KR20110095012A - Substrate conveying apparatus and substrate treating apparatus with it - Google Patents

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KR20110095012A
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김순국
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세메스 주식회사
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Abstract

PURPOSE: A substrate conveying apparatus and a substrate treating apparatus with the same are provided to prevent a carrier belt from being inclined or damage thereof by transferring a substrate through the carrier belt of a trapezoidal shape. CONSTITUTION: In a substrate conveying apparatus and a substrate treating apparatus with the same, a plurality of substrate transfer apparatuses(200) are mutually connected in inlet conveyor(120) and an outlet conveyor(140). A main roller(240) transfers the substrate(S) in one direction . A main roller is extended in vertical to the transfer direction of the substrate. A carrier belt(210) is circulated by the main roller and is transferred in longitudinal direction The carrier belt includes a guide line extending along the inner side thereof.

Description

기판 이송 장치 및 이를 구비하는 기판 처리 장치{SUBSTRATE CONVEYING APPARATUS AND SUBSTRATE TREATING APPARATUS WITH IT}Substrate transfer apparatus and substrate processing apparatus having the same {SUBSTRATE CONVEYING APPARATUS AND SUBSTRATE TREATING APPARATUS WITH IT}

본 발명은 기판 이송 장치에 관한 것으로, 좀 더 구체적으로 기판 이송 시 발생되는 사행을 방지하기 위한 반송 벨트를 구비하는 기판 이송 장치 및 이를 구비하는 기판 처리 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a substrate transfer apparatus, and more particularly, to a substrate transfer apparatus having a conveyance belt for preventing meandering generated during substrate transfer, and a substrate processing apparatus having the same.

일반적으로 평판 표시 패널용 기판은 복수 개의 단위 기판들을 포함한다. 기판은 용도 등에 따라 다양한 크기의 단위 기판들로 절단된다. 기판을 절단하는 방법으로는 레이저 빔을 이용하거나, 스크라이브 휠을 이용하여 절단하는 방법 등이 있다.In general, a substrate for a flat panel display panel includes a plurality of unit substrates. Substrates are cut into unit substrates of various sizes, depending on the application. As a method of cutting a substrate, there is a method of cutting using a laser beam or using a scribe wheel.

기판을 절단하기 위한 기판 처리 장치는 기판에 스크라이브 라인 및 크랙을 형성하는 스크라이빙 공정과, 스크라이브 라인 및 크랙이 형성된 기판을 절단하여 단위 기판들을 분리하는 브레이킹 공정을 처리한다.The substrate processing apparatus for cutting a substrate processes a scribing process of forming a scribe line and a crack in the substrate, and a breaking process of cutting the substrate on which the scribe line and the crack is formed to separate the unit substrates.

이러한 기판 처리 장치는 대체적으로, 기판의 스크라이빙 공정을 처리하는 스크라이빙부와, 브레이킹 공정을 처리하는 브레이킹부를 포함한다. 기판 처리 장치는 스크라이빙부로 기판을 공급하거나 스크라이빙부로부터 공정 처리된 기판을 배출하기 위하여, 스크라이빙부 전후단 각각에 기판을 일 방향으로 이송하는 기판 이송 장치가 제공된다. 예를 들어, 기판 이송 장치는 반송 벨트를 이용하는 벨트 컨베이어(belt conveyor) 방식으로 구비된다.Such a substrate processing apparatus generally includes a scribing unit for processing a scribing process of a substrate and a breaking unit for processing a breaking process. The substrate processing apparatus is provided with a substrate transfer apparatus for transferring the substrate in one direction to each of the front and rear ends of the scribing portion in order to supply the substrate to the scribing portion or to discharge the processed substrate from the scribing portion. For example, the substrate transfer apparatus is provided by a belt conveyor method using a conveyance belt.

이러한 기판 이송 장치는 반송 벨트의 상부에 기판을 안착하고, 반송 벨트를 순환시켜서 일 방향으로 기판을 이송한다. 그러나 기판 이송 중, 반송 벨트가 사행되는 경우가 발생되고, 그로 인해 반송 벨트가 순환 경로 상에서 이탈되어 기판이 파손되는 등의 공정 사고를 일으키게 되는 문제점이 있다.Such a substrate transfer apparatus seats a substrate on an upper portion of a conveyance belt, and circulates the conveyance belt to transfer the substrate in one direction. However, there is a problem that the conveyance belt is meandering during substrate transfer, which causes a process accident such that the conveyance belt is separated from the circulation path and the substrate is broken.

본 발명의 목적은 사행을 방지하기 위한 기판 이송 장치 및 이를 구비하는 기판 처리 장치를 제공하는 것이다.An object of the present invention is to provide a substrate transfer apparatus for preventing meandering and a substrate processing apparatus having the same.

본 발명의 다른 목적은 복수 개의 반송 벨트들을 이용하여 하나의 기판을 이송하는 기판 이송 장치 및 이를 구비하는 기판 처리 장치를 제공하는 것이다.Another object of the present invention is to provide a substrate transfer apparatus for transferring a single substrate using a plurality of transfer belts and a substrate processing apparatus having the same.

본 발명의 또 다른 목적은 공정 사고를 방지하기 위한 기판 이송 장치 및 이를 구비하는 기판 처리 장치를 제공하는 것이다.Still another object of the present invention is to provide a substrate transfer apparatus for preventing a process accident and a substrate processing apparatus having the same.

상기 목적들을 달성하기 위한, 본 발명의 기판 이송 장치는 단면이 사다리꼴 형상을 갖는 가이드 라인이 형성된 반송 벨트와, 가이드 라인이 삽입되는 가이드 홈이 형성된 복수 개의 롤러들을 제공하는데 그 한 특징이 있다. 이와 같은 기판 이송 장치는 가이드 라인이 가이드 홈에 삽입되어 기판 이송 중에 사행을 방지할 수 있다.In order to achieve the above objects, the substrate transfer apparatus of the present invention is characterized by providing a conveyance belt having a guide line having a trapezoidal cross section and a plurality of rollers having a guide groove into which the guide line is inserted. In such a substrate transfer apparatus, a guide line may be inserted into a guide groove to prevent meandering during substrate transfer.

이 특징에 따른 본 발명의 기판 이송 장치는, 외측면에 기판이 안착되고, 내측면에 길이 방향을 따라 연장되는 적어도 하나의 가이드 라인을 구비하여, 상기 기판이 이송되도록 순환하는 반송 벨트 및; 상기 가이드 라인에 대응하여 외주면에 제 1 가이드 홈이 형성되고, 상기 제 1 가이드 홈에 상기 가이드 라인을 삽입하여 상기 반송 벨트를 순환시키는 복수 개의 롤러를 포함한다. 여기서 상기 가이드 라인은 상기 길이 방향에 수직한 단면의 하부가 상기 내측면과 결합되는 상부보다 넓게 제공되고, 상기 제 1 가이드 홈은 상기 가이드 라인에 대응되는 형상을 갖는다.According to an aspect of the present invention, there is provided a substrate transfer apparatus, including: a conveyance belt configured to circulate such that the substrate is disposed on an outer side thereof and having at least one guide line extending in a longitudinal direction on an inner side thereof; A first guide groove is formed on an outer circumferential surface corresponding to the guide line, and includes a plurality of rollers for circulating the conveyance belt by inserting the guide line in the first guide groove. Here, the guide line is provided with a lower portion of the cross section perpendicular to the longitudinal direction than the upper portion combined with the inner surface, the first guide groove has a shape corresponding to the guide line.

한 실시예에 있어서, 상기 가이드 라인 및 상기 제 1 가이드 홈 각각은 상기 단면이 사다리꼴 형상으로 제공된다.In one embodiment, each of the guide line and the first guide groove is provided in a trapezoidal shape in cross section.

다른 실시예에 있어서, 상기 가이드 라인은 상기 반송 벨트의 상기 내측면의 중앙 부분에 배치된다.In another embodiment, the guide line is disposed at the center portion of the inner side of the conveyance belt.

