JP3652688B2

JP3652688B2 - Switchgear

Info

Publication number: JP3652688B2
Application number: JP2003115867A
Authority: JP
Inventors: 武司吉田
Original assignee: 株式会社旭精機; 武司吉田
Priority date: 2003-02-27
Filing date: 2003-04-21
Publication date: 2005-05-25
Anticipated expiration: 2023-04-21
Also published as: JP2004319938A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、互いに隔てられた隣接する２つの空間の境界に設置して、シート状の被処理物を上記の一方の空間から他方の空間に搬送するための開閉装置（バルブ）に関する。
【０００２】
【従来の技術】
【特許文献１】
特開２００１−２８９３３３号公報
【特許文献２】
特開２００２−２２８０４３号公報
【０００３】
例えば、半導体やディスプレイ等の各種製造ラインの搬送系と各処理室の境界には、処理室の気密性を保持すること、処理室内に不純物が混入しないこと等を目的として、被処理物を処理室から搬出又は処理室に搬入するときだけ開き、それ以外の時は閉鎖状態に置かれる開閉装置（バルブ）が設けられる。
図１に、上記の製造ラインの一例を示す。図１に示す製造ライン５０では、被処理物５１は、図の右側から搬入され、第１処理室５３を経た後、第２処理室５６又は第３処理室５７を経て後工程に渡される。各処理室は、例えば製膜装置等であって、真空或いは適当な圧力等になる様、常時コントロールされている。一方、それ以外の部分（搬送系５２等）は、例えば大気開放されている等、各処理室とは異なる環境下に置かれている。各処理室間には搬送系５２や横転システム・トラバース機構５４が存在する。これらと各処理室の境界には、被処理物５１を通過させ得るバルブ５８が設けられる。各処理室の壁体には、バルブ５８の開口部に対応した出入口部分（弁ポート）が設けられている。両者間における被処理物５１の受け渡しは、バルブ５８を介して行われる。以下に説明する各事例においても同様である。
このバルブには、▲１▼容易かつ確実に被処理物を通過させることが出来、さらに▲２▼バルブ閉鎖時における処理室の気密性に優れていることが求められる。現在迄に、種々の形式のバルブが案出されているが、これらは概ね、いわゆるボール型バルブと、ゲート型バルブに大別される（特許文献１，２参照）。
【０００４】
まず、ボール型バルブの構造を図２に示す平面図で具体的に説明する。図２は、従来のボール型バルブを示しており、内部構造を説明するために一部破断した側面図である。ボール型バルブ１００は、本体１０７、ボール１０２、シールパッキン１０１、回転機構（回転用ハンドル１０５，スピンドル１０４）、並びに被処理物を通過させ得る大きさを有する本体開口部１１０及びこれに対応する大きさを有し、スピンドル１０４の回転軸を通過してボール１０２を貫通する貫通孔１０８からなる。また、本体１０７内における両方のシールパッキン１０１と、ボール１０２の表面と、本体１０７の内壁面とに囲まれた空隙部分が形成され得るが、これは中間室１０９と呼ばれる。
このボール型バルブ１００は、回転用ハンドル１０５を回すことにより、スピンドル１０４を介して結合された球状のボール１０２を回転させ、バルブの開閉を行うものである。ボール１０２の回転により、ボールの貫通孔１０８と本体開口部１１０の位置が合えば開弁状態となり、例えば図中に矢印で示す様に被処理物を搬送系５２側から処理室４０側へ通過させることが出来る。一方、貫通孔１０８が開口部１１０から完全に見えなくなれば閉弁状態となる。
【０００５】
次に、ゲート型バルブの構造を図３に基づき説明する。図３は、従来のゲート型バルブを示しており、（ａ）は外観斜視図、（ｂ），（ｃ）はそれぞれ閉弁状態、又は開弁状態を示す側部断面図である。ゲート型バルブ１５０は、本体１５６、ゲート１５２、シール１５３、アクチュエータ１５４及びベローズ１５５からなる。閉弁時、開口部１５１はゲート１５２によって閉塞される。ゲート１５２及び本体１５６は、アルミニウムやステンレススチール等の金属からなる。
【０００６】
ところで、近年は、被処理物の大面積化が進んでおり、縦横の幅がいずれも１，０００ｍｍを超えるケースが殆どである。
【０００７】
しかし、ボール型バルブでは構造上、このような大型の被処理物を通過させることは困難である。
【０００８】
また、ゲート型バルブでは、構造上例えば、幅が広く、薄く、かつ面積のある被処理物を通過させるにはゲート型の弁体（ゲート１５２）自体が重くなり、駆動の為のスピンドルも多く複雑になる。
さらに、ゲート開閉動作の繰返しに伴い、▲１▼ゲート１５２と本体１５６の接触に起因する微細な金属粉、▲２▼或いは、シール１５３の摩耗に起因する微細なシール材料の粉等が発生する虞がある。これらは、被処理物に直接接触したり、或いは処理室内で処理を行っている最中の被処理物に付着することもある。
【０００９】
このように、従来のバルブには、大型の被処理物を通過させる事が出来、しかも構造が簡単で信頼性の高いものが存在しなかった。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】
従って本発明は、簡易な構造ながら、薄くて幅広い大型のシート状被処理物を通過させ得る、信頼性の高いバルブを提供することを課題とする。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
本発明者は、上記課題を解決すべく種々検討を重ねた結果、柱状に延びる実質上円形断面を有する回転ドラムを弁体（回転バルブ）とすれば、この回転バルブに被処理物を通過させ得る大きさの貫通孔を設け、さらにこの回転バルブを軸回転させることにより、開弁状態と閉弁状態を適宜作り出すことが可能なことを見出し、本発明を完成させた。
上記課題を解決可能な本発明のバルブは、隣接する一対の処理室の間に備えられ、夫々の処理室壁体に設けられた弁ポートを開閉してシート状の被処理物を一方の処理室から他方の処理室へと搬送する際に用いる開閉装置であって、
隣接する一対の前記処理室間に備えられ、
一方側の処理室壁体に接する第１面と他方側の処理室壁体に接する第２面に各処理室の弁ポートと夫々連通する開口が形成され、前記開口を通して前記被処理物を一方の処理室から他方の処理室へと搬送し得るよう構成された本体ハウジングと、
この本体ハウジング内に回転自在に備えられ、回転角度位置の調節により前記開口を閉塞させ又は前記一対の処理室間を連通させることが可能な回転バルブと、
前記回転バルブを前記本体ハウジング内にて回転させるための駆動部と、
を併せ備え、
前記本体ハウジングは、断面略円形の回転バルブ収納室を、そこに収容される前記回転バルブの回転軸が前記被処理物の搬送方向と略直交する態様で備えており、さらに、前記回転バルブ収納室内面における夫々の前記開口の周囲にシールパッキンを備えており、
前記回転バルブは、前記回転バルブ収納室内に収納し得る大きさの柱状体をなしており、前記回転バルブ収納室の直径方向に、この柱状体を貫通する前記開口と略一致する開口寸法のスリット孔を備えているほか、閉弁時に前記シールパッキンが前記回転バルブ表面に接する様になっており、さらに、
前記回転バルブの断面形状を、
閉弁時に前記シールパッキンと接触する部分以外の部分の前記回転バルブの中心軸から外周までの距離が、前記接触部分における前記回転バルブの中心軸から外周までの距離よりも短くなる様形成することを特徴とするものである。
シールパッキンは、回転バルブ収納室内面のほか、回転バルブ表面に備えられていても良い。この場合、シールパッキンは、閉弁時に前記開口を取り囲む様に備えられる。
また、本体ハウジングの第１面側と第２面側との間における任意の位置に、前記回転バルブ収納室と本体ハウジング外部との間を連通させる通路を配設し、前記通路を利用して、前記本体ハウジング内の気圧調整或いは、前記回転バルブ表面に付着した堆積物等の吸引除去を行い得る様構成しても良い。
さらに、前記回転バルブ収納室の断面形状を、前記回転バルブ収納室内面が、閉弁時に前記回転バルブ表面と接触させる前記開口の周りの部分を除いて、前記回転バルブ表面と離間する様形成しても良い。
その他、前記回転バルブ収納室は、前記本体ハウジング内に備えられたガスケットブロックからなっていても良い。
本発明によれば、軸方向に延びる回転バルブの長手（幅）方向に、被処理物の幅や厚さに合わせて貫通孔を設けることが出来るので、薄くて幅広く、しかも面積の大きな被処理物を通過させることができる。
【００１２】
尚、本発明において「回転」とは、ある軸を中心とする一方向の回転に限らず、左右双方向の回転を意味し、更に一周する場合に限らず、ある軸を中心とする一定範囲の角度変位をも意味する。
本発明において、「開弁状態」とは、本体ハウジングの開口部と回転バルブの貫通孔の位置が一致して被処理物がバルブを通過可能な状態を言い、「閉弁状態」とは、開弁状態からの回転角度に特に拘泥せず、本体ハウジングの開口部が回転バルブの胴部表面によって塞がれており、被処理物がバルブを通過できない状態を言う。
又本発明において、回転バルブに設けられた貫通孔の大きさは、本体ハウジングに設けられた開口部の大きさに対応したものであるが、上記貫通孔は被処理物を通過させ得る大きさであれば足り、必ずしも本体ハウジング開口部の大きさと同一としなければならないものではない。
【００１３】
