JP2011026143A - Apparatus and method for sticking workpiece - Google Patents

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大介 薦田
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an apparatus for sticking a workpiece where the productivity of a stuck body is remarkably enhanced by performing a series of sticking treatments quickly. <P>SOLUTION: A first turntable 1 and a second turntable 2 having a plurality of suction surfaces 12a, 14 are arranged adjacently in a state that the suction surfaces 12a, 14 are opposed to each other facing a sticking clearance. A first stage S1 to supply and eject the workpiece, a second stage S2 to peel a protective paper, a third stage S3 for positioning and a fourth stage S4 for sticking are arranged around both turntables 1, 2. The supplying and the ejecting of the respective workpieces W1, W2, the peeling of the protective paper 42 for the respective workpieces W1, W2, the positioning of both workpieces W1, W2 and sticking between the workpieces W1, W2 are performed continuously by opposing the respective workpieces W1, W2 to the respective stages S1-S4 in order. <P>COPYRIGHT: (C)2011,JPO&amp;INPIT

Description

本発明は、例えば平板状のワークにシート状のワークを貼合するためのワーク貼合装置とワーク貼合方法に関する。本発明のワーク貼合装置およびワーク貼合方法は、例えば液晶基板やプラズマディスプレイ基板に、偏光シート、反射防止フィルム、電磁波シールドフィルム、紫外線シールドフィルムなどの機能性シートを貼合する際に使用される。また、平板状のワークどうしを貼合し、あるいはシート状のワークどうしを貼合する際にも使用する。   The present invention relates to, for example, a workpiece bonding apparatus and a workpiece bonding method for bonding a sheet-shaped workpiece to a flat workpiece. The workpiece bonding apparatus and the workpiece bonding method of the present invention are used, for example, when bonding a functional sheet such as a polarizing sheet, an antireflection film, an electromagnetic wave shielding film, or an ultraviolet shielding film to a liquid crystal substrate or a plasma display substrate. The Moreover, it uses also when bonding flat plate-shaped workpiece | work or sheet-like workpiece | work.

本出願人は、この種の貼合装置を先に提案している(特許文献1)。そこでは、吸着保持した機能性シートを液晶基板などの基板ガラスに貼合する。機能性シートと基板ガラスは、それぞれ調整テーブルおよび可動テーブルに吸着保持されて、僅かな隙間を介して上下に正対させてある。この状態の基板ガラスの一側縁を接着ローラーで機能性シートに押し付け、接着ローラーを基板ガラスの他側縁へ向かって移行させることにより、両者を貼合している。   The present applicant has previously proposed a bonding apparatus of this type (Patent Document 1). In this case, the functional sheet held by adsorption is bonded to a substrate glass such as a liquid crystal substrate. The functional sheet and the substrate glass are adsorbed and held by the adjustment table and the movable table, respectively, and are vertically opposed through a slight gap. Both sides are bonded together by pressing one side edge of the substrate glass in this state against the functional sheet with an adhesive roller and moving the adhesive roller toward the other side edge of the substrate glass.

特開2009−040617号公報(段落番号0028〜0032、図8)Japanese Patent Laying-Open No. 2009-040617 (paragraph numbers 0028 to 0032, FIG. 8)

特許文献1の貼合装置によれば、機能性シートと基板ガラスとを、気泡のかみ込みを伴なうこともなく確実に貼合でき、大サイズの液晶基板においても良好な貼合結果が得られている。さらに、機能性シートと基板ガラスとを高精度に位置決めした状態で貼合して、機能性シートが貼合された液晶基板等の生産性を向上し、生産コストの削減に大いに貢献している。しかし、機能性シートおよび基板ガラスを各テーブルに1枚ずつ載置し、その状態で機能性シートの保護紙を剥離したのち両者を貼合し、貼合後の基板ガラスを装置外へ取り出す必要があるので、一連の貼合処理に多くの時間が掛かるのを避けられなかった。   According to the bonding apparatus of Patent Document 1, the functional sheet and the substrate glass can be bonded reliably without entrapment of bubbles, and a good bonding result is obtained even in a large-sized liquid crystal substrate. Has been obtained. In addition, the functional sheet and the substrate glass are bonded together with a high-precision positioning, improving the productivity of liquid crystal substrates with the functional sheet bonded, and greatly contributing to the reduction of production costs. . However, it is necessary to place the functional sheet and the substrate glass one by one on each table, peel off the protective sheet of the functional sheet in that state, bond them together, and take the substrate glass after bonding out of the device Therefore, it was inevitable that a series of pasting processes took a lot of time.

本発明者は、一連の貼合処理を連続して行なう貼合装置を先に提案している。そこでは、第1ワークと第2ワークを貼合位置へ搬送するコンベア装置と、貼合位置へ搬送された第1ワークを吸着保持する貼合テーブルと、貼合テーブル用の駆動構造などで貼合装置を構成している。コンベア装置の搬送面は、通気自在なシルクスクリーンで形成してあり、その内部に各ワークを吸着する真空チャンバーを配置し、真空チャンバーの内部に接着ローラーを設けている。貼合時には、貼合テーブルで吸着した第1ワークと、コンベアベルトで搬送した第2ワークとを、貼合位置において上下に正対させ、第2ワークを接着ローラーで第1ワークに押し付けて両者を貼合する。   The inventor has previously proposed a bonding apparatus that continuously performs a series of bonding processes. There, it pastes with the conveyor device which conveys the 1st work and the 2nd work to the pasting position, the pasting table which adsorbs and holds the 1st work conveyed to the pasting position, the drive structure for the pasting table, etc. The combined device is configured. The conveyor surface of the conveyor device is formed with a breathable silk screen, a vacuum chamber for adsorbing each workpiece is disposed therein, and an adhesive roller is provided inside the vacuum chamber. At the time of pasting, the 1st work adsorbed by the pasting table and the 2nd work conveyed with the conveyor belt are made to face up and down in a pasting position, and the 2nd work is pressed against the 1st work with an adhesion roller. Paste.

上記の貼合装置によれば、一連の貼合処理を連続して行なえる。しかし、コンベア装置の搬送面を通気自在なシルクスクリーンで形成し、シルクスクリーンを大きな張力で張り渡さねばならないので、特殊な構造のチェーンを使用する必要があるなど、貼合装置の全体構造が複雑になり、コストが嵩む点に問題があった。また、両ワークを位置合わせし、あるいは貼合し終わるまでの間、コンベア装置による搬送を停止して貼合作業が終了するのを待つ必要があり、貼合処理を連続して行なえるものの、貼合体の生産性を向上するうえで限界があった。   According to said bonding apparatus, a series of bonding processes can be performed continuously. However, since the conveyor surface of the conveyor device is formed with a breathable silk screen and the silk screen must be stretched with a large tension, the entire structure of the laminating device is complicated, such as the need to use a special chain. There was a problem in that the cost increased. In addition, it is necessary to wait for the pasting work to be completed by stopping the conveyance by the conveyor device until both workpieces are aligned or pasted, although the pasting process can be performed continuously, There was a limit in improving the productivity of the bonded body.

本発明の目的は、一連の貼合処理をさらに迅速に行なえ、したがって一連の貼合処理に要する時間を大幅に短縮して、貼合体の生産性を格段に向上できるワーク貼合装置とワーク貼合方法を提供することにある。本発明の目的は、ワークの供給、保護紙の剥離、ワークの位置決め、ワークの貼合、貼合が完了した貼合体の取り出しの各作業を連続かつ併行して自動的に行なえ、しかも全体構造を簡素化して製造コストを削減し低コスト化できるワーク貼合装置を提供することにある。   The object of the present invention is to provide a workpiece laminating apparatus and a workpiece laminating apparatus that can perform a series of laminating processes more quickly, and thus greatly reduce the time required for a series of laminating processes, and can significantly improve the productivity of the bonded body. It is to provide a joint method. The object of the present invention is to automatically and continuously perform each operation of supplying a workpiece, peeling a protective paper, positioning the workpiece, pasting the workpiece, and taking out the bonded body after the pasting is completed. Is to provide a workpiece laminating apparatus that can reduce the manufacturing cost and reduce the cost.

本発明に係るワーク貼合装置は、複数の吸着面12a・14を備えた第1回転台1および第2回転台2を有する。両回転台1・2は、吸着面12a・14どうしが貼合隙間を間にして正対する状態で隣接配置する。両回転台1・2の周囲には、第1・第2の各ワークW1・W2を各回転台1・2に供給し、あるいは貼合されたワークW3を取り出す第1ステージS1と、各回転台1・2に吸着した両ワークW1・W2の保護紙42を剥離する剥離装置43を備えた第2ステージS2と、各回転台1・2の吸着面12a・14に吸着保持した両ワークW1・W2を位置決めする位置決め装置50を備えた第3ステージS3と、貼合隙間を介して正対する両ワークW1・W2を貼合する貼合装置60を備えた第4ステージS4とを設ける。第1回転台1と第2回転台2とは、第1駆動構造71および第2駆動構造72で駆動されて、貼合隙間を介して正対する貼合位置と、両回転台1・2が相対的に離れる回転位置との間で変位し、かつ回転位置においてそれぞれ回転変位できるように構成する。各回転台1・2の吸着面12a・14に吸着保持したワークW1・W2を各ステージS1〜S4に順に対向させて、一連の貼合処理を連続して行なう。   The workpiece | work bonding apparatus which concerns on this invention has the 1st turntable 1 and the 2nd turntable 2 provided with the some adsorption | suction surface 12a * 14. Both turntables 1 and 2 are arranged adjacent to each other with the suction surfaces 12a and 14 facing each other with a bonding gap therebetween. The first stage S1 for supplying the first and second workpieces W1 and W2 to the rotary tables 1 and 2 or taking out the bonded workpiece W3 around each rotary table 1 and 2 and each rotation A second stage S2 provided with a peeling device 43 for peeling the protective paper 42 of both the works W1 and W2 adsorbed on the tables 1 and 2, and both works W1 adsorbed and held on the adsorption surfaces 12a and 14 of the respective rotary tables 1 and 2. -3rd stage S3 provided with the positioning device 50 which positions W2 and 4th stage S4 provided with the bonding apparatus 60 which bonds both the workpiece | work W1 * W2 which opposes via a bonding gap | interval are provided. The 1st turntable 1 and the 2nd turntable 2 are driven by the 1st drive structure 71 and the 2nd drive structure 72, the pasting position which faces directly via a pasting gap, and both turntables 1 and 2 are It is configured so that it can be displaced between rotational positions that are relatively apart from each other and can be rotationally displaced at each rotational position. The workpieces W1 and W2 sucked and held on the suction surfaces 12a and 14 of the turntables 1 and 2 are sequentially opposed to the stages S1 to S4, and a series of bonding processes are continuously performed.

