KR200440005Y1 - 배기구의 배기량 조절장치 - Google Patents
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Abstract
본 고안은 반도체 공정시 발생되는 배기를 배출하는 다수 개의 공정 배기관 통로에 위치하여 배기 배출량을 조절하는 배기량 조절장치에 있어서; 원통체로 하단에는 플랜지부가 형성되고, 상단부에는 지름이 외측으로 확장되어 내측으로 관체가 삽입고정되는 삽입확장부가 형성되며, 중심을 전후방측으로 관통되는 회전축공이 형성되되 회전축공 전후방으로는 축지지봉이 돌출형성되고, 후방측 축지지봉은 마개에 의해 밀폐되는 배기조절관체와; 상기 배기조절관체의 전후방측 축지지봉에 삽입되어 회동가능하게 안착되는 원형축으로 전방측 선단에는 사각형상의 끼움돌부가 전방측 축지지봉 선단에서 전방측으로 돌출형성되고, 상기 배기조절관체 내주연에 위치되는 중심부에는 좌우측으로 삽입장공이 길게 형성되는 회동축봉과; 상기 회동축봉의 삽입장공에 삽입되어 상기 배기조절관체의 내주연을 밀폐 또는 개방시키는 원형판체로 일측 상면에는 상기 배기조절관체의 완전개방시 상기 회동축봉의 삽입장공에서 걸림고정되는 걸림돌부가 길게 형성되는 개폐판과; 기립된 원형판체로 후면 중심에는 상기 회동축봉의 끼움돌부가 삽입고정되는 끼움요부가 형성되고, 상부는 상측으로 연장되어 정면에 개방각도표시부가 형성되며, 정면 좌우측에는 상기 회동축봉의 회동에 따른 개폐판의 개폐방향을 표시한 개폐표시부가 형성되는 배기량조절판을 구비하는 배기구의 배기량 조절장치에 관한 것이다.
이러한 본 고안은 반도체 공정시 발생되는 배기가스를 배출하는 다수 개의 공정 배기관 통로에 위치하여 배기가스의 배기량을 손쉽게 조절가능하고, 배기가스 의 배기량을 시각적으로 한눈에 식별할 수 있으며, 일체로 사출되어 휨에 의한 이음새 및 열기로 인한 균열의 염려가 전혀 없고, 동작이 정밀하고 안정적으로 이루어져 배기가스의 누출로 인한 안전사고를 미연에 방지할 수 있는 효과가 있다.
배기조절관체, 회동축봉, 개폐판, 배기량조절판, 배기량조절구
Description
본 고안은 배기구의 배기량 조절장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 반도체 공정시 발생되는 배기가스를 배출하는 다수 개의 공정 배기관 통로에 위치하여 배기가스의 배기량을 손쉽게 조절가능하고, 배기가스의 배기량을 시각적으로 한눈에 식별할 수 있으며, 일체로 사출되어 휨에 의한 이음새 및 열기로 인한 균열의 염려가 전혀 없고, 동작이 정밀하고 안정적으로 이루어져 배기가스의 누출로 인한 안전사고를 미연에 방지할 수 있는 배기구의 배기량 조절장치에 관한 것이다.
일반적으로 반응로를 사용하는 반도체 공정은 반응로 내로 소스 가스를 투입하여 반응을 일으켜서 산화나 확산 등의 소정의 공정을 실시하면서 반응결과 발생되는 배기가스를 반응로 밖으로 배출하는 방식으로 진행된다.
이때, 공정 중에 발생된 배기가스는 반응로 내의 공정진행에 영향을 주므로 적절하게 배출되어야 한다.
이런 반응로를 사용하는 종래의 반도체 제조장치는 다수개의 반응로와 주배기관이 공정배기관을 매개로 연결되어 있어서 반도체 공정진행시 발생되는 배기가 스는 공정배기관을 경유한 후 주배기관을 통하여 외부로 방출된다.