又本発明のバルブにおいて、上記回転バルブの胴部は、本体ハウジング内に備えられたガスケットブロックに実質的に包囲されていても良い。更に、このガスケットブロック或いは本体ハウジングの内壁面には、少なくとも閉弁状態における回転バルブの表面に接触可能であり、かつ、本体ハウジングの開口部を取り囲むシールパッキンが設けられていても良い。
このとき、本体ハウジング内には、回転バルブ表面と、シールパッキンと、本体ハウジング内壁又はガスケットブロックとに囲まれた空間（中間室）が形成され得るが、本発明のバルブにおいては、上記中間室と本体ハウジング外部との間を連通させる中間室通路が設置される。これにより、万一、ガスケットブロック４やシールパッキン５に傷や破れ等が生じていて、本体ハウジング１側と回転バルブ２側の間の気密状態が維持出来なくなった場合には、中間室通路９を利用して、処理室の気密性を損なわない様な気圧調節をすることができる。
【００１４】
尚、本発明のバルブの気密性能を確保する観点からは、回転バルブの横断面形状は、少なくとも閉弁時に於て、回転バルブ側と本体ハウジング側とが密接して確実に気密状態を保持し得る様形成されていれば良い。従って、回転バルブの横断面形状は、上記した様な実質的に円形断面を有するものに限られず適宜変形したものであっても良く、回転中心軸から見て上下又は左右方向において非対称な形状であっても構わない。
以下、本発明の一実施例を示し、本発明をより詳細に説明する。
【００１５】
【実施例】
実施例１
本発明の一実施例を、図４〜図１０に基づき説明する。
本実施例に係るバルブ（以下、「ドラム型スリットバルブ」という）は、例えば半導体やディスプレイ等の製造ラインにおいて、搬送系と処理室の境界部分に設けられるものであって、例えば真空チャンバーを有する製膜装置等の処理室壁体に設けられた出入口部分（弁ポート）に組み込んで、例えば半導体ウェハーやＴＦＴ−ＬＣＤ用マザーガラス等の被処理物を通過させ、これを処理室より搬出又は処理室内に搬入することを目的とするものである。無論、弁ポートはバルブの開口部に対応して設けられ、搬送系と処理室の間における被処理物の受け渡しはバルブを介して行われる。
図４は本発明に係るドラム型スリットバルブの一実施例を示す外観斜視図、図５はその側面図、図６はその中央横断面図、および図７はその縦断面図である。図８は本発明の一実施例の回転バルブの側面図、図９は本体ハウジング部の第２端部Ｂを表した図、また図１０は直動−回転変換器部分の拡大図である。
【００１６】
［基本構成］
図４は、ドラム型スリットバルブの外観を表した斜視図である。（ａ），（ｂ）はそれぞれ、被処理物のサイズに合わせてスリット開口面積、特にスリット長を変えたものを表している。（ａ）では、被処理物として半導体ウェハー等、（ｂ）では、被処理物が例えば畳と同等サイズのＴＦＴ−ＬＣＤパネル等、薄くて面積のあるものを通過させ得る。
図５は、上記図４（ｂ）に示すドラム型スリットバルブの外観側面図である。本体ハウジング１は、アルミニウムからなる角柱又は直方体状のブロックであって、図４に示す様に処理室外壁３９に取り付けられる。被処理物は、開口部２５より処理室４０内へ搬入又は処理室４０から搬出され得る。開口部２５は、本体ハウジング１上の相対する第１端部Ａと第２端部Ｂとの間に設けられ、被処理物を通過させ得る幅及び厚さを有しており、本体ハウジング１上の相対する第１面Ｃと第２面Ｄ（処理室壁面に直面する面及びそれと反対側の面）との間を貫通している。第１面Ｃと第２面Ｄとは、上記端部（第１端部Ａ，第２端部Ｂ）と実質的に直交する。
【００１７】
図４（ａ）及び図５に仮想線で示す様に、本体ハウジング１内部には、スリット状に形成された開口部２５の幅方向に柱状に延びる、実質的に円形断面を有する回転バルブ２が格納されている。回転バルブ２は、本体ハウジング１の開口部２５の幅方向の両端部（第１端部Ａ，第２端部Ｂ）に備えられた軸受により支持される。軸受は、第１及び第２のサイドカバー（１９，２０）で被われている。又図５に仮想線で示す様に、回転バルブ２の胴部は、本体ハウジング１内に備えられたガスケットブロック４に実質的に包囲されている。回転バルブ２は、本体ハウジング１内において回転運動を行うが、その駆動は、開口部２５の幅方向において往復運動を行うアクチュエータ１７により、中間機構である直動−回転変換器１８を介して行われる。本実施例においてアクチュエータ１７はエアシリンダである。
図５に示す様に、アクチュエータ１７自体は、本体ハウジング１の第２端部Ｂに、アクチュエータ取付板２１及び取付板支持ボルト２２を介して取付けられる。又、被処理物を通過させるため、▲１▼ガスケットブロック４には、開口部２５の形状に対応した孔部３６が形成されていると共に、▲２▼回転バルブ２には、開口部２５に対応する貫通孔４５が設けられている。本体ハウジング１の第１面Ｃ及び第２面Ｄには、ガスケットブロック押え板１０が設けられ、本体ハウジング１内に備えられたガスケットブロック４を固定している。ガスケットブロック押え板１０は、押え板ボルト２４を用いて本体ハウジング１に取り付けられる。
上記の回転バルブ２及びガスケットブロック４、その他これらの詳細ついては、後程説明する。
【００１８】
引き続き、図６に示す、図４（ｂ）のドラム型スリットバルブの中央横断面図に基づき、本実施例の構成の説明を行う。同図に示す通り、回転バルブ２は実質上円形断面を有するものである。
尚図面表記上、ガスケットブロック４の内表面と回転バルブ２の外周面との間には若干間隔を空けているが、実際には両者は密に接触して気密状態を保持している。それゆえ、実際上シールパッキン５はガスケットブロック４と回転バルブ２の双方より押圧されている。
【００１９】
図６では、バルブの開弁状態を表しており、本体ハウジング１側の開口部２５と回転バルブ２側の貫通孔４５の位置が合っているので、被処理物が開口部２５及び貫通孔４５を通過出来る様になっている。従って、本体ハウジング１の第１面Ｃ側にある空間（例えば搬送系５２）から第２面Ｄ側にある空間（例えば処理室４０）へ、又その反対方向へ、被処理物を搬送することが出来る。
一方、本実施例では回転バルブ２が図６に示す状態から９０°回転した状態が、バルブの閉弁状態に相当する。このとき、回転バルブ２の表面が本体ハウジング１の開口部２５を塞いでしまうため、被処理物はバルブを通過出来ない。それぞれの空間（搬送系５２或いは処理室４０）の気密性は、回転バルブ２の表面、シールパッキン５及びガスケットブロック４により保持される。
【００２０】
次に、各構成要素に付き、図６に基づき説明する。
本体ハウジング１は、例えば処理室４０の壁面３９等の相手側に、相手側フランジ１６及び相手側フランジパッキン１２を介して取り付けられる。相手側フランジ１６と本体ハウジング１は、相手側フランジ用ボルト１４を用いて接合される。
【００２１】
ガスケットブロック４は、閉弁時におけるバルブの気密性を向上させるためのものであり、その内壁は、実質的に円形断面を有する回転バルブ２の表面に対応する様に形成される。本実施例では、ガスケットブロック４は、搬送系５２側（第１面Ｃ）のものと、処理室４０側（第２面Ｄ）のものの２片からなる。双方のガスケットブロックは、本体ハウジング１内に設けられたガスケットブロック格納孔４４内に納められたのち、それぞれ、処理室４０側、搬送系５２側からガスケットブロック押え板１０で押さえ付けられる。ガスケットブロック押え板１０は、押え板取付ボルト１３を用いて本体ハウジング１に取り付けられる。又ガスケットブロック押え板１０には気密性向上のため、内側パッキン７と外側パッキン８が設けられる。
さらに本実施例では、処理室４０側にあるガスケットブロックと搬送系５２側にあるガスケットブロック同士の接合が、マグネット１１により行われる。これによれば、双方のガスケットブロック同士を別途ボルト等で締結する必要が無く、バルブ自体の小型軽量化を実現出来る。
【００２２】
上記本体ハウジング１及びガスケットブロック４には、それぞれ、補強材（１５，３）が配される。
【００２３】
シールパッキン５は、実質的に円形の断面を有する、環状の部材（いわゆるＯリング）である。シールパッキン５は、ガスケットブロック４の内壁面に、脱落が防止される態様で設置される。本実施例では、ガスケットブロック４内壁面にある表面部分における開口幅よりも、底面部分における開口幅の方が大きくなっている断面を有する溝４１が、ガスケットブロック４の内壁面に於て、開口部２５に沿って設けられており、シールパッキン５は、この溝４１に填め込まれる形でガスケットブロック４の内壁面に備えられる。
【００２４】
又本実施例では、同様の断面形状を有する溝４２が、処理室４０側にあるガスケットブロックと搬送系５２側にあるガスケットブロックとが互いに接触する面４３において、双方のガスケットブロックに設けられている。この溝４２には、対応する断面形状を有するマグネット１１が挿入されており、ガスケットブロック４からマグネットが脱落しない様になっている。又このような構造のため、マグネット相互の吸引力でマグネットがそれぞれのガスケットブロックから脱出することもなく、確実に処理室４０側と搬送系５２側のガスケットブロックを接合できる。
【００２５】
上記ガスケットブロック４及びシールパッキン５には、気密保持性能が求められるほか、好ましくは▲１▼耐薬品性に優れ、▲２▼低摩擦係数で▲３▼非粘着性が良いことが求められる。
本実施例では、ガスケットブロック４は、商品名テフロン（登録商標）として市販されているポリ四フッ化エチレン（ＰＴＦＥ）からなるフッ素系樹脂の固体ブロック体である。又、シールパッキン５には、各種ゴム等からなる弾性母材の表面に、ＰＴＦＥがコーティングされたものを使用している。これにより、バルブ開閉の繰返しに伴う回転バルブ２外周面の摩耗を防止している。
【００２６】
本発明のドラム型スリットバルブにおいても、中間室１０９が存在し得るが、本実施例では、本体ハウジング１に中間室通路９が設けられている。この中間室通路９を利用すれば、万一、本体ハウジング１側と回転バルブ２側の間の気密状態が維持出来なくなった場合には、処理室の気密性を損なわない様な気圧調節をすることができる。
