JPH0684738A - Mechanical interface device - Google Patents
Mechanical interface deviceInfo
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- JPH0684738A JPH0684738A JP24085191A JP24085191A JPH0684738A JP H0684738 A JPH0684738 A JP H0684738A JP 24085191 A JP24085191 A JP 24085191A JP 24085191 A JP24085191 A JP 24085191A JP H0684738 A JPH0684738 A JP H0684738A
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、半導体の製造プロセス
で用いられる機械式インターフェース・システム（ＳＭ
ＩＦ装置）に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a mechanical interface system (SM) used in a semiconductor manufacturing process.
IF device).
【０００２】[0002]
【従来の技術】従来、半導体の処理は、半導体のパーテ
ィクル汚染を防止するために、特別に設計したクリーン
ルーム内で行なわれていたが、その保守を含めて費用が
かかりすぎるという問題がある他、パーティクル汚染の
汚染レベルの低減には限界があるので、例えば特開昭６
０−１４３６２３号公報に開示されているような標準化
された機械的インターフェース装置（ＳＭＩＦ装置）が
開発された。2. Description of the Related Art Conventionally, semiconductor processing has been carried out in a specially designed clean room in order to prevent particle contamination of the semiconductor, but there is a problem in that it is too expensive including maintenance. Since there is a limit in reducing the contamination level of particle contamination, for example, Japanese Patent Laid-Open No.
A standardized mechanical interface device (SMIF device) has been developed as disclosed in 0-143623.
【０００３】このＳＭＩＦ装置は、例えば、図４に示す
ように、ウエハ処理装置（図示しない）を収納し、清浄
空気で満たされている装置の本体ケース１と、可搬式タ
イプのボックス（以下、ポッドＰＯＤという）１０およ
び搬送装置３０を含んでいる。装置本体の本体ケース１
の天板２にはポートプレート３によりポート（ウエハカ
セット２０の搬入・搬出口）４が形成されており、把持
部１０Ａを持つポッドＰＯＤ１０はこのポートプレート
３上に載置される。ポッドＰＯＤ１０はその開口１１の
周囲に環状部１２ａを持つフランジ１２を有する形状と
なっている。この例の搬送装置３０は昇降装置であっ
て、昇降軸３２に支持された昇降台３１にウエハカセッ
ト２０を載せて昇降するが、この昇降台３１は、ポート
ドアとなっており、最上昇時には、ポートプレート３に
下から当接もしくは嵌合してポート４を本体ケース１を
外部に対して密閉し、また、ポートドア３１上にあるウ
エハカセット２０の台２１はポッドＰＯＤ１０の開口１
１の周部に当接して当該開口１１を密閉する。この台２
１を、以下、ポッドドアという。１３はシール材であっ
て、ポッドＰＯＤ１０の開口とポッドドア２１との間ヲ
シールし、シール材１４はポッドＰＯＤ１０のフランジ
１２とポートプレート３との間をシールし、シール材１
５はポートプレート３とポートドア３１との間をシール
する。４０はロック機構であって、図示しないギヤード
モータにより駆動されるロックレバー４１を有し、ポッ
ドＰＯＤ１０のフランジ１２をポートプレート３上へ押
し下げる働きをする。This SMIF device, for example, as shown in FIG. 4, contains a wafer processing device (not shown), is filled with clean air, and has a main body case 1 and a portable type box (hereinafter It includes a pod POD) 10 and a carrier device 30. Body case 1 of the device body
Ports (loading / unloading port of the wafer cassette 20) 4 are formed on the top plate 2 by the port plate 3, and the pod POD 10 having the grip portion 10A is placed on the port plate 3. The pod POD 10 has a shape having a flange 12 having an annular portion 12 a around the opening 11. The transfer device 30 of this example is an elevating device, and the wafer cassette 20 is placed on an elevating table 31 supported by an elevating shaft 32 to move up and down. , The port plate 3 is abutted or fitted from below to seal the port 4 to the outside of the main body case 1, and the base 21 of the wafer cassette 20 on the port door 31 is the opening 1 of the pod POD 10.
The opening 11 is sealed by abutting on the peripheral portion of 1. This stand 2
Hereinafter, 1 is referred to as a pod door. Reference numeral 13 denotes a sealing material, which seals between the opening of the pod POD 10 and the pod door 21, and a sealing material 14 seals between the flange 12 of the pod POD 10 and the port plate 3, and the sealing material 1
5 seals between the port plate 3 and the port door 31. A lock mechanism 40 has a lock lever 41 driven by a geared motor (not shown), and serves to push down the flange 12 of the pod POD 10 onto the port plate 3.
