KR102091392B1 - 기판 반송 장치 및 기판 반송 방법 - Google Patents

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Abstract

기판 반송 장치의 반출입 기구는, 수평 자세로 재치된 기판을 반송한다. 노치 얼라이너는, 반출입 기구 상에 재치될 예정인 기판을 둘레 방향으로 회전시켜, 기판의 둘레 가장자리부에 형성된 노치의 둘레 방향의 위치를 변경한다. 반출입 기구는, 기판의 둘레 가장자리부의 하면과 대향하는 4 개의 지지부를 구비한다. 기판 반송 장치에서는, 기판의 휨 상태에 대하여 입력된 입력 정보, 및 휨-노치 위치 정보에 기초하여, 제어부가 노치 얼라이너를 제어하여, 기판의 노치의 둘레 방향의 위치를 결정한다. 이로써, 반출입 기구 상에 재치된 상태에 있어서의 기판의 하면과, 반출입 기구의 4 개의 지지부가 접촉한다. 그 결과, 반출입 기구에 의한 반송 중인 기판의 덜컹거림 및 위치 어긋남을 방지 또는 억제할 수 있어, 기판을 안정적으로 반송할 수 있다.

Description

기판 반송 장치 및 기판 반송 방법{SUBSTRATE TRANSPORTER AND SUBSTRATE TRANSPORT METHOD}
본 발명은 기판을 반송하는 기술에 관한 것이다.
종래, 반도체 기판 (이하, 간단히 「기판」이라고 한다) 의 제조 공정에서는, 기판에 대해 여러 가지 처리를 실시하는 기판 처리 장치가 이용되고 있다. 예를 들어, 일본 공개특허공보 2010-93230호 (문헌 1) 에서는, 복수의 기판에 대해 일괄적으로 처리를 실시하는 배치식의 기판 처리 장치가 개시되어 있다. 당해 기판 처리 장치에서는, 수평 자세로 두께 방향으로 배열된 복수의 기판이, 배치 핸드에 의해 유지되어 반송된다. 또, 당해 기판 처리 장치에서는, 수직 자세로 척에 유지되어 있는 복수의 기판의 방향을 정렬시키는 기판 방향 정렬 기구가 형성되어 있다. 기판 방향 정렬 기구는, 각 기판의 둘레 가장자리부에 형성된 노치의 방향 (즉, 둘레 방향의 위치) 이 일치하도록, 복수의 기판을 일괄적으로 정렬시킨다.
일본 공개특허공보 2013-258312호 (문헌 2) 의 기판 처리 장치에는, 기판을 1 장씩 개별적으로 픽업하여, 노치의 위치를 맞추는 노치 맞춤 장치가 형성되어 있다. 당해 기판 처리 장치에서는, 노치 맞춤이 완료되었는지의 여부를 나타내는 노치 맞춤 완료 정보, 및 기판에 대한 처리가 완료되었는지의 여부를 나타내는 처리 완료 정보 등에 기초하여, 로봇에 의한 기판의 반송처가 결정된다.
한편, 일본 공개특허공보 2006-339574호 (문헌 3) 의 기판 검사 장치에서는, 웨이퍼의 하면을 진공 흡착하여 반송하는 반송 아암이 형성되어 있다. 당해 기판 검사 장치에서는, 웨이퍼가 휘어져 있는 경우에, 반송 아암에 의한 웨이퍼의 흡착 불비의 오검출을 방지하기 위해, 웨이퍼의 휨에 맞춰, 흡착 불비를 판단하는 진공압의 임계값을 변경하고 있다. 또, 임계값의 변경에 의해 흡착력이 저하된 경우, 반송시의 웨이퍼의 어긋남을 방지하기 위해, 웨이퍼의 반송 속도를 저하시키고 있다.
그런데, 문헌 1 의 기판 처리 장치와 같이, 수평 자세의 기판이 흡착되지 않고 배치 핸드에 의해 하측으로부터 지지되는 경우, 기판이 휘어져 있으면, 기판이 배치 핸드 상에서 덜컹거릴 (예를 들어, 요동치거나, 또는 반송 방향으로 어긋날) 우려가 있어, 기판을 안정적으로 지지 및 반송하는 것이 어렵다.
본 발명은 기판 반송 장치에 관한 것으로, 기판을 안정적으로 반송하는 것을 목적으로 하고 있다. 본 발명은 기판 반송 방법에 관한 것이기도 하다.
본 발명에 관련된 하나의 기판 반송 장치는, 수평 자세로 재치 (載置) 된 기판을 반송하는 반송 기구와, 상기 반송 기구 상에 재치될 예정인 상기 기판을 둘레 방향으로 회전시켜, 상기 기판의 둘레 가장자리부에 형성된 노치의 상기 둘레 방향의 위치를 변경하는 노치 위치 변경 기구와, 상기 기판의 휨 상태와, 상기 휨 상태로 상기 기판이 상기 반송 기구 상에 재치될 때 적절한 자세가 되는 노치 위치의 복수의 조합을 포함하는 휨-노치 위치 정보를 기억하는 기억부와, 상기 노치 위치 변경 기구를 제어하는 제어부를 구비한다. 상기 반송 기구가, 상기 기판의 상기 둘레 가장자리부의 하면과 대향하는 4 개의 지지부를 구비한다. 상기 기판의 휨 상태에 대하여 입력된 입력 정보, 및 상기 휨-노치 위치 정보에 기초하여, 상기 제어부가 상기 노치 위치 변경 기구를 제어하여, 상기 기판의 상기 노치의 상기 둘레 방향의 위치를 결정함으로써, 상기 반송 기구 상에 재치된 상태에 있어서의 상기 기판의 상기 하면과 상기 반송 기구의 상기 4 개의 지지부가 접촉한다. 당해 기판 반송 장치에 의하면, 기판을 안정적으로 반송할 수 있다.
본 발명의 하나의 바람직한 실시형태에서는, 상기 반송 기구가, 상기 4 개의 지지부 중 각각 2 개의 지지부가 상부에 형성되는 2 개의 핸드 요소를 구비하고, 상기 반송 기구 상에 재치된 상태에 있어서의 상기 기판이, 각 핸드 요소의 연직 상방, 또한, 상기 각 핸드 요소의 상기 2 개의 지지부 사이에 있어서, 상측으로 볼록하다.
본 발명의 다른 바람직한 실시형태에서는, 상기 반송 기구가, 다른 기판을 상기 기판과 함께 반송하고, 상기 노치 위치 변경 기구가, 상기 다른 기판 및 상기 기판을 순차적으로 또는 동시에 상기 둘레 방향으로 회전시켜, 상기 다른 기판의 둘레 가장자리부에 형성된 노치의 상기 둘레 방향의 위치를 상기 기판과 동일하게 결정하고, 상기 반송 기구가, 상기 다른 기판의 상기 둘레 가장자리부의 하면과 대향하는 다른 4 개의 지지부를 구비하고, 상기 반송 기구 상에 재치된 상태에 있어서의 상기 다른 기판의 상기 하면과 상기 반송 기구의 상기 다른 4 개의 지지부가 접촉한다.
본 발명에 관련된 다른 기판 반송 장치는, 수평 자세로 재치된 기판을 반송하는 반송 기구와, 상기 기판의 휨 상태에 기초하여 상기 반송 기구를 제어함으로써, 상기 반송 기구의 이동 개시시 및 이동 정지시의 가속도를 제어하는 제어부를 구비한다. 당해 기판 반송 장치에 의하면, 기판을 안정적으로 반송할 수 있다.
상기 서술한 기판 반송 장치에서는, 예를 들어, 상기 기판이, 제 1 직경 방향에 있어서 두께 방향의 일방측으로 제 1 곡률로 만곡되고, 상기 제 1 직경 방향과 직교하는 제 2 직경 방향에 있어서, 상기 두께 방향의 상기 일방측으로 상기 제 1 곡률보다 큰 제 2 곡률로 만곡된다.
상기 서술한 기판 반송 장치에서는, 예를 들어, 상기 기판이, 제 1 직경 방향에 있어서 두께 방향의 일방측으로 만곡되고, 상기 제 1 직경 방향과 직교하는 제 2 직경 방향에 있어서 상기 두께 방향의 타방측으로 만곡된다.
상기 서술한 목적 및 다른 목적, 특징, 양태 및 이점은, 첨부한 도면을 참조하여 이하에 기재하는 이 발명의 상세한 설명에 의해 명백해질 것이다.
도 1 은 일 실시형태에 관련된 기판 처리 장치의 평면도이다.
도 2 는 기판 처리 장치의 일부를 나타내는 평면도이다.
도 3 은 기판 처리 장치의 일부를 나타내는 측면도이다.
도 4 는 기판의 사시도이다.
도 5 는 기판의 사시도이다.
도 6 은 반출입 기구의 측면도이다.
도 7 은 배치 핸드 및 기판을 나타내는 평면도이다.
도 8 은 기판의 정렬 및 반송의 흐름을 나타내는 플로도이다.
도 9 는 수평 자세로 유지된 기판을 나타내는 단면도이다.
도 10 은 수평 자세로 유지된 기판을 나타내는 단면도이다.
도 11 은 수평 자세로 유지된 기판을 나타내는 단면도이다.
도 12 는 기판의 반송의 흐름을 나타내는 플로도이다.
도 1 은, 본 발명의 일 실시형태에 관련된 기판 처리 장치 (10) 의 평면도이다. 기판 처리 장치 (10) 는, 평면에서 보았을 때 대략 장방형이다. 기판 처리 장치 (10) 는, 복수의 반도체 기판 (9) (이하, 간단히 「기판 (9) 」이라고 한다) 을 일괄적으로 처리하는 배치식의 기판 처리 장치이다. 기판 (9) 은 대략 원판상의 기판이다. 기판 (9) 은, 결정 방향을 나타내는 노치 (93) (도 4 및 도 5 참조) 를 둘레 가장자리부에 갖는다. 또한, 기판 (9) 의 외주 가장자리로부터의 노치 (93) 의 깊이는 약 1 ㎜ 이다.
