KR101746871B1 - 상면 방사형 유기 발광 다이오드에서 방사 색의 패터닝 - Google Patents

Abstract

방사 색이 다른 광을 방사하도록 배열되며, 제1 전극, 제2 전극, 및 상기 제1 전극과 제2 전극 사이에 배치되고 광의 방사를 가능하게 하는 기능 층이 마련된 다층 구조를 포함하는 상면 방사형 OLED(10)로서, 상기 기능 층의 두께(H1, H2)는 그 기능 층의 적어도 일부를 두께 변조기(5a, 5b, 5c)와 상호작용시킴으로써 변조되고, 상기 기능 층은 정공 주입 층 또는 전자 주입 층을 포함하는 상면 방사형 OLED에 관한 것이다.

Description

상면 방사형 유기 발광 다이오드에서 방사 색의 패터닝{PATTERNING THE EMISSION COLOR IN TOP-EMISSIVE OLEDS}

본 발명은 색이 다른 광을 방사하도록 배열되며, 제1 전극, 제2 전극, 및 이 제1 전극과 제2 전극 사이에 배치되고 광의 방사를 가능하게 하는 기능 층을 구비한 다층 구조를 포함하는 상면 방사형(top-emissive) OLED에 관한 것이다.

본 발명은 이러한 OLED를 구비한 전자 디바이스에 또한 관련된다.

본 발명은 상면 방사형 OLED를 제조하는 방법에 또한 관련된다.

색이 다른 광을 방사할 수 있는 OLED의 일 실시예가 WO2006/087654에 공지되어 있다. 이 공지된 OLED에서, 애노드 층이 적절한 기판 상에 마련되고, 그 다음, 예컨대 PEDOT:PSS 재료와 같은 정공-주입 층(hole injection layer)이 마련되고, 그 다음, 기판을 따라서 두께가 변조된(modulated) 광 방사 재료의 층이 마련되고, 그 위에 캐소드 층이 퇴적(deposit)된다.

공지의 OLED에서, 광 방사 층의 적절한 두께 변조를 달성하기 위하여, 광 방사 층은 잉크-젯 프린팅과 같은 기술에 의해 퇴적된다.

공지된 OLED의 단점은 광 방사 층의 두께 변조 정확도가 재현성(reproducibility)면에서 열등할 수 있다는 것인데, 잉크-젯 프린팅의 공정이 일관되지 않을 수 있기 때문이다. 또한, 두께가 다른 영역 사이의 경계는 선명도가 적절하지 않을 수 있는데, 패터닝이 액체상(liquid phase)에서 수행되고, 액체는 이러한 인접 영역 사이에서 표면 장력에 의해 중간의 두께를 취한다는 사실 때문이다.

본 발명의 목적은 색이 다른 광을 변조된 기능 층을 사용해 방사할 수 있는 상면 방사형 OLED를 제공하는 것이며, 이러한 변조는 정밀도와 재현성 높게 달성되고, 또한 매우 단순하고 빠른 기술을 사용하여 달성된다.

이러한 목적을 위하여, 본 발명에 따른 상면 방사형 OLED에서, 기능 층의 두께는 그 기능 층의 적어도 일부를 두께 변조기(a thickness modulator)와 상호작용시킴으로써 변조되고, 상기 기능 층의 상기 일부는 정공 주입 층 또는 전자 주입 층을 포함한다.

본 발명에 따른 다이오드는 정공 주입 층 또는 전자 주입 층의 상면에 중첩된 광 방사 층을 더 포함하는 것을 알 수 있다. 또한, 본 발명에 따라서 달성된 변조의 스케일(scale)은 나안(human eye)에 가시적이다(즉, 길이 스케일로, 40 마이크로미터 이상의 정도이다).