이러한 과정을 거치는 종래의 반도체 제조장치는 다수 개의 반응로에 연결된 각각의 공정 배기관이 하나의 주배기관에 연결되어 배기가스를 배출하기 때문에 각각의 반응로에서 발생되는 배기가스를 충분히 방출할 수 없을 뿐 아니라, 공정 배기관 개개의 배기가스 배출량을 독립적으로 조절하는데 어려움이 있는 문제점이 있었다.
본 고안은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 반도체 공정시 발생되는 배기가스를 배출하는 다수 개의 공정 배기관 통로에 위치하여 배기가스의 배기량을 손쉽게 조절가능하고, 배기가스의 배기량을 시각적으로 한눈에 식별할 수 있으며, 일체로 사출되어 휨에 의한 이음새 및 열기로 인한 균열의 염려가 전혀 없고, 동작이 정밀하고 안정적으로 이루어져 배기가스의 누출로 인한 안전사고를 미연에 방지할 수 있는 배기구의 배기량 조절장치를 제공함에 그 목적이 있다.
이와 같은 목적을 달성하기 위하여, 본 고안은 반도체 공정시 발생되는 배기가스를 배출하는 다수 개의 공정 배기관 통로에 위치하여 배기가스 배출량을 조절하는 배기량 조절장치에 있어서;
원통체로 하단에는 플랜지부가 형성되고, 상단부에는 지름이 외측으로 확장되어 내측으로 관체가 삽입고정되는 삽입확장부가 형성되며, 중심을 전후방측으로 관통되는 회전축공이 형성되되 회전축공 전후방으로는 축지지봉이 돌출형성되고, 후방측 축지지봉은 마개에 의해 밀폐되는 배기조절관체와;
상기 배기조절관체의 전후방측 축지지봉에 삽입되어 회동가능하게 안착되는 원형축으로 전방측 선단에는 사각형상의 끼움돌부가 전방측 축지지봉 선단에서 전방측으로 돌출형성되고, 상기 배기조절관체 내주연에 위치되는 중심부에는 좌우측으로 삽입장공이 길게 형성되는 회동축봉과;
상기 회동축봉의 삽입장공에 삽입되어 상기 배기조절관체의 내주연을 밀폐 또는 개방시키는 원형판체로 일측 상면에는 상기 배기조절관체의 완전개방시 상기 회동축봉의 삽입장공에서 걸림고정되는 걸림돌부가 길게 형성되는 개폐판과;
기립된 원형판체로 후면 중심에는 상기 회동축봉의 끼움돌부가 삽입고정되는 끼움요부가 형성되고, 상부는 상측으로 연장되어 정면에 개방각도표시부가 형성되며, 정면 좌우측에는 상기 회동축봉의 회동에 따른 개폐판의 개폐방향을 표시한 개폐표시부가 형성되는 배기량조절판을 구비하는 특징이 있다.
또한, 상기 배기조절관체의 전방측 축지지봉 상부에는 나사공을 갖는 축봉이 돌출형성되고, 축봉 상부에는 선단에 고정볼부가 돌출된 고정바가 돌출형성되며; 상기 배기량조절판의 상부에는 상기 축봉의 연장선상에서 관통되되 회동궤적 내에서 호형상인 작동장공이 형성되며, 작동장공 상단면에는 기어열이 하부로 돌출형성되고, 상기 개방각도표시부 후면에는 개방각도표시부에 따라 상기 고정바 선단의 고정볼부가 삽입되는 다수 개의 볼홈이 형성되며; 상기 배기량조절판의 작동장공 내에 위치되어 상기 축봉의 나사공 연장선상에 축공을 갖고 상기 기어열과 기어결합되는 공회동기어가 형성되고, 상기 공회동기어의 축공을 통해 상기 나사공에 나사결합되는 나사부를 갖고 축공이 안착되는 공회전부를 갖으며 상기 나사공 내에서 나사부를 나사결합시켜 공회동기어를 축봉 선단에 밀착고정시키는 밀착돌부를 갖는 고정핸들이 형성되는 배기량고정구를 더 구비하여 외부충격으로부터 상기 배기량조절판의 회동을 방지하는 특징이 있다.
