KR101388802B1 - 레시피-앤-컴포넌트 제어 모듈 및 그 방법 - Google Patents

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Abstract

레시피-앤-컴포넌트 제어 모듈 (RACCM) 이 제공된다. RACCM 은 복수의 컴포넌트를 갖는 플라즈마 처리 시스템에서 데이터 관리를 수행하는 서버이다. RACCM 은 복수의 지능형 에이전트를 포함한다. 복수의 지능형 에이전트의 각 지능형 에이전트는 복수의 컴포넌트의 각 컴포넌트와 상호작용하도록 구성된다. RACCM 은 복수의 지능형 에이전트로부터 처리된 데이터를 수신하도록 구성된 조정 에이전트를 더 포함한다.
RACCM, 지능형 에이전트, 플라즈마 처리 시스템, 컴포넌트, 레시피, 조정 에이전트

Description

레시피-앤-컴포넌트 제어 모듈 및 그 방법{A RECIPE-AND-COMPONENT CONTROL MODULE AND METHODS THEREOF}
발명의 배경기술
플라즈마 처리의 진보는 반도체 산업의 성장을 용이하게 하였다. 반도체 디바이스를 만들기 위해서, 기판 처리를 수행하는데 프로세스 모듈이 오랫동안 채용되어 왔다. 반도체 디바이스가 보통 에러를 일으키기 쉬울 수도 있는 민감한 (delicate) 디바이스이므로, 장애 검출, 종단점의 식별, 및/또는 고장 수리 (troubleshooting) 를 위한 데이터를 수집하기 위해 센서가 프로세스 모듈에 연결될 수도 있다.
예를 들어, 레시피가 플라즈마 처리 시스템에서 실행되고 있는 상황을 고려한다. 도 1 은 센서가 프로세스 모듈과 상호작용할 수도 있는 방법 및 센서가 처리 및 조정을 위해 프로세스 모듈을 이용할 수도 있는 방법을 설명하는 개념도를 도시한다. 단순화된 처리 환경은 복수의 센서 (104, 106, 108 및 110) 에 접속되는 프로세스 모듈 (102) 에 접속된 처리 챔버 (100) 를 포함할 수도 있다. 보통, 각 센서에 의해 수집된 데이터는 프로세스 모듈 (102) 에 업로드될 수도 있다. 일 실시예에서, 다양한 센서에 의해 수집된 데이터는 네트워크 경로 (예를 들어, 이더넷 경로 (112)) 를 통해 프로세스 모듈 (102) 로 전송될 수도 있다. 복수의 센서 (104, 106, 108 및 110) 는 상이한 제조 회사에 의해 제조될 수도 있 다. 따라서, 복수의 센서는 상이한 시간 도메인에서 데이터를 수집할 가능성이 매우 높을 수도 있고, 서로 통신가능하지 않을 수도 있다.
최근에, 이 트렌드는 피드백 타입의 자동화된 프로세스 제어로 이동하고 있다. 따라서, 종단점을 검출하고, 장애 검출을 수행하며, 고장 수리를 수행하기 위해, 보다 많은 적시의 데이터가 필요하다. 그 결과, 플라즈마 처리 시스템에 추가되는 센서의 수는 처리에 더 많은 데이터가 필요함에 따라 증가되었다. 증가된 수의 센서가 더 많은 데이터를 소프트웨어-제어된 프로세스 모듈에 제공하여 그 태스크를 수행가능할 수도 있지만, 센서와 프로세스 모듈 사이에 교환될 수도 있는 증가된 양의 데이터는 실제로 전체 처리에 드레인을 야기할 수도 있다. 일 실시예에서, 네트워크 경로는 프로세스 모듈에 데이터를 전송하기 위해 센서가 서로 경쟁함에 따라 정체될 수도 있다. 다른 실시예에서, 기판 처리를 관리하는 기능을 갖는 프로세스 모듈 (102) 이 보통 복수의 센서로부터 오는 데이터의 대량의 쇄도 (inundation) 를 핸들링하도록 설계되지 않으므로, 프로세스 모듈 (102) 은 기판 처리를 제어하는 프로세스 모듈의 주기능에 부정적으로 영향을 줄 수도 있는 레이턴시 문제를 경험할 수도 있다.
또한, 프로세스 모듈 (102) 은 제한된 수의 센서를 핸들링하는 메모리 용량 및 처리 능력을 가지지 않을 수도 있다. 일 실시예에서, 추가적인 디테일을 제공하기 위해 다른 센서 모듈이 프로세스 모듈에 연결될 필요가 있다. 그러나, 처리 능력 (processing power) 제한 및 메모리 용량으로 인해, 프로세스 모듈 (102) 은 다른 센서를 핸들링가능하지 않을 수도 있다. 따라서, 프로세스 모듈 (102) 은 그 제한된 리소스를 기판 처리의 관리로부터 추가 센서의 핸들링으로 전환하여야 할 수도 있다. 또한, 레이턴시는 프로세스 모듈이 그 리소스에 대해 추가 부담을 핸들링할 수 없게 되는 문제가 될 수도 있어, 궁극적으로 크래쉬할 수도 있다.
복수의 센서로부터의 데이터를 저장하는 것 이외에, 프로세스 모듈 (102) 은 또한 데이터를 분석하는데 채용될 수도 있다. 그러나, 분석 태스크는 제한된 리소스를 기판 처리를 관리하는 태스크로부터 전환할 수도 있을 뿐만 아니라, 개별 센서에 저장될 수도 있는 레시피의 각종 상이한 부분에 프로세스 모듈 (102) 이 액세스하도록 요청할 수도 있다. 불행하게도, 프로세스 모듈은 보통 레시피의 이들 상이한 부분에 액세스하지 않고, 수신된 데이터의 적절한 분석을 행할 수 없게 될 수도 있다.
일 실시예에서, 센서 (104) 상에 저장된 레시피의 부분에 변경이 이루어졌다. 이 변경을 수용하기 위해, 엔지니어는 이 변경으로 상이한 모듈 (예를 들어, 센서, 프로세스 모듈 등) 을 업데이트하여야 할 수도 있다. 이 변경이 하나 이상의 모듈에서 고려되지 않았을 수도 있는 가능성에서, 레시피의 실행은 결함 있는 디바이스를 발생시킬 수도 있다. 데이터를 분석하여 문제를 결정함에 있어서, 프로세스 모듈 (102) 은 적절한 분석을 수행하기 위해 레시피의 변경을 인식할 필요가 있을 수도 있다. 레시피가 손쉽게 이용가능하지 않으면, 이 프로세스 모듈은 데이터의 불완전한 분석을 수행하여야 할 수도 있거나 센서로부터 레시피를 취득하고, 그에 따라, 필요한 데이터에 액세스하기 위해 불필요한 처리 능력 을 소비함으로써, 제한된 네트워크 파이프라인에 불필요한 데이터 트래픽 정체를 야기할 수도 있다.
또한, 센서에 의해 수집된 "불량 데이터" 는 또한 프로세스 모듈 (102) 의 성능에 영향을 줄 수도 있다. 일 실시예에서, 센서 (106) 가 손상되었을 수도 있고, 그 결과 "불량 데이터"를 수집한다. 이 데이터가 프로세스 모듈 (102) 에 업로드되는 경우, 이 데이터는 프로세스 모듈 (102) 에 의해 이용되어, 기판 처리에 부정적으로 영향을 줄 수도 있고, 다른 센서에도 부정적으로 영향을 줄 수도 있다.
다양한 센서로부터 업로드될 수도 있는 다량의 데이터를 처리하는 것에 더해, 프로세스 모듈 (102) 은 또한 데이터를 통합하고 센서들 사이의 상호작용을 조정하는 역할을 할 수도 있다. 센서 각각은 상이한 데이터 수집 기준에 있어 고유할 수도 있다. 일 실시예에서, 센서 (104) 는 50 마이크로초마다 데이터를 수집할 수도 있는 반면, 센서 (106) 는 100 마이크로초마다 데이터를 수집할 수도 있다. 데이터 수집 타이밍 차이와 같은 센서들 사이의 차이로 인해, 센서는 보통 서로 통신할 수 없고, 교환을 용이하게 하기 위해 프로세스 모듈을 채용하게 할 수도 있다. 따라서, 프로세스 모듈은 이들 타입의 요구를 핸들링하는 지능을 가질 필요가 있을 수도 있다.
불행하게도, 프로세스 모듈이 상이한 소스로부터의 데이터를 통합가능하지 않을 수도 있기 때문에, 프로세스 모듈은 항상 요구를 핸들링가능하지 않을 수도 있다. 일 실시예에서, 센서 (104 및 106) 로부터의 데이터는 상이한 시간 간격 으로 수집된다. 센서 (104) 가 센서 (106) 에 의해 수집된 데이터를 이용가능할 수 있도록 데이터를 통합할 수 있기 위해, 프로세스 모듈 (102) 은 2 개 세트의 데이터를 매치업하는 지능을 필요로 할 수도 있다. 그러나, 프로세스 모듈 (102) 은 이러한 복잡한 동작을 핸들링하는 처리 능력을 가지지 않을 수도 있다. 또한, 2 개 세트의 데이터를 통합하는 것은 데이터가 상이한 시간 도메인에서 수집되었다면 사실상 불가능할 수도 있다.
프로세스 모듈 (102) 은 처음에 기판 처리를 관리하기 위해 만들어졌다. 따라서, 프로세스 모듈 (102) 은 데이터 저장, 데이터 처리, 데이터 조정 등의 추가 태스크를 핸들링하는 처리 능력 또는 메모리 리소스를 가지지 않을 수도 있다. 그 결과, 프로세스 모듈 (102) 의 처리 및 메모리 용량이 신장될 수도 있다. 프로세스 모듈 (102) 에 연결된 센서의 수가 증가함에 따라, 프로세스 모듈 (102) 이 처리 챔버를 관리하려고 시도하는 동안에 각종 상이한 센서로부터의 요구를 수용하도록 시도하기 때문에 프로세스 모듈 (102) 은 병목 현상이 있을 수도 있다. 따라서, 프로세스 모듈은 증가된 레이턴시를 경험하기 시작할 수도 있고, 변화하는 실행 환경에 신속하게 응답불가능할 수도 있으며, 전체 셧다운을 경험할 수도 있다.
본 발명의 간단한 개요
일 실시형태에서, 본 발명은 RACCM (recipe-and component control module) 에 관한 것이다. RACCM 은 복수의 컴포넌트를 갖는 플라즈마 처리 시스템에서 데이터 관리를 수행하는 서버이다. RACCM 은 복수의 지능형 에이전트를 포함한 다. 복수의 지능형 에이전트의 각 지능형 에이전트는 복수의 컴포넌트의 각 컴포넌트와 상호작용하도록 구성된다. RACCM 은 복수의 지능형 에이전트로부터 처리된 데이터를 수신하도록 구성된 조정 에이전트를 더 포함한다.
