KR101738182B1 - 프로세스 모듈 레벨에서 제어되지 않은 이벤트들을 식별하는 장치 및 그 방법 - Google Patents

프로세스 모듈 레벨에서 제어되지 않은 이벤트들을 식별하는 장치 및 그 방법 Download PDF

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Abstract

플라즈마 프로세싱 시스템 내의 기판 프로세싱을 용이하게 하도록 구성된 PLTA (process-level troubleshooting architecture) 가 제공된다. 이 아키텍쳐는 프로세스 모듈 제어기를 포함한다. 이 아키텍쳐는 또한, 복수의 센서를 포함하며, 복수의 센서들의 각각의 센서는 하나 이상의 프로세스 파라미터에 대한 센싱된 데이터를 수집하도록 프로세스 모듈 제어기와 통신한다. 이 아키텍쳐는 프로세스 모듈 레벨 분석 서버를 더 포함하며, 이 프로세스 모듈 레벨 분석 서버는 복수의 센서 및 프로세스 모듈 제어기와 직접 통신한다. 프로세스 모듈 레벨 분석 서버는 데이터를 수신하도록 구성되며, 이 데이터는 복수의 센서로부터의 센싱된 데이터 및 프로세스 모듈 제어기로부터의 프로세스 모듈 및 챔버 데이터 중 적어도 하나를 포함한다. 프로세스 모듈 레벨 분석 서버는 또한, 기판 프로세싱 동안에 문제를 식별한 경우, 데이터를 분석하고 금지 데이터 (interdiction data) 를 프로세스 모듈 제어기에 직접 전송하도록 구성된다.

Description

프로세스 모듈 레벨에서 제어되지 않은 이벤트들을 식별하는 장치 및 그 방법{ARRANGEMENT FOR IDENTIFYING UNCONTROLLED EVENTS AT THE PROCESS MODULE LEVEL AND METHODS THEREOF}
플라즈마 프로세싱에서의 향상은 반도체 산업의 성장을 제공해 왔다. 경쟁력을 위하여, 제조사들은 품질있는 반도체 디바이스로 기판을 프로세싱할 수 있는 것이 필요하다. 일반적으로, 기판 프로세싱 동안에 만족스러운 결과를 달성하기 위해서는, 프로세스 파라미터들의 정밀한 제어가 요구된다. 프로세싱 파라미터들 (예를 들어, RF 전력, 압력, 바이어스 전압, 이온 플럭스, 플라즈마 밀도, 등) 이 미리 정의된 윈도우 밖의 범위에 드는 경우, 원하지 않는 프로세싱 결과들 (예를 들어, 열등한 에치 프로파일, 낮은 선택도 (selectivity), 기판에 대한 손상, 프로세싱 챔버에 대한 손상 등) 이 발생할 수 있다. 따라서, 프로세싱 파라미터들이 미리 정의된 윈도우 밖에 있는 경우의 상태들을 식별하는 능력이 반도체 디바이스들의 제조에 있어 중요하다.
기판 프로세싱 동안에, 기판에 손상을 줄 수 있거나 및/또는 프로세싱 챔버 컴포넌트들에 손상을 줄 수 있는 특정의 제어되지 않은 이벤트들이 발생할 수 있다. 제어되지 않은 이벤트들을 식별하기 위하여, 기판 프로세싱 동안에 데이터를 수집할 수 있다. 센서와 같은 모니터링 디바이스를 채용하여, 기판 프로세싱 동안에 (바이어스 전압, 반사 전력, 압력 등과 같은) 다양한 프로세스 파라미터들에 대한 데이터를 수집할 수 있다. 본 명세서에 설명된 바와 같이, 센서는 플라즈마 프로세싱 컴포넌트의 상태들 및/또는 신호들을 검출하기 위해 채용될 수 있는 디바이스를 의미한다. 쉬운 설명을 위하여, 용어 "컴포넌트"는 프로세싱 챔버 내의 원자적 (atomic) 또는 다중 부품의 어셈블리를 의미하는데 이용될 수 있다.
센서들에 의해 제어되고 있는 데이터의 유형 및 양이 최근 증가하고 있다. 프로세스 모듈 데이터 및 프로세스 콘텍스트 데이터 (챔버 이벤트 데이터) 와 관련하여 센서들에 의해 제어되는 데이터를 분석함으로써, 미리 정의된 윈도우 밖에 있는 파라미터들을 식별할 수 있다. 따라서, (레시피 조정과 같은) 정정 액션 (corrective action) 을 제공하여, 제어되지 않은 이벤트(들)를 중단할 수 있고, 이에 의해 기판 및/또는 프로세싱 챔버 컴포넌트에 추가의 손상이 발생하는 것을 방지할 수 있다.
본 발명은 플라즈마 프로세싱 시스템 내의 기판 프로세싱을 용이하게 하도록 구성된 PLTA (process-level troubleshooting architecture) 에 관한 것이다. 이 아키텍쳐는 프로세스 모듈 제어기를 포함한다. 이 아키텍쳐는 또한, 복수의 센서를 포함하며, 복수의 센서들의 각각의 센서는 하나 이상의 프로세스 파라미터에 대한 센싱된 데이터를 수집하도록 프로세스 모듈 제어기와 통신한다. 이 아키텍쳐는 프로세스 모듈 레벨 분석 서버를 더 포함하며, 이 프로세스 모듈 레벨 분석 서버는 복수의 센서 및 프로세스 모듈 제어기와 직접 통신한다. 프로세스 모듈 레벨 분석 서버는 데이터를 수신하도록 구성되며, 이 데이터는 복수의 센서로부터의 센싱된 데이터와 프로세스 모듈 제어기로부터의 프로세스 모듈 및 챔버 데이터 중 적어도 하나를 포함한다. 프로세스 모듈 레벨 분석 서버는 또한, 기판 프로세싱 동안에 문제를 식별한 경우, 데이터를 분석하고 금지 데이터 (interdiction data) 를 프로세스 모듈 제어기에 직접 전송하도록 구성된다.
상기 요약은 본 명세서 내에 개시된 본 발명의 많은 실시형태들의 하나에 관한 것일 뿐이며 청구범위 내에 기술된 본 발명의 범위를 한정하는 것으로 의도되지 않는다. 본 발명의 이들 특징 및 다른 특징들은 다음에 오는 도면과 함께 아래의 본 발명의 상세한 설명에서 보다 자세히 설명될 것이다.
본 발명은 첨부된 도면부의 도면들을 통하여 비제한적으로 예를 들어 설명되며, 도면 내에서 같은 도면 부호는 동일한 요소를 의미한다.
도 1 은 호스트 레벨 분석 서버를 가진 상호접속 툴 환경의 종래 기술의 전체적인 로직 도를 나타낸다.
도 2 는 센서와 프로세스 모델 제어기 사이의 데이터를 상관시키기 위한 클러스터 툴 레벨 솔루션을 가진 상호접속 툴 환경의 단순 블록도를 나타낸다.
도 3 은 본 발명의 일 실시형태에서, 프로세스 레벨 중재 아키텍쳐 (process-level troubleshooting architecture) 의 단순 로직 개략도를 나타낸다.
도 4 는 본 발명의 일 실시형태에서, 프로세스 모듈 레벨 분석 서버의 단순 기능도를 나타낸다.
이하, 본 발명은 첨부된 도면에서 나타낸 본 발명의 수개의 실시형태들을 참조로 자세히 설명될 것이다. 다음 설명에서, 다수의 특정 세부 사항은 본 발명의 철저한 이해를 제공하기 위해 기술된다. 그러나, 당해 기술 분야의 당업자에게는 이들 특정 세부 사항의 일부 또는 전부 없이도 본 발명이 실시될 수 있음이 명백하다. 다른 예에서, 본 발명을 불필요하게 모호하게 하는 것을 피하기 위하여 잘 알려진 프로세스 단계 및/또는 구조를 설명하지 않았다.
이하, 방법들 및 기술들을 포함한 다양한 실시형태들이 설명된다. 본 발명은 또한, 본 발명의 기술의 실시형태들을 수행하기 위한 컴퓨터 판독가능 명령들이 저장되어 있는 컴퓨터 판독가능 매체를 포함한 제조 물품을 포함할 수 있음을 유념해야 한다. 컴퓨터 판독가능 매체는 예를 들어, 컴퓨터 판독가능 코드를 저장하기 위한, 반도체, 자기, 광자기, 광학 또는 다른 형태의 컴퓨터 판독가능 매체를 포함할 수 있다. 추가로, 본 발명은 또한, 본 발명의 실시형태들을 실시하기 위한 장치들을 포함할 수도 있다. 이러한 장치는 본 발명의 실시형태들에 관한 작업들을 수행하는 전용의 및/또는 프로그래밍가능한 회로들을 포함할 수 있다. 이러한 장치의 예들은 적절하게 프로그래밍된 경우 범용 컴퓨터 및/또는 전용 컴퓨팅 디바이스를 포함하며, 본 발명의 실시형태들에 관한 다양한 작업들을 위해 구성된 컴퓨터/컴퓨팅 디바이스 및/또는 전용/프로그래밍가능 회로의 조합을 포함할 수도 있다.
상술한 바와 같이, 경쟁력을 얻기 위하여 제조자들은 기판 프로세싱 동안에 발생할 수 있는 문제들을 효율적이고 효과적으로 중재할 수 있어야 한다. 중재는 일반적으로 프로세싱 동안 수집된 과다한 데이터를 분석하는 것을 포함한다. 용이한 설명을 위하여, 도 1 은 호스트 레벨 분석 서버를 가진 상호접속 툴 환경의 종래 기술의 전체적인 로직 도를 나타낸다.
