CN111834267A - 基板传送引导装置 - Google Patents
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Abstract
本发明提供了一种通过在基板的传送和处理工序中阻止基板的摆动或弯曲现象从而可以防止由冲击引起的基板的破损等并可以稳定地传送基板的基板传送引导装置。为此，本发明公开了以下特征，包括：侧面支撑辊，在与基板的侧面接触而旋转的同时引导基板的传送；下部支撑辊，以所述侧面支撑辊为基准沿基板的宽度方向隔开地配置，并在与基板的下表面接触而旋转的同时支撑基板；基座部件，可旋转地支撑所述侧面支撑辊，并设置成可调节基板的侧面和所述侧面支撑辊之间的间隔；以及下部支撑部件，可旋转地支撑所述下部支撑辊，连接所述基座部件和所述下部支撑辊，并设置成可调节所述下部支撑辊的位置。
Description
技术领域
本发明涉及基板传送引导装置，详细而言，涉及可以防止在基板的传送和处理过程中在基板的侧面部发生的挠曲或破损的基板传送引导装置。
背景技术
通常，在显示器、半导体晶片、LCD、以及光掩模用玻璃等中使用的基板经过各种处理工序。例如，所述处理工序可以包括蚀刻、剥离、冲洗、干燥等之类的单元工序。
在所述工序中，通过在传送基板的同时对基板连续进行处理工序，从而提高处理效率。
由此，为了提高被处理的基板的成品率，需要稳定地保持被传送的基板的姿态的技术。
参照图1，现有的基板传送装置包括基板传送部件10，基板传送部件10由沿被传送的基板G的传送方向隔开配置的多个驱动轴11和结合到各驱动轴11的传送辊12构成。
此外，在基板传送装置上配置有侧面支撑辊20以支撑被传送的基板G的两侧面，从而使基板G沿正确的方向传送。
然而，沿这样的基板传送装置传送的基板G有时因在工序中施加到基板G的表面上的负载或压力的变化而发生摆动或弯曲现象。
由于这样的基板G的摆动或弯曲现象，在基板G的两侧面部与所述侧面支撑辊20发生碰撞冲击的情况下，基板G有可能发生不良情况或破损。
作为现有技术文献，有韩国公开专利公报第2016-0064742号(2016年6月8日公开)。
发明内容
发明要解决的问题
本发明的目的在于解决现有技术的问题。本发明提供了一种通过在基板的传送和处理工序中阻止基板的摆动或弯曲现象从而可以防止由冲击引起的基板的破损并可以稳定地传送基板的基板传送引导装置。
用于解决问题的手段
为了解决上述的问题，根据本发明的基板传送引导装置的特征在于，包括：侧面支撑辊，在与基板的侧面接触而旋转的同时引导基板的传送；下部支撑辊，以所述侧面支撑辊为基准沿基板的宽度方向隔开地配置，并在与基板的下表面接触并旋转的同时支撑基板；基座部件，可旋转地支撑所述侧面支撑辊，并设置成可调节基板的侧面和所述侧面支撑辊之间的间隔；以及下部支撑部件，可旋转地支撑所述下部支撑辊，连接所述基座部件和所述下部支撑辊，并设置成可调节所述下部支撑辊的位置。
此时，在根据本发明的基板传送引导装置中，所述基座部件可以包括：第一基座部件，结合到侧壁结构物，并配备有沿高度方向形成得较长的第一紧固孔；以及第二基座部件，结合到所述第一基座部件，并配备有沿基板的宽度方向形成得较长的第二紧固孔。
此外，在根据本发明的基板传送引导装置中，在所述第一基座部件和所述第二基座部件中的任一个上可以配备有沿基板的宽度方向形成的导轨槽部，在余下的另一个上可以配备有与所述导轨槽部相对应地形成的导轨突出部。
此外，在根据本发明的基板传送引导装置中，所述下部支撑部件可以包括：下部支撑第一框架，与所述基座部件结合；下部支撑第二框架，从所述下部支撑第一框架沿基板的宽度方向突出形成；以及下部支撑第三框架，从所述下部支撑第二框架沿基板的长度方向突出形成，并与所述下部支撑辊结合。
此外，在根据本发明的基板传送引导装置中，在所述下部支撑第一框架上可以配备有沿高度方向形成得较长的第三紧固孔。
