KR101898143B1 - 타겟 교체용 리프트 장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 반도체 설비 몸체에 상하좌우로 움직일 수 있는 리프트 장치를 장착하여 타겟을 교체함에 의해 협소한 공간에서도 용이한 교체 작업이 가능하고, 작업자의 안전사고를 방지할 수 있으며, 작업 시간을 단축할 수 있게 한 타겟 교체용 리프트 장치를 제공한다.
이러한 본 발명은 타겟 교체용 리프트 장치로서, 타겟을 고정시킬 수 있는 고리가 마련되는 윈치가 구비되고, 고리에 고정된 타겟을 승강 및 하강시킬 수 있도록 상기 윈치가 지면으로부터 소정 거리 이격되는 상부에 설치되도록 상기 윈치가 내장되는 윈치박스; 상기 윈치박스를 왕복 이동시킬 수 있도록 상기 윈치박스가 이동 가능하게 결합되도록 가이드레일이 형성되어 수평방향으로 설치되는 수평대; 상기 수평대를 지지할 수 있도록 상기 수평대의 일단에 수직방향으로 설치되는 지지대; 및 상기 지지대를 설비 몸체에 탈착 가능하게 고정시킬 수 있도록 상기 지지대에 설치되는 고정브라켓;을 포함한다.

Description

타겟 교체용 리프트 장치{lift device for target change}
본 발명은 타겟 교체용 리프트 장치에 관한 것으로, 반도체 제조 설비에서 타겟의 교체를 위해 윈치가 설치되는 리프트 장치를 설비 몸체에 탈착 가능하게 고정시켜 사용할 수 있게 한 타겟 교체용 리프트 장치에 관한 것이다.
일반적으로 반도체 제조 설비의 메탈(METEL) 공정에서 설비의 타겟(Target)을 교체하기 위한 방법으로, 기존에는 이동형 크레인을 작업 위치에 이동하여 교체 지그를 이용해 작업을 진행하였음으로, 설비 간의 간격 및 지그의 이동 공간이 협소하여 정상적인 작업이 어려웠다.
이러한 이유로 종래에는 작업자가 타겟을 작은 T형 툴(tool)을 이용하여 직접 들어올리는 경우가 발생하게 되는데, 타겟의 무게가 무거울 뿐만 아니라, 작업 위치가 높아 고소(대략 2M) 작업시 낙하 및 충돌의 위험이 있어 안전사고가 빈번히 발생되는 문제점이 있었다.
예컨대, 작업자가 직접 타겟을 들어올려 교체하게 되면, 타겟의 무게(대략 50Kg)로 인한 작업자의 근골격계 부상 위험요소가 발생되고, 높은 위치(대략 2M)에서작업함으로 인한 낙하 위험 요소가 발생되며, 협소한 공간에서의 작업으로 인한 협착 위험 요소가 발생되는 등의 문제점이 있었다.
국내 실용신안 공개번호 20-1994-0007706호, 이동식 소형 호이스트 크레인. 국내 실용신안 공개번호 20-1993-0019767호, 이동식 소형 크레인.
본 발명은 상기한 종래 기술의 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은 반도체 설비 몸체에 상하좌우로 움직일 수 있는 리프트 장치를 장착하여 타겟을 교체함에 의해 협소한 공간에서도 용이한 교체 작업이 가능하고, 작업자의 안전사고를 방지할 수 있으며, 작업 시간을 단축할 수 있게 한 타겟 교체용 리프트 장치를 제공하는데 있다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명은 타겟 교체용 리프트 장치로서, 타겟을 고정시킬 수 있는 고리가 마련되는 윈치가 구비되고, 고리에 고정된 타겟을 승강 및 하강시킬 수 있도록 상기 윈치가 지면으로부터 소정 거리 이격되는 상부에 설치되도록 상기 윈치가 내장되는 윈치박스; 상기 윈치박스를 왕복 이동시킬 수 있도록 상기 윈치박스가 이동 가능하게 결합되도록 가이드레일이 형성되어 수평방향으로 설치되는 수평대; 상기 수평대를 지지할 수 있도록 상기 수평대의 일단에 수직방향으로 설치되는 지지대; 및 상기 지지대를 설비 몸체에 탈착 가능하게 고정시킬 수 있도록 상기 지지대에 설치되는 고정브라켓;을 포함하고, 상기 고정브라켓은: 상기 지지대를 감싸는 형태로 지지대에 고정되는 고정부; 상기 고정부로부터 돌출되도록 연장 형성되어 설비 몸체에 밀착시킬 수 있는 고정편; 및 상기 고정편을 설비 몸체에 탈착 가능하게 고정시킬 수 있도록 상기 고정편에 형성되어 고정볼트를 체결할 수 있는 다수의 결합공;으로 이루어지는 것이 바람직하다.
