KR102039042B1 - 회전식 박막기판 이송 가이드 및 그를 포함하는 이송롤러장치 - Google Patents

회전식 박막기판 이송 가이드 및 그를 포함하는 이송롤러장치 Download PDF

Info

Publication number
KR102039042B1
KR102039042B1 KR1020180055802A KR20180055802A KR102039042B1 KR 102039042 B1 KR102039042 B1 KR 102039042B1 KR 1020180055802 A KR1020180055802 A KR 1020180055802A KR 20180055802 A KR20180055802 A KR 20180055802A KR 102039042 B1 KR102039042 B1 KR 102039042B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
thin film
film substrate
guide body
guide
touch
Prior art date
Application number
KR1020180055802A
Other languages
English (en)
Inventor
김종학
홍을표
Original Assignee
주식회사 태성
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 주식회사 태성 filed Critical 주식회사 태성
Priority to KR1020180055802A priority Critical patent/KR102039042B1/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR102039042B1 publication Critical patent/KR102039042B1/ko

Links

Images

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65HHANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL, e.g. SHEETS, WEBS, CABLES
    • B65H23/00Registering, tensioning, smoothing or guiding webs
    • B65H23/04Registering, tensioning, smoothing or guiding webs longitudinally
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65HHANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL, e.g. SHEETS, WEBS, CABLES
    • B65H20/00Advancing webs
    • B65H20/02Advancing webs by friction roller
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K13/00Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or adjusting assemblages of electric components
    • H05K13/0061Tools for holding the circuit boards during processing; handling transport of printed circuit boards
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65HHANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL, e.g. SHEETS, WEBS, CABLES
    • B65H2301/00Handling processes for sheets or webs
    • B65H2301/40Type of handling process
    • B65H2301/44Moving, forwarding, guiding material
    • B65H2301/443Moving, forwarding, guiding material by acting on surface of handled material
    • B65H2301/4431Moving, forwarding, guiding material by acting on surface of handled material by means with operating surfaces contacting opposite faces of material
    • B65H2301/44318Moving, forwarding, guiding material by acting on surface of handled material by means with operating surfaces contacting opposite faces of material between rollers
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65HHANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL, e.g. SHEETS, WEBS, CABLES
    • B65H2301/00Handling processes for sheets or webs
    • B65H2301/50Auxiliary process performed during handling process
    • B65H2301/51Modifying a characteristic of handled material
    • B65H2301/512Changing form of handled material
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65HHANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL, e.g. SHEETS, WEBS, CABLES
    • B65H2404/00Parts for transporting or guiding the handled material
    • B65H2404/10Rollers
    • B65H2404/13Details of longitudinal profile
    • B65H2404/132Details of longitudinal profile arrangement of segments along axis
    • B65H2404/1321Segments juxtaposed along axis
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65HHANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL, e.g. SHEETS, WEBS, CABLES
    • B65H2404/00Parts for transporting or guiding the handled material
    • B65H2404/60Other elements in face contact with handled material
    • B65H2404/65Other elements in face contact with handled material rotating around an axis parallel to face of material and perpendicular to transport direction, e.g. star wheel
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65HHANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL, e.g. SHEETS, WEBS, CABLES
    • B65H2701/00Handled material; Storage means
    • B65H2701/10Handled articles or webs
    • B65H2701/19Specific article or web

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Registering, Tensioning, Guiding Webs, And Rollers Therefor (AREA)

Abstract

본 발명은 회전식 박막기판 이송 가이드 및 그를 포함하는 이송롤러장치에 관한 것으로, 특히 박막기판의 이송 중 선단부가 상측 또는 하측으로 휘는 것을 바로 잡아 수평 정자세로 이송되도록 하는 회전식 박막기판 이송 가이드 및 그를 포함하는 이송롤러장치에 관한 것이다.

