KR101904058B1 - 폴리머의 제조방법과 제조장치, 및 유기막의 제조방법과 제조장치 - Google Patents

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Abstract

과제: 반응성의 제어가 용이하고 간편한 동시에 막두께 제어에 뛰어난 신규의 폴리머의 제조방법과 제조장치, 및 유기막의 제조방법과 제조장치를 제공한다.
해결 수단: 유기 화합물을 포함하는 원료용액을 안개화 또는 액적화하는 제1의 수단, 미스트 또는 액적을, 캐리어 가스에 의해 기체까지 반송하는 제2의 수단, 및 기체 위에서 이 미스트 또는 이 액적을 가열에 의해 열반응시키는 제3의 수단을 포함하는 제조장치를 이용하여, 예를 들면 모노머 등의 유기 화합물을 포함하는 원료용액을 안개화 또는 액적화하여 생성되는 미스트 또는 액적을 캐리어 가스에 의해 기체까지 반송하고, 이어서 이 기체 위에서 이 미스트 또는 이 액적을 가열에 의해 열반응시킴으로써 폴리머 등의 유기막을 성막한다.

Description

폴리머의 제조방법과 제조장치, 및 유기막의 제조방법과 제조장치{Method and apparatus for producing polymer, and method and apparatus for producing organic film}
본 발명은, 신규의 폴리머의 제조방법과 제조장치, 및 유기막의 제조방법과 제조장치에 관한 것이다.
종래로부터, 고분자박막의 형성방법의 1종으로서, 진공증착 중합법이 알려져 있다(예를 들면 특허문헌 1 등). 진공증착 중합법은 2종 이상의 모노머의 증기를 기화하고 진공중에서 예를 들면 기판에 중합시킴으로써, 고분자박막을 형성하는 것이다. 이러한 진공증착 중합법에 의해 형성되는 고분자박막은 나노 오더(order)에서의 막두께 제어가 가능하다.
하지만, 진공증착법에 사용가능한 원료는 제한되어 있고, 복수의 원료를 이용했을 경우, 반응성의 제어가 곤란한 등의 과제가 있었다. 또한, 진공설비를 필요로 하거나 중합반응 시에 관리가 번잡해지거나 하는 등의 과제도 있어, 반드시 만족할 수 있는 것이 아니었다.
또한, 진공증착 중합법에 이용되는 중합 장치는 진공설비를 필요로 하거나 중합반응 시에 관리가 복잡해지거나 하는 등의 과제가 있었다. 때문에, 관리가 용이하고 나노 오더에서의 막두께 제어가 가능한 진공증착 중합장치를 대신하는 중합장치가 기대되고 있었다.
[특허문헌 1] 일본공개특허 소(昭)61-78463호 공보
본 발명은, 반응성의 제어가 용이하고 간편한 동시에 막두께 제어에 뛰어난 신규의 폴리머의 제조방법과 제조장치, 및 유기막의 제조방법과 제조장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명자들은 상기 목적을 달성하기 위하여 예의 검토한 결과, 미스트(mist) CVD법을 이용하고, 중합반응을 일어나게 하면 놀랍게도 용이하게 고분자박막을 얻을 수 있는 것, 막두께 제어가 용이한 것, 반응성의 제어가 용이한 것 등을 알아차리고, 또한, 모노머를 포함하는 원료용액을 안개화 또는 액적화(液滴化)하는 제1의 수단, 미스트 또는 액적을 캐리어 가스에 의해 기체(基體)까지 반송하는 제2의 수단, 및 기체 위에서 이 미스트 또는 이 액적을 가열에 의해 열반응시켜 중합을 하는 제3의 수단을 포함하는 폴리머의 제조장치의 창제에 성공하고, 미스트CVD법을 이용하여 중합반응을 일어나게 하면 놀랍게도 용이하게 고분자박막을 얻을 수 있는 것, 막두께 제어가 용이한 것, 반응성의 제어가 용이한 것 등도 알아차리고, 이러한 폴리머의 제조방법이나 제조장치가 상기한 종래의 문제를 일거에 해결 할 수 있다는 것을 알아내었다.
또한, 본 발명자들은, 상기 지견을 얻은 후, 더욱 검토를 거듭하여 본 발명을 완성하는 것에 이르렀다.
즉, 본 발명은 이하의 발명에 관한 것이다.
[1] 모노머로부터 중합에 의해 폴리머를 제조하는 방법에 있어서, 상기 모노머를 포함하는 원료용액을 안개화 또는 액적화하여 생성되는 미스트 또는 액적을 캐리어 가스에 의해 기체까지 반송하고, 이어서 이 기체 위에서 이 미스트 또는 이 액적을 가열에 의해 열반응시키는 것을 특징으로 하는 폴리머의 제조방법.
[2] [1]항에 있어서, 중합이 라디칼 중합인 제조방법.
[3] [2]항에 있어서, 모노머가 비닐 모노머인 제조방법.
[4] [2]항 또는 [3]항에 있어서, 원료용액이 라디칼 중합 개시제를 포함하는 제조방법.
[5] [1]항 내지 [4]항의 어느 한 항에 있어서, 원료용액이 물을 포함하는 제조방법.
[6] [1]항 내지 [4]항의 어느 한 항에 있어서, 원료용액이 유기용매를 포함하는 제조방법.
[7] [1]항 내지 [4]항의 어느 한 항에 있어서, 원료용액이 용매를 포함하지 않는 제조방법.
[8] [1]항 내지 [7]항의 어느 한 항에 있어서, 상기 가열을 120℃~600℃에서 진행하는 제조방법.
[9] [1]항 내지 [7]항의 어느 한 항에 있어서, 상기 가열을 80℃~120℃에서 진행하는 제조방법.
[10] 상기 [1]항 내지 [9]항의 임의의 한 항에 기재된 제조방법에 의해 제조된 폴리머.
[11] 모노머를 포함하는 원료용액을 안개화 또는 액적화하는 제1의 수단, 미스트 또는 액적을 캐리어 가스에 의해 기체까지 반송하는 제2의 수단, 및 기체 위에서 이 미스트 또는 이 액적을 가열에 의해 열반응시키는 제3의 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 폴리머의 제조장치.
[12] [11]항에 있어서, 제1의 수단의 안개화 또는 액적화를 초음파진동에 의해 진행하는 제조장치.
[13] [11]항에 있어서, 캐리어 가스가 불활성 가스인 제조장치.
[14] [11]항 내지 [13]항의 어느 한 항에 있어서, 가열을 120℃~600℃에서 진행하는 제조장치.
