KR101643314B1

KR101643314B1 - 촬상 검사 장치 및 그 제어 장치와 제어 방법

Info

Publication number: KR101643314B1
Application number: KR1020147018492A
Authority: KR
Inventors: 히데키 타나카; 히로아키 키타츠지; 카즈히코 코지마
Original assignee: 카와사키 주코교 카부시키 카이샤
Priority date: 2012-02-14
Filing date: 2013-02-08
Publication date: 2016-07-28
Also published as: US9774827B2; CN104039511A; JP5912627B2; KR20140102727A; US20150237308A1; CN104039511B; WO2013121760A1; JP2013166185A

Abstract

촬상 위치의 정밀도를 높게 유지하면서 로봇의 이동 제어의 고속화를 도모할 수 있는 촬상 검사 장치 및 그 제어 장치와 제어 방법을 제공한다. 촬상 검사 장치(1)는, 제1 위치(An) 및 제2 위치(Bn) 중 하나 이상에 기초하는 기준 위치로부터의 거리(L)에 따라 설정된, 제1 위치(An) 및 제2 위치(Bn) 사이의 소정의 위치를 신호 출력 위치(Pm)로 저장하는 저장부(22)와, 촬상기(3) 및 검사 대상물(4) 중 하나가 설치된 로봇(10)의 선단부(11)를 제1 위치(An)에서 제2 위치(Bn)까지 이동시킬 때에, 로봇(10)의 선단부(11)가 신호 출력 위치(Pm)에 위치했는지 여부를 판정하고, 로봇(10)의 선단부(11)가 신호 출력 위치(Pm)에 위치했다고 판정했을 경우에, 촬상기(3)를 이용하여 검사 대상물(4)을 촬상하기 위한 촬상 명령 신호를 촬상기(3)에 전송하는 촬상 명령 신호 생성부(24)를 구비하고 있다.

Description

촬상 검사 장치 및 그 제어 장치와 제어 방법{IMAGING INSPECTION DEVICE, AND CONTROL DEVICE AND CONTROL METHOD THEREFOR}

본 발명은, 다축 로봇을 이용하여 검사 대상물의 외관 검사 등을 하는 촬상 검사 장치 및 그 제어 장치와 제어 방법에 관한 것이다.

다축 로봇을 이용하여 검사 대상물의 외관 검사 등을 실시하는 촬상 검사 장치에 있어서는, 로봇의 선단부에 촬상기를 설치하고, 촬상 위치를 로봇 선단부의 이동 위치로 교시하여 로봇을 소정의 이동 위치(교시 위치)로 이동시킨 후에, 촬상한다. 하지만, 교시 위치인 촬상 위치에서 반드시 로봇을 정지시키게 되면, 촬상 위치가 많아질수록 촬상 처리에 시간이 걸린다는 문제가 있다.

이를 해결하기 위한 구성으로서, 하기 특허문헌1의 구성이 제안되어 있다. 특허문헌1의 구성은, 로봇의 교시 위치가 3개 있는 경우에, 제1 교시 위치에서 제2 교시 위치로 향하는 동작 명령과 제2 교시 위치에서 제3 교시 위치로 향하는 동작 명령을 중복시킴으로써, 로봇 동작의 속도 저하를 억제하면서 매끄럽게 동작시킨다는 공지된 제어를 기반으로 하고 있다. 다만, 이 제어에서는, 제1 ~ 제3 교시 위치가 일직선 상에 없는 한 실제의 로봇 동작 궤적이 제2 교시 위치 상을 통과하는 경우는 없다(로봇은 각 교시 위치를 연결한 직선의 내각 측을 통과한다). 이 때문에, 특허문헌1의 구성에서는, 미리 교시하는 제2 교시 위치(= 촬상 위치)를 본래의 제2 교시 위치보다 바깥쪽(각 교시 위치를 연결한 직선이 이루는 각의 내각이 되는 영역이 아닌 쪽)으로 설정하는 처리를 하고 있다.

특개 2001-88073호 공보

그런데, 촬상 검사 장치로 촬상한 화상은, 소정의 견본 화상과 비교되어, 가공의 성공 여부, 부품의 설치 성공 여부, 손상 유무 등 원하는 화상 판정이 이루어진다. 이와 같은 이미지 판정의 때, 촬상 화상과 견본 화상을 비교하기 위해 화상 처리를 하게 된다. 그리고 이와 같은 화상 처리에 있어서는, 촬상 위치의 정밀도가 높을(견본 화상과의 위치 차이가 적을)수록 고속 처리를 할 수 있지만, 촬상 위치의 정밀도를 높이기 위해서는, 로봇의 동작 궤적은 가능한 한 짧게 하는(촬상기와 검사 대상물의 상대 거리를 짧게 하는) 것이 바람직하다. 하지만, 촬상기와 검사 대상물의 상대 거리가 짧아지면 촬상 피치(pitch)도 짧아지기 때문에, 제어 상 반드시 속도 저하가 발생하는 특허문헌1의 구성에서는 속도 저하가 뚜렷해져, 고속화를 도모할 수 없다.

또한, 원래, 로봇의 이동 속도와, 로봇의 교시 위치와 실제 이동한 위치의 일치도를 나타내는 위치 정밀도는 이율배반적인 요소이다. 즉, 로봇의 이동 속도를 올리려고 하면 로봇의 교시 위치로 이동시키는 위치 정밀도는 낮아지고, 로봇을 교시 위치에 높은 정밀도로 이동시키려고 하면 로봇의 이동 속도를 올릴 수 없다. 이 때문에, 특허문헌1의 구성에서는 촬상 위치로의 로봇의 위치 정밀도를 높게 유지하면서 로봇을 고속 이동시키기에는 한계가 있다.

또한, 로봇의 2개의 교시 위치를 잇는 선분 상에 1 내지 복수의 촬상 위치를 설정하는 경우, 종래의 방법에서는 2개의 교시 위치 사이에 교시 위치를 더 추가할 필요가 있으며, 최초의 위치와 최후의 위치만 교시했을 경우에 비해 다음과 같은 문제도 있다. 즉, 교시 위치가 증가함으로써 교시 위치 부근의 로봇 이동 속도가 느려져, 검사 시간이 불필요하게 늘어난다는 문제가 있다. 또한, 교시 위치(촬상 위치)의 교시가 수동으로 이루어짐으로써, 교시 오차가 발생하고, 해당 교시 오차로 인하여, 로봇의 실제의 이동 위치(이동 궤적)가 그 교시 위치뿐만 아니라 하나 앞의 교시 위치(이동 위치)까지 어긋나 버려, 촬상 위치의 정밀도를 높게 할 수 없다는 문제도 있다.

따라서 본 발명은, 이상과 같은 과제를 해결하기 위해 이루어진 것으로, 촬상 위치의 정밀도를 높게 유지하면서 로봇의 이동 제어의 고속화를 도모할 수 있는 촬상 검사 장치 및 그 제어 장치와 제어 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.

