KR102022976B1 - 형광 장수명 특성을 갖는 능동소자용 불소인산염계 유리 - Google Patents

형광 장수명 특성을 갖는 능동소자용 불소인산염계 유리 Download PDF

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Abstract

본 개시(disclosure)는, 형광 장수명 특성을 갖는 능동소자용 불소인산염계 유리에 관한 것으로, 30mol%의 Mg(PO3)2로 구성되는 메타인산염(metaphosphate) 조성물; 57mol% 내지 59 mol%의 BaF2 및 10mol%의 CaF2로 구성되는 불소(fluoride) 조성물; 및 1 mol% 내지 3mol%의 ErF3로 구성되는 도펀트(dopant);로 구성된다.

Description

형광 장수명 특성을 갖는 능동소자용 불소인산염계 유리{Fluorophosphate Glasses for Active Device with Long Luminescence Lifetime}
본 개시(disclosure)는, 능동소자용 불소인산염계 유리(Fluorophosphate Glasses)에 관한 것으로, 특히 광섬유 레이저용 유리 모재로 채용 가능한 열적· 기계적 특성을 가지면서도 형광 장수명 특성을 가지는 능동소자용 불소인산염계 유리의 조성에 관한 것이다.
일반적으로 어븀(Er) 도핑(doping)된 광섬유증폭기(erbium doped fiber amplifier, EDFA)는 파장분할방식(wavelength division multiplexing, WDM)방식의 통신 시스템은 물론이고 거의 대부분의 광 네트워크에서 주요한 장치로 사용되고 있는 광증폭기 장치로서, 유리재질의 광섬유에 어븀을 도핑하여 1530 내지 1610nm 사이의 파장을 갖는 빛을 증폭 시킨다.
불화물 유리(fluoride glass)에 인산염(phosphate)이 혼합된 불소인산염계 유리(fluorophosphate glass, FP)는 불화물 유리(fluoride glass)에 비하여 열적 안정성과 화학적 내구성이 뛰어나며, 포논 에너지(phonon energy가 낮고, 자외선에서 근적외선까지의 넓은 스펙트럼(spectrum) 영역에서의 광투과 특성 및 굴절률을 선형성이 우수하며, 희토류(RE, rare earth) 원소를 도펀트로 사용할 경우에, 다중 에너지 준위를 제공함으로써 높은 도펀트(dopant) 농도를 구현 할 수 있기 때문에, 짧은 길이 캐비티(cavity)를 이용하면서도 높은 효율을 얻을 수 있는 유리 모재이다.
한편 이터븀(Yb)은 980nm영역에서 월등히 높은 흡수단면적(absorption cross section)을 제공하며, 도너(2F5/2, Yb3+)의 에너지 준위(energy level)와 억셉터(4I11/2, Er3+)의 에너지 준위의 겹침(overlap)이 우수하기 때문에, 어븀(Er)과 함께 도핑(co-doping)됨으로써, 레이저 여기(laser excitation)의 증감제(sensitizer)로서 이용된다.
이러한 우수한 특성을 갖는 Er/Yb co-doping된 불소인산염계 유리는 앞서 설명한 우수한 성능을 활용하고자, 가시광 또는 적외선 레이저, 광섬유 증폭기, 광 저장 장치 및 해저 광통신 망과 같은 기존의 응용 분야뿐만 아니라, 최근에는 라이다(LiDAR, Light Detection and Ranging)와 같이 고출력이 요구되는 3차원 공간 관측 시스템에까지 그 응용 범위가 확대되고 있다.
그러나 이와 같은 넓은 범위의 응용 분야에서 활용되기 위해서는, 장치의 크기가 축소되더라도 높은 펄스 출력을 구현할 수 있는 불소인산염계 유리 모재의 개발이 요구된다.
이를 위해서는, 높은 형광단면적 특성 또는 캐리어의 형광 장수명(long-lifetime) 특성의 개선이 요구된다.
