KR101261974B1 - 역류방지 밸브 - Google Patents

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KR101261974B1
KR101261974B1 KR1020110009918A KR20110009918A KR101261974B1 KR 101261974 B1 KR101261974 B1 KR 101261974B1 KR 1020110009918 A KR1020110009918 A KR 1020110009918A KR 20110009918 A KR20110009918 A KR 20110009918A KR 101261974 B1 KR101261974 B1 KR 101261974B1
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Abstract

본 발명은 반도체 및 LCD 등의 반도체 제조공정 또는 화학제품 제조 공정 및 기계를 포함한 일반산업 시설 등에 적용되는 일정한 압력을 유지하거나 가스 등의 유체의 흐름을 순방향으로 유지하기 위한 배관 시스템에서 갑작스런 대기 유입이나 유체의 역방향 흐름이 발생하였을 때 신속하게 차단하여 방지할 수 있는 역류방지 밸브에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 그 구조가 간단하고, 수직 방향 이외(수평 또는 경사 방향)의 설치 환경에서도 압력 차단이 원활히 수행할 수 있으며, 또한 장기간 사용시 탄성부재의 탄성피로로 인한 탄성력 저하를 최소화하게 하여 보다 확실한 역류방지 및 내구성을 향상시킨 역류방지 밸브에 관한 것이다.
본 발명은 유체가 흐르지 않을 경우 또는 유체 유입부로 상기 유체가 순방향으로 흐를 경우 탄성부재의 부세없이 유체통로가 형성되고, 상기 유체가 역방향으로 흐를 경우 역방향 유압에 의하여 상기 탄성부재를 부세하여 차단판이 상기 유체 유입부의 유체 유입구를 폐쇄하는 것을 특징으로 한다.

Description

역류방지 밸브 {Back Stream Protection Valve}
본 발명은 반도체 및 LCD 등의 반도체 제조공정 또는 화학제품 제조 공정 등에 적용되는 일정한 압력을 유지하거나 가스 등의 유체의 흐름을 순방향으로 유지하기 위한 배관 시스템에서 갑작스런 대기 유입이나 유체의 역방향 흐름이 발생하였을 때 신속하게 차단하여 방지할 수 있는 역류방지 밸브에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 그 구조가 간단하고, 수직 방향 이외(수평 또는 경사 방향)의 설치 환경에서도 압력 차단이 원활히 수행할 수 있고, 또한 기존 가스 배관에서 역압 방지용으로 사용되던 체크 밸브를 대체하여 적용될 수 있으며, 장기간 사용시 탄성부재의 탄성피로로 인한 탄성력 저하를 최소화하게 하여 보다 확실한 역류방지 및 내구성을 향상시킨 역류방지 밸브에 관한 것이다.
반도체 및 LCD 등의 반도체 제조공정 또는 화학제품 제조 공정 및 기계를 포함한 일반적인 산업 등에 적용되는 역류방지 밸브는 일정한 압력을 유지하거나 가스 등의 유체의 흐름을 순방향으로 유지하기 위한 배관 시스템에서 갑작스런 대기 유입이나 유체의 역방향 흐름이 발생 하였을 때 차단판을 사용하여 신속하게 차단하여 방지할 수 있는 역할을 한다.
종래의 역류방지 밸브는 특허등록 제706661호에 개시된 바와 같이 역류 방지를 위한 차단판이 중력에 의하여 작용되도록 하고 있어 중력 방향 즉 수직 방향의 배관에 국한되어 사용되었고, 그 내부구조 또한 복잡하게 구성되었다.
상기 종래의 역류방지 밸브는 주로 진공 펌프 위에 수직 방향으로 설치되어 사용되며 그 사용 범위가 극히 제한되었고, 차단판이 부양하여 차단하는 압력의 인위적 조절이 불가능하다는 문제점이 있었다.
