KR101542489B1 - 반도체 설비용 배기댐퍼 - Google Patents

Abstract

본 발명은 반도체 설비용 배기댐퍼에 관한 것으로, 양측 외주에 개스킷이 일체로 구성되고, 상하측에는 관통홀이 각각 형성된 댐퍼하우징; 상기 댐퍼하우징의 내부에 삽입되어 설치되는 블레이드; 상기 댐퍼하우징의 외주에 용접되어 설치되며 구동기가 결합되는 지지브라켓과, 상기 지지브라켓의 수직방향으로 형성되며 내부에는 댐퍼하우징의 관통홀에 대응되는 삽입홀이 형성된 고정브라켓으로 구성된 설치브라켓부; 일측이 관통홀을 통해 블레이드에 결합되고, 타측이 삽입홀을 통해 구동기의 구동축에 결합되는 회전작동부와, 상기 댐퍼하우징의 외주에 일체로 결합되어 회전작동부의 회동을 가이드하는 베어링부로 구성된 회동수단; 상기 고정브라켓과 회전작동부에 연결설치되어 회전작동부의 움직임을 구속하는 구속수단;을 포함 구성하여, 상기 회전작동부의 구속을 통해 블레이드의 움직임을 방지할 수 있는 것을 특징으로 한다.

Description

반도체 설비용 배기댐퍼{An exhaust damper for semiconductor facilities}

본 발명의 반도체 설비용 배기댐퍼에 관한 것으로, 보다 구체적으로는, 구속수단을 통해 회전작동부의 움직임을 구성하여 상기 회전작동부와 연동되는 블레이드의 움직임을 방지하고, 이를 통해, 마모에 의한 가스유출 방지와 더불어, 구동기의 감속기어 파손을 방지할 수 있으며, 구속수단과 회전작동부의 간단한 구성의 결합을 통해 기성품에 용이하게 적용하여 손쉽게 설치할 수 있고, 끼움부와 밀착부와 철심으로 구성된 패킹을 통해 견고한 밀폐성을 유지시킴으로써 장시간 사용에도 우수한 안전성을 지속적으로 확보할 수 있는 반도체 설비용 배기댐퍼에 관한 것이다.

일반적으로, 화학가스를 이용하는 공정(화학기상증착 등)을 행하는 반도체 제조장비에 있어서, 가공하고자 하는 웨이퍼를 여러 공정들에 적용시켜 웨이퍼의 표면상에 전기적인 특성을 갖는 패턴을 형성시키는 것이 필요하며, 이러한 반도체 장비의 효율적인 제조를 위해서는 정화된 공기를 순환시키고, 배기가스를 배기시키기 위한 장치 들이 사용되고 있다.

특히, 웨이퍼의 표면에 패턴을 형성시키기 위한 여러 공정들에는 여러 반응가스들의 공급에 의한 웨이퍼와의 반응이 수반되게 되는데, 반응 후의 부산물이나 미반응가스 등이 배기가스에 포함되어 방출되는 것이 필연적이다.

이러한 반응 후의 부산물 혹은 미반응가스들을 포함하는 배기가스가 그대로 대기중으로 방출될 경우에는 심각한 환경오염의 원인이 될 수 있기 때문에 반도체용 공기조화시스템의 설계에서는 이러한 배기 중, 반응 후의 부산물이나 미반응가스들을 포집하기 위하여 배기라인에 댐퍼 및 스크러버를 설치한다.

여기서, 상기 댐퍼는 배기라인으로 통과되는 공기의 양을 조절하여 공급하거나 배기될 수 있도록 하는 역할을 하는 것으로, 종래에 이용되었던 가스유출을 제어하는 덕트용 댐퍼는 원형의 가스유출통로를 형성하도록 양측부가 연통되어서 개방된 원통형상의 가스유출개폐부인 댐퍼 몸체의 하우징의 양단에 플랜지가 형성되어 있고, 상기 하우징의 구경과 동일한 구경을 갖는 덕트와 덕트 사이에 상기 하우징이 위치된 상태에서 상기 하우징의 양단부의 플랜지와 상기 양측 덕트의 대응하는 플랜지가 상호 결합됨으로써 상기 하우징과 그 양측의 덕트가 서로 연결된다.

또한, 도 1에 도시된 바와 같이 종래의 댐퍼는 원통형으로서 양단에는 다수의 홀이 형성된 플랜지(101)가 형성된 몸체(100)와, 상기 몸체(100)의 길이 방향과 수직 방향으로 설치된 회전축(200)과, 상기 회전축(200)의 내측 단부에 결합되어 몸체(100)의 개폐 정도를 조절하도록 설치된 블레이드(300)와, 상기 회전축(200)의 외측 단부에 연결되는 핸들(400)을 포함하여 이루어진다.

그리고, 상기 블레이드(300)의 상,하부에는 용접에 의해 체결구(301,302)가 접합되며, 상기 상부 체결구(301)의 중간에는 함몰홈(301a)이 형성되고 하부 체결구(302)의 중간에는 암나사(302a)가 형성된다.

하지만, 종래의 기술은 용접에 의해 금속 재질의 블레이드(300)에 체결구를 접합함으로써 접합부위에 부식이 발생하게 되며 이로 인해 제품이 파손되는 문제점이 있었다.

또한, 상기 회전축(200)과 체결구의 체결로 인하여 블레이드(300)와 몸체(100) 간에 틈새가 발생하게 되고 그 틈새로 배기가스의 누설이 발생할 뿐만 아니라, 하부 회전축(200)에 형성된 나사산으로 배기가스가 누설되어 부식이 발생하는 문제점이 있었다.

대한민국 등록실용신안공보 제20-0225021호 (2001.03.12) "기밀성이 향상된 댐퍼 - 주식회사길광

그리고, 상술한 바와 같은 기밀성이 향상된 댐퍼가 공지되고도 하였는데, 이러한 종래의 기술은 댐퍼 블레이드의 단부가 면하는 샤프트 상에 텐션 플레이트를 구비하는 것을 통해, 회전 구동부 접촉면의 마찰손실을 줄여 차폐동작을 용이하게 이룰 수 있었을 뿐, 200kg에 달하는 블레이드가 압력변화에 의해 미세하게 흔들리는 현상을 방지할 수 없었으며, 이로 인해, 댐퍼하우징 내주의 코팅면에 미세한 마모가 발생하게 되어 가스의 유출이 발생하게 되는 심각한 문제가 있었다.

또한, 블레이드가 조금씩 흔들리는 것에 의해 상기 블레이드를 회동시키기 위해 회전축에 연결설치되는 구동기의 감속기어가 파손되는 경우가 잦았으며, 이로 인해, 유지보수에 따른 시간과 비용이 계속 발생하는 문제가 있었다.

그리하여, 본 출원인은 블레이드의 회동 조절을 이룬 후에는, 상기 블레이드를 견고하게 고정설치할 수 있도록 함으로써 댐퍼 내부의 압력 변화에도 블레이드의 움직임이 생기지 않게 할 수 있는 반도체 설비용 배기댐퍼를 개발하기에 이르렀다.

본 발명의 목적은 고정브라켓과 회전작동부에 연결설치되는 구속수단을 통해 회전작동부의 움직임을 구속함으로써 상기 회전작동부와 연동되는 블레이드의 움직임을 방지하고, 이를 통해 댐퍼하우징과 블레이드 간의 마찰이 방지되어 마모에 의한 가스유출이 발생하지 않게 할 수 있으며, 블레이드의 구속을 통해 구동기에 구성된 감속기어의 파손을 방지함으로써 유지보수를 용이하게 이룰 수 있는 반도체 설비용 배기댐퍼를 제공하는데 있다.

또한, 본 발명은 구속수단을 고정브라켓에 형성되는 제1결합홀과, 상기 제1결합홀에 대응되는 제2결합홀을 구성하여 회전작동부의 회동구에 형성되는 회동판과, 구속너트 및 구속볼트로 간단히 구성하여 기성품에 용이하게 설치할 수 있도록 함으로써 기존에 설치된 제품에도 손쉽게 적용하여 설치할 수 있을 뿐만 아니라, 회전작동부를 결합헤드와 연결축부와 결합축부 및 회동구로 구성하여 연동되게 함으로써 블레이드의 구속을 이루기 위한 회전작동부의 설치를 간단한 구성으로 용이하게 이룰 수 있는 반도체 설비용 배기댐퍼를 제공하는데 목적이 있다.

아울러, 본 발명은 밀폐돌기를 형성하여 블레이드의 외측에 끼워지는 끼움부와, 상기 끼움부의 외측에 일체로 형성되어 댐퍼하우징의 내주에 밀착되는 밀착부와, 상기 끼움부에 내부에 설치되어 형상을 유지시키는 철심으로 이루어진 패킹을 더 포함하여 구성하는 것을 통해 오랜 사용에도 형상의 변화가 생기는 것을 방지할 수 있음과 더불어, 견고한 밀폐성을 유지시킬 수 있도록 함으로써 우수한 안전성이 지속적으로 유지되는 반도체 설비용 배기댐퍼를 제공하는데 목적이 있다.

상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명은 양측 외주에 개스킷이 일체로 구성되고, 상하측에는 관통홀이 각각 형성된 댐퍼하우징; 상기 댐퍼하우징의 내부에 삽입되어 설치되는 블레이드; 상기 댐퍼하우징의 외주에 용접되어 설치되며 구동기가 결합되는 지지브라켓과, 상기 지지브라켓의 수직방향으로 형성되며 내부에는 댐퍼하우징의 관통홀에 대응되는 삽입홀이 형성된 고정브라켓으로 구성된 설치브라켓부; 일측이 관통홀을 통해 블레이드에 결합되고, 타측이 삽입홀을 통해 구동기의 구동축에 결합되는 회전작동부와, 상기 댐퍼하우징의 외주에 일체로 결합되어 회전작동부의 회동을 가이드하는 베어링부로 구성된 회동수단; 상기 고정브라켓과 회전작동부에 연결설치되어 회전작동부의 움직임을 구속하는 구속수단;을 포함 구성하여, 상기 회전작동부의 구속을 통해 블레이드의 움직임을 방지할 수 있는 것에 특징이 있는 반도체 설비용 배기댐퍼를 제공한다.

본 발명의 반도체 설비용 배기댐퍼를 이용하면, 고정브라켓과 회전작동부에 연결설치되는 구속수단을 통해 회전작동부의 움직임을 구속함으로써 상기 회전작동부와 연동되는 블레이드의 움직임을 방지할 수 있으므로 댐퍼하우징과 블레이드 간의 마찰이 생기지 않아 마모에 의한 가스유출이 발생하지 않을 뿐만 아니라, 블레이드의 구속을 통해 구동기에 구성된 감속기어의 파손을 방지할 수 있어 유지보수가 용이해지는 장점이 있다.

또한, 본 발명은 구속수단이 고정브라켓에 형성되는 제1결합홀과, 상기 제1결합홀에 대응되는 제2결합홀을 구성하여 회전작동부의 회동구에 형성되는 회동판과, 구속너트 및 구속볼트로 간단히 구성되어 기성품에 용이하게 설치할 수 있으므로 기존에 설치된 제품에도 손쉽게 적용하여 설치할 수 있으며, 회전작동부를 결합헤드와 연결축부와 결합축부 및 회동구로 구성하여 연동되게 할 수 있으므로 블레이드의 구속을 이루기 위한 회전작동부의 설치를 간단한 구성으로 용이하게 이룰 수 있는 장점이 있다.

아울러, 본 발명은 밀폐돌기를 형성하여 블레이드의 외측에 끼워지는 끼움부와, 상기 끼움부의 외측에 일체로 형성되어 댐퍼하우징의 내주에 밀착되는 밀착부와, 상기 끼움부에 내부에 설치되어 형상을 유지시키는 철심으로 이루어진 패킹을 더 포함하여 구성하는 것을 통해 오랜 사용에도 형상의 변화가 생기는 것을 방지할 수 있음과 더불어, 견고한 밀폐성을 유지시킬 수 있으므로 우수한 안전성이 지속적으로 유지되는 유용한 발명이다.

도 1은 종래의 반도체 제조공정의 배기댐퍼를 도시한 도면.
도 2는 본 발명의 반도체 설비용 배기댐퍼의 블레이드가 통로를 폐쇄한 상태로 구속수단에 의해 구속된 상태를 도시한 사시도.
도 3은 본 발명의 반도체 설비용 배기댐퍼의 블레이드가 통로를 개방한 상태로 구속수단에 의해 구속된 상태를 도시한 사시도.
도 4는 본 발명의 반도체 설비용 배기댐퍼를 분해하여 도시한 분해사시도.
도 5는 본 발명의 요부를 부분적으로 분해하여 확대도시한 사시도.
도 6은 본 발명의 회동수단이 댐퍼하우징 내부에 설치된 블레이드와 구동기의 구동축에 결합된 상태를 도시한 부분확대단면도.
도 7은 본 발명의 구속수단이 설치브라켓부의 고정브라켓과 회동수단의 회전작동부 사이에 연결설치된 상태를 도시한 단면도.

상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 본 발명의 구성을 살펴보면 다음과 같다.

본 발명은 도 2 내지 도 7에 도시된 바와 같이 반도체 제조공정에서 사용되는 반도체 설비용 배기댐퍼(100)에 관한 것으로, 댐퍼하우징(10)과, 블레이드(20)와, 설치브라켓부(30)와, 회동수단(60)과, 구속수단(70)을 포함하여 구성되며, 이하에서 보다 상세히 설명한다.

첫째, 댐퍼하우징(10)은 반도체 제조 공정중 발생하는 각종 가스의 유출을 제어하기 위해 덕트(미도시)와 덕트 사이에 연결설치되는 구성으로, 내주에 통로를 형성하며, 상하측에는 개폐를 위한 블레이드(20)의 회동설치를 위해 관통홀(13)이 각각 형성된다.

그리고, 양측에 설치된 덕트와의 연결을 위해 양측 외주에는 통상의 개스킷(11)이 용접되어 일체로 구성되며, 상기 개스킷(11)에는 덕트와의 볼트결합을 위한 통상의 결합홀이 등 간격으로 다수 형성된다.

둘째, 블레이드(20)는 전술한 바와 같이 댐퍼하우징(10)의 내부에 설치되어 통로의 개폐를 이루는 통상의 구성으로, 상하측에는 회동수단(60)에 구성되는 회전작동부(40)와의 결합을 위한 결합턱부(21)가 구성된다.

아울러, 상기 블레이드(20)의 외주에는 댐퍼하우징(10)의 내주에 밀착되는 것을 통해 밀폐성을 더욱 높일 수 있도록 하는 패킹(80)이 더 포함되어 구성되는 것이 바람직한데, 본 발명에서는 상기 패킹(80)이 내측에 밀폐돌기(81)가 형성된 설치홈(82)을 구성하여 블레이드(20)의 외주에 끼워져 설치되는 끼움부(83)와, 상기 끼움부(83)의 외측에 일체로 형성되어 댐퍼하우징(10)의 내주에 밀착되는 중공형상의 밀착부(85)와, 상기 끼움부(83)의 내부에 설치되어 끼움부(83)의 형상을 유지시키는 철심(87)으로 이루어지는 것을 특징으로 한다.

따라서, 이와 같은 패킹(80)에 의하면, 내부에 설치된 철심(87)에 의해 패킹(80)의 형상변화가 방지됨과 더불어, 중공형상으로 형성된 밀착부(85)에 의해 블레이드(20)의 반복적인 회동시에도 통로에 틈새가 생기지 않게 되므로 견고한 밀폐성을 유지할 수 있으며, 이로 인해, 장시간 사용에도 우수한 안정성이 지속적으로 보장되는 작용효과가 있다.

셋째, 설치브라켓부(30)는 구동기(1)와 회동수단(60)의 용이한 설치를 위해 댐퍼하우징(10)에 일체로 설치되는 구성으로, 상기 댐퍼하우징(10)의 외주에 용접되어 상측방향으로 설치되는 지지브라켓(31)과, 상기 지지브라켓(31)에 일체로 형성되어 수직방향 즉, 전후방향으로 형성되는 고정브라켓(35)으로 구성되며, 상기 고정브라켓(35)에는 회동수단(60)의 설치를 위해 댐퍼하우징(10)의 관통홀(13)에 대응되는 삽입홀(33)이 관통 형성된다.

아울러, 상기 지지브라켓(31)에는 구동기(1)가 결합 구성되는데, 이를 위하여 상기 지지브라켓(31)에는 구동기(1)가 볼트결합되는 통상의 결합홀이 형성된다.

그리고, 상기 구동부(1)는 전술한 바와 같이 지지브라켓(31)의 결합홀에 볼트결합되어 설치되는 통상의 구성으로, 핸들의 조작에 따라 구동되어 회동하는 구동축(2)을 구성하고 있으며, 상기 구동축(2)의 일측에는 통상의 키(2a)가 형성된다.

넷째, 회동수단(60)은 상기 댐퍼하우징(10)의 내부에 삽입설치된 블레이드(20)의 회동조작을 위해 설치되는 구성으로, 일측이 관통홀(13)을 통해 블레이드(20)에 결합되고, 타측이 삽입홀(33)을 통해 구동기(1)의 구동축(2)에 결합되는 회전작동부(40)와, 상기 댐퍼하우징(10)의 외주에 일체로 결합되어 회전작동부(40)의 회동을 가이드하는 베어링부(50)로 구성된다.

아울러, 상기 회동수단(60)의 회전작동부(40)는, 구속수단(70)을 통한 블레이드(20)의 견고한 구속이 이루어짐과 동시에, 덕트 내의 가스가 외부로 새는 것이 방지되도록 일체로 연결되어 연동작동하도록 구성되는 것이 바람직한데, 이를 위하여 본 발명에서는 상기 회전작동부(40)가 결합헤드(41)와 연결축부(44)와 결합축부(45)와 회동구(47)로 구성되는 것을 특징으로 하며, 이하에서 보다 상세히 설명한다.

먼저, 회전작동부(40)의 결합헤드(41)는 상기 블레이드의 결합되어 댐퍼하우징의 내부에 위치하는 구성으로, 외측에는 블레이드(20)에 형성된 결합턱부(21)가 끼워지는 결합홈부(41c)가 구성된다.

더불어, 상기 결합헤드(41)의 내측에는 연결축부(44)를 연결설치하기 위한 연결홈(4b1)이 정사각형상이 아닌 직사각형상 또는 다각형상으로 형성되며, 상기 연결홈(41b)의 하부에는 상기 연결축부(44)를 결합헤드(41)에 견고하게 고정설치할 수 있도록 하는 나사결합홀(41a)이 연결홈(41b)과 연통되어 관통형성되는데, 상기 나사결합홀(41a)에는 결합축부(45)가 나사결합되는 것에 의해 연결축부(44)가 결합헤드(41)에 견고하게 고정설치되어 진다.

또한, 회전작동부(40)의 연결축부(44)는 상술한 바와 같이 하측에 구성되어 결합헤드(41)의 연결홈(41b)에 끼워지는 연결돌부(42)와, 상기 연결돌부(42)의 상부에 일체로 형성되어 관통홀(13)을 통해 댐퍼하우징(10)의 상측으로 돌출되는 연결봉(43)으로 구성되며, 내주에는 연결돌부(42)와 연결봉(43)을 관통하여 형성되는 중공홀(44a)이 구성되어 상기 중공홀(44a)에 결합축부(45)가 끼워진다.

그리고, 상기 중공홀(44a)에는 결합축부(45)의 볼트머리(45a)가 안착되도록 하는 볼트머리홈부가 연결봉(43)의 내주에 더 포함되어 구성되는 것이 바람직하며, 상기 연결봉(43)의 외주 일측에는 회동구(47)와 연결축부(44)를 서로 견고하게 고정결합하기 위한 단부(43a)가 더 포함되어 구성된다.

또한, 회전작동부(40)의 결합축부(45)는 상술한 바와 같이 상기 연결축부(44)의 중공홀(44a)에 끼워진 상태로 결합헤드(41)의 나사결합홀(41a)에 결합되어 결합헤드(41)와 연결축부(44)를 일체로 연결하는 구성으로, 통상의 장볼트로 구성될 수 있을 것이며, 볼트머리홈부에 안착되는 볼트머리(45a)에 의해 결합헤드(41)에 나사결합되는 결합축부(45)의 끝단이 블레이드(20)에 걸리는 현상 없이 견고한 체결을 용이하게 이룰 수 있게 된다.

또한, 회전작동부(40)의 회동구(47)는 블레이드(20)의 회동을 통한 댐퍼의 개폐를 이루기 위해 하측이 연결축부(44)에 결합되고, 상측이 구동기(1)의 구동축(2)에 결합되는 구성으로, 연결축부(44)가 끼워지는 끼움홀(47a)을 내주에 형성한다.

그리고, 상기 회동구(47)의 일측에는 연결봉(43)의 단부(43a)에 대응되는 체결홀(47b)이 형성되는데, 상기 체결홀(47b)에는 연결축부(44)의 단부(43a)를 가압밀착하는 체결볼트(46)가 볼트결합되어 상기 회동구(47)와 연결축부(44)가 일체로 결합되게 구성되며, 회동구(47)의 상부에는 끼움홀(47a)에 연통되는 키홈(47c)이 형성되어 키(2a)가 형성된 구동기(1)의 구동축(2)이 결합되도록 구성된다.

한편, 회동수단(60)의 베어링부(50)는 상기 회동수단(40)의 회동을 가이드하기 위해 연결축부(44)의 외측에 형성되는 통상의 베어링으로, 용접과 같은 통상의 방법을 통해 관통홀(13)에 대응되도록 댐퍼하우징(10)의 외주에 일체로 결합형성되며, 공지된 통상의 구성으로 용이하게 이룰 수 있으므로 자세한 설명은 생략한다.

다섯째, 구속수단(70)은 상기 고정브라켓(35)과 회전작동부(40)에 연결설치되어 회전작동부(40)의 움직임을 구속함으로써 상기 회전작동부(40)에 결합되어 연동하는 블레이드(20)의 움직임을 방지하는 구성으로, 본 발명에서는 상기 구속수단(70)이 제1결합홀(71)과, 회동판(73)과, 구속너트(75)와, 구속볼트(77)로 구성되는 것을 특징으로 하며, 이하에서 보다 상세히 설명한다.

먼저, 구속수단(70)의 제1결합홀(71)은 일정각도로 회동된 블레이드(20)의 고정설치를 위해 고정브라켓(35)에 형성되는 구성으로, 상기 고정브라켓(35)에 형성된 삽입홀(33)의 외측방향으로 이격되어 등 각도로 다수 형성된다..

또한, 구속수단(70)의 회동판(73)은 상기 제1결합홀(71)에 대응되는 제2결합홀(72)을 다수 형성하여 회전작동부(40)에 일체로 형성되는 구성으로, 용이한 설치를 위해 회전작동부(40)에 구성된 회동구(47)의 외주에 일체로 형성되는 것이 바람직하다.

또한, 구속수단(70)의 구속너트(75)는 상기 제1결합홀(71)이 형성된 고정브라켓(35)에 설치되는 구성으로, 구속볼트(77)와의 나사결합을 통해 고정브라켓(35)에 밀착설치될 수도 있으나, 보다 용이한 결합 및 견고한 설치를 위해 용접 등을 통해 고정브라켓(35)에 일체로 형성되는 것이 바람직하다.

또한, 구속수단의 구속볼트(77)는 상기 제1, 2결합홀(71, 72)을 통해 구속너트(75)에 체결되어 회동판(73)을 고정브라켓(35)에 구속시키는 구성으로, 이를 통해 회동판(73)과 일체로 결합된 회전작동부(40) 및 블레이드(20)의 구속을 견고히 이룰 수 있어 댐퍼 내부의 압력차이에도 블레이드(20)의 움직임을 막을 수 있게 된다.

그리고, 블레이드(20)의 움직임이 차단되면, 댐퍼하우징(10)과 블레이드(20)간의 마찰이 방지되어 상기 댐퍼하우징(10) 내주의 코팅면 마모가 생기지 않으므로, 가스유출에 의한 안전사고가 예방됨과 더불어, 구동기(1)에 구성된 감속기어의 파손이 방지되어 유지보수가 용이해지는 장점이 있다.

이하에서는 상기와 같은 구성에 따른 본 발명의 작용에 대해 설명한다.

먼저, 도 3의 상태에서 구속수단(70)에 구성된 구속볼트(77)를 해제시킨 다음, 구동기(1)의 핸들을 이용하여 구동축(2)을 시계방향으로 90°회전시키면, 도 2에 도시된 바와 같이 구동축(2)에 의해 연동하는 회전작동부(40)를 통해 블레이드(20)가 90°회동되어 댐퍼의 통로를 폐쇄하는 작동을 한다.

그리고, 이와 같은 블레이드(20)의 회동이 이루어질 때에는 상기 블레이드(20)의 외주에 끼워진 상태로 댐퍼하우징(10)의 내주에 밀착된 패킹(80)에 의해 견고한 밀폐가 유지되는데, 상기 패킹(80)에는 철심(87)이 구비되어 끼움부(83)의 형상 변화가 생기지 않을 뿐만 아니라, 댐퍼하우징(10)에 밀착되는 밀착부(85)가 중공형상으로 형성된 것에 의해 잦은 사용에도 밀폐력이 떨어지는 현상이 발생하지 않아 장시간 사용에도 안전성을 지속적으로 유지할 수 있게 된다.

또한, 구속수단(70)의 결합 즉, 제1, 2결합홀(71, 72)을 통해 구속너트(75)에 체결되어 회동판(73)을 고정브라켓(35)에 구속시키는 구속볼트(77)를 결합시키면, 회동판(73)과 일체로 형성된 회전작동부(40)의 회동구(47)를 견고하게 고정시킬 수 있는데, 이때, 상기 회전작동부(40)는 결합헤드(41)와 연결축부(44)와 결합축부(45)와 회동구(47) 간의 결합을 통해 일체로 구성되어 있기 때문에, 블레이드(20)를 잡고 있는 회전작동부(40)의 전체구성이 구속되게 된다.

따라서, 댐퍼 내부의 압력 차가 생긴다 하더라도 블레이드(20)를 고정하고 있는 회전작동부(40)에 의해 블레이드(20)의 움직임이 전혀 생기지 않기 때문에, 댐퍼하우징(10)과 블레이드(20) 간의 마찰이 발생하지 않아 상기 댐퍼하우징 내중의 코팅면 마모에 의한 가스유출이 전혀 없으며, 블레이드(20)의 구속을 통해 구동기(1)에 구성된 감속기어의 파손이 방지되어 유지보수를 손쉽게 할 수 있게 된다.

이상에서 설명한 바와 같이, 상술한 실시 예는 본 발명의 바람직한 실시 예에 대해 기재한 것이지만, 이에 한정되지 않고 본 발명의 기술적인 사상에서 벗어나지 않는 범위 내에서 다양한 형태로 변경하여 실시할 수도 있을 것이다.

1 : 구동기 2 : 구동축 2a : 키
10 : 댐퍼하우징 11 : 개스킷 13 : 관통홀
20 : 블레이드 21 : 결합턱부
30 : 설치브라켓부 31 : 지지브라켓 33 : 삽입홀 35 : 고정브라켓
40 : 회전작동부 41 : 결합헤드 41a : 나사결합홀 41b : 연결홈 41c : 결합홈부 42 : 연결돌부 43 : 연결봉 43a : 단부 44 : 연결축부 44a : 중공홀 45 : 결합축부 45a : 볼트머리 46 : 체결볼트 47 : 회동구 47a : 끼움홀 47b : 체결홀 47c : 키홈
50 : 베어링부 60 : 회동수단
70 : 구속수단 71 : 제1결합홀 72 : 제2결합홀 73 : 회동판 75 : 구속너트 77 : 구속볼트
80 : 패킹 81 : 밀폐돌기 82 : 설치홈 83 : 끼움부 85 : 밀착부 87 : 철심
100 : 반도체 설비용 배기댐퍼

Claims (4)

1. 양측 외주에 개스킷(11)이 일체로 구성되고, 상하측에는 관통홀(13)이 각각 형성된 댐퍼하우징(10);
   상기 댐퍼하우징(10)의 내부에 삽입되어 설치되는 블레이드(20);
   상기 댐퍼하우징(10)의 외주에 용접되어 설치되며 구동기(1)가 결합되는 지지브라켓(31)과, 상기 지지브라켓(31)의 수직방향으로 형성되며 내부에는 댐퍼하우징(10)의 관통홀(13)에 대응되는 삽입홀(33)이 형성된 고정브라켓(35)으로 구성된 설치브라켓부(30);
   일측이 관통홀(13)을 통해 블레이드(20)에 결합되고, 타측이 삽입홀(33)을 통해 구동기(1)의 구동축(2)에 결합되는 회전작동부(40)와, 상기 댐퍼하우징(10)의 외주에 일체로 결합되어 회전작동부(40)의 회동을 가이드하는 베어링부(50)로 구성된 회동수단(60);
   상기 고정브라켓(35)과 회전작동부(40)에 연결설치되어 회전작동부(40)의 움직임을 구속하는 구속수단(70);을 포함 구성하여, 상기 회전작동부(40)의 구속을 통해 블레이드(20)의 움직임을 방지할 수 있는 것에 특징이 있는 반도체 설비용 배기댐퍼.
   
2. 제 1항에 있어서, 상기 블레이드(20)에는 내측에 밀폐돌기(81)가 형성된 설치홈(82)을 구성하여 블레이드(20)의 외주에 끼워져 설치되는 끼움부(83)와, 상기 끼움부(83)의 외측에 일체로 형성되어 댐퍼하우징(10)의 내주에 밀착되는 중공형상의 밀착부(85)와, 상기 끼움부(83)의 내부에 설치되어 끼움부(83)의 형상을 유지시키는 철심(87)으로 이루어진 패킹(80);이 더 포함 구성된 것에 특징이 있는 반도체 설비용 배기댐퍼.
   
3. 제 1항에 있어서, 상기 회동수단(60)에 구성된 회전작동부(40)는,
   상기 블레이드(20)에 결합되어 댐퍼하우징(10)의 내부에 위치하며, 내측에는 나사결합홀(41a)과 상기 나사결합홀(41a)에 연통하는 연결홈(41b)을 형성한 결합헤드(41);
   상기 결합헤드(41)의 연결홈(41b)에 끼워지는 연결돌부(42)와, 일측에 단부(43a)를 형성하여 상기 연결돌부(42)의 상부에 일체로 형성되는 연결봉(43)으로 구성되며, 내주에는 중공홀(44a)을 형성한 연결축부(44);
   상기 연결축부(44)의 중공홀(44a)에 끼워진 상태로 결합헤드(41)의 나사결합홀(41a)에 결합되어 결합헤드(41)와 연결축부(44)를 일체로 연결하는 결합축부(45);
   연결축부(44)가 끼워지는 끼움홀(47a)을 내주에 형성하되, 일측에는 연결봉(43)의 단부(43a)에 대응되는 체결홀(47b)을 형성하여 상기 체결홀(47b)에 볼트결합된 상태로 단부(43a)에 가압밀착되는 체결볼트(46)를 통해 연결축부(44)와 일체로 결합되며, 상부에는 끼움홀(47a)에 연통되는 키홈(47c)이 형성된 회동구(47);로 이루어진 것에 특징이 있는 반도체 설비용 배기댐퍼.
   
4. 제 1항에 있어서, 상기 구속수단(70)은,
   상기 고정브라켓(35)에 형성된 삽입홀(33)의 외측방향으로 이격되어 등각도로 다수 형성되는 제1결합홀(71);
   상기 제1결합홀(71)에 대응되는 제2결합홀(72)을 다수 형성하여 회전작동부(40)에 일체로 형성되는 회동판(73);
   상기 제1결합홀(71)이 형성된 고정브라켓(35)에 설치되는 구속너트(75);
   상기 제1, 2결합홀(71, 72)을 통해 구속너트(75)에 체결되어 회동판(73)을 고정브라켓(35)에 구속시키는 구속볼트(77);로 이루어진 것에 특징이 있는 반도체 설비용 배기댐퍼.

Images