상기 고정편은: 상기 고정부로부터 어느 일측으로만 돌출되게 형성되거나, 상기 고정부로부터 "ㄷ"자 형상을 이루도록 돌출되게 형성되되, "ㄷ"자 형상의 폭은 설비 몸체에 대응하는 폭으로 형성되는 것이 바람직하다.
상기 고정브라켓은: 상기 지지대에 적어도 1개 이상으로 개수로 설치되되, 다수 개를 설치하는 경우 상기 지지대에 소정 간격을 이루게 설치되는 것이 바람직하다.
상기 수평대와 지지대의 결합 부위에 설치되어 상기 수평대가 상기 지지대를 중심으로 360도 회전될 수 있도록 하는 회전결합부;를 포함하고, 상기 회전결합부는: 상기 지지대의 상단에 돌출되도록 설치되는 회전지지축; 상기 회전지지축에 삽입되어 회전될 수 있도록 수평대의 단부에 형성되는 관통구멍; 및 상기 관통구멍에 삽입되는 회전지지축을 중심으로 수평대가 회전될 수 있도록 안내하는 베어링;으로 이루어지는 것이 바람직하다.
상기 윈치박스에는: 상기 가이드레일을 타고 이동될 수 있도록 하는 가이드롤러가 마련되는 것이 바람직하다.
상기 윈치의 내부에는 속도를 제어할 수 있는 속도제어 컨트롤러가 내장되고, 상기 윈치를 조작할 수 있는 리모트(remote) 조작부에는 윈치의 속도를 가변시킬 수 있는 속도조절용 다이얼이 마련되는 것이 바람직하다.
본 발명에 따른 타겟 교체용 리프트 장치에 의하면, 반도체 설비 몸체에 상하좌우로 움직일 수 있는 리프트 장치를 장착하여 작업이 가능함에 의해 타겟 교체시 별도의 지그 대신에 리프트로 운송 교체 작업이 가능하며, 설비에 직접 설치함으로서 작업이 협소한 공간에서도 가능하고, 작업자의 안전사고를 방지할 수 있으며, 작업 시간을 단축할 수 있는 효과가 있다.
도 1은 본 발명에 따른 타겟 교체용 리프트 장치를 보인 이미지이고,
도 2는 본 발명에 따른 타겟 교체용 리프트 장치를 개략적으로 나타낸 도면이고,
도 3은 도 2표시의 타겟 교체용 리프트 장치에서 고정브라켓이 복수 개 설치된 예를 도시한 도면이고,
도 4는 본 발명에 따른 타겟 교체용 리프트 장치에 구비되는 고정브라켓의 일예를 보인 평면도이고,
도 5는 도 4표시의 고정브라켓에 대한 다른 예를 보인 평면도이고,
도 6은 본 발명에 따른 타겟 교체용 리프트 장치에 구비되는 리모트 스위치를 나타낸 사진이고,
도 7은 본 발명에 따른 타겟 교체용 리프트 장치에 구비되는 윈치에 의한 스타트 및 스톱 구동시 나타나는 속도 변화를 종래와 비교하여 나타낸 그래프이다.