四角箱状に形成した第1回転台1および第2回転台2の四周面のそれぞれに吸着面12a・14を設ける。両回転台1・2の前面側には、第1・第2の各ワークW1・W2を各回転台1・2の吸着面12a・14に供給する第1供給装置21および第2供給装置22と、貼合体W3を取り出す取出装置23を備えた第1ステージS1を設ける。第1回転台1の上面および第2回転台2の下面のそれぞれに、両ワークW1・W2の保護紙42を剥離する剥離装置43を備えた第2ステージS2を設ける。両回転台1・2の後面側には、各回転台1・2の吸着面12a・14に吸着保持した両ワークW1・W2を位置決めする位置決め装置50を備えた第3ステージS3を設ける。両回転台1・2の隣接面に、両ワークW1・W2を貼合する貼合装置60を備えた第4ステージS4を設ける。各回転台1・2の吸着面12a・14に吸着保持したワークW1・W2を第1・第2・第3・第4ステージS1〜S4に順に対向させて、一連の貼合処理を連続して行なう。   Adsorption surfaces 12a and 14 are provided on each of the four circumferential surfaces of the first turntable 1 and the second turntable 2 formed in a square box shape. The first supply device 21 and the second supply device 22 that supply the first and second workpieces W1 and W2 to the suction surfaces 12a and 14 of the rotary tables 1 and 2 are provided on the front sides of the rotary tables 1 and 2, respectively. And 1st stage S1 provided with the taking-out apparatus 23 which takes out the bonding body W3 is provided. A second stage S2 including a peeling device 43 for peeling the protective paper 42 of both the workpieces W1 and W2 is provided on each of the upper surface of the first rotary table 1 and the lower surface of the second rotary table 2. A third stage S3 having a positioning device 50 for positioning the workpieces W1 and W2 sucked and held on the suction surfaces 12a and 14 of the turntables 1 and 2 is provided on the rear surface side of both the turntables 1 and 2. 4th stage S4 provided with the bonding apparatus 60 which bonds both the workpiece | work W1 and W2 in the adjacent surface of both the turntables 1 and 2 is provided. The workpieces W1 and W2 sucked and held on the suction surfaces 12a and 14 of the turntables 1 and 2 are sequentially opposed to the first, second, third, and fourth stages S1 to S4, and a series of bonding processes are continuously performed. To do.

第1ステージS1における各ワークW1・W2の各回転台1・2への供給、および貼合体W3の取り出しと、第2ステージS2における保護紙42の剥離と、第3ステージS3におけるワークW1・W2の位置決めと、第4ステージS4におけるワークW1・W2どうしの貼合とを併行して行なう。   Supply of each work W1 and W2 to each turntable 1 and 2 in 1st stage S1, take-out of bonding body W3, peeling of protective paper 42 in 2nd stage S2, work W1 and W2 in 3rd stage S3 And positioning of the workpieces W1 and W2 in the fourth stage S4 are performed in parallel.

第1駆動構造71と第2駆動構造72の駆動状態を制御する制御装置70を備えている。制御装置70は、第1・第2の両駆動構造71・72が、第1駆動動作と第2駆動動作とを交互に繰り返し行なうように構成する。第1駆動動作における第1回転台1は正転方向へ、第2回転台2は反転方向へ、それぞれ90ずつ270度まで間欠的に回転駆動する。第2駆動動作における第1回転台1は反転方向へ、第2回転台2は正転方向へ、それぞれ270度回転駆動する。   A control device 70 that controls the driving state of the first drive structure 71 and the second drive structure 72 is provided. The control device 70 is configured such that the first and second drive structures 71 and 72 alternately repeat the first drive operation and the second drive operation. In the first driving operation, the first turntable 1 is intermittently rotated up to 270 degrees by 90 degrees in the forward direction and the second turntable 2 in the reverse direction. In the second driving operation, the first turntable 1 is rotated 270 degrees in the reverse direction, and the second turntable 2 is rotated in the forward direction 270 degrees.

第1供給装置21および取出装置23は、第1回転台1の回転中心軸に沿って同行駆動されて、第1ステージS1を指向する吸着面12aと択一的に正対できるように構成する。   The first supply device 21 and the take-out device 23 are configured to be driven along the rotation center axis of the first turntable 1 so as to be able to face the suction surface 12a directed to the first stage S1 alternatively. .

本発明に係るワーク貼合方法においては、複数の吸着面12a・14を備えた第1回転台1および第2回転台2を、吸着面12a・14どうしが貼合隙間を間にして正対する状態で隣接配置してある。両回転台1・2の周りには、第1・第2の各ワークW1・W2を各回転台1・2に供給し、あるいは貼合体W3を取り出す第1ステージS1と、各回転台1・2の吸着面12a・14に吸着した第1・第2の各ワークW1・W2の保護紙42を剥離する第2ステージS2と、各回転台1・2の吸着面12a・14に吸着した第1・第2の各ワークW1・W2を位置決めする第3ステージS3と、貼合隙間を間にして正対する第1・第2の各ワークW1・W2を貼合する第4ステージS4とが設けてある。両回転台1・2を間欠的に回転しながら、各ワークW1・W2を各ステージS2〜S4に順に対向させて、各ワークW1・W2の供給、および取り出しと、各ワークW1・W2の保護紙42の剥離と、ワークW1・W2の位置決めと、ワークW1・W2どうしの貼合とを連続して行なう。   In the work bonding method according to the present invention, the first rotating table 1 and the second rotating table 2 provided with a plurality of suction surfaces 12a and 14 face each other with the bonding surfaces 12a and 14 between the bonding gaps. They are arranged adjacent to each other. Around both turntables 1 and 2, a first stage S1 for supplying the first and second workpieces W1 and W2 to the turntables 1 and 2 or taking out the bonded body W3, and each turntable 1 and The second stage S2 for peeling the protective paper 42 of the first and second workpieces W1 and W2 adsorbed on the two adsorbing surfaces 12a and 14, and the second stage S2 adsorbed on the adsorbing surfaces 12a and 14 of the rotary tables 1 and 2 A third stage S3 for positioning the first and second workpieces W1 and W2 and a fourth stage S4 for bonding the first and second workpieces W1 and W2 facing each other with a bonding gap in between are provided. It is. While rotating both turntables 1 and 2 intermittently, the workpieces W1 and W2 are sequentially opposed to the stages S2 to S4 to supply and take out the workpieces W1 and W2, and to protect the workpieces W1 and W2. The separation of the paper 42, the positioning of the workpieces W1 and W2, and the bonding of the workpieces W1 and W2 are performed in succession.

第1ステージS1における各ワークW1・W2の各回転台1・2への供給、および貼合体W3の取り出しと、第2ステージS2における保護紙42の剥離と、第3ステージS3におけるワークW1・W2の位置決めと、第4ステージS4におけるワークW1・W2どうしの貼合とを併行して行なう。   Supply of each work W1 and W2 to each turntable 1 and 2 in 1st stage S1, take-out of bonding body W3, peeling of protective paper 42 in 2nd stage S2, work W1 and W2 in 3rd stage S3 And positioning of the workpieces W1 and W2 in the fourth stage S4 are performed in parallel.

第1回転台1を駆動する第1駆動構造71と、第2回転台2を駆動する第2駆動構造72とが、第1駆動動作と第2駆動動作とを交互に繰り返し行なうように、制御装置70で制御する。第1駆動動作においては、第1回転台1を正転方向へ、第2回転台2は反転方向へ、それぞれ90ずつ270度まで間欠的に回転操作する。第2駆動動作においては、第1回転台1を反転方向へ、第2回転台2は正転方向へ、それぞれ270度回転操作する。   Control is performed so that the first drive structure 71 for driving the first turntable 1 and the second drive structure 72 for driving the second turntable 2 alternately perform the first drive operation and the second drive operation. Control is performed by the device 70. In the first driving operation, the first turntable 1 is rotated in the forward direction, and the second turntable 2 is rotated 90 degrees by 270 degrees intermittently in the reverse direction. In the second drive operation, the first turntable 1 is rotated by 270 degrees in the reverse direction, and the second turntable 2 is rotated by 270 degrees in the forward direction.

本発明においては、第1回転台1および第2回転台2の吸着面12a・14に第1・第2の各ワークW1・W2を吸着保持し、両回転台1・2を間欠的に回転して各ワークW1・W2を各作業ステージS1〜S4に順に対向させ、一連の貼合作業を連続して行なうようにした。このように、複数の吸着面12a・14を備えた回転台1・2を回転しながら、ワークW1・W2の供給および取り出し、保護紙42の剥離、両ワークW1・W2の位置決め、両ワークW1・W2の貼合を順に行なうようにすると、一連の貼合作業を待ち時間のない状態で連続して行なうことができる。したがって、本発明のワーク貼合装置によれば、従来のこの種の装置に比べて、一連の貼合処理に要する時間を大幅に短縮して、貼合体の生産性を格段に向上できる。また、第1・第2の回転台の周囲に各作業ステージS1〜S4を配置して、一連の貼合処理を順に行なえるようにするので、従来の装置に比べて、貼合装置が占める空間を小さくして、省スペースに寄与できる。特殊な構造や部品等を用いる必要もなく貼合装置を構成できるので、従来の装置に比べて装置全体の構造を簡素化してコストを削減できる。   In the present invention, the first and second workpieces W1 and W2 are sucked and held on the suction surfaces 12a and 14 of the first turntable 1 and the second turntable 2, and the two turntables 1 and 2 are rotated intermittently. Then, the workpieces W1 and W2 are sequentially opposed to the respective work stages S1 to S4, and a series of bonding operations are continuously performed. In this way, while rotating the rotary tables 1 and 2 having the plurality of suction surfaces 12a and 14, the workpieces W1 and W2 are supplied and taken out, the protective paper 42 is peeled off, both the workpieces W1 and W2 are positioned, and both the workpieces W1. -If it is made to perform W2 bonding in order, a series of bonding work can be performed continuously in a state without waiting time. Therefore, according to the workpiece | work bonding apparatus of this invention, compared with this kind of conventional apparatus, the time which a series of bonding processes require can be reduced significantly, and the productivity of a bonded body can be improved markedly. Moreover, since each work stage S1-S4 is arrange | positioned around the 1st, 2nd turntable, and it can perform a series of bonding processes in order, a bonding apparatus occupies compared with the conventional apparatus. It can contribute to space saving by reducing the space. Since the bonding apparatus can be configured without using a special structure or parts, the structure of the entire apparatus can be simplified and the cost can be reduced as compared with the conventional apparatus.

第1回転台1および第2回転台2を四角箱状に形成し、その四周面のそれぞれに吸着面12a・14を設ける貼合装置によれば、両回転台1・2を各作業ステージS2〜S4に対応して間欠的に回転することにより、一連の貼合処理を連続して自動的に行なえるので、貼合装置の動きに無駄がなく、より短い時間で効率よく貼合処理を行なうことができる。また、4組の両ワークW1・W2を各処理ステージS2〜S4に同時に正対させて、同時進行的に貼合処理できるので、貼合体の生産性をさらに向上できる。   According to the laminating apparatus in which the first turntable 1 and the second turntable 2 are formed in a square box shape and the suction surfaces 12a and 14 are provided on each of the four circumferential surfaces thereof, both the turntables 1 and 2 are connected to each work stage S2. By rotating intermittently corresponding to ~ S4, a series of pasting processes can be performed automatically and continuously, so there is no waste in the movement of the pasting device, and the pasting process can be performed efficiently in a shorter time. Can be done. In addition, since the four sets of the workpieces W1 and W2 are directly opposed to the respective processing stages S2 to S4 and can be bonded at the same time, the productivity of the bonded body can be further improved.

両ワークW1・W2の供給、保護紙42の剥離、両ワークW1・W2の位置決め、両ワークW1・W2の貼合、貼合が完了した貼合体W3の取り出しの各作業を連続かつ併行して行なうと、一連の貼合作業に要する時間をさらに短縮して貼合体W3の生産性を向上できる。   The operations of supplying both the workpieces W1 and W2, peeling the protective paper 42, positioning both the workpieces W1 and W2, pasting both the workpieces W1 and W2, and taking out the bonded body W3 after the pasting are continuously and concurrently performed. If it carries out, the time which a series of bonding work requires can be shortened further, and the productivity of bonding body W3 can be improved.

