KR100959616B1 - 기체 배관용 댐퍼 - Google Patents

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KR100959616B1
KR100959616B1 KR1020090077436A KR20090077436A KR100959616B1 KR 100959616 B1 KR100959616 B1 KR 100959616B1 KR 1020090077436 A KR1020090077436 A KR 1020090077436A KR 20090077436 A KR20090077436 A KR 20090077436A KR 100959616 B1 KR100959616 B1 KR 100959616B1
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김문기
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신기산업 주식회사
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    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
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    • H01L21/67011Apparatus for manufacture or treatment
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    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
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    • F16L59/06Arrangements using an air layer or vacuum
    • F16L59/065Arrangements using an air layer or vacuum using vacuum

Abstract

본 발명은 기체 배관용 댐퍼에 관한 것이다. 그 구성은; 배관 사이에 설치되는 쉘(1, shell); 상기 쉘(1) 내부에 배치되는 원판 형태의 블레이드(13); 상기 블레이드(13)와 연결되며 상단부에 축결합돌기(21)가 형성된 메인로드(19); 상기 쉘(1)에 고정되어 상기 메인로드(19)가 삽입되는 원통형 네크(9, neck)와; 상기 네크(9)의 상부에 일체로 결합되는 개폐핸들(23); 상기 개폐핸들(23)의 회전범위를 제한하기 위한 원호 형태의 가이드공(27)이 형성되는 상부플레이트(25)를 포함하되; 상기 개폐핸들(23)과 상부플레이트(25)는; 상기 코일스프링(43)에 의해 선택적으로 상기 안착턱(29)의 특정 지점에 안착되는 원통 형태의 스토퍼(45)와; 상기 개폐핸들(23)에 마련된 스토퍼공(37), 상기 상부플레이트(25)의 가이드공(27), 상기 스토퍼(45)를 관통한후 상기 스토퍼(45) 위에 얹히는 코일스프링(43)에 끼워진 후 조정너트(41)에 의해 체결되는 스토퍼볼트(39)에 의해 결합되는 것을 특징으로 한다.
댐퍼, 밸브, 배관, 기체, 반도체, 유량, 조절, 스토퍼, 테프론, 부시

Description

기체 배관용 댐퍼{Damper for Air flow duct}
본 발명은 기체 배관용 댐퍼에 관한 것으로, 특히 반도체 제조공정에서 사용되는 설비의 공정분위기를 조성하기 위한 반응가스의 흡배기 또는 진공 상태의 개폐량을 조절하기 위해 사용되며 배관에 커플링 타입으로 장착되는 기체 배관용 댐퍼에 관한 것이다.
일반적으로 반도체 웨이퍼에 미세 패턴을 선택적으로 형성하여 생산되는 반도체 제조공정에서는 다양한 공정 설비들이 사용되고 있고, 이 공정 설비들에는 챔버 내에 반응가스 또는 진공 조성을 위한 흡기용 가스배관 및 배기용 가스배관이 구비되어 있다.
본 발명에 관련된 댐퍼 어셈블리는 주로 배기용 가스배관에 사용되는 것으로서, 종래의 댐퍼 어셈블리는 도 1에 도시된 바와 같이, 양측 배관 사이에 플랜지(103)에 의해 결합되는 관체 쉘(104)과, 상기 관체 쉘(104) 내부에 배치되는 블레이드(111)와, 상기 블레이드(111)와 연결되는 메인로드(114)가 원통형 가이드네 크(105)의 내부를 통해 가이드홈(115a)을 갖은 턴플레이트(115)와 연결되며, 상기 가이드네크(105)의 상부에는 나사돌기(113a)를 갖는 고정플레이트(113)가 구비되어 상기 나사돌기(113a)가 턴플레이트(115)의 가이드홈(115a)을 통해 상부 돌출되어 잠금손잡이(121)에 의해 턴플레이트(115)의 회전을 잠금 및 해제할 수 있도록 하고 있다.
이러한 종래 구조의 단점은, 잠금손잡이(121)를 회전시켜 풀어준 후 턴플레이트(115)를 회전시켜 블레이드(111) 개폐 위치를 조정하고 그러한 후에 다시 잠금손잡이(122)를 회전시켜 잠가야 하는 조작상의 불편이 있었고, 블레이드(111)의 개도량을 정확히 할 수 있는 수단이 없었다.