Description

회전식 박막기판 이송 가이드 및 그를 포함하는 이송롤러장치{Rotating type transferring guide for thin plate and transferring roller having the same}
본 발명은 회전식 박막기판 이송 가이드 및 그를 포함하는 이송롤러장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 박막기판의 이송 중 선단부가 상측 또는 하측으로 휘는 것을 바로 잡아 수평 정자세로 이송되도록 하는 회전식 박막기판 이송 가이드 및 그를 포함하는 이송롤러장치에 관한 것이다.
일반적으로 PCB 등과 같은 회로기판은 기판에 배선, 집적 회로 및 저항 등을 실장하도록 기판 투입, 처리, 가공 및 회수 등의 공정이 진행되며, 이를 위해 이송 라인(path line)을 따라 이송이 이루어진다.
예컨대, 인쇄회로기판의 원판을 설계 형상으로 절단하고, 절단면을 면취기에서 면가공한 후 비아홀 형성, 중압 수세, 산처리, 에칭, 무전해 도금처리 등의 여러 공정을 거치게 된다.
또한, 기판의 표면에 회로를 형성하기 전후 단계에서 기판의 상하 표면을 평탄하게 연마하는 표면 연마공정을 수행하게 되는 바, 이를 위해 롤러 구동 방식의 정면기에 통과시킨다.
한편, 위와 같은 회로기판은 최근 전기, 전자 제품의 소형화 또는 박막화로 인해 회로기판 자체도 박막기판이 적용된다. 따라서, 박막기판을 이송하며 각종 공정을 수행시 박막기판이 휘는 문제가 발생한다.
예컨대, 도 1의 (a)와 같이 정면기는 상측(혹은 하측)에 배치되며 자유회전하는 백업롤러(1a)와, 하측(혹은 상측)에 배치되며 브러쉬나 연마재를 구비한 버프롤러(1b)로 구성되며, 이들 사이로 박막기판(TP)을 이송시켜 표면을 연마한다.
그런데, 정면기를 통과한 박막기판(TP)은 그 두께가 매우 얇아서 선단부(FE)가 상측으로 휘게 되므로, 수평 가이드(HG)가 있어도 상측으로 휘는 현상에는 무용지물이며, 후속의 이송롤러(2a, 2b)에 정자세로 공급되지 않는다.
박막기판(TP)이 상측으로 휘는 현상에는 여러 이유가 있겠지만, 버프롤러(1b)의 가압 및 마찰에 따른 영향이나 연속 사용으로 인해 롤러 표면에 잔존하는 액상 물질에 의해 박막기판(TP)이 붙었다 떨어지는 과정에서 발생할 수 있다.
나아가, 정면기 등으로 박막기판(TP)을 가공하는 경우 뿐만 아니라 투입, 회수 및 공정 간 이동 등 외란이 없이 단순히 이송중인 경우에도 박막기판(TP)의 선단부는 상측 또는 하측으로 휠 수 있다.
즉, 도 1의 (b)와 같이 상류측에 배치된 한 쌍의 이송롤러(3a, 3b)로부터 이송된 박막기판(TP)은 하류측에 배치된 한 쌍의 이송롤러(4a, 4b)로 공급되기 이전에, 상측으로 휘는 현상(실선)나 혹은 중력에 의해 하측으로 휘는 현상(점선)이 발생할 수 있다.
따라서, 박막기판(TP)을 상하 한 쌍의 롤러로 이송하거나 혹은 하측에만 구비된 롤러 위에 올려놓아 이송시키는 경우를 비롯하여 다양한 방식의 이송시, 박막기판(TP)이 상측 또는 하측으로 휘게 되는 현상을 방지할 필요가 있다.
구체적으로, 도 2와 같이 박막기판(TP)의 선단부(FE)가 휜 상태로 롤러(4a)에 접촉하면, 그 접촉 부분의 접선 속도는 수평과 수직성분으로 분산되므로, 박막기판(TP)이 정상자세로 이송되는 경우(예: 2m/min)에 비해 롤러(4a)가 밀어주는 속도(예: 1.4 m/min)가 느리다.
따라서, 정면기를 통과한 박막기판(TP)의 선단부(FE)가 휘는 경우, 후속의 한 쌍의 이송롤러를 통과시 기판 걸림, 빠짐, 접힘, 말림, 구겨짐, 브러쉬 편마모 등 다양한 불량 발생의 원인이 된다.
대한민국 등록실용신안 제20-0278155호
본 발명은 전술한 문제점을 해결하기 위한 것으로, 박막기판의 이송 중 선단부가 상측 또는 하측으로 휘는 것을 바로 잡아 수평 정자세를 유지한 상태에서 이송될 수 있게 하는 회전식 박막기판 이송 가이드 및 그를 포함하는 이송롤러장치를 제공하고자 한다.
이를 위해, 본 발명에 따른 회전식 박막기판 이송 가이드는 이송 중 박막기판의 변형을 방지하여 정자세로 이송시키기 위한 것으로, 회전축이 끼워지는 축공이 형성되어 있어서 상기 회전축에 의해 회전되는 가이드 바디; 및 상기 가이드 바디의 외주면을 따라 다수개가 이격 설치되며, 각각 상기 가이드 바디의 외주면으로부터 외측으로 돌출된 터치 날개;를 포함하여, 상기 이송 중인 박막기판의 이송 방향측 선단부가 아래 또는 위로 휘면 상기 회전중인 터치 날개로 박막기판이 휘는 방향의 반대방향으로 터치하여 수평 자세를 유지시키는 것을 특징으로 한다.
이때, 상기 터치 날개는 상기 가이드 바디의 회전 중심점으로부터 방사상으로 뻗은 가상의 선을 기준으로 일정 각도 기울어진 자세로 고정되되, 상기 가이드 바디의 회전 방향에 대한 반대측으로 기울어져 있는 것이 바람직하다.