各回転台1・2を駆動操作する第1駆動構造71および第2駆動構造72の駆動状態を制御装置70で制御して、両駆動構造71・72が、第1駆動動作と第2駆動動作とを交互に繰り返し行なうようにすると、貼合装置の構造を簡素化して、その製造コストを削減できる。両回転体1・2を常に一定方向へ連続して回転する場合には、給電線、信号線、あるいは真空圧を供給する管路等がねじれてしまうため、ロータリージョイントなどを使用して、ねじれを防ぐ必要がある。しかし、第1駆動動作における両回転台1・2を互いに逆向きに、それぞれ90ずつ270度まで間欠的に回転駆動し、さらに、第2駆動動作における両回転台1・2をそれぞれ270度復帰回転すると、給電線や管路等のねじれを伴なうこともなく、一連の貼合作業を円滑に行なえる。したがって、ロータリージョイントなどの、ねじれを防ぐための構造を省略して貼合装置の製造コストを削減できる。   The control device 70 controls the drive states of the first drive structure 71 and the second drive structure 72 that drive the turntables 1 and 2 so that both the drive structures 71 and 72 perform the first drive operation and the second drive operation. If it repeats alternately, it can simplify the structure of a bonding apparatus and can reduce the manufacturing cost. When the rotating bodies 1 and 2 are always continuously rotated in a certain direction, the power supply line, signal line, or the pipe supplying the vacuum pressure is twisted. Need to prevent. However, the two rotary tables 1 and 2 in the first drive operation are intermittently rotated by 90 degrees to 270 degrees in opposite directions, and the two rotary tables 1 and 2 in the second drive operation are returned to 270 degrees, respectively. When rotated, a series of pasting operations can be smoothly performed without twisting of the power supply line and the pipe line. Therefore, the structure for preventing twisting, such as a rotary joint, can be omitted, and the manufacturing cost of the bonding apparatus can be reduced.

第1供給装置21と取出装置23を、第1回転台1の回転中心軸に沿って同行駆動して、そのいずれか一方を吸着面12aに正対させるようにすると、両装置21・23のガイド構造および駆動構造を共用して、貼合装置の構造を簡素化し製造コストを削減できる。   When the first supply device 21 and the take-out device 23 are driven along the rotation center axis of the first turntable 1 so that one of them is directly opposed to the suction surface 12a, both the devices 21 and 23 By sharing the guide structure and the drive structure, the structure of the bonding apparatus can be simplified and the manufacturing cost can be reduced.

本発明に係るワーク貼合方法によれば、両回転台1・2を間欠的に回転しながら、各ワークW1・W2を各作業ステージS2〜S4に順に対向させて、一連の貼合作業を連続して行なえるので、従来の貼合形態に比べて、貼合処理に要する時間を大幅に短縮して貼合体の生産性を向上できる。   According to the work bonding method according to the present invention, the work W1 and W2 are sequentially opposed to the work stages S2 to S4 while intermittently rotating the two turntables 1 and 2, and a series of bonding work is performed. Since it can carry out continuously, compared with the conventional bonding form, the time which a bonding process requires can be shortened significantly and the productivity of a bonding body can be improved.

上記のワーク貼合方法において、両ワークW1・W2の供給、保護紙42の剥離、両ワークW1・W2の位置決め、両ワークW1・W2の貼合、貼合が完了した貼合体W3の取り出しの各作業を連続かつ併行して行なうと、一連の貼合作業に要する時間をさらに短縮して貼合体W3の生産性を向上できる。   In the above-mentioned work pasting method, supply of both works W1 and W2, peeling of protective paper 42, positioning of both works W1 and W2, pasting of both works W1 and W2, and removal of pasted body W3 after pasting are completed. When each operation is performed continuously and concurrently, the time required for a series of bonding operations can be further shortened, and the productivity of the bonded body W3 can be improved.

上記のワーク貼合方法において、各回転台1・2を駆動操作する第1駆動構造71および第2駆動構造72が、第1駆動動作と第2駆動動作とを交互に繰り返し行なうように制御すると、両回転体1・2に導入される給電線、信号線、あるいは管路等のねじれを防止しながら、一連の貼合作業を円滑に行なえる。したがって、ロータリージョイントなどの、ねじれを防ぐための構造を省略して、その分だけ貼合設備に要するコストを削減できる。   In the work bonding method described above, when the first drive structure 71 and the second drive structure 72 that drive and operate the turntables 1 and 2 are controlled so as to alternately repeat the first drive operation and the second drive operation. A series of bonding operations can be smoothly performed while preventing twisting of the power supply line, the signal line, the pipe line, or the like introduced into the rotating bodies 1 and 2. Therefore, the structure for preventing twisting such as a rotary joint can be omitted, and the cost required for the bonding equipment can be reduced accordingly.

ワーク貼合装置の概略構造を示す縦断側面図である。It is a vertical side view which shows schematic structure of a workpiece | work bonding apparatus. ワーク貼合装置の正面図である。It is a front view of a workpiece bonding apparatus. ワーク貼合装置の横断平面図である。It is a cross-sectional top view of a workpiece bonding apparatus. ワーク供給構造を示す図3におけるA−A線断面図である。It is the sectional view on the AA line in FIG. 3 which shows a workpiece | work supply structure. 第2ワークの供給構造を示す横断平面図である。It is a cross-sectional top view which shows the supply structure of a 2nd workpiece | work. 位置決め構造の概略を示す背面図である。It is a rear view which shows the outline of a positioning structure. 貼合装置の要部を示す縦断正面図である。It is a vertical front view which shows the principal part of the bonding apparatus. 第1回転台および第2回転台の回転動作を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows rotation operation of a 1st turntable and a 2nd turntable. 第1回転台の回転時の姿勢変化を順に示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the attitude | position change at the time of rotation of a 1st turntable in order. 第1・第2回転台の制御構造を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the control structure of a 1st, 2nd turntable. ワーク貼合装置の別の実施例を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows another Example of a workpiece | work bonding apparatus. ワーク貼合装置のさらに別の実施例を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows another Example of a workpiece | work bonding apparatus. ワーク貼合装置のさらに別の実施例の概略構造を示す縦断側面図である。It is a vertical side view which shows schematic structure of another Example of a workpiece | work bonding apparatus. 図13に係るワーク貼合装置の概略構造を示す縦断正面図である。It is a vertical front view which shows schematic structure of the workpiece | work bonding apparatus which concerns on FIG. 図13に係る貼合装置の要部を示す縦断正面図である。It is a vertical front view which shows the principal part of the bonding apparatus which concerns on FIG.

図1ないし図10は本発明に係るワーク貼合装置の実施例を示す。なお、本発明における前後、左右、上下とは、図1から図3に示す交差矢印と、各矢印の近傍に表示した前後、左右、上下の文字表示に従うこととする。図1および図2においてワーク貼合装置は、第1・第2の回転台1・2を備えているワーク保持構造と、ワーク保持構造の周囲に設けられる第1・第2・第3・第4の各ステージS1〜S4と、第1ワークW1および第2ワークW2を供給する第1コンベア装置3および第2コンベア装置4と、貼合体W3を搬送する第3コンベア装置5などで構成する。図3に示すように、第1コンベア装置3および第3コンベア装置5は、ワーク保持構造の前方外面に配置し、第2コンベア装置4は第1コンベア装置3の下方に配置する。   FIG. 1 thru | or FIG. 10 shows the Example of the workpiece | work bonding apparatus which concerns on this invention. In the present invention, front / rear, left / right, and upper / lower refer to the cross arrows shown in FIGS. 1 to 3 and the front / rear, left / right, and upper / lower characters displayed near each arrow. 1 and 2, the workpiece bonding apparatus includes a workpiece holding structure including first and second turntables 1 and 2, and first, second, third, and second provided around the workpiece holding structure. 4 each stage S1-S4, the 1st conveyor apparatus 3 and the 2nd conveyor apparatus 4 which supply the 1st workpiece | work W1 and the 2nd workpiece | work W2, and the 3rd conveyor apparatus 5 etc. which convey the bonding body W3. As shown in FIG. 3, the first conveyor device 3 and the third conveyor device 5 are arranged on the front outer surface of the work holding structure, and the second conveyor device 4 is arranged below the first conveyor device 3.

第1ワークW1および第2ワークW2は、液晶基板やプラズマディスプレイ基板に代表されるガラス基板や、偏光シート、反射防止フィルム、電磁波シールドフィルム、紫外線シールドフィルムなどの機能性シートなどからなる。以下の実施例では、第1ワークW1が機能性シートであり、第2ワークW2がガラス基板である場合について説明する。第1ワークW1となる機能性シートの表面の粘着剤層は保護紙で覆われており、同様に第2ワークW2となるガラス基板の表面は保護紙で覆われている。   The first work W1 and the second work W2 are made of a glass substrate typified by a liquid crystal substrate or a plasma display substrate, a functional sheet such as a polarizing sheet, an antireflection film, an electromagnetic wave shielding film, or an ultraviolet shielding film. In the following examples, a case where the first workpiece W1 is a functional sheet and the second workpiece W2 is a glass substrate will be described. The pressure-sensitive adhesive layer on the surface of the functional sheet serving as the first workpiece W1 is covered with protective paper, and similarly, the surface of the glass substrate serving as the second workpiece W2 is covered with protective paper.

両ワークW1・W2の外形寸法は同じであり、例えば両ワークW1・W2のの対角隅部には、位置決め用の位置表示M1・M2が表示してある。図6に示すように、第1ワークW1には黒丸の位置表示M1が表示してあり、第2ワークW2には、先の位置表示M1より直径寸法が僅かに大きな丸印からなる位置表示M2が表示してある。後述するように、これらの位置表示M1・M2を位置基準にして、第1ワークW1と第2ワークW2の位置決めを行なう。   The external dimensions of both the workpieces W1 and W2 are the same. For example, positioning indications M1 and M2 are displayed at the diagonal corners of the workpieces W1 and W2. As shown in FIG. 6, the black workpiece position display M1 is displayed on the first workpiece W1, and the second workpiece W2 is a position display M2 composed of a circle having a slightly larger diameter than the previous position display M1. Is displayed. As will be described later, the first workpiece W1 and the second workpiece W2 are positioned with reference to these position indications M1 and M2.

図2に示すように、ワーク保持構造は、門形のメインフレーム7と、同フレーム7で上下スライド自在に案内支持されるサブフレーム8を基本構造体にして構成する。第1回転台1は、サブフレーム8に設けた第1回転軸9で支持されて、後述する第1駆動構造71で正逆双方向へ回転駆動される。さらに、サブフレーム8および第1回転台1は、第1駆動構造71で貼合位置と回転位置とにスライド操作される。第2回転台2は、第1回転台1の下方に配置してあり、メインフレーム7に設けた第2回転軸10で支持されて、後述する第2駆動構造72で正逆双方向へ回転駆動される。貼合位置における第1回転台1と第2回転台2とは、ひとつの吸着面12a・14どうしが貼合隙間を間にして正対する状態で上下に隣接配置してある。第1回転台1およびサブフレーム8を、メインフレーム7の上方の回転位置へ退避させた状態(図8参照)でのみ、第1回転台1および第2回転台2のそれぞれを回転操作できる。   As shown in FIG. 2, the work holding structure includes a gate-shaped main frame 7 and a sub frame 8 that is guided and supported by the frame 7 so as to be slidable up and down. The first turntable 1 is supported by a first rotating shaft 9 provided in the subframe 8 and is rotationally driven in both forward and reverse directions by a first drive structure 71 described later. Further, the sub frame 8 and the first turntable 1 are slid to the bonding position and the rotation position by the first drive structure 71. The second turntable 2 is disposed below the first turntable 1, is supported by a second rotating shaft 10 provided on the main frame 7, and is rotated in both forward and reverse directions by a second drive structure 72 described later. Driven. The 1st turntable 1 and the 2nd turntable 2 in the bonding position are adjacently arranged up and down in the state where one adsorption | suction surface 12a * 14 faces directly across the bonding gap. Each of the first turntable 1 and the second turntable 2 can be rotated only when the first turntable 1 and the subframe 8 are retracted to the rotation position above the main frame 7 (see FIG. 8).

