KR101993823B1 - Pallet Moving Control System Containing Heat Sink Structure of Linear Motor - Google Patents

Pallet Moving Control System Containing Heat Sink Structure of Linear Motor Download PDF

Info

Publication number
KR101993823B1
KR101993823B1 KR1020170133981A KR20170133981A KR101993823B1 KR 101993823 B1 KR101993823 B1 KR 101993823B1 KR 1020170133981 A KR1020170133981 A KR 1020170133981A KR 20170133981 A KR20170133981 A KR 20170133981A KR 101993823 B1 KR101993823 B1 KR 101993823B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
rail
linear motor
rails
running
pallet
Prior art date
Application number
KR1020170133981A
Other languages
Korean (ko)
Other versions
KR20190042781A (en
Inventor
하재복
박석
Original Assignee
비앤에스(주)
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 비앤에스(주) filed Critical 비앤에스(주)
Priority to KR1020170133981A priority Critical patent/KR101993823B1/en
Publication of KR20190042781A publication Critical patent/KR20190042781A/en
Application granted granted Critical
Publication of KR101993823B1 publication Critical patent/KR101993823B1/en

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67706—Mechanical details, e.g. roller, belt
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
    • H01L21/67098—Apparatus for thermal treatment
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67242—Apparatus for monitoring, sorting or marking
    • H01L21/67259—Position monitoring, e.g. misposition detection or presence detection

Abstract

본 발명은 리니어모터의 방열구조를 갖는 팰릿 이송 제어시스템에 관한 것으로서, 반도체 이송 팰릿의 움직임을 구동시키는 리니어 모터가 배치되는 리니어 모터 레일 상에 방열구조를 구현하여 제품불량을 방지하면서 리니어 모터의 수명을 연장할 수 있도록 하기 위하여, 반도체 소자를 제조하기 위해 수행되는 확산, 식각, 사진 및 클리닝 공정 간의 기판이송시 리니어 모터를 이용하는 팰릿 이송시스템에 있어서, 공정 간의 기판 이송을 위한 사각 판재형상의 반도체 이송 팰릿; 상기 반도체 이송 팰릿의 주행경로를 형성하며 교차지점을 가지도록 격자 구조를 갖는 복수 개의 주행레일; 상기 반도체 이송 팰릿의 하부에 복수 개 구비되어 상기 복수 개의 주행레일을 따라 이동하는 롤러유닛; 상기 격자구조를 갖는 주행레일과 일정간격으로 이격된 채 격자구조를 가지며 형성되고 방열구조를 갖는 리니어 모터 레일; 상기 반도체 이송 팰릿의 이송을 위한 구동력을 발생시키기 위해 상기 리니어 모터 레일 상에 배치되는 복수 개의 리니어 모터; 및 상기 복수 개의 주행레일 사이에 교차하는 지점에 상기 롤러유닛의 방향전환을 위한 방향전환용 연결레일모듈;을 구비하고, 상기 리니어 모터 레일에 구현된 방열구조는, 리니어 모터 레일의 표면적을 넓히기 위하여 복수 개의 방열홈부가 상기 리니어 모터 레일의 상부에 형성될 수 있다.The present invention relates to a pallet transfer control system having a heat dissipating structure of a linear motor, and more particularly, to a pallet transfer control system having a heat dissipation structure on a linear motor rail on which a linear motor for driving the movement of a semiconductor transfer pallet is disposed, A pallet transfer system using a linear motor for transferring a substrate between diffusion, etching, photographic and cleaning processes performed to manufacture a semiconductor device, the system comprising: Pallet; A plurality of running rails having a lattice structure to form a traveling path of the semiconductor transfer pallet and having intersecting points; A roller unit provided at a lower portion of the semiconductor transfer pallet and moving along the plurality of running rails; A linear motor rail having a lattice structure spaced apart from the running rail having the lattice structure at a predetermined interval and having a heat radiating structure; A plurality of linear motors disposed on the linear motor rails to generate a driving force for transferring the semiconductor transfer pellets; And a connection rail module for changing the direction of the roller unit at a point crossing between the plurality of running rails, wherein the heat radiating structure implemented in the linear motor rails includes: A plurality of heat dissipation grooves may be formed on the linear motor rails.

Description

리니어모터의 방열구조를 갖는 팰릿 이송 제어시스템{Pallet Moving Control System Containing Heat Sink Structure of Linear Motor}BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention [0001] The present invention relates to a pallet moving control system having a heat dissipating structure of a linear motor,

본 발명은 리니어모터의 방열구조를 갖는 팰릿 이송 제어시스템에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는, 반도체(또는 FPD) 이송 팰릿의 움직임을 구동시키는 리니어 모터가 배치되는 리니어 모터 레일 상에 방열구조를 구현하여 리니어 모터의 수명을 연장할 수 있으며, 반도체 이송 팰릿의 롤러유닛이 이동하는 연결레일과 주행레일 사이의 간극을 최소화하여 이송방향 전환시 충격 및 진동을 방지함으로써 주행능력을 향상시킬 수 있는 리니어모터의 방열구조를 갖는 팰릿 이송 제어시스템에 관한 것이다.The present invention relates to a pallet transfer control system having a heat radiating structure of a linear motor, and more particularly, to a pallet transfer control system having a heat radiating structure on a linear motor rail on which a linear motor for driving the movement of a semiconductor (or FPD) A linear motor which can extend the service life of the linear motor and can improve the running ability by minimizing the gap between the connecting rail and the running rail on which the roller unit of the semiconductor transfer pallet moves, To a pallet transfer control system having a heat dissipating structure.

일반적으로 반도체 소자(또는 FPD)를 제조하기 위해서는 확산, 식각, 사진 및 클리닝 공정 등을 수행하게 된다. 이러한 각각의 공정들은 이송 공정과 연계되며, 각 공정이 완료된 후에 다음 공정으로 이송되어야 한다.Generally, diffusion, etching, photolithography and cleaning processes are performed to fabricate semiconductor devices (or FPDs). Each of these processes is associated with the transfer process and must be transferred to the next process after each process is completed.

종래의 롤러식 기판 이송장치는, 복수 개의 샤프트(shaft)와 샤프트 각각에 복수 개의 롤러(roller)들이 균등한 간격으로 고정 설치되어 기판을 이송하며, 기판 이송의 방향 전환을 위한 디버팅(diverting) 유닛 등을 구비하여 기판을 이송한다. 샤프트는 모터 등과 같은 동력 발생 장치로부터 동력을 전달받아서 회전되며, 이를 통해 롤러를 회전시킨다. 롤러들은 기판의 하부면과 직접 접촉하여 기판을 지지하고, 샤프트의 회전력을 전달받아 회전됨으로써 기판을 이송한다.A conventional roller-type substrate transfer apparatus includes a plurality of rollers mounted on a plurality of shafts and shafts at equal intervals so as to transfer the substrate, and a diverting unit for transferring the substrate, Unit, and the like. The shaft is rotated by receiving power from a power generating device such as a motor, thereby rotating the roller. The rollers support the substrate by directly contacting the lower surface of the substrate, and transfer the substrate by being rotated by receiving the rotational force of the shaft.

그러나, 이러한 종래의 디버팅 유닛은 외부로부터 기판을 로딩, 수직/수평이동 및 방향을 전환시키기 위해, 서로 다른 크기를 가지는 복수의 롤러나 복수의 이송 프레임, 복수의 리프트 핀, 복수의 구동부 등을 구비하게 된다. 따라서, 그 구조와 구동방법이 매우 복잡하고 기판을 이송시키는 시간이 많이 소요되는 단점이 있었다.However, such a conventional diverting unit requires a plurality of rollers, a plurality of transfer frames, a plurality of lift pins, a plurality of driving units, and the like having different sizes in order to load the substrate, . Therefore, there is a disadvantage that the structure and the driving method are very complicated and a long time is required to transport the substrate.

최근 들어, 이러한 문제점을 해결하기 위하여 복수 개의 주행레일을 격자구조로 배치하고 기판 하부에 롤러를 설치하여 상기 주행레일을 따라 기판을 이동시키는 기술이 제안되고 있다.In recent years, in order to solve such a problem, a technique has been proposed in which a plurality of running rails are arranged in a lattice structure and rollers are installed under the substrate to move the substrate along the running rails.

그러나, 이와 같이 복수 개의 주행레일을 격자구조로 배치하여 롤러를 주행레일상에 진행하는 경우에는 주행레일과 이송방향을 전환하기 위하여 회전시키는 연결레일 간에 간격이 발생하여 이송방향 전환시 충격과 진동이 발생하여 주행성능이 떨어질 뿐만 아니라 연결레일과 주행레일 사이의 접촉 지점에 하자가 발생하여 제품수명이 저하되는 문제점이 있었다.However, when the plurality of running rails are arranged in a lattice structure and the rollers are moved on the running rail, there is a gap between the running rails and the connecting rails rotating to switch the conveying direction, Resulting in deterioration of the running performance and a problem in that the contact point between the connecting rail and the running rail is defective and the life of the product is deteriorated.

뿐만 아니라, 종래기술에 따른 주행레일을 이용하여 기판을 이송하는 이송시스템의 경우에 공정간에 연속적으로 기판 이송시에 충돌이 발생하거나 이를 피하기 위하여 공정과정을 중지하는 경우가 빈번하게 발생하여 생산성이 저하되는 문제점이 있었다.In addition, in the case of a transfer system for transferring a substrate using a running rail according to the related art, a collision occurs when the substrate is continuously transferred between the processes, or the process is interrupted to avoid it, .

또한, 이를 해결 하기 위하여 충돌방지 및 연속주행 기능을 갖는 구동장치를 구현하는 경우에 구동장치가 배치되는 레일상에 열이 발생하여 구동장치의 제품불량과 수명저하를 야기하는 문제점이 있었다.In order to solve this problem, there is a problem in that when a driving apparatus having a crash prevention and continuous driving function is implemented, heat is generated on a rail on which a driving apparatus is disposed, thereby causing defective product and life of the driving apparatus.

따라서, 공정 간의 기판 이송시 방향전환을 가능하게 하여 주행능력을 향상시킬 수 있으면서도 기판 이송시 충돌 방지 및 연속주행이 가능하게 하고 방열기능을 추가 할 수 있는 현실적이면서 적용 가능한 기술의 개발이 절실한 실정이다.Therefore, it is urgent to develop a practical and applicable technology capable of preventing the collision and continuously running while transferring the substrate, and adding a heat dissipation function, while improving the running ability by making it possible to change the direction at the time of transferring the substrate between the processes .

한국등록특허공보 제10-0661907호(공고일자 2006년 12월 28일)Korean Registered Patent No. 10-0661907 (Published on Dec. 28, 2006) 한국등록특허공보 제10-0834734호(공고일자 2008년 06월 05일)Korean Patent Registration No. 10-0834734 (Publication Date June 05, 2008) 한국등록특허공보 제10-1427595호(공고일자 2014년 08월 08일)Korean Registered Patent No. 10-1427595 (Publication date August 08, 2014) 한국공개특허공보 제10-2010-81153호(공개일자 2010년 07월 14일)Korean Patent Publication No. 10-2010-81153 (published on July 14, 2010) 한국등록특허공보 제10-1367669호(공고일자 2014년 03월 03일)Korean Registered Patent No. 10-1367669 (Published March 03, 2014)

본 발명은 상기 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 본 발명은, 반도체 이송 팰릿의 움직임을 구동시키는 리니어 모터가 배치되는 리니어 모터 레일 상에 방열구조를 구현하여 리니어 모터의 수명을 연장할 수 있으며, 반도체 이송 팰릿의 롤러유닛이 이동하는 연결레일과 주행레일 사이의 간극을 최소화하여 이송방향 전환시 충격 및 진동을 방지함으로써 주행능력을 향상시킬 수 있는 리니어모터의 방열구조를 갖는 팰릿 이송 제어시스템을 제공하는데 있다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention is conceived to solve the problems described above, and it is an object of the present invention to provide a heat radiating structure on a linear motor rail on which a linear motor for driving the movement of a semiconductor transfer pallet is disposed, There is provided a pellet feed control system having a heat dissipating structure of a linear motor that minimizes a gap between a connecting rail on which a roller unit of a semiconductor feeding pallet moves and a running rail, thereby improving driving ability by preventing impact and vibration when the feeding direction is changed .