1. 미국등록특허 제5,796,903호 2. 미국등록특허 제5,274,728호
본 개시(Discloure)는, 광섬유 레이저용 유리 모재로 채용 가능한 열적· 기계적 특성을 가지면서도 형광 장수명 특성을 가지는 능동소자용 불소인산염계 유리의 제공을 일 목적으로 한다.
상기한 과제를 해결하기 위해, 본 개시의 일 태양에 따른 형광 장수명 특성을 가지는 능동소자용 불소인산염계 유리는, 30mol%의 Mg(PO3)2로 구성되는 메타인산염(metaphosphate) 조성물; 43 mol%의 BaF2 및 20mol%의 CaF2로 구성되는 불소(fluoride) 조성물; 및 3 mol%의 ErF3 및 4 mol%의 YbF3로 구성되는 도펀트(dopant);로 구성되는 것을 특징으로 한다.
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본 개시에 따르면, 유리전이온도(tg) 및 피크온도(tp)를 포함하는 열적 특성, 열팽창계수(CTE)를 포함하는 열기계적 특성 및 유리경도(Knop Hardness)를 포함하는 기계적 특성이 개선되어 광섬유 레이저를 포함하는 능동소자의 제조 공정 상 장점을 제공한다.
본 개시에 따르면, 형광 장수명 특성을 구현하여, 장치의 크기가 축소되더라도, 높은 펄스 출력을 구현할 수 있는 효과를 가진다.
본 개시에 따르면, 도핑물질(예: Er, Yb)의 조성 최적화에 의해 유효한 에너지 전달(energy transfer) 현상으로 인해 유도방출(stimulated emission) 되는 준 안정상태(metastable state) 에너지 준위에서의 캐리어 수명이 연장되는 효과를 가진다.
도 1은 Mg(PO3)2-BaF2-(Sr, Ca, Mg)F2계의 유리 조성 설계 도면이다.
도 2a는 Mg(PO3)2-BaF2-(Sr, Ca, Mg)F2계의 열적 특성 평가에 대한 실험결과를 보인 도면이다.
도 2b는 Mg(PO3)2-BaF2-CaF2계의 조성 변화에 따른 열적 특성 평가에 대한 실험결과를 보인 도면이다.
도 3은 (0.01, 0.03, 0.05)mol% ErF3 doped Mg(PO3)2-BaF2-CaF2계의 조성 변화에 따른 열·기계적 특성 평가에 대한 실험결과를 보인 도면이다.
도 4a는 Mg(PO3)2-BaF2-(Sr, Ca, Mg)F2계의 유리조성 설계에 따른 기계적 특성 평가에 대한 실험결과를 보인 도면이다.
도 4b는 Mg(PO3)2-BaF2-CaF2계의 조성 변화에 따른 기계적 특성 평가에 대한 실험결과를 보인 도면이다.
도 5a는 ErF3-Mg(PO3)2-BaF2-CaF2계의 조성 변화에 따른 분광학적 특성 평가에 대한 실험결과를 보인 도면이다.
도 6은 Mg(PO3)2-(50-x)BaF2-CaF2:3ErF3/xYbF3에서 4I13/2 에너지 준위의 감소커브(decay curves)와 이터븀(Yb) 농도에 따른 캐리어 수명변화에 대한 실험결과를 보인 도면이다.
도 7은 Er/Yb 시스템에서 광자의 흡수 및 방출현상을 설명하는 에너지 준위(energy level) 도면이다.
이하, 본 개시에 따른 형광 장수명 특성을 갖는 능동소자용 불소인산염계 유리의 다양한 실시형태를 첨부된 도면을 참조하여 자세히 설명한다.
본 실시형태에 따른 능동소자용 불소인산염계 유리는, Mg(PO3)2-BaF2-(Sr, Ca, Mg)F2를 기재(base material)로 하여 구성된다. 구체적으로 본 발명자들은 ErF3-YbF3-Mg(PO3)2-BaF2-CaF2로 구성되거나, 이들 조성을 기재로 하여 구성되는 불소인산염계 유리의 조성을 본 발명의 특징으로 한다.