第1回転台1は、断面が正方形状の中空箱体からなり、その四周面のそれぞれに吸着台12を有し、各吸着台12の内部に独立した状態の真空チャンバー13が設けてある。各吸着台12の外面の吸着面12aと真空チャンバー13とは、一群の通口を介して連通している。各吸着台12は、第1回転台1のフレーム構造に対してエアーパット(図示していない)を介して固定してあり、必要時にはエアーパットによる拘束を開放して位置調整することができる。各真空チャンバー13は、図示していない弾性変形可能な管路を介して真空源に連通してあり、各真空チャンバー13に対して独立して真空圧を作用させ、あるいは真空圧の作用を停止することができる。弾性変形可能な管路は、中空軸からなる第1回転軸9を介してメインフレーム7の外方へ導出してある。   The first turntable 1 is formed of a hollow box having a square cross section, has suction tables 12 on each of its four circumferential surfaces, and an independent vacuum chamber 13 is provided inside each suction table 12. The suction surface 12a on the outer surface of each suction table 12 and the vacuum chamber 13 communicate with each other through a group of passages. Each suction stand 12 is fixed to the frame structure of the first turntable 1 via an air pad (not shown), and can be adjusted by releasing the restraint by the air pad when necessary. Each vacuum chamber 13 communicates with a vacuum source via an elastically deformable conduit (not shown), and a vacuum pressure is applied to each vacuum chamber 13 independently, or the vacuum pressure is stopped. can do. The elastically deformable conduit is led out of the main frame 7 via a first rotating shaft 9 formed of a hollow shaft.

第2回転台2は、断面が正方形状の中空箱体からなり、その四周面のそれぞれにシルクスクリーンで覆われた吸着面14を有し、各吸着面14の内部に独立した状態の真空チャンバー15が設けてある。各真空チャンバー15は、図示していない弾性変形可能な管路を介して真空源に連通してあり、各真空チャンバー15に対して独立して真空圧を作用させ、あるいは真空圧の作用を停止することができる。弾性変形可能な管路は、中空軸からなる第2回転軸10を介してメインフレーム7の外方へ導出してある。真空チャンバー15の内部には、吸着面14に対して接近ないし離反できる4個のバックアップテーブル17と、各吸着面14に保持された第2ワークW2を第1ワークW1に押し付け操作する4個の接着ローラー18が配置してある。バックアップテーブル17は、シルクスクリーンからなる吸着面14が、第2ワークW2の重みで撓み変形するの防ぐために設けてある。符号19は、接着ローラー18を往復操作するローラー台である。   The second turntable 2 is formed of a hollow box having a square cross section, has suction surfaces 14 covered with silk screens on each of the four peripheral surfaces thereof, and a vacuum chamber in an independent state inside each suction surface 14. 15 is provided. Each vacuum chamber 15 communicates with a vacuum source via an elastically deformable conduit (not shown), and a vacuum pressure is applied to each vacuum chamber 15 independently, or the vacuum pressure is stopped. can do. The elastically deformable conduit is led out of the main frame 7 via the second rotating shaft 10 formed of a hollow shaft. Inside the vacuum chamber 15 are four backup tables 17 that can approach or leave the suction surface 14 and four workpieces W2 that are held on the suction surfaces 14 and pressed against the first workpiece W1. An adhesive roller 18 is arranged. The backup table 17 is provided to prevent the suction surface 14 made of a silk screen from being bent and deformed by the weight of the second workpiece W2. Reference numeral 19 denotes a roller base for reciprocating the adhesive roller 18.

第1回転台1および第2回転台2の前面側に第1ステージS1が設けてある。第1ステージS1には第1供給装置21と、第2供給装置22と、取出装置23を設ける。第1供給装置21は、第1ワークW1を第1コンベア装置3から受け取って、第1回転台1の前面に位置する吸着台12の吸着面12aに供給する。また、第2供給装置22は、第2ワークW2を第2コンベア装置4から受け取って、第2回転台2の前面に位置する吸着面14に供給する。さらに、取出装置23は、第1回転台1の前面に位置する吸着面12aから貼合体W3を受け取って、第3コンベア装置5に受け渡す。   A first stage S <b> 1 is provided on the front side of the first turntable 1 and the second turntable 2. The first stage S <b> 1 is provided with a first supply device 21, a second supply device 22, and an extraction device 23. The first supply device 21 receives the first workpiece W <b> 1 from the first conveyor device 3 and supplies the first workpiece W <b> 1 to the suction surface 12 a of the suction table 12 positioned on the front surface of the first turntable 1. The second supply device 22 receives the second workpiece W2 from the second conveyor device 4 and supplies the second workpiece W2 to the suction surface 14 located on the front surface of the second turntable 2. Furthermore, the take-out device 23 receives the bonded body W3 from the suction surface 12a located on the front surface of the first turntable 1 and delivers it to the third conveyor device 5.

図3に示すように、第1供給装置21と取出装置23とは、ワーク保持構造の前方外面に設けたスライド台24に組み付けられて、同行移動可能に支持されており、両装置21・23のいずれか一方が、第1回転台1の前面に位置する吸着面12aと正対して、第1ワークW1の供給と、貼合体W3の取り出しとを択一的に行なえるようにしてある。スライド台24は、第1コンベア装置3および第3コンベア装置5の上方に配置した、左右方向に長いガイドフレーム25で左右スライド自在に案内支持してある。   As shown in FIG. 3, the first supply device 21 and the take-out device 23 are assembled to a slide base 24 provided on the front outer surface of the workpiece holding structure and supported so as to be able to move together. Any one of these faces the suction surface 12a located on the front surface of the first turntable 1 so that the supply of the first workpiece W1 and the removal of the bonded body W3 can be performed alternatively. The slide table 24 is guided and supported by a guide frame 25 disposed above the first conveyor device 3 and the third conveyor device 5 so as to be slidable in the left-right direction.

第1供給装置21は、スライド台24のブラケットに設けた揺動軸26の周りに、図示していない揺動機構で揺動操作される供給台27と、供給台27に設けた操作機構で往復スライド操作される吸着台28とを備えている。吸着台28の内部には、吸着面に臨んで真空チャンバー29が設けてある。   The first supply device 21 includes a supply stand 27 that is swung by a swing mechanism (not shown) around a swing shaft 26 provided on a bracket of the slide base 24 and an operation mechanism provided on the supply stand 27. And a suction table 28 that is reciprocally slidably operated. Inside the suction stand 28, a vacuum chamber 29 is provided facing the suction surface.

図4に示すように、供給台27が第1コンベア装置3の真上に位置する状態で、供給台27を想像線で示すように吸着台28ごと下向きに揺動し、さらに吸着台28を下降させることにより、第1コンベア装置3上の第1ワークW1を吸着保持することができる。この状態の吸着台28を上昇させ、さらに供給台27を上向きに揺動操作することにより、第1ワークW1を垂直に保持できる。さらに、スライド台24をワーク保持構造の左方へスライド操作することにより、第1ワークW1を第1回転台1の前面に位置する吸着面12aに正対させることができる。この状態で、吸着台28を第1回転台1の側へ接近移動させることにより、第1ワークW1を第1回転台1の前面に位置する吸着台12に渡すことができる。   As shown in FIG. 4, in a state where the supply stand 27 is located directly above the first conveyor device 3, the supply stand 27 is swung downward together with the suction stand 28 as indicated by an imaginary line. By lowering, the first workpiece W1 on the first conveyor device 3 can be sucked and held. The first work W1 can be held vertically by raising the suction table 28 in this state and further swinging the supply table 27 upward. Furthermore, by sliding the slide table 24 to the left of the workpiece holding structure, the first workpiece W1 can be directly opposed to the suction surface 12a located on the front surface of the first turntable 1. In this state, the first workpiece W1 can be transferred to the suction table 12 located on the front surface of the first rotation table 1 by moving the suction table 28 closer to the first rotation table 1 side.

第2供給装置22は、第1コンベア装置3の下方に配置する。図5に示すように、第2供給装置22は、第1供給装置21と同様に、供給台33と、供給台33に設けた操作機構で往復スライド操作される吸着台34などで構成してあり、供給台33を固定フレーム31のブラケットに設けた揺動軸32で軸支する点が、第1供給装置21と異なっている。供給台33は、図示していない揺動機構で揺動操作される。吸着台34の内部には、吸着面に臨んで真空チャンバー35が設けてある。   The second supply device 22 is disposed below the first conveyor device 3. As shown in FIG. 5, the second supply device 22 is configured by a supply table 33 and an adsorption table 34 that is reciprocally slid by an operation mechanism provided on the supply table 33, as with the first supply device 21. There is a difference from the first supply device 21 in that the supply base 33 is pivotally supported by a swing shaft 32 provided on a bracket of the fixed frame 31. The supply table 33 is swung by a swing mechanism (not shown). Inside the suction stand 34, a vacuum chamber 35 is provided facing the suction surface.

供給台33が第2コンベア装置4の真上に位置する状態で、供給台33を吸着台34ごと下向きに揺動し、さらに吸着台34を下降させることにより、第2コンベア装置4上の第2ワークW2を吸着保持することができる。この状態の吸着台34を上昇させ、さらに供給台33を上向きに揺動操作することにより、第2ワークW2を垂直に保持して、第2回転台2の前面に位置する吸着面14に正対させることができる。この状態で、吸着台34を第2回転台2の側へ接近移動させることにより、第2ワークW2を第2回転台2の前面に位置する吸着面14に渡すことができる。   In a state where the supply stand 33 is located directly above the second conveyor device 4, the supply stand 33 is swung downward together with the suction stand 34, and further, the suction stand 34 is lowered, so that the second on the second conveyor device 4. Two workpieces W2 can be sucked and held. The suction table 34 in this state is raised, and the supply table 33 is further swung upward to hold the second workpiece W2 vertically, so that the suction surface 14 positioned on the front surface of the second turntable 2 is aligned with the suction surface 14. Can be paired. In this state, the second workpiece W2 can be transferred to the suction surface 14 located on the front surface of the second turntable 2 by moving the suction stand 34 toward the second turntable 2 side.

取出装置23は、第1供給装置21と同様に、供給台38と、供給台38に設けた操作機構で往復スライド操作される吸着台39とを備えている。吸着台39の内部には、吸着面に臨んで真空チャンバー40が設けてある。供給台38はスライド台24のブラケットに設けた揺動軸37の周りに、図示していない揺動機構で揺動操作される。   Similarly to the first supply device 21, the take-out device 23 includes a supply table 38 and an adsorption table 39 that is reciprocally slid by an operation mechanism provided on the supply table 38. Inside the suction table 39, a vacuum chamber 40 is provided facing the suction surface. The supply table 38 is swung around a swing shaft 37 provided on the bracket of the slide table 24 by a swing mechanism (not shown).

図3に示すように、吸着台39が第1回転台1の前面に位置する吸着台12に正対する状態で、吸着台39を第1回転台1の側へ接近移動させることにより、貼合体W3を第1回転台1の前面に位置する吸着台12から受け取ることができる。貼合体W3を受け渡す過程で、真空チャンバー13の真空圧は開放される。貼合体W3を吸着した状態の吸着台39を、第1回転台1から遠ざかる向きへ移動したのち、スライド台24をワーク保持構造の左方へスライド操作することにより、図3に想像線で示すように、供給台38を第3コンベア装置5の真上に位置させることができる。引き続き、供給台38を吸着台39ごと下向きに揺動し、さらに吸着台39を下降させることにより、貼合体W3を第3コンベア装置5に渡すことができる。   As shown in FIG. 3, the adhering table 39 is moved toward the first rotating table 1 in the state where the adsorbing table 39 faces the adsorption table 12 positioned in front of the first rotating table 1, thereby bonding the bonded body. W3 can be received from the suction table 12 positioned in front of the first turntable 1. In the process of delivering the bonded body W3, the vacuum pressure in the vacuum chamber 13 is released. 3 shows an imaginary line in FIG. 3 by moving the suction stand 39 in a state where the bonded body W3 is sucked away from the first turntable 1 and then sliding the slide base 24 to the left of the work holding structure. Thus, the supply stand 38 can be positioned directly above the third conveyor device 5. Subsequently, the bonding body W3 can be transferred to the third conveyor device 5 by swinging the supply table 38 together with the suction table 39 downward and further lowering the suction table 39.

