KR101427595B1 - Substrate conveyor - Google Patents

Substrate conveyor Download PDF

Info

Publication number
KR101427595B1
KR101427595B1 KR1020070074894A KR20070074894A KR101427595B1 KR 101427595 B1 KR101427595 B1 KR 101427595B1 KR 1020070074894 A KR1020070074894 A KR 1020070074894A KR 20070074894 A KR20070074894 A KR 20070074894A KR 101427595 B1 KR101427595 B1 KR 101427595B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
substrate
roller
transfer unit
unit
transfer
Prior art date
Application number
KR1020070074894A
Other languages
Korean (ko)
Other versions
KR20090011381A (en
Inventor
박영길
이강혁
김호진
김성래
Original Assignee
삼성디스플레이 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 삼성디스플레이 주식회사 filed Critical 삼성디스플레이 주식회사
Priority to KR1020070074894A priority Critical patent/KR101427595B1/en
Publication of KR20090011381A publication Critical patent/KR20090011381A/en
Application granted granted Critical
Publication of KR101427595B1 publication Critical patent/KR101427595B1/en

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67706—Mechanical details, e.g. roller, belt
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/1303—Apparatus specially adapted to the manufacture of LCDs

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)

Abstract

본 발명은 기판의 승/하강, 기판의 이송방향 전환 및 포크에 의한 기판의 입출 등 복합 기능을 수행하는 컴팩트한 사이즈의 기판이송장치를 개시한다.The present invention discloses a substrate transfer apparatus of a compact size that performs a combined function such as raising / lowering of a substrate, transferring direction of a substrate, and entry / exit of a substrate by a fork.

이를 위해 본 발명에 따른 기판이송장치는 기판의 이송을 위한 제1이송유닛과, 기판의 이송을 위하여 상기 제1이송유닛의 상부에 배치되는 제2이송유닛과, 상기 제2이송유닛을 승/하강시키기 위한 승/하강유닛을 포함하고, 상기 제2이송유닛은 승/하강함에 따라 상기 제1이송유닛에 기판을 전달하거나, 상기 제1이송유닛상의 기판을 전달받는 것을 특징으로 한다.To this end, a substrate transfer apparatus according to the present invention includes a first transfer unit for transferring a substrate, a second transfer unit disposed above the first transfer unit for transferring the substrate, And the second transfer unit transfers the substrate to the first transfer unit or the substrate on the first transfer unit when the second transfer unit is lifted or lowered.

Description

기판이송장치{Substrate conveyor}[0001] Substrate conveyor [0002]

도 1은 본 발명에 따른 기판이송장치를 나타내는 사시도이다. 1 is a perspective view showing a substrate transfer apparatus according to the present invention.

도 2는 도1의 기판이송장치에 포함되는 제1이송유닛의 A부의 확대도이다.2 is an enlarged view of part A of the first transfer unit included in the substrate transfer device of FIG.

도 3은 도1의 기판이송장치에 포함되는 제2이송유닛의 B부의 확대도이다.3 is an enlarged view of a portion B of a second transfer unit included in the substrate transfer apparatus of FIG.

도 4는 본 발명에 따른 기판이송장치에 포함되는 제1이송유닛의 정면도이다. 4 is a front view of the first transfer unit included in the substrate transfer apparatus according to the present invention.

도 5 내지 도7은 본 발명에 따른 기판이송장치의 동작을 나타내는 도면이다.5 to 7 are views showing the operation of the substrate transfer apparatus according to the present invention.

도 8은 도 7의 C부의 확대도이다.8 is an enlarged view of a portion C in Fig.

도 9은 본 발명에 따른 기판이송장치의 제2이송유닛이 하강한 상태의 정면도이다.9 is a front view of the second transfer unit of the substrate transfer apparatus according to the present invention in a lowered state.

*도면의 주요부분에 대한 부호 설명*Description of the Related Art [0002]

10 : 제1이송유닛 11 : 제1구동부10: first transfer unit 11: first drive unit

12 : 포크진입부 13 : 보조롤러12: fork entry part 13: auxiliary roller

20 : 제2이송유닛 21 : 제2롤러부20: second conveying unit 21: second roller portion

22 : 제2구동부 30 : 승하강유닛22: second driving section 30: up / down unit

32 : 승강부 33 : 구동장치32: elevating part 33: driving device

40 : 제1롤러부 42 : 제1롤러40: first roller portion 42: first roller

43 : 제2롤러 45 : 벨트43: second roller 45: belt

본 발명은 기판이송장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 액정표시장치의 제조에 사용되는 기판을 이송하기 위한 기판이송장치에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a substrate transfer apparatus, and more particularly, to a substrate transfer apparatus for transferring a substrate used for manufacturing a liquid crystal display apparatus.

최근 들어 정보처리기기는 다양한 형태의 기능과 더욱 빨라진 정보처리속도를 갖도록 급속하게 발전하고 있다. 이러한 정보처리기기는 정보를 표시하기 위해 디스플레이장치를 가진다. 종래에 사용된 디스플레이장치로는 브라운관(Cathode ray tube)모니터가 사용되어 왔으나, 최근 들어 반도체 기술의 급속한 발전에 따라 가볍고 공간을 작게 차지하는 평판디스플레이의 사용이 급격히 증가되고 있다. 이러한 평판디스플레이는 다양한 종류가 있으며, 이들 중 전력소모와 부피가 적고 저전압 구동형인 액정표시장치(Liquid crystal display;LCD)가 널리 사용되고 있다. In recent years, information processing devices are rapidly evolving to have various functions and faster information processing speeds. Such an information processing device has a display device for displaying information. Conventionally, a cathode ray tube (CRT) monitor has been used as a conventional display device. However, in recent years, with the rapid development of semiconductor technology, the use of a flat panel display that occupies a light and small space has been rapidly increasing. There are various types of such flat panel displays, among which liquid crystal displays (LCDs) having low power consumption and volume and low voltage driving type are widely used.