此外，在根据本发明的基板传送引导装置还可以包括：上部支撑辊，配置成以所述侧面支撑辊为基准沿基板的宽度方向隔开，并在与基板的上表面接触而旋转的同时支撑基板；以及上部支撑部件，可旋转地支撑所述上部支撑辊，连接所述基座部件和所述上部支撑辊，并设置成可调节所述上部支撑辊的位置。
此外，在根据本发明的基板传送引导装置中，所述上部支撑部件可以包括：上部支撑第一框架，与所述基座部件结合；上部支撑第二框架，从所述上部支撑第一框架沿基板的宽度方向突出形成；以及上部支撑第三框架，从所述下部支撑第二框架沿基板的长度方向突出形成，并配置在所述下部支撑第三框架的沿上侧方向隔开的距离处，在该情况下，所述上部支撑辊和所述下部支撑辊可以沿高度方向配置在一直线上。
此外，在根据本发明的基板传送引导装置中，在所述上部支撑第一框架上可以配备有沿高度方向形成得较长的第四紧固孔。
另外，根据本发明的基板传送引导装置的特征在于，包括：侧面支撑辊，在与基板的侧面接触而旋转的同时引导基板的传送；下部支撑辊，以所述侧面支撑辊为基准沿基板的宽度方向隔开地配置，并在与基板的下表面接触而旋转的同时支撑基板；上部支撑辊，以所述侧面支撑辊为基准沿基板的宽度方向隔开地配置，并在与基板的上表面接触而旋转的同时支撑基板；以及基座部件，可旋转地支撑所述侧面支撑辊、所述下部支撑辊、以及所述上部支撑辊。
此时，在根据本发明的基板传送引导装置中，所述基座部件可以包括：结合部，结合到侧壁结构物；下部支撑部件，从所述结合部沿基板的宽度方向突出形成，并可旋转地支撑所述下部支撑辊；以及上部支撑部件，从所述结合部沿基板的宽度方向突出形成，配置在所述下部支撑部件的沿上侧方向隔开的距离处，并可旋转地支撑所述上部支撑辊，在该情况下，所述侧面支撑辊可以可旋转地支撑在所述下部支撑部件和所述上部支撑部件之间，所述上部支撑辊和所述下部支撑辊沿高度方向配置在一直线上。
此外，在根据本发明的基板传送引导装置中，在所述下部支撑部件上可以配备有沿高度方向形成得较长的第一销孔，在所述上部支撑部件上可以配备有沿高度方向形成得较长的第二销孔。
附图说明
图1中的(a)是用于说明现有的基板传送装置的侧面例示图，图1中的(b)是用于说明现有的基板传送装置的平面例示图。
图2是根据本发明的第一实施例的基板传送引导装置的立体图。
图3是图2所示的基板传送引导装置的分解立体图。
图4是根据本发明的第二实施例的基板传送引导装置的立体图。
图5是图4所示的基板传送引导装置的分解立体图。
图6是图4所示的基板传送引导装置的侧面状态图。
图7是根据本发明的第三实施例的基板传送引导装置的立体图。
具体实施方式
以下，参照可以具体实现上述要解决的问题的本发明的优选实施例的附图进行说明。在对本实施例进行说明时，对于相同的结构，使用相同的名称和相同的附图标记，并省略对此的附加说明。
图2是根据本发明的第一实施例的基板传送引导装置的立体图，图3是图2所示的基板传送引导装置的分解立体图。
根据本发明的基板传送引导装置可以配备成在基板G的两侧端部彼此相对配置的一对。
此外，所述一对基板传送引导装置可以沿被传送的基板G的长度方向隔开地配置有多个。
参照图2和图3，根据本发明的第一实施例的基板传送引导装置可以包括侧面支撑辊100、下部支撑辊200、基座部件400、以及下部支撑部件500。
侧面支撑辊100配置成面向被传送的基板G的侧面。更详细地，侧面支撑辊100能够以与高度方向并排的旋转轴为中心可旋转地支撑在基座部件400上。因此，侧面支撑辊100可以在与被传送的基板G的侧面接触而旋转的同时引导基板G的传送。
下部支撑辊200配置成面向与基板G的侧面邻接的基板的下表面。更详细地，下部支撑辊200能够以与基板G的宽度方向并排的旋转轴为中心可旋转地支撑在下部支撑部件500上。此时，下部支撑辊200可以配置成以侧面支撑辊100为基准沿基板G的宽度方向隔开。在此，基板的宽度方向意味着与基板的传送方向垂直的方向。
因此，下部支撑辊200可以在与被传送的基板G的下表面接触而旋转的同时支撑基板G。