또 다른 실시예에 있어서, 상기 기판 이송 장치는; 상기 반송 벨트의 순환 경로 상의 배치되어 상기 반송 벨트를 지지하고, 상부면이 상기 반송 벨트의 상기 내측면과 접촉되며, 상기 가이드 라인에 대응하여 상기 상부면에 제 2 가이드 홈이 형성되는 적어도 하나의 플레이트를 더 포함한다. 여기서 상기 제 2 가이드 홈은 상기 가이드 라인에 대응되는 형상으로 제공된다.In yet another embodiment, the substrate transfer device; At least one disposed on a circulation path of the conveying belt to support the conveying belt, the upper surface is in contact with the inner surface of the conveying belt, the second guide groove is formed on the upper surface corresponding to the guide line It further comprises a plate. Here, the second guide groove is provided in a shape corresponding to the guide line.

또 다른 실시예에 있어서, 상기 가이드 라인은 복수 개로 구비된다. 여기서 상기 롤러 및 상기 플레이트 각각은 상기 가이드 라인들에 대응하는 위치에 상기 제 1 및 상기 제 2 가이드 홈들이 복수 개가 형성된다.In another embodiment, the guide line is provided in plurality. Here, each of the roller and the plate is provided with a plurality of first and second guide grooves at positions corresponding to the guide lines.

본 발명의 다른 특징에 의하면, 단면이 사다리꼴 형상을 갖는 가이드 라인이 형성된 복수 개의 반송 벨트들을 이용하여 하나의 기판을 이송하는 기판 이송 장치가 제공된다. 이와 같은 본 발명의 기판 이송 장치는 설치 현장에서 용이하게 조립 및 세팅할 수 있으며, 기판 이송 중에 반송 벨트의 사행을 방지할 수 있다.According to another feature of the present invention, there is provided a substrate transfer apparatus for transferring one substrate using a plurality of conveyance belts formed with guide lines having a trapezoidal cross section. Such a substrate transfer apparatus of the present invention can be easily assembled and set at an installation site, and can prevent meandering of the conveyance belt during substrate transfer.

이 특징에 따른 본 발명의 기판 이송 장치는, 상호 인접하게 나란히 설치되어 외측면에 하나의 기판이 안착되고, 내측면에 길이 방향으로 적어도 하나의 가이드 라인이 구비되어, 상기 기판이 상기 길이 방향으로 이송되도록 순환하는 복수 개의 반송 벨트와; 상기 반송 벨트들을 각각 지지하는 벨트 지지부와; 상기 반송 벨트들의 상기 길이 방향에 수직하게 연장되어 상기 벨트 지지부에 설치되고, 상기 반송 벨트들을 동시에 순환시키는 적어도 하나의 메인 롤러와; 상기 벨트 지지부에 설치되고, 상기 가이드 라인에 대응하는 외주면에 상기 가이드 라인이 삽입되는 제 1 가이드 홈이 형성되고, 상기 메인 롤러의 회전에 의해 상기 반송 벨트들을 순환시키는 복수 개의 지지 롤러들을 포함한다.The substrate transfer apparatus of the present invention according to this aspect is provided side by side adjacent to each other, one substrate is seated on the outer surface, at least one guide line is provided on the inner surface in the longitudinal direction, the substrate in the longitudinal direction A plurality of conveying belts circulated to be conveyed; A belt support portion for supporting the conveying belts, respectively; At least one main roller extending perpendicular to the longitudinal direction of the conveying belts, the at least one main roller being provided to the belt supporting portion and simultaneously circulating the conveying belts; It is provided in the belt support, the first guide groove is formed in the outer peripheral surface corresponding to the guide line is formed, and includes a plurality of support rollers for circulating the conveying belt by the rotation of the main roller.

한 실시예에 있어서, 상기 가이드 라인은 상기 길이 방향에 수직한 단면의 하부가 상기 내측면과 결합되는 상부보다 넓게 제공되고, 상기 제 1 가이드 홈은 상기 가이드 라인에 대응되는 형상을 갖는다.In one embodiment, the guide line is provided with a lower portion of the cross section perpendicular to the longitudinal direction than the upper portion combined with the inner surface, the first guide groove has a shape corresponding to the guide line.

다른 실시예에 있어서, 상기 가이드 라인과 상기 제 1 가이드 홈 각각은 상기 단면이 사다리꼴 형상으로 제공된다.In another embodiment, each of the guide line and the first guide groove is provided in a trapezoidal shape in cross section.

또 다른 실시예에 있어서, 상기 기판 이송 장치는; 상기 반송 벨트와 상기 벨트 지지부 사이에 배치되고, 상기 반송 벨트의 상기 내측면과 접촉하는 상부면에 상기 가이드 라인이 삽입되는 제 2 가이드 홈을 구비하는 적어도 하나의 플레이트를 더 포함한다. 여기서 상기 제 2 가이드 홈은 상기 가이드 라인에 대응하는 형상으로 제공된다.In yet another embodiment, the substrate transfer device; And at least one plate disposed between the conveyance belt and the belt support and having a second guide groove in which the guide line is inserted into an upper surface in contact with the inner surface of the conveyance belt. Here, the second guide groove is provided in a shape corresponding to the guide line.

또 다른 실시예에 있어서, 상기 플레이트는 복수 개가 구비된다. 여기서 상기 벨트 지지부의 상기 상부면에 상호 이격되게 배치된다.In another embodiment, the plate is provided with a plurality. Here, the belt support is disposed to be spaced apart from each other.

또 다른 실시예에 있어서, 상기 가이드 라인은 상기 반송 벨트의 상기 내측면의 중앙 부분에 배치된다.In yet another embodiment, the guide line is disposed at the central portion of the inner side of the conveyance belt.

본 발명의 또 다른 특징에 의하면, 복수 개의 반송 벨트들을 갖는 기판 이송 장치를 이용하여 기판의 스크라이빙 공정을 처리하는 기판 처리 장치를 제공하는데 있다. 이와 같은 본 발명의 기판 처리 장치는 기판 이송 중에 반송 벨트의 사행을 방지하여 기판의 정확한 위치에 스크라이빙 공정을 처리할 수 있으므로 생산성 향상 및 설비의 신뢰성을 얻을 수 있다.According to still another feature of the present invention, there is provided a substrate processing apparatus for processing a scribing process of a substrate using a substrate transfer apparatus having a plurality of transfer belts. Such a substrate processing apparatus of the present invention can prevent the meandering of the conveying belt during substrate transfer to process the scribing process at the correct position of the substrate, thereby improving productivity and obtaining reliability of equipment.

이 특징에 따른 본 발명의 기판 처리 장치는, 하나의 기판이 안착되는 복수 개의 반송 벨트들과 상기 반송 벨트를 순환시키는 복수 개의 롤러들을 구비하는 제 1 벨트 컨베이어와; 복수 개의 상기 반송 벨트들 및 복수 개의 상기 롤러들을 구비하는 제 2 벨트 컨베이어 및; 상기 제 1 및 상기 제 2 벨트 컨베이어 사이 구간에서 상기 기판에 스크라이브 라인 및 크랙을 형성하는 스크라이빙부를 포함한다. 여기서 상기 반송 벨트들은 상호 인접하게 나란히 설치되어 외측면에 상기 기판이 안착되고, 상기 반송 벨트들 각각의 내측면에 상기 기판의 이송 시, 상기 반송 벨트를 일 방향으로 순환되도록 안내하는 적어도 하나의 가이드 라인을 구비한다. 그리고 상기 롤러들 각각은 외주면에 상기 가이드 라인이 삽입되는 제 1 가이드 홈을 제공한다.A substrate processing apparatus of the present invention according to this aspect includes a first belt conveyor having a plurality of conveying belts on which one substrate is seated and a plurality of rollers for circulating the conveying belt; A second belt conveyor having a plurality of said conveying belts and a plurality of said rollers; And a scribing unit forming a scribe line and a crack on the substrate in the section between the first and second belt conveyors. Here, the conveying belts are installed adjacent to each other side by side, the substrate is seated on the outer surface, at least one guide for guiding the conveying belt circulated in one direction when the substrate is transferred to the inner surface of each of the conveying belts With lines. Each of the rollers provides a first guide groove in which the guide line is inserted into an outer circumferential surface thereof.

