JP2011026143A - Apparatus and method for sticking workpiece - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、例えば平板状のワークにシート状のワークを貼合するためのワーク貼合装置とワーク貼合方法に関する。本発明のワーク貼合装置およびワーク貼合方法は、例えば液晶基板やプラズマディスプレイ基板に、偏光シート、反射防止フィルム、電磁波シールドフィルム、紫外線シールドフィルムなどの機能性シートを貼合する際に使用される。また、平板状のワークどうしを貼合し、あるいはシート状のワークどうしを貼合する際にも使用する。 The present invention relates to, for example, a workpiece bonding apparatus and a workpiece bonding method for bonding a sheet-shaped workpiece to a flat workpiece. The workpiece bonding apparatus and the workpiece bonding method of the present invention are used, for example, when bonding a functional sheet such as a polarizing sheet, an antireflection film, an electromagnetic wave shielding film, or an ultraviolet shielding film to a liquid crystal substrate or a plasma display substrate. The Moreover, it uses also when bonding flat plate-shaped workpiece | work or sheet-like workpiece | work.
本出願人は、この種の貼合装置を先に提案している(特許文献1)。そこでは、吸着保持した機能性シートを液晶基板などの基板ガラスに貼合する。機能性シートと基板ガラスは、それぞれ調整テーブルおよび可動テーブルに吸着保持されて、僅かな隙間を介して上下に正対させてある。この状態の基板ガラスの一側縁を接着ローラーで機能性シートに押し付け、接着ローラーを基板ガラスの他側縁へ向かって移行させることにより、両者を貼合している。 The present applicant has previously proposed a bonding apparatus of this type (Patent Document 1). In this case, the functional sheet held by adsorption is bonded to a substrate glass such as a liquid crystal substrate. The functional sheet and the substrate glass are adsorbed and held by the adjustment table and the movable table, respectively, and are vertically opposed through a slight gap. Both sides are bonded together by pressing one side edge of the substrate glass in this state against the functional sheet with an adhesive roller and moving the adhesive roller toward the other side edge of the substrate glass.
特許文献1の貼合装置によれば、機能性シートと基板ガラスとを、気泡のかみ込みを伴なうこともなく確実に貼合でき、大サイズの液晶基板においても良好な貼合結果が得られている。さらに、機能性シートと基板ガラスとを高精度に位置決めした状態で貼合して、機能性シートが貼合された液晶基板等の生産性を向上し、生産コストの削減に大いに貢献している。しかし、機能性シートおよび基板ガラスを各テーブルに1枚ずつ載置し、その状態で機能性シートの保護紙を剥離したのち両者を貼合し、貼合後の基板ガラスを装置外へ取り出す必要があるので、一連の貼合処理に多くの時間が掛かるのを避けられなかった。
According to the bonding apparatus of
本発明者は、一連の貼合処理を連続して行なう貼合装置を先に提案している。そこでは、第1ワークと第2ワークを貼合位置へ搬送するコンベア装置と、貼合位置へ搬送された第1ワークを吸着保持する貼合テーブルと、貼合テーブル用の駆動構造などで貼合装置を構成している。コンベア装置の搬送面は、通気自在なシルクスクリーンで形成してあり、その内部に各ワークを吸着する真空チャンバーを配置し、真空チャンバーの内部に接着ローラーを設けている。貼合時には、貼合テーブルで吸着した第1ワークと、コンベアベルトで搬送した第2ワークとを、貼合位置において上下に正対させ、第2ワークを接着ローラーで第1ワークに押し付けて両者を貼合する。 The inventor has previously proposed a bonding apparatus that continuously performs a series of bonding processes. There, it pastes with the conveyor device which conveys the 1st work and the 2nd work to the pasting position, the pasting table which adsorbs and holds the 1st work conveyed to the pasting position, the drive structure for the pasting table, etc. The combined device is configured. The conveyor surface of the conveyor device is formed with a breathable silk screen, a vacuum chamber for adsorbing each workpiece is disposed therein, and an adhesive roller is provided inside the vacuum chamber. At the time of pasting, the 1st work adsorbed by the pasting table and the 2nd work conveyed with the conveyor belt are made to face up and down in a pasting position, and the 2nd work is pressed against the 1st work with an adhesion roller. Paste.
上記の貼合装置によれば、一連の貼合処理を連続して行なえる。しかし、コンベア装置の搬送面を通気自在なシルクスクリーンで形成し、シルクスクリーンを大きな張力で張り渡さねばならないので、特殊な構造のチェーンを使用する必要があるなど、貼合装置の全体構造が複雑になり、コストが嵩む点に問題があった。また、両ワークを位置合わせし、あるいは貼合し終わるまでの間、コンベア装置による搬送を停止して貼合作業が終了するのを待つ必要があり、貼合処理を連続して行なえるものの、貼合体の生産性を向上するうえで限界があった。 According to said bonding apparatus, a series of bonding processes can be performed continuously. However, since the conveyor surface of the conveyor device is formed with a breathable silk screen and the silk screen must be stretched with a large tension, the entire structure of the laminating device is complicated, such as the need to use a special chain. There was a problem in that the cost increased. In addition, it is necessary to wait for the pasting work to be completed by stopping the conveyance by the conveyor device until both workpieces are aligned or pasted, although the pasting process can be performed continuously, There was a limit in improving the productivity of the bonded body.
本発明の目的は、一連の貼合処理をさらに迅速に行なえ、したがって一連の貼合処理に要する時間を大幅に短縮して、貼合体の生産性を格段に向上できるワーク貼合装置とワーク貼合方法を提供することにある。本発明の目的は、ワークの供給、保護紙の剥離、ワークの位置決め、ワークの貼合、貼合が完了した貼合体の取り出しの各作業を連続かつ併行して自動的に行なえ、しかも全体構造を簡素化して製造コストを削減し低コスト化できるワーク貼合装置を提供することにある。 The object of the present invention is to provide a workpiece laminating apparatus and a workpiece laminating apparatus that can perform a series of laminating processes more quickly, and thus greatly reduce the time required for a series of laminating processes, and can significantly improve the productivity of the bonded body. It is to provide a joint method. The object of the present invention is to automatically and continuously perform each operation of supplying a workpiece, peeling a protective paper, positioning the workpiece, pasting the workpiece, and taking out the bonded body after the pasting is completed. Is to provide a workpiece laminating apparatus that can reduce the manufacturing cost and reduce the cost.