기판 처리 장치 (10) 는, 후프 (FOUP) 유지부 (1) 와, 기판 처리부 (2) 와, 주반송 기구 (3) 와, 반출입 기구 (4) 와, 자세 변경 기구 (5) 와, 푸셔 (6) 와, 수수 기구 (7) 와, 스토커 (200) 와, 제어부 (100) 와, 기억부 (101) 를 구비한다. 제어부 (100) 는, 기판 처리 장치 (10) 의 각 구성의 동작 등을 제어한다. 제어부 (100) 는, 각종 연산 처리를 실시하는 CPU, 기본 프로그램을 기억하는 ROM, 및 각종 정보를 기억하는 RAM 등을 포함하는 일반적인 컴퓨터 시스템이다. 후프 유지부 (1) 는, 반출입 기구 (4) 에 인접하여 배치된다. 후프 유지부 (1) 는, 후프 (95) 를 유지한다. 후프 (95) 는, 수평 자세의 복수 (예를 들어, 25 장) 의 기판 (9) 을, Z 방향으로 적층한 상태로 수용하는 수용기이다.
도 1 중의 Z 방향은, 중력 방향과 평행한 방향이며, 상하 방향이라고도 부른다. 또, 도 1 중의 X 방향은, Z 방향과 수직인 방향이다. Y 방향은, X 방향 및 Z 방향과 수직인 방향이다. 기판 (9) 의 수평 자세란, 기판 (9) 의 주면의 법선 방향이 대략 Z 방향을 향하는 자세이다. 또, 후술하는 기판 (9) 의 수직 자세란, 기판 (9) 의 주면의 법선 방향이 Z 방향으로 대략 수직인 방향을 향하는 자세이다. 기판 처리 장치 (10) 에서는, 복수의 기판 (9) 이, 수평 자세 또는 수직 자세로, 기판 (9) 의 주면과 대략 수직인 방향으로 적층된다. 바꾸어 말하면, 수평 자세 또는 수직 자세의 복수의 기판 (9) 이, 기판 (9) 의 두께 방향으로 배열된다.
스토커 (200) 는, 후프 유지부 (1) 보다 (-Y) 측에 있어서, 후프 유지부 (1) 에 인접하여 배치된다. 스토커 (200) 는, 후프 스톡부 (201) 와, 후프 재치 영역 (202) 과, 노치 얼라이너 (203) 와, 기판 반송 로봇 (204) 과, 후프 유지부 (205) 와, 제 1 후프 이재 (移載) 로봇 (206) 과, 제 2 후프 이재 로봇 (207) 을 구비한다. 후프 스톡부 (201) 는, X 방향 및 Z 방향으로 2 차원으로 배열된 복수의 후프 (95) 를 하측으로부터 지지한다. 후프 재치 영역 (202) 에는, 후프 (95) 가 재치된다.
노치 얼라이너 (203) 는, 수평 자세의 기판 (9) 을 둘레 방향으로 회전시켜 후술하는 노치 얼라인먼트를 실행한다. 바꾸어 말하면, 노치 얼라이너 (203) 는, 기판 (9) 을 둘레 방향으로 회전시켜 둘레 방향의 방향을 변경하고, 기판 (9) 의 둘레 방향의 위치를 결정한다. 노치 얼라이너 (203) 는, 기판 지지부 (203c) 와, 모터 (203a) 와, 노치 위치 센서 (203b) 를 구비한다. 기판 지지부 (203c) 는, 수평 자세의 기판 (9) 을 자유롭게 회전할 수 있도록 지지한다. 모터 (203a) 는, 기판 (9) 을 기판 지지부 (203c) 와 함께 회전시키는 회전부이다. 노치 위치 센서 (203b) 는, 기판 지지부 (203c) 에 의해 지지된 기판 (9) 의 노치 (93) (도 4 및 도 5 참조) 를 광학적으로 검출함으로써, 회전 중인 기판 (9) 의 각도 위치 (즉, 기판 (9) 의 둘레 방향의 방향) 를 취득한다.
기판 반송 로봇 (204) 은, 후프 재치 영역 (202) 에 재치된 후프 (95) 와 노치 얼라이너 (203) 사이에서 기판 (9) 을 1 장씩 반송한다. 후프 유지부 (205) 는, 스토커 (200) 의 내부 공간에 반입되는 후프 (95) 를 유지한다. 제 1 후프 이재 로봇 (206) 은, 후프 스톡부 (201) 와 후프 재치 영역 (202) 과 후프 유지부 (205) 사이에서 후프 (95) 의 이재를 실시한다. 제 2 후프 이재 로봇 (207) 은, 후프 스톡부 (201) 와 후프 재치 영역 (202) 과 후프 유지부 (1) 사이에서 후프 (95) 의 이재를 실시한다. 또한, 도 1 에서는, 제 1 후프 이재 로봇 (206) 및 제 2 후프 이재 로봇 (207) 의 이동 경로만을 모식적으로 나타내고 있다.
스토커 (200) 에서는, 후프 재치 영역 (202) 에 새로운 후프 (95) 가 재치 되면, 제 1 후프 이재 로봇 (206) 이 당해 후프 (95) 를 후프 스톡부 (201) 로 반송한다. 제 2 후프 이재 로봇 (207) 은, 기판 처리 장치 (10) 의 처리 스케줄에 따라, 미처리의 기판 (9) 을 유지하는 새로운 후프 (95) 를, 후프 스톡부 (201) 로부터 후프 유지부 (1) 까지 이동시킨다. 또, 제 2 후프 이재 로봇 (207) 은, 기판 처리 장치 (10) 에 있어서의 처리가 종료된 후프 (95) 를, 후프 유지부 (1) 로부터 후프 스톡부 (201) 까지 이동시킨다.
기판 반송 로봇 (204) 은, 아암 (204a) 과, 아암 구동 기구 (204b) 와, 기판 맞닿음부 (204c) 를 구비한다. 아암 구동 기구 (204b) 는, 아암 (204a) 을 회전 또한 신축시킨다. 기판 맞닿음부 (204c) 는, 아암 (204a) 상에 형성되고, 기판 (9) 의 하면에 점 접촉하여 기판 (9) 을 지지한다. 아암 (204a) 의 상면에는, 3 개의 기판 맞닿음부 (204) 가 형성되어 있다.
기판 반송 로봇 (204) 은, 아암 (204a) 을 회전 또한 신축시켜, 후프 재치 영역 (202) 에 재치된 후프 (95) 로부터 1 장의 기판 (9) 을 꺼내어, X 방향을 향하도록 회동 (回動) 시켜 노치 얼라이너 (203) 와 마주보게 한다. 다음으로, 아암 (204a) 을 신장시켜, 꺼낸 기판 (9) 을 노치 얼라이너 (203) 의 기판 지지부 (203c) 에 재치한다.
노치 얼라이너 (203) 에서는, 모터 (203a) 에 의해, 기판 지지부 (203c) 에 의해 지지된 기판 (9) 이 둘레 방향으로 회전되어, 기판 (9) 의 둘레 방향의 방향이 변경된다. 그리고, 노치 위치 센서 (203b) 에 의해, 회전 중인 기판 (9) 의 노치 (93) 가 검출되고, 검출 후의 소정의 타이밍으로 (즉, 노치 (93) 의 검출로부터 소정 시간 경과 후에) 모터 (203a) 가 정지된다. 또한, 당해 소정 시간은 제로여도 된다. 이로써, 기판 (9) 의 노치 (93) 가 소정 위치에 위치한 상태에서, 기판 (9) 의 회전이 정지된다. 즉, 둘레 방향에 있어서의 기판 (9) 의 노치 (93) 의 위치 맞춤이 이루어진다. 노치 얼라이너 (203) 는, 기판 (9) 의 노치 (93) 의 둘레 방향의 위치를 변경하는 노치 위치 변경 기구이다.
노치 얼라이너 (203) 에 있어서, 기판 (9) 의 둘레 방향의 위치가 결정되면, 당해 기판 (9) 은 기판 반송 로봇 (204) 에 의해 노치 얼라이너 (203) 로부터 반출되어, 후프 재치 영역 (202) 상의 후프 (95) 로 되돌려진다. 이하 마찬가지로, 다음의 기판 (9) 이, 후프 재치 영역 (202) 상의 후프 (95) 로부터 꺼내어, 노치 얼라이너 (203) 로 당해 기판 (9) 의 둘레 방향의 위치가 결정되고 (즉, 둘레 방향에 있어서의 노치 (93) 의 위치 맞춤이 이루어지고), 당해 후프 (95) 로 되돌려진다. 당해 후프 (95) 내의 모든 기판 (9) 에 대하여 당해 동작이 반복됨으로써, 후프 (95) 내의 복수의 기판 (9) 의 둘레 방향의 방향이 변경되고, 복수의 기판 (9) 의 둘레 방향의 위치가 결정된다. 바꾸어 말하면, 당해 복수의 기판 (9) 이 둘레 방향에 있어서 정렬된다. 수용되어 있는 각 기판 (9) 의 둘레 방향의 위치 맞춤이 완료된 후프 (95) 는, 제 2 후프 이재 로봇 (207) 에 의해 후프 유지부 (1) 로 반송된다.
도 2 는, 기판 처리 장치 (10) 의 일부를 확대하여 나타내는 평면도이다. 도 3 은, 기판 처리 장치 (10) 의 일부를 나타내는 측면도이다. 도 2 에 나타내는 바와 같이, 기판 처리 장치 (10) 에서는, 후프 유지부 (1) 의 (＋Y) 측에 반출입 기구 (4) 가 배치되어, 후프 유지부 (1) 와 Y 방향으로 대향된다. 도 3 에서는, 후프 유지부 (1) 의 도시를 생략하고 있다.