한 실시예에 있어서, 상기 가이드 라인은 상기 일 방향에 수직한 단면의 하부가 상기 내측면과 결합되는 상부보다 넓게 제공되고, 상기 제 1 가이드 홈은 상기 가이드 라인에 대응되는 형상을 갖는다.In one embodiment, the guide line is provided with a lower portion of the cross section perpendicular to the one direction than the upper portion combined with the inner surface, the first guide groove has a shape corresponding to the guide line.

다른 실시예에 있어서, 상기 가이드 라인과 상기 제 1 가이드 홈 각각은 단면이 사다리꼴 형상으로 제공된다.In another embodiment, each of the guide line and the first guide groove is provided in a trapezoidal cross section.

또 다른 실시예에 있어서, 상기 제 1 및 상기 제 2 벨트 컨베이어 각각은 상기 반송 벨트의 순환 경로 상에 배치되어 상기 반송 벨트를 지지하는 복수 개의 플레이트들을 더 포함한다. 여기서 상기 플레이트들 각각은 상부면에 상기 가이드 라인이 삽입되고, 상기 가이드 라인에 대응되는 형상을 갖는 제 2 가이드 홈을 구비한다.In yet another embodiment, each of the first and second belt conveyors further comprises a plurality of plates disposed on a circulation path of the conveying belt to support the conveying belt. Here, each of the plates is inserted into the guide line on the upper surface, and has a second guide groove having a shape corresponding to the guide line.

또 다른 실시예에 있어서, 상기 가이드 라인은 상기 반송 벨트의 상기 하부면 중앙에 배치된다.In yet another embodiment, the guide line is disposed at the center of the lower surface of the conveyance belt.

상술한 바와 같이, 본 발명의 기판 이송 장치는 반송 벨트에 형성되는 가이드 라인과, 복수 개의 롤러들과 플레이트들 각각에 가이드 라인이 삽입, 고정되는 가이드 홈들 각각을 사다리꼴 형상으로 제공함으로써, 기판 이송 중에 반송 벨트의 이탈을 방지할 수 있다.As described above, the substrate transfer apparatus of the present invention provides a guide line formed in the conveyance belt and each of the guide grooves in which the guide line is inserted and fixed in each of the plurality of rollers and plates, in a trapezoidal shape, thereby transferring the substrate. The separation of the conveyance belt can be prevented.

또 본 발명의 기판 이송 장치는 단면이 사다리꼴 형상의 가이드 라인을 갖는 반송 벨트를 이용하여 기판을 이송함으로써, 반송 벨트의 사행 및 기판 파손을 방지할 수 있다.Moreover, the board | substrate conveying apparatus of this invention can prevent meandering and board | substrate damage of a conveyance belt by conveying a board | substrate using the conveyance belt which has a trapezoid-shaped guide line in a cross section.

또 본 발명의 기판 이송 장치는 복수 개의 반송 벨트들을 이용하여 하나의 기판을 이송할 수 있도록 제공함으로써, 현장에서 기판 이송 장치의 설치가 용이하다.In addition, the substrate transfer apparatus of the present invention is provided so as to transfer a single substrate using a plurality of conveying belts, it is easy to install the substrate transfer apparatus in the field.

또한 본 발명의 기판 처리 장치는 반송 벨트의 사행을 방지하는 복수 개의 기판 이송 장치들을 스크라이빙부 전단 및 후단에 각각 제공하여 기판을 이송함으로써, 스크라이빙 공정에서 정확한 위치에 스크라이브 라인 및 크랙을 형성할 수 있으므로 생산성 향상 및 설비 신뢰성을 얻을 수 있다.In addition, the substrate processing apparatus of the present invention provides a plurality of substrate transfer devices to prevent the meandering of the conveying belt at the front and rear ends of the scribing unit, respectively, to transfer the substrate, thereby forming a scribe line and a crack at an accurate position in the scribing process. As a result, productivity and facility reliability can be obtained.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 기판 처리 장치의 개략적인 구성을 도시한 블럭도;
도 2는 도 1에 도시된 기판 처리 장치의 일부 구성을 도시한 사시도;
도 3은 도 2에 도시된 기판 이송 장치의 평면도;
도 4는 도 2에 도시된 기판 이송 장치의 측면도;
도 5는 도 2에 도시된 반송 벨트의 구성을 도시한 사시도;
도 6은 도 4에 도시된 기판 이송 장치의 구성을 도시한 A-A' 단면도; 그리고
도 7은 본 발명의 다른 실시예에 따른 기판 이송 장치의 구성을 도시한 단면도이다.1 is a block diagram showing a schematic configuration of a substrate processing apparatus according to an embodiment of the present invention;
FIG. 2 is a perspective view showing some components of the substrate processing apparatus shown in FIG. 1; FIG.
3 is a plan view of the substrate transfer apparatus shown in FIG. 2;
4 is a side view of the substrate transfer device shown in FIG. 2;
FIG. 5 is a perspective view showing the configuration of the conveyance belt shown in FIG. 2; FIG.
FIG. 6 is a sectional view taken along line AA ′ illustrating the structure of the substrate transfer device shown in FIG. 4; FIG. And
7 is a cross-sectional view showing the configuration of a substrate transfer apparatus according to another embodiment of the present invention.

본 발명의 실시예는 여러 가지 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 아래에서 서술하는 실시예로 인해 한정되어지는 것으로 해석되어서는 안된다. 본 실시예는 당업계에서 평균적인 지식을 가진 자에게 본 발명을 보다 완전하게 설명하기 위해서 제공되는 것이다. 따라서 도면에서의 구성 요소의 형상 등은 보다 명확한 설명을 강조하기 위해서 과장되어진 것이다.The embodiments of the present invention can be modified into various forms and the scope of the present invention should not be interpreted as being limited by the embodiments described below. This embodiment is provided to more completely explain the present invention to those skilled in the art. Therefore, the shapes and the like of the components in the drawings are exaggerated in order to emphasize a clearer explanation.

이하 첨부된 도 1 내지 도 7을 참조하여 본 발명의 실시예를 상세히 설명한다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to FIGS. 1 to 7.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 기판 처리 장치의 개략적인 구성을 도시한 블럭도이다.1 is a block diagram showing a schematic configuration of a substrate processing apparatus according to an embodiment of the present invention.

도 1을 참조하면, 기판 처리 장치(100)는 예컨대, 평판 표시 패널용 기판(도 2의 S)을 처리하는 기판 절단 장치이다. 여기서 기판(S)은 복수 개의 단위 기판(도 2의 S1)들이 형성된 모기판으로, 기판 처리 장치(100)는 기판(S)에 스크라이빙 라인 및 크랙을 형성하고, 기판(도 2의 S')을 절단, 분리하는 공정을 처리한다.Referring to FIG. 1, the substrate processing apparatus 100 is, for example, a substrate cutting apparatus for processing a substrate for a flat panel display panel (S in FIG. 2). Here, the substrate S is a mother substrate on which a plurality of unit substrates (S1 of FIG. 2) are formed, and the substrate processing apparatus 100 forms scribing lines and cracks on the substrate S, and the substrate (S of FIG. 2). Process to cut and separate ').

기판 처리 장치(100)는 로더부(110)와, 인렛 컨베이어(inlet conveyor)(120)와, 스크라이빙(scribing)부(130)와, 아웃렛 컨베이어(outlet conveyor)(140)와, 브레이킹(breaking)부(150) 및, 언로더부(160)를 포함한다.The substrate processing apparatus 100 includes a loader unit 110, an inlet conveyor 120, a scribing unit 130, an outlet conveyor 140, and a braking ( Breaking unit 150, and the unloader unit 160.

로더부(110)는 인렛 컨베이어(inlet C/V)(120)로 기판(S)을 투입한다. 스크라이빙부(130)는 인렛 컨베이어(120)와 아웃렛 컨베이어(outlet C/V)(140) 사이 구간에서 기판(S)에 스크라이빙 라인 및 크랙을 형성한다. 스크라이빙부(130)는 예를 들어, 레이저를 이용하거나 스크라이브 휠 등을 구비하는 적어도 하나의 스크라이브 헤드(미도시됨)를 이용하여 기판(S)에 스크라이빙 라인 및 크랙을 형성한다.The loader 110 feeds the substrate S into the inlet C / V 120. The scribing unit 130 forms scribing lines and cracks on the substrate S in the section between the inlet conveyor 120 and the outlet C / V 140. The scribing unit 130 forms scribing lines and cracks on the substrate S using, for example, at least one scribe head (not shown) using a laser or a scribing wheel.