예를 들어, 두께 변조기는 기능 층 바로 아래에 배열되고, 치수가 다른 복수의 우물을 포함하는 층과 관련될 수 있다. 결과적으로, 기능 층을 구성하는 적절한 재료가 우물 프로파일 상에 퇴적될 때, 치수가 다른 우물에 대하여 습윤 특성(wetting properties)때문에 우물을 메우는 다른 레벨이 달성된다. 이러한 방식으로, 기능 층의 재현성이 있고 정확한 두께 변조가 달성될 수 있다. 기능 층은 정공 주입 층(예컨대, PEDOT:PSS 또는 PANI) 및 가능하게는 전자 주입 층(예컨대, TPBI, TAZ, OXD7) 등과 협동하는 광 방사 폴리머(light emitting polymer; LEP)의 층을 포함할 수 있음을 알 수 있다. 본 발명의 기술적 수단은 디바이스의 임의 영역 내 기능 층의 두께가 그 영역으로부터의 방사 색을 결정한다는 주지의 미세 공동 효과(micro cavity effect)가 전체 디바이스 영역에 걸쳐 그 디바이스로부터 방사의 정확한 색 변조를 가능하게 하는데 사용될 수 있다는 통찰에 기초한다.

용어 "우물(well)"은 불규칙적인 것(irregularity)의 형상 및/또는 2차원이나 3차원 치수에 관한 한정으로 해석되어서는 아니 됨을 이해할 수 있다. 사실, 우물은 미리 결정된 치수를 갖는 적절한 영역으로서 간주될 수 있다. 형상이 다른(예컨대, 사각형, 구형, 원통형 또는 원추형) 우물이 예상된다.

대안적으로, 기능 층의 두께 변조는 기능 층의 일부를 형성하는 층을 건조하는 과정 동안, 예컨대 그러한 층과 적절히 정형된 가열판(a suitably shaped heating plate)을 상호작용시킴으로써 달성될 수 있다. 가열판은 그 층 부근이나 그 층과 긴밀히 접촉하여 배치될 수 있다. 예를 들어, H 형상의 가열판이 기능 층의 적절한 구성요소에 근접하게 배치되면, H 형상 가열판에 중첩하는 층의 영역은 인접하는 영역보다 빨리 가열된다. 결과적으로 그렇게 가열된 영역은 인접 영역의 두께와 다른 두께를 가지게 되어, 소망하는 두께 변조로 된다.

가열판의 형상, 온도 및 기능 층과의 상호작용 기간은 소망하는 효과에 따라서 선택될 수 있다. 이러한 선택은 통상의 기술자의 일반적 지식 범위 내에 있다고 생각된다.

PEDOT 층 두께와 관련하여, PEDOT 층 위에 있는 표준 청색 광 방사 폴리머의 동일한 두께에 대하여, PEDOT 층의 두께를 0 nm에서 95 nm로 증가시킴으로써 청색 광 방사로부터 녹색 광 방사로의 변화가 달성될 수 있음이 발견되었다. 따라서 두께 변조기는, 상술한 내용을 참조하여 설명한 바와 같이, 소망하는 색 변조를 재현성있게 달성하는데 적절하다.

본 발명에 따른 디바이스의 일 실시예에서, 복수의 우물은 패터닝된 포토레지스트(patterned photoresist)에 의해 제공된다.

포토리소그래피는 측면 치수(lateral dimension)가 다른 복수의 소망하는 우물을 규정하는데 특히 적절한 방법을 제공한다. 예를 들어, 240 × 240 ㎛² 내지 40 × 40 ㎛²의 치수를 갖는 우물들을 수용하는 레지스트 층이 달성될 수 있고, 도1a와 도1b에 개략적으로 도시된다. 다른 우물 치수 또한 가능함을 알 수 있다. 또한, 치수는 측면 치수, 즉, OLED의 다층 구조를 지지하는 기판의 표면에 평행한 치수(도1a 및 1b에서 축 x, y)에 관련됨을 알 수 있다.

예컨대 정공 주입 층에 사용되는 재료(예컨대, PEDOT)와 같은 액체 재료의 습윤 특성 때문에, 층의 표면을 따라서 치수가 다른 개별 우물은 액체 재료에 의해 다른 정도(extent)로 채워진다. 우물들 각각의 측면 치수는 포토리소그래피 공정의 한계(예컨대, 1 ㎛)로부터 샘플의 전 표면 영역까지 변화할 수 있음을 알 수 있다. 예를 들어, 일반적으로 청색을 방사하는 광 방사 폴리머를 PEDOT 층과 결합하여 사용할 때, 면적이 240 × 240 ㎛²인 우물에 대하여 녹색 방사를 달성하는 것이 가능하고, 한편, 면적이 120 × 120 ㎛² 또는 그 이하인 우물에 대하여 청색 방사를 얻는 것이 가능하였다.