[15] [11]항 내지 [13]항의 어느 한 항에 있어서, 가열을 80℃~120℃에서 진행하는 제조장치.
[16] [11]항 내지 [15]항의 어느 한 항에 있어서, 모노머가 비닐 모노머인 제조장치.
[17] [16]항에 있어서, 원료용액이 라디칼 중합 개시제를 포함하는 제조장치.
[18] [17]항에 있어서, 라디칼 중합 개시제를 포집(捕集)하는 트랩수단을 더욱 구비한 제조장치.
[19] 유기 화합물을 반응시켜 유기막을 제조하는 방법에 있어서, 상기 유기 화합물을 포함하는 원료용액을 안개화 또는 액적화하여 생성되는 미스트 또는 액적을 캐리어 가스에 의해 기체까지 반송하고, 이어서 이 기체 위에서 이 미스트 또는 이 액적을 가열에 의해 열반응시키는 것을 특징으로 하는 유기막의 제조방법.
[20] [19]항에 있어서, 원료용액이 물을 포함하는 제조방법.
[21] [19]항에 있어서, 원료용액이 유기용매를 포함하는 제조방법.
[22] [19]항에 있어서, 원료용액이 용매를 포함하지 않는 제조방법.
[23] [19]항 내지 [22]항의 어느 한 항에 있어서, 상기 가열을 120℃~600℃에서 진행하는 제조방법.
[24] [19]항 내지 [22]항의 어느 한 항에 있어서, 상기 가열을 80℃~120℃에서 진행하는 제조방법.
[25] 유기 화합물을 포함하는 원료용액을 안개화 또는 액적화하는 제1의 수단, 미스트 또는 액적을 캐리어 가스에 의해 기체까지 반송하는 제2의 수단, 및 기체 위에서 이 미스트 또는 이 액적을 가열에 의해 열반응시키는 제3의 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 유기막의 제조장치.
본 발명의 폴리머의 제조방법과 제조장치, 및 유기막의 제조방법과 제조장치는 반응성의 제어가 용이하고 간편한 동시에 막두께 제어가 뛰어나다.
도 1은 본 발명의 제조장치의 일 예를 나타내는 개략구성도이다.
도 2는 본 발명에 이용되는 제1의 수단의 일 양태를 설명하는 도이다.
도 3은 도 2에 있어서의 초음파진동자의 일 양태를 나타내는 도이다.
도 4는 본 발명에 이용되는 제3의 수단의 일 양태를 나타내는 도이다.
도 5는 본 발명에 호적하게 이용되는 트랩 수단의 일 양태를 나타내는 도이다.
도 6은 실시예에 있어서의 GPC측정 결과의 일부를 나타내는 도이다.
도 7은 실시예에 있어서의 GPC 차트를 나타내는 도이다.
도 8은 실시예에 있어서의 GPC 차트를 나타내는 도이다.
도 9는 실시예에 있어서의 GPC 차트를 나타내는 도이다.
본 발명의 폴리머의 제조방법은 모노머를 포함하는 원료용액을 안개화 또는 액적화하여 생성되는 미스트 또는 액적을 캐리어 가스에 의해 기체까지 반송하고, 이어서 이 기체 위에서 이 미스트 또는 이 액적을 가열에 의해 열반응시키는 것을 특징으로 한다.
상기 중합은 공지의 중합반응이어도 되고 이러한 중합반응으로서는 예를 들면, 축차 중합(예를 들면 중축합 혹은 중부가(重付加) 등) 또는 연쇄중합(예를 들면 부가중합 혹은 개환중합(開環重合) 등) 등을 들 수 있지만 본 발명에 있어서는 상기 중합이 라디칼 중합인 것이 바람직하다.
상기 원료용액은 상기 모노머를 포함하고 있고 안개화 또는 액적화할 수 있으면 특히 한정되지 않는다. 용매도 본 발명의 목적을 저해하지 않는 한 특히 한정되지 않고 무용매여도 된다. 상기 용매로서는 공지의 무기용매나 유기용매 등을 들 수 있고 구체적으로는 예를 들면, 물; 메탄올, 에탄올, 프로파놀, 이소프로필 알코올, 부탄올, 펜타놀, 헥산올, 시클로헥산올, 메틸 시클로헥산올, 벤질 알코올 등의 1가 알코올; 에틸렌 글리콜, 프로필렌글리콜, 에틸렌 글리콜 디아세테이트, 에틸렌 글리콜 디메틸 에테르, 에틸렌 글리콜 디에틸에테르, 에틸렌 글리콜 디부틸 에테르, 에틸렌글리콜 모노메틸 에테르, 에틸렌 글리콜 모노에틸 에테르, 에틸렌 글리콜 모노메틸 에테르 아세테이트, 에틸렌 글리콜 모노에틸 아세테이트, 디에틸렌글리콜, 디에틸렌 글리콜 디아세테이트, 프로필렌 글리콜 모노메틸 에테르, 프로필렌글리콜 모노에틸 에테르, 프로필렌 글리콜 모노부틸 에테르, 프로필렌 글리콜 모노메틸 에테르 아세테이트, 글리세린 등의 다가(多價) 알코올 및 그 유도체; 디메틸 포름알데히드 등의 아미드류; 디에틸에테르, 디옥산 등의 에테르류; 아세톤, 메틸에틸케톤, 디이소부틸케톤, 디이소프로필 케톤, 디에틸 케톤, 시클로헥사논, 메틸아이소부틸케톤 등의 케톤계 용제; 클로로포름, 디클로로메탄, 사염화탄소 등의 할로겐 화합물류; 아세트 아세트산 메틸, 아세토 아세트산 에틸, 안식향산 메틸, 안식향산 에틸, 아세트산 에틸, 아세트산 부틸 등의 에스테르계 용제; 벤젠, 톨루엔, 크실렌, 시클로헥산 등의 탄화수소계 용제 등의 유기용매의 1종류 또는 2종류 이상을 적당히 선택하여 이용할 수 있다.
본 발명에 있어서는, 상기 원료용액이 물을 포함하는 것이 바람직하고, 모노머 용액이 물에 분산되어 있는 물분산체인 것이 보다 바람직하다. 상기 물로서는 보다 구체적으로는, 예를 들면, 순수(純水), 초순수, 수도물, 정수(井戶水), 광천수, 광수, 온천수, 용수, 담수, 해수 등을 들 수 있고, 이들 물에, 예를 들면 정제, 가열, 살균, 여과, 이온교환, 전해, 침투압의 조정, 완충화 등의 처리를 한 물 (예를 들면, 오존수, 정제수, 열수, 이온교환수, 생리식염수, 인산완충액, 인산완충 생리식염수 등)도 예로서 포함된다.