이하에서는, 첨부된 도면을 참고하여 본 발명에 따른 바람직한 실시예를 보다 상세하게 설명하기로 한다.
본 발명의 설명에 앞서, 이하의 특정한 구조 내지 기능적 설명들은 단지 본 발명의 개념에 따른 실시예를 설명하기 위한 목적으로 예시된 것으로, 본 발명의 개념에 따른 실시예들은 다양한 형태로 실시될 수 있으며, 본 명세서에 설명된 실시예들에 한정되는 것으로 해석되어서는 아니된다.
또한, 본 발명의 개념에 따른 실시예는 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있으므로, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 본 명세서에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명의 개념에 따른 실시예들을 특정한 개시 형태에 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경물, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다.
첨부된 도 1은 본 발명에 따른 타겟 교체용 리프트 장치를 보인 이미지이고, 도 2는 본 발명에 따른 타겟 교체용 리프트 장치를 개략적으로 나타낸 도면이고, 도 3은 도 2표시의 타겟 교체용 리프트 장치에서 고정브라켓이 복수 개 설치된 예를 도시한 도면이고, 도 4는 본 발명에 따른 타겟 교체용 리프트 장치에 구비되는 고정브라켓의 일예를 보인 평면도이고, 도 5는 도 4표시의 고정브라켓에 대한 다른 예를 보인 평면도이고, 도 6은 본 발명에 따른 타겟 교체용 리프트 장치에 구비되는 리모트 스위치를 나타낸 사진이고, 도 7은 본 발명에 따른 타겟 교체용 리프트 장치에 구비되는 윈치에 의한 스타트 및 스톱 구동시 나타나는 속도 변화를 종래와 비교하여 나타낸 그래프이다.
이들 도면에 도시되어 있는 바와 같이, 본 발명에 따른 타겟 교체용 리프트 장치에는 윈치(10)가 구비되는 것이 바람직하다.
상기 윈치(10)에는 타겟을 고정시킬 수 있는 고리(12)가 마련되고, 고리(12)에 고정된 타겟을 윈치(10)에 의해 승강 및 하강시킬 수 있도록 한다.
이때, 본 발명은 상기 윈치(10)가 내장되도록 윈치박스(110)가 구비되는 것이 바람직하다.
상기 윈치박스(110)는 지면으로부터 소정 거리 이격되는 상부에 위치하도록 설치되어 타켓을 승강시킬 수 있도록 하는 것이 바람직하다. 여기서 상기 윈치박스(110)가 설치되는 높이는 대략 2M를 조금 넘는 위치에 설치되는 것이 바람직하다.
도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 타겟 교체용 리프트 장치에는 수평대(120)가 구비되는 것이 바람직하다.
상기 수평대(120)는 수평방향으로 설치되는 것이 바람직하고, 상기 수평대(120)에 윈치박스(110)를 왕복 이동시킬 수 있도록 상기 윈치박스(110)가 이동 가능하게 결합되는 가이드레일(122)이 형성되는 것이 바람직하다.
이때, 상기 가이드레일(122)을 타고 왕복 이동되는 윈치박스(110)에는 가이드롤러(112)가 마련되어 가이드레일(122)을 타고 용이하게 좌우로 왕복 이동될 수 있도록 하는 것이 바람직하다.
이와 같이 상기 가이드레일(122)을 타고 왕복 이동되는 윈치박스(110)는 수동식으로 이동시키도록 구비되는 것이 바람직하다. 즉, 윈치(10)을 이용하여 타겟을 고정한 후 타겟을 승강시킨 후에는 필요한 거리만큼 작업자가 수동으로 윈치박스(110)를 이동시켜 교체 작업을 하도록 하는 것이 바람직하다.
도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 타겟 교체용 리프트 장치에는 지지대(130)가 구비되는 것이 바람직하다.
상기 지지대(130)는 수평대(120)를 지지할 수 있도록 설치되는 것으로, 상기 수평대(120)의 일단에 수직방향으로 지지대(130)가 설치되는 것이 바람직하다.