본 발명에 따른 디바이스의 또 다른 실시예에서, 층 두께가 변경된 복수의 영역은 광감응(photosensitive) 정공 또는 전자 주입 층 재료에 대한 패터닝된 광의 인가, 표면 전처리, 프린팅, 코팅 및 건조로 구성되는 그룹으로부터 선택 가능한 기술에 의해 제공된다.

리소그래피 이외의 기술이 층 두께가 다른 영역을 규정하기 위하여 응용될 수 있음이 알려져 있다. 미세 구조의 상세한 패턴이 제공될 때, 일반적으로 포토리소그래피 방법은 3차원 형상이 잘 규정된 객체를 생성할 수 있기 때문에, 포토리소그래피가 바람직함을 알 수 있다. 하지만, 층 두께가 다른 영역을 정형(shaping)할 때의 공차를 완화하려면, 영역은 표면 전처리, 프린팅, 코팅 및 건조와 같은 기술로 형성될 수 있다. 표면 전처리의 예로서, 예컨대 에칭 기술을 사용하는 조면화(roughening)가 있다. 이러한 기술은 상대적으로 저렴하다는 장점을 갖는다.

우물을 사용할 가능성이 있는 기술은 프린팅과 패턴화된 포토레지스트임을 알 수 있다. 물리적 우물이 실질적으로 없는 곳에서의 기술은 표면 전처리, 코팅 및 건조이다. 또한, 광감응성 정공 또는 전자 주입 층 재료에 대한 패터닝된 광의 인가 후에, 인가된 광에 의해 영향받지 않은 재료를 제거하기 위한 세정 단계가 사용되어, 정공 또는 전자 주입 층의 두께를 패터닝할 수 있다.

본 발명에 따른 디바이스의 또 다른 실시예에서, 기능 층은 두께가 변조되고 있는 정공 주입 층에 중첩된 광 방사 층을 포함한다.

색이 다른 광은 OLED의 기능 광 방사 층을 형성하는 임의의 서브 층의 두께를 변조하여 생성될 수 있음이 발견되었다. 예를 들어, 정공 주입 층, 광 방사 층 또는 전자 주입 층의 두께는 대안적 실시예로서 변조될 수 있다.

상기한 내용을 참조하여 설명한 바와 같이, 상면 방사형 OLED를 포함하는 본 발명의 디바이스는 센서, 디스플레이 유닛, 조명 장치 또는 간판 유닛(signage unit)에 관련된다.

본 발명에 따른 OLED는 방사 색이 다른 광의 생성이 소망되는 복수의 디바이스에 사용될 수 있다. 예를 들어, OLED는 적절한 폴리머 또는 분자-기반 유기 전자 디바이스(예컨대, 디스플레이 또는 형광 분광기)에 조립될 수 있다. 추가적으로, 본 발명에 따른 OLED는 조명 디바이스나 간판 유닛에 사용될 수 있다.

또한, 본 기술은 단순한 방식으로 패터닝되고 제어되도록 층들 중 한 층의 두께 변동이 요구되는 유기 전자(organic electronics)의 다른 애플리케이션에서 사용될 수 있다. 실시예로서, 공동의 동조(tuning of cavity)가 요구되는 OFETs, 레이저 동작(lasing) 및 게인 애플리케이션이 있다.

색이 다른 광을 방사하도록 배열되는 상면 방사형 OLED를 제조하는 방법으로서, 이 방법은

- 기판 상에 제1 전극 층을 제공하는 단계;

- 상기 OLED의 광 방사 기능 층 중 일부를 형성하는 재료의 서브 층을 퇴적하는 단계;

- 상기 재료의 서브 층에서 두께가 다른 영역을 형성하기 위하여, 상기 재료와 두께 변경기(modifier)를 상호작용시키는 단계;

- 상기 기능 층 위에 제2 전극 층을 퇴적하는 단계를 포함한다.

