KR101859387B1 - 반도체 제조공정의 배기용 댐퍼 - Google Patents

반도체 제조공정의 배기용 댐퍼 Download PDF

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Abstract

개시되는 반도체 제조공정의 배기용 댐퍼는, 내부에 수직 단면이 원형인 유로가 형성된 관으로 형성되며, 양단에 플랜지가 구비되는 몸체; 상기 몸체의 내부에 배치되며, 상기 몸체의 직경 방향을 회전축으로 하여 회전하면서 상기 유로를 개폐하는 블레이드; 상기 블레이드의 일단으로부터 상기 블레이드의 직경 방향으로 연장되어 형성되되, 상기 블레이드에서 멀어지는 방향으로 두께가 감소 되는 리크 방지부를 가지며, 상기 몸체의 일 측이 관통되어 형성된 체결부를 통과하여 배치되는 회전축; 상기 블레이드의 일단으로서, 상기 블레이드의 직경 방향으로 상기 회전축의 반대쪽에 형성되며, 상기 몸체의 내면에 구비되는 결합홈에 결합되어 상기 블레이드의 회전을 지지하는 회전 지지 돌기; 상기 몸체에 형성된 체결부와 상기 회전축 사이에 끼워져 상기 회전축을 상기 체결부의 중심에 위치되도록 내부에 상기 회전축이 끼워지는 회전축 결합공을 가지는 튜브 형상으로 구비되며, 상기 회전축 결합공의 내면에는 상기 리크 방지부와 대응되는 형상으로 형성되고 상기 리크 방지부와 맞대어지도록 결합 되어 상기 블레이드가 상기 회전축의 길이방향으로 유동하는 것을 방지하는 부시 부재; 상기 체결부에 나사 결합 되되, 상기 회전축이 통과하는 회전축 통과공을 가지도록 구비되어, 상기 부시 부재의 이탈을 차단시키는 체결부 커버; 및 상기 체결부 커버의 상기 회전축 통과공을 통과해 외부로 노출된 상기 회전축의 일단에 체결되어 상기 회전축에 회전력을 인가하는 핸들;을 포함한다.

Description

반도체 제조공정의 배기용 댐퍼{Damper for exhaust of semiconductor manufacturing process}
본 발명(Disclsoure)은, 반도체 제조공정의 배기용 댐퍼에 관한 것으로서, 구체적으로 배기가스의 누설을 방지하고, 높은 내구성 및 용이한 조립성을 가지며, 배기가스의 유동 압력에 대한 블레이드의 내구성을 높인 반도체 제조공정의 배기용 댐퍼에 관한 것이다.
여기서는, 본 발명에 관한 배경기술이 제공되며, 이들이 반드시 공지기술을 의미하는 것은 아니다(This section provides background information related to the present disclosure which is not necessarily prior art).
일반적으로, 화학가스를 이용하는 공정(화학기상증착 등)을 행하는 반도체 제조장비에 있어서, 가공하고자 하는 웨이퍼를 여러 공정에 적용시켜 웨이퍼의 표면상에 전기적인 특성을 갖는 패턴을 형성시키는 것이 필요하며, 이러한 반도체 장비의 효율적인 제조를 위해서는 정화된 공기를 순환시키고, 배기가스를 배기시키기 위한 장치들이 사용되고 있다.
특히, 웨이퍼의 표면에 패턴을 형성시키기 위한 여러 공정들에는 여러 반응가스들의 공급에 의한 웨이퍼와의 반응이 수반되게 되는데, 반응 후의 부산물이나 미반응가스 등이 배기가스에 포함되어 방출되는 것이 필연적이다.
이러한 반응 후의 부산물 혹은 미반응가스들을 포함하는 배기가스가 그대로 대기중으로 방출될 경우에는 심각한 환경오염의 원인이 될 수 있기 때문에 반도체용 공기조화시스템의 설계에서는 이러한 배기 중, 반응 후의 부산물이나 미반응가스들을 포집하기 위하여 배기 라인에 댐퍼 및 스크러버를 설치한다.