도 2 및 도 3 에 나타내는 바와 같이, 반출입 기구 (4) 의 (＋X) 측에는, 자세 변경 기구 (5) 가 배치된다. 자세 변경 기구 (5) 의 (＋X) 측에는, 푸셔 (6) 가 배치된다. 푸셔 (6) 의 (＋X) 측에는, 수수 기구 (7) 와, 주반송 기구 (3) 가 배치된다. 도 3 에 나타내는 상태에서는, 주반송 기구 (3) 는, 수수 기구 (7) 의 (＋Z) 측 (즉, 상방) 에 위치한다. 주반송 기구 (3) 의 (＋Y) 측에는, 도 1 에 나타내는 바와 같이 기판 처리부 (2) 가 배치된다.
기판 처리부 (2) 는, 제 1 약액조 (21) 와, 제 1 린스액조 (22) 와, 제 2 약액조 (23) 와, 제 2 린스액조 (24) 와, 건조 처리부 (25) 와, 제 1 리프터 (27) 와, 제 2 리프터 (28) 를 구비한다. 제 1 약액조 (21), 제 1 린스액조 (22), 제 2 약액조 (23), 제 2 린스액조 (24) 및 건조 처리부 (25) 는, Y 방향을 따라 (＋Y) 측으로부터 (-Y) 측으로 이 순서로 늘어서 있다. 제 1 약액조 (21) 및 제 2 약액조 (23) 는 각각, 동종 또는 이종의 약액을 저류한다. 제 1 린스액조 (22) 및 제 2 린스액조 (24) 는 각각, 린스액 (예를 들어, 순수) 을 저류한다.
기판 처리 장치 (10) 에 있어서 기판 (9) 의 처리가 실시될 때에는, 먼저, 후프 유지부 (1) 상의 후프 (95) 에 수평 자세로 수용되어 있는 복수 (예를 들어, 25 장) 의 기판 (9) 이, 도 2 및 도 3 에 나타내는 반출입 기구 (4) 의 배치 핸드 (41) 에 의해 유지되고, 당해 후프 (95) 로부터 반출된다. 배치 핸드 (41) 는, 수평 자세로 Z 방향으로 배열된 상태의 복수의 기판 (9) 을 일괄적으로 유지한다. 또한, 반출입 기구 (4) 는, 1 장의 기판 (9) 을 수평 자세로 유지하는 매엽 핸드 (42) 도 구비하고 있다.
계속해서, 배치 핸드 (41) 가 수평 방향으로 회전하고, 자세 변경 기구 (5) 를 향하여 전진함으로써, 복수의 기판 (9) 이 반출입 기구 (4) 로부터 자세 변경 기구 (5) 로 전달된다. 자세 변경 기구 (5) 는, 수평 자세로 Z 방향으로 적층된 상태의 복수의 기판 (9) 을, 수평 유지부 (51) 에 의해 일괄적으로 유지한다. 자세 변경 기구 (5) 는, 유지부 회전 기구 (54) 에 의해, Y 방향을 향하는 회전축 (541) 을 중심으로 하여, 당해 복수의 기판 (9) 을 수평 유지부 (51), 수직 유지부 (52) 및 장착 블록 (53) 과 함께, 도 3 에 있어서의 반시계 방향으로 90 도만큼 회전시킨다. 이로써, 복수의 기판 (9) 의 자세를 수평 자세로부터 수직 자세로 일괄적으로 변경한다. 수직 자세의 복수의 기판 (9) 은, 수직 유지부 (52) 에 의해 일괄적으로 유지된다.
그리고, 푸셔 (6) 의 유지부 승강 기구 (62) 가 구동됨으로써 승강 유지부 (61) 가 상승하고, 도 3 중에 2 점 쇄선으로 나타내는 수직 유지부 (52) 로부터, 복수의 기판 (9) 을 수취하여 유지한다. 즉, 수직 유지부 (52) 와 푸셔 (6) 사이에서, 수직 자세의 복수의 기판 (9) 의 수수가 이루어진다. 승강 유지부 (61) 는, 수직 자세로 대략 X 방향으로 배열된 상태 (즉, 적층된 상태) 의 복수의 기판 (9) 을 일괄적으로 유지한다. 자세 변경 기구 (5) 의 수평 유지부 (51) 및 수직 유지부 (52) 가, 도 3 에 있어서의 시계 방향으로 90 도만큼 회전하여 유지부 승강 기구 (62) 의 상방으로부터 퇴피되면, 승강 유지부 (61) 가, Z 방향을 향하는 회전축 (63) 을 중심으로 하여 수평하게 180 도 회전한 후, 유지부 승강 기구 (62) 에 의해 하강한다. 이로써, 복수의 기판 (9) 의 적층 방향의 위치가, 회전 전에 비해 기판 (9) 의 피치의 절반 (즉, 적층 방향에 있어서 인접하는 2 장의 기판 (9) 간의 거리의 절반이며, 이하, 「하프 피치」라고 한다) 만큼 이동한다.
그 후, 상기와 동일한 순서로 후프 유지부 (1) 상의 후프 (95) 에 수용되어 있는 새로운 복수 (예를 들어, 25 장) 의 기판 (9) 이, 반출입 기구 (4) 에 의해 자세 변경 기구 (5) 로 전달된다. 자세 변경 기구 (5) 에서는, 당해 새로운 복수의 기판 (9) 의 자세가, 수평 자세로부터 수직 자세로 일괄적으로 변경된다. 그리고, 푸셔 (6) 의 승강 유지부 (61) 가 다시 상승하여, 자세 변경 기구 (5) 로부터 당해 새로운 복수의 기판 (9) 을 수취하여 유지한다. 이 때, 승강 유지부 (61) 에 이미 유지되어 있는 복수의 기판 (9) (이하, 「제 1 기판군」이라고 부른다) 은, 새로운 복수의 기판 (9) (이하, 「제 2 기판군」이라고 부른다) 사이에 하방으로부터 삽입된다. 이와 같이, 자세 변경 기구 (5) 및 푸셔 (6) 에 의해, 제 1 기판군과 제 2 기판군을 조합하여 배치를 형성하는 배치 조합이 실시된다.
상기 서술한 바와 같이, 제 1 기판군의 복수의 기판 (9) (이하, 「제 1 기판 (9)」이라고도 부른다) 은, 제 2 기판군 사이에 삽입되기도 전에 180 도 회전되어 있다 (즉, 반전되어 있다). 이 때문에, 제 1 기판군의 복수의 제 1 기판 (9) 은, 제 2 기판군의 복수의 기판 (9) (이하, 「제 2 기판 (9)」이라고도 부른다) 사이에, 복수의 제 2 기판 (9) 과는 표리 반대 방향으로 각각 배치된다. 바꾸어 말하면, 승강 유지부 (61) 에 유지된 복수 (예를 들어, 50 장) 의 기판 (9) 에서는, 인접하는 각 1 쌍의 기판 (9) 은, 표면끼리 또는 이면끼리를 대향시킨 상태 (즉, 페이스·투·페이스 상태) 이다. 또한, 기판 (9) 의 표면이란, 예를 들어 회로 패턴이 형성되는 주면이며, 기판 (9) 의 이면이란, 당해 표면과는 반대측의 주면이다.
푸셔 (6) 에서는, 제 1 기판군을 유지한 승강 유지부 (61) 가, 제 2 기판군을 수취하기 전에 180 도 회전되지 않고, 기판 (9) 의 배열 방향으로 하프 피치만큼 수평 이동함으로써, 인접하는 각 1 쌍의 기판 (9) 이 표면과 이면을 대향시킨 상태 (즉, 페이스·투·백 상태) 에서 배치 조합을 실시할 수도 있다.
승강 유지부 (61) 상에서 배치 조합된 복수의 기판 (9) 은, 승강 유지부 (61) 로부터 수수 기구 (7) 의 반입 척 (71) 으로 전달된다. 반입 척 (71) 은, 수취한 복수의 기판 (9) 을 수직 자세로 유지한 상태에서, 유지부 승강 기구 (62) 의 상방으로부터 (＋X) 방향으로 이동된다. 계속해서, 수수 기구 (7) 의 중개 척 (72) 이 하강하고, 반입 척 (71) 으로부터 복수의 기판 (9) 을 수취하여 상승한다. 그리고, 주반송 기구 (3) 의 기판 척 (31) 이, 중개 척 (72) 으로부터 복수의 기판 (9) 을 수취한다. 기판 척 (31) 은, 수직 자세로 X 방향으로 배열된 복수의 기판 (9) 을 유지한다.
주반송 기구 (3) 는, 기판 척 (31) 에 유지된 미처리의 복수의 기판 (9) 을(＋Y) 방향으로 반송하여, 도 1 에 나타내는 기판 처리부 (2) 의 제 1 리프터 (27) 의 상방에 위치시킨다. 제 1 리프터 (27) 는, 수직 자세로 X 방향으로 배열된 복수의 기판 (9) 을, 기판 척 (31) 으로부터 일괄적으로 수취한다. 제 1 리프터 (27) 는, 당해 복수의 기판 (9) 을 제 1 약액조 (21) 로 하강시켜, 제 1 약액조 (21) 내의 약액 중에 일괄적으로 침지시킨다. 그리고, 복수의 기판 (9) 을 당해 약액 중에 소정 시간만큼 침지시킴으로써, 복수의 기판 (9) 의 약액 처리가 종료된다.
계속해서, 제 1 리프터 (27) 가, 복수의 기판 (9) 을 제 1 약액조 (21) 로부터 끌어올려, (-Y) 방향으로 이동시킨다. 제 1 리프터 (27) 는, 복수의 기판 (9) 을 제 1 린스액조 (22) 로 하강시켜, 제 1 린스액조 (22) 내의 린스액 중에 일괄적으로 침지시킨다. 그리고, 복수의 기판 (9) 을 당해 린스액 중에 소정 시간만큼 침지시킴으로써, 복수의 기판 (9) 의 린스 처리가 종료된다. 린스 처리가 종료되면, 제 1 리프터 (27) 가, 복수의 기판 (9) 을 제 1 린스액조 (22) 로부터 끌어올린다. 주반송 기구 (3) 의 기판 척 (31) 은, 제 1 리프터 (27) 로부터 복수의 기판 (9) 을 일괄적으로 수취하여, 제 2 리프터 (28) 의 상방으로 이동시킨다.