스크라이빙부(130)에서 처리된 기판(S')은 단위 기판(S1)들로 분리되지 않은 상태로 유지된다. 스크라이빙 라인 및 크랙이 형성된 기판(S')은 아웃렛 컨베이어(140)를 통해 브레이킹부(150)로 제공되어 복수 개의 단위 기판(S1)들로 절단, 분리된다. 예를 들어, 브레이킹부(150)는 복수 개의 브레이킹 바(미도시됨)를 구비하고, 이를 이용하여 복수 개의 단위 기판(S1)들을 분리한다. 이러한 스크라이빙부(130)와 브레이킹부(150)에 대한 구성 및 작용은 이미 다양한 기술이 공개되어 있으므로, 여기서는 이들에 대한 설명을 생략한다.The substrate S ′ processed by the scribing unit 130 is maintained without being separated into the unit substrates S1. The substrate S 'on which the scribing line and the crack are formed is provided to the breaking unit 150 through the outlet conveyor 140 and cut and separated into a plurality of unit substrates S1. For example, the breaking unit 150 includes a plurality of breaking bars (not shown), and separates the plurality of unit substrates S1 using the breaking bar. The construction and operation of the scribing unit 130 and the breaking unit 150 have already been disclosed in various technologies, and thus description thereof will be omitted.

그리고 분리된 단위 기판(S1)들은 후속 공정 예를 들어, 단위 기판(S1)의 모서리 및 코너를 연마하는 연마 공정, 연마 후 단위 기판(S1)에 잔존하는 이물질을 제거하는 세정 공정 등을 처리할 수 있도록 언로더부(160)로 제공된다.The separated unit substrates S1 may be subjected to a subsequent process, for example, a polishing process of polishing the corners and corners of the unit substrate S1, a cleaning process of removing foreign substances remaining in the unit substrate S1 after polishing, and the like. It is provided to the unloader unit 160 to be.

본 발명의 기판 처리 장치(100)는 인렛 컨베이어(120), 아웃렛 컨베이어(140) 및 브레이킹부(150) 각각에 기판(S 또는 S')을 벨트 컨베이어(belt conveyor) 방식으로 이송하는 기판 이송 장치(도 2의 200)가 제공된다. 이러한 기판 이송 장치(200)는 반송 벨트(도 2의 210)를 구비한다. 인렛 컨베이어(120), 아웃렛 컨베이어(140) 및 브레이킹부(150) 각각에는 하나의 기판(S 또는 S')을 이송하기 위하여, 복수 개의 기판 이송 장치(200)들이 제공된다. 이는 기판(S)이 대형화됨에 따라, 기판을 이송하기 위한 전체 반송 벨트의 폭이 커지기 때문에, 현장에서 기판 이송 장치(200)의 조립 및 세팅 작업이 용이하도록 하기 위함이다.The substrate processing apparatus 100 according to the present invention transfers a substrate (S or S ') to each of the inlet conveyor 120, the outlet conveyor 140, and the breaking unit 150 by a belt conveyor method. (200 in FIG. 2) is provided. This substrate transfer apparatus 200 is provided with a conveyance belt (210 of FIG. 2). Each of the inlet conveyor 120, the outlet conveyor 140, and the breaking unit 150 is provided with a plurality of substrate transfer devices 200 to transfer one substrate S or S ′. This is to facilitate the assembly and setting operation of the substrate transfer device 200 in the field because the width of the entire conveyance belt for transferring the substrate increases as the substrate S increases in size.

또한 기판 처리 장치(100)는 기판 이송 장치(200)에 기판 이송 중 반송 벨트(210)의 사행을 방지하기 위한 구성을 제공하여, 스크라이빙 공정에서 기판(S)의 정확한 위치에 스크라이브 라인 및 크랙을 형성할 수 있다.In addition, the substrate processing apparatus 100 provides the substrate transfer apparatus 200 with a configuration for preventing meandering of the conveyance belt 210 during substrate transfer, so that the scribing line and the scribe line at the exact position of the substrate S in the scribing process may be used. Cracks may form.

구체적으로 도 2 및 도 3은 도 1에 도시된 기판 처리 장치의 일부 구성을 도시한 도면들이다. 여기서는 인렛 컨베이어(120), 아웃렛 컨베이어(140)의 기판 이송 장치(200)를 이용하여 그 구성 및 작용을 상세히 설명한다.2 and 3 are views illustrating some components of the substrate processing apparatus illustrated in FIG. 1. Here, the configuration and operation of the inlet conveyor 120 and the substrate transfer device 200 of the outlet conveyor 140 will be described in detail.

도 2 및 도 3을 참조하면, 기판 이송 장치(200)는 반송 벨트(210)를 이용하는 벨트 컨베이어(belt conveyor) 장치로 제공된다. 인렛 컨베이어(120) 및 아웃렛 컨베이어(140) 각각에는 복수 개의 기판 이송 장치(200)가 상호 인접하게 나란히 제공된다. 예를 들어, 이 실시예의 기판 처리 장치(100)는 인렛 컨베이어(120)와, 아웃렛 컨베이어(140) 각각에 7 개의 기판 이송 장치(200)가 하나의 기판(S)을 이송하도록 제공된다.2 and 3, the substrate transfer apparatus 200 is provided as a belt conveyor apparatus using the conveying belt 210. Each of the inlet conveyor 120 and the outlet conveyor 140 is provided with a plurality of substrate transfer apparatus 200 side by side adjacent to each other. For example, the substrate processing apparatus 100 of this embodiment is provided such that the seven substrate transfer apparatuses 200 are transported to each of the inlet conveyor 120 and the outlet conveyor 140.

이를 위해 인렛 컨베이어(120)와 아웃렛 컨베이어(140) 각각은 하나의 구동 장치(202)로부터 동력을 전달받아서 복수 개의 기판 이송 장치(200)들이 동시에 구동되어, 하나의 기판(S 또는 S')을 일 방향으로 이송할 수 있도록 회전하는 하나의 메인 롤러(240)를 구비한다. 구동 장치(202)는 예를 들어, 모터 등으로 구비된다. 메인 롤러(240)는 복수 개의 기판 이송 장치(200)에 연장되어 설치된다. 메인 롤러(240)는 기판 이송 방향과 수직하게 연장된다.To this end, each of the inlet conveyor 120 and the outlet conveyor 140 receives power from one driving device 202 so that the plurality of substrate transfer devices 200 are driven at the same time, thereby driving one substrate S or S '. It is provided with one main roller 240 that rotates to be transported in one direction. The drive device 202 is provided with, for example, a motor. The main roller 240 extends and is installed in the plurality of substrate transfer devices 200. The main roller 240 extends perpendicular to the substrate transfer direction.

또 각 기판 이송 장치(200)는 반송 벨트(210)를 구비한다. 반송 벨트(210)는 기판(S)이 이송되는 길이 방향으로 연장되고, 메인 롤러(240)에 의해 순환되어 기판(S)을 길이 방향으로 이송한다. 따라서 메인 롤러(240)는 하나의 구동 장치(202)에 의해 복수 개의 반송 벨트(210)들을 동시에 순환하도록 구동된다. 물론 기판 이송 장치(200)들 각각에 구동 장치(202) 및 메인 롤러(240)를 구비하고, 이들을 동기시켜서 하나의 기판(S 또는 S')을 이송하도록 복수 개의 반송 벨트(210)들을 구동할 수도 있다.Moreover, each board | substrate conveyance apparatus 200 is equipped with the conveyance belt 210. FIG. The conveyance belt 210 extends in the longitudinal direction in which the substrate S is conveyed, is circulated by the main roller 240, and conveys the substrate S in the longitudinal direction. Therefore, the main roller 240 is driven to circulate the plurality of conveying belts 210 simultaneously by one driving device 202. Of course, each of the substrate transfer apparatuses 200 includes a driving device 202 and a main roller 240, and the plurality of conveyance belts 210 may be driven to synchronize one of them to transfer one substrate S or S ′. It may be.