여기서, 댐퍼는 배기 라인을 통과하는 공기의 양을 조절하거나 배기시키는 역할을 하게 된다.
공지의 댐퍼는, 도 1에 도시된 바와 같이, 원통형으로서 양단에는 다수의 홀이 형성된 플랜지(11)가 형성된 몸체(10)와, 상기 몸체(10)의 길이 방향과 수직 방향으로 설치된 회전축(20)과, 상기 회전축(20)의 내측 단부에 결합 되어 몸체(10)의 개폐 정도를 조절하도록 설치된 블레이드(30)와, 상기 회전축(20)의 외측 단부에 연결되는 핸들(40)을 포함하여 이루어진다.
특히 상기 블레이드(30)의 상,하부에는 용접에 의해 체결구(31,32)가 접합되며, 상기 상부 체결구(31)의 중간에는 함몰홈(31a)이 형성되고 하부 체결구(32)의 중간에는 암나사(32a)가 형성된다.
하지만, 종래의 기술은 용접에 의해 금속 재질의 블레이드에 체결구를 접합함으로써 접합부위에 부식이 발생하게 되며 이로 인해 제품이 파손되는 문제점이 있었다.
또한, 상기 회전축과 체결구의 체결로 인하여 블레이드와 몸체 간에 틈새가 발생하게 되고 그 틈새로 배기가스의 누설이 발생할 뿐만 아니라, 하부 회전축에 형성된 나사산으로 배기가스가 누설되어 부식이 발생하는 문제점이 있었다.
1. 한국등록특허공보 제10-0946728호
본 발명(Discloure)은, 배기가스의 누설을 방지하고, 높은 내구성 및 용이한 조립성을 가지는 구조의 반도체 제조공정의 배기용 댐퍼의 제공을 일 목적으로 한다.
본 발명(Discloure)은, 블레이드로 향하는 배기가스의 유동 압력에 의한 블레이드의 변형을 방지하면서도, 배기가스의 유동방향을 블레이드의 둘레방향으로 유도하여 누설의 위험성을 높이는 문제를 개선할 수 있는 반도체 제조공정의 배기용 댐퍼의 제공을 일 목적으로 한다.
여기서는, 본 발명의 전체적인 요약(Summary)이 제공되며, 이것이 본 발명의 외연을 제한하는 것으로 이해되어서는 아니 된다(This section provides a general summary of the disclosure and is not a comprehensive disclosure of its full scope or all of its features).
상기한 과제의 해결을 위해, 본 발명의 일 태양(aspect)에 따른 반도체 제조공정의 배기용 댐퍼는, 내부에 수직 단면이 원형인 유로가 형성된 관으로 형성되며, 양단에 플랜지가 구비되는 몸체; 상기 몸체의 내부에 배치되며, 상기 몸체의 직경 방향을 회전축으로 하여 회전하면서 상기 유로를 개폐하는 블레이드; 상기 블레이드의 일단으로부터 상기 블레이드의 직경 방향으로 연장되어 형성되되, 상기 블레이드에서 멀어지는 방향으로 두께가 감소 되는 리크 방지부를 가지며, 상기 몸체의 일 측이 관통되어 형성된 체결부를 통과하여 배치되는 회전축; 상기 블레이드의 일단으로서, 상기 블레이드의 직경 방향으로 상기 회전축의 반대쪽에 형성되며, 상기 몸체의 내면에 구비되는 결합홈에 결합되어 상기 블레이드의 회전을 지지하는 회전 지지 돌기; 상기 몸체에 형성된 체결부와 상기 회전축 사이에 끼워져 상기 회전축을 상기 체결부의 중심에 위치되도록 내부에 상기 회전축이 끼워지는 회전축 결합공을 가지는 튜브 형상으로 구비되며, 상기 회전축 결합공의 내면에는 상기 리크 방지부와 대응되는 형상으로 형성되고 상기 리크 방지부와 맞대어지도록 결합 되어 상기 블레이드가 상기 회전축의 길이방향으로 유동하는 것을 방지하는 부시 부재; 상기 체결부에 나사 결합 되되, 상기 회전축이 통과하는 회전축 통과공을 가지도록 구비되어, 상기 부시 부재의 이탈을 차단시키는 체결부 커버; 및 상기 체결부 커버의 상기 회전축 통과공을 통과해 외부로 노출된 상기 회전축의 일단에 체결되어 상기 회전축에 회전력을 인가하는 핸들;을 포함한다.