본 발명의 실시예에 따른 리니어모터의 방열구조를 갖는 팰릿 이송 제어시스템은, 반도체 소자(또는 FPD))를 제조하기 위해 수행되는 확산, 식각, 사진 및 클리닝 공정 간의 기판이송시 리니어 모터를 이용하는 팰릿 이송시스템에 있어서, 공정 간의 기판 이송을 위한 사각 판재형상의 반도체 이송 팰릿; 상기 반도체 이송 팰릿의 주행경로를 형성하며 교차지점을 가지도록 격자 구조를 갖는 복수 개의 주행레일; 상기 반도체 이송 팰릿의 하부에 복수 개 구비되어 상기 복수 개의 주행레일을 따라 이동하는 롤러유닛; 상기 격자구조를 갖는 주행레일과 일정간격으로 이격된 채 격자구조를 가지며 형성되고 방열구조를 갖는 리니어 모터 레일; 상기 반도체 이송 팰릿의 이송을 위한 구동력을 발생시키기 위해 상기 리니어 모터 레일 상에 배치되는 복수 개의 리니어 모터; 및 상기 복수 개의 주행레일 사이에 교차하는 지점에 상기 롤러유닛의 방향을 전환하기 위한 방향전환용 연결레일모듈;을 구비하고, 상기 리니어 모터 레일에 구현된 방열구조는, 리니어 모터 레일의 표면적을 넓히기 위하여 복수 개의 방열홈부가 상기 리니어 모터 레일의 상부에 형성될 수 있다.A pallet transfer control system having a heat dissipation structure of a linear motor according to an embodiment of the present invention is a pallet transfer control system having a heat dissipation structure of a linear motor according to an embodiment of the present invention, A transfer system comprising: a semiconductor transfer pellet in the form of a rectangular plate for transferring a substrate between processes; A plurality of running rails having a lattice structure to form a traveling path of the semiconductor transfer pallet and having intersecting points; A roller unit provided at a lower portion of the semiconductor transfer pallet and moving along the plurality of running rails; A linear motor rail having a lattice structure spaced apart from the running rail having the lattice structure at a predetermined interval and having a heat radiating structure; A plurality of linear motors disposed on the linear motor rails to generate a driving force for transferring the semiconductor transfer pellets; And a connection rail module for switching the direction of the roller unit at a point crossing between the plurality of running rails, wherein the heat radiating structure implemented in the linear motor rails is configured to increase the surface area of the linear motor rails A plurality of heat dissipation grooves may be formed on the linear motor rails.

상기 복수 개의 방열홈부는, 인접하는 방열홈부가 상호 간에 서로 일정간격으로 이격되어 상기 리니어 모터와 접촉하는 부위의 열을 주변에 배치된 방열홈부로 일정한 열전도율로 전달할 수 있다.The plurality of heat dissipating recesses may be spaced apart from each other by a predetermined distance between adjacent heat dissipating recesses and may transmit heat in a portion where the heat dissipating recesses are in contact with the linear motor to a heat dissipation recess disposed in the periphery at a constant thermal conductivity.

상기 복수 개의 리니어 모터는 각각, 상기 반도체 이송 팰릿에 장착되는 리액션부재와 반응하기 위한 리니어 모터 코일; 및 상기 위치감지용 홀센서를 이용하여 인접한 반도체 이송 팰릿 간의 충격을 방지하기 위하여 전후방에 쌍으로 배치되는 충격방지기판;을 더 구비할 수 있다.The plurality of linear motors each include a linear motor coil for reacting with a reaction member mounted on the semiconductor transfer pallet; And an anti-shock substrate arranged in pairs in front and rear to prevent an impact between adjacent semiconductor transfer pallets using the position sensing hall sensor.

상기 방향전환용 연결레일모듈은, 상기 복수 개의 주행레일 사이에 교차하는 지점에서 다른 방향에 배치되는 주행레일을 선택적으로 연결시키기 위하여 회전 가능하게 설치되는 연결레일과; 상기 연결레일을 이송시스템의 프레임에 고정시키며 상기 연결레일의 회전동작을 지지하는 연결레일 고정부와; 상기 연결레일을 회전시키기 위한 구동력을 제공하기 위하여 상기 연결레일의 하측으로 배치되는 회전구동부; 및 상기 연결레일 고정부의 상측에서 상기 연결레일의 회전반경을 둘러싸는 구조를 가지며 상기 복수 개의 주행레일과 각각 인접하는 위치에 형성되어 상기 연결레일과 상기 주행레일 사이에 형성되는 간격을 조절할 수 있는 복수 개의 보조레일;을 포함하고, 상기 보조레일은, 이송방향 변환시 상기 연결레일이 상기 복수 개의 주행레일과 인접하게 배치될 수 있으며 중심점을 기준으로 90도의 사이각을 갖는 네 개의 지점에 형성될 수 있다.Wherein the directional connection connection rail module includes: a connection rail rotatably installed to selectively connect a running rail disposed in a different direction at a point crossing the plurality of running rails; A connecting rail fixing part fixing the connecting rail to a frame of the conveying system and supporting the turning operation of the connecting rail; A rotation driving unit disposed below the connection rail to provide a driving force for rotating the connection rail; And a plurality of guide rails formed at positions adjacent to the plurality of running rails and having a structure that surrounds the turning radius of the connecting rails at an upper side of the connecting rail fixing portions, The auxiliary rail may be disposed adjacent to the plurality of running rails in the conveying direction conversion and may be formed at four points having an angle of 90 degrees with respect to the center point, have.

상기 연결레일 고정부는, 연결레일; 상기 연결레일과 상기 복수 개의 주행레일 사이에 배치되는 네 개의 보조레일을 일체형으로 지지할 수 있는 보조레일프레임; 롤러유닛을 구성하는 복수 개의 하우징격벽 하단에 형성되는 가이드휠을 수용하기 위하여 상기 연결레일의 길이방향 외측 측면으로 형성하는 가이드휠 수용홈; 및 상기 롤러유닛을 구성하는 주행롤러가 연결레일로부터 이탈되는 것을 방지하기 위하여 상기 연결레일의 외측으로 일정간격 이격되게 주행롤러 이탈방지 걸림턱;을 구비할 수 있다.The connecting rail fixing part includes: a connecting rail; An auxiliary rail frame integrally supporting four auxiliary rails disposed between the connecting rail and the plurality of running rails; A guide wheel receiving groove formed at a longitudinal outer side surface of the connecting rail to receive a guide wheel formed at a lower end of a plurality of housing partitions constituting the roller unit; And a driving roller separation preventing jaw that is spaced apart from the connection rail by a predetermined distance to prevent the driving roller constituting the roller unit from being separated from the connection rail.

상기 회전구동부는, 상기 연결레일고정부를 관통하여 상기 연결레일의 하측 중심부에 결합되는 연결레일 회전샤프트와; 상기 연결레일고정부의 내측에서 상기 연결레일 회전샤프트의 회전동작을 지지하는 회전베어링 하우징과; 상기 연결레일 회전샤프트에 회전토크를 전달하는 구동모터; 및 상기 구동모터의 구동축과 상기 연결레일 회전샤프트를 결합하는 커플링부;를 구비할 수 있다.The rotation driving unit includes: a connection rail rotation shaft penetrating through the connection rail fixing portion and coupled to a lower central portion of the connection rail; A rotating bearing housing for supporting a rotating operation of the connecting rail rotating shaft inside the connecting rail fixing portion; A driving motor for transmitting rotational torque to the connecting rail rotating shaft; And a coupling portion coupling the drive shaft of the drive motor and the connection rail rotation shaft.

상기 롤러유닛은, 상기 반도체 이송 팰릿을 구성하는 베이스 하부에 결합 고정되는 원형의 유닛고정부; 상기 원형의 유닛고정부와 회전축으로 결합되어 베이스의 수평면에 대해 평행한 방향으로 회전 가능하게 설치되며 하측으로 아치 형상의 수용공간을 형성하는 롤러하우징부; 상기 롤러하우징부의 수용공간에 배치되고 상기 베이스의 수평면에 대해 수직방향으로 회전 가능하게 설치되어 상기 주행레일의 상부면을 따라 이동하는 주행롤러; 및 상기 아치 형상을 갖는 롤러하우징부의 양측면 하단에 회전축으로 결합되어 상기 주행레일의 측면을 따라 이동하는 복수 개의 가이드휠;을 구비할 수 있다.Wherein the roller unit comprises: a circular unit fixing portion which is fixedly coupled to a lower portion of a base constituting the semiconductor transfer pellet; A roller housing part coupled to the circular unit fixing part by a rotation shaft so as to be rotatable in a direction parallel to the horizontal plane of the base and forming an arcuate accommodation space downward; A traveling roller disposed in the receiving space of the roller housing part and installed to be rotatable in a direction perpendicular to the horizontal plane of the base and to move along an upper surface of the traveling rail; And a plurality of guide wheels coupled to the lower ends of both side surfaces of the roller housing part having the arch shape by a rotation axis and moving along side surfaces of the running rail.

상기 롤러유닛을 구성하는 롤러하우징부는, 상기 원형의 유닛고정부 하부에 결합되며 상기 유닛고정부에 비해 상대적으로 작은 크기를 갖는 원형의 하우징헤드와; 상기 하우징헤드를 상기 원형의 유닛고정부 하부에 동일한 중심을 가지도록 결합시키며 상기 하우징헤드의 회전을 지지하는 하우징회전축; 상기 하우징헤드의 양측 가장자리에서 하부 수직방향으로 배치되어 상기 아치 형상의 수용공간을 형성하는 복수 개의 하우징격벽; 상기 주행롤러를 상기 복수 개의 하우징격벽 사이에서 회전 가능하도록 양단이 상기 복수 개의 하우징격벽에 결합되는 주행롤러회전축; 및 상기 복수 개의 하우징격벽 하단면에 상기 복수 개의 가이드휠을 회전 가능하게 결합시키는 가이드휠회전축;을 구비할 수 있다.Wherein the roller housing unit constituting the roller unit includes: a circular housing head coupled to a lower portion of the unit fixing portion and having a relatively small size as compared with the unit fixing portion; A housing rotation shaft for coupling the housing head with the center of the unit holding part of the circular shape and supporting the rotation of the housing head; A plurality of housing partitions arranged in the lower vertical direction from both side edges of the housing head to form the arcuate housing space; A traveling roller rotating shaft having both ends thereof coupled to the plurality of housing partitions so as to be rotatable between the plurality of housing partitions; And a guide wheel rotating shaft rotatably coupling the plurality of guide wheels to the lower end surfaces of the plurality of housing partitions.

상기 롤러유닛은, 상기 원형의 유닛고정부 일측 가장자리 끝단에서 하부 수직방향으로 일자형 바(bar) 형상으로 형성되는 전방가이드바;를 더 구비하고, 상기 주행레일은, 상기 롤러유닛의 전방가이드바가 삽입되어 주행경로를 안내하기 위한 가이드홈이 길이방향으로 연속되어 형성될 수 있다.Wherein the roller unit further comprises a front guide bar formed in a bar-like shape in a lower vertical direction from one end edge of the circular unit fixing part, And guide grooves for guiding the traveling path may be formed continuously in the longitudinal direction.

상기 전방가이드바는, 상기 롤러유닛의 주행방향 전방에 배치되고, 하측으로 상기 주행레일의 가이드홈 내측면 양측벽에 형성되는 보조가이드홈에 삽입되어 주행 중 이탈을 방지하는 복수 개의 보조가이드를 구비할 수 있다.The front guide bar is disposed in front of the roller unit in the running direction and inserted into an auxiliary guide groove formed on both side walls of the guide rail on the lower side of the guide rail, can do.

이상에서 설명한 바와 같이, 본 발명은, 반도체 이송 팰릿의 움직임을 구동시키는 리니어 모터가 배치되는 리니어 모터 레일 상에 방열구조를 구현하여 제품불량을 방지하면서 리니어 모터의 수명을 연장할 수 있는 효과가 있다.INDUSTRIAL APPLICABILITY As described above, the present invention has the effect of extending the lifetime of a linear motor while preventing a product failure by implementing a heat dissipation structure on a linear motor rail on which a linear motor for driving the movement of the semiconductor transfer pallet is disposed .

또한, 본 발명은, 반도체 이송 팰릿의 움직임을 구동시키는 리니어 모터 구동부에 상기 반도체 이송 팰릿의 위치를 감지하는 위치감지용 센서와 충돌방지용 센서를 홀센서로 구현하여 충돌방지 및 연속주행 기능을 제공할 수 있을 뿐만 아니라 주행레일에 대한 이송경로를 전환시킬 수 있으면서 연결레일과 주행레일 사이의 간극을 최소화하여 이송방향 전환시 충격 및 진동을 방지함으로써 주행능력을 향상시킬 수 있는 효과가 있다.In addition, the present invention provides a collision avoidance and continuous driving function by implementing a position sensing sensor for detecting the position of the semiconductor transfer pallet and a collision preventing sensor as a hall sensor in a linear motor driving unit for driving the movement of the semiconductor transfer pallet So that it is possible to reduce the gap between the connecting rail and the running rail, thereby preventing shock and vibration when the moving direction is changed, thereby improving the driving ability.

