KR101991268B1 - Scribing apparatus and scribing method - Google Patents

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Abstract

본 발명의 실시예에 따른 스크라이빙 장치는, 기판을 스크라이빙 유닛으로 이송하는 복수의 벨트를 포함하는 기판 이송 유닛; 복수의 벨트에 각각 대응되게 설치되어 복수의 벨트의 이동량을 측정하는 복수의 벨트 이동량 측정 유닛; 및 복수의 벨트 이동량 측정 유닛에 의하여 측정된 이동량이 기준 범위를 벗어나는지 여부를 판단하는 제어 유닛을 포함할 수 있다.A scribing apparatus according to an embodiment of the present invention includes: a substrate transfer unit including a plurality of belts for transferring a substrate to a scribing unit; A plurality of belt movement amount measurement units provided corresponding to the plurality of belts to measure the movement amounts of the plurality of belts; And a control unit for determining whether or not the movement amount measured by the plurality of belt movement amount measurement units is out of the reference range.

Description

스크라이빙 장치 및 스크라이빙 방법{SCRIBING APPARATUS AND SCRIBING METHOD}[0001] SCRIBING APPARATUS AND SCRIBING METHOD [0002]

본 발명은 기판에 스크라이빙 라인을 형성하기 위한 스크라이빙 장치 및 스크라이빙 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a scribing device and a scribing method for forming a scribing line on a substrate.

일반적으로, 평판 디스플레이에 사용되는 액정 디스플레이 패널, 유기 전계 발광 디스플레이 패널, 무기 전계 발광 디스플레이 패널, 투과형 프로젝터 기판, 반사형 프로젝터 기판 등은 유리와 같은 취성의 머더 글라스 패널(이하, '기판'이라 함)로부터 소정의 크기로 절단된 단위 글라스 패널(이하, '단위 기판'이라 함)을 사용한다.In general, a liquid crystal display panel, an organic electroluminescent display panel, an inorganic electroluminescent display panel, a transmissive projector substrate, a reflective projector substrate, and the like used in a flat panel display is a brittle mother glass panel (Hereinafter referred to as "unit substrate") is cut from the substrate 1 to a predetermined size.

기판을 절단하는 공정은, 기판이 절단될 절단 예정선을 따라 다이아몬드와 같은 재질의 스크라이빙 휠을 가압하면서 이동시켜 스크라이빙 라인을 형성하는 스크라이빙 공정과, 스크라이빙 라인을 따라 기판을 가압하는 것에 의해 기판을 절단하여 단위 기판을 얻는 브레이킹 공정을 포함한다.The step of cutting the substrate includes a scribing step of moving a scribing wheel made of a material such as diamond along a line along which the substrate is to be cut to press and moving the scribing line to form a scribing line, And a breaking step of cutting the substrate to obtain a unit substrate.

스크라이빙 공정에서는, 기판의 이송 방향을 기준으로 기판의 전방측 단부 및 후방측 단부가 지지된 상태에서, 기판의 전방측 단부 및 후방측 단부 사이의 영역에서 스크라이빙 휠이 이동하면서 기판에 스크라이빙 라인을 형성하게 된다.In the scribing process, in a state in which the front side end portion and the rear side end portion of the substrate are supported with respect to the transfer direction of the substrate, the scribing wheel moves in the region between the front side end portion and the rear side end portion of the substrate Thereby forming a scribing line.

기판을 스크라이빙 공정으로 투입하는 과정에서는, 복수의 벨트로 구성되는 기판 이송 유닛에 의해 기판이 이송된다. 그런데, 복수의 벨트 중 어느 하나의 벨트의 장력이 변화하여 그 벨트에 의한 기판의 단위 시간당 이송량이 달라지는 경우, 기판과 복수의 벨트 사이에서 슬립이 발생될 수 있다. 이러한 기판과 복수의 벨트 사이의 슬립에 의해 기판이 정확한 방향으로 이송되지 않을 뿐만 아니라 기판 및/또는 복수의 벨트가 손상되는 문제가 있다.In the process of putting the substrate into the scribing process, the substrate is transported by the substrate transport unit composed of a plurality of belts. However, when the tension of any one of the plurality of belts changes and the amount of feed per unit time of the substrate by the belt changes, a slip may occur between the substrate and the plurality of belts. The slip between the substrate and the plurality of belts not only prevents the substrate from being transported in the correct direction but also damages the substrate and / or the plurality of belts.

대한민국공개특허 제10-2007-0070824호(2007.07.04)Korean Patent Publication No. 10-2007-0070824 (2007.07.04)

본 발명은 상기한 종래 기술의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 본 발명의 목적은, 복수의 벨트에 의해 기판이 이동되는 과정에서, 복수의 벨트 사이의 이동 속도의 편차로 인한 기판과 복수의 벨트 사이의 마찰 및 슬립을 방지할 수 있는 스크라이빙 장치 및 스크라이빙 방법을 제공하는 데에 있다.SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to provide a method of manufacturing a semiconductor device in which a substrate is moved between a plurality of belts And to provide a scribing device and a scribing method capable of preventing friction and slip of the substrate.

