KR102097583B1 - 액화가스를 이용한 가스 정제 장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 가스에 포함된 불순물을 냉각에 의해 정제하는 장치에 있어서, 정제 대상이 되는 가스가 통과하는 통로를 제공하는 본체; 상기 본체에 진공을 공급하여 상기 가스를 흡입 배출시키는 진공흡입부; 상기 본체에 설치되고, 내측이 상기 통로에 연결되는 정제공간과 상기 정제공간에 냉기를 제공하는 액화가스가 채워지는 냉각공간으로 양분되는 냉각챔버; 상기 냉각공간에 연결되어 외측으로 인출되고, 상기 냉각공간에서 기화되는 저온 가스가 배출되도록 하는 저온가스라인; 상기 통로에 위치하고, 상기 가스로부터 불순물을 필터링하는 라인필터; 및 상기 라인필터에 접촉하도록 상기 본체에 설치되고, 상기 저온가스라인이 연결되는 주입구를 통해 주입되는 저온 가스가 내측의 열교환유로를 통과하여 배출구를 통해 배출됨으로써, 상기 저온 가스의 냉기를 상기 라인필터에 전달하는 냉각유닛;을 포함하도록 한 액화가스를 이용한 가스 정제 장치에 관한 것이다. 본 발명에 따르면, 냉각챔버를 단일로 사용하면서도 불순물의 제거 효율을 원하는 수준으로 유지할 수 있고, 이로 인해 제조원가의 절감에 기여할 수 있으며, 액화가스로부터 자연적으로 기화되는 저온가스를 사용하여 라인필터를 냉각시킴으로써 에너지 효율을 높이면서도 불순물 제거 효율을 극대화시킬 수 있고, 정제에 필요한 진공의 일부를 저온 가스의 열손실 차단용으로 사용하여, 라인필터의 냉각 효율을 높일 수 있다.

Description

액화가스를 이용한 가스 정제 장치{Gas refining apparatus using liquefied gas}
본 발명은 가스 정제 장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 냉각챔버를 단일로 사용하면서도 불순물의 제거 효율을 원하는 수준으로 유지할 수 있도록 하고, 나아가서, 라인필터의 냉각 뿐만 아니라 이러한 냉각의 효율을 높임으로써, 불순물 제거에 대한 효율성 및 신뢰성을 향상시키도록 하는 액화가스를 이용한 가스 정제 장치에 관한 것이다.
일반적으로, OLED(Organic Light Emitting Diode)의 원료 순도를 높이는 과정에서 불순물이 함유된 가스를 냉각시킴으로써 불순물이 온도차로 인해 흡착되도록 함으로써 가스를 승화 정제하는 방법이 사용되는데, 이러한 온도차를 이용한 가스 정제 방법은 다양한 분야에서 널리 사용되고 있다.
예를 들면, 반도체 소자의 제조를 위하여 수소, 질소, 이산화탄소, 암모니아 등 표준가스와, 실란, 포스핀, 디보란 등의 원료로서 특수가스, 불화탄소 등의 에칭가스 등 여러 공정 가스들이 주로 봄베에 담겨 취급되고, 가스공급라인을 통하여 소모되며, 주로 화학기상증착, 에피택셜, 이온주입, 플라즈마드라이에칭 및 열처리 등의 여러 공정들에 널리 사용된다.
이러한 공정가스들은 다른 재료들과 마찬가지로, 그 순도가 반도체 소자의 수율 및 성능에 크게 영향을 미치며, 이로 인해 반도체 소자의 제조공정에 사용되는 공정가스는 선행적으로 충분히 정제되어야 한다.
이와 같이, OLED의 원료나 반도체 소자의 제조를 위한 공정가스들뿐만 아니라, 다양한 가스에 포함된 불순물을 제거하기 위하여 정제 과정이 필요한데, 이러한 정제 과정에서는 가스를 냉각시켜서 불순물을 제거하기 위해서 냉매의 사용이 불가피하다.
이 경우 가스의 정제 효율을 높이기 위하여 많은 양의 냉매를 사용하게 되는 문제점을 가지고 있었다. 또한, 가스의 정제 과정에서 불순물의 흡착으로 인해 정제 장치의 유지 및 보수에 많은 시간과 노력이 소요되는 문제점을 가지고 있었다.
