KR100789168B1

KR100789168B1 - 반도체 제조공정 배기용 댐퍼장치

Info

Publication number: KR100789168B1
Application number: KR1020060061013A
Authority: KR
Inventors: 성열학
Original assignee: 주식회사 비비테크
Priority date: 2006-06-30
Filing date: 2006-06-30
Publication date: 2008-01-02

Abstract

이 발명은 반도체 제조공정에 이용되는 댐퍼장치에 있어서 개폐판 조절이 간단 용이하면서도 정확하게 조절 가능하고 일단 조절이 완료되면 다시 조절할 때까지 원래 상태를 그대로 유지할 수 있도록 개선된 반도체 제조공정용 댐퍼장치에 관한 것으로서, 플랜지(11)를 양측에 구비하고 공기통과공(12)을 가진 하우징(10) 중간부에 통과되는 공기량이 가감되게 조절시키는 개폐판(20)이 양측 축보스(13,13')에 지지되는 회전축부(21,21')에 의해 회동 가능하도록 이루어지는 댐퍼장치로서; 상기 회전축부(21)가 축보스(13)를 관통하도록 길게 연장되는 길이를 갖도록 하여 중간부에 사각부(22)를 형성하고 선단부에는 나사부(23)와 이탈방지돌기부(24)를 갖도록 하고; 상기 회전축부(21)가 관통되는 관통공(31)을 중심으로 원호방향으로 다수의 세팅공(32a-32e)과 길다란 원호가이드장공(33)이 상호 대치되는 방향에 형성되게 구비되는 중앙돌륜부(34)와 차등 높이(30a)를 갖는 표면부(35)를 가지며 상기 표면부(35) 양측으로 하우징(10)에 고정되는 지지부(36)를 갖는 세팅브라켓부재(30)와; 상기 중앙돌륜부(34)와 면접촉되고 회전축부(21)의 사각부(22)와 결합되는 사각공(41) 양측으로 걸림공(32a-32e)에 걸림되고 이탈될 수 있는 세팅돌기(42) 및 원호가이드장공(33)과 일치되는 가이드축공(43)을 가지며 일측으로 형성된 길다란 손잡이부(44)와 대향되는 선단부에 뾰족한 지시침부(45)를 가진 조절핸들부재(40)를 포함하고; 상기 회전축부(21)에 조절핸들부재(40)를 가압하는 탄력부재(50)와 와셔부재(51)가 설치되고 상기 탄력부재(50)를 압축 및 완화되게 하는 탄 력조절너트부재(52)가 나사부(23)에 체결되며; 상기 원호가이드장공(33)과 가이드축공(43)에는 볼트부재(60)를 관통시켜 나사부(61)에 스프링(62)과 와셔부재(63)가 설치된 후 너트부재(64)로 체결되도록 이루어진 것이다.

댐퍼, 댐퍼장치, 반도체 제조공정용 댐퍼장치,

Description

반도체 제조공정 배기용 댐퍼장치{Semiconductor manufacture process exhaustion damper gear}

도 1은 본 발명에 따른 댐퍼장치의 전체 분리 사시도,

도 2는 본 발명의 댐퍼장치의 요부를 보인 입면도,

도 3은 본 발명의 개폐판이 완전히 세팅된 상태의 일측 단면 구성도,

도 4는 본 발명에 따른 조절핸들부재와 회전축부가 결합된 상태의 요부 확대 평단면도,

도 5는 본 발명의 개폐판 각도 조절시 초기 조작 상태를 설명하는 단면도,

도 6은 본 발명의 개폐판을 각도 조절하는 상태를 설명하는 단면도이다.

* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *

10 : 하우징 20 : 개폐판

21,21' : 회전축부 22 : 사각부

23 : 나사부 24 ; 이탈방지돌기부

30 : 세팅브라켓부재 31 : 관통공

32a-32e : 세팅공 33 : 원호가이드장공

34 : 중앙돌륜부 40 : 조절핸들부재

41 : 사각공 42 : 세팅돌기

43 : 가이드축공 44 : 손잡이부

45 : 지시침부 50 : 탄력부재

51 : 와셔부재 52 : 탄력조절너트

60 : 볼트부재 61 : 나사부

62 : 스프링 63 : 와셔부재

64 : 너트부재

본 발명은 반도체 제조 공정에 이용되는 댐퍼장치에 있어서 개폐판 조절이 간단 용이하면서도 정확하게 조절하여 세팅 가능하고 일단 조절이 완료되면 다시 조절할 때까지 원래 상태를 그대로 유지 가능하도록 개선된 반도체 제조공정 배기용 댐퍼장치에 관한 것이다.

일반적으로 댐퍼장치는 공기가 통과되는 양을 조절하여 공급되게 하거나 배기될 수 있도록 하는 장치이다.

이러한 댐퍼장치는 공기가 통과되는 공기압이나 주변 설비의 진동 등에 의해서 개폐판이 저절로 열리거나 닫혀지는 자연개폐현상이 발생된다.

상기 자연개폐현상은 정량의 공기가 공급되게 하거나 배기되어야 하는 정밀성이 요구되는 반도체 제조 공정에 이용되는 댐퍼장치의 경우 치명적인 결함을 가져오게 한다.

반도체 제조공정에 이용되는 선행기술의 댐퍼장치가 한국 등록실용신안 제20-0289711호로 개시되어 있다.

그러나 상기 선행기술의 댐퍼장치는 댐퍼의 개폐정도를 투명창을 통해 외부에서 육안으로 보고 적절히 조절하고 세팅시키는 것이므로 정확하게 조절하는데 여러번 조절하여 세팅시켜야 하는 번거로움과 불편이 초래되는 문제점이 있다.

본 발명은 반도체 제조공정에 이용되는 댐퍼장치에 있어서 개폐판 조절이 간단 용이하면서도 정확하게 조절 가능하고 일단 조절이 완료되면 다시 조절할 때까지 원래 상태를 그대로 유지할 수 있도록 개선된 반도체 제조공정용 댐퍼장치를 제공하려는데 그 목적이 있다.

상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명은, 플랜지를 양측에 구비하고 공기통과공을 가진 하우징 중간부에 통과되는 공기량이 가감되게 조절시키는 개폐판이 양측 축보스에 지지되는 회전축부에 의해 회동 가능하도록 이루어지는 댐퍼장치로서; 상기 회전축부가 축보스를 관통하도록 길게 연장되는 길이를 갖도록 하여 중간부에 사각부를 형성하고 선단부에는 나사부와 이탈방지돌기부를 갖도록 하고; 상기 회전축부가 관통되는 관통공을 중심으로 원호방향으로 다수의 세팅공과 길다란 원호가이드장공이 상호 대치되는 방향에 형성되게 구비되는 중앙돌륜부와 차등 높이를 갖는 표면부를 가지며 상기 표면부 양측으로 하우징에 고정되는 지지부를 갖는 세팅브라켓부재와; 상기 중앙돌륜부와 면접촉되고 회전축부의 사각부와 결합되는 사각공 양측으로 걸림공에 걸림되고 이탈될 수 있는 세팅돌기 및 원호가이드장공과 일 치되는 가이드축공을 가지며 일측으로 형성된 길다란 손잡이부와 대향되는 선단부에 뾰족한 지시침부를 가진 조절핸들부재를 포함하고; 상기 회전축부에 조절핸들부재를 가압하는 탄력부재와 와셔부재가 설치되고 상기 탄력부재를 압축 및 완화되게 하는 탄력조절너트부재가 나사부에 체결되며; 상기 원호가이드장공과 가이드축공에는 볼트부재를 관통시켜 나사부에 스프링과 와셔부재가 설치된 후 너트부재로 체결되도록 이루어지는 것을 그 특징으로 한다.

상기 조절핸들부재(40)의 손잡이부에 고무부재가 씌워지도록 코팅된 것을 다른 특징으로 한다.

본 발명을 첨부된 바람직한 실시 도면에 의거하여 보다 상세히 설명하면 다음과 같다.