【０００４】この例においては、処理前のウエハＷが図
示しない他の場所からポートドア３１上へ移載されたの
ち、ポッドＰＯＤ１０をポートプレート３上に載置し、
ロックレバー４１で固定する。ロックレバー４１で固定
したのち、ポッドＰＯＤ１０内に清浄空気を供給して、
ポッドＰＯＤ１０内を本体ケース１内と同様の清浄雰囲
気としたのち、ポートドア３１を移載位置まで下降す
る。ポートドア３１が移載位置まで下降すると、図示し
ない移載装置がポートドア３１上のウエハカセット２０
を処理機械へ搬送する。In this example, after the unprocessed wafer W is transferred onto the port door 31 from another place (not shown), the pod POD 10 is mounted on the port plate 3.
Fix with the lock lever 41. After fixing with the lock lever 41, supply clean air into the pod POD10,
After the inside of the pod POD 10 is made into a clean atmosphere similar to the inside of the main body case 1, the port door 31 is lowered to the transfer position. When the port door 31 descends to the transfer position, a transfer device (not shown) causes the wafer cassette 20 on the port door 31 to move.
To the processing machine.
【０００５】[0005]
【発明が解決しようとする課題】ところで、従来は、ウ
エハＷのパーティクル汚染が問題になっていたが、半導
体集積回路の高密度化が進むに従い、空気中の酸素によ
るウエハ表面の自然酸化膜の影響が問題となり始め、こ
の自然酸化膜の成長を防止するため、ウエハＷの移動、
搬送等を不活性ガス（Ｎ2 ガス）雰囲気中で行なう必要
が生じ、現在では、Ｏ2 、Ｈ2 Ｏの濃度が１０ｐｐｍ以
下であるＮ2 ガス雰囲気が要求されている。By the way, conventionally, the particle contamination of the wafer W has been a problem, but as the density of the semiconductor integrated circuit is increased, a natural oxide film on the wafer surface due to oxygen in the air is generated. The influence begins to become a problem, and in order to prevent the growth of this natural oxide film, the movement of the wafer W,
It becomes necessary to carry out the transportation and the like in an inert gas (N 2 gas) atmosphere, and at present, an N 2 gas atmosphere in which the concentrations of O 2 and H 2 O are 10 ppm or less is required.
【０００６】上記したＳＭＩＦ装置を用いる場合には、
本体ケース１内の空気をＮ2 ガスで置換してＮ2 ガス雰
囲気とし、ポッドＰＯＤ１０は、当該ポッドＰＯＤ１０
が本体ケース１の天板２上にセットされる都度、その内
部をＮ2 ガスで置換してＮ2ガス雰囲気とすることにな
る。When using the above-mentioned SMIF device,
And N 2 gas atmosphere of air in the main body case 1 is replaced with N 2 gas, pod POD10 is the pod POD10
There each time is set on the top plate 2 of the casing 1, so that the N 2 gas atmosphere to replace the interior with N 2 gas.
【０００７】この場合、ポッドＰＯＤ１０とポートプレ
ート３間、ポッドＰＯＤ１０とポッドドア２１との間、
ポートドア２１とポートプレート３との間のシール性、
特に、ポッドＰＯＤ１０とポートプレート３間のシール
性の向上が要求されるが、シール材（Ｏーリング）は製
造上のバラツキがあり、巨視的に見た場合、きれいな平
面に対して波を打った形状のものもあるので、前記ロッ
クレバー４１を用いるような機械的手段でシール材（Ｏ
ーリング）を押圧する方法では、充分なシール性能を得
ることが難しく、この機械的手段でシール性能を向上す
るには、ポートプレート３の周方向に多数のロックレバ
ー４１を配設する必要がある上、ポッドＰＯＤ１０が大
きくなると所要の押圧力が大きくなるので、１つ１つの
ロック機構が大形化し、これに要する費用も高価になる
他、本体ケースのポートまわりが煩雑になり、ロック機
構のために大きなスペースを取るられるという問題があ
る。In this case, between the pod POD 10 and the port plate 3, between the pod POD 10 and the pod door 21,
Sealing property between the port door 21 and the port plate 3,
In particular, it is required to improve the sealing property between the pod POD 10 and the port plate 3, but the sealing material (O-ring) has variations in manufacturing, and when viewed macroscopically, it undulates against a clean flat surface. Since some of them are shaped, the sealing material (O
It is difficult to obtain sufficient sealing performance by the method of pressing the ring), and in order to improve the sealing performance by this mechanical means, it is necessary to dispose a large number of lock levers 41 in the circumferential direction of the port plate 3. In addition, the larger the pod POD10, the larger the pressing force required, so that each lock mechanism becomes large, and the cost required for this is also high. Therefore, there is a problem that it takes up a large space.
