KR101801434B1

KR101801434B1 - 이간 거리 조정 장치 및 그 장치를 이용한 반송 장치

Info

Publication number: KR101801434B1
Application number: KR1020137019805A
Authority: KR
Inventors: 히데오 오자와; 고이치 쓰노다; 다카히로 야스다; 도시유키 이케다
Original assignee: 오일레스고교 가부시키가이샤
Priority date: 2011-01-31
Filing date: 2011-11-17
Publication date: 2017-11-24
Also published as: CN103313922B; IL227511A0; JP5756642B2; JP2012158424A; KR20140010025A; CN103313922A; WO2012105108A1; TWI507340B; TW201231372A; HK1187320A1

Abstract

본 발명의 레벨링 장치(3)는, 베이스 프레임(1) 상에서 에어 레일(air rail:2)을 지지하고, 베이스 프레임(1)에 대한 에어 레일(2)의 높이를 조정한다. 레벨링 장치(3)는, 베이스 프레임(1)에 대한 에어 레일(2)의 높이 방향으로 신축하는 접시스프링군과, 한쪽 단면(端面)으로부터 다른 쪽 단면(323)으로 향하여 볼트(4)를 삽입하기 위한 제 1의 관통구멍(324)이 형성되며, 외측으로 향하여 제 1의 테두리부가 한쪽 단면 측에 형성된 원기둥 형상의 압자(壓子)와, 한쪽 단면(端面)으로부터 다른 쪽 단면으로 향하여 볼트(4)를 삽입하기 위한 제 2의 관통구멍(334)이 형성되고, 외측으로 향하여 플랜지부가 한쪽 단면 측에 형성된 원기둥 형상의 스프링 가이드와, 내측으로 향하여 제 2의 테두리부가 한쪽 개구부에 형성된 통 형상의 하우징을 가진다. 본 발명은, 이러한 구성에 의해, 2개의 부재간(베이스 프레임(1)과 에어 레일(2))의 이간 거리 조정 작업의 작업성 향상을 도모한다.

Description

이간 거리 조정 장치 및 그 장치를 이용한 반송 장치{SPACING ADJUSTMENT DEVICE AND CONVEYING APPARATUS USING SAME}

본 발명은, 이간 거리 조정 장치에 관한 것이며, 특히, 반송물을 부상(浮上)시켜 반송하는 부상 반송 장치에 적합한 레벨링(leveling) 장치의 구조에 관한 것이다.

플랫 패널 디스플레이(FPD)에 이용되는 기판 등을 반송면으로부터 부상시켜 반송하는 부상반송장치로서, 특허 문헌 1에 기재된 기판 반송 장치가 알려져 있다.

이 부상 반송 장치는, 배열된 복수의 부상 블록의 반송면으로부터 압축 공기를 분출시킴으로써 반송 대상의 기판을 부상시키면서, 이 기판을 반송 방향으로 반송한다. 여기서, 각 부상 블록의 반송면의 높이 및 평면도를 조정 가능하게 하기 위해, 각 부상 블록은 개별의 가동 플레이트 상에 나사로 고정되어 있고, 이들 가동 플레이트와 고정 플레이트와의 간격이 각각 3점으로 조정할 수 있도록 되어 있다.

구체적으로는, 부상 블록의 바닥부 양측으로부터 튀어나온 가동 플레이트에는 합계 3개소에 암나사가 형성되어 있고, 고정 플레이트에는, 각 가동 플레이트의 암나사에 대향하는 위치에, 그들 암나사와는 피치가 다른 암나사가 형성되어 있다. 그리고, 가동 플레이트의 암나사와 고정 플레이트의 암나사에 맞물리는 수나사부를 가지는 조정 나사가, 가동 플레이트와 고정 플레이트와의 사이에 개재하는 스프링 내에 삽입된 상태로, 대향하는 각 조(組)의 암나사에 체결되어 있다. 작업자는, 서로 이웃하는 부상 블록 사이에 공구를 넣어 조정 나사를 회전시킴으로써, 가동 플레이트와 고정 플레이트와의 간격을, 양 플레이트의 암나사의 피치 차이 분량에 상당하는 거리씩 증감시켜, 조절할 수 있다.

일본 공개특허공보 2009－229258호

그러나, 특허 문헌 1에 기재된 기판 반송 장치에서는, 가동 플레이트를 고정 플레이트에 부착할 때, 작업자는, 가동 플레이트의 각 암나사에 틀어박은 조정 나사에 각각 스프링을 삽입하고, 이들 스프링이 빠지지 않도록 유지하면서, 각 조정 나사의 선단을, 고정 플레이트의 대응하는 암나사에 위치시킬 필요가 있다. 이 때문에, 작업성이 좋지 않다.

또, 작업자가 조정 나사를 죄고ㆍ느슨하게 하는 작업을 행하기 위한 공간을 부상 블록의 양측에 확보해 둘 필요가 있기 때문에, 서로 이웃하는 부상 블록의 간격을 더욱 좁게 하거나, 서로 이웃하는 부상 블록을 밀착시키거나 할 수 없다. 이 때문에, 서로 이웃하는 부상 블록의 빈틈의 위치에서, 반송 대상으로 양호한 상태로 압축 공기를 내뿜을 수 없어, 반송 대상의 부상 상태가 불안정하게 될 가능성이 있다.

본 발명은 상기 사정을 감안하여 이루어진 것이며, 그 목적은, 2개의 부재간의 이간 거리 조정 작업의 작업성을 향상시키는 기술을 제공하는 것에 있다.

상기 과제를 해결하기 위해서, 본 발명은, 2개의 부재간의 이간 거리를 조정하는 이간 거리 조정 장치에 있어서, 탄성체 등을 포함하는 복수의 구성부품을 유닛화 가능한 구조로 함과 함께, 한쪽 부재의 다른 쪽 부재로의 부착 및 이간 거리의 조정을 볼트 한 개로 행할 수 있도록 했다.

