KR20190059572A - Apparatus for cutting substrate - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명은 기판을 절단하는 기판 절단 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a substrate cutting apparatus for cutting a substrate.
일반적으로, 평판 디스플레이에 사용되는 액정 디스플레이 패널, 유기 전계 발광 디스플레이 패널, 무기 전계 발광 디스플레이 패널, 투과형 프로젝터 기판, 반사형 프로젝터 기판 등은 유리와 같은 취성의 머더 글라스 패널(이하, '기판'이라 함)로부터 소정의 크기로 절단된 단위 글라스 패널(이하, '단위 기판'이라 함)을 사용한다.In general, a liquid crystal display panel, an organic electroluminescent display panel, an inorganic electroluminescent display panel, a transmissive projector substrate, a reflective projector substrate, and the like used in a flat panel display is a brittle mother glass panel (Hereinafter referred to as "unit substrate") is cut from the substrate 1 to a predetermined size.
기판을 단위 기판으로 절단하는 공정은, 기판이 절단될 절단 예정선을 따라 다이아몬드와 같은 재질의 스크라이빙 휠을 가압하면서 이동시켜 스크라이빙 라인을 형성하는 스크라이빙 공정을 포함한다.The step of cutting the substrate into unit substrates includes a scribing step of forming a scribing line by pressing and moving a scribing wheel made of a diamond-like material along a line along which the substrate is to be cut.
기판을 단위 기판으로 절단하는 공정 중에, 단위 기판에 포함되지 않는 더미 부분(컬릿(cullet), 즉, 단위 기판으로서 사용되지 않고 절단된 후 버려지는 비유효 영역)을 제거할 필요가 있다.It is necessary to remove a dummy portion (cullet, that is, a non-effective region that is not used as a unit substrate but is discarded after being cut out) that is not included in the unit substrate during the step of cutting the substrate into unit substrates.
일례로, 대한민국 공개특허 제10-2003-0069195호는 휠 팁을 사용하여 글라스 기판에 스크라이빙 라인을 형성한 후, 지지 장치에 설치된 척을 사용하여 액정 머더 기판의 절단편을 파지하여 절단편을 분리시키고 폐기하는 구성을 제시하고 있다.For example, in Korean Patent Laid-Open No. 10-2003-0069195, after a scribing line is formed on a glass substrate by using a wheel tip, a cut piece of the liquid crystal mother substrate is held using a chuck provided on a support device, Is separated and discarded.
그러나, 종래의 구성에서는 더미 부분을 제거하기 위한 구체적인 장치 구성이 충분히 제시되지 않고, 척을 효과적으로 제어하는 구성이 제시되지 않는다는 문제점이 있다.However, in the conventional configuration, a specific device configuration for removing the dummy portion is not sufficiently presented, and there is a problem that a configuration for effectively controlling the chuck is not presented.
본 발명은 상기한 종래 기술의 문제를 해결하기 위한 것으로, 본 발명의 목적은, 기판으로부터 더미 부분을 효율적으로 제거할 수 있는 기판 절단 장치를 제공하는 데에 있다.SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to provide a substrate cutting apparatus capable of efficiently removing a dummy portion from a substrate.
상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 실시예에 따른 기판 절단 장치는, 기판에 스크라이빙 라인을 형성하는 스크라이빙 유닛; 스크라이빙 유닛에 의해 기판의 더미 부분에 형성된 스크라이빙 라인을 따라 더미 부분을 기판으로부터 분할하도록, 더미 부분을 파지하는 클램프 부재 및 클램프 부재를 작동시키는 구동기를 포함하는 더미 제거 유닛; 및 구동기의 부하를 측정하는 부하 측정 모듈을 구비하여 부하 측정 모듈에 의해 측정된 구동기의 부하를 기준으로 클램프 부재의 가압력을 조절하는 제어 유닛을 포함할 수 있다.According to an aspect of the present invention, there is provided a substrate cutting apparatus including: a scribing unit that forms a scribing line on a substrate; A dummy removing unit including a clamp member for holding the dummy portion and a driver for actuating the clamp member so as to divide the dummy portion from the substrate along the scribing line formed in the dummy portion of the substrate by the scribing unit; And a control unit for controlling the pressing force of the clamping member based on the load of the driving unit measured by the load measuring module, and a load measuring module for measuring the load of the driving unit.
또한, 상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 실시예에 따른 기판 절단 장치는, 기판에 스크라이빙 라인을 형성하는 스크라이빙 유닛; 스크라이빙 유닛에 의해 기판의 더미 부분에 형성된 스크라이빙 라인을 따라 더미 부분을 기판으로부터 분할하도록, 더미 부분을 파지하는 클램프 부재 및 클램프 부재를 작동시키는 구동기를 포함하는 더미 제거 유닛; 및 구동기의 부하를 측정하는 부하 측정 모듈을 구비하여 부하 측정 모듈에 의해 측정된 구동기의 부하를 기준으로 기판으로부터 더미 부분이 제거되었는지 여부를 판단하는 제어 유닛을 포함할 수 있다.According to another aspect of the present invention, there is provided a substrate cutting apparatus including: a scribing unit for forming a scribing line on a substrate; A dummy removing unit including a clamp member for holding the dummy portion and a driver for actuating the clamp member so as to divide the dummy portion from the substrate along the scribing line formed in the dummy portion of the substrate by the scribing unit; And a load measuring module that measures a load of the driver, and may include a control unit that determines whether the dummy portion is removed from the substrate based on the load of the driver measured by the load measuring module.
더미 제거 유닛은, 클램프 부재를 포함하는 클램프 모듈; 클램프 모듈을 지지하는 지지대; 지지대를 지지대의 중심축을 기준으로 회전시키는 회전 모듈; 지지대를 수평으로 이동시키는 수평 이동 모듈; 및 지지대를 수직으로 이동시키는 수직 이동 모듈을 포함할 수 있다.The dummy removal unit includes a clamp module including a clamp member; A support for supporting the clamp module; A rotation module for rotating the support about a central axis of the support; A horizontal movement module for moving the support horizontally; And a vertical movement module for vertically moving the support.
클램프 모듈은 지지대에 복수로 구비될 수 있으며, 복수의 클램프 모듈은 지지대에 지지대의 길이 방향으로 이동 가능하게 설치되어 복수의 클램프 모듈 사이의 간격이 조절될 수 있다.A plurality of clamp modules may be provided on the support frame, and a plurality of clamp modules may be installed on the support frame so as to be movable in the longitudinal direction of the support frame so that the interval between the plurality of clamp modules may be adjusted.
클램프 모듈은, 베이스 부재; 베이스 부재에 대하여 이동 가능하게 설치되며 클램프 부재가 장착되는 몸체; 및 몸체를 베이스 부재에 대하여 이동시키는 위치 조절부를 포함할 수 있다.The clamp module includes: a base member; A body movably installed with respect to the base member and to which the clamp member is mounted; And a position adjusting unit for moving the body with respect to the base member.
클램프 부재의 기판에 대향하는 면에는 접촉 패드가 구비될 수 있다.A contact pad may be provided on a surface of the clamp member facing the substrate.
본 발명의 실시예에 따른 기판 절단 장치에 따르면, 한 쌍의 클램프 부재를 작동시키는 구동기의 부하를 기준으로 한 쌍의 클램프 부재의 가압력을 산출하고, 산출된 가압력을 기준 가압력과 비교하면서, 한 쌍의 클램프 부재의 가압력을 조절할 수 있다. 따라서, 한 쌍의 클램프 부재가 미리 설정된 기준 가압력으로 기판의 더미 부분을 파지할 수 있도록 할 수 있어, 기판으로부터 더미 부분을 원활하게 제거할 수 있다.According to the substrate cutting apparatus according to the embodiment of the present invention, the pressing force of the pair of clamp members is calculated based on the load of the driver that actuates the pair of clamp members, and the calculated pressing force is compared with the reference pressing force, It is possible to adjust the pressing force of the clamping member. Therefore, the pair of clamp members can hold the dummy portion of the substrate with the predetermined reference pressing force, and the dummy portion can be smoothly removed from the substrate.
본 발명의 실시예에 따른 기판 절단 장치에 따르면, 한 쌍의 클램프 부재를 작동시키는 구동기의 부하를 기준으로 한 쌍의 클램프 부재의 가압력을 산출하고, 산출된 가압력의 기준으로 기판으로부터 더미 부분이 제거되었는지 여부를 판단할 수 있다. 따라서, 기판으로부터 더미 부분을 제거하는 과정을 효율적으로 수행할 수 있다.According to the substrate cutting apparatus according to the embodiment of the present invention, the pressing force of the pair of clamp members is calculated based on the load of the driver that actuates the pair of clamp members, and the dummy portion is removed from the substrate on the basis of the calculated pressing force Or not. Therefore, the process of removing the dummy portion from the substrate can be efficiently performed.
도 1 및 도 2는 본 발명의 실시예에 따른 기판 절단 장치가 개략적으로 도시된 도면이다.