또한, 본 발명에 있어서는, 상기 원료용액이 유기용매를 포함하는 것도 바람직하고, 상기 원료용액이 용매를 포함하지 않는 것도 바람직하다. 한편, 본 발명에 있어서는, 원료용액에 물 또는 유기용매를 이용하여 성막하면, 반응성의 제어나 막두께 제어가 용이할뿐만 아니라 또한 밀착성이 뛰어난 폴리머 박막을 용이하게 얻을 수 있다. 또한, 본 발명에서는, 무용매로 성막하면 밀착성이 뛰어난 폴리머 박막을 용이하게 얻을 수 있을 뿐 아니라 또한 고분자량의 폴리머 막을 단시간에 얻을 수 있다.
상기 모노머는 중합가능한 모노머이면 특히 한정되지 않고 공지의 모노머여도 된다. 예를 들면, 상기 원료용액이 물분산체일 경우에는 상기 모노머가 소수성(疏水性) 모노머인 것이 바람직하다.
상기 모노머로서는, 예를 들면, 질소원자, 산소원자, 유황원자, 할로겐 원자 및 금속원자 중에서 선택되는 적어도 일종을 포함하는 관능기나 치환되어 있어도 되는 비닐기를 분자 내에 적어도 하나 가지는 중합성의 화합물 등을 들 수 있다. 상기 관능기로서는, 예를 들면, 이소시아네이트기, 티오이소시아네이트기, 아미노기, 이미노기, 술폰기, 히드록시기, 카르복실기, 티오카르복실기, 카르보닐기, 티오카르보닐기, 포르밀기, 티오포르밀기, 실라놀기, 히드로카빌옥시기, 니트릴기, 피리딜기, 아미드기, 이미드기, 이미다졸기, 암모늄기, 히드라조기, 아조기, 디아조기, 케티민기, 에폭시기, 티오에폭시기, 옥시 카르보닐기(에스테르 결합), 카르보닐티오기(티오에스테르결합), 옥시기(에테르 결합), 글리시독시기, 술피드기(티오에테르 결합), 디설파이드기, 메르캅토기, 히드라카빌티오기, 술포닐기, 술피닐기, 이민잔기, 다른 함질소복소환식기, 함산소복소환식기, 함유황복소환식기, 히드로카빌옥시실릴기, 유기 주석기, 염소원자 및 브롬원자 등을 들 수 있다. 이들의 관능기는 모노머 중에 일종만 포함되어 있어도 되고 이종 이상 포함되어 있어도 된다.
본 발명에 있어서는, 상기 모노머가 치환되어 있어도 되는 비닐기를 포함하는 비닐 모노머인 것이 바람직하다. 상기 비닐 모노머는 치환되어 있어도 되는 비닐기를 1 또는 2 이상 포함하는 모노머이면 특히 한정되지 않는다. 상기 비닐기는 중합가능한 범위에서 동시에 화학적으로 허용되는 범위에서 치환기를 가지고 있어도 되고 상기 치환기로서는 할로겐 원자, C1-6 알콕시기, C2-6 알켄닐옥시기, C2-6 알키닐티오기, C1-6 알킬티오기, C2-6 알켄닐티오기, C2-6 알키닐티오기, C1-6 할로 알콕시기, C2-6 알로알켄닐옥시기, C1-6 할로알키닐티오기, C2-6 할로알켄닐티오기, 니트로기, 수산기, 메르캅토기, 시아노기, 에폭시기 또는 글리시딜기 등을 들 수 있다. 또한, 치환기의 수도 치환가능한 수이면 특히 한정되지 않고 바람직하게는 1에서 6, 보다 바람직하게는 1에서 3이다.
상기 비닐 모노머로서는, 예를 들면, 스티렌, α-메틸 스티렌, 클로로 스티렌 등의 방향족 비닐 모노머; 아크릴산 메틸, 아크릴산 에틸, 아크릴산 부틸 등의 아크릴산 에스테르류; 메타크릴산 메틸, 메타크릴산 에틸 등의 메타크릴산 에스테르류; 아크릴산, 메타크릴산 등의 카르복실기를 가지는 비닐 모노머; 염화 비닐, 브롬화 비닐, 염화 비닐리덴 등의 할로겐화 비닐 및 할로겐화 비닐리덴류; 아세트산 비닐, 프로피온산 비닐 등의 비닐 에스테르류; 아크릴로니트릴, 메타크릴로니트릴 등의 니트릴류; 부타디엔, 이소프렌 등의 공액 디엔류 등을 들 수 있다. 이들 모노머는 단독으로 중합시켜도 되고 2종 이상을 병용하여 공중합시켜도 된다. 본 발명에 있어서는, 상기 비닐 모노머가 방향족 비닐 모노머 아크릴산 에스테르류, 메타크릴산 에스테르류 및 카르복실기를 가지는 비닐 모노머로부터 선택되는 1종 또는 2종 이상인 것이 바람직하다.
상기 라디칼 중합 개시제는 종래 염화 비닐계의 중합에 사용되고 있는 것을 사용할 수 있고, 구체적으로는 t-부틸퍼옥시 네오데카노에이트, t-부틸퍼옥시 피발레이트, t-헥실 퍼옥시네오데카노에이트, t-헥실네오헥사노에이트, t-헥실 퍼옥시 피발레이트, α-쿠밀퍼옥시네오데카노에이트, 2,4,4-트리메틸펜틸-2-퍼옥시-2-네오데카노에이트 등의 퍼에스테르 화합물; 디이소프로필 퍼옥시디카보네이트, 디-2-에톡시에틸 퍼옥시디카보네이트, 디-2-에틸헥실 퍼옥시디카보네이트, 디메톡시이소프로필 퍼옥시디카보네이트, 디에톡시에틸 퍼옥시디카보네이트 등의 퍼카보네이트 화합물; 데카노일 퍼옥사이드, 벤조일 퍼옥사이드, 쿠멘하이드로 퍼옥사이드, 사이클로 헥사논 퍼옥사이드, 2,4-디클로로벤조일 퍼옥사이드, p-메탄하이드로 퍼옥사이드, 이소부틸 퍼옥사이드, 아세틸 시클로 헥실 술포닐 퍼옥사이드, 2,4,4-트리메틸펜틸-2-퍼옥시 페녹시아세트이트, 3,5,5-트리메틸헥사노일 퍼옥사이드, 라우로일 퍼옥사이드, 디-t-부틸퍼옥사이드, t-부틸퍼옥시 벤조에이트 등의 과산화물; α,α'-아조비스이소부티로니트릴, α,α'-아조비스(2,4-디메틸 발레로니트릴), α,α'-아조비스(4-메톡시-2,4-디메틸 발레로니트릴) 등의 아조 화합물 등의 유용성(流用性) 중합 개시제의 1종을 단독으로 또는 2종 이상을 조합시켜 사용할 수 있고, 또한 과황산 칼륨, 과황산 암모늄, 과산화 수소 등의 수용성 중합개시제와 병용할 수도 있다.