또한, 본 발명은, 반도체 이송 팰릿의 주행레일에 대한 이송경로를 전환시킬 수 있으면서 연결레일과 주행레일 사이의 간극을 최소화하여 이송방향 전환시 충격 및 진동을 방지함으로써 주행능력을 향상시킬 수 있는 보조레일을 구비한 방향전환용 연결레일모듈을 제공하는 효과가 있다.It is another object of the present invention to provide a semiconductor transfer pallet capable of switching a conveying path to a running rail while minimizing a gap between a connecting rail and a running rail to prevent shock and vibration when the conveying direction is changed, There is an effect of providing a connecting-rail module for changing direction with a rail.

또한, 본 발명은, 주행레일의 교차하는 지점에 방향전환용 연결레일모듈을 형성하여 공정 간의 기판 이송 시에 반도체 이송 팰릿의 방향전환을 용이하게 할 수 있기 때문에 작업 생산성이 향상되는 효과가 있다.In addition, the present invention has an effect of improving work productivity because a direction changing connection rail module is formed at a crossing point of a running rail to facilitate switching of a direction of a semiconductor transfer pellet when a substrate is transferred between processes.

또한, 본 발명은, 방향전환용 연결레일모듈을 구성하는 연결레일고정부의 상측으로 상기 연결레일의 회전반경을 둘러싸는 원주상에서 격자구조의 주행레일과 마주하는 위치에 복수 개의 보조레일을 장착함으로써 연결레일과 주행레일 사이의 간극을 최소화할 수 있는 효과가 있다.Further, the present invention is characterized in that a plurality of auxiliary rails are mounted on the upper side of the connecting rail fixing portion constituting the direction changing connection rail module at a position facing the running rail of the lattice structure on the circumference surrounding the turning radius of the connecting rail The gap between the connecting rail and the running rail can be minimized.

또한, 본 발명은, 반도체 이송 팰릿의 하부에 설치되는 롤러유닛에 주행레일에 형성된 가이드홈에 삽입되는 전방 가이드바를 장착하여 주행 중 롤러유닛의 이탈을 방지하고 주행성능을 향상시킬 수 있는 효과가 있다.In addition, the present invention has an effect that a front guide bar inserted in a guide groove formed in a running rail is mounted on a roller unit provided below the semiconductor transfer pallet to prevent the roller unit from moving during the running and improve the running performance .

또한, 본 발명은, 주행레일을 따라 이동하기 위하여 반도체 이송 팰릿의 하부에 설치되는 롤러유닛에 주행롤러와 가이드휠을 동시에 장착하여 주행능력을 향상시키고 주행 도중에 이탈을 방지할 수 있는 효과가 있다.In addition, the present invention has the effect of enhancing the traveling ability and preventing the departing of the traveling vehicle during traveling by mounting the traveling roller and the guide wheel on the roller unit provided at the lower part of the semiconductor transportation pallet for moving along the traveling rail.

또한, 본 발명은, 장시간 사용시에 주행레일의 측면에 생성되는 이물질을 주행레일의 측면에 접촉하는 가이드휠을 이용하여 제거할 수 있기 때문에 주행레일의 유지보수에 소요되는 비용을 절감할 수 있을 뿐만 아니라 수명을 연장할 수 있는 효과가 있다.In addition, since the present invention can remove foreign matter generated on the side surface of the running rail by using a guide wheel that contacts the side surface of the running rail at the time of using for a long time, it can reduce the maintenance cost of the running rail But it has the effect of extending the life span.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 리니어 모터의 방열구조를 갖는 팰릿 이송 제어시스템의 개략적인 구성을 나타내는 도면이다.
도 2는 도 1에 도시된 리니어 모터를 설명하기 위한 도면이다.
도 3은 도 2에 도시된 리니어 모터가 배치되는 리니어 모터 레일을 설명하기 위한 도면이다.
도 4 내지 도 5는 본 발명의 실시예에 따른 팰릿 이송 제어시스템을 추가설명하기 위한 도면이다.
도 6 내지 도 8은 본 발명의 실시예에 따른 방향전환용 연결레일모듈을 설명하기 위한 도면이다.
도 9는 본 발명의 실시예에 따른 팰릿이송시스템에서 방향전환용 연결레일모듈의 방향전환과정을 설명하기 위한 도면이다.
도 10 내지 도 11은 본 발명의 실시예에 사용된 롤러유닛의 구성을 개략적으로 나타내는 도면이다.
도 12는 본 발명의 실시예에 사용된 롤러 유닛을 이용한 팰릿 이송 시스템과 주행레일을 설명하기 위한 도면이다.1 is a view showing a schematic configuration of a pallet conveyance control system having a heat radiating structure of a linear motor according to an embodiment of the present invention.
Fig. 2 is a view for explaining the linear motor shown in Fig. 1. Fig.
3 is a view for explaining a linear motor rail in which the linear motor shown in Fig. 2 is disposed.
4 to 5 are views for further illustrating a pallet transport control system according to an embodiment of the present invention.
6 to 8 are views for explaining a connection rail module for direction switching according to an embodiment of the present invention.
9 is a view for explaining a process of changing the direction of a connection rail module for redirecting in the pallet transport system according to the embodiment of the present invention.
10 to 11 are views schematically showing the configuration of the roller unit used in the embodiment of the present invention.
12 is a view for explaining a pallet transport system and a running rail using the roller unit used in the embodiment of the present invention.

본 발명에 관한 설명은 구조적 내지 기능적 설명을 위한 실시예에 불과하므로, 본 발명의 권리범위는 본문에 설명된 실시예에 의하여 제한되는 것으로 해석되어서는 아니 된다. 즉, 실시예는 다양한 변경이 가능하고 여러 가지 형태를 가질 수 있으므로 본 발명의 권리범위는 기술적 사상을 실현할 수 있는 균등물들을 포함하는 것으로 이해되어야 한다.The description of the present invention is merely an example for structural or functional explanation, and the scope of the present invention should not be construed as being limited by the embodiments described in the text. That is, the embodiments are to be construed as being variously embodied and having various forms, so that the scope of the present invention should be understood to include equivalents capable of realizing technical ideas.

한편, 본 발명에서 서술되는 용어의 의미는 다음과 같이 이해되어야 할 것이다.Meanwhile, the meaning of the terms described in the present invention should be understood as follows.

"제1", "제2" 등의 용어는 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하기 위한 것으로, 이들 용어들에 의해 권리범위가 한정되어서는 아니 된다. 예를 들어, 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소도 제1 구성요소로 명명될 수 있다.The terms "first "," second ", and the like are intended to distinguish one element from another, and the scope of the right should not be limited by these terms. For example, the first component may be referred to as a second component, and similarly, the second component may also be referred to as a first component.

어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "연결되어" 있다고 언급된 때에는, 그 다른 구성요소에 직접적으로 연결될 수도 있지만, 중간에 다른 구성요소가 존재할 수도 있다고 이해되어야 할 것이다. 반면에, 어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "직접 연결되어" 있다고 언급된 때에는 중간에 다른 구성요소가 존재하지 않는 것으로 이해되어야 할 것이다. 한편, 구성요소들 간의 관계를 설명하는 다른 표현들, 즉 "~사이에"와 "바로 ~사이에" 또는 "~에 이웃하는"과 "~에 직접 이웃하는" 등도 마찬가지로 해석되어야 한다.It is to be understood that when an element is referred to as being "connected" to another element, it may be directly connected to the other element, but there may be other elements in between. On the other hand, when an element is referred to as being "directly connected" to another element, it should be understood that there are no other elements in between. On the other hand, other expressions that describe the relationship between components, such as "between" and "between" or "neighboring to" and "directly adjacent to" should be interpreted as well.

단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한 복수의 표현을 포함하는 것으로 이해되어야 하고, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 실시된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이며, 하나 또는 그 이상의 다른 특징이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.It is to be understood that the singular " include " or "have" are to be construed as including the stated feature, number, step, operation, It is to be understood that the combination is intended to specify that it does not preclude the presence or addition of one or more other features, integers, steps, operations, elements, components, or combinations thereof.

각 단계들에 있어 식별부호(예를 들어, a, b, c 등)는 설명의 편의를 위하여 사용되는 것으로 식별부호는 각 단계들의 순서를 설명하는 것이 아니며, 각 단계들은 문맥상 명백하게 특정 순서를 기재하지 않는 이상 명기된 순서와 다르게 일어날 수 있다. 즉, 각 단계들은 명기된 순서와 동일하게 일어날 수도 있고 실질적으로 동시에 수행될 수도 있으며 반대의 순서대로 수행될 수도 있다.In each step, the identification code (e.g., a, b, c, etc.) is used for convenience of explanation, the identification code does not describe the order of each step, Unless otherwise stated, it may occur differently from the stated order. That is, each step may occur in the same order as described, may be performed substantially concurrently, or may be performed in reverse order.

여기서 사용되는 모든 용어들은 다르게 정의되지 않는 한, 본 발명이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가진다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 용어들은 관련 기술의 문맥상 가지는 의미와 일치하는 것으로 해석되어야 하며, 본 발명에서 명백하게 정의하지 않는 한 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미를 지니는 것으로 해석될 수 없다.All terms used herein have the same meaning as commonly understood by one of ordinary skill in the art to which this invention belongs, unless otherwise defined. Commonly used predefined terms should be interpreted to be consistent with the meanings in the context of the related art and can not be interpreted as having ideal or overly formal meaning unless explicitly defined in the present invention.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들을 설명하기로 한다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 방열구조를 갖는 팰릿 이송 제어시스템의 개략적인 구성을 나타내는 도면이고, 도 2는 도 1에 도시된 리니어 모터를 설명하기 위한 도면이고, 도 3은 도 2에 도시된 리니어 모터가 배치되는 리니어 모터 레일을 설명하기 위한 도면이다.Fig. 1 is a view showing a schematic configuration of a pallet transfer control system having a heat radiating structure according to an embodiment of the present invention, Fig. 2 is a view for explaining a linear motor shown in Fig. 1, 1 is a view for explaining a linear motor rail in which the illustrated linear motor is disposed.

도면에 도시된 바와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 팰릿 이송 제어시스템은, 반도체 소자를 제조하기 위해 수행되는 확산, 식각, 사진 및 클리닝 공정 간의 기판 이송시에 리니어모터를 이용하는 팰릿 이송시스템에 관한 발명으로서, 반도체 이송 팰릿(10), 주행레일(20), 롤러유닛(100), 리니어 모터 레일(40), 리니어 모터(30) 및 방향전환용 연결레일모듈(200)을 구비할 수 있다.As shown in the drawings, the pallet transport control system according to the embodiment of the present invention is applicable to a pallet transport system using a linear motor for transporting a substrate between diffusion, etching, photographic and cleaning processes performed for manufacturing semiconductor devices A linear motor rail 40, a linear motor 30, and a connection-connection rail module 200 for changing directions can be provided as the semiconductor transfer pellet 10, the running rail 20, the roller unit 100, the linear motor rail 40,

보다 상세하게는, 상기 반도체 이송 팰릿(10)은, 공정 간의 기판 이송을 위한 사각 판재형상으로 형성될 수 있다.More specifically, the semiconductor transfer pellet 10 may be formed in a rectangular plate shape for transferring substrates between processes.

상기 주행레일(20)은, 상기 반도체 이송 팰릿(10)의 주행경로를 형성하며 교차지점을 가지도록 격자 구조로서, 복수 개 형성될 수 있다.The traveling rail 20 forms a traveling path of the semiconductor transfer pallet 10 and may have a plurality of lattice structures so as to have intersection points.

또한, 상기 롤러유닛(100)은, 상기 반도체 이송 팰릿(10)의 하부에 복수 개 구비되어 상기 복수 개의 주행레일(20)을 따라 이동할 수 있다.The roller unit 100 may be provided at a lower portion of the semiconductor transfer pallet 10 so as to move along the plurality of running rails 20.

