JP3163675B2 - Mechanical interface device - Google Patents
Mechanical interface deviceInfo
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Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、半導体の製造プロセス
で用いられる機械式インターフェース・システム（ＳＭ
ＩＦ装置）に関する。The present invention relates to a mechanical interface system (SM) used in a semiconductor manufacturing process.
IF device).
【０００２】[0002]
【従来の技術】従来、半導体の処理は、半導体のパーテ
ィクル汚染を防止するために、特別に設計したクリーン
ルーム内で行なわれていたが、その保守を含めて費用が
かかりすぎるという問題がある他、パーティクル汚染の
汚染レベルの低減には限界があるので、例えば特開昭６
０−１４３６２３号公報に開示されているような標準化
された機械的インターフェース装置（ＳＭＩＦ装置）が
開発された。2. Description of the Related Art Conventionally, semiconductor processing has been carried out in a specially designed clean room in order to prevent particle contamination of the semiconductor. Since there is a limit in reducing the contamination level of particle contamination, for example,
A standardized mechanical interface device (SMIF device) as disclosed in Japanese Patent Application No. 0-143623 has been developed.
【０００３】このＳＭＩＦ装置は、例えば、図４に示す
ように、ウエハ処理装置（図示しない）を収納し、清浄
空気で満たされている装置の本体ケース１と、可搬式タ
イプのボックス（以下、ポッドＰＯＤという）１０およ
び搬送装置３０を含んでいる。装置本体の本体ケース１
の天板２にはポートプレート３によりポート（ウエハカ
セット２０の搬入・搬出口）４が形成されており、把持
部１０Ａを持つポッドＰＯＤ１０はこのポートプレート
３上に載置される。ポッドＰＯＤ１０はその開口１１の
周囲に環状部１２ａを持つフランジ１２を有する形状と
なっている。この例の搬送装置３０は昇降装置であっ
て、昇降軸３２に支持された昇降台３１にウエハカセッ
ト２０を載せて昇降するが、この昇降台３１は、ポート
ドアとなっており、最上昇時には、ポートプレート３に
下から当接もしくは嵌合してポート４を本体ケース１を
外部に対して密閉し、また、ポートドア３１上にあるウ
エハカセット２０の台２１はポッドＰＯＤ１０の開口１
１の周部に当接して当該開口１１を密閉する。この台２
１を、以下、ポッドドアという。１３はシール材であっ
て、ポッドＰＯＤ１０の開口とポッドドア２１との間を
シールし、シール材１４はポッドＰＯＤ１０のフランジ
１２とポートプレート３との間をシールし、シール材１
５はポートプレート３とポートドア３１との間をシール
する。４０はロック機構であって、図示しないギヤード
モータにより駆動されるロックレバー４１を有し、ポッ
ドＰＯＤ１０のフランジ１２をポートプレート３上へ押
し下げる働きをする。As shown in FIG. 4, for example, this SMIF apparatus accommodates a wafer processing apparatus (not shown), and includes a main body case 1 of the apparatus filled with clean air and a portable box (hereinafter, referred to as a box). A pod POD) 10 and a transport device 30. Main unit case 1 of the main unit
The top plate 2 has a port 4 (a loading / unloading port for the wafer cassette 20) 4 formed by a port plate 3, and a pod POD 10 having a grip portion 10A is placed on the port plate 3. The pod POD10 has a shape having a flange 12 having an annular portion 12a around an opening 11 thereof. The transfer device 30 in this example is a lifting device, and the wafer cassette 20 is placed on a lifting table 31 supported by a lifting shaft 32 to move up and down. The lifting table 31 is a port door, The port 4 is closed or fitted to the port plate 3 from below so as to seal the main body case 1 from the outside, and the table 21 of the wafer cassette 20 on the port door 31 is connected to the opening 1 of the pod POD10.
The opening 11 is closed by contacting the periphery of the opening 1. This stand 2
1 is hereinafter referred to as a pod door. 13 is a sealing material, and <br/> seal between the opening and the pod 21 of the pod POD10, the sealing member 14 seals between the flange 12 and the port plate 3 of the pod POD10, the sealing member 1
5 seals between the port plate 3 and the port door 31. A lock mechanism 40 has a lock lever 41 driven by a geared motor (not shown), and has a function of pushing down the flange 12 of the pod POD 10 onto the port plate 3.