구체적으로 도 4 내지 도 6을 참조하면, 기판 이송 장치(200)는 반송 벨트(210)와, 복수 개의 플레이트(250) 및, 복수 개의 롤러(220 ~ 230, 240)들을 포함한다. 롤러(220 ~ 230, 240)들은 하나의 메인 롤러(240)와, 복수 개의 지지 롤러(tension roller)(220 ~ 203)들을 포함한다. 반송 벨트(210)는 일면에 적어도 하나의 가이드 라인(도 5의 214)이 제공된다. 지지 롤러(220 ~ 230) 각각에는 가이드 라인(214)에 대응하여 적어도 하나의 제 1 가이드 홈(도 6의 232)이 제공된다. 또 플레이트(250)들 각각에는 가이드 라인(214)에 대응하여 적어도 하나의 제 2 가이드 홈(도 6의 252)이 제공된다. 가이드 라인(214)과, 제 1 및 제 2 가이드 홈(232, 252)들은 상호 대응되는 형상을 갖는다. 따라서 반송 벨트(210)의 가이드 라인(214)은 지지 롤러(220 ~ 230) 및 플레이트(250)의 제 1 및 제 2 가이드 홈(232, 252)에 삽입, 고정된다.Specifically, referring to FIGS. 4 to 6, the substrate transfer apparatus 200 includes a conveyance belt 210, a plurality of plates 250, and a plurality of rollers 220 to 230 and 240. The rollers 220 to 230 and 240 include one main roller 240 and a plurality of tension rollers 220 to 203. The conveying belt 210 is provided with at least one guide line 214 of FIG. 5 on one surface. Each of the support rollers 220 to 230 is provided with at least one first guide groove 232 of FIG. 6 corresponding to the guide line 214. Each of the plates 250 is provided with at least one second guide groove 252 of FIG. 6 corresponding to the guide line 214. The guide line 214 and the first and second guide grooves 232 and 252 have shapes corresponding to each other. Therefore, the guide line 214 of the conveying belt 210 is inserted into and fixed to the support rollers 220 to 230 and the first and second guide grooves 232 and 252 of the plate 250.

또 기판 이송 장치(200)는 반송 벨트(210)를 순환하도록 지지하는 벨트 지지부(204 ~ 208)를 포함한다. 벨트 지지부(204 ~ 208)는 메인 프레임(204)과, 지지 프레임(206) 및, 벨트 지지 프레임(208)을 포함한다. 지지 프레임(206)은 하단이 메인 프레임(204)에 결합되고, 상단이 벨트 지지 프레임(208)에 결합되어, 벨트 지지 프레임(208)을 지지한다. 벨트 지지 프레임(208)은 반송 벨트(210)가 순환되도록 지지한다. 이를 위해 벨트 지지 프레임(208)에는 복수 개의 플레이트(250)들과, 메인 롤러(240) 및 복수 개의 지지 롤러(220 ~ 230)들이 고정 설치된다. 반송 벨트(210)와 플레이트(250)들 및 지지 롤러(220 ~ 230)들은 대체로 벨트 지지 프레임(208)과 유사한 크기의 폭을 갖는다.In addition, the substrate transfer apparatus 200 includes belt supports 204 to 208 that support the transfer belt 210 to circulate. The belt supports 204 to 208 include a main frame 204, a support frame 206, and a belt support frame 208. The support frame 206 has a lower end coupled to the main frame 204 and an upper end coupled to the belt support frame 208 to support the belt support frame 208. The belt support frame 208 supports the transport belt 210 to be circulated. To this end, a plurality of plates 250, a main roller 240 and a plurality of support rollers 220 to 230 are fixed to the belt support frame 208. The conveying belt 210 and the plates 250 and the support rollers 220-230 generally have a width similar in size to the belt support frame 208.

이 실시예의 반송 벨트(210)는 도 5에 도시된 바와 같이, 외측면에 기판이 안착되는 벨트 시트(212)와, 벨트 시트(212)의 내측면에 결합되어 기판 이송을 안내하는 적어도 하나의 가이드 라인(214)을 포함한다. 벨트 시트(212)는 예를 들어, 고무, 프라스틱 또는 불소 수지 계열 등의 재질을 포함한다. 가이드 라인(214)은 벨트 시트(212)의 내측면으로부터 일정 높이를 갖도록 돌출되고, 벨트 시트(212)의 길이 방향으로 연장된다. 가이드 라인(214)은 탄성을 갖는 재질 예를 들어, 실리콘 재질 등으로 제공된다. 또 가이드 라인(214)은 벨트 시트(212)와 동일한 재질로 구비될 수 있다. 또 가이드 라인(214)은 벨트 시트(212)의 내측면에 접착제 등을 이용하여 결합된다. 이러한 반송 벨트(210)는 벨트 시트(212)의 상부에서 가압하여 가이드 라인(214)을 제 1 및 제 2 가이드 홈(232, 252)에 삽입, 고정시키고, 기판 이송 시, 가이드 라인(214)에 의해 기판을 벨트 시트(212)의 길이 방향으로 이송되도록 순환한다.As shown in FIG. 5, the conveyance belt 210 of this embodiment includes a belt seat 212 on which the substrate is seated on the outer surface and at least one coupled to the inner surface of the belt sheet 212 to guide the substrate transfer. Guide line 214. The belt sheet 212 includes a material such as rubber, plastic, or fluororesin. The guide line 214 protrudes from the inner side surface of the belt sheet 212 to have a predetermined height and extends in the longitudinal direction of the belt sheet 212. The guide line 214 is provided of a material having elasticity, for example, a silicon material. In addition, the guide line 214 may be provided of the same material as the belt sheet 212. In addition, the guide line 214 is coupled to the inner surface of the belt sheet 212 using an adhesive or the like. The conveying belt 210 presses the upper portion of the belt sheet 212 to insert and fix the guide line 214 into the first and second guide grooves 232 and 252, and the guide line 214 when the substrate is transferred. The substrate is circulated so as to be conveyed in the longitudinal direction of the belt sheet 212.

플레이트(250)들은 반송 벨트(210)의 순환 경로 상의 일부면에 배치되어 반송 벨트(210)를 지지한다. 즉, 플레이트(250)들은 반송 벨트(210)의 내측면에 배치되어 반송 벨트(210)를 지지한다. 플레이트(250)들은 벨트 지지 프레임(208)의 상부면에 설치된다. 플레이트(250)들은 반송 벨트(210)의 평탄도를 유지하기 위해 벨트 지지 프레임(208)의 상부면에 상호 이격되게 배치된다. 플레이트(250)들은 반송 벨트(210)의 내측면과 접촉된다. 이러한 플레이트(250)들은 반송 벨트(210)의 가이드 라인(214)에 대응하여 상부면에 제 2 가이드 홈(252)이 제공된다. 따라서 기판 이송 중에 반송 벨트(210)의 가이드 라인(214)은 플레이트(250)의 제 2 가이드 홈(252)으로부터 빠지지 않게 된다.The plates 250 are disposed on some surface on the circulation path of the conveyance belt 210 to support the conveyance belt 210. That is, the plates 250 are disposed on the inner side of the conveyance belt 210 to support the conveyance belt 210. The plates 250 are installed on the upper surface of the belt support frame 208. The plates 250 are spaced apart from each other on the top surface of the belt support frame 208 to maintain the flatness of the conveying belt 210. The plates 250 are in contact with the inner side of the conveyance belt 210. These plates 250 are provided with a second guide groove 252 in the upper surface corresponding to the guide line 214 of the conveying belt (210). Accordingly, the guide line 214 of the conveyance belt 210 does not fall out of the second guide groove 252 of the plate 250 during substrate transfer.