한편, 기존의 체크 밸브는 스프링에 의해 차단판이 고정 차단되기 때문에 유체 흐름이 순 방향일 때 항상 스프링을 반복적으로 사용되기 때문에 장기간의 사용 과정에서 탄성부재의 탄성피로로 인한 탄성력 저하로 인하여 차단성이 떨어져 역압방지를 제대로 할 수 없는 문제점이 있었다,
본 발명은 상기와 같은 종래기술의 문제점을 해소하기 위하여 창안된 것으로서, 본 발명은 반도체 및 LCD 등의 반도체 제조공정 또는 화학제품 제조 공정 및 기계를 포함한 산업시설 등에 적용되는 일정한 압력을 유지하거나 가스 등의 유체의 흐름을 순방향으로 유지하기 위한 배관 시스템에서 갑작스런 대기 유입이나 유체의 역방향 흐름이 발생 하였을 때 신속하게 차단하여 방지할 수 있는 역류방지 밸브에 관한 것으로서, 그 내부 구조를 간단하게 하고, 수직 방향 이외(수평 또는 경사 방향)의 설치 환경에서도 압력 차단이 원활히 수행할 수 있으며, 또한 장기간 사용시 탄성부재의 탄성피로로 인한 탄성력 저하를 최소화하게 하여 보다 확실한 역류방지 및 내구성을 향상시킨 역류방지 밸브를 제공하는데 있다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 역류방지 밸브는 유체가 유입되는 방향으로 일정 길이를 가지는 유체 유입부가 형성된 유입부 커버와, 유체가 유출되는 방향으로 일정길이를 가지는 유체 유출부가 형성된 유출부 커버와, 상기 유입부 커버와 상기 유출부 커버 사이에 공간부가 형성되도록 측벽부로 구성된 원통형 형상으로 되어 유체의 역방향 흐름을 차단하는 역류방지 밸브에 있어서, 상기 일정 길이를 가지는 유체 유입부의 내경부에 탄성부재의 일단부를 고정 설치하고, 상기 탄성부재의 타단부는 상기 공간부에서 상기 유체 유입부의 내경보다 큰 직경을 가지는 판상의 차단판을 상기 유입부 커버와 간격을 두어 유체 통로를 형성하게 고정 설치하여, 상기 유체가 역방향으로 흐를 경우 역방향 유압에 의하여 상기 차단판이 상기 유체 유입부 방향으로 밀려 상기 유체 유입부를 폐쇄하면서 상기 탄성부재가 압축 부세되고, 상기 유체가 순방향으로 흐를 경우 상기 탄성부재의 압축부세가 풀리는 것에 의하여 상기 차단판이 상기 유체 유출부 방향으로 밀려 상기 차단판과 상기 유입부 커버 사이에 간격이 생겨 상기 간격에 의하여 유체 통로가 형성되도록 한 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명은 상기 유체 유입부의 내부에 단턱이 형성된 돌기를 형성하여 상기 탄성부재를 상기 유체 유입부의 내부에 삽입할 때 상기 탄성부재의 단부가 상기 돌기를 통과한 뒤 상기 돌기의 단턱에 걸려 상기 유체 유입부의 내부에 고정 설치되게 한 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명은 상기 탄성부재의 타단부에 차단판를 접착제, 고리, 용접 중 어느 하나의 방법으로 고정 설치하게 한 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명은 상기 탄성부재는 스프링 또는 벨로우즈인 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명은 상기 유입부 커버에서 상기 차단판과 맞닿는 부위에 오링을 설치하여 상기 차단판이 상기 유체 유입부를 폐쇄할 때 기밀을 유지하도록 한 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명은 유체가 유입되는 방향으로 일정 길이를 가지는 유체 유입부가 형성된 유입부 커버와, 유체가 유출되는 방향으로 일정길이를 가지는 유체 유출부가 형성된 유출부 커버와, 상기 유입부 커버와 상기 유출부 커버 사이에 공간부가 형성되도록 측벽부로 구성된 원통형 형상으로 되어 유체의 역방향 흐름을 차단하는 역류방지 밸브에 있어서, 상기 일정 길이를 가지는 유체 유출부의 내경부에 탄성부재의 일단부를 고정 설치하고, 상기 탄성부재의 타단부는 상기 공간부에서 상기 유체 유출부의 내경보다 큰 직경을 가지는 판상의 차단판을 상기 유출부 커버와 간격을 두어 유체 통로를 형성하게 고정 설치하여, 상기 유체가 역방향으로 흐를 경우 역방향 유압에 의하여 상기 차단판이 상기 유체 유출부 방향으로 밀려 상기 유체 유출부를 폐쇄하면서 상기 탄성부재가 압축 부세되고, 상기 유체가 순방향으로 흐를 경우 상기 탄성부재의 압축부세가 풀리는 것에 의하여 상기 차단판이 상기 유체 유입부 방향으로 밀려 상기 차단판과 상기 유출부 커버 사이에 간격이 생겨 상기 간격에 의하여 유체 통로가 형성되도록 한 것을 특징으로 한다.