이에 의하면, Mg(PO3)2-BaF2-CaF2계 유리의 경우, 능동소자용(예: 광섬유 레이저) 유리에 적용될 수 있는 열적· 기계적 특성 조건을 만족시키면서도, Er3 + 및 Yb3+로 구성되는 도핑물질의 조성비율(mol%)을 최적화함으로써, 형광 장수명 특성을 구현하여, 장치의 크기가 축소되더라도, 높은 펄스 출력을 구현할 수 있는 효과를 도출할 수 있게 된다.
도 1은 Mg(PO3)2-BaF2-(Sr, Ca, Mg)F2계의 유리 조성 설계 도면이다.
도 1을 참조하면, 망상조직 형성 성분(Network former, 網狀組織形成成分) 인 인산염으로 Al(PO3)3를 채용하며, 스트론튬(Sr)과 칼슘(Ca) 및 마그네슘(Mg) 각각의 불소화합물로 사용하는 불소인산염계 유리의 물질 조합에서 유리 형성 영역을 기준으로 정해진 샘플조성(sample composition)을 확인할 수 있다.
도 1에서 적색 테두리 내부에 위치되는 샘플조성이 그것이며, 샘플조성에서 각 조성물의 조성비율(mol%) 변화에 따른 열·기계적 특성 변화를 분석하여 능동소자용 유리 모재로서의 적합성을 확인하였다.
도 2a는 Mg(PO3)2-BaF2-(Sr, Ca, Mg)F2계 유리의 열적 특성 평가에 대한 실험결과를 보인 도면이며, 도 2b는 Mg(PO3)2-BaF2-CaF2계 유리의 조성 및 어븀(Er) 이온 농도 변화에 따른 열적 특성 평가에 대한 실험결과를 보인 도면이다.
잉곳(ingot) 형태로 제조된 유리 모재를 일정한 온도로 재가열 하면서 일정한 속도로 인선함으로써 광섬유를 제조하게 된다.
따라서 광섬유 생산용 유리 모재는 유리전이온도(Tg)와 피크온도(Tp)가 공정의 난이도와 수율을 결정하는 첫번째 요소가 된다.
도 2a를 참조하면, BaF2 대비 (Mg, Ca, Sr)F2 함량이 증가함에 따라 유리전이온도(Tg)와 피크온도(Tp)가 낮은 기울기를 가지며 선형 증가함을 확인할 수 있다. 즉 (Mg, Ca, Sr)F2 함량이 증가에 따른 유리전이온도(Tg)와 피크온도(Tp)의 변화가 미미한 것으로 판단된다.
따라서 Mg(PO3)2-BaF2-(Sr, Ca, Mg)F2계 유리의 경우, 그 조성 변화가 광섬유 제조시 인선 공정에서의 난이도 및 수율에 미치는 영향이 낮으므로, 그 외의 다른 특성 조절을 위한 조성 최적화가 가능한 이점을 가지게 된다.
또한, Mg(PO3)2 함량이 20mol%에서 40mol%로 증가함에 따라 즉 망상조직 형성 성분(Network former, 網狀組織形成成分)의 함량이 증가함에 따라 상대적으로 강성구조(structure of rigidity)가 증가하여 유리전이온도는 증가함을 확인할 수 있다.
이는 Mg(PO3)2 함량의 조성변화 범위는 제한이 필요함을 의미한다.
다음으로, 도 2b를 참조하면, Mg(PO3)2-BaF2-CaF2에서 sample composition 12, 13, 14, 18, 22번의 유리전이온도(Tg)와 피크온도(Tp)의 특성 변화를 확인할 수 있다.