本発明に係るワーク貼合装置は、複数の吸着面12a・14を備えた第1回転台1および第2回転台2を有する。両回転台1・2は、吸着面12a・14どうしが貼合隙間を間にして正対する状態で隣接配置する。両回転台1・2の周囲には、第1・第2の各ワークW1・W2を各回転台1・2に供給し、あるいは貼合されたワークW3を取り出す第1ステージS1と、各回転台1・2に吸着した両ワークW1・W2の保護紙42を剥離する剥離装置43を備えた第2ステージS2と、各回転台1・2の吸着面12a・14に吸着保持した両ワークW1・W2を位置決めする位置決め装置50を備えた第3ステージS3と、貼合隙間を介して正対する両ワークW1・W2を貼合する貼合装置60を備えた第4ステージS4とを設ける。第1回転台1と第2回転台2とは、第1駆動構造71および第2駆動構造72で駆動されて、貼合隙間を介して正対する貼合位置と、両回転台1・2が相対的に離れる回転位置との間で変位し、かつ回転位置においてそれぞれ回転変位できるように構成する。各回転台1・2の吸着面12a・14に吸着保持したワークW1・W2を各ステージS1〜S4に順に対向させて、一連の貼合処理を連続して行なう。
The workpiece | work bonding apparatus which concerns on this invention has the
四角箱状に形成した第1回転台1および第2回転台2の四周面のそれぞれに吸着面12a・14を設ける。両回転台1・2の前面側には、第1・第2の各ワークW1・W2を各回転台1・2の吸着面12a・14に供給する第1供給装置21および第2供給装置22と、貼合体W3を取り出す取出装置23を備えた第1ステージS1を設ける。第1回転台1の上面および第2回転台2の下面のそれぞれに、両ワークW1・W2の保護紙42を剥離する剥離装置43を備えた第2ステージS2を設ける。両回転台1・2の後面側には、各回転台1・2の吸着面12a・14に吸着保持した両ワークW1・W2を位置決めする位置決め装置50を備えた第3ステージS3を設ける。両回転台1・2の隣接面に、両ワークW1・W2を貼合する貼合装置60を備えた第4ステージS4を設ける。各回転台1・2の吸着面12a・14に吸着保持したワークW1・W2を第1・第2・第3・第4ステージS1〜S4に順に対向させて、一連の貼合処理を連続して行なう。
第1ステージS1における各ワークW1・W2の各回転台1・2への供給、および貼合体W3の取り出しと、第2ステージS2における保護紙42の剥離と、第3ステージS3におけるワークW1・W2の位置決めと、第4ステージS4におけるワークW1・W2どうしの貼合とを併行して行なう。
Supply of each work W1 and W2 to each
第1駆動構造71と第2駆動構造72の駆動状態を制御する制御装置70を備えている。制御装置70は、第1・第2の両駆動構造71・72が、第1駆動動作と第2駆動動作とを交互に繰り返し行なうように構成する。第1駆動動作における第1回転台1は正転方向へ、第2回転台2は反転方向へ、それぞれ90ずつ270度まで間欠的に回転駆動する。第2駆動動作における第1回転台1は反転方向へ、第2回転台2は正転方向へ、それぞれ270度回転駆動する。
A
第1供給装置21および取出装置23は、第1回転台1の回転中心軸に沿って同行駆動されて、第1ステージS1を指向する吸着面12aと択一的に正対できるように構成する。
The
本発明に係るワーク貼合方法においては、複数の吸着面12a・14を備えた第1回転台1および第2回転台2を、吸着面12a・14どうしが貼合隙間を間にして正対する状態で隣接配置してある。両回転台1・2の周りには、第1・第2の各ワークW1・W2を各回転台1・2に供給し、あるいは貼合体W3を取り出す第1ステージS1と、各回転台1・2の吸着面12a・14に吸着した第1・第2の各ワークW1・W2の保護紙42を剥離する第2ステージS2と、各回転台1・2の吸着面12a・14に吸着した第1・第2の各ワークW1・W2を位置決めする第3ステージS3と、貼合隙間を間にして正対する第1・第2の各ワークW1・W2を貼合する第4ステージS4とが設けてある。両回転台1・2を間欠的に回転しながら、各ワークW1・W2を各ステージS2〜S4に順に対向させて、各ワークW1・W2の供給、および取り出しと、各ワークW1・W2の保護紙42の剥離と、ワークW1・W2の位置決めと、ワークW1・W2どうしの貼合とを連続して行なう。
In the work bonding method according to the present invention, the first rotating table 1 and the second rotating table 2 provided with a plurality of
第1ステージS1における各ワークW1・W2の各回転台1・2への供給、および貼合体W3の取り出しと、第2ステージS2における保護紙42の剥離と、第3ステージS3におけるワークW1・W2の位置決めと、第4ステージS4におけるワークW1・W2どうしの貼合とを併行して行なう。
Supply of each work W1 and W2 to each
第1回転台1を駆動する第1駆動構造71と、第2回転台2を駆動する第2駆動構造72とが、第1駆動動作と第2駆動動作とを交互に繰り返し行なうように、制御装置70で制御する。第1駆動動作においては、第1回転台1を正転方向へ、第2回転台2は反転方向へ、それぞれ90ずつ270度まで間欠的に回転操作する。第2駆動動作においては、第1回転台1を反転方向へ、第2回転台2は正転方向へ、それぞれ270度回転操作する。
Control is performed so that the first drive structure 71 for driving the
本発明においては、第1回転台1および第2回転台2の吸着面12a・14に第1・第2の各ワークW1・W2を吸着保持し、両回転台1・2を間欠的に回転して各ワークW1・W2を各作業ステージS1〜S4に順に対向させ、一連の貼合作業を連続して行なうようにした。このように、複数の吸着面12a・14を備えた回転台1・2を回転しながら、ワークW1・W2の供給および取り出し、保護紙42の剥離、両ワークW1・W2の位置決め、両ワークW1・W2の貼合を順に行なうようにすると、一連の貼合作業を待ち時間のない状態で連続して行なうことができる。したがって、本発明のワーク貼合装置によれば、従来のこの種の装置に比べて、一連の貼合処理に要する時間を大幅に短縮して、貼合体の生産性を格段に向上できる。また、第1・第2の回転台の周囲に各作業ステージS1〜S4を配置して、一連の貼合処理を順に行なえるようにするので、従来の装置に比べて、貼合装置が占める空間を小さくして、省スペースに寄与できる。特殊な構造や部品等を用いる必要もなく貼合装置を構成できるので、従来の装置に比べて装置全体の構造を簡素化してコストを削減できる。
In the present invention, the first and second workpieces W1 and W2 are sucked and held on the
第1回転台1および第2回転台2を四角箱状に形成し、その四周面のそれぞれに吸着面12a・14を設ける貼合装置によれば、両回転台1・2を各作業ステージS2〜S4に対応して間欠的に回転することにより、一連の貼合処理を連続して自動的に行なえるので、貼合装置の動きに無駄がなく、より短い時間で効率よく貼合処理を行なうことができる。また、4組の両ワークW1・W2を各処理ステージS2〜S4に同時に正対させて、同時進行的に貼合処理できるので、貼合体の生産性をさらに向上できる。
According to the laminating apparatus in which the
両ワークW1・W2の供給、保護紙42の剥離、両ワークW1・W2の位置決め、両ワークW1・W2の貼合、貼合が完了した貼合体W3の取り出しの各作業を連続かつ併行して行なうと、一連の貼合作業に要する時間をさらに短縮して貼合体W3の生産性を向上できる。
The operations of supplying both the workpieces W1 and W2, peeling the