【００２７】
図７は、本実施例に係るドラム型スリットバルブの縦断面図である。また、図７に示された回転バルブ２を表す側面図を図８に、本体ハウジング部１の第２端部Ｂを表した図を図９に示す。図７及び図８において回転バルブ２の胴部３３に相当する部分は一部省略されている。又図９では第２のサイドカバー２０及び締結具３２が省略されている。
図７に示す様に、回転バルブ２のシャフト３０は、直動−回転変換器１８に連結されている。シャフト３０はそれぞれ、第１端部Ａ及び第２端部Ｂにおいて、軸受３８によって支持されている。軸受３８内にはベアリング３１が備えられ、シャフト３０の摺動を円滑なものにしている。本実施例ではベアリング３１はスラストベアリングである。又第２端部Ｂ側の軸受３８には締結具３２が設けられ、これの締め込み量を調節してシャフト３０のブレを抑えている。
【００２８】
図８に示す通り、回転バルブ２には、被処理物を通過させ得る貫通孔４５が設けられる。貫通孔４５は、回転バルブ２の回転軸を通過して回転バルブ２を貫通している。貫通孔４５のサイズは、本体ハウジング１の開口部２５のサイズに対応しており、又薄く、幅広い被処理物を通過させ得るためにスリット状の形状をしている。本実施例の場合、スリットの厚みは２０〜５０ｍｍ程度、スリット幅は４００〜１８００ｍｍ程度であり、被処理物のサイズによって適宜変更される。回転バルブ２の直径は１２０ｍｍ程度、シャフト３０の直径は２０ｍｍ程度である。本実施例の回転バルブ２は、ステンレス鋼管を加工して構成されており、表面が鏡面処理されている。回転バルブ２の胴部３３、シャフト３０、及び両端部分（第１端部３４，第２端部３５）はそれぞれ別部品からなる。
図９に示す通り、シャフト３０の中心軸上にある、軸受３８の中心からは、放射状に補強材３７が配される。図９は本体ハウジング１の第２端部Ｂ側から軸受３８を見たものであり、軸受３８の中心部分には、図７の締結具３２が締め込める様になっている。軸受３８の中心周りにある環状部分内には、ベアリング３１が配列される。
【００２９】
［直動−回転変換器について］
図１０は、図４，５，７に示した直動−回転変換器１８（中間機構）の詳細を示すものであり、図１０（ａ）は平面図、（ｂ）は正面から見た場合の構造説明図である。（ｂ）では、図面上、鉛直方向に上昇又は下降の往復運動を行うアクチュエータ１７のアクチュエータシャフト２７が上昇位置にあるときの様子を示している。直動−回転変換器１８は、アクチュエータシャフト２７の直線方向の往復運動を、シャフト３０の回転運動へと変換するものである。尚、アクチュエータシャフト２７はアクチュエータ１７の可動子であり、本実施例ではエアシリンダのシリンダ部分に相当する。
連結ピン２６は、アクチュエータシャフト２７と結合されており、アクチュエータシャフト２７の動きと連動して直線方向に往復運動を行う。又連結ピン２６は、回転用ガイド２８とも関係付けられており、その結果、連結ピン２６は回転用ガイド２８に沿って移動する様になっている。回転用ガイド２８は、回転治具本体２９の内面において、アクチュエータシャフト２７の中心軸が延びる方向に、この中心軸を中心として螺旋を描く様な態様で備えられる。回転治具本体２９は、シャフト３０に結合され、回転バルブ２の回転方向に回転可能になっている。
ここで連結ピン２６は、回転治具本体２９内に螺旋状に備えられた回転用ガイド２８に沿って移動する様になっているところ、連結ピン２６の移動は直線往復運動に限定される一方で、回転治具本体２９は回転自在となっているので、直線方向の往復運動を行う連結ピン２６が回転用ガイド２８に沿って移動することにより、結果としてシャフト３０が回転する。
本実施例では、回転用ガイド２８として、回転治具本体２９内面に螺旋状の溝を設けている。又本実施例では、アクチュエータシャフト２７の振幅に対応して、回転ドラム２が約９０°回転する様になっており、アクチュエータ１７の往復によりバルブ開閉が行われる。本実施例では、アクチュエータシャフト２７が本体ハウジング１に近付いたとき（図１０（ｂ）でアクチュエータシャフト２７が下降しているとき）に開弁状態、また反対にアクチュエータシャフト２７が本体ハウジング１から遠ざかったとき（図１０（ｂ）でアクチュエータシャフト２７が上昇しているとき）に閉弁状態となる様構成されている。
【００３０】
［動作］
以下では、本実施例に係るドラム型スリットバルブの動作及び使用方法について説明する。
まず、被処理物５１を搬送系５２から処理室４０内に搬入する場合について説明する。▲１▼アクチュエータ１７を駆動し、回転バルブ２を回転させて開弁状態とする。▲２▼搬送系５２にある被処理物を、本体ハウジング１の開口部２５及び回転バルブ２の貫通孔４５を通過させて、処理室４０内に搬入する。▲３▼搬入後、再びアクチュエータ１７を駆動し、回転バルブ２を９０°回転させて閉弁状態とする。これにより搬入作業は終了する。処理室内では、被処理物に蒸着処理を施す等の作業が開始される。
被処理物５１を処理室４０から搬送系５２へ搬出する場合も、上記と同じ考え方で作業を行えばよい。
【００３１】
実施例２
本発明の簡易・経済的実施形態
実施例２−１
上記実施例１では、ガスケットブロック４の横断面形状については、その内壁が実質的に円形断面を有する回転バルブ２の表面に対応する様に形成されている。一方、本発明の実施に際しては、少なくとも閉弁時に於て回転バルブ２側と本体ハウジング１側とが密接して気密状態が保たれる様、形成されていれば足りる。従って、ガスケットブロック４の横断面形状については、孔部３６及びシールパッキン５を取付ける部分（溝４１付近）以外の、例えば２片のガスケットブロックの接合面４３付近では、その内壁が回転バルブ２の胴部３３表面と常時非接触となる様形成しても良い。同様に、孔部３６及びシールパッキン５を取付ける部分（溝４１付近）を残し、これら以外の部分を省略したガスケットブロックを形成しても良い。
また、ガスケットブロック４については、上記実施例１では本体ハウジング１の第１面Ｃ側及び第２面Ｄ側の双方に設けられているが、これに限らず、いずれか片側に設ける構成又はガスケットブロック４を使用しない構成としても良い。この場合、上で説明したガスケットブロック４に相当する部分は、本体ハウジング１の一部として形成されることになる。シールパッキン５についても同様である。
【００３２】
実施例２−２
上の実施例１で示された構成により、本発明のドラム型スリットバルブは、回転バルブ２をアクチュエータ１７を用いて開閉出来るほか、閉弁時に於て回転バルブ２側と本体ハウジング１側を密接して確実に気密状態を保持することができる。
ここで、回転バルブ２駆動に要するアクチュエータ１７の駆動トルクを少なくするべく、以下の様な構成とすることも可能である。
【００３３】
すなわち、本発明の回転バルブ２の横断面形状については、少なくとも閉弁時に於て回転バルブ２側と本体ハウジング１側とが密接して気密状態が保たれる様、形成されていれば足りる。
他方、開弁状態から閉弁状態、或いはその逆に向かって回転している途中の時点では、バルブ自体を横断面視した状態に於て、回転バルブ２側と本体ハウジング１側とが接触していなくても構わない。
【００３４】
したがって、回転バルブの横断面形状は、図６に示す様な実質状円形断面とする以外にも、例えば図１１に示す様に、種々選択することが可能である。同図は全て、閉弁状態を示している。図面表記上、ガスケットブロック４の内表面と回転バルブ２のＸ面との間には若干間隔を空けているが、実際には両者は密接しており、又シールパッキン５はこれら双方より押圧されている。又図１２に、図１１（ａ）に示すバルブを開口部２５の開口方向より見たときの回転バルブ２の様子を示す。同図に斜線が付された箇所は、同図に仮想線で示される様にシールパッキン５と接触可能な部分であり、鏡面処理が施されている。
図１１中、（ａ）〜（ｃ）に示す回転バルブ２の横断面形状では、少なくとも閉弁時に回転バルブ２とシールパッキン５とが密接して気密状態が保たれる様になっている。即ち、閉弁状態となったときに、本体ハウジング１の幅方向に延びるシールパッキン５と対応することとなる回転バルブ２外周面の一部分Ｘは、閉弁時にシールパッキン５と接触できる様になっている。
他方、回転バルブ２の横断面形状に関し、Ｘ部以外の部分については、図１１（ａ）〜（ｃ）に例示する様に形状を適宜決定して良い。
【００３５】
回転バルブ２の横断面形状を上記の様に形成しておけば、アクチュエータ１７の駆動トルクも少なくて済むほか、さらにシールパッキン５の摩耗も少なくて済む。
【００３６】
尚上記した通り、シールパッキン５の、本体ハウジング１の幅方向に延びている部分（例えば、図１２のＪ部）は、必要なとき、即ち少なくとも閉弁状態における回転バルブ２の表面に接する様になっている一方、本実施例では、シールパッキン５の、回転バルブ２の回転方向に延びている部分（例えば、図１２のＫ部）は、回転バルブ２の表面と常時接触している（図１２に示す仮想線参照）。
【００３７】
又、上記図１１（ａ）〜（ｃ）の各例では、シールパッキン５は、本体ハウジング１側にあるが、シールパッキン５を回転バルブ２側に設置することも可能である（図１１（ｄ），（ｅ）参照）。その場合、回転バルブ２の胴部３３表面には、少なくとも閉弁時にガスケットブロック４内壁面に接触可能なシールパッキン５が、閉弁時に開口部２５に露出して開口部を塞ぐ胴部３３表面の一部分（図１１のＹ部）の周りを取り囲む様にして設けられている。
【００３８】