도 1은 본 발명이 실시된 댐퍼장치의 전체 분리 사시도이고, 도 2는 정면 구성도이며, 도 3은 전체 종단면도를 나타낸 것이다.

도 1 내지 도 3을 참조하면, 본 발명의 댐퍼장치는 플랜지(11)를 양측에 구비하고 공기통과공(12)을 가진 하우징(10) 중간부에 통과되는 공기량이 가감되게 조절시키는 개폐판(20)이 양측 축보스(13,13')에 지지되는 회전축부(21,21')에 의해 회동 가능하도록 되어 있으며, 이러한 댐퍼장치는 도 2에 보인바와 같이 플랜지(11)가 에어관(1)들과 고정되어 설치됨으로써 공기통과공(12)으로 공기가 통과하게 되도록 설치되는 것이다.

이러한 댐퍼장치의 회전축부(21,21')는 조립시에 홈부(21a)에 개폐판(20)이 끼워진 상태에서 용접되어 고정되게 조립된다.

따라서, 본 발명은 회전축부(21)가 축보스(13)를 관통하도록 길게 연장되는 길이를 갖도록 구성되고, 이러한 회전축부(21) 중간부에는 사각부(22)가 형성되도록 하는 동시에 선단부에는 나사부(23)와 이탈방지돌기부(24)를 갖도록 구성하게 되는데, 상기 이탈방지돌기부(24)는 이후에 설명되는 탄력조절너트(52)가 나사부(23)에 체결되게 조립된 다음에 이탈방지돌기부(24)가 형성되게 하는 것으로서, 이러한 이탈방지돌기부(24)는 나사부(23) 끝단에 용접봉으로 약간 돌출되게 하여 형성되게 하는 것이다.

그리고 본 발명은 하우징(10)에 고정되는 세팅브라켓부재(30)를 구비한다.

상기 세팅브라켓부재(30)는 중앙돌륜부(34)와 차등 높이(30a)를 갖는 표면부(35) 및 양측으로 하우징(10)에 용접되어 고정되는 지지부(36)를 구비하도록 구성되어 있다.

또한, 상기 중앙돌륜부(34)에는 회전축부(21)가 관통되는 관통공(31)을 중심으로 원호방향으로 다수의 세팅공(32a-32e)과 길다란 원호가이드장공(33)이 상호 대치되는 방향에 형성되도록 구성되어 있고, 세팅공(32a-32e) 일측에는 세팅 각도를 표시하는 눈금(37)이 표시되어 있다.

상기 세팅브라켓부재(30)의 중앙돌륜부(34)에는 조절핸들부재(40)가 설치된다.

상기 조절핸들부재(40)는 선단부는 중앙돌륜부(34)와 면접촉되고 회전축부(21)의 사각부(22)와 결합되는 사각공(41) 양측으로 걸림공(32a-32e)에 걸림되고 이탈될 수 있는 세팅돌기(42) 및 원호가이드장공(33)과 일치되는 가이드축공(43)을 갖도록 구성되어 있다.

따라서, 도 4에 도시된 바와 같이 조절핸들부재(40)의 사각공(41)에 회전축부(21)의 사각부(22)가 결합되어 있기 때문에 조절핸들부재(40)를 회전시키게 되면 회전축부(21)가 회전됨으로써 개폐판(20)이 회전되게 된다.

그리고 조절핸들부재(40)의 일측으로는 길다란 손잡이부(44)를 구비하는 한편 손잡이부(44)와 대향되는 선단부에는 뾰족한 지시침부(45)를 갖도록 구성되어 있고, 이 지시침부(45)는 눈금(37)을 가리키도록 되어 있다.

상기 조절핸들부재(40)의 손잡이부(44)에는 고무부재(44a)가 씌워지도록 코팅됨으로써 외관을 미려하게 하고 사용시에 시각적으로 안정감을 갖도록 하는 동시에 고무부재(44a)가 색상을 가지도록 함으로써 쉽게 조절핸들부재(40)를 식별 가능하게 하는 기능을 갖도록 한다.