此时，下部支撑辊200的旋转轴和侧面支撑辊100的旋转轴可以在彼此正交的同时配置在基板G的宽度方向的相同截面上。在此，与下部支撑辊200接触的基板的下表面区域和与侧面支撑辊100接触的基板G的侧面区域彼此邻接。
此外，下部支撑辊200可以沿基板G的长度方向配备有多个，并且，也可以沿基板G的宽度方向配备有多个。在此，基板的长度方向意味着基板的传送方向。
这样，由于下部支撑辊200支撑与基板G的侧面邻接的下表面区域，因而可以使被传送的基板G的侧面始终保持竖直状态。因此，基板G的侧面整个区域可以均匀地接触支撑于侧面支撑辊100。
此外，由于下部支撑辊200接触支撑与基板G的侧面邻接的下表面区域，因而基板G的侧面边缘部可以稳定地保持水平状态而不会摆动或弯曲。因此，也可以防止基板G的侧面棱角与侧面支撑辊100碰撞的现象。
另外，在下部支撑辊200的外周表面上可以配备有冲击缓冲部。例如，所述冲击缓冲部可以由合成树脂等具有弹性力的垫或涂层形成。
因此，可以减轻与被传送的基板G的侧面接触时的碰撞，从而防止基板G的损伤。
基座部件400的一端结合到侧壁结构物5(参照图6)，另一端可旋转地支撑侧面支撑辊100。基座部件400可以调节基板G的侧面和侧面支撑辊100之间的间隔。
因此，基座部件400可以根据被传送的基板G的位置或尺寸来调节侧面支撑辊100的位置。
基座部件400可以包括第一基座部件410和第二基座部件430。
第一基座部件410可以在一端配备有结合到侧壁结构物5(参照图6)的竖直部411，并在另一端可以配备有与第二基座部件430结合的水平部413。
竖直部411可以通过紧固件B结合到侧壁结构物5，并且，可以配备有沿高度方向形成得较长的第一紧固孔411a。
因此，当竖直部413通过紧固件B被固定到侧壁结构物5时，可以在第一紧固孔411a的长度范围内调节高度来进行固定紧固。
水平部413是与第二基座部件430结合的部分，可以配备有使紧固件B紧固的多个固定孔413a。
另外，在水平部413上可以配备有沿基板G的宽度方向并排形成的导轨突出部413b。
第二基座部件430的一端结合到水平部413，另一端可旋转地支撑侧面支撑辊100。
另外，在第二基座部件430上可以配备有沿基板G的宽度方向形成得较长的第二紧固孔431。
因此，当第二基座部件430通过紧固件B被紧固到水平部413时，可以在第二紧固孔431的长度范围内已调节与基板G的侧面之间的间隔的状态下进行固定紧固。
此外，在第二基座部件430上可以配备有与形成在第一基座部件410的水平部413上的导轨突出部413b相对应的形状的导轨槽部432。
因此，当使用紧固件B对第一基座部件410和第二基座部件430进行固定紧固时，相对于第一基座部件410的水平部413，第二基座部件430能够进行精密的位置移动。
此外，在第一基座部件410和第二基座部件430被紧固的状态下，即使施加强烈的外部冲击，也可以保持牢固的紧固状态而不会扭曲。
另外，在第二基座部件430上可以配备有通过紧固件B紧固下部支撑部件500的固定孔433。
下部支撑部件500的一端可以结合到第二基座部件430，另一端可旋转地支撑下部支撑辊200，并可以调节下部支撑辊200的位置。
下部支撑部件500可以包括下部支撑第一框架510、下部支撑第二框架520、以及下部支撑第三框架530。
下部支撑第一框架510是与基座部件400结合的部分，可以形成为沿高度方向具有长度。
下部支撑第二框架520可以从下部支撑第一框架510沿基板G的宽度方向延长而突出形成。
下部支撑第三框架530是下部支撑辊200可旋转地结合的部分，可以从下部支撑第二框架520沿基板G的长度方向再次延长而突出形成。此外，在下部支撑第三框架530上可以配备有用于使下部支撑辊200可旋转地结合的销孔。
通过这样的下部支撑部件500，下部支撑辊200配置成以侧面支撑辊100为基准沿基板G的宽度方向隔开。此时，下部支撑辊200的旋转轴和侧面支撑辊100的旋转轴可以在彼此正交的同时配置在基板G的宽度方向的相同截面上。