【０００８】本発明はこの問題を解消するためになされ
たもので、本体ケースのポートまわりにロック機構等を
設けることなく、簡便な手段で、ポッドと装置本体間の
シール性を確実に向上することができる機械式インター
フェース装置装置を提供することを目的とする。The present invention has been made in order to solve this problem, and surely improves the sealing property between the pod and the apparatus main body by a simple means without providing a lock mechanism around the port of the main body case. It is an object of the present invention to provide a mechanical interface device device that can be used.
【０００９】[0009]
【課題を解決するための手段】本発明は上記目的を達成
するため、請求項１では、本体ケースに設けられ被処理
物の搬入・搬出用ポートを形成するポートプレート上に
載置されて前記ポートを覆う開口フランジ付ポッド、こ
のポッドの開口を閉鎖可能なポッドドア、前記本体ケー
ス内に昇降可能に支持され最上昇時に上記ポートプレー
トに係合して前記ポートを閉鎖するポートドア、および
上記ポッドのフランジを上記ポートプレートに向けて付
勢する手段とを備え、このポートドアが上記ポッドドア
を上記ポッド内から本体ケースへまたその逆へ搬送する
機械式インターフェース装置において、上記付勢する手
段が、上記ポートプレートと上記ポッドのフランジとの
対向面間に真空吸引力を作用させる手段である構成とし
た。In order to achieve the above object, the present invention, in claim 1, is mounted on a port plate which is provided in a main body case and forms a port for loading / unloading an object to be processed. A pod with an opening flange that covers the port, a pod door that can close the opening of the pod, a port door that is supported in the main body case so as to be able to move up and down, and that engages with the port plate to close the port when it rises to the maximum, and the pod. In the mechanical interface device for transporting the pod door from the inside of the pod to the body case and vice versa, the biasing means comprises: The structure is a means for applying a vacuum suction force between the facing surfaces of the port plate and the flange of the pod.
【００１０】請求項２では、付勢する手段が、真空吸引
力を作用させる第１の手段と磁気吸引力を作用させる第
２の手段からなる構成とした。According to a second aspect of the present invention, the urging means comprises the first means for applying the vacuum attraction force and the second means for applying the magnetic attraction force.
【００１１】請求項３では、第１の手段が、ポッドのフ
ランジとポートプレートの互いに面対向する部分のいず
れか一方の面に設けられ周方向に延びる溝状空間を区画
する２本のシール材と、上記ポートプレートに設けられ
一端が上記溝状空間に向かって開口し他端が装置外の真
空ポンプに連絡される通路孔とからなる構成とした。請
求項４では、第２の手段が、上記ポッドのフランジと上
記ポートプレートの互いに面対向する部分のいずれか一
方の部材に設けられ周方向に並ぶ複数の永久磁石とから
なり、他方の部材が磁性体であるかもしくは上記永久磁
石列と対向して周方向に延びる磁性体部材を有している
構成とした。According to a third aspect of the present invention, the first means is two sealing members which are provided on one of the surfaces of the pod flange and the port plate which face each other and which define a groove-shaped space extending in the circumferential direction. And a passage hole that is provided in the port plate and has one end that opens toward the groove-shaped space and the other end that communicates with a vacuum pump outside the apparatus. According to a fourth aspect of the present invention, the second means comprises a plurality of permanent magnets arranged in the circumferential direction and provided on any one member of the flange of the pod and the portion of the port plate facing each other. The magnetic member is a magnetic member or has a magnetic member that faces the permanent magnet array and extends in the circumferential direction.
【００１２】請求項５では、ポッドのフランジは、嵌合
部となる環状部と当該環状部から外方に広がる延びる延
長フランジを有し、上記環状部はポートプレートに内嵌
可能であるとともにポッドドアに外嵌可能であり、付勢
する手段は、ポッドのフランジおよびポートプレートの
上記延長フランジ側に設けらるようにした。According to the present invention, the flange of the pod has an annular portion to be a fitting portion and an extension flange extending outward from the annular portion. The annular portion can be fitted into the port plate and the pod door. The means for externally fitting and biasing means are provided on the extension flange side of the pod flange and the port plate.
【００１３】請求項６では、ポッドのフランジの下面に
偏平の脚部を有し、この偏平脚部は、溝状空間に対応す
る位置に設けられている構成とした。According to a sixth aspect of the present invention, a flat leg portion is provided on the lower surface of the flange of the pod, and the flat leg portion is provided at a position corresponding to the groove-shaped space.
【００１４】[0014]
【作用】本発明では、ポッドをポートプレート上に載置
すると、第２の手段が働いて、ポッドのフランジに永久
磁石の磁気吸引力が作用し、全周で両シール材を押圧す
る。真空ポンプを動作させると、両シール材が形成する
溝状空間が負圧になり、ポッドのフランジがポートプレ
ート側へ吸引されて、両シール材を強く押圧する。According to the present invention, when the pod is placed on the port plate, the second means works, and the magnetic attraction force of the permanent magnet acts on the flange of the pod to press both sealing materials on the entire circumference. When the vacuum pump is operated, the groove-shaped space formed by both sealing materials becomes negative pressure, the flange of the pod is sucked toward the port plate side, and both sealing materials are strongly pressed.