한편, 회전축부(21)에 조절핸들부재(40)를 가압하는 탄력부재(50)와 와셔부재(51)가 설치된 다음 탄력부재(50)를 압축 및 완화되게 하는 탄력조절너트부재(52)가 나사부(23)에 체결되도록 되어 있다.

그리고 원호가이드장공(33)과 가이드축공(43)에는 볼트부재(60)를 관통시켜 나사부(61)에 스프링(62)과 와셔부재(63)가 설치된 후 너트부재(64)로 체결되도록 구성되어 있다.

도 2를 참조하면, 본 발명은 조절핸들부재(40)가 실선도시로 된 상태에 있을 때 개폐판(20)이 점선상태와 같이 하우징(10)의 공기통과공(12)을 막고 있는 폐쇄 된 상태(SHUP 표시됨)이고, 조절핸들부재(40)를 가성선 상태와 같이 회전시켜 세팅시켰을 때는 개폐판(20)이 가상선(일점쇄선) 상태와 같이 회전되어 공기통과공(12)이 개방된 상태(OPEN 표시됨)를 나타낸 것이며 조절핸들부재(40)가 대각선 방향으로 회전되어 세팅될 경우에는 개폐판(20) 역시 경사된 상태로 일부 개방된 상태를 가지게 되는 것으로서, 이후에는 폐쇄상태 및 개방상태, 그리고 경사개방상태로 표현하기로 한다.

따라서, 댐퍼장치가 폐쇄상태일 때에는 조절핸들부재(40)의 세팅돌기(42)가 세팅공(32a)에 끼워지게 세팅된 상태이며, 도 3에 보인 바와 같이 탄력조절너트(52)를 조임되게 회전시킴으로써 와셔부재(51)가 하강되어 탄력부재(50)를 가압하게 되는데 이때 탄력부재(50)가 더 이상 압축되지 않을 때까지 탄력조절너트(52)를 완전히 조임되게 함으로써 조절핸들부재(40)는 세팅브라켓부재(30)의 중앙돌륜부(34)에 완전히 밀착된 상태를 갖는다.

그러므로 조절핸들부재(40)의 손잡이부(44)를 눌러서 가압하더라도 중앙돌륜부(34)에 밀착된 조절핸들부재(40)는 탄력부재(50)와 와셔부재(51) 및 탄력조절너트(52)에 의해서 상부 방향으로 들리지 않게 되고, 그로 인해 세팅돌기(42)는 세팅공(32a)으로부터 이탈되지 않게 된다.

그러므로 하우징(10)의 공기통과공(12)으로 통과하려는 강한 공기압이 개페판(20)에 작용함으로써 개폐판(20)이 회동하려는 힘이 작용되더라도 개폐판(20)과 고정된 회전축부(21)의 사각부(22)가 조절핸들부재(40)의 사각공(41)에 맞물려 있고 조절핸들부재(40)는 들리지 않도록 세팅되어 있기 때문에 일단 탄력조절너 트(52)를 조여서 세팅된 상태가 되면 개폐판(20)은 절대로 회전되지 않게 되고 세팅된 상태를 그대로 유지하게 되는 것이다.

그리고 본 발명은 폐쇄상태에서 경사개방상태 또는 개방상태로 조절되게 세팅시킬 때에는 도 5에 보인 바와 같이 탄력조절너트(52)를 이탈방지돌기(24) 위치까지 올라가도록 풀림되게 회전시킨다.

상기와 같이 탄력조절너트(52)가 풀림되는 상태가 되면 압축되어 있던 탄력부재(51)가 와셔부재(63)를 탄력으로 밀고 올라가서 탄력이 완화되는 상태가 된다.

이 상태에서 도 6에 보인 바와 같이 조절핸들부재(40)의 손잡이부(44)를 강하게 눌러서 가압력(W)이 작용되게 하면 볼트부재(60) 위치보다 후미쪽의 조절핸들부재(40) 부분이 중앙돌륜부(34) 모서리에 접촉되면서 눌리게 됨에 따라 세팅돌기(42)가 있는 선단부가 완화된 탄력을 가진 탄력부재(50)를 밀면서 들리게 되고, 그로 인해 세팅돌기(42)가 세팅공(32a)으로부터 이탈되게 된다.