본 발명의 일 태양(aspect)에 따른 반도체 제조공정의 배기용 댐퍼에서, 상기 리크 방지부는, 상기 블레이드의 외주와 접하는 상기 회전축의 시작위치로부터 구비되며, 상기 회전축과 이루는 각이 4~6도를 이루도록 형성되는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 일 태양(aspect)에 따른 반도체 제조공정의 배기용 댐퍼에서, 상기 블레이드와 회전축은 인서트 사출 공정에 의해 형성되되, 상기 회전축은, 상기 블레이드와 동일한 합성수지 재질로 구비되며 상기 리크 방지부가 구비되는 외측부재;과 상기 외측부재에 끼워져 상기 블레이드의 직경 방향으로 배치되며 SUS 재질로 구비되는 내측부재;로 구비되고, 상기 부시 부재는, 상기 블레이드와 동일한 합성수지 재질로 구비되는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 일 태양(aspect)에 따른 반도체 제조공정의 배기용 댐퍼에서, 상기 체결부는, 설정된 길이를 가지는 관으로 구비되고, 외면에 나사산이 형성되며, 상기 회전축의 외면과 상기 부시 부재의 내면 사이에 배치되는 제1 오링; 및 상기 부시 부재의 외면과 상기 체결부의 내면 사이에 배치되는 제2 오링;이 구비되는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 일 태양(aspect)에 따른 반도체 제조공정의 배기용 댐퍼에서, 상기 블레이드는, 두께가 균일한 원판;과 상기 원판의 외면에 상기 회전축과 직교하는 방향으로 배치되되 상기 회전축으로부터 멀어지는 방향으로 두께가 점차 감소하는 보강리브;를 가지며, 상기 보강리브는 상기 회전축의 길이방향으로 일정한 간격을 가지며 복수 개가 평행하게 배치되는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 일 태양(aspect)에 따른 반도체 제조공정의 배기용 댐퍼에서, 상기 체결부는, 상기 몸체의 길이방향으로 일단으로부터 상기 블레이드의 반경보다 길고 상기 블레이드 직경의 2/3이 되는 길이보다 짧은 길이만큼 떨어진 위치에 배치되는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 일 태양(aspect)에 따른 반도체 제조공정의 배기용 댐퍼에서, 상기 핸들이 상기 회전축에 결합 된 상태에서 상기 회전축에 대해 상대 회전이 일어나는 것을 방지하도록, 상기 핸들은 풀림 방지 와셔 및 상기 풀림 방지 와셔를 상기 핸들에 밀착시키는 체결너트에 의해 상기 회전축에 결합되는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 일 태양(aspect)에 따른 반도체 제조공정의 배기용 댐퍼에서, 상기 핸들은, 상기 블레이드의 개폐를 위한 회전방향으로 원호형상으로 구비되는 개폐상태 알림 슬롯;을 가지며, 상기 몸체의 외면 일측에 고정되어 구비되며, 상기 핸들의 회전에 따라 상기 개폐상태 알림 슬롯을 따라 이동하면서 상기 블레이드의 개폐 정도를 확인할 수 있도록 하는 개폐상태 알림 돌기;를 가지는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따르면, 리크 방지부와 부시 부재에 의해, 회전축이 그 길이방향으로 유동되는 것이 차단되므로, 배기가스가 새는 문제를 방지할 수 있다.
본 발명에 따르면, 리크 방지부와 부시 부재를 동일한 합성수지 재질로 구비함으로써, 배기가스에 의한 부식 문제를 원천적으로 배제할 수 있다. 즉 종래 코팅물질의 박리로 인해 발생되는 위험을 제거할 수 있게 된다.