이러한 문제점을 해소하기 위하여, 종래 기술로서, 한국공개특허 제10-2013-0005345호의 "가스 정제 장치"가 제시된 바 있는데, 이는 가스에 포함된 불순물을 냉각에 의해 정제하는 장치에 있어서, 본체의 내측이 차단부재의 설치에 의해 서로 기밀이 유지되는 정제공간과 냉각공간으로 양분되는 다수의 챔버; 상기 챔버 각각의 정제공간을 상기 가스가 진공에 의해 통과하도록 하는 진공공급수단; 및 상기 챔버 각각의 냉각공간을 냉매가 통과하도록 함으로써 상기 정제공간에 냉기가 전달되도록 하는 냉매공급수단을 포함한다.
그러나, 이러한 종래 기술은 불순물의 제거 효율을 원하는 수준으로 유지하기 위해서 다수의 챔버를 구비하게 됨으로써, 제조원가 상승을 초래할 수 있고, 에너지 효율을 증대시키는데 한계를 가질 수 있다.
상기한 바와 같은 종래 기술의 문제점을 해결하기 위하여, 본 발명은 냉각챔버를 단일로 사용하면서도 불순물의 제거 효율을 원하는 수준으로 유지할 수 있도록 하고, 이로 인해 제조원가의 절감에 기여하며, 액화가스로부터 자연적으로 기화되는 저온가스를 사용하여 라인필터를 냉각시킴으로써 에너지 효율을 높이면서도 불순물 제거 효율을 극대화시키고, 정제에 필요한 진공의 일부를 저온 가스의 열손실 차단용으로 사용하여, 라인필터의 냉각 효율을 높이며, 이로 인해, 불순물 제거 동작의 신뢰성을 높이는데 목적이 있다.
본 발명의 다른 목적들은 이하의 실시례에 대한 설명을 통해 쉽게 이해될 수 있을 것이다.
상기한 바와 같은 목적을 달성하기 위해, 본 발명의 일측면에 따르면, 가스에 포함된 불순물을 냉각에 의해 정제하는 장치에 있어서, 정제 대상이 되는 가스가 통과하는 통로를 제공하는 본체; 상기 본체에 진공을 공급하여 상기 가스를 흡입 배출시키는 진공흡입부; 상기 본체에 설치되고, 내측이 상기 통로에 연결되는 정제공간과 상기 정제공간에 냉기를 제공하는 액화가스가 채워지는 냉각공간으로 양분되는 냉각챔버; 상기 냉각공간에 연결되어 외측으로 인출되고, 상기 냉각공간에서 기화되는 저온 가스가 배출되도록 하는 저온가스라인; 상기 통로에 위치하고, 상기 가스로부터 불순물을 필터링하는 라인필터; 및 상기 라인필터에 접촉하도록 상기 본체에 설치되고, 상기 저온가스라인이 연결되는 주입구를 통해 주입되는 저온 가스가 내측의 열교환유로를 통과하여 배출구를 통해 배출됨으로써, 상기 저온 가스의 냉기를 상기 라인필터에 전달하는 냉각유닛;을 포함하는, 액화가스를 이용한 가스 정제 장치가 제공된다.
상기 냉각챔버의 정제공간에 연결되어 외측으로 인출되고, 상기 정제공간으로부터 진공이 제공되도록 하며, 진공개폐밸브가 설치되는 진공공급라인을 더 포함하고, 상기 저온가스라인은, 상기 저온 가스가 내측으로 이동하는 내부관; 및 상기 내부관을 감싸도록 마련되고, 상기 진공공급라인이 연결됨으로써, 상기 내부관과의 사이에 진공이 제공되는 외부관;을 포함할 수 있다.
상기 냉각유닛은, 상기 본체의 측부에 형성되는 개구를 개폐시키도록 상기 개구의 외측에 착탈 가능하게 결합되고, 상기 본체의 내측을 향하는 면에 상기 라인필터가 수직을 이루도록 설치될 수 있다.