또한, 상기 리니어 모터 레일(40)은, 상기 격자구조를 갖는 주행레일(20)과 일정간격으로 이격된 채 격자구조를 가지며 방열구조로 형성될 수 있으며, 이때, 상기 리니어 모터 레일(40)에 구현된 방열구조는, 리니어 모터 레일(40)의 표면적을 넓히기 위하여 복수 개의 방열홈부(40a)가 상기 리니어 모터 레일(40)의 상부에 형성될 수 있다.The linear motor rails 40 may have a lattice structure spaced apart from the running rails 20 having the lattice structure at regular intervals and may be formed in a heat radiating structure. A plurality of heat dissipation trenches 40a may be formed on the linear motor rails 40 to widen the surface area of the linear motor rails 40. [

또한, 상기 복수 개의 방열홈부(40a)는, 인접하는 방열홈부(40a)가 상호 간에 서로 일정간격으로 이격되어 상기 리니어 모터(30)와 접촉하는 부위의 열을 주변에 배치된 방열홈부(40a)로 일정한 열전도율로 전달할 수 있다.The plurality of heat dissipation trenches 40a may be formed by arranging adjacent rows of heat dissipation trenches 40a spaced apart from each other by a predetermined distance and contacting the linear motor 30 with the heat dissipation trench 40a, Can be transmitted with a constant thermal conductivity.

또한, 상기 리니어 모터(30)는, 상기 반도체 이송 팰릿(10)의 이송을 위한 구동력을 발생시키기 위해 상기 리니어 모터 레일(40) 상에 배치되는 복수 개 형성될 수 있다.A plurality of linear motors 30 may be disposed on the linear motor rails 40 to generate a driving force for conveying the semiconductor transfer pellets 10.

여기서, 상기 복수 개의 리니어 모터(30)는 각각, 상기 반도체 이송 팰릿(10)에 장착되는 리액션부재와 반응하기 위한 리니어 모터 코일(31); 및 상기 위치감지용 홀센서를 이용하여 인접한 반도체 이송 팰릿(10)간의 충격을 방지하기 위하여 전후방에 쌍으로 배치되는 충격방지기판(32,33);을 더 구비할 수 있다.Here, the plurality of linear motors (30) each include a linear motor coil (31) for reacting with a reaction member mounted on the semiconductor transfer pallet (10); And anti-shock boards (32, 33) arranged in pairs in front and rear to prevent impact between adjacent semiconductor transfer pellets (10) using the position sensing hall sensor.

또한, 상기 방향전환용 연결레일모듈(200)은, 상기 복수 개의 주행레일(20) 사이에 교차하는 지점에 상기 롤러유닛(100)의 방향전환을 위하여 형성될 수 있다.The direction changing connection rail module 200 may be formed to switch the direction of the roller unit 100 at a point crossing the plurality of running rails 20.

한편, 본 발명의 실시예에 따르면, 상기 반도체 이송 팰릿(10)의 위치를 감지하기 위한 위치감지용 홀센서가 상기 복수 개의 리니어 모터(30) 및 리니어 모터 레일(40) 중 어느 하나 이상에 형성될 수 있다.According to an embodiment of the present invention, a position sensing hole sensor for sensing the position of the semiconductor transfer pellet 10 is formed on at least one of the plurality of linear motors 30 and linear motor rails 40 .

도 4 내지 도 5는 본 발명의 실시예에 따른 팰릿 이송 제어시스템을 추가설명하기 위한 도면이다.4 to 5 are views for further illustrating a pallet transport control system according to an embodiment of the present invention.

도면에 도시된 바와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 팰릿 이송 제어시스템은, 반도체 이송 팰릿(10)의 이송을 위한 구동력을 발생시키기 위한 복수 개의 리니어 모터(30)가 구비되며, 상기 리니어 모터(30)와 같은 방향으로 배치되는 복수 개의 위치센서(41a, 41b)가 리니어 모터(30) 및 리니어 모터 레일(40)에 구비될 수 있다.As shown in the drawing, the pallet transport control system according to the embodiment of the present invention is provided with a plurality of linear motors 30 for generating a driving force for transporting the semiconductor transport pallets 10, A plurality of position sensors 41a and 41b disposed in the same direction as the linear motors 30 and 30 may be provided in the linear motor 30 and the linear motor rail 40. [

이때, 상기 리니어 모터(30)는, 본 발명의 실시예에서는, 선형 동기식 전동기(Linear Synchronous Motor ; LSM)로서, 다른 예로는 선형 유도 전동기도 사용될 수 있다.At this time, the linear motor 30 may be a linear synchronous motor (LSM) in the embodiment of the present invention, and another linear induction motor may be used as another example.

본 발명의 실시예에서, 상기 리니어 모터(30)를 이용한 팰릿 이송 제어시스템의 구동방식은, 회전형 동기 전동기의 고정자(Stator)에 해당하는 코일부분을 지상에 설치하고 회전자에 해당하는 자석부분을 반도체 이송 팰릿(10)측에 설치하는 구조로서(지상 차식), 롱스테이터(Long Stator) 방식이라 한다.In the embodiment of the present invention, the drive method of the pallet transport control system using the linear motor 30 is such that a coil portion corresponding to a stator of the rotary type synchronous motor is provided on the ground, and a magnet portion Is provided on the semiconductor transfer pellet 10 side (ground type) and is called a long stator type.

이러한 방식은 모터의 구동제어장치가 지상에 설치되므로 경량화에 유리하며 에너지 효율이 좋고 추진력이 높은 장점이 있다.This method is advantageous in weight reduction because the drive control device of the motor is installed on the ground, and has energy efficiency and high propulsion power.

한편, 도면에는 도시되지 않았으나, 팰릿 이송 제어시스템에서는, 리니어 모터(30)의 동작을 제어하기 위한 컨트롤러 및 다중화기(MUX ; Multiplexer)가 구비되어 있을 수 있다. 이러한 컨트롤러 및 다중화기를 포함하는 제어부는, 반도체 이송 팰릿(10)을 충돌없이 일정방향으로 이송하기 위하여 구동력을 발생시키는 복수의 리니어 모터(30)를 연계하여 적절히 제어하게 될 수 있다.Although not shown in the drawing, a controller and a multiplexer (MUX) for controlling the operation of the linear motor 30 may be provided in the pallet transport control system. The controller including the controller and the multiplexer can appropriately control the plurality of linear motors 30 generating the driving force so as to transfer the semiconductor transfer pellets 10 in a predetermined direction without collision.

도 6 내지 도 8은 본 발명의 실시예에 따른 방향전환용 연결레일모듈을 설명하기 위한 도면이다.6 to 8 are views for explaining a connection rail module for direction switching according to an embodiment of the present invention.

본 발명의 실시예에 따른 방향전환용 연결레일모듈(200)은, 사각 판재형상을 갖는 반도체 이송 팰릿(10)의 주행경로를 형성하며 교차지점을 가지도록 격자 구조를 갖는 복수 개의 주행레일(20), 및 상기 반도체 이송 팰릿(10)의 하부에 복수 개 구비되어 상기 복수 개의 주행레일(20)을 따라 이동하는 롤러유닛(100)을 포함하는 팰릿 이송 시스템의 방향전환을 위한 구성이다.The directional connection connecting rail module 200 according to the embodiment of the present invention includes a plurality of running rails 20 having a lattice structure so as to form a traveling path of a semiconductor transfer pallet 10 having a rectangular plate shape, And a roller unit 100 provided at a lower portion of the semiconductor transfer pallet 10 and moving along the plurality of running rails 20.

도면을 참조하여, 본 발명의 실시예에 따른 방향전환용 연결레일모듈을 상세하게 설명하면 다음과 같다.Referring to the drawings, a directional connection connecting rail module according to an embodiment of the present invention will be described in detail.

먼저, 상기 방향전환용 연결레일모듈(200)는, 도면에 도시된 바와 같이, 연결레일(210), 연결레일 고정부(220), 회전구동부(230), 및 보조레일(221)을 포함할 수 있다.As shown in the drawing, the directional connection connecting rail module 200 includes a connecting rail 210, a connecting rail fixing portion 220, a rotation driving portion 230, and an auxiliary rail 221 .

보다 상세하게는, 상기 연결레일(210)은, 상기 복수 개의 주행레일(20) 사이에 교차하는 지점에서 다른 방향에 배치되는 주행레일을 선택적으로 연결시켜 상기 롤러유닛(100)을 구성하는 주행롤러(130)가 상부면을 따라 이동하게 형성될 수 있다.More specifically, the connecting rail 210 selectively connects driving rails disposed in different directions at a point intersecting the plurality of running rails 20, thereby driving the driving roller 210 constituting the roller unit 100, (130) may be formed to move along the upper surface.

즉, 상기 연결레일(210)은, 교차하는 주행레일(20)사이에서 회전 가능하게 설치되는 것으로서, 주행레일(20)상에서 제 1 방향으로 이송되던 반도체 이송 팰릿(10)을 직각을 이루는 제 2 방향으로 배치된 다른 주행레일(20)을 따라 이송시킬 필요가 있을 경우에, 후술하는 롤러유닛(100)이 연결레일(210)의 중앙부에 위치하였을 때 정지시킨 후 연결레일(210)을 이송방향으로 회전시켜 롤러유닛(100)을 동시에 같이 회전시키는 기능을 수행할 수 있다.That is, the connecting rail 210 is rotatably installed between the running rails 20 which intersect with each other. The connecting rail 210 includes a semiconductor transfer pellet 10, which has been transferred in the first direction on the running rail 20, When the roller unit 100 to be described later is positioned at the center of the connecting rail 210 and stops the connecting rail 210 in the conveying direction And rotate the roller unit 100 at the same time.

또한, 상기 연결레일 고정부(220)는, 상기 연결레일(210)을 이송시스템의 프레임(1)에 고정시키며 상기 연결레일(210)의 회전동작을 지지할 수 있으며, 상기 연결레일(221), 및 상기 연결레일(210)과 상기 복수 개의 주행레일(20) 사이에 배치되는 네 개의 보조레일(221)을 일체형으로 지지할 수 있는 보조레일프레임(222)을 구비할 수 있다.The connecting rail fixing part 220 may fix the connecting rail 210 to the frame 1 of the conveying system and support the turning operation of the connecting rail 210. The connecting rail fixing part 220 may be formed of a non- And an auxiliary rail frame 222 capable of integrally supporting the auxiliary rail 221 and the auxiliary rail 221 disposed between the connection rail 210 and the plurality of running rails 20. [

또한, 상기 회전구동부(230)는, 상기 연결레일(210)을 회전시키기 위한 구동력을 제공하기 위하여 상기 연결레일의 하측으로 배치될 수 있다.The rotation driving unit 230 may be disposed below the connection rail 210 to provide a driving force for rotating the connection rail 210.

여기서, 상기 회전구동부(230)는, 도면에 도시된 바와 같이, 상기 연결레일고정부(220)를 관통하여 상기 연결레일의 하측 중심부에 결합되는 연결레일 회전샤프트(231)와, 상기 연결레일고정부의 내측에서 상기 연결레일 회전샤프트의 회전동작을 지지하는 회전베어링 하우징(232)과, 상기 연결레일 회전샤프트(231)에 회전토크를 전달하는 구동모터(233), 및 상기 구동모터(233)의 구동축과 상기 연결레일 회전샤프트(231)를 결합하는 커플링부(234)를 구비할 수 있다.As shown in the drawing, the rotation drive unit 230 includes a connection rail rotation shaft 231 penetrating the connection rail fixing unit 220 and coupled to a lower central portion of the connection rail, A drive motor 233 for transmitting rotation torque to the connection rail rotation shaft 231, and a driving motor 233 for transmitting rotation torque to the connection rail rotation shaft 231, And a coupling portion 234 coupling the driving shaft of the driving shaft 231 with the driving shaft of the connecting rail 231.

이때, 본 발명의 실시예에서는, 상기 회전구동부(230)를 구동모터를 이용한 구동방식으로 설명하였으나, 상기 연결레일(210)이 연결레일 고정부(220)에 대하여 회전되도록 연결레일 회전샤프트(231)에 회전동력을 공급하는 부분으로서, 회전동력을 발생시키기 위한 액츄에이터 구동방식, 에어실린더 방식, 공압방식을 포함하여 다양한 방식의 구동방식을 적용할 수 있다.In the embodiment of the present invention, the rotation driving unit 230 is driven by a driving motor. However, the connecting rail 210 may be rotated with respect to the connecting rail fixing unit 220, ), Various driving methods including an actuator driving method, an air cylinder method, and a pneumatic driving method for generating rotational power can be applied.