제 2 리프터 (28) 는, 제 1 리프터 (27) 와 마찬가지로, 기판 척 (31) 으로부터 복수의 기판 (9) 을 일괄적으로 수취하여, 제 2 약액조 (23) 내의 약액 중에 일괄적으로 침지시킨다. 복수의 기판 (9) 의 약액 처리가 종료되면, 제 2 리프터 (28) 는, 복수의 기판 (9) 을 제 2 약액조 (23) 로부터 끌어올려, 제 2 린스액조 (24) 내의 린스액 중에 일괄적으로 침지시킨다. 복수의 기판 (9) 의 린스 처리가 종료되면, 제 2 리프터 (28) 가, 복수의 기판 (9) 을 제 2 린스액조 (24) 로부터 끌어올린다. 주반송 기구 (3) 의 기판 척 (31) 은, 제 2 리프터 (28) 로부터 복수의 기판 (9) 을 일괄적으로 수취하여, 건조 처리부 (25) 의 상방으로 이동시킨다.
건조 처리부 (25) 는, 기판 척 (31) 으로부터 복수의 기판 (9) 을 일괄적으로 수취하여, 복수의 기판 (9) 에 대해 일괄적으로 건조 처리를 실시한다. 당해 건조 처리에서는, 예를 들어, 감압 분위기 중에서 기판 (9) 에 대해 유기 용제 (예를 들어, 이소프로필알코올) 가 공급되고, 기판 (9) 을 회전시킴으로써, 기판 (9) 상의 액체가 원심력에 의해 제거된다. 복수의 기판 (9) 의 건조 처리가 종료되면, 주반송 기구 (3) 의 기판 척 (31) 이, 건조 처리부 (25) 로부터 처리가 끝난 복수의 기판 (9) 을 일괄적으로 수취하여, (-Y) 방향으로 이동시킨다.
계속해서, 도 2 및 도 3 에 나타내는 수수 기구 (7) 의 불출 (拂出) 척 (73) 이, 주반송 기구 (3) 의 기판 척 (31) 으로부터 복수의 기판 (9) 을 일괄적으로 수취하여, (-X) 방향으로 이동하여 푸셔 (6) 의 승강 유지부 (61) 의 상방에 위치한다. 푸셔 (6) 의 승강 유지부 (61) 는 상승하여, 불출 척 (73) 으로부터 복수의 기판 (9) 을 수취한다. 승강 유지부 (61) 는, 수직 자세로 X 방향으로 배열된 복수 (예를 들어, 50 장) 의 기판 (9) 을 유지한다.
다음으로, 승강 유지부 (61) 가 하강하여, 푸셔 (6) 와 수직 유지부 (52) 사이에서 수직 자세의 복수의 기판 (9) 의 수수가 이루어진다. 구체적으로는, 당해 복수의 기판 (9) 중, 제 2 기판군의 복수 (예를 들어, 25 장) 의 기판 (9) 이, 도 3 중에 2 점 쇄선으로 나타내는 수직 유지부 (52) 로 전달된다. 바꾸어 말하면, 제 1 기판군과 제 2 기판군에 의해 구성되어 있던 배치가 해제되고, 제 1 기판군과 제 2 기판군이 분리된다. 자세 변경 기구 (5) 의 수평 유지부 (51) 및 수직 유지부 (52) 는, 도 3 에 있어서의 시계 방향으로 90 도만큼 회전한다. 이로써, 제 2 기판군의 복수의 기판 (9) 의 자세가, 수직 자세로부터 수평 자세로 일괄적으로 변경된다. 당해 복수의 기판 (9) 은, 수평 자세로 Z 방향으로 적층된 상태에서, 수평 유지부 (51) 에 의해 일괄적으로 유지된다. 그리고, 반출입 기구 (4) 의 배치 핸드 (41) 가, 수평 유지부 (51) 로부터 복수의 기판 (9) 을 수취하여, 후프 유지부 (1) 상의 후프 (95) 로 반입한다. 처리가 끝난 복수의 기판 (9) 이 반입된 후프 (95) 는, 새로운 후프 (95) 로 교환된다.
상기 서술한 바와 같이, 자세 변경 기구 (5) 에 있어서 제 2 기판군의 복수의 기판 (9) 의 자세가, 수직 자세로부터 수평 자세로 변경되면, 제 1 기판군의 복수 (예를 들어, 25 장) 의 기판 (9) 을 유지한 승강 유지부 (61) 는 상승한다. 또, 제 2 기판군의 복수의 기판 (9) 을 반출입 기구 (4) 로 전달한 수평 유지부 (51) 및 수직 유지부 (52) 는, 도 3 에 있어서의 반시계 방향으로 90 도만큼 회전된다.
그리고, 승강 유지부 (61) 가 다시 하강하여, 푸셔 (6) 와 수직 유지부 (52) 사이에서 수직 자세의 복수의 기판 (9) 의 수수가 이루어진다. 구체적으로는, 제 1 기판군의 복수의 기판 (9) 이, 도 3 중에 2 점 쇄선으로 나타내는 수직 유지부 (52) 로 전달된다. 수평 유지부 (51) 및 수직 유지부 (52) 는, 도 3 에 있어서의 시계 방향으로 90 도만큼 다시 회전한다. 이로써, 제 1 기판군의 복수의 기판 (9) 의 자세가, 수직 자세로부터 수평 자세로 일괄적으로 변경된다. 당해 복수의 기판 (9) 은, 수평 자세로 Z 방향으로 적층된 상태에서, 수평 유지부 (51) 에 의해 일괄적으로 유지된다. 그리고, 반출입 기구 (4) 의 배치 핸드 (41) 가, 수평 유지부 (51) 로부터 복수의 기판 (9) 을 수취하여, 후프 (95) 로 반입된다. 또한, 푸셔 (6) 로부터 자세 변경 기구 (5) 로의 기판 (9) 의 이동에 있어서는, 자세 변경 기구 (5) 에 의한 제 1 기판군의 수취가 먼저 이루어지고, 제 2 기판군의 수취가 나중에 이루어져도 된다.
자세 변경 기구 (5) 및 푸셔 (6) 는, 제어부 (100) 에 의해 제어됨으로써, 상기 서술한 바와 같이, 기판 (9) 의 자세를 수평 자세로부터 수직 자세로 변경하고, 또, 수직 자세로부터 수평 자세로 변경한다. 바꾸어 말하면, 자세 변경 기구 (5), 푸셔 (6) 및 제어부 (100) 는, 기판 (9) 의 자세를 수평 자세 및 수직 자세 중 일방의 자세로부터 타방의 자세로 변경하는 자세 변경 장치이다.
도 1 내지 도 3 에 나타내는 기판 처리 장치 (10) 에서는, 상기 서술한 바와 같이, 대략 원판상의 기판 (9) 의 처리가 실시되지만, 기판 (9) 은, 기판 처리 장치 (10) 에 반입되기도 전에 실시된 처리 (즉, 전처리) 의 영향에 의해 휘어져 있는 경우가 있다. 기판 (9) 의 휨에는 여러 가지 종류가 있지만, 하나의 후프 (95) 에 수용되어 있는 복수의 기판 (9) 에서는, 통상적으로 휨 상태는 공통적이다. 구체적으로는, 당해 복수의 기판 (9) 에서는, 노치 (93) 의 위치를 기준으로 한 경우의 휨 상태가 공통적이다. 기판 (9) 의 휨 상태란, 기판 (9) 의 휨의 방향 (예를 들어, 표면측으로 볼록해지는 방향), 및 기판 (9) 의 휨의 크기 등을 포함하는 정보이다.
도 4 및 도 5 는, 상이한 휨 상태를 갖는 기판 (9) 의 예를 나타내는 사시도이다. 도 4 에 나타내는 기판 (9) 은, 제 1 직경 방향 (K1) 에 있어서, 두께 방향의 일방측 (즉, 도면 중의 상방으로 볼록해지는 방향) 으로 제 1 곡률로 만곡된다. 도 4 의 기판 (9) 은, 제 1 직경 방향 (K1) 과 직교하는 제 2 직경 방향 (K2) 에 있어서, 두께 방향의 상기 일방측 (즉, 제 1 직경 방향 (K1) 에 있어서의 만곡 방향과 동일한 방향) 으로, 제 1 곡률보다 큰 제 2 곡률로 만곡된다.
도 5 에 나타내는 기판 (9) 은, 제 1 직경 방향 (K3) 에 있어서 두께 방향의 일방측 (즉, 도면 중의 상방으로 볼록해지는 방향) 으로 만곡된다. 제 1 직경 방향 (K3) 은, 도 4 중에 나타내는, 제 1 직경 방향 (K1) 과 동일한 방향이 아니어도 된다. 도 5 의 기판 (9) 은, 제 1 직경 방향 (K3) 과 직교하는 제 2 직경 방향 (K4) 에 있어서, 두께 방향의 타방측 (즉, 제 1 직경 방향 (K3) 에 있어서의 만곡 방향과 반대 방향) 으로 만곡된다.
이하의 설명에서는, 도 4 및 도 5 에 나타내는 기판 (9) 의 휨의 상태를 각각, 「제 1 휨 상태」 및 「제 2 휨 상태」라고도 한다. 또, 휘어져 있는 기판 (9) 을 수평 자세로 한 경우의 두께 방향에 있어서의 최하점과 최상점 사이의 두께 방향의 거리를, 기판 (9) 의 「두께 방향의 크기」라고 한다. 당해 기판 (9) 이 수직 자세로 유지되어 있는 경우, 기판 (9) 의 두께 방향의 크기는, 기판 (9) 의 두께 방향의 가장 일방측에 위치하는 점과, 가장 타방측에 위치하는 점 사이의 두께 방향의 거리이다. 기판 (9) 이 휘어져 있지 않고, 평탄한 경우, 기판 (9) 의 두께 방향의 크기는, 기판 (9) 의 두께와 동일하다. 휘어져 있는 기판 (9) 의 두께 방향의 크기는, 예를 들어, 기판 (9) 이 평탄한 경우의 두께보다 약 0.5 ㎜ 크다.