また、処理室がＣＶＤ装置やスパッタリング装置の場合、閉弁時に処理室内部と直面する回転バルブ２表面の一部分（図１１のＹ部）には種々の物質が付着、堆積し得る。そこで、閉弁時に処理室内面に露出している回転バルブ２の一部分Ｙを、図１１各図に示す様に、閉弁時にシールパッキン５と密接している回転バルブ２外周面の対応部分Ｘから見て相対的に凹んだ形状にしておけば、開弁時にはそのＹ部が中間室通路９と直面することになるので、閉弁時にそのＹ部に溜まった堆積物や付着物を、開弁時に中間室通路９より吸引、除去することも可能である。
このように、中間室通路９を利用すればＹ部のクリーニングを行うことも可能である。このとき、中間室通路９に焼結フィルタ等のフィルタ６を設置しておいても良い。
【００３９】
変形例
その他、本発明は上記各実施例に限られず、様々な設計事項の変更が可能である。
例えば、回転バルブ２を回転させるため、エアシリンダの代わりに油圧シリンダやリニアモータ、更に電気又は空気モータ等種々のアクチュエータを使用し得る。又上記実施例１では、本体ハウジング１の第２端部Ｂ側に設けたアクチュエータ１７により回転バルブ２を駆動するが、駆動方式はこれに限られず、本体ハウジング１の両端（第１端部Ａ，第２端部Ｂ）に設置したアクチュエータ１７により駆動しても良い。アクチュエータ１７の設置位置も、必ずしも上記実施例１の様に回転バルブ２の回転軸上に設置しておく必要は無く、例えば上記回転軸と実質的に直交する方向にアクチュエータ１７を取付けたりしても構わない。アクチュエータ１７は、回転バルブ２を駆動し得る様、回転バルブ２と機械的に連結されていれば足り、本体ハウジング１上にアクチュエータ１７を直接取り付けてこれらを一体的に構成する必要は特に無く、従ってアクチュエータ１７を本体ハウジング１とは別の対象物上に設置しても構わない。更に、回転バルブ２の駆動は、アクチュエータ１７より、直動−回転変換器１８のほか、例えばベルクランク等を用いたクランク機構、ケーブルリンケージ等のリンク機構、チェーンやベルトの様な伝動機構、カム機構又はギア機構等の機械的手段を介して行っても良い。
回転バルブ２の外形についても円柱型に限らず、両端部を先細りにする等、適宜変更可能である。ガスケットブロックについては、搬送系側のものと処理室側のものの２片からなるガスケットブロック４の接合は、締結ボルトその他適宜手段を使用して行っても良いほか、搬送系側と処理室側に分割せず一体成形しても構わない。更にガスケットブロックとしては、ＰＴＦＥのブロックからなるものに限らず、他の材料の表面上にＰＴＦＥの表面処理を施したもの、或いはそうでないものも利用し得る。シールパッキン５も同様に、ＰＴＦＥのコーティングを施したものに限らず、そうでないものも利用し得るほか、その母材も、ゴム等の弾性材料に限定されない。本体ハウジング１の材質も、アルミニウムに限定されない。上記実施例１に登場する各種補強材も、勿論適宜省略し得る。ベアリング３１の形式も、スラストベアリングに限定されない。回転バルブ２の構成も、ステンレス鋼管からなるものに限定されず、また胴部、両端部及びシャフト３０が一体成形されていても構わない。
【００４０】
又上記各実施例では、万一、本体ハウジング１側と回転バルブ２側の間の気密状態が維持出来なくなった場合には、中間室通路９を利用して処理室の気密性を損なわない様な気圧調節をすることができるが、上記気圧調整は真空排気に何ら限定されるものではなく、処理室の条件に合わせた加圧等も含まれる。
【００４１】
上記各実施例では、シールパッキン５は、実質上円形断面を有するいわゆるＯリングとしたが、断面形状はこれに限られず、多角形状或いは楕円等の変形形状であっても良い。要するにシールパッキン５は、気密性を保持可能なスクィーズパッキンであればそれで構わない。
【００４２】
更に上記各実施例では、シールパッキン５は、処理室側及び搬送系側のそれぞれのガスケットブロック４上における、ガスケットブロック４と回転バルブ２との境界面において、開口部２５の周りを一周する様な形で設置されているが、このシールパッキン５を、上記と同じ態様で、それぞれのガスケットブロック上にもう一周、上記１周目のシールパッキンとは適当な間隔を開けて設けておき、処理室側及び搬送系側のそれぞれのガスケットブロック４上にシールパッキンが２周以上ある様にしておけば、開口部２５及び貫通孔４５の開口幅を適宜調節することにより、中間室通路９に繋がる中間室１０９の部分を、回転バルブ２の回転位置（開弁時、閉弁時、又はその中間状態）に関わらず、常に一定条件（圧力等）としておくことが可能である。
【００４３】
尚、上記説明は、半導体等の各種製造ラインの搬送系と各処理室の境界に本発明のドラム型スリットバルブを適用した場合を想定して行ったが、本発明の用途はこれに限定されない。即ち、シート状の被処理物を互いに隔てられた隣接する２つの空間の一方の空間から他方の空間に搬送する必要があれば、その対象に本発明を適用できる。
【００４４】
【発明の効果】
以上、本発明によれば、被処理物を通過させ得る所定の貫通孔が設けられた回転バルブを回転させることで、無振動に近いバルブの高速開閉動作を実現出来る。そのため、本発明によれば、薄いけれど面積のある物、例えば畳状の被処理物を、効率良く通すことが出来る。本発明のドラム型スリットバルブは、開弁、閉弁動作を円滑に行う事が出来るので信頼性にも優れる。また、処理室への取付も容易であるほか、小型簡便な構造であるので、取扱も容易である。このように、本発明は極めて有用なるものである。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明が適用され得る製造ラインの一例を示す図である。
【図２】従来のボール型バルブを示す図である。
【図３】従来のゲート型バルブを示す図である。
【図４】本発明の一実施例を示す斜視図である。
【図５】本発明の一実施例の側面図である。
【図６】本発明の一実施例の中央横断面図である。
【図７】本発明の一実施例の縦断面図である。
【図８】回転バルブの側面図である。
【図９】本発明の一実施例の本体ハウジング部の平面図である。
【図１０】直動−回転変換器部分の拡大図である。
【図１１】回転バルブの別の実施例を示す中央横断面図である。
【図１２】回転バルブの別の実施例を示す側面図である。
【符号の説明】
Ａ本体ハウジング１の第１端部
Ｂ本体ハウジング１の第２端部
Ｃ本体ハウジング１の第１面
Ｄ本体ハウジング１の第２面
Ｊシールパッキン５の一部分
Ｋシールパッキン５の一部分
Ｘ回転バルブ２外周面の一部分
Ｙ回転バルブ２外周面の一部分
１本体ハウジング
２回転バルブ
３ガスケットブロック補強材
４ガスケットブロック
５シールパッキン
６フィルタ
７押え板内側パッキン
８押え板外側パッキン
９中間室通路
１０ガスケットブロック押え板
１１マグネット
１２相手側フランジパッキン
１３押え板取付ボルト
１４相手側フランジ用ボルト
１５本体ハウジング補強材
１６相手側フランジ
１７アクチュエータ
１８直動−回転変換器
１９第１のサイドカバー
２０第２のサイドカバー
２１アクチュエータ取付板
２２取付板支持ボルト
２３相手側フランジ取付穴
２４押え板ボルト
２５開口部
２６連結ピン
２７アクチュエータシャフト
２８回転用ガイド
２９回転治具本体
３０シャフト
３１ベアリング
３２締結具
３３胴部
３４第１端部
３５第２端部
３６孔部
３７補強材
３８軸受
３９処理室外壁
４０処理室
４１溝
４２溝
４３接触面
４４ガスケットブロック格納孔
４５貫通孔
４６弁ポート
５０製造ライン
５１被処理物
５２搬送系
５３第１処理室
５４横転システム・トラバース機構
５５中間取出し機構
５６第２処理室
５７第３処理室
５８バルブ
１００ボール型バルブ
１０１シールパッキン
１０２ボール
１０３パッキン押さえ
１０４スピンドル
１０５回転用ハンドル
１０６軸シールパッキン
１０７本体
１０８貫通孔
１０９中間室
１１０開口部
１５０ゲート型バルブ
１５１開口部
１５２ゲート
１５３シール
１５４アクチュエータ
１５５ベローズ
１５６本体
１５７アクチュエータシャフト[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to an opening / closing device (valve) that is installed at a boundary between two adjacent spaces separated from each other and conveys a sheet-like object to be processed from the one space to the other space.
[0002]
[Prior art]
[Patent Document 1]
JP 2001-289333 A
[Patent Document 2]
JP 2002-228043 A
[0003]
For example, the processing object is processed to maintain the airtightness of the processing chamber and to prevent impurities from entering the processing chamber at the boundary between the processing system and the processing chamber of various production lines such as semiconductors and displays. An opening / closing device (valve) is provided which is opened only when being carried out from the chamber or carried into the processing chamber, and placed in a closed state at other times.