또한, 본 발명에 있어서는, 분산제나 연쇄이동제 등을 사용해도 된다. 상기 분산제로서는, 공지의 분산제 등을 들 수 있고 구체적으로는, 폴리비닐알코올(PVA)이나 변성 PVA수지, 메틸 셀룰로오스, 히드록시 에틸 셀룰로오스, 히드록시 프로필 셀룰로오스 등의 수용성 셀룰로오스 에테르, 폴리 비닐 피롤리돈, 젤라틴 등의 수용성 폴리머, 솔비탄 모노라우레이트, 솔비탄 트리올리에이트, 글리세린 트리스테아레이트, 에틸렌옥사이드 프로필렌옥사이드 블록폴리머 등의 유용성 유화물, 폴리옥시에틸렌 글리세린올레이트, 라우린산 나트륨 등의 수용성 유화제 등을 들 수 있다. 이들 다른 분산제는 그들 중의 1종을 이용해도 되고 2종 이상을 동시에 이용해도 된다.
또한, 연쇄이동제로서는 구체적으로는 2-메르캅토-2-티아졸, 2-메르캅토 에탄올 등의 멜캅탄류, 9,10-디히드로-9-옥사-10-포스파펜난스렌-10-옥사이드(9,10-dihydro-9-oxa-10-phosphaphenanthrene-10-oxide) 등의 유기인화합물 등이 사용된다. 기타의 중합 건은 통상의 조건으로 할 수 있고 예를 들면, 단량체의 중합체 성분을 분산시키기 위하여 사용하는 수성매체의 준비량은 단량체와의 준비비(물/단량체)가, 중량비로, 통상, 1~1000 정도이고 바람직하게는 5~500 정도이며, 보다 바람직하게는 10~100 정도이다. 한편, 필요에 따라 중합 도중에 물을 추가할 수 있는 것 외에, 중합 조정제, pH조정제, 겔화 개량제, 대전(帶電) 방지제, 가교제, 안정제, 충전제, 산화 방지제, 완충제, 스케일 방지제 등을 첨가하는 것도 임의적이다.
상기 기체는 본 발명의 목적을 저해하지 않는 한, 특히 한정되지 않는다. 상기 기체의 형상으로서는 예를 들면, 평판이나 원판 등의 판상(板狀), 섬유상(纖維狀), 봉상(棒狀), 원주상(圓柱狀), 각주상(角柱狀), 통상(筒狀), 나선상(螺旋狀), 구상(球狀), 링상 등을 들 수 있다. 또한, 상기 기체의 종류로서는, 예를 들면, 반도체재료, 유리판, 유리 크로스, 유리 시트, 금속판 등의 막상(膜狀), 다층체상(多層體狀), 판상(板狀) 혹은 시트상의 무기재료, 상질지(上質紙), 중질지(中質紙), 코팅지 등의 종이, 합성지, 천, 목재 또는 폴리에스테르, 폴리아미드, 폴리스티렌, 폴리염화비닐, 폴리메틸메타크릴레이트, 아세트산 셀룰로오스, 폴리카보네이트 혹은 폴리이미드 등의 플라스틱 필름 혹은 시트, 필름 라미네이트지 또는 직포 시트 또는 반도체장치 등을 들 수 있지만 이들에 제한되지 않는다.
본 발명에서는, 상기 모노머를 포함하는 원료용액을 안개화 또는 액적화하여 미스트 또는 액적을 생성하고(안개화·액적화 공정), 캐리어 가스에 의해 기체까지 반송하며(미스트 반송 공정), 이어서 이 기체 위에서 이 미스트 또는 이 액적을 가열에 의해 열반응시킨다(열반응 공정).
상기 안개화·액적화공정은 원료용액을 조정하고 상기 원료용액을 안개화 또는 액적화하여 미스트를 발생시킨다. 안개화 또는 액적화 수단은 상기 원료용액을 안개화 또는 액적화할 수 있기만 하면 특히 한정되지 않고 공지의 안개화 수단 또는 액적화 수단이면 되지만, 본 발명에 있어서는 초음파를 이용하는 안개화 수단 또는 액적화 수단인 것이 바람직하다.
상기 미스트 반송 공정에서는 캐리어 가스를 이용하여 상기 미스트 또는 상기 액적을 기체까지 반송한다. 캐리어 가스의 종류로서는 본 발명의 목적을 저해하지 않는 한 특히 한정되지 않고 예를 들면, 산소, 오존, 질소나 아르곤 등의 불활성 가스 또는 수소 가스나 포밍 가스 등의 환원 가스 등이 호적한 예로 들 수 있다. 또한, 캐리어 가스의 종류는 1종이어도 되지만, 2종 이상이어도 되고, 캐리어 가스 농도를 변화시킨 희석 가스(예를 들면 10배 희석 가스 등) 등을 제2의 캐리어 가스로서 이용해도 된다. 또한, 캐리어 가스의 공급 부위도 1개소뿐만 아니라 2개소 이상 있어도 된다. 캐리어 가스의 유량은 특히 한정되지 않지만, 예를 들면 가로 세로 30mm 크기의 기판(基板) 위에 성막할 경우에는 0.01~20L/분인 것이 바람직하고, 1~10L/분인 것이 보다 바람직하다.
