KR101618579B1 - 비정질 실리카의 제조방법 - Google Patents

Abstract

본 발명은 제조공정이 단순하고 품질특성이 균일한 합성 비정질 실리카의 제조방법에 관한 것으로서, 이산화규소와 알루미늄을 혼합하고 가열하여 이산화규소의 산소가 분리되어 알루미늄과 결합함에 따라 이산화규소는 규소로 전환되고 상기 규소는 산소 존재하에서 다시 가열되어 산소와의 재결합을 통하여 비정질 실리카로 전환되는 과정으로 이루어진다.
본 발명에 따른 비정질 실리카의 제조방법은 제조공정이 간단하여 제조시간과 제조비용이 절감되고 규소의 제조과정에서 규소 외의 불순물과 기체성분이 제거되어 고순도의 비정질 실리카를 제조할 수 있으며, 이러한 방법으로 제조된 비정질 실리카는 이산화규소가 고함량으로 함유되고 그 물성이 일정하며, 이를 이용하여 제조된 합성 실리카 제품은 고온 및 감압 환경하에서도 기포의 발생 또는 팽창이 감소하므로 산업계의 전반에 걸쳐 폭넓게 사용할 수 있고 특히 전자산업에 유용하게 적용될 수 있다.

Description

비정질 실리카의 제조방법{Method for Manufacturing Amorphous Silica}

본 발명은 제조공정이 단순하고 품질특성이 균일한 합성 비정질 실리카의 제조방법에 관한 것이다.

자연계에 존재하는 천연 비정질 실리카로는 보석인 오팔(opal)이나 규조류(diatom) 등이 알려져 있다.

오팔은 100~400 ㎚ 크기의 비정질 실리카 입자가 규칙적인 구조를 형성하여 결정을 형성하고 이들은 특정 파장에 대한 광굴절성으로 인해 아름다운 색깔을 나타내며, 규조류의 껍질은 자연적으로 형성된 미세한 나노구조의 비정질 실리카로 구성되어 있고 이들의 규칙적인 구조 형성과정은 상향식(bottom-up) 방식의 나노기술인 자기조립의 과정과 접목되어, 산업계 및 학계에서는 이들의 복잡한 비정질 구조 및 특성을 이해하고 인위적으로 이러한 구조를 형성하여 산업에 이용하고자 하는 연구가 활발히 진행되고 있다.

이러한 비정질 실리카에 대한 연구개발은 주로 반도체 산업에 집중되고 있으며, 집적회로 봉지재용 수지, 고무 등의 각종 충전재, 기판, 전자재료 및 반도체 제조용 지그에 사용되는 고순도 실리카 유리원료로 이용되고 있고 열적, 전기적 특성이 우수하여 그 사용범위가 날로 늘어나고 있으며, 실리카 분말의 유동성 및 성형성 등을 향상시키고 성형시 몰드의 마모면에서 유리하여 고품위용으로서 그 이용분야가 확장되고 있다.

특히, 반도체의 단결정 제조에 사용되는 도가니, 반도체를 외부의 충격, 진동, 수분, 먼지 등으로부터 보호해주는 반도체 봉지재 또는 상보성 금속 산화막 반도체(complementary metal oxide semiconductor, CMOS) 장치에 비정질 실리카 소재를 적용하여 전자기기의 소형 경량화, 박형화, 고집적화를 추구하고 있다.

이러한 반도체의 고성능화가 진행됨에 따라 그 재료가 되는 단결정에 대한 품질 요구가 더욱 높아지고 있는데, 종래의 반도체 산업에서는 천연 석영이나 규사를 분쇄하고 정제하여 얻어진 석영분말을 원료로 하였으나, 천연 석영이나 규사는 다양한 금속 불순물을 포함하고 있어서 이를 정제처리하여도 금속 불순물을 완전하게 제거할 수 없기 때문에 순도에 있어서 충분히 만족할 만한 수준이 되지 못하였으며, 이에 따라 천연 석영이나 규사 대신에 고순도의 비정질 실리카 분말을 원료로 한 합성 실리카 제품이 주목받고 있다.