【００１５】[0015]
【実施例】以下、本発明の１実施例を図面を参照して説
明する。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS An embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings.
【００１６】図１において、ポッドＰＯＤ１０は磁性体
（磁性ステンレスからなる）であって、そのフランジ１
２は図７に示した環状部１２ａから更に外方に広がる延
長フランジ１２Ａが形成された広幅のフランジとなって
いる。本実施例の環状部（以下、符号１２ｂで示す）は
嵌合筒部（位置決め用の嵌合筒部）となっており、ポッ
ドＰＯＤ１０は、この環状部１２ｂをポートプレート２
に内嵌して当該ポートプレート２上に載置され、ポッド
ドア２１はこの環状部１２ｂに内嵌する。嵌合筒部１２
ｂの先端は丸みを帯びた形状になっている。ポートプレ
ート３の表面の延長フランジ１２Ａに対向する部分に
は、周方向に延びるシール溝３ａと３ｂが周方向と直交
する方向に小間隔を隔てて形成されている。このシール
溝３ａと３ｂにはシール材（Ｏーリング）５１ａ、５１
ｂが嵌着され、両シール材はポートプレート表面に環状
の溝状空間Ａを形成する。ポートプレート３には、更
に、一端が上記シール溝３ａ、３ｂとの間からポートプ
レート３表面に開口し、他端がポートプレート３の外側
面に開口する通路孔３Ｃが形成されるとともに、ガス給
気口３Ｄとガス排気口３Ｅが形成されている。この通路
孔３Ｃには配管５２が接続され、この配管は５２本体ケ
ース１の外に配設された真空ポンプ６０に接続されてい
る。５３は永久磁石であって、ポートプレート３の表面
の延長フランジ１２Ａに対向する部分に埋設状に設けら
れており、この永久磁石は、図２に示すように、ポート
プレート３の周方向に一定間隔を隔てて並んでいる。本
実施例のポートドア３１はその下部に鍔部３１Ａを有
し、この鍔部３１Ａにポートプレート３との間をシール
するシール材１５が嵌着されている。In FIG. 1, the pod POD 10 is a magnetic material (made of magnetic stainless steel), and its flange 1
Reference numeral 2 is a wide flange in which an extension flange 12A extending further outward from the annular portion 12a shown in FIG. 7 is formed. The annular portion (hereinafter, indicated by reference numeral 12b) of the present embodiment is a fitting cylinder portion (a fitting cylinder portion for positioning), and the pod POD 10 uses this annular portion 12b as the port plate 2.
And is mounted on the port plate 2 and the pod door 21 is fitted in the annular portion 12b. Fitting cylinder part 12
The tip of b has a rounded shape. In the portion of the surface of the port plate 3 facing the extension flange 12A, circumferentially extending seal grooves 3a and 3b are formed at a small interval in a direction orthogonal to the circumferential direction. Sealing materials (O-rings) 51a, 51 are provided in the sealing grooves 3a and 3b.
b is fitted, and both sealing members form an annular groove-shaped space A on the surface of the port plate. The port plate 3 is further formed with a passage hole 3C having one end opening to the surface of the port plate 3 from between the seal grooves 3a and 3b and the other end opening to the outer surface of the port plate 3, and a gas hole. An air supply port 3D and a gas exhaust port 3E are formed. A pipe 52 is connected to the passage hole 3C, and the pipe is connected to a vacuum pump 60 arranged outside the main body case 52 of 52. Reference numeral 53 denotes a permanent magnet, which is embedded in a portion of the surface of the port plate 3 facing the extension flange 12A. The permanent magnet 53 is fixed in the circumferential direction of the port plate 3 as shown in FIG. They are lined up at intervals. The port door 31 of this embodiment has a flange portion 31A at its lower portion, and a sealing material 15 that seals between the flange portion 31A and the port plate 3 is fitted.
【００１７】なお、ガス給気口３Ｄとガス排気口３Ｅは
ポッドＰＯＤ１０内をＮ2 ガス置換する場合に利用され
るものであり、ガス給気口３Ｄは配管を通して図示しな
いＮ2 ガスボンベに連絡される。また本体ケース１内
は、Ｎ2 ガス雰囲気にあり、常時、２０リットル／分の
Ｎ2 ガス注入により与圧されている。The gas inlet 3D and the gas outlet 3E are used when the inside of the pod POD10 is replaced with N 2 gas, and the gas inlet 3D is connected to an N 2 gas cylinder (not shown) through a pipe. It Further, the inside of the main body case 1 is in a N 2 gas atmosphere and is constantly pressurized by injecting 20 L / min of N 2 gas.