상기 열반응 공정에서는, 상기 미스트 또는 상기 액적을 열반응시켜 상기 기체표면의 일부 또는 전부에 성막한다. 상기 반응은 상기 미스트 또는 상기 액적으로부터 막이 형성되는 반응이라면 특히 한정되지 않지만 본 발명에 있어서는 가열에 의한 열반응이 바람직하다. 상기 열반응은 가열에 의해 상기 미스트 또는 상기 액적이 반응하면 그것으로 되고, 반응조건 등도 본 발명의 목적을 저해하지 않는 한 특히 한정되지 않는다. 본 공정에 있어서, 열반응을 수행할 시의 조건 등에 대해서는 특히 제한은 없지만, 통상, 가열온도는 80℃~600℃이지만, 상기 원료용액이 물을 포함할 경우에는, 바람직하게는 120~600℃의 범위이고 보다 바람직하게는 120℃~350℃의 범위이며 가장 바람직하게는 130℃~300℃의 범위이다. 또한, 상기 원료용액에 유기용매가 포함될 경우 또는 상기 원료용액에 용매가 포함되지 않을 경우에는, 상기 가열온도는 80℃~150℃가 바람직하고, 80℃~120℃가 보다 바람직하다. 또한, 열반응은 본 발명의 목적을 저해하지 않는 한 진공하, 비산소분위기하, 환원가스 분위기하 및 산소분위기하의 임의의 분위기하에서 진행되어도 되고, 또한, 대기압하, 가압하 및 감압하의 임의의 조건하에서 진행되어도 좋지만 본 발명에 있어서는, 대기압하에서 진행되는 것이 바람직하다. 한편, 열반응은 통상, 중합반응을 수반하지만, 본 발명에 있어서는, 특히 한정되지 않고 기체 위에서 중합반응이 일어나도 되고, 미스트 또는 액적 내에서 중합반응이 일어나도 좋다.
상기한 바와 같이 해서 중합을 실시함으로써, 기체와의 밀착성이 뛰어난 폴리머를 얻을 수 있고, 또한, 반응 시간을 조절함으로써, 폴리머의 막두께를 나노 오더로 제어할 수 있다. 또한, 본 발명에 의하면, 종래에서는 박막화가 곤란했던 고분자 필름 복합재료의 박막화에도 유용하여, 예를 들면 기체로서 반도체장치에 이용할 경우에는 장치 패키지용으로 이용할 수도 있다.
또한, 본 발명의 폴리머의 제조장치는, 모노머를 포함하는 원료용액을 안개화 또는 액적화하는 제1의 수단, 미스트 또는 액적을 캐리어 가스로써 기체까지 반송하는 제2의 수단 및 기체 위에서 이 미스트 또는 이 액적을 가열에 의해 열반응시키는 제3의 수단을 포함하는 것을 특징으로 한다.
이하, 본 발명의 제조장치에 대하여 도면을 이용하여 설명하지만, 본 발명은 이 도면들에 한정되는 것이 아니다.
도 1은 본 발명의 제조장치의 일 예를 제시하고 있다. 제조장치(1)는 캐리어 가스를 공급하는 캐리어 가스원(2a)과, 캐리어 가스원(2a)으로부터 송출되는 캐리어 가스의 유량을 조절하기 위한 유량 조절 밸브(3a)와, 캐리어 가스(희석)를 공급하는 캐리어 가스(희석)원(2b)과 캐리어 가스(희석)원(2b)로부터 송출되는 캐리어 가스(희석)의 유량을 조절하기 위한 유량 조절 밸브(3b)와, 원료용액(4a)이 수용되는 미스트 발생원(4)과, 물(5a)이 들어있는 용기(5)와 용기(5)의 저면에 부착된 초음파진동자(6)와, 성막실(7)과, 미스트 발생원(4)으로부터 성막실(7)까지를 연결하는 공급관(9)과, 성막실(7) 내에 설치된 핫 플레이트(8)와, 트랩조(槽)(11)를 갖추고 있다. 핫 플레이트(8) 위에는 기판(10)이 설치되어 있다.
본 발명의 제조장치(1)는 모노머를 포함하는 원료용액을 안개화 또는 액적화하는 제1의 수단을 포함하고 있다. 도 2는 제1의 수단의 일 양태를 나타내고 있다. 원료용액(4a)이 수용되어 있는 용기로 이루어지는 미스트 발생원(4)이, 물(5a)이 수용되어 있는 용기(5)에, 지지체(도시하지 않음)를 이용하여 수납되어 있다. 용기(5)의 저부에는 초음파진동자(6)가 구비되어 있고 초음파진동자(6)와 발진기(16)가 접속되어 있다. 그리고, 발진기(16)를 작동시키면 초음파진동자(6)가 진동하고, 물(5a)을 통하여 미스트 발생원(4) 내로 초음파가 전파되고, 원료용액(4a)이 안개화 또는 액적화하도록 구성되어 있다.
도 3은, 도 2에 나타낸 초음파진동자(6)의 일 양태를 나타내고 있다. 도2의 초음파진동자는 지지체(6e) 위의 원통상의 탄성체(6d) 내에, 원판상의 압전체(壓電體) 소자(6b)를 구비하고 있고, 압전체 소자(6b)의 양면에 전극(6a, 6c)이 설치되어 있다. 그리고, 전극에 발진기를 접속하여 발진 주파수를 변경하면, 압전체 소자(6b)의 두께 방향의 공진주파수 및 지름 방향의 공진주파수를 가지는 초음파가 발생되도록 구성되어 있다.
상기한 대로 제1의 수단에서는 원료용액을 조정하고, 상기 원료용액을 안개화 또는 액적화하여 미스트 또는 액적을 발생시킨다. 안개화 또는 액적화 수단은 상기 원료용액을 안개화 또는 액적화할 수 있기만 하면 특히 한정되지 않고, 공지의 안개화 수단 또는 액적화 수단이면 되지만 본 발명에 있어서는, 초음파진동에 의해 진행하는 안개화 수단 또는 액적화 수단인 것이 바람직하다.
제2의 수단에서는, 캐리어 가스를 이용하여 상기 미스트 또는 상기 액적을 기체까지 반송한다. 캐리어 가스의 종류로서는, 본 발명의 목적을 저해하지 않는 한 특히 한정되지 않고 예를 들면, 산소, 오존, 질소나 아르곤 등의 불활성 가스, 또는 수소 가스나 포밍 가스 등의 환원 가스 등을 호적한 예로서 들 수 있다. 또한, 캐리어 가스의 종류는 1종이어도 되지만, 2종 이상이어도 되고, 캐리어 가스 농도를 변화시킨 희석 가스(예를 들면 10배 희석 가스 등) 등을 제2의 캐리어 가스로서 더 이용해도 된다. 또한, 캐리어 가스의 공급개소도 1개소뿐만 아니라, 2개소 이상 있어도 좋다. 캐리어 가스의 유량은 특히 한정되지 않지만, 예를 들면 가로 세로 30mm 기판 위에 성막할 경우에는, 0.01~20L/분인 것이 바람직하고 1~10L/분인 것이 보다 바람직하다. 본 발명에 있어서는, 상기 캐리어 가스가 불활성 가스인 것이 바람직하고 질소 가스인 것이 보다 바람직하다.