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 기판 절단 장치의 더미 제거 유닛이 개략적으로 도시된 사시도이다.
도 4 및 도 5는 본 발명의 실시예에 따른 기판 절단 장치의 더미 제거 유닛의 클램프 모듈이 개략적으로 도시된 도면이다.
도 6은 본 발명의 실시예에 따른 기판 절단 장치의 더미 제거 유닛의 클램프 모듈이 개략적으로 도시된 사시도이다.
도 7 및 도 8은 본 발명의 실시예에 따른 기판 절단 장치의 클리닝 유닛이 개략적으로 도시된 도면이다.
도 9 내지 도 15는 본 발명의 실시예에 따른 기판 절단 장치의 제1 이송 유닛, 스크라이빙 유닛, 더미 제거 유닛 및 제2 이송 유닛의 작동 과정이 순차적으로 도시된 도면이다.1 and 2 are views schematically showing a substrate cutting apparatus according to an embodiment of the present invention.
3 is a perspective view schematically showing a dummy removing unit of the substrate cutting apparatus according to the embodiment of the present invention.
4 and 5 are views schematically showing a clamp module of a dummy removing unit of a substrate cutting apparatus according to an embodiment of the present invention.
6 is a perspective view schematically showing a clamp module of a dummy removing unit of a substrate cutting apparatus according to an embodiment of the present invention.
7 and 8 are views schematically showing a cleaning unit of a substrate cutting apparatus according to an embodiment of the present invention.
FIGS. 9 to 15 are views sequentially showing operations of the first transfer unit, the scribing unit, the dummy removing unit, and the second transfer unit of the substrate cutting apparatus according to the embodiment of the present invention.
이하, 첨부된 도면을 참조하여, 본 발명의 실시예에 따른 기판 절단 장치에 대하여 설명한다.Hereinafter, a substrate cutting apparatus according to an embodiment of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.
본 발명의 실시예에 따른 기판 절단 장치에 의해 절단되는 대상은 제1 기판 및 제2 기판이 합착된 합착 기판일 수 있다. 예를 들면, 제1 기판은 박막 트랜지스터를 구비할 수 있고, 제2 기판은 컬러 필터를 구비할 수 있다. 이와 반대로, 제1 기판은 컬러 필터를 구비할 수 있고, 제2 기판은 박막 트랜지스터를 구비할 수 있다.The object to be cut by the substrate cutting apparatus according to the embodiment of the present invention may be a bonded substrate having the first substrate and the second substrate bonded together. For example, the first substrate may include a thin film transistor, and the second substrate may include a color filter. Conversely, the first substrate may include a color filter, and the second substrate may include a thin film transistor.
이하, 합착 기판을 간단히 기판이라고 하며, 외부로 노출된 제1 기판의 표면을 제1 면이라고 하고, 외부로 노출된 제2 기판의 표면을 제2 면이라고 한다.Hereinafter, the adhesion substrate is simply referred to as a substrate, the surface of the first substrate exposed to the outside is referred to as a first surface, and the surface of the second substrate exposed to the outside is referred to as a second surface.
또한, 기판 절단 공정이 수행될 기판이 이송되는 방향을 Y축 방향이라 정의하고, 기판이 이송되는 방향(Y축 방향)에 수직하는 방향을 X축 방향이라 정의한다. 그리고, 기판이 놓이는 X-Y평면에 수직인 방향을 Z축 방향이라 정의한다.The direction in which the substrate to be cut is to be transported is defined as the Y-axis direction, and the direction perpendicular to the direction in which the substrate is transported (Y-axis direction) is defined as the X-axis direction. A direction perpendicular to the X-Y plane on which the substrate is placed is defined as a Z-axis direction.
도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 기판 절단 장치는, 스크라이빙 유닛(30)과, 기판(S)을 스크라이빙 유닛(30)으로 이송하는 제1 이송 유닛(10)과, 기판(S)을 스크라이빙 유닛(30)으로부터 후속 공정으로 이송하는 제2 이송 유닛(20)과, 스크라이빙 유닛(30)에 인접하게 배치되는 더미 제거 유닛(40)과, 기판 절단 장치의 구성 요소의 작동을 제어하는 제어 유닛(90)(도 4 및 도 5 참조)을 포함할 수 있다.1 and 2, a substrate cutting apparatus according to an embodiment of the present invention includes a
스크라이빙 유닛(30)은 기판(S)의 제1 면 및 제2 면에 X축 방향으로 스크라이빙 라인을 각각 형성하도록 구성된다.The
스크라이빙 유닛(30)은 X축 방향으로 연장되는 제1 프레임(31)과, 제1 프레임(31)에 X축 방향으로 이동 가능하게 설치되는 제1 스크라이빙 헤드(32)와, 제1 프레임(31)의 아래에서 제1 프레임(31)과 평행하게 X축 방향으로 연장되는 제2 프레임(33)과, 제2 프레임(33)에 X축 방향으로 이동 가능하게 설치되는 제2 스크라이빙 헤드(34)를 포함할 수 있다.The
제1 프레임(31)에는 X축 방향으로 복수의 제1 스크라이빙 헤드(32)가 장착될 수 있으며, 제2 프레임(33)에는 X축 방향으로 복수의 제2 스크라이빙 헤드(34)가 장착될 수 있다. 제1 프레임(31) 및 제2 프레임(33) 사이에는 기판(S)이 통과하는 공간이 형성될 수 있다. 제1 프레임(31) 및 제2 프레임(33)은 개별적인 부재로서 제작되어 조립될 수 있거나, 일체로 제작될 수 있다.A plurality of first
제1 스크라이빙 헤드(32) 및 제2 스크라이빙 헤드(34)는 Z축 방향으로 서로 대향하게 배치될 수 있다.The first scribing
제1 및 제2 스크라이빙 헤드(32, 34)에는 스크라이빙 휠(351)을 유지하는 휠 홀더(35)가 설치될 수 있다. 제1 스크라이빙 헤드(32)에 장착되는 스크라이빙 휠(351)과 제2 스크라이빙 헤드(34)에 장착되는 스크라이빙 휠(351)은 Z축 방향으로 서로 대향하게 배치될 수 있다.The first and second scribing
한 쌍의 스크라이빙 휠(351)은 각각 기판(S)의 제1 및 제2 면에 가압될 수 있다. 한 쌍의 스크라이빙 휠(351)이 기판(S)의 제1 및 제2 면에 각각 가압된 상태에서 제1 및 제2 스크라이빙 헤드(32, 34)가 기판(S)에 대하여 상대적으로 X축 방향으로 이동되는 것에 의해, 기판(S)의 제1 및 제2 면에는 X축 방향으로 스크라이빙 라인이 형성될 수 있다.A pair of scribing