상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 실시예에 따른 스크라이빙 장치는, 기판을 스크라이빙 유닛으로 이송하는 복수의 벨트를 포함하는 기판 이송 유닛; 복수의 벨트에 각각 대응되게 설치되어 복수의 벨트의 단위 시간당 이동량을 측정하는 복수의 벨트 이동량 측정 유닛; 및 복수의 벨트 이동량 측정 유닛에 의하여 측정된 복수의 벨트 중 적어도 하나의 벨트의 이동량이 기준 범위를 벗어나는지 여부를 판단하는 제어 유닛을 포함할 수 있다.According to an aspect of the present invention, there is provided a scribing apparatus comprising: a substrate transferring unit including a plurality of belts for transferring a substrate to a scribing unit; A plurality of belt movement amount measuring units provided corresponding to the plurality of belts to measure a movement amount per unit time of the plurality of belts; And a control unit for determining whether or not the movement amount of at least one of the plurality of belts measured by the plurality of belt movement amount measurement units is out of the reference range.

벨트 이동량 측정 유닛은, 벨트와 접촉하도록 배치되는 측정 롤러; 및 측정 롤러와 연결되어 측정 롤러의 회전수를 측정하는 회전수 측정기를 포함할 수 있다.The belt moving amount measuring unit includes: a measuring roller arranged to be in contact with the belt; And a rotation number measuring device connected to the measuring roller and measuring the number of revolutions of the measuring roller.

본 발명의 실시예에 따른 스크라이빙 장치는, 복수의 벨트에 각각 대응되게 설치되어 복수의 벨트의 장력을 각각 조절하는 복수의 장력 조절 유닛을 더 포함할 수 있으며, 제어 유닛은 장력 조절 유닛을 제어하여 이동량이 기준 범위를 벗어난 벨트의 장력을 조절할 수 있다.The scraping device according to an embodiment of the present invention may further include a plurality of tension adjusting units provided corresponding to the plurality of belts to respectively adjust the tension of the plurality of belts, The tension of the belt whose movement amount is out of the reference range can be controlled.

장력 조절 유닛은, 벨트와 접촉하도록 배치되는 한 쌍의 고정 롤러; 한 쌍의 고정 롤러 사이에 배치되어 한 쌍의 고정 롤러에 대하여 벨트와 함께 이동하도록 구성되는 이동 롤러; 및 이동 롤러를 한 쌍의 고정 롤러에 대하여 이동시키는 롤러 이동 모듈을 포함할 수 있다.The tension adjusting unit includes: a pair of fixing rollers arranged to be in contact with the belt; A moving roller disposed between the pair of holding rollers and configured to move together with the pair of holding rollers; And a roller movement module for moving the movement roller with respect to the pair of fixed rollers.

또한, 상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 실시예에 따른 스크라이빙 방법은, 기판을 스크라이빙 유닛으로 이송하는 복수의 벨트를 포함하는 기판 이송 유닛을 사용하여 기판에 스크라이빙 라인을 형성하기 위한 것으로서, 복수의 벨트의 각각의 이동량을 측정하는 단계; 복수의 벨트 중 적어도 하나의 벨트의 이동량이 기준 범위를 벗어나는지 여부를 판단하는 단계; 및 이동량이 기준 범위를 벗어난 벨트의 장력을 조절하는 단계를 포함할 수 있다.According to another aspect of the present invention, there is provided a scribing method for scribing a substrate by using a substrate transfer unit including a plurality of belts for transferring a substrate to a scribing unit, Measuring the amount of movement of each of the plurality of belts; Determining whether a movement amount of at least one of the plurality of belts exceeds a reference range; And adjusting the tension of the belt whose travel is out of the reference range.