상기 개요는 본 명세서에서 개시된 본 발명의 많은 실시형태 중 단지 하나의 실시형태에 관한 것이고, 여기의 청구의 범위에서 개시되는 본 발명의 범위를 제한하려고 의도되지 않는다. 본 발명의 이들 특징 및 다른 특징은 발명의 상세한 설명 및 다음의 도면과 함께 이하 더 상세히 설명된다.
도면의 간단한 설명
본 발명은 첨부 도면의 도면들에서 제한적이 아니라 예시적으로 설명되며, 첨부 도면에서는 동일한 참조부호는 유사한 엘리먼트를 지칭한다.
도 1 은 센서가 프로세스 모듈과 상호작용할 수도 있는 방법 및 센서가 처리 및 조정을 위해 프로세스 모듈을 이용할 수도 있는 방법을 설명하는 개념도를 도시한다.
도 2 는 본 발명의 일 실시형태에서 레시피-앤-컴포넌트 제어 모듈 (RACCM) 의 단순화된 전체 아키텍처 설계를 도시한다.
도 3 은 본 발명의 일 실시형태에서 센서를 구성하는 단계를 설명한 단순한 흐름도를 도시한다.
도 4 는 본 발명의 일 실시형태에서 지능형 에이전트가 캐시로부터 요약 데이터를 발생시키는 단계를 설명한 단순 흐름도를 도시한다.
도 5 는 본 발명의 일 실시형태에서 지능형 에이전트가 종단점 및/또는 장애 검출 데이터를 발생시키는 단계를 설명한 단순화된 흐름도를 도시한다.
도 6 은 본 발명의 일 실시형태에서 조정 에이전트가 데이터 분석을 수행하는 단계를 설명한 단순화된 흐름도를 도시한다.
도 7 은 본 발명의 일 실시형태에서 프로비저널 에이전트를 통해 RACCM 의 상이한 엔티티 사이에 레시피를 분산시키는 단계를 설명한 단순화된 흐름도를 도시한다.
도 8 은 본 발명의 일 실시형태에서 지능형 에이전트와 컴포넌트를 연관시키는 단계를 설명한 단순한 흐름도를 도시한다.
실시형태의 상세한 설명
본 발명은 첨부 도면에서 설명된 것과 같은 본 발명의 수개의 실시형태를 참조하여 이하 상세히 설명된다. 다음의 설명에서, 수많은 구체적인 세부사항은 본 발명의 완전한 이해를 제공하기 위해 개시된다. 그러나, 당업자에게는 본 발명이 이들 구체적인 세부사항의 일부 또는 전부 없이도 실시될 수도 있다는 것이 명백하다. 다른 예에서, 공지의 프로세스 단계 및/또는 구조는 본 발명을 불필요하게 모호하게 하지 않기 위해 상세히 설명되지 않았다.
이하, 방법 및 기술을 포함하여, 다양한 실시형태를 설명한다. 본 발명은 또한 본 발명 기술의 실시형태를 수행하기 위한 컴퓨터-판독가능 명령이 저장된 컴퓨터 판독가능 매체를 포함하는 제조물을 커버할 수도 있다는 것을 기억하여야 한다. 컴퓨터 판독가능 매체는, 예를 들어, 컴퓨터 판독가능 코드를 저장하기 위한 반도체, 자기, 광자기, 광학, 또는 다른 형태의 컴퓨터 판독가능 매체를 포함 할 수도 있다. 또한, 본 발명은 또한 본 발명의 실시형태를 실시하기 위한 장치를 커버할 수도 있다. 이러한 장치는 본 발명의 실시형태에 속하는 태스크를 수행하기 위해, 전용 및/또는 프로그램가능 회로를 포함할 수도 있다. 이러한 장치의 예는 적절히 프로그래밍되는 경우에 전용 컴퓨팅 디바이스 및/또는 범용 컴퓨터를 포함하고, 본 발명의 실시형태에 속하는 다양한 태스크용으로 구성된 전용/프로그램가능 회로와 컴퓨터/컴퓨팅 디바이스의 조합을 포함할 수도 있다.
본 발명의 일 양태에서, 본 발명자는 프로세스 모듈이 일정 양태에서 센서와 유사한 방식으로 작동할 수도 있다는 것을 깨달았다. 일 실시예에서, 센서와 프로세스 모듈 둘 다는 레시피 파라미터에 기초하여 데이터를 수집할 수도 있다. 이에 따라, 프로세스 모듈이 종래 기술의 센서를 위해 수행하였을 수도 있는 태스크를 수행하도록 별도의 제어 모듈 채용될 수도 있다. 따라서, 프로세스 모듈은 프로세스 제어를 수행하는 주기능을 수행하는데 집중할 수도 있다.
본 발명의 실시형태에 따르면, 레시피-앤-컴포넌트 제어 모듈 (RACCM) 이 처리 시스템에 연결된 컴포넌트에 대한 데이터 관리 및/또는 레시피 관리를 수행하는 아키텍처 장치가 제공된다. 본 명세서에서 논의된 바와 같이, 컴포넌트는 데이터-수집 엘리먼트를 지칭한다. 컴포넌트는 센서, 메트롤로지 툴, 및 프로세스 모듈을 포함할 수도 있지만, 이에 제한되지 않는다. 프로세스 모듈이 데이터를 수집함에 있어서 센서와 유사한 방식으로 수행될 수도 있으므로, RACCM 은 데이터 관리 및/또는 레시피 관리에 관하여 유사한 방식으로 프로세스 모듈과 센서 둘 다를 취급할 수도 있다.
본 문헌에서, 다양한 구현예가 일 실시예로서 센서를 이용하여 논의될 수도 있다. 그러나, 본 발명은 센서에 제한되지 않고, 메트롤로지 툴과 같은 임의의 데이터-수집 엘리먼트를 포함할 수도 있다. 대신에, 이 논의는 실시예로서 의도되지 않고, 본 발명은 제시된 실시예에 의해 제한되지 않는다.
본 발명의 일 실시형태에서, RACCM 은 컴포넌트가 다른 컴포넌트에 영향을 주지 않고 추가, 제거, 또는 수정될 수도 있는 모듈화된 장치이다. 종래 기술에서, 센서가 업데이트될 때마다, 프로세스 모듈은 또한 수정된 센서를 수용하도록 재구성되어야 할 수도 있다. 이에 따라, 프로세스 모듈이 재구성되고 있는 경우, 프로세스 모듈에 또한 커플링된 다른 센서는 부정적으로 영향을 받을 수도 있는데, 그 이유는 프로세스 모듈이 다른 센서에 대한 데이터 관리를 수행할 수 없을 것이기 때문이다. 종래 기술과 달리, 센서를 업데이트하는 것은 다른 컴포넌트 중 어떠한 컴포넌트, 특히 프로세스 모듈에 부정적으로 영향을 주지 않는다. 대신에, 다른 컴포넌트는 일어날 수도 있는 변경을 감지하지 못할 수도 있다.
본 발명의 다른 실시형태에서, RACCM 은 지능형 에이전트, 조정 에이전트, 및 프로비저널 에이전트와 같이 데이터 관리 및/또는 레시피 관리를 수행할 수도 있는 복수의 에이전트를 포함할 수도 있다. 따라서, RACCM 은 다수의 에이전트에 걸쳐 워크로드를 분산시킬 수 있다. 프로세스 모듈이 데이터 관리 태스크 전부는 아니지만 대부분을 수행하는 종래 기술과 달리, 워크로드의 분산은 데이터 관리가 더욱 신속하고 더욱 효율적으로 핸들링되게 한다. 또한, RACCM 은 복수의 프로세서를 포함할 수도 있다. 따라서, 일 에이전트가 더 느린 처리를 경험 하고 있더라도, 다른 에이전트가 상이한 프로세서 상에 있을 수도 있으므로 일 에이전트의 경험은 다른 에이전트에 대한 데이터 처리에 영향을 주지 않을 수도 있다.
본 발명의 다른 실시형태에서, RACCM 은 에이전트의 레벨에 기초하여 워크로드가 분산될 수도 있는 점에서 계층적 아키텍처 장치일 수도 있다. 일 실시예에서, RACCM 은 복수의 지능형 에이전트를 포함할 수도 있다. 지능형 에이전트가 컴포넌트를 구성하고 이 컴포넌트로부터 데이터를 수신하는데 있어 컴포넌트와 직접 상호작용하는 점에서 지능형 에이전트는 최저 레벨의 에이전트일 수도 있다. 비교하여, 조정 에이전트는 최고 레벨에 있을 수도 있다. 따라서, 조정 에이전트는 데이터 분석을 수행하기 위해 하위 레벨 에이전트로부터 요약된 데이터를 수신하기만 할 수도 있다. 일 실시형태에서, 조정 에이전트가 수행하는 분석은 프로세스 모듈에 명령을 제공할 수도 있는 복합 시그니처를 발생시킬 수도 있다. RACCM 에 존재할 수도 있는 레벨의 수는 RACCM 이 워크로드의 분산을 원하는 방법에 좌우될 수도 있다. 일 실시예에서, 다른 레벨의 에이전트가 조정 에이전트와 지능형 에이전트 사이에 존재하여 지능형 에이전트에 대한 워크로드를 감소시킬 수도 있다.
본 발명의 또 다른 실시형태에서, RACCM 은 레시피 관리를 수행하는 프로비저널 에이전트를 포함할 수도 있다. 하나 이상의 프로비저널 에이전트가 구현예에 따라 이 태스크를 수행하도록 채용될 수도 있다는 것에 주목한다. 종래 기술에서, 레시피의 상이한 부분은 프로세스 모듈, 센서 등에서와 같이 다양한 위 치에 위치할 수도 있다. 따라서, 레시피에 대한 변경은 보통 각종 상이한 위치에서 레시피를 물리적으로 업데이트하는 다중-단계 프로세스를 필요로 한다. 불행하게도, 일 모듈을 업데이트하는 것을 잊는 것은 기판 처리에 부정적으로 영향을 줄 수도 있고, 결함있는 디바이스마저 야기할 수도 있다. 종래 기술과 달리, 관심 있는 엔티티로 수정된 레시피를 분산시키는 태스크는 에디터 인터페이스를 채용하여 레시피를 수정하는 단순한 태스크이다. 수정된 레시피는 이후 프로세스 모듈에 전송되는데, 이는 이후 수정된 레시피를 RACCM 앞으로 포워딩할 수도 있다. RACCM 내에서, 프로비저널 에이전트는 수정된 레시피를 수신할 수도 있고, 분석을 수행하여 레시피가 분산될 수도 있는 방법을 결정할 수도 있다. 프로비저널 에이전트를 채용함으로써, 레시피 관리가 집중되고 일 엔티티에 의해 자동적으로 핸들링될 수도 있다.