이와 같이, 본 고안은 반도체 공정시 발생되는 배기가스를 배출하는 다수 개의 공정 배기관 통로에 위치하여 배기가스의 배기량을 손쉽게 조절가능하고, 배기가스의 배기량을 시각적으로 한눈에 식별할 수 있으며, 일체로 사출되어 휨에 의한 이음새 및 열기로 인한 균열의 염려가 전혀 없고, 동작이 정밀하고 안정적으로 이루어져 배기가스의 누출로 인한 안전사고를 미연에 방지할 수 있는 효과가 있다.
본 고안은 상술한 특정의 바람직한 실시 예에 한정되지 아니하며, 청구범위에서 청구하는 본 고안의 요지를 벗어남이 없이 당해 고안이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 다양한 변형 실시가 가능한 것은 물론이고, 그와 같은 변경은 청구범위 기재의 범위 내에 있게 된다.
이하, 본 고안을 첨부된 도면에 의해 보다 상세하게 설명하면 다음과 같다.
도 1은 본 고안 실시 예인 배기구의 배기량 조절장치의 모습을 보인 사시도이고, 도 2는 본 고안 실시 예인 배기구의 배기량 조절장치의 체결모습을 보인 분리 사시도이며, 도 3은 본 고안 실시 예인 배기구의 배기량 조절장치의 모습을 보인 요부확대 측단면도이고, 도 4a는 본 고안 실시 예인 배기구의 배기량 조절장치의 개폐판이 닫힌 모습을 보인 정면도이며, 도 4b는 본 고안 실시 예인 배기구의 배기량 조절장치의 개폐판이 닫힌 모습을 보인 평면도이고, 도 5a는 본 고안 실시 예인 배기구의 배기량 조절장치의 개폐판이 열린 모습을 보인 정면도이며, 도 5b는 본 고안 실시 예인 배기구의 배기량 조절장치의 개폐판이 열린 모습을 보인 평면도이고, 도 6은 본 고안 실시 예인 배기구의 배기량 조절장치의 배기량조절판의 후면 모습을 보인 사시도이다.
참고로 본 고안을 설명함에 있어 관련된 공지 기능 또는 구성에 대한 구체적인 설명이 본 고안의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단될 경우에는 그 상세한 설명을 생략하였다.
또한, 후술되는 용어들은 본 고안에서의 기능을 고려하여 정의된 용어들로서 이는 사용자, 운영자의 의도 또는 관례 등에 따라 달라질 수 있다.
그러므로, 그 정의는 본 명세서 전반에 걸친 내용을 토대로 내려져야 할 것임은 물론이다.
본 고안 배기구의 배기량 조절장치는, 다수 개의 공정 배기관 통로에 위치하여 관결합되는 배기조절관체(10)와, 배기조절관체(10) 중심을 관통하는 회동축봉(20)과, 회동축봉(20)에 고정되어 배기조절관체(10) 내주연을 개폐하는 개폐판(30)과, 회동축봉(20) 선단이 축결합되어 좌우측으로 회동시킴으로써 개폐판(30)을 축회동시키는 배기량조절판(40)과, 배기량조절판(40)의 회동을 방지시키는 배기량고정구(50)로 구성된다.