第1回転台1の上方および第2回転台2の下方のそれぞれに、第2ステージS2を設ける。第2ステージS2には、各回転台1・2に吸着した両ワークW1・W2の保護紙42を剥離する剥離装置43を設ける。図6に示すように、剥離装置43はガイド体44で左右スライド自在に案内支持されるスライド台45と、スライド台45に装着されて昇降変位できる昇降体46と、昇降体46の突端に設けられて保護紙42の隅部分を捕捉する捕捉部47とを備えている。   A second stage S <b> 2 is provided above each of the first turntable 1 and below the second turntable 2. The second stage S2 is provided with a peeling device 43 that peels off the protective paper 42 of both the workpieces W1 and W2 adsorbed on the rotary tables 1 and 2. As shown in FIG. 6, the peeling device 43 is provided at a slide base 45 that is guided and supported by a guide body 44 so as to be slidable left and right, a lift body 46 that is mounted on the slide base 45 and can be displaced up and down, And a capturing portion 47 that captures a corner portion of the protective paper 42.

第1回転台1と向き合う上側の剥離装置43のスライド台45は、サブフレーム8に設けたガイド体44で案内支持してあり、下側の剥離装置43のスライド台45は、メインフレーム7のベースに固定したガイド体44で案内支持してある。図6に矢印で示すように、上下の昇降体46・46を進出操作して捕捉部47を保護紙42に密着させたのち、両昇降体46・46を僅かに後退して保護紙42の側端縁を剥離し、その状態のままで、スライド台45を図示していない駆動構造でガイド体44に沿って駆動することにより、保護紙42を剥離する。剥離された保護紙42は、図示していない廃棄アームでメインフレーム7の外へ排出される。剥離されたのちの第1ワークW1の表面には粘着剤層が露出している。   The slide table 45 of the upper peeling device 43 facing the first rotary table 1 is guided and supported by a guide body 44 provided in the subframe 8, and the slide table 45 of the lower peeling device 43 is the main frame 7. It is guided and supported by a guide body 44 fixed to the base. As shown by arrows in FIG. 6, the upper and lower lifting bodies 46, 46 are advanced to bring the catching portion 47 into close contact with the protective paper 42, and then both the lifting bodies 46, 46 are slightly retracted to remove the protective paper 42. The side edge is peeled off, and the protective paper 42 is peeled off by driving the slide base 45 along the guide body 44 with a drive structure (not shown) in this state. The peeled protective paper 42 is discharged out of the main frame 7 by a discard arm (not shown). The pressure-sensitive adhesive layer is exposed on the surface of the first workpiece W1 after being peeled.

第1回転台1および第2回転台2の後面側に第3ステージS3を設ける。第3ステージS3には、第1回転台1の後面の吸着台12と正対する第1位置決め装置51と、第2回転台2の後面の吸着面14と正対する第2位置決め装置52と、アライメントコントローラー、フォーカスコントローラー、およびモニターなどからなる位置決め装置50を設ける。図1において、第1位置決め装置51には、第1ワークW1の位置表示M1の位置を検知する2個のCCDカメラ53と、吸着台12を上下および左右に調整操作するuvwテーブル54が設けてある。uvwテーブル54には、吸着台12に係合して調整操作する操作ピン55が設けてある。第2位置決め装置52には、第2ワークW2の位置表示M2の位置を検知する2個のCCDカメラ56が設けてある。   A third stage S3 is provided on the rear surface side of the first turntable 1 and the second turntable 2. The third stage S3 includes a first positioning device 51 that faces the suction table 12 on the rear surface of the first turntable 1, a second positioning device 52 that faces the suction surface 14 on the rear surface of the second turntable 2, and an alignment. A positioning device 50 including a controller, a focus controller, and a monitor is provided. In FIG. 1, the first positioning device 51 is provided with two CCD cameras 53 for detecting the position of the position display M1 of the first workpiece W1 and a uvw table 54 for adjusting the suction table 12 up and down and left and right. is there. The uvw table 54 is provided with an operation pin 55 that engages with the suction table 12 and performs an adjustment operation. The second positioning device 52 is provided with two CCD cameras 56 that detect the position of the position display M2 of the second workpiece W2.

図6に示すように、第1・第2の位置決め装置51・52に設けたCCDカメラ53・56は、位置表示のずれを画像として取り込む。アライメントコントローラーは、先の画像情報から調整移動すべき方向を決定し、同コントローラーからの出力信号に従ってuvwテーブル54が駆動される。画像の確認と、位置調整とを数回行なうことにより、第1ワークW1の位置表示M1を第2ワークW2の位置表示M2の中央に位置させて、両ワークW1・W2を位置ずれのない状態に調整することができる。以上のように、この実施例では第2ワークW2の位置表示M2を基準にして、吸着台12に吸着した第1ワークW1位置表示M1のずれを調整して、両ワークW1・W2の位置調整を行なう。なお、両ワークW1・W2の位置調整は数秒で完了する。   As shown in FIG. 6, the CCD cameras 53 and 56 provided in the first and second positioning devices 51 and 52 capture the position display deviation as an image. The alignment controller determines a direction to be adjusted and moved from the previous image information, and the uvw table 54 is driven in accordance with an output signal from the controller. By confirming the image and adjusting the position several times, the position display M1 of the first work W1 is positioned at the center of the position display M2 of the second work W2, and both the works W1 and W2 are not displaced. Can be adjusted. As described above, in this embodiment, the position of both the workpieces W1 and W2 is adjusted by adjusting the deviation of the first workpiece W1 position display M1 sucked on the suction stand 12 with reference to the position display M2 of the second workpiece W2. To do. The position adjustment of both workpieces W1 and W2 is completed in a few seconds.

第1回転台1および第2回転台2の隣接面に臨んで、両ワークW1・W2を貼合する貼合装置60を備えた第4ステージS4を設ける。図7において貼合装置60は、先に説明した接着ローラ18と、接着ローラー18を第2回転軸10の中心軸に沿って移動操作するローラー台19と、接着ローラ18を押し上げ操作するエアーシリンダー(図示していない)などで構成する。   4th stage S4 provided with the bonding apparatus 60 which bonds both the workpiece | work W1 * W2 facing the adjacent surface of the 1st turntable 1 and the 2nd turntable 2 is provided. In FIG. 7, the bonding apparatus 60 includes the adhesive roller 18 described above, a roller base 19 that moves the adhesive roller 18 along the central axis of the second rotation shaft 10, and an air cylinder that pushes up the adhesive roller 18. (Not shown).

先に説明したように、第1回転台1が貼合位置にある状態では、第1回転台1に吸着した第1ワークW1と、第2回転台2に吸着した第2ワークW2とが、貼合隙間を介して上下に正対している。この状態で、接着ローラ18をエアーシリンダーで押し上げ操作して、第2ワークW2の右端縁を接着ローラ18で吸着面(シルクスクリーン)14を介して第1ワークW1の右端縁に押し付ける。同時に真空チャンバー15の真空圧を開放し、バックアップテーブル17を下降操作して、接着ローラ18の移動領域の下方に退避させる。引き続き、図7に示すようにローラー台19を両ワークW1・W2の左端縁側へ移動させることにより、気泡のかみ込みを伴なうこともなく、第2ワークW2を第1ワークW1に貼合して、貼合体W3を第1回転台1の吸着台12に吸着保持できる。貼合隙間は、好ましくは2mm前後とするが、両ワークW1・W2の形成素材の違いに応じて0.1〜5mmの範囲内で選択できる。   As described above, in the state where the first turntable 1 is at the bonding position, the first work W1 sucked on the first turntable 1 and the second work W2 sucked on the second turntable 2 are: It faces up and down through the bonding gap. In this state, the adhesive roller 18 is pushed up with an air cylinder, and the right edge of the second workpiece W2 is pressed against the right edge of the first workpiece W1 through the suction surface (silk screen) 14 by the adhesive roller 18. At the same time, the vacuum pressure in the vacuum chamber 15 is released, and the backup table 17 is lowered to retract below the moving area of the adhesive roller 18. Next, as shown in FIG. 7, the second work W2 is bonded to the first work W1 without moving the roller base 19 to the left edge side of both the works W1 and W2 without entraining air bubbles. And the bonding body W3 can be adsorbed and held on the adsorption table 12 of the first turntable 1. The bonding gap is preferably about 2 mm, but can be selected within the range of 0.1 to 5 mm depending on the difference in the forming materials of both the workpieces W1 and W2.

吸着台12に吸着保持された貼合体W3は、第1回転台1を回転することにより、ワーク保持構造の前面側へ移動されて、第1ステージS1と正対させることができる。この状態の貼合体W3を取出装置23で取り出して、第3コンベア装置5に受け渡すことにより、貼合体W3を次の工程へ移送できる。   The bonding body W3 sucked and held on the suction table 12 can be moved to the front side of the workpiece holding structure by rotating the first turntable 1, and can be directly opposed to the first stage S1. By taking out the bonded body W3 in this state with the take-out device 23 and transferring it to the third conveyor device 5, the bonded body W3 can be transferred to the next step.

以上のように、第1回転台1においては吸着台12に吸着保持した第1ワークW1を、第1・第2・第3・第4の各ステージS1〜S4に順に対向させて、一連の貼合処理を連続して行なう。また、第2回転台2においては吸着面14に吸着保持した第2ワークW2を第1・第2・第3・第4の各ステージS1〜S4に順に対向させて、一連の貼合処理を連続して行なう。したがって、各ワークW1・W2の各回転台1・2への供給および貼合体W3の取り出しと、保護紙42の剥離と、両ワークW1・W2の位置決めと、両ワークW1・W2の貼合とを迅速に行なって、一連の貼合処理に要する時間を大幅に短縮し貼合体W3の生産性を向上できる。   As described above, in the first turntable 1, the first work W1 sucked and held on the suction stand 12 is sequentially opposed to the first, second, third, and fourth stages S1 to S4, and a series of steps are performed. The pasting process is performed continuously. Moreover, in the 2nd turntable 2, the 2nd workpiece | work W2 adsorbed and hold | maintained at the adsorption | suction surface 14 is made to oppose each 1st, 2nd, 3rd, 4th stage S1-S4 in order, and a series of bonding processes are performed. Do it continuously. Therefore, supply of each work W1 and W2 to each turntable 1 and 2 and taking out the bonded body W3, peeling of the protective paper 42, positioning of both the works W1 and W2, and bonding of both the works W1 and W2 Can be performed quickly, the time required for a series of bonding processes can be greatly shortened, and the productivity of the bonded body W3 can be improved.