예를 들어, 제조사들이 (에치 툴, 클리닝 툴, 스트립 툴 등과 같이) 하나 이상의 클러스터 툴들을 가질 수 있는 상황을 고려하여 본다. 각각의 클러스터 툴은 복수의 프로세싱 모듈을 가질 수 있으며, 각각의 프로세싱 모듈은 하나 이상의 특정 프로세스들을 위하여 구성된다. 각각의 클러스터 툴은 CTC (cluster tool controller) (104), CTC (106) 및 CTC (108) 와 같은 CTC 에 의해 제어될 수 있다. 각각의 클러스터 툴 제어기는 PMC (process module controller)(110, 112, 114 및 116) 와 같은 하나 이상의 PMC 와 상호작용할 수 있다. 쉬운 설명을 위하여, PMC (110) 와 관련한 예가 제공된다.
중재 (intervention) 를 필요로 할 수 있는 상태들을 식별하기 위하여, 센서들을 채용하여 기판 프로세싱 동안에 프로세싱 파라미터들에 대한 데이터 (센싱된 데이터) 를 수집할 수 있다. 일례에서, 기판 프로세싱 동안에, (센서들 (118, 120, 122, 124, 126, 128, 130, 132, 134, 136, 138, 및 140) 과 같은) 복수의 센서들은 하나 이상의 프로세싱 파라미터들에 대한 데이터를 수집하기 위해 프로세스 모듈 제어기와 상호작용할 수 있다. 이용가능할 수 있는 센서들의 유형은 수집될 수 있는 데이터의 유형에 의존할 수 있다. 예를 들어, 센서 (118) 는 전압 데이터를 수집하도록 구성될 수 있다. 다른 예에서, 센서 (120) 는 압력 데이터를 수집하도록 구성될 수 있다. 일반적으로, 프로세스 모듈로부터 데이터를 수집하는데 채용될 수 있는 센서들은 상이한 브랜드, 메이크 및/또는 모듈로 이루어질 수 있다. 그 결과, 센서는 다른 센서와 상호작용을 거의 또는 전혀 하지 않을 수도 있다.
일반적으로, 센서는 하나 이상의 특정 파라미터들에 대한 측정 데이터를 수집하도록 구성된다. 대부분의 센서들이 프로세싱을 수행하도록 구성되지 않기 때문에, 각각의 센서는 (컴퓨터, 사용자 인터페이스 등과 같은) 컴퓨팅 모듈에 연결될 수 있다. 컴퓨팅 모듈은 일반적으로, 아날로그 데이터를 프로세싱하여 미가공 아날로그 데이터 (raw analog data) 를 디지털 포맷으로 변환하도록 구성된다.
일 실시예에서, 센서 (118) 는 PMC (110) 로부터 센서 케이블 (144) 을 통하여 전압 데이터를 수집한다. 센서 (118) 에 의해 수신된 아날로그 전압 데이터는 컴퓨팅 모듈 (118b) 에 의해 프로세싱된다. 센서들에 의해 수집된 데이터는 (데이터 박스 (142) 와 같은) 호스트 레벨 분석 서버에 전송된다. 네트워크 접속을 통하여 데이터 박스 (142) 를 향하여 데이터를 전송하기 전에, 데이터는 먼저 컴퓨팅 모듈에 의해 아날로그 포맷으로부터 디지털 포맷으로 변환된다. 일 실시예에서, 컴퓨팅 모듈 (118b) 은 네트워크 경로 (146) 를 통하여 데이터 박스 (142) 로 데이터를 전송하기 전에, 센서 (118) 에 의해 수집된 아날로그 데이터를 디지털 포맷으로 변환한다.
데이터 박스 (142) 는 프로세스 모듈들 및 센서들을 포함한 복수의 소스로부터 데이터를 수집, 프로세싱 및 분석하도록 구성된 중앙 집중형 분석 서버일 수 있다. 일반적으로, 하나의 데이터 박스는 단일의 제조사의 클러스터 툴들 모두에 의한 기판 프로세싱 동안에 수집된 데이터를 프로세싱하도록 이용가능할 수 있다.
데이터 박스 (142) 로 전달될 수 있는 데이터의 실제량은 센서들에 의해 수집된 양보다 상당히 작을 수 있다. 일반적으로, 센서는 대량의 데이터를 수집할 수 있다. 일 실시예에서, 센서는 초당 1 메가바이트까지의 레이트로 데이터를 수집할 수 있다. 그러나, 센서들에 의해 수집된 데이터의 일부분만이 데이터 박스 (142) 에 전송된다.
센서들에 의해 수집된 전체 데이터 스트림들을 데이터 박스 (142) 로 전송하는 것이 아닌 한가지 이유는 비용효과적이고 상업적으로 이용가능한 통신 프로토콜들을 이용하는 경우의 네트워크 대역폭 제한 때문이다. 데이터 박스 (142) 에 대한 네트워크 파이프라인은 (센서들 (118, 120, 122, 124, 126, 128, 130, 132, 134, 136, 138, 및 140) 과 같은) 복수의 소스로부터 (데이터 박스 (142) 와 같은) 단일의 수신기에 전송될 데이터의 큰 볼륨을 처리할 수 없을 수도 있다. 즉, 센서 장치들 (센서 및 컴퓨팅 모듈) 과 데이터 박스 (142) 사이의 네트워크 경로는 데이터 박스 (142) 가 모든 센서 장치들로부터 발생하는 대량의 데이터를 수신하려 시도할 때 보다 많은 트래픽 혼잡을 경험할 수 있다. 상기 설명으로부터 이해될 수 있는 바와 같이, 데이터 박스 (142) 가 들어오는 트래픽을 처리할 수 없다면, 전송중인 데이터 패킷은 누락될 수 있고, 재전송될 필요가 있을 수 있으며, 이에 의해 이미 심하게 혼잡한 네트워크 파이프라인 상에 추가 부담을 가할 수 있다.
추가로, 데이터 박스 (142) 는 다수의 소스들로부터 들어오는 높은 볼륨의 데이터를 처리할 수 없을 수도 있는 동시에, 데이터를 프로세싱하고 분석하는 것과 같은 다른 중요한 기능들도 수행할 수 없다. 상술한 바와 같이, 데이터 박스 (142) 는 들어오는 데이터 패킷들을 수신하도록 구성될 뿐만 아니라 데이터 박스 (142) 는 또한, 예를 들어 들어오는 데이터 스트림 모두를 프로세싱 또는 분석하도록 구성된다. 데이터 박스 (142) 는 수집되고 있는 상이한 데이터 스트림들에 대한 분석 서버이기 때문에, 데이터 박스 (142) 는 과다한 데이터 스트림들에 대한 분석을 수행하기에 충분한 프로세싱 능력을 필요로 한다.
데이터 박스 (142) 는 제한된 프로세싱 리소스를 갖기 때문에, 각각의 센서로부터 수집된 데이터의 일부분만이 데이터 박스 (142) 에 전송된다. 일 실시예에서, 단일의 센서에 의해 수집될 수 있는 수천개의 데이터 항목 중에서, 1 내지 5 헤르쯔에서 10 개 내지 15 개의 데이터 항목만이 데이터 박스 (142) 에 전달될 수 있다. 일 실시예에서, 센서 (118) 에 의해 수집된 데이터의 요약본만이 데이터 박스 (142) 에 전송될 수 있다.
복수의 센서로부터 데이터를 수신하는 것에 더하여, 데이터 박스 (142) 는 또한, 프로세스 모듈 제어기로부터 데이터를 수신할 수도 있다. 일 실시예에서, 프로세스 모듈 데이터 및 프로세스 콘텍스트 데이터 (챔버 이벤트 데이터) 는 각각의 프로세스 모듈 제어기에 의해 수집되어 데이터 박스 (142) 에 전달될 수 있다. 쉬운 설명을 위하여, 프로세스 모듈 데이터 및 프로세스 콘텍스트 데이터는 또한 프로세스 모듈 및 챔버 데이터로서 불릴 수도 있다. 예를 들어, 프로세스 모듈 데이터 및 프로세스 콘텍스트 데이터는 PMC (110) 에 의해 수집되어 경로 (148) 를 통하여 CTC (104) 에 전송될 수도 있다. CTC (104) 는 PMC (110) 로부터의 데이터를 관리할 뿐만 아니라 (PMC (112), PMC (114), 및 PMC (116) 와 같이) 클러스터 툴 내에서 다른 프로세싱 모듈 제어기로부터의 데이터를 처리할 수도 있다.
그 후, 클러스터 툴 제어기에 의해 수집된 데이터는 SECS/GEM (semiconductor equipment communication standard/generic equipment module) 인터페이스를 통하여 반도체 장비 팹 호스트 (102) 에 전송된다. 일 실시예에서, CTC (104) 는 PMC들 (110, 112, 114, 및/또는 116) 로부터 수집된 데이터를 SECS/GEM (156) 를 통하여 경로 (150) 를 통해 팹 호스트 (102) 로 전송한다. 팹 호스트 (102) 는 CTC (104) 로부터 데이터를 수신할 수 있을 뿐만 아니라, 예를 들어, CTC들 (106 및 108) 과 같은 다른 클러스터 툴 제어기들로부터도 또한 데이터를 수신할 수 있다. 그 후, 팹 호스트 (102) 에 의해 수집된 데이터는 경로 (158) 를 통하여 데이터 박스 (142) 에 전달된다. 수집된 데이터의 엄청난 양으로 인해, 팹 호스트 (102) 로 전송된 데이터가 데이터 박스 (142) 로 모두 전달되는 것은 아니다. 많은 경우에, 데이터의 요약본만이 데이터 박스 (142) 에 전송될 수도 있다.