예를 들어, 상기 두께 변경기는 미리-정형된 가열판(pre-shaped heater plate)을 포함하고, 상기 방법은

- 상기 재료 층에서 상기 미리-정형된 가열판과 공간적으로 중첩하는 영역에 두께가 변경된 영역을 형성하기 위하여, 상기 재료 층을 상기 미리-정형된 가열판으로 가열하는 단계를 더 포함한다.

대안적으로, 상기 두께 변경기는 측면 치수가 다른 복수의 우물이 마련된 층을 포함하고, 본 방법은 OLED의 광 방사 기능 층의 일부를 형성하는 재료로 상기 우물을 메우는 단계를 더 포함할 수 있다. 이러한 방식으로, OLED의 광 방사 기능 층의 일부를 형성하는 재료 층에 대한 변조된 두께가 달성될 수 있다.

본 발명의 방법은 다이오드의 추가 층을 퇴적하는 단계를 더 포함할 수 있다. 특히, 기능 층이 정공 주입 층 또는 전자 주입 층에 중첩된 광 방사 층과 같은 복수의 층을 포함하면, 본 발명에 따른 방법은 상기 정공 주입 층 및/또는 상기 전자 주입 층에 더하여 상기 광 방사 층을 퇴적하는 단계를 포함한다.

본 발명에 따른 방법의 일 구현예에서, 상기 제1 전극 층 및/또는 상기 제2 전극 층은 반사성 또는 부분 반사성일 수 있다. 대안적으로, 상기 기판용으로, 유리 또는 플라스틱 포일 상에 제공된 반사성 재료 또는 금속 포일이 사용될 수 있다. 본 발명에 따른 방법의 또 다른 실시예에서, 두께가 변조된 재료는 전자 주입 층, 또는 금속 전극 층 위에 있고 광학적으로 (반) 투명 정공 또는 전자 주입 층 아래에 있는 광학적으로 (반) 투명 스페이서 층이다. (반) 투명 층은 가시 광에 대하여 적어도 50%의 투명도를 갖는다는 것을 알 수 있다.

본 발명의 방법에 있어서, 층 두께가 패터닝된 재료 층은 리소그래피 또는 프린팅, 코팅, 건조 또는 표면 전처리에 의해 생산될 수 있는 두께 변조기를 사용해 제공될 수 있다. 광 방사 기능 층의 서브 층 두께를 국소적으로 변조하여 색 변조를 달성하는 본 발명에 따른 방법은 전계 효과 트랜지스터(FET)의 제조 동안에도 또한 적용될 수 있다.

본 발명의 이러한 양태 및 다른 양태는 도면을 참조하여 더욱 상세히 설명된다. 도면에서, 유사한 참조 번호는 유사한 요소를 가리킨다. 도면은 예시를 목적으로 제공되었고, 첨부 청구항의 범위를 한정하는데 사용되지 않음을 알 수 있다.

본 발명은 색이 다른 광을 변조된 기능 층을 사용해 방사할 수 있는 상면 방사형 OLED를 제공한다.

도1a는 본 발명에 따른 OLED 단면의 일 실시예를 개략적으로 나타낸다.
도1b는 도1a 구조의 상면도를 개략적으로 나타낸다.
도2는 PEDOT 기능 층의 두께가 변조되고, 정규적(normally) 청색-방사 광 방사 층의 두께가 동일하게 유지될 때, 상면 방사형 OLED로부터 얻을 수 있는 방사에 대한 CIE 색 좌표를 나타낸다.