また、第1ステージS1における各ワークW1・W2の各回転台1・2への供給、および貼合体W3の取り出しと、第3ステージS3における両ワークW1・W2の位置決めとは併行して行なう。同時に、第2ステージS2における保護紙42の剥離と、第4ステージS4における両ワークW1・W2の貼合とは併行して行なう。このように、各ステージS1〜S4における処理を併行して行なうと、一連の貼合処理をさらに効率よく行なって、貼合体W3の生産性をさらに向上することができる。各ワークW1・W2のサイズにもよるが、本発明の貼合装置は、一連の貼合処理に要するサイクルタイムを、従来の貼合装置のサイクルタイムの3分の1以下に減少できた。   Further, the supply of the workpieces W1 and W2 to the rotary tables 1 and 2 in the first stage S1 and the removal of the bonded body W3 and the positioning of the workpieces W1 and W2 in the third stage S3 are performed in parallel. At the same time, the peeling of the protective paper 42 in the second stage S2 and the bonding of both the works W1 and W2 in the fourth stage S4 are performed in parallel. Thus, when the process in each stage S1-S4 is performed in parallel, a series of bonding processes can be performed more efficiently, and the productivity of the bonded body W3 can be further improved. Although it depends on the size of each workpiece W1 and W2, the bonding apparatus of the present invention can reduce the cycle time required for a series of bonding processes to one third or less of the cycle time of the conventional bonding apparatus.

図1において、第1回転台1を時計回転方向へ90度ずつ回転操作して、第1・第2・第3・第4の各ステージS1〜S4に順に正対させるとき、第2回転台2は反時計回転方向へ90度ずつ回転操作して、各ステージS1〜S4に順に正対させる。第1・第2の各回転体1・2を回転操作するのに先行して、第1回転台1は貼合位置(図8に想像線で示す位置)から回転位置(図8に実線で示す位置)へと上昇操作され、両回転体1・2が回転し終わった状態で、再び貼合位置へ下降操作される。   In FIG. 1, when the first turntable 1 is rotated 90 degrees clockwise to make the first, second, third, and fourth stages S1 to S4 face each other in sequence, the second turntable 2 is rotated 90 degrees in the counterclockwise rotation direction so as to face each of the stages S1 to S4 in order. Prior to rotating the first and second rotating bodies 1 and 2, the first turntable 1 is moved from the bonding position (indicated by the imaginary line in FIG. 8) to the rotating position (indicated by the solid line in FIG. 8). In the state where both the rotary bodies 1 and 2 have finished rotating, the lowering operation is again performed to the bonding position.

上記のように、第1回転台1および第2回転台2は、それぞれを正回転、および逆向きに反転回転することで、各ステージS1〜S4に順に正対させることができる。ところが、両回転体1・2を常に一定方向へ回転操作すると、給電線、信号線、あるいは真空圧を供給する管路がねじれてしまう。もちろんロータリージョイントなどを使用して、給電線、信号線、および管路のねじれを防ぐことはできるが、そうすると貼合装置の全体コストが嵩む。   As mentioned above, the 1st turntable 1 and the 2nd turntable 2 can be made to face each stage S1-S4 in order by rotating each in the normal direction and reverse rotation. However, if the rotating bodies 1 and 2 are always rotated in a certain direction, the power supply line, the signal line, or the pipe supplying the vacuum pressure is twisted. Of course, a rotary joint or the like can be used to prevent the power supply line, the signal line, and the pipe from being twisted, but this increases the overall cost of the bonding apparatus.

本発明の貼合装置では、図10に示すように、第1回転台1の第1駆動構造71の駆動状態と、第2回転台2の第2駆動構造72の駆動状態とを制御装置70で制御して、給電線、信号線、および管路のねじれを防ぎながら、貼合装置の全体構造が複雑化するのを避けるようにした。詳しくは、第1・第2の両駆動構造71・72が、第1駆動動作と第2駆動動作とを交互に繰り返し行なうように制御装置70を構成した。図9に示すように第1駆動動作においては、第1回転台1を正転方向へ90ずつ270度まで間欠的に回転駆動し、同時に第2回転台を反転方向へ90ずつ270度まで間欠的に回転駆動する。さらに、第2駆動動作においては、第1回転台1を反転方向へ270度回転駆動し、同時に第2回転台を正転方向へ270度回転駆動する。以後、第1駆動動作と第2駆動動作とを交互に繰り返し行なう。   In the bonding apparatus of the present invention, as shown in FIG. 10, the control state of the drive state of the first drive structure 71 of the first turntable 1 and the drive state of the second drive structure 72 of the second turntable 2 is controlled. In this way, the overall structure of the laminating apparatus is avoided from being complicated while preventing twisting of the power supply line, signal line, and pipeline. Specifically, the control device 70 is configured such that the first and second drive structures 71 and 72 alternately repeat the first drive operation and the second drive operation. As shown in FIG. 9, in the first driving operation, the first turntable 1 is intermittently rotated up to 270 degrees in the forward direction by 90 degrees, and at the same time, the second turntable is intermittently moved in the reverse direction by 90 degrees to 270 degrees. Rotational drive. Further, in the second drive operation, the first turntable 1 is rotated 270 degrees in the reverse direction, and at the same time, the second turntable is rotated 270 degrees in the forward direction. Thereafter, the first drive operation and the second drive operation are alternately repeated.

図9の上段には、第1回転台1の吸着面に、4個の第1ワークW1(A・B・C・D)が記載順に供給されて、各ステージS1〜S4と正対する状態を示している。また、第1番に供給した第1ワークW1(A)が、第4ステージS4で貼合されたのちに、270度反転回転されて、その取り出しと、新たな第1ワークW1(A)の供給とを行ない、4個の第1ワークW1(A・B・C・D)が各ステージS1〜S4に順に正対する状態を、図9の中段に示している。2回目に第1回転台1を270度反転した状態は、1回目に第1回転台1を270度反転した状態と同じ状態になる。したがって、第1駆動動作と第2駆動動作とを交互に繰り返し行なうことにより、給電線、信号線、および管路のねじれを防止しながら、貼合装置の全体構造が複雑化するのを解消できる。   In the upper part of FIG. 9, four first workpieces W <b> 1 (A, B, C, and D) are supplied to the suction surface of the first turntable 1 in the order of description and face each stage S <b> 1 to S <b> 4. Show. Moreover, after the 1st work W1 (A) supplied to No. 1 is bonded by 4th stage S4, it is reversed and rotated 270 degree | times, and taking out and new 1st work W1 (A) The state where the four first workpieces W1 (A, B, C, D) face each of the stages S1 to S4 in order is shown in the middle of FIG. The state where the first turntable 1 is reversed 270 degrees the second time is the same as the state where the first turntable 1 is reversed 270 degrees the first time. Therefore, by repeating the first driving operation and the second driving operation alternately, it is possible to eliminate the complication of the entire structure of the bonding apparatus while preventing the power supply line, the signal line, and the pipe from being twisted. .

図11は、本発明に係る貼合装置の別の実施例を示す。そこでは、第1回転台1および第2回転台2の一組の対向周面に限って吸着面12a・14を設けた。貼合時には、片方の吸着面12a・14に第1ワークW1および第2ワークW2を吸着保持し、両回転台1・2を回転操作して、両ワークW1・W2を第1ステージS1〜第4ステージS4に順に正対させる。   FIG. 11 shows another embodiment of the bonding apparatus according to the present invention. In this case, the suction surfaces 12 a and 14 are provided only on a pair of opposed peripheral surfaces of the first turntable 1 and the second turntable 2. At the time of bonding, the first work W1 and the second work W2 are sucked and held on one of the suction surfaces 12a and 14, and both the turntables 1 and 2 are rotated, so that both the works W1 and W2 are moved to the first stage S1 to second The four stages S4 are faced in order.

この場合には、第3ステージS3において位置決めをする間に、第1ステージS1と正対する両回転台1・2の吸着面12a・14に、想像線で示すように新たなワークW1・W2を供給できる。また、第4ステージS4で貼合が終わったのちに、第1回転台1を回転位置まで上昇させて回転し、貼合体W3を第1ステージS1に正対させることにより取出装置23で取り出すことができる。さらに、両回転台1・2に吸着した新たなワークW1・W2を第2ステージS2と対向させることにより、保護紙42の剥離を行なえる。以後、上記を繰り返すことにより一連の貼合処理を連続して行なえる。他は先の実施例と同じであるので、同じ部材に同じ符号を付してその説明を省略する。以下の実施例においても同じとする。   In this case, while positioning in the third stage S3, new workpieces W1 and W2 are placed on the suction surfaces 12a and 14 of the two rotary tables 1 and 2 facing the first stage S1 as indicated by an imaginary line. Can supply. Moreover, after bonding is completed by 4th stage S4, the 1st turntable 1 is raised to a rotation position, it rotates, and it takes out with the taking-out apparatus 23 by making bonding body W3 face the 1st stage S1 directly. Can do. Further, the protective paper 42 can be peeled by making the new workpieces W1 and W2 adsorbed on the two rotary tables 1 and 2 face the second stage S2. Thereafter, a series of pasting processes can be continuously performed by repeating the above. Since others are the same as the previous embodiment, the same reference numerals are assigned to the same members, and descriptions thereof are omitted. The same applies to the following embodiments.

図12は、本発明に係る貼合装置の別の実施例を示す。そこでは、第1回転台1および第2回転台2の断面を正三角形にして各周面に吸着面12a・14を設けた。この場合には、両回転台1・2を、それぞれ正転駆動し、あるいは反転駆動して、各吸着面12a・14に吸着した両ワークW1・W2を第1〜第4の各ステージS1〜S4に順に正対させて、一連の貼合処理を連続して行なう。なお、図12においては、理解を容易にするために、一組の両ワークW1・W2のみを図示したが、実際には各回転台1・2で複数個のワークW1・W2を吸着保持して一連の貼合作業を行なう。   FIG. 12 shows another embodiment of the bonding apparatus according to the present invention. There, the cross sections of the first turntable 1 and the second turntable 2 are equilateral triangles, and the suction surfaces 12a and 14 are provided on each peripheral surface. In this case, the two rotary tables 1 and 2 are respectively driven in the normal direction or reversely driven so that the workpieces W1 and W2 sucked on the suction surfaces 12a and 14 are moved to the first to fourth stages S1 to S1, respectively. A series of pasting processes are continuously performed with S4 facing in order. In FIG. 12, for ease of understanding, only one set of the workpieces W1 and W2 is shown, but actually, a plurality of workpieces W1 and W2 are sucked and held by each turntable 1 and 2. A series of pasting operations.

以上の実施例から理解できるように、本発明の第1回転台1および第2回転台2には、複数の吸着面12a・14が設けてあればよい。もちろん、各回転台1・2の断面を五角形や六角形などに形成して、各辺面に吸着面12a・14を設けることができる。   As can be understood from the above embodiments, the first turntable 1 and the second turntable 2 of the present invention only need to be provided with a plurality of suction surfaces 12 a and 14. Of course, the cross section of each turntable 1 and 2 can be formed in a pentagon, a hexagon, etc., and the adsorption surfaces 12a and 14 can be provided on each side surface.

上記の実施例では、第2回転台2の内部に4個の接着ローラー18を配置して、接着ローラー18を第2回転台2と同行回転させるようにしたが、その必要はない。図13ないし図15に示すように、第2回転台2のみを回転駆動可能とし、その内部に1個の接着ローラー18を配置して、第4ステージS4に面する第2ワークW2を1個の接着ローラー18で貼合することができる。第2回転台2の内部全体は真空チャンバー80になっており、さらに、4個のバックアップテーブル17のそれぞれに、独立して真空状態と大気開放状態とに切り換えることができる真空チャンバー15を設け、その開口面をシルクスクリーンで覆って吸着面14としている。第2回転台2の内部中央には、接着ローラー18やローラー台19を移行案内する固定フレーム82が設けてある。   In the above embodiment, four adhesive rollers 18 are arranged inside the second turntable 2 so that the adhesive rollers 18 are rotated along with the second turntable 2, but this is not necessary. As shown in FIGS. 13 to 15, only the second turntable 2 can be driven to rotate, and one adhesive roller 18 is arranged therein, and one second work W2 facing the fourth stage S4 is provided. It can be bonded by the adhesive roller 18. The entire inside of the second turntable 2 is a vacuum chamber 80. Further, each of the four backup tables 17 is provided with a vacuum chamber 15 that can be independently switched between a vacuum state and an air release state. The opening surface is covered with a silk screen to form a suction surface 14. A fixed frame 82 for moving and guiding the adhesive roller 18 and the roller base 19 is provided in the center of the second turntable 2.