본 발명의 실시예에 따른 스크라이빙 장치 및 스크라이빙 방법에 따르면, 복수의 벨트의 각각의 단위 시간당 이동량을 실시간으로 측정하고, 그 이동량을 기반으로 복수의 벨트의 각각의 장력을 조절할 수 있으므로, 복수의 벨트 사이의 이동량 편차로 인해 기판과 복수의 벨트 사이에 마찰 및 슬립이 발생되는 것을 방지할 수 있고, 기판과 복수의 벨트 사이의 마찰 및 슬립으로 인하여 기판이 정확한 방향으로 이송되지 않거나 기판 및/또는 벨트가 손상되는 것을 미연에 방지할 수 있다.According to the scribing apparatus and the scribing method according to the embodiment of the present invention, the movement amount per unit time of each of the plurality of belts can be measured in real time, and the tension of each of the plurality of belts can be adjusted based on the movement amount It is possible to prevent friction and slip between the substrate and the plurality of belts due to the deviation of the movement amount between the plurality of belts, and to prevent the substrate from being conveyed in the correct direction due to friction and slip between the substrate and the plurality of belts, And / or damage to the belt can be prevented in advance.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 스크라이빙 장치가 개략적으로 도시된 평면도이다.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 스크라이빙 장치가 개략적으로 도시된 측면도이다.
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 스크라이빙 장치의 제어 블록도이다.
도 4는 본 발명의 실시예에 따른 스크라이빙 방법의 순서도이다.1 is a plan view schematically showing a scribing apparatus according to an embodiment of the present invention.
2 is a side view schematically illustrating a scribing apparatus according to an embodiment of the present invention.
3 is a control block diagram of a scribing apparatus according to an embodiment of the present invention.
4 is a flowchart of a scribing method according to an embodiment of the present invention.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 스크라이빙 장치 및 스크라이빙 방법에 대하여 설명한다.Hereinafter, a scribing apparatus and a scribing method according to an embodiment of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

여기에서, 스크라이빙 공정이 수행될 기판(S)이 이송되는 방향을 Y축 방향이라 정의하고, 기판(S)이 이송되는 방향(Y축 방향)에 수직인 방향을 X축 방향이라 정의한다. 그리고, 기판(S)이 놓이는 X-Y평면에 수직인 방향을 Z축 방향이라 정의한다.Here, the direction in which the substrate S to be scribed is conveyed is defined as the Y-axis direction, and the direction perpendicular to the direction in which the substrate S is conveyed (Y-axis direction) is defined as the X-axis direction . A direction perpendicular to the X-Y plane on which the substrate S is placed is defined as a Z-axis direction.

도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 스크라이빙 장치는, 기판(S)을 이송하는 기판 이송 유닛(200)과, 기판 이송 유닛(200)에 의해 이송된 기판(S)에 X축 방향 및 Y축 방향으로 스크라이빙 라인을 형성하는 스크라이빙 유닛(300)과, 스크라이빙 공정을 제어하는 제어 유닛(400)을 포함할 수 있다.1 and 2, a scribing apparatus according to an embodiment of the present invention includes a substrate transferring unit 200 for transferring a substrate S, a substrate transferring unit 200 for transferring the substrate S, A scribing unit 300 for forming scribing lines in the X-axis direction and the Y-axis direction on the substrate S, and a control unit 400 for controlling the scribing process.

기판 이송 유닛(200)은 기판(S)의 후행단을 파지하는 파지 모듈(210)과, Y축 방향으로 연장되어 파지 모듈(210)의 이동을 안내하는 가이드 레일(220)과, 기판(S)을 지지하면서 이송하기 위한 복수의 벨트(230)를 포함할 수 있다.The substrate transfer unit 200 includes a holding module 210 holding the rear end of the substrate S, a guide rail 220 extending in the Y axis direction to guide the movement of the holding module 210, And a plurality of belts 230 for supporting and transporting the plurality of belts 230.

파지 모듈(210)과 가이드 레일(220) 사이에는 공압 또는 유압에 의하여 작동하는 액추에이터, 전자기적 상호 작용에 의해 작동되는 리니어 모터, 또는 볼 스크류 기구와 같은 직선 이동 기구가 구비될 수 있다. 따라서, 파지 모듈(210)이 기판(S)의 후행단을 파지한 상태에서 직선 이동 기구에 의해 파지 모듈(210)이 Y축 방향으로 이동됨에 따라, 기판(S)이 Y축 방향으로 이송될 수 있다. 이때, 벨트(230)는 파지 모듈(210)의 이동과 동기화되어 회전되면서, 기판(S)의 하면을 안정적으로 지지할 수 있다.Between the gripping module 210 and the guide rail 220, an actuator operated by pneumatic or hydraulic pressure, a linear motor operated by electromagnetic interaction, or a linear moving mechanism such as a ball screw mechanism may be provided. Accordingly, as the grip module 210 is moved in the Y axis direction by the linear movement mechanism in a state where the grip module 210 grasps the rear end of the substrate S, the substrate S is transferred in the Y axis direction . At this time, the belt 230 is rotated in synchronization with the movement of the holding module 210, so that the lower surface of the substrate S can be stably supported.

파지 모듈(210)은 기판(S)의 후행단을 물리적으로 가압하여 유지하는 클램프일 수 있다. 다만, 본 발명은 이에 한정되지 않으며, 파지 모듈(210)은 진공원과 연결된 진공홀을 구비하여 기판(S)의 후행단을 흡착하도록 구성될 수 있다.The gripping module 210 may be a clamp that physically presses and holds the rear end of the substrate S. However, the present invention is not limited to this, and the holding module 210 may include a vacuum hole connected to a vacuum source so as to adsorb the rear end of the substrate S.