제3의 수단에서는, 상기 미스트 또는 상기 액적을 열반응시켜 상기 기체표면의 일부 또는 모두에 성막한다. 상기 반응은 상기 미스트 또는 상기 액적으로 막이 형성되는 반응이라면 특히 한정되지 않지만 본 발명에 있어서는, 가열에 의한 열반응이 바람직하다. 상기 열반응은 가열로써 상기 미스트 또는 상기 액적이 반응하면 그것으로 되고, 반응조건 등도 본 발명의 목적을 저해하지 않는 한 특히 한정되지 않는다. 본 공정에 있어서, 열반응을 수행할 시의 조건 등에 대해서는 특히 제한은 없지만 통상, 가열온도는 80℃~600℃이지만, 상기 원료용액이 물을 포함할 경우에는, 바람직하게는 120℃~600℃의 범위이며, 보다 바람직하게는 120℃~350℃의 범위이며, 가장 바람직하게는 130℃~300℃의 범위이다. 또한, 상기 원료용액에 유기용매가 포함될 경우 또는 상기 원료용액에 용매가 포함되지 않을 경우에는 상기 가열온도는 80℃~150℃가 바람직하고 80℃~120℃가 보다 바람직하다. 또한, 열반응은 본 발명의 목적을 저해하지 않는 한, 진공하, 비산소분위기하, 환원 가스 분위기하 및 산소분위기하의 임의의 분위기하에서 진행되어도 되고 또한, 대기압하, 가압하 및 감압하의 임의의 조건하에서 진행되어도 되지만 본 발명에 있어서는, 대기압하에서 진행되는 것이 바람직하다. 한편, 열반응은 통상, 중합반응을 수반하지만, 본 발명에 있어서는, 특히 한정되지 않고 기체 위에서 중합반응이 일어나도 되고 미스트 또는 액적 내에서 중합반응이 일어나도 된다. 또한, 중합은 비산소분위기하에서 진행되는 것이 바람직하고 불활성 가스 분위기하에서 진행되는 것이 보다 바람직하고 질소분위기하에서 진행되는 것이 가장 바람직하다.
도 4는, 제3의 수단의 일 양태를 나타내고 있다. 도 4의 성막실(7)은 원통 형상이며, 핫 플레이트(8) 위에 설치되어 있다. 그리고, 성막실(7)은 미스트 발생원(4)과 공급관(9)을 통하여 접속되고 있고, 미스트 발생원(4)에서 발생한 미스트 또는 액적(4b)이 캐리어 가스에 의해 공급관(9)을 통하여 성막실(7) 내에 흘러들어가서, 핫 플레이트 위에 재치(載置)된 기판(10) 위에서 열반응하도록 구성되어 있다. 또한, 성막실(7)은 배기관(19a)도 접속되고 있어 열반응 후의 미스트, 액적 혹은 가스가 배기관(19a)에 옮겨지도록 구성되어 있다. 본 발명에 있어서는, 열반응 후의 미스트, 액적 혹은 가스가 트랩 처리에 회부되도록 트랩 수단을 더욱 갖추고 있는 것이 바람직하다.
도 5는 상기 트랩 수단의 일 양태를 나타내고 있다. 도 5의 트랩조(11)는 예를 들면 도 4의 배기관(19a)과 접속되고 있어 열반응 후의 미스트, 액적 혹은 가스가 트랩조(11) 내로 흘러들어 가도록 구성되어 있다. 트랩조(11)는 트랩액(예를 들면 대상물질이 용해하는 용매 등)이 수납되고 있고 트랩조(11) 내로 흘러든 열반응 후의 미스트, 액적 혹은 가스 등이 트랩액에 접촉하고 대상물질이 포집되며, 나머지는 배기관(19b)으로 흘러가도록 구성되어 있다. 이렇게 구성하는 것으로, 미스트 내에서의 보다 안전하고 또한 간편한 중합을 실현하는 것이 가능해진다.
이하, 도 1을 이용하여 본 발명의 제조장치의 사용 양태를 설명한다.
먼저, 모노머를 포함하는 원료용액(4a)을 미스트 발생원(4) 내에 수용하고, 기판(10)을 핫 플레이트(8) 위에 설치시켜 핫 플레이트(8)를 작동시킨다. 다음으로, 유량 조절 밸브(3)(3a, 3b)를 열어 캐리어 가스원(2)(2a, 2b)으로부터 캐리어 가스를 성막실(7) 내로 공급하고, 성막실(7)의 분위기를 캐리어 가스로 충분히 치환한 후, 캐리어 가스의 유량과 캐리어 가스(희석)의 유량을 각각 조절한다. 다음으로, 초음파진동자(6)를 진동시켜 그 진동을 물(5a)을 통하여 원료용액(4a)으로 전파시키는 것에 의해, 원료용액(4a)을 안개화 또는 액적화시켜 미스트 또는 액적(4b)을 생성한다. 그 다음, 미스트 또는 액적(4b)이 캐리어 가스에 의해 성막실(7) 내로 도입되고, 성막실(7) 내에서 핫 플레이트(8)의 가열에 의해 열반응하여, 기판(10) 위에 폴리머가 형성된다. 또한, 폴리머 형성 후, 열반응 후 또는 미반응의 미스트, 액적 혹은 가스 등은 소정의 용매가 들어있는 트랩조(11)로 옮겨져 중합 개시제 등의 화학물질(예를 들면 대기 중에서 인화나 폭발의 우려가 있는 화학물질 등)이 포집되어 배기 처리로 회부된다.
상기한 바와 같이 하여 본 발명의 제조장치를 이용함으로써, 기체와의 밀착성이 뛰어난 폴리머를 얻을 수 있고, 또한, 반응시간을 조절함으로써, 폴리머의 막두께를 나노 오더로 제어할 수 있다. 또한, 본 발명에 의하면, 종래로는 박막화가 곤란했던 고분자 필름 복합재료의 박막화에도 유용하여, 예를 들면 기체로서 반도체장치에 이용할 경우에는, 장치 패키지용으로 이용할 수도 있다.