액정표시장치의 제작을 위해서는 복수의 단위공정이 수행되는데, 이러한 복수의 단위공정을 수행하기 위해서는 기판을 이송하여야 한다.In order to manufacture a liquid crystal display device, a plurality of unit processes are performed. In order to perform such a plurality of unit processes, a substrate must be transferred.

이를 위해 일반적으로 로봇과 컨베이어와 같이 장치들이 대표적으로 사용되고 있다.Generally, devices such as robots and conveyors are used for this purpose.

로봇은 기판을 뜰 수 있도록 포크가 구비되어 있으며, 승/하강 축을 중심으로 회전운동을 하며 암을 움직여 기판을 뜨는 포크의 위치를 조정한다.The robot has a fork for lifting the substrate. The robot rotates about the up / down axis and moves the arm to adjust the position of the fork floating on the substrate.

또한 수평으로 움직이는 주행 장치가 달린 로봇은 기판을 들고 주행 장치의 가이드를 따라 움직여 기판을 적절한 위치에 놓게 된다.In addition, a robot with a traveling device moving horizontally moves the substrate along the guide of the traveling device to place the substrate in a proper position.

이와 같은 로봇은 속도 및 정확도가 좋으나, 사이즈가 크고 가격이 비싸며 기판을 옮기는 기능만을 수행하기 때문에 실용성이 떨어지는 문제점이 있다.Such robots have high speed and accuracy, but they are large in size, expensive, and have a problem in practicality because they only perform the function of moving the substrate.

따라서 최근에는 기판을 이송하는데 있어 컨베이어와 같은 기판이송장치를 사용한다. 이러한 기판이송장치는 가볍고 크기가 작으며, 구조가 간단하다는 장점이 있으며, 그 종류로는 기판을 하부에서 상부로 또는 상부에서 하부로 이송시키는 승/하강 장치, 기판을 일방향으로 이송시키는 장치, 기판의 이송방향을 전환하는 장치 등으로 구분된다.Therefore, recently, a substrate transfer device such as a conveyor is used for transferring a substrate. Such a substrate transfer apparatus is advantageous in that it is light, small in size, and simple in structure. Examples of the substrate transfer apparatus include a wiper device for transferring a substrate from the bottom to the top or from the top to the bottom, And a device for switching the conveying direction of the sheet.

그리나 이러한 기판이송장치는 기판의 승/하강, 기판의 이송, 기판의 이송방향 전환 등을 수행하는 별도의 기판이송장치로 형성되기 때문에 복합 기능을 수행하기 위해 각각의 기능을 수행하는 기판이송장치를 설치하여야 한다.However, since such a substrate transfer apparatus is formed as a separate substrate transfer apparatus for performing a substrate up / down, a substrate transfer, and a transfer direction of a substrate, a substrate transfer apparatus Should be installed.

따라서 복합 기능을 수행하기 위한 기판이송장치 세트는 넓은 공간을 차지할 수 밖에 없는 문제점이 있다.Therefore, there is a problem that the substrate transfer device set for performing the complex function occupies a large space.

또한 기판의 이동거리가 멀어지고 결과적으로 기판의 이동시간이 길어져 생산 효율이 저하되는 문제점이 있다.In addition, there is a problem that the moving distance of the substrate is distant, and as a result, the moving time of the substrate becomes long, and the production efficiency is lowered.

또한 액정표지 장치의 생산을 위해 클린 환경이 요구되는 바, 기판이송장치가 넓은 공간을 차지하게 되면 그만큼 클린 환경의 건설비용 및 유지비용이 증가하게 되는 문제점이 있다. In addition, since a clean environment is required for the production of a liquid crystal label, when the substrate transfer apparatus occupies a large space, the construction cost and maintenance cost of a clean environment increase.

따라서, 본 발명은 상기와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 본 발명의 목적은 기판의 승/하강, 기판의 이송방향 전환 및 포크에 의한 기판의 입출 등 복합 기능을 수행하는 컴팩트한 사이즈의 기판이송장치를 제공하는 데 있다.SUMMARY OF THE INVENTION Accordingly, the present invention has been made to solve the above-mentioned problems occurring in the prior art, and it is an object of the present invention to provide a compact size And to provide a substrate transfer apparatus.

상기 목적을 달성하기 위하여 본 발명에 의한 기판이송장치는 기판의 이송을 위한 제1이송유닛과, 기판의 이송을 위하여 상기 제1이송유닛의 상부에 배치되는 제2이송유닛과, 상기 제2이송유닛을 승/하강시키기 위한 승/하강유닛을 포함하고, 상기 제2이송유닛은 승/하강함에 따라 상기 제1이송유닛에 기판을 전달하거나, 상기 제1이송유닛상의 기판을 전달받는 것을 특징으로 한다.According to an aspect of the present invention, there is provided a substrate transfer apparatus comprising: a first transfer unit for transferring a substrate; a second transfer unit disposed above the first transfer unit for transferring a substrate; Wherein the second transfer unit transfers the substrate to the first transfer unit or the substrate on the first transfer unit when the second transfer unit is moved up and down, do.

또한, 상기 제1이송유닛은 기판의 이송을 위한 제1롤러부와, 상기 제1롤러부를 구동하기 위한 제1구동부와, 포크의 진입이 가능하도록 상기 제1롤러부사이에 형성되는 포크진입부를 포함한다.The first transfer unit may include a first roller unit for transferring the substrate, a first driving unit for driving the first roller unit, and a fork entrance unit formed between the first roller unit and the fork, do.

또한, 상기 제1롤러부는 상기 구동부와 연결된 제1롤러와, 상기 제1롤러의 상부에 회전 가능하게 고정된 제2롤러와, 상기 제1롤러의 회전력을 상기 제2롤러에 전달하는 벨트를 포함한다.The first roller portion may include a first roller connected to the driving portion, a second roller rotatably fixed to the upper portion of the first roller, and a belt for transmitting the rotational force of the first roller to the second roller do.