另外，在下部支撑第一框架510上可以配备有沿高度方向形成得较长的第三紧固孔511。
因此，当下部支撑第一框架510通过紧固件B被固定紧固在第二基座部件430上时，可以在第三紧固孔511的长度范围内调节高度来进行固定紧固。由此，可以微调节下部支撑辊200的高度。
另外，图4是根据本发明的第二实施例的基板传送引导装置的立体图，图5是图4所示的基板传送引导装置的分解立体图，图6是图4所示的基板传送引导装置的侧面状态图。
参照图4至图6，根据本发明的第二实施例的基板传送引导装置可以包括侧面支撑辊100、下部支撑辊200、上部支撑辊300、基座部件400、下部支撑部件500、以及上部支撑部件600。
在根据本发明的第二实施例的基板传送引导装置的详细结构中，侧面支撑辊110、下部支撑辊200、以及下部支撑部件500相当于与上述第一实施例相同的结构，因而省略对此的说明。此外，根据本发明的第二实施例的基座部件400具有“ㄱ”形，根据上述的第一实施例的基板基座部件400具有“L”形，然而详细结构实质上相同，因而也省略对此的说明。
根据本发明的第二实施例的基板传送引导装置除了构成根据上述的第一实施例的基板传送引导装置的详细结构之外，还包括上部支撑辊300和上部支撑部件600。以下，以上部支撑辊300和上部支撑部件600为中心进行详细说明。
上部支撑辊300配置成面向与基板G的侧面邻接的下表面。更详细地，上部支撑辊300可以以与基板G的宽度方向并排的旋转轴为中心可旋转地支撑在上部支撑部件600上。此时，上部支撑辊300可以配置成以侧面支撑辊100为基准沿基板G的宽度方向隔开。因此，上部支撑辊300可以在与被传送的基板G的上表面接触而旋转的同时支撑基板G。
此时，侧面支撑辊100的旋转轴分别与上部支撑辊300的旋转轴和下部支撑辊200的旋转轴正交，并且，上部支撑辊300的旋转轴和下部支撑辊200的旋转轴彼此平行。在此，侧面支撑辊100的旋转轴、上部支撑辊300的旋转轴、以及下部支撑辊200的旋转轴可以配置在基板G的宽度方向的相同截面上。
分别与上部支撑辊300、下部支撑辊200、以及侧面支撑辊100接触的基板G的上表面区域、下表面区域、侧面区域全部彼此邻接地配置。
另外，与下部支撑辊200一样，上部支撑辊300也可以沿基板G的长度方向配备有多个，并且，也可以沿基板G的宽度方向配备有多个。
这样，上部支撑辊300隔着基板G面向下部支撑辊200并接触支撑与基板G的侧面邻接的上表面区域，因而可以更牢固地保持被传送的基板G的侧面的竖直状态。此外，基板G的侧面边缘部可以更准确地保持水平状态而不会摆动或弯曲。
另外，与下部支撑辊200一样，在上部支撑辊300的外周表面上也可以配备有用于减轻与基板G接触时的冲击的冲击缓冲部。
上部支撑部件600的一端可以结合到第二基座部件430，另一端可以可旋转地支撑上部支撑辊300，并可以调节上部支撑辊300的位置。
上部支撑部件600可以包括上部支撑第一框架610、上部支撑第二框架620、以及上部支撑第三框架630。
上部支撑第一框架610是与基座部件400结合的部分，可以形成为沿高度方向具有长度。
上部支撑第二框架620可以从上部支撑第一框架610沿基板G的宽度方向延长而突出形成。
上部支撑第三框架630可以从上部支撑第二框架620沿基板G的长度方向再次突出形成，并且，可以配置在下部支撑第三框架530的沿上侧方向隔开的距离处。此外，在上部支撑第三框架630上可以配备有用于使上部支撑辊300可旋转地结合的销孔。
通过这样的上部支撑部件600，上部支撑辊300配置成以侧面支撑辊100为基准沿基板G的宽度方向隔开。在此，上部支撑辊300的旋转轴和侧面支撑辊100的旋转轴可以在彼此正交的同时配置在基板G的宽度方向的相同截面上。
另外，隔着基板G彼此面对的上部支撑辊300和下部支撑辊200也可以沿高度方向配置在一直线上。
另外，在上部支撑第一框架610上可以配备有沿高度方向形成得较长的第四紧固孔611。
