KR101874510B1 - 핀홀 검출기용 검증 방법 - Google Patents

핀홀 검출기용 검증 방법 Download PDF

Info

Publication number
KR101874510B1
KR101874510B1 KR1020160170091A KR20160170091A KR101874510B1 KR 101874510 B1 KR101874510 B1 KR 101874510B1 KR 1020160170091 A KR1020160170091 A KR 1020160170091A KR 20160170091 A KR20160170091 A KR 20160170091A KR 101874510 B1 KR101874510 B1 KR 101874510B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
pinhole
specimen
detector
verification
steel sheet
Prior art date
Application number
KR1020160170091A
Other languages
English (en)
Other versions
KR20180068430A (ko
Inventor
전남수
유선미
조덕희
전세철
Original Assignee
주식회사 포스코
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 주식회사 포스코 filed Critical 주식회사 포스코
Priority to KR1020160170091A priority Critical patent/KR101874510B1/ko
Publication of KR20180068430A publication Critical patent/KR20180068430A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR101874510B1 publication Critical patent/KR101874510B1/ko

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/8851Scan or image signal processing specially adapted therefor, e.g. for scan signal adjustment, for detecting different kinds of defects, for compensating for structures, markings, edges
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/89Investigating the presence of flaws or contamination in moving material, e.g. running paper or textiles
    • G01N21/892Investigating the presence of flaws or contamination in moving material, e.g. running paper or textiles characterised by the flaw, defect or object feature examined
    • G01N21/894Pinholes
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/8851Scan or image signal processing specially adapted therefor, e.g. for scan signal adjustment, for detecting different kinds of defects, for compensating for structures, markings, edges
    • G01N2021/8887Scan or image signal processing specially adapted therefor, e.g. for scan signal adjustment, for detecting different kinds of defects, for compensating for structures, markings, edges based on image processing techniques

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Computer Vision & Pattern Recognition (AREA)
  • Signal Processing (AREA)
  • Textile Engineering (AREA)
  • Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)

Abstract

핀홀 검출기의 검증 방법은, 핀홀 검출기에 검증 장치를 설치하고, 시편 지지대를 회전시키며 시편을 촬영하여 핀홀을 검출하는 제1 단계와, 제1 단계에서 검출된 핀홀 결함을 크기 별로 분류하는 제2 단계와, 시편 지지대를 회전시키며 시편을 촬영하여 제1 단계의 핀홀 검출을 검증하는 제3 단계와, 제3 단계의 핀홀 결함 정보를 데이터베이스화하고, 품질 검사 규격을 적용하여 표면 품질을 판정하는 제4 단계를 포함한다.