도1a는 본 발명에 따른 OLED 단면의 일 실시예를 개략적으로 나타낸다. 본 실시예의 OLED(10)는 적절한 기판(2) 상에 배열된 예컨대 애노드(4)와 같은 반사 전극의 층을 포함하는 상면 방사형 OLED에 관련된다. 애노드 층의 위에, 요소(5a, 5b, 5c)를 포함하는 층이 마련되고, 각 요소는 나중에 기능 층의 두께 변조 패턴으로 된다. 바람직하게는, 요소(5a, 5b 및 5c)는 포토리소그래피 방법을 사용해서 미리 패터닝되는 포토레지스트에 관련된다. 본 발명에 따라서, 기능 층의 서브 층(예컨대, 정공-주입 층)이 변조되어서, 각기 두께가 다른 영역(H1, H2)을 산출한다. 이러한 두께 변조는, 액체로 채워진 우물(well)의 레벨은 그 우물의 측면 치수(예컨대, 기판의 x축을 따른 치수 X1, X2)에 의해 결정된다는 공지의 효과를 이용하여 달성된다. 이 효과는 기능 층의 두께를 변조하는, 안정적이고 재현성있는 수단을 제공하는 것으로 알려져 있고, 따라서 미세 공동 효과(micro cavity effect)를 통해 방사된 광의 최종 색에 대한 정확하고 안정적인 변조가 얻어진다.

축을 따른 측면 치수 또는 단면 영역과 같은 우물 치수와, 예컨대, 정공-주입 층(예컨대, PEDOT:PSS 또는 PANI)으로 사용되는 재료, 적절한 광 방사 폴리머(LEP), 또는 전자 주입 층을 위한 적절한 재료와 같은 주어진 재료로 채워진 결과적인 우물 사이의 관계는 이론적으로 또는 실험적으로 미리 결정될 수 있음을 알 수 있다.

도1b는 도1a 구조의 상면도를 개략적으로 나타낸다. 이 상면도는 명확화를 목적으로 과장되었음을 알 수 있다. 본 발명의 일 양태에 따라서, 상면 방사형 OLED의 기능 광 방사 층을 구성하는 층의 두께는 예컨대, 도1a에서 5a, 5b, 5c 등으로 보인 뱅크 구조 사이에 형성된 복수의 우물을 사용하여 변조된다. 우물(w1, w2, w3 등)의 x축과 y축을 따르는 측면 치수는 우물 상에 직접 퇴적된 층의 결과적 두께(H1, H2, H3 등)를 결정한다. 따라서 기능 층 일부에 대한, 소망하는 간단하고 재현성있는 두께 변조가 달성된다.

예를 들어, 우물(w1, w2, w3 등)은 240 × 240 ㎛² 내지 40 × 40 ㎛²의 치수를 갖는 우물을 수용하는 레지스트 층을 만드는 포토리소그래피 마스크를 이용해 형성될 수 있다. 이러한 마스크를 사용하는 경우, 우물(w1, w2, w3)이 있는 포토레지스트 층의 표면에 예컨대 스핀 코팅(spin coating)에 의해 PEDOT 층 및 정규적 청색-방사 폴리머 층이 퇴적되면, 포토레지스트 층 내 우물의 측면 치수에 관련하여, 방사 색이 녹색에서 청색까지 변화하는 OLED를 생산할 수 있다.

본 발명에 따른 OLED는 다음과 같은 장점을 갖는 것이 발견되었다. 특정 정공-주입 층과 광 방사 층에 대하여 방사 색을 국소적으로 변경하는 일반적 기술은 이들 층 아래에 있는 ITO 층을 사용하고, 이 ITO 층의 두께를 국소적으로 변경한다. 하지만, ITO 층을 패터닝하는 것은 고가이며 부가적인 처리 스텝이고, 이 깨지기 쉬운 재료는 휠 수 있는 전자 애플리케이션(flexible electronic application)에는 이상적이지 않다. 본 명세서에 기술된 본 발명에서는, OLED의 기능 층 일부를 형성하는 서브 층의 두께를 변조하여 방사 색 변조를 얻으므로, 깨지고 쉽고 고가인 ITO 층이 요구되지 않는다. 두께 변조를 미세하게 조정함으로써, 매우 많은 방사 색이 얻어질 수 있으며, 이는 도2a를 참조하여 더욱 상세히 설명한다. 타인이 설명한 대안적 기술은 제어된 잉크-젯 프린팅 프로세스를 이용하여 광 방사 층의 두께를 국소적으로 변경한다. 본 출원인이 설명하는 기술은 이 보다 매우 직접적이다. 홀 주입, 광 방사 또는 전자 주입 층 두께의 변화는, 패터닝된 전체 표면 위에 있는 층 각각을 슬롯-다이 코팅(slot-die coating)과 같은 대면적 코팅 기술을 사용하여 코팅함으로써, 빠르고, 간단하고, 비용 효율적인 방법으로 달성된다. 오직 하나의 광 방사 재료(특히, 정규적 백색-방사 재료가 사용되면)로부터, 개별 적색, 녹색 및 청색 방사기를 사용할 필요없이, 많은 색을 얻을 수 있다. 다음, 우물을 패터닝하기 위하여 포토리소그래피가 사용되면, 포토레지스트 층은 단색 간판 애플리케이션에 대하여도, 어떻게든 픽셀 패턴을 규정하기 위하여 사용될 수 있으므로, 추가 생산 비용이 들지 않을 가능성이 높다. 또한, OLED에 걸친 색 변화의 해상도(resolution)는 포토레지스트에 대한 포토리소그래피에 의해 결정되며, 이 포토리소그래피는 고품질 패터닝이 가능하다고 알려져 있다. 건조 또는 표면 전처리와 같은, 기능 층 내 임의의 서브 층 두께를 변화시키기 위한 다른 기술도 또한 간단하고 비용 효과적일 수 있다.