일 실시형태에서, 프로비저널 에이전트는 레시피를 분석하여 어떤 센서가 파라미터를 필요로 할 수도 있는지를 결정할 수도 있다. 일단 프로비저널 에이전트가 결정을 하면, 프로비저널 에이전트는 센서와 연관될 수도 있는 지능형 에이전트에 레시피의 부분을 분산시킬 수도 있다. 다시 말해, 레시피는 지능형 에이전트에 보유되고, 컴포넌트에 분산되지 않는다. 레시피를 RACCM 내부에 저장함으로써, RACCM 은 용이하게 레시피에 액세스하여 데이터 분석 및 데이터 조작을 수행할 수도 있다.
본 발명의 일 실시형태에서, RACCM 은 컴포넌트에 워크로드의 부분을 오프로드할 수도 있다. 종래 기술에서, 센서는 프로세스 모듈에 데이터를 업로드하는 데 있어 선택적이지 않을 수도 있다. 종래 기술과 달리, RACCM 은 데이터가 업로드될 수도 있는 조건을 제공하는 구성 요건을 컴포넌트에 전송할 수도 있다. 구성 요건에 있어서, 이 컴포넌트는 전처리를 수행하여 데이터가 구성 요건을 충족시키는지 여부를 판정할 수도 있다. 따라서, 네트워크는 RACCM 가 필요로 하지 않는 데이터에 의해 불필요하게 정체되는 것은 아니다.
본 발명의 특징 및 이점은 다음의 도면 및 설명을 참조하여 더 잘 이해될 수도 있다.
도 2 는 본 발명의 일 실시형태에서 레시피-앤-컴포넌트 제어 모듈 (RACCM) 의 단순화된 전체 아키텍처 설계를 도시한다. RACCM 환경 (200) 은 프로세스 모듈 (202) 및 복수의 센서 (204, 206, 208 및 210) 와 같은 복수의 컴포넌트를 포함할 수도 있다. 종래 기술과 달리, 프로세스 모듈 (202) 에 각종 상이한 센서가 직접 커플링되지 않는다. 대신에, 각종 상이한 센서는 RACCM (212) 에 커플링된다. 따라서, 데이터는 프로세스 모듈 (202) 대신에 RACCM (212) 으로 전송되는 것이다.
추가적으로, 일 실시형태에서, 프로세스 모듈 (202) 도 또한 RACCM (212) 에 커플링된다. 프로세스 모듈이 데이터를 수집, 핸들링, 조정, 및/또는 처리하는 역할을 할 수도 있는 종래 기술과 달리, RACCM 환경에서의 프로세스 모듈 (202) 은 프로세스 모듈 (202) 이 또한 RACCM (212) 에 데이터를 업로드하는 점에서 센서와 유사하게 작동할 수도 있다. 따라서, 데이터 관리의 태스크로부터 프로세스 모듈을 제거함으로써, 프로세스 모듈은 프로세스 제어를 수행하는 메인 태스크를 수행하는데 집중할 수도 있고, 발생할 수도 있는 문제에 적시에 그리고 효율적인 방식으로 응답하기에 충분한 대역폭을 가질 수도 있다.
이 프로세스 모듈이 센서와 유사한 방식으로 기본적으로 작동하므로, 프로세스 모듈은 본 발명의 일부 양태에서 RACCM 에 대해 다른 "컴포넌트"로 나타날 수도 있다. 논의의 편의를 위해, 용어 "컴포넌트"는 플라즈마 처리 시스템에서의 데이터-수집 엘리먼트를 지칭하는데 이용된다. 일 실시예에서, 컴포넌트는 프로세스 모듈, 센서, 및 메트롤로지 툴을 포함할 수도 있지만, 이에 한정되지 않는다.
일 실시형태에서, RACCM (212) 은 서버와 같은 컴퓨터 시스템일 수도 있다. 일 실시형태에서, RACCM (212) 은 데이터 관리 및/또는 레시피 관리를 수행하기 위한 하나 이상의 프로세서를 포함할 수도 있다. 프로세서의 수는 RACCM 의 구현예에 좌우될 수도 있다. 일 실시형태에서, RACCM (212) 은 또한 메모리를 포함할 수도 있다. 메모리량은 RACCM 의 저장 요건이 주어지면 용이하고 저렴하게 확장될 수도 있다.
일 실시형태에서, RACCM (212) 은 데이터를 관리하고 레시피 관리를 수행하는 지능을 포함할 수도 있다. 일 실시예에서, RACCM (212) 은 인커밍 데이터 파일을 수락하고, 데이터를 처리하고, 데이터 요구를 핸들링하고, 레시피를 분산시키는 등의 조건을 구성하는 지능을 포함할 수도 있다. 수집된 데이터를 처리하는 지능이 프로세스 모듈에 의해 단독으로 핸들링되는 종래 기술과 달리, RACCM (212) 에서 데이터를 처리하는 지능은 RACCM (212) 내의 각종 상이한 에이전트 사이에 분산될 수도 있다. 일 실시형태에서, RACCM (212) 은 복수의 지능형 에이 전트 (214, 216, 218, 220, 및 222), 조정 에이전트 (246) 및 프로비저널 에이전트 (248) 를 포함할 수도 있다. 복수의 엔티티 사이에 지능을 분산시킴으로써, 워크로드가 분산되어, 더 효율적인 처리 환경을 가능하게 할 수도 있다. 그 결과, 데이터 트래픽 정체 및 레이턴시가 감소되어, 더 안정한 환경을 야기할 수도 있다.
일 실시형태에서, RACCM (212) 은 복수의 지능형 에이전트 (214, 216, 218, 220, 및 222) 를 포함할 수도 있다. 지능형 에이전트 각각은 컴포넌트 (204, 206, 208, 및 210) 와 연관될 수도 있다. 일 실시예에서, 지능형 에이전트 (214) 는 센서 (210) 와 연관된다. 일 실시형태에서, 데이터가 RACCM (212) 에 업로드되는 경우, 센서 (210) 는 지능형 에이전트 (214) 에 의해 수신될 데이터 파일을 경로 (224 및 226) 를 따라 전송할 수도 있다. 유사하게, 프로세스 모듈 (202) 은 또한, 경로 (224 및 228) 를 따라 프로세스 모듈 (202) 에 의해 전송된 데이터를 수신하도록 구성된 대응하는 지능형 에이전트 (222) 를 가질 수도 있다.
일 실시형태에서, 지능형 에이전트 (214, 216, 218, 220, 및 222) 각각은 데이터 파일을 업로드하기 위한 기준을 제공하는 구성 요건을 대응하는 컴포넌트에 전송하는 지능을 가질 수도 있다. 종래 기술에서, 센서는 전처리 없이 프로세스 모듈에 데이터를 업로드할 수도 있다. 대신에, 센서는 프로세스 모듈에 의존하여 데이터 분석 및 조작을 수행하는 경향이 있다. 종래 기술과 달리, 이전에 프로세스 모듈에 상주하였을 수도 있는 지능의 부분은 이제 센서 레벨로 푸시-다운될 수도 있다. 일 실시예에서, 지능형 에이전트에 의해 제공된 것과 같은 구성 요건은 데이터를 업로드하기 위한 기준을 센서에 제공할 수도 있다. 구성 요건을 적용함으로써, 센서는 전처리를 수행 (예를 들어, 무엇이 변경되었는지를 결정) 하고, 지능형 에이전트가 원할 수도 있는 데이터만을 지능형 에이전트에 제공함으로써, 네트워크 정체를 감소시킬 수 있다.
일 실시형태에서, 지능형 에이전트는 대응하는 컴포넌트에게 프로세스 제어 레이트보다 낮은 시간 도메인에서만 데이터를 전송하라고 지시하는 구성 요건을 전송할 수도 있다. 논의의 편의를 위해, 용어 "시간 주기"는 또한 프로세스 제어 레이트를 추론하는데 채용될 수도 있다. 예를 들어, 프로세스 제어 레이트는 125 마이크로초마다 이루어진다고 결정되는 상황을 고려한다. 지능형 에이전트 (214) 는 센서 (210) 에게 매 100 마이크로초의 시간 도메인에서 데이터를 전송하라고 명령하는 구성 요건을 센서 (210) 에 전송할 수도 있다. 따라서, 다양한 지능형 에이전트로부터 데이터를 수집하여 처리하도록 구성될 수도 있는 조정 에이전트 (246) 에 지능형 에이전트 (214) 가 데이터를 제공하여야 할 수도 있기 전에, 지능형 에이전트 (214) 는 센서 (210) 로부터 데이터를 수신하고 이 데이터를 처리하기에 충분한 시간을 가진다.
시간 도메인을 구성함으로써, 지능형 에이전트는 데이터 파일이 수신되는 때를 제어할 수 있다. 종래 기술에서, 데이터 파일이 상이한 시간 주기에서 수집될 수도 있으므로, 센서 각각으로부터의 데이터 파일을 매치-업하는 것이 불가능하지 않다면 어려운 태스크일 수도 있다. 그러나, 본 발명의 실시형태는 시간 도메인이 시간 주기 (프로세스 제어 레이트) 동안에 적어도 한번 존재하도록 요청할 수도 있다. 따라서, 다양한 지능형 에이전트에 의해 단일 시간 주기에서 수신될 수도 있는 복수의 데이터 파일은 더욱 용이한 데이터 공유 및 더욱 포괄적인 분석을 허용하기 위해 매칭될 수도 있다.
지능형 에이전트가 얼마나 자주 데이터 파일을 요구할 수도 있는지는 개별적으로 프로그래밍될 수도 있다. 일 실시예에서, 센서 (210) 는 50 마이크로초마다 데이터를 수집할 수도 있다. 일 실시형태에서, 지능형 에이전트는 데이터 파일이 발생함에 따라 센서가 이 데이터 파일을 업로드하도록 요구할 수도 있다. 일 실시예에서, 지능형 에이전트 (214) 는 센서 (210) 가 데이터를 수신함에 따라 이 데이터를 수집하는 것을 선택할 수도 있다. 다시 말해, 센서 (210) 는 50 마이크로초마다 지능형 에이전트 (214) 에 업데이트된 데이터 파일을 전송할 수도 있다.
다른 실시형태에서, 지능형 에이전트는 승수에 기초하는 데이터 파일을 요구할 수도 있다. 일 실시예에서, 센서 (208) 는 25 마이크로초마다 데이터를 수집할 수도 있다. 따라서, 각 시간 주기 (110 마이크로초의 프로세스 제어 레이트) 동안, 센서 (208) 는 적어도 4 개 세트의 데이터 파일을 발생시킬 수도 있다. 지능형 에이전트 (216) 는 센서 (208) 를 2의 승수로 (예를 들어, 55 마이크로초마다) 데이터를 전송하기만 하도록 구성할 수도 있다. 따라서, 센서 (208) 는 수집되었을 수도 있는 4 개의 데이터 파일 대신에, 2 개의 데이터 파일만을 전송할 수도 있다. 예를 들어, 55 마이크로초마다, 센서 (208) 는 발생되었던 가장 많이 업데이트된 데이터 파일을 지능형 에이전트 (216) 에 전송할 수도 있다.