Description

핀홀 검출기용 검증 장치 및 방법 {VERIFICATION DEVICE AND METHOD FOR PIN HOLE DETECTOR}
본 발명은 핀홀 검출기용 검증 장치 및 방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 핀홀 검출기의 작동을 검증하기 위한 검증 장치 및 방법에 관한 것이다.
강판에 존재하는 핀홀은 소재 불량이나 공정 불량에 의해 발생하는데, 핀홀이 있는 강판으로 식음료 캔이나 드럼 등을 가공하면 핀홀을 통해 내용물이 누출되는 불량으로 이어진다. 따라서 강판 출하 전 품질 검사를 통해 핀홀 유무를 확인해야 한다.
통상의 핀홀 검출기는 강판으로 빛을 조사하는 광 조사부와, 강판을 촬영하는 카메라와, 카메라가 획득한 영상을 분석하여 핀홀을 검출하는 핀홀 검출부 등을 포함한다. 권취기에서 풀려 나가는 코일 강판의 이동 속도는 대략 500mpm 내지 1,000mpm이며, 이동하는 강판의 상, 하측에 카메라와 광 조사부가 각각 설치된다.
핀홀 검출기는 크기가 100㎛ 이하인 미세 핀홀에 대해 검출 성능이 다소 낮을 수 있다. 이 경우 핀홀 검출기는 오검출 신호를 출력하거나, 핀홀이 있는 강판에 양호 판정을 내릴 수 있다.
본 발명은 핀홀 검출기를 보조하는 장치로서, 강판의 핀홀을 다시 검출, 분류, 및 검증하여 강판의 핀홀 결함에 대한 분류 오류를 제거하고, 정확한 기준으로 핀홀 표면 품질을 확인 및 검증할 수 있는 핀홀 검출기용 검증 장치 및 방법을 제공하고자 한다.
본 발명의 일 실시예에서 핀홀 검출기는 강판으로 빛을 조사하는 광 조사부와, 강판을 촬영하는 카메라와, 카메라가 획득한 영상을 분석하여 핀홀을 검출하는 핀홀 검출부를 포함한다. 핀홀 검출기용 검증 장치는 시편을 끼우기 위한 개구부를 가지는 시편 지지대와, 시편 지지대에 결합되어 시편 지지대를 회전시키는 구동 모터와, 구동 모터의 회전 속도를 조절하는 속도 제어부를 포함하며, 강판과 분리된 유휴 상태의 핀홀 검출기에서 광 조사부와 카메라 사이에 설치된다.
시편 지지대는 원판 모양일 수 있고, 시편은 광 조사부와 카메라를 잇는 방향을 따라 구동 모터와 비중첩될 수 있다. 구동 모터는 핀홀 검출기를 통과하는 강판의 이동 속도와 동일한 속도로 시편 지지대를 회전시킬 수 있다. 시편은 강판을 절개하여 얻은 시편과, 미리 설정된 크기의 핀홀이 형성된 표준 시편 중 어느 하나일 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 핀홀 검출기용 검증 방법은, 핀홀 검출기에 검증 장치를 설치하고, 시편 지지대를 회전시키며 시편을 촬영하여 핀홀을 검출하는 제1 단계와, 제1 단계에서 검출된 핀홀 결함을 크기 별로 분류하는 제2 단계와, 시편 지지대를 회전시키며 시편을 촬영하여 제1 단계의 핀홀 검출을 검증하는 제3 단계와, 제3 단계의 핀홀 결함 정보를 데이터베이스화하고, 품질 검사 규격을 적용하여 표면 품질을 판정하는 제4 단계를 포함한다.
제1 단계에서 시편 지지대의 회전 속도는 핀홀 검출기를 통과하는 강판의 이동 속도와 같거나, 미리 설정된 여러 속도 구간 별로 변할 수 있다.
제4 단계에서 표면 품질 판정은 미리 설정된 여러 등급 가운데 하나를 선택하여 판정하는 것일 수 있고, 품질 검사 규격과 표면 품질 등급은 강판의 사용처에 따라 상이하게 설정될 수 있다.
실시예에 따르면, 핀홀 결함에 대한 검출과 분류 오류를 제거할 수 있고, 정확한 기준으로 핀홀 표면 품질을 확인하고 검증할 수 있다. 또한, 핀홀에 대한 검출, 분류 기술과 기준을 정량화할 수 있고, 강판의 품질 관리 능력을 높일 수 있다.
도 1은 강판의 길이 방향에 따른 핀홀 검출기의 구성도이다.
도 2는 강판의 폭 방향에 따른 핀홀 검출기의 구성도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 핀홀 검출기용 검증 장치의 구성도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 핀홀 검출기용 검증 방법을 나타낸 순서도이다.
도 5와 도 6은 제1 단계와 제3 단계에서 핀홀이 검출된 시편의 사진이다.
이하, 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 실시예에 대하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다.
도 1은 강판의 길이 방향에 따른 핀홀 검출기의 구성도이고, 도 2는 강판의 폭 방향에 따른 핀홀 검출기의 구성도이다.