各回転台1・2を駆動操作する第1駆動構造71および第2駆動構造72の駆動状態を制御装置70で制御して、両駆動構造71・72が、第1駆動動作と第2駆動動作とを交互に繰り返し行なうようにすると、貼合装置の構造を簡素化して、その製造コストを削減できる。両回転体1・2を常に一定方向へ連続して回転する場合には、給電線、信号線、あるいは真空圧を供給する管路等がねじれてしまうため、ロータリージョイントなどを使用して、ねじれを防ぐ必要がある。しかし、第1駆動動作における両回転台1・2を互いに逆向きに、それぞれ90ずつ270度まで間欠的に回転駆動し、さらに、第2駆動動作における両回転台1・2をそれぞれ270度復帰回転すると、給電線や管路等のねじれを伴なうこともなく、一連の貼合作業を円滑に行なえる。したがって、ロータリージョイントなどの、ねじれを防ぐための構造を省略して貼合装置の製造コストを削減できる。
The
第1供給装置21と取出装置23を、第1回転台1の回転中心軸に沿って同行駆動して、そのいずれか一方を吸着面12aに正対させるようにすると、両装置21・23のガイド構造および駆動構造を共用して、貼合装置の構造を簡素化し製造コストを削減できる。
When the
本発明に係るワーク貼合方法によれば、両回転台1・2を間欠的に回転しながら、各ワークW1・W2を各作業ステージS2〜S4に順に対向させて、一連の貼合作業を連続して行なえるので、従来の貼合形態に比べて、貼合処理に要する時間を大幅に短縮して貼合体の生産性を向上できる。
According to the work bonding method according to the present invention, the work W1 and W2 are sequentially opposed to the work stages S2 to S4 while intermittently rotating the two
上記のワーク貼合方法において、両ワークW1・W2の供給、保護紙42の剥離、両ワークW1・W2の位置決め、両ワークW1・W2の貼合、貼合が完了した貼合体W3の取り出しの各作業を連続かつ併行して行なうと、一連の貼合作業に要する時間をさらに短縮して貼合体W3の生産性を向上できる。
In the above-mentioned work pasting method, supply of both works W1 and W2, peeling of
上記のワーク貼合方法において、各回転台1・2を駆動操作する第1駆動構造71および第2駆動構造72が、第1駆動動作と第2駆動動作とを交互に繰り返し行なうように制御すると、両回転体1・2に導入される給電線、信号線、あるいは管路等のねじれを防止しながら、一連の貼合作業を円滑に行なえる。したがって、ロータリージョイントなどの、ねじれを防ぐための構造を省略して、その分だけ貼合設備に要するコストを削減できる。
In the work bonding method described above, when the first drive structure 71 and the
図1ないし図10は本発明に係るワーク貼合装置の実施例を示す。なお、本発明における前後、左右、上下とは、図1から図3に示す交差矢印と、各矢印の近傍に表示した前後、左右、上下の文字表示に従うこととする。図1および図2においてワーク貼合装置は、第1・第2の回転台1・2を備えているワーク保持構造と、ワーク保持構造の周囲に設けられる第1・第2・第3・第4の各ステージS1〜S4と、第1ワークW1および第2ワークW2を供給する第1コンベア装置3および第2コンベア装置4と、貼合体W3を搬送する第3コンベア装置5などで構成する。図3に示すように、第1コンベア装置3および第3コンベア装置5は、ワーク保持構造の前方外面に配置し、第2コンベア装置4は第1コンベア装置3の下方に配置する。
FIG. 1 thru | or FIG. 10 shows the Example of the workpiece | work bonding apparatus which concerns on this invention. In the present invention, front / rear, left / right, and upper / lower refer to the cross arrows shown in FIGS. 1 to 3 and the front / rear, left / right, and upper / lower characters displayed near each arrow. 1 and 2, the workpiece bonding apparatus includes a workpiece holding structure including first and
第1ワークW1および第2ワークW2は、液晶基板やプラズマディスプレイ基板に代表されるガラス基板や、偏光シート、反射防止フィルム、電磁波シールドフィルム、紫外線シールドフィルムなどの機能性シートなどからなる。以下の実施例では、第1ワークW1が機能性シートであり、第2ワークW2がガラス基板である場合について説明する。第1ワークW1となる機能性シートの表面の粘着剤層は保護紙で覆われており、同様に第2ワークW2となるガラス基板の表面は保護紙で覆われている。 The first work W1 and the second work W2 are made of a glass substrate typified by a liquid crystal substrate or a plasma display substrate, a functional sheet such as a polarizing sheet, an antireflection film, an electromagnetic wave shielding film, or an ultraviolet shielding film. In the following examples, a case where the first workpiece W1 is a functional sheet and the second workpiece W2 is a glass substrate will be described. The pressure-sensitive adhesive layer on the surface of the functional sheet serving as the first workpiece W1 is covered with protective paper, and similarly, the surface of the glass substrate serving as the second workpiece W2 is covered with protective paper.
両ワークW1・W2の外形寸法は同じであり、例えば両ワークW1・W2のの対角隅部には、位置決め用の位置表示M1・M2が表示してある。図6に示すように、第1ワークW1には黒丸の位置表示M1が表示してあり、第2ワークW2には、先の位置表示M1より直径寸法が僅かに大きな丸印からなる位置表示M2が表示してある。後述するように、これらの位置表示M1・M2を位置基準にして、第1ワークW1と第2ワークW2の位置決めを行なう。 The external dimensions of both the workpieces W1 and W2 are the same. For example, positioning indications M1 and M2 are displayed at the diagonal corners of the workpieces W1 and W2. As shown in FIG. 6, the black workpiece position display M1 is displayed on the first workpiece W1, and the second workpiece W2 is a position display M2 composed of a circle having a slightly larger diameter than the previous position display M1. Is displayed. As will be described later, the first workpiece W1 and the second workpiece W2 are positioned with reference to these position indications M1 and M2.