예를 들면, 본 발명은, 2개 부재의 사이에 위치하고, 상기 2개 부재간의 이간 거리를 조정하는 이간 거리 조정 장치로서,

상기 이간 거리 방향으로 신축하는 탄성체와,

한쪽 단면(端面:end face))으로부터 다른 쪽 단면으로 향하여 제 1의 관통구멍이 형성되고, 외측으로 향하여 제 1의 테두리부(edge portion)가 상기 한쪽 단면 측에 형성된 통 형상의 압자와,

한쪽 단면으로부터 다른 쪽 단면으로 향하여 제 2의 관통구멍이 형성되며, 외측으로 향하여 플랜지부가 상기 한쪽 단면 측에 형성된 통 형상의 가이드 부재와,

내측으로 향하여 제 2의 테두리부가 한쪽 개구부에 형성된 통 형상의 하우징을 가지고,

상기 하우징은,

상기 한쪽 개구부와 반대측의 다른 쪽 개구부가 상기 2개의 부재 중 한쪽 부재와 대향하도록, 상기 2개 부재의 사이에 배치되며,

상기 압자는,

상기 제 1의 테두리부가 상기 제 2의 테두리부와 접하고, 상기 압자의 상기 다른 쪽 단면이 상기 하우징의 한쪽 개구부로부터 돌출하도록, 상기 하우징 내에 수용되고,

상기 가이드 부재는,

상기 제 2의 관통구멍의 축심이 상기 제 1의 관통구멍의 축심과 일치하도록, 상기 압자가 수용된 상기 하우징 내에 상기 가이드 부재의 다른 쪽의 단면측으로부터 수용되고, 상기 하우징의 내면, 상기 가이드 부재의 측면, 상기 제 1의 테두리부 및 상기 플랜지부에 의해 통 형상의 중공부가 형성되며,

상기 탄성체는,

상기 가이드 부재를, 상기 하우징의 다른 쪽 개구부로부터 나오는 방향으로 힘을 가하여, 상기 2개의 부재 중 한쪽 부재에 압접(壓接)시키도록, 상기 중공부에 설치되고,
상기 이간 거리 조정 장치는,
상기 2개의 부재 중 한쪽의 부재에 마련된 관통구멍을 통하여 상기 제 2의 관통구멍 및 상기 제 1의 관통구멍에 삽입되는 볼트가, 상기 2개의 부재 중 다른 쪽의 부재 혹은 상기 다른 쪽의 부재에 부착된 부재에 나사 고정되는 것에 의하여, 상기 이간 거리 조정 장치를 통하여 상기 2개의 부재를 고정함과 동시에, 상기 볼트의 상기 다른 쪽의 부재 혹은 상기 다른 쪽의 부재에 부착된 부재에의 나사 고정량이 조정되는 것에 의하여, 상기 탄성체가 상기 이간 거리 방향으로 신축된다.

본 발명에 의하면, 2개의 부재간의 이간 거리 조정 작업의 작업성을 향상시킬 수 있다.

도 1은, 본 발명의 일실시의 형태에 따른 부상 반송 장치의 반송대(100)의 개략 구성을 나타내는 외관도이다.
도 2(a)는, 베이스 프레임(1)의 외관도이며, 도 2(b)는, 도 2(a)에 나타내는 베이스 프레임(1)의 A－A단면도이다.
도 3(a)은, 에어 레일(2)의 외관도이며, 도 3(b)은, 도 3(a)에 나타내는 에어 레일(2)의 B－B단면 확대도이다.
도 4(a)는, 레벨링 장치(3)의 외관도이며, 도 4(b)는, 도 4(a)에 나타내는 레벨링 장치(3)의 C－C단면도이다.
도 5(a)는, 육각구멍붙이 볼트(hexagon socket head bolt:4)의 외관도이며, 도 5(b)는, T너트(5)의 단면도이다.
도 6(a)은, 레벨링 장치(3)의 조립 작업을 설명하기 위한 단면도이며, 도 6(b)은, 에어 레일(2)에의 레벨링 장치(3)의 부착 작업을 설명하기 위한 단면도이다.
도 7은, 베이스 프레임(1)에의 에어 레일(2)의 부착 작업을 설명하기 위한 단면도이다.

이하, 본 발명의 일실시의 형태를 설명한다.

도 1은, 본 발명의 일실시의 형태에 따른 부상 반송 장치의 반송대(100)의 개략 구성을 나타내는 외관도이다.

도시하는 바와 같이, 본 실시의 형태에 따른 부상 반송 장치는, FPD, 태양전지 패널 등에 이용되는 유리기판 등의 반송물을 반송면(21)으로부터 부상시켜 반송하는 반송대(100)를 구비하고 있다. 이 반송대(100)는, 소정의 간격을 두고 늘어놓은 2개의 각기둥 형상의 베이스 프레임(예를 들면 알루미늄 프레임)(1)과 2개의 베이스 프레임(1) 사이에 걸쳐진 판 형상의 에어 레일(2)과, 베이스 프레임(1) 상에서 에어 레일(2)을 지지하기 위해, 베이스 프레임(1)마다 2개(합계 4개)의 레벨링 장치(3)(일부 도시하지 않음)를 가진다. 한편, 본 실시의 형태에서는, 2개의 베이스 프레임(1)의 사이에 1개의 에어 레일(2)이 걸쳐진 경우를 예시하고 있지만, 실제로는, 예를 들면 반송 거리 분의 길이를 가지는 2개의 베이스 프레임(1)의 사이에, 복수 라인의 에어 레일(2)이 베이스 프레임(1)의 길이방향(도 1의 Y방향)으로 나란하게 걸쳐진다. 또, 본 실시의 형태에서는, 1개의 에어 레일(2)을 4개의 레벨링 장치(3)로 지지하고 있지만, 에어 레일(2)을 안정하게 지지 가능한 개수의 레벨링 장치(3)를 이용하면 좋다.

또, 도 1에는 도시하고 있지 않지만, 반송대(100)는, 또한, 에어 레일(2)에 레벨링 장치(3)를 고정하는 볼트(6)와, 레벨링 장치(3)를 통하여 에어 레일(2)을 베이스 프레임(1)에 고정하기 위한 육각구멍붙이 볼트(4) 및 T너트(5)를 가진다. 볼트(6)는, 레벨링 장치(3)마다 2개 설치되어 있다. 또, 육각구멍붙이 볼트(4) 및 T너트(5)는, 레벨링 장치(3)마다 한 쌍(합계 4대) 설치되어 있다.