도 1과 도 2를 참고하면, 핀홀 검출기(100)는 강판(200)으로 빛을 조사하는 광 조사부(110)와, 강판(200)을 촬영하는 카메라(120)와, 카메라(120)가 획득한 영상을 분석하여 핀홀을 검출하는 핀홀 검출부(130)를 포함한다.
광 조사부(110)와 카메라(120)는 강판(200)을 사이에 두고 서로 반대 측에 위치한다. 도 1과 도 2에서는 광 조사부(110)가 강판(200)의 하측에 위치하고, 카메라(120)가 강판(200)의 상측에 위치하는 경우를 도시하였으나, 그 반대의 경우도 가능하다.
광 조사부(110)는 특정 파장의 빛을 방출하는 광원을 포함하며, 카메라(120)는 광 조사부(110)에서 방출되는 빛의 파장에서 높은 감도를 가지는 복수의 광 센서를 포함한다. 광 조사부(110)는 강판(200)의 폭 방향을 따라 균일한 세기의 빛을 방출하며, 강판(200)의 폭 방향을 따라 복수의 카메라(120)가 일렬로 배치될 수 있다.
카메라(120)와 광 조사부(110)는 권취기(300)에 감겨 있다가 일정 속도, 예를 들어 500mpm 내지 1,000mpm의 속도로 풀려 나가는 강판(200)의 상, 하측에 배치될 수 있다. 강판(200)에 핀홀이 존재하면 광 조사부(110)에서 방출된 빛은 핀홀을 통과하여 카메라(120)에 입사한다. 핀홀 검출부(130)는 카메라(120)가 획득한 영상에 포함된 빛의 세기와 위치에 따라 핀홀의 크기와 개수 및 위치 등의 정보를 분석한다.
전술한 핀홀 검출기(100)는 크기가 100㎛ 이하인 미세 핀홀에 대해 검출 성능이 다소 낮을 수 있다. 이 경우 핀홀 검출기(100)는 오검출 신호를 출력하거나, 핀홀이 있는 강판에 양호 판정을 내릴 수 있다.
다음에 설명하는 핀홀 검출기용 검증 장치(400)는 핀홀 검출기(100)의 보조 장치로서, 강판의 핀홀을 다시 검출, 분류, 및 검증하여 강판의 핀홀 결함에 대한 분류 오류를 제거하고, 정확한 기준으로 핀홀 표면 품질을 확인 및 검증하기 위한 장치이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 핀홀 검출기용 검증 장치의 구성도이다.
도 1 내지 도 3을 참고하면, 핀홀 검출기용 검증 장치(400)는 시편(410)을 지지하는 시편 지지대(420)와, 시편 지지대(420)에 결합되어 시편 지지대(420)를 회전시키는 구동 모터(430)와, 구동 모터(430)의 회전 속도를 조절하는 속도 제어부(440)를 포함한다.
시편 지지대(420)는 원판 모양일 수 있고, 시편(410)이 끼워지는 개구부(421)를 포함한다. 구동 모터(430)는 시편 지지대(420)의 중앙에 결합된 회전축(431)을 가지며, 시편 지지대(420)를 회전시킨다. 개구부(421)는 시편 지지대(420)의 중앙으로부터 일정 거리 이격된 곳에 위치하며, 개구부(421)에 끼워진 시편(410)은 수직 방향을 따라 구동 모터(430)와 중첩되지 않는다.
작업자는 속도 제어부(440)를 조작하여 시편 지지대(420)의 회전 속도를 조절할 수 있다. 이때 시편 지지대(420)의 회전 속도는 핀홀 검출기(100)가 사용되는 공정에서 실제 강판(200)의 이동 속도와 같은 속도로 설정될 수 있다.
검증 장치(400)는 강판(200)과 분리된 유휴(idle) 상태의 핀홀 검출기(100)의 카메라(120)와 광 조사부(110) 사이에 설치될 수 있다. 카메라(120)가 광 조사부(110)의 상측에 위치하는 경우, 검증 장치(400)는 지지대(450)를 통해 광 조사부(110) 위에 설치된다. 반대로 광 조사부(110)가 카메라(120)의 상측에 위치하는 경우, 검증 장치(400)는 지지대(450)를 통해 카메라(120) 위에 설치된다.
이때 지지대(450)는 시편(410)을 향하는 광 조사부(110)의 빛 또는 시편(410)을 촬영하는 카메라(120)의 시야를 가리지 않도록 구동 모터(430)와 같거나 이보다 약간 큰 폭을 가질 수 있다.
시편(410)은 실제 강판(200)을 절개하여 얻은 시편이거나, 미리 설정된 크기의 핀홀이 형성된 표준 시편일 수 있다. 표준 시편의 경우 미리 설정된 두 가지 이상의 크기, 예를 들어 20㎛, 50㎛, 및 100㎛ 크기의 핀홀이 형성된 것일 수 있다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 핀홀 검출기용 검증 방법을 나타낸 순서도이다.