가이드 레일(220)은 X축 방향으로 복수로 구비될 수 있다. 복수의 가이드 레일(220)은 X축 방향으로 서로 이격될 수 있다. 복수의 가이드 레일(220)은 복수의 벨트(230) 사이에 배치될 수 있다. 가이드 레일(220)은 파지 모듈(210)의 Y축 방향으로의 이동을 안내하는 역할을 한다.A plurality of guide rails 220 may be provided in the X-axis direction. The plurality of guide rails 220 may be spaced from each other in the X-axis direction. The plurality of guide rails 220 may be disposed between the plurality of belts 230. The guide rail 220 serves to guide the movement of the grip module 210 in the Y-axis direction.

복수의 벨트(230)는 X축 방향으로 서로 이격될 수 있다. 각 벨트(230)는 복수의 풀리(240)에 의해 지지되며, 동일한 벨트(230)를 지지하는 복수의 풀리(240) 중 적어도 하나는 벨트(230)를 회전시키는 구동력을 제공하는 구동 롤러일 수 있다.The plurality of belts 230 may be spaced from each other in the X-axis direction. Each belt 230 is supported by a plurality of pulleys 240 and at least one of the plurality of pulleys 240 supporting the same belt 230 may be a drive roller that provides a driving force to rotate the belt 230 have.

스크라이빙 유닛(300)은 X축 방향으로 연장되는 프레임(310)과, 프레임(310)에 X축 방향으로 이동 가능하게 설치되는 스크라이빙 헤드(320)와, 프레임(310)에 인접하게 배치되어 기판 이송 유닛(200)에 의해 이송된 기판(S)을 지지하는 지지 플레이트(330)와, 프레임(310)과 스크라이빙 헤드(320) 사이에 설치되어 스크라이빙 헤드(320)를 프레임(310)을 따라 이동시키는 헤드 이동 모듈(340)을 포함할 수 있다.The scribing unit 300 includes a frame 310 extending in the X axis direction, a scribing head 320 mounted on the frame 310 so as to be movable in the X axis direction, A support plate 330 disposed on the substrate 310 for supporting the substrate S transferred by the substrate transfer unit 200 and a scribing head 320 installed between the frame 310 and the scribing head 320 And a head movement module 340 that moves along the frame 310.

스크라이빙 헤드(320)는 프레임(310)을 따라 복수로 배치될 수 있다. 스크라이빙 헤드(320)는 기판(S)의 표면에 스크라이빙 라인을 형성하기 위한 스크라이빙 휠(321)을 포함할 수 있다. 스크라이빙 휠(321)은 기판(S)의 표면에 대면하도록 배치된다. 스크라이빙 헤드(320)는 기판(S)에 수직인 방향인 Z축 방향으로 이동 가능하게 구성될 수 있다. 스크라이빙 헤드(320)가 기판(S)을 향하여 이동함에 따라, 스크라이빙 휠(321)이 기판(S)의 표면과 접촉될 수 있고, 정해진 압력으로 기판(S)의 표면에 대하여 가압될 수 있다.The scribing heads 320 may be disposed in plurality along the frame 310. The scribing head 320 may include a scribing wheel 321 for forming a scribing line on the surface of the substrate S. [ The scribing wheel 321 is arranged to face the surface of the substrate S. [ The scribing head 320 may be configured to be movable in the Z-axis direction which is a direction perpendicular to the substrate S. As the scribing head 320 moves toward the substrate S the scribing wheel 321 can come into contact with the surface of the substrate S and can be pressed against the surface of the substrate S at a predetermined pressure, .

기판(S)이 지지 플레이트(330)에 지지되고 스크라이빙 휠(321)이 기판(S)의 표면에 가압된 상태에서, 기판(S)이 기판 이송 유닛(200)에 의해 Y축 방향으로 이동함에 따라, 기판(S)에는 Y축 방향으로 스크라이빙 라인이 형성될 수 있다. 또한, 기판(S)이 지지 플레이트(330)에 지지되고 스크라이빙 휠(321)이 기판(S)의 표면에 가압된 상태에서, 스크라이빙 헤드(320)가 프레임(310)을 따라 X축 방향으로 이동함에 따라, 기판(S)에는 X축 방향으로 스크라이빙 라인이 형성될 수 있다.When the substrate S is supported on the support plate 330 and the scribing wheel 321 is pressed against the surface of the substrate S, the substrate S is moved in the Y-axis direction by the substrate transfer unit 200 As the substrate S moves, a scribing line may be formed in the Y-axis direction. When the substrate S is supported by the support plate 330 and the scribing wheel 321 is pressed against the surface of the substrate S, the scribing head 320 moves along the frame 310 to X As the substrate moves in the axial direction, a scribing line may be formed on the substrate S in the X-axis direction.