본 발명에 따른 촬상 검사 장치의 제어 장치는, 복수 축을 갖는 로봇의 선단부에, 촬상기 및 검사 대상물 중 하나를 설치하고, 상기 촬상기로 상기 검사 대상물을 촬상함으로써 해당 검사 대상물을 검사하기 위한 촬상 검사 장치의 제어 장치이며, 상기 로봇의 선단부를 제1 위치에서 제2 위치까지 이동시킬 때의 각 축의 동작 명령을 하는 동작 제어부와, 상기 제1 위치 및 상기 제2 위치 중 하나 이상에 기초하는 기준 위치로부터의 거리에 따라 설정된, 상기 제1 위치와 상기 제2 위치 사이의 소정의 위치를 신호 출력 위치로 저장하는 저장부와, 상기 로봇의 선단부를 상기 제1 위치에서 상기 제2 위치까지 이동시킬 때에, 상기 로봇의 선단부가 상기 신호 출력 위치에 위치했는지 여부를 판정하고, 상기 로봇의 선단부가 상기 신호 출력 위치에 위치했다고 판정했을 경우에, 상기 촬상기를 이용하여 상기 검사 대상물을 촬상하기 위한 촬상 명령 신호를 상기 촬상기에 전송하는 촬상 명령 신호 생성부를 구비하고 있다.

상기 구성에 따르면, 촬상기 또는 검사 대상물이 설치된 로봇의 선단부의 교시 위치로서 제1 위치 및 제2 위치가 교시되는 한편, 해당 제1 위치 및 제2 위치 중 하나 이상에 기초하는 기준 위치로부터의 거리에 따라 제1 위치와 제2 위치 사이의 소정 위치가 신호 출력 위치로 설정된다. 그리고, 로봇의 선단부가 제1 위치에서 제2 위치까지 이동하는 도중에 있어서, 로봇의 선단부가 신호 출력 위치를 통과할 때에 촬상 명령 신호가 촬상기에 전송되고 촬상기에 의해 검사 대상물이 촬상된다. 이로써, 촬상 위치(신호 출력 위치)를 로봇의 교시 위치로 설정할 필요가 없어져, 촬상 위치에서 촬상하면서 해당 촬상 위치에서 로봇을 정지 또는 감속시키지 않고 이동시킬 수 있다. 따라서, 촬상 위치의 정밀도를 높게 유지하면서 로봇의 이동 제어의 고속화를 도모할 수 있다.

상기 제어 장치는, 상기 신호 출력 위치에 기초하여 상기 촬상기에 의해 촬영이 이루어진 실제의 촬상 위치와 미리 정해진 원하는 촬상 위치에 있어서의 상기 제1 위치 및 상기 제2 위치를 잇는 선분 방향(이하, 제1 방향)의 차이가 소정 값 이상인지 여부를 판정하고, 해당 제1 방향의 차이가 소정 값 이상일 경우에, 해당 차이에 따라 상기 기준 위치로부터의 거리를 변경함으로써 상기 신호 출력 위치를 보정하는 제1 방향 보정부를 구비할 수도 있다. 이에 따르면, 촬상 위치(신호 출력 위치)가 로봇의 교시 위치가 아님으로써 로봇이 제1 위치에서 제2 위치까지 직선 이동하는 것을 이용하여, 직선 이동의 방향인 제1 방향의 오차를 기준 위치로부터의 거리를 조정함으로써 보정하고 있다. 따라서, 쉽고 고정밀도로 제1 방향의 오차를 보정할 수 있다.

상기 제어 장치는, 상기 신호 출력 위치에 기초하여 상기 촬상기에 의해 촬영이 행해진 실제의 촬상 위치와 미리 정해진 원하는 촬상 위치에 있어서의 상기 제1 위치 및 상기 제2 위치를 잇는 선분에 수직인 방향(이하, 제2 방향)의 차이가 소정 값 이상인지 여부를 판정하고, 해당 제2 방향의 차이가 소정 값 이상일 경우에, 상기 로봇의 선단부가 실제로 위치한 상기 제1 위치에 대응하는 위치(이하, 실제의 제1 위치)와 상기 원하는 촬상 위치를 연결하는 직선 상이며 상기 원하는 촬상 위치를 기준으로 상기 실제의 제1 위치와는 반대측에 제3 위치를 설정하고, 상기 실제의 제1 위치 및 상기 제3 위치 중 하나 이상에 기초하는 기준 위치로부터의 거리에 따라 상기 제1 위치와 상기 제3 위치 사이의 소정의 위치를 새로운 신호 출력 위치로 설정하는 제2 방향 보정부를 구비하며, 상기 동작 제어부는, 상기 로봇의 선단부를 상기 제1 위치에서 상기 제3의 위치를 거쳐 상기 제2 위치로 이동시키도록 각 축의 동작 명령을 할 수도 있다. 이로써, 제2 방향의 오차에 대해서도 보정함으로써 위치 정밀도를 높일 수 있다.

상기 신호 출력 위치는, 상기 제1 위치와 상기 제2 위치 사이의 복수의 위치일 수 있다. 이로써, 로봇의 교시 위치는 동작 시작 위치 및 동작 종료 위치를 하나씩 교시하는 것만으로 그 사이의 복수의 위치를 로봇의 이동 속도를 떨어뜨리지 않고 촬상할 수 있으며, 로봇의 동작 수(교시 수)를 줄여 검사 시간을 단축할 수 있다. 또한, 제1 위치와 제2 위치 사이의 복수의 촬상 위치에 있어서 로봇의 선단부의 자세를 별도로 교시하지 않고 높게 유지할 수 있다.

본 발명의 다른 실시예에 따른 촬상 검사 장치는, 복수의 축을 가지며, 선단부에 검사 대상물 및 촬상기 중 하나가 설치되고 상기 선단부를 검사 대상물 및 촬상기 중 다른 하나에 대해 상대 이동시키는 로봇과, 상기 촬상기로 촬상된 화상에 기초하여 상기 검사 대상물을 검사하는 검사기와, 상기 로봇 및 상기 촬상기를 제어하는 제어기를 구비하며, 상기 제어기는, 상기 로봇의 선단부를 제1 위치에서 제2 위치까지 이동시킬 때의 각 축의 동작 명령을 하는 동작 제어부와, 상기 제1 위치 및 상기 제2 위치 중 하나 이상에 기초하는 기준 위치로부터의 거리에 따라 설정된, 상기 제1 위치와 상기 제2 위치 사이의 소정의 위치를 신호 출력 위치로 저장하는 저장부와, 상기 로봇의 선단부가 상기 신호 출력 위치에 위치하는지 여부를 판정하고, 상기 로봇의 선단부가 상기 신호 출력 위치에 위치했다고 판정했을 경우에, 상기 촬상기를 이용하여 상기 검사 대상물을 촬상하기 위한 촬상 명령 신호를 상기 촬상기에 전송하는 촬상 명령 신호 생성부를 갖고 있다.