데이터 박스 (142) 는 센서들 및 프로세스 모듈 제어기들에 의해 수집된 데이터를 프로세싱, 분석 및/또는 상관시킬 수 있다. 이상 (anomaly) 이 식별되면, 데이터 박스 (120) 는 예를 들어, PMC (110) 에서 수행되고 있는 레시피 단계와 순응하지 않는 파라미터와 같은 문제의 소스를 결정할 수 있다. 문제의 소스가 식별되었다면, 데이터 박스 (142) 는 이더넷 메시지의 포맷으로 팹 호스트 (102) 에 금지 신호 (interdiction) 를 전송할 수 있다. 메시지의 수신시, 팹 호스트 (102) 는 SECS/GEM (156) 을 통하여 CTC (104) 에 메시지를 전달할 수 있다. 그 후, 클러스터 툴 제어기는, 이 실시예에서는 PMC (110) 인 의도된 프로세스 모듈 제어기에 메시지를 중계할 수 있다.
그러나, 금지 신호는 통상 실시간으로 제공되지 않는다. 그 대신에, 금지 신호는 통상, 작용된 기판이 프로세싱된 후에 또는 심지어 전체 기판 로트가 프로세스 모듈로부터 나온 후에 의도된 프로세스 모듈에 의해 수신되어진다. 따라서, 기판/기판 로트가 손상되었을 뿐만 아니라 하나 이상의 프로세싱 챔버 컴포넌트가 부정적인 영향을 받을 수 있고, 이에 의해 폐기물이 증가하고 소유 비용이 증가할 수 있다.
지연 이유 중에 하나는 막대한 양의 데이터가 과다한 소스들로부터 수신되었기 때문이다. 데이터 박스 (142) 가 고속 프로세서로 구성될 수 있고, 큰 볼륨의 데이터 스트림들을 처리하기에 충분한 메모리를 가질 수 있는 경우에도, 데이터 박스 (142) 는 여전히 수집된 모든 데이터를 프로세싱, 상관, 및/또는 분석할 시간을 필요로 할 수 있다.
프로세스 모듈에 의하여 금지 신호를 수신하는데 있어 다른 지연 이유는 데이터 박스 (142) 에 의해 수신되고 있는 불완전 데이터 스트림들 때문이다. 데이터 박스 (142) 가 과도한 소스들로부터 데이터를 수신하기 때문에, 데이터 박스 (142) 에 전송되고 있는 실제 데이터는 수집되고 있는 데이터보다 상당히 작을 수 있다. 일 실시예에서, 센서 (118) 에 의해 수집되는 1 기가헤르쯔 데이터를 전송하는 대신에, 데이터의 일부분 (약 1 내지 5 헤르쯔) 만이 실제 전달된다. 그 결과, 데이터 박스 (142) 가 높은 볼륨의 데이터를 모든 자신의 소스들로부터 수신하고 있는 경우에도, 수신되고 있는 데이터는 통상 불완전하다. 따라서, 데이터 박스 (142) 가 모든 소스로부터의 완전한 데이터 세트에 액세스할 수 없는 경우, 제어되지 않은 이벤트들을 결정하는 것은 시간이 걸릴 수 있다.
추가로, 데이터가 데이터 박스 (142) 에 전송되고 있는 경로는 변할 수 있다. 예를 들어, 아날로그 데이터가 디지털 데이터로 변환된 후, (센서 및 그 컴퓨팅 모듈인) 센서 장치로부터 데이터를 직접 전송한다. 이와 대조적으로, 프로세스 모듈에 의해 수집된 데이터는 (적어도 클러스터 툴 제어기 및 팹 호스트를 통한) 보다 긴 네트워크 경로를 통하여 전송된다. 따라서, 데이터 박스 (142) 는 모든 관련 데이터 스트림들이 수신될 때까지 분석을 완료할 수 없다.
프로세스 모듈과 데이터 박스 (142) 사이의 네트워크 경로는 더 길 뿐만 아니라 이 경로를 통하여 전송된 데이터 스트림들은 통상, 적어도 두 번의 병목 현상에 직면한다. 첫번째 병목 현상은 클러스트 툴 제어기에 있다. 클러스트 툴 내의 프로세스 모듈에 의해 수집된 데이터는 단일의 클러스터 툴 제어기에 전송되기 때문에, 여러 프로세스 모듈들로부터의 데이터 스트림들이 단일의 클러스터 툴 제어기를 통하여 프로세싱되어야 해서 첫번째 병목 현상이 발생한다. 각각의 프로세스 모듈로부터 전송될 수 있는 막대한 볼륨의 데이터가 주어지면, 클러스터 툴 제어기로의 네트워크 경로는 통상 심한 트래픽 혼잡을 경험한다.
데이터가 클러스터 툴 제어기에 의해 수신되었다면, 데이터는 팹 호스트 (102) 에 전송된다. 두번째 병목 현상은 팹 호스트 (102) 에서 발생할 수 있다. 팹 호스트 (102) 가 여러 클러스터 툴 제어기들로부터 데이터를 수신할 수 있는 경우, 팹 호스트 (102) 로의 트래픽이 또한, 높은 볼륨의 데이터가 수신되는 것으로 인해 혼잡을 경험할 수 있다.
데이터 박스 (142) 는 제어되지 않은 이벤트들을 결정하기 위하여 상이한 소스들로부터의 데이터를 필요로 하기 때문에, 프로세스 모듈과 데이터 박스 (142) 사이의 트래픽 상태는 데이터 스트림들의 데이터 박스 (142) 로의 전달을 적시에 방지한다. 그 결과, 데이터 박스 (142) 가 분석을 수행하기 위해 필요한 모든 데이터를 합치기 전에 이전의 시간이 손실된다. 추가로, 금지 신호가 준비되면, 금지 신호를 적용하여 정정 액션을 수행할 수 있기 전에, 금지 신호가 동일한 길이의 경로를 통하여, 작용된 프로세스 모듈에 다시 진행해야 한다.
지연에 기여하는 다른 팩터는 여러 데이터 소스들로부터의 데이터를 상관시키는 도전 과제 (challenge) 이다. 데이터 박스 (142) 에 의해 수신된 데이터 스트림은 통상, 각각의 센서, 및/또는 프로세스 모듈로부터 수집되는 데이터의 요약본이기 때문에, 이용가능한 데이터 스트림들이 상이한 시간 간격으로 이루어질 수 있어, 데이터를 상관시키는 것이 도전 과제가 될 수 있다. 일 실시예에서, 센서 (118) 로부터 데이터 박스 (142) 로 전송된 선택된 데이터 스트림들은 1 초 간격으로 있을 수 있는 한편, PMC (110) 로부터의 데이터 스트림들은 2 초 간격으로 있을 수 있다. 그 결과, 데이터 스트림들을 상관시키는 것은 제어되지 않은 이벤트가 결정적으로 결정될 수 있기 전에 시간을 필요로 할 수 있다.
데이터를 상관시키는 추가 도전 과제는 데이터가 데이터 박스 (142) 에 전송되고 있는 상이한 경로로 인한 것이다. 데이터가 상이한 컴퓨터, 서버 등을 통하여 전송되고 있을 때, 데이터는 드리프트, 네트워크 레이턴시, 네트워크 로딩 등에 노출될 수 있다. 그 결과, 데이터 박스 (142) 는 여러 데이터 소스들로부터의 데이터를 상관시키기 것에 곤란할 수 있다. 제어되지 않은 이벤트들을 신속하게 식별하기 위해, 정밀한 상관이 필요한 경우, 제어되지 않은 이벤트들이 정확하게 식별될 수 있기 전에 수행될 더 많은 분석이 요구될 수 있다.
도 1 에 제공된 솔루션의 다른 단점은 소유 비용이다. 클러스터 툴 시스템을 유지하는 비용에 더하여, 센서 장치와 관련되어 추가 비용이 든다. 각각의 센서는 상이한 브랜드/메이크/모델로 이루어질 수 있고, 각각의 센서 장치는 통상 센서 및 컴퓨팅 모듈을 포함한다. 센서 장치들 각각을 하우징하는데 물리적 공간이 통상 요구된다. 따라서, 센서 장치를 하우징하는 비용은, 특히 부동산 비용이 높을 수 있는 지역에서는 특히 고가일 수 있다.
프로세스 모듈 내의 제어되지 않은 이벤트의 실제 발생과 프로세스 모듈에 의한 금지 신호의 수신 간의 실제 시간 지연을 감소시키기 위하여, 클러스터 레벨 분석 서버가 제공된다. 도 2 는 센서와 프로세스 모델 제어기 사이의 데이터를 상관시키기 위한 클러스터 툴 레벨 솔루션을 가진 상호접속 툴 환경의 단순 블록도를 나타낸다.