본 발명에 따르면, 종래 블레이드 두께를 중앙부에서 두껍게 하고, 외주 측으로 갈수록 얇게 하여 중앙부의 강도를 높인 것에 비하여, 블레이드가 균일한 두께로 구비하되, 보강리브를 구비하여 중앙부의 강도 보강을 충분히 하면서도, 종래 블레이드 두께 차이로 인한 경사면에 의해 중앙부로 유동하는 배기가스가 블레이드의 외주로 안내되어 블레이드 외주를 통해 배기가스가 누설되는 위험성을 제거할 수 있게 된다.
본 발명에 따르면, 개폐상태 알림 돌기를 몸체의 고정 시킨 채, 핸들의 회전에 따라 핸들에 형성된 개폐상태 알림 슬롯이 이동하도록 하여 개폐상태를 확인하도록 함으로써, 동작이 필요한 구성을 최소화하여 구조의 안전성을 높일 수 있다.
도 1은 종래 반도체 제조공정의 배기용 댐퍼의 일 예를 보인 도면.
도 2는 본 발명에 따른 반도체 제조공정의 배기용 댐퍼의 일 실시형태를 보인 도면.
도 3은 도 2에서 주요부를 분해하여 보인 도면.
도 4는 도 2에서 블레이드의 단면을 보인 도면.
도 5는 핸들 및 개폐상태 알림 구조를 설명하기 위한 도면.
이하, 본 발명에 따른반도체 제조공정의 배기용 댐퍼를 구현한 실시형태를 도면을 참조하여 자세히 설명한다.
다만, 본 발명의 사상은 이하에서 설명되는 실시형태에 의해 그 실시 가능 형태가 제한된다고 할 수는 없고, 본 발명의 사상을 이해하는 통상의 기술자는 본 개시와 동일한 기술적 사상의 범위 내에 포함되는 다양한 실시 형태를 치환 또는 변경의 방법으로 용이하게 제안할 수 있을 것이나, 이 또한 본 발명의 기술적 사상에 포함됨을 밝힌다.
또한, 이하에서 사용되는 용어는 설명의 편의를 위하여 선택한 것이므로, 본 발명의 기술적 내용을 파악하는 데 있어서, 사전적 의미에 제한되지 않고 본 발명의 기술적 사상에 부합되는 의미로 적절히 해석되어야 할 것이다.
도 2는 본 발명에 따른 반도체 제조공정의 배기용 댐퍼의 일 실시형태를 보인 도면, 도 3은 도 2에서 주요부를 분해하여 보인 도면, 도 4는 도 2에서 블레이드의 단면을 보인 도면, 도 5는 핸들 및 개폐상태 알림 구조를 설명하기 위한 도면이다.
도 2 내지 도 5를 참조하면, 본 실시형태에 따른 반도체 제조공정의 배기용 댐퍼(100)는, 몸체(110), 블레이드(120), 회전축(130), 회전 지지 돌기(140), 부시 부재(150), 체결부 커버(160) 및 핸들(170)을 포함한다.
몸체(110)는, 내부에 유로(110s)가 형성된 관으로 형성되고, 양단에 플랜지(111)가 구비된다.
여기서, 유로(110s)는 일정한 단면 형상을 가지도록 구비되며, 수직 단면이 원형으로 형성되는 것이 바람직하다.
또한, 플랜지(111)는 배기가스 배출 배관과 연결을 위해 구비된다.
블레이드(120)는, 몸체(110)의 내부에 배치되어, 몸체(110) 내부의 유로(110s)를 선택적으로 개폐하는 구성이다.
블레이드(120)는, 몸체(110)의 직경 방향을 회전축(130)으로 하여 회전하면서 유로(110s)를 개폐한다.
회전축(130)은, 블레이드(120)의 일단으로부터 블레이드(120)의 직경 방향으로 연장되어 형성된다. 그리고 몸체(110)의 일 측이 관통되어 형성된 체결부(113)를 통과하여 배치된다.
또한, 회전축(130)은, 블레이드(120)에서 멀어지는 방향으로 두께가 감소 되는 리크 방지부(131)를 가진다. 이에 의해 리크 방지부(131)가 후술하는 부시 부재(150)와 밀착된 상태로 결합 되면서 회전축(130)이 그 길이방향으로 유동 되는 것을 방지할 수 있게 된다.