因此，当上部支撑第一框架610通过紧固件B被固定紧固在第二基座部件430上时，可以在第四紧固孔611的长度范围内调节高度来进行固定紧固。由此，可以微调节上部支撑辊300的高度。
参照图6，如上所述，根据本发明的基板传送引导装置通过调节第一基座部件410的相对于侧壁结构物5的紧固位置，可以微调节侧面支撑辊100、下部支撑辊200、以及上部支撑辊300相对于基板G的整体高度。
另外，通过调节第二基座部件430相对于第一基座部件410的紧固位置，可以微调节基板G的侧面与侧面支撑辊100之间的间隔。另外，可以沿基板G的宽度方向微调节下部支撑辊200和上部支撑辊300的接触位置。
此外，通过分别调节下部支撑部件500和上部支撑部件600相对于第二基座部件430的高度，还可以微调节隔着基板G配置在下侧和上侧的下部支撑辊200和上部支撑辊300之间的间隔。
另外，图7是根据本发明的第三实施例的基板传送引导装置的立体图。
参照图7，根据本发明的第三实施例的基板传送引导装置可以包括侧面支撑辊100、下部支撑辊200、上部支撑辊300、以及基座部件700。
根据本发明的第三实施例的基板传送引导装置与上述第二实施例的不同点在于，侧面支撑辊100、下部支撑辊200、以及上部支撑辊300构成为设置在一个基座部件700上。
因此，省略对与上述第二实施例相同的结构的重复说明，以具有不同点的基座部件700为中心进行详细说明。
即，根据第三实施例的基座部件700的一端可以结合到侧壁结构物5(参照图6)，另一端可以可旋转地支撑侧面支撑辊100、下部支撑辊200、以及上部支撑辊300。
基座部件700可以包括结合部710、下部支撑部件720、以及上部支撑部件730。
结合部710是结合到侧壁结构物5的部分，通过紧固件B结合到侧壁结构物5，并且，可以包括沿高度方向形成得较长的第五紧固孔711。
因此，当基座部件700通过紧固件B被固定紧固在侧壁结构物5上时，可以在第五紧固孔711的长度范围内调节高度来进行固定紧固。
下部支撑部件720以将结合部710和下部支撑辊200连接的方式从结合部710沿基板G的宽度方向突出形成，并能够可旋转地支撑下部支撑辊200。
通过这样的下部支撑部件720，下部支撑辊200配置成以侧面支撑辊100为基准沿基板G的宽度方向隔开。在此，下部支撑辊200的旋转轴和侧面支撑辊100的旋转轴可以在彼此正交的同时配置在基板G的宽度方向的相同截面上。
上部支撑部件730沿下部支撑部件720的上侧方向隔开地配置。上部支撑部件730从结合部710沿基板G的宽度方向突出形成，并可以可旋转地支撑上部支撑辊300。
通过这样的上部支撑部件730，上部支撑辊300配置成以侧面支撑辊100为基准沿基板G的宽度方向隔开。在此，上部支撑辊300的旋转轴和侧面支撑辊100的旋转轴可以在彼此正交的同时配置在基板G的宽度方向的相同截面上。
分别与上部支撑辊300、下部支撑辊200、以及侧面支撑辊100接触的基板G的上表面区域、下表面区域、以及侧面区域彼此邻接配置并被支撑，使得基板的边缘部分得到稳定支撑。
另外，在下部支撑部件720上可以配备有沿高度方向形成得较长的第一销孔721，以调节下部支撑辊200的高度。
因此，当下部支撑辊200通过固定销P结合到下部支撑部件720时，可以在第一销孔721的长度范围内调节高度来进行结合。
此外，在上部支撑部件730上也可以配备有沿高度方向形成得较长的第二销孔731，以调节上部支撑辊300的高度。
同样地，当上部支撑辊300通过固定销P结合到上部支撑部件730时，可以在第二销孔731的长度范围内调节高度来进行结合。
如上所述，根据本发明的基板传送引导装置通过使用侧面支撑辊100、下部支撑辊200、以及上部支撑辊300，除了被传送的基板G的侧面以外，还同时支撑邻接的基板G的下表面或上表面区域，从而可以更准确地引导基板G的传送姿态。特别是，可以防止在基板G的侧面部产生的摇动或弯曲现象，从而防止由于基板G的棱角与侧面支撑辊100的碰撞而使基板破损。