또한, 상기 제2이송유닛은 기판의 이송을 위한 제2롤러부와, 상기 제2롤러부를 구동하기 위한 제2구동부를 포함하고, 상기 제2롤러부와 상기 제2구동부는 상기 제2이송유닛의 하강시 상기 제1롤러부와 간섭이 발생하지 않도록 배치된다.The second conveying unit includes a second roller portion for conveying the substrate and a second driving portion for driving the second roller portion, and the second roller portion and the second driving portion are connected to the second conveying unit, So that interference with the first roller unit does not occur.

또한, 상기 제1,2이송유닛은 상기 제1이송유닛에 의해 이송되는 기판의 이송방향과 상기 제2이송유닛에 의해 이송되는 기판의 이송방향이 상호 수직되도록 배치된다.The first and second transfer units are arranged so that the transfer direction of the substrate transferred by the first transfer unit and the transfer direction of the substrate transferred by the second transfer unit are mutually perpendicular.

이하에서는 본 발명에 따른 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세 히 설명한다. Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 1은 본 발명에 따른 기판이송장치를 나타내는 사시도이고, 도 2는 도1의 기판이송장치에 포함되는 제1이송유닛의 A부의 확대도이며, 도 3은 도1의 기판이송장치에 포함되는 제2이송유닛의 B부의 확대도이다. 또한, 도 4는 본 발명에 따른 기판이송장치에 포함되는 제1이송유닛의 정면도이다.FIG. 1 is a perspective view showing a substrate transfer apparatus according to the present invention, FIG. 2 is an enlarged view of part A of a first transfer unit included in the substrate transfer apparatus of FIG. 1, and FIG. 3 is a cross- And an enlarged view of a portion B of the second transfer unit. 4 is a front view of the first transfer unit included in the substrate transfer apparatus according to the present invention.

본 발명에 따른 기판이송장치는 도1에 도시된 바와 같이, 하부에서 기판의 이송을 위한 제1이송유닛(10)과, 상대적으로 상부에서 기판을 이송하는 제2이송유닛(20)과, 제2이송유닛(20)을 승/하강시키기 위한 승하강유닛(30)을 포함하여 이루어진다.1, a substrate transfer apparatus according to the present invention includes a first transfer unit 10 for transferring a substrate at a lower portion thereof, a second transfer unit 20 for transferring a substrate at a relatively upper portion thereof, And an elevating / lowering unit (30) for moving up / down the second transfer unit (20).

승하강유닛(30)은 대략 사각형 형태의 프레임(31)과, 제2이송유닛(20)이 승/하강 가능하도록 설치되는 승강부(32)와, 승강부(32)를 구동하는 구동장치(33)를 포함한다.The elevating and lowering unit 30 includes a substantially rectangular frame 31, a lift unit 32 provided so that the second conveying unit 20 can be raised and lowered, a drive unit 33).

프레임(31)은 대략 사각형 형상으로 하면을 형성하는 베이스(31a)와, 베이스(31a)의 모서리측에 수직으로 설치되는 승강축(31b)과, 승강축(31b)의 상부를 덮는 커버(31c)를 포함한다.The frame 31 has a base 31a forming a substantially rectangular bottom surface and an elevation shaft 31b vertically installed on the edge side of the base 31a and a cover 31c covering an upper portion of the elevation shaft 31b ).

승강부(32)는 승강축(31b)내에서 상,하 이동 가능하게 마련되는데, 승강축(31b)에 대해 프레임(31)내측으로 돌출되어 제2이송유닛(20)의 하면을 지지하여 제2이송유닛(20)의 승/하강을 가이드한다.The elevating portion 32 is provided so as to be movable upward and downward within the elevating shaft 31b and projects upward in the frame 31 with respect to the elevating shaft 31b to support the lower surface of the second conveying unit 20, 2 conveying unit 20 is guided.

구동장치(33)는 베이스(31a)에 설치된 구동모터(34)와, 구동모터(34)의 회전력을 승강부(32)에 전달하기 위한 동력전달장치(35)를 포함한다.The driving device 33 includes a driving motor 34 provided on the base 31a and a power transmitting device 35 for transmitting the rotational force of the driving motor 34 to the elevating part 32. [

동력전달장치(35)는 회전축부(35a)과, 기어박스(35b)로 이루어져 구동모터(34)의 구동력을 이용하여 승강부(32)를 상하방향(도1의 Ⅲ방향) 운동 시킨다.The power transmission device 35 is composed of a rotary shaft portion 35a and a gear box 35b and uses the driving force of the drive motor 34 to move the lift portion 32 up and down (in the direction of Fig.

따라서 승하강유닛(30)의 동작은 구동모터(34)가 회전하게 되면 이는 동력전달장치(35)에 의해 승강부(32)로 전달되어 승강부(32)는 프레임(31)의 승강축(31b)을 따라 상하로 이동하게 된다.Therefore, when the drive motor 34 rotates, the operation of the ascending / descending unit 30 is transmitted to the ascending and descending unit 32 by the power transmission device 35 so that the ascending and descending unit 32 can ascend and descend 31b.

이와 같이 구동장치(33)를 이용하여 승강축(31b)을 상하 운동시키는 구조는 본 발명에 속하는 당업자가 용이하게 다양한 구성으로 달성할 수 있으므로 그 구체적인 설명은 생략하기로 한다.The structure for moving the lifting shaft 31b up and down using the driving device 33 as described above can be easily achieved by a person having ordinary skill in the art to which the present invention pertains, so a detailed description thereof will be omitted.

제1이송유닛(10)은 도1,2에 도시된 바와 같이 상대적으로 낮은 높이에서 이송되는 기판을 이송하기 위한 제1롤러부(40)와, 제1롤러부(40)를 구동하기 위한 제1구동부(11)와, 제1이송유닛(10)상의 기판을 반송하기 위한 반송로봇(미도시)의 포크가 진입할 수 있도록 포크진입부(12)를 포함하여 이루어져 지지프레임(14)에 고정 설치된다.The first transfer unit 10 includes a first roller unit 40 for transferring a substrate conveyed at a relatively low height as shown in FIGS. 1 and 2, a first roller unit 40 for driving the first roller unit 40, 1 drive unit 11 and a fork entrance part 12 for allowing the fork of a transport robot (not shown) for transporting the substrate on the first transfer unit 10 to enter and fixed to the support frame 14 Respectively.