도 1 과 유사하게, 클러스터 툴은 (PMC (210, 212, 214 및 216) 와 같은) 복수의 프로세스 모듈을 포함할 수 있다. 분석을 위하여 데이터를 수집하기 위해, 각각의 프로세스 모듈은 (센서들 (218, 220, 222, 224, 226, 228, 230, 232, 234, 236, 238, 및 240) 과 같은) 복수의 센서들에 결합될 수 있다. 각각의 센서는 프로세싱 파라미터 데이터를 수집하기 위하여 (센서 케이블 (244) 과 같은) 센서 케이블을 통하여 자신의 대응하는 프로세스 모듈 제어기와 상호작용할 수 있다. 센서에 의해 수집된 데이터는 아날로그 포맷에 있을 수 있다. 경로 (246) 를 통하여 (원격 제어기 (242) 와 같은) 클러스터 레벨 분석 서버에 데이터를 전달하기 전에, (컴퓨팅 모듈 (218b) 과 같은) 컴퓨팅 모듈은 데이터를 프로세싱하여 디지털 포맷으로 변환할 수 있다.
도 1 과 유사하게, 각각의 프로세스 모듈 제어기는 또한, (CTC (204 및 206) 와 같은) 클러스터 툴 제어기에 (프로세스 모듈 데이터 및 프로세스 콘텍스트 데이터와 같은) 데이터를 전송할 수 있다. 일 실시예에서, PMC (210) 에 의해 수집된 데이터는 경로 (248) 를 통하여 CTC (204) 에 전송될 수도 있다. CTC (204) 는 또한, PMC (210) 로부터의 데이터를 수신할 뿐만 아니라 (PMC (212, 214, 및 216) 와 같이) 다른 프로세싱 모듈 제어기로부터의 데이터를 수신할 수도 있다. 그 후, 클러스터 툴 제어기에 의해 수신된 데이터는 경로 (250) 를 통하여 팹 호스트 (202) 에 전달된다.
팹 호스트 (202) 와 CTC (204) 사이에는, 팹 호스트 (202) 에 전달되고 있는 데이터를 복사하기 위하여 시리얼 탭이 네트워크 경로 (250) 에 접속될 수 있다. 일 실시예에서, 시리얼 탭 (208) 은 CTC (204) 에 의해 팹 호스트 (202) 에 전송되고 있는 데이터를 인터셉트할 수 있다. 데이터는 복사되고, 데이터 스트림의 복사본은 경로 (254) 를 통하여 원격 제어기 (242) 에 전송된다. 팹 호스트가 하나보다 많은 클러스터 툴 제어기에 접속되면, 각각의 클러스터 툴 제어기에 대하여 전용 원격 제어기가 클러스터 툴 제어기와 연관된다. 일 실시예에서, CTC (206) 로부터 경로 (252) 를 통하여 팹 호스트 (202) 로 전송되고 있는 데이터는 다른 시리얼 탭 (256) 에 의해 인터셉트될 수 있다. 데이터는 복사되고, 경로 (258) 를 통하여, CTC (204) 와 연관된 원격 제어기 (242) 와 상이한 원격 제어기 (260) 에 전송된다.
따라서, 단일의 데이터 박스가 여러 클러스터 툴들로부터의 모든 데이터를 처리하는 대신에, 다수의 원격 제어기들이 여러 클러스터 툴들로부터 데이터를 처리하는데 이용가능할 수 있다. 즉, 각각의 클러스터 툴은 자신의 원격 제어기와 연관되어 있다. 각각의 원격 제어기는 (단일의 클러스터 툴과 관련된 프로세스 모듈 제어기들 및 센서들과 같은) 소수의 데이터 소스들로부터의 데이터를 처리하고 있기 때문에, 각각의 원격 제어기는 각각의 소스로부터의 높은 볼륨의 데이터를 처리할 수 있다. 일 실시예에서, 30 내지 100 개의 데이터 항목들이 전송되는 대신에, 현재는 10 헤르쯔에서의 40 kB 내지 100 kB 데이터 항목들이 각각의 원격 제어기에 의해 수신될 수 있다.
센서들 및 프로세스 모듈 제어기들로부터 수신된 데이터는 원격 제어기에 의해 분석된다. 문제가 식별되면, 원격 제어기는 클러스터 툴 제어기에 금지 신호를 전송할 수 있다. 일 실시예에서, 원격 제어기 (242) 는 PMC (210) 내의 문제를 식별한다. 금지 신호는 경로들 (254 및 250) 을 통하여 시리얼 탭 (208) 을 통해 CTC (204) 에 전송된다. 이 실시예에서, 금지 신호를 수신시, CTC (204) 는 PMC (210) 인 의도된 프로세스 모듈 제어기에 금지 신호를 전달한다.
원격 제어기가 (데이터 박스 (142) 에 의해 행해진 바와 같이) 복수의 클러스터 툴 대신에 하나의 클러스터 툴로부터의 데이터를 처리하는 것만을 담당하기 때문에, 더 많은 데이터가 분석될 수 있고, 더 양호한 상관성이 상이한 데이터 세트들 간에 존재할 수 있다. 그 결과, 원격 제어기는 더 양호하고 고속의 분석을 수행할 수 있고 이에 의해, 프로세싱 모듈 내의 제어되지 않은 이벤트들을 정정하기 위해 보다 적시에 금지 신호를 제공할 수 있다. 이 실시예에서, (데이터 박스 (142) 에 의해 제공된 금지 신호와 같이) 식별된 제어되지 않은 이벤트가 다음 기판 로트에서 발생하는 것을 방지하기 위하여 금지 신호를 수신하는 대신에, 예를 들어, 원격 제어기 (242) 에 의해 전송된 금지 신호는 프로세스 엔지니어들이 프로세싱되도록 스케쥴링된 기판 로트의 적어도 일부를 구할 수 있게 한다.
원격 제어기 솔루션은 데이터 박스 솔루션보다 양호한 솔루션이기는 하지만, 원격 제어기 솔루션은 여전히 데이터 분석을 수행하기 위해 요약 데이터에 의존한다. 그 결과, 기판 프로세싱 동안에 발생할 수 있는 문제들이 여전히 식별되지 않은 상태에 있을 수 있다. 추가로, 프로세스 모듈과 원격 제어기 사이의 경로는 여전히 직접 경로가 아니다. 그 결과, 컴퓨터 드리프트, 네트워크 레이턴시, 및/또는 네트워크 로딩은, 원격 제어기가 프로세스 모듈로부터의 데이터와 센서로부터의 데이터를 상관시키는 것을 곤란하게 할 수 있는 시간차 (time discrepancy) 를 야기할 수 있다.
따라서, 원격 제어기 솔루션이 금지 타임 라인을 증가시켰던 경우에도, 원격 제어기 솔루션은 여전히 부적합하게 된다. 기껏해야, 작용된 기판에 의해 경험되는 문제가 다음 기판의 프로세싱 동안에 발생하는 것을 방지할 수 있을 뿐이다. 비용이 최소화될 것을 요구하는 냉혹한 경쟁 시장에서는, 손상된 기판으로 인한 폐기물 및/또는 손상된 프로세싱 챔버 컴포넌트들로 인한 중단 시간 (downtime) 은 마켓 손실로 해석될 수 있다. 따라서, 제어되지 않은 이벤트를 식별하는 실시간 솔루션이 요구된다.
본 발명의 실시형태들에 따르면, 프로세스 모듈 레벨에서 중재를 수행하는 PLTA (process-level troubleshooting architecture) 가 제공된다. 본 발명의 실시형태는 실시간 중재에 실시간 분석을 제공하는 PLTA 를 포함한다. 본 발명의 실시형태는 또한, 센서들 간의 로드 밸런싱 및 장애 허용을 위한 장치들을 포함한다.
본 발명의 일 실시형태에서, PLTA 는 분석 서버가 단일의 프로세싱 모듈 및 자신의 대응하는 센서들과 통신하는 네트워크 시스템이다. 일 실시형태에서, 네트워크 내에서 교환되는 정보는 양방향성이다. 일 실시예에서, 다이 분석 서버는 프로세싱 모듈 및 센서로부터의 프로세스 데이터를 지속적으로 수신할 수 있다. 그 역으로, 센서들은 프로세싱 모듈로부터 데이터를 수신할 수 있고 프로세싱 모듈은 분석 서버로부터 명령들을 수신할 수 있다.
예를 들어, 기판이 프로세싱되고 있는 상황을 고려하여 본다. 기판 프로세스 동안에, 복수의 데이터가 수집될 수 있다. 일 실시예에서, 압력에 대한 데이터가 매 100 밀리초마다 수집된다. 프로세싱이 1 시간 동안에 발생한다면, 압력 파라미터에 대하여 36000개의 데이터 항목이 수집된다. 그러나, 압력 데이터 이외에 복수의 다른 프로세스 데이터 (예를 들어, 전압 바이어스, 온도 등) 도 또한 수집될 수 있다. 따라서, 상당한 양의 데이터가 기판 프로세스가 완료될 때까지 수집되어진다.
종래 기술에서는, (데이터 박스 (142) 와 같은) 복수의 클러스터 툴로부터 아닌 경우, (도 2 의 원격 제어기 (242) 와 같은) 복수의 프로세싱 모듈로부터 수집된 데이터를 서비스하도록 구성될 수 있는 분석 서버에 데이터를 전송한다. 데이터 스트림들은 복수의 소스로부터 오기 때문에, 데이터를 분석 및/또는 상관하는데 시간이 필요하게 된다. 추가로, 종래 기술의 분석 서버는 모든 수집된 데이터를 프로세싱 및 분석할 수 없기 때문에, 각각의 소스로부터 수집된 데이터의 일부분만이 분석 서버에 전송된다. 그 결과, 데이터 스트림들을 코디네이트, 프로세싱, 상관, 및/또는 분석하는 복잡한 작업은 항상 용이하게 이용가능할 수 있는 것은 아닌 시간을 요구한다.