한편, 반도체 이송 팰릿의 이송시스템에서는, 이송방향을 변경하여 이송하고자 하는 경우에 연결레일(210)의 회전 시에 간섭을 없애기 위해 연결레일(210)과 주행레일(20) 사이에 간극이 생길 수 있다.On the other hand, in the transfer system of the semiconductor transfer pellets, when the transfer direction is changed and the transfer direction is desired, a clearance may be formed between the connection rail 210 and the running rail 20 in order to eliminate interference at the time of rotation of the connection rail 210 have.

그러나, 이러한 간극이 클 경우에 롤러유닛(100)이 주행레일(20)에서 이탈할 수 있어 간극을 최소화하기 위하여 상기 연결레일 고정부(220)는 연결레일(210)과 주행레일(220) 사이에 간극을 최소화하기 위한 보조레일(221)을 연결레일(210)의 양측 끝단에 배치할 수 있다.However, when the clearance is large, the roller unit 100 may be disengaged from the running rail 20, so that the connecting rail fixing portion 220 is positioned between the connecting rail 210 and the running rail 220 The auxiliary rail 221 may be disposed at both ends of the connection rail 210 to minimize the gap.

이때, 상기 보조레일(221)은, 본 발명의 실시예에서는, 상기 연결레일 고정부(220)의 상측에서 상기 연결레일(210)의 회전반경을 둘러싸는 구조를 가지며 상기 복수 개의 주행레일(20)과 각각 인접하는 위치에 형성되어 상기 연결레일(210)과 상기 주행레일(20)사이에 형성되는 간격을 조절할 수 있다.At this time, the auxiliary rail 221 has a structure that surrounds the turning radius of the connecting rail 210 from above the connecting rail fixing portion 220 in the embodiment of the present invention, and the plurality of driving rails 20 The distance between the connecting rail 210 and the running rail 20 can be adjusted.

또한, 상기 보조레일(221)은, 도면에 도시된 바와 같이, 이송방향 변환시 상기 연결레일(210)이 상기 복수 개의 주행레일(20)과 인접하게 배치될 수 있으며 중심점을 기준으로 90도의 사이각을 갖는 네 개의 지점에 형성될 수 있다.As shown in the drawing, the auxiliary rail 221 can be disposed adjacent to the plurality of running rails 20 when the feeding direction is changed, As shown in FIG.

이와 같이, 연결레일(210)과 주행레일(220) 사이의 간극을 최소화하기 위한 보조레일(221)을 구비함으로써, 연결레일(210)의 회전을 용이하게 하면서 주행레일(20)과의 간극을 최소화하는 효과가 있다.By providing the auxiliary rail 221 for minimizing the gap between the connecting rail 210 and the traveling rail 220 as described above, the gap between the connecting rail 210 and the traveling rail 20 can be easily There is an effect of minimizing.

즉, 연결레일(210)과 주행레일(220) 사이에 간극이 존재하면, 반도체 이송 팰릿(10)이 주행레일(20) 상을 통과할 때 하중으로 인하여 주행레일(20)에 미세한 처짐이 발생함으로써 연결레일(210)과 높이 차이가 발생하고, 이로 인해 롤러유닛(100)이 주행레일(20)에서 연결레일(210)로 이동할 때 충격 및 진동이 발생하고, 심할 경우 이탈현상이 발생될 수 있기 때문에, 본 발명에서는 이러한 간극을 최소화하기 위하여 보조레일(221)을 연결레일 고정부(220)에 형성할 수 있다.That is, if there is a clearance between the connecting rail 210 and the running rail 220, a slight sagging occurs in the running rail 20 due to the load when the semiconductor transferring pallet 10 passes over the running rail 20 Thereby causing a difference in height from the connecting rail 210. This causes impact and vibration when the roller unit 100 moves from the running rail 20 to the connecting rail 210 and if the roller unit 100 moves excessively, The auxiliary rail 221 can be formed on the connecting rail fixing portion 220 in order to minimize the gap.

한편, 본 발명의 실시예에서, 상기 방향전환용 연결레일모듈(200)는, 후술하는 롤러유닛(100)을 구성하는 복수 개의 하우징격벽(123) 하단에 형성되는 가이드휠(140)을 수용하기 위한 가이드휠 수용홈(240)을 상기 연결레일(210)의 외측으로 형성할 수 있다.In the embodiment of the present invention, the direction-switching connecting rail module 200 is configured to receive the guide wheels 140 formed at the lower ends of the plurality of housing partitions 123 constituting the roller unit 100 described later The guide wheel receiving groove 240 may be formed on the outer side of the connecting rail 210.

또한, 상기 롤러유닛(100)을 구성하는 주행롤러(130)가 연결레일(210)로부터 이탈되는 것을 방지하기 위하여 상기 연결레일(210)의 외측으로 일정간격 이격되게 주행롤러 이탈방지 걸림턱(250)을 구비할 수 있다.In order to prevent the driving roller 130 constituting the roller unit 100 from being separated from the connecting rail 210, the driving roller separating jaw 250 ).

게다가, 상기 주행레일(20)은, 주행레일(20)의 측면에서 낙하되는 이물질을 처리하기 위한 이물질 받이홈(20a)과 이탈을 방지하는 레일격벽(20b)을 구비하고 있으며 이에 대한 설명은 후술하는 도 8 내지 도 9에서 하기로 한다.In addition, the running rail 20 includes a foreign matter receiving groove 20a for processing foreign matter falling from the side surface of the running rail 20 and a rail partition 20b for preventing the foreign matter from falling off. 8 to 9 are as follows.

도 9는 본 발명의 실시예에 따른 팰릿이송시스템에서 방향전환용 연결레일모듈의 방향전환과정을 설명하기 위한 도면이다.9 is a view for explaining a process of changing the direction of a connection rail module for redirecting in the pallet transport system according to the embodiment of the present invention.

도면에 도시된 바와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 팰릿 이송 시스템은, 복수 개의 주행레일(20) 사이에 교차하는 지점에 롤러유닛(100)의 방향을 전환하기 위한 방향전환용 연결레일모듈(200)를 구비할 수 있다.As shown in the drawing, the pallet transporting system according to the embodiment of the present invention includes a connection rail module for switching the direction of the roller unit 100 to a point crossing the plurality of running rails 20 200 may be provided.

즉, 본 발명의 실시예에 따른 방향전환용 연결레일모듈(200)을 이용하여 상기 롤러유닛(100)을 회전시켜서, 도면에 도시된 바와 같이, 반도체 이송 팰릿(10)의 이동방향으로 수평방향으로 진행하다가 수직방향으로 방향을 전환할 수 있다.That is, the roller unit 100 is rotated by using the directional connection connecting rail module 200 according to the embodiment of the present invention, and as shown in the figure, the semiconductor unit 100 is horizontally moved in the moving direction of the semiconductor transfer pellet 10 And then the direction can be switched in the vertical direction.

본 발명의 실시예에 따른 팰릿 이송시스템의 방향전환 동작을 설명하면,Describing the direction switching operation of the pallet transporting system according to the embodiment of the present invention,

먼저, 주행레일(20) 상에서 반도체 이송 팰릿(10)이 제 1 방향으로 이송되는 경우에는, 제 1 방향으로 배치된 주행레일(20)사이를 연결하도록 방향전환용 연결레일모듈(200)의 연결레일(210)은 같은 제 1 방향으로 회전된 상태로 유지될 수 있다.First, when the semiconductor transfer pellet 10 is transferred in the first direction on the running rail 20, the connection of the direction-switching connecting rail module 200 is performed so as to connect between the running rails 20 arranged in the first direction. The rails 210 may be maintained in a rotated state in the same first direction.

상기 반도체 이송 팰릿(10)의 이송경로 변경이 필요한 경우, 제어부는 복수 개의 위치센서(41a, 41b)로부터 수신되는 신호들을 분석하여 제 1 방향으로 이송되던 반도체 이송 팰릿(10)의 속도를 감속시키고, 반도체 이송 팰릿(10)의 롤러유닛(100)이 연결레일(210)의 중앙부에 위치하도록 반도체 이송 팰릿(10)을 정위치에 정지시키게 된다.When it is necessary to change the conveying path of the semiconductor conveying pallet 10, the control unit analyzes signals received from the plurality of position sensors 41a and 41b to decelerate the speed of the semiconductor conveying pallet 10 conveyed in the first direction The semiconductor transfer pellet 10 is stopped at a predetermined position so that the roller unit 100 of the semiconductor transfer pellet 10 is positioned at the center of the connection rail 210.

이때, 반도체 이송 팰릿(10)의 롤러유닛(100)이 연결레일(210)의 중앙부에 위치되도록 정지되면, 제어부는 앞서 상술한 회전구동부(230)를 이용해 방향전환용 연결레일모듈(200)의 연결레일(210)을 제 2 방향으로 회전시킬 수 있다.When the roller unit 100 of the semiconductor transfer pallet 10 stops at the center of the connection rail 210, the control unit controls the rotation of the connection rail module 200 using the rotation driving unit 230 The connecting rail 210 can be rotated in the second direction.

이때, 제어부는 연결레일(210)이 정확히 제 2 방향으로 회전되도록 회전구동부(230)를 제어하게 되며, 회전이 완료되면 롤러유닛(100)의 롤러하우징부(120)가 앞서 상술한 회전고정장치(미도시)에 의해 정확히 제 2 방향이 유지되면서 외부의 진동이나 충격 등에 의해 반도체 이송 팰릿(10에 대한 배치각도가 임의로 변경되는 것이 방지될 수 있다.At this time, the control unit controls the rotation driving unit 230 so that the connection rail 210 is correctly rotated in the second direction. When the rotation is completed, the roller housing unit 120 of the roller unit 100 is rotated (Not shown), the arrangement angle of the semiconductor transfer pellet 10 can be prevented from being arbitrarily changed due to external vibration, impact, or the like.

이와 같이, 제 2 방향으로 배치된 주행레일(20) 사이를 연결하도록 방향전환용 연결레일모듈(200)의 연결레일(210)이 같은 제 2 방향으로 회전된 상태에서, 제어부는 리니어 모터(30)을 제어하여 반도체 이송 팰릿(10)을 제 2 방향으로 이송시키게 될 수 있다.In this state, in a state in which the connecting rail 210 of the direction switching connecting rail module 200 is rotated in the same second direction so as to connect between the running rails 20 arranged in the second direction, So that the semiconductor transfer pellet 10 can be transferred in the second direction.

도 10 내지 도 11은 본 발명의 실시예에 사용된 롤러유닛의 구성을 개략적으로 나타내는 도면이다.10 to 11 are views schematically showing the configuration of the roller unit used in the embodiment of the present invention.

도면에 도시된 바와 같이, 본 발명의 실시예에 사용된 롤러유닛(100)은, 유닛고정부(110), 롤러하우징부(120), 주행롤러(130), 전방가이드바(300), 및 가이드휠(140)을 구비할 수 있다.As shown in the drawings, the roller unit 100 used in the embodiment of the present invention includes a unit fixing portion 110, a roller housing portion 120, a traveling roller 130, a front guide bar 300, A guide wheel 140 may be provided.

보다 상세하게는, 상기 유닛고정부(110)는, 상기 반도체 이송 팰릿(10)을 구성하는 베이스(11) 하부에 결합 고정되며 도시된 바와 같이 원형으로 형성될 수 있다.More specifically, the unit fixing portion 110 is fixedly coupled to a lower portion of the base 11 constituting the semiconductor transfer pellet 10, and may be formed in a circular shape as shown in FIG.

또한, 상기 롤러하우징부(120)는, 상기 원형의 유닛고정부(110)와 회전축으로 결합되어 베이스(11)의 수평면에 대해 평행한 방향으로 회전 가능하게 설치되며 하측으로 아치 형상의 수용공간을 형성할 수 있다.The roller housing part 120 is rotatably coupled to the circular unit fixing part 110 in a direction parallel to the horizontal plane of the base 11 and is rotatably supported by the circular unit fixing part 110, .

또한, 상기 주행롤러(130)는, 상기 롤러하우징부(120)의 수용공간에 배치되고 상기 베이스(11)의 수평면에 대해 수직방향으로 회전 가능하게 설치되어 상기 주행레일(20)의 상부면을 따라 이동할 수 있다.The driving roller 130 is disposed in the receiving space of the roller housing part 120 and is rotatable in a direction perpendicular to the horizontal plane of the base 11 so that the upper surface of the running rail 20 Can move along.

즉, 상기 주행롤러(130)는, 상기 롤러하우징부(120)의 회전방향과 수직방향으로 회전 가능하게 설치되는 것으로, 상기 주행레일(20) 상에서 안내되어 진행한다. That is, the traveling roller 130 is installed to be rotatable in a direction perpendicular to the rotation direction of the roller housing part 120, and is guided on the traveling rail 20.