또한, 본 발명의 다른 실시예에 따른 촬상 검사 장치의 제어 방법은, 복수 축을 갖는 로봇의 선단부에, 촬상기 및 검사 대상물 중 하나를 설치하고, 상기 촬상기로 상기 검사 대상물을 촬상함으로써 해당 검사 대상물을 검사하기 위한 촬상 검사 장치의 제어 방법이며, 상기 로봇의 선단부를 제1 위치에서 제2 위치까지 이동시킬 때의 각 축의 동작 명령을 하는 단계, 상기 제1 위치 및 상기 제2 위치 중 하나 이상에 기초하는 기준 위치로부터의 거리에 따라 상기 제1 위치와 상기 제2 위치 사이의 소정의 위치를 신호 출력 위치로 설정하는 단계, 및 상기 로봇의 선단부가 상기 신호 출력 위치에 위치하고 있는 지 여부를 판정하고, 상기 로봇의 선단부가 상기 신호 출력 위치에 위치했다고 판정했을 경우에, 상기 촬상기를 이용하여 상기 검사 대상물을 촬상하기 위한 촬상 명령 신호를 상기 촬상기에 전송하는 단계를 포함하고 있다.

상기 방법에 따르면, 촬상기 또는 검사 대상물이 설치된 로봇의 선단부의 교시 위치로서 제1 위치 및 제2 위치를 교시하는 동시에, 해당 제1 위치 및 제2 위치 중 하나 이상에 기초하는 기준 위치로부터의 거리에 따라 제1 위치와 제2 위치 사이의 소정의 위치를 신호 출력 위치로 설정한다. 그리고, 로봇의 선단부가 제1 위치에서 제2 위치까지 이동하는 도중에 있어서, 로봇의 선단부가 신호 출력 위치를 통과할 때에 촬상 명령 신호를 촬상기에 전송함으로써 촬상기에 의해 검사 대상물을 촬상한다. 이로써 촬상 위치(신호 출력 위치)를 로봇의 교시 위치로 설정할 필요가 없어져, 촬상 위치에서 촬상하면서 해당 촬상 위치에서 로봇을 정지 또는 감속시키지 않고 이동시킬 수 있다. 따라서, 촬상 위치의 정밀도를 높게 유지하면서 로봇의 이동 제어의 고속화를 도모할 수 있다.

본 발명의 상기 목적, 다른 목적, 특징 및 이점은, 첨부 도면 참조 하에, 이하의 바람직한 실시예의 상세한 설명으로부터 명확하게 된다.

본 발명은 이상으로 설명한 바와 같이 구성되어, 촬상 위치의 정밀도를 높게 유지하면서 로봇의 이동 제어의 고속화를 도모할 수 있다는 효과가 있다.

도 1은, 본 발명의 일 실시예에 따른 촬상 검사 장치의 개략 구성을 나타내는 블록도이다.
도 2는, 도 1에 나타낸 촬상 검사 장치의 기능 블록을 나타내는 도면이다.
도 3은, 도 1에 나타낸 촬상 검사 장치의 교시 순서를 설명하기 위한 흐름도이다.
도 4는, 도 1에 나타낸 촬상 검사 장치에 있어서 로봇 선단부의 이동 경로의 일예를 나타내는 모식도이다.
도 5는, 도 1에 나타낸 촬상 검사 장치에 있어서 신호 출력 위치 설정 방법의 제1 예를 나타내는 모식도이다.
도 6은, 도 1에 나타낸 촬상 검사 장치에 있어서 신호 출력 위치 설정 방법의 제2 예를 나타내는 모식도이다.
도 7a는, 도 1에 나타낸 촬상 검사 장치에 있어서 신호 출력 위치의 제2 방향으로의 벡터 보정을 하는 순서를 나타내는 모식도이다.
도 7b는, 도 1에 나타낸 촬상 검사 장치에 있어서 신호 출력 위치의 제2 방향으로의 벡터 보정을 하는 순서를 나타내는 모식도이다.
도 7c는, 도 1에 나타낸 촬상 검사 장치에 있어서 신호 출력 위치의 제2 방향으로의 벡터 보정을 하는 순서를 나타내는 모식도이다.

이하, 본 발명의 실시예를, 도면을 참조하면서 설명한다. 또한, 이하에서는 모든 도면에 걸쳐 동일하거나 상응하는 요소에는 동일한 참조 부호를 부여하고, 그 중복되는 설명을 생략한다.

먼저, 본 발명의 일 실시예에 따른 촬상 검사 장치의 개략 구성에 대해 설명한다. 도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 촬상 검사 장치의 개략 구성을 나타내는 블록도이다. 또한, 도 2는 도 1에 나타낸 촬상 검사 장치의 기능 블록을 나타내는 도면이다.

도 1에 도시된 바와 같이, 본 실시예의 촬상 검사 장치(1)는, 복수 축(도 1에 있어서는 J1 ~ J6의 6축)의 로봇(10)의 선단부(11)에 설치된 촬상기(3)를 가지고 있다. 촬상기(3)는, 외관 검사를 하는 경우에는, 예를 들면 CCD 카메라 등이 채용되며, 비파괴 내부 검사를 하는 경우에는, 예를 들면 X선 카메라 등이 채용된다. 촬상 검사 장치(1)는, 제어 장치(제어기)(2)에 의해 로봇(10) 및 촬상기(3)가 제어된다. 촬상 검사 장치(1)는, 촬상기(3)에 의해 소정 위치에 설치된 검사 대상물(4)을 촬상함으로써 해당 검사 대상물(4)을 검사한다. 구체적으로는, 촬상기로 촬상된 검사 대상물(4)의 촬상 데이터를 화상 처리 장치(검사기)(5)에 전송하고, 화상 처리 장치(5)에 있어서 전송된 촬상 데이터에 기초하여 소정의 검사를 한다. 예를 들면, 화상 처리 장치(5)는, 미리 촬상된 견본 화상과 촬상 데이터에 기초하는 화상을 비교하여, 부품의 결품 유무, 손상 유무, 가공의 성공 여부 등을 판정한다. 화상 처리 장치(5)는, 제어 장치(2)의 내부에 (제어 장치(2)와 일체화하여) 설치될 수 있고, 제어 장치(2)와는 분리하여 설치될 수도 있다.

제어 장치(2)는, 로봇(10)의 선단부(11)(에 설치된 촬상기(3))를 임의의 위치 및 자세로 임의의 경로를 따라 이동시킨다. 구체적으로는, 제어 장치(2)는, 이동 시작 위치(제1 위치)에서 이동 종료 위치(제2 위치)까지 이동시킬 때의 각 축의 동작 명령을 하는 동작 제어부(21)를 갖추고 있다. 로봇(10)의 각 축(J1~J6)에는, 각 서보 모터(servo motor)(12) 및 위치 검출기(13)가 설치되어 있다. 위치 검출기(13)는, 예를 들면, 로터리 엔코더(rotary encoder)로 구성되어 있다. 제어 장치(2)의 제어 명령에 기초하여 각 서보 모터(12)를 구동함으로써, 각 축(J1~J6) 주위의 회전 동작이 이루어진다. 본 실시예에 있어서, 동작 제어부(21)는, 로봇(10)의 선단부(11)의 동작 시작 위치와 동작 종료 위치의 좌표를 교시하고, 그 사이를 선단부(11)가 직선적으로 동작하도록 보완하는 제어를 한다. 또한, 각 서보 모터(12)는 서로 독립적으로 구동하는 것이 가능하다. 또한 각 서보 모터(12)가 구동되면, 대응하는 위치 검출기(13)에 의해 각 서보 모터(12)의 각 축(J1~J6) 주위의 회전 각도(회전 위치)의 검출이 이루어진다. 또한, 제어 장치(2) 및 로봇(10)은, 시리얼(serial) 연결될 수 있고, 유선 또는 무선에 의한 통신 네트워크에 의해 연결될 수도 있다.