図2に示すように、ワーク保持構造は、門形のメインフレーム7と、同フレーム7で上下スライド自在に案内支持されるサブフレーム8を基本構造体にして構成する。第1回転台1は、サブフレーム8に設けた第1回転軸9で支持されて、後述する第1駆動構造71で正逆双方向へ回転駆動される。さらに、サブフレーム8および第1回転台1は、第1駆動構造71で貼合位置と回転位置とにスライド操作される。第2回転台2は、第1回転台1の下方に配置してあり、メインフレーム7に設けた第2回転軸10で支持されて、後述する第2駆動構造72で正逆双方向へ回転駆動される。貼合位置における第1回転台1と第2回転台2とは、ひとつの吸着面12a・14どうしが貼合隙間を間にして正対する状態で上下に隣接配置してある。第1回転台1およびサブフレーム8を、メインフレーム7の上方の回転位置へ退避させた状態(図8参照)でのみ、第1回転台1および第2回転台2のそれぞれを回転操作できる。
As shown in FIG. 2, the work holding structure includes a gate-shaped
第1回転台1は、断面が正方形状の中空箱体からなり、その四周面のそれぞれに吸着台12を有し、各吸着台12の内部に独立した状態の真空チャンバー13が設けてある。各吸着台12の外面の吸着面12aと真空チャンバー13とは、一群の通口を介して連通している。各吸着台12は、第1回転台1のフレーム構造に対してエアーパット(図示していない)を介して固定してあり、必要時にはエアーパットによる拘束を開放して位置調整することができる。各真空チャンバー13は、図示していない弾性変形可能な管路を介して真空源に連通してあり、各真空チャンバー13に対して独立して真空圧を作用させ、あるいは真空圧の作用を停止することができる。弾性変形可能な管路は、中空軸からなる第1回転軸9を介してメインフレーム7の外方へ導出してある。
The
第2回転台2は、断面が正方形状の中空箱体からなり、その四周面のそれぞれにシルクスクリーンで覆われた吸着面14を有し、各吸着面14の内部に独立した状態の真空チャンバー15が設けてある。各真空チャンバー15は、図示していない弾性変形可能な管路を介して真空源に連通してあり、各真空チャンバー15に対して独立して真空圧を作用させ、あるいは真空圧の作用を停止することができる。弾性変形可能な管路は、中空軸からなる第2回転軸10を介してメインフレーム7の外方へ導出してある。真空チャンバー15の内部には、吸着面14に対して接近ないし離反できる4個のバックアップテーブル17と、各吸着面14に保持された第2ワークW2を第1ワークW1に押し付け操作する4個の接着ローラー18が配置してある。バックアップテーブル17は、シルクスクリーンからなる吸着面14が、第2ワークW2の重みで撓み変形するの防ぐために設けてある。符号19は、接着ローラー18を往復操作するローラー台である。
The
第1回転台1および第2回転台2の前面側に第1ステージS1が設けてある。第1ステージS1には第1供給装置21と、第2供給装置22と、取出装置23を設ける。第1供給装置21は、第1ワークW1を第1コンベア装置3から受け取って、第1回転台1の前面に位置する吸着台12の吸着面12aに供給する。また、第2供給装置22は、第2ワークW2を第2コンベア装置4から受け取って、第2回転台2の前面に位置する吸着面14に供給する。さらに、取出装置23は、第1回転台1の前面に位置する吸着面12aから貼合体W3を受け取って、第3コンベア装置5に受け渡す。
A first stage S <b> 1 is provided on the front side of the
図3に示すように、第1供給装置21と取出装置23とは、ワーク保持構造の前方外面に設けたスライド台24に組み付けられて、同行移動可能に支持されており、両装置21・23のいずれか一方が、第1回転台1の前面に位置する吸着面12aと正対して、第1ワークW1の供給と、貼合体W3の取り出しとを択一的に行なえるようにしてある。スライド台24は、第1コンベア装置3および第3コンベア装置5の上方に配置した、左右方向に長いガイドフレーム25で左右スライド自在に案内支持してある。
As shown in FIG. 3, the
第1供給装置21は、スライド台24のブラケットに設けた揺動軸26の周りに、図示していない揺動機構で揺動操作される供給台27と、供給台27に設けた操作機構で往復スライド操作される吸着台28とを備えている。吸着台28の内部には、吸着面に臨んで真空チャンバー29が設けてある。
The
図4に示すように、供給台27が第1コンベア装置3の真上に位置する状態で、供給台27を想像線で示すように吸着台28ごと下向きに揺動し、さらに吸着台28を下降させることにより、第1コンベア装置3上の第1ワークW1を吸着保持することができる。この状態の吸着台28を上昇させ、さらに供給台27を上向きに揺動操作することにより、第1ワークW1を垂直に保持できる。さらに、スライド台24をワーク保持構造の左方へスライド操作することにより、第1ワークW1を第1回転台1の前面に位置する吸着面12aに正対させることができる。この状態で、吸着台28を第1回転台1の側へ接近移動させることにより、第1ワークW1を第1回転台1の前面に位置する吸着台12に渡すことができる。
As shown in FIG. 4, in a state where the
第2供給装置22は、第1コンベア装置3の下方に配置する。図5に示すように、第2供給装置22は、第1供給装置21と同様に、供給台33と、供給台33に設けた操作機構で往復スライド操作される吸着台34などで構成してあり、供給台33を固定フレーム31のブラケットに設けた揺動軸32で軸支する点が、第1供給装置21と異なっている。供給台33は、図示していない揺動機構で揺動操作される。吸着台34の内部には、吸着面に臨んで真空チャンバー35が設けてある。
The
供給台33が第2コンベア装置4の真上に位置する状態で、供給台33を吸着台34ごと下向きに揺動し、さらに吸着台34を下降させることにより、第2コンベア装置4上の第2ワークW2を吸着保持することができる。この状態の吸着台34を上昇させ、さらに供給台33を上向きに揺動操作することにより、第2ワークW2を垂直に保持して、第2回転台2の前面に位置する吸着面14に正対させることができる。この状態で、吸着台34を第2回転台2の側へ接近移動させることにより、第2ワークW2を第2回転台2の前面に位置する吸着面14に渡すことができる。
In a state where the
取出装置23は、第1供給装置21と同様に、供給台38と、供給台38に設けた操作機構で往復スライド操作される吸着台39とを備えている。吸着台39の内部には、吸着面に臨んで真空チャンバー40が設けてある。供給台38はスライド台24のブラケットに設けた揺動軸37の周りに、図示していない揺動機構で揺動操作される。
Similarly to the
図3に示すように、吸着台39が第1回転台1の前面に位置する吸着台12に正対する状態で、吸着台39を第1回転台1の側へ接近移動させることにより、貼合体W3を第1回転台1の前面に位置する吸着台12から受け取ることができる。貼合体W3を受け渡す過程で、真空チャンバー13の真空圧は開放される。貼合体W3を吸着した状態の吸着台39を、第1回転台1から遠ざかる向きへ移動したのち、スライド台24をワーク保持構造の左方へスライド操作することにより、図3に想像線で示すように、供給台38を第3コンベア装置5の真上に位置させることができる。引き続き、供給台38を吸着台39ごと下向きに揺動し、さらに吸着台39を下降させることにより、貼合体W3を第3コンベア装置5に渡すことができる。
As shown in FIG. 3, the adhering table 39 is moved toward the first rotating table 1 in the state where the adsorbing table 39 faces the adsorption table 12 positioned in front of the first rotating table 1, thereby bonding the bonded body. W3 can be received from the suction table 12 positioned in front of the
第1回転台1の上方および第2回転台2の下方のそれぞれに、第2ステージS2を設ける。第2ステージS2には、各回転台1・2に吸着した両ワークW1・W2の保護紙42を剥離する剥離装置43を設ける。図6に示すように、剥離装置43はガイド体44で左右スライド自在に案内支持されるスライド台45と、スライド台45に装着されて昇降変位できる昇降体46と、昇降体46の突端に設けられて保護紙42の隅部分を捕捉する捕捉部47とを備えている。
A second stage S <b> 2 is provided above each of the