상기 냉각유닛은, 상기 개구의 주변에 가장자리가 볼팅에 의해 부착되고, 상기 주입구와 상기 배출구가 관통하도록 각각 마련되며, 외측면에 손잡이가 마련되는 고정플레이트; 및 상기 고정플레이트의 내측면에 부착되고, 상기 본체의 내측을 향하는 면에 상기 라인필터가 다수로 서로 이격되게 나란하도록 고정되기 위한 고정부가 다수로 수직되게 마련되며, 양단이 상기 주입구와 상기 배출구에 각각 연결되는 상기 열교환유로가 상기 고정부에 인접하도록 지그재그로 형성되는 필터플레이트;를 포함할 수 있다.
상기 고정부는, 상기 필터플레이트에 수직되게 형성되는 슬릿을 포함하고, 상기 슬릿에 상기 라인필터와 함께 끼워져서 상기 라인필터를 상기 슬릿 내에 밀착시키는 고정편이 볼트로 고정될 수 있다.
본 발명에 따른 액화가스를 이용한 가스 정제 장치에 의하면, 냉각챔버를 단일로 사용하면서도 불순물의 제거 효율을 원하는 수준으로 유지할 수 있고, 이로 인해 제조원가의 절감에 기여할 수 있으며, 액화가스로부터 자연적으로 기화되는 저온가스를 사용하여 라인필터를 냉각시킴으로써 에너지 효율을 높이면서도 불순물 제거 효율을 극대화시킬 수 있고, 정제에 필요한 진공의 일부를 저온 가스의 열손실 차단용으로 사용하여, 라인필터의 냉각 효율을 높일 수 있으며, 이로 인해, 불순물 제거 동작의 신뢰성을 높일 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시례에 따른 액화가스를 이용한 가스 정제 장치를 도시한 평면도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시례에 따른 액화가스를 이용한 가스 정제 장치를 도시한 사시도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시례에 따른 액화가스를 이용한 가스 정제 장치를 부분 절개하여 도시한 사시도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시례에 따른 액화가스를 이용한 가스 정제 장치의 냉각유닛 결합 모습을 도시한 사시도이다.
도 5는 본 발명의 일 실시례에 따른 액화가스를 이용한 가스 정제 장치의 라인필터 및 냉각유닛을 도시한 사시도이다.
도 6은 본 발명의 일 실시례에 따른 액화가스를 이용한 가스 정제 장치에서 라인필터의 고정구조를 설명하기 위한 사시도이다.
본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고, 여러 가지 실시례를 가질 수 있는 바, 특정 실시례들을 도면에 예시하고, 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 실시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니고, 본 발명의 기술 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 식으로 이해되어야 하고, 여러 가지 다른 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 하기 실시례에 한정되는 것은 아니다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 실시례를 상세히 설명하며, 도면 부호에 관계없이 동일하거나 대응하는 구성요소에 대해서는 동일한 참조 번호를 부여하고, 이에 대해 중복되는 설명을 생략하기로 한다.
도 1은 본 발명의 일 실시례에 따른 액화가스를 이용한 가스 정제 장치를 도시한 평면도이고, 도 2는 본 발명의 일 실시례에 따른 액화가스를 이용한 가스 정제 장치를 도시한 사시도이고, 도 3은 본 발명의 일 실시례에 따른 액화가스를 이용한 가스 정제 장치를 부분 절개하여 도시한 사시도이다.
도 1 내지 도 3을 참조하면, 본 발명의 일 실시례에 따른 액화가스를 이용한 가스 정제 장치(100)는 프로세스챔버(10)로부터 배출되거나 프로세스챔버(10)에 공급되는 가스에 포함된 불순물을 냉각에 의해 정제하는 장치로서, 본체(110), 진공흡입부(120), 냉각챔버(130), 저온가스라인(140), 라인필터(150) 및 냉각유닛(160)을 포함할 수 있다. 여기서 프로세스챔버(10)는 OLED(Organic Light Emitting Diode) 원료의 순도를 높이는 공정을 진행하거나, 반도체 소자를 제조하거나, 그 밖의 원료나 소자 등의 다양한 제조 공정을 수행하는 챔버일 수 있는데, 본 발명에 따른 액화가스를 이용한 가스 정제 장치(100)는 이러한 공정에 의해 배출되거나, 이러한 공정에 사용되기 위해 공급되는 가스를 냉각 및 정제시킴으로써, 불순물을 제거하도록 할 수 있다.