【０００４】この例においては、処理前のウエハＷが図
示しない他の場所からポートドア３１上へ移載されたの
ち、ポッドＰＯＤ１０をポートプレート３上に載置し、
ロックレバー４１で固定する。ロックレバー４１で固定
したのち、ポッドＰＯＤ１０内に清浄空気を供給して、
ポッドＰＯＤ１０内を本体ケース１内と同様の清浄雰囲
気としたのち、ポートドア３１を移載位置まで下降す
る。ポートドア３１が移載位置まで下降すると、図示し
ない移載装置がポートドア３１上のウエハカセット２０
を処理機械へ搬送する。In this example, after a wafer W before processing is transferred from another place (not shown) onto the port door 31, the pod POD10 is placed on the port plate 3, and
It is fixed with the lock lever 41. After fixing with the lock lever 41, clean air is supplied into the pod POD10,
After the inside of the pod POD10 has the same clean atmosphere as the inside of the main body case 1, the port door 31 is lowered to the transfer position. When the port door 31 is lowered to the transfer position, the transfer device (not shown)
To a processing machine.
【０００５】[0005]
【発明が解決しようとする課題】ところで、従来は、ウ
エハＷのパーティクル汚染が問題になっていたが、半導
体集積回路の高密度化が進むに従い、空気中の酸素によ
るウエハ表面の自然酸化膜の影響が問題となり始め、こ
の自然酸化膜の成長を防止するため、ウエハＷの移動、
搬送等を不活性ガス（Ｎ2 ガス）雰囲気中で行なう必要
が生じ、現在では、Ｏ2 、Ｈ2 Ｏの濃度が１０ｐｐｍ以
下であるＮ2 ガス雰囲気が要求されている。Conventionally, particle contamination of the wafer W has been a problem. However, as the density of semiconductor integrated circuits has increased, the natural oxide film on the wafer surface has been reduced due to oxygen in the air. The influence begins to become a problem, and in order to prevent the growth of this natural oxide film, the movement of the wafer W,
It is necessary to carry out the transfer in an inert gas (N 2 gas) atmosphere. At present, an N 2 gas atmosphere in which the concentrations of O 2 and H 2 O are 10 ppm or less is required.
【０００６】上記したＳＭＩＦ装置を用いる場合には、
本体ケース１内の空気をＮ2 ガスで置換してＮ2 ガス雰
囲気とし、ポッドＰＯＤ１０は、当該ポッドＰＯＤ１０
が本体ケース１の天板２上にセットされる都度、その内
部をＮ2 ガスで置換してＮ2ガス雰囲気とすることにな
る。When using the above SMIF device,
And N 2 gas atmosphere of air in the main body case 1 is replaced with N 2 gas, pod POD10 is the pod POD10
There each time is set on the top plate 2 of the casing 1, so that the N 2 gas atmosphere to replace the interior with N 2 gas.
【０００７】この場合、ポッドＰＯＤ１０とポートプレ
ート３間、ポッドＰＯＤ１０とポッドドア２１との間、
ポートドア２１とポートプレート３との間のシール性、
特に、ポッドＰＯＤ１０とポートプレート３間のシール
性の向上が要求されるが、シール材（Ｏーリング）は製
造上のバラツキがあり、巨視的に見た場合、きれいな平
面に対して波を打った形状のものもあるので、前記ロッ
クレバー４１を用いるような機械的手段でシール材（Ｏ
ーリング）を押圧する方法では、充分なシール性能を得
ることが難しく、この機械的手段でシール性能を向上す
るには、ポートプレート３の周方向に多数のロックレバ
ー４１を配設する必要がある上、ポッドＰＯＤ１０が大
きくなると所要の押圧力が大きくなるので、１つ１つの
ロック機構が大形化し、これに要する費用も高価になる
他、本体ケースのポートまわりが煩雑になり、ロック機
構のために大きなスペースを取られるという問題があ
る。In this case, between the pod POD10 and the port plate 3, between the pod POD10 and the pod door 21,
Sealing properties between the port door 21 and the port plate 3,
In particular, it is required to improve the sealing property between the pod POD 10 and the port plate 3. However, the sealing material (O-ring) has manufacturing variations, and when viewed macroscopically, it undulates on a clean flat surface. Since there is a sealing material (O), mechanical means such as using the lock lever 41 is used.
In this method, it is difficult to obtain a sufficient sealing performance. In order to improve the sealing performance by this mechanical means, it is necessary to arrange a large number of lock levers 41 in the circumferential direction of the port plate 3. In addition, if the size of the pod POD10 becomes large, the required pressing force becomes large, so that each locking mechanism becomes large, the cost required for this becomes expensive, and the periphery of the port of the main body case becomes complicated, and the locking mechanism of the locking mechanism becomes difficult. Therefore, there is a problem that a large space is required .
【０００８】本発明はこの問題を解消するためになされ
たもので、本体ケースのポートまわりにロック機構等を
設けることなく、簡便な手段で、ポッドと装置本体間の
シール性を確実に向上することができる機械式インター
フェース装置を提供することを目的とする。SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve this problem, and the seal between the pod and the apparatus main body is reliably improved by simple means without providing a lock mechanism or the like around the port of the main body case. and to provide a mechanical interface equipment capable.