지지 플레이트(330)는 스크라이빙 휠(321)이 기판(S)에 대하여 가압될 때 기판(S)을 지지하는 역할을 수행한다. 지지 플레이트(330)는 진공을 사용하여 기판(S)을 흡착하도록 구성될 수 있다. 또한, 지지 플레이트(330)는 공기를 분사하여 기판(S)을 지지 플레이트(330)로부터 부양시키도록 구성될 수 있다.The support plate 330 serves to support the substrate S when the scribing wheel 321 is pressed against the substrate S. [ The support plate 330 can be configured to adsorb the substrate S using vacuum. Further, the support plate 330 may be configured to inject air to float the substrate S from the support plate 330.

헤드 이동 모듈(340)은 공압 또는 유압에 의하여 작동하는 액추에이터, 전자기적 상호 작용에 의해 작동되는 리니어 모터, 또는 볼 스크류 기구와 같은 직선 이동 기구로서 구성될 수 있다.The head moving module 340 may be configured as a linear motion mechanism such as an actuator operated by pneumatic or hydraulic pressure, a linear motor operated by electromagnetic interaction, or a ball screw mechanism.

도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 스크라이빙 장치는 복수의 벨트(230)에 각각 대응되게 설치되어 복수의 벨트(230)의 단위 시간당 이동량(이동 속도)을 측정하는 복수의 벨트 이동량 측정 유닛(500)을 포함할 수 있다.1 and 2, the scraping device according to the embodiment of the present invention is provided to correspond to each of a plurality of belts 230 to adjust the moving amount (moving speed) per unit time of the plurality of belts 230 And a plurality of belt movement amount measuring units 500 for measuring the belt movement amount.

벨트 이동량 측정 유닛(500)은, 벨트(230)와 접촉하도록 배치되는 측정 롤러(510)와, 측정 롤러(510)와 연결되어 측정 롤러(510)의 회전수(단위 시간당 회전수)를 측정하는 회전수 측정기(520)를 포함할 수 있다.The belt moving amount measuring unit 500 includes a measuring roller 510 arranged to be in contact with the belt 230 and a measuring roller 510 connected to the measuring roller 510 to measure the number of revolutions And may include a rotation number measuring unit 520.

측정 롤러(510)은 벨트(230)와 접촉되게 배치되어 벨트(230)의 이동에 의해 회전될 수 있다.The measuring roller 510 may be placed in contact with the belt 230 and rotated by movement of the belt 230.

회전수 측정기(520)는, 예를 들면, 측정 롤러(510)의 회전 샤프트와 연결되는 인코더로 구성될 수 있다.The rotation number measuring device 520 may be constituted by, for example, an encoder connected to the rotating shaft of the measuring roller 510.

여기에서, 제어 유닛(400)은 회전수 측정기(520)에 의해 측정된 측정 롤러(510)의 회전수를 기반으로 벨트(230)의 이동량을 산출할 수 있다. 그리고, 제어 유닛(400)은 산출된 벨트(230)의 이동량이 미리 설정된 기준 범위를 벗어나는지 여부를 판단할 수 있다.Here, the control unit 400 may calculate the amount of movement of the belt 230 based on the number of revolutions of the measuring roller 510 measured by the number-of-revolutions measuring unit 520. [ Then, the control unit 400 can determine whether or not the calculated amount of movement of the belt 230 is out of a preset reference range.

여기에서, 기준 범위는 벨트(230)의 사용량 증가에 따라 벨트(230)의 장력을 조절할 필요가 있는지 여부를 결정하기 위한 이동량의 범위이다. 이러한 기준 범위는 다수의 실험 및 시뮬레이션을 통하여 결정될 수 있다.Here, the reference range is a range of the movement amount for determining whether or not the tension of the belt 230 needs to be adjusted in accordance with an increase in the amount of the belt 230 used. This reference range can be determined through a number of experiments and simulations.

산출된 벨트(230)의 이동량이 미리 설정된 기준 범위를 벗어나는 경우, 제어 유닛(400)은 별도의 음향 수단 또는 디스플레이 수단 등을 통하여 사용자에게 이를 알릴 수 있다. 다른 예로서, 산출된 벨트(230)의 이동량이 미리 설정된 기준 범위를 벗어나는 경우, 제어 유닛(400)은 스크라이빙 장치의 동작을 강제로 종료시킬 수 있다. 따라서, 복수의 벨트(230) 사이의 이동량 편차로 인해 기판(S)과 복수의 벨트(230) 사이에 마찰 및 슬립이 발생되는 것을 방지할 수 있다. 또한, 기판(S)과 복수의 벨트(230) 사이의 마찰 및 슬립으로 인하여 기판(S)이 정확한 방향으로 이송되지 않거나 기판(S) 및/또는 벨트(230)가 손상되는 것을 미연에 방지할 수 있다.When the calculated amount of movement of the belt 230 is out of the preset reference range, the control unit 400 can notify the user through a separate sound or display means or the like. As another example, when the calculated amount of movement of the belt 230 is out of a predetermined reference range, the control unit 400 can forcefully terminate the operation of the scribing device. Therefore, it is possible to prevent friction and slip between the substrate S and the plurality of belts 230 due to the deviation of the movement amount between the plurality of belts 230. It is also possible to prevent the substrate S from being transported in the correct direction or from damaging the substrate S and / or the belt 230 due to friction and slip between the substrate S and the plurality of belts 230 .