도 1 내지 도 4를 참고하면, 핀홀 검출기용 검증 방법은 핀홀 검출기(100)에 검증 장치(400)를 설치하고 시편(410)을 촬영하여 핀홀을 검출하는 제1 단계(S10)와, 핀홀 결함을 크기 별로 분류하는 제2 단계(S20)와, 회전하는 시편(410)을 다시 촬영하여 제1 단계(S10)의 핀홀 검출을 검증하는 제3 단계(S30)와, 핀홀 결함 정보를 데이터베이스화하고 품질 검사 규격을 적용하여 표면 품질을 판정하는 제4 단계(S40)를 포함한다.
제1 단계(S10)에서 검증 장치(400)는 강판(200)과 분리된 유휴(idle) 상태의 핀홀 검출기(100)에서 카메라(120)와 광 조사부(110) 사이에 설치될 수 있다. 광 조사부(110)는 시편 지지대(420)에 고정된 시편(410)을 향해 빛을 방출하며, 카메라(120)는 회전하는 시편(410)을 촬영하여 영상 정보를 획득한다.
제1 단계(S10)에서 시편(410)의 회전 속도는 실제 공정에서 강판(200)의 이동 속도와 같을 수 있으며, 다른 한편으로 다양한 검증 실험을 위해 미리 설정된 여러 속도 구간별로 변할 수 있다. 핀홀 검출부(130)는 시편 영상에 포함된 빛의 세기와 위치에 따라 핀홀의 크기와 개수 및 위치 등의 정보를 분석한다.
제2 단계(S20)에서 핀홀 검출부(130)는 제1 단계(S10)에서 분석된 핀홀 결함을 크기 별로 분류한다. 예를 들어 20㎛, 50㎛, 100㎛ 세가지 크기의 핀홀이 형성된 표준 시편의 경우, 제2 단계(S20)에서 핀홀 검출부(130)는 핀홀을 크기 별로 세가지 그룹, 예를 들어 20㎛ 내지 39㎛, 40㎛ 내지 69㎛, 70㎛ 내지 100㎛의 세가지 그룹으로 분류할 수 있다.
제3 단계(S30)에서 카메라(120)는 회전하는 시편(410)을 다시 촬영하여 영상 정보를 획득한다. 그리고 핀홀 검출부(130)는 시편 영상에 포함된 빛의 세기와 위치에 따라 핀홀의 크기와 개수 및 위치 등의 정보를 분석하고, 제1 단계(S10)의 분석 정보와 비교하여 제1 단계(S10)의 핀홀 검출을 검증한다.
도 5와 도 6은 제1 단계와 제3 단계에서 핀홀이 검출된 시편의 사진이다. 도 5는 50㎛ 크기의 핀홀이 검출된 경우를 나타내고 있고, 도 6은 100㎛ 크기의 핀홀이 검출된 경우를 나타내고 있다.
다시 도 1 내지 도 4를 참고하면, 제4 단계(S40)에서 핀홀 검출부(130)는 제1 단계 내지 제3 단계(S10, S20, S30)의 핀홀 결함 정보, 예를 들어 핀홀 결함의 종류, 발생 위치, 발생 길이 등을 데이터베이스화하고, 품질 검사 규격을 적용하여 표면 품질을 판정한다.
시편(410)이 실제 강판을 절개하여 얻은 시편이거나, 일정 크기의 핀홀이 미리 형성된 표준 시편인 경우 모두에서, 제1 단계(S10)의 핀홀 검출과 제3 단계(S30)의 핀홀 검증을 통해 핀홀 검출기(100)의 정확도를 검증하고 평가할 수 있다.
그리고 핀홀 검출부(410)는 품질 검사 규격에 따라 시편(410)의 표면 품질을 미리 정해진 여러 등급 가운데 하나를 선택하여 등급 판정을 내릴 수 있다. 제4 단계(S40)의 등급 판정은 시편(410)이 실제 강판(200)을 절개하여 얻은 시편일 경우에 특히 유용하다.
즉, 실제 강판(200)에 대해 핀홀 검출기(100)가 100㎛ 이하의 미세 핀홀에 대해 검출 정밀도가 낮더라도 전술한 검증 장치(400)와 검증 방법을 이용하면 100㎛ 이하의 미세 핀홀을 높은 정밀도로 검출할 수 있으며, 검증 결과를 실제 강판(200)에 동일하게 적용할 수 있다.
제4 단계(S40)의 품질 검사 규격과 이에 따른 등급은 강판(200)의 사용처에 따라 상이하게 설정될 수 있다. 예를 들어, 강판(200)을 이용하여 캔을 만드는 경우, 캔에 담기는 내용물에 따라 품질 검사 규격과 이에 따른 등급이 상이하게 설정될 수 있다. 제4 단계(S40)에서 판정된 표면 품질의 등급 정보는 필요에 따라 강판(200) 구매자에게 제공될 수 있다.
이와 같이 본 실시예의 검증 장치 및 방법에 따르면 핀홀 결함에 대한 검출과 분류 오류를 제거할 수 있고, 정확한 기준으로 핀홀 표면 품질을 확인하고 검증할 수 있다. 또한, 핀홀에 대한 검출, 분류 기술과 기준을 정량화할 수 있고, 강판의 품질 관리 능력을 높일 수 있다.
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 설명하였지만, 본 발명은 이에 한정되는 것이 아니고 특허청구범위와 발명의 상세한 설명 및 첨부한 도면의 범위 안에서 여러 가지로 변형하여 실시하는 것이 가능하고 이 또한 본 발명의 범위에 속하는 것은 당연하다.
100: 핀홀 검출기 110: 광 조사부
120: 카메라 130: 핀홀 검출부
200: 강판 300: 권취기
400: 검증 장치 410: 시편
420: 시편 지지대 430: 구동 모터
440: 속도 제어부