【０００９】[0009]
【課題を解決するための手段】本発明は上記目的を達成
するため、請求項１では、本体ケースに設けられ被処理
物の搬入・搬出用ポートを形成するポートプレート上に
シール材を介して載置されて前記ポートを覆う開口フラ
ンジ付ポッド、このポッドの開口を閉鎖可能なポッドド
ア、前記本体ケース内に昇降可能に支持され最上昇時に
上記ポートプレートに係合して前記ポートを閉鎖するポ
ートドア、および上記ポッドのフランジを上記ポートプ
レートに向けて付勢する手段とを備え、このポートドア
が上記ポッドドアを上記ポッド内から本体ケースへまた
その逆へ搬送する機械式インターフェース装置におい
て、上記付勢する手段が、上記ポッドのフランジとポー
トプレートとの対向面間に周方向に延びる環状の閉鎖さ
れた溝状空間を形成し、この溝状空間の空気を排気して
上記ポートプレートと上記ポッドのフランジとの対向面
間に真空吸引力を作用させる第１の手段を有する構成と
した。According to the present invention, in order to achieve the above object, according to the first aspect of the present invention, there is provided on a port plate provided in a main body case and forming a port for carrying in / out of a workpiece.
A pod with an opening flange that is placed via a sealing material and covers the port, a pod door that can close the opening of the pod, is supported in the main body case so as to be able to move up and down, and engages with the port plate at the time of the highest movement to engage the port plate A mechanical interface for transporting the pod door from within the pod to the body case and vice versa, comprising a port door closing the port, and means for biasing the flange of the pod toward the port plate. In the apparatus, the urging means may include a flange of the pod and a port.
Annular closure extending circumferentially between the surfaces facing the plate
The formed groove-like space, configuration having a first means for applying a vacuum suction force between the facing surfaces of the flanges of the exhaust to <br/> said port plate and the pod air of the groove-shaped space And
【００１０】請求項２では、請求項１記載の機械式イン
ターフェース装置であって、付勢する手段が、上記ポッ
ドのフランジとポートプレートとの対向面間に磁気吸引
力を作用させる第２の手段を有する構成とした。According to a second aspect of the present invention, there is provided the mechanical type
An urging means, wherein the urging means is
And a second means for applying a magnetic attraction force between the facing surface of the flange of the door and the port plate .
【００１１】請求項３では、請求項１または２記載の機
械式インターフェース装置であって、第１の手段が、ポ
ッドのフランジとポートプレートの互いに面対向する部
分のいずれか一方の面に設けられ周方向に延びる溝状空
間を区画する２本のシール材と、上記ポートプレートに
設けられ一端が上記溝状空間に向かって開口し他端が装
置外の真空ポンプに連絡される通路孔とを有する構成と
した。請求項４では、請求項２記載の機械式インターフ
ェース装置であって、第２の手段が、上記ポッドのフラ
ンジと上記ポートプレートの互いに面対向する部分のい
ずれか一方の部材に設けられ周方向に並ぶ複数の永久磁
石と、他方の部材が磁性体であるかもしくは上記永久磁
石列と対向して周方向に延びる磁性体部材とを有してい
る構成とした。According to a third aspect, the machine according to the first or second aspect is provided.
A mechanical interface device, wherein a first means is provided on one of surfaces of a pod flange and a port plate facing each other, and defines two circumferentially extending groove-shaped spaces. If, and configured to have a passage hole having one end disposed in the port plate aperture and the other end towards the groove-shaped space is contacted outside the apparatus of the vacuum pump. According to claim 4, the mechanical interface according to claim 2 is provided.
A plurality of permanent magnets provided on one of members of the pod flange and the port plate facing each other, the permanent magnets being arranged in a circumferential direction, and the other member being a magnetic member. or whether the body has a configuration having a magnetic member extending in the permanent magnet array and opposite to the circumferential direction.
【００１２】請求項５では、請求項１〜４のいずれか１
項に記載の機械式インターフェース装置であって、ポッ
ドのフランジは、嵌合部となる環状部と当該環状部から
外方に広がる延長フランジを有し、上記環状部はポート
プレートに内嵌可能であるとともにポッドドアに外嵌可
能であり、付勢する手段は、上記延長フランジ側に設け
られるようにした。In a fifth aspect , any one of the first to fourth aspects is provided.
A mechanical interface according to claim, the flange of the pod has a prolongation flange that spread outward from the annular portion and the annular portion as a fitting portion, the annular portion inner port plate as well as a possible fit is possible fitted on the pod door, means for urging was to <br/> et Re so that provided in the upper Symbol extension flange side.
【００１３】請求項６では、請求項１〜５のいずれか１
項に記載の機械式インターフェース装置であって、ポッ
ドのフランジの下面に偏平の脚部を有し、この偏平脚部
は、溝状空間に対応する位置に設けられている構成とし
た。According to claim 6, any one of claims 1 to 5 is provided.