다음으로, 기판 처리 장치 (10) 의 반출입 기구 (4) 에 대하여 설명한다. 도 6 은, 반출입 기구 (4) 를 나타내는 측면도이다. 반출입 기구 (4) 는, 배치 핸드 (41) 와, 매엽 핸드 (42) 와, 핸드 진퇴 기구 (44) 와, 핸드 선회 기구 (45) 와, 핸드 승강 기구 (46) 를 구비한다. 핸드 진퇴 기구 (44) 는, 배치 핸드 (41) 및 매엽 핸드 (42) 를 수평 방향으로 개별적으로 이동시킨다. 핸드 선회 기구 (45) 는, 배치 핸드 (41) 및 매엽 핸드 (42) 를 개별적으로 수평 방향으로 회전시킨다. 핸드 승강 기구 (46) 는, 배치 핸드 (41) 및 매엽 핸드 (42) 를 개별적으로 상하 방향으로 이동시킨다.
도 7 은, 배치 핸드 (41) 에 의해 수평 자세로 유지되는 기판 (9) 을 나타내는 평면도이다. 도 6 및 도 7 에 나타내는 바와 같이, 배치 핸드 (41) 는, 복수의 기판 (9) 에 각각 대응하는 복수 쌍의 핸드 요소 (43) 를 구비한다. 복수 쌍의 핸드 요소 (43) 는, 상하 방향 (즉, Z 방향) 으로 배열된다. 각 1 쌍의 핸드 요소 (43) 는, 수평 자세의 기판 (9) 의 하면을 각각 하측으로부터 지지한다.
각 핸드 요소 (43) 는, 대략 X 방향으로 연장되는 부재이다. 구체적으로는, 각 핸드 요소 (43) 는, 평면에서 보았을 때 대략 띠상의 판상 부재이다. 2 개의 핸드 요소 (43) 는, Y 방향으로 나란히 배치된다. 핸드 요소 (43) 는, 수평 자세의 기판 (9) 을 하측으로부터 지지하는 지지 아암이다. 기판 (9) 은, 배치 핸드 (41) 에 의해 흡착되지 않고, 2 개의 핸드 요소 (43) 상에 수평 자세로 재치된다. 반출입 기구 (4) 는, 수평 자세로 재치된 복수의 기판 (9) 을 반송하는 반송 기구이다.
2 개의 핸드 요소 (43) 는, 기판 (9) 의 둘레 가장자리부의 하면과 상하 방향으로 대향하는 4 개의 지지부 (47) 를 구비한다. 도 7 중에서는, 4 개의 지지부 (47) 를 2 점 쇄선으로 둘러싸 나타낸다. 4 개의 지지부 (47) 는, 평면에서 보았을 때, 기판 (9) 의 둘레 가장자리부와 2 개의 핸드 요소 (43) 가 교차하는 위치에 위치한다.
다음으로, 노치 얼라이너 (203) 에 의한 기판 (9) 의 정렬 및 반출입 기구 (4) 에 의한 기판 (9) 의 반송의 흐름에 대하여, 도 8 의 플로도를 참조하면서 설명한다. 도 1 에 나타내는 기판 처리 장치 (10) 에서는, 먼저, 노치 얼라이너 (203) 에 의해 복수의 기판 (9) 의 둘레 방향의 위치 결정이 이루어지기도 전에, 「휨-노치 위치 정보」가 미리 입력되어 기억부 (101) 에 기억된다 (스텝 S11). 휨-노치 위치 정보는, 복수의 기판 (9) 에 공통되는 휨 상태와, 당해 휨 상태의 기판 (9) 이 수평 자세로 반출입 기구 (4) 상에 재치될 때 기판 (9) 이 적절한 자세가 되는 노치 위치의 복수의 조합을 포함한다.
당해 노치 위치란, 기판 (9) 의 둘레 방향에 있어서의 노치 (93) 의 위치이다. 수평 자세의 기판 (9) 의 노치 위치는, 예를 들어, 도 7 에 나타내는 바와 같이, 노치 (93) 가 2 개의 핸드 요소 (43) 로부터 (＋Y) 측으로 가장 떨어진 위치에 위치하고 있는 상태를 기준 위치 (즉, 노치 위치가 0 °인 위치) 로 한다. 그리고, 노치 (93) 가 기준 위치로부터 둘레 방향으로 떨어져 있는 경우, 기판 (9) 을 상측 (즉, (＋Z) 측) 에서 보았을 때의 기준 위치와 노치 (93) 사이의 반시계 방향의 각도를 노치 위치라고 한다.
휨-노치 위치 정보에 포함되는 휨 상태와 노치 위치의 조합은, 예를 들어, 도 4 또는 도 5 에 나타내는 기판 (9) 의 휨 상태를 나타내는 부호 (숫자 또는 기호 등) 와, 노치 위치를 나타내는 각도의 조합이다. 당해 노치 위치는, 도 4 또는 도 5 에 나타내는 휨 상태의 기판 (9) 이, 수평 자세로 1 쌍의 핸드 요소 (43) 상에 재치된 상태에 있어서, 기판 (9) 의 하면과 1 쌍의 핸드 요소 (43) 의 4 개의 지지부 (47) 가 접촉하도록 기판 (9) 을 둘레 방향으로 회전시켰을 때의 노치 (93) 의 위치이다.
도 9 및 도 10 은, 도 4 에 나타내는 휨 상태의 기판 (9) 이, 수평 자세로 배치 핸드 (41) 에 의해 하측으로부터 지지된 상태 (즉, 배치 핸드 (41) 상에 재치된 상태) 를 나타내는 단면도이다. 도 9 및 도 10 은 각각, 도 7 중의 Ⅸ-Ⅸ 의 위치, 및 Ⅹ-Ⅹ 의 위치에 있어서의 단면을 나타낸다. 바꾸어 말하면, 도 9 및 도 10 은, 1 쌍의 핸드 요소 (43) 의 4 개의 지지부 (47) 에 있어서의 단면을 나타낸다. 도 9 및 도 10 에서는, 노치 위치가 각각 상이한 3 장의 기판 (9) 이, 배치 핸드 (41) 에 동시에 유지되었다고 가정한 경우의 도면이다. 도 9 및 도 10 중의 가장 상측의 기판 (9) 은, 노치 (93) 가 기준 위치에 위치하는 상태 (즉, 노치 위치가 0 °인 상태) 를 나타낸다. 도 9 및 도 10 중의 중앙의 기판 (9) 은, 노치 위치가 45 °인 상태를 나타낸다. 도 9 및 도 10 중의 가장 하측의 기판 (9) 은, 노치 위치가 90 °인 상태를 나타낸다.
도 9 및 도 10 에 나타내는 예에서는, 노치 위치가 90 °인 경우, 1 쌍의 핸드 요소 (43) 상에 재치된 상태에 있어서의 기판 (9) 의 하면과, 1 쌍의 핸드 요소 (43) 의 4 개의 지지부 (47) 가 접촉한다. 노치 위치가 90 °인 경우, 수평 자세의 기판 (9) 의 상단과, 기판 (9) 의 둘레 가장자리부 중 지지부 (47) 에 맞닿는 맞닿음부 사이의 두께 방향의 거리 (D2) 는 가장 작다. 또, 노치 위치가 0 °인 경우에도, 기판 (9) 의 하면과 4 개의 지지부 (47) 가 접촉한다. 노치 위치가 0 °인 경우, 거리 (D2) 는, 노치 위치가 90 °인 경우에 이어 작다.
한편, 노치 위치가 45 °인 경우, 기판 (9) 의 하면은, 1 쌍의 핸드 요소 (43) 에 있어서 (＋X) 측에 위치하는 2 개의 지지부 (47) 중, (＋Y) 측의 지지부 (47) 와는 접촉하지만, (-Y) 측의 지지부 (47) 와는 접촉하지 않는다. 또, 기판 (9) 의 하면은, 1 쌍의 핸드 요소 (43) 에 있어서 (-X) 측에 위치하는 2 개의 지지부 (47) 중, (-Y) 측의 지지부 (47) 와는 접촉하지만, (＋Y) 측의 지지부 (47) 와는 접촉하지 않는다. 노치 위치가 45 °인 경우, 상기 서술한 거리 (D2) 가 가장 크다.
휨-노치 위치 정보에는, 예를 들어, 도 4 에 나타내는 기판 (9) 의 휨 상태를 나타내는 부호와 노치 위치 90 °의 조합이 포함된다. 또, 휨-노치 위치 정보에는, 예를 들어, 도 4 에 나타내는 기판 (9) 의 휨 상태를 나타내는 부호와 노치 위치 0 °의 조합이 포함된다.
도 1 에 나타내는 노치 얼라이너 (203) 에서는, 스텝 S11 보다 나중에, 기판 처리 장치 (10) 에 반입되는 복수의 기판 (9) 에 공통되는 휨 상태가 입력되고, 휨 상태에 관련된 입력 정보로서 기억부 (101) 에 기억된다. 당해 입력 정보는, 예를 들어, 복수의 기판 (9) 의 휨 상태를 나타내는 부호이다.