또한, 상기 터치 날개는 상기 터치 날개가 상기 가이드 바디에 연결되는 내측 단부를 접점으로 하는 접선(tangent line) 방향을 기준으로 외측으로 45°이내의 각도를 갖는 것이 바람직하다.
또한, 상기 가이드 바디의 일측부는 절개되어 서로 분리되며, 상기 절개에 의해 분리된 가이드 바디의 양측 선단부에는 상기 양측 선단부를 서로 연결하는 커플러가 구비되어 있는 것이 바람직하다.
또한, 상기 가이드 바디의 일측부는 절개되어 서로 분리되며, 상기 절개에 의해 분리된 가이드 바디의 양측 선단부에는 각각 상기 회전축에 결합되는 체결구가 구비되어 있는 것이 바람직하다.
또한, 상기 가이드 바디 및 터치 날개는 각각 별개로 제작된 후 상기 터치 날개가 상기 가이드 바디의 외주면에 접합되되, 상기 가이드 바디의 외주면에는 상기 가이드 바디가 회전하는 방향의 반대 방향을 따라 상향 경사지도록 파여진 안착홈이 상기 가이드 바디의 외주면을 따라 일정 간격마다 형성되어 있으며, 상기 터치 날개는 상기 안착홈의 길이보다 길게 형성되되, 내측 단부가 상기 안착홈에 접착 고정되어 있는 것이 바람직하다.
한편, 본 발명은 이상과 같은 회전식 박막기판 이송 가이드가 설치되는 이송롤러장치에 있어서, 동력을 전달받아 회전하는 회전축과; 상기 회전축의 길이 방향을 따라 이격 형성된 다수의 롤러; 및 상기 다수의 롤러 사이에 형성된 체결홈에 체결되어 상기 회전축과 함께 회전하는 상기 회전식 박막기판 이송 가이드;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
이때, 상기 회전축은 박막기판을 이송하도록 상하 한 쌍으로 이루어진 상부 회전축 및 하부 회전축을 포함하되, 상기 회전식 박막기판 이송 가이드는 상기 상부 회전축 및 하부 회전축 중 어느 하나 이상에 설치되는 것이 바람직하다.
이상과 같은 본 발명은 박막기판의 이송 중 선단부가 상측 또는 하측으로 휘는 현상이 발생하는 부분에서 박막기판이 휘는 방향의 반대방향으로 회전하며 박막기판의 자세를 보정한다. 따라서, 박막기판을 바로 잡아 롤러 이송 중 수평 정자세를 유지한 상태에서 이송될 수 있게 한다.
도 1은 종래기술에 따른 박막기판 이송 상태를 나타낸 도이다.
도 2는 박막기판이 휘는 경우의 이송속도 변화를 나타낸 도이다.
도 3은 본 발명에 따른 회전식 박막기판 이송 가이드의 제1 사용상태를 나타낸 정면도이다.
도 4는 본 발명에 따른 회전식 박막기판 이송 가이드의 제2 사용상태를 나타낸 정면도이다.
도 5는 본 발명에 따른 회전식 박막기판 이송 가이드의 제3 사용상태를 나타낸 정면도이다.
도 6은 본 발명에 따른 회전식 박막기판 이송 가이드의 제4 사용상태를 나타낸 정면도이다.
도 7은 상기 도 4 내지 도 6에 적용된 회전식 박막기판 이송 가이드(일체형)를 나타낸 도이다.
도 8은 본 발명의 다른 실시예에 따른 회전식 박막기판 이송 가이드(분리형)를 나타낸 도이다.
도 9는 상기 도 8의 가이드 바디를 나타낸 도이다.
도 10은 본 발명에 따른 회전식 박막기판 이송 가이드가 구비된 이송롤러장치를 나타낸 사시도이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 회전식 박막기판 이송 가이드 및 그를 포함하는 이송롤러장치에 대해 상세히 설명한다.
먼저, 도 3과 같이 본 발명에 따른 회전식 박막기판 이송 가이드(30)는 일 실시예로써 정면기(1a, 1b)의 하류측에 설치된 이송롤러(10, 20)에 적용되어, 정면기(1a, 1b)를 통과한 박막기판(TP)의 선단부(FE)가 상측으로 휘는 것을 수평으로 바로 잡는다.
정면기(1a, 1b)는 자유회전하는 백업롤러(1a) 및 브러쉬나 연마재를 구비한 버프롤러(1b) 한 쌍으로 구성되며, 도시된 바와 같이 버프롤러(1b)의 직경이 백업롤러(1a)보다 상대적 큰 것이 보통이다.
또한, 버프롤러(1b)가 하부에 배치되고 그 상부에 백업롤러(1a)가 배치됨에 따라 한 쌍의 롤러 사이에 박막기판(TP)을 통과시키며 기판 표면을 연마하며, 연마 표면의 대상에 따라 버프롤러(1b)가 상부에 배치될 수도 있다.
기판의 상하면을 모두 연마하는 경우에는 버프롤러(1b)가 하부에 백업롤러(1a)가 상부에 배치된 것과 그와 반대로 버프롤러(1b)가 상부에 백업롤러(1a)가 하부에 배치된 것이 연속 배치될 수 있으며, 이들이 교번적으로 배치될 수도 있다.
한편, 위와 같이 정면기(1a, 1b)를 통과한 박막기판(TP)은 그 선단부(FE)가 상측으로 휘는 경우가 발생한다. 물론, 이하에서 설명하겠지만 그 외 다른 이유나 위치에서 하측으로 휘는 경우도 발생한다.
박막기판(TP)이 상측으로 휘는 현상은 여러 이유가 있겠지만, 버프롤러(1b)의 가압 및 마찰에 따른 영향이나 롤러(예: 백업롤러) 표면에 잔존하는 액상 물질에 의해 박막기판(TP)이 붙었다 떨어지는 과정에서 발생할 수 있다.
따라서, 이상과 같은 정면기(1a, 1b)의 하류측에 설치된 상하 한 쌍의 이송롤러(10, 20) 중 상부 이송롤러(10)에 본 발명에 따른 회전식 박막기판 이송 가이드(30)를 설치한다.