한편, 제1 및 제2 스크라이빙 헤드(32, 34)는 각각 제1 및 제2 프레임(31, 33)에 대하여 Z축 방향으로 이동 가능하게 구성될 수 있다. 이를 위해, 제1 및 제2 스크라이빙 헤드(32, 34) 및 제1 및 제2 프레임(31, 33) 사이에는 공압 또는 유압을 사용하는 액추에이터, 전자기적 상호 작용에 의해 작동되는 리니어 모터, 또는 볼 스크류 기구와 같은 직선 이동 기구가 구비될 수 있다.On the other hand, the first and second
제1 및 제2 스크라이빙 헤드(32, 34)는 각각 제1 및 제2 프레임(31, 33)에 대하여 Z축 방향으로 이동함에 따라, 한 쌍의 스크라이빙 휠(351)이 기판(S)에 가압되거나 기판(S)으로부터 이격될 수 있다. 그리고, 제1 및 제2 스크라이빙 헤드(32, 34)가 Z축 방향으로 이동하는 정도를 조절하는 것에 의해, 한 쌍의 스크라이빙 휠(351)이 기판(S)에 가하는 가압력이 조절될 수 있다. 또한, 제1 및 제2 스크라이빙 헤드(32, 34)가 Z축 방향으로 이동되는 것에 의해, 한 쌍의 스크라이빙 휠(351)의 기판(S)으로의 절삭 깊이가 조절될 수 있다.As the first and second scribing
제1 이송 유닛(10)은 기판(S)을 지지하는 복수의 벨트(11)와, 복수의 벨트(11) 상에 지지된 기판(S)의 후행단을 파지하는 파지 부재(12)와, 파지 부재(12)와 연결되며 X축 방향으로 연장되는 지지바(13)와, 지지바(13)와 연결되며 Y축 방향으로 연장되는 제1 가이드 레일(14)과, 스크라이빙 유닛(30)에 인접하게 배치되어 기판(S)을 부양시키거나 흡착하여 지지하는 제1 플레이트(15)를 포함할 수 있다.The
복수의 벨트(11)는 X축 방향으로 서로 이격될 수 있다. 각 벨트(11)는 복수의 풀리(111)에 의해 지지되며, 복수의 풀리(111) 중 적어도 하나는 벨트(11)를 회전시키는 구동력을 제공하는 구동 풀리일 수 있다.The plurality of
지지바(13)와 제1 가이드 레일(14) 사이에는 공압 또는 유압을 사용하는 액추에이터, 전자기적 상호 작용에 의해 작동되는 리니어 모터, 또는 볼 스크류 기구와 같은 직선 이동 기구가 구비될 수 있다. 따라서, 파지 부재(12)가 기판(S)을 파지한 상태에서 지지바(13)가 직선 이동 기구에 의해 Y축 방향으로 이동됨에 따라, 기판(S)이 Y축 방향으로 이송될 수 있다. 이때, 복수의 벨트(11)는 파지 부재(12)의 이동과 동기화되어 회전하면서 기판(S)을 안정적으로 지지할 수 있다.Between the
파지 부재(12)는 기판(S)을 가압하여 유지하는 클램프일 수 있다. 다른 예로서, 파지 부재(12)는 진공원과 연결된 진공홀을 구비하여 기판(S)을 흡착하도록 구성될 수 있다.The gripping
제1 플레이트(15)는 기판(S)을 부양시키거나 흡착할 수 있도록 구성될 수 있다. 예를 들면, 제1 플레이트(15)의 표면에는 가스 공급원 및 진공원과 연결되는 복수의 슬롯이 형성될 수 있다. 가스 공급원으로부터 제1 플레이트(15)의 복수의 슬롯으로 가스가 공급되는 경우, 기판(S)이 제1 플레이트(15)로부터 부양될 수 있다. 또한, 진공원에 의해 형성된 부압에 의해 제1 플레이트(15)의 복수의 슬롯을 통하여 가스가 흡입되는 경우, 기판(S)이 제1 플레이트(15)에 흡착될 수 있다.The
기판(S)이 제1 플레이트(15)로부터 부양된 상태에서 기판(S)은 제1 플레이트(15)와 마찰 없이 이동될 수 있다. 그리고, 기판(S)의 제1 및 제2 면에 스크라이빙 라인이 형성되는 과정에서, 기판(S)은 제1 플레이트(15)에 흡착되어 고정될 수 있다.The substrate S can be moved without friction with the
제2 이송 유닛(20)은, 스크라이빙 유닛(30)에 인접하게 배치되어 흡착 기판(S)을 부양시키거나 흡착하여 지지하는 제2 플레이트(25)와, 제2 플레이트(25)에 인접하게 배치되는 이송 벨트(21)와, 제2 플레이트(25) 및 이송 벨트(21)를 Y축 방향으로 왕복으로 이동시키는 이동 장치(26)를 포함할 수 있다. 이동 장치(26)는 Y축 방향으로 연장되는 제2 가이드 레일(24)을 따라 제2 플레이트(25) 및 이송 벨트(21)를 Y축 방향으로 왕복으로 이동시키는 역할을 한다. 이동 장치(26)로는 공압 또는 유압을 사용하는 액추에이터, 전자기적 상호 작용에 의해 작동되는 리니어 모터, 또는 볼 스크류 기구와 같은 직선 이동 기구가 적용될 수 있다.The
제2 플레이트(25)와 이송 벨트(21)는 함께 Y축 방향으로 이동 가능하게 구성될 수 있다. 즉, 제2 플레이트(25)와 이송 벨트(21)는 기판(S)이 이송되는 방향과 평행한 방향(Y축 방향)으로 함께 이동 가능하게 구성될 수 있다.The
스크라이빙 유닛(30)에 의해 기판(S)의 제1 및 제2 면에 각각 스크라이빙 라인이 형성될 때, 제2 플레이트(25)는 제1 플레이트(15)를 향하여 이동되며, 제1 플레이트(15)와 제2 플레이트(25) 사이에 제1 및 제2 스크라이빙 헤드(32, 34)가 위치될 수 있다. 스크라이빙 유닛(30)에 의해 기판(S)의 제1 및 제2 면에 각각 스크라이빙 라인이 형성될 때, 제2 플레이트(25)가 제1 플레이트(15)를 향하여 이동되므로, 기판(S)이 제1 플레이트(15) 및 제2 플레이트(25) 모두에 안정적으로 지지될 수 있다.When the scribing line is formed on the first and second surfaces of the substrate S by the
이송 벨트(21)는 복수로 구비될 수 있으며, 복수의 이송 벨트(21)는 X축 방향으로 서로 이격될 수 있다. 각 이송 벨트(21)는 복수의 풀리(211)에 의해 지지되며, 복수의 풀리(211) 중 적어도 하나는 이송 벨트(21)를 회전시키는 구동력을 제공하는 구동 풀리일 수 있다.A plurality of
제2 플레이트(25)는 기판(S)을 부양시키거나 흡착할 수 있도록 구성될 수 있다. 예를 들면, 제2 플레이트(25)의 표면에는 가스 공급원 및 진공원과 연결되는 복수의 슬롯이 형성될 수 있다. 가스 공급원으로부터 제2 플레이트(25)의 복수의 슬롯으로 가스가 공급되는 경우, 기판(S)이 제2 플레이트(25)로부터 부양될 수 있다. 또한, 진공원에 의해 형성된 부압에 의해 제2 플레이트(25)의 복수의 슬롯을 통하여 가스가 흡입되는 경우, 기판(S)이 제2 플레이트(25)에 흡착될 수 있다.The
기판(S)이 제2 플레이트(25)로 이송되는 과정에서, 제2 플레이트(25)의 슬롯으로 가스가 공급되며, 이에 따라, 기판(S)이 제2 플레이트(25)와 마찰 없이 이동될 수 있다.During the transfer of the substrate S to the
그리고, 기판(S)의 제1 및 제2 면에 스크라이빙 라인이 형성되는 과정에서, 흡착 기판(S)은 제2 플레이트(25)에 흡착되어 고정될 수 있다.In the process of forming scribing lines on the first and second surfaces of the substrate S, the adsorption substrate S may be adsorbed on the
그리고, 기판(S)의 제1 및 제2 면에 각각 스크라이빙 라인이 형성된 이후에, 기판(S)이 제1 플레이트(15) 및 제2 플레이트(25)에 흡착된 상태에서, 제2 플레이트(25)가 제1 플레이트(15)로부터 멀어지게 이동됨에 따라, 기판(S)이 스크라이빙 라인을 기준으로 분할될 수 있다.After the scribing lines are formed on the first and second surfaces of the substrate S, the substrate S is attracted to the
한편, 기판(S)이 제2 플레이트(25)로부터 후속 공정으로 이동하는 과정에서, 제2 플레이트(25)의 슬롯으로 가스가 공급되며, 이에 따라, 기판(S)은 제2 플레이트(25)와 마찰 없이 이동될 수 있다.The gas is supplied to the slot of the
도 3 내지 도 5에 도시된 바와 같이, 더미 제거 유닛(40)은 기판(S)의 선행단의 가장자리 및 기판(S)의 후행단의 가장자리에 위치된 더미 부분(컬릿(cullet), 즉, 단위 기판으로서 사용되지 않고 절단된 후 버려지는 비유효 영역)을 파지하여 기판(S)으로부터 제거하는 역할을 한다.3 to 5, the
더미 제거 유닛(40)은 제1 이송 유닛(10) 및 제2 이송 유닛(20) 사이에 배치될 수 있다.The
더미 제거 유닛(40)은 X축 방향으로 연장되는 지지대(41)와, 지지대(41)에 배치되는 클램프 모듈(42)과, 지지대(41)를 지지대(41)의 중심축(X축 방향과 평행한 축)을 중심으로 회전시키는 회전 모듈(43)과, 지지대(41)를 Y축 방향으로 이동시키는 수평 이동 모듈(44)과, 지지대(41)를 Z축 방향으로 이동시키는 수직 이동 모듈(45)을 포함할 수 있다.The