본 발명의 일 양상에서, 본 발명자는 보다 세분된 데이터 (granular data) 가 분석에 이용가능하면 보다 정확하고 신속한 분석이 수행될 수 있음을 알아냈다. 단일의 소스로부터 더 많은 데이터를 분석하기 위하여, 분석 서버는 소수의 소스들로부터의 데이터를 분석해야 한다. 일 실시형태에서, 프로세스 모듈 레벨에서 데이터를 프로세싱 및/또는 분석하기 위한 장치가 제공된다. 즉, 각각의 프로세스 모듈 및 그 대응하는 센서들에 대한 분석을 수행하기 위한 프로세스 모듈 레벨 분석 서버가 제공된다.
일 실시형태에서, 프로세스 모듈 레벨 분석 서버는 하나 이상의 프로세서를 포함할 수 있는 공유 메모리 백본을 포함한다. 각각의 프로세서는 하나 이상의 센서와 상호작용하도록 구성될 수 있다. 일 실시예에서, 센서 1 에 의해 수집된 데이터는 프로세서 1 에 의해 프로세싱될 수 있고 센서 2 에 의해 수집된 데이터는 프로세서 2 에 의해 프로세싱될 수 있다.
종래 기술과 달리, 프로세서들은 로딩 밸런싱 및 장애 허용을 수행하기 위해 프로세싱 전력을 서로 공유할 수 있다. 종래 기술에서는, 컴퓨팅 모듈은 센서에 의해 수집된 데이터를 처리하도록 구성된다. 각각의 컴퓨팅 모듈이 개별 유닛이고 서로 항상 상호작용하는 것은 아니기 때문에, 로딩 밸런싱이 항상 수행되는 것은 아니다. 종래 기술과 달리, 프로세스 모듈 레벨 분석 서버 내의 프로세서들의 세트는 로딩 밸런싱을 수행할 수 있다. 일 실시예에서, 프로세서 1 이 데이터 오버로드를 경험하고 있는 반면, 프로세서 2 가 거의 또는 전혀 데이터를 수신하고 있지 않다면, 프로세서 2 는 센서 1 로부터의 데이터를 프로세싱하는데 있어 프로세서 1 을 지원하도록 보충될 수 있다.
추가로, 종래 기술에서는, 컴퓨팅 모듈이 상이한 브랜드/메이크/모델로 이루어지는 경향이 있기 때문에 컴퓨팅 모듈이 오기능하고 있다면, 다른 컴퓨팅 모듈은 오기능하는 컴퓨팅 모듈에 의해 수행된 프로세싱을 대신 수행할 수 없었다. 종래 기술과 달리, 필요에 따라 프로세서들 간에 작업 로드가 재분배될 수 있다. 예를 들어, 프로세서 2 가 자신의 기능을 수행할 수 없다면, 프로세서 2 가 수리될 때까지 다른 프로세서에 작업 로드가 재분배될 수 있다. 상기 설명으로부터 이해될 수 있는 바와 같이, 프로세서들은 개개의 컴퓨팅 모듈들에 대한 필요성을 제거하며, 이에 의해 컴퓨팅 모듈들을 하우징하는데 필요한 물리적 공간을 감소시킨다.
본 발명의 일 실시형태에서, 프로세서들은 두가지 유형의 프로세서인 프라이머리 프로세서 및 세컨더리 프로세서로 나누어질 수 있다. 프라이머리 프로세서 및 세컨더리 프로세서 양쪽 모두 센서들로부터의 데이터를 처리하도록 구성된다. 일 실시예에서, 세컨더리 프로세서 1 가 센서 1 과 연관되면, 세컨더리 프로세서 1 는 센서 1 로부터 오는 데이터만 통상 프로세싱한다. 유사하게, 세컨더리 프로세서 2 가 센서 2 및 3 과 연관되면, 세컨더리 프로세서 2 는 이들 두개의 센서 (2 및 3) 로부터 오는 데이터만 통상 프로세싱한다.
일 실시형태에서, 공유 메모리 백본은 하나 이상의 프라이머리 프로세서를 포함할 수 있다. 프라이머리 프로세서들의 세트는 센서로부터 오는 데이터를 처리하도록 구성될 수 있을 뿐만 아니라 프로세싱 모듈로부터 오는 데이터를 처리하도록 구성될 수도 있다. 추가로, 프라이머리 프로세서들의 세트는 (센서들 및 프로세싱 모듈과 같은) 여러 소스들 간의 데이터를 상관시키고 분석을 수행하도록 구성된다. 금지 신호가 필요하면, 프라이머리 프로세서들의 세트는 금지 신호를 프로세스 모듈 제어기에 전송하도록 구성된다.
일 실시형태에서, 프라이머리 프로세서는 적어도, 프로세스 모듈 제어기로부터 프로세스 모듈 및 챔버 데이터를 수신하는 것, 복수의 센서들 중 적어도 하나의 센서로부터 센싱된 데이터를 수신하는 것, 센싱된 데이터와 프로세스 모듈 및 챔버 데이터를 상관시키는 것, 및 직접 디지털 출력 라인을 통하여 프로세스 모듈 제어기에 실질적으로 실시간 금지 데이터를 전송하는 것 중 하나를 수행하기 위하여 구성된다.
본 발명의 특징 및 이점들은 다음 도면들 및 설명을 참조로 보다 잘 이해될 수 있다.
도 3 은 본 발명의 일 실시형태에서, 프로세스 레벨 중재 아키텍쳐 (process-level troubleshooting architecture) 의 단순 로직 개략도를 나타낸다. 제조사는 하나 보다 많은 클러스터 툴을 가질 수 있지만, 본 발명의 일 실시형태의 예시로서 단일의 클러스터 툴이 이용된다. 클러스터 툴은 여러가지 수의 프로세싱 모듈을 가질 수 있지만, 도 3 에 예시된 실시예는 4 개의 프로세싱 모듈들을 갖는 단일의 클러스터 툴을 포함한다.
각각의 프로세싱 모듈에 의해 수집된 데이터는 그 대응하는 프로세싱 모듈 제어기들 (PMC (306), PMC (308), PMC (310), 및 PMC (312)) 에 의해 수집되어 클러스터 툴 제어기 (CTC (304)) 를 통하여 팹 호스트 (302) 에 전송된다. PMC들에 의해 전송될 수 있는 데이터는 종래 기술에서 이전에 전송되었던 동일 유형의 데이터 (프로세스 모듈 데이터 및 프로세스 콘텍스트 데이터) 일 수 있다. 종래 기술과 달리, 팹 호스트 (302) 에 전송되고 있는 데이터는 중재를 수행하는 프로세싱 모듈에 의존하지 않는다. 그 대신에, 데이터는 아카이브되어 장래 분석용으로 이용가능할 수 있다.
일 실시형태에서, 프로세스 모듈 레벨 분석 서버 (APECS (314)) 는 중재에 요구되는 분석을 수행하는데 제공된다. 기판이 PMC (308) 에서 에칭되고 있는 상황을 고려하여 본다. 기판 프로세싱 동안에, 센서들 (316, 318, 및 320) 이 PMC (308) 로부터 데이터를 수집한다. 일 실시예에서, 센서 (316) 는 PMC (308) 로부터 전압 바이어스 데이터를 수집하도록 구성된다. PMC (308) 로부터 수집된 아날로그 데이터는 센서 케이블 (328) 을 통하여 센서 (316) 에 전송된다. 이와 유사하게, 센서들 (318 및 320) 은 센서 케이블 (330 및 332) 을 통하여 각각 데이터를 수집할 수 있다. 그 후, 센서들에 의해 수집된 데이터는 프로세싱 및/또는 분석을 위하여 경로들 (322, 324, 및 326) 중 하나의 경로를 통하여 APECS (314) 에 전송될 수 있다.
종래 기술과 달리, 센서들에 의해 수집된 데이터는 분석 서버 (APECS (314)) 에 전송되기 전에 (예를 들어, 요약되는 것과 같이) 예비 프로세싱될 필요가 없다. 일 실시형태에서, 컴퓨팅 모듈로 하여금 데이터를 프로세스하게 하는 대신에, 각각의 센서는 데이터를 APECS (314) 로 전달하기 전에 아날로그 데이터를 디지털 데이터로 변환하도록 채용될 수 있는 간단한 데이터 컨버터를 포함할 수 있다. 대안으로서, 일 실시형태에서, 필드 프로그래밍가능 게이트 어레이(FPGA) 와 같은 데이터 컨버터가 APECS (314) 내에 내장될 수도 있다. 일 실시예에서, 각각의 프로세서는 프로세싱의 일부로서 데이터를 디지털 포맷으로 변환하기 위한 데이터 컨버터 알고리즘을 포함할 수 있다. 상기 설명으로부터 이해될 수 있는 바와 같이, 컴퓨팅 모듈들에 대한 필요성을 제거함으로써, 클러스터 툴 및 그 하드웨어를 하우징하는데 필요한 물리적 공간을 덜 필요로 한다. 그 결과, 소유 비용이 감소될 수 있다.