如上所述，参照附图说明了本发明的优选实施例，然而本领域技术人员可以在不脱离权利要求书中所记载的本发明的构思和领域的范围内对本发明进行各种修改或变更。
Claims (11)
1.一种基板传送引导装置，其特征在于，包括：
侧面支撑辊，在与基板的侧面接触而旋转的同时引导基板的传送；
下部支撑辊，以所述侧面支撑辊为基准沿基板的宽度方向隔开地配置，并在与基板的下表面接触而旋转的同时支撑基板；
基座部件，可旋转地支撑所述侧面支撑辊，并设置成可调节基板的侧面和所述侧面支撑辊之间的间隔；以及
下部支撑部件，可旋转地支撑所述下部支撑辊，连接所述基座部件和所述下部支撑辊，并设置成可调节所述下部支撑辊的位置。
2.根据权利要求1所述的基板传送引导装置，其特征在于，所述基座部件包括：
第一基座部件，结合到侧壁结构物，并配备有沿高度方向形成得较长的第一紧固孔；以及
第二基座部件，结合到所述第一基座部件，并配备有沿基板的宽度方向形成得较长的第二紧固孔。
3.根据权利要求2所述的基板传送引导装置，其特征在于，在所述第一基座部件和所述第二基座部件中的任一个上配备有沿基板的宽度方向形成的导轨槽部，在余下的另一个上配备有与所述导轨槽部相对应地形成的导轨突出部。
4.根据权利要求1所述的基板传送引导装置，其特征在于，所述下部支撑部件包括：
下部支撑第一框架，与所述基座部件结合；
下部支撑第二框架，从所述下部支撑第一框架沿基板的宽度方向突出形成；以及
下部支撑第三框架，从所述下部支撑第二框架沿基板的长度方向突出形成，并与所述下部支撑辊结合。
5.根据权利要求4所述的基板传送引导装置，其特征在于，在所述下部支撑第一框架上配备有沿高度方向形成得较长的第三紧固孔。
6.根据权利要求1至5中任一项所述的基板传送引导装置，其特征在于，还包括：
上部支撑辊，配置成以所述侧面支撑辊为基准沿基板的宽度方向隔开，并在与基板的上表面接触而旋转的同时支撑基板；以及
上部支撑部件，可旋转地支撑所述上部支撑辊，连接所述基座部件和所述上部支撑辊，并设置成可调节所述上部支撑辊的位置。
7.根据权利要求6所述的基板传送引导装置，其特征在于，所述上部支撑部件包括：
上部支撑第一框架，与所述基座部件结合；
上部支撑第二框架，从所述上部支撑第一框架沿基板的宽度方向突出形成；以及
上部支撑第三框架，从所述下部支撑第二框架沿基板的长度方向突出形成，并配置在所述下部支撑第三框架的沿上侧方向隔开的距离处，
所述上部支撑辊和所述下部支撑辊沿高度方向配置在一直线上。
8.根据权利要求7所述的基板传送引导装置，其特征在于，在所述上部支撑第一框架上配备有沿高度方向形成得较长的第四紧固孔。
9.一种基板传送引导装置，其特征在于，包括：
侧面支撑辊，在与基板的侧面接触而旋转的同时引导基板的传送；
下部支撑辊，以所述侧面支撑辊为基准沿基板的宽度方向隔开地配置，并在与基板的下表面接触而旋转的同时支撑基板；
上部支撑辊，以所述侧面支撑辊为基准沿基板的宽度方向隔开地配置，并在与基板的上表面接触而旋转的同时支撑基板；以及
基座部件，可旋转地支撑所述侧面支撑辊、所述下部支撑辊、以及所述上部支撑辊。
10.根据权利要求9所述的基板传送引导装置，其特征在于，所述基座部件包括：
结合部，结合到侧壁结构物；
下部支撑部件，从所述结合部沿基板的宽度方向突出形成，并可旋转地支撑所述下部支撑辊；以及
上部支撑部件，从所述结合部沿基板的宽度方向突出形成，配置在所述下部支撑部件的沿上侧方向隔开的距离处，并可旋转地支撑所述上部支撑辊，
所述侧面支撑辊可旋转地支撑在所述下部支撑部件和所述上部支撑部件之间，所述上部支撑辊和所述下部支撑辊沿高度方向配置在一直线上。
11.根据权利要求10所述的基板传送引导装置，其特征在于，在所述下部支撑部件上配备有沿高度方向形成得较长的第一销孔，在所述上部支撑部件上配备有沿高度方向形成得较长的第二销孔。
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