삭제
본 발명에 따른 역류방지 밸브는 현재 사용되고 있는 역류방지 밸브에 반해 간단한 구조로 구성되며, 다양한 배관구조(다양한 규격, 수평, 기울기)에 손쉽게 적용 하여 장착범위의 확대와 차단 압력을 조절해 사용 범위를 확대하여 그 적용을 극대화할 수 있는 효과가 있다.
또한, 본 발명은 유체가 순방향으로 흐를 경우 탄성부재의 부세없이 유체통로가 형성되도록 함으로써. 장기간 사용시 탄성부재의 탄성피로로 인한 탄성력 저하를 최소화하여 보다 확실한 역류방지 및 내구성을 향상시킬 수 있는 효과가 있다.
또한, 본 발명은 상기 유체의 역방향 흐름을 차단하는 차단 압력이 탄성부재에 부착된 차단판의 무게 또는/및 탄성부재의 탄성력으로 조정할 수 있게 함으로써 차단 압력을 인위적으로 조절할 수 있는 효과가 있다.
또한, 본 발명은 원통형 밸브 형상을 유지하기 때문에 외부 히팅의 용이성을 가질 수 있으므로 공정 시 발생되는 파티클을 히팅하여 기화시켜 밸브내 파티클 적재를 피할 수 있는 효과가 있다.
도 1은 본 발명에 따른 역류방지 밸브의 제1 실시예 외관도
도 2는 도 1에 도시된 역류방지 밸브의 분해 사시도
도 3은 도 1에 도시된 역류방지 밸브의 단면도
도 4의 (a) 및 (b)는 도 3에서의 유체 흐름도
도 5는 도 1의 역류방지 밸브가 적용된 시스템 외관도
도 6의 (a) 및 (b)는 본 발명에 따른 역류방지 밸브의 제2 실시예
도 7의 (a) 및 (b)는 본 발명에 따른 역류방지 밸브의 제3 실시예
도 8의 (a) 및 (b)는 본 발명에 따른 역류방지 밸브의 제4 실시예
도 9의 (a) 및 (b)는 본 발명에 따른 역류방지 밸브의 제5 실시예
이하, 본 발명에 따른 역류방지 밸브에 대하여 첨부된 도면을 참고로 구체적으로 설명하면 다음과 같다.
우선 본 발명에 따른 역류방지 밸브의 제1 실시예를 도시하고 있는 도 1 내지 도 5를 참고로 본 발명에 따른 역류방지 밸브의 기술 내용을 설명하면 다음과 같다.