이러한 합성 비정질 실리카를 제조하는 방법으로서, 일본공개특허공보 소62-21703호에 사염화규소의 기상분해법이 개시되어 있고 일본공개특허공보 소60-90811호와 소63-35411호에 규산알칼리와 규소알콕사이드를 사용한 습식법이 개시되어 있으며, 일본특허공보 평1-21093호에는 규산알칼리를 원료로 하여 고순도의 실리카 분말을 제조하는 방법이 개시되어 있다.

상기에서 제조되는 비정질 실리카는 천연 석영이나 규사에 비해 고순도이며, 반응조건에 따라 순도를 99.99~99.999 %까지 가능하고 분말의 크기도 나노미터의 크기까지 제조가 가능하여, 이들을 원료로 하여 제조된 합성 실리카 제품은 불순물 혼입이 적고 고성능화가 가능해졌다.

그러나 상기 방법에서 사용하는 원료들은 고가이고 부식성 및 가연성이 있어서 경제성 및 취급 면에서 문제가 있으며, 나노미터 크기의 분말은 후속공정인 여과분리나 세척 등이 어렵고 밀리미터 크기의 응집체들은 산화나트륨(Na₂O)이나 토륨(Th) 등의 성분이 완전히 제거되지 않아서 순도가 저하되는 단점이 있으며, 또한 실리콘 단결정 인상용 도가니는 1500 ℃ 부근 및 7 ㎪ 부근의 고온 및 감압 하에서 사용되고 있어서 이 조건에서는 기포가 발생하고 팽창하여 실리카 제품의 성능을 감소시키는 문제가 있다.

이러한 문제를 해결하기 위하여, 상기 사염화규소의 가수분해에 의해 얻어지는 합성 비정질 실리카 분말을 열처리하여 분말 중의 수산기와 염소 농도를 감소시키고, 또한 알콕시실란의 졸겔법에 의해 얻어지는 합성 비정질 실리카 분말에 열처리하여 분말 중의 수산기와 탄소의 농도를 감소시킴으로써 합성 비정질 실리카 분말에서 가스성분이 될 수 있는 불순물의 농도를 낮추는 방법이 있으나, 상기 방법으로는 고온 및 감압 환경에서의 기포 발생 및 팽창을 억제하기에는 충분치 않다.

이에 따라 한국등록특허공보 제0106979호에서는 고순도 비정질 실리카 분말의 제조과정 중, 규산알칼리와 산의 중화반응의 결과로 생성된 과립의 실리카 분말을 분무건조시키기 전에 해쇄공정을 통해 고순도의 구상 실리카분말을 제조하고 이를 열처리하여, 구상의 실리카 분말이 비정질 상태를 유지하면서 해쇄시 혼합된 유기물이나 잔존하는 결합제 및 염소성분 등을 휘발시켜 좀더 치밀한 구상의 실리카 분말을 얻을 수 있도록 하였다.

또한, 한국공개특허공보 제2014-0002673호에는 실리카질의 겔을 생성시킨 후 건조, 분쇄 및 분급하여 얻어진 실리카 분말을 아르곤이 도입되는 플라즈마 토치 내에 투입하고, 2000 ℃부터 이산화규소의 비점까지의 온도에서 가열하여 용융시킨 다음, 실리카 분말 표면에 부착되어 있는 미세분말을 제거하고 건조시켜 합성 비정질 실리카 분말을 제조하는 발명이 개시되어 있으며, 표면에 흡착되는 가스성분과 분말 내부의 가스성분이 적기 때문에 이를 이용하여 제조된 합성 실리카 유리 제품은 고온 및 감압 환경하에서도 기포의 발생 또는 팽창이 저감되는 효과를 제공할 수 있다.