또 다른 실시형태에서, 지능형 에이전트는 매 시간 주기마다 한번만 수집할 수도 있다. 일 실시예에서, 지능형 에이전트 (214) 는 100 마이크로초마다 데이터를 수집할 수도 있다. 센서 (210) 에 의해 수집되었을 수도 있는 임의의 추가 데이터 파일은 지능형 에이전트 (214) 에 의해 무시될 수도 있다. 일 실시형태에서, 지능형 에이전트 (214) 가 100 마이크로초마다 데이터 파일을 수신하는 것에만 관심이 있기 때문에, 지능형 에이전트 (214) 는 추가 데이터 파일이 발생되었을 수도 있는 것을 인식하지 못할 수도 있다. 시간 도메인을 제어함으로써, 네트워크 경로를 따른 데이터 트래픽 정체가 관리될 수도 있다. 또한, 필요한 경우에만 데이터를 수집함으로써, 컴포넌트로부터 수신된 데이터 파일 각각을 처리하는데 필요한 처리 능력이 최소화될 수도 있다. 따라서, 레이턴시가 상당히 감소될 수도 있고, 네트워크가 더욱 신뢰성 있게 될 수도 있다.
타이밍 명령과 함께 구성 요건을 전송하는 것 이외에, 지능형 에이전트는 또한 데이터 파일을 전송하기 위한 조건을 정의하는 기준과 함께 구성 요건을 컴포넌트에 전송할 수도 있다. 일 실시예에서, 지능형 에이전트 (214) 는 센서 (210) 에 의해 수집되는 파라미터에 대한 최소 및 최대 범위를 정의할 수도 있다. 예를 들어, 지능형 에이전트 (214) 는 센서 (210) 에게 단지 파라미터가 특정 범위 밖에 있으면 새로운 데이터 파일을 전송하라고 지시할 수도 있다. 이에 따라, 파라미터에 대해 수집되는 데이터가 특정 범위 내에 있는 한, 어떠한 새로운 데이터 파일도 지능형 에이전트 (214) 에 업로드되지 않아야 한다.
새로운 데이터 파일이 업로드될 수도 있는 조건을 정의함으로써, 지능형 에 이전트는 네트워크 경로 (예를 들어, 경로 (224)) 를 따라 데이터 트래픽 정체를 최소화할 수 있다. 또한, 지능형 에이전트는 또한 데이터를 저장 및 처리하기 위한 불필요한 메모리 사용 및 처리 능력 사용과 같이, 전체 데이터 분석에 거의 기여를 제공하지 않거나 전혀 기여를 제공하지 않을 수도 있는 오버헤드 비용을 감소시킬 수 있다.
일 실시형태에서, 지능형 에이전트에 의해 수신된 가장 최근의 데이터 파일은 각 지능형 에이전트에 위치한 캐시 (230, 232, 234, 236 및 238) 에 저장될 수도 있다. 다른 실시형태에서, 이 캐시는 하나 이상의 데이터 파일 (가장 최근의 데이터 파일 및 수개의 과거 데이터 파일) 을 저장할 수도 있다. 데이터 파일이 캐시에 저장됨으로써, 데이터 파일은 분석 및/또는 다른 에이전트 (예를 들어, 지능형 에이전트, 조정 에이전트, 프로비저널 에이전트 등) 와 공유하는데 손쉽게 이용가능하다. 일 실시예에서, 캐시를 채용함으로써, 지능형 에이전트는 어떤 새로운 데이터도 업로드되지 않았더라도 요구하는 엔티티에 데이터를 제공할 수 있다.
일 실시형태에서, 2 개 이상의 데이터 파일이 시간 주기 동안에 수신되었으면, 가장 최근의 데이터 파일만이 공유된다. 일 실시예에서, 센서 (208) 는 지능형 에이전트 (216) 에 2 개 세트의 데이터 파일, 데이터 스트림 a 및 데이터 스트림 b 를 전송하였고, 여기서 데이터 스트림 b 는 가장 새로운 데이터 스트림이다. 조정 에이전트 (246) 가 지능형 에이전트 (216) 로부터의 데이터 파일을 요구하는 경우, 지능형 에이전트 (216) 는 조정 에이전트 (246) 와 가장 최근의 데 이터 파일 (데이터 스트림 b) 을 공유할 수도 있다.
RACCM (212) 은 또한 각종 상이한 레시피를 수락하고 다양한 지능형 에이전트 사이에 이 레시피를 분산시키는데 채용될 수도 있는 프로비저널 에이전트 (248) 를 포함할 수도 있다. 예를 들어, 레시피가 수정된 상황을 고려한다. 각종 상이한 센서 및 프로세스 모듈에서 레시피를 수동으로 업데이트하는 대신에, 이 레시피는 단일 집중 영역에서 수정될 수도 있다. 업데이트된 레시피는 호스트에 업로드될 수도 있고, 이는 이후에 프로세스 모듈 (202) 과 업데이트된 레시피를 공유할 수도 있다. 일 실시형태에서, 프로세스 모듈은 처리 모델에 관련된 레시피의 부분을 카피할 수도 있다. 다른 실시형태에서, 프로세스 모듈은 업데이트된 레시피의 임의의 부분을 저장하지 않는 것을 선택할 수도 있다. 그럼에도 불구하고, 이 프로세스 모듈은 이후 업데이트된 레시피를 프로비저널 에이전트 (248) 에 포워딩할 수도 있다.
프로비저널 에이전트 (248) 는 레시피를 리뷰하고 레시피의 상이한 부분을 다양한 에이전트 (예를 들어, 지능형 에이전트 및/또는 조정 에이전트) 에 분산시킬 수도 있다. 예를 들어, 레시피는 상이한 파라미터를 포함할 수도 있다. 이들 파라미터 각각은 센서 중 하나 이상에 관련될 수도 있다. 프로비저널 에이전트 (248) 는 어떤 지능형 에이전트가 업데이트된 레시피의 어떤 부분을 필요로 할 수도 있는지를 결정하는 지능을 가질 수도 있다. 프로비저널 에이전트 (248) 에 의해, 레시피는 한번 업데이트되고 다양한 에이전트 사이에 자동적으로 분산될 수도 있다.
상이한 컴포넌트 (센서, 메트롤로지 툴, 및/또는 프로세스 모듈) 에 레시피를 저장하는 대신에, 레시피는 이제 에이전트에 걸쳐 분산된다. 종래 기술과 달리, 레시피는 지능형 에이전트가 포괄적인 데이터 분석을 수행하게 하기 위해 지능형 에이전트에 손쉽게 이용가능하다. 일 실시형태에서, 조정 에이전트는 데이터 분석을 용이하게 하기 위해 전체 레시피의 상위 레벨 카피를 포함할 수도 있다. 일 실시예에서, 각 지능형 에이전트에 저장될 수도 있는 레시피의 부분은 지능형 에이전트와 연관될 수도 있는 센서에 속하는 레시피의 전체 부분을 포함할 수도 있다. 지능형 에이전트가 필요로 할 수도 있는 디테일을 조정 에이전트가 필요로 하지 않으므로, 일 실시예에서, 조정 에이전트에 저장될 수도 있는 레시피는 레시피 실행을 위해 각 파라미터가 서로 어떻게 관련될 수도 있는지를 정의할 수도 있는 레시피의 부분만을 포함할 수도 있다.
일 실시형태에서, 각 지능형 에이전트는 상이한 데이터-관련 태스크, 예를 들어, 데이터 요약, 지능형 에이전트에 저장된 레시피에 기초한 종단점 검출, 장애 검출 등을 수행하기 위한 지능을 가질 수도 있다. 일 실시예에서, 일단 데이터 파일이 수신되었으면, 지능형 에이전트는 데이터 분석을 수행하여, 특정 시간 주기 동안에 수집된 데이터를 요약할 수도 있는 서명 데이터를 생성할 수도 있다. 예를 들어, 지능형 에이전트 (214) 에 저장된 레시피 및 수신된 데이터 파일에 기초하여, 종단점이 검출되었다. 다양한 데이터 포인트를 동화 (assimilate) 함으로써, 지능형 에이전트는 이 지능형 에이전트가 공유할 수도 있는 서명 데이터를 생성할 수도 있다. 일 실시형태에서, 각 지능형 에이전트는 조정 에이전트와 그 서명을 공유한다. 일 실시예에서, 조정 에이전트 (246) 는 각 시간 주기에서 각 지능형 에이전트로부터 서명 데이터를 수신하도록 구성될 수도 있다.
이에 따라, 다양한 지능형 에이전트에 분산된 지능은 분석을 수행하여, 조정 에이전트가 필요로 할 수도 있는 데이터를 제공할 수도 있다. 일 실시형태에서, 복수의 서명의 수신 시에, 조정 에이전트는 조정 에이전트에 저장된 레시피에 기초하여 각종 상이한 데이터 서명을 분석하여 복합 서명을 발생시킬 수도 있다. 복합 서명은 데이터를 필요로 할 수도 있는 컴포넌트와 공유될 수도 있다. 일 실시형태에서, 조정 에이전트는 복합 서명에 기초하여 액션을 수행할 수도 있다.
조정 에이전트가 RACCM 에 업로드될 수도 있는 과도한 데이터에 의해 압도되지 않으므로, 조정 에이전트는 레시피의 전체 실행 상태를 결정하는데 필요한 데이터에 집중할 수 있다. 그 결과, 조정 에이전트는 잠재적인 문제에 신속하게 응답할 수 있다. 일 실시예에서, 지능형 에이전트로부터 수신된 서명의 세트에 기초하여, 조정 에이전트 (246) 는 조정 에이전트 레벨로 저장된 레시피에 대해 데이터 분석을 수행하여, 현재의 기판 처리에 문제가 존재할 수도 있다는 것을 표시하는 복합 서명을 발생시킬 수 있다. 따라서, 조정 에이전트 (246) 는 프로세스 모듈 (202) 에 정지 실행 메시지를 전송함으로써 신속하게 응답가능할 수도 있다.