추가적인 실시예로서, 본 발명의 실시예에 따른 스크라이빙 장치는 복수의 벨트(230)에 각각 대응되게 설치되어 복수의 벨트(230)의 장력을 각각 조절하는 복수의 장력 조절 유닛(600)을 포함할 수 있다.As a further embodiment, the scraping device according to the embodiment of the present invention may include a plurality of tension adjusting units 600 each corresponding to a plurality of belts 230 to respectively adjust the tension of the plurality of belts 230 .

장력 조절 유닛(600)은, 벨트(230)와 접촉하도록 배치되는 한 쌍의 고정 롤러(610)와, 한 쌍의 고정 롤러(610) 사이에 배치되어 한 쌍의 고정 롤러(610)에 대하여 벨트(230)와 함께 이동하도록 구성되는 이동 롤러(620)와, 이동 롤러(620)를 한 쌍의 고정 롤러(610)에 대하여 이동시키는 롤러 이동 모듈(630)을 포함할 수 있다.The tension adjusting unit 600 includes a pair of fixing rollers 610 disposed to contact the belt 230 and a pair of fixing rollers 610 disposed between the pair of fixing rollers 610, A moving roller 620 configured to move together with the pair of fixing rollers 610 and a roller moving module 630 configured to move the moving roller 620 with respect to the pair of fixing rollers 610. [

한 쌍의 고정 롤러(610)는 벨트(230)의 이동에 따라 회전되면서 벨트(230)를 지지하는 역할을 수행할 수 있다.The pair of fixing rollers 610 may be rotated according to the movement of the belt 230 to support the belt 230.

한 쌍의 고정 롤러(610) 및 이동 롤러(620)에는 벨트(230)가 엇갈린 상태로 순차적으로 감길 수 있다.The pair of fixing rollers 610 and the moving rollers 620 can be sequentially wound with the belt 230 staggered.

롤러 이동 모듈(630)은 공압 또는 유압에 의하여 작동하는 액추에이터, 전자기적 상호 작용에 의해 작동되는 리니어 모터, 또는 볼 스크류 기구와 같은 직선 이동 기구로서 구성될 수 있다. 롤러 이동 모듈(630)에 의해 이동 롤러(620) 및 이동 롤러(620)에 감겨진 벨트(230)의 일부분이 한 쌍의 고정 롤러(610)로부터 이격되게 이동됨에 따라, 벨트(230)의 장력이 증가할 수 있다. 반대로, 롤러 이동 모듈(630)에 의해 이동 롤러(620) 및 이동 롤러(620)에 감겨진 벨트(230)의 일부분이 한 쌍의 고정 롤러(610)를 향하여 이동됨에 따라, 벨트(230)의 장력이 감소될 수 있다. 이와 같이, 이동 롤러(620)를 이동시키는 단순한 구조를 통하여 벨트(230)의 장력을 용이하게 조절할 수 있다.The roller movement module 630 may be configured as a linear motion mechanism such as an actuator operated by pneumatic or hydraulic pressure, a linear motor operated by electromagnetic interaction, or a ball screw mechanism. As the portion of the belt 230 wound around the moving roller 620 and the moving roller 620 is moved away from the pair of fixing rollers 610 by the roller moving module 630, Can be increased. Conversely, as a part of the belt 230 wound around the moving roller 620 and the moving roller 620 is moved toward the pair of fixing rollers 610 by the roller moving module 630, The tension can be reduced. Thus, the tension of the belt 230 can be easily adjusted through the simple structure for moving the moving roller 620.

제어 유닛(400)은, 회전수 측정기(520)에 의해 측정된 측정 롤러(510)의 회전수를 기반으로 벨트(230)의 이동량을 산출하고, 산출된 벨트(230)의 이동량이 미리 설정된 기준 범위를 벗어나는지 여부를 판단한다. 그리고, 산출된 벨트(230)의 이동량이 미리 설정된 기준 범위를 벗어나는 경우, 제어 유닛(400)은 장력 조절 유닛(600)을 제어하여 벨트(230)의 장력을 조절할 수 있다.The control unit 400 calculates the amount of movement of the belt 230 based on the number of revolutions of the measuring roller 510 measured by the number of revolutions measuring unit 520 and calculates the amount of movement of the belt 230 based on a preset reference It is judged whether or not it is out of the range. When the calculated amount of movement of the belt 230 is out of the preset reference range, the control unit 400 can control the tension adjusting unit 600 to adjust the tension of the belt 230. [

따라서, 복수의 벨트(230) 중 어느 하나의 벨트(230)의 이동량이 기준 범위를 벗어난 경우, 그 벨트(230)와 연결된 장력 조절 유닛(600)에 의해 벨트(230)의 장력이 조절될 수 있다.The tension of the belt 230 can be adjusted by the tension adjusting unit 600 connected to the belt 230 when the amount of movement of the belt 230 out of the plurality of belts 230 is out of the reference range have.