그러나 상기 발명들은 제조과정이 복잡하고 연속식 제조가 불가능하여 제조비용과 시간이 많이 소요되며, 또한 비정질 실리카는 제조조건에 따라 그 물성에서 차이가 나고 이러한 차이는 정밀한 물성을 요구하는 전자산업에 적용시 불량을 유발하므로, 상기의 방법으로 제조되는 비정질 실리카를 산업에 적용하는 데에는 한계가 있다.

본 발명은 상기의 문제를 해결하기 위한 것으로서, 제조공정이 단순하면서 품질특성이 균일하여 정밀한 물성이 요구되는 산업에 폭넓게 적용가능한 비정질 실리카의 제조방법을 제공하는 것이다.

상기 과제를 해결하기 위하여, 본 발명은 이산화규소 40~60 중량%와 알루미늄 40~60 중량%를 혼합하고 프레스 성형한 후 가열하여 900~1000 ℃로 승온하는 단계; 상기 이산화규소와 알루미늄이 반응하여 액상의 규소와 기상의 산화알루미늄이 생성되면서 재승온하는 단계; 상기 재승온한 이산화규소와 알루미늄의 반응물에 질소를 통풍시켜 산화알루미늄을 제거하는 단계; 및 상기 반응물 중의 규소를 냉각시킨 후 산소를 공급하면서 1600~1750 ℃에서 150~200 분간 재가열하는 단계:를 포함하는 비정질 실리카의 제조방법을 제공한다.

이때, 상기 재가열은 규소를 8~12 ℃/분의 속도로 승온시키고 1600~1750 ℃에서 150~200 분간 유지한 후 0.5~2.0 ℃/분의 속도로 냉각시키는 것이 바람직하다.

또한, 상기 프레스 성형은 이산화규소와 알루미늄의 혼합물을 지름 20~30 ㎜, 두께 2~5 ㎜의 원반형태로 성형하는 것이 바람직하다.

또한, 상기 이산화규소와 알루미늄은 분쇄기로 분쇄된 것이 바람직하고, 상기 분쇄기는 용기와 회전원판이 서로 반대방향으로 회전하면서 공전/자전비를 자유롭게 변경가능한 가변형 유성밀인 것이 더욱 바람직하며, 상기 유성밀의 포트는 규소화합물 또는 알루미나 재질로 이루어지는 것이 가장 바람직하다.

본 발명에 따른 비정질 실리카의 제조방법은 제조공정이 간단하여 제조시간과 제조비용이 절감되고 규소의 제조과정에서 규소 외의 불순물과 기체성분이 제거되어 고순도의 비정질 실리카를 제조할 수 있으며, 이러한 방법으로 제조된 비정질 실리카는 이산화규소가 고함량으로 함유되고 그 물성이 일정하며, 이를 이용하여 제조된 합성 실리카 제품은 고온 및 감압 환경하에서도 기포의 발생 또는 팽창이 감소하므로 산업계의 전반에 걸쳐 폭넓게 사용할 수 있고 특히 전자산업에 유용하게 적용될 수 있다.

도 1은 본 발명에 따른 방법으로 제조된 비정질 실리카의 FT-IR 분석결과이고, 도 2는 XRD 분석한 결과이며, 도 3은 FE-SEM 분석결과이고, 도 4는 TEM 분석결과이다.

본 발명에 따른 비정질 실리카(amorphous silica)의 제조방법은 이산화규소와 알루미늄을 혼합하고 가열하여 이산화규소의 산소가 분리되어 알루미늄과 결합함에 따라 이산화규소는 규소로 전환되고 상기 규소는 산소 존재하에서 다시 가열되어 산소와의 재결합을 통하여 비정질 실리카로 전환되는 과정으로 이루어진다.

먼저, 이산화규소 40~60 중량%와 알루미늄 40~60 중량%를 혼합하고 가열하여 900~1000 ℃로 승온시킨다.