특히 정면기(1a, 1b)를 통과한 박막기판(TP)은 그 두께가 매우 얇아서 선단부(FE)가 상측으로 휘게 되므로, 수평 가이드(HG)를 배치하더라도 상측으로 휘는 현상에는 무용지물이며, 후속의 이송롤러(10)에 설치된 본 발명의 가이드(30)에 의해서만 정자세(즉, 수평 이송자세)로 안내된다.
이를 위해, 본 발명에 따른 회전식 박막기판 이송 가이드(30)는 회전축에 끼워지는 가이드 바디(31) 및 상기 가이드 바디(31)에 설치되며 박막기판(TP)의 손상을 방지하도록 부드럽고 구부러지는 재질의 터치 날개(32)를 포함한다.
따라서, 회전식 박막기판 이송 가이드가 박막기판(TP)의 상측에서 회전(반시계 방향)하면, 터치 날개(32)가 상측으로 휜 박막기판(TP)의 선단부(FE)를 눌러 다시 수평이 유지되게 하고, 그 상태에서 이송롤러(10, 20)에 의해 이송된다.
다음, 본 발명에 따른 회전식 박막기판 이송 가이드(30)는 위에서 설명한 정면기(1a, 1b) 등으로 박막기판(TP)을 가공하는 경우 뿐만 아니라 투입, 회수 및 공정간 이동 등 외란이 없이 단순히 이송중인 위치에도 적용될 수 있다.
박막기판(TP)은 그 두께가 얇아짐에 따라 단순 이송 중에도 그 선단부(FE)가 상측으로 휘는 경우는 물론 하측으로 휘는 현상 역시 발생할 수 있으므로, 기판이 휘는 방향의 반대 방향으로 눌러 수평 이송을 유지시킬 필요가 있다.
도 4와 같이 본 발명에 따른 회전식 박막기판 이송 가이드(30)는 회전축에 끼워지는 가이드 바디(31) 및 그에 구비된 터치 날개(32)를 포함하며, 상하 한 쌍의 이송롤러(10, 20) 중 상부의 이송롤러(10)에 장착(즉,기판의 상부에 설치)되어 상측으로 휘는 박막기판(TP)을 누른다.
즉, 가이드 바디(31)의 외주면에 일정 간격마다 설치된 다수개의 터치 날개(32)가 회전축에 의해 회전을 하며 박막기판(TP)의 선단부(FE)를 연속하여 누른다. 따라서, 상류측 이송롤러(3a, 3b)에 의해 이송중인 박막기판(TP)을 수평하게 보정하면서 계속 이송되게 한다.
도 5와 같이, 다른 실시예로써 박막기판(TP)의 선단부(FE)가 하측으로 휘기 시작하는 경우에는 상류측 롤러(3a, 3b)에 후속하여 설치된 상하 한 쌍의 이송롤러(10, 20) 중 하부에 배치된 하부 이송롤러(20)에 본 발명에 따른 회전식 박막기판 이송 가이드(30)를 설치한다.
이 경우 회전식 박막기판 이송 가이드(30)는 박막기판(TP)의 하측에서 도면을 기준으로 시계 방향으로 회전함에 따라 하측으로 휘기 시작하는 박막기판(TP)의 선단부(FE)를 상측으로 밀어 올려 수평을 유지한 상태로 이송되게 한다.
물론, 도 6과 같이 본 발명에 따른 회전식 박막기판 이송 가이드(30)는 상하 한 쌍의 상부 이송롤러(10) 및 하부 이송롤러(20) 모두에 설치될 수도 있으며, 이러한 경우에는 박막기판(TP)이 상/하 어느 방향으로 휘더라도 수평을 유지시킬 수 있게 한다.
이를 위해, 회전식 박막기판 이송 가이드(30)는 회전축이 끼워지는 축공이 형성되어 있어서 회전축에 의해 회전되는 가이드 바디(31) 및 상기 가이드 바디(31)의 외주면을 따라 다수개가 이격 설치되며, 각각 가이드 바디(31)의 외주면으로부터 외측으로 돌출된 터치 날개(32)를 포함한다.
도 7은 위에서 도 3 내지 도 6을 참조하여 설명한 본 발명의 일 실시예에 따른 회전식 박막기판 이송 가이드(30)로써, 가이드 바디(31) 및 터치 날개(32)가 일체로 성형된 것이다. 이때, 박막기판(TP)에 접촉하는 터치 날개(32)는 박막기판(TP)의 손상을 방지하도록 부드러우면서도 휘는 성질이 있는 재질로 제작된다.
일 예로 터치 날개(32)는 실리콘이나 고무 재질로 이루어져 있으며, 각각의 터치 날개(32)는 설정된 폭 및 길이를 갖는 직사각형 박판 형상이 적용된다. 다만, 터치 날개(32)는 직사각형 이외에 삼각형 등 다른 형상도 적용가능하며, 곧게 뻗은 상태가 아닌 완곡하게 굽은 형상의 것도 적용될 수 있다.
터치 날개(32)와 일체로 성형되는 가이드 바디(31)는 터치 날개(32)와 동일하게 실리콘이나 고무 재질로 이루어지는 것이 바람직하며, 가이드 바디(31)와 터치 날개(32)는 사출성형 등을 통해 일체로 제작될 수 있다.
따라서, 이송 중인 박막기판(TP)의 이송 방향측 선단부(FE)가 아래 또는 위로 휘면 구동중인 회전축에 체결된 가이드 바디(31)에 의해 회전중인 터치 날개(32)로 박막기판(TP)이 휘는 방향의 반대방향으로 터치하여 수평 자세를 유지시키게 된다.
다만, 가이드 바디(31)가 체결되는 회전축으로는 도 3 내지 도 6과 같이 롤러(10, 20)가 구비된 것일 수 있지만, 본 발명은 롤러가 없는 별도의 회전축에 설치될 수도 있다.
이러한 경우 회전축은 오직 본 발명에 따른 회전식 박막기판 이송 가이드를 회전시키기 위한 것으로 이송롤러 사이, 정면기(1a, 1b)와 이송롤러 사이, 혹은 장치의 인입측 또는 인출측 등 필요한 위치에 단독으로 설치된다.