따라서, 복수의 벨트(230) 사이의 이동량 편차로 인해 기판(S)과 복수의 벨트(230) 사이에 마찰 및 슬립이 발생되는 것을 방지할 수 있다. 또한, 기판(S)과 복수의 벨트(230) 사이의 마찰 및 슬립으로 인하여, 기판(S)이 정확한 방향으로 이송되지 않거나 기판(S) 및/또는 벨트(230)가 손상되는 것을 미연에 방지할 수 있다.Therefore, it is possible to prevent friction and slip between the substrate S and the plurality of belts 230 due to the deviation of the movement amount between the plurality of belts 230. Further, due to the friction and slip between the substrate S and the plurality of belts 230, it is possible to prevent the substrate S from being transported in the correct direction or damage the substrate S and / or the belt 230 can do.

이하, 도 4를 참조하여, 본 발명의 실시예에 따른 스크라이빙 방법에 대하여 설명한다. 본 발명의 실시예에 따른 스크라이빙 방법에 따르면, 기판(S)을 스크라이빙 유닛(300)으로 정확하고 안정적으로 이송하는 방법이 제시된다.Hereinafter, a scribing method according to an embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. According to the scribing method according to the embodiment of the present invention, a method of precisely and stably transferring the substrate S to the scribing unit 300 is presented.

이를 위해, 먼저, 복수의 벨트 이동량 측정 유닛(500)이 복수의 벨트(230)의 이동량을 실시간으로 측정한다(S10). 그리고, 제어 유닛(400)이 복수의 벨트(230) 중 적어도 어느 하나의 벨트(230)의 이동량이 기준 범위를 벗어나는지 여부를 판단한다(S20). 이때, 복수의 벨트(230) 중 적어도 하나의 벨트(230)의 이동량이 기준 범위를 벗어나는 것으로 판단된 경우, 제어 유닛(400)는 사용자에게 이를 알리거나, 스크라이빙 장치의 작동을 정지시킬 수 있다.To this end, first, a plurality of belt movement amount measurement units 500 measures the movement amounts of the plurality of belts 230 in real time (S10). Then, the control unit 400 determines whether the movement amount of at least one belt 230 of the plurality of belts 230 is out of the reference range (S20). At this time, when it is determined that the movement amount of at least one belt 230 of the plurality of belts 230 is out of the reference range, the control unit 400 informs the user or can stop the operation of the scriber have.

또한, 제어 유닛(400)은 이동량이 기준 범위를 벗어난 벨트(230)에 연결된 장력 조절 유닛(600)을 제어하여, 이동량이 기준 범위를 벗어난 벨트(230)의 장력이 자동으로 조절될 수 있도록 한다(S30).The control unit 400 also controls the tension adjustment unit 600 connected to the belt 230 whose movement amount is out of the reference range so that the tension of the belt 230 whose movement amount is out of the reference range can be automatically adjusted (S30).

이와 같은 과정을 통하여, 복수의 벨트(230) 모두의 장력이 균일해지며, 이에 따라, 복수의 벨트 사이의 이동량 편차가 발생되지 않으므로, 기판(S)이 복수의 벨트(230)에 의해 정확하고 안정적으로 이송될 수 있다.Through such a process, the tension of all of the plurality of belts 230 becomes uniform, and accordingly, the movement amount deviation between the plurality of belts is not generated, so that the substrate S is accurately corrected by the plurality of belts 230 And can be transported stably.

본 발명의 실시예에 따른 스크라이빙 장치 및 스크라이빙 방법에 따르면, 복수의 벨트(230)의 각각의 이동량을 실시간으로 측정하고, 그 이동량을 기반으로 복수의 벨트(230)의 각각의 장력을 조절할 수 있으므로, 복수의 벨트(230) 사이의 이동량 편차로 인해 기판(S)과 복수의 벨트(230) 사이에 마찰 및 슬립이 발생되는 것을 방지할 수 있고, 기판(S)과 복수의 벨트(230) 사이의 마찰 및 슬립으로 인하여 기판(S)이 정확한 방향으로 이송되지 않거나 기판(S) 및/또는 벨트(230)가 손상되는 것을 미연에 방지할 수 있다.According to the scribing apparatus and the scribing method according to the embodiment of the present invention, the movement amount of each of the plurality of belts 230 is measured in real time, and the tension of each of the plurality of belts 230 It is possible to prevent friction and slip between the substrate S and the plurality of belts 230 due to the deviation of the movement amount between the plurality of belts 230, It is possible to prevent the substrate S from being conveyed in the correct direction due to the friction and slip between the substrate S and the belt 230 and to prevent the substrate S and / or the belt 230 from being damaged.