제어 장치(2)는, 동작 제어부(21)를 포함한 연산부(20) 및 저장부(22)를 가지며, 일반적인 컴퓨터로 구성 가능하다. 저장부(22)에는, 연산부(20)의 연산에 사용되는 각종 데이터 및 연산 프로그램이 저장되어 있다. 게다가, 제어 장치(2)는, 로봇(10)의 동작을 교시하는 입력부(23)를 가지고 있다. 입력부(23)는, 예를 들어 티치 펜던트(teach pendant)로 구성된다. 동작 제어부(21)는, 입력부(23)에 의해 입력된 교시 조작에 기초하여, 로봇(10)의 선단부(11)가 위치해야 할 목표 이동 위치를 산출한다. 이 목표 이동 위치는, 조작 시간과 로봇(10)의 선단부(11)의 이동 속도 설정 값 등으로부터 구해지는 이동 거리에 기초하여 산출된다. 게다가, 동작 제어부(21)는, 목표 이동 위치에 기초하는 로봇(10)의 각 축(J1~J6)의 회전 각도(회전 위치)를 연산한다. 그리고, 동작 제어부(21)는, 연산된 각 축(J1~J6)의 회전 각도와 각 축(J1~J6)의 이동 전 회전 위치의 편차에 기초하여, 대응하는 각 서보 모터(12)의 동작량의 명령 값을 연산하여, 동작 명령 신호를 각 서보 모터(12)에 출력한다. 이로써, 로봇(10)의 선단부(11)가 이동 시작 위치(제1 위치(An), n = 1,2, ...)에서 이동 종료 위치(제2 위치(Bn))로 이동한다.

본 실시예에 있어서, 촬상기(3)에 의한 촬상 위치는, 제1 위치(An) 및 제2 위치(Bn) 사이의 소정 위치에 설정된다. 여기서, 촬상 위치는, 제어 장치(2)에서 촬상기(3)로 촬상 명령 신호를 전송하기 위한 신호 출력 위치(Pm)(m = 1,2, ...)로서 설정된다. 구체적으로는, 제어 장치(2)의 연산부(20)는, 로봇(10)의 선단부(11)를 제1 위치(An)에서 제2 위치(Bn)까지 이동시킬 때에, 로봇(10)의 선단부(11)가 신호 출력 위치(Pm)에 위치했는지 여부를 판정하고, 로봇(10)의 선단부(11)가 신호 출력 위치(Pm)에 위치했다고 판정했을 경우에, 촬상기(3)를 이용하여 검사 대상물(4)을 촬상하기 위한 촬상 명령 신호를 촬상기(3)에 전송하는 촬상 명령 신호 생성 부(24)로서 기능한다. 신호 출력 위치는, 입력부(23)에서 설정 입력됨으로써 제1 위치(An) 및 제2 위치(Bn) 중 적어도 하나에 기초하는 기준 위치로부터의 거리에 따라 설정되고, 저장부(22)에 저장된다.

본 실시예에 있어서의 구체적인 교시 순서에 대해 설명한다. 도 3은 도 1에 나타낸 촬상 검사 장치의 교시 순서를 설명하기 위한 플로우차트이다. 또한, 도 4는 도 1에 나타낸 촬상 검사 장치에 있어서 로봇 선단부의 이동 경로의 일예를 나타내는 모식도이다. 도 3에 나타낸 바와 같이, 먼저, 로봇(10)의 선단부(11)에 촬상기(3)를 설치하고, 촬상기(3)가 제어 장치(2)의 촬상 명령 신호 생성부(24)로부터의 촬상 명령 신호에 따라 촬상기(3)가 촬상 동작을 하도록 구성한다(단계(S1)). 또한, 소정 위치에 검사 대상물(4)을 설치한다.

그리고 검사 대상물(4)에 있어서의 검사 부분을 촬상하기 위한 로봇 위치인 신호 출력 위치(Pm)를 결정한다(단계(S2)). 도 4에 나타낸 바와 같이, 신호 출력 위치(Pm)가 복수 있는 경우(도 4에 있어서는, m = 1, ..., 4)는, 복수의 신호 출력 위치(Pm)에 대해 각각 결정한다. 또한, 제1 위치(An) 및 제2 위치(Bn)의 수(조수(組數))를 나타내는 n을 1로 한다(단계(S3)). 게다가, 입력부(23)를 이용하여 신호 출력 위치(Pm)를 통과하는, 제1 위치(An) 및 제2 위치(Bn)의 교시 작업을 한다(단계(S4)).

여기서, 복수의 신호 출력 위치(Pm)가 존재하는 경우, 가능한 한, 그 중 몇 개인지를 직선 경로로 연결한 제1 위치(An) 및 제2 위치(Bn)를 설정한다. 예를 들어, 도 4의 예에 있어서, 신호 출력 위치(P2,P3)는, 로봇(10)의 선단부(11)의 자세가 동일하며 거리가 가깝기(경로가 복잡해지지 않기) 때문에, 제1 위치(A2)와 제2 위치(B2) 사이에 신호 출력 위치(P2,P3)가 직선 상에 늘어서도록 해당 제1 위치(A2) 및 제2 위치(B2)를 설정한다. 이와 같이, 신호 출력 위치(Pm)는, 제1 위치(An)와 제2 위치(Bn) 사이에 복수 존재할 수 있다. 이로써, 로봇의 교시 위치는 동작 시작 위치 및 동작 종료 위치를 1개씩 교시하기만 함으로써 그 사이의 복수 위치를 로봇의 이동 속도를 떨어뜨리지 않고 촬상할 수 있고, 로봇의 동작 수(교시 수)를 줄여 검사 시간을 단축할 수 있는 동시에, 동작 시작 위치와 동작 종료 위치 사이의 복수의 촬상 위치에 있어서 로봇(10)의 선단부(11)의 자세를 별도로 교시하지 않고 높게 유지할 수 있다.

그런 다음, 교시된 제1 위치(An) 및 제2 위치(Bn) 중 적어도 하나에 기초하는 기준 위치로부터의 거리에 따라 제1 위치(An)와 제2 위치(Bn) 사이의 신호 출력 위치(Pm)를 입력부(23)를 이용하여 설정한다(단계(S5)). 신호 출력 위치(Pm)의 구체적인 설정 방법에 대해서는 후술한다.