In the mechanical interface device described in the paragraph, a flat leg is provided on a lower surface of a flange of the pod, and the flat leg is provided at a position corresponding to the groove-shaped space.
【００１４】[0014]
【作用】本発明では、ポッドをポートプレート上に載置
すると、第２の手段が働いて、ポッドのフランジに永久
磁石の磁気吸引力が作用し、全周で両シール材を押圧す
る。真空ポンプを動作させると、両シール材が形成する
溝状空間が負圧になり、ポッドのフランジがポートプレ
ート側へ吸引されて、両シール材を強く押圧する。According to the present invention, when the pod is placed on the port plate, the second means operates, and the magnetic attraction force of the permanent magnet acts on the flange of the pod, thereby pressing both seal members all around. When the vacuum pump is operated, the groove-shaped space formed by both seal materials becomes negative pressure, and the flange of the pod is sucked toward the port plate side to strongly press both seal materials.
【００１５】[0015]
【実施例】以下、本発明の１実施例を図面を参照して説
明する。An embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings.
【００１６】図１において、ポッドＰＯＤ１０は磁性体
（磁性ステンレスからなる）であって、そのフランジ１
２は環状部１２ｂから更に外方に広がる延長フランジ１
２Ａが形成された広幅のフランジとなっている。本実施
例の環状部１２ｂは嵌合筒部（位置決め用の嵌合筒部）
となっており、ポッドＰＯＤ１０は、この環状部１２ｂ
をポートプレート３に内嵌して当該ポートプレート３上
に載置され、ポッドドア２１はこの環状部１２ｂに内嵌
する。嵌合筒部１２ｂの先端は丸みを帯びた形状になっ
ている。ポートプレート３の表面の延長フランジ１２Ａ
に対向する部分には、周方向に延びるシール溝３ａと３
ｂが周方向と直交する方向に小間隔を隔てて形成されて
いる。このシール溝３ａと３ｂにはシール材（Ｏーリン
グ）５１ａ、５１ｂが嵌着され、両シール材はポートプ
レート表面に環状の溝状空間Ａを形成する。ポートプレ
ート３には、更に、一端が上記シール溝３ａ、３ｂとの
間からポートプレート３表面に開口し、他端がポートプ
レート３の外側面に開口する通路孔３Ｃが形成されると
ともに、図示しないガス給気口とガス排気口３Ｅが形成
されている。この通路孔３Ｃには配管５２が接続され、
この配管５２は本体ケース１の外に配設された真空ポン
プ６０に接続されている。５３は永久磁石であって、ポ
ートプレート３の表面の延長フランジ１２Ａに対向する
部分に埋設状に設けられており、この永久磁石は、図２
に示すように、ポートプレート３の周方向に一定間隔を
隔てて並んでいる。本実施例のポートドア３１はその下
部に鍔部３１Ａを有し、この鍔部３１Ａにポートプレー
ト３との間をシールするシール材１５が嵌着されてい
る。In FIG. 1, a pod POD10 is a magnetic material (made of magnetic stainless steel),
2 is an extension flange 1 extending further outward from the annular portion 12b
It is a wide flange on which 2A is formed. The annular portion 12b of this embodiment is a fitting cylinder (fitting cylinder for positioning).
And the pod POD10 is
The then fitted into the port plate 3 is placed on the port plate 3, the pod door 21 is fitted into the annular portion 12b. The tip of the fitting tube portion 12b has a rounded shape. Extension flange 12A on the surface of port plate 3
Are provided in the portions opposed to the seal grooves 3a and 3
b are formed at small intervals in a direction perpendicular to the circumferential direction. Sealing materials (O-rings) 51a and 51b are fitted into the sealing grooves 3a and 3b, and both sealing materials form an annular groove-shaped space A on the surface of the port plate. The port plate 3, further, one end the sealing groove 3a, opened in the port plate 3 from the surface between 3b, together with the other end the passage holes 3C which opens to the outer surface of the port plate 3 is formed, illustrated A gas inlet and a gas outlet 3E are formed. A pipe 52 is connected to the passage hole 3C,
The piping 52 is connected to a vacuum pump 60 disposed outside of the main body case 1. Numeral 53 denotes a permanent magnet which is buried in a portion of the surface of the port plate 3 which faces the extension flange 12A.
As shown in the figure, the port plates 3 are arranged at regular intervals in the circumferential direction. The port door 31 of the present embodiment has a flange 31A at a lower portion thereof, and a sealing material 15 for sealing between the flange 31A and the port plate 3 is fitted to the flange 31A.