본 발명에 따른 역류방지 밸브는 반도체 및 LCD 등의 반도체 제조공정 또는 화학제품 제조 공정 등에 적용되는 일정한 압력을 유지하거나 가스 등의 유체의 흐름을 순방향으로 유지하기 위한 배관 시스템에서 갑작스런 대기 유입이나 유체의 역방향 흐름이 발생 하였을 때 신속하게 차단하여 방지할 수 있는 역류방지 밸브로서, 도 5에 도시된 바와 같이 진공 펌프(60)에 연결된 배관(61)과 제조 공정에 연결된 배관(62)사이에 설치되어 유체가 역방향으로 작용될 때 차단하는 역류방지 밸브(100)이다.
상기 역류방지 밸브(100)는 도 1 내지 도 4에 도시된 바와 같이 유체가 유입되는 유체 유입부(10)와, 유체가 유출되는 유체 유출부(20)와, 상기 유체 유입부(10)와 유체 유출부(20) 사이에 상기 유체가 통과하는 공간이 형성된 공간부(30)로 구성되고, 상기 유체 유입부(10)의 내부에 탄성부재(40)의 일단부를 고정 설치하고, 상기 탄성부재(40)의 타단부는 상기 공간부(30)에 배치되어 상기 유체 유입부(10)의 내경보다 큰 직경을 가지는 차단판(50)을 상기 유체 유입부와 간격을 두어 유체 통로를 형성하게 고정 설치되어 있다.
상기 유체 유입부(10)는 그 내부에 유체가 유입될 수 있는 유체 유입구(11)가 형성되어 있고 그 단부에는 배관(62)과 고정 결합하기 위한 플렌지가 형성되어 있다. 상기 유체 유출부(20)는 그 내부에 유체가 유출될 수 있는 유체 유출구(21)가 형성되어 있고 그 단부에는 배관(61)과 고정 결합하기 위한 플렌지가 형성되어 있다.
상기 공간부(30)은 유체가 유입되는 방향으로 일정 길이를 가지는 유체 유입부(10)가 형성된 유입부 커버(31)와, 유체가 유출되는 방향으로 일정길이를 가지는 유체 유출부(20)가 형성된 유출부 커버(32)와, 상기 유입부 커버(31)와 상기 유출부 커버(32) 사이에 측벽부(33)에 의하여 형성된 공간으로서 원통형 형상을 가진다. 원통형 밸브 형상을 가질 경우 외부 히팅의 용이성을 가질 수 있으므로 공정 시 발생되는 파티클을 히팅하여 기화시켜 밸브 내 파티클 적재를 피할 수 있다.
상기 공간부(30)는 조립의 용이 및 부품을 절감하기 위하여 상기 유입부 커버(31)는 상기 유체 유입부(10)와 일체로 형성되고, 상기 측벽부(33)와 유출부 커버(32)는 상기 유체 유출부(20)와 일체로 형성하는 것이 바람직하다.
상기 유입부 커버(31)와 상기 유체 유입부(10)가 일체로 형성된 부품과, 상기 측벽부(33)와 유출부 커버(32) 및 상기 유체 유출부(20)가 일체로 형성된 부품을 나사(34)에 의하여 조립된다. 이 때 긴밀한 기밀을 위하여 오링(36)을 설치한다.
상기 유체 유입부(10)의 내부에 상기 탄성부재(40)의 일단부를 용이하게 고정 설치하기 위하여 상기 유체 유입부(10)의 내부에 단턱이 형성된 돌기(12)를 형성하여 상기 탄성부재(40)를 상기 유체 유입부(10)의 내부에 삽입할 때 상기 탄성부재(40)의 단부가 상기 돌기(12)를 통과한 뒤 상기 돌기(12)의 단턱에 걸려 상기 유체 유입부(10)의 내부에 고정 설치되게 한다. 상기 돌기(12)는 상기 탄성부재(40)를 상기 유체 유입부(10)의 내부에 삽입할 때 보다 용이하게 설치하기 위하여 역삼각형 또는 원형의 형상을 가지게 할 수 있다. 상기 탄성부재(40)를 상기 유체 유입부(10)의 내부에 고정 설치하기 위하여 상기 돌기(12)를 형성하지 않고 용접 또는 본딩 방법으로 고정 설치하게도 할 수 있다.