이 결과, 단계(S2)에서 결정한 촬상 위치(신호 출력 위치)(Pm) 중, 설정되지 않은 신호 출력 위치(Pm)가 존재하는지 여부(모든 신호 출력 위치(Pm)를 입력부(23)에 의해 설정하는지 여부)를 판정하고(단계(S6)), 설정되지 않은 신호 출력 위치(Pm)가 있는 경우(단계(S6)에서 예(Yes)), n = n +1인 제1 위치(An) 및 제2 위치(Bn)를 교시하고, 신호 출력 위치(Pm)를 설정한다(단계(S7)를 거쳐 단계(S4)로 돌아간다). 이 경우, 단계(S4)에 있어서는, 하나 앞의 제2 위치(Bn)가 그 다음의 제1 위치(An)와 일치하기(Bn = An +1이 되기) 때문에, 실질적으로는 제2 위치(Bn)만을 교시하면 된다. 또한, 최종적으로, 로봇(10)을 동작 시작 전의 위치에 위치시킬 경우(예를 들어 동일한 형상을 갖는 복수의 검사 대상물(4)을 반복 검사하는 경우 등)에는, 최후의 제2 위치(Bn)가 1번째의 제1 위치(A1)가 되도록 교시한다.

모든 신호 출력 위치(Pm)를 입력부(23)에 의해 설정한 경우에는(단계(S6)에서 아니오(No)), 교시 작업을 종료하고 실제로 로봇(10)을 동작시켜 촬상 검사를 한다(단계(S8)).

상기 구성에 따르면, 로봇(10)의 선단부(11)가 제1 위치(An)에서 제2 위치(Bn)까지 이동하는 도중에 있어서, 로봇(10)의 선단부(11)가 신호 출력 위치(Pm)를 통과할 때에 촬상 명령 신호가 촬상기(3)에 전송되고, 촬상기(3)에 의해 검사 대상물(4)이 촬상된다. 이로써 촬상 위치(신호 출력 위치(Pm))를 로봇(10)의 교시 위치(이동 종료 위치)로 설정할 필요가 없어져, 촬상 위치에서 촬상하면서 해당 촬상 위치에서 로봇(10)을 정지 또는 감속시키지 않고 이동시킬 수 있다. 따라서, 촬상 위치의 정밀도를 높게 유지하면서 로봇(10)의 이동 제어의 고속화를 도모할 수 있다.

여기서, 신호 출력 위치(Pm)의 구체적인 설정 방법에 대해 설명한다. 도 5는 도 1에 나타낸 촬상 검사 장치에 있어서 신호 출력 위치 설정 방법의 제1 예를 나타내는 모식도이다. 또한, 도 5에는, 본 예에 있어서 입력부(23)로부터 입력되는 교시 프로그램 예도 병기되어 있다. 도 5에 나타낸 예에 있어서는, 로봇(10)의 선단부(11)의 교시 위치(명령 값)에 기초하여, 신호 출력 위치(Pm)가 설정된다. 즉, 교시된 제1 위치(An) 및 제2 위치(Bn) 중 적어도 하나에 기초하는 기준 위치로서, 제1 위치(An) 또는 제2 위치(Bn) 자신이 사용된다.

도 5에 나타낸 예에 있어서는, 제1 위치(A1)에서 제2 위치(B1)를 향해 500mm 나아간 위치에 신호 출력 위치(P1)가 설정되고, 제1 위치(A2)(제2 위치(B1))에서 제2 위치(B2)를 향해 1000mm 나아간 위치에 신호 출력 위치(P2)가 설정되고, 제2 위치(B2)까지의 거리가 600mm에 접근한 위치에 신호 출력 위치(P3)가 설정되어 있다.

따라서, 교시 프로그램은, 이동 위치(교시 위치)(X)로 직선 이동시키는 명령 "LMOVE(X)"과, 직전의 LMOVE 명령으로 나타나는 위치(프로그램으로는, 초기 위치를 제외하고 제2 위치(Bn)로 나타나지만, 실제로는 다음 이동에 있어서의 이동 시작 위치 = 제1 위치(An) +1을 의미한다)에서 소정 거리(L) 떨어졌을 때에 신호를 출력(Y = 1) 또는 정지(Y = -1)시키는 명령 "SIGDEPART[L,Y]"과, 직후의 LMOVE 명령으로 나타나는 제2 위치(Bn)에 소정 거리(L)까지 근접했을 때에 촬상 명령 신호를 출력(Y = 1) 또는 정지(Y = -1)시키는 명령 "SIGAPPRO[L,Y]"을 조합함으로써 구성된다.

예를 들면 "LMOVE B1"은, 제2 위치(B1)까지 직선 이동시키는 명령을 의미하고, 이에 잇따르는 "SIGDEPART[1000,1]"은, 제2 위치(B1)(제1 위치(A2))에서 1000mm 떨어진 위치에서 촬상 명령 신호를 출력 시작하는 명령을 의미하고, "SIGDEPART[1100,-1]"은, 제2 위치(B1)(제1 위치(A2))에서 1100mm 떨어진 위치(신호 출력 위치(P2)에서 100mm 떨어진 위치)에서 촬상 명령 신호의 출력을 정지하는 명령을 의미하고, 이에 잇따르는 "SIGAPPRO[600,1]"은, 뒤따르는 "LMOVE B2"를 받고, 제2 위치(B2)에 600mm까지의 거리에 근접했다면 촬상 신호를 출력 시작하는 명령을 의미하고 있다. 또한, 상기 예에 있어서의 교시 프로그램에서는, 일단 SIGDEPART 명령 또는 SIGAPPRO 명령에 의해 촬상 명령 신호가 출력되어 있어도, 제2 위치(Bn)에 도착했을 경우에는 SIGDEPART 명령 또는 SIGAPPRO 명령이 없어도 해당 촬상 명령 신호의 출력은 정지시키도록 프로그래밍되어 있다(예를 들면, "LMOVE B2" 전의 SIGAPPRO 명령에 의해, 촬상 명령 신호가 출력 상태가 되어 있지만, 제2 위치(B2)에 위치했을 시점에 해당 촬상 명령 신호의 출력이 정지된다). 물론, 모든 경우에 있어서, 촬상 명령 신호의 출력을 정지시키는 명령을 별도로 행할 수도 있다.

이와 같이 교시 위치(명령 값)를 기준 위치로 함으로써, 로봇(10)의 동작 제어를 비교적 용이하게 할 수 있다. 또한, 미래의 위치(아직 도달하지 않은 제2 위치(Bn))에 기초하여 신호 출력 위치(Pm)를 설정할 수 있기 때문에, 신호 출력 위치(Pm)의 설정 양태를 상황에 따라 여러 가지 채용할 수 있다. 예를 들어, 신호 출력 위치(Pm)가 제2 위치(Bn)에 근접하고 있는 경우에는, 제2 위치(Bn)를 기준 위치로 하여 신호 출력 위치(Pm)를 설정함으로써 로봇(10)의 선단부(11)의 이동 오차로 인하여 제2 위치(Bn)에 너무 근접하거나, 제2 위치(Bn)에 도달해도 촬상 명령 신호가 출력되지 않는 것과 같은 에러를 방지할 수 있다.