또한, 상기 전방가이드바(300)는, 상기 원형의 유닛고정부(110) 일측 가장자리 끝단에서 하부 수직방향으로 일자형 바(bar) 형상으로 형성될 수 있으며, 이때, 후술하는 도 11에 도시된 바와 같이, 상기 주행레일(20)에 상기 롤러유닛의 전방가이드바(300)가 삽입되어 주행경로를 안내하기 위한 가이드홈(21)이 길이방향으로 연속되어 형성되는 것이 바람직하다.In addition, the front guide bar 300 may be formed in the shape of a straight bar in the lower vertical direction at one side edge of the circular unit fixing part 110. At this time, as shown in FIG. 11 Similarly, it is preferable that a guide groove 21 for guiding a traveling path is formed continuously in the longitudinal direction by inserting the front guide bar 300 of the roller unit into the running rail 20.

여기서, 도면에 도시된 바와 같이, 본 발명의 실시예에 따르면, 상기 전방가이드바(300)는, 하측으로 본체를 중심으로 좌우양측에 보조가이드(310)를 구비하여 후술한 도 12에 도시된 주행레일(20)의 가이드홈(21) 내측면 양측벽에 형성되는 보조가이드홈(22)에 삽입되어 주행중 롤러유닛(100)의 이탈현상을 방지할 수 있다.As shown in the drawing, according to the embodiment of the present invention, the front guide bar 300 is provided with auxiliary guides 310 on the left and right sides around the main body in a downward direction, Can be inserted into the auxiliary guide grooves (22) formed on both side walls of the guide groove (21) of the running rail (20) to prevent the roller unit (100) from being displaced during operation.

또한, 상기 가이드휠(140)은, 상기 아치형상을 갖는 롤러하우징부(120)의 양측면 하단에 회전축으로 결합되어 상기 주행레일(20)의 측면을 따라 이동하며, 상기 롤러하우징부(120) 각각에 복수 개 형성될 수 있다. The guide wheel 140 is coupled to the lower ends of both side surfaces of the roller housing part 120 having the arch shape and rotates along the side surface of the running rail 20, As shown in FIG.

이때, 상기 가이드휠(140)과 같이 주행레일(20)의 측면을 따라 이동하는 구조를 추가하면 상기 가이드휠(140)에 의해 안정적인 주행구조가 완성되기 때문에 주행롤러(130)가 주행레일 상에서 이탈되는 것도 방지할 수 있으면서, 장시간 사용시 주행레일의 측면에 형성되는 각종 이물질도 제거될 수 있다.At this time, if the structure for moving along the side surface of the running rail 20 is added like the guide wheel 140, a stable running structure is completed by the guide wheel 140, so that the driving roller 130 is separated from the running rail It is possible to remove various foreign substances formed on the side surface of the running rail at the time of using for a long time.

한편, 도면에 도시된 바와 같이, 상기 주행레일(20)은, 폭방향 단면을 중심으로 양측면의 외측으로 연장되어 상기 가이드휠(140)에 의해 제거되어 낙하되는 이물질을 받아내기 위한 이물질 받이홈(20a)과 상기 가이드휠의 이탈을 방지하기 위한 레일격벽(20b)을 더 구비할 수 있다As shown in the drawing, the running rail 20 includes a foreign matter receiving groove (not shown) extending outwardly from both sides of the cross section in the width direction, for receiving a foreign object removed by the guide wheel 140 20a and a rail partition 20b for preventing the guide wheels from being separated from each other

도 11을 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 롤러하우징부(120)을 상세하게 설명하면, 상기 롤러하우징부(120)는, 하우징헤드(121), 하우징회전축(122), 하우징격벽(123), 주행롤러회전축(124), 및 가이드휠회전축(125)을 구비할 수 있다.11, the roller housing unit 120 includes a housing head 121, a housing rotation shaft 122, a housing partition wall 123, A traveling roller rotating shaft 124, and a guide wheel rotating shaft 125. [

여기서, 상기 하우징헤드(121)는, 상기 원형의 유닛고정부(110) 하부에 결합되며 상기 유닛고정부(110)에 비해 상대적으로 작은 크기를 갖는 원형으로 형성될 수 있다.Here, the housing head 121 may be formed in a circular shape having a relatively small size as compared with the unit fixing portion 110, which is coupled to the lower portion of the unit fixing portion 110.

또한, 상기 하우징회전축(122)은, 상기 하우징헤드(121)를 상기 원형의 유닛고정부(110) 하부에 동일한 중심을 가지도록 결합시키며 상기 하우징헤드(121)의 회전을 지지할 수 있다. 이때, 상기 하우징회전축(122)은 상기 하우징헤드(122)의 회전을 위한 베어링이 설치될 수 있다.The housing rotation shaft 122 can support the rotation of the housing head 121 by coupling the housing head 121 with the same center below the circular unit fixing part 110. At this time, the housing rotation shaft 122 may be provided with a bearing for rotating the housing head 122.

또한, 상기 하우징격벽(123)은, 상기 하우징헤드(121)의 양측 가장자리에서 하부 수직방향으로 배치되어 상기 아치 형상의 수용공간을 형성하고 복수 개 형성될 수 있다.In addition, the housing partition 123 may be formed in a lower vertical direction from both side edges of the housing head 121 to form the arcuate accommodation space and a plurality of the housing partitions 123 may be formed.

또한, 상기 주행롤러회전축(124)은, 상기 주행롤러(130)를 상기 복수 개의 하우징격벽(123) 사이에서 회전 가능하도록 양단이 상기 복수 개의 하우징격벽(123)에 결합될 수 있다.The driving roller rotation shaft 124 may be coupled to the plurality of housing partitions 123 at both ends so that the driving roller 130 can rotate between the plurality of housing partitions 123.

또한, 상기 가이드휠회전축(125)은, 상기 복수 개의 하우징격벽(123) 하단면에 상기 복수 개의 가이드휠(140)을 회전 가능하게 결합시킬 수 있다.The guide wheel rotating shaft 125 may rotatably couple the plurality of guide wheels 140 to the lower end surfaces of the plurality of housing partitions 123.

한편, 본 발명의 실시예에서는, 도면에는 도시되지 않았으나, 롤러유닛(100)은, 롤러유닛의 주행각도를 유지시키기 위한 회전고정장치(미도시)를 더 구비할 수 있다. 이러한 회전고정장치는, 롤러유닛의 롤러하우징부(120) 소정부위에 홈을 형성하고 롤러유닛에 인접한 반도체 이송 팰릿(10)의 베이스에 탄성력을 갖는 소정의 걸림부재를 형성하여 구성할 수 있다.In the embodiment of the present invention, although not shown in the drawings, the roller unit 100 may further include a rotation fixing device (not shown) for maintaining the running angle of the roller unit. Such a rotation fixing device can be constituted by forming a groove in a predetermined portion of the roller housing part 120 of the roller unit and forming a predetermined engaging member having an elastic force on the base of the semiconductor transfer pellet 10 adjacent to the roller unit.

즉, 이러한 회전고정장치를 구비함으로써 주행시 주행롤러(130)가 일정방향으로 배치되는 롤러유닛(100)이 외부의 진동이나 충격을 받더라도 의도치 않게 회전되어 주행방향이 임의로 변경되는 것을 방지할 수 있다.That is, by providing such a rotation fixing device, it is possible to prevent the roller unit 100, in which the traveling roller 130 is arranged in a predetermined direction at the time of traveling, from unintentionally rotating even when subjected to external vibration or impact, .

도 12는 본 발명의 실시예에 사용된 롤러 유닛을 이용한 팰릿 이송 시스템과 주행레일을 설명하기 위한 도면이다.12 is a view for explaining a pallet transport system and a running rail using the roller unit used in the embodiment of the present invention.

도면에 도시된 바와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 팰릿 이송 시스템은, 반도체 이송 팰릿(10), 복수 개의 주행레일(20), 롤러유닛(100), 및 리니어 모터(30)를 구비할 수 있다.As shown in the drawings, the pallet transporting system according to the embodiment of the present invention can include a semiconductor transporting pallet 10, a plurality of running rails 20, a roller unit 100, and a linear motor 30 have.

보다 상세하게는, 상기 반도체 이송 팰릿(10)은, 반도체 소자(또는 FPD)를 제조하기 위해 수행되는 확산, 식각, 사진 및 클리닝 공정 간의 기판 이송을 위한 팰릿 이송시스템에 사용되기 위한 것으로, 공정 간의 기판 이송을 위한 사각 판재 형상을 가지며 형성될 수 있으며, 하부에 주행레일(20)을 따라 이동되는 복수 개의 롤러유닛(100)이 구비될 수 있다.More particularly, the semiconductor transfer pellet 10 is for use in a pellet transfer system for substrate transfer between diffusion, etching, photolithography and cleaning processes performed to produce a semiconductor device (or FPD) And a plurality of roller units 100 may be provided at the lower portion of the roller unit 100 to move along the running rail 20. [

또한, 상기 복수 개의 주행레일(20)은, 상기 반도체 이송 팰릿(10)의 주행경로를 형성하며 교차지점을 가지도록 격자 구조를 가질 수 있으며, 상기 교차지점에 방향전환용 연결레일모듈(200)를 형성할 수 있다.In addition, the plurality of running rails 20 may have a lattice structure to form a traveling path of the semiconductor transfer pallet 10 so as to have an intersecting point, and at the intersection points, Can be formed.

또한, 도면에 도시된 바와 같이, 상기 주행레일(20)은, 앞서 상술한 롤러유닛(100)의 전방가이드바(300)가 삽입되어 주행경로를 안내하기 위한 가이드홈(21)이 길이방향으로 연속되어 형성될 수 있으며, 상기 가이드홈(22)의 내측면 양측벽에는 앞서 언급한 전방가이드바(300)의 하측에 형성되는 보조가이드(310)가 삽입될 수 있는 보조가이드홈(22)이 형성될 수 있다.As shown in the drawing, the running rail 20 has guide grooves 21 for guiding the traveling path by inserting the front guide bar 300 of the roller unit 100 described above in the longitudinal direction And auxiliary guide grooves 22 into which the auxiliary guide 310 formed on the lower side of the aforementioned front guide bar 300 can be inserted are formed on both inner side walls of the guide groove 22 .

이때, 도면에는 상술한 주행레일(20)의 이물질 받이홈(20a)과 레일결벽(20b)이 도시되지 않았으나 앞서 도면에 도시된 구성과 동일한 구성이므로 이에 대한 상세한 설명은 생략하기로 한다.At this time, although the foreign substance receiving groove 20a and the rail wall 20b of the running rail 20 are not shown in the drawing, the same structure as that shown in the drawings is omitted, and a detailed description thereof will be omitted.

이와 같이, 본 발명의 실시예에 따르면, 상기 주행레일(20)의 길이방향으로 형성되는 가이드홈(21)과 보조가이드홈(22)에 앞서 상술한 롤러유닛(100)의 전방가이드바(300)와 보조가이드(310)가 삽입되기 때문에 주행중에 롤러유닛(100)이 경로를 이탈하는 것을 근본적으로 방지할 수 있으며, 또한, 롤러유닛(100)을 구성하는 주행롤러(130)이 주행레일(20) 상에 접촉하며 이동할 때에 발생할 수 있는 부스러기들이 상기 가이드홈(21)을 통하여 주행레일(20) 상에 남아있지 않고 떨어지기 때문에 주행능력 향상은 물론 추후 부스러기들을 제거하기 위한 유지보수가 용이할 수 있다.The front guide bar 300 of the roller unit 100 described before the guide groove 21 and the auxiliary guide groove 22 formed in the longitudinal direction of the running rail 20 according to the embodiment of the present invention, The driving roller 130 constituting the roller unit 100 can be prevented from being separated from the traveling rail 130. [ 20, the debris that can be generated when moving on the traveling rail 20 is not left on the traveling rail 20 through the guide groove 21, so that it is easy to improve the traveling ability and maintenance for removing the debris .

또한, 상기 롤러유닛(100)은, 상기 반도체 이송 팰릿(10)의 하부에 복수 개 구비되어 상기 복수 개의 주행레일(20)을 따라 이동할 수 있으며, 상기 주행레일(20)의 상부면을 따라 회전 가능하게 설치되는 주행롤러(130)와 상기 주행레일의 측면을 따라 회전 가능하게 설치되는 가이드휠(140)을 구비할 수 있다.The roller unit 100 may be provided at a lower portion of the semiconductor transfer pallet 10 so as to move along the plurality of running rails 20 and rotate along the upper surface of the running rail 20 And a guide wheel 140 rotatably installed along a side surface of the running rail.