【００１７】なお、ガス給気口とガス排気口３Ｅはポッ
ドＰＯＤ１０内をＮ2 ガス置換する場合に利用されるも
のであり、ガス給気口は配管を通して図示しないＮ2 ガ
スボンベに連絡される。また本体ケース１内は、Ｎ2 ガ
ス雰囲気にあり、常時、２０リットル／分のＮ2 ガス注
入により与圧されている。The gas supply port and the gas exhaust port 3E are used for replacing the inside of the pod POD 10 with N 2 gas. The gas supply port is connected to an N 2 gas cylinder (not shown) through a pipe. The interior of the main body case 1 is in an N 2 gas atmosphere, and is always pressurized by injecting 20 L / min of N 2 gas.
【００１８】本実施例においては、ポッドＰＯＤ１０が
装置外から本体ケース１のポートプレート３上へ移載さ
れると、両シール材５１ａ、５１ｂが形成する溝状空間
Ａが延長フランジ１２Ａ下面で閉鎖される。この状態
で、ポッドＰＯＤ１０の上記移載が終わると、真空ポン
プ６０が駆動される。真空ポンプ６０が駆動されると、
配管５２内が負圧になるので、閉鎖された溝状空間Ａの
空気は配管５２を通して外へ排気され、溝状空間Ａが負
圧となる。溝状空間Ａが負圧になると、ポッドＰＯＤ１
０のフランジ１２に対して吸引力が作用するので、ポッ
ドＰＯＤ１０のフランジ１２はシール材５１ａ、５１ｂ
の弾力に抗してポートプレート３側へ変位し、ポートプ
レート３との間にシール材５１ａ、５１ｂを挟圧する。In this embodiment, when the pod POD 10 is transferred from the outside of the apparatus onto the port plate 3 of the main body case 1, the groove-shaped space A formed by the sealing members 51a and 51b is closed by the lower surface of the extension flange 12A. Is done. In this state, when the transfer of the pod POD10 is completed, the vacuum pump 60 is driven. When the vacuum pump 60 is driven,
Since the inside of the pipe 52 has a negative pressure, the air in the closed grooved space A is exhausted to the outside through the pipe 52, and the grooved space A has a negative pressure. When the groove-shaped space A becomes a negative pressure, the pod POD1
Since the suction force acts on the flange 12 of the pod POD 10, the flange 12 of the pod POD 10
Displaces toward the port plate 3 against the elasticity of the sealing member 51, and presses the sealing members 51 a and 51 b between itself and the port plate 3.
【００１９】前記したように、一般に、シール材（Ｏー
リング）は製造上のバラツキがあり、巨視的に見た場
合、きれいな平面に対して波を打った形状のものもある
ので、ポッドＰＯＤ１０をポートプレート３上に載置し
た状態では、両シール材５１ａ、５１ｂがその全周でフ
ランジ１２の面に接触係合している保証がなく、一部非
接触係合部分があることを看過して、上記真空吸引した
場合には、充分な真空吸引力が得られない。As described above, in general, the sealing material (O-ring) has manufacturing variations, and when viewed macroscopically, there is also a sealing material (O-ring) having a shape in which waves are formed on a clean plane. When mounted on the port plate 3, there is no guarantee that the sealing members 51a and 51b are in contact with the surface of the flange 12 on the entire periphery thereof, and it is overlooked that there is a non-contact engagement portion. When the above-mentioned vacuum suction is performed, a sufficient vacuum suction force cannot be obtained.
【００２０】しかし、本実施例では、ポートプレート３
に永久磁石５３を配設し、ポッドＰＯＤ１０が磁性体で
あるので、ポッドＰＯＤ１０のフランジ１２が磁気吸引
力を受けてシール材５１ａ、５１ｂを押圧する。永久磁
石５３はポートプレート３の周方向に多数並んでいるの
で、上記磁気吸引力はポッドＰＯＤ１０のフランジ１２
の全周に作用する。However, in this embodiment, the port plate 3
Since the pod POD10 is made of a magnetic material, the flange 12 of the pod POD10 receives magnetic attraction and presses the sealing members 51a and 51b. Since a large number of permanent magnets 53 are arranged in the circumferential direction of the port plate 3, the magnetic attraction force is applied to the flange 12 of the pod POD 10.
Acts all around.
【００２１】従って、本実施例では、ポッドＰＯＤ１０
をポートプレート３上に載置すると、ポッドＰＯＤ１０
のフランジ１２に上記磁気吸引力が作用して全周で両シ
ール材５１ａ、５１ｂを押圧するので、上記溝状空間Ａ
が充分に密封された空間となり、上記真空吸引により、
シール材５１ａ、５１ｂはもちろんシール材１３も確実
にその全周で強く挟圧され良好なシール性を確保する。Therefore, in this embodiment, the pod POD10
Is placed on the port plate 3, the pod POD10
The magnetic attraction force acts on the flanges 12 to press the sealing members 51a and 51b all around, so that the groove-shaped space A
Becomes a well-sealed space, and by the above vacuum suction,
The sealing material 13 as well as the sealing materials 51a and 51b are firmly squeezed over the entire circumference to ensure good sealing performance.
