KR101716186B1 - 그래핀 전사장치 - Google Patents

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KR101716186B1
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Abstract

본 발명은 전사불량을 최소화할 수 있는 그래핀 전사장치를 위하여, 그래핀이 형성된 포일을 공급할 수 있는 포일공급부와, 그래핀이 형성된 포일에 적층될 필름을 공급할 수 있는 필름공급부와, 상기 포일공급부에서 공급된 그래핀이 형성된 포일과 상기 필름공급부에서 공급된 필름을 적층시키는 적층부를 포함하고, 상기 적층부는, 상기 포일공급부에서 공급된 그래핀이 형성된 포일과 상기 필름공급부에서 공급된 필름이 적층되기 전의 위치에서 그래핀이 형성된 포일과 필름의 사이 공간의 공기를 흡입할 수 있는 공기흡입부와, 그래핀이 형성된 포일과 필름 중 적어도 어느 한쪽에 압축공기를 가할 수 있는 에어나이프를 포함하는, 그래핀 전사장치를 제공한다.

Description

그래핀 전사장치{Apparatus for transferring graphene}
본 발명의 실시예들은 그래핀 전사장치에 관한 것으로서, 더 상세하게는 전사불량을 최소화할 수 있는 그래핀 전사장치에 관한 것이다.
그래핀(Graphene)은 탄소가 육각형의 형태로 서로 연결되어 벌집 모양의 2차원 평면 구조를 이루는 물질로서, 그 두께가 매우 얇고 투명하며 전기 전도성이 매우 큰 특성을 가진다. 그래핀의 이러한 특성을 이용하여 그래핀을 투명 디스플레이 또는 휘어질 수 있는 디스플레이에 적용하려는 시도가 많이 이루어지고 있으며, 최근에는 그래핀을 대형으로 합성하려는 시도가 활발히 이루어지고 있다.
그래핀은 일반적으로 촉매금속을 이용한 화학기상증착법을 이용하여 합성된다. 화학기상증착법으로 촉매금속의 표면에 합성된 그래핀을 기판용 필름에 전사하기 위한 방법으로는 열박리 테이프를 그래핀에 부착하고, 에칭(etching)으로 촉매금속을 제거한 다음, 열박리 테이프 상의 그래핀을 기판용 필름으로 전사하는 방법이 사용된다.
그런데 이러한 그래핀 전사방법은 열박리 테이프를 그래핀에 부착하는 과정이나 그래핀을 기판용 필름으로 전사하는 과정에서 그래핀이 구겨지거나 파손되는 등의 기계적인 손상이 발생한다는 문제점이 있었다.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 포함하여 여러 문제점들을 해결하기 위한 것으로서, 전사불량을 최소화할 수 있는 그래핀 전사장치를 제공하는 것을 목적으로 한다. 그러나 이러한 과제는 예시적인 것으로, 이에 의해 본 발명의 범위가 한정되는 것은 아니다.
본 발명의 일 관점에 따르면, 그래핀이 형성된 포일을 공급할 수 있는 포일공급부와, 그래핀이 형성된 포일에 적층될 필름을 공급할 수 있는 필름공급부와, 상기 포일공급부에서 공급된 그래핀이 형성된 포일과 상기 필름공급부에서 공급된 필름을 적층시키는 적층부를 포함하고, 상기 적층부는, 상기 포일공급부에서 공급된 그래핀이 형성된 포일과 상기 필름공급부에서 공급된 필름이 적층되기 전의 위치에서 그래핀이 형성된 포일과 필름의 사이 공간의 공기를 흡입할 수 있는 공기흡입부와, 그래핀이 형성된 포일과 필름 중 적어도 어느 한쪽에 압축공기를 가할 수 있는 에어나이프를 포함하는, 그래핀 전사장치가 제공된다.
이때, 상기 에어나이프는 그래핀이 형성된 포일과 필름이 컨택한 이후의 위치에서 그래핀이 형성된 포일과 필름 중 적어도 어느 한쪽에 압축공기를 가할 수 있다.
상기 적층부는, 그래핀이 형성된 포일과 필름을 각각 상이한 전하로 대전시킬 수 있는 대전부를 더 구비할 수 있다.