第1回転台1と向き合う上側の剥離装置43のスライド台45は、サブフレーム8に設けたガイド体44で案内支持してあり、下側の剥離装置43のスライド台45は、メインフレーム7のベースに固定したガイド体44で案内支持してある。図6に矢印で示すように、上下の昇降体46・46を進出操作して捕捉部47を保護紙42に密着させたのち、両昇降体46・46を僅かに後退して保護紙42の側端縁を剥離し、その状態のままで、スライド台45を図示していない駆動構造でガイド体44に沿って駆動することにより、保護紙42を剥離する。剥離された保護紙42は、図示していない廃棄アームでメインフレーム7の外へ排出される。剥離されたのちの第1ワークW1の表面には粘着剤層が露出している。
The slide table 45 of the
第1回転台1および第2回転台2の後面側に第3ステージS3を設ける。第3ステージS3には、第1回転台1の後面の吸着台12と正対する第1位置決め装置51と、第2回転台2の後面の吸着面14と正対する第2位置決め装置52と、アライメントコントローラー、フォーカスコントローラー、およびモニターなどからなる位置決め装置50を設ける。図1において、第1位置決め装置51には、第1ワークW1の位置表示M1の位置を検知する2個のCCDカメラ53と、吸着台12を上下および左右に調整操作するuvwテーブル54が設けてある。uvwテーブル54には、吸着台12に係合して調整操作する操作ピン55が設けてある。第2位置決め装置52には、第2ワークW2の位置表示M2の位置を検知する2個のCCDカメラ56が設けてある。
A third stage S3 is provided on the rear surface side of the
図6に示すように、第1・第2の位置決め装置51・52に設けたCCDカメラ53・56は、位置表示のずれを画像として取り込む。アライメントコントローラーは、先の画像情報から調整移動すべき方向を決定し、同コントローラーからの出力信号に従ってuvwテーブル54が駆動される。画像の確認と、位置調整とを数回行なうことにより、第1ワークW1の位置表示M1を第2ワークW2の位置表示M2の中央に位置させて、両ワークW1・W2を位置ずれのない状態に調整することができる。以上のように、この実施例では第2ワークW2の位置表示M2を基準にして、吸着台12に吸着した第1ワークW1位置表示M1のずれを調整して、両ワークW1・W2の位置調整を行なう。なお、両ワークW1・W2の位置調整は数秒で完了する。
As shown in FIG. 6, the
第1回転台1および第2回転台2の隣接面に臨んで、両ワークW1・W2を貼合する貼合装置60を備えた第4ステージS4を設ける。図7において貼合装置60は、先に説明した接着ローラ18と、接着ローラー18を第2回転軸10の中心軸に沿って移動操作するローラー台19と、接着ローラ18を押し上げ操作するエアーシリンダー(図示していない)などで構成する。
4th stage S4 provided with the
先に説明したように、第1回転台1が貼合位置にある状態では、第1回転台1に吸着した第1ワークW1と、第2回転台2に吸着した第2ワークW2とが、貼合隙間を介して上下に正対している。この状態で、接着ローラ18をエアーシリンダーで押し上げ操作して、第2ワークW2の右端縁を接着ローラ18で吸着面(シルクスクリーン)14を介して第1ワークW1の右端縁に押し付ける。同時に真空チャンバー15の真空圧を開放し、バックアップテーブル17を下降操作して、接着ローラ18の移動領域の下方に退避させる。引き続き、図7に示すようにローラー台19を両ワークW1・W2の左端縁側へ移動させることにより、気泡のかみ込みを伴なうこともなく、第2ワークW2を第1ワークW1に貼合して、貼合体W3を第1回転台1の吸着台12に吸着保持できる。貼合隙間は、好ましくは2mm前後とするが、両ワークW1・W2の形成素材の違いに応じて0.1〜5mmの範囲内で選択できる。
As described above, in the state where the
吸着台12に吸着保持された貼合体W3は、第1回転台1を回転することにより、ワーク保持構造の前面側へ移動されて、第1ステージS1と正対させることができる。この状態の貼合体W3を取出装置23で取り出して、第3コンベア装置5に受け渡すことにより、貼合体W3を次の工程へ移送できる。
The bonding body W3 sucked and held on the suction table 12 can be moved to the front side of the workpiece holding structure by rotating the
以上のように、第1回転台1においては吸着台12に吸着保持した第1ワークW1を、第1・第2・第3・第4の各ステージS1〜S4に順に対向させて、一連の貼合処理を連続して行なう。また、第2回転台2においては吸着面14に吸着保持した第2ワークW2を第1・第2・第3・第4の各ステージS1〜S4に順に対向させて、一連の貼合処理を連続して行なう。したがって、各ワークW1・W2の各回転台1・2への供給および貼合体W3の取り出しと、保護紙42の剥離と、両ワークW1・W2の位置決めと、両ワークW1・W2の貼合とを迅速に行なって、一連の貼合処理に要する時間を大幅に短縮し貼合体W3の生産性を向上できる。
As described above, in the
また、第1ステージS1における各ワークW1・W2の各回転台1・2への供給、および貼合体W3の取り出しと、第3ステージS3における両ワークW1・W2の位置決めとは併行して行なう。同時に、第2ステージS2における保護紙42の剥離と、第4ステージS4における両ワークW1・W2の貼合とは併行して行なう。このように、各ステージS1〜S4における処理を併行して行なうと、一連の貼合処理をさらに効率よく行なって、貼合体W3の生産性をさらに向上することができる。各ワークW1・W2のサイズにもよるが、本発明の貼合装置は、一連の貼合処理に要するサイクルタイムを、従来の貼合装置のサイクルタイムの3分の1以下に減少できた。
Further, the supply of the workpieces W1 and W2 to the rotary tables 1 and 2 in the first stage S1 and the removal of the bonded body W3 and the positioning of the workpieces W1 and W2 in the third stage S3 are performed in parallel. At the same time, the peeling of the
図1において、第1回転台1を時計回転方向へ90度ずつ回転操作して、第1・第2・第3・第4の各ステージS1〜S4に順に正対させるとき、第2回転台2は反時計回転方向へ90度ずつ回転操作して、各ステージS1〜S4に順に正対させる。第1・第2の各回転体1・2を回転操作するのに先行して、第1回転台1は貼合位置(図8に想像線で示す位置)から回転位置(図8に実線で示す位置)へと上昇操作され、両回転体1・2が回転し終わった状態で、再び貼合位置へ下降操作される。
In FIG. 1, when the
上記のように、第1回転台1および第2回転台2は、それぞれを正回転、および逆向きに反転回転することで、各ステージS1〜S4に順に正対させることができる。ところが、両回転体1・2を常に一定方向へ回転操作すると、給電線、信号線、あるいは真空圧を供給する管路がねじれてしまう。もちろんロータリージョイントなどを使用して、給電線、信号線、および管路のねじれを防ぐことはできるが、そうすると貼合装置の全体コストが嵩む。
As mentioned above, the
本発明の貼合装置では、図10に示すように、第1回転台1の第1駆動構造71の駆動状態と、第2回転台2の第2駆動構造72の駆動状態とを制御装置70で制御して、給電線、信号線、および管路のねじれを防ぎながら、貼合装置の全体構造が複雑化するのを避けるようにした。詳しくは、第1・第2の両駆動構造71・72が、第1駆動動作と第2駆動動作とを交互に繰り返し行なうように制御装置70を構成した。図9に示すように第1駆動動作においては、第1回転台1を正転方向へ90ずつ270度まで間欠的に回転駆動し、同時に第2回転台を反転方向へ90ずつ270度まで間欠的に回転駆動する。さらに、第2駆動動作においては、第1回転台1を反転方向へ270度回転駆動し、同時に第2回転台を正転方向へ270度回転駆動する。以後、第1駆動動作と第2駆動動作とを交互に繰り返し行なう。
In the bonding apparatus of the present invention, as shown in FIG. 10, the control state of the drive state of the first drive structure 71 of the