회전 모듈(43)은 지지대(41)의 회전 중심축에 회전축을 통하여 연결된 회전 모터로 구성될 수 있다. 회전 모듈(43)은 회전 모터의 회전축과 지지대(41) 사이에 구비되는 링크, 벨트 등의 동력 전달 기구를 포함할 수 있다.The
수평 이동 모듈(44) 또는 수직 이동 모듈(45)은 공압 또는 유압을 사용하는 액추에이터, 전자기적 상호 작용에 의해 작동되는 리니어 모터, 또는 볼 스크류 기구와 같은 직선 이동 기구로서 구성될 수 있다.The
도 3은 회전 모듈(43), 수평 이동 모듈(44) 및 수직 이동 모듈(45)이 지지대(41)의 양측에 각각 구비된 구성을 도시한다. 다만, 본 발명은 이에 한정되지 않으며, 회전 모듈(43), 수평 이동 모듈(44) 및 수직 이동 모듈(45)이 지지대(41)의 어느 일측에 구비되고 지지대(41)의 타측에 지지대(41)의 회전, 수평 이동 및 수직 이동을 안내하는 안내 수단이 구비되는 구성이 적용될 수 있다.3 shows a configuration in which the
복수의 클램프 모듈(42)이 지지대(41)를 따라 X축 방향으로 배치될 수 있다. 클램프 모듈(42)은 지지대(41)를 따라 연장된 가이드(411)를 따라 X축 방향으로 이동 가능하게 설치될 수 있다. 이를 위해, 클램프 모듈(42)과 가이드(411) 사이에는 공압 또는 유압을 사용하는 액추에이터, 전자기적 상호 작용에 의해 작동되는 리니어 모터, 또는 볼 스크류 기구와 같은 직선 이동 기구가 구비될 수 있다. 따라서, 복수의 클램프 모듈(42)이 직선 이동 기구에 의해 X축 방향으로 이동됨에 따라, 복수의 클램프 모듈(42) 사이의 간격이 조절될 수 있다. 따라서, 복수의 클램프 모듈(42)이 기판(S)의 폭에 적절하게 대응하게 배치되어 기판(S)을 안정적으로 파지할 수 있다.A plurality of
클램프 모듈(42)은, 지지대(41)에 분리 가능하게 결합되는 베이스 부재(421)와, 베이스 부재(421)에 이동 가능하게 설치되는 몸체(423)와, 몸체(423)에 장착되고 서로 인접하게 이동되거나 서로 이격되게 이동되는 한 쌍의 클램프 부재(424)와, 한 쌍의 클램프 부재(424)를 구동하는 구동기(427)를 포함할 수 있다.The
베이스 부재(421)는 지지대(41)에 분리 가능하게 고정되며, 이에 따라, 클램프 모듈(42)이 지지대(41)에 지지될 수 있다.The
한 쌍의 클램프 부재(424)가 기판(S)을 사이에 두고 서로 인접하게 이동되는 것에 의해 기판(S)의 더미 부분이 한 쌍의 클램프 부재(424)에 의해 파지될 수 있다. 도 4 및 도 5에 도시된 바와 같이, 한 쌍의 클램프 부재(424)는 각각의 중심축을 기준으로 회전되는 것에 의해 서로 인접하거나 이격되게 이동될 수 있다. 이를 위해, 구동기(427)로부터의 구동력을 한 쌍의 클램프 부재(424)를 회전시키기 위한 회전력으로 변환하는 기구가 구비될 수 있다. 다만, 본 발명은 이러한 구성에 한정되지 않으며, 한 쌍의 클램프 부재(424)는 직선형으로 이동되도록 구성될 수 있다. 이를 위해, 구동기(427)로부터의 구동력을 한 쌍의 클램프 부재(424)를 직선형으로 이동시키기 위한 구동력으로 변환하는 기구가 구비될 수 있다.The dummy portion of the substrate S can be gripped by the pair of
한 쌍의 클램프 부재(424)의 서로 마주보는 면, 즉, 한 쌍의 클램프 부재(424)의 기판(S)의 더미 부분에 대향하는 면에는 접촉 패드(425)가 구비될 수 있다. 접촉 패드(425)는 우레탄과 같은 연질 재질로 이루어질 수 있다. 접촉 패드(425)는 한 쌍의 클램프 부재(424)가 기판(S)의 더미 부분을 파지할 때 발생하는 충격을 흡수하여 한 쌍의 클램프 부재(424) 또는 기판(S)이 파손되는 것을 방지한다. 또한, 접촉 패드(425)는 한 쌍의 클램프 부재(424)가 균일한 가압력으로 기판(S)의 더미 부분을 파지할 수 있도록 한다.The
몸체(423)는 베이스 부재(421)에 대하여 이동 가능하게 구성될 수 있다. 이에 따라, 베이스 부재(421)에 대한 몸체(423)의 위치가 조절될 수 있다. 베이스 부재(421)에 대한 몸체(423)의 위치가 조절되는 것에 의해 한 쌍의 클램프 부재(424)의 위치가 정밀하게 조절될 수 있다. 예를 들면, 몸체(423)는 베이스 부재(421)에 대하여 X축 방향, Y축 방향 및/또는 Z축 방향으로 이동 가능하게 구성될 수 있다. 따라서, 베이스 부재(421)에 대한 몸체(423)의 X축 방향, Y축 방향 및/또는 Z축 방향으로의 위치가 조절될 수 있으며, 이에 따라, 한 쌍의 클램프 부재(424)의 X축 방향, Y축 방향 및/또는 Z축 방향으로의 위치가 조절될 수 있다.The
베이스 부재(421)에 대한 몸체(423)의 위치를 조절하기 위해 베이스 부재(421)와 몸체(423) 사이에는 위치 조절부(422)가 구비될 수 있다. 예를 들면, 위치 조절부(422)는 나사와, 나사를 회전시키는 회전 기구를 포함할 수 있다. 따라서, 나사가 회전 기구에 의해 회전되는 것에 의해, 몸체(423)이 베이스 부재(421)에 대하여 이동될 수 있으며, 이에 따라, 한 쌍의 클램프 부재(424)의 위치가 조절될 수 있다. 위치 조절부(422)의 나사는 작업자가 수동으로 조작할 수 있도록 구성될 수 있다.A
특히, 지지대(41)에 복수의 클램프 모듈(42)이 구비되는 경우, 복수의 클램프 모듈(42)의 위치 조절부(422)를 통해 복수의 클램프 모듈(42) 각각의 한 쌍의 클램프 부재(424)의 위치를 조절할 수 있으며, 이에 따라, 복수의 클램프 모듈(42)이 기판(S)의 더미 부분을 균일하게 파지할 수 있도록 한다. 복수의 클램프 모듈(42)이 기판(S)의 더미 부분을 균일하게 파지하므로, 기판(S)으로부터 더미 부분을 제거하는 과정에서 기판(S)의 휘어짐 등의 변형을 방지할 수 있다.Particularly, when a plurality of
구동기(427)는 전기 모터, 특히, 서보 모터로 구성될 수 있다. 다른 예로서, 구동기(427)는 공압 또는 유압을 사용하는 액추에이터, 전자기적 상호 작용에 의해 작동되는 리니어 모터, 또는 볼 스크류 기구 등으로 구성될 수 있다. 구동기(427)는 구동기(427)로 공급되는 전력을 이용하여 한 쌍의 클램프 부재(424)를 구동하는 역할을 한다.
구동기(427)의 부하에 따라 한 쌍의 클램프 부재(424)가 기판(S)의 더미 부분을 파지하는 가압력이 달라질 수 있다. 한 쌍의 클램프 부재(424)가 기판(S)의 더미 부분을 가압함에 따라 구동기(427)의 부하가 증가할 수 있다. 기판(S)의 더미 부분의 두께가 커지는 경우, 한 쌍의 클램프 부재(424)가 기판(S)의 더미 부분을 적절하게 파지할 수 있도록 구동기(427)의 부하가 증가할 수 있다. 예를 들면, 구동기(427)가 회전 모터인 경우 구동기(427)의 부하는 토크일 수 있다.The pressing force by which the pair of
구동기(427)는 제어 유닛(90)과 연결되어 제어 유닛(90)에 의해 제어될 수 있다. 제어 유닛(90)은 구동기(427)의 부하를 측정하는 부하 측정 모듈(91)을 포함할 수 있다.The
한 쌍의 클램프 부재(424)가 기판(S)의 더미 부분을 소정의 가압력으로 가압하는 경우, 구동기(427)에는 소정의 부하가 작용한다. 따라서, 구동기(427)의 부하를 측정하는 것에 의해 한 쌍의 클램프 부재(424)에 의해 기판(S)의 더미 부분에 가해지는 가압력을 측정할 수 있다.When a pair of
부하 측정 모듈(91)은 구동기(427)의 부하를 실시간으로 측정할 수 있다. 제어 유닛(90)은 부하 측정 모듈(91)에 의해 측정된 구동기(427)의 부하를 기준으로 한 쌍의 클램프 부재(424)가 기판(S)의 더미 부분에 가하는 가압력을 산출할 수 있다.The
이를 위해, 구동기(427)의 부하를 증가시키는 것에 의해 한 쌍의 클램프 부재(424)의 가압력을 증가시키면서, 구동기(427)의 부하의 변화에 따른 한 쌍의 클램프 부재(424)의 가압력의 변화를 측정하는 실험이나 시뮬레이션이 선행될 수 있다. 이러한 실험 또는 시뮬레이션에 의해 구동기(427)의 부하 변화에 따른 한 쌍의 클램프 부재(424)의 가압력의 변화에 관한 데이터가 획득될 수 있다. 제어 유닛(90)은 이러한 데이터 및 실시간으로 측정되는 구동기(427)의 부하를 기준으로, 한 쌍의 클램프 부재(424)의 가압력을 산출할 수 있다.The pressing force of the pair of
또한, 한 쌍의 클램프 부재(424)가 기판(S)의 더미 부분을 적절하게 파지하는 경우의 가압력이 기준 가압력으로서 미리 설정될 수 있다. 이러한 기준 가압력은 기판(S)의 두께, 재질 등 기판(S)의 특성에 따라 달라질 수 있다. 따라서, 기판(S)의 특성에 따른 복수의 기준 가압력이 실험 또는 시뮬레이션에 의해 미리 설정될 수 있다.Further, the pressing force when the pair of