본 발명의 다른 관점에 따르면, 그래핀이 부착된 필름을 공급할 수 있는 그래핀필름공급부와, 그래핀이 부착된 필름에 적층될 기판을 공급할 수 있는 기판공급부와, 상기 그래핀필름공급부에서 공급된 그래핀이 부착된 필름과 상기 기판공급부에서 공급된 기판을 적층시키는 적층부를 포함하고, 상기 적층부는, 상기 그래핀필름공급부에서 공급된 그래핀이 부착된 필름과 상기 기판공급부에서 공급된 기판이 적층되기 전의 위치에서 그래핀이 부착된 필름과 기판의 사이 공간의 공기를 흡입할 수 있는 공기흡입부와, 그래핀이 부착된 필름과 기판 중 적어도 어느 한쪽에 압축공기를 가할 수 있는 에어나이프를 포함하는, 그래핀 전사장치가 제공된다.
이때, 상기 에어나이프는 그래핀이 부착된 필름과 기판이 컨택한 이후의 위치에서 그래핀이 부착된 필름과 기판 중 적어도 어느 한쪽에 압축공기를 가할 수 있다.
상기 적층부는, 그래핀이 부착된 필름과 기판을 각각 상이한 전하로 대전시킬 수 있는 대전부를 더 구비할 수 있다.
한편, 상기 에어나이프가 상기 공기흡입부에서 흡입한 공기를 이용하여 압축공기를 방출하도록 할 수 있다.
전술한 것 외의 다른 측면, 특징, 이점은 이하의 발명을 실시하기 위한 구체적인 내용, 특허청구범위 및 도면으로부터 명확해질 것이다.
상기한 바와 같이 이루어진 본 발명의 일 실시예에 따르면, 전사불량을 최소화할 수 있는 그래핀 전사장치를 구현할 수 있다. 물론 이러한 효과에 의해 본 발명의 범위가 한정되는 것은 아니다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 그래핀 전사장치를 개략적으로 도시하는 개념도이다.
도 2는 본 발명의 다른 일 실시예에 따른 그래핀 전사장치를 개략적으로 도시하는 개념도이다.
도 3은 본 발명의 또 다른 일 실시예에 따른 그래핀 전사장치를 개략적으로 도시하는 개념도이다.
도 4는 본 발명의 또 다른 일 실시예에 따른 그래핀 전사장치를 개략적으로 도시하는 개념도이다.
본 발명은 다양한 변환을 가할 수 있고 여러 가지 실시예를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 상세한 설명에 상세하게 설명하고자 한다. 본 발명의 효과 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 다양한 형태로 구현될 수 있다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들을 상세히 설명하기로 하며, 도면을 참조하여 설명할 때 동일하거나 대응하는 구성 요소는 동일한 도면부호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다.
이하의 실시예에서 층, 막, 영역, 판 등의 각종 구성요소가 다른 구성요소 "상에" 있다고 할 때, 이는 다른 구성요소 "바로 상에" 있는 경우뿐 아니라 그 사이에 다른 구성요소가 개재된 경우도 포함한다. 또한 설명의 편의를 위하여 도면에서는 구성 요소들이 그 크기가 과장 또는 축소될 수 있다. 예컨대, 도면에서 나타난 각 구성의 크기 및 두께는 설명의 편의를 위해 임의로 나타내었으므로, 본 발명이 반드시 도시된 바에 한정되지 않는다.
이하의 실시예에서, x축, y축 및 z축은 직교 좌표계 상의 세 축으로 한정되지 않고, 이를 포함하는 넓은 의미로 해석될 수 있다. 예를 들어, x축, y축 및 z축은 서로 직교할 수도 있지만, 서로 직교하지 않는 서로 다른 방향을 지칭할 수도 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 그래핀 전사장치를 개략적으로 도시하는 개념도이다. 도면에서는 편의상 촉매금속필름인 포일(1a), 그래핀(1b) 및 필름(2) 등의 두께를 과장되게 도시하였다. 본 실시예에 따른 그래핀 전사장치는 포일공급부(10), 필름공급부(20) 및 적층부(30)를 구비한다.