따라서, 상기 지지대(130)에 지지되도록 설치되는 수평대(120)는 외팔보 형태를 이루게 설치될 수 있다.
특히, 상기 수평대(120)와 지지대(130)의 결합 부위에는, 상기 수평대(120)가 상기 지지대(130)를 중심으로 360도 회전될 수 있도록 회전결합부(140)가 설치되는 것이 바람직하다.
이러한 회전결합부(140)는 상기 지지대(130)의 상단에 상부로 돌출되도록 회전지지축(142)이 설치되고, 상기 회전지지축(142)에 삽입되어 회전될 수 있도록 상기 수평대(120)의 단부에 상하로 관통되도록 관통구멍(144)이 형성되며, 상기 관통구멍(144)에 삽입되는 회전지지축(142)을 중심으로 수평대(120)가 회전될 수 있도록 안내하는 베어링(146)이 개재되도록 설치되는 구성으로 이루어지는 것이 바람직하다.
이때, 상기 회전결합부(140)는 작업자가 수동으로 회전시킬 수 있도록 구성되는 것이 바람직하다.
이러한 회전결합부(140)에 의해 상기 수평대(120)를 임의 위치로 회전시킬 수 있게 함에 의해 윈치(10)에 의해 타겟을 들어올린 후 타겟을 원하는 위치로 이동시킬 수 있다. 즉, 타겟을 들어올린 후 윈치박스(110)를 가이드레일(122)과 회전결합부(140)에 의해 원하는 위치로 이동시킨 후, 하강시켜 교체작업을 할 수 있다.
도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 타겟 교체용 리프트 장치에는 고정브라켓(150)이 구비되는 것이 바람직하다.
상기 고정브라켓(150)은 지지대(130)를 설비 몸체에 탈착 가능하게 고정시킬 수 있도록 상기 지지대에 설치되는 것이 바람직하다.
이와 같은 고정브라켓(150)은 상기 지지대(130)를 감싸는 형태로 지지대(130)에 고정되도록 설치되는 고정부(152)가 형성되고, 상기 고정부(152)로부터 돌출되도록 연장 형성되어 설비 몸체(1)에 밀착시킬 수 있는 고정편(154)이 마련되며, 상기 고정편(154)을 설비 몸체(1)에 탈착 가능하게 고정시킬 수 있도록 상기 고정편(154)에 형성되어 고정볼트를 이용하여 체결할 수 있는 다수의 결합공(156)으로 이루어지는 것이 바람직하다.
이때, 상기 고정편(154)은 도 4표시와 같이 고정부(152)로부터 어느 일측으로만 돌출되게 형성되거나, 도 5표시와 같이 상기 고정부(152)로부터 "ㄷ"자 형상을 이루도록 돌출되게 형성되는 것이 바람직하며, "ㄷ"자 형상의 폭은 설비 몸체(1)에 틀체가 구비되는 경우 그 틀체에 대응하는 폭으로 형성되는 것이 바람직하다.
또한, 상기 고정브라켓(150)은 지지대(130)에 적어도 1개 이상으로 개수로 설치되는 것이 바람직하며, 도 3표시와 같이 상기 고정브라켓(150)이 다수 개 설치되는 경우 상기 지지대(130)에 고정브라켓(150)이 소정 간격을 이루게 설치되는 것이 바람직하다.
이와 같은 고정브라켓(150)에 의해 윈치가 내장되는 윈치박스(110)와 수평대(120) 및 지지대(130)로 이루어지는 리프트 장치를 설비 몸체(1)에 탈부착 가능하게 설치하여 사용할 수 있다. 즉, 설비 몸체(1)에 상하좌우로 움직일 수 있는 리프트를 장착 가능함으로써, 타겟 교체시 별도의 지그대신에 리트트로 운송 교체 작업이 가능하고, 설비 몸체에 직접 설치함으로서 작업이 협소한 공간에서도 가능하여, 작업자의 안전사고를 방지할 수 있으며, 작업 시간을 단축할 수 있다.
