KR20030063586A - 반도체 제조용 공정가스의 정제장치 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (4)
- 반도체 제조용으로 사용되는 공정가스를 고순도로 정제하는 장치(10)에 있어서,MS가 충진된 제 1파이프(12)와;상기 제 1파이프(12)의 양단측에 다공판(16,17)을 사이에 두고 각각 설치되는 것으로, 그 내부에 알루미나 볼(24)이 내설된 제 2파이프(18)들과;상기 제 2파이프(18)들의 단부측에 각각 필터(26,27)를 사이에 두고 설치되는 제 3파이프(20)들과;상기 제 3파이프(20)들의 중간측 단부에 각각 공정가스 유입포트(30) 및 정제된 공정가스의 배출포트(32)가 각각 설치되어 이루어진 것을 특징으로 하는 반도체 제조용 공정가스 정제장치.
- 제 1항에 있어서,상기 공정가스 유입포트(30) 및 정제된 공정가스의 배출포트(32)는 각각 캡(34)과, 글랜드(42), 가스켓, 너트(38), 엘보우(36), 튜브(40)를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 반도체 제조용 공정가스 정제장치.
- 제 1항에 있어서,상기 제 3파이프(20)들은 공정가스의 편류를 방지하여 정제장치의 수명을 연장시키도록 버퍼죤으로 이루어진 것을 특징으로 하는 반도체 제조용 공정가스 정제장치.
- 제 1항에 있어서,상기 제 1파이프(12)와, 제 2파이프(18)들 및 제 3파이프(20)들로 이루어진 정제장치(10)의 일측에는 이 정제장치(10)의 재생시 뜨거운 공기가 배출되는 VO1이 설치되고, 이 V01의 일측으로는 상기 뜨거운 공기를 냉각시키기 위한 핀쿨러(11)가 설치되어 이루어진 것을 특징으로 하는 반도체 제조용 공정가스 정제장치.
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