포일공급부(10)는 그래핀(1b)이 형성된 포일(1)을 공급할 수 있다. 도 1에서는 -x 방향으로 공급하는 것으로 도시하고 있다. 여기서 그래핀(1b)이 형성될 포일(1a)은 그래핀(1b)이 형성되는 촉매금속판 또는 촉매금속필름으로 이해될 수 있다. 촉매금속은 니켈(Ni), 코발트(Co), 철(Fe), 백금(Pt), 금(Au), 알루미늄(Al), 크롬(Cr), 구리(Cu), 마그네슘(Mg), 망간(Mn), 로듐(Rh), 실리콘(Si), 탄탈륨(Ta), 티타늄(Ti), 텅스텐(W), 우라늄(U), 바나듐(V) 및 지르코늄(Zr)으로 이루어진 군으로부터 적어도 하나를 포함할 수 있다. 그러나 촉매금속은 반드시 이에 한정되는 것은 아니며, 촉매금속은 상기에 열거한 원소 외에 다른 원소를 포함할 수도 있다. 포일(1a)을 탄화수소 및 수소 등과 함께 합성 챔버에 넣고 고온으로 가열하면 포일(1a)의 적어도 일면에 그래핀(1b)이 형성된다. 그래핀(1b)은 단일층 구조를 갖도록 형성되기도 하나 촉매금속의 종류 또는 합성 챔버 내의 환경에 따라서 복수개의 층들의 구조를 갖도록 형성될 수도 있다.
이러한 그래핀(1b)이 형성된 포일(1)을 공급할 수 있는 포일공급부(10)는, 그래핀(1b)이 형성되는 챔버를 의미할 수도 있고, 포일(1a)을 챔버로 공급하는 공급부와 그래핀(1b)이 형성되는 챔버를 포함하는 것을 의미할 수도 있다.
필름공급부(20)는 그래핀(1b)이 형성된 포일(1)에 적층될 필름(2)을 공급할 수 있다. 여기서 필름(2)은 그래핀(1b)을 기판 상으로 전사하는 과정에서 사용되는 캐리어 필름으로 이해될 수 있다. 이와 같은 필름(2)으로는 예컨대 실리콘 필름을 이용할 수 있는데, 본 발명이 이에 한정되는 것은 아니다. 이러한 필름공급부(20)는 도 1에 도시된 것과 같이 권출릴의 형태를 가질 수 있다.
포일공급부(10)로부터 그래핀(1b)이 형성된 포일(1)이 공급되고 필름공급부(20)로부터 필름(2)이 공급되면, 적층부(30)는 그래핀(1b)이 포일(1a)과 필름(2) 사이에 개재되도록 그래핀(1b)이 형성된 포일(1)과 필름(2)을 적층시켜 적층체(3')를 형성시킨다. 이러한 적층부(30)는 구체적으로 공기흡입부(31)와 에어나이프(33)를 포함할 수 있다.
공기흡입부(31)는 포일공급부(10)에서 공급된 그래핀(1b)이 형성된 포일(1)과 필름공급부(20)에서 공급된 필름(2)이 적층되기 전의 위치에서, 그래핀(1b)이 형성된 포일(1)과 필름(2)의 사이 공간의 공기를 흡입할 수 있다. 이를 위해 공기흡입부(31)는, 포일공급부(10)에서 공급된 그래핀(1b)이 형성된 포일(1)과 필름공급부(20)에서 공급된 필름(2)이 적층되기 전의 위치에 배치되는 공기흡입단부(31a)와, 이 공기흡입단부(31a)에서 공기가 흡입되도록 펌핑하는 펌프(31b)와, 공기흡입단부(31a)와 펌프(31b)를 연결하는 흡입관(31c)을 포함할 수 있다.