도 7의 (a)와 같이, 회전축에 체결하기 위해, 가이드 바디(31)의 일측부는 절개되어 서로 분리되며, 절개에 의해 분리된 가이드 바디(31)의 양측 단부에는 그 양측 단부를 서로 연결하는 커플러(33, 34)가 구비되어 있는 것이 바람직하다.
이를 통해 롤러가 구비되어 있거나 혹은 롤러가 없는 회전축의 직경에 맞는 가이드 바디(31)를 선택하여 그 회전축에 체결할 수 있게 한다. 즉, 박막기판(TP)이 휘거나 휠 것으로 예상되는 부분에 선택적으로 본 발명을 적용할 수 있게 한다.
커플러(33, 34)는 일 예로 가이드 바디(31)의 일측 단부에 구비된 제1 커플러(33) 및 타측 단부에 구비된 제2 커플러(34)를 포함하며, 조립시 외측에 배치되는 제2 커플러(34)의 내측면에는 제1 커플러(33)가 놓이는 안착홈(34a)이 형성되어 있다.
따라서, 제2 커플러(34)의 안착홈(34a)에 제1 커플러(33)가 놓이면 제1 커플러(33)와 제2 커플러(34)를 포개어 조립시 단턱이 발생하는 것을 방지되므로, 절개부를 벌려 회전축에 끼운후 커플러(33, 34)를 체결하면 회전축의 외주면에 밀착 고정된다.
이때, 제1 커플러(33)와 제2 커플러(34)에는 각각 서로 대응하는 형상의 돌기 및 끼움홈이 형성되어 있어서 형상 맞춤방식으로 결합되거나, 결합시 상하 연통되는 볼트공을 구비하여 회전축에 볼트결합되는 등 다양한 고정 방식이 적용될 수 있다.
다만, 가이드 바디(31) 중 절개부에 대향하는 타측 내주면에는 절개홈(31a)이 형성되어 있는 것이 바람직한데, 절개홈(31a)은 상기한 절개부(즉 절단부)를 기준으로 가이드 바디(31)가 쉽게 벌어지게 하여 회전축에의 체결을 더욱 쉽게 한다.
도 7의 (b)와 같이 터치 날개(32)는 가이드 바디(31)의 회전 중심점(O)으로부터 방사상으로 뻗은 가상의 선(R)을 기준으로 일정 각도 기울어진 자세로 고정되되, 가이드 바디(31)의 회전 방향에 대한 반대측으로 기울어져 있는 것이 바람직하다.
따라서, 터치 날개(32)의 경사면(즉, 외측 표면)이 박막기판(TP)을 밀게 되므로 터치 날개(32)가 회전 방향으로 기울어져 있는 경우에 비해 걸림 현상이 현저히 줄어들고, 해당 박막기판(TP)의 손상을 방지하며, 휘는 재질 특성과 함께 박막기판(TP)의 수평을 유지시킬 정도로 적정한 힘을 가할 수 있게 한다.
특히, 터치 날개(32)는 박막기판(TP)의 크기, 두께 및 재질 등에 따라 그 경사각도가 조절될 수 있으며, 날개 가이드 바디(31)에 연결되는 내측 단부를 접점으로 하는 접선(tangent line)(T) 방향을 기준으로 외측으로 45°이내의 각도를 갖는 것이 바람직하다.
만약, 터치 날개(32)가 접선(T)을 기준으로 외측으로 45°를 초과하면 위에서 설명한 바와 같이 터치 날개(32)가 회전하며 박막기판(TP)에 접촉시 걸림 현상이 월등히 증가하고, 박막기판(TP)의 손상이 발생할 가능성이 있으며, 보정량을 초과하여 과변형(예: 휘는 방향의 반대방향으로 휨)이 이루어질 수 있다.
한편, 위에서는 본 발명에 따른 회전식 박막기판 이송 가이드로써 가이드 바디(31)와 터치 날개(32)가 일체형으로 이루어진 것을 예로 들어 설명하였다. 그러나, 본 발명의 회전식 박막기판 이송 가이드는 조립식으로 이루어질 수도 있다.
도 8의 (a)과 같이, 본 발명의 다른 실시예로써 회전식 박막기판 이송 가이드(40)가 조립식으로 이루어지는 경우, 가이드 바디(41)의 외주면에 다수개의 터치 날개(42)를 접착재 등을 이용하여 고정시킬 수 있다.
도 8의 (b)와 같이 터치 날개(42, 42')는 개별적으로 제작 후 가이드 바디(41)에 부착되므로 다양한 타입의 것이 적용될 수 있으며, 일 예로 평판 타입(42)이나 브러쉬 타입(42')의 것이 적용될 수 있다. 브러쉬 타입(42')의 경우 다수의 브러쉬가 일체로 심어지기 위한 베이스(42a')를 포함할 수 있다.
터치 날개(42)가 가이드 바디(41)에 결합되는 조립식의 경우에도 터치 날개(42)는 가이드 바디(41)의 외주면을 따라 다수개가 이격 설치되며, 각각 가이드 바디(41)의 외주면으로부터 외측으로 돌출된다. 이는 브러쉬 타입(42')의 터치 날개를 적용하는 경우에도 마찬가지이며 이하 동일하다.
또한, 터치 날개(42)는 가이드 바디(41)의 회전 방향에 대한 반대측으로 기울어져 있으며, 터치 날개(42)가 가이드 바디(41)에 연결되는 내측 단부를 접점으로 하는 접선(T) 방향을 기준으로 외측으로 45°이내의 각도를 갖는다.
도 9의 (a) 및 (b)와 같이 터치 날개(42)가 가이드 바디(41)의 외주면에 안정적으로 장착되도록 가이드 바디(41)의 외주면에는 가이드 바디(41)가 회전하는 방향의 반대 방향을 따라 상향 경사지도록 파여진 안착홈(41b)이 구비되어 있다.