결국, 회전축(130)의 길이 방향으로 블레이드(120)가 유동 되는 것이 방지되어 배기가스가 누설되는 것을 방지할 수 있게 된다.
회전 지지 돌기(140)은, 블레이드(120)의 일단에 구비되는데, 블레이드(120)의 직경 방향으로 회전축(130)의 반대쪽에 형성된다.
이에 의하면, 회전 지지 돌기(140)가 회전축(130)의 연장선상에 위치된다.
한편, 회전 지지 돌기(140)를 회전 가능하게 지지하기 위해, 몸체(110)의 내면에 회전 지지 돌기(140)가 결합되는 결합홈(115)이 구비된다.
부시 부재(150)는, 몸체(110)에 형성된 체결부(113)와 회전축(130) 사이에 끼워져 회전축(130)을 체결부(113)의 중심에 위치되도록 내부에 회전축(130)이 끼워지는 회전축 결합공(151)을 가지는 튜브 형상으로 구비된다.
한편, 부시 부재(150)는, 회전축 결합공(151)의 내면에 리크 방지부(131)와 대응되는 형상으로 형성된다.
이에 의해, 부시 부재(150)는, 리크 방지부(131)와 맞대어지도록 결합 되어 블레이드(120)가 회전축(130)의 길이방향으로 유동하는 것을 방지하게 된다.
체결부 커버(160)는, 체결부(113)에 나사 결합 되되, 회전축(130)이 통과하는 회전축 통과공(161)을 가지도록 구비되어, 부시 부재(150)의 이탈을 차단하게 된다.
핸들(170)은, 체결부 커버(160)의 회전축 통과공(161)을 통과해 외부로 노출된 회전축(130)의 일단에 체결된다.
이에 의해, 사용자는 핸들(170)을 이용하여 회전축(130)에 회전력을 인가할 수 있게 된다.
한편, 본 실시형태에서, 리크 방지부(131)는, 블레이드(120)의 외주와 접하는 회전축(130)의 시작위치로부터 구비되며, 회전축(130)과 이루는 각이 4~6도를 이루도록 형성되는 것이 바람직하다.
설정된 각도보다 작은 경우, 회전축(130)의 방향으로 블레이드(120)의 유동 제한에 한계가 있으며, 설정된 각도보다 큰 경우, 부시 부재(150)와 리크 방지부(131) 사이의 틈으로 배기가스가 유입될 가능성이 높아진다.
또한, 본 실시형태에서, 블레이드(120)와 회전축(130)은 인서트 사출 공정에 의해 형성되는 것이 바람직하다.
이때, 회전축(130)은, 블레이드(120)와 동일한 합성수지 재질로 구비되며, 리크 방지부(131)가 구비되는 외측부재(130a)과 외측부재(130a)에 끼워져 블레이드(120)의 직경 방향으로 배치되며 SUS 재질로 구비되는 내측부재(130b)로 구비되는 것이 바람직하다.
여기서, 부시 부재(150)와 블레이드(120)는, 난연처리가 된 합성수지 재질로 구비되는 것이 바람직하다.
난연처리가 된 합성수지는, 합성수지의 제조 과정에서 공지의 난연재가 혼합되어 제조될 수 있으며, 합성수지는 HDPE, LDPE, PP, PVC를 예로 들 수 있고, 본 발명자에 의한 실험에 의하면 HDPE/LDPE 재질로 구비되는 것이 마모 등에 대한 내화학성 면에서 유리함을 확인하였다.
또한, 본 실시형태에서, 체결부(113)는, 설정된 길이를 가지는 관으로 구비되고, 외면에 나사산이 형성되며, 회전축(130)의 외면과 부시 부재(150)의 내면 사이에 배치되는 제1 오링(132)과, 부시 부재(150)의 외면과 체결부(113)의 내면 사이에 배치되는 제2 오링(152)이 구비되는 것이 바람직하다.