상기 배기조절관체(10)는 다수 개의 공정 배기관 통로에 위치하여 관결합되는 원통체로, 하단에는 플랜지부(11)가 형성되고, 상단부에는 지름이 외측으로 확장되어 내측으로 다른 관체가 삽입고정되는 삽입확장부(12)가 형성되며, 중심부에 중심을 전후방측으로 관통되는 회전축공(13a)이 형성되되 회전축공(13a) 전후방으로는 축지지봉(13,13')이 각각 돌출형성되고, 후방측 축지지봉(13')은 마개(13'a)에 의해 밀폐되며, 전방측 축지지봉(13) 상부에는 나사공(14a)을 갖는 축봉(14)이 축지지봉(13)과 동일한 길이로 돌출형성되고, 축봉(14) 상부에는 선단에 고정볼부(15a)가 돌출된 고정바(15)가 축봉(14) 길이만큼 돌출형성된다.
상기 회동축봉(20)은 상기 배기조절관체(10)의 전후방측 축지지봉(13,13')에 삽입되어 회동가능하게 안착되는 원형축으로, 전방측 선단에는 사각형상의 끼움돌부(22)가 전방측 축지지봉(13) 선단에서 전방측으로 더 돌출형성되고, 상기 배기조절관체(10) 내주연에 위치되는 중심부에는 좌우측으로 삽입장공(21)이 길게 형성된다.
상기 개폐판(30)은 상기 회동축봉(20)의 삽입장공(21)에 삽입되어 상기 배기조절관체(10)의 내주연을 밀폐 또는 개방시키는 원형판체로, 일측 상면에는 상기 배기조절관체(10)의 완전개방시 수직을 이루는 개폐판(30) 상기 회동축봉(20)의 삽입장공(21)에서 걸림고정되는 걸림돌부(31)가 길게 형성된다.
상기 배기량조절판(40)은 회동축봉(20) 선단이 축결합되어 좌우측으로 회동시킴으로써 개폐판(30)을 축회동시키는 배기조절관체(10) 내주연을 개폐시키는 기립된 원형판체로, 후면 중심에는 상기 회동축봉(20)의 끼움돌부(22)가 삽입고정되는 끼움요부(46)가 형성되고, 상부에는 상기 축봉(14)의 연장선상에서 관통되되 회동궤적 내에서 호형상인 작동장공(44)이 형성되며, 작동장공(44) 상단면에는 기어열(45)이 하부로 돌출형성되고, 작동장공(44) 상부에는 상부로 연장되어 정면에 개방각도표시부(43)가 형성되며, 개방각도표시부(43) 후면에는 개방각도표시부(43)의 0도에서 90도까지 지정각도에 따라 상기 고정바(15) 선단의 고정볼부(15a)가 삽입되는 다수 개의 볼홈(42)이 형성되고, 정면 좌우측에는 상기 회동축봉(20)의 회동 에 따른 개폐판(30)의 개폐방향을 표시한 개폐표시부(41)가 "close"(닫음)과 "open(열림)"으로 형성되며, 외주연에는 마찰돌부(47)가 다 수개 돌출형성되어 회동시 미끄러짐을 방지한다.
상기 배기량고정구(50)는 배기량조절판(40)의 회동을 방지시키는 것으로, 상기 배기량조절판(40)의 작동장공(44) 내에 위치되어 상기 축봉(14)의 나사공(14a) 연장선상에 축공(56)을 갖고 상기 기어열(45)과 기어결합되는 공회동기어(55)가 형성되고, 상기 공회동기어(55)의 축공(56)을 통해 상기 나사공(14a)에 나사결합되는 나사부(54)를 갖고 축공(56)이 안착되어 회동되는 공회전부(53)를 갖으며 상기 나사공(14a) 내에서 나사부(54)를 나사결합시켜 공회동기어(55)를 축봉(14) 선단에 밀착고정시키는 밀착돌부(52)를 갖는 고정핸들(51)이 형성된다.
이와 같은 본 고안은, 다수 개의 공정 배기관 통로에 배기조절관체(10)를 관결합시키기 전에 먼저, 배기조절관체(10)의 축지지봉(13,13')을 통해 회동축봉(20)을 삽입시키되, 배기조절관체(10) 내주연에서 회동축봉(20)의 삽입장공(21)으로 개폐판(30)을 삽입시켜 걸림고정시킨다.