제어 유닛(90)은 이러한 기준 가압력을 기준으로 한 쌍의 클램프 부재(424)가 기판(S)의 더미 부분을 적절하게 파지하는지 여부를 판단할 수 있다. 제어 유닛(90)은 부하 측정 모듈(91)에 의해 측정된 구동기(427)의 부하를 기준으로 한 쌍의 클램프 부재(424)가 기판(S)의 더미 부분에 가하는 가압력을 산출한다.The
그리고, 제어 유닛(90)은 한 쌍의 클램프 부재(424)의 산출된 가압력과 기준 가압력을 비교하여, 한 쌍의 클램프 부재(424)의 산출된 가압력이 기준 가압력의 범위 내에 있는 경우, 한 쌍의 클램프 부재(424)가 기판(S)의 더미 부분을 적절한 가압력으로 파지하고 있는 것으로 판단할 수 있다. 또한, 제어 유닛(90)은 한 쌍의 클램프 부재(424)의 산출된 가압력과 기준 가압력을 비교하여, 한 쌍의 클램프 부재(424)의 산출된 가압력이 기준 가압력의 범위를 벗어나는 경우, 한 쌍의 클램프 부재(424)가 기판(S)의 더미 부분을 적절한 가압력으로 파지하지 않은 것으로 판단할 수 있다.Then, the
한 쌍의 클램프 부재(424)의 산출된 가압력이 기준 가압력에 비하여 큰 경우, 제어 유닛(90)은 구동기(427)의 부하를 감소시킬 수 있으며, 한 쌍의 클램프 부재(424)의 산출된 가압력이 기준 가압력에 비하여 작은 경우, 제어 유닛(90)은 구동기(427)의 부하를 증가시킬 수 있다. 제어 유닛(90)에 의해 구동기(427)의 부하를 조절하여 한 쌍의 클램프 부재(424)의 가압력을 조절하는 공정을 수행한 이후, 한 쌍의 클램프 부재(424)에 의해 더미 부분을 제거하는 공정이 진행될 수 있다.When the calculated pressing force of the pair of
따라서, 본 발명의 실시예에 따른 기판 절단 장치에 따르면, 한 쌍의 클램프 부재(424)가 기판(S)의 더미 부분을 적절한 가압력으로 파지하여 기판(S)의 더미 부분을 기판(S)으로부터 용이하게 제거할 수 있도록 할 수 있다.Therefore, according to the substrate cutting apparatus according to the embodiment of the present invention, the pair of
또한, 다른 예로서, 제어 유닛(90)은 이러한 기준 가압력을 기준으로 기판(S)으로부터 더미 부분이 제거되었는지 여부를 판단할 수 있다. 한 쌍의 클램프 부재(424)를 이용하여 더미 부분을 기판(S)으로부터 제거하는 공정을 수행한 후, 제어 유닛(90)은 한 쌍의 클램프 부재(424)를 기존에 더미 부분이 있었던 위치에 위치시킨 후 한 쌍의 클램프 부재(424)를 작동시킨다. 이때, 더미 부분이 기판(S)으로부터 제거된 경우, 한 쌍의 클램프 부재(424)가 서로 인접되게 이동하여도 기판(S)의 더미 부분이 파지되지 않으므로, 구동기(427)의 부하가 한 쌍의 클램프 부재(424)의 기준 가압력에 대응하는 기준 부하를 초과하지 않는다. 반면, 더미 부분이 기판(S)으로부터 제거되지 않은 경우, 한 쌍의 클램프 부재(424)에 의해 제거되지 않은 더미 부분이 파지되므로, 구동기(427)의 부하가 한 쌍의 클램프 부재(424)의 기준 가압력에 대응하는 기준 부하 이상이 된다.Further, as another example, the
따라서, 제어 유닛(90)은 부하 측정 모듈(91)에 의해 측정된 구동기(427)의 부하가 기준 부하를 초과하는지 여부를 판단하고, 이를 기준으로 더미 부분이 기판(S)으로부터 제거되었는지 여부를 판단할 수 있다.Thus, the
한편, 도 4 내지 도 6에 도시된 바와 같이, 더미 제어 유닛(40)은 클램프 모듈(42)에 구비되어 한 쌍의 클램프 부재(424) 사이의 간격을 측정하는 간격 측정 유닛(50)이 구비될 수 있다.4 to 6, the
한 쌍의 클램프 부재(424)가 각각 중심축을 기준으로 회전되는 구성인 경우, 간격 측정 유닛(50)은 한 쌍의 클램프 부재(424)의 회전량을 측정하는 것에 의해, 한 쌍의 클램프 부재(424) 사이의 간격을 측정할 수 있다. 다른 예로서, 한 쌍의 클램프 부재(424)가 직선형으로 이동되는 구성인 경우, 간격 측정 유닛(50)은 한 쌍의 클램프 부재(424)의 직선 이동량을 측정하는 것에 의해, 한 쌍의 클램프 부재(424) 사이의 간격을 측정할 수 있다.In the case where the pair of
예를 들면, 도 6에 도시된 바와 같이, 간격 측정 유닛(50)은 몸체(423)에 구비되는 기준 부재(51)와, 한 쌍의 클램프 부재(424) 중 어느 하나에 구비되는 감지 부재(52)를 포함할 수 있다. 다른 예로서, 기준 부재(51)가 한 쌍의 클램프 부재(424) 중 어느 하나에 구비될 수 있고, 감지 부재(52)가 몸체(423)에 구비될 수 있다. 또 다른 예로서, 기준 부재(51)가 한 쌍의 클램프 부재(424) 중 어느 하나에 구비될 수 있고, 감지 부재(52)가 한 쌍의 클램프 부재(424) 중 다른 하나에 구비될 수 있다. 또 다른 예로서, 기준 부재(51)가 몸체(423)에 구비될 수 있고, 한 쌍의 감지 부재(52)가 한 쌍의 클램프 부재(424)에 각각 구비될 수 있다. 또 다른 예로서, 감지 부재(52)가 몸체(423)에 구비될 수 있고, 한 쌍의 기준 부재(51)가 한 쌍의 클램프 부재(424)에 각각 구비될 수 있다.6, the
간격 측정 유닛(50)은 기준 부재(51)와 감지 부재(52)의 상호 작용을 이용하여 한 쌍의 클램프 부재(424)의 변위를 측정하여, 한 쌍의 클램프 부재(424) 사이의 간격을 측정한다.The
일 예로서, 기준 부재(51)는 소정의 눈금을 가지는 스케일로 구성될 수 있고, 감지 부재(52)는 스케일을 촬상하는 카메라로 구성될 수 있다. 이러한 경우, 감지 부재(52)에 의하여 촬상된 스케일의 이미지를 기준으로 기준 부재(51)와 감지 부재(52) 사이의 상대 위치를 측정하고, 측정된 상대 위치를 기준으로 한 쌍의 클램프 부재(424)의 변위를 측정할 수 있다.As an example, the
다른 예로서, 기준 부재(51)는 위치에 따라 반사 각도가 달라지는 반사면으로 구성될 수 있고, 감지 부재(52)는 반사면을 향하여 광을 발광하는 발광 센서와 반사면에서 반사되는 광을 수광하는 수광 센서로 구성될 수 있다. 이러한 경우, 반사면에서 반사되는 광의 반사 각도를 측정하는 것에 의해, 기준 부재(51)와 감지 부재(52) 사이의 상대 위치를 측정하고, 측정된 상대 위치를 기준으로 한 쌍의 클램프 부재(424)의 변위를 측정할 수 있다.As another example, the
이와 같은 구성에 따르면, 기판(S)의 더미 부분을 파지하기 위해 한 쌍의 클램프 부재(424)가 서로 인접되게 이동될 때, 기준 부재(51) 및 감지 부재(52) 사이의 상대 위치가 변하게 되며, 이러한 상대 위치 변화를 기준으로 한 쌍의 클램프 부재(424) 사이의 간격을 측정할 수 있다.The relative position between the
간격 측정 유닛(50)은 한 쌍의 클램프 부재(424) 사이의 간격을 실시간으로 측정하며, 측정된 간격을 제어 유닛(90)으로 전송한다.The
제어 유닛(90)은 간격 측정 유닛(50)에 의해 측정된 한 쌍의 클램프 부재(424) 사이의 간격을 기준으로 한 쌍의 클램프 부재(424)가 기판(S)의 더미 부분을 적절하게 파지하는지 여부를 판단할 수 있다.The
이를 위해, 한 쌍의 클램프 부재(424) 사이의 간격의 변화에 따른 한 쌍의 클램프 부재(424)의 가압력의 변화를 측정하는 실험이나 시뮬레이션이 선행될 수 있다. 이러한 실험 또는 시뮬레이션에 의해 한 쌍의 클램프 부재(424) 사이의 간격 변화에 따른 한 쌍의 클램프 부재(424)의 가압력 변화에 관한 데이터가 획득될 수 있다.For this purpose, an experiment or a simulation for measuring a change in the pressing force of the pair of
또한, 한 쌍의 클램프 부재(424)가 기판(S)의 더미 부분을 적절하게 파지하는 경우의 가압력이 기준 가압력으로서 미리 설정될 수 있다. 이러한 기준 가압력은 기판(S)의 두께, 재질 등 기판(S)의 특성에 따라 달라질 수 있다. 따라서, 기판(S)의 특성에 따른 복수의 기준 가압력이 실험 또는 시뮬레이션에 의해 미리 설정될 수 있다.Further, the pressing force when the pair of
제어 유닛(90)은 이러한 기준 가압력을 기준으로 한 쌍의 클램프 부재(424)가 기판(S)의 더미 부분을 적절하게 파지하는지 여부를 판단할 수 있다. 제어 유닛(90)은 간격 측정 유닛(50)에 의해 측정된 한 쌍의 클램프 부재(424) 사이의 간격을 기준으로 한 쌍의 클램프 부재(424)가 기판(S)의 더미 부분에 가하는 가압력을 산출한다.The
그리고, 제어 유닛(90)은 한 쌍의 클램프 부재(424)의 산출된 가압력과 기준 가압력을 비교하여, 한 쌍의 클램프 부재(424)의 산출된 가압력이 기준 가압력의 범위 내에 있는 경우, 한 쌍의 클램프 부재(424)가 기판(S)의 더미 부분을 적절한 가압력으로 파지하고 있는 것으로 판단할 수 있다. 또한, 제어 유닛(90)은 한 쌍의 클램프 부재(424)의 산출된 가압력과 기준 가압력을 비교하여, 한 쌍의 클램프 부재(424)의 산출된 가압력이 기준 가압력의 범위를 벗어나는 경우, 한 쌍의 클램프 부재(424)가 기판(S)의 더미 부분을 적절한 가압력으로 파지하지 않은 것으로 판단할 수 있다.Then, the