또한, 상기 고정브라켓(150)에 의해 설비 몸체(1)에 리프트 장치를 고정하는 경우 상기 지지대(130)의 하단이 지면에 접촉되는 상태로 세운 후 상기 고정브라켓(150)의 고정편(154)을 설비 몸체(1)에 밀착시켜 결합공(156)을 통해 고정볼트를 체결하게 되면, 리프트 장치는 견고한 상태로 설비 몸체(1)에 고정되게 된다. 즉, 지지대(130)의 하단이 지면에 밀착되고 지지대의 중간부위를 설비 몸체에 고정함으로서 경고한 상태로 리프트 장치를 설비 몸체에 고정시킬 수 있다.
한편, 본 발명은 상기 윈치(10)의 내부에는 속도를 제어할 수 있는 속도제어 컨트롤러가 내장되는 것이 바람직하고, 상기 윈치(10)를 조작할 수 있는 리모트(remote) 조작부(160)에는 윈치의 속도를 가변시킬 수 있는 속도조절용 다이얼(162)이 마련되는 것이 바람직하다.(도 6참조)
예컨대, 도 7표시와 같이 통상의 윈치는 타겟 교체 작업을 위해 윈치의 고리에 타겟을 고정 후 이동하는 과정에서 윈티의 스타트(Start) 및 스톱(Stop)을 통해 발생하는 진동으로 타겟이 좌우로 흔들리는 현상이 발생할 수 있는 문제점이 있다. 즉, 기계식 락(Lock) 기능으로 인하여 일정 전류가 공급되지 않으면 브레이크(Break) 강제 작동으로 덜컬거리는 문제가 발생되며, 이로 인한 작업자에게 위험 요소가 될 수 있고, 또한 진동에 의해 설비 공정에도 영향을 미칠 수 있다.
이를 개선하고자, 본 발명에서는 윈치 내부에 설치되는 속도제어 컨트롤러에 의해 윈치의 속도 조절이 가능하여 스타트 및 스톱시 발생하는 충격을 최소화할 수 있다. 즉, 스타트 및 스톱 방식을 소프트(Soft) 방식을 적용하여 보다 부드러운 구동을 유도하고, 안전 및 정밀급을 요구하는 작업을 위해 리모트 조작부(160)에 마련되는 속도조절용 다이얼(162)에 의해 상황에 따라 속도를 가변시킬 수 있다.
특히, 윈치의 구동시 최고 속도로 조절할 수 있는 장점도 있다.
이와 같이 본 발명은, 속도조절 컨트롤러를 내장함으로써, 타겟 교체 작업간 충격으로 인한 협착 끼임 및 낙하 등의 위험 관련 안정성을 증대시키고, 작업자가 원하는 위치까지 보다 정밀하게 이동이 가능하다.
특히, 초창기 대비 부드러운 구동이 가능하여, 즉 윈치 구동 간 소프트 스타트 및 소프트 스콥이 가능함으로서 흔들림 현상을 최소화 하고, 타겟 무빙시 설치와 충돌 요인이 감소되며 작업자 사고율이 감소된다.
본 발명에 따르면, 타겟의 교체를 위한 윈치가 설치되는 리프트 장치를 설비 몸체에 탈착 가능하게 고정시켜 사용할 수 있게 함으로서, 타겟 교체시 별도의 지그대신에 리트트로 운송 교체 작업이 가능하며, 리프트 장치를 설비에 직접 설치함으로서 작업이 협소한 공간에서도 가능하고, 작업자의 안전사고를 방지할 수 있으며, 작업 시간을 단축할 수 있다.
또한, 본 발명은 타겟의 교체 작업시 타겟을 들어올리고 내리는 작업, 즉 상하 작동은 윈치에 의해 전동식으로 작동시키고, 타겟의 위치를 이동시키는 회전 및 주행은 수동식으로 조작함에 의해 편리한 교체 작업이 가능하다.