도 2(a)는, 베이스 프레임(1)의 외관도이며, 도 2(b)는, 도 2(a)에 나타내는 베이스 프레임(1)의 A－A단면도이다.

도시하는 바와 같이, 베이스 프레임(1) 4개의 외면(상면(12A), 좌측면(12B), 하면(12C) 및 우측면(12D))의 각각에는, 베이스 프레임(1)의 길이방향의 원하는 위치에 T너트(5)를 배치하기 위한 T자 형상 홈(11)이 형성되어 있다. T자 형상 홈(11)은, 홈 가장자리(112)로부터 홈 바닥(111)까지의 사이에 있어서 홈 폭(s1)으로부터 홈 폭(s2)(＞s1)으로 바뀌는 단차(113)를 포함하는 T자 형상의 단면(斷面) 형상을 가지고, 베이스 프레임(1)의 한쪽 단면(端面)(길이방향으로 수직인 면)(13)으로부터 다른 쪽 단면(端面)(14)까지 연속하고 있다. 이 T자 형상 홈(11)에 의해, 베이스 프레임(1)의 양 단면(13, 14)에는 T자 형상의 개구가 형성되며, 4개의 외면(12A~12D)의 각각에도, 한쪽 단면(13)에서 다른 쪽 단면(14)까지 연속하는 홈 폭(s1)의 개구가 형성된다.

한편, 본 실시의 형태에서는, 베이스 프레임(1)으로서 4개의 외면(12A~12D) 전부에 T자 형상 홈(11)이 형성된 4면 홈 타입의 프레임을 사용하고 있지만, 적어도, 에어 레일(2) 측으로 향해진 상면(12A)에 T자 형상 홈(11)이 형성된 프레임이면 좋다.

도 3(a)은, 에어 레일(2)의 외관도이며, 도 3(b)은, 도 3(a)에 나타내는 에어 레일(2)의 B－B 단면 확대도이다.

에어 레일(2)은, 외부로부터 에어 공급구(도시하지 않음)로 공급된 압축 공기를, 내부의 에어 공급로(도시하지 않음)를 통하여, 반송면(21)의 복수의 에어 송풍구멍(도시하지 않음)으로부터 분출된다.

도시하는 바와 같이, 이 에어 레일(2)의 베이스 프레임(1)에의 부착 위치(본 실시의 형태에서는 4개소)에는, 각각, 반송면(21)으로부터 이면(반송면(21)과는 반대측 면)(24)을 향하여 육각구멍붙이 볼트(4)를 삽입하기 위한 단차를 가지는 관통구멍(23)이 형성되어 있다. 단차를 가지는 관통구멍(23)에는, 이 단차를 가지는 관통구멍(23)에 반송면(21)측으로부터 삽입되는 육각구멍붙이 볼트(4)의 좌면(座面)(412)(도 5 참조)이 접촉하는 단차(25)가 형성되어 있다. 반송면(21)으로부터 단차(25)까지의 영역(대경부(大徑部))(28)에 있어서의 직경(r1)은, 단차(25)로부터 이면(24)까지의 영역(소경부(小徑部))(27)에 있어서의 직경(r2) 보다 크다.

또, 에어 레일(2)의 이면(24)에는, 단차를 가지는 관통구멍(23)의 양측에, 볼트(6)가 체결되는 나사구멍(26)이 형성되어 있다.

한편, 본 실시의 형태에서는, 에어 레일(2)의 베이스 프레임(1)으로의 부착 위치에 단차를 가지는 관통구멍(23)을 형성하고 있지만, 에어 레일(2)의 베이스 프레임(1)으로의 부착 위치가 조정 가능해지도록, 예를 들면 에어 레일(2)의 길이방향으로, 단차를 가지는 관통구멍(23)의 단면(斷面) 형상과 같은 단면(斷面) 형상의 단차를 가지는 장공(長孔)을 임의의 길이로 형성해도 좋다.

도 4(a)는, 레벨링 장치(3)의 외관도이며, 도 4(b)는, 도 4(a)에 나타내는 레벨링 장치(3)의 C－C단면도이다.

레벨링 장치(3)는, 베이스 프레임(1) 상에서 에어 레일(2)을 지지하고, 베이스 프레임(1)에 대한 에어 레일(2)의 높이를 조정한다.

도시하는 바와 같이, 레벨링 장치(3)는, 베이스 프레임(1)에 대한 에어 레일(2)의 높이 방향(도 1의 Z방향)으로 신축하는 접시스프링군(31)과, 접시스프링군(31)에 의하여 가압되어 베이스 프레임(1)의 상면(12A)에 눌려 접촉되는 테두리부를 구비한 원통 형상의 압자(32)와, 접시스프링군(31)에 의하여 가압되어 에어 레일(2)의 이면(24)에 눌려 접촉되는 플랜지부를 구비한 원통 형상의 스프링 가이드(33)와, 이들 부품(31~33)을 수용하는 플랜지부 및 테두리부를 구비한 원통 형상의 하우징(34)을 가진다.

하우징(34)은, 원통부(343)와 원통부(343)의 내측으로 향하여 원통부(343)의 한쪽 단면(하우징(34)의 바닥면(348))측의 개구부(341)에 형성된 제 2의 테두리부(342)와, 원통부(343)의 외주로부터 외측으로 튀어나오도록 원통부(343)의 다른 쪽 단면(하우징(34)의 상면(346))측에 형성된 플랜지부(349)를 가지고 있다.

이 하우징(34)은, 상면(346)측의 개구부(344)가 에어 레일(2)의 단차를 가지는 관통구멍(23)에 대향하는 상태로 상면(346)이 에어 레일(2)의 이면(24)과 접하도록, 베이스 프레임(1)과 에어 레일(2)과의 사이에 배치된다. 또, 플랜지부(349)에는, 에어 레일(2)의 이면(24)의 나사구멍(26)에 대응하는 위치에, 볼트(6)가 삽입되는 제３의 관통구멍(347)이 형성되어 있다.