제1롤러부(40)는 복수로 마련되는데, 제1롤러부(40) 각각은 제1구동부(11)와 연결된 회전축(41)과, 회전축(41)의 회전시 일체로 회전하는 복수의 제1롤러(42)와, 제1롤러(42)의 상측에 소정높이로 마련되어 회전 가능하게 고정된 복수의 제2롤러(43)와, 제2롤러(43)를 회전 가능하게 지지하는 한쌍의 지지축부(44)와, 제1롤러(42)의 회전력을 제2롤러(43)에 전달하는 벨트(45)를 포함하여 이루어진다.Each of the first roller portions 40 includes a rotary shaft 41 connected to the first driving portion 11 and a plurality of second rotary portions 40 integrally rotated when the rotary shaft 41 rotates. A plurality of second rollers 43 provided on the upper side of the first roller 42 at a predetermined height so as to be rotatably fixed and a pair of rollers 42 for rotatably supporting the second rollers 43, A shaft portion 44 and a belt 45 for transmitting the rotational force of the first roller 42 to the second roller 43. [

이러한 제1롤러부(40)는 기판의 이송시 기판의 처짐은 방지하기 위해 좁은 간격으로 배치될 수 있으나, 본 발명의 바람직할 실시예에서는 제조비의 절감 및 제2이송유닛(20)이 제1이송유닛(10)의 상부에 안착될 경우 후술할 제2이송유닛(20)의 제2롤러부(21) 및 제2구동부(22)가 제1롤러부(40)와 간섭이 일어나는 것을 방지하기 위해 제1롤러부(40)들 사이를 간섭이 일어나지 아니할 정도의 소정 폭으로 넓게 유지하고 기판의 처짐을 방지하기 위해 제1롤러부(40)사이에 제1롤러부(40)에 비해 상대적으로 제조비가 저렴하고 부피를 적게 차지하는 보조롤러(13)를 마련한다.The first roller unit 40 may be disposed at a narrow interval to prevent sagging of the substrate during transfer of the substrate. However, in a preferred embodiment of the present invention, the manufacturing cost is reduced and the second transfer unit 20 The second roller unit 21 and the second drive unit 22 of the second transfer unit 20 to be described later are prevented from interfering with the first roller unit 40 when the transfer unit 10 is mounted on the transfer unit 10 In order to keep the gap between the first roller portions 40 wide enough to prevent interference and to prevent sagging of the substrate, a gap between the first roller portions 40 relative to the first roller portion 40 An auxiliary roller 13 which is low in manufacturing cost and occupies a small volume is provided.

보조롤러(13)는 제1롤러부(40)사이에 각각 배치되는데, 기판의 이송시 기판이 처지는 것을 방지하고, 제2롤러(43)에 의한 기판의 이송을 원활하게 할 수 있도록 제2롤러(43)의 방향과 동일한 방향으로 배치된다.The auxiliary rollers 13 are respectively disposed between the first roller portions 40. The auxiliary rollers 13 prevent the substrate from being sagged when the substrate is fed and smoothly convey the substrate by the second rollers 43. [ (43).

제2롤러(43)의 상단으로 기판의 이송을 지지하게 되는데, 이때 반송로봇의 포크가 제2롤러(43)상의 기판을 반송할 수 있도록 도 4에 도시된 바와 같이 인접하는 한 쌍의 지지축부(44)사이에는 포크진입부(12)가 형성된다. 이때 제2롤러(43)는 제2이송유닛(20)이 제1이송유닛(10)의 상부에 안착된 경우에도 포크진입부(12)가 포크진입공간을 확보할 수 있도록 소정높이에 위치한다.The transfer robot supports the transfer of the substrate to the upper end of the second roller 43. At this time, the fork of the transfer robot transfers the substrate on the second roller 43, And the fork entrance portion 12 is formed between the first and second openings 44a and 44b. At this time, the second roller 43 is positioned at a predetermined height so that the fork entrance portion 12 can secure the fork entrance space even when the second transfer unit 20 is seated on the upper portion of the first transfer unit 10 .

이와 같은 제1롤러부(40)는 제1구동부(11)와 연결되는데, 제1구동부(11)는 복수의 회전축 각각에 연결되어 복수의 회전축을 회전시킬 수 있도록 복수의 구동모터로 이루어질 수 있으며, 복수의 회전축을 기어나 풀리 등의 동력전달부재로 연결시킴으로써 단일의 구동모터와 동력전달부재를 이용하여 복수의 회전축을 회전시킬 수도 있다.The first roller unit 40 is connected to the first driving unit 11. The first driving unit 11 may include a plurality of driving motors connected to the plurality of rotating shafts to rotate the plurality of rotating shafts , A plurality of rotation shafts may be rotated by using a single drive motor and a power transmission member by connecting a plurality of rotation shafts by a power transmission member such as a gear or a pulley.

본 발명의 바람직한 실시예에서는 제1구동부(11)는 단일의 구동모터와 마그 넷 드라이브와 같은 비접촉 구동전달장치로 이루어지고, 회전축(41)은 비접촉 구동전달장치와 연결되어 회전함으로써 제1,2롤러(42,43)를 회전시키게 된다. 이러한 비접촉 구동전달장치는 본 발명의 기술분야에 속하는 당업자에게 자명한 구성으로 그 설명은 생략하도록 한다.In the preferred embodiment of the present invention, the first driving unit 11 is composed of a single driving motor and a non-contact driving transmitting device such as a magnet drive, and the rotating shaft 41 is connected to the non- The rollers 42 and 43 are rotated. Such a noncontact driving transmission device will be apparent to those skilled in the art and will not be described herein.