이와 같이 공기흡입부(31)가 포일공급부(10)에서 공급된 그래핀(1b)이 형성된 포일(1)과 필름공급부(20)에서 공급된 필름(2)이 적층되기 전의 위치에서 그래핀(1b)이 형성된 포일(1)과 필름(2)의 사이 공간의 공기를 흡입함에 따라, 그래핀(1b)이 형성된 포일(1)과 필름(2)이 인접한 부분에서의 기압이 주변 환경의 기압보다 상대적으로 낮아지며, 이에 따라 자연스럽게 그래핀(1b)이 형성된 포일(1)과 필름(2)이 상호 컨택되도록 할 수 있다. 이 과정에서 롤러 등으로 그래핀(1b)이 형성된 포일(1) 및/또는 필름(2)을 물리적으로 가입할 필요가 없기에, 이 적층과정에서 그래핀(1b)이 형성된 포일(1)이나 필름(2)이 구겨지거나 파손되는 등의 기계적인 손상이 발생하는 것을 방지할 수 있다. 또한 공기흡입부(31)를 통해 그래핀(1b)이 형성된 포일(1)과 필름(2) 사이의 공간에 공기가 적어지도록 하기에, 그래핀(1b)이 형성된 포일(1)과 필름(2)이 적층되는 과정에서 그 사이에 미세기포 등이 발생하는 것을 방지하거나 그 발생확률을 획기적으로 낮출 수 있다.
한편 에어나이프(33)는 그래핀(1b)이 형성된 포일(1)과 필름(2) 중 적어도 어느 한쪽에 압축공기를 가할 수 있다. 도 1에서는 에어나이프(33)가 필름(2)에 그래핀(1b)이 형성된 포일(1) 방향으로 압축공기를 가할 수 있는 것으로 도시하고 있다. 특히 이 에어나이프(33)는 그래핀(1b)이 형성된 포일(1)과 필름(2)이 컨택한 이후의 위치에서 그래핀(1b)이 형성된 포일(1)과 필름(2) 중 적어도 어느 한쪽에 압축공기를 가하는바, 이를 통해 그래핀(1b)이 형성된 포일(1)과 필름(2)의 접촉상태를 더욱 강화할 수 있다.
이를 위해 에어나이프(33)는, 그래핀(1b)이 형성된 포일(1)과 필름(2)이 컨택한 이후의 위치에 배치되는 공기배출노즐(33a)과, 이 공기배출노즐(33a)에서 강력한 압축공기가 배출되도록 공기를 압축하는 압축기(33b)와, 공기배출노즐(33a)과 압축기(33b)를 연결하는 배출관(33c)을 포함할 수 있다. 특히 에어나이프(33)는 공기흡입부(31)에서 흡입한 공기를 이용하여 압축공기를 방출하도록 할 수도 있다. 이 경우 필요에 따라 공기흡입단부(31a)에서 공기가 흡입되도록 펌핑하는 펌프(31b)와, 공기배출노즐(33a)에서 강력한 압축공기가 배출되도록 공기를 압축하는 압축기(33b)는 일체(一體)로 구비되도록 하여, 적층부(30)의 구성을 더욱 단순화할 수도 있다.
이와 같이 본 실시예에 따른 그래핀 전사장치를 이용해 그래핀(1b)이 형성된 포일(1)과 필름(2)을 적층한 이후, 포일(1a)은 에칭 등의 다양한 방법을 이용해 제거할 수 있다. 이 경우 그래핀(1b)이 부착된 필름은 도 1에 도시된 필름공급부(20)와 유사하게 권취릴의 형태로 감길 수 있다. 이는 후술하는 실시예들 및 그 변형예들에 있어서도 마찬가지이다.
도 2는 본 발명의 다른 일 실시예에 따른 그래핀 전사장치를 개략적으로 도시하는 개념도이다. 본 실시예에 따른 그래핀 전사장치가 도 1을 참조하여 전술한 그래핀 전사장치와 상이한 점은, 그래핀(1b)이 형성된 포일(1)과 필름(2)이 적층되어 적층체(3')가 된 이후의 위치에서 그래핀(1b)이 형성된 포일(1)과 필름(2)을 각각 상이한 전하로 대전시킬 수 있는 대전부(40)를 더 구비한다는 점이다. 이 대전부(40)는 예컨대 그래핀(1b)이 형성된 포일(1)을 특정 전하로 대전시키는 제1대전부(41)와, 필름(2)을 상기 특정 전하와 반대되는 극성의 전하로 대전시키는 제2대전부(43)를 포함할 수 있다. 이와 같이 대전부(40)가 그래핀(1b)이 형성된 포일(1)과 필름(2)을 각각 상이한 전하로 대전시킴에 따라, 그래핀(1b)이 형성된 포일(1)과 필름(2) 사이에 인력이 작용하여 그 확실한 접합을 담보할 수 있다.
도 3은 본 발명의 또 다른 일 실시예에 따른 그래핀 전사장치를 개략적으로 도시하는 개념도이다. 도 3에 도시된 것과 같은 본 실시예에 따른 그래핀 전사장치가 도 1을 참조하여 전술한 실시예에 따른 그래핀 전사장치와 상이한 점은, 제1안내롤러(35a) 및/또는 제2안내롤러(35b)를 더 구비한다는 점이다. 이러한 제1안내롤러(35a)와 제2안내롤러(35b)는 그래핀(1b)이 형성된 포일(1)에 적층될 필름(2)의 위치를 특정하는 역할을 한다.
전술한 바와 같이 공기흡입부(31)가 포일공급부(10)에서 공급된 그래핀(1b)이 형성된 포일(1)과 필름공급부(20)에서 공급된 필름(2)이 적층되기 전의 위치에서 그래핀(1b)이 형성된 포일(1)과 필름(2)의 사이 공간의 공기를 흡입함에 따라, 그래핀(1b)이 형성된 포일(1)과 필름(2)이 인접한 부분에서의 기압이 주변 환경의 기압보다 상대적으로 낮아지며, 이에 따라 자연스럽게 그래핀(1b)이 형성된 포일(1)과 필름(2)이 상호 컨택되도록 할 수 있다. 이때 그래핀(1b)이 형성된 포일(1)과 필름(2)이 적층될 정확한 위치 외에 그 근방에서도 공기흡입부(31)에 의해 주변보다 기압이 낮아질 수 있으며, 이에 따라 그래핀(1b)이 형성된 포일(1)과 필름(2)이 사전설정된 정확한 위치가 아닌 그 근방에서 상호 적층되버릴 수도 있다. 이 과정에서 그래핀(1b)이 형성된 포일(1)과 필름(2) 사이에 보이드 등이 발생할 수도 있다.
그러나 본 실시예에 따른 그래핀 전사장치의 경우 제1안내롤러(35a)와 제2안내롤러(35b)가 그래핀(1b)이 형성된 포일(1)에 적층될 필름(2)의 위치를 특정하는 역할을 하기에, 그래핀(1b)이 형성된 포일(1)과 필름(2)이 사전설정된 정확한 위치가 아닌 그 근방에서 상호 적층되는 것을 효과적으로 방지할 수 있다.
특히 이 경우 도 3에 도시된 것과 같이 제1안내롤러(35a)에 의해 필름(2)이 휘도록 할 수도 있다. 이를 통해 제1안내롤러(35a)에 의해 필름(2)에 인장력이 가해지도록 하여, 필름(2)이 평탄하게 신장된 상태에서 그래핀(1b)이 형성된 포일(1)에 적층되도록 할 수 있다.
물론 본 실시예에 따른 그래핀 전사장치는 도 2를 참조하여 전술한 실시예에 따른 그래핀 전사장치와 마찬가지로 제1대전부(41)와 제2대전부(43)를 포함하는 대전부(40)를 더 구비할 수도 있다.
지금까지는 그래핀(1b)이 형성된 포일(1)과 그래핀(1b)을 기판 상으로 전사하는 과정에서 사용되는 캐리어 필름인 필름(2)을 적층하는 그래핀 전사장치에 대해 설명하였으나, 본 발명이 이에 한정되는 것은 아니다. 예컨대 본 발명의 또 다른 일 실시예에 따른 그래핀 전사장치를 개략적으로 도시하는 개념도인 도 4에 도시된 것과 같이, 그래핀(1b)이 전사된 필름(3)을 기판(5) 상으로 전사하는 그래핀 전사장치 역시 본 발명의 범위에 속한다.
본 실시예에 따른 그래핀 전사장치는, 그래핀필름공급부(20'), 기판공급부(미도시) 및 적층부(30)를 구비한다.
그래핀필름공급부(20')는 그래핀(1b)이 부착된 필름(3)을 공급할 수 있다. 여기서 그래핀(1b)이 부착된 필름(3)은 도시된 것과 같이 권출릴의 형태를 가질 수 있다. 기판공급부는 그래핀이 최종적으로 전사될 기판(5)을 공급할 수 있는데, 그러한 기판(5)으로는 예컨대 폴리에틸렌테레프탈레이트(PET)와 같은 플라스틱 기판일 수 있다.
그래핀필름공급부(20')로부터 그래핀(1b)이 부착된 필름(3)이 공급되고 기판공급부로부터 기판(5)이 공급되면, 적층부(30)는 그래핀(1b)이 필름(2)과 기판(5) 사이에 개재되도록 그래핀(1b)이 부착된 필름(3)과 기판(5)을 적층시켜 적층체(4)를 형성시킨다. 이러한 적층부(30)는 구체적으로 공기흡입부(31)와 에어나이프(33)를 포함할 수 있다. 적층부(30)의 구성은 도 1을 참조하여 전술한 실시예에 따른 그래핀 전사장치에서 설명한 것과 같다.
이러한 본 실시예에 따른 그래핀 전사장치의 경우, 공기흡입부(31)가 그래핀필름공급부(20')에서 공급된 그래핀(1b)이 부착된 필름(3)과 기판공급부에서 공급된 기판(5)이 적층되기 전의 위치에서 그래핀(1b)이 부착된 필름(3)과 기판(5)의 사이 공간의 공기를 흡입함에 따라, 그래핀(1b)이 부착된 필름(3)과 기판(5)이 인접한 부분에서의 기압이 주변 환경의 기압보다 상대적으로 낮아지며, 이에 따라 자연스럽게 그래핀(1b)이 부착된 필름(3)과 기판(5)이 상호 컨택되도록 할 수 있다. 이 과정에서 롤러 등으로 그래핀(1b)이 부착된 필름(3) 및/또는 기판(5)을 물리적으로 가입할 필요가 없기에, 이 적층과정에서 그래핀(1b)이 부착된 필름(2)이나 기판(5)이 구겨지거나 파손되는 등의 기계적인 손상이 발생하는 것을 방지할 수 있다. 또한 공기흡입부(31)를 통해 그래핀(1b)이 부착된 필름(3)과 기판(5) 사이의 공간에 공기가 적어지도록 하기에, 그래핀(1b)이 부착된 필름(3)과 기판(5)이 적층되는 과정에서 그 사이에 미세기포 등이 발생하는 것을 방지하거나 그 발생확률을 획기적으로 낮출 수 있다.
한편 에어나이프(33)는 그래핀(1b)이 부착된 필름(3)과 기판(5)이 컨택한 이후의 위치에서 그래핀(1b)이 부착된 필름(3)과 기판(5) 중 적어도 어느 한쪽에 압축공기를 가하는바, 이를 통해 그래핀(1b)이 부착된 필름(3)과 기판(5)의 접촉상태를 더욱 강화할 수 있다.
이와 같이 본 실시예에 따른 그래핀 전사장치를 이용해 그래핀(1b)이 부착된 필름(3)과 기판(5)을 적층한 이후, 필름(2)은 열박리 등의 다양한 방법을 이용해 제거할 수 있다.
한편 이와 같이 그래핀(1b)이 부착된 필름(3)과 기판(5)을 적층하는 그래핀 전사장치의 경우에도, 도 2를 참조하여 전술한 실시예에 따른 그래핀 전사장치와 유사하게, 그래핀(1b)이 부착된 필름(3)과 기판(5)이 적층되어 적층체(4)가 된 이후의 위치에서 그래핀(1b)이 부착된 필름(3)과 기판(5)을 각각 상이한 전하로 대전시킬 수 있는 대전부(미도시)를 더 구비할 수도 있다. 이를 통해 대전부가 그래핀(1b)이 부착된 필름(3)과 기판(5)을 각각 상이한 전하로 대전시킴에 따라, 그래핀(1b)이 부착된 필름(3)과 기판(5) 사이에 인력이 작용하여 그 확실한 접합을 담보할 수 있다.
또한 그래핀(1b)이 부착된 필름(3)과 기판(5)을 적층하는 그래핀 전사장치의 경우에도, 도 3을 참조하여 전술한 실시예에 따른 그래핀 전사장치에서와 같이, 제1안내롤러 및/또는 제2안내롤러를 더 구비할 수도 있다. 이를 통해 그래핀(1b)이 부착된 필름(3)의 기판(5)에 대한 적층 위치를 더욱 확실하게 특정할 수 있다.
물론 본 실시예에 따른 그래핀 전사장치 역시 대전부와 안내롤러를 모두 구비할 수도 있다.
이와 같이 본 발명은 도면에 도시된 실시예를 참고로 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 당해 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 다른 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의하여 정해져야 할 것이다.
1: 그래핀이 형성된 포일 1a: 포일
1b: 그래핀 2: 필름
3: 그래핀이 부착된 필름 5: 기판
10: 포일공급부 20': 그래핀필름공급부
20: 필름공급부 30: 적층부
31: 공기흡입부 31a: 공기흡입단부
31b: 펌프 31c: 연결하는 흡입관
33: 에어나이프 33a: 공기배출노즐
33b: 압축기 33c: 연결하는 배출관
35a: 제1안내롤러 35b: 제2안내롤러
40: 대전부 41: 제1대전부
43: 제2대전부

Claims (7)

  1. 그래핀이 형성된 포일을 공급할 수 있는 포일공급부;
    그래핀이 형성된 포일에 적층될 필름을 공급할 수 있는 필름공급부; 및
    상기 포일공급부에서 공급된 그래핀이 형성된 포일과 상기 필름공급부에서 공급된 필름을 적층시키는 적층부;를 포함하고,
    상기 적층부는,
    상기 포일공급부에서 공급된 그래핀이 형성된 포일과 상기 필름공급부에서 공급된 필름이 적층되기 전의 위치에, 그래핀이 형성된 포일과 필름 각각으로부터 이격되어 그래핀이 형성된 포일과 필름 사이에 위치하는 공기흡입단부를 가져 그래핀이 형성된 포일과 필름의 사이 공간의 공기를 흡입할 수 있는, 공기흡입부; 및
    그래핀이 형성된 포일과 필름 중 적어도 어느 한쪽에 압축공기를 가할 수 있는 에어나이프;
    를 포함하는, 그래핀 전사장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 에어나이프는 그래핀이 형성된 포일과 필름이 컨택한 이후의 위치에서 그래핀이 형성된 포일과 필름 중 적어도 어느 한쪽에 압축공기를 가할 수 있는, 그래핀 전사장치.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 적층부는, 그래핀이 형성된 포일과 필름을 각각 상이한 전하로 대전시킬 수 있는 대전부를 더 구비하는, 그래핀 전사장치.
  4. 그래핀이 부착된 필름을 공급할 수 있는 그래핀필름공급부;
    그래핀이 부착된 필름에 적층될 기판을 공급할 수 있는 기판공급부; 및
    상기 그래핀필름공급부에서 공급된 그래핀이 부착된 필름과 상기 기판공급부에서 공급된 기판을 적층시키는 적층부;를 포함하고,
    상기 적층부는,
    상기 그래핀필름공급부에서 공급된 그래핀이 부착된 필름과 상기 기판공급부에서 공급된 기판이 적층되기 전의 위치에, 그래핀이 부착된 필름과 기판 각각으로부터 이격되어 그래핀이 부착된 필름과 기판 사이에 위치하는 공기흡입단부를 가져 그래핀이 부착된 필름과 기판의 사이 공간의 공기를 흡입할 수 있는, 공기흡입부; 및
    그래핀이 부착된 필름과 기판 중 적어도 어느 한쪽에 압축공기를 가할 수 있는 에어나이프;
    를 포함하는, 그래핀 전사장치.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 에어나이프는 그래핀이 부착된 필름과 기판이 컨택한 이후의 위치에서 그래핀이 부착된 필름과 기판 중 적어도 어느 한쪽에 압축공기를 가할 수 있는, 그래핀 전사장치.
  6. 제4항에 있어서,
    상기 적층부는, 그래핀이 부착된 필름과 기판을 각각 상이한 전하로 대전시킬 수 있는 대전부를 더 구비하는, 그래핀 전사장치.
  7. 제1항 내지 제6항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 에어나이프는 상기 공기흡입부에서 흡입한 공기를 이용하여 압축공기를 방출할 수 있는, 그래핀 전사장치.
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