본체(110)는 정제 대상이 되는 가스가 통과하는 통로를 제공하는데, 예컨대 프로세스챔버(10)의 배기부(11)에 연결되는 연결부(111), 라인필터(150)가 설치되는 필터하우징(112), 꺾임구간을 제공하는 엘보부(113), 그리고, 냉각챔버(130)가 설치되는 챔버설치부(114)를 포함할 수 있다. 여기서, 필터하우징(112)의 측부에는 라인필터(150)의 출입을 위한 개구(115)가 형성될 수 있고, 엘보부(113)의 측부에는 실링부재 등으로 실링되는 개폐커버(113a)가 볼팅 등으로 개폐 가능하도록 설치될 수 있다.
진공흡입부(120)는 본체(110)에 진공을 공급하여 프로세스챔버(10)로부터 가스를 흡입 배출시키도록 한다. 진공흡입부(120)는 다수의 펌프로 구성될 수 있는데, 예컨대 제 1 및 제 2 펌프(121,122)를 포함할 수 있다. 여기서, 제 1 및 제 2 펌프(121,122)는 개폐밸브(124)에 의해 개폐되는 연결튜브(123)로 서로 연결될 수 있는데, 일례로 제 1 펌프(121)는 디퓨젼펌프(diffusion pump)일 수 있고, 제 2 펌프(122)는 오일 로터리 펌프(oil rotary pump)일 수 있으며, 다른 예로서 제 1 펌프(121)는 터보 펌프(turbo pump)일 수 있고, 제 2 펌프(122)는 드라이 펌프(dry pump)일 수 있다.
냉각챔버(130)는 본체(110), 예컨대 챔버설치부(114)에 설치되고, 내측이 본체(110) 내의 통로에 연결되는 정제공간(131)과 정제공간(131)에 냉기를 제공하는 액화가스가 채워지는 냉각공간(132)으로 양분되는데, 정제공간(131)과 냉각공간(132)을 양분시키는 격리 역할을 하는 내부챔버(133)가 내측에 설치될 수 있다. 또한 내부챔버(133)는 외주면을 따라 블레이드(134)가 수직되게 다수로 마련될 수 있는데, 이러한 블레이드(134)에 의해 냉각공간(132)의 액화가스와 정제공간(131)을 통과하는 가스 간의 열교환 효율을 높이도록 한다. 여기서, 액화가스는 예컨대 액화 질소 가스일 수 있는데, 이에 반드시 한하는 것은 아니고, 취급이 가능한 냉매로서 사용되는 다양한 액화가스가 사용될 수 있다.
냉각챔버(130)는 상단에 개폐 가능한 커버(135)가 플랜지 이음 등에 의해 분리 가능하게 결합될 수 있고, 커버(135)에 냉각공간(132)으로의 액화가스 공급을 위한 공급구(136)와 기화된 저온 가스의 배출을 위한 배출구(137)가 각각 마련될 수 있고, 이러한 공급구(136)와 배출구(137) 각각에 연결을 위한 피팅부재와 개폐를 위한 밸브 등이 설치될 수 있다.
저온가스라인(140)은 냉각공간(132)에 연결되어 외측으로 인출될 수 있고, 냉각공간(132)에서 기화되는 저온 가스가 배출되도록 한다. 저온가스라인(140)은 기화된 저온 가스의 원활한 배출을 위하여, 냉각공간(132)의 상단에 위치하는 커버(135)에 마련된 배출구(137)에 일단이 연결될 수 있다.
저온가스라인(140)은 저온 가스가 내측으로 이동하는 내부관(141)과, 내부관(141)을 감싸도록 마련되고, 진공공급라인(170)이 연결됨으로써, 내부관(141)과의 사이에 진공이 제공되는 외부관(142)을 포함할 수 있다. 저온가스라인(140)에서 내부관(141)을 통한 저온 가스의 이동을 개폐시키기 위하여 가스개폐밸브(143)가 설치될 수 있다.
진공공급라인(170)은 냉각챔버(130)의 정제공간(131)에 연결되어 외측으로 인출되고, 정제공간(131)으로부터 진공이 제공되도록 하며, 진공개폐밸브(171)가 설치될 수 있다. 따라서, 진공공급라인(170)은 진공흡입부(120)로부터 제공되는 진공을 내부관(141)과 외부관(142) 사이의 공간에 전달하는 역할을 하게 된다. 또한 진공공급라인(170)은 일례로 저온가스라인(140)의 외부관(142)에 직접 용접에 의해 연결되거나, 다른 예로서 외부관(142)에 피팅부재를 사용하여 연결될 수도 있다.