한편, 조절핸들부재(40)의 손잡이부(44)를 강하게 눌러서 가압력(W)이 작용되게 하면 볼트부재(60) 위치보다 후미쪽의 조절핸들부재(40) 부분이 중앙돌륜부(34) 모서리에 접촉되면서 눌리게 되는 것은 중앙돌륜부(34)와 표면부(35)가 차등된 높이(30a)를 가지기 때문에 조절핸들부재(40)의 후미부분이 밑으로 내려갈 수 있기 때문이다.

그리고 상기와 같이 조절핸들부재(40)의 선단부가 들린 상태에서 손잡이부(44)를 도 2의 가상선 도시와 같이 옆 방향으로 회전시키면 사각공(41)에 사각부(22)가 끼워지게 결합되어 있는 회전축부(21)가 같이 회전됨에 따라 개폐판(200 이 회전되게 된다.

이때, 다수의 세팅공(32a-32e) 중에 조절하고자 하는 어느 하나의 세팅공까지 세팅돌기(42)가 이동하도록 하는데 지시침부(45)가 눈금(37)을 가리키기므로 조절을 원하는 눈금(37)까지 지시침부(45)가 회전되도록 함으로써 편리하고 용이하게 조절핸들부재(40)를 회동시켜 세팅되게 할 수 있다.

다음, 상기와 같이 원하는 위치까지 조절핸들부재(40)를 회동시킨 후에는 손잡이부(44)를 가압하던 가압력(W)를 해제시켜 상실되게 하면 탄력부재(50)의 탄력에 의해서 조절핸들부재(40)의 선단부가 밑으로 내려가게 이동됨에 따라 세팅돌기(42)가 세팅공(32e)에 끼워지게 된다.

이 상태에서 도 3과 같이 탄력조절너트(52)를 다시 조임되게 회전시킴으로써 와셔부재(51)가 하강되게 이동되게 되는데 이때 탄력부재(50)가 더 이상 압축되지 않을 때까지 완전히 압축된 상태가 되도록 탄력조절너트(52)를 완전히 조임되게 함에 따라 조절핸들부재(40)는 세팅브라켓부재(30)의 중앙돌륜부(34)에 완전히 밀착된 상태를 갖게 되는 것이고, 중앙돌륜부(34)에 밀착된 조절핸들부재(40)는 탄력부재(50)와 와셔부재(51) 및 탄력조절너트(52)에 의해서 상부 방향으로 들리지 않게 됨으로써 세팅돌기(42)는 새로이 조절되어 삽입된 세팅공(32e)으로부터 이탈되지 않게 되는 것이다.

한편, 상기와 같이 조절핸들부재(40) 손잡이부(44)를 눌러서 회동되게 할 때 스프링(62)이 약간 눌리게 되는 상태가 됨으로써 조절핸들부재(40)의 선단부가 들리게 되는 것에 지장을 초래하지 않게 되는 것일 뿐만 아니라 볼트부재(60)는 원호 가이드장공(33)를 따라 안내되어 이동하므로 정확하고 안정되게 조절핸들부재(400가 회동되게 되는 것이다.

또한, 원호가이드장공(33)의 양측단부에 볼트부재(60)가 가로 막혀 더 이상 조절핸들부재(62)가 회동되지 못하도록 하는 역할을 하게 됨으로써 개폐판(20)의 회전이 90°각도로만 회전될 수 있도록 한다.

그리고 스프링(62)은 항상 조절핸들부재(40)를 가압하는 상태를 가지므로 세로운 세팅 작업시 때마다 너트부재(64)를 풀고 조일 필요가 없게 한다. 가령 스프링(62)이 없는 상태가 되면 조절핸들부재(40)를 회전시키고 고정되게 세팅시킬 때마다 너트부재(64)를 풀고 다시 조여야 하는 불편이 초래되지만 스프링(62)이 있기 때문에 너트부재(64)를 풀고 다시 조이지 않아도 된다.

따라서, 본 발명은 개폐판(20)을 회전시켜 공기통과량의 조절이 필요로 될 때 탄력조절너트(52)를 풀고 조절핸들부재(40)의 손잡이부(44)를 가압하면서 회전시켜 원하는 세팅공까지 이동되게 한 다음 손잡이부(44)를 가압하던 가압력을 해지한 후 다시 탄력조절너트(52)를 강하게 조이기만 하면 되므로 매우 간편하고 용이하게 원하는 각도로 개폐판(20)을 회동시켜 고정되게 세팅시킬 수 있게 되는 것이다.

그리고 일단 세팅된 후에는 회전축부(21)가 회전되지 못하게 됨으로써 공기통과공(12)으로 통과되는 공기압력이나 주변의 다른 기기의 진동 등에 의해서 개폐판(20)이 저절로 움직일 수 없게 되므로 항상 정량의 공기를 배기시킬 수 있게 되는 것이고 그로인해 정확한 배기량 및 배기압력이 요구되는 반도체 제조공정의 효 율성이 증대시킬 수 있게 되는 것이다.

이상의 설명에 따르면, 본 발명에 의해서 댐퍼장치가 개폐판 조절이 간단 용이하면서도 정확하게 조절 가능하고 일단 조절이 완료되면 다시 조절할 때까지 원래 상태를 그대로 유지할 수 있으므로 정확한 배기량 및 배기압력이 요구되는 반도체 제조공정의 효율성이 증대시킬 수 있는 효과를 제공하게 된다.

그리고 본 발명은 반도체 제조공정용 댐퍼장치로 설명되었지만 정량의 공기통과량이 요구되고 일단 조절과 세팅이 완료되면 개폐판이 저절로 회동되지 않게 하는 댐퍼장치가 요구되는 시설에도 적용 가능한 것이므로 청구범위를 크게 벗어 나지 않는 한 폭넓게 적용되고 보호되어야 함이 자명하다.

Claims

플랜지(11)를 양측에 구비하고 공기통과공(12)을 가진 하우징(10) 중간부에 통과되는 공기량이 가감되게 조절시키는 개폐판(20)이 양측 축보스(13,13')에 지지되는 회전축부(21,21')에 의해 회동 가능하게 하고, 상기 회전축부(21)가 축보스(13)를 관통하고 중간부에 형성된 사각부(22)에 결합되는 사각공(41)을 가진 조절핸들부재(40)의 회동에 의해 회전축부(21)가 회동가능하게 하고, 상기 조절핸들부재(40)가 하우징(10)에 고정되는 지지부(36)를 갖는 세팅브라켓부재(30) 상부에서 회동 가능하도록 설치되는 댐퍼장치로서;

상기 회전축부(21)가 관통되는 세팅브라켓부재(30)의 관통공(31)을 중심으로 원호방향으로 다수의 세팅공(32a-32e)과 길다란 원호가이드장공(33)이 상호 대치되는 방향에 형성되게 구비되는 중앙돌륜부(34)와 차등 높이(30a)를 갖는 표면부(35)를 갖도록 구성하고;

상기 조절핸들부재(40)는 사각공(41) 양측으로 세팅공(32a-32e)에 걸림되고 이탈될 수 있는 세팅돌기(42) 및 원호가이드장공(33)과 일치되는 가이드축공(43)을 갖도록 하여 중앙돌륜부(34)와 면접촉되게 설치되도록 하는 동시에 일측으로 길다란 손잡이부(44)를 갖도록 구성하고;

상기 회전축부(21)에 조절핸들부재(40)를 가압하는 탄력부재(50)와 와셔부재(51)가 설치되고 상기 탄력부재(50)를 압축 및 완화되게 하는 탄력조절너트부재(52)가 이탈방지돌기(24)에 의해 이탈되지 않도록 나사부(23)에 체결되게 구성하고;

상기 원호가이드장공(33)과 가이드축공(43)에는 볼트부재(60)를 관통시켜 나사부(61)에 스프링(62)과 와셔부재(63)가 설치된 후 너트부재(64)로 체결되게 구성되도록 이루어지는 것을 특징으로 하는 반도체 제조공정용 댐퍼장치.
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