한편, 본 실시형태에서, 블레이드(120)는, 두께가 균일한 원판(121)과, 원판(121)의 외면에 회전축(130)과 직교하는 방향으로 배치되되 회전축(130)으로부터 멀어지는 방향으로 두께가 점차 감소하는 보강리브(122)를 가지며, 보강리브(122)는 회전축(130)의 길이방향으로 일정한 간격을 가지며 복수 개가 평행하게 배치되는 것이 바람직하다.
이에 의하면, 블레이드(120)로 유입되는 배기가스는, 직교하는 면과 마주하게 되어, 이후 배기가스의 유동방향이 일정한 방향을 향하는 것을 방지하게 된다.
이는, 종래 블레이드 두께 차이로 인한 경사면에 의해 중앙부로 유동하는 배기가스가 블레이드의 외주로 안내되어 블레이드 외주를 통해 배기가스가 누설되는 위험성을 제거할 수 있음을 의미한다.
추가하여, 본 실시형태에서, 블레이드(120)는, 보강리브(122)에 의해, 블레이드(120) 중앙부의 강도 보강을 충분히 할 수 있게 된다. 이는 유로(110s) 내부에서 배기가스의 유속은 중앙부에서 가장 빠르고, 벽면으로 갈수록 작아지므로, 유로(110s) 중앙부의 빠른 유속에 의한 압력을 이길 수 있도록 강도를 보강한 것을 의미한다.
다음으로, 체결부(113)는, 몸체(110)의 길이방향으로 일단으로부터 블레이드(120)의 반경보다 길고 블레이드(120) 직경의 2/3이 되는 길이보다 짧은 길이만큼 떨어진 위치에 배치되는 것이 바람직하다.
이는, 블레이드(120)와 회전축(130)이 인서트 사출에 의해 일체로 형성되는 본 실시형태에서, 회전축(130)이 결한되 블레이드(120)를 유로(110s)의 내부를 통하여 회전축(130)이 체결부(113)를 통과하여 설치될 수 있도록 하기 위함이다.
다음으로, 본 실시형태에서, 핸들(170)이 회전축(130)에 결합 된 상태에서 회전축(130)에 대해 상대 회전이 일어나는 것을 방지하도록, 핸들(170)은 풀림 방지 와셔(171)와, 풀림 방지 와셔(171)를 핸들(170)에 밀착시키는 체결너트(172)에 의해 회전축(130)에 결합되도록 구비된다.
추가하여, 핸들(170)은, 블레이드(120)의 개폐를 위한 회전방향으로 원호형상으로 구비되는 개폐상태 알림 슬롯(173)을 가지는 것이 바람직하다.
또한, 핸들(170)의 회전에 따라 개폐상태 알림 슬롯(173)을 따라 이동하면서 블레이드(120)의 개폐 정도를 확인할 수 있도록 하는 개폐상태 알림 돌기(174)가 몸체(110)의 외면 일측에 고정되어 구비되는 것이 바람직하다.

Claims (8)

  1. 내부에 수직 단면이 원형인 유로가 형성된 관으로 형성되며, 양단에 플랜지가 구비되는 몸체;
    상기 몸체의 내부에 배치되며, 상기 몸체의 직경 방향을 회전축으로 하여 회전하면서 상기 유로를 개폐하는 블레이드;
    상기 블레이드의 일단으로부터 상기 블레이드의 직경 방향으로 연장되어 형성되되, 상기 블레이드에서 멀어지는 방향으로 두께가 감소 되는 리크 방지부를 가지며, 상기 몸체의 일 측이 관통되어 형성된 체결부를 통과하여 배치되는 회전축;
    상기 블레이드의 일단으로서, 상기 블레이드의 직경 방향으로 상기 회전축의 반대쪽에 형성되며, 상기 몸체의 내면에 구비되는 결합홈에 결합되어 상기 블레이드의 회전을 지지하는 회전 지지 돌기;
    상기 몸체에 형성된 체결부와 상기 회전축 사이에 끼워져 상기 회전축을 상기 체결부의 중심에 위치되도록 내부에 상기 회전축이 끼워지는 회전축 결합공을 가지는 튜브 형상으로 구비되며, 상기 회전축 결합공의 내면에는 상기 리크 방지부와 대응되는 형상으로 형성되고 상기 리크 방지부와 맞대어지도록 결합 되어 상기 블레이드가 상기 회전축의 길이방향으로 유동하는 것을 방지하는 부시 부재;
    상기 체결부에 나사 결합 되되, 상기 회전축이 통과하는 회전축 통과공을 가지도록 구비되어, 상기 부시 부재의 이탈을 차단시키는 체결부 커버; 및
    상기 체결부 커버의 상기 회전축 통과공을 통과해 외부로 노출된 상기 회전축의 일단에 체결되어 상기 회전축에 회전력을 인가하는 핸들;을 포함하는 반도체 제조공정의 배기용 댐퍼.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 리크 방지부는, 상기 블레이드의 외주와 접하는 상기 회전축의 시작위치로부터 구비되며, 상기 회전축과 이루는 각이 4~6도를 이루도록 형성되는 것을 특징으로 하는 반도체 제조공정의 배기용 댐퍼.