본 발명의 바람직한 실시예가 예시적으로 설명되었으나, 본 발명의 범위는 이와 같은 특정 실시예에 한정되지 않으며, 특허청구범위에 기재된 범주 내에서 적절하게 변경될 수 있다.Although the preferred embodiments of the present invention have been described by way of example, the scope of the present invention is not limited to these specific embodiments, and can be appropriately changed within the scope of the claims.

230: 벨트
200: 기판 이송 유닛
300: 스크라이빙 유닛
320: 스크라이빙 헤드
400: 제어 유닛
500: 벨트 이동량 측정 유닛
600: 장력 조절 유닛230: belt
200: substrate transfer unit
300: scribing unit
320: scribing head
400: control unit
500: Belt movement amount measuring unit
600: tension control unit

Claims (5)

기판을 스크라이빙 유닛으로 이송하는 복수의 벨트를 포함하는 기판 이송 유닛;
상기 복수의 벨트에 각각 대응되게 설치되어 상기 복수의 벨트의 단위 시간당 이동량을 측정하는 복수의 벨트 이동량 측정 유닛; 및
상기 복수의 벨트 이동량 측정 유닛에 의하여 측정된 상기 복수의 벨트 중 적어도 하나의 벨트의 이동량이 기준 범위를 벗어나는지 여부를 판단하는 제어 유닛을 포함하는 스크라이빙 장치.A substrate transfer unit including a plurality of belts for transferring a substrate to a scribing unit;
A plurality of belt movement amount measurement units provided corresponding to the plurality of belts to measure a movement amount per unit time of the plurality of belts; And
And a control unit for determining whether or not a movement amount of at least one of the plurality of belts measured by the plurality of belt movement amount measurement units is out of a reference range. 청구항 1에 있어서,
상기 벨트 이동량 측정 유닛은,
상기 벨트와 접촉하도록 배치되는 측정 롤러; 및
상기 측정 롤러와 연결되어 상기 측정 롤러의 회전수를 측정하는 회전수 측정기를 포함하는 것을 특징으로 하는 스크라이빙 장치.The method according to claim 1,
Wherein the belt movement amount measuring unit comprises:
A measuring roller disposed in contact with the belt; And
And a rotation number measuring device connected to the measuring roller for measuring the number of revolutions of the measuring roller. 청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,
상기 복수의 벨트에 각각 대응되게 설치되어 상기 복수의 벨트의 장력을 각각 조절하는 복수의 장력 조절 유닛을 더 포함하고,
상기 제어 유닛은 상기 장력 조절 유닛을 제어하여, 이동량이 기준 범위를 벗어난 벨트의 장력을 조절하는 것을 특징으로 하는 스크라이빙 장치.The method according to claim 1 or 2,
Further comprising a plurality of tension adjusting units provided corresponding to the plurality of belts to respectively regulate the tension of the plurality of belts,
Wherein the control unit controls the tension adjusting unit to adjust the tension of the belt whose movement amount is out of the reference range. 청구항 3에 있어서,
상기 장력 조절 유닛은,
상기 벨트와 접촉하도록 배치되는 한 쌍의 고정 롤러;
상기 한 쌍의 고정 롤러 사이에 배치되어 상기 한 쌍의 고정 롤러에 대하여 상기 벨트와 함께 이동하도록 구성되는 이동 롤러; 및
상기 이동 롤러를 상기 한 쌍의 고정 롤러에 대하여 이동시키는 롤러 이동 모듈을 포함하는 것을 특징으로 하는 스크라이빙 장치.The method of claim 3,
The tension adjusting unit includes:
A pair of fixing rollers arranged to be in contact with the belt;
A moving roller disposed between the pair of fixing rollers and configured to move together with the pair of fixing rollers; And
And a roller moving module for moving the moving roller with respect to the pair of fixing rollers. 기판을 스크라이빙 유닛으로 이송하는 복수의 벨트를 포함하는 기판 이송 유닛을 사용하여 상기 기판에 스크라이빙 라인을 형성하는 스크라이빙 방법에 있어서,
상기 복수의 벨트의 각각의 단위 시간당 이동량을 측정하는 단계;
상기 복수의 벨트 중 적어도 하나의 벨트의 이동량이 기준 범위를 벗어나는지 여부를 판단하는 단계; 및
상기 이동량이 기준 범위를 벗어난 상기 벨트의 장력을 조절하는 단계를 포함하는 스크라이빙 방법.A scribing method for forming a scribing line on a substrate using a substrate transfer unit including a plurality of belts for transferring a substrate to a scribing unit,
Measuring a movement amount per unit time of each of the plurality of belts;
Determining whether a movement amount of at least one of the plurality of belts is out of a reference range; And
And adjusting the tension of the belt when the amount of movement is out of the reference range.
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