안착홈(41b)은 터치 날개(42)의 개수에 대응하여 다수개가 가이드 바디(41)의 외주면을 따라 일정 간격마다 형성된다. 따라서, 안착홈(41b)마다 각각 터치 날개(42)가 고정된다. 터치 날개(42)는 일 예로 그 내측 단부가 안착홈(41b)의 일부에 접합되거나 그 내측 단부를 포함하여 안착홈(41b) 전체에 접촉하도록 접합된다.
터치 날개(42)는 휘는 성질을 가지며 안착홈(41b)의 길이보다 길게 형성되어 있기 때문에 터치 날개(42)의 전체 길이 중 일부는 안착홈(41b)에 지지되고, 안착홈(41b)의 외측으로 연장된 나머지 부분이 박막기판(TP)의 자세를 바로 잡게 된다.
다만, 가이드 바디(41)의 일측부는 절개(cut)되어 서로 분리되며, 절개에 의해 분리된 가이드 바디(41)의 양측 단부에는 각각 회전축에 결합되는 체결구(41a)가 구비되어 있는 것이 바람직하다.
터치 날개(42)와 다르게 엔지니어링 플라스틱 등 견고한 재질로 이루어진 가이드 바디(41)는 일 예로 회전축에 직접 장착 및 고정되며, 이를 위해 체결구(41a)에 대향하는 가이드 바디(41)의 내주면에는 절개홈(41c)을 형성할 수도 있다.
따라서, 절개홈(41c)을 기준으로 가이드 바디(41)의 절개부(cut) 즉, 체결구(41a) 부위를 서로 멀어지도록 벌려 회전축에 끼운 후, 체결구(41a)를 이용하여 회전축에 고정시킴으로써 필요한 위치에 본 발명을 장착할 수 있게 한다. 이에 대한 좀더 상세한 설명은 아래에서 다시 한다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 이송롤러장치에 대해 설명한다. 이러한 본 발명은 회전식 박막기판 이송 가이드(30, 40)가 설치되어 있는 이송롤러에 관한 것이다.
즉, 본 발명에 따른 회전식 박막기판 이송 가이드(30, 40)는 롤러가 없는 회전축에 체결된 상태에서 이송롤러들 사이에 배치되어 사용될 수 있지만, 이하에서 설명하는 바와 같이 이송롤러에 일체로 적용될 수도 있다.
도 10에 일 예로 도시한 바와 같이 본 발명에 따른 회전식 박막기판 이송 가이드가 설치되는 이송롤러장치는 동력을 전달받아 회전하는 회전축(11)과, 상기 회전축(11)의 길이 방향을 따라 이격 형성된 다수의 롤러(12) 및 체결홈에 체결되는 회전식 박막기판 이송 가이드(40)를 포함한다.
체결홈은 축에 구비된 롤러(12) 사이에 형성된 것으로 회전축(11)의 축 길이 방향을 따라 일정 간격마다 롤러(12)를 구비함에 따라 롤러(12) 사이에 노출된 회전축(11) 부분 자체가 체결홈으로 사용되거나 별도의 홈을 형성시킬 수 있다.
따라서, 회전축(11)의 직경에 따라 가이드 바디(41)를 선택하고, 박막기판(TP)의 폭, 길이, 두께 및 재질 등에 따라 터치 날개(42)를 선택하여, 이들이 결합된 회전식 박막기판 이송 가이드(40)를 체결홈에 체결한다.
체결을 위해 가이드 바디(41)에는 일 예로 나사공으로 이루어진 체결구(41a)가 적용되고, 회전축(11)에는 상기 체결구(41a)에 대응하는 탭(즉, 나사공)(11a)이 형성되어 있어서 이들에 볼트(B)를 체결하여 고정시키게 된다.
다만, 회전축(11)은 박막기판(TP)을 이송하도록 상하 한 쌍으로 이루어진 상부 회전축 및 하부 회전축을 포함하되, 상기 회전식 박막기판 이송 가이드는 상부 회전축 및 하부 회전축 중 어느 하나 이상에 설치된다.
즉, 도시된 바와 같이 회전식 박막기판 이송 가이드가 상부 회전축에 장착되어 박막기판(TP)의 선단부(FE)가 상측으로 휘는 것을 바로 잡을 수 있으믄 물론, 그 외 하부 회전축(11)에 장착되어 박막기판(TP)의 선단부(FE)가 하측으로 휘는 것을 바로 잡을 수도 있다.
물론, 필요에 따라서는 상부 회전축 및 하부 회전축에 각각 장착됨에 따라 박막기판(TP)의 선단부(FE)가 상측 또는 하측 중 어느 방향으로 휘든 이를 보정하거나, 일측으로만 휘더라도 안정적인 가이드을 위해 상하 모두에 장착할 수 있다.
이상, 본 발명의 특정 실시예에 대하여 상술하였다. 그러나, 본 발명의 사상 및 범위는 이러한 특정 실시예에 한정되는 것이 아니라, 본 발명의 요지를 변경하지 않는 범위 내에서 다양하게 수정 및 변형이 가능하다는 것을 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이해할 것이다.
따라서, 이상에서 기술한 실시예들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이므로, 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 하며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다.
1a: 백업롤러
1b: 버프롤러
2a, 2b, 3a, 3b, 4a, 4b: 이송롤러
10, 20: 가이드 장착 롤러
30, 40: 회전식 박막기판 이송 가이드
31, 41: 가이드 바디
32, 42, 42': 터치 날개
33, 34: 커플러
41a: 체결구
TP: 박막기판
FE: 기판 선단부