【００１８】本実施例においては、ポッドＰＯＤ１０が
装置外から本体ケース１のポートプレート３上へ移載さ
れると、両シール材５１ａ、５１ｂが形成する溝状空間
Ａが延長フランジ１２Ａ下面で閉鎖される。この状態
で、ポッドＰＯＤ１０の上記移載が終わると、真空ポン
プ６０が駆動される。真空ポンプ６０が駆動されると、
配管５２内が負圧になるので、閉鎖された溝状空間Ａの
空気は配管５２を通して外へ排気され、溝状空間Ａが負
圧となる。溝状空間Ａが負圧になると、ポッドＰＯＤ１
０のフランジ１２に対して吸引力が作用するので、ポッ
ドＰＯＤ１０のフランジ１２はシール材５１ａ、５１ｂ
の弾力に抗してポートプレート３側へ変位し、ポートプ
レート３との間にシール材５１ａ、５１ｂを挟圧する。In this embodiment, when the pod POD 10 is transferred from the outside of the apparatus onto the port plate 3 of the main body case 1, the groove-shaped space A formed by both the seal members 51a and 51b is closed by the lower surface of the extension flange 12A. To be done. In this state, when the transfer of the pod POD 10 is completed, the vacuum pump 60 is driven. When the vacuum pump 60 is driven,
Since the inside of the pipe 52 has a negative pressure, the air in the closed groove space A is exhausted to the outside through the pipe 52, and the groove space A has a negative pressure. When the groove space A has a negative pressure, the pod POD1
Since the suction force acts on the flange 12 of No. 0, the flange 12 of the pod POD 10 uses the sealing materials 51a and 51b.
Is displaced toward the port plate 3 side against the resilience, and the sealing materials 51a and 51b are sandwiched between the port plate 3 and the sealing material.
【００１９】前記したように、一般に、シール材（Ｏー
リング）は製造上のバラツキがあり、巨視的に見た場
合、きれいな平面に対して波を打った形状のものもある
ので、ポッドＰＯＤ１０をポートプレート３上に載置し
た状態では、両シール材５１ａ、５１ｂがその全周でフ
ランジ１２の面に接触係合している保証がなく、一部非
接触係合部分があることを看過して、上記真空吸引した
場合には、充分な真空吸引力が得られない。As described above, in general, the sealing material (O-ring) has variations in manufacturing, and when viewed macroscopically, there is also a corrugated shape on a clean plane. When placed on the port plate 3, there is no guarantee that both seal members 51a and 51b are in contact with the surface of the flange 12 over the entire circumference, and it is overlooked that there is a non-contact engagement part. Therefore, when the above-mentioned vacuum suction is performed, a sufficient vacuum suction force cannot be obtained.
【００２０】しかし、本実施例では、ポートプレート３
に永久磁石５３を配設し、ポッドＰＯＤ１０が磁性体で
あるので、ポッドＰＯＤ１０のフランジ１２が磁気吸引
力を受けてシール材５１ａ、５１ｂを押圧する。永久磁
石５３はポートプレート３の周方向に多数並んでいるの
で、上記磁気吸引力はポッドＰＯＤ１０のフランジ１２
の全周に作用する。However, in this embodiment, the port plate 3
Since the permanent magnet 53 is disposed in the pod POD10 and the pod POD10 is a magnetic body, the flange 12 of the pod POD10 receives the magnetic attraction force and presses the sealing materials 51a and 51b. Since a large number of permanent magnets 53 are lined up in the circumferential direction of the port plate 3, the magnetic attraction force is generated by the flange 12 of the pod POD 10.
Acts on the entire circumference of.
【００２１】従って、本実施例では、ポッドＰＯＤ１０
をポートプレート３上に載置すると、ポッドＰＯＤ１０
のフランジ１２に上記磁気吸引力が作用して全周で両シ
ール材５１ａ、５１ｂを押圧するので、上記溝状空間Ａ
が充分に密封された空間となり、上記真空吸引により、
シール材５１ａ、５１ｂはもちろんシール材１３も確実
にその全周で強く挟圧され良好なシール性を確保する。Therefore, in this embodiment, the pod POD 10
On the port plate 3, the pod POD10
Since the above-mentioned magnetic attraction force acts on the flange 12 of the above and presses the sealing materials 51a and 51b over the entire circumference, the groove-shaped space A
Becomes a sufficiently sealed space, and by the above vacuum suction,
Not only the sealing materials 51a and 51b, but also the sealing material 13 is securely pinched around the entire circumference to ensure good sealing performance.