【００２２】このように、本実施例では、永久磁石５３
の磁気吸引力により、溝状空間Ａを完全に気密な空間と
したのち、真空吸引を行なうから、ポッドＰＯＤ１０内
を確実に外気に対して遮断することができる。As described above, in this embodiment, the permanent magnet 53
After the groove-shaped space A is made completely airtight by the magnetic attraction force, vacuum suction is performed, so that the inside of the pod POD10 can be reliably shut off from outside air.
【００２３】本実施例のＳＭＩＦ装置は、このようにし
て、ポッドＰＯＤ１０内を確実に外気に対して遮断した
状態で、図示しないガス給気口およびガス排気口３Ｅを
利用して、ポッドＰＯＤ１０内をＮ2 ガスで置換する。 The SMIF system of this embodiment, in this way, in <br/> while blocking against reliably outside air in the pod POD10, utilizing not shown gas supply port Contact and gas outlet 3E to, replace the pod POD10 with N 2 gas.
【００２４】上記実施例のポッドＰＯＤ１０のフランジ
１２は環状部１２ｂと延長フランジ１２Ａを有している
が、ポッドＰＯＤのフランジ１２として、これらを持た
ないものがものがある。この種のものでは、ポッドＰＯ
Ｄ１０を装置外の床や棚に置いた場合に、フランジ１２
の下面前面に塵埃が付着しやすいので、図３（Ａ）・
（B ）に示すように、偏平の脚部１２ｃを設ける。この
偏平の脚部１２ｃは周方向に複数個並ぶものであって
も、また連続した環状ものであってもよい。この偏平の
脚部１２ｃがあれば、ポッドＰＯＤ１０を、図３の
（Ａ）に示すように、装置外の床や棚に置いた場合、当
該偏平の脚部１２ｃの下面にだけ、塵埃が付着等が付着
する。The flange 12 of the pod POD 10 of the above embodiment has an annular portion 12b and an extension flange 12A, but some pod POD flanges 12 do not have these. In this kind of pod PO
When D10 is placed on the floor or shelf outside the apparatus, the flange 12
Since the dust adheres easily to the lower surface front, FIG. 3 (A) ·
As shown in (B) , a flat leg portion 12c is provided. A plurality of flat legs 12c may be arranged in the circumferential direction, or may be a continuous annular shape. If the pod POD10 is placed on a floor or a shelf outside the apparatus, as shown in FIG. 3A, dust adheres only to the lower surface of the flat leg 12c if the flat leg 12c is provided. Adheres.
【００２５】従って、この偏平の脚部１２ｃを、溝状空
間Ａに対向する位置に設け、ポッドＰＯＤ１０を本体ケ
ース１のポートプレート３上へ移載した状態で、偏平突
部１２ｃが通路孔３Ｃとの間に、図３の（Ｂ）に示すよ
うに、空気流が通過可能な間隙を隔ててポートプレート
３表面に対向するようにしておけば、偏平の脚部１２ｃ
の下面に付着している塵埃等は真空吸引により装置外へ
吸引され、偏平の脚部１２ｃの下面は浄化される。Therefore, when the flat leg 12c is provided at a position facing the groove-shaped space A and the pod POD 10 is mounted on the port plate 3 of the main body case 1, the flat projection 12c is connected to the passage hole 3C. As shown in FIG. 3 (B), the flat leg portion 12c can be opposed to the surface of the port plate 3 with a gap through which the air flow can pass.
And the like adhering to the lower surface of the flat leg portion 12c are sucked out of the apparatus by vacuum suction, and the lower surface of the flat leg portion 12c is purified.
【００２６】なお、上記実施例では、ホッドＰＯＤ１０
を磁性体としたが、ホッドＰＯＤ１０を非磁性体とし、
延長フランジ１２Ａの上表面に永久磁石の列と当該延長
フランジ１２Ａ部を介して対向するように、周方向に延
びる磁性体部材を取付けてもよい。In the above embodiment, the hod POD10
Is a magnetic material, but the hod POD10 is a non-magnetic material,
A magnetic member extending in the circumferential direction may be attached to the upper surface of the extension flange 12A so as to face the row of permanent magnets via the extension flange 12A.
【００２７】また、シール材５１ａ、５１ｂを延長フラ
ンジ１２Ａ側に設けてもよい。Further, the sealing members 51a and 51b may be provided on the extension flange 12A side.
【００２８】また、ポートプレート３を磁性体とし、延
長フランジ１２Ａ側に永久磁石５３を配列してもよい。Further, the port plate 3 may be made of a magnetic material, and the permanent magnets 53 may be arranged on the extension flange 12A side.
