키 부재(251)의 사이즈에 따라서는, 개구 상부(201c)에 상기의 고정 부재용의 영역을 확보하는 것이 곤란해진다.By the way, after the alignment of the opening 201b and the entry / exit 1b1 is performed by the key member 251, generally, the wall portion 201a is fixed to the side wall 1b of the processing container 1 by a fixing member such as a screw. ). In this case, the fixing member is disposed in a portion of the wall portion 201a surrounding the opening 201b. A portion surrounding the opening 201b includes an opening upper portion 201c. As described above, a groove 201d is formed in the opening upper portion 201c, and a key member 251 is inserted into the groove 201d of the opening upper portion 201c. For this reason, depending on the size of the key member 251 along the extending direction of the opening 201b (that is, the inner direction of FIG. 3), it is difficult to secure the area for the fixing member above the opening upper portion 201c. Becomes

그래서, 본 실시 형태에 있어서는, 소형의 복수의 키 부재(251)를 이용해서 상기의 고정 부재용의 영역을 확보하는 것이 바람직하다. 일례로서는, 예를 들면 도 4에 나타내는 바와 같이, 개구 상부(201c)의 복수의 홈(도시하지 않음)과, 반입출구 상부(1b3)의 복수의 홈(도시하지 않음)에 복수의 키 부재(251)를 삽입해서, 서로 인접하는 키 부재(251)의 사이에, 고정 부재(253)를 배치해도 좋다.Therefore, in the present embodiment, it is preferable to secure the area for the fixing member by using a plurality of small key members 251. As an example, as shown in FIG. 4, for example, a plurality of key members (not shown) in a plurality of grooves (not shown) in the upper portion of the opening 201c and a plurality of grooves (not shown) in the upper portion of the entry / exit port 1b3 (not shown) 251) may be inserted, and the fixing member 253 may be disposed between the key members 251 adjacent to each other.

이상과 같이, 본 실시 형태에 따르면, 개구 상부(201c)의 홈(201d)에 고정된 키 부재(251)를 반입출구 상부(1b3)의 홈(1b4)에 삽입하고, 반입출구 상부(1b3)의 홈(1b4)의 상면으로부터 반입출구 상부(1b3)를 지지한다. 이 때문에, 감압 환경하에 있어, 반입출구 상부(1b3)의 휘어짐을 저감할 수 있고, 결과적으로, 기판(S)의 반입출구(1b1)의 변형을 억제할 수 있다.As described above, according to the present embodiment, the key member 251 fixed to the groove 201d of the upper portion of the opening 201c is inserted into the groove 1b4 of the upper portion 1b3 of the entry / exit, and the upper portion 1b3 of the entry / exit The upper and lower portions of the entry / exit port 1b3 are supported from the upper surface of the groove 1b4. For this reason, under a reduced-pressure environment, the warpage of the upper portion 1b3 of the entry / exit can be reduced, and as a result, deformation of the entry / exit 1b1 of the substrate S can be suppressed.

또한, 상기 실시 형태에서는, 개구 상부(201c)의 홈(201d)에 키 부재(251)가 고정되는 것으로 했지만, 반입출구 상부(1b3)의 홈(1b4)에 키 부재(251)가 고정되어도 좋다. 또, 키 부재(251)와 개구 상부(201c)의 홈(201d) 또는 반입출구 상부(1b3)의 홈(1b4)을 일체적으로 성형해도 좋다.In addition, in the above embodiment, the key member 251 is supposed to be fixed to the groove 201d of the opening upper portion 201c, but the key member 251 may be fixed to the groove 1b4 of the upper portion 1b3 of the entry / exit port. . Further, the key member 251 and the groove 201d of the opening upper portion 201c or the groove 1b4 of the upper portion 1b3 of the entry / exit may be integrally molded.