図9の上段には、第1回転台1の吸着面に、4個の第1ワークW1(A・B・C・D)が記載順に供給されて、各ステージS1〜S4と正対する状態を示している。また、第1番に供給した第1ワークW1(A)が、第4ステージS4で貼合されたのちに、270度反転回転されて、その取り出しと、新たな第1ワークW1(A)の供給とを行ない、4個の第1ワークW1(A・B・C・D)が各ステージS1〜S4に順に正対する状態を、図9の中段に示している。2回目に第1回転台1を270度反転した状態は、1回目に第1回転台1を270度反転した状態と同じ状態になる。したがって、第1駆動動作と第2駆動動作とを交互に繰り返し行なうことにより、給電線、信号線、および管路のねじれを防止しながら、貼合装置の全体構造が複雑化するのを解消できる。
In the upper part of FIG. 9, four first workpieces W <b> 1 (A, B, C, and D) are supplied to the suction surface of the
図11は、本発明に係る貼合装置の別の実施例を示す。そこでは、第1回転台1および第2回転台2の一組の対向周面に限って吸着面12a・14を設けた。貼合時には、片方の吸着面12a・14に第1ワークW1および第2ワークW2を吸着保持し、両回転台1・2を回転操作して、両ワークW1・W2を第1ステージS1〜第4ステージS4に順に正対させる。
FIG. 11 shows another embodiment of the bonding apparatus according to the present invention. In this case, the suction surfaces 12 a and 14 are provided only on a pair of opposed peripheral surfaces of the
この場合には、第3ステージS3において位置決めをする間に、第1ステージS1と正対する両回転台1・2の吸着面12a・14に、想像線で示すように新たなワークW1・W2を供給できる。また、第4ステージS4で貼合が終わったのちに、第1回転台1を回転位置まで上昇させて回転し、貼合体W3を第1ステージS1に正対させることにより取出装置23で取り出すことができる。さらに、両回転台1・2に吸着した新たなワークW1・W2を第2ステージS2と対向させることにより、保護紙42の剥離を行なえる。以後、上記を繰り返すことにより一連の貼合処理を連続して行なえる。他は先の実施例と同じであるので、同じ部材に同じ符号を付してその説明を省略する。以下の実施例においても同じとする。
In this case, while positioning in the third stage S3, new workpieces W1 and W2 are placed on the suction surfaces 12a and 14 of the two rotary tables 1 and 2 facing the first stage S1 as indicated by an imaginary line. Can supply. Moreover, after bonding is completed by 4th stage S4, the
図12は、本発明に係る貼合装置の別の実施例を示す。そこでは、第1回転台1および第2回転台2の断面を正三角形にして各周面に吸着面12a・14を設けた。この場合には、両回転台1・2を、それぞれ正転駆動し、あるいは反転駆動して、各吸着面12a・14に吸着した両ワークW1・W2を第1〜第4の各ステージS1〜S4に順に正対させて、一連の貼合処理を連続して行なう。なお、図12においては、理解を容易にするために、一組の両ワークW1・W2のみを図示したが、実際には各回転台1・2で複数個のワークW1・W2を吸着保持して一連の貼合作業を行なう。
FIG. 12 shows another embodiment of the bonding apparatus according to the present invention. There, the cross sections of the
以上の実施例から理解できるように、本発明の第1回転台1および第2回転台2には、複数の吸着面12a・14が設けてあればよい。もちろん、各回転台1・2の断面を五角形や六角形などに形成して、各辺面に吸着面12a・14を設けることができる。
As can be understood from the above embodiments, the
上記の実施例では、第2回転台2の内部に4個の接着ローラー18を配置して、接着ローラー18を第2回転台2と同行回転させるようにしたが、その必要はない。図13ないし図15に示すように、第2回転台2のみを回転駆動可能とし、その内部に1個の接着ローラー18を配置して、第4ステージS4に面する第2ワークW2を1個の接着ローラー18で貼合することができる。第2回転台2の内部全体は真空チャンバー80になっており、さらに、4個のバックアップテーブル17のそれぞれに、独立して真空状態と大気開放状態とに切り換えることができる真空チャンバー15を設け、その開口面をシルクスクリーンで覆って吸着面14としている。第2回転台2の内部中央には、接着ローラー18やローラー台19を移行案内する固定フレーム82が設けてある。
In the above embodiment, four
第4ステージS4において第2ワークW2を貼合する場合には、真空チャンバー80に真空圧を作用させた状態で、バックアップテーブル17をガイド構造81に沿って、図15に矢印で示すように第2ワークW2の吸着位置から退避位置へ移動させる。同時に接着ローラー18をエアーシリンダーで押し上げ操作して、第2ワークW2の右端縁を吸着面14を介して第1ワークW1の右端縁に押し付ける。さらに、接着ローラー18をバックアップテーブル17の退避移動に追随して左端縁側へ移動させることにより、気泡のかみ込みを伴なうこともなく、第2ワークW2を第1ワークW1に貼合して、貼合体W3を第1回転台1の吸着台12に吸着保持できる。なお、バックアップテーブル17が退避位置へ移動する際には、真空チャンバー80に作用する真空圧で第2ワークW2が吸着保持されるので、第2ワークW2が位置ずれすることはなく、両ワークW1・W2を正確に位置決めした状態で貼合できる。
When the second workpiece W2 is bonded in the fourth stage S4, the backup table 17 is moved along the
第2ワークW2の貼合が終了したのち、接着ローラー18およびバックアップテーブル17を右端縁側へ復帰移動することにより、貼合体W3を第1回転台1側の吸着面12aで吸着保持できる。この状態の第1回転台1を回転させて貼合体W3を第1ステージS1に臨ませることにより、貼合体W3を取出装置23で取り出して、第3コンベア装置5に受け渡すことができる。この場合には、第1ステージS1に正対する真空チャンバー13を大気開放する。
After the bonding of the second workpiece W2 is completed, the bonding body W3 can be sucked and held on the
上記のように、第2回転台2のみを回転駆動可能とし、第4ステージS4に面する第2ワークW2を1個の接着ローラー18で共通して貼合すると、接着ローラー18およびローラー台19の配置個数を最小限化して、第2回転台2の構造を簡素化し、その分だけワーク貼合装置の全体コストを削減できる。
As described above, when only the
本発明に係るワークの貼合方法においては、複数の吸着面12a・14を備えた第1回転台11および第2回転台2を、吸着面12a・14どうしが貼合隙間を間にして正対する状態で隣接配置する。両回転台1・2の周りには、第1・第2の各ワークW1・W2を各回転台1・2に供給し、あるいは貼合体ワークW3を取り出す第1ステージS1と、各回転台1・2の吸着面12a・14に吸着した第1・第2の各ワークW1・W2の保護紙42を剥離する第2ステージS2と、各回転台1・2の吸着面12a・14に吸着した第1・第2の各ワークW1・W2を位置決めする第3ステージS3と、貼合隙間を間にして正対する第1・第2の各ワークW1・W2を貼合する第4ステージS4とを設ける。各ワークW1・W2を各ステージS2〜S4に順に対向させて、各ワークW1・W2の供給、および取り出しと、各ワークW1・W2の保護紙42の剥離と、ワークW1・W2の位置決めと、ワークW1・W2どうしの貼合とを連続して行なう。
In the workpiece bonding method according to the present invention, the first turntable 11 and the
上記のワークの貼合方法において、第1ステージS1における各ワークW1・W2の各回転台1・2への供給、および貼合体W3の取り出しと、第2ステージS2における保護紙42の剥離と、第3ステージS3におけるワークW1・W2の位置決めと、第4ステージS4におけるワークW1・W2どうしの貼合とを併行して行なう。