따라서 제1구동부(11)가 구동하면 이와 비접촉상태로 연결된 복수의 회전축(41)이 회전하게 되고, 회전축(41)의 회전과 함께 제1롤러(42)가 회전하게 된다. 또한 제1롤러(42)가 회전하면, 이에 따라 벨트(45)에 의해 연결된 제2롤러(43)가 회전하여 기판을 도1의 Ⅱ방향으로 이송하게 된다.Accordingly, when the first driving unit 11 is driven, a plurality of rotation shafts 41 connected in a non-contact state are rotated, and the first roller 42 rotates together with the rotation of the rotation shaft 41. When the first roller 42 rotates, the second roller 43 connected by the belt 45 rotates to transfer the substrate in the direction II in FIG.

제1이송유닛(10)의 상부에 승하강 가능하게 배치되는 제2이송유닛(20)은 도 1,3에 도시된 바와 같이 승하강유닛(30)의 승강부(32)에 장착되는데, 대략 사각형 형상의 지지틀(23)과, 지지틀(23) 사이에 마련되어 기판을 이송시키는 복수의 제2롤러부(21)와, 복수의 제2롤러부(21)를 구동시키는 제2구동부(22)를 포함하여 이루어진다.As shown in FIGS. 1 and 3, the second transfer unit 20 disposed on the upper portion of the first transfer unit 10 is mounted on the ascending / descending part 32 of the ascending / descending unit 30, A plurality of second roller portions 21 provided between the supporting frame 23 and the support frame 23 for conveying the substrates and a second driving portion 22 for driving the plurality of second roller portions 21 ).

제2롤러부(21)는 복수의 마련되는데, 제2롤러부(21) 각각은 이송축(21a)과, 이송축(21a)상에 설치되어 제2구동부(22)의 구동에 의해 이송축(21a)의 회전과 함께 회전하는 복수의 이송롤러(21b)를 포함한다. A plurality of second roller portions 21 are provided and each of the second roller portions 21 is provided with a conveying shaft 21a and a conveying shaft 21a which is provided on the conveying shaft 21a and driven by the second driving portion 22, And a plurality of feed rollers 21b that rotate together with the rotation of the feed roller 21a.

본 발명의 바람직한 실시예에서는 제2구동부(22)는 상술한 제1구동부(11)와 동일하게 마그넷 드라이브와 같은 비접촉 구동전달장치로 이루어질 수 있으며, 또한 제2구동부는 복수의 회전축 각가에 연결되어 복수의 회전축을 회전시킬 수 있도록 복수의 구동모터로 이루어질 수 있으며, 복수의 회전축을 기어나 풀리 등의 동 력전달부재로 연결시킴으로써 당일의 구동모터를 이용하여 복수의 회전축을 회전시킬 수도 있는 등, 복수의 회전축을 회전시킬 수 있는 다양한 구성이 가능하다. In the preferred embodiment of the present invention, the second drive unit 22 may be a non-contact drive transmission device such as a magnet drive as in the first drive unit 11 described above, and the second drive unit may be connected to each of the plurality of rotation shafts The plurality of rotation shafts may be connected to each other by a force transmission member such as a gear or a pulley so that a plurality of rotation shafts may be rotated using the same driving motor, Various configurations are possible to rotate a plurality of rotation shafts.

이와 같은 제2이송유닛(20)의 제2롤러부(21)와 제2구동부(22)는 제2이송유닛(20)이 하강하여 제1이송유닛(10)의 상부에 안착하는 경우 제1이송유닛(10)의 제1롤러부(40)와의 간섭이 발생하지 않도록 적절하게 배치토록 한다.The second roller unit 21 and the second driving unit 22 of the second transfer unit 20 may move in the first direction when the second transfer unit 20 descends and is seated on the first transfer unit 10, So that interference with the first roller unit 40 of the transfer unit 10 does not occur.

또한, 제2이송유닛(20)에 마련되는 이송롤러(21b)와 제1이송유닛(10)에 마련되는 제2롤러(43)는 상호 수직되도록 배치하여 제2이송유닛(20)으로부터 제1이송유닛(10)으로 기판이 전달되는 경우 기판의 이송방향을 전환할 수 있게 한다.The conveying roller 21b provided in the second conveyance unit 20 and the second roller 43 provided in the first conveyance unit 10 are arranged to be mutually perpendicular to each other so that the first conveyance unit 20, Thereby enabling the transfer direction of the substrate to be switched when the substrate is transferred to the transfer unit 10.

따라서 제1이송유닛(10)으로 이송하는 기판에 비해 상대적으로 상측으로 이송하는 기판의 경우 이송되는 높이에 따라 승하강유닛(30)을 구동하여 제2이송유닛(20)의 높이를 조절할 수 있으며, 제2구동부(22)를 구동하여 제2롤러부(21)의 이송축(21a)을 회전시켜 이송축(21a)상에 마련되는 이송롤러(21b)를 회전시킴으로써 기판을 도1의 Ⅰ방향으로 이송할 수 있게 된다.Therefore, in the case of the substrate transported relatively to the upper side as compared with the substrate transported to the first transport unit 10, the height of the second transport unit 20 can be adjusted by driving the up-down unit 30 according to the transported height The second driving unit 22 is driven to rotate the conveyance shaft 21a of the second roller unit 21 to rotate the conveyance roller 21b provided on the conveyance shaft 21a to rotate the substrate in the I direction As shown in FIG.

또한 본 발명의 도면에 개시하지 아니하였지만 승하강유닛에 승강부를 복수로 마련하여 제2구동유닛 뿐 만이라 제1구동유닛을 승하강 가능하게 할 수 있음은 물론이다.Although it is not shown in the drawings of the present invention, it is needless to say that a plurality of elevating portions may be provided in the elevating / lowering unit so that the first driving unit can be raised / lowered only by the second driving unit.

이하 도5를 참조하여 본 발명에 따른 기판이송장치의 동작과 작용효과를 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, operations and effects of the substrate transfer apparatus according to the present invention will be described with reference to FIG.