또한, 본 발명에 있어서는, 폴리머뿐만 아니라 폴리머이외의 유기막에도 적용가능하여 이렇게 유기막에 적용한 유기막의 제조방법이나 제조장치도 본 발명에 포함된다. 즉, 본 발명의 유기막의 제조방법은 유기 화합물을 반응시켜 유기막을 제조하는 방법에 있어서, 상기 유기 화합물을 포함하는 원료용액을 안개화 또는 액적화하여 생성되는 미스트 또는 액적을 캐리어 가스에 의해 기체까지 반송하고, 이어서 이 기체 위에서 이 미스트 또는 이 액적을 가열에 의해 열반응시키는 것을 특징으로 한다. 또한, 본 발명의 유기막의 제조장치는 유기 화합물을 포함하는 원료용액을 안개화 또는 액적화하는 제1의 수단, 미스트 또는 액적을 캐리어 가스에 의해 기체까지 반송하는 제2의 수단, 및 기체 위에서 이 미스트 또는 이 액적을 가열에 의해 열반응시키는 제3의 수단을 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기 유기 화합물 및 상기 유기막은 각각 본 발명의 목적을 저해하지 않는 한, 특히 한정되지 않고, 공지의 것이어도 된다. 저분자여도 되고 올리고머여도 된다. 또한, 본 발명의 유기막의 제조방법으로서 이용할 수 있는 수단 등은 상기한 폴리머의 제조방법과 같아도 된다. 본 발명에 있어서는, 밀착성 향상 원료용액이 물이나 유기용매를 포함하면, 밀착성을 향상시키는 것이 가능하다. 또한, 무용매일 경우에도 동일하게 바람직하다.
실시예
이하, 본 발명의 실시예를 설명하지만 본 발명은 이들에 한정되는 것이 아니다.
(실시예 1)
1. 제조장치
먼저, 도 1을 이용하여 본 실시예에서 이용한 제조장치(1)를 설명한다. 제조장치(1)는 캐리어 가스를 공급하는 캐리어 가스원(2a)과, 캐리어 가스원(2a)으로부터 송출되는 캐리어 가스의 유량을 조절하기 위한 유량 조절 밸브(3a)와, 캐리어 가스(희석)를 공급하는 캐리어 가스(희석)원(2b)과 캐리어 가스(희석)원(2b)으로부터 송출되는 캐리어 가스(희석)의 유량을 조절하기 위한 유량 조절 밸브(3b)와, 원료용액(4a)이 수용되는 미스트 발생원(4)과, 물(5a)이 들어갈 수 있는 용기(5)와, 용기(5)의 저면에 부착된 초음파진동자(6)와, 성막실(7)과, 미스트 발생원(4)으로부터 성막실(7)까지를 연결하는 공급관(9)과, 성막실(7) 내에 설치된 핫 플레이트(8)와, 알코올 트랩조(11)를 갖추고 있다. 핫 플레이트(8) 위에는 기판(10)이 설치되어 있다.
2. 원료용액의 제작
아래의 표 1에 나타낸 대로 각 성분을 혼합하고 이것을 원료용액으로 했다.
Figure 112015123856050-pat00001
3. 성막준비
상기 2.에서 얻어진 원료용액(4a)을 미스트 발생원(4) 내에 수용했다. 다음으로, 기판(10)으로서, 한변이 10mm인 정방형의 유리판을 핫 플레이트(8) 위에 설치하고, 핫 플레이트(8)를 작동시켜 성막실(7) 내의 온도를 150℃까지 승온시켰다. 다음으로, 유량 조절 밸브(3)(3a, 3b)를 열어 캐리어 가스원(2)(2a, 2b)으로부터 캐리어 가스를 성막실(7) 내로 공급하고, 성막실(7)의 분위기를 캐리어 가스로 충분히 치환한 후, 캐리어 가스의 유량을 5L/min로, 캐리어 가스(희석)의 유량을 0.5L/min로 각각 조절했다. 한편, 캐리어 가스로서 질소를 이용했다.
4. 단층막 형성
다음으로, 초음파진동자(6)를 2.4MHz로 진동시켜, 그 진동을 물(5a)을 통하여 원료용액(4a)으로 전파시키는 것에 의해, 원료용액(4a)을 미립자화시켜 원료미립자(4b)를 생성했다. 이 원료미립자(4b)가 캐리어 가스에 의해 성막실(7) 내로 도입되고, 대기압하, 150℃에서, 성막실(7) 내에서 반응하여 기판(10) 위에 박막을 형성했다. 한편, 성막시간은 1시간이었다.
5. 평가
상기 4.에서 얻어진 폴리머 막에 대하여 막두께를 측정한 바, 50nm이었다. 또한, 폴리머 막을 90℃의 열수에 30분간 침지한 후, 취출하여 표면을 관찰했지만 박리 등은 일체 생기지 않았다. 또한, 스크래치 시험기를 이용하여 하중 200g을 바늘 끝에 걸면서 300mm/min으로 막표면을 긁었지만, 박리 등도 생기지 않았고 밀착성이 좋은 것을 알았다.
또한, 상기 4.에서 얻어진 폴리머 막의 중량평균 분자량을 겔 침투 크로마토그래피(GPC)로 측정한 바, 중량평균 분자량은 17500이었다. 한편, GPC 측정 결과의 일부를 도 6에 나타낸다.
(실시예 2)
원료용액으로서, 표 2에 나타내는 각 성분을 혼합하여 얻어진 용액을 이용한 것, 캐리어 가스의 유량을 3L/min으로 한 것 및 성막온도를 80℃로 한 것 이외에는 실시예 1과 같게 하여 폴리머 막을 얻었다.
Figure 112015123856050-pat00002
또한, 실시예 1과 동일하게 평가한 바, 실시예 1의 폴리머 막과 동일하게 양호한 막을 얻을 수 있었고, 이 실시예 2에서 얻어진 폴리머 막의 중량평균 분자량은 18411이었다. 한편, GPC차트를 도 7에 나타낸다.
(실시예 3)
성막온도를 100℃로 한 것 이외에는 실시예 2와 같게 하여 폴리머 막을 얻었다. 또한, 실시예 1과 동일하게 평가한 바, 실시예 1의 폴리머 막과 동일하게 양호한 막을 얻을 수 있었고 이 실시예 3에서 얻어진 폴리머 막의 중량평균 분자량은 17287이었다. 한편, GPC 차트를 도 8에 나타낸다.
(실시예 4)
원료용액으로서, 용매를 이용하지 않고, 메타크릴산 메틸 100 중량부에, AIBN 1 중량부를 혼합하여 얻어진 용액을 이용한 것 이외에는, 실시예 3과 동일하게 하여 폴리머 막을 얻었다. 또한, 실시예 1과 동일하게 평가한 바, 실시예 1의 폴리머 막과 동일하게 양호한 막을 얻을 수 있었고, 이 실시예 4에서 얻어진 폴리머 막의 중량평균 분자량은 153574이었다. 한편, GPC 차트를 도 9에 나타낸다. 여기에서, 실시예 4에서 얻어진 폴리머 막의 중량평균 분자량은 GPC시스템(토소 주식회사제 「HLC-8220」, 용매: 클로로포름)을 이용하여 표준 폴리스티렌 환산으로 구한 값이다.