Claims (7)

  1. 삭제
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 삭제
  5. 강판의 핀홀 검출기용 검증 장치를 이용한 검증 방법으로서,
    상기 강판을 절개하여 얻은 시편을 지지하는 시편 지지대와, 상기 시편 지지대를 회전시키는 구동 모터와, 상기 구동 모터의 회전 속도를 조절하는 속도 제어부를 포함하는 검증 장치를 상기 강판과 분리된 유휴 상태의 핀홀 검출기에 설치하는 설치 단계;
    상기 시편 지지대를 회전시키며 상기 시편을 1차로 촬영하여 핀홀을 검출하는 핀홀 검출 단계;
    상기 핀홀 검출 단계에서 검출된 핀홀 결함을 크기 별로 분류하는 결함 분류 단계;
    상기 시편 지지대를 회전시키며 상기 시편을 2차로 촬영하여 상기 핀홀 검출 단계의 핀홀 검출을 검증하는 검증 단계; 및
    상기 검증 단계의 핀홀 결함 정보를 데이터베이스화하고, 품질 검사 규격을 적용하여 표면 품질을 판정하는 판정 단계
    를 포함하는 핀홀 검출기용 검증 방법.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 핀홀 검출 단계 및 상기 검증 단계에서, 상기 시편 지지대의 회전 속도는 상기 핀홀 검출기를 통과하는 상기 강판의 이동 속도와 같거나, 미리 설정된 여러 속도 구간 별로 변하는 핀홀 검출기용 검증 방법.
  7. 제5항에 있어서,
    상기 판정 단계에서 상기 표면 품질 판정은 미리 설정된 여러 등급 가운데 하나를 선택하여 판정하는 것이고, 상기 품질 검사 규격과 상기 표면 품질 등급은 상기 강판의 사용처에 따라 상이하게 설정되는 핀홀 검출기용 검증 방법.
KR1020160170091A 2016-12-14 2016-12-14 핀홀 검출기용 검증 방법 KR101874510B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020160170091A KR101874510B1 (ko) 2016-12-14 2016-12-14 핀홀 검출기용 검증 방법