그리고 롤러(220 ~ 230, 240)들은 구동 장치(202)로부터 동력을 전달받아서 회전되는 메인 롤러(240)와, 메인 롤러(240)의 회전력에 의해 회전되어 반송 벨트(210)를 순환시키는 복수 개의 지지 롤러(220 ~ 230)들을 포함한다. 메인 롤러(240)는 벨트 지지 프레임(208)의 하단부에 고정 설치된다. 또 메인 롤러(240)는 메인 프레임(204)에 고정 설치될 수도 있다. 이러한 메인 롤러(240)는 반송 벨트(210)의 외측면과 접촉하여 회전력을 반송 벨트(210)로 전달한다. 따라서 메인 롤러(240)는 벨트 지지 프레임(208)을 따라 반송 벨트(210)를 순환시킨다.In addition, the rollers 220 to 230 and 240 are rotated by the rotational force of the main roller 240 and the main roller 240 which are rotated by receiving power from the driving device 202, and a plurality of the circulation belts 210 are circulated. Support rollers 220 to 230. The main roller 240 is fixedly installed at the lower end of the belt support frame 208. In addition, the main roller 240 may be fixed to the main frame 204. The main roller 240 is in contact with the outer surface of the conveying belt 210 to transmit the rotational force to the conveying belt 210. Therefore, the main roller 240 circulates the conveyance belt 210 along the belt support frame 208.

지지 롤러(220 ~ 230)들은 벨트 지지 프레임(208)의 복수 위치에 고정 설치된다. 지지 롤러(220 ~ 230)들은 예를 들어, 벨트 지지 프레임(208)에서 반송 벨트(210)가 굴곡되는 위치나, 반송 벨트(210)의 내측면을 지지하는 위치 등에 배치될 수 있다. 또 지지 롤러(220 ~ 230)들 각각에는 반송 벨트(210)의 가이드 라인(214)에 대응하여 제 1 가이드 홈(232)이 제공된다.The support rollers 220 to 230 are fixedly installed at a plurality of positions of the belt support frame 208. The supporting rollers 220 to 230 may be disposed at, for example, a position at which the conveying belt 210 is bent in the belt supporting frame 208, a position at which the inner surface of the conveying belt 210 is supported, or the like. In addition, each of the support rollers 220 to 230 is provided with a first guide groove 232 corresponding to the guide line 214 of the transport belt 210.

따라서 본 발명의 기판 이송 장치(200)는 반송 벨트(210)의 가이드 라인(214)이 지지 롤러(220 ~ 230)들의 제 1 가이드 홈(232)과, 플레이트(250)들의 제 2 가이드 홈(252)에 삽입, 고정되고, 기판 이송 시, 반송 벨트(210)가 순환 경로 상에서 이탈되거나 틀어지는 것을 방지한다.Accordingly, in the substrate transport apparatus 200 of the present invention, the guide line 214 of the transport belt 210 may include the first guide groove 232 of the support rollers 220 to 230 and the second guide groove of the plates 250. It is inserted into and fixed to the 252 and prevents the conveying belt 210 from being dislodged or twisted on the circulation path during substrate transfer.

계속해서 본 발명의 반송 벨트(210)에 따른 기판 이송 장치(200)의 플레이트(250) 및 지지 롤러(220 ~ 230)들의 구성에 대해 도 6 및 도 7을 이용하여 상세히 설명한다.Subsequently, the configuration of the plate 250 and the support rollers 220 to 230 of the substrate transfer device 200 according to the conveyance belt 210 of the present invention will be described in detail with reference to FIGS. 6 and 7.

도 6을 참조하면, 반송 벨트(210)의 벨트 시트(212)는 외측면에 기판이 안착되는 평판형으로 제공된다. 가이드 라인(214)은 벨트 시트(212)의 내측면으로부터 길이 방향으로 돌출되어, 길이 방향을 따라 벨트 시트(212)의 이송 경로를 안내한다. 가이드 라인(214)은 반송 벨트(210)의 길이 방향에 수직한 단면의 하부가 내측면과 결합되는 상부보다 넓게 제공된다. 이 실시예의 가이드 라인(214)은 길이 방향에 수직한 단면이 사다리꼴 형상으로 제공된다. 또 가이드 라인(214)은 벨트 시트(212)의 내측면 중앙에 배치된다.Referring to FIG. 6, the belt sheet 212 of the conveying belt 210 is provided in a flat plate shape on which a substrate is seated on an outer surface thereof. The guide line 214 protrudes in the longitudinal direction from the inner surface of the belt sheet 212, and guides the conveying path of the belt sheet 212 along the longitudinal direction. The guide line 214 is provided wider than the upper portion of which the lower portion of the cross section perpendicular to the longitudinal direction of the conveyance belt 210 is engaged with the inner surface. Guide lines 214 of this embodiment are provided in a trapezoidal shape with a cross section perpendicular to the longitudinal direction. The guide line 214 is disposed at the center of the inner side surface of the belt seat 212.

지지 롤러(220 ~ 230)들 각각은 반송 벨트(210)의 가이드 라인(214)에 대응하여 외주면에 제 1 가이드 홈(232)이 형성된다. 제 1 가이드 홈(232)의 길이 방향에 수직한 단면은 가이드 라인(214)에 대응되는 형상을 갖는다. 예를 들어, 제 1 가이드 홈(232)의 길이 방향에 수직한 단면은 가이드 라인(214)이 삽입 가능하게 지지 롤러(220 ~ 230)의 외주면으로부터 내측 방향으로 갈수록 하부면이 점차 넓어지는 사다리꼴 형상을 갖는다. 지지 롤러(220 ~ 230)들은 가이드 라인(214)이 제 1 가이드 홈(232)에 삽입되어 반송 벨트(210)를 고정시킨다. 지지 롤러(220 ~ 230)들은 반송 벨트(210)의 장력(tension)을 일정하게 유지시킨다. 이러한 지지 롤러(220 ~ 230)들은 메인 롤러(240)로부터 제공되는 회전력에 의해 회전되어 반송 벨트(210)를 순환시킨다.Each of the support rollers 220 to 230 has a first guide groove 232 formed on an outer circumferential surface of the support rollers 214 to correspond to the guide line 214 of the conveying belt 210. A cross section perpendicular to the longitudinal direction of the first guide groove 232 has a shape corresponding to the guide line 214. For example, the cross section perpendicular to the longitudinal direction of the first guide groove 232 has a trapezoidal shape in which the lower surface gradually widens in the inward direction from the outer circumferential surface of the support rollers 220 to 230 so that the guide line 214 can be inserted therein. Has The support rollers 220 to 230 are guide lines 214 inserted into the first guide grooves 232 to fix the conveyance belt 210. The support rollers 220 to 230 keep the tension of the conveyance belt 210 constant. These support rollers 220 to 230 are rotated by the rotational force provided from the main roller 240 to circulate the conveying belt 210.

또 플레이트(250)들 각각은 반송 벨트(210)의 가이드 라인(214)에 대응하여 상부면에 제 2 가이드 홈(252)이 형성된다. 제 2 가이드 홈(252) 또한 가이드 라인(214)이 삽입, 고정될 수 있도록 가이드 라인(214)에 대응되는 형상을 갖는다. 예를 들어, 제 2 가이드 홈(252)은 길이 방향에 수직한 단면이 사다리꼴 형상으로 제공된다. 따라서 가이드 라인(214)과 제 1 및 제 2 가이드 홈(232, 252)들은 상호 대응되는 형상을 갖는다.In addition, each of the plates 250 may have a second guide groove 252 formed in an upper surface thereof corresponding to the guide line 214 of the conveying belt 210. The second guide groove 252 also has a shape corresponding to the guide line 214 so that the guide line 214 can be inserted and fixed. For example, the second guide groove 252 is provided in a trapezoidal shape with a cross section perpendicular to the longitudinal direction. Accordingly, the guide lines 214 and the first and second guide grooves 232 and 252 have shapes corresponding to each other.

이러한 반송 벨트(210)의 가이드 라인(214)과, 지지 롤러(220 ~ 230)들의 제 1 가이드 홈(232) 및 플레이트(250)들의 제 2 가이드 홈(252)은 단면이 사다리꼴 형상으로 구비함으로써, 기판 이송 시 가이드 라인(214)이 제 1 및 제 2 가이드 홈(232, 252)으로부터 이탈되는 것을 방지할 수 있다.The guide line 214 of the conveying belt 210, the first guide groove 232 of the support rollers 220 to 230 and the second guide groove 252 of the plates 250 are provided in a trapezoidal cross section. When the substrate is transferred, the guide line 214 may be prevented from being separated from the first and second guide grooves 232 and 252.