【００２９】また、２本のシール材５１ａ、５１ｂで１
本の溝状空間Ａを形成しているが、溝状空間Ａを複数本
形成してもよく、２本以上のシール材で１本の溝状空間
Ａを形成してもよい。The two sealing materials 51a and 51b are used for one.
Although a groove-shaped space A of this may be a groove-shaped space A formed multilayer several, it may form a single groove-shaped space A with two or more sealing material.
【００３０】[0030]
【発明の効果】本発明は以上説明した通り、ポッドのフ
ランジをポートプレートに向けて付勢する手段として、
真空吸引力を利用する構成としたことにより、所要の挟
圧力を容易に得ることができるので、気体に対するシー
ル性を向上することができる上、補助的に永久磁石によ
る磁気吸引力も利用するみとにより、シール材の波打ち
等があっても、確実にシール材全周に亘って所要の挟圧
力を作用させることができ、信頼性を向上することがで
きる。As described above, the present invention provides a means for urging the pod flange toward the port plate.
Since the required clamping pressure can be easily obtained by employing the structure using the vacuum attraction force, the sealing performance against gas can be improved, and the magnetic attraction force by the permanent magnet is additionally used. Accordingly, even if the sealing material is wavy or the like, a required clamping pressure can be reliably applied over the entire circumference of the sealing material, and reliability can be improved.
【００３１】また、本体ケースのポートまわりに部材を
配設する必要がないので、前記ロック機構等を設ける場
合に比して、ポートまわりを簡素化することができる利
点がある。Since there is no need to dispose members around the ports of the main body case, there is an advantage that the area around the ports can be simplified as compared with the case where the lock mechanism or the like is provided.
【図１】本発明の実施例を示す縦断面図である。FIG. 1 is a longitudinal sectional view showing an embodiment of the present invention.
【図２】上記実施例におけるポートプレートの平面図で
ある。FIG. 2 is a plan view of a port plate in the embodiment.
【図３】ポッドのフランジの他の例を示す図である。FIG. 3 is a view showing another example of the flange of the pod.
【図４】従来のＳＭＩＦ装置の概略を示す図である。FIG. 4 is a diagram schematically showing a conventional SMIF device.
１ 本体ケース ３ ポートプレート ３ａ、３ｂ シール溝 ３Ｃ 通路孔 ３Ｅ 排気口 ４ ポート １０ ポッドＰＯＤ １１ ポッドＰＯＤの開口 １２ ポッドＰＯＤのフランジ １２Ａ 延長フランジ １２ｂ 環状部 １２ｃ 偏平の脚部 １３、１５ シール材 ２０ ウエハカセット ２１ ポッドドア ３１ ポートドア ３１Ａ ポートドアの鍔部 ３２ 昇降軸 ４０ ロック機構 ５１ａ、５１ｂ シール材 ５２ 配管 ５３ 永久磁石 ６０ 真空ポンプ Ａ 溝状空間 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Main body case 3 Port plate 3a, 3b Seal groove 3C Passage hole 3E Exhaust port 4 Port 10 Pod POD 11 Pod POD opening 12 Pod POD flange 12A Extension flange 12b Annular part 12c Flat leg part 13, 15 Sealing material 20 Wafer Cassette 21 Pod door 31 Port door 31A Port door flange 32 Elevating shaft 40 Lock mechanism 51a, 51b Seal material 52 Piping 53 Permanent magnet 60 Vacuum pump A Groove space
フロントページの続き (72)発明者 林 満弘 三重県伊勢市竹ケ鼻町100番地 神鋼電 機株式会社伊勢製作所内 (72)発明者 山下 哲平 三重県伊勢市竹ケ鼻町100番地 神鋼電 機株式会社伊勢製作所内 (72)発明者 村田 正直 三重県伊勢市竹ケ鼻町100番地 神鋼電 機株式会社伊勢製作所内 (72)発明者 田中 幹 三重県伊勢市竹ケ鼻町100番地 神鋼電 機株式会社伊勢製作所内 (72)発明者 森田 日也 三重県伊勢市竹ケ鼻町100番地 神鋼電 機株式会社伊勢製作所内 (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) H01L 21/02 B65D 85/38 C23C 14/56 H01L 21/68 Continued on front page (72) Inventor Mitsuhiro Hayashi 100 Takegahana-cho, Ise-city, Mie Prefecture, Shinko Electric Machinery Co., Ltd.Ise Works (72) Inventor Teppei Yamashita 100-kegahana-cho, Ise City, Mie Prefecture, Shinko Electric Machinery Co., Ltd. (72) Inventor Masanao Murata 100 Takegahana-cho, Ise-city, Mie Prefecture, Shinko Electric Machinery Co., Ltd.Ise Seisakusho (72) Inventor Miki Tanaka 100, Takegahana-cho, Ise-shi, Mie Prefecture Shinko Electric Machinery Co., Ltd., Ise Seisakusho (72) Invention Hiya Morita 100 Takegahana-cho, Ise City, Mie Prefecture, Japan Ise Works (58) Field surveyed (Int.Cl. 7 , DB name) H01L 21/02 B65D 85/38 C23C 14/56 H01L 21 / 68
Claims (6)
搬出用ポートを形成するポートプレート上にシール材を
介して載置されて前記ポートを覆う開口フランジ付ポッ
ド、このポッドの開口を閉鎖可能なポッドドア、前記本
体ケース内に昇降可能に支持され最上昇時に上記ポート
プレートに係合して前記ポートを閉鎖するポートドア、