FIG. 1 shows an example of the above production line. In the production line 50 shown in FIG. 1, the workpiece 51 is carried in from the right side of the drawing, passes through the first processing chamber 53, and then passes to the subsequent process through the second processing chamber 56 or the third processing chamber 57. Each processing chamber is, for example, a film forming apparatus or the like, and is constantly controlled so as to become a vacuum or an appropriate pressure. On the other hand, the other parts (such as the transport system 52) are placed in an environment different from each processing chamber, for example, open to the atmosphere. A transport system 52 and a rollover system / traverse mechanism 54 exist between the processing chambers. A valve 58 through which the workpiece 51 can pass is provided at the boundary between these and each processing chamber. The wall of each processing chamber is provided with an inlet / outlet part (valve port) corresponding to the opening of the valve 58. Delivery of the workpiece 51 between the two is performed via a valve 58. The same applies to each case described below.
This valve is required to (1) allow the workpiece to pass through easily and reliably, and (2) be excellent in the airtightness of the processing chamber when the valve is closed. Up to now, various types of valves have been devised, and these are roughly classified into so-called ball type valves and gate type valves (see Patent Documents 1 and 2).
[0004]
First, the structure of the ball type valve will be specifically described with reference to a plan view shown in FIG. FIG. 2 shows a conventional ball type valve, and is a side view partly broken for explaining the internal structure. The ball-type valve 100 includes a main body 107, a ball 102, a seal packing 101, a rotation mechanism (rotation handle 105, spindle 104), a main body opening 110 having a size capable of passing an object to be processed, and a size corresponding thereto. And has a through hole 108 that passes through the rotation axis of the spindle 104 and penetrates the ball 102. In addition, a gap portion surrounded by both the seal packings 101 in the main body 107, the surface of the ball 102, and the inner wall surface of the main body 107 may be formed. This is called an intermediate chamber 109.
The ball-type valve 100 rotates a spherical handle 102 coupled via a spindle 104 by turning a rotation handle 105 to open and close the valve. When the position of the ball through hole 108 and the main body opening 110 is aligned due to the rotation of the ball 102, the valve is opened. For example, as shown by the arrow in the figure, the workpiece is passed from the transfer system 52 side to the processing chamber 40 side. It can be made. On the other hand, when the through hole 108 becomes completely invisible from the opening 110, the valve is closed.
[0005]
Next, the structure of the gate type valve will be described with reference to FIG. 3A and 3B show a conventional gate type valve, in which FIG. 3A is an external perspective view, and FIG. 3B and FIG. 3C are side sectional views showing a valve closed state or a valve open state, respectively. The gate type valve 150 includes a main body 156, a gate 152, a seal 153, an actuator 154 and a bellows 155. When the valve is closed, the opening 151 is closed by the gate 152. The gate 152 and the main body 156 are made of a metal such as aluminum or stainless steel.
[0006]
By the way, in recent years, the area of an object to be processed has been increased, and in most cases, the vertical and horizontal widths both exceed 1,000 mm.
[0007]
However, due to the structure of the ball type valve, it is difficult to pass such a large object to be processed.
[0008]
In addition, in the gate type valve, for example, the gate type valve element (gate 152) itself is heavy to pass an object to be processed having a wide width, a thin area, and a large number of spindles for driving. It becomes complicated.
Further, as the gate opening / closing operation is repeated, (1) fine metal powder due to contact between the gate 152 and the main body 156, (2) or fine seal material powder due to wear of the seal 153, etc. are generated. There is a fear. These may be in direct contact with the object to be processed or may adhere to the object being processed in the processing chamber.
[0009]
As described above, there has been no conventional valve that can pass a large workpiece and has a simple structure and high reliability.
[0010]
[Problems to be solved by the invention]
Accordingly, an object of the present invention is to provide a highly reliable valve capable of passing a thin and wide large sheet-like workpiece while having a simple structure.
[0011]
[Means for Solving the Problems]
  As a result of various studies to solve the above problems, the present inventor allows a workpiece to pass through the rotary valve if a rotary drum having a substantially circular cross section extending in a columnar shape is used as a valve body (rotary valve). The present invention has been completed by finding that a through-hole having a size that can be obtained and further rotating the rotary valve to create a valve-opening state and a valve-closing state as appropriate.
  The valve of the present invention capable of solving the above problems is provided between a pair of adjacent processing chambers, and opens and closes a valve port provided in each processing chamber wall to process one sheet-like object to be processed. An opening and closing device used when transporting from one chamber to the other processing chamber,
Provided between a pair of adjacent processing chambers;
Openings communicating with the valve ports of the respective processing chambers are formed on the first surface in contact with the processing chamber wall on one side and the second surface in contact with the processing chamber wall on the other side. A main body housing configured to be transported from one processing chamber to the other processing chamber;
A rotary valve that is rotatably provided in the main body housing and can close the opening or communicate between the pair of processing chambers by adjusting a rotation angle position;
A drive unit for rotating the rotary valve in the body housing;
Together with
The main body housing includes a rotary valve storage chamber having a substantially circular cross section in a mode in which a rotary shaft of the rotary valve received therein is substantially perpendicular to a conveyance direction of the workpiece,A seal packing is provided around each of the openings in the inner surface of the rotary valve housing;
The rotary valve forms a columnar body having a size that can be stored in the rotary valve storage chamber, and a slit having an opening dimension that substantially matches the opening that penetrates the columnar body in the diameter direction of the rotary valve storage chamber. In addition to having a hole, when the valve is closed, the seal packing comes into contact with the surface of the rotary valve,
The cross-sectional shape of the rotary valve is
The distance from the central axis of the rotary valve to the outer periphery of the portion other than the portion that contacts the seal packing when the valve is closed is shorter than the distance from the central axis of the rotary valve to the outer periphery at the contact portion.FormIt is characterized by this.
  The seal packing may be provided on the surface of the rotary valve in addition to the inner surface of the rotary valve storage chamber. In this case, the seal packing isIt is provided so as to surround the opening when the valve is closed.
  In addition, a passage that communicates between the rotary valve storage chamber and the outside of the main body housing is disposed at an arbitrary position between the first surface side and the second surface side of the main body housing. In addition, it may be configured such that the atmospheric pressure in the main body housing can be adjusted or the deposits adhering to the surface of the rotary valve can be removed by suction.
  Further, the cross-sectional shape of the rotary valve storage chamber is separated from the rotary valve surface except for a portion around the opening where the rotary valve storage chamber inner surface contacts the rotary valve surface when the valve is closed.Form likeAlso good.
  In addition, the rotary valve storage chamber may comprise a gasket block provided in the main body housing.
  According to the present invention, since the through-hole can be provided in the longitudinal (width) direction of the rotary valve extending in the axial direction in accordance with the width and thickness of the workpiece, it is thin, wide, and has a large area. Things can be passed through.
[0012]
In the present invention, “rotation” means not only rotation in one direction around a certain axis, but also bilateral rotation in the left and right directions, and is not limited to one round, but a certain range around a certain axis. It also means the angular displacement of.
In the present invention, the “valve open state” refers to a state in which the position of the opening of the main body housing matches the position of the through hole of the rotary valve so that the workpiece can pass through the valve, and the “valve closed state” It refers to a state in which the object to be processed cannot pass through the valve because the opening of the main body housing is blocked by the surface of the body of the rotary valve without being particularly concerned with the rotation angle from the opened state.
In the present invention, the size of the through hole provided in the rotary valve corresponds to the size of the opening provided in the main body housing, but the through hole is large enough to allow the workpiece to pass through. If so, it does not necessarily have to be the same as the size of the opening of the main body housing.
[0013]
In the valve of the present invention, the body of the rotary valve may be substantially surrounded by a gasket block provided in the main body housing. Further, the gasket block or the inner wall surface of the main body housing may be provided with a seal packing that can contact at least the surface of the rotary valve in the closed state and surrounds the opening of the main body housing.
At this time, a space (intermediate chamber) surrounded by the surface of the rotary valve, the seal packing, and the inner wall of the main body housing or the gasket block can be formed in the main body housing. An intermediate chamber passage is provided for communication between the main body housing and the outside of the main body housing. As a result, if the gasket block 4 or the seal packing 5 is damaged or broken, and the airtight state between the body housing 1 side and the rotary valve 2 side cannot be maintained, the intermediate chamber passage 9 Can be used to adjust the air pressure so as not to impair the airtightness of the processing chamber.
[0014]
From the viewpoint of ensuring the hermetic performance of the valve of the present invention, the rotary valve has a cross-sectional shape that ensures that the rotary valve side and the body housing side are in close contact with each other at least when the valve is closed. It may be formed so as to obtain. Accordingly, the cross-sectional shape of the rotary valve is not limited to the one having the substantially circular cross section as described above, and may be appropriately modified, and is asymmetric in the vertical or horizontal direction when viewed from the rotation center axis. It does not matter.
Hereinafter, an example of the present invention will be shown to describe the present invention in more detail.
[0015]
【Example】
Example 1
One embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS.
A valve according to the present embodiment (hereinafter referred to as “drum-type slit valve”) is provided at a boundary portion between a transfer system and a processing chamber in, for example, a production line of a semiconductor or a display, and has, for example, a vacuum chamber. Incorporated into the inlet / outlet part (valve port) provided on the processing chamber wall of a film-forming apparatus, etc., for example, a processing object such as a semiconductor wafer or a mother glass for TFT-LCD is allowed to pass through, and this is carried out or processed from the processing chamber. It is intended to be brought into the room. Of course, the valve port is provided corresponding to the opening of the valve, and the transfer of the workpiece between the transfer system and the processing chamber is performed via the valve.
4 is an external perspective view showing an embodiment of a drum-type slit valve according to the present invention, FIG. 5 is a side view thereof, FIG. 6 is a central transverse sectional view thereof, and FIG. 7 is a longitudinal sectional view thereof. FIG. 8 is a side view of a rotary valve according to an embodiment of the present invention, FIG. 9 is a view showing a second end B of the main body housing portion, and FIG. 10 is an enlarged view of a linear motion-rotation converter portion.
[0016]
[Basic configuration]
FIG. 4 is a perspective view showing the appearance of the drum-type slit valve. (A), (b) represents the slit opening area, particularly the slit length, which is changed according to the size of the object to be processed. In (a), the object to be processed can pass through a semiconductor wafer or the like, and in (b), the object to be processed can pass through a thin and large area object such as a TFT-LCD panel having the same size as a tatami mat.
FIG. 5 is an external side view of the drum-type slit valve shown in FIG. The main body housing 1 is a prism or rectangular parallelepiped block made of aluminum, and is attached to the processing chamber outer wall 39 as shown in FIG. The object to be processed can be carried into the processing chamber 40 from the opening 25 or carried out of the processing chamber 40. The opening 25 is provided between the first end A and the second end B facing each other on the main body housing 1, and has a width and a thickness that allow a workpiece to pass through. It penetrates between the 1st surface C and 2nd surface D (surface which faces a processing chamber wall surface, and the surface on the opposite side) which oppose. The first surface C and the second surface D are substantially perpendicular to the end portions (first end portion A, second end portion B).
[0017]
As shown in phantom lines in FIGS. 4A and 5, a rotary valve 2 having a substantially circular cross section extending in a columnar shape in the width direction of an opening 25 formed in a slit shape inside the main body housing 1. Is stored. The rotary valve 2 is supported by bearings provided at both ends (first end A, second end B) in the width direction of the opening 25 of the main body housing 1. The bearing is covered with the first and second side covers (19, 20). Further, as indicated by phantom lines in FIG. 5, the body of the rotary valve 2 is substantially surrounded by a gasket block 4 provided in the main body housing 1. The rotary valve 2 rotates in the main body housing 1 and is driven by an actuator 17 that reciprocates in the width direction of the opening 25 via a linear-rotation converter 18 that is an intermediate mechanism. Is called. In this embodiment, the actuator 17 is an air cylinder.
As shown in FIG. 5, the actuator 17 itself is attached to the second end B of the main body housing 1 via the actuator attachment plate 21 and the attachment plate support bolt 22. Further, (1) the gasket block 4 is formed with a hole 36 corresponding to the shape of the opening 25 for passing the object to be processed, and (2) the rotary valve 2 is formed at the opening 25. Corresponding through holes 45 are provided. A gasket block pressing plate 10 is provided on the first surface C and the second surface D of the main body housing 1 to fix the gasket block 4 provided in the main body housing 1. The gasket block retainer plate 10 is attached to the main body housing 1 using a retainer plate bolt 24.
The details of the rotary valve 2 and the gasket block 4 and others will be described later.
[0018]
Next, the configuration of this embodiment will be described based on the central cross-sectional view of the drum-type slit valve of FIG. 4B shown in FIG. As shown in the figure, the rotary valve 2 has a substantially circular cross section.
In the drawing, there is a slight gap between the inner surface of the gasket block 4 and the outer peripheral surface of the rotary valve 2, but in actuality, both are in close contact with each other and maintain an airtight state. Therefore, the seal packing 5 is actually pressed by both the gasket block 4 and the rotary valve 2.
[0019]
FIG. 6 shows a valve open state, and the opening 25 on the main body housing 1 side and the through hole 45 on the rotary valve 2 side are aligned, so that the object to be processed is the opening 25 and the through hole 45. Can be passed. Accordingly, the object to be processed is transferred from the space on the first surface C side of the main body housing 1 (for example, the transfer system 52) to the space on the second surface D side (for example, the processing chamber 40) or in the opposite direction. I can do it.
On the other hand, in this embodiment, the state in which the rotary valve 2 is rotated by 90 ° from the state shown in FIG. 6 corresponds to the valve closed state. At this time, since the surface of the rotary valve 2 blocks the opening 25 of the main body housing 1, the object to be processed cannot pass through the valve. The airtightness of each space (conveyance system 52 or processing chamber 40) is maintained by the surface of the rotary valve 2, the seal packing 5 and the gasket block 4.
[0020]
Next, it attaches to each component and demonstrates based on FIG.
The main body housing 1 is attached to a mating side such as a wall surface 39 of the processing chamber 40 via the mating flange 16 and the mating flange packing 12. The mating flange 16 and the main body housing 1 are joined using mating flange bolts 14.
[0021]
The gasket block 4 is for improving the airtightness of the valve when the valve is closed, and its inner wall is formed so as to correspond to the surface of the rotary valve 2 having a substantially circular cross section. In this embodiment, the gasket block 4 is composed of two pieces, one on the transfer system 52 side (first surface C) and one on the processing chamber 40 side (second surface D). Both gasket blocks are stored in a gasket block storage hole 44 provided in the main body housing 1 and then pressed by the gasket block presser plate 10 from the processing chamber 40 side and the transport system 52 side, respectively. The gasket block retainer plate 10 is attached to the main body housing 1 using a retainer plate mounting bolt 13. Further, the gasket block presser plate 10 is provided with an inner packing 7 and an outer packing 8 for improving airtightness.
Furthermore, in this embodiment, the magnet block 11 joins the gasket block on the processing chamber 40 side and the gasket block on the transport system 52 side. According to this, it is not necessary to separately fasten both gasket blocks with bolts or the like, and the valve itself can be reduced in size and weight.
[0022]
The main body housing 1 and the gasket block 4 are provided with reinforcing materials (15, 3), respectively.
[0023]
The seal packing 5 is an annular member (so-called O-ring) having a substantially circular cross section. The seal packing 5 is installed on the inner wall surface of the gasket block 4 in a manner that prevents dropping. In the present embodiment, the groove 41 having a cross section in which the opening width in the bottom surface portion is larger than the opening width in the surface portion on the inner wall surface of the gasket block 4 is formed in the inner wall surface of the gasket block 4. The seal packing 5 is provided on the inner wall surface of the gasket block 4 so as to be fitted in the groove 41.
[0024]
In this embodiment, a groove 42 having the same cross-sectional shape is provided on both gasket blocks on the surface 43 where the gasket block on the processing chamber 40 side and the gasket block on the transport system 52 side contact each other. Yes. A magnet 11 having a corresponding cross-sectional shape is inserted into the groove 42 so that the magnet does not fall off from the gasket block 4. Further, because of such a structure, the magnet blocks do not escape from the gasket blocks due to the mutual attractive force of the magnets, and the gasket blocks on the processing chamber 40 side and the transfer system 52 side can be reliably joined.
[0025]
The gasket block 4 and the seal packing 5 are required to have an airtight holding performance, preferably (1) excellent in chemical resistance, (2) low coefficient of friction, and (3) good non-adhesiveness.
In this embodiment, the gasket block 4 is a solid block body of a fluororesin made of polytetrafluoroethylene (PTFE) marketed under the trade name Teflon (registered trademark). The seal packing 5 is made of PTFE coated on the surface of an elastic base material made of various rubbers. This prevents the outer peripheral surface of the rotary valve 2 from being worn due to repeated opening and closing of the valve.
[0026]
In the drum-type slit valve of the present invention, the intermediate chamber 109 may exist, but in the present embodiment, the intermediate chamber passage 9 is provided in the main body housing 1. If the intermediate chamber passage 9 is used, if the airtight state between the main body housing 1 side and the rotary valve 2 side cannot be maintained, the air pressure is adjusted so as not to impair the airtightness of the processing chamber. be able to.
[0027]
FIG. 7 is a longitudinal sectional view of the drum-type slit valve according to the present embodiment. Further, FIG. 8 is a side view showing the rotary valve 2 shown in FIG. 7, and FIG. 9 is a view showing the second end B of the main housing 1. 7 and 8, a portion corresponding to the body portion 33 of the rotary valve 2 is partially omitted. In FIG. 9, the second side cover 20 and the fastener 32 are omitted.
As shown in FIG. 7, the shaft 30 of the rotary valve 2 is connected to the linear motion-rotation converter 18. The shafts 30 are supported by bearings 38 at the first end A and the second end B, respectively. A bearing 31 is provided in the bearing 38 to make the shaft 30 slide smoothly. In this embodiment, the bearing 31 is a thrust bearing. Further, a fastener 32 is provided on the bearing 38 on the second end B side, and the amount of tightening of the fastener 32 is adjusted to suppress the shaft 30 from shaking.
[0028]
As shown in FIG. 8, the rotary valve 2 is provided with a through hole 45 through which an object to be processed can pass. The through hole 45 passes through the rotary valve 2 through the rotary shaft of the rotary valve 2. The size of the through hole 45 corresponds to the size of the opening 25 of the main body housing 1 and is thin and has a slit shape so that a wide range of objects to be processed can pass therethrough. In the case of the present embodiment, the slit has a thickness of about 20 to 50 mm and a slit width of about 400 to 1800 mm, and is appropriately changed depending on the size of the object to be processed. The diameter of the rotary valve 2 is about 120 mm, and the diameter of the shaft 30 is about 20 mm. The rotary valve 2 of the present embodiment is configured by processing a stainless steel pipe, and the surface is mirror-finished. The body 33, the shaft 30, and both end portions (the first end 34 and the second end 35) of the rotary valve 2 are made of different parts.
As shown in FIG. 9, the reinforcing members 37 are arranged radially from the center of the bearing 38 on the central axis of the shaft 30. FIG. 9 is a view of the bearing 38 from the second end B side of the main body housing 1, and the fastener 32 of FIG. 7 can be fastened to the central portion of the bearing 38. A bearing 31 is arranged in an annular portion around the center of the bearing 38.
[0029]
[Direct-to-rotary converter]
10 shows details of the linear motion-rotation converter 18 (intermediate mechanism) shown in FIGS. 4, 5, and 7. FIG. 10 (a) is a plan view and FIG. 10 (b) is a front view. FIG. FIG. 5B shows a state in which the actuator shaft 27 of the actuator 17 that performs the reciprocating motion rising or descending in the vertical direction is in the ascending position in the drawing. The linear motion-rotation converter 18 converts the linear reciprocating motion of the actuator shaft 27 into the rotational motion of the shaft 30. The actuator shaft 27 is a mover of the actuator 17 and corresponds to the cylinder portion of the air cylinder in this embodiment.