다른 실시예로서 도 7을 참조하면, 반송 벨트(210a)는 복수 개의 가이드 라인(214a, 214b)을 구비한다. 예를 들어, 가이드 라인(214a, 214b)은 2 개가 구비되며, 이 가이드 라인(214a, 214b)들은 벨트 시트(212)의 내측면의 양측 가장자리에 제공된다. 각각의 가이드 라인(214a, 214b)은 도 6의 것과 동일한 형상 즉, 사다리꼴 형상의 단면을 갖는다. 따라서, 이 실시예의 지지 롤러(222a)들과 플레이트(250a)들 각각은 반송 벨트(210a)의 가이드 라인(214a, 214b)들에 대응하여 복수 개의 제 1 및 제 2 가이드 홈(232a, 232b, 252a, 252b)들을 구비한다. 제 1 및 제 2 가이드 홈(232a, 232b, 252a, 252b)들 또한 사다리꼴 형상의 단면으로 구비된다.Referring to FIG. 7 as another embodiment, the conveyance belt 210a includes a plurality of guide lines 214a and 214b. For example, two guide lines 214a and 214b are provided, and these guide lines 214a and 214b are provided at both side edges of the inner surface of the belt seat 212. Each guide line 214a, 214b has the same shape as that of Fig. 6, that is, a trapezoidal cross section. Therefore, each of the support rollers 222a and the plate 250a of this embodiment corresponds to the guide lines 214a and 214b of the conveying belt 210a, and thus the plurality of first and second guide grooves 232a and 232b, 252a, 252b). The first and second guide grooves 232a, 232b, 252a, and 252b are also provided in a trapezoidal cross section.

그러므로 이 실시예의 기판 이송 장치(200a)는 하나의 가이드 라인(214)을 이용하는 것(200)보다 기판 이송 시, 반송 벨트(210a)의 이탈을 효과적으로 방지할 수 있다.Therefore, the substrate transfer apparatus 200a of this embodiment can effectively prevent the separation of the conveyance belt 210a during substrate transfer, rather than using one guide line 214 (200).

상술한 바와 같이, 본 발명의 기판 이송 장치(200)는 복수 개의 반송 벨트(210)들이 상호 인접하게 나란히 설치되고, 반송 벨트(210)들의 외측면에 하나의 기판(S)이 안착된다. 반송 벨트(210)들 각각의 내측면에는 길이 방향으로 연장되어 결합되는 적어도 하나의 가이드 라인(214)을 제공한다. 또 반송 벨트(210)들의 가이드 라인(214)에 대응하여 지지 롤러(220 ~ 230)들 및 플레이트(250)들 각각에는 제 1 및 제 2 가이드 홈(232, 252)이 제공된다. 따라서 반송 벨트(210)들 각각은 가이드 라인(214)이 제 1 및 제 2 가이드 홈(232, 252)에 삽입, 고정되어, 기판 이송 시, 기판이 일 방향으로 이송되도록 순환한다. 이 때, 기판 이송 장치(200)는 하나의 구동 장치(202)와 하나의 메인 롤러(240)에 의해 복수 개의 반송 벨트(210)들을 구동한다.As described above, in the substrate transport apparatus 200 of the present invention, a plurality of conveyance belts 210 are disposed adjacent to each other adjacent to each other, and one substrate S is seated on the outer surface of the conveyance belts 210. At least one guide line 214 is provided on the inner surface of each of the conveyance belts 210 to extend in the longitudinal direction. In addition, the support rollers 220 to 230 and the plates 250 are provided with first and second guide grooves 232 and 252 corresponding to the guide lines 214 of the conveyance belts 210. Accordingly, each of the conveyance belts 210 is inserted into and fixed to the first and second guide grooves 232 and 252 so that the substrate is transported in one direction when the substrate is transferred. At this time, the substrate transfer apparatus 200 drives the plurality of conveyance belts 210 by one driving apparatus 202 and one main roller 240.

따라서 본 발명의 기판 이송 장치(200)는 기판의 대형화에 대응하여 복수 개의 반송 벨트(210)들을 이용하여 이송 가능하게 제공함으로써, 현장에서 설치 및 세팅이 용이하고, 기판 이송 중에 반송 벨트(210)의 직진성을 향상시켜서 이탈 및 사행을 방지할 수 있다.Therefore, the substrate transfer apparatus 200 of the present invention is provided to be transported using the plurality of transfer belts 210 in response to the enlargement of the substrate, so that the installation and setting is easy in the field, and the transfer belt 210 during substrate transfer. The straightness of the can be improved to prevent departure and meandering.

또한, 본 발명의 기판 처리 장치(100)는 스크라이브 공정을 처리하는 스크라이빙부(130)의 전후단에 상술한 벨트 컨베이어 방식의 기판 이송 장치(200)를 제공함으로써, 스크라이빙 공정 시, 기판의 정확한 위치에서 스크라이브 라인 및 크랙을 형성할 수 있으며, 이로 인해 공정 수율 향상 및 설비 신뢰성을 얻을 수 있다.In addition, the substrate processing apparatus 100 of the present invention provides the above-described belt conveyor type substrate transfer apparatus 200 at the front and rear ends of the scribing unit 130 for processing the scribing process, thereby providing a substrate during the scribing process. Scribble lines and cracks can be formed at the exact location of the process, resulting in improved process yield and equipment reliability.

이상에서, 본 발명에 따른 기판 이송 장치 및 이를 구비하는 기판 처리 장치의 구성 및 작용을 상세한 설명과 도면에 따라 도시하였지만, 이는 실시예를 들어 설명한 것에 불과하며, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 다양한 변화 및 변경이 가능하다.In the above, the configuration and operation of the substrate transfer apparatus and the substrate processing apparatus having the same according to the present invention have been shown in accordance with the detailed description and the drawings, which are merely described by way of example, and do not depart from the spirit of the present invention. Various changes and modifications are possible within the scope.

100 : 기판 처리 장치 120 : 인렛 벨트 컨베이어
130 : 스크라이빙부 140 : 아웃렛 벨트 컨베이어
200, 200a : 기판 이송 장치 202 : 모터
210, 210a : 반송 벨트 214, 214a, 214b : 가이드 라인
220 ~ 230 : 롤러 223, 223a, 223b : 제 1 가이드 홈
240 : 메인 롤러 250 : 플레이트
252, 252a, 252b : 제 2 가이드 홈100 substrate processing apparatus 120 inlet belt conveyor
130: scribing unit 140: outlet belt conveyor
200, 200a: substrate transfer device 202: motor
210, 210a: conveying belts 214, 214a, 214b: guidelines
220 to 230: rollers 223, 223a, 223b: first guide groove
240: main roller 250: plate
252, 252a, 252b: second guide groove

Claims (14)