In the above-described workpiece bonding method, the supply of the workpieces W1 and W2 to the rotary tables 1 and 2 in the first stage S1 and the removal of the bonded body W3, the peeling of the
上記のワークの貼合方法において、第1回転台1を駆動する第1駆動構造71と、第2回転台2を駆動する第2駆動構造72とは、第1駆動動作と第2駆動動作とを交互に繰り返し行なうように制御装置70で制御する。第1駆動動作においては、第1回転台1を正転方向へ、第2回転台2は反転方向へ、それぞれ90ずつ270度まで間欠的に回転操作する。第2駆動動作において、第1回転台1を反転方向へ、第2回転台2は正転方向へ、それぞれ270度回転操作する。
In the above-described workpiece bonding method, the first drive structure 71 that drives the
上記の実施例では、各ワークW1・W2の供給、および貼合体W3の搬出を第1〜第3の各コンベア装置3・4・5で行なうようにしたが、その必要はない。例えば、各コンベア装置3・4・5に換えて、ストッカーに積層した状態の各ワークW1・W2を、供給装置で順次取り出すことができる。同様に、貼合体W3はストッカーに積層したのち、ストッカーごと搬出することができる。また、必要があれば、各ワークW1・W2の供給、および貼合体W3の取り出しは人手で行なってもよい。
In said Example, although supply of each workpiece | work W1 * W2 and carrying out of the bonding body W3 were performed by each 1st-3rd conveyor apparatus 3.4.5 *, it is not necessary. For example, instead of the
上記の実施例では、第1回転台1を回転位置へ上昇させて、両回転台1・2を回転操作したが、その必要はなく、第1回転台2を回転位置まで下降させて、両2回転台1・2を回転操作してもよい。また、両回転台1・2を同時に離れる向きへ移動させて、両回転台1・2を回転操作してもよい。このときの、両回転台1・2が離れる向きは、上下や前後、あるいは斜め方向など任意の方向に設定できる。
In the above embodiment, the
本発明の貼合装置を複数台用意しておけば、各貼合装置で貼合処理を順に行なうことにより、ガラス基板の片面に複数の機能性シートを積層状に貼合し、あるいはガラス基板の表裏両面に機能性シートを貼合する場合などに、効率よく作業を行なうことができる。第1回転台1と第2回転台2とは、それぞれの回転軸9・10の中心軸が垂直になる状態や、斜めになる状態で配置することができる。
If a plurality of the bonding apparatuses of the present invention are prepared, a plurality of functional sheets are laminated on one side of the glass substrate by sequentially performing a bonding process in each bonding apparatus, or a glass substrate. For example, when a functional sheet is bonded to both front and back surfaces, the work can be efficiently performed. The
1 第1回転台
2 第2回転台
12 吸着台
12a 吸着面
14 吸着面
18 接着ローラー
21 第1供給装置
22 第2供給装置
23 取出装置
50 位置決め装置
60 貼合装置
70 制御装置
71 第1駆動構造
72 第2駆動構造
DESCRIPTION OF
Claims (8)
両回転台(1・2)は、吸着面(12a・14)どうしが貼合隙間を間にして正対する状態で隣接配置されており、
両回転台(1・2)の周囲には、第1・第2の各ワーク(W1・W2)を各回転台(1・2)に供給し、あるいは貼合されたワーク(W3)を取り出す第1ステージ(S1)と、
各回転台(1・2)に吸着した両ワーク(W1・W2)の保護紙(42)を剥離する剥離装置(43)を備えた第2ステージ(S2)と、
各回転台(1・2)の吸着面(12a・14)に吸着保持した両ワーク(W1・W2)を位置決めする位置決め装置(50)を備えた第3ステージ(S3)と、
貼合隙間を介して正対する両ワーク(W1・W2)を貼合する貼合装置(60)を備えた第4ステージ(S4)とが設けられており、
第1回転台(1)と第2回転台(2)とは、第1駆動構造(71)および第2駆動構造(72)で駆動されて、貼合隙間を介して正対する貼合位置と、両回転台(1・2)が相対的に離れる回転位置との間で変位し、かつ回転位置においてそれぞれ回転変位できるように構成されており、
各回転台(1・2)の吸着面(12a・14)に吸着保持したワーク(W1・W2)を各ステージ(S1〜S4)に順に対向させて、一連の貼合処理を連続して行なうことを特徴とするワーク貼合装置。 A first turntable (1) and a second turntable (2) having a plurality of suction surfaces (12a, 14);
Both turntables (1, 2) are adjacently arranged with the adsorbing surfaces (12a, 14) facing each other with a bonding gap therebetween,
The first and second workpieces (W1 and W2) are supplied to the rotary tables (1 and 2) or the bonded workpiece (W3) is taken out around the two rotary tables (1 and 2). The first stage (S1),
A second stage (S2) provided with a peeling device (43) for peeling off the protective paper (42) of both workpieces (W1, W2) adsorbed on each turntable (1, 2);
A third stage (S3) provided with a positioning device (50) for positioning the workpieces (W1, W2) sucked and held on the suction surfaces (12a, 14) of the respective rotary tables (1, 2);
A fourth stage (S4) provided with a bonding device (60) for bonding both workpieces (W1, W2) facing directly through the bonding gap;
The 1st turntable (1) and the 2nd turntable (2) are driven with the 1st drive structure (71) and the 2nd drive structure (72), and the pasting position which faces directly via the pasting gap , The two turntables (1, 2) are configured to be displaced with respect to a rotational position where they are relatively separated from each other, and to be capable of rotational displacement at each rotational position,
A series of bonding processes are continuously performed with the workpieces (W1 and W2) sucked and held on the suction surfaces (12a and 14) of the turntables (1 and 2) sequentially facing the stages (S1 to S4). A workpiece bonding apparatus characterized by that.