【００２２】このように、本実施例では、永久磁石５３
の磁気吸引力により、溝状空間Ａを完全に気密な空間と
したのち、真空吸引を行なうから、ポッドＰＯＤ１０内
を確実に外気に対して遮断することができる。Thus, in this embodiment, the permanent magnet 53 is
After the groove-shaped space A is completely airtight by the magnetic attraction force, the vacuum suction is performed, so that the inside of the pod POD10 can be reliably shut off from the outside air.
【００２３】本実施例のＳＭＩＦ装置は、このようにし
て、ポッドＰＯＤ１０内を確実に外気に対して遮断して
状態で、ガス供給口３Ｄおよびガス排気口３Ｅを利用し
て、ポッドＰＯＤ１０内をＮ2 ガスで置換する。このＮ
2 ガスで置換のためには、例えば、ポートプレート３の
下に、当該ポートプレート３下面に気密に係合し、ポー
トドア３１が所定距離だけ昇降可能な内部空間を区画す
るスカートをポートプレート３とは別体に設けて、所定
距離（ポッドドア２１が環状部１２ａより下方へ下降す
る位置）だけ下降したポートドア３１がスカートの上記
内部空間の下端を気密に閉鎖するようにし、開口したポ
ッドＰＯＤ１０内へガス供給口３ＤからＮ2 ガスを送り
込む。In this way, the SMIF device of the present embodiment uses the gas supply port 3D and the gas exhaust port 3E in a state where the inside of the pod POD10 is reliably shielded from the outside air, and the inside of the pod POD10 is closed. Replace with N 2 gas. This N
In order to replace with 2 gas, for example, a skirt below the port plate 3 that is airtightly engaged with the lower surface of the port plate 3 and defines an internal space in which the port door 31 can move up and down by a predetermined distance is formed. The pod POD 10 that is provided separately from the pod POD 10 that opens so that the port door 31 that is lowered by a predetermined distance (the position where the pod door 21 is lowered below the annular portion 12a) airtightly closes the lower end of the internal space of the skirt. N 2 gas is fed into the interior through the gas supply port 3D.
【００２４】上記実施例のポッドＰＯＤ１０のフランジ
１２は環状部１２ｂと延長フランジ１２Ａを有している
が、ポッドＰＯＤのフランジ１２として、これらを持た
ないものがものがある。この種のものでは、ポッドＰＯ
Ｄ１０を装置外の床や棚に置いた場合に、フランジ１２
の下面前面に塵埃が付着しやすいので、図に示すよう
に、偏平の脚部１２ｃを設ける。この偏平の脚部１２ｃ
は周方向に複数個並ぶものであっても、また連続した環
状ものであってもよい。この偏平の脚部１２ｃがあれ
ば、ポッドＰＯＤ１０を、図３の（Ａ）に示すように、
装置外の床や棚に置いた場合、当該偏平の脚部１２ｃの
下面にだけ、塵埃が付着等が付着する。Although the flange 12 of the pod POD 10 of the above embodiment has the annular portion 12b and the extension flange 12A, some of the flanges 12 of the pod POD do not have these. In this kind of thing, pod PO
Flange 12 when D10 is placed on the floor or shelf outside the device
Since dust is likely to adhere to the lower surface of the lower surface of the above, flat legs 12c are provided as shown in the figure. This flat leg 12c
May be lined up in the circumferential direction, or may be a continuous ring. If there is this flat leg portion 12c, the pod POD 10 can be set as shown in FIG.
When placed on the floor or shelf outside the device, dust or the like adheres only to the lower surface of the flat leg 12c.
【００２５】従って、この偏平の脚部１２ｃを、溝状空
間Ａに対向する位置に設け、ポッドＰＯＤ１０を本体ケ
ース１のポートプレート３上へ移載した状態で、偏平突
部１２ｃが通路孔３Ｃとの間に、図３の（Ｂ）に示すよ
うに、空気流が通過可能な間隙を隔ててポートプレート
３表面に対向するようにしておけば、偏平の脚部１２ｃ
の下面に付着している塵埃等は真空吸引により装置外へ
吸引され、偏平の脚部１２ｃの下面は浄化される。Accordingly, the flat leg portion 12c is provided at a position facing the groove-shaped space A, and the flat protrusion 12c is moved to the passage hole 3C in a state where the pod POD 10 is transferred onto the port plate 3 of the main body case 1. 3B, as shown in FIG. 3B, a flat leg portion 12c can be formed so as to face the surface of the port plate 3 with a gap through which an air flow can pass.
Dust and the like adhering to the lower surface of the flat leg 12c is sucked out of the apparatus by vacuum suction, and the lower surface of the flat leg 12c is cleaned.
【００２６】なお、上記実施例では、ホッドＰＯＤ１０
を磁性体としたが、ホッドＰＯＤ１０を非磁性体とし、
延長フランジ１２Ａの上表面に永久磁石の列と当該延長
フランジ１２Ａ部を介して対向するように、周方向に延
びる磁性体部材を取付けてもよい。In the above embodiment, the hod POD 10 is used.