상기 온도에서는 이산화규소와 알루미늄이 반응하여 강한 반응열을 발생하는 테르밋 반응(thermit reaction)이 일어나고, 이 결과 이산화규소는 산소가 분리되어 규소로 전환되고 알루미늄은 환원제로 작용하여 상기 분리된 산소와 결합함으로써 산화알루미늄으로 전환된다.

상기 테르밋 반응 후에는 반응에 참가하고 남은 잔량의 알루미늄과 미반응한 이산화규소, 반응결과물인 규소와 산화알루미늄이 혼재하는데, 이들 중 규소 외의 나머지 성분을 제거하여 순수 규소만 남길 필요가 있으며, 이를 위하여 상기 테르밋 반응이 진행되는 도중에 계 내에 질소를 통풍(ventilation)시킨다.

테르밋 반응시에는 약 3000 ℃의 열이 발생하고 이 온도에서는 규소 외의 나머지 물질들은 기화되며, 기화된 성분은 질소에 동반하여 계 외로 배출·제거되므로, 테르밋 반응 후에는 순수한 규소만 존재하게 된다.

좀더 상세하게는, 이산화규소와 알루미늄 혼합물을 900~1000 ℃로 가열하여 반응계 내의 온도를 상승시키고 상기 가열에 의해 테르밋 반응이 촉발되어 테르밋 반응열에 의해 반응계 내의 온도가 재상승하며, 계 내의 온도가 재상승하면 질소를 통풍시켜 규소 외의 나머지 물질들을 제거하는 과정으로 이루어지며, 테르밋 반응이 진행되는 도중에는 테르밋 반응열에 의해 온도가 유지되므로 외부에서 공급되는 가열을 중단할 수 있다.

상기 테르밋 반응온도에서 순수 규소는 액상이어서 계 내의 하부에 모이고 산화알루미늄을 비롯한 나머지 성분은 기상이므로 상부에 모인 후 통풍되는 질소에 의해 계 외로 배출되며, 상기와 같이 테르밋 반응 중에 발생하는 규소 외의 나머지 성분을 발생 즉시 제거함으로써 규소에 재혼입되는 것이 방지되어 테르밋 반응에 의해 제조되는 규소의 순도를 좀더 높일 수 있다.

그런데 상기 반응온도에서는 반응원료인 이산화규소와 알루미늄이 기화되어 통풍 질소에 동반하여 제거될 수 있어서 일부 테르밋 반응이 진행된 후 더 이상 이산화규소의 탈산소화가 진행되지 못할 수도 있고, 또한 유동상의 이산화규소와 알루미늄 분말은 반응 중 서로 간의 접촉빈도가 낮아서 이산화규소로부터 분리된 산소가 알루미늄과 반응하기 전에 질소에 의해 계 외로 배출되어 산소와 알루미늄이 결합하는 테르밋 반응이 충분치 못할 우려가 있다.

이러한 문제를 해결하기 위하여, 이산화규소 분말과 알루미늄 분말을 골고루 혼합하고 프레스 성형(press forming)한 다음 테르밋 반응을 진행시키는 것이 바람직하며, 이산화규소와 알루미늄 혼합물이 가압·성형되면 서로 간의 접촉점이 증가하고 테르밋 반응 중에도 그 형태가 유지되어 이산화규소로부터 분리된 산소가 인접한 알루미늄에 결합할 가능성이 훨씬 커지게 되므로 테르밋 반응이 충분히 진행될 수 있다.

상기 프레스 성형에 의한 성형물은 이산화규소와 알루미늄의 혼합비, 가열온도, 통풍되는 질소의 유속 등에 따라 차이가 있으나, 지름 20~30 ㎜, 두께 2~5 ㎜의 원반형태로 제조되는 것이 이산화규소와 알루미늄의 테르밋 반응을 원활히 진행시키면서 테르밋 반응이 완료될 때까지 성형물의 형태를 온전히 유지할 수 있도록 하는 점에서 바람직하다.