  3. 청구항 2에 있어서,
    상기 블레이드와 회전축은 인서트 사출 공정에 의해 형성되되,
    상기 회전축은, 상기 블레이드와 동일한 합성수지 재질로 구비되며 상기 리크 방지부가 구비되는 외측부재;과 상기 외측부재에 끼워져 상기 블레이드의 직경 방향으로 배치되며 SUS 재질로 구비되는 내측부재;로 구비되고,
    상기 부시 부재는, 상기 블레이드와 동일한 합성수지 재질로 구비되는 것을 특징으로 하는 반도체 제조공정의 배기용 댐퍼.
  4. 청구항 1에 있어서,
    상기 체결부는, 설정된 길이를 가지는 관으로 구비되고, 외면에 나사산이 형성되며,
    상기 회전축의 외면과 상기 부시 부재의 내면 사이에 배치되는 제1 오링; 및 상기 부시 부재의 외면과 상기 체결부의 내면 사이에 배치되는 제2 오링;이 구비되는 것을 특징으로 하는 반도체 제조공정의 배기용 댐퍼.
  5. 청구항 1에 있어서,
    상기 블레이드는, 두께가 균일한 원판;과 상기 원판의 외면에 상기 회전축과 직교하는 방향으로 배치되되 상기 회전축으로부터 멀어지는 방향으로 두께가 점차 감소하는 보강리브;를 가지며, 상기 보강리브는 상기 회전축의 길이방향으로 일정한 간격을 가지며 복수 개가 평행하게 배치되는 것을 특징으로 하는 반도체 제조공정의 배기용 댐퍼.
  6. 청구항 1에 있어서,
    상기 체결부는, 상기 몸체의 길이방향으로 일단으로부터 상기 블레이드의 반경보다 길고 상기 블레이드 직경의 2/3이 되는 길이보다 짧은 길이만큼 떨어진 위치에 배치되는 것을 특징으로 하는 반도체 제조공정의 배기용 댐퍼.
  7. 청구항 1에 있어서,
    상기 핸들이 상기 회전축에 결합 된 상태에서 상기 회전축에 대해 상대 회전이 일어나는 것을 방지하도록, 상기 핸들은 풀림 방지 와셔 및 상기 풀림 방지 와셔를 상기 핸들에 밀착시키는 체결너트에 의해 상기 회전축에 결합되는 것을 특징으로 하는 반도체 제조공정의 배기용 댐퍼.
  8. 청구항 1에 있어서,
    상기 핸들은, 상기 블레이드의 개폐를 위한 회전방향으로 원호형상으로 구비되는 개폐상태 알림 슬롯;을 가지며,
    상기 몸체의 외면 일측에 고정되어 구비되며, 상기 핸들의 회전에 따라 상기 개폐상태 알림 슬롯을 따라 이동하면서 상기 블레이드의 개폐 정도를 확인할 수 있도록 하는 개폐상태 알림 돌기;를 가지는 것을 특징으로 하는 반도체 제조공정의 배기용 댐퍼.
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