구체적으로, Mg(PO3)2의 조성비가 일정하게 유지되는 sample composition 12, 13, 14번의 유리전이온도(Tg)와 피크온도(Tp)의 변화는 미미한 정도임을 확인할 수 있다.
그러나 Mg(PO3)2의 함량이 변화되는 sample composition 13, 18, 22번에서는 유리전이온도(Tg)와 피크온도(Tp)의 변화량이 상대적으로 매우 큰 것을 확인할 수 있다.
이는, 도 2a에서 확인된 경향성과 동일함을 확인할 수 있다.
도 3은 (1, 3, 5)mol% ErF3 doped Mg(PO3)2-BaF2-CaF2계의 조성 변화에 따른 열·기계적 특성 평가에 대한 실험결과를 보인 도면이다.
광섬유가 외부 온도에 따라 팽창하거나 수축하게 되면, 통신 시스템에서 전송 특성이 나빠짐은 물론이고, 광섬유레이저 또는 광섬유 증폭기에서는 이득 특성의 변화를 야기하게 되므로, 열팽창 계수는 작은 것이 바람직하다.
도 3에서 확인할 수 있듯이, Mg(PO3)3 몰비 함량이 같은 그래프에서 sample composition (12), (13), (14)에서 Tg, Ts 그리고 CTE의 변화는 상대적으로 Mg(PO3)3 몰비가 증가하는 (하) 그래프에서의 변화량보다 작으며, 모든 조성에서 (1, 3, 5) mol% ErF3 함량증가에 따라 타 연구논문에서 보고된 바와 같이 Tg, Ts는 증가하고 열팽창계수는 감소하는 경향을 내고 있다.
또한, Er3+ 이온 주변 ligand와 공유결합성 증가에 의한 영향력과 Mg(PO3)3 몰비가 30mol%에서 50mol%로 증가함 Network former의 함량이 증가함에 따라 상대적으로 structure of rigidity가 증가시키는 요인과 동일한 것으로 판단된다.
따라서, 도 3을 참조하면, sample composition 12, 13, 14는 sample composition 18, 22에 비해서 열팽창계수(CTE：Coefficient of Thermal Expansion)가 크지만 좁은 분포 범위를 나타내고 있으며, sample composition 18, 22는 CTE가 낮지만, 그 분포 범위가 매우 넓어서 작은 조성비의 변화에도 특성 변화가 크게 나타날 수 있다.
도 4a는 Mg(PO3)2-BaF2-(Sr, Ca, Mg)F2계의 유리 조성 설계에 따른 유리 기계적 특성 평가에 대한 실험결과를 보인 도면이며, 도 4b는 Mg(PO3)2-BaF2-CaF2계의 조성 변화에 따른 유리 기계적 특성 평가에 대한 실험결과를 보인 도면이다.
도 4a를 참조하면, Mg(PO3)2-BaF2-(Sr, Ca, Mg)F2계 유리조성 후보군에서 BaF2 대신 MgF2 함량이 증가함에 따라 Knoop경도는 성형적으로 증가하며, Mg(PO3)2함량에 따른 기계적 경도 특성을 볼 때 3부분으로 나누어 20mol% Mg(PO3)2 포함된 sample composition (7), (8), (9) 영역과 30mol% Mg(PO3)2 포함된 sample composition (12), (13), (14) 영역, 그리고 40mol% Mg(PO3)2 포함된 sample composition (17), (18) 구분할 수 있다.
또한, Mg(PO3)3-BaF2-CaF2 및 Mg(PO3)3-BaF2-SrF2 유리계에서도 knoop 경도의 경향은 동일하게 나타내며, 이는 상대적으로 Network former인 Mg(PO3)2 함량이 20mol%에서 50mol%함량까지 증가함에 따라 상대적으로 structure of rigidity가 증가하여 유리전이온도와 더불어 Knoop 경도도 증가함을 나타내는 것으로 판단된다.
또한, 도 4b를 참조하면, 왼쪽 그래프에서 보는 봐와 같이 BaF2 대신 (Mg, Ca, Sr)F2 함량이 증가함에 따른 Knoop경도 영향보다는 (1, 3, 5) mol% ErF3 첨가량에 증가함에 따른 Knoop 경도증가가 더욱 지배적으로 즉 Er3+이온 주변 ligand와 공유 결합성 증가에 의한 영향력이 큰 것으로 판단된다.
또한, 도 4b의 왼쪽그래프에서는 Mg(PO3)3 몰비가 30mol%에서 50mol%로 증가함 Network former의 함량이 증가함에 따라 상대적으로 structure of rigidity가 증가하여 유리전이온도는 증가하는 효과와 Rare earth ion이 첨가될 경우 Er3+이온 주변 ligand와 공유결합성 증가하여 상대적으로 유리전이온도는 증가시키는 요인으로 사료된다.
도 5는 ErF3- Mg(PO3)2-BaF2-CaF2계의 조성 변화에 따른 분광학적 특성 평가에 대한 실험결과를 보인 도면이다.
도 5를 참조하면 5mol% ErF3-Mg(PO3)2-BaF2-CaF2계 유리조성에서 BaF2 대신 CaF2 함량이 증가함에 따라 즉 sample composition (12)번에서 (14)번으로 갈수록 형광단면적(emission cross section)이 증가함을 알 수 있다.
또한, 5mol% ErF3-Mg(PO3)2-BaF2-CaF2계 유리조성에서 Mg(PO3)2 함량이 증가함에 즉 sample composition 13번에서 22번으로 갈수록 상대적으로 emission cross section은 감소함을 확인할 수 있다.
Emission cross section에서의 조성에 따른 경향은 absorption cross section에서의 경향과 동일하며 이는 상대적으로 펌핑 에너지를 많이 받은 조성에서 radiative transition 에너지도 상대적으로 높은 것으로 판단된다.
1532nm에서 emission cross section에서의 경향은 emission cross section spectra경향과 동일함을 나타내며 이 조성후보 가운데 13번 조성의 경우 상대적으로 radiatiove transition의 효율이 높음을 추론할 수 있다.
또한, ECS의 경우 상대적으로 증가경향은 sample composition 12<14<13 및 18<22<13순으로 나타남을 확인할 수 있다.
도 6은 Mg(PO3)2-(50-x)BaF2-CaF2:3ErF3/xYbF3에서 4I13/2 에너지 준위의 감소커브(decay curves)와 이터븀(Yb) 농도에 따른 캐리어 수명변화에 대한 실험결과를 보인 도면이다.
도 6은 Mg(PO3)2-(50-x)BaF2-CaF2:3ErF3/xYbF3의 표현으로부터 BaF2의 조성비가 50mol%인 유리조성임을 유추할 수 있으며, 도 5를 참조하면 ECS의 상대적 증가경향이 sample composition 12<14<13 및 18<22<13순으로 나타나는 점을 고려할 때, 도 6은 sample composition 13의 유리조성에 도펀트로 ErF3를 3 mol%로 고정한 상태에서 YbF3를 3,4,5,6,7,8,9 mol%로 변화시키면서 캐리어 수명변화를 측정한 것임을 알 수 있다.
따라서, 도 6에 도시된 유리의 조성은, 도 5에서 확인되는 sample composition 13의 유리조성, 30 mol%의 Mg(PO3)2, 50 mol%의 BaF2, 20 mol%의 CaF2 에서, 도펀트 ErF3와 YbF3의 조성비율 만큼 BaF2의 조성비율이 감소된 것임을 알 수 있다.
도 6을 참조하면 Er/Yb의 mol% 비율이 이 3:4가 될 때 4I13/2 에너지 준위의 캐리어 수명이 16ms로 최대가 됨을 알 수 있다.