압자(32)는, 하우징(34)의 바닥면(348)측의 개구부(341)로부터 베이스 프레임(1)측으로 돌출하는 원기둥부(325)와, 원기둥부(325)의 외주로부터 외측으로 튀어나오도록 원기둥부(325)의 한쪽 단면(압자(32)의 상면(321))측에 형성된 제 1의 테두리부(322)를 가진다. 원기둥부(325)에는, 상면(321)으로부터 다른 쪽 단면(압자(32)의 바닥면(323))으로 향하여 육각구멍붙이 볼트(4)를 삽입하기 위한 제 1의 관통구멍(324)이 형성되어 있다.

이 압자(32)는, 제 1의 테두리부(322)의 하면(326)이 하우징(34)의 제 2의 테두리부(342)의 상면(350)과 접하고, 바닥면(323)이 하우징(34)의 바닥면(348)측의 개구부(341)로부터 베이스 프레임(1)측으로 돌출한 상태에서 하우징(34) 내에 수용된다.

스프링 가이드(33)는, 하우징(34) 내의 접시스프링군(31)에 삽입되는 원기둥부(335)와, 원기둥부(335)의 외주로부터 튀어나오도록 원기둥부(335)의 한쪽 단면(스프링 가이드(33)의 상면(331))측에 형성되고, 하우징(34) 내의 압자(32)의 상면(321)과의 사이에서 접시스프링군(31)을 누르는 플랜지부(332)를 가진다. 원기둥부(335)에는, 상면(331)으로부터 바닥면(333)을 향하여 육각구멍붙이 볼트(4)를 삽입하기 위한 제 2의 관통구멍(334)이 형성되어 있다.

이 스프링 가이드(33)가, 제 2의 관통구멍(334)의 축심이 압자(32)의 제 1의 관통구멍(324)의 축심과 일치하도록 하우징(34) 내에 수용되면, 원기둥부(335)의 외주면(339), 플랜지부(332)의 하면(336), 하우징(34)의 내면(345) 및 압자(32)의 상면(321)에 의해 통 형상의 중공부(337)가 형성된다.

한편, 스프링 가이드(33)의 원기둥부(335)의 바닥면(333)으로부터 플랜지부(332)의 하면(336)까지의 길이(k1)는, 접시스프링군(31)의 자유 높이보다 작고, 또, 스프링 가이드(33)의 상면(331) 위치를 하우징(34)의 상면(346) 위치에 일치시켰을 때에, 스프링 가이드(33)의 바닥면(333)과 압자(32)의 상면(321)과의 사이에 에어 레일(2)의 높이 조정대(調整代) 이상의 빈틈이 형성되는 치수로 설정되어 있다.

접시스프링군(31)은, 통 형상의 중공부(337) 내에서 에어 레일(2)의 베이스 프레임(1)에 대한 높이 방향으로 겹쳐 쌓여진 복수매의 접시스프링(311)에 의해 구성되어 있다. 본 실시의 형태에서는, 서로 이웃하는 접시스프링(311)의 방향이 거꾸로 되도록 복수매의 접시스프링(311)을 서로 겹치게 하였지만, (이른바 직렬 조합 방식), 서로 이웃하는 접시스프링(311)의 방향이 같게 되도록 복수매의 접시스프링(311)을 서로 겹쳐도(이른바 병렬 조합 방식), 혹은 이른바 직렬방식과 병렬방식과의 조합이라도 좋다. 또, 본 실시의 형태에서는, 6매의 접시스프링(311)을 겹쳐 쌓고 있지만, 실시형태에 의하여, 사용하는 접시스프링의 매수는 적당히 변경 가능하다.

이 접시스프링군(31)은, 압자(32)를 하우징(34)의 바닥면(348)측의 개구부(341)로부터 밀어내는 방향으로 가압하여, 압자(32)를 베이스 프레임(1)의 상면(12A)에 압접시킴과 함께, 스프링 가이드(33)를 하우징(34)의 상면(346)측의 개구부(344)로부터 밀어내는 방향으로 가압하여, 스프링 가이드(33)를 에어 레일(2) 이면(24)에 압접시킨다. 또, 접시스프링군(31)은, 반송 대상의 반송중에 받는 하중(반송 대상, 에어 레일(2) 등에 의해 레벨링 장치(3) 한 개당에 걸리는 하중 등)을 안정하게 지지 가능한 허용 하중 및 스프링 정수(定數)를 가지고 있다. 이와 같은 탄성을 가지고 있는 것이면, 접시스프링군(31) 대신에, 통 형상의 중공부(337) 내에 배치하는 것이 가능한 형상을 가지는 다른 탄성체(코일 스프링, 통 형상의 고무등)를 이용해도 좋다.

한편, 본 실시의 형태에 있어서는, 플랜지부를 구비한 원통 형상의 스프링 가이드(33)와, 테두리부를 구비한 원통 형상의 압자(32)와, 플랜지부 및 테두리부를 가지는 원통 형상의 하우징(34)을 이용하고 있지만, 접시스프링군(31)의 축심이 어긋나지 않는 다른 입체 형상의 스프링 가이드(33), 압자(32) 및 하우징(34)을 이용해도 좋다.

도 5(a)는, 육각구멍붙이 볼트(4)의 외관도이다.

도시하는 바와 같이, 육각구멍붙이 볼트(4)는, 머리부(41)의 상면(411)에 육각 렌치용의 육각구멍(43)이 형성되어 있다. 육각구멍붙이 볼트(4)의 머리부(41)의 직경(r3)은, 에어 레일(2)의 단차를 가지는 관통구멍(23)의 대경부(28)의 직경(r1) 보다 작고, 또 소경부(27)의 직경(r2) 보다 크다. 또, 육각구멍붙이 볼트(4)의 머리부(41)의 두께(k2)는, 에어 레일(2)의 단차를 가지는 관통구멍(23)의 대경부(28)의 길이(k3)(도 3(b)참조) 보다 작다. 이 때문에, 육각구멍붙이 볼트(4)는, 에어 레일(2)의 반송면(21)측으로부터 단차를 가지는 관통구멍(23)에 삽입되었을 때, 머리부(41)가 반송면(21) 보다 아래 쪽에 온 위치에서 좌면(412)이 단차를 가지는 관통구멍(23)의 단차(25)에 접촉하고, 단차를 가지는 관통구멍(23)의 대경부(28) 내에 머리부(41)가 완전히 수용된다.