도 5 내지 도7은 본 발명에 따른 기판이송장치의 동작을 나타내는 도면이다.5 to 7 are views showing the operation of the substrate transfer apparatus according to the present invention.

본 발명에 따른 기판이송장치에서 기판을 후속 공정이 수행되는 위치로 이송 하기 위해서는 도 5에 도시된 바와 같이 가장 먼저 제2이송유닛(20)의 제2구동부(22)가 구동하여 이 제2구동부(22)와 연결된 이송축(21a)이 회전하고, 이 이송축(21a)이 회전함에 따라 이송롤러(21b)가 회전하여 이송롤러(21b)의 상면에 접촉되는 기판(S)이 제2이송유닛(20)으로 이송된다.In order to transfer a substrate to a position where a subsequent process is performed in the substrate transfer apparatus according to the present invention, the second drive unit 22 of the second transfer unit 20 is first driven as shown in FIG. 5, The conveying shaft 21a connected to the conveying roller 21 rotates and the conveying roller 21b rotates as the conveying shaft 21a rotates so that the substrate S, which is in contact with the upper surface of the conveying roller 21b, Unit 20 as shown in FIG.

이 후 도 6에 도시된 바와 같이 승하강유닛(30)의 구동장치(33)가 구동하여 이에 연결된 동력전달장치(35)를 통해 승강부(32)가 하측으로 이동함에 따라 승강부(32)에 장착된 제2이송유닛(20)이 제1이송유닛(10)측으로 하강하게 된다.6, the driving unit 33 of the elevating and lowering unit 30 is driven to move the elevating unit 32 downward through the power transmitting device 35 connected thereto, The second transfer unit 20 mounted on the first transfer unit 10 is lowered to the first transfer unit 10 side.

이와 같이 제2이송유닛(20)이 제1이송유닛(10)측으로 하강을 완료하게 되면 도 7 에 도시된 바와 같이 제2이송유닛(20)상에 기판이 제1이송유닛(10)으로 전달된다.When the second transfer unit 20 completes the lowering to the first transfer unit 10, the substrate is transferred to the first transfer unit 10 on the second transfer unit 20 as shown in FIG. do.

도 7,8을 참고하여 이를 구체적으로 살펴보도록 한다.This will be described in detail with reference to FIGS.

제2이송유닛(20)에 포함되는 제2롤러부(21)와 제2구동부(22)는 제1이송유닛(10)의 제1롤러부(40)와 간섭을 일으키지 아니하도록 적절하게 배치되어 있기 때문에 제2이송유닛(20)의 하강에 따라 제2롤러부(21)와 제2구동부(22)사이의 틈을 통해 제1이송유닛(10)의 제1롤러부(40) 및 보조롤러(13)가 제2이송유닛(20)을 관통하여 돌출되게 된다. 따라서 제2롤러부(21)의 이송롤러(21b)상에 위치한 기판(S)은 제2이송유닛(20)의 하강에 따라 제1이송유닛(10)의 제2롤러(43) 및 보조롤러(13)상으로 옮겨지게 되고, 계속하여 제2이송유닛(20)은 하강을 지속한 후 제1이송유닛(10)에 안착되게 된다.The second roller portion 21 and the second drive portion 22 included in the second transfer unit 20 are appropriately disposed so as not to interfere with the first roller portion 40 of the first transfer unit 10 The first roller portion 40 of the first transfer unit 10 and the second roller portion 22 of the first transfer unit 10 are guided through the gap between the second roller portion 21 and the second drive portion 22 in accordance with the descent of the second transfer unit 20, (13) protrudes through the second transfer unit (20). The substrate S placed on the conveying roller 21b of the second roller portion 21 is conveyed by the second roller 43 of the first conveying unit 10 and the second roller 43 of the first conveying unit 10 along with the descent of the second conveying unit 20, The second transfer unit 20 continues to descend and then is seated on the first transfer unit 10. The second transfer unit 20 is moved to the first transfer unit 10,

이와 같이 제2이송유닛(20)이 제1이송유닛(10)에 안착된 상태에서도 도 9에 도시된 바와 같이 기판(S)의 반송을 위해 반송로봇의 포크(P)가 진입할 수 있도록 포크진입부(12)가 개방된 상태를 유지하게 되어 F방향으로 기판의 반송이 가능하게 된다.(도 7참조)9, even when the second transfer unit 20 is seated on the first transfer unit 10, the fork P of the transfer robot can be transferred to the transfer robot 10 for transferring the substrate S, The entrance portion 12 remains open and the substrate can be transported in the direction F. (See Fig. 7)

또한 이때, 기판(S)은 제1이송유닛(10)의 구동에 따라 포크측의 반대 방향(R방향)으로 이송할 수 있음은 물론이다.Needless to say, at this time, the substrate S can be conveyed in the opposite direction (R direction) of the fork side as the first transfer unit 10 is driven.

이와 같이 기판이 도 7의 R방향으로 이송하는 과정은 먼저 제1구동부(11)가 구동하여 이와 연결된 회전축(41)이 회전하게 되고, 이 회전축(41)의 회전과 함께 제1롤러부(40)의 제1롤러(42)가 회전하고, 이와 벨트(45)로 연결된 제2롤러(43)가 회전함으로써 기판을 R방향으로 이송한다.7, the first driving unit 11 is driven and the rotating shaft 41 connected to the rotating shaft 41 is rotated. When the rotating shaft 41 is rotated, the first roller unit 40 And the second roller 43 connected thereto by the belt 45 is rotated to transport the substrate in the R direction.

또한, 본 발명은 상기의 동작을 역으로 수행하는 것도 가능하다. 즉, 제2이송유닛(20)을 하강시켜 제1이송유닛(10)에 안착시킨 상태에서 제1이송유닛(10)을 구동하여 기판을 제1이송유닛(10)상에 위치시킨 후 승하강유닛(30)을 구동하면 제2이송유닛(20)이 승강함에 따라 제1이송유닛(10)상의 기판이 제2이송유닛(20)상으로 옮겨지게 되고, 제2이송유닛(20)상의 기판은 제2이송유닛(20)을 구동하여 이송할 수 있다.It is also possible for the present invention to perform the above operation in reverse. That is, when the second transfer unit 20 is lowered and is placed in the first transfer unit 10, the first transfer unit 10 is driven to position the substrate on the first transfer unit 10, When the unit 30 is driven, the substrate on the first transfer unit 10 is transferred onto the second transfer unit 20 as the second transfer unit 20 ascends and descends, The second conveying unit 20 can be driven and conveyed.

따라서 본 발명에 따른 기판이송장치는 단일의 장치를 이용하여 기판의 승/하강, 기판의 이송방향 전환 및 포크에 의한 기판의 입출 등 복합 기능을 수행할 수 있으며, 이에 따라 컴팩트한 사이즈의 기판이송장치를 실현하여 공간 활용성을 향상시킬 수 있다.Accordingly, the substrate transfer apparatus according to the present invention can perform a combined function such as a substrate up / down, a transfer direction of a substrate, and a substrate entry / exit by a fork using a single device. Accordingly, It is possible to realize the device and improve the space usability.

또한 기판의 이동거리를 짧게 할 수 있기 때문에 생산 효율을 향상시킬 수 있으며, 액정표시장치의 제조를 위한 클린 시설의 규모를 축소할 수 있어 제조비용을 절감할 수 있다.In addition, since the movement distance of the substrate can be shortened, the production efficiency can be improved, and the size of the clean facility for manufacturing the liquid crystal display device can be reduced, thereby reducing the manufacturing cost.

상기의 설명에서와 같이, 본 발명에 의한 기판이송장치는 단일의 장치를 이용하여 기판의 승/하강, 기판의 이송방향 전환 및 포크에 의한 기판의 입출 등 복합 기능을 수행할 수 있으며, 이에 따라 컴팩트한 사이즈의 기판이송장치를 실현하여 공간 활용성을 향상시킬 수 있다.As described above, the substrate transferring apparatus according to the present invention can perform a combined function such as raising / lowering of a substrate, transferring direction of a substrate, and entry / exit of a substrate by a fork using a single apparatus, It is possible to realize a substrate transfer apparatus of a compact size and to improve space usability.

상기에서 설명한 것은 본 발명에 의한 기판이송장치를 실시하기 위한 하나의 실시예에 불과한 것으로, 본 발명은 상술한 실시예에 한정되지 않고, 본 발명의 기술적 사상 내에서 당 분야의 통상의 지식을 가진 자에 의하여 여러 가지 변형이 가능함은 물론이다.The present invention is not limited to the above-described embodiment, but may be applied to other types of substrates having a conventional knowledge in the art within the technical scope of the present invention. Of course, various modifications are possible.

Claims (5)

기판의 이송을 위한 제1이송유닛과,A first transfer unit for transferring the substrate, 기판의 이송을 위하여 상기 제1이송유닛의 상부에 배치되는 제2이송유닛과,A second transfer unit disposed above the first transfer unit for transferring the substrate, 상기 제2이송유닛을 승/하강시키기 위한 승/하강유닛을 포함하고,And a wiper unit for wiping / lowering the second transfer unit, 상기 제2이송유닛은 승/하강함에 따라 상기 제1이송유닛에 기판을 전달하거나, 상기 제1이송유닛상의 기판을 전달받도록 마련되며,The second transfer unit is provided to transfer the substrate to the first transfer unit or to receive the substrate on the first transfer unit as the substrate moves up / down, 상기 제1이송유닛은 기판의 이송을 위한 제1롤러부와, 상기 제1롤러부를 구동하기 위한 제1구동부와, 포크의 진입이 가능하도록 상기 제1롤러부사이에 형성되는 포크진입부를 포함하고,The first transfer unit includes a first roller portion for transferring a substrate, a first driving portion for driving the first roller portion, and a fork entrance portion formed between the first roller portion and the fork so that the fork can be introduced, 상기 제1롤러부는 상기 구동부와 연결된 제1롤러와, 상기 제1롤러의 상부에 회전 가능하게 고정된 제2롤러와, 상기 제1롤러의 회전력을 상기 제2롤러에 전달하는 벨트를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판이송장치.The first roller portion may include a first roller connected to the driving portion, a second roller rotatably fixed on the first roller, and a belt for transmitting the rotational force of the first roller to the second roller Wherein the substrate transfer device comprises: 삭제delete 삭제delete 제 1항에 있어서, 상기 제2이송유닛은 기판의 이송을 위한 제2롤러부와, 상기 제2롤러부를 구동하기 위한 제2구동부를 포함하고,2. The image forming apparatus according to claim 1, wherein the second transfer unit includes a second roller portion for transferring the substrate and a second drive portion for driving the second roller portion, 상기 제2롤러부와 상기 제2구동부는 상기 제2이송유닛의 하강시 상기 제1롤러부와 간섭이 발생하지 않도록 배치되는 것을 특징으로 하는 기판이송장치.Wherein the second roller portion and the second driving portion are arranged so as not to interfere with the first roller portion when the second transfer unit is lowered. 제 1항에 있어서, 상기 제1,2이송유닛은 상기 제1이송유닛에 의해 이송되는 기판의 이송방향과 상기 제2이송유닛에 의해 이송되는 기판의 이송방향이 상호 수직되도록 배치되는 것을 특징으로 하는 기판이송장치.The apparatus according to claim 1, wherein the first and second transfer units are arranged so that the transfer direction of the substrate transferred by the first transfer unit and the transfer direction of the substrate transferred by the second transfer unit are mutually perpendicular .
KR1020070074894A 2007-07-26 2007-07-26 Substrate conveyor KR101427595B1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020070074894A KR101427595B1 (en) 2007-07-26 2007-07-26 Substrate conveyor

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020070074894A KR101427595B1 (en) 2007-07-26 2007-07-26 Substrate conveyor