또한, 도 5의 예 대신에, 로봇(10)의 선단부(11)의 현실의 이동 위치에 기초하여 신호 출력 위치(Pm)가 설정될 수도 있다. 도 6은 도 1에 나타낸 촬상 검사 장치에 있어서 신호 출력 위치 설정 방법의 제2 예를 나타내는 모식도이다. 또한, 도 6에도, 본 예에 있어서 입력부(23)로부터 입력되는 교시 프로그램 예를 병기하고 있다. 도 6에 나타낸 예에 있어서는, 교시된 제1 위치(An) 및 제2 위치(Bn)에 기초하여 실제로 도달한 동작 종료 위치(이상적으로는 제2 위치(Bn))를 기준 위치로 하고 있다.

도 6에 나타낸 예에 있어서도, 도 5에 나타낸 예와 같은 위치에서 촬상하도록 설정된다. 다만, 도 6에 나타낸 예에 있어서는, 로봇(10)의 선단부(11)의 현실의 이동 위치에 기초하여 설정하기 때문에, 신호 출력 위치(P2,P3)는, 교시된 제2 위치(B1)에 따라 실제로 이동한 후의 로봇(10)의 선단부(11)의 위치(현실의 동작 시작 위치)를 기준으로, 해당 위치에서 제2 위치(B2)를 향해 1000mm 및 1500mm 나아간 위치에 각각 설정되어 있다.

따라서, 교시 프로그램은, 이동 위치(교시 위치)(X)로 직선 이동시키는 명령 "LMOVE(X)"와, 현실의 동작 시작 위치로부터 소정 거리(L) 떨어졌을 때에 촬상 명령 신호를 시간(T) 동안만 출력(Y = 1)하는 명령 "KI[Y,T,L,Z]"를 조합함으로써 구성된다. 본 예에 있어서는, KI 명령에 있어서 촬상 명령 신호를 출력하고 있는 시간의 정보가 포함되어 있기 때문에, 도 5에 나타낸 예와 같이, 촬상 명령 신호를 정지시키는 명령은 불필요해진다. 또한, KI 명령에 있어서의 요소(Z)는, 보정 시간을 나타내며, 촬상 명령 신호를 출력하고 있는 시간의 보정을 할 수 있다. 이로써, 실제의 동작 상황에 따라 촬상 명령 신호의 전송 타이밍이나 전송 기간을 미조정(微調整)할 수 있다.

예를 들면, "LMOVE B1"에 잇따르는 "KI[1,0.2,1000,0]", "KI[1,0.2,1500,0]"은, 각각 제2 위치(B1)(제1 위치(A2))에서 1000mm, 1500mm 떨어진 위치에서 촬상 명령 신호를 0.2초 동안 출력하는 명령을 의미한다.

현실의 로봇(10)의 선단부(11)의 위치는, 명령 값보다도 늦어져 있는 것이 일반적이기 때문에, 명령 값을 기준으로 신호 출력 위치를 설정했을 경우에는, 원하는 촬상 위치로부터 제2 위치(Bn) 측으로 어긋난 위치에서 촬상될 가능성이 있다(혹은 그 차이를 예측하여 신호 출력 위치(Pm)를 설정할 필요가 있어, 촬상 위치의 정밀도를 높이는 것이 어려운 경우가 있다). 그래서, 도 6에 나타낸 예와 같이, 현실의 로봇(10)의 선단부(11)의 이동 위치를 이용함으로써 명령 값을 기준 위치로 하는 경우에 비해 보다 원하는 위치에 가까운 위치에서 촬상 신호를 출력(촬상)할 수 있어, 촬상 위치를 고정밀도로 조정해서 위치 어긋남이 적은 촬상 화상을 얻을 수 있다.

이상과 같은 교시를 실시하고 로봇(10)을 실제로 작동시켰을 때, 로봇(10)의 이동 제어 오차로 인하여 선단부(11)가 교시된 제2 위치(Bn)와는 어긋난 위치로 이동하는 경우가 있다. 로봇(10)의 선단부(11)의 실제 이동 위치가 교시된 위치와 다르면, 실제로 촬상 명령 신호가 출력되는 위치도 제1 위치(An) 또는 제2 위치(Bn)에 기초하여 설정된 신호 출력 위치(Pm)와는 달라진다. 따라서, 본 실시예에서는, 교시 위치에 대한 위치 어긋남을 제1 위치(An) 및 제2 위치(Bn)를 잇는 선분 방향(제1 방향)과, 평면시에 있어서 제1 방향에 수직인 방향(제2 방향)으로 나누어 보정하고 있다.

보다 구체적으로는, 먼저, 제어 장치(2)의 연산부(20)는, 신호 출력 위치(Pm)에 기초하여 촬상기(3)에 의해 촬영이 이루어진 실제의 촬상 위치와 미리 정해진 원하는 촬상 위치에 있어서의 제1 방향의 차이가 소정 값 이상인지 여부를 판정하고, 해당 제1 방향의 차이가 소정 값 이상일 경우에, 해당 차이에 따라 기준 위치로부터의 거리(L)를 변경함으로써 신호 출력 위치(Pm)를 보정하는 제1 방향 보정 부(25)로서 기능한다.

예를 들어, 신호 출력 위치(Pm)에서 촬상된 촬상 데이터가 촬상기(3)에서 화상 처리 장치(5)로 전송되고, 화상 처리 장치(5)는, 촬상 데이터에 기초하는 화상과 견본 화상을 비교하여 위치 어긋남 양을 측정하고, 그 결과를 제어 장치(2)에 전송한다. 제1 방향 보정부(25)는, 전송된 위치 어긋남 양이 소정 값 이상인지 여부를 판정하고, 소정 값 이상이라고 판정되었을 경우에, 대응하는 신호 출력 위치(Pm)에 있어서의 교시 프로그램에 의해 설정된 거리(L)의 값을 위치 어긋남 양에 따라 변경한다. 예를 들어, 도 5의 예에 있어서, 신호 출력 위치(P2)로 설정된 장소에 대응하여 실제로 촬상된 위치가 해당 신호 출력 위치(P2)로부터 제2 위치(B2) 측으로 10mm 어긋나 있는 경우는, 제1 위치(A2)로부터의 거리(L)(= 1000)에 위치 어긋남 양 10mm만 뺀 거리로 보정한다. 또한, 위치 어긋남 양의 측정 자체를 제어 장치(2) 내에서 실시할 수도 있다. 또한, 직접 거리(L)의 값 자체를 변경하는 대신에, 교시 시에 있어서의 거리(L)에 보정량을 별도로 가감할 수도 있다.

이에 따르면, 촬상 위치(신호 출력 위치(Pm))가 로봇(10)의 교시 위치가 아님으로써 로봇(10)이 제1 위치(An)에서 제2 위치(Bn)까지 직선 이동하는 것을 이용하여, 직선 이동의 방향인 제1 방향의 오차를 기준 위치로부터의 거리(L)를 조정함으로써 보정하고 있다. 따라서, 쉽고 고정밀도로 제1 방향의 오차를 보정할 수 있다.

또한, 제어 장치(2)의 연산부(20)는, 신호 출력 위치(Pm)에 기초하여 촬상기(3)에 의해 촬상이 이루어진 실제의 촬상 위치와 미리 정해진 원하는 촬상 위치에 있어서의 제2 방향의 차이가 소정 값 이상인지 여부를 판정하고, 해당 제2 방향의 차이가 소정 값 이상일 경우에, 제2 방향에 대한 벡터(vector) 보정을 실시하는 제2 방향 보정부(26)로서 기능하다. 도 7a ~ 도 7c는 도 1에 나타낸 촬상 검사 장치에 있어서의 신호 출력 위치의 제2 방향에 대한 벡터 보정을 실시하는 단계를 나타내는 모식도이다.

도 7a ~ 도 7c에 나타낸 바와 같이, 제2 방향 보정부(26)는, 제2 방향의 차이가 소정 값 이상일 경우에, 로봇(10)의 선단부(11)가 실제로 위치한 제1 위치(An)에 대응하는 위치(실제의 제1 위치)(A'n)와 원하는 촬상 위치(Pm)를 연결하는 직선 상이며 원하는 촬상 위치(Pm)를 기준으로 실제의 제1 위치(A'n)와는 반대측에 제3 위치(Cn)를 설정하고, 실제의 제1 위치(A'n) 및 제3 위치(Cn) 중 적어도 어느 하나에 기초하는 기준 위치로부터의 거리(L)에 따라 제1 위치(An)와 제3 위치(Cn) 사이의 소정 위치를 새로운 신호 출력 위치(Pm)로 설정한다.

구체적으로는, 도 7a에 나타낸 바와 같이, 검사 대상물(4)의 촬상 부분(Dm)을 촬상하기 위한 원하는 촬상 위치가 Pm이고, 제1 위치(An) 및 제2 위치(Bn)를 교시하고, 신호 출력 위치(Pm)를 설정한 결과, 로봇(10)의 선단부(11)가 실제로 이동한 경로가, 실제의 제1 위치(A'n)에서 출발하여 실제의 제2 위치(B'n)에 도달하는 경로가 됨으로써, 실제로 촬상 명령 신호가 출력 시작된 위치가 원하는 위치(Pm)보다 제2 방향에 있어서 검사 대상물(4)로부터 먼 신호 출력 위치(P'm)였을 경우를 예로 들어 설명한다.

이와 같이 실제의 신호 출력 위치(P'm)가 원하는 촬상 위치(Pm)에 대해 제2 방향(즉, 촬상의 전후 방향)으로 어긋나면, 촬상기(4)로 촬상되는 화상의 크기가 변화해버리기 때문에, 화상 데이터가 전송된 화상 처리 장치(5)에 있어서 확대 축소 등의 화상 처리를 실시할 필요가 생기기 때문에, 화상 처리에 시간이 걸려 신속한 촬상 검사를 할 수 없는 문제가 있다. 그래서, 제2 방향 보정부(26)는 제2 방향 위치의 차이에 대해서도 보정함으로써, 촬상 위치의 정밀도를 높여, 촬상 처리를 보다 신속하게 실시하는 것을 가능케 하고 있다.

그래서 원하는 촬상 위치(Pm)와 실제의 신호 출력 위치(P'm)의 제2 방향 위치 차이가 소정 값 이상일 경우, 도 7b에 나타낸 바와 같이, 제2 방향 보정부(26)는, 로봇(10)의 선단부(11)가 실제로 위치한 제1 위치(An)에 대응하는 위치(실제의 제1 위치)(A'n)와 원하는 위치(Pm)를 연결하는 직선 상이며 원하는 촬상 위치(Pm)를 기준으로 실제의 제1 위치(A'n)와는 반대측에 제3 위치(Cn)를 설정한다. 제3 위치(Cn)는, 로봇(10)의 선단부(11)의 교시 위치로 설정된다. 또한, 제2 방향 보정부(26)는, 실제의 제1 위치(A'n) 및 제3 위치(Cn) 중 적어도 어느 하나에 기초하는 기준 위치(도 7a ~ 도 7c에 있어서는 실제의 제1 위치(A'n))에서 원하는 촬상 위치(Pm)까지의 거리(L')에 따라 실제의 제1 위치(A'n)와 제3 위치(Cn) 사이의 원하는 촬상 위치를 새로운 신호 출력 위치(Pm)로 설정한다.

그리고 동작 제어부(21)는, 로봇(10)의 선단부(11)를 제1 위치(An)(실제로는 실제의 제1 위치(A'n)에 위치한다)에서 제3 위치(Cn)를 거쳐 제2 위치(Bn)로 이동시키도록 각 축의 동작 명령을 한다. 이렇게 하여, 제2 방향의 오차에 대해서도 보정할 수 있어 위치 정밀도를 높이고 화상 처리를 보다 신속하게 실시할 수 있다.

이상, 본 발명의 실시예에 대해 설명했지만, 본 발명은 상기 실시예에 한정되는 것이 아니라, 그 취지를 벗어나지 않는 범위 내에서 다양한 개량, 변경, 수정이 가능하다.

예를 들어, 상기 실시예에 있어서는, 로봇(10)의 선단부(11)에 촬상기(3)를 설치하고, 촬상기(3)를 검사 대상물(4)에 대해 움직이게 하는 구성에 대해 설명했지만, 본 발명은 로봇(10)을 이용하여 촬상기(3)와 검사 대상물(4)을 상대 이동시키는 것이 가능한 한 이에 한정되지 않고, 예를 들면 로봇(10)의 선단부(11)에 검사 대상물(4)을 설치하고, 검사 대상물(4)을 촬상기(3)에 대해 움직이게 하는 구성도 적용 가능하다.

또한, 상기 실시예에 있어서는, 6개의 축(J1~J6)을 갖는 로봇(10)에 대해 설명했지만, 복수의 가동 축을 가진 로봇인 한 이에 한정되지 않고, 예를 들어 7축 이상의 로봇일 수도 있고, 5축 이하(또한 2축 이상)의 로봇일 수도 있다.

또한, 상기 실시예에 있어서는, 신호 출력 위치(Pm)의 기준 위치를 제1 위치(An) 및 제2 위치(Bn) 중 어느 하나로 하는 예에 대해 설명했지만, 제1 위치(An) 및 제2 위치(Bn) 모두에 기초하는 위치를 기준 위치로 할 수도 있다. 예를 들면, 제1 위치(An)와 제2 위치(Bn)의 중간점을 기준 위치로 하고 해당 기준 위치로부터의 거리에 신호 출력 위치(Pm)를 설정하는 것으로 할 수도 있다.

또한, 본 발명에 있어서의 촬상 검사 장치가 적용되는 촬상 검사는, 촬상기로 검사 대상물을 촬상함으로써 이루어지는 검사이면 특별히 한정되는 것이 아니고, 외관 검사일 수도 비파괴 내부 검사일 수도 있다. 또한, 실시되는 촬상 검사에 따라 촬상 검사 장치에 이용하는 촬상기는 여러 가지 채용 가능하다.

상기 설명으로부터, 당업자에게는, 본 발명의 많은 개량이나 다른 실시예가 분명하다. 따라서, 상기 설명은, 예시로서만 해석되어야 하며, 본 발명을 실행하는 최선의 양태를 당업자에게 교시할 목적으로 제공된 것이다. 본 발명의 정신을 벗어나지 않고, 그 구조 및/또는 기능에 대해 실질적으로 변경할 수 있다.

본 발명의 촬상 검사 장치 및 그 제어 장치와 제어 방법은, 촬상 위치의 정밀도를 높게 유지하면서 로봇 이동 제어의 고속화를 도모하기 위함에 유용하다.

1: 촬상 검사 장치
2: 제어 장치(제어기)
3: 촬상기
4: 검사 대상물
5: 화상 처리 장치(검사기)
10: 로봇
11: 선단부
12: 서보 모터
13: 위치 검출기
20: 연산부
21: 동작 제어부
22: 저장부
23: 입력부
24: 촬상 명령 신호 생성부
25: 제1 방향 보정부
26: 제2 방향 보정부
J1 ~ J6: 축

Claims

복수 축을 갖는 로봇의 선단부에, 촬상기 및 검사 대상물 중 하나를 설치하고, 상기 촬상기로 상기 검사 대상물을 촬상함으로써 해당 검사 대상물을 검사하기 위한 촬상 검사 장치의 제어 장치이며,
상기 로봇의 선단부를 제1 위치에서 제2 위치까지 이동시킬 때의 각 축의 동작 명령을 하는 동작 제어부와,
상기 제1 위치, 상기 제2 위치, 또는 상기 제1 위치와 상기 제2 위치와의 중점을 기준 위치로 하여 해당 기준 위치로부터의 거리에 따라 설정된, 상기 제1 위치와 상기 제2 위치 사이의 소정의 위치를 신호 출력 위치로 저장하는 저장부와,
상기 로봇의 선단부를 상기 제1 위치에서 상기 제2 위치까지 이동시킬 때에, 상기 로봇의 선단부가 상기 신호 출력 위치에 위치했는지 여부를 판정하고, 상기 로봇의 선단부가 상기 신호 출력 위치에 위치했다고 판정했을 경우에, 상기 촬상기를 이용하여 상기 검사 대상물을 촬상하기 위한 촬상 명령 신호를 상기 촬상기에 전송하는 촬상 명령 신호 생성부를 구비한 것을 특징으로 하는 촬상 검사 장치의 제어 장치.
제 1 항에 있어서,
상기 신호 출력 위치에 기초하여 상기 촬상기에 의해 촬영이 이루어진 실제의 촬상 위치와 미리 정해진 원하는 촬상 위치에 있어서의 상기 제1 위치 및 상기 제2 위치를 잇는 선분 방향(이하, 제1 방향)의 차이가 소정 값 이상인지 여부를 판정하고, 해당 제1 방향의 차이가 소정 값 이상일 경우에, 해당 차이에 따라 상기 기준 위치로부터의 거리를 변경함으로써 상기 신호 출력 위치를 보정하는 제1 방향 보정부를 구비한 것을 특징으로 하는 촬상 검사 장치의 제어 장치.
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
상기 신호 출력 위치에 기초하여 상기 촬상기에 의해 촬영이 행해진 실제의 촬상 위치와 미리 정해진 원하는 촬상 위치에 있어서의 상기 제1 위치 및 상기 제2 위치를 잇는 선분에 수직인 방향(이하, 제2 방향)의 차이가 소정 값 이상인지 여부를 판정하고, 해당 제2 방향의 차이가 소정 값 이상일 경우에, 상기 로봇의 선단부가 실제로 위치한 상기 제1 위치에 대응하는 위치(이하, 실제의 제1 위치)와 상기 원하는 촬상 위치를 연결하는 직선 상이며 상기 원하는 촬상 위치를 기준으로 상기 실제의 제1 위치와는 반대측에 제3 위치를 설정하고, 상기 실제의 제1 위치 및 상기 제3 위치 중 하나 이상에 기초하는 기준 위치로부터의 거리에 따라 상기 실제의 제1 위치와 상기 제3 위치 사이의 소정의 위치를 새로운 신호 출력 위치로 설정하는 제2 방향 보정부를 구비하며,
상기 동작 제어부는, 상기 로봇의 선단부를 상기 제1 위치에서 상기 제3의 위치를 거쳐 상기 제2 위치로 이동시키도록 각 축의 동작 명령을 하는 것을 특징으로 하는 촬상 검사 장치의 제어 장치.
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
상기 신호 출력 위치는, 상기 제1 위치와 상기 제2 위치 사이의 복수의 위치인 것을 특징으로 하는 촬상 검사 장치의 제어 장치.
복수의 축을 가지며, 선단부에 검사 대상물 및 촬상기 중 하나가 설치되고, 상기 선단부를 검사 대상물 및 촬상기 중 다른 하나에 대해 상대 이동시키는 로봇과,
상기 촬상기로 촬상된 화상에 기초하여 상기 검사 대상물을 검사하는 검사기와,
상기 로봇 및 상기 촬상기를 제어하는 제어기를 구비하며,
상기 제어기는,
상기 로봇의 선단부를 제1 위치에서 제2 위치까지 이동시킬 때의 각 축의 동작 명령을 하는 동작 제어부와,
상기 제1 위치, 상기 제2 위치, 또는 상기 제1 위치와 상기 제2 위치와의 중점을 기준 위치로 하여 해당 기준 위치로부터의 거리에 따라 설정된, 상기 제1 위치와 상기 제2 위치 사이의 소정의 위치를 신호 출력 위치로 저장하는 저장부와,
상기 로봇의 선단부가 상기 신호 출력 위치에 위치하는지 여부를 판정하고, 상기 로봇의 선단부가 상기 신호 출력 위치에 위치했다고 판정했을 경우에, 상기 촬상기를 이용하여 상기 검사 대상물을 촬상하기 위한 촬상 명령 신호를 상기 촬상기에 전송하는 촬상 명령 신호 생성부를 갖는 것을 특징으로 하는 촬상 검사 장치.
복수 축을 갖는 로봇의 선단부에, 촬상기 및 검사 대상물 중 하나를 설치하고, 상기 촬상기로 상기 검사 대상물을 촬상함으로써 해당 검사 대상물을 검사하기 위한 촬상 검사 장치의 제어 방법이며,
상기 로봇의 선단부를 제1 위치에서 제2 위치까지 이동시킬 때의 각 축의 동작 명령을 하는 단계,
상기 제1 위치, 상기 제2 위치, 또는 상기 제1 위치와 상기 제2 위치와의 중점을 기준 위치로 하여 해당 기준 위치로부터의 거리에 따라 상기 제1 위치와 상기 제2 위치 사이의 소정의 위치를 신호 출력 위치로 설정하는 단계, 및
상기 로봇의 선단부가 상기 신호 출력 위치에 위치하는지 여부를 판정하고, 상기 로봇의 선단부가 상기 신호 출력 위치에 위치했다고 판정했을 경우에, 상기 촬상기를 이용하여 상기 검사 대상물을 촬상하기 위한 촬상 명령 신호를 상기 촬상기에 전송하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 촬상 검사 장치의 제어 방법.