이산화규소와 알루미늄의 테르밋 반응을 좀더 원활히 진행시키기 위하여, 상기 이산화규소와 알루미늄 분말을 분쇄기로 좀더 분쇄한 다음 프레스 성형하는 것이 이산화규소와 알루미늄 분자 간의 접촉점을 증가시키는 점에서 좀더 바람직하다.

또한, 상기 분쇄기는 유성밀(planetary mill)인 것이 더욱 바람직하고 용기와 회전원판이 서로 반대방향으로 회전하면서 공전/자전비를 자유롭게 변경가능한 가변형 유성밀(vario-planetary mill)이 가장 바람직한데, 상기 가변형 유성밀은 용기와 회전원판이 서로 반대방향으로 회전하므로 작용하는 원심력이 같은 방향과 다른 방향으로 번갈아 작용하며, 용기 속의 볼은 용기 내부 벽을 따라 회전하면서 마찰작용을 일으키고 볼이 용기 벽의 반대방향으로 충돌하면서 충격작용을 하므로 이때 발생하는 볼의 충격에너지는 중력가속도의 40 배 이상으로 높기 때문에 기존의 볼밀에 비해 향상된 분쇄효과를 얻을 수 있다.

또한, 공전/자전비를 자유롭게 변경가능하고 건식 또는 습식 분쇄가 가능하여 소재에 물리적, 열적 손상을 방지 또는 감소할 수 있으므로, 이로부터 분쇄된 이산화규소와 알루미늄의 미세분말 간의 테르밋 반응을 원활히 진행할 수 있다.

상기 유성밀의 포트(pot)는 규소화합물 또는 알루미나 재질로 이루어지는 것이 가장 바람직하며, 이는 분쇄과정에서 마모로 인한 포트의 미세 부스러기가 이산화규소 분말이나 알루미늄 분말에 혼입되어도 소재의 오염이 방지되어 테르밋 반응에 영향을 주지 않기 때문이다.

다음은 상기 테르밋 반응에 의해 제조된 규소를 상온으로 냉각시킨 후 산소를 공급하면서 1600~1750 ℃에서 150~200 분간 재가열하여 규소를 비정질 실리카로 전환시킨다.

비정질 실리카는 결정의 규칙적인 원자배열을 갖지 않는 소재로서, 결정재료에 비해 자기적 성질, 기계적 강도, 내식성이 뛰어나나 열적으로는 불안정하여 높은 온도와 강한 빛에서 상태변화가 일어나 결정으로 바뀌는 성향이 있다.

상기의 가열온도는 실리카의 융점에 해당하는데, 상기 온도에서 용융상태인 규소가 산소와 결합하여 액상의 비정질 실리카로 전환되며, 이때 액상의 비정질 실리카 원자가 정렬할 정도의 에너지를 주지 않기 위하여 상기와 같이 융점 부근의 가능한 한 낮은 온도를 유지함으로써 비정질 실리카가 결정으로 전환되지 않도록 한다.

상기 가열은 테르밋 반응에 의해 제조된 상온의 규소를 8~12 ℃/분의 속도로 승온시켜서 1600~1750 ℃에 도달하면 150~200 분간 유지한 후 0.5~2.0 ℃/분의 속도로 냉각시켜 비정질 실리카를 제조한다.

상기와 같이 제조되는 비정질 실리카는 제조공정이 단순하여 제조시간과 제조비용이 절감되고 규소의 제조과정에서 규소 외의 불순물과 기체성분이 제거되어 고순도의 비정질 실리카를 제조할 수 있으며, 이를 이용하여 제조된 합성 실리카 제품은 고온 및 감압 환경하에서도 기포의 발생 또는 팽창이 감소하는 효과를 얻을 수 있다.

이하, 본 발명을 하기의 실시예 및 시험예에 의거하여 좀더 상세하게 설명한다.

