JP2003321118A - Right-angle transfer equipment - Google Patents
Right-angle transfer equipmentInfo
- Publication number
- JP2003321118A JP2003321118A JP2002128642A JP2002128642A JP2003321118A JP 2003321118 A JP2003321118 A JP 2003321118A JP 2002128642 A JP2002128642 A JP 2002128642A JP 2002128642 A JP2002128642 A JP 2002128642A JP 2003321118 A JP2003321118 A JP 2003321118A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- transfer
- substrate
- roller
- line
- transport
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Intermediate Stations On Conveyors (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Relays Between Conveyors (AREA)
Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、例えば液晶用ガラ
ス基板の製造等に使用される基板移載装置に関し、特
に、直角に交差する２つの基板搬送ラインの交差部に、
基板の方向転換のために配置される直角移載装置に関す
る。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a substrate transfer apparatus used, for example, in the manufacture of glass substrates for liquid crystals, and more particularly, at the intersection of two substrate transfer lines intersecting at right angles.
The present invention relates to a right-angle transfer device arranged for turning a substrate.
【０００２】[0002]
【従来の技術】液晶用ガラス基板の製造では、マスキン
グ−エッチング−剥離を一組とする一連の処理が繰り返
し実施される。エッチング、剥離等の各処理法の一つと
して搬送式があり、効率等の点から多用されている。搬
送式の基板処理では、基板を水平方向へ順番に搬送しな
がら、各基板に薬液処理、水洗処理等を順に施す。この
処理方法の欠点の一つは、処理ラインが長くなることで
ある。この欠点を解消するために、処理ラインは平面視
でＬ字形或いはＵ字形に設計されるのが通例である。2. Description of the Related Art In the manufacture of glass substrates for liquid crystals, a series of masking-etching-peeling treatments is repeated. There is a transfer method as one of the processing methods such as etching and peeling, and it is widely used in terms of efficiency. In the transfer-type substrate processing, the substrates are sequentially transferred in the horizontal direction, and each substrate is sequentially subjected to a chemical solution treatment, a water washing treatment, and the like. One of the drawbacks of this processing method is that the processing line becomes long. In order to eliminate this drawback, the processing line is usually designed to be L-shaped or U-shaped in a plan view.
【０００３】Ｌ字形或いはＵ字形の基板処理ラインで
は、２つの搬送ラインが直角に交差する交差部が生じ、
この交差部で基板の搬送方向を９０度転換する必要があ
る。この交差部での方向転換に使用されるのが直角移載
装置である。従来の方向転換用の直角移載装置を図４及
び図５に示す。In an L-shaped or U-shaped substrate processing line, an intersection where two transfer lines intersect at a right angle occurs,
It is necessary to change the transfer direction of the substrate by 90 degrees at this intersection. A right angle transfer device is used for changing the direction of the intersection. A conventional right-angle transfer device for changing direction is shown in FIGS.
【０００４】方向転換用の直角移載装置は、直角に交差
する基板搬送ライン１，２の交差部に設置される。上流
側に位置する基板搬送ライン１は、所定間隔で配列され
た多数の搬送ローラ１ａ・・・により構成されている。
下流側に位置する基板搬送ライン２も、所定間隔で配列
された多数の搬送ローラ２ａ・・・により構成されてい
る。ラインの高さは、上流側の基板搬送ライン１より下
流側の基板搬送ライン２が低く設定されている。The right-angle transfer device for changing the direction is installed at the intersection of the substrate transfer lines 1 and 2 which intersect at right angles. The substrate transfer line 1 located on the upstream side is composed of a large number of transfer rollers 1a ... Arranged at predetermined intervals.
The substrate transfer line 2 located on the downstream side is also composed of a large number of transfer rollers 2a ... Arranged at predetermined intervals. The height of the line is set so that the substrate transfer line 2 on the downstream side is lower than the substrate transfer line 1 on the upstream side.
【０００５】直角移載装置は、基板搬送ライン１，２の
交差部に配置された昇降式の移載テーブル３及び基板搬
送機構４とを備えている。基板搬送機構４は、下流側に
位置する下段の搬送ローラ２ａ・・に連続する複数の下
ローラ４ａ・・により構成されている。移載テーブル３
は、複数の下ローラ４ａ・・との干渉を避けるために下
ローラ４ａ・・の下側に設けられた昇降ベース３ａと、
隣接する下ローラ４ａ，４ａの間に位置して昇降ベース
３ａに取り付けられた複数の支持板３ｂ・・・と、各支
持板３ｂに取り付けられた、下ローラ４ａに直角な複数
の支持ローラ３ｃ・・と、両端の支持板３ｂ，３ｂに取
り付けられた２つの対応する支持ローラ３ｃ，３ｃに組
み合わされた押さえローラ３ｄと、移載テーブル３の一
端側に設けられた駆動部３ｅとを備えている。The right-angle transfer device is provided with an up-and-down type transfer table 3 and a substrate transfer mechanism 4 arranged at the intersection of the substrate transfer lines 1 and 2. The substrate transfer mechanism 4 is composed of a plurality of lower rollers 4a ... Which are continuous with the lower transfer rollers 2a. Transfer table 3
Is an elevating base 3a provided on the lower side of the lower rollers 4a ... To avoid interference with the plurality of lower rollers 4a.
A plurality of supporting plates 3b, which are located between the adjacent lower rollers 4a, 4a, and are attached to the elevating base 3a, and a plurality of supporting rollers 3c, which are attached to the respective supporting plates 3b and are orthogonal to the lower rollers 4a. .. and a pressing roller 3d combined with two corresponding supporting rollers 3c, 3c attached to the supporting plates 3b, 3b at both ends, and a drive unit 3e provided at one end side of the transfer table 3 ing.
【０００６】駆動部３ｅは、基板搬送機構４の一方の側
に固定的に設置されており、移載テーブル３が上昇位置
に停止した状態で、回転軸方向に進退駆動されることに
より、片端の支持板３ｂに取り付けられた支持ローラ３
ｃと結合・分離される。そして、結合状態でこの支持ロ
ーラ３ｃを駆動し、分離状態で移載テーブル３の昇降を
許容する。駆動される支持ローラ３ｃは、動力伝達軸を
兼ねる押さえローラ３ｄを介して反対側の対応する支持
ロール３ｃと連結され、同期駆動される。The drive unit 3e is fixedly installed on one side of the substrate transfer mechanism 4, and is driven forward and backward in the direction of the rotation axis while the transfer table 3 is stopped at the raised position, so that one end is driven. Support roller 3 attached to the support plate 3b of the
It is combined and separated from c. Then, the support roller 3c is driven in the coupled state, and the lifting and lowering of the transfer table 3 is permitted in the separated state. The driven support roller 3c is connected to the corresponding support roller 3c on the opposite side via a pressing roller 3d that also serves as a power transmission shaft, and is synchronously driven.
【０００７】基板を受け入れるとき、直角移載装置で
は、移載テーブル３が上昇位置に停止している。この状
態で、移載テーブル３に装備された多数個の支持ローラ
３ｃ・・・は、基板搬送ライン１に連続するラインを構
成する。駆動部３ｅは、片端の支持板３ｂに取り付けら
れた特定の支持ローラ３ｃと結合し、これを駆動する。
これにより、基板は、基板搬送ライン１から移載テーブ
ル３上に搬送される。移載テーブル３上では、基板は同
期駆動される押さえローラ３ｄにより上方から自重で押
さえられた状態で定位置まで前進する。When the substrate is received, in the right-angle transfer device, the transfer table 3 is stopped at the raised position. In this state, the large number of support rollers 3c ... Equipped on the transfer table 3 constitute a line continuous with the substrate transfer line 1. The drive unit 3e is coupled to a specific support roller 3c attached to the support plate 3b at one end and drives this.
As a result, the substrate is transported from the substrate transport line 1 onto the transfer table 3. On the transfer table 3, the substrate advances to a fixed position while being pressed by its own weight from above by a pressing roller 3d that is driven synchronously.
【０００８】移載テーブル３上の定位置に基板が受け入
れられると、駆動部３ｅとの結合を絶つために、移載テ
ーブル３が僅かに上昇し、駆動部３ｅが退避後、移載テ
ーブル３が下降する。支持ローラ３ｃ・・・による基板
支持面が、基板搬送機構４の下ローラ４ａ・・による基
板支持面より下方に位置するまで、移載テーブル３０が
下降することにより、基板は移載テーブル３上から基板
搬送機構４０の下ローラ４ａ・・上に移載され、下ロー
ラ４ａ・・の駆動により下流側の基板搬送ライン２へ搬
出される。When the substrate is received at the fixed position on the transfer table 3, the transfer table 3 is slightly lifted in order to break the connection with the drive unit 3e, and after the drive unit 3e is retracted, the transfer table 3 is moved. Goes down. The transfer table 30 is lowered until the substrate supporting surface by the supporting rollers 3c ... Is located below the substrate supporting surface by the lower rollers 4a. Are transferred onto the lower rollers 4a ... Of the substrate transfer mechanism 40, and are driven to the substrate transfer line 2 on the downstream side by driving the lower rollers 4a.
【０００９】[0009]
【発明が解決しようとする課題】このような従来の直角
移載装置によると、基板搬送ライン１，２の直角交差部
で基板の方向転換が行われる。しかし、基板搬送機構４
の下ローラ４ａ・・との干渉を回避するために、昇降式
の移載テーブル３は、剛性の高い枠体構造とすることが
できず、下ローラ４ａの下方に配置された昇降ベース３
ａから上方へ長く延びた支持板３ｂの上端部に支持ロー
ラ３ｃ・・を片支持した構造を強いられる。この構造の
ため、移載テーブル３の厚みが大きくなり、これが大型
化するだけでなく、支持ローラ３ｃの支持強度が低くな
り、基板に対する位置決め精度が低下することにより、
基板の脱線が生じ、これによる基板割れが問題になる。According to such a conventional right-angle transfer apparatus, the direction of the substrate is changed at the right-angled intersection of the substrate transfer lines 1 and 2. However, the substrate transfer mechanism 4
In order to avoid interference with the lower rollers 4a, ..., the elevating type transfer table 3 cannot have a highly rigid frame structure, and the elevating base 3 arranged below the lower rollers 4a.
.. is supported by the upper end of a support plate 3b extending upward from a. Due to this structure, the transfer table 3 becomes thicker and not only becomes larger, but also the supporting strength of the supporting roller 3c becomes lower and the positioning accuracy with respect to the substrate lowers.
Derailment of the substrate occurs, which causes a problem of substrate cracking.
【００１０】また、移載テーブル３を上昇位置から下降
させるにあたり、駆動部３ｅとの連結を断つために、移
載テーブル３を基板と共に僅かに上昇させる。このと
き、基板は上に押さえローラ３ｄが載った状態で押し上
げられるため、このときのストレスによる割れの危険も
ある。Further, when the transfer table 3 is lowered from the raised position, the transfer table 3 is slightly raised together with the substrate in order to disconnect from the drive unit 3e. At this time, since the substrate is pushed up while the pressing roller 3d is placed on the substrate, there is a risk of cracking due to stress at this time.
【００１１】なお、両端の支持ローラ３ｃ，３ｃに押さ
えローラ３ｄを組み合わせるのは基板のスリップを防止
するためであり、押さえローラ３ｄを動力伝達軸にして
対応する両端の支持ローラ３ｃ，３ｃを同期駆動するの
は、移載テーブル３０上での基板の搬送方向が曲がるの
を防止するためである。片端の支持ローラ３ｃを駆動す
るだけでは、基板は移載テーブル３上で旋回、斜行、蛇
行等を生じる。The reason why the pressing rollers 3d are combined with the supporting rollers 3c, 3c at both ends is to prevent the substrate from slipping, and the supporting rollers 3c, 3c corresponding to both ends are synchronized with each other by using the pressing roller 3d as a power transmission shaft. The driving is performed to prevent the substrate carrying direction on the transfer table 30 from being bent. The substrate is swung, skewed, meandered, or the like on the transfer table 3 only by driving the support roller 3c at one end.
【００１２】本発明の目的は、方向転換のための移載操
作において基板が割れるおそれのない直角移載装置を提
供することにある。An object of the present invention is to provide a right-angle transfer device in which a substrate is not cracked in a transfer operation for changing direction.
【００１３】[0013]
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明の直角移載装置は、直角に交差し高さが異な
る２つの基板搬送ラインの交差部に配置され、上昇位置
で上段の搬送ラインに連続する搬送ラインを形成する昇
降式の移載テーブルと、該移載テーブルと共に前記交差
部に設けられ、前記移載テーブルの昇降により当該テー
ブルとの間で基板の授受が行われる複数の下ローラによ
り、下段の搬送ラインに連続する搬送ラインを形成する
と共に、複数の下ローラが、前記移載テーブルの下降を
阻害しないようにライン両側に分離して配置された基板
搬送機構とを具備している。In order to achieve the above object, a right angle transfer apparatus of the present invention is arranged at an intersection of two substrate transfer lines which intersect at a right angle and have different heights, and the upper stage at a raised position. And a transfer table that forms a transfer line continuous to the transfer line, and the transfer table is provided at the intersection, and the substrates are transferred to and from the transfer table by elevating the transfer table. A substrate transfer mechanism in which a plurality of lower rollers form a transfer line continuous to the lower transfer line, and a plurality of lower rollers are arranged separately on both sides of the line so as not to hinder the lowering of the transfer table. It is equipped with.
【００１４】本発明の直角移載装置においては、下段の
搬送ラインに連続する搬送ラインを形成し、移載テーブ
ルとの間で基板を授受する基板搬送機構の下ローラが、
移載テーブルの下降を阻害しないようにライン両側に分
離して配置されていることにより、移載テーブルが薄型
化されると共に、強固な枠構造とされ、移載テーブルに
設置される搬送ローラの支持強度が向上する。このた
め、移載テーブル上での基板の脱線が防止され、この脱
線による基板割れが防止される。In the right-angle transfer apparatus of the present invention, the lower roller of the substrate transfer mechanism, which forms a transfer line continuous with the lower transfer line and transfers the substrate to and from the transfer table,
By placing the transfer table separately on both sides of the line so as not to hinder the lowering of the transfer table, the transfer table is made thin and has a strong frame structure. Support strength is improved. Therefore, derailment of the substrate on the transfer table is prevented, and substrate cracking due to this derailment is prevented.
【００１５】前記移載テーブルは、枠式の昇降フレーム
と、該昇降フレームの両側の側板間に掛け渡され、上段
の搬送ラインおける搬送ローラと同方向に配列された複
数の搬送ローラとを有するものが、ローラ支持強度が高
く、好ましい。The transfer table has a frame-type lifting frame and a plurality of transport rollers which are hung between side plates on both sides of the lifting frame and arranged in the same direction as the transport rollers in the upper transport line. However, those having high roller support strength are preferable.
【００１６】ここにおける移載テーブルは、特定の搬送
ローラと組み合わされるように昇降フレームの上方に固
定的に設けられ、昇降フレームが上昇位置に停止した状
態で下方の搬送ローラと係合して該ローラを駆動する駆
動式の押さえローラを有するものが、好ましい。これに
よると、移載テーブルの昇降のみによって搬送ローラが
押さえローラと組み合わされ、駆動機構との係合に際し
て昇降フレームの押し上げを必要としない。このため、
昇降フレームの押し上げに伴う基板割れも防止される。The transfer table here is fixedly provided above the elevating frame so as to be combined with a specific conveying roller, and is engaged with the lower conveying roller in a state where the elevating frame is stopped at the raised position. It is preferable to have a driving type pressing roller for driving the roller. According to this, the conveying roller is combined with the pressing roller only by raising and lowering the transfer table, and it is not necessary to push up the raising and lowering frame when engaging with the drive mechanism. For this reason,
It is also possible to prevent the substrate from cracking when the lifting frame is pushed up.
【００１７】前記押さえローラは、上段の搬送ラインに
おける搬送ローラを駆動する駆動源により駆動される構
成が、駆動機構簡略化の点から好ましい。It is preferable that the pressing roller is driven by a drive source that drives the carrying roller in the upper carrying line from the viewpoint of simplifying the driving mechanism.
【００１８】基板搬送機構における下ローラの駆動に関
しては、一方の側の下ローラが、下段の基板搬送ライン
における搬送ローラの駆動源により駆動されるように該
駆動源と連結され、他方の側の下ローラが前記搬送ロー
ラを動力伝達軸として駆動されるように前記搬送ローラ
と連結される構成が、駆動機構簡略化の点から好まし
い。Regarding the driving of the lower roller in the substrate carrying mechanism, the lower roller on one side is connected to the driving source of the carrying roller in the lower substrate carrying line so as to be driven by the driving source, and the lower roller on the other side is driven. A configuration in which the lower roller is connected to the transport roller so as to be driven by using the transport roller as a power transmission shaft is preferable from the viewpoint of simplifying the driving mechanism.
【００１９】[0019]
【発明の実施の形態】以下に本発明の実施形態を図面に
基づいて説明する。図１は本発明の一実施形態を示す直
角移載装置の平面図、図２は同直角移載装置の側面図、
図３は同直角移載装置の正面図である。BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 is a plan view of a right angle transfer device showing an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a side view of the right angle transfer device,
FIG. 3 is a front view of the right-angle transfer device.
【００２０】本実施形態の直角移載装置は、液晶用ガラ
ス基板の製造プロセスにおけるエッチング、剥離等の各
種薬液処理ラインの直角コーナー部に設置され、より具
体的には、被処理材であるガラス基板（以下単に基板１
０という）の搬送ライン２０，３０が直角に交差する部
分に設置される。The right-angle transfer device of this embodiment is installed at right-angled corners of various chemical solution processing lines for etching, peeling, etc. in the manufacturing process of the glass substrate for liquid crystal, and more specifically, it is a glass to be processed. Substrate (hereinafter simply referred to as substrate 1
The transport lines 20 and 30 (referred to as 0) are installed at the intersections at right angles.
【００２１】上流側に位置する基板搬送ライン２０は、
所定間隔で配列された多数の搬送ローラ２１，２２によ
り構成されている。搬送ローラ２１は駆動ローラであ
る。この駆動ローラは水平な支持軸２１ａと、基板１０
の両エッジ部を支持するために支持軸２１ａに取り付け
られた両側一対の円板状の鍔付き支持部２１ｂ，２１ｂ
と、鍔付き支持部２１ｂ，２１ｂの間に位置して支持軸
２１ａに取り付けられた複数の円板状の中間支持部２１
ｃ・・・とを有しており、搬送ライン２０の片側に平行
に配置された駆動軸２３によって支持軸２１ａが駆動さ
れることにより同期回転する。一方、搬送ローラ２２は
非駆動の支持ローラであり、回転自在に支持された水平
な支持軸２２ａに複数の円板状支持部２２ｂを取り付け
た構造になっている。The substrate transfer line 20 located on the upstream side is
The transport rollers 21 and 22 are arranged at a predetermined interval. The transport roller 21 is a drive roller. This drive roller has a horizontal support shaft 21a and a substrate 10
A pair of disc-shaped support portions 21b and 21b with a flange attached to the support shaft 21a for supporting both edge portions of the
And a plurality of disc-shaped intermediate support portions 21 mounted between the support shafts 21a and located between the collared support portions 21b, 21b.
, and the driving shaft 23 arranged parallel to one side of the transport line 20 drives the support shaft 21a to rotate synchronously. On the other hand, the transport roller 22 is a non-driving support roller, and has a structure in which a plurality of disc-shaped support portions 22b are attached to a horizontal support shaft 22a that is rotatably supported.
【００２２】駆動式の搬送ローラ２１は、基板１０を上
下から挟むピンチローラを構成するために、所定個数に
１個の割合で押さえローラと組み合わされる。The drive type conveying roller 21 is combined with a pressing roller at a ratio of one to a predetermined number in order to form a pinch roller for sandwiching the substrate 10 from above and below.
【００２３】下流側に位置する基板搬送ライン３０は、
上流側の基板搬送ライン２０に対して直角に配置されて
おり、所定間隔で配列された多数の搬送ローラ３１など
により構成されている。駆動ローラである搬送ローラ３
１は、水平な支持軸３１ａと、基板１０の両エッジ部を
支持するために支持軸３１ａに取り付けられた両側一対
の円板状の鍔付き支持部３１ｂ，３１ｂと、鍔付き支持
部３１ｂ，３１ｂの間に位置して支持軸３１ａに取り付
けられた複数の円板状の中間支持部３１ｃ・・・とを有
しており、搬送ライン３０の片側に平行に配置された駆
動軸３３によって支持軸３１ａが駆動されることにより
同期回転する。The substrate transfer line 30 located on the downstream side is
It is arranged at a right angle to the substrate transfer line 20 on the upstream side, and is composed of a large number of transfer rollers 31 arranged at predetermined intervals. Transport roller 3 that is a drive roller
Reference numeral 1 denotes a horizontal support shaft 31a, a pair of disk-shaped support members 31b and 31b having a pair of discs attached to the support shaft 31a for supporting both edge portions of the substrate 10, and a support member 31b having a flange. And a plurality of disc-shaped intermediate support portions 31c attached to the support shaft 31a located between 31b, and supported by a drive shaft 33 arranged in parallel to one side of the transport line 30. The shaft 31a is driven to rotate synchronously.
【００２４】下流側の基板搬送ライン３０の高さは、上
流側の基板搬送ライン２０の高さより低く設定されてい
る。The height of the substrate transfer line 30 on the downstream side is set lower than the height of the substrate transfer line 20 on the upstream side.
【００２５】直角移載装置は、基板搬送ライン２０，３
０の直角交差部に配置された昇降式の移載テーブル４０
及び水平方向の基板搬送機構５０を備えている。移載テ
ーブル４０は、上流側の搬送ライン２０の下流側に、こ
れに連続する搬送ラインを構成するものであり、角枠形
式のフレーム４１と、フレーム４１の両側の側板間に掛
け渡された搬送ローラ４２，４３と、搬送ローラ４３に
組み合わされる押さえローラ４４と、フレーム４１を支
持してこれを昇降させる１組のシリンダー式昇降機構４
５，４５とを具備している。The right-angle transfer device is used for the substrate transfer lines 20, 3
Lifting type transfer table 40 placed at the right angle intersection of 0
And a horizontal substrate transfer mechanism 50. The transfer table 40 constitutes a transport line continuous to the upstream transport line 20 on the downstream side, and is hung between a square frame 41 and side plates on both sides of the frame 41. Conveying rollers 42, 43, a pressing roller 44 combined with the conveying rollers 43, and a set of cylinder type elevating mechanism 4 for supporting and elevating the frame 41.
5, 45 and.
【００２６】搬送ローラ４２は非駆動の基板支持ローラ
であり、上流側の搬送ライン２０を構成する搬送ローラ
２１，２２の下流側に複数本が所定の間隔で配置されて
いる。各搬送ローラ４２は、フレーム４１の両側の側板
及び中間板に回転自在に支持された水平な支持軸４２ａ
と、該支持軸４２ａに取り付けられた複数の円板状支持
部４２ｂとを有している。The carrying roller 42 is a non-driving substrate supporting roller, and a plurality of carrying rollers are arranged at predetermined intervals downstream of the carrying rollers 21 and 22 constituting the carrying line 20 on the upstream side. Each of the transport rollers 42 is a horizontal support shaft 42a rotatably supported by side plates and intermediate plates on both sides of the frame 41.
And a plurality of disc-shaped support portions 42b attached to the support shaft 42a.
【００２７】一方、搬送ローラ４３は駆動ローラであ
る。この駆動ローラはフレーム４１の中間部に配置され
ており、前述した駆動式の搬送ローラ２１と同様、水平
な支持軸と、基板１０の両エッジ部を支持するために支
持軸に取り付けられた両側一対の円板状の鍔付き支持部
と、両側の鍔付き支持部の間に位置して支持軸に取り付
けられた複数の円板状の中間支持部とを有しており、後
述する押さえローラ４４と組み合わされてピンチロール
を構成する。On the other hand, the transport roller 43 is a drive roller. This drive roller is arranged in the middle portion of the frame 41, and, like the drive type transport roller 21 described above, has a horizontal support shaft and both sides attached to the support shaft for supporting both edge portions of the substrate 10. It has a pair of disc-shaped support portions with a collar and a plurality of disc-shaped intermediate support portions mounted between the support shafts and located between the support portions with the collars on both sides. Combined with 44 to form a pinch roll.
【００２８】押さえローラ４４は、搬送ローラ４３の上
方に平行に且つ固定的に設置されている。この押さえロ
ーラ４４は、搬送ローラ４３と同様に、水平な支持軸４
４ａと、基板１０の両側のエッジ部を支持するために支
持軸４４ａに取り付けられた両側一対の円板状の鍔付き
支持部４４ｂ，４４ｂと、両側の鍔付き支持部４４ｂ，
４４ｂの間に位置して支持軸４４ａに取り付けられた複
数の円板状の中間支持部４４ｃ・・・とを有しており、
搬送ライン２０の片側に平行に配置された搬送ローラ駆
動用の駆動軸２３を利用して支持軸４１ａが駆動される
ことにより回転する。押さえローラ４４の回転方向は、
押さえローラ４４が上ローラであるため、下ローラであ
る搬送ローラ２１とは逆方向になる。The pressing roller 44 is fixedly installed above the conveying roller 43 in parallel. The pressing roller 44, like the transport roller 43, has a horizontal support shaft 4.
4a, a pair of disc-shaped flanged support portions 44b, 44b attached to the support shaft 44a to support the edge portions on both sides of the substrate 10, and the flanged support portions 44b on both sides.
44b and a plurality of disc-shaped intermediate support portions 44c ...
The support shaft 41a is driven to rotate by using the drive shaft 23 for driving the transport rollers arranged in parallel to one side of the transport line 20. The rotation direction of the pressing roller 44 is
Since the pressing roller 44 is the upper roller, the pressing roller 44 is in the opposite direction to the conveying roller 21 which is the lower roller.
【００２９】押さえローラ４４は又、その下に組み合わ
される搬送ローラ４３の動力伝達活軸を兼ねており、フ
レーム４１が定位置に上昇した状態で、下方の搬送ロー
ラ４３と歯車を介して係合することにより、搬送ローラ
４３を逆方向に回転駆動する。The pressing roller 44 also serves as a power transmission live shaft of the conveying roller 43 combined thereunder, and is engaged with the lower conveying roller 43 via a gear in a state where the frame 41 is raised to a fixed position. By doing so, the transport roller 43 is rotationally driven in the opposite direction.
【００３０】昇降機構４５，４５は、フレーム４１を２
点支持し、シリンダー方式又はボールネジ方式による駆
動によりフレーム４１を昇降させる。具体的には、上昇
位置で搬送ローラ４３，４４による基板支持レベルが上
流側の搬送ローラ２１，２２による基板支持レベルと同
じとなり、下降位置で後述する基板搬送機構５０による
基板支持レベルより下側となるように、フレーム４１を
水平姿勢のまま昇降させる。また、フレーム４１を搬送
ライン２０における基板搬送方向或いは搬送ライン３０
における基板搬送方向で傾斜させることができる。The elevating mechanisms 45, 45 connect the frame 41 to two
The frame 41 is supported by points, and the frame 41 is moved up and down by driving by a cylinder system or a ball screw system. Specifically, the substrate support level by the transport rollers 43, 44 is the same as the substrate support level by the upstream transport rollers 21, 22 in the raised position, and is lower than the substrate support level by the substrate transport mechanism 50 described later in the lowered position. So that the frame 41 is moved up and down in a horizontal posture. In addition, the frame 41 is used in the substrate transfer direction in the transfer line 20 or the transfer line 30.
Can be tilted in the substrate transfer direction.
【００３１】基板搬送機構５０は、搬送ライン３０の上
流側に連続するラインを形成するものであり、そのライ
ン形成のために、ラインの両側に分離配置された下ロー
ラ５１・・・及び５２・・・を有している。下ローラ５
１・・・及び５２・・・による基板支持レベルは、下流
側の搬送ライン３０を構成する搬送ローラ３１による基
板支持レベルと同じである。搬送ライン３０を上流側へ
延長する下ローラを両側に分離配置し、中間部から軸体
を排除したことにより、前述した移載テーブル４０のフ
レーム４１は、両側の下ローラ５１・・・と５２・・・
との間を昇降し得る。The substrate transfer mechanism 50 forms a continuous line on the upstream side of the transfer line 30, and for forming the line, lower rollers 51, ... And 52. ··have. Lower roller 5
The substrate support level of 1 ... and 52 ... Is the same as the substrate support level of the transport roller 31 that constitutes the downstream transport line 30. By disposing the lower rollers that extend the conveying line 30 to the upstream side separately on both sides and removing the shaft body from the intermediate portion, the frame 41 of the transfer table 40 described above has the lower rollers 51 ... 52 on both sides. ...
Can go up and down between.
【００３２】一方の側（搬送ライン２０からみて先端
側）に配置された下ローラ５１・・・は、駆動側ローラ
であり、搬送ローラ３１と同方向に所定間隔で配列され
ている。各下ローラ５１は、搬送ローラ３１を駆動する
駆動軸３３により駆動される水平な支持軸５１ａと、支
持軸５１ａの先端部に片支持された円板状の鍔付き支持
部５１ｂとを有している。鍔付き支持部５１ｂは、搬送
ライン２０から進入した基板１０の先端側の縁部を支持
し、搬送ライン３０へ退出する基板１０の一方の側縁部
を支持する。The lower rollers 51, ..., Which are arranged on one side (the front end side when viewed from the carrying line 20) are drive-side rollers, and are arranged in the same direction as the carrying roller 31 at predetermined intervals. Each lower roller 51 has a horizontal support shaft 51a driven by a drive shaft 33 that drives the conveyance roller 31, and a disc-shaped support portion 51b with a disc shape, which is supported on one side at the tip of the support shaft 51a. ing. The flanged support portion 51 b supports the edge portion on the front end side of the substrate 10 that has entered from the transport line 20, and supports one side edge portion of the substrate 10 that exits to the transport line 30.
【００３３】他方の側（搬送ライン２０からみて基板進
行方向後方）に配置された下ローラ５２・・・は、被駆
動ローラであり、搬送ローラ３１と同方向に所定間隔で
配列されている。各下ローラ５２は、回転自在に支持さ
れた水平な支持軸５２ａと、支持軸５２ａの先端部に片
支持された円板状の鍔付き支持部５２ｂとを有してい
る。鍔付き支持部５２ｂは、搬送ライン２０から進入し
た基板１０の後端側の縁部を支持し、搬送ライン３０へ
退出する基板１０の他方の側縁部を支持する。そして、
搬送ライン３０における搬送ローラ３１、ここでは最も
上流側の（基板支持機構５０に近い）搬送ローラ３１を
動力伝達軸として利用することにより、下ローラ５２・
・・と下ローラ５１・・・が同期して搬送ローラ３１と
同方向に同期駆動される。The lower rollers 52, ..., Which are arranged on the other side (rearward in the substrate advancing direction when viewed from the carrying line 20) are driven rollers, and are arranged in the same direction as the carrying roller 31 at predetermined intervals. Each lower roller 52 has a horizontal support shaft 52a that is rotatably supported, and a disk-shaped support part 52b with a flange that is supported by the tip of the support shaft 52a. The flanged support portion 52 b supports the edge portion on the rear end side of the substrate 10 that has entered from the transport line 20, and supports the other side edge portion of the substrate 10 that exits to the transport line 30. And
By using the transport roller 31 in the transport line 30, here the transport roller 31 on the most upstream side (close to the substrate support mechanism 50) as a power transmission shaft, the lower roller 52.
.. and the lower roller 51 ... Are synchronously driven in the same direction as the transport roller 31.
【００３４】この同期駆動のために、搬送ローラ３１の
支持軸３１ａと、下ローラ５２・・・の各支持軸５２ａ
とは、歯車３１ｃ，歯車５３・・・及び歯車５２ｃを介
して相互に連結されている。For this synchronous drive, the support shaft 31a of the conveying roller 31 and the support shafts 52a of the lower rollers 52 ...
Are connected to each other via a gear 31c, a gear 53, ... And a gear 52c.
【００３５】なお、基板搬送機構５０は、下ローラ５１
・・・と下ローラ５２・・・との間で基板１０を補助的
に支持するために、この間に移載テーブル４０と干渉し
ないように配置された複数の補助ローラ５４・・・を有
している。補助ローラ５４・・・は下ローラ５１・・・
及び５２・・・と同方向に回転するフリーローラであ
る。The substrate transfer mechanism 50 includes a lower roller 51.
... and the lower rollers 52 ... To support the substrate 10 in an auxiliary manner, a plurality of auxiliary rollers 54 ... Arranged so as not to interfere with the transfer table 40 are provided between them. ing. The auxiliary rollers 54 ... are the lower rollers 51 ...
And 52 ... are free rollers that rotate in the same direction.
【００３６】次に、本実施形態に係る直角移載装置の機
能について説明する。Next, the function of the right-angle transfer device according to this embodiment will be described.
【００３７】搬送ライン２０から直角移載装置へ基板１
０が搬送されるとき、直角移載装置では、移載テーブル
４０のフレーム４１は上昇位置に停止している。これに
より、搬送ローラ４２，４３は、搬送ライン２０の下流
側に連続するラインを形成する。また、搬送ローラ４３
は上の押さえローラ４４と噛み合い、ピンチローラとし
て同期回転する。この状態で、基板１０は搬送ライン２
０から移載テーブル４０上へ搬送され、移載テーブル４
０上を定位置まで移動し停止する。押さえローラ４４は
自重で基板１０に載るよう昇降自在に支持されている。Substrate 1 from transfer line 20 to right angle transfer device
When 0 is conveyed, in the right-angle transfer device, the frame 41 of the transfer table 40 is stopped at the raised position. As a result, the transport rollers 42 and 43 form a continuous line on the downstream side of the transport line 20. In addition, the transport roller 43
Engages with the upper pressing roller 44 and rotates as a pinch roller synchronously. In this state, the substrate 10 is transferred to the transfer line 2
The transfer table 4 is conveyed from 0 to the transfer table 40.
0 Moves to the fixed position and stops. The pressing roller 44 is supported so that it can be raised and lowered so as to be placed on the substrate 10 by its own weight.
【００３８】移載テーブル４０上の定位置へ基板１０が
載ると、移載テーブル４０のフレーム４１が下降位置ま
で下方へ移動する。これにより、移載テーブル４０にお
ける基板支持レベルは、基板搬送機構５０における基板
支持レベルより下がる。結果、基板１０は移載テーブル
４０上から基板搬送機構５０に移載される。具体的に
は、基板搬送機構５０の下ローラ５１・・・と下ローラ
５２・・・とにより両側のエッジ部が支持される。ま
た、複数の補助ローラ５４・・・により中間部が支持さ
れる。そして、下ローラ５１・・・及びローラ５２・・
・の駆動により、基板搬送機構５０から搬送ライン３０
へ基板１０が排出される。When the substrate 10 is placed on the fixed position on the transfer table 40, the frame 41 of the transfer table 40 moves downward to the lowered position. As a result, the substrate support level of the transfer table 40 becomes lower than the substrate support level of the substrate transfer mechanism 50. As a result, the substrate 10 is transferred from the transfer table 40 to the substrate transfer mechanism 50. Specifically, the edge portions on both sides are supported by the lower roller 51 ... And the lower roller 52 ... Of the substrate transport mechanism 50. Further, the intermediate portion is supported by the plurality of auxiliary rollers 54 .... The lower roller 51 ... And the roller 52 ...
・ By the drive of, from the substrate transfer mechanism 50 to the transfer line 30
The substrate 10 is ejected.
【００３９】かくして、基板１０は直角移載装置で搬送
方向を９０度転換し、搬送ライン２０から搬送ライン３
０へスムーズに移動する。In this way, the substrate 10 has its transfer direction changed by 90 ° by the right-angle transfer device, and the transfer line 20 to the transfer line 3 are transferred.
Moves to 0 smoothly.
【００４０】このうような直角移載装置によると、搬送
ライン２０，３０の交差部に搬送ライン３０に連続する
ラインを形成する下ローラが５１・・，５２・・として
ラインの両側に分離して配置され、基板１０の両側のエ
ッジ部を支持する円板状の鍔付き支持部５１ｂ，５２ｂ
の間から軸体が排除される。このため、昇降式の移載テ
ーブル４０と下ローラの干渉がなくなり、フレーム４１
が薄い枠体構造になる。このため、フレーム４１に支持
される搬送ローラ４２，４３が両側の側板間に掛け渡さ
れる通常の軸付きローラとなり、その支持強度が上がる
ことにより、位置ずれによる基板１０の脱線及びこれに
よる割れが防止される。According to such a right-angle transfer device, lower rollers forming a line continuous to the conveying line 30 at the intersection of the conveying lines 20 and 30 are separated on both sides of the line as 51 ... Disk-shaped support portions 51b, 52b having a brim for supporting the edge portions on both sides of the substrate 10.
The shaft is removed from between. Therefore, there is no interference between the lifting transfer table 40 and the lower roller, and the frame 41
Has a thin frame structure. For this reason, the transport rollers 42 and 43 supported by the frame 41 become ordinary rollers with shafts that are stretched between the side plates on both sides, and their supporting strength increases, so that derailment of the substrate 10 due to displacement and cracking due to this may occur. To be prevented.
【００４１】また、移載テーブル４０のフレーム４１が
上昇するだけで、搬送ローラ４３が上方の押さえローラ
４４と連結され、またフレーム４１が下降するだけでロ
ーラ４４との連結が解除される。このため、連結を解除
するためにフレーム４１を基板１０と共に上昇させる操
作が不要になる。このため、連結解除時における基板１
０の割れも防止される。Further, only by raising the frame 41 of the transfer table 40, the conveying roller 43 is connected with the upper pressing roller 44, and by lowering the frame 41, the connection with the roller 44 is released. Therefore, the operation of raising the frame 41 together with the substrate 10 to release the connection is unnecessary. Therefore, the substrate 1 when the connection is released
A crack of 0 is also prevented.