한 쌍의 클램프 부재(424)의 산출된 가압력이 기준 가압력에 비하여 큰 경우, 제어 유닛(90)은 구동기(427)를 제어하여 한 쌍의 클램프 부재(424) 사이의 간격을 증가시킬 수 있다. 또한, 한 쌍의 클램프 부재(424)의 산출된 가압력이 기준 가압력에 비하여 작은 경우, 제어 유닛(90)은 구동기(427)를 제어하여 한 쌍의 클램프 부재(424) 사이의 간격을 감소시킬 수 있다. 제어 유닛(90)에 의해 한 쌍의 클램프 부재(424) 사이의 간격을 조절하여 한 쌍의 클램프 부재(424)의 가압력을 조절하는 공정을 수행한 이후, 한 쌍의 클램프 부재(424)에 의해 더미 부분을 제거하는 공정이 진행될 수 있다.When the calculated pressing force of the pair of
따라서, 본 발명의 실시예에 따른 기판 절단 장치에 따르면, 한 쌍의 클램프 부재(424)가 기판(S)의 더미 부분을 적절한 가압력으로 파지하여 기판(S)의 더미 부분을 기판(S)으로부터 용이하게 제거할 수 있도록 할 수 있다.Therefore, according to the substrate cutting apparatus according to the embodiment of the present invention, the pair of
또한, 다른 예로서, 제어 유닛(90)은 이러한 기준 가압력을 기준으로 기판(S)으로부터 더미 부분이 제거되었는지 여부를 판단할 수 있다. 한 쌍의 클램프 부재(424)를 이용하여 더미 부분을 기판(S)으로부터 제거하는 공정을 수행한 후, 제어 유닛(90)은 한 쌍의 클램프 부재(424)를 기존에 더미 부분이 있었던 위치에 위치시킨 후 한 쌍의 클램프 부재(424)를 작동시킨다. 이때, 더미 부분이 기판(S)으로부터 제거된 경우, 한 쌍의 클램프 부재(424)가 서로 인접되게 이동하여도 기판(S)의 더미 부분이 파지되지 않으므로, 한 쌍의 클램프 부재(424) 사이의 간격이 한 쌍의 클램프 부재(424)의 기준 가압력에 대응하는 기준 간격을 초과하지 않는다. 반면, 더미 부분이 기판(S)으로부터 제거되지 않은 경우, 한 쌍의 클램프 부재(424)에 의해 제거되지 않은 더미 부분이 파지되므로, 한 쌍의 클램프 부재(424) 사이의 간격이 한 쌍의 클램프 부재(424)의 기준 가압력에 대응하는 기준 간격 이상이 된다.Further, as another example, the
따라서, 제어 유닛(90)은 간격 측정 유닛(50)에 의해 측정된 한 쌍의 클램프 부재(424) 사이의 간격이 기준 간격을 초과하는지 여부를 판단하고, 이를 기준으로 더미 부분이 기판(S)으로부터 제거되었는지 여부를 판단할 수 있다.Therefore, the
도 7 및 도 8에 도시된 바와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 기판 절단 장치는, 더미 제거 유닛(40)을 청소하기 위한 클리닝 유닛(60)을 더 포함할 수 있다.7 and 8, the substrate cutting apparatus according to the embodiment of the present invention may further include a
클리닝 유닛(60)은 더미 제어 유닛(40)으로 접근 가능하게 구성될 수 있다. 또한, 더미 제거 유닛(40)이 클리닝 유닛(60)에 접근 가능할 수 있다.The
클리닝 유닛(60)은, 한 쌍의 클램프 부재(424)로 접근 가능하게 설치되는 브러시(61)와, 브러시(61)를 구동시키는 브러시 구동기(62)와, 브러시(61)를 선회시키는 선회 모듈(63)과, 브러시(61)를 수평 방향(X축 방향 및/또는 Y축 방향)으로 이동시키는 수평 구동 모듈(64)와, 브러시(61)를 수직 방향(Z축 방향)으로 이동시키는 수직 구동 모듈(65)을 포함할 수 있다.The
브러시 구동기(62)는 브러시(61)를 회전시키도록 구성될 수 있다. 다른 예로서, 브러시 구동기(62)는 브러시(61)를 수평 방향 및/또는 수직 방향으로 진동시킬 수 있다. 이에 따라, 브러시 구동기(62)에 의해 브러시(61)가 움직이면서 클램프 부재(424)에 부착된 이물질을 클램프 부재(424)로부터 분리시킬 수 있다.The
선회 모듈(63)은 브러시(61)를 선회시켜 브러시(61)가 클램프 부재(424)에 용이하게 접근하도록 한다. 선회 모듈(63)은 브러시(61)와 연결 바를 통하여 연결된 회전 모터로 구성될 수 있다. 선회 모듈(63)은 회전 모터와 브러시(61) 사이에 구비되는 링크, 벨트 등의 동력 전달 기구를 포함할 수 있다.The
수평 구동 모듈(64) 또는 수직 구동 모듈(65)은 공압 또는 유압을 사용하는 액추에이터, 전자기적 상호 작용에 의해 작동되는 리니어 모터, 또는 볼 스크류 기구와 같은 직선 이동 기구로서 구성될 수 있다.The
미리 설정된 개수의 기판(S)으로부터 더미 부분을 제거한 후 또는 미리 설정된 기간이 경과된 때에, 클리닝 유닛(60)을 사용하여 더미 제거 유닛(40)을 청소하는 공정이 수행된다.A process of cleaning the
이때, 클리닝 유닛(60)의 브러시(61)가 수평 구동 모듈(64) 및/또는 수직 구동 모듈(65)에 의해 더미 제거 유닛(40)으로 접근할 수 있다. 그리고, 브러시 구동기(62)에 의해 브러시(61)가 구동되는 상태에서 선회 모듈(63)에 의해 브러시(61)가 선회되어 클램프 부재(424)에 접하게 된다. 이에 따라, 클램프 부재(424)에 부착된 이물질이 브러시(61)에 의해 분리될 수 있다.At this time, the
따라서, 더미 제거 유닛(40)이 기판(S)으로부터 더미 부분을 제거할 때 클램프 부재(424)에 부착될 수 있는 기판(S)의 파편 등의 이물질이 클리닝 유닛(60)에 의해 제거될 수 있다. 따라서, 기판(S)의 파편 등의 이물질에 의해 기판(S)이나 주변 부품이 오염되는 것을 방지할 수 있다.Foreign matter such as debris of the substrate S that can be attached to the
한편, 클리닝 유닛(60)은 브러시(61)를 둘러싸도록 구성되며 브러시(61)가 노출되는 개구를 갖는 하우징(66)과, 하우징(66)에 연결되어 하우징(66)으로 가스를 공급하는 가스 공급 모듈(67)을 포함할 수 있다. 이에 따라, 가스 공급 모듈(67)로부터 하우징(66)으로 공급되는 가스가 하우징(66)의 개구를 통하여 분사될 수 있다.On the other hand, the
더미 제거 유닛(40)을 청소하는 공정 중에, 하우징(66)의 개구는 클램프 부재(424)를 향할 수 있으며, 이에 따라, 가스 공급 모듈(67)로부터 공급된 가스는 하우징(66)의 개구를 통하여 클램프 부재(424)로 분사될 수 있다. 이와 같이, 하우징(66)은 공기를 분사하는 노즐로서의 역할을 할 수 있다. 따라서, 클램프 부재(424)에 부착된 이물질은 브러시(61)의 구동뿐만 아니라 하우징(66)의 개구를 통하여 분사된 가스에 의해서도 클램프 부재(424)로부터 제거될 수 있다. 따라서, 클램프 부재(424)에 부착된 이물질을 제거하는 과정을 보다 효율적으로 수행할 수 있다.During the process of cleaning the
또한, 클리닝 유닛(60)은 하우징(66)과 연결되는 진공원(69)을 포함할 수 있다. 진공원(69)에 의해 하우징(66)에는 부압이 작용될 수 있다. 따라서, 진공원(69)에 의해 하우징(66)에 작용된 부압에 의해 하우징(66)의 개구 주변의 공기가 하우징(66) 내로 흡입될 수 있다. 따라서, 브러시(61)에 의해 클램프 부재(424)로부터 분리된 이물질이 주위로 비산되지 않고 하우징(66) 내로 유입될 수 있다. 따라서, 클램프 부재(424)로부터 분리된 이물질이 클리닝 유닛(60)의 주변으로 비산되어 클리닝 유닛(60)의 주변을 오염시키는 것을 방지할 수 있다.Further, the
한편, 하우징(66)과 진공원(69) 사이에는 클램프 부재(424)로부터 제거된 이물질을 여과하는 필터(68)가 구비될 수 있다.A
가스 공급 모듈(67) 및 진공원(69)은 클리닝 유닛(60)에 함께 구비될 수 있다. 이러한 경우, 가스 공급 모듈(67) 및 진공원(69)은 서로 교대로 또는 순차적으로 작동될 수 있다.The
이하, 도 9 내지 도 15를 참조하여, 본 발명의 실시예에 따른 기판 절단 장치의 동작에 대하여 설명한다.Hereinafter, the operation of the substrate cutting apparatus according to the embodiment of the present invention will be described with reference to Figs. 9 to 15. Fig.