라인필터(150)는 본체(110) 내의 통로에 위치하고, 가스로부터 불순물을 필터링하도록 하는데, 일례로 가장자리의 프레임 내측에 메쉬 구조를 가지도록 구성될 수 있고, 열전도성을 가진 금속 등의 재질로 이루어질 수 있다.
도 3 내지 도 5를 참조하면, 냉각유닛(160)은 라인필터(150)에 접촉하도록 본체(110), 예컨대 필터하우징(112) 내에 설치되고, 저온가스라인(140)이 연결되는 주입구(161)를 통해 주입되는 저온 가스가 내측의 열교환유로(162)를 통과하여 배출구(163)를 통해 배출됨으로써, 저온 가스의 냉기를 라인필터(150)에 전달하며, 이를 위해 열전도성 재질로 이루어질 수 있다. 따라서, 라인필터(150)는 냉각유닛(160)에 의해 저온 가스와의 열교환으로 냉각됨으로써, 자신을 통과하는 가스의 불순물 흡착 효율을 높이도록 할 수 있다. 냉각유닛(160)은 본체(110)의 측부, 예컨대 필터하우징(112)의 측부에 형성되는 개구(115)를 개폐시키도록 개구(115)의 외측에 착탈 가능하게 결합될 수 있고, 본체(110)의 내측을 향하는 면에 라인필터(150)가 수직을 이루도록 설치될 수 있다.
냉각유닛(160)은 예컨대, 본체(110)의 개구(115) 주변에 가장자리가 볼팅에 의해 부착되고, 주입구(161)와 배출구(163)가 관통하도록 각각 마련되며, 외측면에 손잡이(164b)가 마련되는 고정플레이트(164)와, 고정플레이트(164)의 내측면에 부착되고, 본체(110)의 내측을 향하는 면에 라인필터(150)가 다수로 서로 이격되게 나란하도록 고정되기 위한 고정부(166)가 다수로 수직되게 마련되며, 양단이 주입구(161)와 배출구(163)에 각각 연결되는 열교환유로(162)가 고정부(166)에 인접하도록 지그재그로 형성되는 필터플레이트(165)를 포함할 수 있다. 여기서, 고정플레이트(164)는 개구(115) 주위에 실링부재(168)가 개재되도록 체결홀(164a)을 통해 볼트로 고정됨으로써, 본체(110) 내의 통로에 대한 기밀을 유지하도록 할 수 있다.
도 6을 참조하면, 냉각유닛(160)의 고정부(166)는 필터플레이트(165)에 수직되게 형성되는 슬릿(166a)을 포함하고, 슬릿(166a)에 라인필터(150)와 함께 끼워져서 라인필터(150)를 슬릿(166a) 내에 밀착시키는 고정편(167)이 볼트(미도시)로 고정될 수 있다.
이와 같은 본 발명에 따른 액화가스를 이용한 가스 정제 장치에 따르면, 냉각챔버(130)를 단일로 사용하면서도 불순물의 제거 효율을 원하는 수준으로 유지할 수 있고, 이로 인해 제조원가의 절감에 기여할 수 있다.
또한 본 발명에 따르면, 액화가스로부터 자연적으로 기화되는 저온가스를 사용하여 라인필터(150)를 냉각시킴으로써 에너지 효율을 높이면서도 불순물 제거 효율을 극대화시킬 수 있다.
또한 본 발명에 따르면, 정제에 필요한 진공의 일부를 저온 가스의 열손실 차단용으로 사용하여, 라인필터(150)의 냉각 효율을 높일 수 있으며, 이로 인해, 불순물 제거 동작의 신뢰성을 높일 수 있다.
이와 같이 본 발명에 대해서 첨부된 도면을 참조하여 설명하였으나, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 다양한 수정 및 변형이 이루어질 수 있음은 물론이다. 그러므로, 본 발명의 범위는 설명된 실시례에 한정되어서는 아니되며, 후술하는 특허청구범위뿐만 아니라 이러한 특허청구범위와 균등한 것들에 의해 정해져야 한다.