両回転台(1・2)の前面側には、第1・第2の各ワーク(W1・W2)を各回転台(1・2)の吸着面(12a・14)に供給する第1供給装置(21)および第2供給装置(22)と、貼合体(W3)を取り出す取出装置(23)を備えた第1ステージ(S1)が設けられており、
第1回転台(1)の上面および第2回転台(2)の下面のそれぞれに、両ワーク(W1・W2)の保護紙(42)を剥離する剥離装置(43)を備えた第2ステージ(S2)が設けられており、
両回転台(1・2)の後面側には、各回転台(1・2)の吸着面(12a・14)に吸着保持した両ワーク(W1・W2)を位置決めする位置決め装置(50)を備えた第3ステージ(S3)が設けられており、
両回転台(1・2)の隣接面に、両ワーク(W1・W2)を貼合する貼合装置(60)を備えた第4ステージ(S4)が設けられており、
各回転台(1・2)の吸着面(12a・14)に吸着保持したワーク(W1・W2)を第1・第2・第3・第4ステージ(S1〜S4)に順に対向させて、一連の貼合処理を連続して行なう、請求項1に記載のワーク貼合装置。 Adsorption surfaces (12a, 14) are provided on each of the four circumferential surfaces of the first turntable (1) and the second turntable (2) formed in a square box shape,
A first supply for supplying the first and second workpieces (W1, W2) to the suction surfaces (12a, 14) of the rotary tables (1, 2) on the front side of the two rotary tables (1, 2). A first stage (S1) provided with a device (21) and a second supply device (22) and a take-out device (23) for taking out the bonded body (W3) is provided,
A second stage provided with a peeling device (43) for peeling off the protective paper (42) of both the works (W1 and W2) on each of the upper surface of the first rotating table (1) and the lower surface of the second rotating table (2). (S2) is provided,
A positioning device (50) for positioning both workpieces (W1, W2) sucked and held on the suction surface (12a, 14) of each turntable (1, 2) is provided on the rear surface side of both turntables (1, 2). A third stage (S3) is provided,
The 4th stage (S4) provided with the bonding apparatus (60) which bonds both workpiece | work (W1 * W2) to the adjacent surface of both turntables (1,2) is provided,
The workpieces (W1, W2) sucked and held on the suction surfaces (12a, 14) of each turntable (1, 2) are sequentially opposed to the first, second, third, and fourth stages (S1 to S4), The workpiece | work bonding apparatus of Claim 1 which performs a series of bonding processes continuously.
第2ステージ(S2)における保護紙(42)の剥離と、
第3ステージ(S3)におけるワーク(W1・W2)の位置決めと、
第4ステージ(S4)におけるワーク(W1・W2)どうしの貼合とを併行して行なう請求項2に記載のワーク貼合装置。 Supplying each work piece (W1, W2) to each turntable (1, 2) in the first stage (S1) and taking out the bonded body (W3);
Peeling of the protective paper (42) in the second stage (S2);
Positioning of the workpieces (W1, W2) in the third stage (S3);
The workpiece | work bonding apparatus of Claim 2 performed in parallel with bonding of the workpiece | work (W1 * W2) in a 4th stage (S4).
制御装置(70)は、第1・第2の両駆動構造(71・72)が、第1駆動動作と第2駆動動作とを交互に繰り返し行なうように構成されており、
第1駆動動作において、第1回転台(1)は正転方向へ、第2回転台(2)は反転方向へ、それぞれ90ずつ270度まで間欠的に回転駆動され、
第2駆動動作において、第1回転台(1)は反転方向へ、第2回転台(2)は正転方向へ、それぞれ270度回転駆動される請求項2または3に記載のワーク貼合装置。 A control device (70) for controlling the drive states of the first drive structure (71) and the second drive structure (72);
The control device (70) is configured so that the first and second drive structures (71, 72) alternately repeat the first drive operation and the second drive operation,
In the first drive operation, the first turntable (1) is intermittently rotated up to 270 degrees by 90 degrees in the forward direction and the second turntable (2) in the reverse direction, respectively.
The workpiece bonding apparatus according to claim 2 or 3, wherein in the second drive operation, the first turntable (1) is rotated 270 degrees in the reverse direction and the second turntable (2) is rotated in the forward direction. .
両回転台(1・2)の周りには、第1・第2の各ワーク(W1・W2)を各回転台(1・2)に供給し、あるいは貼合体(W3)を取り出す第1ステージ(S1)と、
各回転台(1・2)の吸着面(12a・14)に吸着した第1・第2の各ワーク(W1・W2)の保護紙(42)を剥離する第2ステージ(S2)と、
各回転台1・2の吸着面(12a・14)に吸着した第1・第2の各ワーク(W1・W2)を位置決めする第3ステージ(S3)と、
貼合隙間を間にして正対する第1・第2の各ワーク(W1・W2)を貼合する第4ステージ(S4)とが設けられており、
両回転台(1・2)を間欠的に回転しながら、各ワーク(W1・W2)を各ステージ(S1〜S4)に順に対向させて、各ワーク(W1・W2)の供給、および取り出しと、各ワーク(W1・W2)の保護紙(42)の剥離と、ワーク(W1・W2)の位置決めと、ワーク(W1・W2)どうしの貼合とを連続して行なうことを特徴とするワーク貼合方法。 The first turntable (1) and the second turntable (2) having a plurality of suction surfaces (12a, 14) are adjacent to each other with the suction surfaces (12a, 14) facing each other with a bonding gap therebetween. Has been placed,
Around the two turntables (1, 2), a first stage for supplying the first and second works (W1, W2) to the turntables (1, 2) or taking out the bonded body (W3). (S1),
A second stage (S2) for peeling off the protective paper (42) of each of the first and second works (W1, W2) adsorbed on the adsorption surface (12a, 14) of each turntable (1, 2);
A third stage (S3) for positioning the first and second workpieces (W1, W2) adsorbed on the adsorption surfaces (12a, 14) of the rotary tables 1, 2;
A fourth stage (S4) for bonding the first and second workpieces (W1, W2) facing each other with a bonding gap in between;
While rotating both turntables (1, 2) intermittently, each work (W1, W2) is made to face each stage (S1 to S4) in turn, and supply and removal of each work (W1, W2) A workpiece characterized in that the workpieces (W1, W2) are continuously peeled off, the workpieces (W1, W2) are positioned, and the workpieces (W1, W2) are bonded together. Pasting method.
第2ステージ(S2)における保護紙(42)の剥離と、
第3ステージ(S3)におけるワーク(W1・W2)の位置決めと、
第4ステージ(S4)におけるワーク(W1・W2)どうしの貼合とを併行して行なう請求項6に記載のワーク貼合方法。 Supplying each work piece (W1, W2) to each turntable (1, 2) in the first stage (S1) and taking out the bonded body (W3);
Peeling of the protective paper (42) in the second stage (S2);
Positioning of the workpieces (W1, W2) in the third stage (S3);
The work bonding method according to claim 6, wherein the work (W1 and W2) is bonded together in the fourth stage (S4).
第1駆動動作において、第1回転台(1)を正転方向へ、第2回転台(2)は反転方向へ、それぞれ90ずつ270度まで間欠的に回転操作し、
第2駆動動作において、第1回転台(1)を反転方向へ、第2回転台(2)は正転方向へ、それぞれ270度回転操作する請求項6または7に記載のワーク貼合方法。 The first drive structure (71) for driving the first turntable (1) and the second drive structure (72) for driving the second turntable (2) perform the first drive operation and the second drive operation. It is controlled by the control device (70) so as to be repeated alternately,
In the first drive operation, the first turntable (1) is rotated in the forward direction, and the second turntable (2) is rotated in the reverse direction by 90 degrees each up to 270 degrees,
The work bonding method according to claim 6 or 7, wherein in the second drive operation, the first turntable (1) is rotated 270 degrees in the reverse direction, and the second turntable (2) is rotated in the forward direction.
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