또, 육각구멍붙이 볼트(4)의 좌면(412)으로부터 나사부(42)까지의 길이(k4)는, 에어 레일(2)의 단차를 가지는 관통구멍(23)의 소경부(27)의 길이(k5)(도 3(b)참조)와, 레벨링 장치(3)의 하우징(34)의 높이(한쪽 개구부(341)로부터 다른 쪽 개구부(344)까지의 길이)(k6)(도 4(b)참조)와의 합계보다 작다. 또, 도 4(b)에 나타내는 바와 같이, 압자(32)의 제 1의 테두리부(322)가 하우징(34)의 제 2의 테두리부(342)와 접촉하고, 압자(32)의 바닥면(323)이 하우징(34)의 개구부(341)로부터 돌출되어 있는 상태에 있어서, 육각구멍붙이 볼트(4)의 좌면(412)으로부터 나사부(42)의 선단(421)까지의 길이(k7)는, 압자(32)의 바닥면(323)에서 하우징(34)의 상면(346)까지의 길이(k8), 에어 레일(2)의 단차를 가지는 관통구멍(23)의 소경부(27)의 길이(k5) 및 베이스 프레임(1)의 T자 형상 홈(11)의 홈 가장자리(112)에서 단차(113)까지의 깊이(k10)(도 2(b)참조)의 합계보다 크고, 또, 상술한 k8, k5 및 베이스 프레임(1)의 T자 형상 홈(11)의 홈 가장자리(112)에서 홈 바닥(111)까지의 깊이(k11)(도 2(b)참조)의 합계보다 작은 치수로 되어 있다.

도 5(b)는, T너트(5)의 단면도이다.

도시하는 바와 같이, T너트(5)는, 한쪽 단면(상면(51))에서 다른 쪽 단면(바닥면(53))까지의 사이에 있어서, 폭이 s3에서 s4(＞s3)로 바뀌는 단차(52)를 포함하는 T자 형상의 단면(斷面) 형상을 가지고 있고, 상면(51)에서 바닥면(53)까지 관통한, 육각구멍붙이 볼트(4)의 나사부(42)와 나사 결합하는 나사구멍(54)이 형성되어 있다. 상면(51)에서 단차(52)까지에 있어서의 폭(s3)은, 베이스 프레임(1)의 T자 형상 홈(11)의 홈 가장자리(112)에서 단차(113)까지에 있어서의 홈 폭(s1)(도 2(b)참조) 보다 작다. 단차(52)로부터 바닥면(53)까지에 있어서의 폭(s4)은, 베이스 프레임(1)의 T자 형상 홈(11)의 홈 가장자리(112)로부터 단차(113)까지에 있어서의 홈 폭(s1) 보다 크고, 또 T자 형상 홈(11)의 단차(113)로부터 홈 바닥(111)까지에 있어서의 홈 폭(s2)(도 2(b)참조) 보다 작다. 또, 단차(52)로부터 상면(51)까지의 높이(k9)는, 베이스 프레임(1)의 T자 형상 홈(11)의 홈 가장자리(112)로부터 단차(113)까지의 깊이(k10)(도 2(b)참조) 이하의 치수이다. 이 때문에, T너트(5)는, 베이스 프레임(1)의 T자 형상 홈(11) 내의 원하는 위치에 배치할 수 있고, 또, 육각구멍붙이 볼트(4)의 나사부(42)와 나사구멍(54)의 체결에 의해 T자 형상 홈(11)의 홈 바닥(111)으로부터 홈 가장자리(112)의 방향으로 힘이 더해지면, 단차(52)가 T자 형상 홈(11)의 단차(113)에 접촉하여, 베이스 프레임(1)에 고정된다.

다음에, 베이스 프레임(1)으로의 에어 레일(2)의 부착 작업에 대하여 설명한다.

도 6(a)은, 레벨링 장치(3)의 조립 작업을 설명하기 위한 단면도이며, 도 6(b)은, 에어 레일(2)로의 레벨링 장치(3)의 부착 작업을 설명하기 위한 단면이다. 또, 도 7은, 베이스 프레임(1)으로의 에어 레일(2)의 부착 작업을 설명하기 위한 단면도이다.

(1) 레벨링 장치(3)의 조립

베이스 프레임(1)으로의 에어 레일(2)의 부착에 필요한 개수(본 실시의 형태에서는 4개)의 레벨링 장치(3)를 미리 조립해 둔다. 구체적으로는, 이하와 같다.

도 6(a)에 나타내는 바와 같이, 압자(32)를 바닥면(323)측으로부터 하우징(34) 내로 삽입하고, 압자(32)의 제 1의 테두리부(322)를 하우징(34)의 제 2의 테두리부(342)에 접촉시킨다. 다음에, 서로 이웃하는 접시스프링(311)의 방향이 거꾸로 되도록, 복수매의 접시스프링(311)을, 하우징(34) 내에 수용된 압자(32) 상에 겹쳐 쌓는다. 그리고 나서, 스프링 가이드(33)를 바닥면(333)측으로부터 하우징(34) 내로 삽입하고, 스프링 가이드(33)의 원기둥부(335)를 접시스프링군(31)에 삽입한다. 이것에 의해, 압자(32), 접시스프링군(31) 및 스프링 가이드(33)가 차례로 하우징(34) 내로 수용되고, 도 4(a), (b)에 나타내는 레벨링 장치(3)가 완성된다.

(2) 에어 레일(2)으로의 레벨링 장치(3)의 부착

도 6(b)에 나타내는 바와 같이, 레벨링 장치(3)마다, 2개의 볼트(6)를, 하우징(34)의 제３의 관통구멍(347)을 통하여, 에어 레일(2) 이면(24)의 나사구멍(26)에 나사 고정한다. 이것에 의해, 스프링 가이드(33)의 제 2의 관통구멍(334) 및 압자(32)의 제 1의 관통구멍(324)의 축심이 에어 레일(2)의 단차를 가지는 관통구멍(23)의 축심과 일치한 상태로 하우징(34)의 상면(346)이 에어 레일(2)의 이면(24)과 접촉하고, 레벨링 장치(3)가 에어 레일(2)의 이면(24)에 부착된다.