第4ステージS4において第2ワークW2を貼合する場合には、真空チャンバー80に真空圧を作用させた状態で、バックアップテーブル17をガイド構造81に沿って、図15に矢印で示すように第2ワークW2の吸着位置から退避位置へ移動させる。同時に接着ローラー18をエアーシリンダーで押し上げ操作して、第2ワークW2の右端縁を吸着面14を介して第1ワークW1の右端縁に押し付ける。さらに、接着ローラー18をバックアップテーブル17の退避移動に追随して左端縁側へ移動させることにより、気泡のかみ込みを伴なうこともなく、第2ワークW2を第1ワークW1に貼合して、貼合体W3を第1回転台1の吸着台12に吸着保持できる。なお、バックアップテーブル17が退避位置へ移動する際には、真空チャンバー80に作用する真空圧で第2ワークW2が吸着保持されるので、第2ワークW2が位置ずれすることはなく、両ワークW1・W2を正確に位置決めした状態で貼合できる。   When the second workpiece W2 is bonded in the fourth stage S4, the backup table 17 is moved along the guide structure 81 in the state where the vacuum pressure is applied to the vacuum chamber 80, as shown by the arrows in FIG. 2 Move the workpiece W2 from the suction position to the retracted position. At the same time, the adhesive roller 18 is pushed up by an air cylinder, and the right edge of the second workpiece W2 is pressed against the right edge of the first workpiece W1 through the suction surface 14. Furthermore, the second work W2 is bonded to the first work W1 without accompanying the bubble by moving the adhesive roller 18 to the left edge side following the retraction movement of the backup table 17. The bonded body W3 can be sucked and held on the suction table 12 of the first turntable 1. When the backup table 17 moves to the retracted position, the second work W2 is sucked and held by the vacuum pressure acting on the vacuum chamber 80, so that the second work W2 is not displaced and both the works W1. -Can be bonded with W2 positioned correctly.

第2ワークW2の貼合が終了したのち、接着ローラー18およびバックアップテーブル17を右端縁側へ復帰移動することにより、貼合体W3を第1回転台1側の吸着面12aで吸着保持できる。この状態の第1回転台1を回転させて貼合体W3を第1ステージS1に臨ませることにより、貼合体W3を取出装置23で取り出して、第3コンベア装置5に受け渡すことができる。この場合には、第1ステージS1に正対する真空チャンバー13を大気開放する。   After the bonding of the second workpiece W2 is completed, the bonding body W3 can be sucked and held on the suction surface 12a on the first turntable 1 side by returning and moving the adhesive roller 18 and the backup table 17 to the right end edge side. By rotating the first turntable 1 in this state and causing the bonded body W3 to face the first stage S1, the bonded body W3 can be taken out by the take-out device 23 and transferred to the third conveyor device 5. In this case, the vacuum chamber 13 facing the first stage S1 is opened to the atmosphere.

上記のように、第2回転台2のみを回転駆動可能とし、第4ステージS4に面する第2ワークW2を1個の接着ローラー18で共通して貼合すると、接着ローラー18およびローラー台19の配置個数を最小限化して、第2回転台2の構造を簡素化し、その分だけワーク貼合装置の全体コストを削減できる。   As described above, when only the second turntable 2 can be rotationally driven and the second workpiece W2 facing the fourth stage S4 is bonded in common by one adhesive roller 18, the adhesive roller 18 and the roller base 19 are bonded. The arrangement number of the second turntable 2 can be simplified, and the overall cost of the workpiece bonding apparatus can be reduced accordingly.

本発明に係るワークの貼合方法においては、複数の吸着面12a・14を備えた第1回転台11および第2回転台2を、吸着面12a・14どうしが貼合隙間を間にして正対する状態で隣接配置する。両回転台1・2の周りには、第1・第2の各ワークW1・W2を各回転台1・2に供給し、あるいは貼合体ワークW3を取り出す第1ステージS1と、各回転台1・2の吸着面12a・14に吸着した第1・第2の各ワークW1・W2の保護紙42を剥離する第2ステージS2と、各回転台1・2の吸着面12a・14に吸着した第1・第2の各ワークW1・W2を位置決めする第3ステージS3と、貼合隙間を間にして正対する第1・第2の各ワークW1・W2を貼合する第4ステージS4とを設ける。各ワークW1・W2を各ステージS2〜S4に順に対向させて、各ワークW1・W2の供給、および取り出しと、各ワークW1・W2の保護紙42の剥離と、ワークW1・W2の位置決めと、ワークW1・W2どうしの貼合とを連続して行なう。   In the workpiece bonding method according to the present invention, the first turntable 11 and the second turntable 2 having a plurality of suction surfaces 12a and 14 are aligned with the suction surfaces 12a and 14 between the bonding gaps. Place them adjacent to each other. Around both turntables 1 and 2, the first stage S1 for supplying the first and second workpieces W1 and W2 to the turntables 1 and 2 or taking out the bonded workpiece W3, and each turntable 1 The second stage S2 for peeling off the protective paper 42 of the first and second workpieces W1 and W2 adsorbed on the two adsorption surfaces 12a and 14, and the adsorption surfaces 12a and 14 of the turntables 1 and 2 A third stage S3 for positioning the first and second workpieces W1 and W2, and a fourth stage S4 for bonding the first and second workpieces W1 and W2 facing each other with a bonding gap therebetween. Provide. Each workpiece W1 and W2 is sequentially opposed to each stage S2 to S4, supply and removal of each workpiece W1 and W2, peeling of the protective paper 42 of each workpiece W1 and W2, positioning of the workpieces W1 and W2, The workpieces W1 and W2 are bonded together continuously.

上記のワークの貼合方法において、第1ステージS1における各ワークW1・W2の各回転台1・2への供給、および貼合体W3の取り出しと、第2ステージS2における保護紙42の剥離と、第3ステージS3におけるワークW1・W2の位置決めと、第4ステージS4におけるワークW1・W2どうしの貼合とを併行して行なう。   In the above-described workpiece bonding method, the supply of the workpieces W1 and W2 to the rotary tables 1 and 2 in the first stage S1 and the removal of the bonded body W3, the peeling of the protective paper 42 in the second stage S2, and The positioning of the workpieces W1 and W2 in the third stage S3 and the bonding of the workpieces W1 and W2 in the fourth stage S4 are performed in parallel.

上記のワークの貼合方法において、第1回転台1を駆動する第1駆動構造71と、第2回転台2を駆動する第2駆動構造72とは、第1駆動動作と第2駆動動作とを交互に繰り返し行なうように制御装置70で制御する。第1駆動動作においては、第1回転台1を正転方向へ、第2回転台2は反転方向へ、それぞれ90ずつ270度まで間欠的に回転操作する。第2駆動動作において、第1回転台1を反転方向へ、第2回転台2は正転方向へ、それぞれ270度回転操作する。   In the above-described workpiece bonding method, the first drive structure 71 that drives the first turntable 1 and the second drive structure 72 that drives the second turntable 2 include a first drive operation and a second drive operation. Is controlled by the control device 70 so as to be repeated alternately. In the first driving operation, the first turntable 1 is rotated in the forward direction, and the second turntable 2 is rotated 90 degrees by 270 degrees intermittently in the reverse direction. In the second driving operation, the first turntable 1 is rotated by 270 degrees in the reverse direction, and the second turntable 2 is rotated in the forward direction by 270 degrees.

上記の実施例では、各ワークW1・W2の供給、および貼合体W3の搬出を第1〜第3の各コンベア装置3・4・5で行なうようにしたが、その必要はない。例えば、各コンベア装置3・4・5に換えて、ストッカーに積層した状態の各ワークW1・W2を、供給装置で順次取り出すことができる。同様に、貼合体W3はストッカーに積層したのち、ストッカーごと搬出することができる。また、必要があれば、各ワークW1・W2の供給、および貼合体W3の取り出しは人手で行なってもよい。   In said Example, although supply of each workpiece | work W1 * W2 and carrying out of the bonding body W3 were performed by each 1st-3rd conveyor apparatus 3.4.5 *, it is not necessary. For example, instead of the conveyor devices 3, 4, and 5, the workpieces W 1 and W 2 stacked on the stocker can be sequentially taken out by the supply device. Similarly, after bonding body W3 is laminated | stacked on a stocker, it can carry out the whole stocker. Moreover, if necessary, supply of each workpiece | work W1 * W2 and taking out of the bonding body W3 may be performed manually.

上記の実施例では、第1回転台1を回転位置へ上昇させて、両回転台1・2を回転操作したが、その必要はなく、第1回転台2を回転位置まで下降させて、両2回転台1・2を回転操作してもよい。また、両回転台1・2を同時に離れる向きへ移動させて、両回転台1・2を回転操作してもよい。このときの、両回転台1・2が離れる向きは、上下や前後、あるいは斜め方向など任意の方向に設定できる。   In the above embodiment, the first turntable 1 is raised to the rotation position and the both turntables 1 and 2 are rotated. However, this is not necessary, and the first turntable 2 is lowered to the rotation position, and both The two-turn table 1 or 2 may be rotated. Further, both the turntables 1 and 2 may be rotated by moving both the turntables 1 and 2 in the direction away from each other at the same time. At this time, the direction in which the two turntables 1 and 2 are separated can be set in any direction such as up and down, front and rear, or oblique directions.

本発明の貼合装置を複数台用意しておけば、各貼合装置で貼合処理を順に行なうことにより、ガラス基板の片面に複数の機能性シートを積層状に貼合し、あるいはガラス基板の表裏両面に機能性シートを貼合する場合などに、効率よく作業を行なうことができる。第1回転台1と第2回転台2とは、それぞれの回転軸9・10の中心軸が垂直になる状態や、斜めになる状態で配置することができる。   If a plurality of the bonding apparatuses of the present invention are prepared, a plurality of functional sheets are laminated on one side of the glass substrate by sequentially performing a bonding process in each bonding apparatus, or a glass substrate. For example, when a functional sheet is bonded to both front and back surfaces, the work can be efficiently performed. The 1st turntable 1 and the 2nd turntable 2 can be arrange | positioned in the state in which the center axis | shaft of each rotating shaft 9 * 10 becomes perpendicular | vertical, or in the state which became diagonal.