도2는 PEDOT 기능 층의 두께가 변조되고, 기능 층 위에 있는 정규적 청색-방사 광 방사 층의 두께가 동일하게 유지될 때, 상면 방사형 OLED로부터 얻을 수 있는 방사에 대한 CIE 색 좌표를 나타낸다. CIE 도는 나안으로 볼 수 있는 모든 색을 정량 방식으로 표현하는 한 방법이다. 가시(可視) 색은 도면 상에서 검은 실선으로 표식된(marked) 벨 모향의 영역 내에 속하고, 따라서 각 색은 그래프의 각 축으로부터 읽을 수 있는 x,y 좌표를 갖는다. 단일 방사 파장에 상응하는 색은 검은색 선 상에 정확하게 위치하고, 이들 특정 파장 중 일부는 도2에서 흰색 원으로 표식되고, 원 옆에는 상응하는 파장이 표시된다. 벨 모양의 좌측 하부 코너에 속하는 색은 청색이고, 상부에 있는 색은 녹색이고, 우측 코너에 있는 색은 적색이다. 흰색은 벨 모양의 중앙 부근, (0.33, 0.33) 좌표에 위치한다. PEDOT 층 두께가 상이하지만 동일한 정규적 청색-방사, 광 방사 층을 갖는 상면 방사형 OLED에 대하여, 다른 방사 색이 달성된다. 방사 색의 변화가 상당하다는 것을 증명하기 위하여, 이러한 디바이스에 대한 색 좌표가 CIE 도 위에 검은색 원으로서 플롯되고, 검은색 원 옆에 상응하는 PEDOT 층 두께가 표시된다. PEDOT 층 두께를 0nm에서 95nm까지 변화시키면, 방사는 청색 방사에 상응하는 (0.15, 0.15) 부근의 좌표로부터 녹색 방사에 상응하는 (0.24, 0.38) 부근의 좌표로 이동한다. 따라서 도2는 기능 층 내의 PEDOT 층의 두께에 의해 방사 색이 어떻게 제어될 수 있는지에 대한 예를 나타낸다. 우물 치수와 색 사이의 관계를 결정하기 위하여, 우물 사이즈가 다른 테스트 패턴이 만들어 질 수 있다. 결과적으로, 적절한 포토리소그래픽 마스크 또는 다른 패터닝 수단은, 소망하는 층에서 두께 변조의 정확하고 국소적인 생성이 가능하도록, 이러한 관계에 따라서 디자인될 수 있다.

본 발명의 특정 실시예가 위에서 설명되었지만, 본 발명은 설명된 바와 다르게 실시될 수 있음을 알 수 있다. 또한, 다른 도면을 참조하여 설명된 개별 특징들은 결합될 수 있다.