APECS (314) 는 하나의 프로세싱 모듈 및 그 대응하는 센서들로부터의 데이터만을 프로세싱하는데 전용되기 때문에, APECS (314) 는 단일의 소스로부터 오는 더 높은 볼륨의 데이터를 처리할 수 있다. 즉, 각각의 센서로부터 전송되는 데이터의 볼륨을 점차 감소시켜야 하는 대신에, APECS (314) 는 모두가 그러한 것은 아니지만, 각각의 센서에 의해 수집되는 대부분의 데이터를 처리하도록 구성된다. 일 실시예에서, 이 때, 단지 10 내지 15 개의 데이터 항목들이 분석을 위하여 전송되는 대신에, 각각의 센서로부터 2천개 이상의 데이터 항목이 APECS (314) 에 의한 분석을 위하여 이용가능할 수 있다. 그 결과, APECS (314) 가 프로세스 및 분석하는데 이용가능한 데이터 스트림은 보다 완전한 데이터 세트이다.
일 실시예에서, APECS (314) 는 또한, 프로세싱 모듈로부터 오는 데이터를 처리하도록 구성된다. 데이터 스트림이 (데이터 박스 또는 원격 제어기와 같은) 분석 서버에 의해 수신되기 전에 여러 서버 (예를 들어, 클러스터 툴 제어기, 팹 호스트 등) 를 통한 긴 길이의 데이터 경로를 통하여 전송되는 종래 기술과 달리, 프로세스 모듈에 수집된 데이터는 다른 서버를 통하여 진행할 필요가 없이 APECS (314) 에 직접 전송된다. 일 실시예에서, 프로세스 모듈 데이터는 PMC (308) 로부터 경로 (334) 를 통하여 APECS (314) 에 전송될 수 있다. 제어되지 않은 이벤트가 식별되면, 금지 신호가 다른 서버들로 먼저 진행해야 할 필요없이 경로 (336) 를 통하여 PMC (308) 에 직접 전송될 수 있다.
프로세스 모듈 레벨 분석 서버에 대한 추가적인 세부내용이 도 4 에 제공된다. 도 4 는 본 발명의 일 실시형태에서, 프로세스 모듈 레벨 분석 서버의 단순 기능도를 나타낸다. (APECS (400) 과 같은) 프로세스 모델 레벨 분석 서버가 각각의 프로세스 모듈에 할당될 수 있다. APECS (400) 는 양방향 서버이며, 제어되지 않은 이벤트들이 식별되는 경우 들어오는 데이터를 프로세싱하고 금지 신호를 전송하기 위하여 구성된다.
데이터 소스는 두개의 메인 소스들로부터 센서들에 의해 수집된 데이터 및 프로세스 모듈에 의해 수집된 데이터를 흐르게 할 수 있다. 일 실시형태에서, APECS (400) 는 복수의 센서들 (센서들 (410, 412, 414, 416, 420, 422, 424, 및 426) 로부터 들어오는 데이터를 수신하도록 구성된다. 일부 클러스터 툴 소유자들이 상당한 양의 자금을 통상적인 센서 장치 (컴퓨팅 모듈을 가진 센서) 에 이미 투자할 수 있는 경우, APECS (400) 는 통상적인 센서 장치 및 변경 센서들 (컴퓨팅 모듈을 필요로 하지 않는 센서) 둘다로부터 데이터를 수락하도록 구성된다.
일 실시형태에서, APECS (400) 는 (센서들 (410, 412, 414, 및 416) 과 같은) 통상적인 센서 장치와 인터페이스하기 위하여 이더넷 스위치 (418) 와 같은 인터페이스를 포함할 수 있다. 일 실시예에서, 디지털 데이터가 (경로 (430, 432, 434, 또는 436) 를 통하여) APECS (400) 에 전송되기 전에 센서 (410) 에 의해 수집된 데이터는 먼저, 컴퓨팅 모듈 (410b) 에 의해 아날로그 포맷으로부터 디지털 포맷으로 변환된다. 이더넷 스위치 (418) 는 데이터 스트림들을 수용하기 위하여 통상적인 센서 장치들과 상호작용하도록 구성된다. 그 후, 데이터 스트림들은 프로세싱을 위하여 (경로 (446, 448, 450, 또는 452) 를 통하여) APECS (400) 내의 프로세서들 (402, 404, 406, 및 408) 중 하나에 패스된다.
프로세스 파라미터를 측정하기 위하여 통상적인 센서 장치를 이용하는 대신에, 변경 센서 (컴퓨팅 모듈이 없는 센서) 가 채용될 수 있다. 수집된 데이터가 요약될 필요가 없기 때문에, 컴퓨팅 모듈이 프로세싱이 더 이상 필요없게 된다. 그 대신에, 일 실시형태에서, 변경 센서는 데이터를 아날로그 포맷을 디지털 포맷으로 변환하기 위하여 저가의 FPGA와 같은 데이터 컨버터 (도시 생략) 를 포함할 수 있다. 대안으로서, 센서들 내에 데이터 컨버터를 설치하는 대신에, 데이터 컨버터 (도시 생략) 가 APECS (400) 내에 설치될 수 있다. 데이터 컨버터가 APECS (400) 에 외부에 또는 내부에 설치되는 것과 무관하게, 컴퓨팅 모듈의 제거는 클러스터 툴의 소유에 있어 비용 절감을 제공한다. 일 실시예에서, 컴퓨팅 모듈을 구매, 하우징, 및 관리하는 비용은 실질적으로 제거된다.
본 발명의 일 실시형태에서, APECS (400) 는 들어오는 데이터를 처리하기 위하여 프로세서들의 세트 (402, 404, 406, 및 408) 를 포함한다. 프로세서들의 세트는 물리적 프로세싱 유닛, 가상 프로세서, 또는 이들의 조합일 수 있다. 각각의 프로세서는 프로세서와 연관된 소스들로부터의 데이터 스트림들을 처리하는 것을 담당한다. 일 실시예에서, 센서 (422) 로부터 경로 (440) 를 통하여 흐르는 데이터 스트림들은 프로세서 (404) 에 의해 처리된다. 다른 실시예에서, 센서 (424) 에 의해 수집된 데이터 스트림들은 프로세싱을 위하여 경로 (442) 를 통하여 프로세서 (406) 에 전송된다.
센서들의 개수와, 프로세서와 센서들과의 관계는 사용자의 구성에 의존할 수 있다. 일 실시예에서, 도 4 에는 프로세서들과 센서들 사이의 일대일 관계만을 나타내고 있지만, 다른 관계들도 존재할 수 있다. 일 실시예에서, 프로세서는 하나 보다 많은 소스로부터의 데이터를 처리하도록 구성될 수 있다. 다른 실시예에서, 하나 보다 많은 프로세서는 하나의 센서로부터의 데이터 스트림들을 처리하도록 구성될 수 있다.
일 실시형태에서, 각각의 프로세서들은 공유 메모리 백본 (428) 을 공유한다. 그 결과, 하나 이상의 프로세서들이 오버로딩되는 경우 로드 밸런싱이 수행될 수 있다. 일 실시예에서, 센서 (426) 로부터 경로 (444) 를 통하여 흐르는 데이터 스트림들이 프로세서 (408) 프로세싱 능력을 압도하는 경우, 다른 프로세서들을 보조하여 프로세서 (408) 상의 로드를 감소시키도록 도울 수 있다.
로드 밸린싱 이외에도, 공유 메모리 백본은 또한 장애 허용을 위한 환경을 제공한다. 다시 말해, 프로세서 중 하나가 적절하게 동작하지 못하는 경우, 오기능 프로세서에 의해 이전에 지원받은 처리는 다른 프로세서들로 재분배된다. 일 실시예에서, 프로세서 (406) 가 적절하게 기능하고 있지 못하고 센서 (424) 로부터 오는 데이터 스트림들을 프로세싱할 수 없다면, 프로세서 (404) 는 센서 (424) 로부터의 데이터 스트림들을 처리하도록 지시받을 수 있다. 따라서, 작업로드를 재분배하는 능력은 전체 서버에 대한 중단을 발생시킴이 없이 부적합하게 기능하는 프로세서로 하여금 교체될 수 있게 한다.
일 실시형태에서 두가지 유형의 프로세서들이 APECS (400) 내에 존재할 수 있다. 프로세서들의 첫번째 유형은 (프로세서 (404, 406, 또는 408) 와 같은) 세컨더리 프로세서이다. 각각의 세컨더리 프로세서는 대응하는 센서들로부터 수신된 데이터 스트림들을 프로세스하도록 구성된다. 추가로, 각각의 프로세서는 일 실시형태에서, 데이터를 분석하여, 대응하는 센서(들)와 함께 존재할 수 있는 임의의 잠재적인 문제를 식별하도록 구성된다.
프로세서의 두번째 유형은 프라이머리 프로세서 (402) 로서 알려져 있다. 도 4 는 하나의 프라이머리 프로세서만을 나타내고 있지만, 프라이머리 프로세서의 수는 사용자의 구성에 의존할 수 있다. 다른 실시형태에서, 프라이머리 프로세서는 하나 이상의 센서로부터의 데이터 스트림들을 처리하도록 구성될 수 있다. 일 실시예에서, 센서 (420) 에 의해 수집된 데이터 스트림들은 프로세싱을 위하여 경로 (438) 를 통하여 프라이머리 프로세서 (402) 에 전송된다.
프라이머리 프로세서에 대한 데이터의 다른 소스는 프로세스 모듈이다. 다시 말해, 프로세스 모듈에 의해 수집된 프로세스 모듈 데이터 및 프로세스 콘텍스트 데이터는 프라이머리 프로세서에 의해 프로세싱될 수 있다. 일 실시예에서, 프로세스 모듈에 의해 수집된 데이터는 경로 (454) 를 통하여 프로세스 제어 버스를 통해 APECS (400) 에 전송된다. 그 후, 데이터는 경로 (446) 를 통하여 프라이머리 프로세서 (402) 로 흐르기 전에 먼저 이더넷 스위치 (418) 를 통하여 트래버스 (traverse) 한다.