도 9에 도시된 바와 같이, 기판(S)의 선행단에 더미 부분이 제거되지 않은 상태로 기판(S)이 제1 이송 유닛(10)에 의해 스크라이빙 유닛(30)으로 이송된다. 이때, 기판(S)은 제1 플레이트(15)로부터 분사되는 가스에 의해 제1 플레이트(15)로부터 부양될 수 있다.The substrate S is transferred to the
그리고, 기판(S)이 제1 플레이트(15) 상에 위치되면 기판(S)이 제1 플레이트(15)에 흡착된다. 이때, 제1 및 제2 스크라이빙 헤드(32, 34)의 스크라이빙 휠(351)이 기판(S)에 각각 접촉된 후, X축 방향으로 이동됨에 따라, 기판(S)의 더미 부분에 절단 라인이 형성된다.Then, when the substrate S is placed on the
그리고, 도 10에 도시된 바와 같이, 절단 라인이 형성된 기판(S)의 더미 부분으로 더미 제거 유닛(40)의 클램프 모듈(42)이 이동된다. 그리고, 한 쌍의 클램프 부재(424)가 기판(S)의 더미 부분을 파지한 상태에서, 지지대(41)가 회전하거나 수평 및/또는 수직(X축 방향, Y축 방향 및/또는 Z축 방향)으로 이동하는 것에 의해, 더미 부분이 기판(S)으로부터 제거된다. 더미 부분을 제거한 클램프 모듈(42)은 스크라이빙 헤드(32, 34)의 스크라이빙 휠(351)의 이동을 방해하지 않는 원래의 위치로 복귀한다.Then, as shown in Fig. 10, the
그리고, 도 11에 도시된 바와 같이, 제1 플레이트(15)가 고정된 상태에서 제2 플레이트(25)가 제1 플레이트(15)를 향하여 Y축 방향으로 이동한다. 이에 따라, 제1 플레이트(15) 및 제2 플레이트(25) 사이의 간격이 줄어들게 되어, 기판(S)이 제1 플레이트(15) 및 제2 플레이트(25) 모두에 안정적으로 지지될 수 있다.11, the
그리고, 기판(S)이 스크라이빙 유닛(30)을 향하여 이송된다. 이때, 기판(S)은 제1 플레이트(15) 및 제2 플레이트(25)로 공급되는 가스에 의해 제1 플레이트(15) 및 제2 플레이트(25)로부터 부양될 수 있다.Then, the substrate (S) is transported toward the scribing unit (30). At this time, the substrate S may float from the
그리고, 도 12에 도시된 바와 같이, 기판(S)이 제1 플레이트(15) 및 제2 플레이트(25) 상에 위치되면 기판(S)이 제1 플레이트(15) 및 제2 플레이트(25)에 흡착된다. 이때, 스크라이빙 헤드(32, 34)의 스크라이빙 휠(351)이 기판(S)에 각각 접촉된 후, X축 방향으로 이동됨에 따라, 기판(S)에 X축 절단 라인이 형성된다.12, when the substrate S is placed on the
그리고, 도 13에 도시된 바와 같이, 기판(S)에 X축 절단 라인이 형성된 후, 스크라이빙 헤드(32, 34)의 스크라이빙 휠(351)이 기판(S)으로 이격되게 이동된다. 그리고, 기판(S)이 제1 플레이트(15) 및 제2 플레이트(25) 모두에 흡착된 상태에서, 제2 플레이트(25)가 제1 플레이트(15)로부터 멀어지게 이동되면, 기판(S)이 X축 절단 라인을 따라 분할된다.13, after the X-axis cutting line is formed on the substrate S, the
한편, 도 14에 도시된 바와 같이, 기판(S)의 중간 부분을 분할한 이후, 기판(S)의 후행단에 더미 부분이 제거되지 않은 상태로 기판(S)이 스크라이빙 유닛(30)으로 이송된다. 이때, 제2 플레이트(25)로부터 분사되는 가스에 의해 제2 플레이트(25)로부터 부양될 수 있다.14, after the intermediate portion of the substrate S is divided, the substrate S is transferred to the
그리고, 기판(S)이 제2 플레이트(25) 상에 위치되면 기판(S)이 제2 플레이트(25)에 흡착된다. 이때, 스크라이빙 헤드(32, 34)의 스크라이빙 휠(351)이 기판(S)에 각각 접촉된 후, X축 방향으로 이동됨에 따라, 기판(S)의 더미 부분에 X축 절단 라인이 형성된다.When the substrate S is placed on the
그리고, 도 15에 도시된 바와 같이, X축 절단 라인이 형성된 기판(S)의 더미 부분으로 더미 제거 유닛(40)의 클램프 모듈(42)이 이동된다. 그리고, 한 쌍의 클램프 부재(424)에 의해 기판(S)의 더미 부분이 파지된 상태에서, 지지대(41)가 회전하거나 수평 및/또는 수직(X축 방향, Y축 방향 및/또는 Z축 방향)으로 이동하는 것에 의해, 더미 부분이 기판(S)으로부터 제거된다. 더미 부분을 제거한 클램프 모듈(42)은 스크라이빙 헤드(32, 34)의 스크라이빙 휠(351)의 이동을 방해하지 않는 원래의 위치로 복귀한다.15, the
한편, X축 절단 라인을 따라 분할된 기판(S)은 이송 벨트(21)에 의해 후속 공정으로 전달될 수 있다.On the other hand, the substrate S divided along the X-axis cutting line can be transferred to the subsequent process by the
본 발명의 실시예에 따른 기판 절단 장치에 따르면, 한 쌍의 클램프 부재(424)를 작동시키는 구동기(427)의 부하를 기준으로 한 쌍의 클램프 부재(424)의 가압력을 산출하고, 산출된 가압력을 기준 가압력과 비교하면서, 한 쌍의 클램프 부재(424)의 가압력을 조절할 수 있다. 따라서, 한 쌍의 클램프 부재(424)가 미리 설정된 기준 가압력으로 기판(S)의 더미 부분을 파지할 수 있도록 할 수 있다. 따라서, 기판(S)의 더미 부분을 안정적으로 파지하여 기판(S)으로부터 더미 부분을 원활하게 제거할 수 있다.According to the substrate cutting apparatus according to the embodiment of the present invention, the pressing force of the pair of
또한, 본 발명의 실시예에 따른 기판 절단 장치에 따르면, 한 쌍의 클램프 부재(424) 사이의 간격을 기준으로 한 쌍의 클램프 부재(424)의 가압력을 산출하고, 산출된 가압력을 기준 가압력과 비교하면서, 한 쌍의 클램프 부재(424)의 가압력을 조절할 수 있다. 따라서, 한 쌍의 클램프 부재(424)가 미리 설정된 기준 가압력으로 기판(S)의 더미 부분을 파지할 수 있도록 할 수 있다. 따라서, 기판(S)의 더미 부분을 안정적으로 파지하여 기판(S)으로부터 더미 부분을 원활하게 제거할 수 있다.According to the substrate cutting apparatus according to the embodiment of the present invention, the pressing force of the pair of
특히, 지지대(41)에 복수의 클램프 모듈(42)이 구비되는 경우, 복수의 클램프 모듈(42) 각각의 한 쌍의 클램프 부재(424)가 적절한 가압력으로 기판(S)의 더미 부분을 파지한다. 따라서, 복수의 클램프 모듈(42)이 서로에 대하여 동기화되어, 기판(S)의 더미 부분을 안정적으로 파지하여 기판(S)으로부터 더미 부분을 제거할 수 있으며, 기판(S)으로부터 더미 부분을 제거하는 과정에서 기판(S)이 휘어지거나 파손되는 문제점을 방지할 수 있다. 복수의 클램프 모듈(42)이 서로에 대하여 동기화되지 않고 서로 다른 가압력으로 기판(S)의 더미 부분을 파지하는 경우에 발생할 수 있는 문제점인 기판(S)의 변형, 기판(S)의 깨짐, 기판(S)의 깨짐으로 인한 파편 발생 등의 문제점을 방지할 수 있다.Particularly, when a plurality of
본 발명의 실시예에 따른 기판 절단 장치에 따르면, 복수의 클램프 모듈(42) 중 가압력이 비정상적으로 변화하는 클램프 모듈(42)을 확인할 수 있으며, 가압력이 비정상적으로 변화하는 클램프 모듈(42)을 점검 또는 교체할 수 있다. 따라서, 더미 부분을 기판(S)으로부터 제거할 때 발생하는 불량을 방지할 수 있다.According to the substrate cutting apparatus according to the embodiment of the present invention, it is possible to identify the
본 발명의 실시예에 따른 기판 절단 장치에 따르면, 한 쌍의 클램프 부재(424)를 작동시키는 구동기(427)의 부하를 기준으로 한 쌍의 클램프 부재(424)의 가압력을 산출하고, 산출된 가압력을 기준으로 기판(S)으로부터 더미 부분이 제거되었는지 여부를 판단할 수 있다. 따라서, 기판(S)으로부터 더미 부분을 제거하는 과정을 효율적으로 수행할 수 있다.According to the substrate cutting apparatus according to the embodiment of the present invention, the pressing force of the pair of
본 발명의 실시예에 따른 기판 절단 장치에 따르면, 한 쌍의 클램프 부재(424) 사이의 간격을 기준으로 한 쌍의 클램프 부재(424)의 가압력을 산출하고, 산출된 가압력을 기준으로 기판(S)으로부터 더미 부분이 제거되었는지 여부를 판단할 수 있다. 따라서, 기판(S)으로부터 더미 부분을 제거하는 과정을 효율적으로 수행할 수 있다.According to the substrate cutting apparatus according to the embodiment of the present invention, the pressing force of the pair of