또, 상기 실시 형태에서는, 개구 상부(201c)에 돌출부(201e)를 마련해서 벽부(201a)의 높이 방향을 따르는 개구 상부(201c)의 두께를 증대시켰지만, 개구 상부(201c)를 보강하는 보강 부재를 개구 상부(201c)에 마련해도 좋다. 보강 부재를 개구 상부(201c)에 마련함으로써, 개구 상부(201c)의 휘어짐을 저감할 수 있다. 그 때, 보강 부재와 개구 상부(201c)는 열팽창 등으로 인한 위치 어긋남을 억제하는 관점에서, 동일 재질의 부재로 하는 것이 보다 바람직하다.Further, in the above-described embodiment, although the thickness of the opening upper portion 201c along the height direction of the wall portion 201a is increased by providing a protrusion 201e in the opening upper portion 201c, a reinforcement member for reinforcing the opening upper portion 201c May be provided in the upper portion of the opening 201c. By providing the reinforcing member in the opening upper portion 201c, the warpage of the opening upper portion 201c can be reduced. At this time, the reinforcement member and the upper portion of the opening 201c are more preferably made of a member of the same material from the viewpoint of suppressing positional deviation due to thermal expansion or the like.

또, 플라즈마 에칭 장치는 도 2에 나타낸 용량 결합형의 평행 평판형에 한정되지 않고, 예를 들면, 마이크로파 플라즈마를 이용한 플라즈마 에칭 장치나 유도 결합 플라즈마를 이용한 플라즈마 에칭 장치 등을 사용할 수 있다. 또, 본 발명은 플라즈마 에칭 장치에 한정되지 않고, 예를 들면 플라즈마 애싱 장치, 플라즈마 CVD 성막 장치, 플라즈마 확산 성막 장치 등의 다른 처리를 목적으로 하는 플라즈마 처리 장치에도 적용할 수 있고, 또한 플라즈마 처리 이외의 처리를 목적으로 하는 기판 처리 장치에도 적용할 수 있다.The plasma etching apparatus is not limited to the capacitively coupled parallel plate type shown in Fig. 2, and for example, a plasma etching apparatus using microwave plasma or a plasma etching apparatus using inductively coupled plasma can be used. Further, the present invention is not limited to a plasma etching apparatus, and can also be applied to plasma processing apparatus for other processing purposes, such as a plasma ashing apparatus, a plasma CVD film forming apparatus, a plasma diffusion film forming apparatus, and the like. It can also be applied to a substrate processing apparatus for the purpose of processing.

1 : 처리 용기 1b : 측벽
1b1 : 반입출구 1b3 : 반입출구 상부
1b4 : 홈 1c : 덮개
100 : 기판 처리 시스템 101 : 프로세스 모듈
103 : 반송 모듈 110 : 게이트 밸브 장치
201 : 하우징 201a : 벽부
201b : 개구부 201c : 개구 상부
201d : 홈 201e : 돌출부
251 : 키 부재 253 : 고정 부재1: treatment container 1b: sidewall
1b1: Entry and exit 1b3: Top of entry and exit
1b4: groove 1c: cover
100: substrate processing system 101: process module
103: transfer module 110: gate valve device
201: housing 201a: wall
201b: opening 201c: upper opening
201d: groove 201e: protrusion
251: key member 253: fixing member

Claims (7)