이 상태에서 후방측 축지지봉(13')을 마개(13'a)로 막아 고정시키고, 삽입장공(21) 선단의 끼움돌부(22)에 배기량조절판(40)의 끼움요부(46)를 끼움결합시킨다.
그 다음, 배기량조절판(40)의 작동장공(44)을 통해서 공회동기어(55)를 기어열(45)에 기어결합시킨 상태에서 고정핸들(51)의 나사부(54)를 공회동기어(55)의 축공(56)을 통해서 축봉(14)의 나사공(14a)에 헐겁게 나사결합시킨다.
이 상태에서 배기량조절판(40)을 개폐표시부(41)의 방향에 따라 적절한 방향으로 공정 배기관에서 요구하는 배기량만큼 회동시켜 개폐판(30)이 배기조절관체(10) 내주연에서 적당한 각도에 위치되도록 한 다음, 배기량고정구(50)의 고정핸들(51)을 시계방향으로 더욱 회동시킴으로써 나사부(54)를 축봉(14)의 나사봉(14a) 내에서 나사결합시키면서 고정핸들(51)의 밀착돌부(52) 선단이 공회전부(53)에 회동가능하게 축결합된 공회동기어(55)를 축봉(14) 선단면으로 밀어 밀착시킴으로써 고정핸들(51)의 회동은 멈춰져 고정되고, 고정핸들(51)에 고정된 공회동기어(55)와 기어결합된 기어열(45)을 갖는 배기량조절판(40)은 공회동기어(55)에 의해서 고정된다.
이 상태에서 배기량조절판(40)은 외부충격이나 부주의에 의해서 회동되지 아니하고, 개폐판(30)의 개폐상태를 지속적으로 유지하게 된다.
도 1은 본 고안 실시 예인 배기구의 배기량 조절장치의 모습을 보인 사시도,
도 2는 본 고안 실시 예인 배기구의 배기량 조절장치의 체결모습을 보인 분리 사시도,
도 3은 본 고안 실시 예인 배기구의 배기량 조절장치의 모습을 보인 요부확대 측단면도,
도 4a는 본 고안 실시 예인 배기구의 배기량 조절장치의 개폐판이 닫힌 모습을 보인 정면도,
도 4b는 본 고안 실시 예인 배기구의 배기량 조절장치의 개폐판이 닫힌 모습을 보인 평면도,
도 5a는 본 고안 실시 예인 배기구의 배기량 조절장치의 개폐판이 열린 모습을 보인 정면도,
도 5b는 본 고안 실시 예인 배기구의 배기량 조절장치의 개폐판이 열린 모습을 보인 평면도,
도 6은 본 고안 실시 예인 배기구의 배기량 조절장치의 배기량조절판의 후면 모습을 보인 사시도.