실시예 4로부터도 분명하듯이, 용매를 이용하지 않고 성막하면 고분자량의 폴리머 막을 단시간에 얻을 수 있는 것을 알 수 있다.
또한, 본 발명에서는 모든 박막을 용이하게 성막할 수 있고 게다가 밀착성도 뛰어나다.
본 발명의 폴리머의 제조방법은 모든 폴리머의 성막 분야에 이용할 수 있어, 공업적으로 유용하다. 특히, 고분자산업에 있어서, 고분자박막을 성막할 경우에는 본 발명의 제조방법 및 제조장치를 적합하게 이용할 수 있다.
1 폴리머의 제조장치
2a 캐리어 가스원, 2b 캐리어 가스(희석)원
3a 유량 조절 밸브, 3b 유량 조절 밸브
4 미스트 발생원, 4a 원료용액, 4b 원료미립자
5 용기, 5a 물
6 초음파진동자, 6a 전극, 6b 압전체소자, 6c 전극, 6d 탄성체, 6e 지지체
7 성막실
8 핫 플레이트
9 공급관
10 기판
11 트랩조, 11a 트랩액
16 발진기
19a 배기관, 19b 배기관

Claims (25)

  1. 모노머로부터 중합에 의해 폴리머를 제조하는 방법에 있어서, 상기 모노머를 포함하는 원료용액을 안개화 또는 액적화하여 생성되는 안개 또는 액적을, 캐리어 가스에 의해 기체(基體)까지 반송하고, 이어서 상기 기체 위에서 상기 안개 또는 상기 액적을 대기압하에서, 가열에 의해 열반응시키는 것을 특징으로 하며,
    상기 모노머는 안개화 또는 액적화가 가능하고, 상기 열반응에 의해 중합 가능한 것인, 폴리머의 제조방법.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 중합이 라디칼 중합인 폴리머의 제조방법.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 모노머가 비닐 모노머인 폴리머의 제조방법.
  4. 제2항 또는 제3항에 있어서,
    상기 원료용액이 라디칼 중합 개시제를 포함하는 폴리머의 제조방법.
  5. 제1항 내지 제3항의 어느 한 항에 있어서,
    상기 원료용액이 물을 포함하는 폴리머의 제조방법.
  6. 제1항 내지 제3항의 어느 한 항에 있어서,
    상기 원료용액이 유기용매를 포함하는 폴리머의 제조방법.
  7. 제1항 내지 제3항의 어느 한 항에 있어서,
    상기 원료용액이 용매를 포함하지 않는 폴리머의 제조방법.
  8. 제1항 내지 제3항의 어느 한 항에 있어서,
    상기 가열을 120℃~600℃에서 진행하는 폴리머의 제조방법.
  9. 제1항 내지 제3항의 어느 한 항에 있어서,
    상기 가열을 80℃~120℃에서 진행하는 폴리머의 제조방법.
  10. 삭제
  11. 모노머를 포함하는 원료용액을 안개화 또는 액적화하는 제1의 수단, 안개 또는 액적을 캐리어 가스에 의해 기체까지 반송하는 제2의 수단, 및 상기 기체 위에서 상기 안개 또는 액적을 대기압하에서, 가열에 의해 열반응시키는 제3의 수단을 포함하는 것을 특징으로 하며,
    상기 모노머는 안개화 또는 액적화가 가능하고, 상기 열반응에 의해 중합 가능한 것인, 폴리머의 제조장치.
  12. 제11항에 있어서,
    상기 제1의 수단의 안개화 또는 액적화를 초음파진동에 의해 진행하는 폴리머의 제조장치.
  13. 제11항에 있어서,
    상기 캐리어 가스가 불활성 가스인 폴리머의 제조장치.
  14. 제11항 내지 제13항의 어느 한 항에 있어서,
    상기 가열을 120℃~600℃에서 진행하는 폴리머의 제조장치.
  15. 제11항 내지 제13항의 어느 한 항에 있어서,
    상기 가열을 80℃~120℃에서 진행하는 폴리머의 제조장치.
  16. 제11항 내지 제13항의 어느 한 항에 있어서,
    상기 모노머가 비닐 모노머인 폴리머의 제조장치.
  17. 제16항에 있어서,
    상기 원료용액이 라디칼 중합 개시제를 포함하는 폴리머의 제조장치.
  18. 제17항에 있어서,
    상기 라디칼 중합 개시제를 포집하는 트랩 수단을 더 구비한 폴리머의 제조장치.
  19. 유기 화합물을 반응시켜 유기막을 제조하는 방법에 있어서, 상기 유기 화합물을 포함하는 원료용액을 안개화 또는 액적화해서 생성되는 안개 또는 액적을, 캐리어 가스에 의해 기체까지 반송하고, 이어서 상기 기체 위에서 상기 안개 또는 상기 액적을 대기압하에서, 가열에 의해 열반응시키는 것을 특징으로 하며,
    상기 유기 화합물은 안개화 또는 액적화가 가능한 것인, 유기막의 제조방법.
  20. 제19항에 있어서,
    상기 원료용액이 물을 포함하는 유기막의 제조방법.
  21. 제19항에 있어서,
    상기 원료용액이 유기용매를 포함하는 유기막의 제조방법.
  22. 제19항에 있어서,
    상기 원료용액이 용매를 포함하지 않는 유기막의 제조방법.
  23. 제19항 내지 제22항의 어느 한 항에 있어서,
    상기 가열을 120℃~600℃에서 진행하는 유기막의 제조방법.
  24. 제19항 내지 제22항의 어느 한 항에 있어서,
    상기 가열을 80℃~120℃에서 진행하는 유기막의 제조방법.
  25. 유기 화합물을 포함하는 원료용액을 안개화 또는 액적화하는 제1의 수단, 안개 또는 액적을 캐리어 가스로써 기체까지 반송하는 제2의 수단, 및 상기 기체 위에서 상기 안개 또는 상기 액적을 대기압하에서, 가열에 의해 열반응시키는 제3의 수단을 포함하는 것을 특징으로 하며,
    상기 유기 화합물은 안개화 또는 액적화가 가능한 것인, 유기막의 제조장치.
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