또한, 배관의 기체압력의 크기가 클 경우, 블레이드(111)에 작용하는 물리적인 힘이 크게 미치게 되어 턴플레이트(115)를 회전하게 하려는 힘이 작용하는 바 이에 대응하여 잠금손잡이(122)를 세게 잠궈야 하는 문제점이 있었고, 또한 배관의 진동이 잠금손잡이(122)에 전달되어 잠금손잡이가 나사돌기(113a)로부터 풀리게 되어 블레이드 개폐 위치가 고정되지 않게 됨으로써 기체의 유량 제어에 정확성을 기할 수 없는 문제점을 갖고 있었다. 이는 반도체 공정에서와 같이 정확한 가스 제어가 필요한 경우에는 커다란 물적 피해를 야기할 문제점이 있는 것이었다.
또한, 블레이드(111)가 정확한 위치로 닫혔는지 개도량 제어를 위해 어느 정도 열려있는지를 정확히 파악하기 어려운 문제점이 있었고, 개도량이 정확한 위치로 되어 잠금된 상태라도 위에서 설명한 바와 같이 그 위치로부터 잠금상태가 풀리게 되는 문제점을 갖고 있었다.
또, 종래에는 블레이드(111)의 하단부의 고정 구조가 없었기 때문에 가스 압력이 크거나 블레이드 사이즈가 큰 경우에 블레이드에 큰 압력이 가해져 진동 발생 및 변형의 우려가 컸으며 이로 인해 블레이드의 회전 조작시에 관체 쉘(104)의 내부에 접촉되어져 큰 조작력을 필요로 하게 되는 동시에 금속 파티클을 발생시키는 요인이 되는 문제점을 갖고 있었다.
상술한 종래의 제반 문제점을 해결하기 위해 안출된 본 발명은, 블레이드 개폐 및 개도량 조절을 위해 사용자의 조작한 잠금상태가 안정적으로 유지될 수 있게 하여 가스 제어의 신뢰성을 높일 수 있고, 또한 개도량 조절을 육안 확인하면서 설정된 위치로 간편하게 위치시킬 수 있으며, 아울러 블레이드의 회전 시에 관체의 내부에 접촉되지 않고 안정적 작동 구조를 제공할 수 있게 하는 기체 배관용 댐퍼를 제공하는데 그 목적을 두고 있다.
상술한 목적들을 달성하기 위한 본 발명은,
배관과 배관 사이에 설치되는 것으로서 제1,2설치공이 대향되게 타공되며, 설치시 상방향으로 놓이게 되는 제1설치공에는 파이프 형태의 네크가 용접으로 결합되는 쉘; 상기 쉘 내부에 배치되는 원판 형태의 블레이드; 상기 블레이드와 연결 되며 상단부에 축결합돌기가 형성된 메인로드; 상기 쉘에 고정되어 상기 메인로드가 삽입되는 원통형 네크과; 상기 네크의 상부에 일체로 결합되며, 상기 메인로드가 관통되는 센터공이 형성되는 개폐핸들; 상기 쉘에 결합되고, 상기 개폐핸들의 회전범위를 제한하기 위한 원호 형태의 가이드공이 형성되는 상부플레이트를 포함하되;
상기 상부플레이트에는 상기 가이드공의 연장방향을 따라 일정한 간격으로 걸림턱이 마련되며; 상기 개폐핸들과 상부플레이트는, 스토퍼수단에 의해 선택적으로 상기 걸림턱의 어느 한 지점에서 상대적 위치가 고정됨으로써; 상기 블레이드의 개폐정도를 조정할 수 있게 하는 것을 특징으로 하는 기체배관용 댐퍼에 의해 달성된다.
본 발명의 특징에 의하면, 상기 가이드공은 초생달 형태의 안착턱이 원호를 따라 연속적으로 마련될 수 있도록 두께방향을 따라 단차가 형성되고;
상기 개폐핸들과 상부플레이트는; 상기 스프링에 의해 선택적으로 상기 안착턱에 안착되는 원통 형태의 스토퍼와; 상기 개폐핸들에 마련된 스토퍼공, 상기 상부플레이트의 가이드공, 상기 스토퍼를 관통한후 상기 스토퍼 위에 얹히는 코일스프링에 끼워진 후 너트에 의해 체결되는 스토퍼볼트에 의해 결합될 수 있다.