계속해서, 제어부 (100) 에 의해 기판 반송 로봇 (204) 이 제어됨으로써, 후프 재치 영역 (202) 상의 후프 (95) 에 수용되어 있는 1 장째의 기판 (9) 이 노치 얼라이너 (203) 에 반입되고, 노치 얼라이너 (203) 에 있어서 당해 기판 (9) 의 회전이 개시된다 (스텝 S12). 계속해서, 제어부 (100) 가, 노치 위치 센서 (203b) 에 의해 검출되는 노치 (93) 의 위치와 상기 서술한 입력 정보 및 휨-노치 위치 정보에 기초하여, 모터 (203a) 를 제어한다. 이로써, 기판 (9) 의 노치 (93) 의 둘레 방향의 위치가 변경되어 원하는 위치에 결정된다. 구체적으로는, 노치 위치 센서 (203b) 에 의해, 회전 중인 기판 (9) 의 노치 (93) 가 검출되고, 검출 후의 소정의 타이밍으로 모터 (203a) 가 정지된다. 모터 (203a) 가 정지되는 타이밍은, 상기 서술한 입력 정보 및 휨-노치 위치 정보에 기초하여, 제어부 (100) 에 의해 결정된다.
보다 구체적으로는, 휨-노치 위치 정보에 포함되는 복수의 상기 조합으로부터, 입력 정보가 나타내는 기판 (9) 의 휨 상태에 대응하는 노치 위치가 제어부 (100) 에 의해 추출된다. 그리고, 기판 (9) 의 노치 (93) 의 위치가, 추출된 노치 위치와 일치할 때까지, 기판 (9) 이 회전된다. 노치 (93) 의 위치가 당해 노치 위치와 일치하면, 기판 (9) 의 회전이 정지되고, 기판 (9) 의 노치 (93) 의 둘레 방향의 위치가 결정된다 (스텝 S13). 노치 (93) 의 위치가 결정된 기판 (9) 은, 기판 반송 로봇 (204) 에 의해 후프 재치 영역 (202) 상의 후프 (95) 에 되돌려진다. 상기 서술한 스텝 S12, S13 의 처리를, 후프 재치 영역 (202) 상의 후프 (95) 에 수용된 모든 기판 (9) 에 대해 반복 실행함으로써, 당해 후프 (95) 에 수용된 모든 기판 (9) 이, 각 기판 (9) 의 노치 (93) 의 위치가 제어부 (100) 에 의해 추출된 노치 위치와 일치한 상태에서, 순차적으로 정렬된다. 기판 처리 장치 (10) 에서는, 노치 얼라이너 (203), 기억부 (101) 및 제어부 (100) 는, 둘레 가장자리부에 노치 (93) 를 갖는 복수의 기판 (9) 을 정렬시키는 기판 정렬 장치이다. 또한, 후프 재치 영역 (202) 상의 후프 (95) 및 기판 반송 로봇 (204) 도, 당해 기판 정렬 장치에 포함되는 것으로 파악할 수도 있다.
당해 기판 정렬 장치에 의해 정렬된 복수의 기판 (9) 을 수용한 후프 (95) 는, 제 2 후프 이재 로봇 (207) 에 의해, 후프 재치 영역 (202) 상으로부터 후프 유지부 (1) 로 이동되어, 후프 유지부 (1) 상에 재치된다. 그 후, 당해 후프 (95) 로부터, 복수의 기판 (9) 이 수평 자세로 도 6 에 나타내는 반출입 기구 (4) 로 전달되어, 반출입 기구 (4) 상에 재치된다. 구체적으로는, 배치 핸드 (41) 의 각 1 쌍의 핸드 요소 (43) 상에 1 장의 기판 (9) 이 재치된다. 상기 서술한 바와 같이, 각 기판 (9) 의 노치 (93) 의 둘레 방향의 위치는, 스텝 S13 에 있어서 노치 얼라이너 (203) 에 의해 원하는 노치 위치에 결정되어 있기 때문에, 1 쌍의 핸드 요소 (43) 상에 재치된 상태에 있어서의 각 기판 (9) 의 하면은, 상기 서술한 4 개의 지지부 (47) 와 접촉하고 있다. 이로써, 반출입 기구 (4) 에 의한 반송시에 있어서의 각 기판 (9) 의 덜컹거림 및 위치 어긋남이 방지 또는 억제되어, 기판 (9) 의 안정적인 반송이 실현된다. 기판 처리 장치 (10) 에서는, 반출입 기구 (4), 노치 얼라이너 (203), 제어부 (100) 및 기억부 (101) 는, 기판 (9) 을 반송하는 기판 반송 장치이다. 또한, 후프 재치 영역 (202) 상의 후프 (95) 및 기판 반송 로봇 (204) 도, 당해 기판 반송 장치에 포함되는 것으로 파악할 수도 있다. 또, 제 2 후프 이재 로봇 (207) 도, 당해 기판 반송 장치에 포함되어도 된다.
도 11 은, 핸드 요소 (43) 및 기판 (9) 을, 도 7 중의 XI-XI 의 위치에서 절단한 단면도이다. 도 11 에 나타내는 예에서는, 핸드 요소 (43) 의 연직 상방 (즉, (＋Z) 측), 또한, 핸드 요소 (43) 의 2 개의 지지부 (47) 사이에 있어서, 기판 (9) 은 상방으로 볼록하다. 도시는 생략하지만, 타방의 핸드 요소 (43) 의 연직 상방, 또한, 당해 핸드 요소 (43) 의 2 개의 지지부 (47) 사이에 있어서도, 기판 (9) 은 상방으로 볼록하다.
배치 핸드 (41) 상에 수평 자세로 재치된 복수의 기판 (9) 은, 핸드 선회 기구 (45) 및 핸드 진퇴 기구 (44) 가 구동됨으로써, 자세 변경 기구 (5) 로 반송된다 (스텝 S14). 기판 (9) 의 반송시에는, 핸드 승강 기구 (46) 도 필요에 따라 구동되어도 된다. 도 12 는, 스텝 S14 의 상세한 흐름을 나타내는 도면이다. 스텝 S14 에서는, 먼저, 배치 핸드 (41) 의 이동이 개시되어, 배치 핸드 (41) 가 가속된다 (스텝 S141). 그리고, 배치 핸드 (41) 가 자세 변경 기구 (5) 에 가까워지면, 배치 핸드 (41) 가 감속되어, 배치 핸드 (41) 의 이동이 정지된다 (스텝 S142).
스텝 S14 의 기판 (9) 의 반송시에는, 반출입 기구 (4) 가 제어부 (100) 에 의해 제어됨으로써, 반출입 기구 (4) 의 이동 개시시 및 이동 정지시의 가속도가 제어된다. 구체적으로는, 기억부 (101) 에 기억되어 있는 상기 서술한 입력 정보 (즉, 복수의 기판 (9) 에 공통되는 휨 상태를 나타내는 정보) 에 기초하여, 제어부 (100) 에 의해 핸드 진퇴 기구 (44) 가 제어되고, 스텝 S141 에 있어서의 배치 핸드 (41) 의 이동 개시시의 가속도가 결정된다. 예를 들어, 상기 입력 정보로부터 추정되는 거리 (D2) 가 소정의 임계값보다 큰 경우, 반송시에 있어서의 배치 핸드 (41) 상의 기판 (9) 의 안정성이 저하될 가능성이 있다고 판단되어, 이동 개시시의 가속도가 통상적인 가속도보다 낮게 설정된다. 스텝 S142 에 있어서의 배치 핸드 (41) 의 이동 정지시의 가속도에 대해서도 동일하게 설정된다. 이로써, 반출입 기구 (4) 에 의한 기판 (9) 의 반송의 안정성을 향상시킬 수 있다. 반출입 기구 (4) 에서는, 핸드 선회 기구 (45) 또는 핸드 승강 기구 (46) 의 이동 개시시 및 이동 정지시의 가속도가, 핸드 진퇴 기구 (44) 의 경우와 마찬가지로, 기판 (9) 의 휨 상태에 기초하여 제어부 (100) 에 의해 제어되어도 된다.
이상으로 설명한 바와 같이, 상기 서술한 기판 반송 장치는, 반송 기구인 반출입 기구 (4) 와, 노치 위치 변경 기구인 노치 얼라이너 (203) 와, 기억부 (101) 와, 제어부 (100) 를 구비한다. 반출입 기구 (4) 는, 수평 자세로 재치된 기판 (9) 을 반송한다. 노치 얼라이너 (203) 는, 반출입 기구 (4) 상에 재치될 예정인 기판 (9) 을 둘레 방향으로 회전시켜, 기판 (9) 의 둘레 가장자리부에 형성된 노치 (93) 의 둘레 방향의 위치를 변경한다. 기억부 (101) 는, 휨-노치 위치 정보를 기억한다. 휨-노치 위치 정보는, 기판 (9) 의 휨 상태와, 당해 휨 상태로 기판 (9) 이 반출입 기구 (4) 상에 재치될 때 적절한 자세가 되는 노치 위치의 복수의 조합을 포함한다. 제어부 (100) 는, 노치 얼라이너 (203) 를 제어한다. 반출입 기구 (4) 는, 기판 (9) 의 둘레 가장자리부의 하면과 대향하는 4 개의 지지부 (47) 를 구비한다.
기판 반송 장치에서는, 기판 (9) 의 휨 상태에 대하여 입력된 입력 정보, 및 휨-노치 위치 정보에 기초하여, 제어부 (100) 가 노치 얼라이너 (203) 를 제어하여, 기판 (9) 의 노치 (93) 의 둘레 방향의 위치를 결정한다. 이로써, 반출입 기구 (4) 상에 재치된 상태에 있어서의 기판 (9) 의 하면과, 반출입 기구 (4) 의 4 개의 지지부 (47) 가 접촉한다. 그 결과, 반출입 기구 (4) 에 의한 반송 중인 기판 (9) 의 덜컹거림 및 위치 어긋남을 방지 또는 억제할 수 있어, 기판 (9) 을 안정적으로 반송할 수 있다.