*도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명*
10 : 배기조절관체 11 : 플랜지부
12 : 삽입확장부 13,13' : 축지지봉
13a : 회전축공 13'a : 마개
14 : 축봉 14a : 나사공
15 : 고정바 15a : 고정볼부
20 : 회동축봉 21 : 삽입장공
22 : 끼움돌부 30 : 개폐판
31 : 걸림돌부 40 : 배기량조절판
41 : 개폐표시부 42 : 볼홈
43 : 개방각도표시부 44 : 작동장공
45 : 기어열 46 : 끼움요부
47 : 마찰돌부 50 : 배기량고정구
51 : 고정핸들 52 : 밀착돌부
53 : 공회전부 54 : 나사부
55 : 공회동기어 56 : 축공
Claims (2)
- 반도체 공정시 발생되는 배기가스를 배출하는 다수 개의 공정 배기관 통로에 위치하여 배기가스 배출량을 조절하는 배기량 조절장치에 있어서;원통체로 하단에는 플랜지부가 형성되고, 상단부에는 지름이 외측으로 확장되어 내측으로 관체가 삽입고정되는 삽입확장부가 형성되며, 중심을 전후방측으로 관통되는 회전축공이 형성되되 회전축공 전후방으로는 축지지봉이 돌출형성되고, 후방측 축지지봉은 마개에 의해 밀폐되는 배기조절관체와;상기 배기조절관체의 전후방측 축지지봉에 삽입되어 회동가능하게 안착되는 원형축으로 전방측 선단에는 사각형상의 끼움돌부가 전방측 축지지봉 선단에서 전방측으로 돌출형성되고, 상기 배기조절관체 내주연에 위치되는 중심부에는 좌우측으로 삽입장공이 형성되는 회동축봉과;상기 회동축봉의 삽입장공에 삽입되어 상기 배기조절관체의 내주연을 밀폐 또는 개방시키는 원형판체로 일측 상면에는 상기 배기조절관체의 완전개방시 상기 회동축봉의 삽입장공에서 걸림고정되는 걸림돌부가 형성되는 개폐판과;기립된 원형판체로 후면 중심에는 상기 회동축봉의 끼움돌부가 삽입고정되는 끼움요부가 형성되고, 상부는 상측으로 연장되어 정면에 개방각도표시부가 형성되며, 정면 좌우측에는 상기 회동축봉의 회동에 따른 개폐판의 개폐방향을 표시한 개폐표시부가 형성되는 배기량조절판을 구비하는 배기구의 배기량 조절장치.
- 제 1 항에 있어서;상기 배기조절관체의 전방측 축지지봉 상부에는 나사공을 갖는 축봉이 돌출형성되고, 축봉 상부에는 선단에 고정볼부가 돌출된 고정바가 돌출형성되며;상기 배기량조절판의 상부에는 상기 축봉의 연장선상에서 관통되되 회동궤적 내에서 호형상인 작동장공이 형성되며, 작동장공 상단면에는 기어열이 하부로 돌출형성되고, 상기 개방각도표시부 후면에는 개방각도표시부에 따라 상기 고정바 선단의 고정볼부가 삽입되는 다수 개의 볼홈이 형성되며;상기 배기량조절판의 작동장공 내에 위치되어 상기 축봉의 나사공 연장선상에 축공을 갖고 상기 기어열과 기어결합되는 공회동기어가 형성되고, 상기 공회동기어의 축공을 통해 상기 나사공에 나사결합되는 나사부를 갖고 축공이 안착되는 공회전부를 갖으며 상기 나사공 내에서 나사부를 나사결합시켜 공회동기어를 축봉 선단에 밀착고정시키는 밀착돌부를 갖는 고정핸들이 형성되는 배기량고정구를 더 구비하여 외부충격으로부터 상기 배기량조절판의 회동을 방지하는 것을 특징으로 하는 배기구의 배기량 조절장치.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR2020070018871U KR200440005Y1 (ko) | 2007-11-23 | 2007-11-23 | 배기구의 배기량 조절장치 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR2020070018871U KR200440005Y1 (ko) | 2007-11-23 | 2007-11-23 | 배기구의 배기량 조절장치 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR200440005Y1 true KR200440005Y1 (ko) | 2008-05-20 |
Family
ID=41638729
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR2020070018871U KR200440005Y1 (ko) | 2007-11-23 | 2007-11-23 | 배기구의 배기량 조절장치 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR200440005Y1 (ko) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| KR200478718Y1 (ko) | 2014-05-19 | 2015-11-10 | 이병호 | 반도체 제조 공정용 공압조절 배기활성장치 |
| KR20200095235A (ko) * | 2019-01-31 | 2020-08-10 | 박영신 | 반도체 설비용 배기댐퍼 |
-
2007
- 2007-11-23 KR KR2020070018871U patent/KR200440005Y1/ko not_active IP Right Cessation
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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