단, 하기의 실시예는 본 발명을 예시하기 위한 것일 뿐, 본 발명이 하기 실시예에 의해 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 치환 및 균등한 타 실시예로 변경할 수 있음은 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 있어서 명백할 것이다.

<실시예>

이산화규소 분말과 알루미늄 분말을 각각 유성밀(pulverisette 5, FRITSCH, 독일)에 넣고 질화규소(silicon nitride) 재질의 main disk를 400 rpm의 속도로 3 분간 회전시켜 각 분말을 더욱 미세분말화 하였다.

상기 이산화규소 미세분말과 알루미늄 미세분말을 동일 중량비로 혼합하고 충분히 섞어준 다음, 25π 몰드에서 2000 ㎫의 압력으로 프레스 성형하여 지름 25 ㎜ 두께 3 ㎜의 디스크를 제조하였다.

밀폐된 반응용기에 상기 디스크를 넣고 920 ℃로 1 분간 가열하여 이산화규소와 알루미늄의 테르밋 반응을 촉발시킨 후 가열을 중지하고 질소 기체를 반응용기 상부로 공급하여 2 ℓ/분의 양으로 통과시키면서 테르밋 반응이 완료되도록 10 분간 정치하였다.

상기 테르밋 반응이 완료되어 반응용기 내의 온도가 하강하면 질소 기체의 공급을 중단하고 상온으로 자연냉각한 다음, 다시 반응용기에 산소를 공급하면서 10 ℃/분의 속도로 승온시키고 1650 ℃에 도달하면 이 온도에서 3 시간 유지한 후 1 ℃/분의 속도로 냉각시켜 비정질 실리카를 제조하였다.

<시험예> 제조된 비정질 실리카의 특성분석

상기에서 제조된 비정질 실리카의 구조적인 결합상태를 확인하기 위하여 FT-IR 분석(EQUINOX55, BRUKER, 독일)을 실시하고 그 결과를 도 1에 나타내었으며, 도 1에서 1120 ㎝^-1의 파수(wavenumber)에 피크가 생성됨을 확인하여 합성된 시료에 Si-O 결합이 존재함을 확인하였다.

또한, X선 회절패턴을 통한 비정질 실리카의 결정상태와 배향성을 관측하기 위하여 XRD 분석(D/MAX-2500V/PC, RIGAKU, 일본)을 실시하였으며, XRD 분석에서 결정물질(crystalline material)이 날카로운 피크를 나타내는 것은 원자배열이 규칙적이기 때문에 결정 중에 일정 간격의 원자 면이 생겨서 그들 면에서 X선 회절이 일어나기 때문이며, 원자배열이 불규칙하면 임의의 간격을 갖는 각종 원자대로부터 X선 산란이 일어나 이것이 넓은 모양의 회절상을 나타낸다.

도 2에는 실시예의 비정질 실리카를 XRD 분석한 결과를 도시하였는데, 2θ=23도 부근에서 피크가 보이나 매우 넓은 halo를 가지고 있어서 전형적인 비정질 패턴을 나타내므로, 제조된 실리카의 주성분인 SiO₂가 비정질임을 알 수 있다.

또한, 제조된 비정질 실리카 입자의 크기와 형상을 관찰하기 위하여 FE-SEM 분석(S-4700, HITACHI, 일본)을 실시하여 도 3에 나타내었으며, 구형의 실리카 입자가 무질서하게 분포된 비정질 상태임을 확인할 수 있다.

또한, 제조된 비정질 실리카의 형태와 크기 및 기공의 크기와 분포를 확인하기 위하여 TEM 분석(JEM3010, JEOL, 일본)을 실시하였으며, TEM은 시편을 투과하여 상을 형상화하는 구조로 이루어져 있고, 입사빔이 시편을 통과할 때 결함구조가 있으면 회절현상이 일어나고 시편을 통과한 빔은 회절빔의 강도만큼 차이가 생겨서 다른 상보다 어둡게 나타나며, 형상화된 회절패턴(diffraction pattern)이 링패턴(ring pattern)을 형성하면 시료가 비정질 상태임을 유추할 수 있다.