1 第1回転台
2 第2回転台
12 吸着台
12a 吸着面
14 吸着面
18 接着ローラー
21 第1供給装置
22 第2供給装置
23 取出装置
50 位置決め装置
60 貼合装置
70 制御装置
71 第1駆動構造
72 第2駆動構造
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 1st turntable 2 2nd turntable 12 Suction stand 12a Suction surface 14 Suction surface 18 Adhesive roller 21 1st supply apparatus 22 2nd supply apparatus 23 Extraction apparatus 50 Positioning apparatus 60 Bonding apparatus 70 Control apparatus 71 1st drive structure 72 Second drive structure

Claims (8)

複数の吸着面(12a・14)を備えた第1回転台(1)および第2回転台(2)を有し、
両回転台(1・2)は、吸着面(12a・14)どうしが貼合隙間を間にして正対する状態で隣接配置されており、
両回転台(1・2)の周囲には、第1・第2の各ワーク(W1・W2)を各回転台(1・2)に供給し、あるいは貼合されたワーク(W3)を取り出す第1ステージ(S1)と、
各回転台(1・2)に吸着した両ワーク(W1・W2)の保護紙(42)を剥離する剥離装置(43)を備えた第2ステージ(S2)と、
各回転台(1・2)の吸着面(12a・14)に吸着保持した両ワーク(W1・W2)を位置決めする位置決め装置(50)を備えた第3ステージ(S3)と、
貼合隙間を介して正対する両ワーク(W1・W2)を貼合する貼合装置(60)を備えた第4ステージ(S4)とが設けられており、
第1回転台(1)と第2回転台(2)とは、第1駆動構造(71)および第2駆動構造(72)で駆動されて、貼合隙間を介して正対する貼合位置と、両回転台(1・2)が相対的に離れる回転位置との間で変位し、かつ回転位置においてそれぞれ回転変位できるように構成されており、
各回転台(1・2)の吸着面(12a・14)に吸着保持したワーク(W1・W2)を各ステージ(S1〜S4)に順に対向させて、一連の貼合処理を連続して行なうことを特徴とするワーク貼合装置。
A first turntable (1) and a second turntable (2) having a plurality of suction surfaces (12a, 14);
Both turntables (1, 2) are adjacently arranged with the adsorbing surfaces (12a, 14) facing each other with a bonding gap therebetween,
The first and second workpieces (W1 and W2) are supplied to the rotary tables (1 and 2) or the bonded workpiece (W3) is taken out around the two rotary tables (1 and 2). The first stage (S1),
A second stage (S2) provided with a peeling device (43) for peeling off the protective paper (42) of both workpieces (W1, W2) adsorbed on each turntable (1, 2);
A third stage (S3) provided with a positioning device (50) for positioning the workpieces (W1, W2) sucked and held on the suction surfaces (12a, 14) of the respective rotary tables (1, 2);
A fourth stage (S4) provided with a bonding device (60) for bonding both workpieces (W1, W2) facing directly through the bonding gap;
The 1st turntable (1) and the 2nd turntable (2) are driven with the 1st drive structure (71) and the 2nd drive structure (72), and the pasting position which faces directly via the pasting gap , The two turntables (1, 2) are configured to be displaced with respect to a rotational position where they are relatively separated from each other, and to be capable of rotational displacement at each rotational position,
A series of bonding processes are continuously performed with the workpieces (W1 and W2) sucked and held on the suction surfaces (12a and 14) of the turntables (1 and 2) sequentially facing the stages (S1 to S4). A workpiece bonding apparatus characterized by that.
四角箱状に形成した第1回転台(1)および第2回転台(2)の四周面のそれぞれに吸着面(12a・14)が設けられており、
両回転台(1・2)の前面側には、第1・第2の各ワーク(W1・W2)を各回転台(1・2)の吸着面(12a・14)に供給する第1供給装置(21)および第2供給装置(22)と、貼合体(W3)を取り出す取出装置(23)を備えた第1ステージ(S1)が設けられており、
第1回転台(1)の上面および第2回転台(2)の下面のそれぞれに、両ワーク(W1・W2)の保護紙(42)を剥離する剥離装置(43)を備えた第2ステージ(S2)が設けられており、
両回転台(1・2)の後面側には、各回転台(1・2)の吸着面(12a・14)に吸着保持した両ワーク(W1・W2)を位置決めする位置決め装置(50)を備えた第3ステージ(S3)が設けられており、
両回転台(1・2)の隣接面に、両ワーク(W1・W2)を貼合する貼合装置(60)を備えた第4ステージ(S4)が設けられており、
各回転台(1・2)の吸着面(12a・14)に吸着保持したワーク(W1・W2)を第1・第2・第3・第4ステージ(S1〜S4)に順に対向させて、一連の貼合処理を連続して行なう、請求項1に記載のワーク貼合装置。
Adsorption surfaces (12a, 14) are provided on each of the four circumferential surfaces of the first turntable (1) and the second turntable (2) formed in a square box shape,
A first supply for supplying the first and second workpieces (W1, W2) to the suction surfaces (12a, 14) of the rotary tables (1, 2) on the front side of the two rotary tables (1, 2). A first stage (S1) provided with a device (21) and a second supply device (22) and a take-out device (23) for taking out the bonded body (W3) is provided,
A second stage provided with a peeling device (43) for peeling off the protective paper (42) of both the works (W1 and W2) on each of the upper surface of the first rotating table (1) and the lower surface of the second rotating table (2). (S2) is provided,
A positioning device (50) for positioning both workpieces (W1, W2) sucked and held on the suction surface (12a, 14) of each turntable (1, 2) is provided on the rear surface side of both turntables (1, 2). A third stage (S3) is provided,
The 4th stage (S4) provided with the bonding apparatus (60) which bonds both workpiece | work (W1 * W2) to the adjacent surface of both turntables (1,2) is provided,
The workpieces (W1, W2) sucked and held on the suction surfaces (12a, 14) of each turntable (1, 2) are sequentially opposed to the first, second, third, and fourth stages (S1 to S4), The workpiece | work bonding apparatus of Claim 1 which performs a series of bonding processes continuously.
第1ステージ(S1)における各ワーク(W1・W2)の各回転台(1・2)への供給、および貼合体(W3)の取り出しと、
第2ステージ(S2)における保護紙(42)の剥離と、
第3ステージ(S3)におけるワーク(W1・W2)の位置決めと、
第4ステージ(S4)におけるワーク(W1・W2)どうしの貼合とを併行して行なう請求項2に記載のワーク貼合装置。
Supplying each work piece (W1, W2) to each turntable (1, 2) in the first stage (S1) and taking out the bonded body (W3);
Peeling of the protective paper (42) in the second stage (S2);
Positioning of the workpieces (W1, W2) in the third stage (S3);
The workpiece | work bonding apparatus of Claim 2 performed in parallel with bonding of the workpiece | work (W1 * W2) in a 4th stage (S4).
第1駆動構造(71)と第2駆動構造(72)の駆動状態を制御する制御装置(70)を備えており、
制御装置(70)は、第1・第2の両駆動構造(71・72)が、第1駆動動作と第2駆動動作とを交互に繰り返し行なうように構成されており、
第1駆動動作において、第1回転台(1)は正転方向へ、第2回転台(2)は反転方向へ、それぞれ90ずつ270度まで間欠的に回転駆動され、
第2駆動動作において、第1回転台(1)は反転方向へ、第2回転台(2)は正転方向へ、それぞれ270度回転駆動される請求項2または3に記載のワーク貼合装置。
A control device (70) for controlling the drive states of the first drive structure (71) and the second drive structure (72);
The control device (70) is configured so that the first and second drive structures (71, 72) alternately repeat the first drive operation and the second drive operation,
In the first drive operation, the first turntable (1) is intermittently rotated up to 270 degrees by 90 degrees in the forward direction and the second turntable (2) in the reverse direction, respectively.
The workpiece bonding apparatus according to claim 2 or 3, wherein in the second drive operation, the first turntable (1) is rotated 270 degrees in the reverse direction and the second turntable (2) is rotated in the forward direction. .
第1供給装置(21)および取出装置(23)が、第1回転台(1)の回転中心軸に沿って同行駆動されて、第1ステージ(S1)を指向する吸着面(12a)と択一的に正対できるように構成してある請求項1から4のいずれかに記載のワーク貼合装置。   The first supply device (21) and the take-out device (23) are driven along with the rotation center axis of the first turntable (1), and are selected as the suction surface (12a) directed to the first stage (S1). The workpiece bonding apparatus according to any one of claims 1 to 4, wherein the workpiece bonding apparatus is configured so that it can be directly opposed. 複数の吸着面(12a・14)を備えた第1回転台(1)および第2回転台(2)が、吸着面(12a・14)どうしが貼合隙間を間にして正対する状態で隣接配置されており、
両回転台(1・2)の周りには、第1・第2の各ワーク(W1・W2)を各回転台(1・2)に供給し、あるいは貼合体(W3)を取り出す第1ステージ(S1)と、
各回転台(1・2)の吸着面(12a・14)に吸着した第1・第2の各ワーク(W1・W2)の保護紙(42)を剥離する第2ステージ(S2)と、
各回転台1・2の吸着面(12a・14)に吸着した第1・第2の各ワーク(W1・W2)を位置決めする第3ステージ(S3)と、
貼合隙間を間にして正対する第1・第2の各ワーク(W1・W2)を貼合する第4ステージ(S4)とが設けられており、
両回転台(1・2)を間欠的に回転しながら、各ワーク(W1・W2)を各ステージ(S1〜S4)に順に対向させて、各ワーク(W1・W2)の供給、および取り出しと、各ワーク(W1・W2)の保護紙(42)の剥離と、ワーク(W1・W2)の位置決めと、ワーク(W1・W2)どうしの貼合とを連続して行なうことを特徴とするワーク貼合方法。
The first turntable (1) and the second turntable (2) having a plurality of suction surfaces (12a, 14) are adjacent to each other with the suction surfaces (12a, 14) facing each other with a bonding gap therebetween. Has been placed,
Around the two turntables (1, 2), a first stage for supplying the first and second works (W1, W2) to the turntables (1, 2) or taking out the bonded body (W3). (S1),
A second stage (S2) for peeling off the protective paper (42) of each of the first and second works (W1, W2) adsorbed on the adsorption surface (12a, 14) of each turntable (1, 2);
A third stage (S3) for positioning the first and second workpieces (W1, W2) adsorbed on the adsorption surfaces (12a, 14) of the rotary tables 1, 2;
A fourth stage (S4) for bonding the first and second workpieces (W1, W2) facing each other with a bonding gap in between;
While rotating both turntables (1, 2) intermittently, each work (W1, W2) is made to face each stage (S1 to S4) in turn, and supply and removal of each work (W1, W2) A workpiece characterized in that the workpieces (W1, W2) are continuously peeled off, the workpieces (W1, W2) are positioned, and the workpieces (W1, W2) are bonded together. Pasting method.
第1ステージ(S1)における各ワーク(W1・W2)の各回転台(1・2)への供給、および貼合体(W3)の取り出しと、
第2ステージ(S2)における保護紙(42)の剥離と、
第3ステージ(S3)におけるワーク(W1・W2)の位置決めと、
第4ステージ(S4)におけるワーク(W1・W2)どうしの貼合とを併行して行なう請求項6に記載のワーク貼合方法。
Supplying each work piece (W1, W2) to each turntable (1, 2) in the first stage (S1) and taking out the bonded body (W3);
Peeling of the protective paper (42) in the second stage (S2);
Positioning of the workpieces (W1, W2) in the third stage (S3);
The work bonding method according to claim 6, wherein the work (W1 and W2) is bonded together in the fourth stage (S4).
第1回転台(1)を駆動する第1駆動構造(71)と、第2回転台(2)を駆動する第2駆動構造(72)とが、第1駆動動作と第2駆動動作とを交互に繰り返し行なうように、制御装置(70)で制御されており、
第1駆動動作において、第1回転台(1)を正転方向へ、第2回転台(2)は反転方向へ、それぞれ90ずつ270度まで間欠的に回転操作し、
第2駆動動作において、第1回転台(1)を反転方向へ、第2回転台(2)は正転方向へ、それぞれ270度回転操作する請求項6または7に記載のワーク貼合方法。
The first drive structure (71) for driving the first turntable (1) and the second drive structure (72) for driving the second turntable (2) perform the first drive operation and the second drive operation. It is controlled by the control device (70) so as to be repeated alternately,
In the first drive operation, the first turntable (1) is rotated in the forward direction, and the second turntable (2) is rotated in the reverse direction by 90 degrees each up to 270 degrees,
The work bonding method according to claim 6 or 7, wherein in the second drive operation, the first turntable (1) is rotated 270 degrees in the reverse direction, and the second turntable (2) is rotated in the forward direction.
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