이때 본 실시형태에 따른 형광 장수명 특성을 갖는 능동소자용 불소인산염계 유리는, 30 mol%의 Mg(PO3)2, 43 mol%의 BaF2, 20 mol%의 CaF2, 3 mol%의 ErF3 및 4 mol%의 YbF3로 구성된다.
이와 같이 Er/Yb가 함께 도핑(co-doping)된 Mg(PO3)2-(50-X)BaF2-CaF2:3ErF3/xYbF3에서 Er/Yb의 특정한 mol% 비율을 유지할 경우에 유도방출(stimulated emission) 되는 준 안정상태(metastable state) 에너지 준위에서의 캐리어 수명이 늘어나는 이유는, 어븀(Er)과 이터븀(Yb) 상호간의 에너지 전달(energy transfer) 현상과, 이터븀(Yb) 이온이 어븀(Er)이온의 비발광성 프로세스(non-radiative process) 감소시키는 역할을 하기 때문이다.
여기서 이터븀(Yb) 이온이 어븀(Er)이온의 비발광성 프로세스(non-radiative process) 감소시키는 역할을 하는 것은, 어븀(Er)이온 및 이터븀(Yb)이온의 이온 반경이 상호 유사하고 어븀(Er)과 이터븀(Yb)의 클러스터 포메이션(cluster formation) 효과 때문이다.
도 7은 Er/Yb 시스템에서 광자의 흡수 및 방출현상을 설명하는 에너지 준위(energy level) 도면이다.
도 7을 참조하면 Er/Yb가 함께 도핑(co-doping)되면 3개의 에너지 준위를 통해 동작(three level laser)함을 확인할 수 있다.
이때 이터븀(Yb)의 2F7/2 2F5/2 전이(transition)와 어븀(Er)의 4I15 / 2 4I11 /2 전이(transition) 상호간에 에너지 전이현상이 발생하며, 어븀(Er)의 4I11 / 2 4I13 / 2 로의 비발광성 전이 현상이 복합적으로 나타남으로서, 4I13 /2에서의 캐리어 수명에 영향을 미치고 있음을 알 수 있다.
이터븀(Yb)의 농도가 3mol%에서 4mol%로 증가하는 상황에서는 이터븀(Yb)의 2F7/2 2F5/2 전이(transition)와 어븀(Er)의 4I15 / 2 4I11 / 2전이(transition)가 중첩(overlap)되어 이터븀(Yb)으로부터 어븀(Er)으로의 에너지 전달(energy transfer) 현상이 증가하게 되며, 앞서 설명한 바와 같이 이터븀(Yb) 이온이 어븀(Er) 이온의 비 발광성 프로세스를 감소시키는 효과가 커지기 때문에, 4I13 / 2에너지 준위에서의 캐리어 수명이 늘어나게 된다.
반면에, 이터븀(Yb)의 농도가 4mol%이상으로 증가하게 되면, 어븀(Er)의 4I15/2 4I11/2 전이(transition)로 이터븀(Yb)의 2F7/2 2F5/ 2전이(transition)로 에너지 전달 현상이 증가하게 되어, 4I13 /2에서의 캐리어 수명이 줄어들게 된다.
즉, 도 6 내지 도 7을 참조하면, 어븀(Er)/이터븀(Yb)의 mol% 비율이 3:4일때, 이터븀(Yb)으로 부터 어븀(Er)으로의 에너지 전달(energy transfer) 현상이, 4I13 / 2에너지 준위에서의 형광 장수명에 효과적이라는 것을 확인할 수 있다.

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  4. 30mol%의 Mg(PO3)2로 구성되는 메타인산염(metaphosphate) 조성물;
    43 mol%의 BaF2 및 20mol%의 CaF2로 구성되는 불소(fluoride) 조성물; 및
    3 mol%의 ErF3 및 4 mol%의 YbF3로 구성되는 도펀트(dopant);로 구성되는 것을 특징으로 하는 형광 장수명 특성을 갖는 능동소자용 불소인산염계 유리.

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