기판 이송 장치에 있어서:
외측면에 기판이 안착되고, 내측면에 길이 방향을 따라 연장되는 적어도 하나의 가이드 라인을 구비하여, 상기 기판이 이송되도록 순환하는 반송 벨트 및;
상기 가이드 라인에 대응하여 외주면에 제 1 가이드 홈이 형성되고, 상기 제 1 가이드 홈에 상기 가이드 라인을 삽입하여 상기 반송 벨트를 순환시키는 복수 개의 롤러를 포함하되;
상기 가이드 라인은 상기 길이 방향에 수직한 단면의 하부가 상기 내측면과 결합되는 상부보다 넓게 제공되고, 상기 제 1 가이드 홈은 상기 가이드 라인에 대응되는 형상을 갖는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.In the substrate transfer device:
A conveyance belt having a substrate seated on an outer side thereof and having at least one guide line extending in a longitudinal direction on an inner side thereof, the conveying belt circulating so that the substrate is conveyed;
A plurality of rollers having a first guide groove formed on an outer circumferential surface corresponding to the guide line and inserting the guide line into the first guide groove to circulate the conveying belt;
The guide line is provided with a lower portion of the cross section perpendicular to the longitudinal direction than the upper coupled to the inner surface, the first guide groove is substrate transfer apparatus, characterized in that the shape corresponding to the guide line. 제 1 항에 있어서,
상기 가이드 라인 및 상기 제 1 가이드 홈 각각은 상기 단면이 사다리꼴 형상으로 제공되는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.The method of claim 1,
And each of the guide line and the first guide groove is provided in a trapezoidal shape in cross section. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
상기 가이드 라인은 상기 반송 벨트의 상기 내측면의 중앙 부분에 배치되는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.The method according to claim 1 or 2,
And the guide line is disposed at a central portion of the inner surface of the conveyance belt. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
상기 기판 이송 장치는;
상기 반송 벨트의 순환 경로 상의 배치되어 상기 반송 벨트를 지지하고, 상부면이 상기 반송 벨트의 상기 내측면과 접촉되며, 상기 가이드 라인에 대응하여 상기 상부면에 제 2 가이드 홈이 형성되는 적어도 하나의 플레이트를 더 포함하되;
상기 제 2 가이드 홈은 상기 가이드 라인에 대응되는 형상으로 제공되는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.The method according to claim 1 or 2,
The substrate transfer device;
At least one disposed on a circulation path of the conveying belt to support the conveying belt, the upper surface is in contact with the inner surface of the conveying belt, the second guide groove is formed on the upper surface corresponding to the guide line Further comprising a plate;
And the second guide groove is provided in a shape corresponding to the guide line. 제 4 항에 있어서,
상기 가이드 라인은 복수 개로 구비되되;
상기 롤러 및 상기 플레이트 각각은 상기 가이드 라인들에 대응하는 위치에 상기 제 1 및 상기 제 2 가이드 홈들이 복수 개가 형성되는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.The method of claim 4, wherein
The guide line is provided in plurality;
Each of the roller and the plate has a plurality of first and second guide grooves formed at positions corresponding to the guide lines. 기판 이송 장치에 있어서:
상호 인접하게 나란히 설치되어 외측면에 하나의 기판이 안착되고, 내측면에 길이 방향으로 적어도 하나의 가이드 라인이 구비되어, 상기 기판이 상기 길이 방향으로 이송되도록 순환하는 복수 개의 반송 벨트와;
상기 반송 벨트들을 각각 지지하는 벨트 지지부와;
상기 반송 벨트들의 상기 길이 방향에 수직하게 연장되어 상기 벨트 지지부에 설치되고, 상기 반송 벨트들을 동시에 순환시키는 적어도 하나의 메인 롤러와;
상기 벨트 지지부에 설치되고, 상기 가이드 라인에 대응하는 외주면에 상기 가이드 라인이 삽입되는 제 1 가이드 홈이 형성되고, 상기 메인 롤러의 회전에 의해 상기 반송 벨트들을 순환시키는 복수 개의 지지 롤러들을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.In the substrate transfer device:
A plurality of conveying belts installed adjacent to each other and seated on one outer side of the substrate, and having at least one guide line disposed on the inner side of the substrate to circulate such that the substrate is conveyed in the longitudinal direction;
A belt support portion for supporting the conveying belts, respectively;
At least one main roller extending perpendicular to the longitudinal direction of the conveying belts, the at least one main roller being provided to the belt supporting portion and simultaneously circulating the conveying belts;
A first guide groove in which the guide line is inserted into an outer circumferential surface corresponding to the guide line and formed in the belt support, and including a plurality of support rollers for circulating the conveying belts by rotation of the main roller. A substrate transfer apparatus characterized by the above-mentioned. 제 6 항에 있어서,
상기 가이드 라인은 상기 길이 방향에 수직한 단면의 하부가 상기 내측면과 결합되는 상부보다 넓게 제공되고, 상기 제 1 가이드 홈은 상기 가이드 라인에 대응되는 형상을 갖는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.The method according to claim 6,
The guide line is provided with a lower portion of the cross section perpendicular to the longitudinal direction than the upper coupled to the inner surface, the first guide groove is substrate transfer apparatus, characterized in that the shape corresponding to the guide line. 제 7 항에 있어서,
상기 가이드 라인과 상기 제 1 가이드 홈 각각은 상기 단면이 사다리꼴 형상으로 제공되는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.The method of claim 7, wherein
And each of the guide line and the first guide groove is provided in a trapezoidal shape in cross section. 제 7 항 또는 제 8 항에 있어서,
상기 기판 이송 장치는;
상기 반송 벨트와 상기 벨트 지지부 사이에 배치되고, 상기 반송 벨트의 상기 내측면과 접촉하는 상부면에 상기 가이드 라인이 삽입되는 제 2 가이드 홈을 구비하는 적어도 하나의 플레이트를 더 포함하되;
상기 제 2 가이드 홈은 상기 가이드 라인에 대응하는 형상으로 제공되는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.The method according to claim 7 or 8,
The substrate transfer device;
At least one plate disposed between the conveyance belt and the belt support and having a second guide groove in which the guide line is inserted into an upper surface in contact with the inner surface of the conveyance belt;
And the second guide groove is provided in a shape corresponding to the guide line. 제 9 항에 있어서,
상기 플레이트는 복수 개가 구비되되;
상기 벨트 지지부의 상기 상부면에 상호 이격되게 배치되는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.The method of claim 9,
The plate is provided with a plurality;
Substrate transfer apparatus, characterized in that spaced apart from each other on the upper surface of the belt support. 기판 처리 장치에 있어서,
하나의 기판이 안착되는 복수 개의 반송 벨트들과 상기 반송 벨트를 순환시키는 복수 개의 롤러들을 구비하는 제 1 벨트 컨베이어와;
복수 개의 상기 반송 벨트들 및 복수 개의 상기 롤러들을 구비하는 제 2 벨트 컨베이어 및;
상기 제 1 및 상기 제 2 벨트 컨베이어 사이 구간에서 상기 기판에 스크라이브 라인 및 크랙을 형성하는 스크라이빙부를 포함하되;
상기 반송 벨트들은 상호 인접하게 나란히 설치되어 외측면에 상기 기판이 안착되고, 상기 반송 벨트들 각각의 내측면에 상기 기판의 이송 시, 상기 반송 벨트를 일 방향으로 순환되도록 안내하는 적어도 하나의 가이드 라인을 구비하며;
상기 롤러들 각각은 외주면에 상기 가이드 라인이 삽입되는 제 1 가이드 홈을 제공하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.In the substrate processing apparatus,
A first belt conveyor having a plurality of conveying belts on which one substrate is seated and a plurality of rollers for circulating the conveying belt;
A second belt conveyor having a plurality of said conveying belts and a plurality of said rollers;
A scribing unit for forming a scribe line and a crack in the substrate in a section between the first and second belt conveyors;
The conveying belts are installed adjacent to each other side by side and the substrate is seated on the outer surface, at least one guide line for guiding the conveying belt to be circulated in one direction when the substrate is transferred to the inner surface of each of the conveying belts Having;
Each of the rollers provides a first guide groove in which the guide line is inserted into an outer circumferential surface thereof. 제 11 항에 있어서,
상기 가이드 라인은 상기 일 방향에 수직한 단면의 하부가 상기 내측면과 결합되는 상부보다 넓게 제공되고, 상기 제 1 가이드 홈은 상기 가이드 라인에 대응되는 형상을 갖는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.The method of claim 11,
The guide line may have a lower portion of the cross section perpendicular to the one direction than the upper portion combined with the inner surface, and the first guide groove has a shape corresponding to the guide line. 제 12 항에 있어서,
상기 가이드 라인과 상기 제 1 가이드 홈 각각은 단면이 사다리꼴 형상으로 제공되는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.The method of claim 12,
And each of the guide line and the first guide groove has a trapezoidal cross section. 제 11 항 또는 제 12 항에 있어서,
상기 제 1 및 상기 제 2 벨트 컨베이어 각각은 상기 반송 벨트의 순환 경로 상에 배치되어 상기 반송 벨트를 지지하는 복수 개의 플레이트들을 더 포함하되;
상기 플레이트들 각각은 상부면에 상기 가이드 라인이 삽입되고, 상기 가이드 라인에 대응되는 형상을 갖는 제 2 가이드 홈을 구비하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.The method according to claim 11 or 12,
Each of the first and second belt conveyors further comprises a plurality of plates disposed on a circulation path of the conveying belt to support the conveying belt;
Each of the plates is a substrate processing apparatus, characterized in that the guide line is inserted into the upper surface, the second guide groove having a shape corresponding to the guide line.
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KR20190036236A (en) * 2017-09-27 2019-04-04 주식회사 탑 엔지니어링 Scribing apparatus and scribing method

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