이것에 의해, 스프링 가이드(33)의 상면(331)이, 하우징(34)의 상면(346)과 같은 위치로 올 때까지, 스프링 가이드(33)가 하우징(34) 내로 밀어넣어져 접시스프링군(31)에 프리로드(preload)가 걸린다. 이때 압자(32)의 하우징(34) 바닥면(348)으로부터의 돌출부분의 길이를 c1로 하고, 스프링 가이드(33)의 바닥면(333)으로부터 압자(32)의 상면(321)까지의 길이를 c2로 한다.

(3) 베이스 프레임(1)으로의 에어 레일(2)의 부착과 높이 조정

에어 레일(2)을 2개의 베이스 프레임(1)의 사이에 걸치도록 배치한다. 베이스 프레임(1)의 상면(12A)측의 T자 형상 홈(11)에 2개의 T너트(5)를 삽입하고, 이들 T너트(5)를, 에어 레일(2)의 단차를 가지는 관통구멍(23)에 대응하는 위치에 배치한다. 다음에, 도 7에 나타내는 바와 같이, 육각구멍붙이 볼트(4)를, 에어 레일(2)의 반송면(21)측으로부터, 에어 레일(2)의 단차를 가지는 관통구멍(23), 스프링 가이드(33)의 제 2의 관통구멍(334), 압자(32)의 제 1의 관통구멍(324)에 삽입하며, 육각 렌치(7)를 사용하여 육각구멍붙이 볼트(4)의 나사부(42)를 T너트(5)의 나사구멍(54)에 나사 고정한다. 이것에 의해, 하우징(34)의 바닥면(348)측의 개구부(341)로부터 베이스 프레임(1)측으로 돌출하고 있는 압자(32)의 바닥면(323)이 베이스 프레임(1)의 상면(12A)과 접촉한 상태로, 에어 레일(2)이 레벨링 장치(3)를 통하여 베이스 프레임(1)에 부착된다.

상술한 바와 같이, 육각구멍붙이 볼트(4)의 머리부(41)의 좌면(412)으로부터 나사부(42)까지의 길이(k4)(도 5(a)참조)는, 에어 레일(2)의 단차를 가지는 관통구멍(23)의 소경부(27)의 길이(k5)(도 3(b)참조)와, 레벨링 장치(3)의 하우징(34)의 높이(한쪽 개구부(341)로부터 다른 쪽 개구부(344)까지의 길이)(k6)(도 4(b)참조)와의 합계보다 작다. 또, 압자(32)의 제 1의 테두리부(322)가 하우징(34)의 제 2의 테두리부(342)와 접촉하고, 압자(32)의 바닥면(323)이 하우징(34)의 개구부(341)로부터 돌출하고 있는 상태에서, 육각구멍붙이 볼트(4)의 좌면(412)으로부터 나사부(42)의 선단(421)까지의 길이(k7)(도 5(a)참조)는, 압자(32)의 단면(323)으로부터 하우징(34)의 상면(346)까지의 길이(k8)(도 4(b)참조), 에어 레일(2)의 단차를 가지는 관통구멍(23)의 소경부(27)의 길이(k5)(도 3(b)참조) 및 베이스 프레임(1)의 T자 형상 홈(11)의 홈 가장자리(112)로부터 단차(113)까지의 깊이(k10)(도 2(b)참조)의 합계보다 크고, 또 상술의 k8, k5 및 베이스 프레임(1)의 T자 형상 홈(11)의 홈 가장자리(112)로부터 홈 바닥(111)까지의 깊이(k11)(도 2(b)참조)의 합계보다 작다.

이 때문에, T너트(5)로의 육각구멍붙이 볼트(4)의 조이는 상태를 조절함으로써, 높이 조정대(도 6(b)에 나타내는 c1, c2 및 접시스프링군(31)의 최대 수축량 중 가장 작은 길이)의 범위 내에서, 베이스 프레임(1)에 대한 에어 레일(2)의 높이를 조정할 수 있다. 이 높이 조절 작업을, 에어 레일(2)의 베이스 프레임(1)으로의 부착에 이용되는 4개의 레벨링 장치(3)의 각각에 대하여 행함으로써, 에어 레일(2)의 반송면(21)의 레벨링을 행한다.

이상, 본 발명의 일실시의 형태를 설명했다.

본 실시의 형태에 따른 레벨링 장치(3)는, 접시스프링군(31), 압자(32) 및 스프링 가이드(33)가 하우징(34) 내로 수용되고, 접시스프링군(31), 압자(32), 스프링 가이드(33), 하우징(34)을 포함하는 복수의 구성부품이 유닛화 되어 있기 때문에, 에어 레일(2)의 베이스 프레임(1)으로의 부착 작업에 앞서, 미리 필요 개수를 조립해 두는 것이 가능하다. 이 때문에, 작업자는, 일부 부품의 낙하 등을 신경쓰지 않고 간단하게, 레벨링 장치(3)를 에어 레일(2)에 부착할 수 있어, 작업 효율이 향상된다.

또, 레벨링 장치(3)를 에어 레일(2)에 부착함으로써, 레벨링 장치(3)의 접시스프링군(31)에 프리로드가 걸리기 때문에, 접시스프링군(31)이 프리로드되어 있지 않은 경우와 비교하여 적은 회수, 육각구멍붙이 볼트(4)를 T너트(5)에 단단히 조이는 것만으로, 에어 레일(2)을 베이스 프레임(1)에 부착할 수 있다.

또, 레벨링 장치(3)를 에어 레일(2)에 부착함으로써, 스프링 가이드(33)의 상면(331)이 하우징(34)의 상면(346)과 동일한 위치까지 밀어넣어져 접시스프링군(31)에 프리로드가 걸리므로, 에어 레일(2)의 베이스 프레임(1)으로의 부착 작업에 사용하는 4개의 레벨링 장치(3)에 대하여, 번거로운 프리로드 조정을 행하지 않아도, 균등한 프리로드를 걸어둘 수 있다.