이때, 상기 롤러유닛(100)은, 유닛고정부(110)에 의해 반도체 이송 팰릿(10)의 베이스(11)에 고정되며, 상기 유닛고정부(110)를 매개로 하여 상기 베이스(11)에 회전 가능하게 설치될 수 있다.The roller unit 100 is fixed to the base 11 of the semiconductor transfer pallet 10 by the unit fixing unit 110 and is fixed to the base 11 via the unit fixing unit 110 And can be rotatably installed.

또한, 상기 리니어 모터(30)는, 상기 반도체 이송 팰릿(10)의 이송을 위한 구동력을 발생시키고 상기 격자구조를 갖는 주행레일(20)과 평행하게 배치되는 것으로 도면에 도시된 바와 같이, 반도체 이송 팰릿(10)의 이송방향에 대해 수평방향 및 수직방향으로 복수 개 배치될 수 있다.The linear motor 30 generates a driving force for transferring the semiconductor transfer pallet 10 and is disposed in parallel with the running rail 20 having the lattice structure. As shown in the figure, A plurality of pellets 10 may be arranged in the horizontal direction and the vertical direction with respect to the conveying direction of the pallet 10.

상기와 같이, 본 발명은, 반도체 이송 팰릿의 움직임을 구동시키는 리니어 모터가 배치되는 리니어 모터 레일 상에 방열구조를 구현하여 제품불량을 방지하면서 리니어 모터의 수명을 연장할 수 있는 효과가 있다.As described above, according to the present invention, the heat dissipation structure is implemented on the linear motor rails on which the linear motors for driving the movements of the semiconductor transfer pellets are disposed, so that the life of the linear motors can be extended while preventing defective products.

또한, 본 발명은, 반도체 이송 팰릿의 움직임을 구동시키는 리니어 모터 구동부에 상기 반도체 이송 팰릿의 위치를 감지하는 위치감지용 센서와 충돌방지용 센서를 홀센서로 구현하여 충돌방지 및 연속주행 기능을 제공할 수 있을 뿐만 아니라 주행레일에 대한 이송경로를 전환시킬 수 있으면서 연결레일과 주행레일 사이의 간극을 최소화하여 이송방향 전환시 충격 및 진동을 방지함으로써 주행능력을 향상시킬 수 있는 효과가 있다.In addition, the present invention provides a collision avoidance and continuous driving function by implementing a position sensing sensor for detecting the position of the semiconductor transfer pallet and a collision preventing sensor as a hall sensor in a linear motor driving unit for driving the movement of the semiconductor transfer pallet So that it is possible to reduce the gap between the connecting rail and the running rail, thereby preventing shock and vibration when the moving direction is changed, thereby improving the driving ability.

또한, 본 발명은, 주행레일의 교차하는 지점에 방향전환용 연결레일모듈을 형성하여 공정간의 기판 이송시에 반도체 이송 팰릿의 방향전환을 용이하게 할 수 있기 때문에 작업 생산성이 향상되는 효과가 있다.In addition, the present invention has an effect of improving work productivity because a direction changing connection rail module is formed at a crossing point of a running rail to facilitate switching of a direction of a semiconductor transfer pellet when a substrate is transferred between processes.

또한, 본 발명은, 방향전환용 연결레일모듈을 구성하는 연결레일고정부의 상측으로 상기 연결레일의 회전반경을 둘러싸는 원주상에서 격자구조의 주행레일과 마주하는 위치에 복수 개의 보조레일을 장착함으로써 연결레일과 주행레일 사이의 간극을 최소화할 수 있는 효과가 있다.Further, the present invention is characterized in that a plurality of auxiliary rails are mounted on the upper side of the connecting rail fixing portion constituting the direction changing connection rail module at a position facing the running rail of the lattice structure on the circumference surrounding the turning radius of the connecting rail The gap between the connecting rail and the running rail can be minimized.

또한, 본 발명은, 반도체 이송 팰릿의 하부에 설치되는 롤러유닛에 주행레일에 형성된 가이드홈에 삽입되는 전방 가이드바를 장착하여 주행 중 롤러유닛의 이탈을 방지하고 주행성능을 향상시킬 수 있는 효과가 있다.In addition, the present invention has an effect that a front guide bar inserted in a guide groove formed in a running rail is mounted on a roller unit provided below the semiconductor transfer pallet to prevent the roller unit from moving during the running and improve the running performance .

또한, 본 발명은, 주행레일을 따라 이동하기 위하여 반도체 이송 팰릿의 하부에 설치되는 롤러유닛에 주행롤러와 가이드휠을 동시에 장착하여 주행능력을 향상시키고 주행 중 이탈을 방지할 수 있는 효과가 있다.In addition, the present invention has the effect of enhancing the traveling ability and preventing departure during traveling by simultaneously mounting the traveling roller and the guide wheel on a roller unit provided below the semiconductor transporting pallet for moving along the traveling rail.

또한, 본 발명은, 장시간 사용시에 주행레일의 측면에 생성되는 이물질을 주행레일의 측면에 접촉하는 가이드 휠을 이용하여 제거할 수 있어 주행레일의 유지보수에 소요되는 비용을 절감할 수 있을 뿐만 아니라 수명을 연장할 수 있는 효과가 있다.Further, according to the present invention, it is possible to remove foreign matter generated on the side surface of the running rail by using a guide wheel which contacts the side surface of the running rail at the time of using for a long time, It is possible to extend the service life.

지금까지 본 발명에 대해서 상세히 설명하였으나, 그 과정에서 언급한 실시예는 예시적인 것일 뿐이며, 한정적인 것이 아님을 분명히 하고, 본 발명은 이하의 특허청구범위에 의해 제공되는 본 발명의 기술적 사상이나 분야를 벗어나지 않는 범위내에서, 균등하게 대처될 수 있는 정도의 구성요소 변경은 본 발명의 범위에 속한다 할 것이다.While the present invention has been particularly shown and described with reference to exemplary embodiments thereof, it is clearly understood that the same is by way of illustration and example only and is not to be taken by way of limitation, It is within the scope of the present invention that component changes to such an extent that they can be coped evenly within a range that does not deviate from the scope of the present invention.

1 : 프레임 10(11) : 반도체 이송 팰릿(베이스)
20 : 주행레일 21 : 가이드홈
22 : 보조가이드홈 30 : 리니어 모터
40 : 리니어 모터 레일 40a : 방열홈부
100 : 롤러유닛 110 : 유닛고정부
120 : 롤러하우징부 121 : 하우징헤드
122 : 하우징회전축 123 : 하우징격벽
124 : 주행롤러회전축 125 : 가이드휠회전축
130 : 주행롤러 140 : 가이드휠
200 : 방향전환용 연결레일모듈 210 : 연결레일
220 : 연결레일고정부 221 : 보조레일
222 : 보조레일프레임 230 : 회전구동부
231 : 회전샤프트 232 : 회전베어링 하우징
233 ; 구동모터 234 : 커플링부
240 : 가이드휠 수용홈 250 : 이탈방지 걸림턱
300 : 전방가이드바 310 : 보조가이드1: Frame 10 (11): Semiconductor transfer pallet (base)
20: running rail 21: guide groove
22: Auxiliary guide groove 30: Linear motor
40: Linear motor rail 40a: Radiating groove
100: roller unit 110: unit fixing unit
120: roller housing part 121: housing head
122: housing rotating shaft 123: housing partition wall
124: driving roller rotating shaft 125: guide wheel rotating shaft
130: traveling roller 140: guide wheel
200: connection-connection rail module 210: connection rail
220: connecting rail fixing portion 221: auxiliary rail
222: auxiliary rail frame 230: rotation driving part
231: rotating shaft 232: rotating bearing housing
233; Drive motor 234: coupling part
240: guide wheel receiving groove 250:
300: front guide bar 310: auxiliary guide

Claims (10)

반도체 소자를 제조하기 위해 수행되는 확산, 식각, 사진 및 클리닝 공정 간의 기판이송시 리니어 모터를 이용하는 팰릿 이송시스템에 있어서,
공정간의 기판 이송을 위한 사각 판재형상의 반도체 이송 팰릿;
상기 반도체 이송 팰릿의 주행경로를 형성하며 교차지점을 가지도록 격자 구조를 갖는 복수 개의 주행레일;
상기 반도체 이송 팰릿의 하부에 복수 개 구비되어 상기 복수 개의 주행레일을 따라 이동하는 롤러유닛;
상기 격자구조를 갖는 주행레일과 일정간격으로 이격된 채 격자구조를 가지며 형성되고 방열구조를 갖는 리니어 모터 레일;
상기 반도체 이송 팰릿의 이송을 위한 구동력을 발생시키기 위해 상기 리니어 모터 레일 상에 배치되는 복수 개의 리니어 모터;
상기 복수 개의 주행레일 사이에 교차하는 지점에 상기 롤러유닛의 방향을 전환하기 위한 방향전환용 연결레일모듈; 및
상기 리니어 모터 레일 및 상기 복수 개의 리니어 모터 중 어느 하나 이상에는 상기 반도체 이송 팰릿의 위치를 감지하기 위하여 형성되는 위치감지용 홀센서를 포함하며,
상기 리니어 모터 레일에 구현된 방열구조는, 리니어 모터 레일의 표면적을 넓히기 위하여 복수 개의 방열홈부가 상기 리니어 모터 레일의 상부에 형성되며,
상기 롤러유닛은, 상기 반도체 이송 팰릿을 구성하는 베이스 하부에 결합 고정되는 원형의 유닛고정부와, 상기 원형의 유닛고정부와 회전축으로 결합되어 베이스의 수평면에 대해 평행한 방향으로 회전 가능하게 설치되며 하측으로 아치 형상의 수용공간을 형성하는 롤러하우징부와, 상기 롤러하우징부의 수용공간에 배치되고 상기 베이스의 수평면에 대해 수직방향으로 회전 가능하게 설치되어 상기 주행레일의 상부면을 따라 이동하는 주행롤러 및 상기 아치 형상을 갖는 롤러하우징부의 양측면 하단에 회전축으로 결합되어 상기 주행레일의 측면을 따라 이동하는 복수 개의 가이드휠, 및 상기 원형의 유닛고정부 일측 가장자리 끝단에서 하부 수직방향으로 일자형 바 형상으로 형성되는 전방가이드바;를 포함하며,
상기 방향전환용 연결레일모듈은, 상기 복수 개의 주행레일 사이에 교차하는 지점에서 다른 방향에 배치되는 주행레일을 선택적으로 연결시키기 위하여 회전 가능하게 설치되는 연결레일과; 상기 연결레일을 이송시스템의 프레임에 고정시키며 상기 연결레일의 회전동작을 지지하는 연결레일 고정부와; 상기 연결레일을 회전시키기 위한 구동력을 제공하기 위하여 상기 연결레일의 하측으로 배치되는 회전구동부; 및 상기 연결레일 고정부의 상측에서 상기 연결레일의 회전반경을 둘러싸는 구조를 가지며 상기 복수 개의 주행레일과 각각 인접하는 위치에 형성되어 상기 연결레일과 상기 주행레일 사이에 형성되는 간격을 조절할 수 있는 복수 개의 보조레일;을 포함하며,
상기 전방가이드바는, 상기 롤러유닛의 주행방향 전방에 배치되고, 하측으로 상기 주행레일의 가이드홈 내측면 양측벽에 형성되는 보조가이드홈에 삽입되어 주행 중 이탈을 방지하는 복수 개의 보조가이드를 구비하는 것을 특징으로 하는 리니어모터의 방열구조를 갖는 팰릿 이송 제어시스템.
A pallet transfer system using a linear motor for transferring substrates between diffusion, etching, photographic and cleaning processes performed to produce semiconductor devices,
A semiconductor transfer pellet in the form of a rectangular plate for transferring a substrate between processes;
A plurality of running rails having a lattice structure to form a traveling path of the semiconductor transfer pallet and having intersecting points;
A roller unit provided at a lower portion of the semiconductor transfer pallet and moving along the plurality of running rails;
A linear motor rail having a lattice structure spaced apart from the running rail having the lattice structure at a predetermined interval and having a heat radiating structure;
A plurality of linear motors disposed on the linear motor rails to generate a driving force for transferring the semiconductor transfer pellets;
A connection rail module for switching a direction of the roller unit at a point crossing the plurality of running rails; And
And a position sensing hole sensor formed on at least one of the linear motor rail and the plurality of linear motors to sense the position of the semiconductor transfer pallet,
The heat radiating structure of the linear motor rails includes a plurality of heat dissipating grooves formed on the linear motor rails for widening the surface area of the linear motor rails,
The roller unit includes a circular unit fixing portion fixedly coupled to a lower portion of a base constituting the semiconductor transfer pallet and a rotary unit fixed portion rotatably coupled to the circular unit fixing portion in a direction parallel to the horizontal plane of the base, A driving roller disposed in the receiving space of the roller housing part and rotatable in the vertical direction with respect to the horizontal plane of the base to move along the upper surface of the driving rail, A plurality of guide wheels coupled to the lower ends of both side surfaces of the roller housing part having the arch shape by a rotation axis and moving along side surfaces of the running rail, And a front guide bar
Wherein the directional connection connection rail module includes: a connection rail rotatably installed to selectively connect a running rail disposed in a different direction at a point crossing the plurality of running rails; A connecting rail fixing part fixing the connecting rail to a frame of the conveying system and supporting the turning operation of the connecting rail; A rotation driving unit disposed below the connection rail to provide a driving force for rotating the connection rail; And a plurality of guide rails formed at positions adjacent to the plurality of running rails and having a structure that surrounds the turning radius of the connecting rails at an upper side of the connecting rail fixing portions, A plurality of auxiliary rails,
The front guide bar is disposed in front of the roller unit in the running direction and inserted into an auxiliary guide groove formed on both side walls of the guide rail on the lower side of the guide rail, And a heat dissipation structure of the linear motor.
청구항 1에 있어서, 상기 복수 개의 방열홈부는,
인접하는 방열홈부 상호 간에 서로 일정간격으로 이격되어 상기 리니어 모터와 접촉하는 부위의 열을 주변에 배치된 방열홈부로 일정한 열전도율로 전달하는 것을 특징으로 하는 리니어모터의 방열구조를 갖는 팰릿 이송 제어시스템.
The heat sink according to claim 1,
Wherein the heat transfer grooves are spaced apart from each other by a predetermined distance and adjacent to each other, so that heat is transmitted to the surrounding heat dissipation recesses at a constant thermal conductivity.
청구항 2에 있어서, 상기 복수 개의 리니어 모터는 각각,
상기 반도체 이송 팰릿에 장착되는 리액션부재와 반응하기 위한 리니어 모터 코일; 및
상기 위치감지용 홀센서를 이용하여 인접한 반도체 이송 팰릿 간의 충격을 방지하기 위하여 전후방에 쌍으로 배치되는 충격방지기판;을 더 구비하는 것을 특징으로 하는 리니어모터의 방열구조를 갖는 팰릿 이송 제어시스템.
4. The linear motor according to claim 2,
A linear motor coil for reacting with a reaction member mounted on the semiconductor transfer pallet; And
Further comprising an anti-shock substrate arranged in pairs in front and rear to prevent an impact between adjacent semiconductor transfer pellets using the position sensing hall sensor.
청구항 1에 있어서, 상기 보조레일은,
이송방향 변환시 상기 연결레일이 상기 복수 개의 주행레일과 인접하게 배치될 수 있으며 중심점을 기준으로 90도의 사이각을 갖는 네 개의 지점에 형성되는 것을 특징으로 하는 리니어모터의 방열구조를 갖는 팰릿 이송 제어시스템.
[2] The apparatus of claim 1,
Wherein the connecting rail is formed at four points that are adjacent to the plurality of running rails and that have an angle of 90 degrees with respect to the center point when the feeding direction is changed. .
청구항 4에 있어서, 상기 연결레일 고정부는,
상기 보조레일을 일체형으로 지지할 수 있는 보조레일프레임;
롤러유닛을 구성하는 복수 개의 하우징격벽 하단에 형성되는 가이드휠을 수용하기 위하여 상기 연결레일의 길이방향 외측 측면으로 형성하는 가이드휠 수용홈; 및
상기 롤러유닛을 구성하는 주행롤러가 연결레일로부터 이탈되는 것을 방지하기 위하여 상기 연결레일의 외측으로 일정간격 이격되게 주행롤러 이탈방지 걸림턱;을 구비하는 것을 특징으로 하는 리니어모터의 방열구조를 갖는 팰릿 이송 제어시스템.