또, 기판 반송 장치에서는, 반출입 기구 (4) 는, 2 개의 핸드 요소 (43) 를 구비한다. 2 개의 핸드 요소 (43) 의 상부에는, 상기 서술한 4 개의 지지부 (47) 중 각각 2 개의 지지부 (47) 가 형성된다. 반출입 기구 (4) 상에 재치된 상태에 있어서의 기판 (9) 은, 각 핸드 요소 (43) 의 연직 상방, 또한, 각 핸드 요소 (43) 의 2 개의 지지부 (47) 사이에 있어서, 상방으로 볼록하다. 이로써, 기판 (9) 의 하면과, 각 핸드 요소 (43) 의 2 개의 지지부 (47) 를 바람직하게 접촉시킬 수 있다. 그 결과, 반출입 기구 (4) 에 의한 기판 (9) 의 반송의 안정성을 향상시킬 수 있다.
기판 반송 장치에서는, 제어부 (100) 는, 기판 (9) 의 휨 상태에 기초하여 반출입 기구 (4) 를 제어함으로써, 반출입 기구 (4) 의 이동 개시시 및 이동 정지시의 가속도를 제어한다. 이로써, 상기 서술한 바와 같이, 반출입 기구 (4) 에 의한 기판 (9) 의 반송의 안정성을 향상시킬 수 있다.
상기 서술한 기판 반송 장치는, 1 장의 기판 (9) 을 반송해도 되고, 복수의 기판 (9) 을 일괄적으로 반송해도 된다. 기판 반송 장치에 있어서 복수의 기판 (9) 을 일괄적으로 반송하는 경우, 반출입 기구 (4) 는, 다른 기판 (9) 을 상기 서술한 1 장의 기판 (9) 과 함께 반송한다. 노치 얼라이너 (203) 는, 당해 다른 기판 (9) 및 상기 1 장의 기판 (9) 을 순차적으로 둘레 방향으로 회전시켜, 다른 기판 (9) 의 둘레 가장자리부에 형성된 노치 (93) 의 둘레 방향의 위치를, 상기 1 장의 기판 (9) 과 동일하게 변경한다. 반출입 기구 (4) 는, 당해 다른 기판 (9) 의 하면과 대향하는 다른 4 개의 지지부 (47) 를 구비한다. 그리고, 반출입 기구 (4) 상에 재치된 상태에 있어서의 당해 다른 기판 (9) 의 둘레 가장자리부의 하면과, 반출입 기구 (4) 의 당해 다른 4 개의 지지부 (47) 가 접촉한다. 이로써, 반출입 기구 (4) 에 의한 반송 중인 복수의 기판 (9) 의 덜컹거림 및 위치 어긋남을 방지 또는 억제할 수 있다. 그 결과, 복수의 기판 (9) 을 안정적으로 반송할 수 있다. 또, 제어부 (100) 는, 복수의 기판 (9) 의 휨 상태에 기초하여 반출입 기구 (4) 를 제어함으로써, 반출입 기구 (4) 의 이동 개시시 및 이동 정지시의 가속도를 제어한다. 이로써, 반출입 기구 (4) 에 의한 복수의 기판 (9) 의 반송의 안정성을 향상시킬 수 있다.
상기 서술한 기판 반송 장치 및 기판 처리 장치 (10) 에서는, 여러 가지 변경이 가능하다.
노치 얼라이너 (203) 는, 기판 (9) 을 둘레 방향으로 회전시켜 노치 (93) 의 둘레 방향의 위치를 변경하는 것이면, 여러 가지 구조를 갖는 장치여도 된다. 예를 들어, 노치 얼라이너 (203) 는, 복수의 기판 (9) 을 동시에 둘레 방향으로 회전시켜, 복수의 기판 (9) 의 노치 (93) 의 둘레 방향의 위치를 각각 결정하는 기구여도 된다. 즉, 노치 얼라이너 (203) 의 모터 (203a) 는, 복수의 기판 (9) 을 순차적으로 또는 동시에 둘레 방향으로 회전시키는 회전부이다. 어느 경우에도, 상기 서술과 마찬가지로, 반출입 기구 (4) 에 의해 복수의 기판 (9) 을 안정적으로 반송할 수 있다. 또, 노치 얼라이너 (203) 는, 수직 자세의 기판 (9) 을 순차적으로 또는 동시에 둘레 방향으로 회전시켜 둘레 방향의 방향을 변경하는 기구여도 된다. 나아가서는, 노치 얼라이너 (203) 에서는, 기판 (9) 의 노치 (93) 가 소정의 걸어맞춤축과 걸어맞춤됨으로써, 기판 (9) 의 회전이 정지되어도 된다.
예를 들어, 기판 반송 장치 (즉, 반출입 기구 (4), 노치 얼라이너 (203), 기억부 (101) 및 제어부 (100)) 에서는, 노치 얼라이너 (203) 에 의한 노치 (93) 의 위치 결정에 의해, 반출입 기구 (4) 상에 재치된 상태에 있어서의 기판 (9) 의 하면과 반출입 기구 (4) 의 4 개의 지지부 (47) 가 접촉하고 있는 것이면, 스텝 S14 에 있어서의 반출입 기구 (4) 의 가속도의 제어는, 반드시 이루어지지 않아도 된다.
기판 처리 장치 (10) 에서는, 기판 (9) 의 반송 전의 노치 (93) 의 위치 결정은 이루어지지 않아도 된다. 노치 (93) 의 위치 결정이 생략되는 경우, 반출입 기구 (4) 상에 재치된 상태에 있어서의 기판 (9) 의 하면은, 반출입 기구 (4) 의 4 개의 지지부 (47) 모두와는 반드시 접촉하지 않아도 된다. 이 경우, 노치 얼라이너 (203) 는 생략되고, 상기 서술한 기판 반송 장치는, 반송 기구인 반출입 기구 (4) 와, 제어부 (100) 를 구비한다. 반출입 기구 (4) 는, 수평 자세로 재치된 1 장 또는 복수의 기판 (9) 을 반송한다. 제어부 (100) 는, 당해 1 장 또는 복수의 기판 (9) 의 휨 상태에 기초하여 반출입 기구 (4) 를 제어함으로써, 반출입 기구 (4) 의 이동 개시시 및 이동 정지시의 가속도를 제어한다. 구체적으로는, 예를 들어, 기판 (9) 의 휨 상태에 기초하여, 기판 (9) 의 하면이 4 개의 지지부 (47) 중 1 개 또는 2 개와 접촉하고 있지 않다고 판단되는 경우, 반출입 기구 (4) 의 이동 개시시의 가속도 및 이동 정지시의 가속도가, 통상적인 가속도보다 낮게 설정된다. 이로써, 상기 서술한 바와 같이, 반출입 기구 (4) 에 의한 반송중인 당해 1 장 또는 복수의 기판 (9) 의 덜컹거림 및 위치 어긋남을 방지 또는 억제할 수 있다. 그 결과, 당해 1 장 또는 복수의 기판 (9) 을 안정적으로 반송할 수 있다.
상기 서술한 기판 반송 장치는, 기판 처리 장치 (10) 의 다른 구성으로부터 독립된 장치로서 사용되어도 된다. 혹은, 당해 기판 반송 장치는, 상기 서술한 기판 처리 장치 (10) 이외의 여러 가지 장치에 장착되어 사용되어도 된다.
기판 처리 장치 (10) 는, 반도체 기판 이외에, 액정 표시 장치, 플라즈마 디스플레이, FED (field emission display) 등의 표시 장치에 사용되는 유리 기판의 처리에 이용되어도 된다. 혹은 기판 처리 장치 (10) 는, 광디스크용 기판, 자기 디스크용 기판, 광자기 디스크용 기판, 포토마스크용 기판, 세라믹 기판 및 태양 전지용 기판 등의 처리에 이용되어도 된다.
상기 실시형태 및 각 변형예에 있어서의 구성은, 서로 모순되지 않는 한 적절히 조합되어도 된다.
발명을 상세하게 묘사하여 설명하였지만, 앞서 기술한 설명은 예시적이며 한정적인 것은 아니다. 따라서, 본 발명의 범위를 일탈하지 않는 한, 다수의 변형이나 양태가 가능하다고 할 수 있다.
4 : 반출입 기구
9 : 기판
43 : 핸드 요소
47 : 지지부
93 : 노치
100 : 제어부
101 : 기억부
203 : 노치 얼라이너
S11 ∼ S14, S141, S142 : 스텝

Claims (13)

  1. 기판 반송 장치로서,
    수평 자세로 재치된 기판을 반송하는 반송 기구와,
    상기 반송 기구 상에 재치될 예정인 상기 기판을 둘레 방향으로 회전시켜, 상기 기판의 둘레 가장자리부에 형성된 노치의 상기 둘레 방향의 위치를 변경하는 노치 위치 변경 기구와,
    상기 기판의 휨 상태와, 상기 휨 상태로 상기 기판이 상기 반송 기구 상에 재치될 때 적절한 자세가 되는 노치 위치의 복수의 조합을 포함하는 휨-노치 위치 정보를 기억하는 기억부와,
    상기 노치 위치 변경 기구를 제어하는 제어부를 구비하고,
    상기 반송 기구가, 상기 기판의 상기 둘레 가장자리부의 하면과 대향하는 4 개의 지지부를 구비하고,
    상기 기판의 휨 상태에 대하여 입력된 입력 정보, 및 상기 휨-노치 위치 정보에 기초하여, 상기 제어부가 상기 노치 위치 변경 기구를 제어하여, 상기 기판의 상기 노치의 상기 둘레 방향의 위치를 결정함으로써, 상기 반송 기구 상에 재치된 상태에 있어서의 상기 기판의 상기 하면과 상기 반송 기구의 상기 4 개의 지지부가 접촉하는, 기판 반송 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 반송 기구가, 상기 4 개의 지지부 중 각각 2 개의 지지부가 상부에 형성되는 2 개의 핸드 요소를 구비하고,
    상기 반송 기구 상에 재치된 상태에 있어서의 상기 기판이, 각 핸드 요소의 연직 상방, 또한, 상기 각 핸드 요소의 상기 2 개의 지지부 사이에 있어서, 상방으로 볼록한, 기판 반송 장치.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 반송 기구가, 다른 기판을 상기 기판과 함께 반송하고,
    상기 노치 위치 변경 기구가, 상기 다른 기판 및 상기 기판을 순차적으로 또는 동시에 상기 둘레 방향으로 회전시켜, 상기 다른 기판의 둘레 가장자리부에 형성된 노치의 상기 둘레 방향의 위치를 상기 기판과 동일하게 결정하고,
    상기 반송 기구가, 상기 다른 기판의 상기 둘레 가장자리부의 하면과 대향하는 다른 4 개의 지지부를 구비하고,
    상기 반송 기구 상에 재치된 상태에 있어서의 상기 다른 기판의 상기 하면과 상기 반송 기구의 상기 다른 4 개의 지지부가 접촉하는, 기판 반송 장치.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 반송 기구가, 다른 기판을 상기 기판과 함께 반송하고,
    상기 노치 위치 변경 기구가, 상기 다른 기판 및 상기 기판을 순차적으로 또는 동시에 상기 둘레 방향으로 회전시켜, 상기 다른 기판의 둘레 가장자리부에 형성된 노치의 상기 둘레 방향의 위치를 상기 기판과 동일하게 결정하고,
    상기 반송 기구가, 상기 다른 기판의 상기 둘레 가장자리부의 하면과 대향하는 다른 4 개의 지지부를 구비하고,
    상기 반송 기구 상에 재치된 상태에 있어서의 상기 다른 기판의 상기 하면과 상기 반송 기구의 상기 다른 4 개의 지지부가 접촉하는, 기판 반송 장치.