또, 육각구멍붙이 볼트(4)를, 에어 레일(2)의 반송면(21)측으로부터 단차를 가지는 관통구멍(23)으로 삽입하고, T너트(5)에 나사 고정함으로써, 에어 레일(2)을 베이스 프레임(1)에 부착함과 함께, 육각구멍붙이 볼트(4)의 조이는 상태를 조절함으로써, 에어 레일(2)의 베이스 프레임(1)에 대한 높이를 조정하므로, 특허 문헌 1에 기재된 기판 반송 장치와 달리, 높이 조정용의 빈틈을 에어 레일(2)의 길이방향(도 1의 X방향)의 양측으로 확보해 둘 필요가 없다. 따라서, 복수의 에어 레일(2)을 배열한 경우, 서로 이웃하는 에어 레일(2)을 밀착시키는 등, 복수의 에어 레일(2)의 간격 치수를, 반송 대상의 부상 안정성 등을 고려하여 유연하게 설정할 수 있다. 이 때문에, 반송 대상을 보다 안정하게 부상시켜 반송할 수 있다.

또, 레벨링 장치(3)의 하우징(34)에 형성된 제３의 관통구멍(347)을 통하여, 볼트(6)를, 에어 레일(2)의 이면(24)에 형성된 나사구멍(26)에 나사 고정함으로써, 접시스프링군(31)에 프리로드를 건 상태로, 레벨링 장치(3)를 에어 레일(2)에 부착하므로, 에어 레일(2)의 베이스 프레임(1)으로의 부착 작업에 앞서, 필요 개수의 에어 레일(2)로의 레벨링 장치(3)의 부착 및 프리로드 작업을 미리 행해두는 것이 가능하게 된다. 이 때문에, 작업 효율이 한층 더 향상된다.

한편, 본 실시의 형태에서는, 육각구멍붙이 볼트(4) 및 T너트(5)를 이용하고, 레벨링 장치(3)를 통하여 베이스 프레임(1)에 에어 레일(2)을 부착하고 있지만, 본 발명은 이것으로 한정되지 않는다. 베이스 프레임(1)의 상면(12A)의, 에어 레일(2)의 단차를 가지는 관통구멍(23)에 대응하는 위치에, 육각구멍붙이 볼트(4)의 나사부(42)와 나사 결합하는 나사구멍을 형성함으로써, T너트(5)를 이용하지 않고 에어 레일(2)을 베이스 프레임(1)에 부착되도록 해도 좋다.

또, 본 실시의 형태에서는, 육각 렌치(7)를 사용하여, 에어 레일(2)의 반송면(21)측으로부터, 베이스 프레임(1)으로의 에어 레일(2)의 부착 및 반송면(21)의 레벨링을 행할 수 있도록 하기 위해서, 육각구멍붙이 볼트(4)를 이용하고 있지만, 본 발명은 이것으로 한정되지 않는다. 사용하는 공구에 따라, 예를 들면, 십자구멍, 슬릿형 홈(slitting groove) 등이 머리부 상면에 형성된 볼트를 이용하면 좋다.

또, 본 실시의 형태에서는, 소정의 간격을 두고 배열된 2개의 각기둥 형상의 베이스 프레임(1) 상에 걸쳐 지도록 하여, 에어 레일(2)을 베이스 프레임(1)에 부착하고 있지만, 본 발명은 이것으로 한정되지 않는다. 예를 들면, 1장의 판 형상의 베이스 프레임 상에 실리도록 하고, 에어 레일(2)을 베이스 프레임(1)에 부착하여도 좋다.

또, 본 실시의 형태에서는, 반송대(100)를 가지는 부상 반송 장치로의 적용을 예로 설명했지만, 본 발명은, 레벨링 대상면을 가지는 테이블이 베이스재에 고정되어 있는 다른 장치에도 적용 가능하다.

또, 본 실시의 형태에서는, 베이스 프레임(1) 상에서 에어 레일(2)을 지지하고, 베이스 프레임(1)에 대한 에어 레일(2)의 높이를 조정하는 레벨링 장치(3)를 설명했지만, 본 발명은, 2개의 부재간의 이간 거리를 조정하는 이간 거리 조정장치에 널리 적용할 수 있다.

산업상의 이용 가능성

본 발명은, 예를 들면, 레벨링 대상의 반송면을 가지는 레일이 베이스재에 고정되어 있는 반송 장치, 레벨링 대상면을 가지는 테이블이 베이스재에 고정되어 있는 장치 등과 같은, 레벨링 대상면을 가지는 부재가 다른 부재에 고정되어 있는 장치에 있어서의 레벨링 등, 2개의 부재간의 이간 거리를 작업성 좋게 조정하는 것이 필요한 용도에 적용 가능하다.

1：베이스 프레임
2：에어 레일
3：레벨링 장치
4：육각구멍붙이 볼트
5：T너트
6：볼트
7：육각 렌치
11：T자 형상 홈
12A~12D：베이스 프레임(1)의 외면
13, 14：베이스 프레임(1)의 단면(端面)
21：반송면
23：단차를 가지는 관통구멍
24：에어 레일(2)의 이면
25：단차
26：나사구멍
27：단차를 가지는 관통구멍(23)의 소경부
28：단차를 가지는 관통구멍(23)의 대경부
31：접시스프링군
32：압자
33：스프링 가이드
34：하우징
41：머리부
42：나사부
43：육각구멍
51, 53：T너트(5)의 단면(端面)
52：단차
54：나사구멍
100：반송대
111：T자 형상 홈(11)의 홈 바닥
112：T자 형상 홈(11)의 홈 가장자리
113：단차
311：접시스프링
321：압자(32)의 상면
322：제 1의 테두리부
323：압자(32)의 바닥면
324：제 1의 관통구멍
325：원기둥부
326：제 1의 테두리부(322)의 하면
331：스프링 가이드(33)의 상면
332：스프링 가이드(33)의 플랜지부
333：스프링 가이드(33)의 바닥면
334：제 2의 관통구멍
335：스프링 가이드(33)의 원기둥부
336：플랜지부(332)의 하면
337：통 형상의 중공부
339：원기둥부(335)의 외주면
341, 344：하우징(34)의 개구부
342：하우징(34)의 제 2의 테두리부
343：하우징(34)의 원통부
345：하우징(34)의 내면
346：하우징(34)의 상면
347：제３의 관통구멍
348：하우징(34)의 바닥면
349：하우징(34)의 플랜지부
350：제 2의 테두리부(342)의 상면
411：육각구멍붙이 볼트(4)의 머리부(41)의 상면
412：육각구멍붙이 볼트(4)의 좌면
421：나사부(42)의 선단