복합 서명이 프로세스 모듈로부터의 즉시 액션을 요청하면, 전용 채널 (240) 과 같은 전용 채널이 조정 에이전트 (246) 와 프로세스 모듈 (202) 사이의 통신을 용이하게 하기 위해 제공된다. 전용 채널은 조정 에이전트가 공통 네트워크 경로 (예를 들어, 경로 (224)) 상의 잠재적 트래픽 정체를 처리할 필요 없이 프로세스 모듈에 신속하게 통지할 수 있게 할 수도 있다. 일 실시형태에서, 조정 에이전트 (246) 는 프로세스 모듈 (202) 로부터의 즉시 액션이 필요하지 않으면 공통 네트워크 경로 (경로 (224)) 를 따라 프로세스 모듈 (202) 과 통신할 수도 있다.
일 실시형태에서, 조정 에이전트는 또한 다양한 지능형 에이전트 사이에서의 데이터의 공유를 조정하는데 채용될 수도 있다. 일 실시예에서, 지능형 에이전트 (214) 는 지능형 에이전트 (216) 에 의해 저장된 데이터를 필요로 할 수도 있다. 데이터를 요구하기 위해, 지능형 에이전트는 서로 통신할 수도 있다. 그러나, 요구되는 데이터가 복수의 지능형 에이전트로부터 오면, 상이한 지능형 에이전트와 개별적으로 조정하는 대신에 조정 에이전트로부터 복수의 데이터를 취득하는 것이 더 효율적일 수도 있다.
또 다른 실시형태에서, 조정 에이전트는 또한 고장 수리를 수행하기 위해 필요할 수도 있는 데이터를 취득하는데 채용될 수도 있다. 일 실시예에서, 조정 에이전트 (246) 는 고장 수리를 수행하기 위해 채용된 컴퓨터 시스템 (244) 에 접속될 수도 있다. 고장 수리하는 컴퓨터 시스템 (244) 이 데이터를 필요로 하는 경우, 경로 (250) 를 통해 조정 에이전트 (246) 로 요구가 전송될 수도 있다. 조정 에이전트 (246) 는 요구된 데이터를 취득하고, 이 데이터를 고장 수리하는 컴퓨터 시스템에 전송할 수도 있다.
도 2 에 도시된 바와 같이, RACCM 은 처리 시스템에 대한 데이터 및 레시피 관리를 핸들링할 수 있는 제어 모듈이다. 종래 기술과 달리, 데이터를 수집, 핸들링, 및 조정하기 위한 집중형 모듈로서의 프로세스 모듈이 제거된다. 대신에, 새로운 RACCM 환경에서의 프로세스 모듈은 데이터 및 레시피 관리의 관점에서 센서 중 하나의 센서와 같이 작동할 수도 있다. 일 실시형태에서, 기판의 더 정밀한 처리를 가능하게 하기 위해 더 많은 센서가 필요함에 따라, RACCM 은 비교적 용이하고 저렴하게 수정되어, 증가된 메모리 용량 및 증가된 처리 능력을 가질 수도 있다. RACCM 이 복수의 엔티티 (예를 들어, 지능형 에이전트, 조정 에이전트, 프로비저널 에이전트) 를 포함할 수도 있으므로, 단일 엔티티가 불필요하게 모든 태스크를 수행하는 부담을 갖지 않도록, 워크로드가 분산될 수도 있다. 워크로드를 분산시킴으로써, 종래 기술에 존재하였을 수도 있는 데이터 트래픽 정체 및 레이턴시는 상당히 감소되어 데이터 공유 및 데이터 분석에 더욱 안정한 네트워크를 제공할 수도 있다.
도 3 내지 도 8 은 본 발명의 실시형태에서 RACCM 을 구현하는 방법을 도시한다.
도 3 은 본 발명의 일 실시형태에서 센서를 구성하는 단계를 설명한 단순한 흐름도를 도시한다.
첫번째 단계 302 에서, 지능형 에이전트는 프로비저널 에이전트로부터 레시피를 수신할 수도 있다. 전술한 바와 같이, 프로비저널 에이전트는 레시피를 필요로 할 수도 있는 엔티티에 레시피를 분산시킴으로써 레시피 관리를 수행할 수도 있다. 일 실시형태에서, 레시피의 부분만이 임의의 하나의 특정 엔티티에 분산될 수도 있다. 일 실시예에서, 지능형 에이전트 (214) 는 센서 (210) 와 연관될 수도 있는 파라미터에 속하는 레시피의 부분만을 필요로 할 수도 있다.
다음 단계 304 에서, 지능형 에이전트는 이 레시피에 기초하여 구성 요건을 발생시킬 수도 있다. 일 실시형태에서, 구성 요건은 센서가 지능형 에이전트에 데이터 파일을 전송할 수도 있는 때를 정의하는 기준을 포함할 수도 있다. 일 실시예에서, 구성 요건은 시간 도메인 (예를 들어, 얼마나 자주 데이터 파일이 전송될 수도 있는지에 대한 명령) 을 포함할 수도 있다. 다른 실시형태에서, 구성 요건은 지능형 에이전트에 데이터 파일을 전송하는 데이터 조건을 포함할 수도 있다. 일 실시예에서, 데이터 파일은 파라미터가 특정 범위 내에 있는 경우에만 업로드될 수도 있다.
다음 단계 306 에서, 지능형 에이전트는 대응하는 센서에 구성 요건을 통신할 수도 있다. 일 실시예에서, 지능형 에이전트 (214) 는 구성 요건에 관해 센서 (210) 와 통신할 수도 있다. 일 실시형태에서, 이 센서는 구성 요건을 적용하여 데이터 파일이 지능형 에이전트에 전송되어야 하는 때를 결정하는 지능을 가질 수도 있다. 일 실시예에서, 구성 요건은 데이터 파일이 100 마이크로초마다 한번씩 전송되어야 한다고 지시할 수도 있다. 그러나, 이 센서는 50 마이크로초마다 데이터를 수집할 수도 있다. 이 센서가 더 자주 수집하였을 수도 있더라도, 이 센서는 구성 요건을 적용하여 이 구성 요건에 따라서만 데이터 파일을 전송할 수도 있다. 다른 실시예에서, 이 센서는 복수의 데이터 파일을 수집하였을 수도 있지만, 파라미터에 대한 변경이 구성 요건에 매칭하지 않았을 수도 있으 므로, 이 센서는 지능형 에이전트에 데이터 파일을 업로드하지 않을 수도 있다.
구성 요건을 통해 데이터 파일 송신을 관리함으로써, 센서와 함께 지능형 에이전트는 네트워크 상의 데이터 트래픽을 관리할 수 있다. 종래 기술의 프로세스 모듈과 달리, 지능형 에이전트는 센서에 의해 업로드되고 있는 데이터량을 제어가능할 수도 있으므로; 불필요한 데이터 트래픽 정체가 상당히 감소될 수도 있다.
도 4 는 본 발명의 일 실시형태에서 지능형 에이전트가 캐시로부터 요약 데이터를 발생시키는 단계를 설명한 단순 흐름도를 도시한다.
첫번째 단계 402 에서, 지능형 에이전트는 센서로부터 데이터를 수신할 수도 있다. 일 실시예에서, 지능형 에이전트 (214) 는 센서 (210) 로부터 데이터 파일을 수신할 수도 있다. 일 실시형태에서, 업로드되는 데이터 파일은 (도 3 에 논의된 바와 같이) 구성 요건에 기초할 수도 있다. 다른 실시형태에서, 인커밍 데이터 파일은 캐시에 저장될 수도 있다. 이 캐시는 하나 이상의 데이터 파일을 포함할 수도 있다. 일 실시예에서, 이 캐시는 가장 최근의 데이터 파일 및/또는 복수의 최근의 데이터 파일을 포함할 수도 있다. 데이터 파일을 캐시에 저장함으로써, 데이터 파일은 분석, 데이터 조작, 및 요구하는 엔티티 (예를 들어, 조정 에이전트, 다른 지능형 에이전트 등) 와의 공유에 손쉽게 이용가능하다.
또한, 데이터를 캐시에 저장함으로써, 데이터 래칭이 발생할 수도 있다. 다시 말해, 센서가 새로운 데이터를 수집하지 않았으면, 새로운 데이터 파일은 지능형 에이전트에 업로드되게 이용가능하지 않다. 따라서, 프로세스 모듈이 지능형 에이전트로부터의 업데이트된 데이터를 요구하는 경우, 지능형 에이전트는 여 전히 프로세스 모듈에 데이터 파일을 제공할 수 있는데, 이는 (새로운 파일이 업로드되지 않았으므로) 캐시에 현재 저장된 데이터 파일이다.
다음 단계 404 에서, 지능형 에이전트는 데이터를 계산할 수도 있다. 일 실시형태에서, 데이터 계산은 지능형 에이전트에 저장된 레시피에 기초할 수도 있다. 다른 실시형태에서, 데이터 계산은 다른 엔티티 (예를 들어, 조정 에이전트) 가 데이터를 요구한 경우에 수행될 수도 있다. 일 실시예에서, 조정 에이전트는 서명 데이터 (예를 들어, 종단점, 장애 검출 데이터 등) 가 125 마이크로초마다 계산되기를 요청할 수도 있다. 따라서, 데이터 파일의 수신 시에, 지능형 에이전트 (214) 는 조정 에이전트 (246) 와 공유될 수도 있는 서명을 생성하기 위해 로컬 저장된 레시피에 기초하여 수신된 데이터를 분석할 수도 있다.
다음 단계 406 에서, 지능형 에이전트는 요구하는 엔티티에 데이터를 제공할 수도 있다. 일 실시예에서, 지능형 에이전트는 125 마이크로초마다 조정 에이전트에 서명 데이터를 전송할 수도 있다. 일 실시형태에서, 데이터 파일은 데이터에 대한 업데이트가 발생하지 않았으면 전송되지 않을 수도 있다. 일 실시예에서, 지능형 에이전트 (214) 는 새로운 데이터 파일에 대한 기준이 충족되지 않았으므로 센서로부터 업데이트된 데이터 파일을 수신하지 못했다. 따라서, 지능형 에이전트가 다음 요구에서 조정 에이전트 (246) 에 업데이트된 서명을 제공하여야 하는 경우, 지능형 에이전트 (214) 는 업데이트된 서명 파일을 전송하지 않을 수도 있다. 일 실시형태에서, 조정 에이전트는, 현재 서명이 변경되지 않았음을 업데이트된 서명의 결여가 표시할 수도 있다고 결론낼 수 있는 지능을 포함할 수도 있다.
종래 기술의 프로세스 모듈과 달리, 하나의 단일 에이전트는 데이터 관리의 역할을 하지 않는다. 대신에, 복수의 에이전트 사이에 데이터 조정, 데이터 조작, 및 데이터 분석을 위한 지능을 분산시킴으로써, 많은 상이한 엔티티 사이에 워크로드가 분산된다. 따라서, 다수의 에이전트의 조정을 통해 더 효율적인 데이터 관리가 달성될 수도 있다. 또한, 지능형 에이전트가 데이터 관리를 수행하게 함으로써, 프로세스 모듈은 그 역할에서 해방될 수도 있고, 대신에 프로세스 제어를 관리하는 메인 태스크에 집중할 수도 있다.