데이터를 프로세싱하는 것에 더하여, 프라이머리 프로세서는 또한, 다수의 소스들로부터의 데이터를 분석하도록 구성된다. 일 실시예에서, 센서 (422 및 424) 로부터의 데이터 스트림들 간의 데이터 상관은 프라이머리 프로세서 (402) 에 의해 수행된다. 다른 실시예에서, 프로세스 모듈로부터의 데이터 스트림들과 하나 이상의 센서들로부터의 데이터 스트림들 간의 데이터 상관은 또한 프라이머리 프로세서 (402) 에 의해 수행된다.
이때 데이터 소스들 각각에 대한 데이터 경로가 대략 유사한 길이로 이루어지기 때문에, 데이터를 상관시키는 것은 종래 기술에서 경험되는 것보다 상당히 적은 도전과제를 부여한다. 일 실시형태에서, (클러스터 툴 제어기 및/또는 팹 호스트와 같은) 다른 서버들을 통하여 진행해야 할 필요 없이 프로세스 모듈로부터 APECS (400) 로 데이터가 흐르기 때문에, 프로세스 모듈로부터의 데이터 스트림은, 도 1 및 도 2 에 설명된 바와 같이 (클러스터 툴 제어기, 팹 호스트 등과 같은) 다른 서버들을 통하여 데이터 스트림들이 전송되어야 할 경우, 발생할 수 있었던 (컴퓨터 드리프트, 네트워크 레이턴시, 네트워크 로딩 등과 같은) 컴퓨터 및/또는 네트워크 상태들로 인한 변화를 경험하지 않는다. 추가로, 이때, 상관 및 분석을 수행하는데 요구되는, 관련 데이터 스트림들 모두를 수신하는 대기 시간은 상당히 감소된다. 따라서, (컴퓨터 드리프트, 네트워크 레이턴시, 네트워크 로딩 등과 같은) 외부 상태들이 상당히 제거되었을 경우, 상이한 소스들로부터의 데이터의 상관이 상당히 단순화된다.
데이터 경로 이외도, 단일의 소스로부터 보다 높은 세분도를 가진 보다 높은 데이터 볼륨이 상관을 수행하는데 보다 많은 데이터 포인트를 제공하기 때문에, 보다 신속하고 보다 정확한 분석을 수행할 수 있다. 종래 기술에서는, 종래 기술의 분석 서버가 과다한 데이터 소스들로부터의 높은 볼륨의 데이터를 처리할 수 없기 때문에 분석에 이용되는 데이터가 통상 불완전하게 되어 데이터 소스들 간의 상관이 통상 어렵게 된다. 종래 기술과 달리, 이때 각각의 분석 서버가 제한된 수의 데이터 소스 (프로세스 모듈 및 프로세스 모듈과 연관된 센서들) 로부터의 데이터만을 분석하는 것을 담당하기 때문에, 데이터 소스의 개수가 상당히 감소된다. 데이터 소스들의 수가 상당히 감소되기 때문에, 분석 서버가 단일의 소스로부터의 더 높은 볼륨의 데이터를 처리하는 능력을 갖게 된다. 보다 세분된 세부 사항이 제공되는 경우, 더 양호한 상관이 여러 소스들의 데이터 스트림들 간에 달성될 수 있다.
(제어되지 않은 이벤트와 같은) 문제가 식별되면, 프라이머리 프로세서는 금지 신호를 프로세스 모듈에 전송하도록 구성된다. 일 실시형태에서, 직접 디지털 출력 라인 (456) 을 채택하여 APECS (400) 로부터 프로세스 모듈에 금지 신호를 전송한다. 두개의 디바이스들 간의 직접 디지털 출력 라인을 이용하여, 금지 신호가 전송될 수 있기 전에 금지 신호가 이더넷 메시지로 먼저 변환될 필요가 없다. 따라서, 금지 신호를 적절하게 포맷하고 금지 신호를 되변환하는데 필요한 시간이 상당히 제거된다. 따라서, APECS (400) 는 제어되지 않은 이벤트를 처리하기 위하여 프로세스 모듈에 실시간 금지 신호 또는 근실시간 금지 신호를 제공할 수 있다.
다른 실시형태에서, 프라이머리 프로세서는 또한, 경로 (458) 를 통하여 다른 디바이스들과 상호작용하도록 구성될 수도 있다. 일 실시예에서, 클러스터 툴 제어기가 APECS (400) 에 요청을 전송하면, 요청은 경로 (458) 를 통하여 전송되어 프라이머리 프로세서 (402) 에 의해 처리될 수 있다. 다른 실시예에서, 팹 호스트에의 통지가 경로 (458) 및 클러스터 툴 제어기를 통하여 전송될 수 있다.
본 발명의 하나 이상의 실시형태들로부터 알 수 있는 바와 같이, 프로세스 레벨 중재 아키텍쳐가 제공된다. 분석 서버를 프로세스 모듈 레벨에 국부화시킴으로써, 데이터 세분도가 분석에 제공되어 그 결과 보다 신속하고 보다 정확한 분석을 가져온다. 여러 데이터 센서들에 대하여 유사한 데이터 경로를 이용하여 보다 양호한 상관성이 여러 데이터 스트림들 간에 존재한다. 보다 신속하고 보다 정확한 분석에 의해, 다음 기판이 손상받는 것을 방지하는 정정 액션 뿐만 아니라 작용된 기판에 영향을 주는 제어되지 않은 이벤트를 수정하는 정정 액션을 제공하는 적시의 방식으로 제공된 금지 신호에 의해 보다 적시에 중재가 수행될 수 있고, 이에 의해 작용된 기판이 손상받는 것으로부터 보호된다. 따라서, 소수 개수의 기판만이 폐기되고 프로세싱 챔버 컴포넌트에 대한 손상이 실질적으로 감소될 수 있다.
본 발명이 수개의 바람직한 실시형태에 의해 설명되어 있지만, 본 발명의 범위 내에 있는 변경, 수정, 교체 및 그 등가물이 존재한다. 여러 실시예들이 본 명세서에 제공되지만, 이들 실시예는 예시적인 것일 뿐 본 발명을 제한하려 하는 것으로 의도되지 않는다.
또한, 본 명세서에서는 편의를 위하여 제목 및 요약이 제공되며 이들이 본 명세서의 청구범위를 구속하는 것으로 이용되지 않아야 한다. 추가로, 매우 축약된 형태로 요약이 쓰여져 있고 여기서는 편의를 위하여 제공된 것일 뿐, 청구범위에 설명된 전체적인 발명을 구속 또는 제한하는 것으로 채택되지 않아야 한다. 용어 "세트"가 본 명세서에 설명되어 있지만, 이러한 용어는 0, 1, 1 보다 큰 부재를 포함하는 수학적 의미로 일반적으로 이해되는 것으로 의도된다. 또한, 본 발명의 장치 및 방법을 구현하는 많은 변경 방식이 존재함을 또한 주지해야 한다. 따라서, 다음의 첨부된 청구범위는 이러한 모든 변경, 대체, 및 그 등가물 모두가 본 발명의 범위 및 사상에 드는 것으로서 해석되는 것으로 의도된다.

Claims (20)

  1. 플라즈마 프로세싱 시스템 내의 기판 프로세싱을 용이하게 하도록 구성된 프로세스 레벨 중재 아키텍쳐로서,
    상기 플라즈마 프로세싱 시스템의 동작을 제어하도록 구성된 프로세스 모듈 제어기로서, 상기 프로세스 모듈 제어기는 제1 데이터를 수집 및 제공하도록 더욱 구성되고, 상기 제1 데이터는 상기 플라즈마 프로세싱 시스템과 연관된 챔버 이벤트 데이터에 대응되는, 상기 프로세스 모듈 제어기;
    복수의 센서로서, 상기 복수의 센서의 제1 센서들은 상기 프로세스 모듈 제어기로부터 제2 데이터를 수집하고, 상기 제2 데이터는 상기 제1 센서들로부터 센싱되는 상기 프로세스 모듈 제어기의 프로세스 파라미터에 대한 센싱된 데이터에 대응되고, 상기 제1 센서들은 상기 센싱된 데이터를 상기 프로세스 모듈 제어기로 컴퓨팅 모듈에 의한 예비 프로세싱 없이 직접 전송하도록 구성된, 상기 복수의 센서; 및
    상기 프로세스 모듈 제어기 및 상기 복수의 센서들로부터 이격되어 위치되는 프로세스 모듈 레벨 분석 서버를 포함하며, 상기 프로세스 모듈 레벨 분석 서버는 상기 제1 센서들 및 상기 프로세스 모듈 제어기와 직접 통신하고, 상기 제1 센서들은 상기 프로세스 모듈 제어기로부터 수집된 상기 제2 데이터를 상기 프로세스 모듈 레벨 분석 서버로 실시간으로 직접 전송하도록 구성되고,
    상기 프로세스 모듈 레벨 분석 서버는,
    데이터를 수신하고,
    상기 수신된 데이터를 분석하고,
    상기 기판 프로세싱 동안 상기 프로세스 모듈 제어기의 동작과 연관된 문제가 식별될 때 상기 프로세스 모듈 제어기에 금지 데이터 (interdiction data) 를 직접 전송하기 위하여 구성되며,
    상기 데이터는 (i)상기 제1 센서들로부터의 상기 제2 데이터와 (ii)상기 프로세스 모듈 제어기로부터의 제1 데이터를 포함하고,
    상기 제2 데이터 및 상기 제1 데이터는 상기 프로세스 모듈 레벨 분석 서버를 통해 상기 제1 센서들 및 상기 프로세스 모듈 제어기로부터 각각 분리되어 수신되고,
    상기 프로세스 모듈 레벨 분석 서버는 상기 프로세스 모듈 제어기로부터 수신된 상기 제1 데이터 및 상기 프로세스 모듈 제어기로부터 상기 제1 센서들을 통해 수집된 제2 데이터에 기초하여 상기 문제를 식별하도록 구성된, 프로세스 레벨 중재 아키텍쳐.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 복수의 센서들 중 제 2 센서는 상기 프로세스 모듈 레벨 분석 서버에 상기 제2 데이터의 적어도 일부분을 전송하기 전에 예비 프로세싱 및 상기 센싱된 데이터의 패킷화를 수행하기 위한 컴퓨팅 모듈을 포함하는, 프로세스 레벨 중재 아키텍쳐.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 프로세스 모듈 레벨 분석 서버는 이더넷 스위치를 포함하며, 상기 이더넷 스위치는 상기 프로세스 모듈 레벨 분석 서버로 하여금 상기 제 2 센서와 통신하게 하는, 프로세스 레벨 중재 아키텍쳐.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 1 센서들 중 적어도 하나는 상기 프로세스 모듈 레벨 분석 서버에 상기 제2 데이터를 직접 전송하기 이전에 상기 제2 데이터를 아날로그 포멧으로부터 디지털 포멧으로 전환하는, 프로세스 레벨 중재 아키텍쳐.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 프로세스 모듈 레벨 분석 서버는 상기 제 1 센서들 중 적어도 하나에 의해 전송된 상기 제2 데이터를 아날로그 포맷으로부터 디지털 포맷으로 변환하는 데이터 컨버터를 포함하는, 프로세스 레벨 중재 아키텍쳐.