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020160170091A KR101874510B1 (ko) 2016-12-14 2016-12-14 핀홀 검출기용 검증 방법

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20180068430A KR20180068430A (ko) 2018-06-22
KR101874510B1 true KR101874510B1 (ko) 2018-08-02

Family

ID=62768474

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020160170091A KR101874510B1 (ko) 2016-12-14 2016-12-14 핀홀 검출기용 검증 방법

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR101874510B1 (ko)

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102222655B1 (ko) * 2019-09-10 2021-03-03 주식회사 포스코아이씨티 코일 표면결함 자동검사 시스템
CN113945515B (zh) * 2020-07-17 2024-04-05 捷将科技有限公司 电荷耦合元件检测机的检测水准检验方法
CN113984656B (zh) * 2021-09-24 2024-03-15 张家港扬子江冷轧板有限公司 硅钢连退硅钢钢卷表面质量等级智能判定系统

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004117107A (ja) * 2002-09-25 2004-04-15 Fuji Photo Film Co Ltd ピンホール検査装置の校正装置
KR101255613B1 (ko) 2011-06-17 2013-04-16 주식회사 포스코 캘리브레이션 기능을 가지는 핀홀 검출 장치 및 방법

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0854345A (ja) * 1994-08-12 1996-02-27 Nok Corp 検査装置
KR20070113032A (ko) * 2006-05-24 2007-11-28 주식회사 포스코 표면결함정보를 이용한 강판 표면품질등급 판정방법

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004117107A (ja) * 2002-09-25 2004-04-15 Fuji Photo Film Co Ltd ピンホール検査装置の校正装置
KR101255613B1 (ko) 2011-06-17 2013-04-16 주식회사 포스코 캘리브레이션 기능을 가지는 핀홀 검출 장치 및 방법

Also Published As

Publication number Publication date
KR20180068430A (ko) 2018-06-22

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US7003149B2 (en) Method and device for optically monitoring fabrication processes of finely structured surfaces in a semiconductor production
KR101874510B1 (ko) 핀홀 검출기용 검증 방법
NL2010298C2 (en) Device for noncontact determination of edge profile at a thin disk-shaped object.
EP2957901B1 (en) System and method for detecting pin-holes in fiberglass and composite parts
US20140043603A1 (en) Surface inspecting apparatus having double recipe processing function
KR100431112B1 (ko) 반도체 제조시 마이크로 구조화 표면의 제조 프로세스를광학적으로 모니터링하기 위한 방법 및 장치
KR100738809B1 (ko) 웨이퍼 표면 검사 시스템 및 그 제어방법
JP2013210231A (ja) ディスク表面検査方法及びその装置
KR101865245B1 (ko) 방사선 검출 방법 및 장치
CN107024484B (zh) 显示屏缺陷评估装置及其维护方法和待检测显示屏
JPH0821709A (ja) 表面形状測定装置
JPH0694642A (ja) 表面欠陥検査方法および装置
KR20190012479A (ko) 타이어 비드 진원도 검사 장치
JPH08247958A (ja) 外観検査装置
JP6597981B2 (ja) 表面検査装置の異常判定方法とその表面検査装置
CN113945515B (zh) 电荷耦合元件检测机的检测水准检验方法
CN111610198A (zh) 一种缺陷检测装置及其方法
JP2007121039A (ja) 貫通孔の内径の検査方法およびナット検査装置
JP5880957B2 (ja) レーザー光により表面の変化を検出する装置
JP4210789B2 (ja) ボビン検査装置及びこれを用いた検査方法
KR102473365B1 (ko) 머신러닝을 이용한 타이어 검사 시스템 및 이를 이용한 타이어 검사 방법
KR20180043780A (ko) 방사선 검출 방법 및 장치
JP2003098104A (ja) 表面検査方法および表面検査装置
JPH01206203A (ja) 膜厚不良検査方法
TW202222145A (zh) 疊盤裝置、疊盤檢知方法及其應用之作業設備

Legal Events

Date Code Title Description
GRNT Written decision to grant