도 5 는 본 발명의 일 실시형태에서 지능형 에이전트가 종단점 및/또는 장애 검출 데이터를 발생시키는 단계를 설명한 단순화된 흐름도를 도시한다.
첫번째 단계 502 에서, 지능형 에이전트는 센서로부터 데이터를 수신할 수도 있다. 일 실시예에서, 지능형 에이전트 (214) 는 센서 (210) 로부터 데이터 파일을 수신할 수도 있다. 전술한 바와 같이, 업로드되는 데이터 파일은 (도 3 에서 논의된 바와 같이) 구성 요건에 기초할 수도 있다.
다음 단계 504 에서, 지능형 에이전트는 데이터 파일을 분석하여 종단점 및/또는 장애 검출을 식별가능할 수도 있다. 일 실시예에서, 로컬 저장된 레시피에 기초하여, 지능형 에이전트 (214) 는 수신된 데이터 파일에 기초하여 종단점을 식별가능할 수도 있다. 다른 실시예에서, 지능형 에이전트는 데이터 파일을 분석하여 장애 검출을 수행할 수도 있다. 일 실시형태에서, 장애 검출을 수행하는 것은 지능형 에이전트에 로컬 저장된 레시피와 수신된 데이터를 비교하는 것을 포함할 수도 있다.
다음 단계 506 에서, 지능형 에이전트는 요구하는 엔티티에 종단점 및/또는 장애 검출 데이터를 제공할 수도 있다. 일 실시형태에서, 지능형 에이전트로부터 조정 에이전트로 전송된 데이터는 요약된 데이터 (예를 들어, 서명 파일, 종단점 등) 일 수도 있다. 다시 말해, 조정 에이전트는 센서로부터 수집된 데이터의 요약을 수신하므로; 지능형 에이전트가 이미 데이터 분석 및 데이터 조작을 수행하였기 때문에 업스트림으로 전송되는 데이터량이 훨씬 더 적다. 일 실시예에서, 데이터 파일 전부를 전송하는 대신에, 지능형 에이전트 (214) 는 조정 에이전트 (246) 에 종단점만을 전송할 수도 있다.
종단점의 수신 시에, 조정 에이전트는 로컬 저장된 레시피와 종단점을 비교할 수도 있다. 일 실시형태에서, 조정 에이전트에 저장된 레시피는 복수의 지능형 에이전트에 저장될 수도 있는 레시피를 포함할 수도 있다. 그러나, 조정 에이전트는 각 지능형 에이전트에 저장될 수도 있는 레시피 전부를 상세하게 저장하지 않을 수도 있다. 대신에, 조정 에이전트는 조정 에이전트가 상위 레벨 조합 분석을 수행가능할 수도 있도록 작은 부분만을 저장할 수도 있다. 일 실시예에서, 지능형 에이전트 (214) 로부터 수신된 예상된 종단점이 실제로 종단점인지 또는 조정 에이전트가 더 많은 데이터를 요구할 필요가 있는지 여부를 조정 에이전트가 결정하는 것을 돕기에 충분한 레시피를 조정 에이전트가 저장할 수도 있다.
종래 기술과 달리, 프로세스 모듈은 데이터를 분석하여 종단점을 식별 및/또는 장애 검출을 수행하는 역할을 하지 않는다. 대신에, 태스크는 종단점/장애 검출 데이터를 결정하기 위해 로컬 저장된 레시피에 기초하여 데이터를 분석할 수 있는 복수의 에이전트 사이에 분산될 수도 있다. 게다가 또, 종단점을 식별하고/식별하거나 장애 검출을 수행하는 지능을 분산시킴으로써, 워크로드는 많은 상이한 에이전트 사이에 분산된다. 또한, 복수의 지능형 에이전트가 단일 프로세스 모듈보다 대량의 데이터를 핸들링할 수 있으므로, 네트워크 상의 데이터 트래픽 정체는 상당히 감소될 수도 있다. 따라서, 더 안정한 네트워크 환경이 존재할 수도 있고, 프로세스 모듈은 프로세스 제어를 수행하는 태스크에 집중할 수도 있다.
도 6 은 본 발명의 일 실시형태에서 조정 에이전트가 데이터 분석을 수행하는 단계를 설명한 단순화된 흐름도를 도시한다.
첫번째 단계 602 에서, 조정 에이전트는 복수의 지능형 에이전트로부터 데이터를 수신할 수도 있다. 일 실시형태에서, 조정 에이전트에 업로드되는 데이터는 종단점, 장애 검출 데이터 등과 같은 요약된 데이터일 수도 있다.
다음 단계 604 에서, 조정 에이전트는 액션이 수행될 필요가 있는지 여부에 관한 판정을 행할 수도 있다. 일 실시형태에서, 조정 에이전트에 로컬 저장된 레시피에 기초하여, 조정 에이전트는 출력을 생성할 수도 있다. 일 실시예에서, 조정 에이전트 (246) 는 복수의 지능형 에이전트에 의해 전송되는 데이터를 분석하여, 하나 이상의 종단점이 실제로 식별되었을 수도 있는지 여부를 판정할 수도 있다. 다른 실시예에서, 조정 에이전트 (246) 는 복합 서명을 생성하기 위해 로컬 저장된 레시피에 기초하여 데이터의 추가 분석을 수행할 수도 있다.
액션이 요청되면, 다음 단계 606 에서, 조정 에이전트는 액션을 수행할 수도 있다. 일 실시예에서, 종단점이 식별되었으면, 조정 에이전트는 하나 이상의 액션을 수행하여야 할 수도 있다. 예를 들어, 조정 에이전트는 종단점에 관해 프로세스 모듈에 통지하여야 할 수도 있다. 다른 실시예에서, 복합 서명은 문제가 존재할 수도 있으며 프로세스 모듈이 동작을 중지하여야 한다는 것을 표시할 수도 있다. 일 실시형태에서, 액션이 중요하지 않으면, 조정 에이전트는 대응하는 지능형 에이전트를 통해 프로세스 모듈에 통지할 수도 있다. 그러나, 액션이 중요하면, 조정 에이전트는 전용 채널 (240) 과 같은 전용 채널을 통해 직접 프로세스 모듈에 통지할 수도 있다.
액션이 요청되지 않으면, 조정 에이전트는 단계 602 로 다시 진행하여 복수의 지능형 에이전트로부터 데이터를 수신하는 것을 계속할 수도 있다.
조정 에이전트에 의해 수신되는 데이터가 센서에 의해 전송된 데이터의 요약이므로, 조정 에이전트는 조정 에이전트가 데이터 분석을 수행할 필요가 없을 수도 있는 대량의 데이터에 압도되지 않는다. 이에 따라, 조정 에이전트는 데이터 분석을 신속하게 수행할 수 있고, 식별될 수도 있는 임의의 요구 및/또는 잠재적 문제에 손쉽게 응답할 수 있다. 따라서, 조정 에이전트는 조정 및 데이터 분석과 같이, 프로세스 모듈로부터 태스크를 오프로드할 수 있다.
도 7 은 본 발명의 일 실시형태에서 프로비저널 에이전트를 통해 RACCM 의 상이한 엔티티 사이에 레시피를 분산시키는 단계를 설명한 단순화된 흐름도를 도시한다.
첫번째 단계 702 에서, 프로세스 모듈에 레시피가 로드된다. 예를 들어, 레시피가 변경된 상황을 고려한다. 종래 기술에서, 레시피에 대한 변경은 그 변경이 상이한 컴포넌트에서 (예를 들어, 하나 이상의 센서에서, 프로세스 모듈에서 등) 개별적으로 업데이트되도록 요청할 수도 있다. 종래 기술과 달리, 이 변경은 집중형 위치에서 업데이트된다. 업데이트된 레시피는 이후 프로세스 모듈에 업로드된다.
다음 단계 704 에서, 프로세스 모듈은 프로비저널 에이전트에 레시피를 업로드할 수도 있다. 일 실시형태에서, 프로세스 모듈 (202) 은 대응하는 지능형 에이전트에 수정된 레시피를 업로드할 수도 있다. 일 실시예에서, 프로세스 모듈 (202) 은 지능형 에이전트 (222) 에 레시피를 업로드할 수도 있다. 레시피의 수신 시에, 지능형 에이전트 (222) 는 프로비저널 에이전트 (248) 로 레시피를 포워딩할 수도 있다. 일 실시예에서, 지능형 에이전트 (222) 는 경로 (242) 를 따라 프로비저널 에이전트 (248) 로 수정된 레시피를 전송할 수도 있다.
다음 단계 706 에서, 프로비저널 에이전트는 RACCM 내의 각종 상이한 에이전트 사이에 레시피를 분산시킬 수도 있다. 일 실시형태에서, 레시피는 에이전트 (지능형 에이전트/조정 에이전트) 와 컴포넌트 사이의 관계에 기초하여 분산될 수도 있다. 일 실시예에서, 지능형 에이전트 (222) 는 프로세스 모듈 (202) 과 연관된다. 이에 따라, 지능형 에이전트 (222) 는 프로세스 모듈 (202) 에 의해 요청된 레시피의 부분만을 수신할 수도 있다.
레시피가 RACCM 에 의해 관리 및 저장되게 함으로써, 레시피 업데이트는 신속하게 수행될 수도 있다. 종래 기술과 달리, 레시피는 한번 업데이트됨으로 써, 인간 에러의 위험을 최소화한다. 또한, 레시피를 분산시키는 태스크는 자동화되어, 업데이트가 컴포넌트 중 하나에 대해 수행되지 않을 가능성을 감소시킬 수도 있다. 현실적으로, 컴포넌트에 구성 요건을 제공하는 레시피가 지능형 에이전트에 상주하므로, 더이상 다양한 컴포넌트에 레시피가 분산될 필요가 없다.
RACCM 내에서 복수의 에이전트에 걸쳐 레시피를 분산시킴으로써, 데이터 조작 및 데이터 분석을 수행하여야 할 수도 있는 상이한 엔티티에 레시피가 이용가능하다. 일 실시예에서, 지능형 에이전트 (222) 는 데이터 분석을 수행중이다. 그러나, 정확한 분석을 수행하기 위해, 지능형 에이전트 (222) 는 지능형 에이전트 (214) 에 저장된 레시피에 액세스할 필요가 있을 수도 있다. 레시피가 RACCM 내에 로컬 저장되므로, 지능형 에이전트 (222) 는 지능형 에이전트 (214) 와 용이하게 통신하여 요청된 레시피를 취득할 수도 있다.
도 8 은 본 발명의 일 실시형태에서 지능형 에이전트와 컴포넌트를 연관시키는 단계를 설명한 단순한 흐름도를 도시한다.
첫번째 단계 802 에서, 컴포넌트는 처리 시스템에 연결된다. 예를 들어, 새로운 센서가 처리 시스템에 연결된 상황을 고려한다. 일 실시형태에서, 센서가 처음으로 RACCM 에 접속된 경우에 이 센서는 그 존재를 안내할 수도 있다. 새로운 센서의 존재는 적어도 3 가지 상이한 방법에 의해 RACCM 에 알려지게 될 수도 있다.
다음 단계 804 에서, 이 방법은 컴포넌트가 RACCM 에 통지할지 여부를 판정한다. 일 실시형태에서, 컴포넌트는 RACCM 에 보고 데이터 패키지를 전송할 수 도 있다. 일 실시예에서, 센서 (210) 는 RACCM (212) 에 보고 데이터 패키지를 전송할 수도 있다. 이 보고 데이터 패키지는 센서에 관한 프로파일 데이터를 포함할 수도 있다.
다음 단계 808 에서, RACCM 은 지능형 에이전트를 활성화할 수도 있다. 보고 데이터 패키지의 수신 시에, RACCM (212) 은 보고 데이터 패키지를 분석하여, 통신을 개시하길 원하는 센서를 식별할 수도 있다. 일 실시형태에서, RACCM 은 복수의 지능형 에이전트 중 하나 이상이 비활성으로 남을 수도 있더라도 복수의 지능형 에이전트를 포함할 수도 있다. 일 실시예에서, RACCM 은 100 개의 지능형 에이전트를 포함할 수도 있는데, 이 지능형 에이전트 각각은 센서가 RACCM 에 접속될 때까지 비활성이다.
일 실시형태에서, RACCM 은 지능형 에이전트를 활성화시키고 그 지능형 에이전트를 요구하는 센서와 연관시킬 수도 있다. 일 실시형태에서, 지능형 에이전트 클래스는 스타트업 시에 RACCM 에 로드될 수도 있다. 센서가 먼저 그 존재를 안내하는 경우, RACCM 은 연관된 지능형 에이전트 클래스로부터 지능형 에이전트 오브젝트를 인스턴스화 (instantiate) 한다. 일단 지능형 에이전트 오브젝트가 인스턴스화되면, 지능형 에이전트는 타깃인 센서로 통신 시퀀스를 개시하는 것을 시작할 수도 있다.
일 실시예에서, 지능형 에이전트 (214) 는 RACCM (212) 이 지능형 에이전트 (214) 를 센서 (210) 에 할당할 때까지 비활성으로 남아 있을 수도 있다. 일 실시형태에서, 일단 지능형 에이전트가 활성화되었으면, 프로비저널 에이전트는 새 로운 센서와 연관될 수도 있는 레시피를 전송할 수도 있다. 일 실시예에서, 센서 (210) 가 처리 시스템에 추가되었다. 거의 동일한 시간에, 레시피는 센서 (210) 가 데이터를 수집하는 새로운 파라미터를 고려하기 위해 수정되었을 수도 있다. 수정된 레시피는 프로비저널 에이전트 (248) 에 로드되었을 수도 있는데, 이는 이후 센서 (210) 에 관련될 수도 있는 레시피 부분을 지능형 에이전트 (214) 에 분산시킬 수도 있다.
다음 단계 810 에서, 지능형 에이전트는 컴포넌트에 구성 요건을 전송할 수도 있다. 일 실시예에서, 일단 지능형 에이전트 (214) 가 활성화되었으면, 지능형 에이전트는 센서 (210) 에 구성 요건 (예를 들어, 시간 도메인, 데이터 스트림 조건 등) 을 전송하는 것으로 진행할 수도 있다. 지능형 에이전트가 RACCM 에 이미 사전-로드되었으므로, 센서가 처리 시스템에 접속되는 경우에 거의 즉시 센서가 활성화될 수도 있다는 점에서 센서는 플러그-앤-플레이 능력을 가질 수도 있다.
단계 804 를 다시 참조하면, 컴포넌트가 그 존재를 RACCM 에 자동적으로 안내할 수 없으면, 다음 단계 806 에서, 인간 사용자가 RACCM 에 통지할 수도 있다. 일 실시예에서, 기술자가 처리 시스템에 센서 (210) 를 접속하였다.
다음 단계 808 에서, RACCM 은 지능형 에이전트를 활성화할 수도 있다. 일 실시예에서, 기술자는 RACCM (212) 이 센서 (210) 와 통신할 수 있게 하기 위해 RACCM (212) 에 센서와 대응할 수도 있는 지능형 에이전트를 다운로드할 수도 있다. 일 실시예에서, 지능형 에이전트 (214) 는 RACCM (212) 에 다운로드될 수 도 있다. 다시 말해, 컴포넌트가 그 존재를 RACCM 에 자동적으로 안내할 수 없으면, 기술자가 연관된 지능형 에이전트 클래스로부터 지능형 에이전트 오브젝트를 수동적으로 인스턴스화할 수도 있다. 일단 지능형 에이전트 오브젝트가 인스턴스화되면, 이는 타깃인 센서로의 통신 시퀀스를 개시한다.
상기 (단계 810) 와 유사하게, 일단 지능형 에이전트 (214) 가 활성화되었으면, 지능형 에이전트는 센서 (210) 에 구성 요건 (예를 들어, 시간 도메인, 데이터 스트림 조건 등) 을 전송하는 것으로 진행할 수도 있다. 유리하게는, 활성 지능형 에이전트만을 유지함으로써, RACCM 에 대한 메모리 요건이 최소화될 수도 있다.
단계 806 을 다시 참조하면, 인간 개입이 발생하지 않으면, 다음 단계 812 에서, RACCM 은 자기-복구를 수행할 수도 있다. 예를 들어, 새로운 센서가 처리 시스템에 접속된 상황을 고려한다. 그러나, 이 센서는 자기-보고 데이터 패키지를 전송하는 능력을 가지지 않을 수도 있고, 인간 개입이 발생하지 않았을 수도 있다. 일 실시예에서, 센서 (210) 가 처리 시스템에 추가되었다. 그러나, 센서 (210) 는 그 존재를 RACCM (212) 에 안내할 방법이 없다.
일 실시형태에서, RACCM 은, RACCM 이 처리 시스템을 주기적으로 체크하여 변경 (예를 들어, 새로운 센서, 처리 시스템에 대한 변경 등) 이 발생하였는지 여부를 판정할 수 있게 할 수도 있는 자기-복구 특징을 가질 수도 있다. 다른 실시형태에서, 자기-복구 특징은 처리 시스템에 변경이 발생한 경우에 RACCM 에 통지하는데 채용될 수도 있는 인터럽트 이벤트를 포함할 수도 있다. 일단 RACCM 이 새로운 센서가 처리 시스템에 추가되었다고 결정하였으면, RACCM 은 새로운 센서와의 통신을 확립하여 센서를 프로파일링할 수도 있다.
다음 단계 808 에서, 일단 프로파일링이 수행되었으면, RACCM 은 새로운 센서와 대응할 수도 있는 지능형 에이전트를 활성화할 수도 있다. 일 실시형태에서, 지능형 에이전트는 RACCM 에 이미 상주할 수도 있다. 다른 실시형태에서, RACCM 은 지능형 에이전트를 다운로드하여야 할 수도 있다. 자기-복구에 있어, RACCM 은 상이한 타입의 센서 (예를 들어, 자기-보고 센서, 비 (non) 자기-보고 센서 등) 를 핸들링하는 다기능을 가진다.
앞서 말한 바로부터 인식할 수 있는 바와 같이, 본 발명의 실시형태는 프로세스 모듈로부터의 데이터 관리의 부담을 실질적으로 감소시킨다. RACCM 을 채용함으로써, 프로세스 모듈이 표면상으로는 단지 RACCM 의 기능성으로부터 이익을 얻을 수도 있는 다른 컴포넌트가 되는 아키텍처 장치가 생성된다. RACCM 에 있어, 네트워크 내의 데이터 트래픽 정체 및 레이턴시는 데이터 관리가 상이한 에이전트 및 컴포넌트에 걸쳐 분산됨에 따라 상당히 감소될 수도 있다. 또한, 데이터 및/또는 레시피가 에이전트 사이에서 공유됨에 따라 더 포괄적인 데이터 분석이 수행될 수도 있다. 데이터 관리의 시간 소모적이며 복잡한 태스크로부터 프로세스 모듈을 해방시킴으로써, 프로세스 제어 및 데이터 관리의 태스크는 더 이상 동일한 리소스에 대해 서로 경쟁하지 않는다.
본 발명이 수개의 바람직한 실시형태의 관점에서 설명되었지만, 본 발명의 범위 내에 있는 변경, 치환, 및 균등물이 있다. 본 명세서에서 다양한 실시예 가 제공되었더라도, 이들 실시예는 본 발명에 관해 예시적이며 제한적이지 않다고 의도된다.
또한, 편의를 위해 본 명세서에서 제목 및 개요가 제공되지만, 본 명세서에서의 청구의 범위를 해석하는데 이용되지 않아야 한다. 또한, 편의를 위해 본 명세서에서 요약이 매우 단축된 형태로 쓰여지고 제공되었으므로, 청구항에서 표현된 전체 발명을 해석하거나 제한하는데 채용되어서는 안된다. 용어 "세트"가 본 명세서에서 채용되면, 이 용어는 일반적으로 0, 1, 또는 2 개 이상의 부재를 커버하는 수학적 의미로 이해되는 것으로 의도된다. 또한, 본 발명의 방법 및 장치를 구현하는 많은 다른 방식이 있다는 것을 유의하여야 한다. 따라서, 다음의 청구의 범위는 본 발명의 진정한 사상 및 범위 내에 있는 이러한 모든 변경, 치환, 및 균등물을 포함하는 것으로 해석되게 의도된다.

Claims (19)

  1. 복수의 컴포넌트를 갖거나 상기 복수의 컴포넌트와 커플링된 플라즈마 처리 시스템에서 데이터 관리를 수행하는 서버로서,
    복수의 지능형 에이전트; 및
    상기 복수의 지능형 에이전트로부터 처리된 데이터를 수신하도록 구성된 조정 에이전트를 포함하며,
    상기 복수의 지능형 에이전트의 각 지능형 에이전트는 상기 복수의 컴포넌트 중 일 컴포넌트와 상호작용하도록 구성되고, 상기 복수의 지능형 에이전트는 적어도 제 1 지능형 에이전트 및 제 2 지능형 에이전트를 포함하고, 상기 복수의 컴포넌트는 적어도 제 1 컴포넌트 및 제 2 컴포넌트를 포함하고, 상기 제 1 지능형 에이전트는 제 1 기준 세트에 따라 상기 제 1 컴포넌트로부터 제 1 데이터를 수신하도록 구성되고, 상기 제 1 컴포넌트는 제 2 기준 세트에 따라 제 2 데이터를 수집하도록 구성되고, 상기 제 2 지능형 에이전트는 제 3 기준 세트에 따라 상기 제 2 컴포넌트로부터 제 3 데이터를 수신하도록 구성되고, 상기 제 2 컴포넌트는 제 4 기준 세트에 따라 제 4 데이터를 수집하도록 구성되고, 상기 제 1 기준 세트는 상기 제 2 기준 세트와 상이하고, 상기 제 1 기준 세트는 상기 제 3 기준 세트와 상이하고, 상기 제 3 기준 세트는 상기 제 4 기준 세트와 상이하고, 상기 제 1 데이터는 상기 제 2 데이터의 서브세트이고, 상기 제 3 데이터는 상기 제 4 데이터의 서브세트인, 데이터 관리를 수행하는 서버.
  2. 제 1 항에 있어서,
    레시피 관리를 수행하도록 구성된 프로비저널 에이전트의 세트를 더 포함하며,
    상기 레시피 관리는 레시피의 적어도 일부분을 상기 조정 에이전트와 상기 복수의 지능형 에이전트 중 적어도 하나의 에이전트에 분산시키는 것을 포함하는, 데이터 관리를 수행하는 서버.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 복수의 지능형 에이전트의 상기 각 지능형 에이전트는 상기 복수의 컴포넌트의 상기 컴포넌트에 대한 구성 요건을 정의하는 지능을 포함하고, 상기 구성 요건은 상기 복수의 지능형 에이전트의 상기 각 지능형 에이전트에 데이터 파일을 전송하는 기준을 포함하며, 상기 기준은 상기 복수의 지능형 에이전트의 상기 각 지능형 에이전트에 로컬 저장되는 상기 레시피의 상기 일부분에 기초하는, 데이터 관리를 수행하는 서버.
  4. 제 3 항에 있어서,
    상기 복수의 컴포넌트는, 상기 복수의 지능형 에이전트에 상기 데이터 파일을 전송하기 전에, 상기 구성 요건을 채용하여 상기 데이터 파일에 대해 전처리를 수행하는, 데이터 관리를 수행하는 서버.
  5. 제 4 항에 있어서,
    상기 복수의 지능형 에이전트의 상기 각 지능형 에이전트는 캐시를 포함하고,
    상기 캐시는 데이터 래칭을 가능하게 하기 위해 적어도 가장 최근의 데이터 파일을 저장하도록 구성되는, 데이터 관리를 수행하는 서버.
  6. 제 5 항에 있어서,
    상기 복수의 지능형 에이전트의 상기 각 지능형 에이전트는 상기 데이터 파일의 데이터 분석을 수행하여 서명 데이터를 발생시키고,
    상기 서명 데이터는 상기 데이터 파일에 대한 요약된 데이터인, 데이터 관리를 수행하는 서버.
  7. 제 6 항에 있어서,
    상기 조정 에이전트는 상기 복수의 지능형 에이전트의 상기 각 지능형 에이전트로부터 상기 서명 데이터를 수신하도록 구성되고,
    상기 조정 에이전트는 데이터 분석을 수행하여 복합 서명을 발생시키는, 데이터 관리를 수행하는 서버.
  8. 제 7 항에 있어서,
    상기 조정 에이전트는 상기 복합 서명에 기초하여 상기 복수의 컴포넌트에 명령을 제공하는 지능을 포함하는, 데이터 관리를 수행하는 서버.
  9. 제 8 항에 있어서,
    상기 복수의 컴포넌트는 프로세스 모듈, 센서, 및 메트롤로지 툴 중 적어도 하나를 포함하는, 데이터 관리를 수행하는 서버.
  10. 제 1 항에 있어서,
    상기 서버는 자기-복구를 수행하여 상기 플라즈마 처리 시스템에 대한 변경을 식별하는 지능을 포함하고,
    상기 자기-복구는 상기 복수의 컴포넌트 중 일 컴포넌트가 상기 플라즈마 처리 시스템에 접속되는 때를 식별하는 것을 포함하는, 데이터 관리를 수행하는 서버.
  11. 플라즈마 처리 시스템에 대해 데이터 관리를 수행하도록 구성된 컴퓨터 판독가능 코드가 내장된 프로그램 저장 매체를 포함하는 제조물로서,
    서버를 제공하는 코드를 포함하며,
    상기 서버는,
    복수의 지능형 에이전트; 및
    상기 복수의 지능형 에이전트로부터 처리된 데이터를 수신하도록 구성된 조 정 에이전트를 포함하며,
    상기 복수의 지능형 에이전트의 각 지능형 에이전트는 복수의 컴포넌트 중 일 컴포넌트와 상호작용하도록 구성되고, 상기 복수의 지능형 에이전트는 적어도 제 1 지능형 에이전트 및 제 2 지능형 에이전트를 포함하고, 상기 복수의 컴포넌트는 적어도 제 1 컴포넌트 및 제 2 컴포넌트를 포함하고, 상기 제 1 지능형 에이전트는 제 1 기준 세트에 따라 상기 제 1 컴포넌트로부터 제 1 데이터를 수신하도록 구성되고, 상기 제 1 컴포넌트는 제 2 기준 세트에 따라 제 2 데이터를 수집하도록 구성되고, 상기 제 2 지능형 에이전트는 제 3 기준 세트에 따라 상기 제 2 컴포넌트로부터 제 3 데이터를 수신하도록 구성되고, 상기 제 2 컴포넌트는 제 4 기준 세트에 따라 제 4 데이터를 수집하도록 구성되고, 상기 제 1 기준 세트는 상기 제 2 기준 세트와 상이하고, 상기 제 1 기준 세트는 상기 제 3 기준 세트와 상이하고, 상기 제 3 기준 세트는 상기 제 4 기준 세트와 상이하고, 상기 제 1 데이터는 상기 제 2 데이터의 서브세트이고, 상기 제 3 데이터는 상기 제 4 데이터의 서브세트인, 프로그램 저장 매체를 포함하는 제조물.
  12. 제 11 항에 있어서,
    상기 서버는 레시피 관리를 수행하는 코드를 포함하도록 구성된 프로비저널 에이전트의 세트를 포함하며,
    상기 레시피 관리는 레시피의 적어도 일부분을 상기 조정 에이전트와 상기 복수의 지능형 에이전트 중 적어도 하나의 에이전트에 분산시키는 코드를 포함하 는, 프로그램 저장 매체를 포함하는 제조물.
  13. 제 12 항에 있어서,
    상기 복수의 지능형 에이전트의 상기 각 지능형 에이전트는 상기 복수의 컴포넌트의 상기 각 컴포넌트에 대한 구성 요건을 정의하는 코드를 포함하는 지능을 포함하고, 상기 구성 요건은 상기 복수의 지능형 에이전트의 상기 각 지능형 에이전트에 데이터 파일을 전송하는 기준을 포함하며, 상기 기준은 상기 복수의 지능형 에이전트의 상기 각 지능형 에이전트에 로컬 저장되는 상기 레시피의 상기 일부분에 기초하는, 프로그램 저장 매체를 포함하는 제조물.
  14. 제 13 항에 있어서,
    상기 복수의 지능형 에이전트의 상기 각 지능형 에이전트는 캐시를 포함하고,
    상기 캐시는 데이터 래칭을 가능하게 하기 위해 적어도 가장 최근의 데이터 파일을 저장하는 코드를 포함하도록 구성되는, 프로그램 저장 매체를 포함하는 제조물.
  15. 제 14 항에 있어서,
    상기 복수의 지능형 에이전트의 상기 각 지능형 에이전트는 상기 데이터 파일의 데이터 분석을 수행하여 서명 데이터를 발생시키는 코드를 포함하고,
    상기 서명 데이터는 상기 데이터 파일에 대한 요약된 데이터인, 프로그램 저장 매체를 포함하는 제조물.
  16. 제 15 항에 있어서,
    상기 조정 에이전트는 상기 복수의 지능형 에이전트의 상기 각 지능형 에이전트로부터 상기 서명 데이터를 수신하는 코드를 포함하도록 구성되고,
    상기 서명 데이터는 상기 데이터 파일에 대한 요약된 데이터인, 프로그램 저장 매체를 포함하는 제조물.
  17. 제 16 항에 있어서,
    상기 조정 에이전트는 데이터 분석을 수행하여 복합 서명을 발생시키는 지능을 포함하고,
    상기 조정 에이전트는 상기 서명 데이터를 채용하여 상기 복수의 컴포넌트에 명령을 제공하는 코드를 포함하는, 프로그램 저장 매체를 포함하는 제조물.
  18. 제 11 항에 있어서,
    상기 서버는 자기-복구를 수행하여 상기 플라즈마 처리 시스템에 대한 변경을 식별하는 지능을 포함하고,
    상기 자기-복구는 상기 복수의 컴포넌트 중 일 컴포넌트가 상기 플라즈마 처리 시스템에 접속되는 때를 식별하는 코드를 포함하는, 프로그램 저장 매체를 포함 하는 제조물.
  19. 적어도 제 1 컴포넌트 및 제 2 컴포넌트를 포함하는 복수의 컴포넌트를 갖거나 상기 복수의 컴포넌트와 커플링된 플라즈마 처리 시스템의 동작 시 데이터를 관리하는 방법으로서,
    상기 플라즈마 처리 시스템과 서버를 커플링하는 단계로서, 상기 서버는 적어도 복수의 지능형 에이전트를 포함하고, 상기 복수의 지능형 에이전트는 적어도 제 1 지능형 에이전트 및 제 2 지능형 에이전트를 포함하는, 상기 커플링 단계;
    상기 제 1 지능형 에이전트를 이용하여, 제 1 기준 세트에 따라 상기 제 1 컴포넌트로부터 제 1 데이터를 수신하는 단계;
    상기 제 1 컴포넌트를 이용하여, 제 2 기준 세트에 따라 제 2 데이터를 수집하는 단계로서, 상기 제 1 기준 세트는 상기 제 2 기준 세트와 상이하고, 상기 제 1 데이터는 상기 제 2 데이터의 서브세트인, 상기 제 2 데이터를 수집하는 단계;
    상기 제 2 지능형 에이전트를 이용하여, 제 3 기준 세트에 따라 상기 제 2 컴포넌트로부터 제 3 데이터를 수신하는 단계로서, 상기 제 1 기준 세트는 상기 제 3 기준 세트와 상이한, 상기 제 3 데이터를 수신하는 단계; 및
    상기 제 2 컴포넌트를 이용하여, 제 4 기준 세트에 따라 제 4 데이터를 수집하는 단계로서, 상기 제 3 기준 세트는 상기 제 4 기준 세트와 상이하고, 상기 제 3 데이터는 상기 제 4 데이터의 서브세트인, 상기 제 4 데이터를 수집하는 단계를 포함하는, 데이터 관리 방법.
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