Is a magnetic material, but the hod POD10 is a non-magnetic material,
A magnetic member extending in the circumferential direction may be attached to the upper surface of the extension flange 12A so as to face the row of permanent magnets via the extension flange 12A.
【００２７】また、シール材５１ａ、５１ｂを延長フラ
ンジ１２Ａ側に設けてもよい。Further, the sealing materials 51a and 51b may be provided on the extension flange 12A side.
【００２８】また、ポートプレート３を磁性体とし、延
長フランジ１２Ａ側に永久磁石５３を配列してもよい。The port plate 3 may be made of a magnetic material, and the permanent magnets 53 may be arranged on the extension flange 12A side.
【００２９】また、２本のシール材５１ａ、５１ｂで１
本の溝状空間Ａを形成しているが、溝状空間Ａをは複数
本形成してもよく、２本以上のシール材で１本の溝状空
間Ａを形成してもよい。In addition, two seal materials 51a and 51b
Although one groove-shaped space A is formed, a plurality of groove-shaped spaces A may be formed, or one groove-shaped space A may be formed by two or more sealing materials.
【００３０】[0030]
【発明の効果】本発明は以上説明した通り、ポッドのフ
ランジをポートプレートに向けて付勢する手段として、
真空吸引力を利用する構成としたことにより、所要の挟
圧力を容易に得ることができるので、気体に対するシー
ル性を向上することができる上、補助的に永久磁石によ
る磁気吸引力も利用するみとにより、シール材の波打ち
等があっても、確実にシール材全周に亘って所要の挟圧
力を作用させることができ、信頼性を向上することがで
きる。As described above, the present invention provides a means for urging the flange of the pod toward the port plate.
Since the required clamping force can be easily obtained by using the vacuum attraction force, the sealing property against gas can be improved, and the magnetic attraction force by the permanent magnet can be used supplementarily. As a result, even if the sealing material is corrugated or the like, it is possible to reliably apply the required clamping pressure over the entire circumference of the sealing material, and it is possible to improve reliability.
【００３１】また、本体ケースのポートまわりに部材を
配設する必要がないので、前記ロック機構等を設ける場
合に比して、ポートまわりを簡素化することができる利
点がある。Further, since it is not necessary to dispose a member around the port of the main body case, there is an advantage that the port periphery can be simplified as compared with the case where the lock mechanism or the like is provided.
【図１】本発明の実施例を示す縦断面図である。FIG. 1 is a vertical sectional view showing an embodiment of the present invention.
【図２】上記実施例におけるポートプレートの平面図で
ある。FIG. 2 is a plan view of a port plate in the above embodiment.
【図３】ポッドのフランジの他の例を示す図である。FIG. 3 is a diagram showing another example of the flange of the pod.
【図４】従来のＳＭＩＦ装置の概略を示す図である。FIG. 4 is a diagram showing an outline of a conventional SMIF device.
１ 本体ケース ３ ポートプレート ３ａ、３ｂ シール溝 ３Ｃ 通路孔 ３Ｄ 給気口 ３Ｅ 排気口 ４ ポート １０ ポッドＰＯＤ １１ ポッドＰＯＤの開口 １２ ポッドＰＯＤのフランジ １２Ａ 延長フランジ １２ｂ 環状部 １２ｃ 偏平の脚部 １３、１５ シール材 ２０ ウエハカセット ２１ ポッドドア ３１ ポートドア ３１Ａ ポートドアの鍔部 ３２ 昇降軸 ４０ ロック機構 ５１ａ、５１ｂ シール材 ５２ 配管 ５３ 永久磁石 ６０ 真空ポンプ Ａ 溝状空間 1 Body Case 3 Port Plate 3a, 3b Seal Groove 3C Passage Hole 3D Air Supply Port 3E Exhaust Port 4 Port 10 Pod POD 11 Pod POD Opening 12 Pod POD Flange 12A Extension Flange 12b Annular Portion 12c Flat Legs 13, 15 Sealing material 20 Wafer cassette 21 Pod door 31 Port door 31A Port door collar 32 Lifting shaft 40 Lock mechanism 51a, 51b Sealing material 52 Piping 53 Permanent magnet 60 Vacuum pump A Groove space
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 林 満弘 三重県伊勢市竹ケ鼻町100番地 神鋼電機 株式会社伊勢製作所内 (72)発明者 山下 哲平 三重県伊勢市竹ケ鼻町100番地 神鋼電機 株式会社伊勢製作所内 (72)発明者 村田 正直 三重県伊勢市竹ケ鼻町100番地 神鋼電機 株式会社伊勢製作所内 (72)発明者 田中 幹 三重県伊勢市竹ケ鼻町100番地 神鋼電機 株式会社伊勢製作所内 (72)発明者 森田 日也 三重県伊勢市竹ケ鼻町100番地 神鋼電機 株式会社伊勢製作所内 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continued front page (72) Inventor Mitsuhiro Hayashi, 100 Taketakehanamachi, Ise City, Mie Prefecture, Ise Works, Shinko Electric Co., Ltd. (72) Teppei Yamashita 100, Takegahana Town, Ise City, Mie Prefecture, Ise Works, Shinko Electric Co., Ltd. (72) Inventor Makoto Murata, 100, Takegahana-cho, Ise-shi, Mie Shinko Electric Co., Ltd., Ise Works (72) Inventor, Miki Tanaka, 100, Takegahana-cho, Ise-shi, Mie Shinko Electric Co., Ltd. (72) Inventor Moriya Hiya 100 Takegahana Town, Ise City, Mie Prefecture Shinko Electric Co., Ltd.