Claims (8)

  1. 이송 중 박막기판(TP)의 변형을 방지하여 정자세로 이송시키기 위한 회전식 박막기판 이송 가이드에 있어서,
    회전축이 끼워지는 축공이 형성되어 있어서 상기 회전축에 의해 회전되는 가이드 바디(31, 41); 및
    상기 가이드 바디(31, 41)의 외주면을 따라 다수개가 이격 설치되며, 각각 상기 가이드 바디(31, 41)의 외주면으로부터 외측으로 돌출된 터치 날개(32, 42);를 포함하여,
    상기 이송 중인 박막기판(TP)의 이송 방향측 선단부(FE)가 아래 또는 위로 휘면 상기 회전중인 터치 날개(32, 42)로 박막기판(TP)이 휘는 방향의 반대방향으로 터치하여 수평 자세를 유지시키며;
    상기 터치 날개(32, 42)는 박막기판(TP)의 손상을 방지하도록 부드러우면서도 휘는 성질이 있는 재질로 제작되고, 상기 가이드 바디(31, 41)의 회전 중심점으로부터 방사상으로 뻗은 가상의 선을 기준으로 일정 각도 기울어진 자세로 고정되며, 상기 가이드 바디(31, 41)의 회전 방향에 대한 반대측으로 기울어지되, 상기 터치 날개(32, 42)가 상기 가이드 바디(31, 41)에 연결되는 내측 단부를 접점으로 하는 접선(tangent line)(T) 방향을 기준으로 외측으로 45°이내의 각도(θ)를 갖도록 구성되고;
    상기 가이드 바디(31, 41)의 일측부는 절개되어 서로 분리되며, 절개부에 대향하는 가이드 바디(31, 41)의 타측 내주면에는 가이드 바디(31)의 절개부를 쉽게 벌어지게 할 수 있도록 절개홈(31a, 41c)이 형성된 것을 특징으로 하는 회전식 박막기판 이송 가이드.
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 제1항에 있어서,
    상기 절개에 의해 분리된 가이드 바디(31)의 양측 단부에는 상기 양측 단부를 서로 연결하는 커플러(33, 34)가 구비되되, 상기 커플러(33,34)는 상기 가이드 바디(31)의 일측 단부에 구비된 제1 커플러(33) 및 타측 단부에 구비된 제2 커플러(34)를 포함하며, 조립시 외측에 배치되는 제2 커플러(34)의 내측면에는 제1 커플러(33)가 놓이는 안착홈(34a)이 형성된 것을 특징으로 하는 회전식 박막기판 이송 가이드.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 절개에 의해 분리된 가이드 바디(41)의 양측 단부에는 각각 상기 회전축에 결합되는 체결구(41a)가 구비되어 있는 것을 특징으로 하는 회전식 박막기판 이송 가이드.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 가이드 바디(41) 및 터치 날개(42)는 각각 별개로 제작된 후 상기 터치 날개(42)가 상기 가이드 바디(41)의 외주면에 접합되되,
    상기 가이드 바디(41)의 외주면에는 상기 가이드 바디(41)가 회전하는 방향의 반대 방향을 따라 상향 경사지도록 파여진 안착홈(41b)이 상기 가이드 바디(41)의 외주면을 따라 일정 간격마다 형성되어 있으며,
    상기 터치 날개(42)는 다수의 브러쉬와, 상기 브러쉬가 일체로 심어지기 위한 베이스(42a')를 포함하고, 상기 안착홈(41b)에 상기 베이스(42a)가 안착되어 접착 고정되고, 상기 터치 날개(42)는 상기 안착홈(41b)의 길이보다 길게 형성된 것을 특징으로 하는 회전식 박막기판 이송 가이드.
  7. 제1항, 제4항 내지 제6항 중 어느 하나의 항과 같은 회전식 박막기판 이송 가이드가 설치되는 이송롤러장치에 있어서,
    상기 이송롤러장치는,
    동력을 전달받아 회전하는 회전축(11)과;
    상기 회전축(11)의 길이 방향을 따라 이격 형성된 다수의 롤러(12); 및
    상기 다수의 롤러(12) 사이에 형성된 체결홈에 체결되어 상기 회전축(11)과 함께 회전하는 상기 회전식 박막기판 이송 가이드;를 포함하는 것을 특징으로 하는 이송롤러장치.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 회전축(11)은 박막기판(TP)을 이송하도록 상하 한 쌍으로 이루어진 상부 회전축 및 하부 회전축을 포함하되,
    상기 회전식 박막기판 이송 가이드는 상기 상부 회전축 및 하부 회전축 중 어느 하나 이상에 설치되는 것을 특징으로 하는 이송롤러장치.
KR1020180055802A 2018-05-16 2018-05-16 회전식 박막기판 이송 가이드 및 그를 포함하는 이송롤러장치 KR102039042B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020180055802A KR102039042B1 (ko) 2018-05-16 2018-05-16 회전식 박막기판 이송 가이드 및 그를 포함하는 이송롤러장치