および上記ポッドのフランジを上記ポートプレートに向
けて付勢する手段とを備え、このポートドアが上記ポッ
ドドアを上記ポッド内から本体ケースへまたその逆へ搬
送する機械式インターフェース装置において、 上記付勢する手段は、 上記ポッドのフランジとポートプレートとの対向面間に
周方向に延びる環状の閉鎖された溝状空間を形成し、こ
の溝状空間の空気を排気して 上記ポッドのフランジとポ
ートプレートとの対向面間に真空吸引力を作用させる第
１の手段を有することを特徴とする機械式インターフェ
ース装置。1. An object provided in a main body case for carrying in and out an object to be processed.
Seal material on the port plate that forms the unloading port
A pod with an opening flange that is placed through the pod to cover the port, a pod door that can close the opening of the pod, and that is supported in the body case so as to be able to move up and down and engages with the port plate at the time of the highest movement to close the port Port door,
And a flange of the pod and means for urging Ke toward <br/> to said port plates, the port door mechanical interface device for conveying to the body case of the pod door from within the pod also vice versa In the above, the urging means may be provided between a facing surface of the pod flange and the port plate.
Form an annular closed groove-like space extending in the circumferential direction,
The air in the grooved space is exhausted to apply a vacuum suction force between the facing surfaces of the pod flange and the port plate .
A mechanical interface device having one means .
とポートプレートとの対向面間に磁気吸引力を作用させ
る第２の手段を有することを特徴とする請求項１記載の
機械式インターフェース装置。2. The means for biasing comprises a flange on the pod.
The mechanical interface device according to claim 1, further comprising a second means for applying a magnetic attraction force between the opposing surfaces of the port and the port plate .
トプレートの互いに面対向する部分のいずれか一方の面
に設けられ周方向に延びる溝状空間を区画する少なくと
も２本のシール材と、上記ポートプレートに設けられ一
端が上記溝状空間に向かって開口し他端が装置外の真空
ポンプに連絡される通路孔とを有することを特徴とする
請求項１または２記載の機械式インターフェース装置。3. The first means comprises: at least two sealing members provided on one of surfaces of the pod flange and the port plate facing each other to define a circumferentially extending groove-shaped space; 3. A mechanical interface device according to claim 1, wherein said port plate has one end opening toward said groove-shaped space and the other end having a passage hole connected to a vacuum pump outside said device. .
上記ポートプレートの互いに面対向する部分のいずれか
一方の部材に設けられ周方向に並ぶ複数の永久磁石と、
他方の部材が磁性体であるかもしくは上記永久磁石列と
対向して周方向に延びる磁性体部材とを有していること
を特徴とする請求項２記載の機械式インターフェース装
置。4. A plurality of permanent magnets provided on one of members of the pod flange and the port plate facing each other, the plurality of permanent magnets being arranged in the circumferential direction ,
The other member is the mechanical interface apparatus according to claim 2, characterized in that it has a magnetic member extending in or the permanent magnet array and opposite to the circumferential direction or of a magnetic material.
部と当該環状部から外方に広がる延長フランジを有し、
上記環状部はポートプレートに内嵌可能であるとともに
ポッドドアに外嵌可能であり、付勢する手段は、上記延
長フランジ側に設けられていることを特徴とする請求項
１〜４のいずれか１項に記載の機械式インターフェース
装置。5. The flange of the pod has an annular portion serving as a fitting portion and an extension flange extending outward from the annular portion,
The said annular part can be fitted inside a port plate and can be fitted outside a pod door, and the means for urging is provided in the said extended flange side. 5. The mechanical interface device according to any one of 4.
有し、この偏平脚部は、溝状空間に対応する位置に設け
られていることを特徴とする請求項１〜５のいずれか１
項に記載の機械式インターフェース装置。6. A flat leg on a lower surface of a flange of a pod, wherein the flat leg is provided at a position corresponding to a groove-shaped space. 1
Item 14. The mechanical interface device according to Item .
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Cited By (1)
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