2 기판
4 애노드
5a, 5b, 5c 요소
10 OLED

Claims (14)

1. 서로 다른 방사 색(emission color)의 광을 방사하도록 배열되며, 제1 전극, 제2 전극, 및 상기 제1 전극과 제2 전극 사이에 배치되고 광의 방사가 가능한 기능 층을 포함하는 상면 방사형(top-emissive) OLED(organic light-emitting diode)로서,
   상기 기능 층의 두께는 그 기능 층의 적어도 일부를 두께 변조기(modulator)와 상호작용시킴으로써 변조되고,
   상기 기능 층의 상기 일부는 정공 주입 층 또는 전자 주입 층을 포함하고,
   상기 두께 변조기는 측면 치수가 상이한 복수의 우물(well)이 마련된 층을 상기 기능 층 바로 아래에 포함하고,
   상기 기능 층의 두께 변조는 습윤 특성(wetting properties)으로 인하여 상이한 치수의 우물들에 대해 서로 다른 레벨로 우물을 메우는 것으로 달성되는 상면 방사형 OLED.
2. 청구항1에 있어서, 상기 두께 변조기는 상기 OLED의 제조 동안 상기 기능 층 부근에 배치되는 가열기(heater)를 포함하는 상면 방사형 OLED.
3. 청구항2에 있어서, 상기 복수의 우물은 패터닝된 포토레지스트에 의해 제공되는 상면 방사형 OLED.
4. 청구항1에 있어서, 상기 기능 층의 두께 변조기는 표면 전처리, 프린팅, 코팅 및 건조로 구성되는 그룹으로부터 선택 가능한 기술에 의해 제공되는 상면 방사형 OLED.
5. 청구항1에 있어서, 상기 정공 주입 층 또는 상기 전자 주입 층은 광감응성이고, 상기 두께 변조는 상기 광감응성 정공 또는 전자 주입 층에 패터닝된 광을 인가함으로써 제공되는 상면 방사형 OLED.
6. 청구항1에 있어서, 상기 기능 층은 광학적으로 (반) 투명 스페이서(spacer) 층 위에 배치된 정공 또는 전자 주입 층에 중첩된 광 방사 층을 포함하고, 상기 광학적으로 (반) 투명 스페이서 층의 두께는 변조되는 상면 방사형 OLED.
7. 청구항1에 있어서, 상기 기능 층은 정공 주입 층 또는 전자 주입 층에 중첩된 광 방사 층을 포함하고, 상기 광 방사 층의 두께는 변조되는 상면 방사형 OLED.
8. 청구항1에 따른 상면 방사형 OLED를 포함하는 전자 디바이스.
9. 서로 다른 색의 광을 방사하도록 배열되는 상면 방사형 OLED를 제조하는 방법으로서,
   기판 상에 제1 전극 층을 제공하는 단계;
   측면 치수가 상이한 복수의 우물이 마련된 층을 포함하는 두께 변조기를 제공하는 단계;
   상기 OLED의 광 방사 기능 층 중 일부를 형성하는 재료 층을 퇴적하는 단계로서, 상기 기능 층의 두께 변조는 상기 기능 층 바로 아래에서 습윤 특성(wetting properties)으로 인하여 상이한 치수의 우물들에 대해 서로 다른 레벨로 우물을 메우는 것으로 달성되며, 상기 기능 층을 위하여 정공 주입 층 또는 전자 주입 층이 선택되는 상기 퇴적하는 단계; 및
   상기 기능 층 위에 제2 전극 층을 퇴적하는 단계를 포함하는 방법.
10. 청구항9에 있어서, 상기 두께 변조기는 미리-정형된 가열판을 포함하고, 상기 방법은
    상기 재료 층에서 상기 미리-정형된 가열판에 공간적으로 인접한 부근에 두께가 변조된 영역을 형성하기 위하여, 상기 재료 층을 상기 미리-정형된 가열판으로 가열하는 단계를 더 포함하는 방법.
11. 청구항9에 있어서, 상기 제1 전극 층 및/또는 상기 제2 전극 층은 반사성 또는 부분 반사성인 방법.
12. 청구항9에 있어서, 상기 기판용으로, 유리 또는 플라스틱 포일 상에 제공된 반사성 재료 또는 금속 포일이 사용되는 방법.
13. 삭제
14. 삭제

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