상기 탄성부재(40)는 도면에서는 스프링을 사용한 것으로 도시하고 있지만 직선 방향으로 탄성을 가지는 벨로우즈 등과 같은 탄성부재를 할 수도 있다.
상기 탄성부재(40)의 타단부에 상기 차단판(50)을 고정 설치하기 위하여 접착제, 고리, 용접 중 어느 하나의 방법으로 고정 설치하게 한다.
상기 유체가 역방향으로 흐를 경우 역방향 유압에 의하여 상기 탄성부재를 부세하여 상기 차단판(50)이 상기 유체 유입부의 유체 유입구를 폐쇄될 때 보다 긴밀한 기밀을 유지하기 위하여 상기 공간부(30)에서 상기 차단판(40)이 설치된 부분의 외주연에 오링(35)을 설치하는 것이 바람직하다.
상기와 같은 구조에서 도 4 (a)에 도시된 바와 같이 상기 유체가 흐르지 않을 경우(평상시) 또는 상기 유체 유입부(10)로 상기 유체가 순방향으로 흐를 경우 상기 탄성부재의 부세없이 상기 간격에 의하여 유체통로가 형성된다.
한편, 도 4 (b)에 도시된 바와 같이 배관 시스템에서 갑작스런 대기 유입이나 유체의 역방향 흐름이 발생하여 상기 유체가 역방향으로 흐를 경우 역방향 유압에 의하여 상기 탄성부재(40)를 부세하여 상기 차단판(50)이 상기 유체 유입부(10)의 유체 유입구(11)가 폐쇄된다.
이와 같이 상기 유체가 흐르지 않을 경우(평상시) 또는 상기 유체 유입부(10)로 상기 유체가 순방향으로 흐를 경우인 대부분의 경우 상기 탄성부재(40)가 부세가 되지 않으므로 탄성피로로 인한 탄성력 저하가 발생하지 않는다.
상기 차단판(50)이 상기 유체의 역방향 흐름을 차단하는 차단 압력은 상기 차단판(50)의 두께 또는 직경의 크기, 즉 상기 차단판(50)의 무게로 조정할 수 있다.
도 6의 (a) 및 (b)는 본 발명에 따른 역류방지 밸브의 제2 실시예를 도시한 것으로서, 본 발명의 제2 실시예는 상기 유체 유입부(10)와 상기 유체 유출부(20)를 나사 결합에 의하여 조립하고 상기 유체 유입부(10)와 상기 유체 유출부(20) 사이에 공간부(30)을 형성하게 한 것이다. 도 6 (a)는 상기 유체가 흐르지 않을 경우(평상시) 또는 상기 유체 유입부(10)로 상기 유체가 순방향으로 흐를 경우 유체의 흐름을 도시한 것이고, 도 6 (b)는 배관 시스템에서 갑작스런 대기 유입이나 유체의 역방향 흐름이 발생하여 상기 유체가 역방향으로 흐를 경우 유체의 흐름을 도시한 것이다. 제2 실시예는 공간부의 구조만 상이할 뿐 그 외에 상기 유체를 차단하기 위하여 상기 유체 유입부(10)에 설치되는 차단판(50)의 구조 및 작동 원리는 상기 제1 실시예와 동일하다.