[5] The apparatus of claim 4,
An auxiliary rail frame capable of integrally supporting the auxiliary rail;
A guide wheel receiving groove formed at a longitudinal outer side surface of the connecting rail to receive a guide wheel formed at a lower end of a plurality of housing partitions constituting the roller unit; And
And a traveling roller separation preventing jaw that is spaced apart from the connection rail by a predetermined distance so as to prevent the traveling roller constituting the roller unit from being separated from the connection rail. Transport control system.

청구항 4에 있어서, 상기 회전구동부는,
상기 연결레일고정부를 관통하여 상기 연결레일의 하측 중심부에 결합되는 연결레일 회전샤프트와;
상기 연결레일고정부의 내측에서 상기 연결레일 회전샤프트의 회전동작을 지지하는 회전베어링 하우징과;
상기 연결레일 회전샤프트에 회전 토크를 전달하는 구동모터; 및
상기 구동모터의 구동축과 상기 연결레일 회전샤프트를 결합하는 커플링부;를 구비하는 것을 특징으로 하는 리니어모터의 방열구조를 갖는 팰릿 이송 제어시스템.
[5] The apparatus of claim 4,
A connecting rail rotating shaft penetrating through the connecting rail fixing portion and coupled to a lower central portion of the connecting rail;
A rotating bearing housing for supporting a rotating operation of the connecting rail rotating shaft inside the connecting rail fixing portion;
A driving motor for transmitting rotational torque to the connecting rail rotating shaft; And
And a coupling part coupling the drive shaft of the drive motor and the connection rail rotation shaft.
삭제delete 청구항 1에 있어서, 상기 롤러유닛을 구성하는 롤러하우징부는,
상기 원형의 유닛고정부 하부에 결합되며 상기 유닛고정부에 비해 상대적으로 작은 크기를 갖는 원형의 하우징헤드와;
상기 하우징헤드를 상기 원형의 유닛고정부 하부에 동일한 중심을 가지도록 결합시키며 상기 하우징헤드의 회전을 지지하는 하우징회전축;
상기 하우징헤드의 양측 가장자리에서 하부 수직방향으로 배치되어 상기 아치 형상의 수용공간을 형성하는 복수 개의 하우징격벽;
상기 주행롤러를 상기 복수 개의 하우징격벽 사이에서 회전 가능하도록 양단이 상기 복수 개의 하우징격벽에 결합되는 주행롤러회전축; 및
상기 복수 개의 하우징격벽의 하단면에 상기 복수 개의 가이드휠을 회전 가능하게 결합시키는 가이드휠회전축;을 구비하는 것을 특징으로 하는 리니어모터의 방열구조를 갖는 팰릿 이송 제어시스템.
The image forming apparatus according to claim 1, wherein the roller housing unit constituting the roller unit comprises:
A circular housing head coupled to a lower portion of the unit fixing portion and having a relatively small size as compared with the unit fixing portion;
A housing rotation shaft for coupling the housing head with the center of the unit holding part of the circular shape and supporting the rotation of the housing head;
A plurality of housing partitions arranged in the lower vertical direction from both side edges of the housing head to form the arcuate housing space;
A traveling roller rotating shaft having both ends thereof coupled to the plurality of housing partitions so as to be rotatable between the plurality of housing partitions; And
And a guide wheel rotating shaft rotatably coupling the plurality of guide wheels to a lower end surface of the plurality of housing partitions.
청구항 8에 있어서,
상기 주행레일은, 상기 롤러유닛의 전방가이드바가 삽입되어 주행경로를 가이드하기 위한 가이드홈이 길이방향으로 연속되어 형성되는 것을 특징으로 하는 리니어모터의 방열구조를 갖는 팰릿 이송 제어시스템.The method of claim 8,
Wherein the running rail is formed with guide grooves continuously inserted in the longitudinal direction to guide the traveling path by inserting the front guide bar of the roller unit into the pallet transporting control system. 삭제delete
KR1020170133981A 2017-10-16 2017-10-16 Pallet Moving Control System Containing Heat Sink Structure of Linear Motor KR101993823B1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020170133981A KR101993823B1 (en) 2017-10-16 2017-10-16 Pallet Moving Control System Containing Heat Sink Structure of Linear Motor

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020170133981A KR101993823B1 (en) 2017-10-16 2017-10-16 Pallet Moving Control System Containing Heat Sink Structure of Linear Motor

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20190042781A KR20190042781A (en) 2019-04-25
KR101993823B1 true KR101993823B1 (en) 2019-06-28

Family

ID=66283664

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020170133981A KR101993823B1 (en) 2017-10-16 2017-10-16 Pallet Moving Control System Containing Heat Sink Structure of Linear Motor

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR101993823B1 (en)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102239970B1 (en) * 2020-12-15 2021-04-14 (주) 영호엔지니어링 Substrate transfer device

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005079496A (en) * 2003-09-03 2005-03-24 Matsushita Electric Ind Co Ltd Component mounting machine
KR101681690B1 (en) * 2015-07-29 2016-12-23 아담스오텍 주식회사 Cart transfer apparatus

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3988225B2 (en) * 1997-10-17 2007-10-10 株式会社安川電機 Transport device
KR100661907B1 (en) 2004-09-17 2006-12-28 세메스 주식회사 System and method for transferring substrate of flat pannel display
KR100716808B1 (en) * 2005-11-02 2007-05-09 현대자동차주식회사 Transfer truck system
KR100834734B1 (en) 2006-04-06 2008-06-05 주식회사 에스에프에이 Apparatus for transferring substrate
KR101427595B1 (en) 2007-07-26 2014-08-08 삼성디스플레이 주식회사 Substrate conveyor
KR20100081153A (en) 2009-01-05 2010-07-14 주식회사 에스에프에이 Transferring apparatus system
KR101168288B1 (en) * 2010-09-06 2012-07-30 삼성중공업 주식회사 Carriage
KR101367669B1 (en) 2011-12-29 2014-03-03 엘아이지에이디피 주식회사 Apparatus for transferring substrate and apparatus for processing substrate using the same
KR101563345B1 (en) * 2014-01-23 2015-10-26 계명대학교 산학협력단 Electronic actuator
KR20170067088A (en) * 2015-12-07 2017-06-15 비앤에스(주) Pallet Transporting System and Transporting Route Changing Method thereof

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005079496A (en) * 2003-09-03 2005-03-24 Matsushita Electric Ind Co Ltd Component mounting machine
KR101681690B1 (en) * 2015-07-29 2016-12-23 아담스오텍 주식회사 Cart transfer apparatus

Also Published As

Publication number Publication date
KR20190042781A (en) 2019-04-25

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101960679B1 (en) Roller Unit Containing Guide wheel and Pallet Transfer System using thereof
KR101951871B1 (en) Connection Rail Module Containing Auxiliary rail for Change of Direction
KR101997053B1 (en) Pallet Moving Control System Containing Collision Preventing Function and Continuous Driving Function By using Linear Motor and Control Method thereof
US9117865B2 (en) Robot systems, apparatus, and methods having independently rotatable waists
JP5062965B2 (en) Branch and junction device
KR20170067088A (en) Pallet Transporting System and Transporting Route Changing Method thereof
WO2019102743A1 (en) Traveling dolly
KR101993823B1 (en) Pallet Moving Control System Containing Heat Sink Structure of Linear Motor
JP6865423B2 (en) Roller unit with running and guide functions and pallet transfer system using it
JP2007039237A (en) Magnetic belt driven type track carrying method and device
JP6927506B2 (en) Rail turn module with running and guide functions and pallet transfer system using it
US11458847B2 (en) Article transferring device
KR101951869B1 (en) Roller Unit Containing Front Guide Bar and Pallet Transfer System using thereof
CN113165671B (en) Driving vehicle system
JP4882754B2 (en) Plate body transport equipment
CN209929281U (en) Wafer conveying device
KR20200089522A (en) Magnetic transfer apparatus
KR102299106B1 (en) Transfer robot with multi arm
KR102046431B1 (en) A Traveling Rail having Traveling and Guide function and Pallet Transport System Using the same
KR101943390B1 (en) Apparatus for changing direction of articles
JP2006001335A (en) Unmanned conveying vehicle and conveying system
US11780688B2 (en) Conveyor, conveying system and manufacturing method of conveyor
JP6685834B2 (en) Floating carrier
KR20090065032A (en) Diverter conv using multi-roller
KR20100001536U (en) Diverter CONV Using Multi-Roller

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E902 Notification of reason for refusal
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right