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020180055802A KR102039042B1 (ko) 2018-05-16 2018-05-16 회전식 박막기판 이송 가이드 및 그를 포함하는 이송롤러장치

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR102039042B1 true KR102039042B1 (ko) 2019-11-26

Family

ID=68731426

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020180055802A KR102039042B1 (ko) 2018-05-16 2018-05-16 회전식 박막기판 이송 가이드 및 그를 포함하는 이송롤러장치

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR102039042B1 (ko)

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0745091B2 (ja) * 1987-11-19 1995-05-17 川崎製鉄株式会社 薄帯の搬送装置
KR200278155Y1 (ko) 2002-03-06 2002-06-21 이 상 돈 인쇄 회로기판 정면기용 이송벨트
KR20130072494A (ko) * 2011-12-22 2013-07-02 노틸러스효성 주식회사 매체 조출 집적장치 및 그 제어방법

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0745091B2 (ja) * 1987-11-19 1995-05-17 川崎製鉄株式会社 薄帯の搬送装置
KR200278155Y1 (ko) 2002-03-06 2002-06-21 이 상 돈 인쇄 회로기판 정면기용 이송벨트
KR20130072494A (ko) * 2011-12-22 2013-07-02 노틸러스효성 주식회사 매체 조출 집적장치 및 그 제어방법

Similar Documents

Publication Publication Date Title
TW200843019A (en) Conveyer for a substrate material
TWI393205B (zh) 基板搬送裝置及基板搬送方法
KR102039042B1 (ko) 회전식 박막기판 이송 가이드 및 그를 포함하는 이송롤러장치
WO1998008622A1 (en) Roller with treading and system including same
TWI376344B (en) Apparatus for carrying substrates
CN108604545A (zh) 输送装置和清洗装置
CN101114581B (zh) 基板的处理装置
KR100871893B1 (ko) 인쇄회로기판의 이송장치 및 그에 사용되는 인쇄회로기판
JP4079579B2 (ja) ウェット処理装置
KR101116654B1 (ko) 기판 이송 모듈 및 이를 포함하는 기판 처리 장치
JP2006222117A (ja) 基板材の搬送装置
JP2002299403A (ja) 薄板基板の搬送装置及び搬送方法
JP2008156068A (ja) 表面処理装置のコンベア
JP2003062495A (ja) ロータリー液処理装置
JP2021065884A (ja) 基板処理装置
JP2003055779A (ja) 基板のエッチング方法、およびエッチング装置
JPH0445850Y2 (ko)
JP2000200958A (ja) プリント配線板の反転装置及びプリント配線板の反転方法
TW457133B (en) A conveying mechanism for printed wiring substrates
CN115397571A (zh) 接触式清洁设备
CN111834267A (zh) 基板传送引导装置
KR101357143B1 (ko) 집적회로 소자 패키지 제조를 위한 집적회로 소자의 전사 장치 및 방법
JP2010212268A (ja) 基板搬送装置
JP2005313014A (ja) 処理液供給装置
JP2001102283A (ja) 基板処理装置

Legal Events

Date Code Title Description
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant