JP3944940B2

JP3944940B2 - Substrate transfer device

Info

Publication number: JP3944940B2
Application number: JP08863597A
Authority: JP
Inventors: 憲也和田; 宜夫森田
Original assignee: Hitachi High Technologies Corp
Current assignee: Hitachi High Tech Corp
Priority date: 1997-03-25
Filing date: 1997-03-25
Publication date: 2007-07-18
Anticipated expiration: 2017-03-25
Also published as: JPH10265018A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、液晶パネルを構成するガラス基板等の基板に対して所定の処理を行うために、この基板を水平搬送する基板の搬送装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
例えば、液晶パネルは上下２枚のガラス基板間に液晶を封入したものから構成され、少なくとも一方のガラス基板にドライバＩＣを接続すると共に、このドライバＩＣのアウタリードはプリント回路基板に接続される。この液晶パネルを製造するに当っては、所定の形状にした２枚のガラス基板を用いるが、これらガラス基板は、所定の形状に切断したガラス板から製造される。この２枚のガラス基板として、例えばＴＦＴ基板とカラーフィルタとからなる液晶パネルにあっては、ＴＦＴ基板を構成する一方のガラス板は、成膜、露光、膜剥離等の工程を複数回繰り返すことにより形成され、またカラーフィルタもガラス板に顔料によるフィルタ膜を成膜した上で露光するようになし、この工程を複数回繰り返すことにより形成される。
【０００３】
以上のように、ＴＦＴ基板やカラーフィルタ等、液晶パネルを構成するガラス基板は、種々の工程を経て製造されるが、また工程と工程との間には、ガラス板を繰り返し洗浄されることになる。このようにガラス基板の製造を自動化するには、コンベアラインを設けて、このコンベアラインに沿ってガラス板を搬送する間に、このガラス板に対する様々な処理が行われる。また、ガラス板の洗浄は、独立の工程として行われる場合があるが、コンベアラインで搬送中に行われることもある。この場合には、コンベアラインの適宜の位置に洗浄液シャワー装置を設けて、搬送中のガラス板に向けて洗浄液を噴射させることになる。ここで、コンベアラインは所定の長さを有するコンベアを一単位の搬送手段として構成し、この単位となるコンベアを所定数並べるようにして所要の長さのコンベアラインが形成される。
【０００４】
搬送手段としてのコンベアは、図４及び図５に示したものが用いられている。これらの図から明らかなように、所定の長さを有する左右一対からなる支持板１，１を平行に設けて、この一対の支持板１，１間に所定のピッチ間隔をもって複数の回転軸２を軸受３を介して回転自在に連結して設けられている。そして、各回転軸２の一方側の端部は支持板１から突出しており、その端部にはプーリ４が連結して設けられている。これらの回転軸２のうちの１つの回転軸２ａには、モータ５が歯車伝達手段６を介して接続されており、このモータ５によって回転軸２ａが回転駆動されるようになっている。また、回転軸２ａに設けたプーリ４ａと他のプーリ４との間には、タイミングベルト等からなる伝達ベルト７が巻回して設けられており、この伝達ベルト７によって、全ての回転軸２が同時に同じ方向に回転駆動されるようになる。
【０００５】
回転軸２の中央位置にはセンタローラ８が固定して設けられ、またこのセンタローラ８から左右に所定の間隔だけ離間した位置に、一対のガイドローラ９が設けられている。ガイドローラ９は円形部９ａと円錐部９ｂとからなり、円形部９ａをセンタローラ８に向くように配置して、円錐部９ｂの円錐面が相対向する状態にして回転軸２に固定される。従って、ガラス基板Ｇは、その裏面がセンタローラ８と両ガイドローラ９における円形部９ａとに当接し、かつその左右のエッジ部分は円錐部９ｂ，９ｂの円錐面に係合するようにして位置決めされた状態になる。そこで、伝達ベルト５の駆動により各回転軸２を回転駆動して、この回転軸２と一体にセンタローラ８及びガイドローラ９を回転駆動することによって、ガラス基板Ｇが搬送される。しかも、ガラス板Ｇの左右両側部分はガイドローラ９の円錐面９ｂａにガイドされることから、正確に直進方向に搬送される。これによって、ガラス板は、この搬送手段から逸れたりすることがなくなるだけでなく、所定の位置でガラス板に対する処理を行うために、ガラス板Ｇを停止させて、真空吸着で取り出す際において、実質的に粗位置決めされた状態で取り出すことができる。
【０００６】
ところで、近年においては、液晶パネルのサイズや多品種化する傾向にあり、このために液晶パネルを構成するガラス板も種々のサイズのものが用いられる。前述した搬送手段のように、回転軸にガラス板の左右両側部を規制する円錐部を有するガイドローラを固定的に設けると、搬送方向と直交する方向のサイズが異なるガラス板は搬送できなくなってしまう。
【０００７】
以上の点を考慮して、図６に示したコンベアを用いるように構成したものもある。この図から明らかなように、左右一対からなる支持板１０，１０間に設けた回転軸１１には、その軸線方向に所定の間隔で受けローラ１２を複数個固定して設けるようになし、最も幅の小さいガラス板Ｇであっても、その裏面が各回転軸１１に設けた少なくとも２箇所の受けローラ１２に当接するようにしている。そして、このコンベアには、ガラス板Ｇのセンタリングを行うために、コンベアにおける搬送方向の少なくとも１箇所にシリンダ１３と、このシリンダ１３により昇降駆動される昇降部材１４とからなるガラス板昇降手段１５が設けられており、このガラス板昇降手段１５により搬送手段により搬送されるガラス板Ｇを昇降できるようになっている。さらに、ガラス板昇降手段１５によりガラス板Ｇを上昇させた位置の左右には、アライメント部材１６，１６を設けて、このアライメント部材１６，１６を図示しない駆動手段により近接・離間する方向に変位可能としている。
【０００８】
このように構成すれば、ガラス板Ｇをガラス板昇降手段１５により上昇させて、アライメント部材１６，１６を近接する方向に変位させることによって、ガラス板Ｇの左右の両側部に当接させて、搬送手段の搬送方向における中心線に向けてアライメントを行うことができる。この状態で、ガラス板昇降手段１５でガラス板Ｇを下降させて、その裏面を回転軸１１に装着した受けローラ１２に当接させるようになし、回転軸１１を回転駆動することによって、ガラス板Ｇが搬送されるようになる。しかも、コンベアの搬送面には受けローラ１２より突出する部材が設けられないことから、支持板１０，１０間の間隔に相当する幅以下のガラス板であれば搬送が可能になる。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、異なるサイズのガラス板の搬送を行うために、回転軸に多数の受けローラを設けるようにすると、大きいサイズのガラス板を搬送する場合には、ガラス板が接触する受けローラの数が必要以上多くなり、しかもガラス板の左右両側を規制するガイド機構を有しないために、受けローラに僅かでも変形等があったり、ごみ等が付着していたりすると、ガラス板が蛇行する等、このガラス板の搬送の安定性が失われてしまう。特に、ガラス板の搬送中にシャワー洗浄を行う場合にあっては、洗浄液の噴射によりガラス板に衝撃が加わることにより、さらにガラス板の搬送が不安定になるだけでなく、ガラス板に付着していたごみが受けローラに付着するおそれも高くなる等、ガラス板の搬送条件が悪くなってしまう。また、受けローラの数が多いと、それだけクリーニングが面倒になる等といった不都合が生じる。
【００１０】
本発明は以上の点に鑑みてなされたものであって、その目的とするところは、サイズの異なる基板を搬送できるようになし、かつ基板を安定した状態で搬送できるようにした基板の搬送装置を提供することにある。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
前述の目的を達成するために、本発明は、左右一対の支持板と、前記両支持板に取り付けられて、一方の支持板側から他方の支持板側に向けて延在させた複数の回転軸と、前記一対の支持板のうち、少なくとも一方の支持板に装着され、この支持板に装着した複数の前記複数の回転軸のうちの１つの回転軸を回転駆動する回転駆動手段と、前記両支持板の間隔を変化させる幅調整手段とを有し、前記各回転軸には、その先端に基板の裏面と当接する先端ローラが設けられ、またこの先端ローラより基端側の位置には、前記先端ローラと同一の外径を有する円形部と前記基板の側部をガイドするつば部とを設けたガイドローラが設けられており、前記一方の支持板には、所定のピッチ間隔をもって前記回転軸が装着され、他方の支持板には、前記一方の支持板とは同じピッチ間隔で、前記一方の支持板側の各回転軸とは半ピッチずれた位置に前記各回転軸が装着されて、前記一方の支持板に装着した前記複数の回転軸のうち、前記回転駆動手段により回転駆動される１つの回転軸以外の回転軸は回転伝達手段により回転を伝達するようになし、この回転駆動手段も前記支持板と共に変位可能な構成としたことをその特徴とするものである。
【００１２】
【発明の実施の形態】
以下、図面に基づいて本発明の実施の形態について説明する。而して、図１には搬送装置の概略構成を示し、この搬送装置によっては、図２に示したように、大型のガラス板Ｇ₁ を搬送することができ、また図３に示したように、小型のガラス板Ｇ₂ を搬送することもできるようになっている。なお、以下の説明では、液晶パネルを構成するガラス板の搬送装置として説明するが、搬送されるワークは、これ以外の基板であっても良い。
【００１３】
図１から明らかなように、搬送装置は、左右の支持板２０Ｒ，２０Ｌ（支持板を総称する場合には符号２０を用いる）を有し、これら各支持板２０には、それぞれ一定のピッチ間隔をもって多数の回転軸２１が連結されている。各回転軸２１は、支持板２０に対して軸受２２により回転自在に支持されて、この支持板２０を貫通する状態に装着されている。そして、各回転軸２１における支持板２０の外側の位置にはプーリ２３が連結されており、これら回転軸２１のうち、１個の回転軸２１ａはモータ２４により回転駆動されるものである。また、この回転軸２１ａに連結したプーリ２３ａと他のプーリ２３との間には伝達ベルト２５が巻回して設けられている。従って、モータ２４を作動させると、支持板２０に装着した全ての回転軸２１が同じ方向に同期して回転駆動されることになる。ここで、モータ２４及び伝達ベルト２５は、支持板２０Ｒ及び２０Ｌにそれぞれ設けられている。そして、モータ２４は回転軸２１ａの回転駆動手段であり、また伝達ベルト２５は全ての回転軸２１を回転軸２１ａに追従回転させるための回転伝達手段である。なお、回転伝達手段としては、伝達ベルト２５の他に、ギア等の手段で構成することもできる。また、回転駆動手段としてのモータ２４は一方の支持板側に設け、このモータ２４の回転をスプライン軸等を用いて他方の支持板の回転軸２１に伝達する構成としても良い。
【００１４】
回転軸２１の先端には、ガラス板に対して駆動力を伝達するために、先端ローラ２６が装着されると共に、この先端ローラ２６より支持板２０側の位置にガイドローラ２７が設けられている。これら先端ローラ２６及びガイドローラ２７は回転軸２１に固定的に設けられており、従って回転軸２１が回転する際には、これら先端ローラ２６及びガイドローラ２７も一体的に回転することになる。ここで、先端ローラ２６は、ガラス板の裏面に当接して、その回転によりガイドローラ２７の円形部２７ａと共にガラス板を搬送する駆動ローラを構成する。また、ガイドローラ２７は先端ローラ２６の外径と同一の外径を有する円形部２７ａに円錐部２７ｂを連設したものである。ここで、円錐部２７ｂの円錐面は先端ローラ２６側に円錐面を向けたものであり、この円錐部２７ｂでガラス板の左右両側部をガイドするつば部となる。
【００１５】
左右両側に位置する支持板２０Ｒ，２０Ｌに設けた各回転軸２１は、相手方の支持板に向けて、その先端が両支持板２０Ｒ，２０Ｌ間の間隔の中間を越えた位置にまで延在されている。また、各々の支持板２０Ｒ，２０Ｌに設けた各回転軸２１は一定のピッチ間隔をもって多数設けられており、かつ支持板２０Ｒからの各回転軸２１と支持板２０Ｌからの各回転軸２１とは半ピッチずつずれており、支持板２０Ｒからの回転軸２１と支持板２０Ｌからの回転軸２１とが等しい間隔で交互に配置されている。
【００１６】
支持板２０Ｒと支持板２０Ｌとは、所定の間隔毎にガイドロッド２８が挿通されると共に、ねじ軸２９が螺挿されるナット３０Ｒ，３０Ｌが設けられている。。ここで、ねじ軸２９における支持板２０Ｒへの螺合部２９ａと支持板２０Ｌへの螺合部２９ｂとは逆ねじとなっており、かつその一端側にはモータ３１が連結されている。従って、モータ３１を駆動してねじ軸２９を回転させると、支持板２０Ｒと支持板２０Ｌとは相互に近接・離間する方向に変位することになる。
【００１７】
以上のように構成される搬送装置は、寸法サイズの異なる複数種類のガラス板を搬送することができる。而して、図２に示したように、幅方向の寸法が大きい大型のガラス板Ｇ₁ を搬送する場合には、支持板２０Ｒと支持板２０Ｌとの間隔を広くして、支持板２０Ｒ側の回転軸２１に設けたガイドローラ２７の円錐部２７ｂと、支持板２０Ｌ側の回転軸２１におけるガイドローラ２７の円錐部２７ｂとの間隔を、ガラス板Ｇ₁ の幅と一致させる。これによって、ガラス板Ｇ₁ をコンベアに載置すると、このガラス板Ｇ₁ の左右の両側部は、両支持板２０Ｒ，２０Ｌのガイドローラ２７の円錐部２７ｂに当接し、かつその裏面は先端ローラ２６とガイドローラ２７の円形部２７ａに当接した状態に保持される。
【００１８】
そこで、支持板２０Ｒ，２０Ｌの駆動側の回転軸２１ａをモータ２４を作動させると、これら回転軸２１ａが回転駆動されると共に、伝達ベルト２５が回転して、この駆動側の回転軸２１ａ以外の他の回転軸２１が同期して同じ方向に回転するから、ガラス板Ｇ₁ を所定の方向に搬送することができる。しかも、このガラス板Ｇ₁ の搬送時には、その左右の両側部がガイドローラ２７の円錐部２７ｂにより真直ぐ進行するようにガイドされることから、コンベアに沿って安定した状態で搬送され、蛇行等が生じるおそれはない。勿論、このコンベアにより搬送される間に、シャワー洗浄を行うようにしても、噴射される洗浄液の影響でガラス板Ｇ₁ が横ずれする等のおそれはない。
【００１９】
次に、前述のように、ガラス板Ｇ₁ を搬送するのに適した状態となっているコンベアによって、幅寸法の小さいガラス板Ｇ₂ を搬送する場合には、支持板２０Ｒと２０Ｌとの間隔を狭めるようにする。この支持板２０Ｒ，２０Ｌ間の間隔を狭めるには、モータ３１を作動させて、ねじ軸２９を回転させる。ねじ軸２９における支持板２０Ｒのナット３０Ｒへの螺挿部と支持板２０Ｌのナット３０Ｌへの螺合部とでは逆ねじ状態になっているから、ねじ軸２９を回転させると、支持板２０Ｒと支持板２０Ｌとは近接・離間する方向に変位するようになる。従って、ねじ軸２９を一方向に回転させると、支持板２０Ｒ，２０Ｌが相互に近接する方向に変位して、その間の間隔が狭くなる。支持板２０Ｒから突出する回転軸２１と支持板２０Ｌから突出する回転軸２１とは、同一の水平面に配置されているが、それらは搬送方向に向けて半ピッチずつずれているから、支持板２０Ｒ，２０Ｌが近接する方向に変位しても、相互に干渉するおそれはなく、前後の回転軸２１，２１間に相手方の回転軸２１が入り込むように変位する。
【００２０】
支持板２０Ｒ，２０Ｌを近接させて、ガイドローラ２７における円錐部２７ｂ，２７ｂ間の間隔が、ガラス板Ｇ₂ の幅寸法と一致するか、それより僅かに広い間隔となった時に、モータ３１を停止する。これによって、ガラス板Ｇ₂ をコンベア上に載置した時に、このガラス板Ｇ₂ は、その裏面が両側から突出する回転軸２１に設けた先端ローラ２６と、両側の回転軸２１におけるガイドローラ２７の円形部２７ａ上に載置され、かつガラス板Ｇ₂ の左右両側部はガイドローラ２７の円錐部２７ｂに当接乃至規制された状態になる。従って、両支持板２０Ｒ，２０Ｌにそれぞれ設けたモータ２４を作動させて、回転軸２１ａを回転駆動すると共に、プーリ２３ａに巻回されている伝達ベルト２５を送ると、全ての回転軸２１が同じ方向に同期して回転するから、ガラス板Ｇ₂ はコンベアに沿って搬送されることになる。
【００２１】
而して、支持板２０Ｒからの回転軸２１と、支持板２０Ｌからの回転軸２１とは交互に設けられているが、これら回転軸２１のピッチ間隔をある程度狭くしておく。これによって、回転軸２１は片持ち状態となっているものの、ガラス板Ｇ₁ 及びＧ₂ の荷重は複数本の回転軸に分散して受承されるようになるから、回転軸２１に対して過大な荷重が作用して、変形したり、回転が不安定になったりするおそれはない。また、ガラス板に同時に当接する回転軸２１の数が多ければ多いほど、このガラス板の水平度も維持されることになり、両支持板２０Ｒ，２０Ｌからの回転軸２１を半ピッチずつ回転軸をずらせることにより、ガラス板の先端部分における支持が欠落する間隔が狭くなることからも、ガラス板はより安定した状態で搬送されることになる。
【００２２】
なお、両支持板の回転軸を回転駆動するように構成したが、ガラス板の左右両側はガイドローラの円錐部で規制されているから、一方の側の支持板に装着した回転軸を回転駆動し、他方側の支持板には回転軸を回転自在に支持するが、これらを回転駆動しなくても、ガラス板の搬送を行うことができる。また、ガイドローラは円形部と円錐部とから構成したが、必ずしも円錐部を備える必要はなく、例えば円形部に円環状のフランジ部を連設するようにしても良い。さらに、両支持板から延在させた回転軸は必ずしも半ピッチずつずらせる必要はない。さらにまた、モータとねじ軸とによって左右の支持板の間隔を調整するようにすることにより無段階的に調整可能となるが、例えば２段階乃至数段階程度の調整で良い場合には、シリンダ等を用いて間隔調整を行うことができる。また、支持板の間隔調整は両側を動かすのではなく、片側の支持板のみを動かすように構成することも可能である。
【００２３】
【発明の効果】
本発明は以上のように構成したので、左右に設けた支持板の間隔を調整することによって、サイズの異なる基板を、その左右の両側をガイドした状態で搬送できるようになり、基板を安定した状態で搬送できる等の効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図１】
本発明の実施の一形態を示すガラス板の搬送装置の構成説明図である。
【図２】
大型のガラス板の搬送に適した状態にしたガラス板の搬送装置の要部平面図である。
【図３】
小型のガラス板の搬送に適した状態にしたガラス板の搬送装置の要部平面図である。
【図４】
従来技術によるガラス板の搬送装置の構成説明図である。
【図５】
図４のＸ−Ｘ断面図である。
【図６】
サイズの異なるガラス板の搬送に適した搬送装置の構成説明図である。
【符号の説明】
２０，２０Ｒ，２０Ｌ支持板２１，２１ａ回転軸
２３プーリ２４モータ
２５伝達ベルト２６先端ローラ
２７ガイドローラ２７ａ円形部
２７ｂ円錐部２９ねじ軸
３１モータ[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to a substrate transport apparatus for horizontally transporting a substrate such as a glass substrate constituting a liquid crystal panel in order to perform a predetermined process.
[0002]
[Prior art]
For example, the liquid crystal panel is composed of a liquid crystal sealed between two upper and lower glass substrates. A driver IC is connected to at least one glass substrate, and an outer lead of the driver IC is connected to a printed circuit board. In manufacturing this liquid crystal panel, two glass substrates having a predetermined shape are used. These glass substrates are manufactured from a glass plate cut into a predetermined shape. For example, in the case of a liquid crystal panel composed of a TFT substrate and a color filter as the two glass substrates, one glass plate constituting the TFT substrate repeats the steps of film formation, exposure, film peeling and the like a plurality of times. Further, the color filter is formed by forming a filter film made of a pigment on a glass plate and exposing it, and repeating this process a plurality of times.
[0003]
As described above, the glass substrate constituting the liquid crystal panel such as the TFT substrate and the color filter is manufactured through various processes, and the glass plate is repeatedly washed between the processes. Become. Thus, in order to automate the manufacture of the glass substrate, various processes are performed on the glass plate while the conveyor line is provided and the glass plate is conveyed along the conveyor line. In addition, the glass plate may be cleaned as an independent process, but may be performed during conveyance on the conveyor line. In this case, a cleaning liquid shower device is provided at an appropriate position on the conveyor line, and the cleaning liquid is sprayed toward the glass plate being conveyed. Here, the conveyor line comprises a conveyor having a predetermined length as a unit of conveying means, and a conveyor line having a predetermined length is formed by arranging a predetermined number of conveyors as the unit.
[0004]
The conveyor shown in FIGS. 4 and 5 is used as the conveyor as the conveying means. As is apparent from these drawings, a pair of left and right support plates 1 and 1 having a predetermined length are provided in parallel, and a plurality of rotating shafts 2 are provided with a predetermined pitch interval between the pair of support plates 1 and 1. Are rotatably connected via a bearing 3. One end portion of each rotating shaft 2 protrudes from the support plate 1, and a pulley 4 is connected to the end portion. A motor 5 is connected to one of the rotating shafts 2 through a gear transmission means 6, and the rotating shaft 2 a is driven to rotate by the motor 5. Further, a transmission belt 7 made of a timing belt or the like is wound between the pulley 4a provided on the rotary shaft 2a and the other pulley 4, and all the rotary shafts 2 are provided by this transmission belt 7. At the same time, they are driven to rotate in the same direction.
[0005]
A center roller 8 is fixedly provided at a central position of the rotating shaft 2, and a pair of guide rollers 9 are provided at positions spaced apart from the center roller 8 by a predetermined distance from side to side. The guide roller 9 includes a circular portion 9a and a conical portion 9b. The circular portion 9a is disposed so as to face the center roller 8, and the conical surfaces of the conical portions 9b are opposed to each other and fixed to the rotary shaft 2. . Accordingly, the glass substrate G is positioned so that the back surface thereof is in contact with the center roller 8 and the circular portion 9a of the both guide rollers 9, and the left and right edge portions thereof are engaged with the conical surfaces of the conical portions 9b and 9b. It will be in the state. Therefore, the respective rotation shafts 2 are rotationally driven by the drive of the transmission belt 5, and the center roller 8 and the guide roller 9 are rotationally driven integrally with the rotation shaft 2, whereby the glass substrate G is conveyed. Moreover, since the left and right side portions of the glass plate G are guided by the conical surface 9ba of the guide roller 9, they are accurately conveyed in the straight direction. As a result, the glass plate not only deviates from the conveying means, but also when the glass plate G is stopped and taken out by vacuum suction in order to perform processing on the glass plate at a predetermined position. In a roughly coarsely positioned state.
[0006]
By the way, in recent years, there is a tendency to increase the size and variety of liquid crystal panels. For this reason, glass plates constituting the liquid crystal panels are used in various sizes. If the guide roller having a conical portion for restricting the left and right side portions of the glass plate is fixedly provided on the rotation shaft like the above-mentioned transport means, glass plates having different sizes in the direction orthogonal to the transport direction cannot be transported. End up.
[0007]
In consideration of the above points, some conveyors are configured to use the conveyor shown in FIG. As is clear from this figure, the rotating shaft 11 provided between the left and right support plates 10 and 10 is provided with a plurality of receiving rollers 12 fixed at predetermined intervals in the axial direction. Even if the glass plate G has a small width, the back surface thereof is in contact with at least two receiving rollers 12 provided on each rotating shaft 11. In order to perform centering of the glass plate G, this conveyor has a glass plate elevating means 15 comprising a cylinder 13 and an elevating member 14 driven up and down by the cylinder 13 in at least one place in the conveying direction of the conveyor. It is provided, and the glass plate G conveyed by the conveying means can be moved up and down by the glass plate elevating means 15. Further, alignment members 16 and 16 are provided on the left and right sides of the position where the glass plate G is raised by the glass plate raising / lowering means 15, and the alignment members 16 and 16 can be displaced in the direction of approaching / separating by driving means (not shown). It is said.
[0008]
If comprised in this way, the glass plate G will be raised by the glass plate raising / lowering means 15, and the alignment members 16, 16 will be displaced in the approaching direction, thereby contacting the left and right sides of the glass plate G, Alignment can be performed toward the center line in the transport direction of the transport means. In this state, the glass plate G is lowered by the glass plate elevating means 15 so that the back surface thereof is brought into contact with the receiving roller 12 mounted on the rotary shaft 11, and the rotary shaft 11 is driven to rotate. G is conveyed. In addition, since a member protruding from the receiving roller 12 is not provided on the conveyance surface of the conveyor, the conveyance can be performed if the glass plate has a width equal to or smaller than the distance between the support plates 10 and 10.
[0009]
[Problems to be solved by the invention]
By the way, in order to transport glass plates of different sizes, if a large number of receiving rollers are provided on the rotating shaft, the number of receiving rollers with which the glass plates come into contact is necessary when transporting large size glass plates. Since there is no guide mechanism that restricts both the left and right sides of the glass plate, the glass plate snakes when the receiving roller is slightly deformed or dust is attached. The stability of transporting the plate will be lost. In particular, when shower cleaning is performed while the glass plate is being transported, the glass plate is not only unstable due to the impact of the spraying of the cleaning liquid, but also adheres to the glass plate. The conveying condition of the glass plate becomes worse, for example, there is a high possibility that the dust that has been deposited will adhere to the receiving roller. In addition, when the number of receiving rollers is large, inconveniences such as troublesome cleaning occur.
[0010]
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above points, and an object of the present invention is to transfer a substrate having a different size and to transfer a substrate in a stable state. Is to provide.
[0011]
[Means for Solving the Problems]
To achieve the above object, the present invention comprises a pair of left and right support plates and a plurality of rotations attached to both the support plates and extending from one support plate side to the other support plate side. A rotation drive means mounted on at least one of the pair of support plates and rotating one rotation shaft of the plurality of rotation shafts mounted on the support plate; Width adjusting means for changing the distance between the two support plates, and each rotating shaft is provided with a leading end roller in contact with the back surface of the substrate at the leading end, and at a position closer to the base end side than the leading end roller. , A guide roller provided with a circular portion having the same outer diameter as the tip roller and a flange portion for guiding the side portion of the substrate is provided, and the one support plate is provided with a predetermined pitch interval. A rotating shaft is mounted and the other support plate At the same pitch interval between one of the support plate, the one of the rotary shafts of the support plate side by the rotary shafts is mounted at a position shifted by a half pitch, rotation of the plurality of which is mounted on a support plate of the one Among the shafts, rotation shafts other than one rotation shaft driven to rotate by the rotation driving means are configured to transmit rotation by the rotation transmitting means, and this rotation driving means is also configured to be displaceable together with the support plate. Is the feature.
[0012]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. Thus, FIG. 1 shows a schematic configuration of the transfer device. Depending on the transfer device, a large glass plate G ₁ can be transferred as shown in FIG. 2, and as shown in FIG. In addition, a small glass plate G ₂ can be transported. In the following explanation, the glass plate constituting the liquid crystal panel will be described as a conveying device, but the workpiece to be conveyed may be a substrate other than this.
[0013]
As is clear from FIG. 1, the transport device has left and right support plates 20R and 20L (reference numeral 20 is used when the support plates are generically referred to), and each of these support plates 20 has a constant pitch interval. A large number of rotating shafts 21 are connected. Each rotary shaft 21 is rotatably supported by a bearing 22 with respect to the support plate 20 and is mounted so as to penetrate the support plate 20. A pulley 23 is connected to a position on the outer side of the support plate 20 in each rotary shaft 21, and one rotary shaft 21 a among these rotary shafts 21 is rotationally driven by a motor 24. A transmission belt 25 is wound around the pulley 23a connected to the rotating shaft 21a and the other pulley 23. Therefore, when the motor 24 is operated, all the rotating shafts 21 mounted on the support plate 20 are rotationally driven in synchronization with the same direction. Here, the motor 24 and the transmission belt 25 are provided on the support plates 20R and 20L, respectively. The motor 24 is a rotation driving unit for the rotation shaft 21a, and the transmission belt 25 is a rotation transmission unit for rotating all the rotation shafts 21 following the rotation shaft 21a. The rotation transmission means can be constituted by a gear or the like in addition to the transmission belt 25. Further, the motor 24 as the rotation driving means may be provided on one support plate side and the rotation of the motor 24 may be transmitted to the rotation shaft 21 of the other support plate using a spline shaft or the like.
[0014]
A tip roller 26 is mounted at the tip of the rotating shaft 21 to transmit a driving force to the glass plate, and a guide roller 27 is provided at a position closer to the support plate 20 than the tip roller 26. . The tip roller 26 and the guide roller 27 are fixedly provided on the rotary shaft 21. Therefore, when the rotary shaft 21 rotates, the tip roller 26 and the guide roller 27 also rotate integrally. Here, the front end roller 26 is in contact with the back surface of the glass plate, and constitutes a driving roller that conveys the glass plate together with the circular portion 27a of the guide roller 27 by rotation thereof. The guide roller 27 has a conical portion 27 b connected to a circular portion 27 a having the same outer diameter as that of the tip roller 26. Here, the conical surface of the conical portion 27b has a conical surface directed toward the tip roller 26, and the conical portion 27b serves as a flange portion that guides the left and right side portions of the glass plate.
[0015]
Each rotating shaft 21 provided on the support plates 20R and 20L located on the left and right sides extends toward the counterpart support plate so that the tip thereof extends beyond the middle of the distance between the support plates 20R and 20L. ing. Further, a large number of rotating shafts 21 provided on the respective support plates 20R, 20L are provided with a constant pitch interval, and the rotating shafts 21 from the supporting plate 20R and the rotating shafts 21 from the supporting plate 20L are defined as follows. The rotation shaft 21 from the support plate 20R and the rotation shaft 21 from the support plate 20L are alternately arranged at equal intervals.
[0016]
The support plate 20R and the support plate 20L are provided with nuts 30R and 30L into which the guide rod 28 is inserted at predetermined intervals and into which the screw shaft 29 is screwed. . Here, the screwed portion 29a of the screw shaft 29 to the support plate 20R and the screwed portion 29b to the support plate 20L are reverse screws, and the motor 31 is connected to one end thereof. Accordingly, when the motor 31 is driven and the screw shaft 29 is rotated, the support plate 20R and the support plate 20L are displaced in directions toward and away from each other.
[0017]
The conveyance apparatus comprised as mentioned above can convey the multiple types of glass plate from which dimension size differs. And Thus, as shown in FIG. 2, when conveying the glass sheet G ₁ large large dimension in the width direction is to widen the gap between the supporting plate 20R and the support plate 20L, the supporting plate 20R side a conical portion 27b of the guide roller 27 provided on the rotating shaft 21 of the distance between the conical portion 27b of the guide roller 27 in the rotation axis 21 of the support plate 20L side, to match the width of the glass plate G _1. Thus, when the glass plate G ₁ is placed on the conveyor, the left and right side portions of the glass plate G ₁ come into contact with the conical portions 27b of the guide rollers 27 of the support plates 20R and 20L, and the back surface thereof is the tip roller. 26 and the circular portion 27a of the guide roller 27 are held in contact with each other.
[0018]
Therefore, when the motor 24 is operated on the drive-side rotary shaft 21a of the support plates 20R and 20L, the rotary shaft 21a is driven to rotate, and the transmission belt 25 rotates, so that the other than the drive-side rotary shaft 21a. Since the other rotating shafts 21 rotate in the same direction in synchronization, the glass plate G ₁ can be conveyed in a predetermined direction. Moreover, at the time of conveyance of the glass plate G _1, since it is guided to proceed straight through the conical portion 27b on both sides guide rollers 27 of the left and right, are transported in a stable state along the conveyor, meandering and the like There is no risk of it occurring. Of course, while being conveyed by the conveyor, it is performed shower cleaning, the glass sheet G ₁ is there is no risk of such that lateral displacement under the influence of the cleaning liquid to be injected.
[0019]
Next, as described above, when the glass plate G ₂ having a small width is conveyed by the conveyor that is in a state suitable for conveying the glass plate G ₁ , the distance between the support plates 20R and 20L. To narrow. In order to narrow the interval between the support plates 20R and 20L, the motor 31 is operated and the screw shaft 29 is rotated. Since the screwed portion of the screw plate 29 to the nut 30R of the support plate 20R and the screwed portion of the support plate 20L to the nut 30L are in a reverse screw state, when the screw shaft 29 is rotated, the support plate 20R The support plate 20L is displaced toward and away from the support plate 20L. Therefore, when the screw shaft 29 is rotated in one direction, the support plates 20R and 20L are displaced in directions close to each other, and the interval therebetween becomes narrow. The rotating shaft 21 protruding from the support plate 20R and the rotating shaft 21 protruding from the support plate 20L are arranged on the same horizontal plane, but they are shifted by a half pitch toward the transport direction. , 20L does not interfere with each other even if displaced in the approaching direction, and the other rotating shaft 21 is displaced so as to enter between the front and rear rotating shafts 21, 21.
[0020]
Supporting plate 20R, in close proximity to 20L, conical portion 27b of the guide rollers 27, the spacing between 27b is, it matches the width of the glass plate G _2, when a slightly wider interval than the motor 31 Stop. As a result, when the glass plate G ₂ is placed on the conveyor, the glass plate G ₂ has a tip roller 26 provided on the rotary shaft 21 whose rear surface protrudes from both sides, and guide rollers 27 on the rotary shafts 21 on both sides. The left and right side portions of the glass plate G ₂ are in contact with or restricted by the conical portion 27 _b of the guide roller 27. Accordingly, when the motors 24 provided on both the support plates 20R and 20L are operated to rotate the rotating shaft 21a and send the transmission belt 25 wound around the pulley 23a, all the rotating shafts 21 are the same. since rotate synchronously in the direction, so that the glass sheet G ₂ is conveyed along the conveyor.
[0021]
Thus, although the rotation shaft 21 from the support plate 20R and the rotation shaft 21 from the support plate 20L are alternately provided, the pitch interval between these rotation shafts 21 is made somewhat narrow. Thereby, although the rotating shaft 21 is in a cantilever state, the loads on the glass plates G ₁ and G ₂ are distributed and received by a plurality of rotating shafts. There is no risk of deformation or rotation becoming unstable due to an excessive load. Further, as the number of the rotating shafts 21 simultaneously in contact with the glass plate is increased, the level of the glass plate is maintained, and the rotating shaft 21 from both the support plates 20R and 20L is rotated by a half pitch. By shifting the distance, the gap at which the support at the front end portion of the glass plate is lost becomes narrow, so that the glass plate is transported in a more stable state.
[0022]
In addition, although it comprised so that the rotating shaft of both support plates might be rotationally driven, since the right-and-left both sides of a glass plate are regulated by the cone part of a guide roller, the rotational shaft with which the supporting plate of one side was mounted is rotationally driven. And although a rotating shaft is rotatably supported by the support plate of the other side, even if these are not rotationally driven, a glass plate can be conveyed. The guide roller is composed of a circular portion and a conical portion. However, it is not always necessary to provide the conical portion. For example, an annular flange portion may be connected to the circular portion. Furthermore, the rotating shafts extending from both support plates do not necessarily have to be shifted by half a pitch. Furthermore, it is possible to adjust steplessly by adjusting the distance between the left and right support plates by means of a motor and a screw shaft. Can be used to adjust the interval. Further, the interval adjustment of the support plates can be configured not to move both sides but to move only one support plate.
[0023]
【The invention's effect】
Since the present invention is configured as described above, by adjusting the distance between the support plates provided on the left and right sides, it becomes possible to transport substrates of different sizes while guiding both the left and right sides, thereby stabilizing the substrate. The effect that it can convey in a state is produced.
[Brief description of the drawings]
[Figure 1]
It is composition explanatory drawing of the conveying apparatus of the glass plate which shows one Embodiment of this invention.
[Figure 2]
It is a principal part top view of the conveying apparatus of the glass plate made into the state suitable for conveyance of a large sized glass plate.
[Fig. 3]
It is a principal part top view of the conveying apparatus of the glass plate made into the state suitable for conveyance of a small glass plate.
[Fig. 4]
It is composition explanatory drawing of the conveying apparatus of the glass plate by a prior art.
[Figure 5]
It is XX sectional drawing of FIG.
[Fig. 6]
It is composition explanatory drawing of the conveying apparatus suitable for conveyance of the glass plate from which size differs.
[Explanation of symbols]
20, 20R, 20L Support plate 21, 21a Rotating shaft 23 Pulley 24 Motor 25 Transmission belt 26 End roller 27 Guide roller 27a Circular portion 27b Conical portion 29 Screw shaft 31 Motor

Claims

At least one of a pair of left and right support plates, a plurality of rotating shafts attached to both the support plates and extending from one support plate side toward the other support plate side, and the pair of support plates A rotation drive means for rotating one of the plurality of rotation shafts attached to the support plate, and a width adjusting means for changing the distance between the support plates. Have
Each of the rotating shafts is provided with a front end roller that abuts the back surface of the substrate at the front end, and a circular portion having the same outer diameter as the front end roller and the substrate at a position closer to the base end than the front end roller A guide roller provided with a flange portion for guiding the side portion of
The one support plate is mounted with the rotation shaft at a predetermined pitch interval, and the other support plate is arranged at the same pitch interval as the one support plate with each rotation shaft on the one support plate side. Is attached to each rotary shaft at a position shifted by a half pitch ,
Of the plurality of rotation shafts mounted on the one support plate, rotation shafts other than one rotation shaft driven to rotate by the rotation driving device are configured to transmit rotation by the rotation transmitting device, and the rotation driving device. The substrate transport apparatus is also capable of being displaced together with the support plate .

The guide roller has the same outer diameter as the tip roller, and a circular portion that causes a conveying force to act on the substrate together with the tip roller, and a conical portion that is connected to the circular portion and has a conical surface facing the receiving roller. The substrate transfer apparatus according to claim 1, wherein