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20090011381A KR20090011381A (en) 2009-02-02
KR101427595B1 true KR101427595B1 (en) 2014-08-08

Family

ID=40682518

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020070074894A KR101427595B1 (en) 2007-07-26 2007-07-26 Substrate conveyor

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR101427595B1 (en)

Cited By (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101686053B1 (en) 2015-12-07 2016-12-13 비앤에스(주) Rail Transferring Module
KR101951871B1 (en) 2017-10-16 2019-02-26 비앤에스(주) Connection Rail Module Containing Auxiliary rail for Change of Direction
KR101951869B1 (en) 2017-10-16 2019-02-26 비앤에스(주) Roller Unit Containing Front Guide Bar and Pallet Transfer System using thereof
KR101960679B1 (en) 2017-10-16 2019-03-21 비앤에스(주) Roller Unit Containing Guide wheel and Pallet Transfer System using thereof
KR20190042780A (en) 2017-10-16 2019-04-25 비앤에스(주) Pallet Moving Control System Containing Collision Preventing Function and Continuous Driving Function By using Linear Motor and Control Method thereof
KR20190042781A (en) 2017-10-16 2019-04-25 비앤에스(주) Pallet Moving Control System Containing Heat Sink Structure of Linear Motor
KR102049037B1 (en) 2019-07-29 2019-11-27 비앤에스(주) A Rail Turn Module having Traveling and Guide function and Pallet Transport System Using the same
KR102046431B1 (en) 2019-07-29 2019-12-03 비앤에스(주) A Traveling Rail having Traveling and Guide function and Pallet Transport System Using the same
KR102046433B1 (en) 2019-07-29 2019-12-05 비앤에스(주) A Roller unit having Traveling and Guide function and Pallet Transport System Using the same

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101662580B1 (en) * 2015-05-04 2016-10-05 진광기공주식회사 Apparatus for supplying wood pannels
JP6905830B2 (en) * 2017-01-11 2021-07-21 株式会社Ｓｃｒｅｅｎホールディングス Substrate processing equipment and substrate processing method

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR880001101Y1 (en) * 1985-05-25 1988-03-25 삼성전자 주식회사 Conveyer table
JPH0323107U (en) * 1989-07-18 1991-03-11
JP2003321118A (en) * 2002-04-30 2003-11-11 Sumitomo Precision Prod Co Ltd Right-angle transfer equipment
KR20070067996A (en) * 2005-12-26 2007-06-29 엘지.필립스 엘시디 주식회사 Turn-diverter conveyor

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR880001101Y1 (en) * 1985-05-25 1988-03-25 삼성전자 주식회사 Conveyer table
JPH0323107U (en) * 1989-07-18 1991-03-11
JP2003321118A (en) * 2002-04-30 2003-11-11 Sumitomo Precision Prod Co Ltd Right-angle transfer equipment
KR20070067996A (en) * 2005-12-26 2007-06-29 엘지.필립스 엘시디 주식회사 Turn-diverter conveyor

Cited By (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101686053B1 (en) 2015-12-07 2016-12-13 비앤에스(주) Rail Transferring Module
KR101951871B1 (en) 2017-10-16 2019-02-26 비앤에스(주) Connection Rail Module Containing Auxiliary rail for Change of Direction
KR101951869B1 (en) 2017-10-16 2019-02-26 비앤에스(주) Roller Unit Containing Front Guide Bar and Pallet Transfer System using thereof
KR101960679B1 (en) 2017-10-16 2019-03-21 비앤에스(주) Roller Unit Containing Guide wheel and Pallet Transfer System using thereof
KR20190042780A (en) 2017-10-16 2019-04-25 비앤에스(주) Pallet Moving Control System Containing Collision Preventing Function and Continuous Driving Function By using Linear Motor and Control Method thereof
KR20190042781A (en) 2017-10-16 2019-04-25 비앤에스(주) Pallet Moving Control System Containing Heat Sink Structure of Linear Motor
KR102049037B1 (en) 2019-07-29 2019-11-27 비앤에스(주) A Rail Turn Module having Traveling and Guide function and Pallet Transport System Using the same
KR102046431B1 (en) 2019-07-29 2019-12-03 비앤에스(주) A Traveling Rail having Traveling and Guide function and Pallet Transport System Using the same
KR102046433B1 (en) 2019-07-29 2019-12-05 비앤에스(주) A Roller unit having Traveling and Guide function and Pallet Transport System Using the same

Also Published As

Publication number Publication date
KR20090011381A (en) 2009-02-02

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101427595B1 (en) Substrate conveyor
KR101488649B1 (en) Substrate transfer robot and system
JP2005212943A (en) Glass substrate transporting system
US20050115773A1 (en) Lift for substrate
KR101502130B1 (en) Transfer apparatus, Transfer chamber having the same and vacuum processing system including the same
KR20090060321A (en) Substrate transfer apparatus
KR100832472B1 (en) The substrate transfer
KR20080022377A (en) The substrate transfer
KR101000494B1 (en) Transferring apparatus
KR101427596B1 (en) Substrate conveyor
JP4711771B2 (en) Conveying device and vacuum processing device
KR20150080749A (en) Lifting apparatus and apparatus for transferring substrate comprising the same
KR20110056029A (en) Apparatus for conveying substrate
KR20210137262A (en) Tower lift
CN110745517A (en) Transmission device
KR101254276B1 (en) Glass transfer apparatus and driving method thereof
JP2005223204A (en) Conveying robot
KR20080053572A (en) Apparatus driving lift pin and device having it for manufacturing fpd
CN111792328B (en) Substrate conveying device
KR101010192B1 (en) Transferring apparatus
CN111547508B (en) Substrate transport system and control method of substrate transport system
JP5474328B2 (en) Substrate transfer robot
KR100886224B1 (en) A cantilever lifter for glass the use of flat panel display
KR20100051968A (en) Apparatus for conveying substrate
KR20100001557A (en) Substrate transfering apparatus

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
N231 Notification of change of applicant
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20180802

Year of fee payment: 5