도 4에는 TEM 분석결과가 나타나 있으며, 상기 도 3에서와 같이 구형의 실리카 입자가 무질서하게 분포되어 있음을 알 수 있고, TEM의 회절빔이 시편을 통과한 빔 중심에 링패턴을 형성하는 것을 확인하여 구형의 실리카 입자가 비정질임을 확인하였다.

또한, 제조된 비정질 실리카에 포함된 금속성분의 유무와 함량을 측정하기 위하여 XRF 분석(ZAX 100e, RIGAKU, 일본)을 실시하고 그 결과를 하기 표 1에 나타내었다.

XRF 분석결과(단위:중량%)

	Na2O	MgO	Al2O3	SiO2	K2O	Fe2O3
실시예의 비정질 실리카	0.0653	0.0222	0.1530	99.7	0.0514	0.0323

상기 표 1을 보면, 이산화규소가 99.7 중량%의 고순도로 함유되어 있음을 알 수 있고 이 외에 테르밋 반응에 의해 생성된 산화알루미늄이 비정질 실리카에 0.1530 중량% 잔존하며, 나머지 미세 함량의 금속성분은 원료로부터 유입된 것으로 추정된다.

상기 시험결과에서 확인할 수 있는 바와 같이, 본 발명에 따른 비정질 실리카의 제조방법은 종래의 방법에 비하여 제조시간과 비용을 절감할 수 있으며, 이러한 방법으로 제조된 비정질 실리카는 이산화규소가 고함량으로 함유되고 그 물성이 일정하여 산업계의 전반에 걸쳐 폭넓게 사용할 수 있고 특히 전자산업에 유용하게 적용할 수 있다.

Claims (7)

1. 이산화규소 40~60 중량%와 알루미늄 40~60 중량%를 혼합하고 프레스 성형한 후 가열하여 900~1000 ℃로 승온하는 단계;
   상기 이산화규소와 알루미늄이 반응하여 액상의 규소와 기상의 산화알루미늄이 생성되면서 재승온하는 단계;
   상기 재승온한 이산화규소와 알루미늄의 반응물에 질소를 통풍시켜 산화알루미늄을 제거하는 단계; 및
   상기 반응물 중의 규소를 냉각시킨 후 산소를 공급하면서 1600~1750 ℃에서 150~200 분간 재가열하는 단계:를 포함하는 비정질 실리카의 제조방법.
2. 청구항 1에 있어서,
   상기 재가열은 규소를 8~12 ℃/분의 속도로 승온시키고 1600~1750 ℃에서 150~200 분간 유지한 후 0.5~2.0 ℃/분의 속도로 냉각시키는 것을 특징으로 하는 비정질 실리카의 제조방법.
3. 삭제
4. 청구항 1에 있어서,
   상기 프레스 성형은 이산화규소와 알루미늄의 혼합물을 지름 20~30 ㎜, 두께 2~5 ㎜의 원반형태로 성형하는 것을 특징으로 하는 비정질 실리카의 제조방법.
5. 청구항 1에 있어서,
   상기 이산화규소와 알루미늄은 분쇄기로 분쇄된 것임을 특징으로 하는 비정질 실리카의 제조방법.
6. 청구항 5에 있어서,
   상기 분쇄기는 용기와 회전원판이 서로 반대방향으로 회전하면서 공전/자전비를 자유롭게 변경가능한 가변형 유성밀인 것을 특징으로 하는 비정질 실리카의 제조방법.
7. 청구항 6에 있어서,
   상기 유성밀의 포트는 규소화합물 또는 알루미나 재질로 이루어지는 것을 특징으로 하는 비정질 실리카의 제조방법.

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