Claims

2개 부재의 사이에 위치하고, 그 2개의 부재간의 이간(離間) 거리를 조정하는 이간 거리 조정 장치로서,
상기 이간 거리 방향으로 신축하는 탄성체와,
한쪽 단면(端面)으로부터 다른 쪽 단면으로 향하여 제 1의 관통구멍이 형성되고, 외측으로 향하여 제 1의 테두리부가 상기 한쪽 단면 측에 형성된 통 형상의 압자(壓子:pressor)와,
한쪽 단면으로부터 다른 쪽 단면으로 향하여 제 2의 관통구멍이 형성되며, 외측으로 향하여 플랜지부가 상기 한쪽 단면 측에 형성된 통 형상의 가이드 부재와,
내측으로 향하여 제 2의 테두리부가 한쪽 개구부에 형성된 통 형상의 하우징을 가지고,
상기 하우징은,
상기 한쪽 개구부와 반대측의 다른 쪽 개구부가 상기 2개의 부재 중 한쪽 부재와 대향하도록, 상기 2개 부재 사이에 배치되며,
상기 압자는,
상기 제 1의 테두리부가 상기 제 2의 테두리부와 접하고, 상기 압자의 상기 다른 쪽 단면(端面)이 상기 하우징의 한쪽 개구부로부터 돌출하도록, 상기 하우징 내에 수용되고,
상기 가이드 부재는,
상기 제 2의 관통구멍의 축심이 상기 제 1의 관통구멍의 축심과 일치하도록, 상기 압자가 수용된 상기 하우징 내로 상기 가이드 부재의 다른 쪽의 단면측으로부터 수용되고, 상기 하우징의 내면, 상기 가이드 부재의 측면, 상기 제 1의 테두리부 및 상기 플랜지부에 의해 통 형상의 중공부가 형성되며,
상기 탄성체는,
상기 가이드 부재를, 상기 하우징의 다른 쪽 개구부로부터 밀어내는 방향으로 힘을 가하여, 상기 2개의 부재 중 한쪽 부재에 압접(壓接)시키도록, 상기 중공부에 설치되고,
상기 이간 거리 조정 장치는,
상기 2개의 부재 중 한쪽의 부재에 마련된 관통구멍을 통하여 상기 제 2의 관통구멍 및 상기 제 1의 관통구멍에 삽입되는 볼트가, 상기 2개의 부재 중 다른 쪽의 부재 혹은 상기 다른 쪽의 부재에 부착된 부재에 나사 고정되는 것에 의하여, 상기 이간 거리 조정 장치를 통하여 상기 2개의 부재를 고정함과 동시에, 상기 볼트의 상기 다른 쪽의 부재 혹은 상기 다른 쪽의 부재에 부착된 부재에의 나사 고정량이 조정되는 것에 의하여, 상기 탄성체가 상기 이간 거리 방향으로 신축되는 것을 특징으로 하는 이간 거리 조정 장치.
제 1 항에 있어서,
상기 2개의 부재 중 한쪽 부재는, 지지 대상이고,
상기 2개의 부재 중 다른 쪽 부재는, 베이스이며,
상기 이간 거리 조정 장치는,
상기 베이스 상에서 상기 지지 대상을 지지하고, 상기 베이스에 대한 상기 지지 대상의 높이를 조정하는 레벨링 장치인 것을 특징으로 하는 이간 거리 조정 장치.
제 2 항에 있어서,
상기 지지 대상에는 단차를 가지는 관통구멍(stepped through-hole)이 형성되어 있고,
상기 이간 거리 조정 장치는,
상기 지지 대상의 상기 이간 거리 조정 장치가 위치하는 측과 반대측 면인 반송면측으로부터, 상기 단차를 가지는 관통구멍, 상기 제 2의 관통구멍 및 상기 제 1의 관통구멍에 삽입되며, 상기 베이스 혹은 상기 베이스에 부착된 너트에 나사 고정됨으로써, 상기 지지 대상을 상기 베이스에 고정하고, 또한 상기 지지 대상의 높이를 조정하기 위한 상기 볼트를 가지는 것을 특징으로 하는 이간 거리 조정 장치.
제 3 항에 있어서,
상기 하우징에는, 상기 이간 거리 조정 장치를, 상기 지지 대상의 상기 반송면측과 반대측 면인 이면(裏面)에 나사 고정하기 위한 제３의 관통구멍이 형성되어 있고,
상기 이간 거리 조정 장치는,
상기 지지 대상의 이면에 나사 고정됨으로써, 상기 가이드 부재가 상기 하우징 내로 밀어넣어져, 상기 탄성체에 프리로드(preload)가 걸리는 것을 특징으로 하는 이간 거리 조정 장치.
제 4항에 있어서,
상기 볼트에 의한 상기 지지 대상의 높이 조정대(調整代:adjustment range)는,
상기 탄성체에 프리로드가 걸린 상태에 있어서의, 상기 하우징의 상기 한쪽 개구부로부터 상기 압자의 상기 다른 쪽 단면까지의 길이, 상기 상태에 있어서의, 상기 가이드 부재의 상기 다른 쪽 단면으로부터 상기 압자의 상기 한쪽 단면까지의 길이 및 상기 탄성체의 최대 수축량 중 가장 작은 길이의 범위 내인 것을 특징으로 하는 이간 거리 조정 장치.
반송면으로부터 반송물을 부상(浮上)시키는 부상 반송 장치로서,
베이스와,
상기 반송면을 구비하고, 상기 반송면으로부터 그 반송면의 반대측 면으로 향하여 볼트를 삽입하고, 상기 볼트의 머리를, 상기 반송면과 그 반송면의 반대측 면과의 사이의 위치에서 고정하기 위한 관통구멍이 형성된 에어 레일(air rail)과,
지지 대상으로서 상기 에어 레일을 상기 베이스 상에서 지지하는 제 2 항 내지 제 5 항 중 어느 한 항에 기재된 이간 거리 조정 장치를 가지는 것을 특징으로 하는 부상 반송 장치.