10 : 프로세스챔버 11 : 배기부
110 : 본체 111 : 연결부
112 : 필터하우징 113 : 엘보부
113a : 개폐커버 114 : 챔버설치부
115 : 개구 120 : 진공흡입부
121 : 제 1 펌프 122 : 제 2 펌프
123 : 연결튜브 124 : 개폐밸브
130 : 냉각챔버 131 : 정제공간
132 : 냉각공간 133 : 내부챔버
134 : 블레이드 135 : 커버
136 : 공급구 137 : 배출구
140 : 저온가스라인 141 : 내부관
142 : 외부관 143 : 가스개폐밸브
150 : 라인필터 160 : 냉각유닛
161 : 주입구 162 : 열교환유로
163 : 배출구 164 : 고정플레이트
164a : 체결홀 164b : 손잡이
165 : 필터플레이트 166 : 고정부
166a : 슬릿 167 : 고정편
168 : 실링부재 170 : 진공공급라인
171 : 진공개폐밸브

Claims (5)

  1. 가스에 포함된 불순물을 냉각에 의해 정제하는 장치에 있어서,
    정제 대상이 되는 가스가 통과하는 통로를 제공하는 본체;
    상기 본체에 진공을 공급하여 상기 가스를 흡입 배출시키는 진공흡입부;
    상기 본체에 설치되고, 내측이 상기 통로에 연결되는 정제공간과 상기 정제공간에 냉기를 제공하는 액화가스가 채워지는 냉각공간으로 양분되는 냉각챔버;
    상기 냉각공간에 연결되어 외측으로 인출되고, 상기 냉각공간에서 기화되는 저온 가스가 배출되도록 하는 저온가스라인;
    상기 통로에 위치하고, 상기 가스로부터 불순물을 필터링하는 라인필터; 및
    상기 라인필터에 접촉하도록 상기 본체에 설치되고, 상기 저온가스라인이 연결되는 주입구를 통해 주입되는 저온 가스가 내측의 열교환유로를 통과하여 배출구를 통해 배출됨으로써, 상기 저온 가스의 냉기를 상기 라인필터에 전달하는 냉각유닛;
    을 포함하고,
    상기 냉각유닛은,
    상기 본체의 측부에 형성되는 개구를 개폐시키도록 상기 개구의 외측에 착탈 가능하게 결합되고, 상기 본체의 내측을 향하는 면에 상기 라인필터가 수직을 이루도록 설치되는, 액화가스를 이용한 가스 정제 장치.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 냉각챔버의 정제공간에 연결되어 외측으로 인출되고, 상기 정제공간으로부터 진공이 제공되도록 하며, 진공개폐밸브가 설치되는 진공공급라인을 더 포함하고,
    상기 저온가스라인은,
    상기 저온 가스가 내측으로 이동하는 내부관; 및
    상기 내부관을 감싸도록 마련되고, 상기 진공공급라인이 연결됨으로써, 상기 내부관과의 사이에 진공이 제공되는 외부관;
    을 포함하는, 액화가스를 이용한 가스 정제 장치.
  3. 삭제
  4. 청구항 1에 있어서,
    상기 냉각유닛은,
    상기 개구의 주변에 가장자리가 볼팅에 의해 부착되고, 상기 주입구와 상기 배출구가 관통하도록 각각 마련되며, 외측면에 손잡이가 마련되는 고정플레이트; 및
    상기 고정플레이트의 내측면에 부착되고, 상기 본체의 내측을 향하는 면에 상기 라인필터가 다수로 서로 이격되게 나란하도록 고정되기 위한 고정부가 다수로 수직되게 마련되며, 양단이 상기 주입구와 상기 배출구에 각각 연결되는 상기 열교환유로가 상기 고정부에 인접하도록 지그재그로 형성되는 필터플레이트;
    를 포함하는, 액화가스를 이용한 가스 정제 장치.
  5. 청구항 4에 있어서,
    상기 고정부는,
    상기 필터플레이트에 수직되게 형성되는 슬릿을 포함하고, 상기 슬릿에 상기 라인필터와 함께 끼워져서 상기 라인필터를 상기 슬릿 내에 밀착시키는 고정편이 볼트로 고정되는, 액화가스를 이용한 가스 정제 장치.
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