본 발명에 있어서, 상기 메인로드와 상기 블레이드는,
하부에 블레이드끼움홈이 마련되며 상대적으로 작은 외경과 상대적으로 큰 외경에 의해 중간 부분에 단턱이 마련되는 제1상부부시와; 오링을 매개로 상기 제1 상부부시의 작은 외경을 통해 결합되며 외부에는 상기 네크의 내경과 오링을 매개로 밀착 결합되는 제2상부부시를 통해 서로 결합되는 것을 특징으로 할 수 있다.
본 발명에 있어서 상기 블레이드의 하단과 상기 쉘은,
상기 쉘의 제2설치공에 외부를 향해 돌출되게 용접 결합되는 하부하우징; 상기 하부하우징에 안착되는 하부부시; 하단은 상기 하부부시에 끼워지고 상단은 상기 블레이드에 결합될 수 있도록 블레이드끼움홈이 마련되는 하부커넥터에 의해 연결되는 것을 특징으로 할 수 있다.
본 발명의 또 다른 특징은, 상기 쉘의 내부는 피티에프이(PTFE)로 코팅되어 있으며; 상기 제1,2상부부시, 하부부시 및 하부커넥터 또한 피티에프이(PTFE) 재질로 될 수 있다.
본 발명의 또 다른 특징에 의하면 상기 스토퍼수단은,
상기 가이드공과 상기 개폐핸들의 스토퍼공을 관통하여 끼워지는 스토퍼볼트; 상기 스토퍼볼트에 나사결합되며, 상기 가이드공에 끼워지되 상기 걸림턱에 걸려 상기 가이드공을 따라 움직일 수는 없게 되는 조정너트; 상기 스토퍼볼트의 헤드 저면과 상기 개폐핸들의 상면에 지지되게 설치됨으로써 상기 스토퍼볼트)를 상방향으로 탄성적으로 지지함으로써 상기 조정너트가 상기 걸림턱을 피해 상기 가이드공에 끼워진 상태로 유지되도록 하기 위한 코일스프링을 포함하는 것일 수 있다.
이와 같이 구성되는 본 발명은 개폐핸들의 길이에 따라 댐퍼 블레이드 개폐를 위한 사용자의 수 조작력을 크게 전달할 수 있어 관경이 큰 배관에 적용하여 사용하기에 적당한 동시에 종래보다 댐퍼의 블레이드 각도의 조작이 간편하게 된다. 즉, 스토퍼를 위로 당긴 상태에서 개폐핸들을 돌리는 것에 의해 블레이드의 개폐 정도가 쉽게 안내되어 조작될 수 있다.
상부플레이트의 가이드공의 설계에 따라 미리 설정한 블레이드의 개도량 위치에서 스토퍼가 정확히 록킹된 상태로 안정적으로 유지할 수 있게 한다.
또한 회전부와 고정부 사이에 이중으로 부시를 사용함으로써 기계적 마찰에 의한 유해 파티클(particle)의 발생을 억제할 수 있게 된다. 또한 기체와 접촉되는 부분이 테프론으로 되어 있어 기계적 화학적으로 안정한 기체배관용 댐퍼가 제공된다. 특히 반도체 공정에서 반응가스 등의 공급시에 오염물질은 막대한 비용적 피해를 끼치는 것이므로 본 발명은 매우 유용한 효과를 제공할 것이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 고안에 대하여 설명하면 다음과 같다.
도 2 는 본 고안의 실시예에 따른 기체배관용 댐퍼를 보인 사시도이고, 도 3은 분해사시도이다. 도 4는 도 2의 A-A방향에서 취한 단면도이다.
쉘(1, shell)은 플랜지(3)를 통해 (기체)배관과 (기체)배관 사이에 설치되는 것으로서 기체배관용 댐퍼(이하, '댐퍼'라 한다)의 몸체로서 역할한다. 쉘(1)은 단 관 형태로서 직경은 배관의 직경에 준하여 결정된다. 플랜지(3)는 쉘(1)의 양단에 각각 용접으로 고정된다.
쉘(1)에는 제1,2설치공(5,7)이 동일선상에 대향되게 타공되며, 제1설치공(5)은 댐퍼의 설치시 상방향으로 놓인다. 제1설치공(5)에는 파이프 형태의 네크(9, neck)가 용접으로 결합된다. 제2설치공(7)은 댐퍼의 설치시 하방향으로 놓인다. 제1설치공(5)에는 컵(cup) 형태의 하부하우징(11)이 하방향을 향해 돌출되도록 용접으로 결합된다.
원판 형태의 블레이드(13, blade)가 쉘(1) 내부에 회전 가능하게 배치된다. 블레이드(13)는 배관을 흐르는 기체의 유로 상에 설치되는 것으로서 댐퍼의 핵심적 구성요소이다. 블레이드(13)의 상부에는 유(U)자 형태의 결합홈(15)이 패였으며, 하부에는 블레이드핀(17)이 일체로 또는 조립식으로 고정되어 있다.
외부에서 가해지는 회전력을 블레이드(13)에 전달하기 위한 메인로드(19, main rod)가 제1설치공(5)을 통해 블레이드(13)의 결합홈(15)에 결합된다.
메인로드(19)의 상단부에는 축결합돌기(21)가 마련된다. 축결합돌기(21)에는 개폐핸들(23)이 메인로드(19)와 직각을 이루도록 결합된다. 이를 위해 메인로드(19)가 관통되는 센터공(24)이 개폐핸들(23)의 선단에 형성된다. 축결합돌기(21) 및 센터공은 반원형, 사각형 등 원형이 아닌 형태가 된다.
작업자는 개폐핸들(23)을 통해 메인로드(19)에 회전력을 가할 수 있으며, 이로써 블레이드(13)가 회전될 수 있는 것이다.
개폐핸들(23)의 회전각도를 제한하기 위한 수단이 마련되는데 그의 핵심은 상부플레이트(25)이다. 상부플레이트(25)에는 중심각이 90°인 원호 형태의 가이드공(27)이 타공된다. 상부플레이트(25)에는 가이드공(27)의 연장방향을 따라 그의 양쪽 가장자리에 걸림턱(28, 도 2 참조)이 연속적으로 마련된다.
상부플레이트(25)는 네크(9) 상면에 결합되는 마름모 형태의 슬리브(31)에 고정볼트(33)로써 체결고정된다. 슬리브(31)는 용접 또는 도시된 것처럼 내부에 구멍이 마련된 육각볼트(35)에 의해 네크(9)의 상면에 고정 설치된다.
그리고 본 발명에 의하면, 특정한 조작이 선행되어야만 개폐핸들(23)을 조작하여 블레이드(13)를 회전시킬 수 있도록 하는 스토퍼수단이 마련된다. 이 스토퍼수단은 기본적으로 코일스프링(43)의 탄성에 의해 걸림턱(28)의 어느 하나에 결합되어 개폐핸들(23)을 고정시키며, 코일스프링(43)의 탄성력을 이기는 방향으로 가해지는 힘에 의해 걸림턱(28)으로부터 분리되어 개폐핸들(23)을 회전시킬 수 있도록 가이드공(27)에 끼워져 설치된다.
본 고안의 일 실시예에 의하면 스토퍼수단의 핵심적 구성요소로서 스토퍼(45)가 제안된다. 그리고 상부플레이트에는 가이드공(27)의 걸림턱(28)을 따라 안착턱(29)이 마련될 수 있도록 두께방향을 따라 단차가 형성된다.
개폐핸들(23)의 중간지점에는 스토퍼공(37)이 타공되며, 스토퍼볼트(39)는 이 스토퍼공(37)과 상부플레이트(25)의 가이드공(27)을 관통하여 조정너트(41)에 의해 고정 설치된다. 여기서 조정너트(41)와 상부플레이트(25) 사이에는 코일스프링(43)과 스토퍼(45)가 개입된다. 스토퍼(45)는 잡이부(47)와 관부(49)로 구성된 다. 관부(49)는 가이드공(27)을 따라 마련되는 여러 개의 걸림턱(28, 내지 안착턱(29)) 중 한곳에만 안착될 수 있으며 가이드공(27)을 통과하지는 못한다. 작업자는 코일스프링(43)의 탄성력을 이기고 스토퍼(45)를 위로 들어 올려 가이드공으로부터 이탈시켜야만 개폐핸들(23)을 회전시킬 수 있게 된다. 작업자가 잡이부(47)에서 손을 떼고 스토퍼(45)의 관부(51)를 안착턱(29)의 어느 일곳에 맞추게 되면, 스토퍼(45)는 코일스프링(43)의 탄성복원력에 의해 '찰칵'하면서 해당 안착턱(29)에 끼워지게 된다. 이 상태에서는 개폐핸들(23)을 회전시킬 수 없게 된다. 즉, 개폐핸들(23)의 개폐정도를 스토퍼(45)를 이용하여 조절할 수 있게 되는 것이다. 스토퍼(45)는 개폐핸들(23)로 하여금 임의로 회전되지 못하도록 록(lock)기능을 수행하는 것이다.
상부플레이트(25)의 상면에는 개폐 여부를 알 수 있는 문자 또는 기호를 새겨 넣을 수 있다.
본 발명의 실시예에 의하면, 메인로드(19)는 이중 부시(double bush)를 통해 쉘(1) 내지 네크(9) 내부에 회전 가능하게 설치된다.
메인로드(19)의 외주에 끼워지는 부시는; 하부에 블레이드끼움홈(51)이 마련되며 상대적으로 작은 외경과 상대적으로 큰 외경에 의해 중간 부분에 단턱(53)이 마련되는 제1상부부시(55)와; 오링(55a, o-ring)을 매개로 제1상부부시(55)의 작은 외경을 통해 결합되며 외부에는 상기 네크(9)의 내주벽에 오링(57a)을 매개로 밀착 결합되는 제2상부부시(57)로 구성된다. 제1상부부시(55)의 하부에는 블레이드가 끼워질 수 있는 블레이드끼움홈(61)이 마련된다.
본 발명의 실시예에 의하면 블레이드(13)의 하단과 쉘(1)은;
쉘의 제2설치공(7)에 결합되는 하부하우징(11); 하부하우징(11) 내부에 안착되는 하부부시(59); 하단은 하부부시(59)에 끼워지고 상단은 블레이드(13)에 결합될 수 있도록 블레이드끼움홈(61')이 마련되는 하부커넥터(63)에 의해 상대적 유동이 가능하게 연결된다. 하부커넥터(63)의 중간에는 세로방향으로 블레이드핀(17)이 삽입되는 핀홈(65)이 마련된다.
블레이드(13)의 상하부는 각각 이중 부시를 통해 쉘(1)에 연결된다는 것이 본 발명의 핵심사항중 하나이다. 이에 의하면, 상호 접촉하고 있는 부재 사이의 마찰이 반감되어 그로부터 파티클(particle)이 거의 발생하지 않게 되며 동작이 정숙하고 소음발생이 적게 된다.
본 발명의 또 다른 실시예에 의하면 쉘(1)의 내부는 피티에프이(PTFE)로 코팅되어 있으며; 제1,2상부부시(55,57), 하부부시(59) 및 하부커넥터(63)는 불소수지인 피티에프이(PTFE)가 사용될 수 있다. 피티에프이(PTFE)는 테프론(teflon)으로 널리 알려져 있는 소재이다.
미설명부호 67은 간격부재로서 슬리브와 상부플레이트(25) 간의 이격된 간격에 끼워져 상부플레이트(25)가 쉘(1)에 고정되도록 하는 기능을 한다.
이상의 상세한 설명 또는 첨부된 도면 등에서는 이해의 편이를 위해 구성요 소의 형태를 구체적으로 표현하고 있는 것이 있다. 예를 들어 안착턱(29)이 그러하다. 그러나 이는 예시에 지나지 아니하며 동일한 기능을 발휘하며 예상치 못한 특이한 효과가 있지 않는 이상 본 발명의 권리범위에 속한다고 할 것이다.
이하, 본 발명의 또 다른 실시예를 도 7의 단면도 및 도 8의 일부사시도를 참조하여 설명한다.
본 실시예는 개폐핸들을 특정 조건에서 회전시킬 수 있도록 하는 스토퍼수단에 관련된 것이다. 본 실시예에 의한 스토퍼수단은; 상기 가이드공(27)과 상기 개폐핸들(23)의 스토퍼공(37)을 관통하여 끼워지는 스토퍼볼트(39); 상기 스토퍼볼트(39)에 나사결합되는 조정너트(41); 상기 조정너트(41)와 상기 개폐핸들(23)의 상면에 지지되게 설치됨으로써 상기 스토퍼볼트(39)를 상방향으로 탄성적으로 지지함으로써 상기 스토퍼볼트(39)의 헤드가 상기 걸림턱(28)을 피해 상기 가이드공(27)에 끼워진 상태로 유지되도록 하기 위한 코일스프링(43)을 포함할 수 있다.
본 실시예는 개폐핸들(23)을 회전시킬 수 있는 조건을 부여하는 방법의 변경에 관한 것이다. 전 실시예에 의하면 도 6에 도시된 바와 같이 스토퍼(45)를 위로 잡아당김으로써 개폐핸들(23)을 회전시킬 수 있었으나, 본 실시예는 스토퍼볼트(39)를 밑으로 누른 상태, 즉 코일스프링(43)을 압착하는 방향으로 힘을 가한 상태에서 개폐핸들(23)을 회전시킬 수 있게끔 되어 있다.
전실시예와 다르게 개폐핸들(23)이 상부플레이트(25)의 상면에 접하도록 위치한다. 상부플레이트(25)에는 걸림턱(28)에 의해 주름진 현태의 원호형 가이드공(27)이 마련되며, 가이드공(27)을 관통하는 스토퍼볼트(39)는 코일스프링(43)에 의해 상방향을 향해 탄성적으로 지지된다. 코일스프링(43)의 하단과 개폐핸들(23)의 상면 사이에는 볼트지지소켓(69)이 개입된다.
단면이 대략 "유(U)"자 형태를 가지는 볼트지지소켓(69)은 가이드공(27)의 넓은 곳으로도 빠져나올 수 없게끔 밑면이 넓게 되어 있다. 스토퍼볼트(39)의 하단은 개폐핸들(23)과 가이드공(27)을 관통하여 연장된 후 조정너트(41)와 나사결합된다. 조정너트(41)는 코일스프링(43)의 탄성력을 조정하게 한다. 본 실시예에서 스토퍼볼트(39)의 헤드는 전실시예에서 스토퍼(45)의 기능을 대신하게 된다.
도면에는 헤드가 아래에 위치하도록 스토퍼볼트(39)가 거꾸로 도립하여 설치되는데 이는 조정너트의 풀림을 방지하기 위한 것이다. 스토퍼볼트(39)는 헤드가 위로, 조정볼트(41)가 아래에 위치하도록 정립되게 설치될 수도 있음은 물론이다.
본 실시예에 의하면 작업자는 한손으로 개폐핸들(23)과 스토퍼볼트(39)를 조작할 수 있게 된다. 즉 엄지손가락으로 조정너트(41)를 눌러 걸림턱(28)으로부터 스토퍼볼트(39)를 이탈시킨 상태에서 개폐핸들(23)을 회전시킬 수 있게 된다. 본 실시예에 의하면 보다 편리하게 개폐핸들(23)을 조작할 수 있는 장점을 얻게 된다. 손으로 누르는 부분을 미관상 또는 사용상 좋게 하기 위한 캡 등의 커버수단(미도시)이 부가될 수도 있을 것이다.
도 1은 종래기술에 의한 기체배관용 댐퍼의 종단면도이다.
도 2 는 본 고안의 실시예에 따른 기체배관용 댐퍼를 보인 사시도이고, 도 3 은 분해사시도이다. 도 4는 도 2의 A-A방향에서 취한 단면도이며, 도 5는 분해단면도이다. 도 6은 사용상태를 도시하는 도 4에 준하는 단면도이다.
도 7은 본 발명의 다른 실시예에 따른 기체배관용 댐퍼의 단면도이며, 도 8은 일부 사시도이다.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 *
1 ; 쉘(shell) 3 ; 플랜지
5,7 ; 제1,2설치공 11 ; 하부하우징
13 ; 블레이드(blade) 19 ; 메인로드
23 ; 개폐핸들 24 ; 센터공
25 ; 상부플레이트 27 ; 가이드공
28 ; 걸림턱 41 ; 조정너트
45 ; 스토퍼 55,57 ; 제1,2상부부시
59 ; 하부부시 63 ; 하부커넥터

Claims (6)

  1. 배관과 배관 사이에 설치되는 것으로서 제1,2설치공(5,7)이 동일직선상에 대향되게 타공되는 쉘(1, shell); 상기 쉘(1) 내부에 배치되는 원판 형태의 블레이드(13); 상기 블레이드(13)와 연결되며 상단부에 축결합돌기(21)가 형성된 메인로드(19); 상기 쉘(1)에 고정되어 상기 메인로드(19)가 삽입되는 원통형 네크(9, neck); 상기 네크(9)의 상부에 일체로 결합되며, 상기 메인로드(19)의 축결합돌기(21)와의 결합을 위한 센터공(24)이 형성되는 개폐핸들(23); 상기 쉘(1)에 결합되고, 상기 개폐핸들(23)의 회전범위를 제한하기 위한 원호 형태의 가이드공(27)이 형성되는 상부플레이트(25); 상기 상부플레이트(25)에는 상기 가이드공(27)의 연장방향을 따라 연속적으로 마련되는 걸림턱(28); 코일스프링(43)의 탄성에 의해 상기 걸림턱(28)의 어느 하나에 결합되어 상기 개폐핸들(23)을 고정시키며, 상기 코일스프링(43)의 탄성력을 이기는 방향으로 가해지는 힘에 의해 상기 걸림턱(28)으로부터 분리되어 상기 개폐핸들(23)을 회전시킬 수 있도록 상기 가이드공(27)에 끼워져 설치되는 스토퍼수단;
    을 포함하는 것을 특징으로 하는 기체배관용 댐퍼.
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 삭제
  5. 제1항에 있어서 상기 스토퍼수단은;
    상기 가이드공(27)과 상기 개폐핸들(23)의 스토퍼공(37)을 관통하여 끼워지는 스토퍼볼트(39); 상기 스토퍼볼트(39)에 나사결합되는 조정너트(41); 상기 조정너트(41)와 상기 개폐핸들(23)의 상면에 지지되게 설치됨으로써 상기 스토퍼볼트(39)를 상방향으로 탄성적으로 지지함으로써 상기 스토퍼볼트(39)의 헤드가 상기 가이드공(27)에 끼워져 상기 걸림턱(28)에 걸림으로써 상기 개폐핸들(23)이 작동되지 못하게 하는 구성으로서;
    상기 코일스프링(43)을 압착하는 방향으로 상기 조정너트(41)를 눌러 상기 걸림턱(28)으로부터 상기 스토퍼볼트(39)를 이탈시켜야만 상기 개폐핸들(23)을 회전시킬 수 있게 하는 것을 특징으로 하는 기체배관용 댐퍼.
  6. 제1항에 있어서, 상기 스토퍼수단은;
    상기 가이드공(27)의 걸림턱(28)을 따라 마련되는 안착턱(29); 상기 가이드공(27)과 상기 개폐핸들(23)에 타공되는 스토퍼공(37)을 관통하여 조정너트(41)에 의해 고정 설치되는 스토퍼볼트(39); 상기 조정너트(41)와 상부플레이트(25) 사이에는 개입되는 코일스프링(43); 상기 코일스프링(43)과 상기 상부플레이트(25) 사이에 개입되는 것으로서 상기 코일스프링(43)에 의해 상기 가이드공(27)에 끼워져 상기 안착턱(29)에 지지되는 스토퍼(45)를 포함함으로써;
    상기 코일스프링(43)을 압착하는 방향으로 상기 스토퍼(45)를 위로 들어 올려 상기 걸림턱(28)으로부터 이탈시켜야만 상기 개폐핸들(23)을 회전시킬 수 있게 하는 것을 특징으로 하는 기체배관용 댐퍼.
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