【００４２】押さえローラ４４は、移載テーブル４０の
フレーム４１上に固定的に設けられ、搬送ライン２０に
おける搬送ローラ２１を駆動する駆動軸２３を利用して
駆動されると共に、移載テーブル４０における搬送ロー
ラ４３の駆動軸を兼ねる。このため、搬送ローラ４３と
押さえローラ４４からなるピンチローラの駆動機構が簡
素となる。また、そのピンチローラにより、フレーム４
１上での基板１０の斜行、蛇行等が防止される。The pressing roller 44 is fixedly provided on the frame 41 of the transfer table 40, driven by the drive shaft 23 for driving the transfer roller 21 in the transfer line 20, and at the same time in the transfer table 40. It also serves as the drive shaft of the transport roller 43. Therefore, the driving mechanism of the pinch roller including the transport roller 43 and the pressing roller 44 is simplified. Also, the pinch roller allows the frame 4
It is possible to prevent the substrate 10 from skewing, meandering, etc.
【００４３】基板搬送機構５０においては両側の下ロー
ラ５１・・と下ローラ５２・・が分離配置しているにも
かかわらず、同期的に強制駆動され、基板１０の斜行、
蛇行等が防止される。また、この駆動に搬送ライン３０
における搬送ローラ３１の駆動軸３３が駆動側の下ロー
ラ５１・・の駆動源として利用され、搬送ローラ３１が
被駆動側の下ローラ５２・・に対する動力伝達軸として
利用される。このため、基板搬送機構５０における下ロ
ーラが両側に分離配置されているにもかかわらず、駆動
機構が簡素である。In the substrate transport mechanism 50, although the lower rollers 51, ... And the lower rollers 52 ,.
Meandering etc. is prevented. In addition, the transport line 30
The drive shaft 33 of the conveying roller 31 is used as a drive source for the driving lower roller 51, and the conveying roller 31 is used as a power transmission shaft for the driven lower roller 52. For this reason, the drive mechanism is simple, although the lower roller in the substrate transport mechanism 50 is separately arranged on both sides.
【００４４】[0044]
【発明の効果】以上に説明したとおり、本発明の直角移
載装置は、下段の搬送ラインに連続する搬送ラインを形
成し、移載テーブルとの間で基板を授受する基板搬送機
構の下ローラを、移載テーブルの下降を阻害しないよう
にライン両側に分離して配置したことにより、移載テー
ブルを薄型化できると共に、強固な枠構造とでき、移載
テーブルに設置される搬送ローラの支持強度を高めるこ
とができる。これにより、移載テーブル上での基板の脱
線を防止でき、この脱線による基板割れを防止できる。As described above, the right-angle transfer device of the present invention forms the transfer line continuous to the lower transfer line and transfers the substrate to and from the transfer table. The transfer table is separated on both sides of the line so as not to hinder the lowering of the transfer table, so that the transfer table can be made thin and a strong frame structure can be provided, and the support of the transport rollers installed on the transfer table can be achieved. Strength can be increased. As a result, derailment of the substrate on the transfer table can be prevented, and substrate cracking due to this derailment can be prevented.
【００４５】また、移載テーブルにおいて、特定の搬送
ローラと組み合わされるように昇降フレームの上方に駆
動式の押さえローラを設け、昇降フレームが上昇位置に
停止した状態で押さえローラに下方の搬送ローラを係合
させて搬送ローラを駆動する構成を採用することによ
り、昇降フレームの押し上げに伴う基板割れも防止でき
る。Further, in the transfer table, a drive type pressing roller is provided above the elevating frame so as to be combined with a specific conveying roller, and the lower conveying roller is attached to the pressing roller in a state where the elevating frame is stopped at the raised position. By adopting a configuration in which the conveying rollers are driven by being engaged with each other, it is possible to prevent the substrate from cracking due to the lifting of the elevating frame.
【図１】本発明の一実施形態を示す直角移載装置の平面
図である。FIG. 1 is a plan view of a right angle transfer device showing an embodiment of the present invention.
【図２】同直角移載装置の側面図である。FIG. 2 is a side view of the right-angle transfer device.
【図３】同直角移載装置の正面図である。FIG. 3 is a front view of the right-angle transfer device.
【図４】従来の直角移載装置の平面図である。FIG. 4 is a plan view of a conventional right-angle transfer device.
【図５】図４中のＡ─Ａ線矢示図である。5 is a view taken along the line AA in FIG.
１０ 基板 ２０ 上段の搬送ライン ２１，２２ 搬送ローラ ２３ 駆動軸 ３０ 下段の搬送ライン ３１ 搬送ローラ ３３ 駆動軸 ４０ 移載テーブル ４１ 昇降フレーム ４２，４３ 搬送ローラ ４４ 押さえローラ ４５ 昇降機構 ５０ 基板搬送機構 ５１，５２ 下ローラ ５３ 歯車 10 substrates 20 upper transfer line 21,22 Transport rollers 23 Drive axis 30 Lower transfer line 31 Conveyor roller 33 Drive shaft 40 transfer table 41 Lifting frame 42,43 Transport rollers 44 Pressing roller 45 Lifting mechanism 50 substrate transfer mechanism 51,52 Lower roller 53 gears
Claims (5)
送ラインの交差部に配置され、上昇位置で上段の搬送ラ
インに連続する搬送ラインを形成する昇降式の移載テー
ブルと、該移載テーブルと共に前記交差部に設けられ、
前記移載テーブルの昇降により当該テーブルとの間で基
板の授受が行われる複数の下ローラにより、下段の搬送
ラインに連続する搬送ラインを形成すると共に、複数の
下ローラが、前記移載テーブルの下降を阻害しないよう
にライン両側に分離して配置された基板搬送機構とを具
備することを特徴とする直角移載装置。1. An elevating type transfer table which is arranged at an intersection of two substrate transfer lines which intersect at right angles and have different heights, and which forms a transfer line continuous to an upper transfer line at a rising position, and the transfer table. It is provided at the intersection with the mounting table,
A plurality of lower rollers, which transfer the substrate to and from the transfer table by raising and lowering the transfer table, form a transfer line continuous to the lower transfer line, and the plurality of lower rollers are connected to the transfer table. A right-angle transfer device comprising: a substrate transfer mechanism which is arranged separately on both sides of the line so as not to hinder the descent.
ムと、該昇降フレームの両側の側板間に掛け渡され、上
段の搬送ラインおける搬送ローラと同方向に配列された
複数の搬送ローラとを有する請求項１に記載の直角移載
装置。2. The transfer table includes a frame-type lifting frame, and a plurality of transport rollers that are hung between side plates on both sides of the lifting frame and arranged in the same direction as the transport rollers in the upper transport line. The right-angle transfer device according to claim 1, further comprising:
と組み合わされるように昇降フレームの上方に固定的に
設けられ、昇降フレームが上昇位置に停止した状態で下
方の搬送ローラと係合して該ローラを駆動する駆動式の
押さえローラを有する請求項２に記載の直角移載装置。3. The transfer table is fixedly provided above the elevating frame so as to be combined with a specific conveying roller, and engages with the lower conveying roller in a state where the elevating frame is stopped at the raised position. The right-angle transfer device according to claim 2, further comprising a drive-type pressing roller that drives the roller.
における搬送ローラを駆動する駆動源により駆動される
請求項３に記載の直角移載装置。4. The right-angle transfer device according to claim 3, wherein the pressing roller is driven by a drive source that drives the transport roller in the upper transport line.
ローラが、下段の基板搬送ラインにおける搬送ローラの
駆動源により駆動されるように該駆動源と連結され、且
つ、他方の側の下ローラが前記搬送ローラを動力伝達軸
として駆動されるように前記搬送ローラと連結された請
求項１に記載の直角移載装置。5. The lower roller on one side of the substrate transport mechanism is connected to the drive source of the lower roller on the other side so as to be driven by the drive source of the transport roller in the lower substrate transport line, and the lower roller on the other side. The right-angle transfer device according to claim 1, wherein said right-angle transfer device is connected to said transport roller so as to be driven with said transport roller as a power transmission shaft.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002128642A JP4194294B2 (en) | 2002-04-30 | 2002-04-30 | Right angle transfer device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002128642A JP4194294B2 (en) | 2002-04-30 | 2002-04-30 | Right angle transfer device |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003321118A true JP2003321118A (en) | 2003-11-11 |
| JP4194294B2 JP4194294B2 (en) | 2008-12-10 |
Family
ID=29542329
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2002128642A Expired - Fee Related JP4194294B2 (en) | 2002-04-30 | 2002-04-30 | Right angle transfer device |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP4194294B2 (en) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007036227A (en) * | 2005-07-22 | 2007-02-08 | Au Optronics Corp | Substrate storage cassette, transfer conveyor, and transfer system employing them |
| JP2010182755A (en) * | 2009-02-03 | 2010-08-19 | Tokyo Electron Ltd | Substrate processor and substrate processing method |
| KR101067708B1 (en) | 2008-10-23 | 2011-09-28 | 주식회사 태성기연 | Air Jack Screw Diverter Conveyor |
| KR101427595B1 (en) * | 2007-07-26 | 2014-08-08 | 삼성디스플레이 주식회사 | Substrate conveyor |
| WO2015109838A1 (en) * | 2014-01-27 | 2015-07-30 | 辽宁聚龙金融设备股份有限公司 | Cam-type banknotes turning mechanism |
| CN106081625A (en) * | 2016-08-08 | 2016-11-09 | 郑州日产汽车有限公司 | The automatic replanting system of vehicle glass |
| CN107043023A (en) * | 2017-03-07 | 2017-08-15 | 中国建材国际工程集团有限公司 | Glass is directed at conveying device and glass alignment carrying method |
| CN114132669A (en) * | 2021-11-08 | 2022-03-04 | 安徽瑞佑自动化科技有限公司 | A lift for connecting tray |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN104909164A (en) * | 2015-05-21 | 2015-09-16 | 合肥京东方光电科技有限公司 | Substrate transfer device |
-
2002
- 2002-04-30 JP JP2002128642A patent/JP4194294B2/en not_active Expired - Fee Related
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007036227A (en) * | 2005-07-22 | 2007-02-08 | Au Optronics Corp | Substrate storage cassette, transfer conveyor, and transfer system employing them |
| KR101427595B1 (en) * | 2007-07-26 | 2014-08-08 | 삼성디스플레이 주식회사 | Substrate conveyor |
| KR101067708B1 (en) | 2008-10-23 | 2011-09-28 | 주식회사 태성기연 | Air Jack Screw Diverter Conveyor |
| JP2010182755A (en) * | 2009-02-03 | 2010-08-19 | Tokyo Electron Ltd | Substrate processor and substrate processing method |
| JP4696165B2 (en) * | 2009-02-03 | 2011-06-08 | 東京エレクトロン株式会社 | Substrate processing apparatus and substrate processing method |
| WO2015109838A1 (en) * | 2014-01-27 | 2015-07-30 | 辽宁聚龙金融设备股份有限公司 | Cam-type banknotes turning mechanism |
| CN106081625A (en) * | 2016-08-08 | 2016-11-09 | 郑州日产汽车有限公司 | The automatic replanting system of vehicle glass |
| CN107043023A (en) * | 2017-03-07 | 2017-08-15 | 中国建材国际工程集团有限公司 | Glass is directed at conveying device and glass alignment carrying method |
| CN114132669A (en) * | 2021-11-08 | 2022-03-04 | 安徽瑞佑自动化科技有限公司 | A lift for connecting tray |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP4194294B2 (en) | 2008-12-10 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP6064684B2 (en) | Substrate processing system and substrate inversion apparatus | |
| TWI276199B (en) | Apparatus for treating a substrate | |
| CN100470754C (en) | Substrate conveying device and method | |
| JP2011225376A (en) | Multi-gate conveyor | |
| JP2003321118A (en) | Right-angle transfer equipment | |
| CN102113108B (en) | Substrate-conveying device | |
| JP3960087B2 (en) | Transport device | |
| JP3944940B2 (en) | Substrate transfer device | |
| CN1847117B (en) | Laminated board substrate transfer arrangement | |
| JP4274580B1 (en) | Liquid crystal glass substrate transfer device | |
| JP2011026143A (en) | Apparatus and method for sticking workpiece | |
| JP2890291B2 (en) | Automatic plate processing equipment | |
| KR20080022377A (en) | The substrate transfer | |
| KR100617454B1 (en) | A base plate transfer system and transfer method using it | |
| JP2006008396A (en) | Platy member carrying device and method, and flat panel display manufacturing device and method | |
| KR20080022378A (en) | The substrate transfer | |
| JPH09162264A (en) | Substrate transfer device | |
| KR101224905B1 (en) | Device for transferring large scale substrate | |
| KR20100128484A (en) | Substrate processing apparatus and the method thereof | |
| JP4474672B2 (en) | Substrate transfer device | |
| CN217296360U (en) | Glass screen conveyer | |
| KR101863190B1 (en) | Substrate treating apparatus and substrate treating method using the same | |
| JP2019107796A (en) | Substrate parting device | |
| TWI373821B (en) | Apparatus and method for moving substrate | |
| JP4177828B2 (en) | Flat panel manufacturing equipment |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20050419 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Effective date: 20080617 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20080731 |
|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Effective date: 20080826 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20080922 |
|
| R150 | Certificate of patent (=grant) or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Year of fee payment: 3 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111003 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Year of fee payment: 3 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111003 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |