KR20200095235A - 반도체 설비용 배기댐퍼 - Google Patents

Abstract

본 발명은 반도체 설비용 배기댐퍼로서, 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체 설비용 배기댐퍼는 반도체 설비와 배기라인 사이에 연결되어 풍량을 조절하는 반도체 설비용 배기댐퍼로서, 배기가스의 유동을 위한 내부유로가 형성된 댐퍼 몸체, 상기 댐퍼 몸체의 상부에서 회전 조작 가능하게 결합된 핸들, 상기 핸들에 의해 상기 댐퍼 몸체의 내부에서 설정 각도 범위로 회전하며, 상기 회전한 각도에 대응하여 상기 내부유로의 개폐 및 개방 크기를 다단 조절하는 풍량 조절 부재, 상기 핸들을 관통하여 상기 댐퍼 몸체에 체결되어 상기 핸들의 회전 동작을 구속하며, 상기 풍량 조절 부재가 회전한 각도를 유지시켜주는 각도 고정 부재, 상기 댐퍼 몸체를 관통하여 상기 핸들의 중심과 상기 풍량 조절 부재의 회전 중심을 연결하는 핸들 고정 부재, 및 상기 댐퍼 몸체의 양단에 결합되며, 배기라인을 구성하는 파이프가 연결되는 소켓을 포함한다.

Description

반도체 설비용 배기댐퍼{EXHAUST DAMPER FOR SEMICONDUCTOR FACILITIES}

본 발명은 반도체 설비용 배기댐퍼에 관한 것으로, 반도체 설비에 사용되는 배기라인을 통과하는 공기의 양을 조절할 수 있는 반도체 설비용 배기댐퍼에 관한 것이다.

반도체 제조공정에서는 수소가스, 헬륨가스 및 질소가스 등의 다양한 가스들과 실란, 산류, 염기류 및 비소화합물 등의 다양한 화학물질들이 사용된다.

따라서 반도체 설비의 부식을 방지하거나 제품의 직접적인 손상을 방지하기 위해서는, 상기의 가스들이나 화학물질들이 사용 후 적절히 배출되는 것이 필요하다.

이 때문에, 반응 챔버에는 진공압 배기라인이 구비되며, 반응 챔버 내부의 잔류 가스들은 진공펌프의 진공압에 의해 배기라인을 통해 강제로 배출되도록 구성되어 있다.

배기댐퍼는 배기라인에 설치되어 배기압력을 조절하는 장치이다. 이러한 배기댐퍼에 의해 배기 압력이 조절되어, 가스들이나 화학물질들은 원활하게 강제 배출될 수 있다.

다만, 종래의 배기댐퍼는 배기라인을 통과하는 가스의 풍량을 여러 단계로 나누어 정밀하게 조절하기에는 어려움이 있었다.

나아가, 종래의 배기댐퍼는 가스 유동으로 인해 발생되는 진동이나 외부 작업자로부터 가해진 충격 등에 의해 내부유로가 100% 개방된 상태를 지속적으로 유지하기에 어려움이 있었다.

심지어, 종래의 배기댐퍼는 파이프가 연결되는 댐퍼 몸체의 양단 부위가 구조적으로 취약하여 내구수명이 짧은 문제가 있었다.

더 나아가, 종래의 배기댐퍼는 댐퍼 몸체의 내부유로를 개폐하도록 설치되는 풍량 조절 부재의 결합 구조상에 문제가 있어서, 가스가 누설되거나 소음이 발생되는 등의 문제가 있었다.

본 발명과 관련된 선행기술로서, 대한민국 공개특허공보 제10-2008-0070260호(2008.07.30. 공개일)가 있으며 상기 선행문헌에는 반도체 설비의 배기 댐핑 장치가 개시되어 있다.

다만, 이에 개시된 반도체 설비의 배기 댐핑 장치는 핸들의 강제 조작에 의해서만 조작 가능하여 밸브 오작동이 원천적으로 방지될 뿐, 100% 개방된 상태를 지속적으로 유지하는 수단에 관하여 전혀 제시하고 있지 않다.

게다가 종래의 선행문헌에는 가스의 풍량을 여러 단계로 나누어 정밀하게 조절하기 위한 수단에 관하여도 전혀 제시하고 있지 않으며, 가스의 누설 및 소음 발생 방지 수단에 관하여도 전혀 제시하는 바가 없다.

본 발명의 목적은 반도체 설비에 사용되는 배기라인을 통과하는 가스의 풍량을 여러 단계로 나누어 정밀하게 조절할 수 있는 반도체 설비용 배기댐퍼를 제공하는 것이다.

본 발명의 목적은 배기댐퍼를 100% 오픈 시킨 상태를 지속적으로 유지할 수 있어, 가스 유동으로 인한 진동이나 외부 충격이 가해진 경우에도 완전 개방 상태가 임의로 변경되지 않는 반도체 설비용 배기댐퍼를 제공하는 것이다.

본 발명의 목적은 파이프가 연결되는 댐퍼 몸체의 양단 부위를 구조적으로 보강하면서도 파이프와 배기댐퍼 간의 접촉 강도를 증가시켜 내구성을 향상시킨 반도체 설비용 배기댐퍼를 제공하는 것이다.

본 발명의 목적은 댐퍼 몸체의 내부유로를 개폐하도록 설치되는 풍량 조절 부재의 결합 구조를 개선하여 결합 시 유격 등에 의해 가스가 누설되거나 소음이 유발되는 것을 방지하는 반도체 설비용 배기댐퍼를 제공하는 것이다.

본 발명의 목적들은 이상에서 언급한 목적으로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 본 발명의 다른 목적 및 장점들은 하기의 설명에 의해서 이해될 수 있고, 본 발명의 실시예에 의해 보다 분명하게 이해될 것이다. 또한, 본 발명의 목적 및 장점들은 특허 청구 범위에 나타낸 수단 및 그 조합에 의해 실현될 수 있음을 쉽게 알 수 있을 것이다.

본 발명의 일 실시예에 따르면 반도체 설비에 사용되는 배기라인을 통과하는 가스의 풍량을 여러 단계로 나누어 정밀하게 조절할 수 있는 반도체 설비용 배기댐퍼를 제공한다.

본 발명의 일 실시예에 따르는 반도체 설비용 배기댐퍼는 반도체 설비와 배기라인 사이에 연결되어 풍량을 조절하는 반도체 설비용 배기댐퍼로서, 배기가스의 유동을 위한 내부유로가 형성된 댐퍼 몸체; 상기 댐퍼 몸체의 상부에서 회전 조작 가능하게 결합된 핸들; 상기 핸들에 의해 상기 댐퍼 몸체의 내부에서 설정 각도 범위로 회전하며, 상기 회전한 각도에 대응하여 상기 내부유로의 개폐 및 개방 크기를 다단 조절하는 풍량 조절 부재; 상기 핸들을 관통하여 상기 댐퍼 몸체에 체결되어 상기 핸들의 회전 동작을 구속하며, 상기 풍량 조절 부재가 회전한 각도를 유지시켜주는 각도 고정 부재; 상기 댐퍼 몸체를 관통하여 상기 핸들의 중심과 상기 풍량 조절 부재의 회전 중심을 연결하는 핸들 고정 부재; 및 상기 댐퍼 몸체의 양단에 결합되며, 배기라인을 구성하는 파이프가 연결되는 소켓;을 포함한다.

상기 댐퍼 몸체는, 상기 내부유로가 중공을 따라 형성되는 관형 하우징; 상기 관형 하우징의 양단에 구비되며, 내경이 확장되어 상기 소켓의 적어도 일부가 삽입되는 확관부; 및 상기 관형 하우징의 상부로 돌출되며, 상기 핸들이 결합되는 돌출부;를 포함한다.

또한, 상기 관형 하우징의 외주 면에는 주름돌기가 구비되며, 상기 주름돌기는, 다수 개가 상기 관형 하우징의 길이 방향을 따라 설정 간격을 두고 이격 형성될 수 있다.

또한, 상기 돌출부는, 상기 관형 하우징의 상부로 소정 높이 돌출되며, 평탄한 상부 면을 갖는 돌출 블록; 상기 돌출 블록의 평탄한 상부 면 중앙에서 상기 돌출 블록의 높이 방향을 따라 관통 형성되어, 상기 핸들 고정 부재가 체결되는 관통부; 및 상기 돌출 블록의 평탄한 상부 면에 위치하며, 상기 풍량 조절 부재를 설정 각도로 회전시킨 이후, 상기 각도 고정 부재가 상기 핸들의 원호 장공을 관통하여 체결되어 상기 핸들의 회전을 차단하는 제1 나사 홈;을 포함한다.

또한, 상기 원호 장공은, 상기 관통부를 중심으로 적어도 90도의 중심각을 갖도록 원호 형상으로 절개 형성될 수 있다.

또한, 상기 핸들의 배면에는 다수 개의 각도 조절 홈이 구비되며, 상기 다수 개의 각도 조절 홈 각각은 상기 원호 장공을 따라 원호 형상으로 이격 배치되고, 상기 돌출 블록의 평탄한 상부 면에는 상기 다수 개의 각도 조절 홈 중 적어도 하나에 끼움 결합되어, 상기 핸들의 회전 각도를 조절하는 풍량 조절 돌기가 구비될 수 있다.

또한, 상기 돌출부는, 상기 관통부를 기준으로 상기 제1 나사 홈의 반대 편에 위치하며, 상기 내부유로가 완전 개방되도록 상기 풍량 조절 부재를 회전시킨 이후, 상기 각도 고정 부재가 상기 핸들의 완전 개방용 홀을 관통하여 체결되는 제2 나사 홈;을 더 포함한다.

또한, 상기 핸들은, 원형 테두리를 따라 제1 원주 돌기가 구비된 핸들 몸체; 상기 원호 장공에 대응하여 상기 핸들 몸체에 비해 외경이 확장 형성되며, 원형 테두리를 따라 제2 원주 돌기가 구비된 외경 확장부; 및 상기 핸들 몸체의 중심에 위치하며, 상기 풍량 조절 부재의 상단에 상기 핸들 고정 부재를 체결시키도록 관통된 고정부;를 포함한다.

또한, 상기 풍량 조절 부재는, 상기 내부유로를 개폐 가능한 크기를 가지며, 하단의 연결 돌기가 상기 댐퍼 몸체의 내측 하부에 삽입되어 지지되는 풍량 조절 판; 하단은 상기 풍량 조절 판의 상단과 조립되며, 상단은 상기 핸들에 고정되는 핸들 조립 몸체; 상기 핸들 조립 몸체의 측면을 관통하는 나사 홀에 체결되어, 상기 풍량 조절 판의 상단과 상기 핸들 조립 몸체 사이를 고정하는 PVC 볼트;를 포함한다.

또한, 상기 핸들 조립 몸체는, 상기 풍량 조절 판과 조립되도록 결합 홈을 갖는 하단 결합부; 상기 하단 결합부의 상부에 연결되며, 상기 댐퍼 몸체의 돌출부를 관통하여 삽입되고, 외주 면을 따라 소정 높이 간격을 두고 복수 개의 오링이 이격 배치되는 중앙 삽입부; 및 상기 중앙 삽입부의 상부에 연결되며, 상기 핸들의 고정부에 끼움 결합되되, 상기 고정부의 형상에 대응하는 사각 단면 형상을 갖는 상단 연결부;를 포함한다.

또한, 상기 풍량 조절 판은 상기 내부유로의 직경에 대응하는 원판 형상을 가지며, 상기 풍량 조절 판은, 테두리를 따라 두께가 증가된 테두리 보강부와, 상기 하단 결합부에 조립되는 상단에서 두께가 증가된 상단 보강부와, 상기 풍량 조절 판의 회전 중심을 따라 두께가 증가된 세로 보강부와, 상기 세로 보강부와 교차하는 방향으로 두께가 증가된 가로 보강부를 구비할 수 있다. 상단 보강부와 하단 결합부 사이의 연결 부위는 핸들의 반복 회전 시 상대적으로 하중이 집중될 수 있는 부위이므로 구조적인 보강이 필요하다. 또한, 세로 보강부는 풍량 조절 판의 회전 중심을 따라 두께가 증가됨으로써 회전 중심이 상대적으로 구조적으로 보강되어 내구성이 향상될 수 있는 장점이 있으며, 세로 보강부와 직교하는 방향으로 가로 보강부가 더 형성됨으로써 구조적으로 보강하는 효과가 향상될 수 있다.

또한, 상기 각도 고정 부재는, 90도의 중심각을 사이로 돌출된 복수의 그립을 포함하며 사출 성형되는 그립 몸체부와, 상기 그립 몸체부의 하단에 구비되며 나사 체결이 가능하도록 상기 그립 몸체부에 인서트 되는 체결 나사부를 포함하고, 상기 핸들 고정 부재는, 반구형으로 사출 성형되는 반구형 몸체부와, 상기 반구형 몸체부의 하단에 구비되며 나사 체결이 가능하도록 상기 반구형 몸체부에 인서트 되는 체결 나사부를 포함한다.

또한, 상기 소켓은, 상기 파이프가 삽입되는 파이프 삽입부가 내경을 통해 마련되고, 외경이 상기 확관부의 내부로 삽입되며, 상기 확관부와 본딩되는 본딩부를 포함하는 소켓 몸체; 상기 소켓 몸체의 외측 단부에 형성되는 테두리 돌기; 및 상기 테두리 돌기의 내측 단부에 경사지게 형성되어 상기 확관부와 용접되는 용접부;를 포함한다. 댐퍼 몸체의 확관부를 통해 소켓의 본딩부를 본딩 후 삽입하고, 이어서 테두리 돌기와 확관부 사이의 접촉 부위에 용접을 실시하여 용접부를 추가로 형성함으로써 제품의 신뢰성을 높이고 파손 등을 억제하여 구조적인 취약성을 한층 더 보강할 수 있다.

본 발명에 의하면, 반도체 설비에 사용되는 배기라인을 통과하는 가스의 풍량을 여러 단계로 나누어 정밀하게 조절할 수 있다. 예컨대, 배기댐퍼 내부유로를 가로막는 풍량 조절 부재의 회전 각도를 일정 각도 변위만큼 단계적으로 조절하여 내부유로의 개방을 점진적으로 확대시키거나 축소시킬 수 있다. 이로써, 작업자는 필요한 개방 비율로 배기댐퍼 내부유로를 개방시켜 배기라인을 통과하는 가스의 유동을 정밀하게 조절 제어할 수 있다.

또한 본 발명에 의하면, 배기댐퍼를 100% 오픈 시킨 상태를 지속적으로 유지할 수 있어, 가스 유동으로 인한 진동이나 외부 충격이 가해진 경우에도 완전 개방 상태가 임의로 변경되지 않는 장점이 있다. 만일, 배기댐퍼 내부유로를 100% 오픈 시킨 상태를 지속적으로 유지시켜줄 필요성이 있을 때, 완전 개방 유지용 오픈 너트에 각도 조절 부재를 체결할 수 있다. 이로써, 가스 유동으로 인한 진동이 발생되는 경우에서나, 또는 작업자가 실수로 쳐서 핸들에 외부 충격이 가해지는 경우에도 핸들이 임의로 회전하지 않게 되어 배기댐퍼 내부유로의 완전 개방 상태가 유지될 수 있다.

또한 본 발명에 의하면, 파이프가 연결되는 댐퍼 몸체의 양단 부위를 구조적으로 보강하면서도 파이프와 배기댐퍼 간의 접촉 강도를 증가시켜 내구성을 향상시킬 수 있다.

또한 본 발명에 의하면, 댐퍼 몸체의 내부유로를 개폐하도록 설치되는 풍량 조절 부재의 결합 구조를 개선하여 결합 시 유격 등에 의해 가스가 누설되거나 소음이 유발되는 것을 방지할 수 있다.

상술한 효과와 더불어 본 발명의 구체적인 효과는 이하 발명을 실시하기 위한 구체적인 사항을 설명하면서 함께 기술한다.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 반도체 설비용 배기댐퍼를 간략히 도시한 사시도.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 반도체 설비용 배기댐퍼를 간략히 도시한 정면도.
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 반도체 설비용 배기댐퍼를 간략히 도시한 평면도.
도 4는 본 발명의 실시예에 따른 반도체 설비용 배기댐퍼를 간략히 도시한 측면도.
도 5는 본 발명의 실시예에 따른 반도체 설비용 배기댐퍼 중 댐퍼 몸체를 간략히 도시한 사시도 및 부분 확대도.
도 6은 본 발명의 실시예에 따른 반도체 설비용 배기댐퍼 중 핸들을 간략히 도시한 사시도.
도 7은 본 발명의 실시예에 따른 반도체 설비용 배기댐퍼 중 핸들을 간략히 도시한 배면도.
도 8은 본 발명의 실시예에 따른 반도체 설비용 배기댐퍼 중 소켓을 간략히 도시한 사시도.
도 9는 본 발명의 실시예에 따른 반도체 설비용 배기댐퍼 중 소켓을 간략히 도시한 정면도 및 부분 확대도.
도 10은 본 발명의 실시예에 따른 반도체 설비용 배기댐퍼 중 풍량 조절 부재를 간략히 도시한 사시도.
도 11은 본 발명의 실시예에 따른 반도체 설비용 배기댐퍼 중 풍량 조절 부재를 간략히 도시한 정면도.
도 12는 본 발명의 실시예에 따른 반도체 설비용 배기댐퍼 중 풍량 조절 부재를 간략히 도시한 측면도.
도 13은 본 발명의 실시예에 따른 반도체 설비용 배기댐퍼 중 각도 조절 부재를 간략히 도시한 사시도.
도 13은 본 발명의 실시예에 따른 반도체 설비용 배기댐퍼 중 각도 조절 부재를 간략히 도시한 사시도.
도 14는 본 발명의 실시예에 따른 반도체 설비용 배기댐퍼 중 댐퍼 고정 부재를 간략히 도시한 사시도.
도 15는 본 발명의 실시예에 따른 반도체 설비용 배기댐퍼를 이용한 사용 상태도.
도 16은 본 발명의 실시예에 따른 반도체 설비용 배기댐퍼 중 댐퍼 몸체와 소켓 사이의 연결 부위를 확대 도시한 부분 확대도.

이하, 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 대하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다.

본 발명을 명확하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략하였으며, 명세서 전체를 통하여 동일 또는 유사한 구성요소에 대해서는 동일한 참조 부호를 붙이도록 한다. 또한, 본 발명의 일부 실시예들을 예시적인 도면을 참조하여 상세하게 설명한다. 각 도면의 구성요소들에 참조부호를 부가함에 있어서, 동일한 구성요소들에 대해서는 비록 다른 도면상에 표시되더라도 가능한 한 동일한 부호를 가질 수 있다. 또한, 본 발명을 설명함에 있어, 관련된 공지 구성 또는 기능에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명은 생략할 수 있다.

본 발명의 구성 요소를 설명하는 데 있어서, 제 1, 제 2, A, B, (a), (b) 등의 용어를 사용할 수 있다. 이러한 용어는 그 구성 요소를 다른 구성요소와 구별하기 위한 것일 뿐, 그 용어에 의해 해당 구성 요소의 본질, 차례, 순서 또는 개수 등이 한정되지 않는다. 어떤 구성 요소가 다른 구성요소에 "연결", "결합" 또는 "접속"된다고 기재된 경우, 그 구성 요소는 그 다른 구성요소에 직접적으로 연결되거나 또는 접속될 수 있지만, 각 구성 요소 사이에 다른 구성 요소가 "개재"되거나, 각 구성 요소가 다른 구성 요소를 통해 "연결", "결합" 또는 "접속"될 수도 있다고 이해되어야 할 것이다.

또한, 본 발명을 구현함에 있어서 설명의 편의를 위하여 구성요소를 세분화하여 설명할 수 있으나, 이들 구성요소가 하나의 장치 또는 모듈 내에 구현될 수도 있고, 혹은 하나의 구성요소가 다수의 장치 또는 모듈들에 나뉘어져서 구현될 수도 있다.

도 1 내지 도 4는 본 발명의 실시예에 따른 반도체 설비용 배기댐퍼를 간략히 도시한 사시도, 정면도, 평면도, 및 측면도이다.

본 발명의 실시예에 따른 반도체 설비용 배기댐퍼(1)는 반도체 설비와 배기라인 사이에 연결되어 풍량을 조절하는 장치이다.

도시된 바와 같이, 반도체 설비용 배기댐퍼(1)는 댐퍼 몸체(100), 핸들(200), 풍량 조절 부재(300), 각도 고정 부재(400), 핸들 고정 부재(500), 및 소켓(600)을 포함한다.

댐퍼 몸체(100)는 중공을 통해 내부유로(101)가 마련되어 내부유로(101)를 통해 배기가스가 유동 가능하게 형성된다.

구체적으로는, 댐퍼 몸체(100)는 관형 하우징(110), 확관부(120), 돌출부(140)를 포함한다.

관형 하우징(110)은 내부유로(101)가 마련된 파이프 형상의 부재이다.

도시된 관형 하우징(110)은 원형 단면의 파이프 형상을 가지나, 이에 한정되지 않으며 다양한 형상 및 크기로 변경 가능하다.

확관부(120)는 관형 하우징(110)의 양단에 구비되며 관형 하우징(110)에 비해 내경이 확장된 형상을 갖는다. 확관부(120)의 내부로는 소켓(600)의 일부가 삽입된다.

돌출부(140)는 관형 하우징(110)의 상부로 돌출된 부위이다.

돌출부(140)는 관형 하우징(110)의 상부에서 수평으로 배치되어 회전 조작 가능하게 설치되는 핸들(200)이 결합된다.

이에 따라, 핸들(200)은 돌출부(140)의 상부 면에 접촉 지지되며, 사용자의 조작에 따라 안정적으로 회전 동작할 수 있다.

그리고 핸들(200)의 회전 동작이 원활하게 구현되기 위해서는 돌출부(140)의 상부 면이 평탄한 형상을 갖는 것이 바람직하다.

구체적인 예로서, 도 5를 참조하면 돌출부(140)는 돌출 블록(141), 관통부(143), 제1 나사 홈(147), 제2 나사 홈(145)을 포함한다.

돌출 블록(141)은 관형 하우징(110)의 상부로 소정 높이 돌출된 직육면체 형상의 돌출 부위를 말하는데, 그 상부 면은 평탄하게 형성된다.

이에 따라, 핸들(200, 도 4 참조)은 돌출 블록(141)의 평탄한 상부 면 위에 안정적으로 안착되어 사용자의 조작에 따라 회전할 수 있게 된다.

관통부(143)는 돌출 블록(141)의 평탄한 상부 면 중앙에 형성된 원형 홀을 말한다.

관통부(143)는 돌출 블록(141)의 높이 방향을 따라 관통되는데 결과적으로 댐퍼 몸체(100)의 내, 외부를 관통하여 형성될 수 있다.

관통부(143)는 핸들 고정 부재(500, 도 4 참조)가 핸들(200, 도 4 참조) 및 돌출 블록(141)을 관통하도록 하여, 핸들 고정 부재(500, 도 4 참조)가 댐퍼 몸체(100) 내부의 풍량 조절 부재(300, 도 4 참조)와 연결되게 해준다.

제1 나사 홈(147)은 돌출 블록(141)의 평탄한 상부 면에 위치하며 볼트 등의 체결 나사 형상의 부재가 나사 결합되도록 한다.

구체적으로 설명하면, 제1 나사 홈(147)은 각도 고정 부재(400, 도 4 참조)가 핸들(200, 도 6 참조)의 원호 장공(240, 도 6 참조)을 관통하여 체결되도록 해준다.

사용자는 핸들을 회전시켜 풍량 조절 부재(300, 도 4 참조)를 설정 각도로 회전시킨다. 이후, 사용자는 각도 고정 부재(400, 도 4 참조)를 핸들(200)의 원호 장공(240)에 관통시켜 제1 나사 홈(147)에 체결 고정할 수 있다.

이로써, 핸들의 회전 조작은 차단되며, 풍량 조절 부재(300, 도 4 참조)는 설정 각도로 회전한 상태를 유지하여 설정 풍량 조절 상태를 유지할 수 있다.

또한, 돌출부(140)는 제2 나사 홈(145)을 더 포함한다.

제2 나사 홈(145)은 각도 고정 부재(400, 도 4 참조)가 핸들(200, 도 6 참조)의 완전 개방용 홀(250)을 관통하여 체결되도록 해준다.

사용자는 핸들을 회전시켜 내부유로(101, 도 4 참조)가 완전 개방되도록 풍량 조절 부재(300, 도 4 참조)를 회전시킨다. 이후 사용자는 각도 고정 부재(400, 도 4 참조)를 핸들(200)의 완전 개방용 홀(250)에 관통시켜 제2 나사 홈(145)에 체결 고정할 수 있다.

이로써, 핸들의 회전 조작은 차단되며, 풍량 조절 부재(300, 도 4 참조)는 내부유로(101, 도 4 참조)를 완전 개방시킨 상태를 유지할 수 있다.

한편, 제2 나사 홈(145)은 제1 나사 홈(147)의 반대 편에 위치할 수 있다.

구체적으로는, 제2 나사 홈(145)은 돌출 블록(141)의 평탄한 상부 면에 위치하며 관통부(143)를 기준으로 제1 나사 홈(147)의 반대 편에 위치할 수 있다.

한편, 돌출 블록(141)의 평탄한 상부 면에는 풍량 조절 돌기(149)가 구비된다.

풍량 조절 돌기(149)는 핸들(200)의 배면에 마련된 다수 개의 각도 조절 홈(280) 중 적어도 하나에 끼움 결합된다.

다시 말해, 핸들(200)의 회전 시 다수 개의 각도 조절 홈(280) 중 어느 하나에 풍량 조절 돌기(149)가 끼워짐으로써, 사용자는 핸들(200)의 회전 각도를 가늠할 수 있으며, 풍량 조절 부재(300)의 회전 각도를 손쉽게 조절할 수 있다.

한편, 관형 하우징(110)의 외주 면에는 주름돌기(130)가 구비된다.

주름돌기(130)는 관형 하우징(110)을 구조적으로 보강하는 역할을 한다.

구체적인 예로서, 주름돌기(130)는 다수 개가 관형 하우징(110)의 둘레를 따라 형성될 수 있는데, 다수 개의 주름돌기(130)는 관형 하우징(110)의 길이 방향(즉, Y축 방향)을 따라 설정 간격을 두고 이격 형성된다.

도 1 내지 도 3을 참조하면, 3개의 주름돌기(130)가 일정한 간격을 두고 이격하여 형성되어 있으나, 주름돌기(130)의 위치, 형상 및 개수는 댐퍼 몸체(100)에 따라 적절히 변경될 수 있다.

핸들(200)은 댐퍼 몸체(100)의 상부에서 회전 조작되는 부재이다. 그리고 핸들(200)의 회전 조작에 연동하여 풍량 조절 부재(300)는 설정 회전 각도로 회전하며 댐퍼 몸체(100)의 내부유로가 개폐 조절된다.

도 1을 참조하면 핸들(200)은 테두리를 따라 제1 원주 돌기(211)가 구비된 핸들 몸체(210)와, 핸들 몸체(210)에 비해 외경이 확장되며 테두리를 따라 제2 원주 돌기(221)가 구비된 외경 확장부(220)를 포함한다.

이하, 도 6 및 도 7을 참조하여 핸들(200)의 세부 구성에 관하여 상세히 설명하기로 한다.

도 6 및 도 7을 참조하면, 핸들(200)은 핸들 몸체(210), 외경 확장부(220), 고정부(230), 원호 장공(240), 완전 개방용 홀(250), 각도 조절 홈(280)을 포함한다.

핸들 몸체(210)는 원판 형상의 부재로서, 원형의 테두리를 따라 제1 원주 돌기(211)가 구비된다.

외경 확장부(220)는 원호 장공(240)에 대응하여 핸들 몸체(210)에 비해 외경이 확장 형성된다. 그리고 외경 확장부(220)는 원형의 원형 테두리를 따라 제2 원주 돌기(221)가 구비된다.

이때, 제1 원주 돌기(211)는 제2 원주 돌기(221)에 비해 큰 형상을 가지는 것으로 나타나 있으나, 이의 반대 경우도 가능하며 도시된 크기에 한정되지 않는다.

그리고 외경 확장부(220)는 원호 장공(240)에 대응하여 이의 외측에서 핸들 몸체(210)보다 더 외경이 확장된 형상을 가질 수 있다.

고정부(230)는 핸들 몸체(210)의 중심에 위치하며, 풍량 조절 부재(300)의 상단에 핸들 고정 부재(500, 도 1 참조)를 체결시키도록 상하로 관통 형성된 부위이다.

고정부(230)는 핸들 고정 부재(500, 도 1 참조)가 삽입되기 위해 상부 면으로부터 하향으로 오목하게 형성된 원형 홈(231)과, 원형 홈(231)의 중앙에서 사각 형상으로 관통된 사각 중공(233)을 포함한다.

사각 중공(233)은 풍량 조절 부재(300, 도 10 참조)를 구성하는 핸들 조립 몸체(320, 도 10 참조)의 상단 연결부(328, 도 10 참조)가 결합되는 부위이다.

따라서, 핸들 고정부재(500, 도 1 참조)와 핸들(200)과 풍량 조절 부재(300, 도 10 참조)는 서로 연결되어 함께 회전하도록 구성된다.

원호 장공(240)은 돌출 블록(140)의 관통부(143)를 중심으로 적어도 90도의 중심각을 갖도록 원호 형상으로 절개 형성된다.

한편, 완전 개방용 홀(250)은 핸들 몸체(210)를 두께 방향으로 관통하여 형성되는 원형의 홀을 말한다.

완전 개방용 홀(250)은 핸들 몸체(210)가 내부유로(101, 도 4 참조)를 완전 개방시키도록 회전할 때, 돌출 블록(141, 도 5 참조) 상의 제2 나사 홈(145)과 동일한 위치에 배치된다.

이에 따라, 댐퍼 몸체(100, 도 4 참조)의 내부유로(101, 도 4 참조)가 완전 개방된 상태에서, 각도 고정 부재(400, 도 4 참조)는 핸들(200)에 마련된 완전 개방용 홀(250)을 관통하여 제2 나사 홈(145)에 체결될 수 있다.

이로써, 핸들(200)의 회전이 차단되며, 풍량 조절 부재(300, 도 4 참조)의 회전도 차단되어, 필요한 시간 동안 내부유로(101, 도 4 참조)를 완전 개방시킬 수 있다.

각도 조절 홈(280)은 핸들(200)의 배면을 통해 다수 개가 구비된다.

구체적으로는, 다수 개의 각도 조절 홈(280)은 원호 장공(240)을 따라 원호 형상으로 이격 배치될 수 있다.

이에 따라, 돌출 블록(141, 도 5 참조) 상의 풍량 조절 돌기(149)는 핸들(200)의 회전 각도가 조절 된 후 다수 개의 각도 조절 홈(280) 중 어느 하나에 끼워져 핸들(200)의 임의 회전을 방지한다.

따라서, 다수 개의 각도 조절 홈(280) 사이의 각도는 핸들(200)을 통해 조절 가능한 풍량 조절 부재(300, 도 10 참조)의 회전 각도에 대응하여 형성된다.

소켓(600)은 배기라인을 구성하는 파이프(P1, P2, 도 15 참조)가 댐퍼 몸체(100)에 연결되도록 해준다.

소켓(600)은 댐퍼 몸체(100)의 양단에 결합되어 파이프와 댐퍼 몸체(100) 간의 연결 부위를 구조적으로 강화시키면서, 본딩 및 용접을 이용하여 서로 간의 체결 상태를 보다 견고하게 유지시켜준다.

도 8 및 도 9를 참조하면, 소켓(600)은 소켓 몸체(610)와, 테두리 돌기(630), 용접부(631)를 포함한다.

소켓 몸체(610)는 파이프(P1, P2, 도 15 참조)가 삽입되는 파이프 삽입부(620)가 내경을 통해 마련된다.

또한, 소켓 몸체(610)의 외경은 확관부(120)의 내부로 삽입된다. 소켓 몸체(610)의 외경을 둘러 외주 면에는 확관부(120)와 본딩 접합되는 본딩부(611)가 더 구비된다.

테두리 돌기(630)는 소켓 몸체(610)의 외측 단부에 형성된다. 도 8 및 도 9를 참조하면, 테두리 돌기(630)는 외측으로 갈수록 외경이 축소되는 다수의 테두리 돌기(632, 633)를 더 포함한다. 이를 통해 파이프 삽입부(620)의 구조적인 보강이 강화되며, 내구성을 증가시킬 수 있다.

용접부(631)는 테두리 돌기(630)의 내측 단부에 경사지게 형성된 부위로서, 확관부(120)와 맞닿는 위치에서 용접이 실시되는 부위를 말한다.

이와 같이, 본 발명의 실시예에 따르면 도 15에 도시된 바와 같이 소켓(600)을 이용하여 댐퍼 몸체(100)의 양단에 파이프(P1, P2, 도 15 참조)가 삽입되며, 본딩부(611)와 용접부(631)가 동시에 형성되어 파손 등을 방지한다. 이로써, 제품의 신뢰성이 향상되는 장점이 있다.

풍량 조절 부재(300)는 핸들(200)의 회전 조작에 연동하여 댐퍼 몸체(100)의 내부에서 설정 각도 범위로 회전하며 내부유로(101)를 통해 유동하는 배기가스의 풍량을 조절한다.

다시 말해, 풍량 조절 부재(300)는 내부유로(101)를 개폐 가능한 크기로 댐퍼 몸체(100)의 내부에 설치된다.

그리고 풍량 조절 부재(300)는 회전한 각도에 대응하여 내부유로(101)의 개폐를 조절하거나 또는 개방 크기를 여러 단계로 구분하여 다단 조절하는 역할을 담당한다.

도 10 내지 도 12는 본 발명의 실시예에 따른 풍량 조절 부재(300)의 사시도, 정면도, 및 측면도이다.

도시된 바와 같이, 풍량 조절 부재(300)는 풍량 조절 판(310), 핸들 조립 몸체(320), PVC 볼트(330)를 포함한다.

풍량 조절 판(310)은 내부유로(101, 도 4 참조)를 개폐 가능한 크기를 갖는 원판 형상의 부재이다.

풍량 조절 판(310)의 하단에는 연결 돌기(317)가 구비된다.

연결 돌기(317)는 댐퍼 몸체(100)의 내측 하부에 삽입되어 풍량 조절 판(310)을 하부에서 지지하는 역할을 한다. 다시 말해, 연결 돌기(317)는 풍량 조절 판(310)의 회전 시 회전 중심이 된다.

핸들 조립 몸체(320)는 연결 돌기(317)의 반대 편, 즉 댐퍼 몸체(100)의 내측 상부에서 풍량 조절 판(310)과 조립되며, 풍량 조절 판(310)의 회전 시 연결 돌기(317)와 함께 회전 중심이 된다.

이를 위해, 핸들 조립 몸체(320)의 하단은 풍량 조절 판(310)의 상단과 조립된다. 그리고 핸들 조립 몸체(320)의 상단은 핸들(200)에 고정된다.

구체적으로는, 핸들 조립 몸체(320)는, 하단 결합부(321), 중앙 삽입부(325), 상단 연결부(328)를 포함한다.

하단 결합부(321)는 풍량 조절 판(310)과 조립되도록 결합 홈(322)을 갖는다. 이에 따라, 풍량 조절 판(310)의 상부는 결합 홈(322)의 내부로 삽입되며 PVC 볼트(330)에 의해 상호 체결된다.

중앙 삽입부(325)는 하단 결합부(321)의 상부에 연결된다.

중앙 삽입부(325)는 댐퍼 몸체(100)의 돌출부(140)를 관통하여 삽입되는데, 외주 면을 따라 소정 높이 간격을 두고 복수 개의 오링(326, 327)이 이격 배치된다.

이로써, 핸들 조립 몸체(320)의 조립 부위를 통해 댐퍼 몸체에서 가스가 외부로 누설되는 것을 완전히 차단시킬 수 있다.

상단 연결부(328)는 중앙 삽입부(325)의 상부에 연결된다.

상단 연결부(328)는 핸들(200)의 고정부(230)에 끼움 결합되는데 고정부(230), 특히 사각 중공(233, 도 7 참조)의 형상에 대응하여 상호 끼움 결합 가능한 형상을 가진다. 따라서 상단 연결부(328)는 사각 중공(233, 도 7 참조)에 대응하여 사각 평면 형상을 가질 수 있다.

PVC 볼트(330)는 핸들 조립 몸체(320)의 측면을 관통하는 나사 홀(323)에 체결된다. 이에 따라, PVC 볼트(330)는 풍량 조절 판(310)의 상단과 핸들 조립 몸체(320) 사이를 고정한다.

한편, 도 10을 참조하여 풍량 조절 판(310)의 세부 구성에 관하여 살펴보기로 한다.

도시된 바와 같이, 풍량 조절 판(310)은 내부유로(101, 도 4 참조)의 직경에 대응하는 원판 형상을 가질 수 있다.

이에 더하여, 풍량 조절 판(310)에는 원형의 테두리를 따라 두께가 증가된 테두리 보강부(311)가 더 구비될 수 있다.

그리고 풍량 조절 판(310)은 상단 보강부(312), 세로 보강부(314), 가로 보강부(315)를 더 구비할 수 있다.

상단 보강부(312)는 하단 결합부(321)에 조립되는 상단 부위의 두께가 증가된 부위를 말하며, 세로 보강부(314)는 풍량 조절 판(310)의 회전 중심을 따라 두께가 증가된 부위를 말한다.

그리고 가로 보강부(315)는 세로 보강부(314)와 교차하는 방향으로 두께가 증가된 부위로서, 세로 보강부(315)와 교차하는 지점에 풍량 조절 판(310)의 원 중심이 위치한다.

각도 고정 부재(400)는 풍량 조절 부재(300)가 회전한 각도를 유지시켜준다.

이를 위해, 각도 고정 부재(400)는 핸들(200)을 관통하여 댐퍼 몸체(100)에 체결되는데, 이로써, 핸들(200)의 회전 동작을 구속하여 결과적으로는 풍량 조절 부재(300)가 회전하지 않도록 회전 각도를 고정시킨다.

도 13은 각도 고정 부재(400)를 간략히 도시한 사시도 이다.

도 13을 참조하면, 각도 고정 부재(400)는 그립 몸체부(410)와 체결 나사부(420)를 포함한다.

그립 몸체부(410)는 90도의 중심각을 사이로 돌출된 4개의 라운드 형상 그립을 포함하며, 사출 방식으로 성형된다.

체결 나사부(420)는 그립 몸체부(410)의 하단에 구비되며, 나사 체결이 가능하도록 외주 면을 통해 나사 산이 형성된다.

체결 나사부(420)는 그립 몸체부(410)의 성형 시 그립 몸체부(410)의 하단에 인서트 되어 그립 몸체부(410)와 일체형 구조를 가질 수 있다.

각도 고정 부재(400)는 PP 및 ABS 소재로 사출 성형될 수 있는데, 이 밖에도 이와 유사한 특성을 갖는 다른 소재를 이용할 수도 있다.

핸들 고정 부재(500)는 댐퍼 몸체(100)를 관통하여 핸들(200)의 중심과 풍량 조절 부재(300)의 회전 중심을 연결한다.

도 14는 핸들 고정 부재(500)를 간략히 도시한 사시도 이다. 도 14를 참조하면, 핸들 고정 부재(500)는 반구형 몸체부(510)와 체결 나사부(520)를 포함한다.

반구형 몸체부(510)는 반구형으로 사출 성형된다. 그리고 체결 나사부(520)는 반구형 몸체부(510)의 하단에 구비되며, 나사 체결이 가능하도록 외주 면을 통해 나사 산이 형성된다. 예를 들어, 체결 나사부(520)는 반구형 몸체부(510)의 사출 성형 시 반구형 몸체부(510)의 하단에 인서트 되어 반구형 몸체부(510)와 일체형 구조를 가질 수 있다.

핸들 고정 부재(500)는 PP 및 ABS 소재로 사출 성형될 수 있는데, 이 밖에도 이와 유사한 특성을 갖는 다른 소재를 이용할 수도 있다.

도 15는 본 발명의 실시예에 따른 반도체 설비용 배기댐퍼를 이용한 사용 상태도 이다.

도 15를 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 반도체 설비용 배기댐퍼(1)는 댐퍼 몸체(100)가 중앙에 위치하며, 댐퍼 몸체(100)의 상부에 핸들(200), 각도 조절 부재(400), 핸들 고정 부재(500)가 배치된다.

그리고 댐퍼 몸체(100)의 내부에 풍량 조절 부재(300)가 내부유로를 개폐 및 개방 크기를 조절하기 위해 회전 가능하게 설치된다.

한편, 댐퍼 몸체(100)의 길이 방향 양단에는 소켓(600)이 각각 결합되는데, 파이프(P1, P2)는 소켓(600)을 통해 견고하게 연결된다.

도 16은 본 발명의 실시예에 따른 반도체 설비용 배기댐퍼 중 댐퍼 몸체와 소켓 사이의 연결 부위를 확대 도시한 부분 확대도 이다.

도 16을 참조하면, 댐퍼 몸체(100)는 관형 하우징(110)과 그 양단에 위치하는 확관부(120)를 포함한다. 소켓(600)은 확관부(120)에 삽입되는데, 삽입 시 확관부(120)와 접촉하는 부위를 통해 본딩 처리된 본딩부(611)가 형성된다.

이와 함께, 소켓(600)의 테두리 돌기(630)의 내측과 확관부(120)가 측면으로 접촉하는 B 영역에서 용접이 실시되는 용접부(631)가 더 형성된다.

이와 같이, 본딩 및 용접이 함께 이루어져 제품 신뢰성을 향상시킬 수 있다.

상술한 바와 같이, 본 발명의 구성 및 작용에 따르면, 반도체 설비에 사용되는 배기라인을 통과하는 가스의 풍량을 여러 단계로 나누어 정밀하게 조절할 수 있는 유리한 기술적 효과가 있다.

예컨대, 배기댐퍼 내부유로를 가로막는 풍량 조절 부재의 회전 각도를 일정 각도 변위만큼 단계적으로 조절하여 내부유로의 개방을 점진적으로 확대시키거나 축소시킬 수 있다.

이로써, 작업자는 필요한 개방 비율로 배기댐퍼 내부유로를 개방시켜 배기라인을 통과하는 가스의 유동을 정밀하게 조절 제어할 수 있다.

나아가, 배기댐퍼를 100% 오픈 시킨 상태를 지속적으로 유지할 수 있어, 가스 유동으로 인한 진동이나 외부 충격이 가해진 경우에도 완전 개방 상태가 임의로 변경되지 않는 유리한 기술적 효과가 있다.

만일, 배기댐퍼 내부유로를 100% 오픈 시킨 상태를 지속적으로 유지시켜줄 필요성이 있을 때, 완전 개방 유지용 오픈 너트에 각도 조절 부재를 체결하여 핸들의 회전을 미연에 방지할 수 있다.

이로써, 배기댐퍼 내부유로의 완전 개방이 필요한 상황에서 가스 유동으로 인한 진동이나 외부 충격 등에 의해 핸들이 회전하는 것을 방지하여 배기댐퍼 내부유로의 완전 개방 상태를 필요한 시간만큼 지속적으로 유지할 수 있다.

더 나아가, 파이프가 연결되는 댐퍼 몸체의 양단 부위를 구조적으로 보강하면서도 파이프와 배기댐퍼 간의 접촉 강도를 증가시켜 내구성을 향상시킬 수 있는 유리한 기술적 효과가 있다.

더 나아가, 댐퍼 몸체의 내부유로를 개폐하도록 설치되는 풍량 조절 부재의 결합 구조를 개선함으로써, 풍량 조절 부재의 결합 시 나타나는 유격 등에 의해 가스가 누설되거나 소음이 유발되는 것을 방지할 수 있다.

이상과 같이 본 발명에 대해서 예시한 도면을 참조로 하여 설명하였으나, 본 명세서에 개시된 실시예와 도면에 의해 본 발명이 한정되는 것은 아니며, 본 발명의 기술사상의 범위 내에서 통상의 기술자에 의해 다양한 변형이 이루어질 수 있음은 자명하다.

1: 배기댐퍼
100: 댐퍼 몸체
101: 내부유로
110: 관형 하우징
120: 확관부
130: 주름돌기
140: 돌출부
141: 돌출 블록
143: 관통부
145: 제2 나사 홈
147: 제1 나사 홈
149: 풍량 조절 돌기
200: 핸들
210: 핸들 몸체
211: 제1 원주 돌기
220: 외경 확장부
221: 제2 원주 돌기
230: 고정부
231: 원형 홈
233: 사각 중공
240: 원호 장공
250: 완전 개방용 홀
280: 각도 조절 홈
300: 풍량 조절 부재
310: 풍량 조절 판
311: 테두리 보강부
312: 상단 보강부
314: 세로 보강부
315: 가로 보강부
317: 연결 돌기
320: 핸들 조립 몸체
321: 하단 결합부
322: 결합 홈
323: 나사 홀
325: 중앙 삽입부
326: 제1 오링
327: 제2 오링
328: 상단 연결부
329: 나사 홈
330: PVC 볼트
400: 각도 고정 부재
410: 그립 몸체부
420: 체결 나사부
500: 핸들 고정 부재
510: 반구형 몸체부
520: 체결 나사부
600: 소켓
610: 소켓 몸체
611: 본딩부
620: 파이프 삽입부
630: 테두리 돌기
631: 용접부

Claims (9)

1. 반도체 설비와 배기라인 사이에 연결되어 풍량을 조절하는 반도체 설비용 배기댐퍼로서,
   배기가스의 유동을 위한 내부유로가 형성된 댐퍼 몸체;
   상기 댐퍼 몸체의 상부에서 회전 조작 가능하게 결합된 핸들;
   상기 핸들에 의해 상기 댐퍼 몸체의 내부에서 설정 각도 범위로 회전하며, 상기 회전한 각도에 대응하여 상기 내부유로의 개폐 및 개방 크기를 다단 조절하는 풍량 조절 부재;
   상기 핸들을 관통하여 상기 댐퍼 몸체에 체결되어 상기 핸들의 회전 동작을 구속하며, 상기 풍량 조절 부재가 회전한 각도를 유지시켜주는 각도 고정 부재;
   상기 댐퍼 몸체를 관통하여 상기 핸들의 중심과 상기 풍량 조절 부재의 회전 중심을 연결하는 핸들 고정 부재; 및
   상기 댐퍼 몸체의 양단에 결합되며, 배기라인을 구성하는 파이프가 연결되는 소켓;
   을 포함하는 반도체 설비용 배기댐퍼.
   
2. 제1항에 있어서,
   상기 댐퍼 몸체는,
   상기 내부유로가 중공을 따라 형성되는 관형 하우징;
   상기 관형 하우징의 양단에 구비되며, 내경이 확장되어 상기 소켓의 적어도 일부가 삽입되는 확관부; 및
   상기 관형 하우징의 상부로 돌출되며, 상기 핸들이 결합되는 돌출부;
   를 포함하는 반도체 설비용 배기댐퍼.
   
3. 제2항에 있어서,
   상기 관형 하우징의 외주 면에는 주름돌기가 구비되며,
   상기 주름돌기는,
   다수 개가 상기 관형 하우징의 길이 방향을 따라 설정 간격을 두고 이격 형성되는
   반도체 설비용 배기댐퍼.
   
4. 제2항에 있어서,
   상기 돌출부는,
   상기 관형 하우징의 상부로 소정 높이 돌출되며, 평탄한 상부 면을 갖는 돌출 블록;
   상기 돌출 블록의 평탄한 상부 면 중앙에서 상기 돌출 블록의 높이 방향을 따라 관통 형성되어, 상기 핸들 고정 부재가 체결되는 관통부; 및
   상기 돌출 블록의 평탄한 상부 면에 위치하며, 상기 풍량 조절 부재를 설정 각도로 회전시킨 이후, 상기 각도 고정 부재가 상기 핸들의 원호 장공을 관통하여 체결되어 상기 핸들의 회전을 차단하는 제1 나사 홈;
   을 포함하는 반도체 설비용 배기댐퍼.
   
5. 제4항에 있어서,
   상기 원호 장공은,
   상기 관통부를 중심으로 적어도 90도의 중심각을 갖도록 원호 형상으로 절개 형성되는
   반도체 설비용 배기댐퍼.
   
6. 제4항에 있어서,
   상기 핸들의 배면에는 다수 개의 각도 조절 홈이 구비되며,
   상기 다수 개의 각도 조절 홈 각각은 상기 원호 장공을 따라 원호 형상으로 이격 배치되고,
   상기 돌출 블록의 평탄한 상부 면에는 상기 다수 개의 각도 조절 홈 중 적어도 하나에 끼움 결합되어, 상기 핸들의 회전 각도를 조절하는 풍량 조절 돌기가 구비되는
   반도체 설비용 배기댐퍼.
   
7. 제4항에 있어서,
   상기 핸들은,
   원형 테두리를 따라 제1 원주 돌기가 구비된 핸들 몸체;
   상기 원호 장공에 대응하여 상기 핸들 몸체에 비해 외경이 확장 형성되며, 원형 테두리를 따라 제2 원주 돌기가 구비된 외경 확장부; 및
   상기 핸들 몸체의 중심에 위치하며, 상기 풍량 조절 부재의 상단에 상기 핸들 고정 부재를 체결시키도록 관통된 고정부;
   를 포함하는 반도체 설비용 배기댐퍼.
   
8. 제1항에 있어서,
   상기 풍량 조절 부재는,
   상기 내부유로를 개폐 가능한 크기를 가지며, 하단의 연결 돌기가 상기 댐퍼 몸체의 내측 하부에 삽입되어 지지되는 풍량 조절 판;
   하단은 상기 풍량 조절 판의 상단과 조립되며, 상단은 상기 핸들에 고정되는 핸들 조립 몸체;
   상기 핸들 조립 몸체의 측면을 관통하는 나사 홀에 체결되어, 상기 풍량 조절 판의 상단과 상기 핸들 조립 몸체 사이를 고정하는 PVC 볼트;
   를 포함하는 반도체 설비용 배기댐퍼.
   
9. 제8항에 있어서,
   상기 핸들 조립 몸체는,
   상기 풍량 조절 판과 조립되도록 결합 홈을 갖는 하단 결합부;
   상기 하단 결합부의 상부에 연결되며, 상기 댐퍼 몸체의 돌출부를 관통하여 삽입되고, 외주 면을 따라 소정 높이 간격을 두고 복수 개의 오링이 이격 배치되는 중앙 삽입부; 및
   상기 중앙 삽입부의 상부에 연결되며, 상기 핸들의 고정부에 끼움 결합되되, 상기 고정부의 형상에 대응하는 사각 단면 형상을 갖는 상단 연결부;
   를 포함하는 반도체 설비용 배기댐퍼.

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