The connecting pin 26 is coupled to the actuator shaft 27 and reciprocates in a linear direction in conjunction with the movement of the actuator shaft 27. The connection pin 26 is also associated with the rotation guide 28, and as a result, the connection pin 26 moves along the rotation guide 28. The rotation guide 28 is provided on the inner surface of the rotation jig main body 29 in such a manner that a spiral is drawn around the central axis in the direction in which the central axis of the actuator shaft 27 extends. The rotating jig body 29 is coupled to the shaft 30 and is rotatable in the rotating direction of the rotary valve 2.
Here, the connecting pin 26 moves along a rotation guide 28 provided in a spiral shape in the rotating jig main body 29. On the other hand, the movement of the connecting pin 26 is limited to linear reciprocating motion. Thus, since the rotating jig body 29 is rotatable, the connecting pin 26 that performs the reciprocating motion in the linear direction moves along the rotation guide 28, and as a result, the shaft 30 rotates.
In this embodiment, a spiral groove is provided on the inner surface of the rotating jig body 29 as the rotation guide 28. In this embodiment, the rotary drum 2 is rotated by about 90 ° in accordance with the amplitude of the actuator shaft 27, and the valve is opened and closed by the reciprocation of the actuator 17. In this embodiment, when the actuator shaft 27 approaches the main body housing 1 (when the actuator shaft 27 is lowered in FIG. 10B), the valve is opened, and conversely, the actuator shaft 27 moves away from the main body housing 1. (When the actuator shaft 27 is raised in FIG. 10B), the valve is closed.
[0030]
[Operation]
Below, operation | movement and the usage method of the drum type slit valve which concern on a present Example are demonstrated.
First, the case where the workpiece 51 is carried into the processing chamber 40 from the transport system 52 will be described. (1) The actuator 17 is driven and the rotary valve 2 is rotated to open the valve. (2) The object to be processed in the transport system 52 is carried into the processing chamber 40 through the opening 25 of the main body housing 1 and the through hole 45 of the rotary valve 2. (3) After carrying in, the actuator 17 is driven again, and the rotary valve 2 is rotated by 90 ° to close the valve. This completes the carry-in operation. In the processing chamber, an operation such as performing a vapor deposition process on an object to be processed is started.
Even when the workpiece 51 is unloaded from the processing chamber 40 to the transfer system 52, the work may be performed in the same way as described above.
[0031]
Example 2
Simple and economical embodiment of the present invention
Example 2-1
In the first embodiment, the cross-sectional shape of the gasket block 4 is formed so that the inner wall thereof corresponds to the surface of the rotary valve 2 having a substantially circular cross section. On the other hand, when the present invention is implemented, it is sufficient that the rotary valve 2 side and the main body housing 1 side are in close contact with each other so that an airtight state is maintained. Accordingly, with respect to the cross-sectional shape of the gasket block 4, the inner wall of the rotary valve 2, for example, in the vicinity of the joint surface 43 of the two gasket blocks other than the portion where the hole 36 and the seal packing 5 are attached (near the groove 41). You may form so that it may always be in non-contact with the trunk | drum 33 surface. Similarly, a gasket block may be formed in which a portion for attaching the hole 36 and the seal packing 5 (near the groove 41) is left and the other portions are omitted.
In addition, the gasket block 4 is provided on both the first surface C side and the second surface D side of the main body housing 1 in the first embodiment. It is good also as a structure which does not use the block 4. In this case, a portion corresponding to the gasket block 4 described above is formed as a part of the main body housing 1. The same applies to the seal packing 5.
[0032]
Example 2-2
With the configuration shown in the first embodiment, the drum-type slit valve of the present invention can open and close the rotary valve 2 using the actuator 17 and close the rotary valve 2 side and the main body housing 1 side when the valve is closed. Thus, the airtight state can be reliably maintained.
Here, in order to reduce the drive torque of the actuator 17 required for driving the rotary valve 2, the following configuration may be employed.
[0033]
In other words, the cross-sectional shape of the rotary valve 2 of the present invention is only required to be formed so that the rotary valve 2 side and the main body housing 1 side are kept in close contact with each other at least when the valve is closed.
On the other hand, when the valve is rotating from the open state to the closed state or vice versa, the rotary valve 2 side and the body housing 1 side are in contact with each other in a state in which the valve itself is viewed in cross section. It doesn't have to be.
[0034]
Therefore, the cross-sectional shape of the rotary valve can be variously selected as shown in FIG. 11, for example, in addition to the substantially circular cross-section as shown in FIG. All the figures show the valve closed state. Although there is a slight gap between the inner surface of the gasket block 4 and the X surface of the rotary valve 2 in the drawing notation, the two are actually in close contact with each other, and the seal packing 5 is pressed by both of them. ing. FIG. 12 shows the state of the rotary valve 2 when the valve shown in FIG. 11A is viewed from the opening direction of the opening 25. The hatched portion in the figure is a portion that can come into contact with the seal packing 5 as indicated by the phantom line in FIG.
In the cross sectional shape of the rotary valve 2 shown in FIGS. 11A to 11C, the rotary valve 2 and the seal packing 5 are kept in close contact with each other at least when the valve is closed. That is, when the valve is closed, a portion X of the outer peripheral surface of the rotary valve 2 that corresponds to the seal packing 5 extending in the width direction of the main body housing 1 can come into contact with the seal packing 5 when the valve is closed. ing.
On the other hand, regarding the cross-sectional shape of the rotary valve 2, the shape other than the portion X may be appropriately determined as illustrated in FIGS. 11 (a) to 11 (c).
[0035]
If the cross-sectional shape of the rotary valve 2 is formed as described above, the driving torque of the actuator 17 can be reduced and the wear of the seal packing 5 can be reduced.
[0036]
As described above, the portion of the seal packing 5 extending in the width direction of the main body housing 1 (for example, the portion J in FIG. 12) is in contact with the surface of the rotary valve 2 when necessary, that is, at least in the closed state. On the other hand, in the present embodiment, the portion of the seal packing 5 extending in the rotation direction of the rotary valve 2 (for example, the K portion in FIG. 12) is always in contact with the surface of the rotary valve 2 ( (See the virtual line shown in FIG. 12).
[0037]
11A to 11C, the seal packing 5 is on the main body housing 1 side, but the seal packing 5 can also be installed on the rotary valve 2 side (FIG. 11 ( d) and (e)). In that case, at least the seal packing 5 that can contact the inner wall surface of the gasket block 4 when the valve is closed is exposed on the surface of the body 33 of the rotary valve 2 so as to be exposed to the opening 25 and close the opening when the valve is closed. Is provided so as to surround a part (Y portion in FIG. 11).
[0038]
Further, when the processing chamber is a CVD apparatus or a sputtering apparatus, various substances can adhere to and deposit on a portion of the surface of the rotary valve 2 (Y portion in FIG. 11) that faces the inside of the processing chamber when the valve is closed. Therefore, a portion Y of the rotary valve 2 exposed on the processing chamber inner surface when the valve is closed corresponds to a corresponding portion X of the outer peripheral surface of the rotary valve 2 that is in close contact with the seal packing 5 when the valve is closed as shown in FIGS. When the valve is opened, the Y part faces the intermediate chamber passage 9 when the valve is opened, so that deposits and deposits accumulated in the Y part when the valve is closed are opened. It is also possible to suck and remove from the intermediate chamber passage 9 during the valve operation.
In this way, if the intermediate chamber passage 9 is used, the Y portion can be cleaned. At this time, a filter 6 such as a sintered filter may be installed in the intermediate chamber passage 9.
[0039]
Modified example
In addition, the present invention is not limited to the above embodiments, and various design matters can be changed.
For example, in order to rotate the rotary valve 2, various actuators such as a hydraulic cylinder, a linear motor, and an electric or pneumatic motor can be used instead of the air cylinder. In the first embodiment, the rotary valve 2 is driven by the actuator 17 provided on the second end B side of the main body housing 1. However, the driving method is not limited to this, and both ends of the main body housing 1 (first end A , May be driven by an actuator 17 installed at the second end B). The installation position of the actuator 17 is not necessarily installed on the rotating shaft of the rotary valve 2 as in the first embodiment. For example, the actuator 17 is mounted in a direction substantially perpendicular to the rotating shaft. It doesn't matter. It is sufficient that the actuator 17 is mechanically connected to the rotary valve 2 so that the rotary valve 2 can be driven, and it is not particularly necessary to mount the actuator 17 directly on the main body housing 1 to integrally form them. Therefore, the actuator 17 may be installed on a different object from the main body housing 1. Further, the rotary valve 2 is driven by the actuator 17 in addition to the linear motion-rotation converter 18, for example, a crank mechanism using a bell crank or the like, a link mechanism such as a cable linkage, a transmission mechanism such as a chain or a belt, a cam, etc. You may carry out through mechanical means, such as a mechanism or a gear mechanism.
The outer shape of the rotary valve 2 is not limited to a cylindrical shape, and can be changed as appropriate, for example, by tapering both ends. As for the gasket block, the gasket block 4 consisting of two pieces, one on the conveyance system side and one on the processing chamber side, may be joined using fastening bolts or other appropriate means, or on the conveyance system side and the processing chamber side. You may integrally mold without dividing | segmenting. Further, the gasket block is not limited to a PTFE block, and a PTFE surface treated on the surface of another material or a non-PTFE block may be used. Similarly, the seal packing 5 is not limited to the PTFE-coated one, but other seal materials can be used, and the base material is not limited to an elastic material such as rubber. The material of the main body housing 1 is not limited to aluminum. Of course, the various reinforcing materials appearing in Example 1 may be omitted as appropriate. The type of the bearing 31 is not limited to the thrust bearing. The configuration of the rotary valve 2 is not limited to one made of a stainless steel pipe, and the body portion, both end portions, and the shaft 30 may be integrally formed.