Claims (6)
搬出用ポートを形成するポートプレート上に載置されて
前記ポートを覆う開口フランジ付ポッド、このポッドの
開口を閉鎖可能なポッドドア、前記本体ケース内に昇降
可能に支持され最上昇時に上記ポートプレートに係合し
て前記ポートを閉鎖するポートドア、および上記ポッド
のフランジを上記ポートプレートとに向けて付勢する手
段とを備え、このポートドアが上記ポッドドアを上記ポ
ッド内から本体ケースへまたその逆へ搬送する機械式イ
ンターフェース装置において、 上記付勢する手段が、上記ポートプレートと上記ポッド
のフランジとの対向面間に真空吸引力を作用させる手段
であることを特徴とする機械式インターフェース装置。1. A device provided on a main body case for carrying in an object to be processed,
A pod with an opening flange that is placed on a port plate that forms a port for carrying out and covers the port, a pod door that can close the opening of this pod, and a pod door that can be lifted and lowered in the main body case and is attached to the port plate at the time of the highest rise. A port door for engaging and closing the port, and means for urging the flange of the pod towards the port plate, the port door moving the pod door from within the pod to the body case and vice versa. In the mechanical interface device for carrying to, the urging means is a means for applying a vacuum suction force between the facing surfaces of the port plate and the flange of the pod.
第１の手段と磁気吸引力を作用させる第２の手段からな
ることを特徴とする機械式インターフェース装置。2. A mechanical interface device characterized in that the urging means comprises a first means for applying a vacuum suction force and a second means for applying a magnetic suction force.
トプレートの互いに面対向する部分のいずれか一方の面
に設けられ周方向に延びる溝状空間を区画する少なくと
も２本のシール材と、上記ポートプレートに設けられ一
端が上記溝状空間に向かって開口し他端が装置外の真空
ポンプに連絡される通路孔とからなることを特徴とする
請求項１または２記載の機械式インターフェース装置。3. The first means comprises at least two sealing members which are provided on either one of surfaces of the pod flange and the port plate which face each other, and which define a groove-shaped space extending in the circumferential direction, 3. The mechanical interface device according to claim 1, wherein one end of the port plate is opened toward the groove-shaped space and the other end is a passage hole communicating with a vacuum pump outside the device. .
上記ポートプレートの互いに面対向する部分のいずれか
一方の部材に設けられ周方向に並ぶ複数の永久磁石とか
らなり、他方の部材が磁性体であるかもしくは上記永久
磁石列と対向して周方向に延びる磁性体部材を有してい
ることを特徴とする請求項２記載の機械式インターフェ
ース装置。4. The second means comprises a plurality of circumferentially arranged permanent magnets provided on one of the members of the flange of the pod and the portion of the port plate facing each other, and the other member is provided. 3. The mechanical interface device according to claim 2, wherein the mechanical interface device is a magnetic body or has a magnetic body member that extends in the circumferential direction so as to face the permanent magnet array.
部と当該環状部から外方に広がる延長フランジを有し、
上記環状部はポートプレートに内嵌可能であるとともに
ポッドドアに外嵌可能であり、付勢する手段は、ポッド
のフランジおよびポートプレートの上記延長フランジ側
に設けられていることを特徴とする請求項１〜４のいず
れかに記載の機械式インターフェース装置。5. The flange of the pod has an annular portion that is a fitting portion and an extension flange that extends outward from the annular portion,
The annular portion can be fitted inside the port plate and can be fitted outside the pod door, and the biasing means is provided at the flange of the pod and the extension flange side of the port plate. The mechanical interface device according to any one of 1 to 4.
有し、この偏平脚部は、溝状空間に対応する位置に設け
られていることを特徴とする請求項１〜５のいずれかに
記載の機械式インターフェース装置。6. The pod has a flat leg portion on the lower surface of the flange, and the flat leg portion is provided at a position corresponding to the groove-shaped space. The mechanical interface device according to.
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