이상에서와 같은 기술적 구성에 의해 본 발명의 기술적 과제가 달성되는 것이며, 비록 한정된 실시예와 도면에 의해 설명되었으나 여기에 한정되지 않고 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 본 발명의 기술사상과 아래에 기재될 특허청구범위의 균등범위 내에서 다양한 수정 및 변형이 가능한 것임은 물론이다.
110 - 윈치박스 120 - 수평대
122 - 가이드레일 130 - 지지대
140 - 회전결합부 150 - 고정브라켓

Claims (6)

  1. 타겟 교체용 리프트 장치에 있어서,
    타겟을 고정시킬 수 있는 고리가 마련되는 윈치가 구비되고, 고리에 고정된 타겟을 승강 및 하강시킬 수 있도록 상기 윈치가 지면으로부터 소정 거리 이격되되, 2m를 넘는 위치의 상부에 설치되도록 상기 윈치가 내장되는 윈치박스;
    상기 윈치박스를 왕복 이동시킬 수 있도록 상기 윈치박스가 이동 가능하게 결합되도록 가이드레일이 형성되어 수평방향으로 설치되는 수평대;
    상기 수평대를 지지할 수 있도록 상기 수평대의 일단에 수직방향으로 설치되는 지지대; 및
    상기 지지대를 설비 몸체에 탈착 가능하게 고정시킬 수 있도록 상기 지지대에 설치되는 고정브라켓;을 포함하고,
    상기 고정브라켓은:
    상기 지지대를 감싸는 형태로 지지대에 고정되되, 내부에 지지대가 삽입되도록 중공을 갖는 사각형태로 형성되는 고정부;
    상기 고정부로부터 돌출되도록 연장 형성되어 설비 몸체에 밀착시킬 수 있는 고정편; 및
    상기 고정편을 설비 몸체에 탈착 가능하게 고정시킬 수 있도록 상기 고정편에 형성되어 고정볼트를 체결하기 위해 상기 설비 몸체에 밀착되는 고정편의 단부 가장자리 상, 하부에 형성되는 다수의 결합공; 으로 이루어지고,
    상기 고정편은:
    상기 고정부로부터 "ㄷ"자 형상을 이루도록 돌출되게 형성되되, "ㄷ"자 형상의 폭은 설비 몸체에 대응하는 폭으로 형성되며, 상기 고정부에 연결되는 부분의 하측이 고정부의 길이보다 길도록 단차지게 형성되며,
    상기 수평대와 지지대의 결합 부위에 설치되어 상기 수평대가 상기 지지대를 중심으로 360도 회전될 수 있도록 하는 회전결합부; 를 포함하고,
    상기 회전결합부는:
    상기 지지대의 상단에 돌출되도록 설치되는 회전지지축;
    상기 회전지지축에 삽입되어 회전될 수 있도록 수평대의 단부에 형성되는 관통구멍; 및
    상기 관통구멍에 삽입되는 회전지지축을 중심으로 수평대가 회전될 수 있도록 안내하는 베어링; 으로 이루어지고, 타겟을 들어올리고 상기 윈치박스를 가이드레일과 회전결합부에 의해 이동시킨 후 타겟을 하강시켜 교체하도록 이루어지고,
    상기 고정브라켓은:
    상기 지지대에 적어도 1개 이상으로 개수로 설치되되, 다수 개를 설치하는 경우 상기 지지대에 소정 간격을 이루게 설치되며,
    상기 윈치의 내부에는 속도를 제어할 수 있는 속도제어 컨트롤러가 내장되고, 상기 윈치를 조작할 수 있는 리모트(remote) 조작부에는 윈치의 속도를 가변시킬 수 있는 속도조절용 다이얼이 마련되는 것을 특징으로 하는 타겟 교체용 리프트 장치.
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 삭제
  5. 제1항에 있어서,
    상기 윈치박스에는:
    상기 가이드레일을 타고 좌우로 왕복 이동될 수 있도록 하는 가이드롤러가 마련되는 것을 특징으로 하는 타겟 교체용 리프트 장치.
  6. 삭제
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