  5. 제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 기판이,
    제 1 직경 방향에 있어서 두께 방향의 일방측으로 제 1 곡률로 만곡되고,
    상기 제 1 직경 방향과 직교하는 제 2 직경 방향에 있어서, 상기 두께 방향의 상기 일방측으로 상기 제 1 곡률보다 큰 제 2 곡률로 만곡되는, 기판 반송 장치.
  6. 제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 기판이,
    제 1 직경 방향에 있어서 두께 방향의 일방측으로 만곡되고,
    상기 제 1 직경 방향과 직교하는 제 2 직경 방향에 있어서 상기 두께 방향의 타방측으로 만곡되는, 기판 반송 장치.
  7. 기판 반송 장치로서,
    기판의 하측에서 지지부를 접촉시키고, 상기 기판을 흡착하지 않고 수평 자세로 지지하여 반송하는 반송 기구와,
    상기 반송 기구 상에 재치될 예정의 상기 기판을 둘레 방향으로 회전시켜,상기 기판의 둘레 가장자리부에 형성된 노치의 상기 둘레 방향의 위치를 변경하는 노치 위치 변경 기구와,
    상기 기판의 휨 상태와, 상기 휨 상태로 상기 기판이 상기 반송 기구 상에 재치될 때 적절한 자세가 되는 노치 위치의 복수의 조합을 포함하는 휨-노치 위치 정보를 기억하는 기억부와,
    상기 노치 위치 변경 기구를 제어하는 제어부를 구비하고,
    상기 기판의 휨 상태에 대하여 입력된 입력 정보, 및 상기 휨-노치 위치 정보에 기초하여, 상기 제어부가 상기 노치 위치 변경 기구를 제어함으로써, 상기 기판의 상기 노치의 상기 둘레 방향의 위치를 결정하고,
    상기 기판의 상단과 상기 기판의 둘레 가장자리부 중 상기 지지부에 맞닿는 맞닿음부의 사이의 두께 방향의 거리를, 상기 기억부에 기억되어 있는 기판의 휨 상태로부터 추정되는 임계값과 비교한 결과에 기초하여, 상기 제어부가 상기 반송 기구를 제어함으로써, 상기 반송 기구의 이동 개시시 및 이동 정지시의 가속도를 제어하는, 기판 반송 장치.
  8. 기판 반송 장치로서,
    수평 자세로 재치된 기판을 반송하는 반송 기구와,
    상기 기판의 휨 상태에 기초하여 상기 반송 기구를 제어함으로써, 상기 반송 기구의 이동 개시시 및 이동 정지시의 가속도를 제어하는 제어부를 구비하고,
    상기 기판이,
    제 1 직경 방향에 있어서 두께 방향의 일방측으로 제 1 곡률로 만곡되고,
    상기 제 1 직경 방향과 직교하는 제 2 직경 방향에 있어서, 상기 두께 방향의 상기 일방측으로 상기 제 1 곡률보다 큰 제 2 곡률로 만곡되는, 기판 반송 장치.
  9. 기판 반송 장치로서,
    수평 자세로 재치된 기판을 반송하는 반송 기구와,
    상기 기판의 휨 상태에 기초하여 상기 반송 기구를 제어함으로써, 상기 반송 기구의 이동 개시시 및 이동 정지시의 가속도를 제어하는 제어부를 구비하고,
    상기 기판이,
    제 1 직경 방향에 있어서 두께 방향의 일방측으로 만곡되고,
    상기 제 1 직경 방향과 직교하는 제 2 직경 방향에 있어서 상기 두께 방향의 타방측으로 만곡되는, 기판 반송 장치.
  10. 기판 반송 방법으로서,
    a) 수평 자세로 반송 기구 상에 재치될 예정인 기판의 휨 상태와, 상기 휨 상태로 상기 기판이 상기 반송 기구 상에 재치될 때 적절한 자세가 되는 노치 위치의 복수의 조합을 포함하는 휨-노치 위치 정보를 기억하는 공정과,
    b) 상기 기판을 둘레 방향으로 회전시켜, 상기 기판의 둘레 가장자리부에 형성된 노치의 상기 둘레 방향의 위치를 결정하는 공정과,
    c) 상기 기판을 상기 반송 기구 상에 수평 자세로 재치하여 반송하는 공정을 구비하고,
    상기 반송 기구가, 상기 기판의 상기 둘레 가장자리부의 하면과 대향하는 4 개의 지지부를 구비하고,
    상기 b) 공정에 있어서, 상기 기판의 휨 상태에 대하여 입력된 입력 정보, 및 상기 휨-노치 위치 정보에 기초하여, 상기 기판의 상기 노치의 상기 둘레 방향의 위치가 결정됨으로써, 상기 c) 공정에 있어서, 상기 반송 기구 상에 재치된 상기 기판의 상기 하면과 상기 반송 기구의 상기 4 개의 지지부가 접촉하는, 기판 반송 방법.
  11. 기판 반송 방법으로서,
    a) 기판의 휨 상태와, 상기 휨 상태로 상기 기판이 반송 기구 상에 재치될 때 적절한 자세가 되는 노치 위치의 복수의 조합을 포함하는 휨-노치 위치 정보를 기억하는 공정과,
    b) 상기 기판의 휨 상태에 대하여 입력된 입력 정보, 및 상기 휨-노치 위치 정보에 기초하여, 반송 기구 상에 재치될 예정의 기판을 둘레 방향으로 회전시켜, 상기 기판의 상기 둘레 방향의 위치를 결정하는 공정과,
    c) 상기 기판의 하측에서 지지부를 접촉시키고, 상기 기판을 흡착하지 않고 수평 자세로 상기 반송 기구에 의해 지지하는 공정과,
    d) 상기 반송 기구의 이동을 개시하는 공정과,
    e) 상기 반송 기구의 이동을 정지시키는 공정을 구비하고,
    상기 d) 공정에 있어서, 상기 기판의 상단과 상기 기판의 둘레 가장자리부 중 상기 지지부에 맞닿는 맞닿음부의 사이의 두께 방향의 거리를, 상기 휨-노치 위치 정보를 기억하는 공정에 의해 기억되어 있는 기판의 휨 상태로부터 추정되는 임계값과 비교한 결과에 기초하여 상기 반송 기구의 이동 개시시의 가속도가 제어되고,
    상기 e) 공정에 있어서, 상기 거리를 상기 임계값과 비교한 결과에 기초하여 상기 반송 기구의 이동 정지시의 가속도가 제어되는, 기판 반송 방법.
  12. 기판 반송 방법으로서,
    a) 기판을 반송 기구 상에 수평 자세로 재치하는 공정과,
    b) 상기 반송 기구의 이동을 개시하는 공정과,
    c) 상기 반송 기구의 이동을 정지시키는 공정을 구비하고,
    상기 b) 공정에 있어서, 상기 기판의 휨 상태에 기초하여 상기 반송 기구의 이동 개시시의 가속도가 제어되고,
    상기 c) 공정에 있어서, 상기 기판의 상기 휨 상태에 기초하여 상기 반송 기구의 이동 정지시의 가속도가 제어되고,
    상기 기판이,
    제 1 직경 방향에 있어서 두께 방향의 일방측으로 제 1 곡률로 만곡되고,
    상기 제 1 직경 방향과 직교하는 제 2 직경 방향에 있어서 상기 두께 방향의 상기 일방측으로 상기 제 1 곡률보다 큰 제 2 곡률로 만곡되는, 기판 반송 방법.
  13. 기판 반송 방법으로서,
    a) 기판을 반송 기구 상에 수평 자세로 재치하는 공정과,
    b) 상기 반송 기구의 이동을 개시하는 공정과,
    c) 상기 반송 기구의 이동을 정지시키는 공정을 구비하고,
    상기 b) 공정에 있어서, 상기 기판의 휨 상태에 기초하여 상기 반송 기구의 이동 개시시의 가속도가 제어되고,
    상기 c) 공정에 있어서, 상기 기판의 상기 휨 상태에 기초하여 상기 반송 기구의 이동 정지시의 가속도가 제어되고,
    상기 기판이,
    제 1 직경 방향에 있어서 두께 방향의 일방측으로 만곡되고,
    상기 제 1 직경 방향과 직교하는 제 2 직경 방향에 있어서 상기 두께 방향의 타방측으로 만곡되는, 기판 반송 방법.
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