도 7의 (a) 및 (b)는 본 발명에 따른 역류방지 밸브의 제3 실시예를 도시한 것으로서, 본 발명의 제3 실시예는 상기 유체 유출부(20)에 상기 제1 실시예와 동일한 구조의 상기 유체 유입부(10), 유체 유출부(20), 공간부(30), 탄성부재(40) 및 차단판(50)을 더 부가하여 설치한 것이다. 도 7 (a)는 상기 유체가 흐르지 않을 경우(평상시) 또는 상기 유체 유입부(10)로 상기 유체가 순방향으로 흐를 경우 유체의 흐름을 도시한 것이고, 도 7 (b)는 배관 시스템에서 갑작스런 대기 유입이나 유체의 역방향 흐름이 발생하여 상기 유체가 역방향으로 흐를 경우 유체의 흐름을 도시한 것이다. 제3 실시예에서 상기 유체를 차단하기 위하여 상기 유체 유입부(10)에 설치되는 상기 차단판(50)의 구조 및 작동 원리는 상기 제1 실시예와 동일하다.
도 8의 (a) 및 (b)는 본 발명에 따른 역류방지 밸브의 제4 실시예를 도시한 것으로서, 본 발명의 제4 실시예는 유체 유출부(20)의 내부에 탄성부재(40)를 설치하고 상기 탄성부재(40)의 타단부에 차단판(50)를 설치한 것이다. 도 8 (a)는 상기 유체가 흐르지 않을 경우(평상시) 또는 상기 유체 유입부(10)로 상기 유체가 순방향으로 흐를 경우 유체의 흐름을 도시한 것이고, 도 8 (b)는 배관 시스템에서 갑작스런 대기 유입이나 유체의 역방향 흐름이 발생하여 상기 유체가 역방향으로 흐를 경우 유체의 흐름을 도시한 것이다. 제4 실시예는 상기 유체를 차단하기 위하여 상기 유체 유출부(20)에 상기 차단판(50)을 설치한 것 이외에 상기 차단판(50)의 구조 및 작동 원리는 상기 제1 실시예와 동일하다.
도 9의 (a) 및 (b)는 본 발명에 따른 역류방지 밸브의 제5 실시예를 도시한 것으로서, 본 발명의 제5 실시예는 상기 유체 유입부(10)와 상기 유체 유출부(20)를 나사 결합에 의하여 조립하고 상기 유체 유입부(10)와 상기 유체 유출부(20) 사이에 공간부(30)을 형성하게 하며, 유체 유출부(20)의 내부에 탄성부재(40)를 설치하고 상기 탄성부재(40)의 타단부에 차단판(50)를 설치한 것이다. 도 9 (a)는 상기 유체가 흐르지 않을 경우(평상시) 또는 상기 유체 유입부(10)로 상기 유체가 순방향으로 흐를 경우 유체의 흐름을 도시한 것이고, 도 9 (b)는 배관 시스템에서 갑작스런 대기 유입이나 유체의 역방향 흐름이 발생하여 상기 유체가 역방향으로 흐를 경우 유체의 흐름을 도시한 것이다. 제5 실시예는 상기 유체를 차단하기 위하여 상기 유체 유출부(20)에 상기 차단판(50)을 설치한 것과 공간부의 구조가 상이할 뿐 그 외에 상기 차단판(50)의 구조 및 작동 원리는 상기 제1 실시예와 동일하다.
상기 본 발명에 따른 역류방지 밸브에 대한 제1 내지 제5 실시예 모두는 그 내부 구조를 간단하고, 수직 방향 이외(수평 또는 경사 방향)의 설치 환경에서도 압력 차단이 원활히 수행할 수 있으며, 또한 장기간 사용시 탄성부재의 탄성피로로 인한 탄성력 저하를 최소화하게 하여 보다 확실한 역류방지 및 내구성을 향상시킬 수 있는 이점이 있다.
10: 유체 유입부 11: 유체 유입구
12: 돌기 20: 유체 유출부
21: 유체 유출구 30: 공간부.