감압 환경하에서 기판에 소정의 처리를 실시하는 처리 용기의 측벽에 형성된 상기 기판의 반입출구에 접속되는 게이트 밸브 장치로서,
상기 반입출구에 연통하는 개구부가 형성된 벽부와,
상기 벽부의 상기 개구부보다 위의 부분인 개구 상부에 형성된 홈과, 상기 처리 용기의 측벽의 상기 반입출구보다 위의 부분인 반입출구 상부에 형성된 홈에 삽입되고, 상기 반입출구 상부의 상기 홈의 상면으로부터 상기 반입출구 상부를 지지하는 키 부재를 갖고,
상기 키 부재는 상기 반입출구 상부에 형성된 상기 홈의 상면에 당접하고, 또한, 상기 키 부재의 하면과 상기 반입출구의 상부에 형성된 홈의 하면 사이에 간극을 갖고,
상기 게이트 밸브 장치의 벽부와 처리 용기의 측벽은 고정 부재에 의해 고정되는
게이트 밸브 장치.
A gate valve device connected to the inlet / outlet of the substrate formed on a sidewall of a processing container that performs predetermined treatment on the substrate under a reduced pressure environment,
A wall portion having an opening communicating with the entry / exit,
It is inserted into the groove formed in the upper portion of the opening above the opening of the wall portion, and the groove formed in the upper portion of the carrying inlet and out of the side wall of the processing container, and the upper surface of the groove above the carrying inlet and outlet Has a key member for supporting the upper portion of the entry and exit from,
The key member abuts on the upper surface of the groove formed at the top of the entry / exit, and further has a gap between the bottom surface of the key member and the bottom surface of the groove formed at the top of the entry / exit,
The wall portion of the gate valve device and the side wall of the processing vessel are fixed by a fixing member.
Gate valve device.
제 1 항에 있어서,
상기 키 부재는 상기 반입출구 상부가 상기 감압 환경하에서 휘는 방향과는 반대 방향의 힘을 상기 반입출구 상부의 상기 홈의 상면에 부여함으로써 상기 반입출구 상부를 지지하는 것을 특징으로 하는 게이트 밸브 장치.
According to claim 1,
The key member supports the upper portion of the entry / exit by applying a force in a direction opposite to the direction in which the upper portion of the entry / exit is bent under the reduced pressure environment to the upper surface of the groove above the entry / exit.
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
상기 키 부재는 상기 개구 상부의 상기 홈 또는 상기 반입출구 상부의 상기 홈에 고정되는 것을 특징으로 하는 게이트 밸브 장치.
The method of claim 1 or 2,
The key member is a gate valve device, characterized in that fixed in the groove above the opening or the groove above the entry and exit.
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
상기 개구 상부의 복수의 상기 홈과, 상기 반입출구 상부의 복수의 상기 홈에 삽입되는 복수의 상기 키 부재를 갖고,
서로 인접하는 상기 키 부재의 사이에, 상기 벽부를 상기 처리 용기의 측벽에 고정하기 위한 상기 고정 부재가 배치되는
것을 특징으로 하는 게이트 밸브 장치.
The method of claim 1 or 2,
And a plurality of the key members inserted into the plurality of the grooves at the top of the opening and the plurality of the grooves at the top of the entry / exit port,
Between the key members adjacent to each other, the fixing member for fixing the wall portion to the side wall of the processing container is disposed.
Gate valve device characterized in that.
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
상기 개구 상부는 상기 벽부 이외의 다른 부분보다 높은 위치까지 돌출하는 돌출부를 갖는 것을 특징으로 하는 게이트 밸브 장치.
The method of claim 1 or 2,
The gate valve device, characterized in that the upper portion of the opening has a protrusion that protrudes to a higher position than other parts than the wall.
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
상기 개구 상부를 보강하는 보강 부재를 더 갖는 것을 특징으로 하는 게이트 밸브 장치.The method of claim 1 or 2,
And a reinforcing member for reinforcing the upper portion of the opening. 감압 환경하에서 기판에 소정의 처리를 실시하는 처리 용기와, 상기 처리 용기의 측벽에 형성된 상기 기판의 반입출구에 접속되는 게이트 밸브 장치를 갖는 기판 처리 시스템으로서,
상기 게이트 밸브 장치는,
상기 반입출구에 연통하는 개구부가 형성된 벽부와,
상기 벽부의 상기 개구부보다 위의 부분인 개구 상부에 형성된 홈과, 상기 처리 용기의 측벽의 상기 반입출구보다 위의 부분인 반입출구 상부에 형성된 홈에 삽입되고, 상기 반입출구 상부의 상기 홈의 상면으로부터 상기 반입출구 상부를 지지하는 키 부재를 갖고,
상기 키 부재는 상기 반입출구 상부에 형성된 상기 홈의 상면에 당접하고, 또한, 상기 키 부재의 하면과 상기 반입출구의 상부에 형성된 홈의 하면 사이에 간극을 갖고,
상기 게이트 밸브 장치의 벽부와 처리 용기의 측벽은 고정 부재에 의해 고정되는
것을 특징으로 하는 기판 처리 시스템.A substrate processing system having a processing container for performing predetermined processing on a substrate under a reduced pressure environment, and a gate valve device connected to the inlet and outlet of the substrate formed on the side wall of the processing container,
The gate valve device,
A wall portion having an opening communicating with the entry / exit,
It is inserted into a groove formed in the upper portion of the opening above the opening of the wall portion, and a groove formed in the upper portion of the carrying inlet and out of the side wall of the processing container, and an upper surface of the groove above the carrying inlet and outlet Has a key member for supporting the upper portion of the entry and exit from,
The key member abuts on the upper surface of the groove formed at the top of the entry / exit, and further has a gap between the bottom surface of the key member and the bottom surface of the groove formed at the top of the entry / exit,
The wall portion of the gate valve device and the side wall of the processing vessel are fixed by a fixing member.
Characterized in that the substrate processing system.
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