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 프로세스 모듈 레벨 분석 서버는 공유 메모리 백본을 포함하며, 상기 공유 메모리 백본은 복수의 프로세서들에 의해 액세스되고, 상기 복수의 프로세서들의 각각의 프로세서는 적어도 상기 공유 메모리 백본을 통하여 상기 복수의 센서들 중 하나의 센서와 적어도 상호작용하기 위하여 구성되는, 프로세스 레벨 중재 아키텍쳐.
  7. 제 6 항에 있어서,
    상기 공유 메모리 백본은 상기 복수의 프로세서들 간의 로드 밸런싱 (load balancing) 을 수행하도록 구성되는, 프로세스 레벨 중재 아키텍쳐.
  8. 제 7 항에 있어서,
    상기 공유 메모리 백본은 상기 복수의 프로세서들 간의 장애 허용 (fault tolerance) 을 제공하도록 구성되는, 프로세스 레벨 중재 아키텍쳐.
  9. 제 6 항에 있어서,
    상기 복수의 프로세서들 중 적어도 하나의 프로세서는 세컨더리 프로세서이고, 상기 세컨더리 프로세서는 적어도 상기 복수의 센서들 중 적어도 하나의 센서로부터 상기 제2 데이터를 수신하고 상기 제2 데이터를 프로세싱하기 위하여 구성되는, 프로세스 레벨 중재 아키텍쳐.
  10. 제 9 항에 있어서,
    상기 복수의 프로세서들 중 적어도 하나의 프로세서는 프라이머리 프로세서이고,
    상기 프라이머리 프로세서는 적어도,
    상기 프로세스 모듈 제어기로부터 상기 제1 데이터를 수신하는 것,
    상기 복수의 센서들 중 적어도 하나의 센서로부터 상기 제2 데이터를 수신하는 것,
    상기 제2 데이터와 상기 제1 데이터를 상관시키는 것, 및
    직접 디지털 출력 라인을 통하여 상기 프로세스 모듈 제어기에 실질적으로 실시간 금지 데이터를 전송하는 것 중 하나를 수행하기 위하여 구성되는, 프로세스 레벨 중재 아키텍쳐.
  11. 플라즈마 프로세싱 시스템에서의 기판 프로세싱 동안에 평가를 수행하도록 구성된 시스템으로서,
    데이터를 프로세싱하는 복수의 프로세서들로서, 상기 데이터는 (i) 상기 복수의 센서들에 의해 수집되고, 실시간으로 수신된 센싱된 데이터 및 (ii) 상기 프로세스 모듈 제어기에 의해 수집된 챔버 이벤트 데이터를 포함하고, 상기 센싱된 데이터는 상기 복수의 센서들로부터 센싱된 상기 프로세스 모듈 제어기의 프로세싱 파라미터들에 대한 데이터에 대응되고, 상기 센싱된 데이터 및 상기 챔버 이벤트 데이터는 각각 상기 복수의 프로세서들에 의해 상기 복수의 센서들 및 상기 프로세스 모듈 제어기로부터 각각 수신되고,
    상기 시스템은 상기 프로세스 모듈 제어기 및 상기 복수의 센서들로부터 이격되도록 위치되고, 상기 프로세스 모듈 제어기 및 상기 복수의 센서들에 직접 연결되고, 상기 복수의 센서들 중 제1 센서들은 상기 센싱된 데이터를 컴퓨팅 모듈에 의한 예비 프로세싱 없이 상기 시스템에 직접 전송하고,
    상기 프로세싱은 상기 센싱된 데이터를 수신하는 것, 상기 센싱된 데이터를 분석하는 것, 상기 센싱된 데이터에 대한 데이터 상관을 수행하는 것, 및 상기 프로세스 모듈 제어기의 동작과 연관된 문제가 식별될 때 상기 프로세스 모듈 제어기에 금지 데이터 (interdiction data) 를 전송하는 것 중 적어도 하나를 포함하고,
    상기 시스템은 상기 프로세스 모듈 제어기로부터 수신된 상기 챔버 이벤트 데이터 및 상기 복수의 센서들에 의해 상기 프로세스 모듈 제어기로부터 수집된 센싱된 데이터에 기초하여 상기 문제를 식별하도록 구성된, 상기 복수의 프로세서들;
    상기 복수의 프로세서들에 의해 액세스되는 공유 메모리 백본;
    적어도 상기 센싱된 데이터를 수신하기 위하여 구성되는 네트워크 인터페이스; 및
    상기 복수의 프로세서들 및 상기 프로세스 모듈 제어기 간의 통신 경로인 직접 디지털 출력 라인을 포함하는, 시스템.
  12. 제 11 항에 있어서,
    상기 네트워크 인터페이스는 상기 복수의 센서들 중 제2 센서로부터의 상기 센싱된 데이터를 수신하기 위하여 구성되고, 상기 제2 센서는 상기 네트워크 인터페이스를 통하여 상기 복수의 프로세서들에 상기 센싱된 데이터의 적어도 일부분을 전송하기 전에 예비 프로세싱을 수행하는 컴퓨팅 모듈을 포함하는, 시스템.
  13. 제 12 항에 있어서,
    상기 네트워크 인터페이스는 이더넷 스위치인, 시스템.
  14. 제 11 항에 있어서,
    상기 제1 센서들 중 적어도 하나는 상기 복수의 프로세서들에 상기 센싱된 데이터의 적어도 일부분을 전송하기 전에 적어도 상기 센싱된 데이터를 아날로그 포맷으로부터 디지털 포맷으로 변환하기 위하여 구성되는 데이터 컨버터를 포함하는, 시스템.
  15. 제 14 항에 있어서,
    상기 데이터 컨버터는 필드 프로그래밍가능 게이트 어레이 (FPGA) 인, 시스템.
  16. 제 11 항에 있어서,
    상기 공유 메모리 백본은 상기 복수의 프로세서들 간의 로드 밸런싱 (load balancing) 을 수행하도록 구성되는, 시스템.
  17. 제 11 항에 있어서,
    상기 공유 메모리 백본은 상기 복수의 프로세서들 간의 장애 허용 (fault tolerance) 을 제공하도록 구성되는, 시스템.
  18. 제 11 항에 있어서,
    상기 복수의 프로세서들의 각각의 프로세서는 상기 복수의 센서들 중 적어도 하나의 센서와 직접 통신하기 위하여 구성되는, 시스템.
  19. 제 18 항에 있어서,
    상기 복수의 프로세서들 중 적어도 하나의 프로세서는 세컨더리 프로세서이고, 상기 세컨더리 프로세서는 적어도 상기 복수의 센서들 중 적어도 하나의 센서로부터 상기 센싱된 데이터를 수신하고 상기 센싱된 데이터를 프로세싱하기 위하여 구성되는, 시스템.
  20. 제 19 항에 있어서,
    상기 복수의 프로세서들 중 적어도 하나의 프로세서는 프라이머리 프로세서이고,
    상기 프라이머리 프로세서는 적어도,
    상기 프로세스 모듈 제어기로부터 상기 프로세스 모듈 및 챔버 데이터를 수신하는 것,
    상기 복수의 센서들 중 적어도 하나의 센서로부터 상기 센싱된 데이터를 수신하는 것,
    상기 센싱된 데이터와 상기 프로세스 모듈 및 챔버 데이터를 상관시키는 것, 및
    직접 디지털 출력 라인을 통하여 상기 프로세스 모듈 제어기에 상기 금지 데이터를 전송하는 것 중 하나를 수행하기 위하여 구성되는, 시스템.
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