따라서, 더미 부분이 기판(S)으로부터 적절하게 제거되지 않고 기판(S)의 이송 과정에서 기판(S)으로부터 분리 및 낙하하여 기판 절단 장치의 주변을 오염시키거나 기판 절단 장치 주변의 부품 또는 기판(S)을 파손시키는 문제를 방지할 수 있다.Therefore, the dummy portion may not be properly removed from the substrate S, but may be detached and dropped from the substrate S in the process of transferring the substrate S to contaminate the periphery of the substrate cutting apparatus, S can be prevented from being damaged.
또한, 본 발명의 실시예에 따른 기판 절단 장치에 따르면, 더미 제거 유닛(40)이 기판(S)으로부터 더미 부분을 제거할 때 클램프 부재(424)에 부착될 수 있는 기판(S)의 파편 등의 이물질이 클리닝 유닛(60)에 의해 제거될 수 있다. 따라서, 기판(S)의 파편 등의 이물질에 의해 기판(S)이나 주변 부품이 오염되는 것을 방지할 수 있다.In addition, according to the substrate cutting apparatus according to the embodiment of the present invention, the
본 발명의 바람직한 실시예가 예시적으로 설명되었으나, 본 발명의 범위는 이와 같은 특정 실시예에 한정되지 않으며, 특허청구범위에 기재된 범주 내에서 적절하게 변경될 수 있다.Although the preferred embodiments of the present invention have been described by way of example, the scope of the present invention is not limited to these specific embodiments, and can be appropriately changed within the scope of the claims.
10: 제1 이송 유닛
20: 제2 이송 유닛
30: 스크라이빙 유닛
40: 더미 제거 유닛
50: 간격 측정 유닛
60: 클리닝 유닛
90: 제어 유닛10: First transfer unit
20: Second conveying unit
30: scribing unit
40: Dummy removal unit
50: interval measuring unit
60: Cleaning unit
90: control unit
Claims (6)
상기 스크라이빙 유닛에 의해 상기 기판의 더미 부분에 형성된 스크라이빙 라인을 따라 상기 더미 부분을 상기 기판으로부터 분할하도록, 상기 더미 부분을 파지하는 클램프 부재 및 상기 클램프 부재를 작동시키는 구동기를 포함하는 더미 제거 유닛; 및
상기 구동기의 부하를 측정하는 부하 측정 모듈을 구비하며, 상기 부하 측정 모듈에 의해 측정된 상기 구동기의 부하를 기준으로 상기 클램프 부재의 가압력을 조절하는 제어 유닛을 포함하는 기판 절단 장치.A scribing unit for forming a scribing line on the substrate;
A dummy portion including a clamp member for holding the dummy portion and a driver for operating the clamp member so as to divide the dummy portion from the substrate along a scribing line formed in the dummy portion of the substrate by the scribing unit Removal unit; And
And a control unit that controls the pressing force of the clamp member based on a load of the actuator measured by the load measuring module, and a load measuring module that measures a load of the actuator.
상기 스크라이빙 유닛에 의해 상기 기판의 더미 부분에 형성된 스크라이빙 라인을 따라 상기 더미 부분을 상기 기판으로부터 분할하도록, 상기 더미 부분을 파지하는 클램프 부재 및 상기 클램프 부재를 작동시키는 구동기를 포함하는 더미 제거 유닛; 및
상기 구동기의 부하를 측정하는 부하 측정 모듈을 구비하며, 상기 부하 측정 모듈에 의해 측정된 상기 구동기의 부하를 기준으로 상기 기판으로부터 상기 더미 부분이 제거되었는지 여부를 판단하는 제어 유닛을 포함하는 기판 절단 장치.A scribing unit for forming a scribing line on the substrate;
A dummy portion including a clamp member for holding the dummy portion and a driver for operating the clamp member so as to divide the dummy portion from the substrate along a scribing line formed in the dummy portion of the substrate by the scribing unit Removal unit; And
And a control unit for determining whether the dummy portion has been removed from the substrate based on a load of the actuator measured by the load measurement module, .
상기 더미 제거 유닛은,
상기 클램프 부재를 포함하는 클램프 모듈;
상기 클램프 모듈을 지지하는 지지대;
상기 지지대를 상기 지지대의 중심축을 기준으로 회전시키는 회전 모듈;
상기 지지대를 수평으로 이동시키는 수평 이동 모듈; 및
상기 지지대를 수직으로 이동시키는 수직 이동 모듈을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 절단 장치The method according to claim 1 or 2,
The dummy removing unit includes:
A clamp module including the clamp member;
A support for supporting the clamp module;
A rotation module for rotating the support about a central axis of the support;
A horizontal movement module for moving the support horizontally; And
And a vertical movement module for vertically moving the support frame
상기 클램프 모듈은 상기 지지대에 복수로 구비되며,
상기 복수의 클램프 모듈은 상기 지지대에 상기 지지대의 길이 방향으로 이동 가능하게 설치되어 상기 복수의 클램프 모듈 사이의 간격이 조절되는 것을 특징으로 하는 기판 절단 장치.The method of claim 3,
The clamp module is provided on the support frame in plurality,
Wherein the plurality of clamp modules are mounted to the support frame so as to be movable in the longitudinal direction of the support frame so that the interval between the plurality of clamp modules is adjusted.
상기 클램프 모듈은,
베이스 부재;
상기 베이스 부재에 대하여 이동 가능하게 설치되며 상기 클램프 부재가 장착되는 몸체; 및
상기 몸체를 상기 베이스 부재에 대하여 이동시키는 위치 조절부를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 절단 장치.The method of claim 3,
The clamp module includes:
A base member;
A body movably installed with respect to the base member and to which the clamp member is mounted; And
And a position adjusting unit for moving the body relative to the base member.
상기 클램프 부재의 상기 기판에 대향하는 면에는 접촉 패드가 구비되는 것을 특징으로 하는 기판 절단 장치.The method according to claim 1 or 2,
And a contact pad is provided on a surface of the clamp member facing the substrate.
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A201 | Request for examination | ||
E902 | Notification of reason for refusal | ||
E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
GRNT | Written decision to grant |