31: 유입부 커버 32: 유출부 커버
33: 측벽부 34: 나사
35, 36: 오링 40: 탄성부재
50: 차단판 60: 진공 펌프
61, 62: 배관 100: 역류방지 밸브

Claims (7)

  1. 유체가 유입되는 방향으로 일정 길이를 가지는 유체 유입부가 형성된 유입부 커버와, 유체가 유출되는 방향으로 일정길이를 가지는 유체 유출부가 형성된 유출부 커버와, 상기 유입부 커버와 상기 유출부 커버 사이에 공간부가 형성되도록 측벽부로 구성된 원통형 형상으로 되어 유체의 역방향 흐름을 차단하는 역류방지 밸브에 있어서,
    상기 일정 길이를 가지는 유체 유입부의 내경부에 탄성부재의 일단부를 고정 설치하고, 상기 탄성부재의 타단부는 상기 공간부에서 상기 유체 유입부의 내경보다 큰 직경을 가지는 판상의 차단판을 상기 유입부 커버와 간격을 두어 유체 통로를 형성하게 고정 설치하여,
    상기 유체가 역방향으로 흐를 경우 역방향 유압에 의하여 상기 차단판이 상기 유체 유입부 방향으로 밀려 상기 유체 유입부를 폐쇄하면서 상기 탄성부재가 압축 부세되고,
    상기 유체가 순방향으로 흐를 경우 상기 탄성부재의 압축부세가 풀리는 것에 의하여 상기 차단판이 상기 유체 유출부 방향으로 밀려 상기 차단판과 상기 유입부 커버 사이에 간격이 생겨 상기 간격에 의하여 유체 통로가 형성되도록 한 것
    을 특징으로 하는 역류방지 밸브.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 유체 유입부의 내부에 단턱이 형성된 돌기를 형성하여 상기 탄성부재를 상기 유체 유입부의 내부에 삽입할 때 상기 탄성부재의 단부가 상기 돌기를 통과한 뒤 상기 돌기의 단턱에 걸려 상기 유체 유입부의 내부에 고정 설치되게 한 것
    을 특징으로 하는 역류방지 밸브.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 탄성부재의 타단부에 상기 차단판를 접착제, 고리, 용접 중 어느 하나의 방법으로 고정 설치하게 한 것
    을 특징으로 하는 역류방지 밸브.
  4. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 탄성부재는 스프링 또는 벨로우즈인 것
    을 특징으로 하는 역류방지 밸브.
  5. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 유입부 커버에서 상기 차단판과 맞닿는 부위에 오링을 설치하여 상기 차단판이 상기 유체 유입부를 폐쇄할 때 기밀을 유지하도록 한 것
    을 특징으로 하는 역류방지 밸브.
  6. 유체가 유입되는 방향으로 일정 길이를 가지는 유체 유입부가 형성된 유입부 커버와, 유체가 유출되는 방향으로 일정길이를 가지는 유체 유출부가 형성된 유출부 커버와, 상기 유입부 커버와 상기 유출부 커버 사이에 공간부가 형성되도록 측벽부로 구성된 원통형 형상으로 되어 유체의 역방향 흐름을 차단하는 역류방지 밸브에 있어서,
    상기 일정 길이를 가지는 유체 유출부의 내경부에 탄성부재의 일단부를 고정 설치하고, 상기 탄성부재의 타단부는 상기 공간부에서 상기 유체 유출부의 내경보다 큰 직경을 가지는 판상의 차단판을 상기 유출부 커버와 간격을 두어 유체 통로를 형성하게 고정 설치하여,
    상기 유체가 역방향으로 흐를 경우 역방향 유압에 의하여 상기 차단판이 상기 유체 유출부 방향으로 밀려 상기 유체 유출부를 폐쇄하면서 상기 탄성부재가 압축 부세되고,
    상기 유체가 순방향으로 흐를 경우 상기 탄성부재의 압축부세가 풀리는 것에 의하여 상기 차단판이 상기 유체 유입부 방향으로 밀려 상기 차단판과 상기 유출부 커버 사이에 간격이 생겨 상기 간격에 의하여 유체 통로가 형성되도록 한 것
    을 특징으로 하는 역류방지 밸브.
  7. 삭제
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