[0040]
In each of the above embodiments, in the unlikely event that the airtight state between the main body housing 1 side and the rotary valve 2 side cannot be maintained, the intermediate chamber passage 9 is used so as not to impair the airtightness of the processing chamber. Although the atmospheric pressure can be adjusted, the atmospheric pressure adjustment is not limited to evacuation, and includes pressurization according to the conditions of the processing chamber.
[0041]
In each of the above embodiments, the seal packing 5 is a so-called O-ring having a substantially circular cross section, but the cross sectional shape is not limited to this, and may be a deformed shape such as a polygonal shape or an ellipse. In short, the seal packing 5 may be any squeeze packing that can maintain airtightness.
[0042]
Further, in each of the above embodiments, the seal packing 5 makes a round around the opening 25 at the boundary surface between the gasket block 4 and the rotary valve 2 on the gasket block 4 on the processing chamber side and the transfer system side. The seal packing 5 is provided in the same manner as described above on the gasket block one more time, with an appropriate interval from the first seal seal packing. If there are two or more rounds of seal packing on the respective gasket blocks 4 on the chamber side and the conveyance system side, the opening width of the opening 25 and the through hole 45 can be adjusted as appropriate to connect to the intermediate chamber passage 9. Regardless of the rotation position of the rotary valve 2 (when the valve is opened, when the valve is closed, or in an intermediate state thereof), the intermediate chamber 109 can always be set to a constant condition (pressure, etc.). It is.
[0043]
In addition, although the said description was performed supposing the case where the drum-type slit valve of this invention is applied to the boundary of the conveyance system of various manufacturing lines, such as a semiconductor, and each process chamber, the use of this invention is not limited to this. . That is, if it is necessary to transport a sheet-like object to be processed from one of two adjacent spaces separated from each other, the present invention can be applied to that object.
[0044]
【The invention's effect】
As described above, according to the present invention, by rotating a rotary valve provided with a predetermined through hole through which an object to be processed can pass, a high-speed opening / closing operation of the valve close to no vibration can be realized. Therefore, according to the present invention, it is possible to efficiently pass an object having a small area but, for example, a tatami-shaped object to be processed. The drum-type slit valve of the present invention is excellent in reliability because it can smoothly open and close the valve. In addition to being easy to attach to the processing chamber, it is easy to handle because of its small and simple structure. Thus, the present invention is extremely useful.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a diagram showing an example of a production line to which the present invention can be applied.
FIG. 2 is a view showing a conventional ball type valve.
FIG. 3 is a view showing a conventional gate type valve.
FIG. 4 is a perspective view showing an embodiment of the present invention.
FIG. 5 is a side view of an embodiment of the present invention.
FIG. 6 is a central cross-sectional view of one embodiment of the present invention.
FIG. 7 is a longitudinal sectional view of an embodiment of the present invention.
FIG. 8 is a side view of a rotary valve.
FIG. 9 is a plan view of a main body housing portion according to an embodiment of the present invention.
FIG. 10 is an enlarged view of a linear motion-rotation converter portion.
FIG. 11 is a central cross-sectional view showing another embodiment of the rotary valve.
FIG. 12 is a side view showing another embodiment of the rotary valve.
[Explanation of symbols]
A First end of main body housing 1
B Second end of main body housing 1
C 1st surface of main body housing 1
D Second surface of the main housing 1
Part of J seal packing 5
Part of K seal packing 5
X A part of the outer peripheral surface of the rotary valve 2
Y A part of the outer peripheral surface of rotary valve 2
1 Body housing
2 Rotary valve
3 Gasket block reinforcement
4 Gasket block
5 Seal packing
6 Filter
7 Presser plate inner packing
8 Presser plate outer packing
9 Intermediate room passage
10 Gasket block retainer plate
11 Magnet
12 Mating side flange packing
13 Presser plate mounting bolt
14 Mating flange bolt
15 Body housing reinforcement
16 Mating flange
17 Actuator
18 Linear-rotation converter
19 First side cover
20 Second side cover
21 Actuator mounting plate
22 Mounting plate support bolt
23 Mating flange mounting hole
24 Presser plate bolt
25 opening
26 Connecting pin
27 Actuator shaft
28 Guide for rotation
29 Rotating jig body
30 shaft
31 Bearing
32 Fastener
33 Torso
34 First end
35 Second end
36 hole
37 Reinforcing material
38 Bearing
39 Outer wall of processing chamber
40 treatment room
41 groove
42 groove
43 Contact surface
44 Gasket block storage hole
45 Through hole
46 Valve port
50 Production line
51 Workpiece
52 Transport system
53 First processing chamber
54 Rollover system and traverse mechanism
55 Intermediate removal mechanism
56 Second processing chamber
57 3rd processing chamber
58 valve
100 Ball type valve
101 Seal packing
102 balls
103 Packing presser
104 spindle
105 Rotating handle
106 Shaft seal packing
107 body
108 Through hole
109 Intermediate room
110 opening
150 Gate type valve
151 opening
152 Gate
153 seal
154 Actuator
155 Bellows
156 body
157 Actuator shaft

Claims

Provided between a pair of adjacent processing chambers;
An opening / closing device used when opening and closing a valve port provided in each processing chamber wall to convey a sheet-like object to be processed from one processing chamber to the other processing chamber,
Provided between a pair of adjacent processing chambers;
Openings communicating with the valve ports of the respective processing chambers are formed on the first surface in contact with the processing chamber wall on one side and the second surface in contact with the processing chamber wall on the other side. A main body housing configured to be transported from one processing chamber to the other processing chamber;
A rotary valve that is rotatably provided in the main body housing and can close the opening or communicate between the pair of processing chambers by adjusting a rotation angle position;
A drive unit for rotating the rotary valve in the body housing;
Together with
The main body housing includes a rotary valve storage chamber having a substantially circular cross section in a mode in which a rotation axis of the rotary valve stored therein is substantially perpendicular to a conveyance direction of the workpiece, and the rotary valve storage chamber A seal packing is provided around each of the openings on the indoor surface,
The rotary valve forms a columnar body having a size that can be stored in the rotary valve storage chamber, and a slit having an opening size that substantially matches the opening penetrating the columnar body in the diameter direction of the rotary valve storage chamber. In addition to having a hole, when the valve is closed, the seal packing comes into contact with the surface of the rotary valve.
The cross-sectional shape of the rotary valve is
The distance from the central axis of the rotary valve to the outer periphery of the portion other than the portion that contacts the seal packing when the valve is closed is formed to be shorter than the distance from the central axis of the rotary valve to the outer periphery at the contact portion. ,
A passage for communicating between the rotary valve storage chamber and the outside of the main body housing is disposed at an arbitrary position between the first surface side and the second surface side of the main body housing,
An opening / closing apparatus configured to be capable of adjusting the atmospheric pressure in the main body housing or sucking and removing deposits and the like adhering to the surface of the rotary valve using the passage.

Furthermore, the cross-sectional shape of the rotary valve storage chamber,
2. The opening and closing according to claim 1, wherein the inner surface of the rotary valve storage chamber is formed so as to be separated from the surface of the rotary valve except for a portion around the opening that is brought into contact with the surface of the rotary valve when the valve is closed. apparatus.

Provided between a pair of adjacent processing chambers;
An opening / closing device used when opening and closing a valve port provided in each processing chamber wall to convey a sheet-like object to be processed from one processing chamber to the other processing chamber,
Provided between a pair of adjacent processing chambers;
Openings communicating with the valve ports of the respective processing chambers are formed on the first surface in contact with the processing chamber wall on one side and the second surface in contact with the processing chamber wall on the other side. A main body housing configured to be transported from one processing chamber to the other processing chamber;
A rotary valve that is rotatably provided in the main body housing and can close the opening or communicate between the pair of processing chambers by adjusting a rotation angle position;
A drive unit for rotating the rotary valve in the body housing;
Together with
The rotary valve is formed in a substantially circular section of the columnar body, the diameter direction of the columnar body, in addition to being provided with the opening substantially coincident slit aperture dimensioned to penetrate the columnar body, the rotary valve surface In addition, a seal packing is provided so as to surround the opening when the valve is closed,
The main body housing has a rotary valve storage chamber having a columnar space in which the rotary valve can be accommodated in such a manner that the rotation axis of the rotary valve accommodated therein is substantially perpendicular to the conveyance direction of the workpiece. In addition, when the valve is closed, the seal packing comes into contact with the inner surface of the rotary valve storage chamber around the opening.
The cross-sectional shape of the rotary valve storage chamber is
The rotary valve storage chamber inner surface is formed so as to be separated from the seal packing except for a portion around the opening that is brought into contact with the seal packing when the valve is closed,
A passage for communicating between the rotary valve storage chamber and the outside of the main body housing is disposed at an arbitrary position between the first surface side and the second surface side of the main body housing,
An opening / closing apparatus configured to be capable of adjusting the atmospheric pressure in the main body housing or sucking and removing deposits and the like adhering to the surface of the rotary valve using the passage.

Furthermore, the cross-sectional shape of the rotary valve is
Distance from the center axis of the rotary valve in the portion other than the portion in contact with the rotary valve storage chamber surface when the valve is closed until the outer periphery, formed as to be shorter than the distance to the periphery from the central axis of the rotary valve in said contact portion switchgear according to claim 3, characterized in that.

The switchgear according to any one of claims 1 to 4, wherein the rotary valve storage chamber is formed of a gasket block provided in the main body housing.