KR101614472B1 - Test connector - Google Patents

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KR101614472B1
KR101614472B1 KR1020150012252A KR20150012252A KR101614472B1 KR 101614472 B1 KR101614472 B1 KR 101614472B1 KR 1020150012252 A KR1020150012252 A KR 1020150012252A KR 20150012252 A KR20150012252 A KR 20150012252A KR 101614472 B1 KR101614472 B1 KR 101614472B1
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정영배
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주식회사 아이에스시
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Abstract

The present invention relates to a test connector, more specifically, which is a test connector installed between a device under test and a test apparatus, to connect electrically a terminal of the device under test and a pad of the test apparatus, which comprises: a first anisotropic conductive sheet which includes a plurality of first conductive parts arranged at each position corresponding to the terminal of the device under test, including insulating elastic material in which a plurality of conductive particles are arranged in the thickness direction, and including a first insulating support part for wrapping around and supporting the first conductive parts; a first sheet-like connector arranged beneath the first anisotropic conductive sheet, and having a first insulating sheet with a first electrode which is formed in each position corresponding to the first conductive part; and the second anisotropic conductive sheet arranged beneath the first sheet-like connector, including a second conductive parts arranged at each position corresponding to the first electrode, having insulating elastic material in which a plurality of conductive particles are arranged in the thickness direction, and a second insulating support part for wrapping around and supporting the second conductive parts. The thickness of the first conductive part disposed on the edge of the first anisotropic conductive sheet is different from the thickness of the first conductive part disposed on the middle portion of the first anisotropic conductive sheet.

Description

검사용 커넥터{Test connector}Test connector {Test connector}

본 발명은 검사용 커넥터에 대한 것으로서, 더욱 상세하게는 휨(Warpage)이 발생된 피검사 디바이스의 검사시에도 안정적인 검사가 가능하고 수명이 크게 감소되지 않는 검사용 커넥터에 대한 것이다.The present invention relates to a connector for inspection, and more particularly, to a connector for inspection in which a stable inspection can be performed even when inspecting an inspected device having warpage, and the service life is not greatly reduced.

일반적으로 피검사 디바이스의 전기적 특성 검사를 위해서는 피검사 디바이스와 테스트 장치와의 전기적 연결이 안정적으로 이루어져야 한다. 통상 피검사 디바이스와 테스트 장치와의 연결을 위한 장치로서 검사용 커넥터가 사용된다.Generally, in order to inspect the electrical characteristics of a device to be inspected, the electrical connection between the device to be inspected and the testing device must be stable. A connector for inspection is usually used as an apparatus for connection between a device to be inspected and a testing apparatus.

이러한 검사용 커넥터의 역할은 피검사 디바이스의 단자와 검사장치의 패드를 서로 연결시켜 전기적인 신호가 양방향으로 교환 가능하게 하는 것이다. 이를 위하여 검사용 커넥터의 내부에 사용되는 접속수단으로 이방 도전성 시트 또는 포고핀이 사용된다. 이러한 이방 도전성 시트는 탄성을 가지는 도전부를 피검사 디바이스의 단자와 접속시키는 것이며, 포고핀은 내부에 스프링이 마련되어 있어서 피검사 디바이스와 테스트 장치와의 연결을 원활하게 하고, 연결시 발생할 수 있는 기계적인 충격을 완충할 수 있어 대부분의 테스트 소켓에 사용되고 있다. The role of the inspecting connector is to connect the terminals of the inspecting device and the pads of the inspecting device to each other so that electrical signals can be exchanged in both directions. For this purpose, an anisotropic conductive sheet or a pogo pin is used as a connection means used inside the inspection connector. This anisotropic conductive sheet is configured to connect the conductive part having elasticity with the terminal of the device to be inspected and the pogo pin is provided with a spring inside to smooth connection between the devices to be inspected and the testing device, It is used in most test sockets because it can buffer shocks.

이러한 이방 도전성 시트는, 전기적 접속이 요구되는 피검사 디바이스의 단자와의 빈번한 접촉으로 인하여 도전부의 상단이 쉽게 파손될 염려가 있게 된다. 즉, 연질의 실리콘 고무 내에 다수의 도전성 입자가 배열된 형태를 가지고 있는 도전부는, 금속소재로 이루어진 피검사 디바이스의 단자와 빈번한 접촉으로 인하여 실리콘 고무가 쉽게 파손될 염려가 있으며 이에 따라서 그 내부에 배치된 도전성 입자들이 도전부로부터 이탈되어 전체적인 전도성을 저해할 염려가 있게 된다.Such anisotropic conductive sheet may easily break the upper end of the conductive portion due to frequent contact with a terminal of the device to be inspected requiring electrical connection. That is, the conductive part having a shape in which a large number of conductive particles are arranged in the soft silicone rubber may easily break the silicone rubber due to frequent contact with terminals of the device to be inspected made of a metal material, There is a fear that the conductive particles may be detached from the conductive portion to deteriorate the overall conductivity.

이러한 단점을 해결코자, 이방 도전성 커넥터 장치(10)가 개시되어 있다. 이 이방 도전성 커넥터 장치(10)는 도 1에 개시된 바와 같이 직사각형의 이방 도전막(10A)과, 이 이방 도전막(10A)의 일면 상에 일체적으로 설치된 시트형 커넥터(20)와, 이방 도전막(10A)을 지지하는 직사각형의 판 형상인 지지 부재(30)에 의해 구성되어 있다. 이 이방 도전성 커넥터 장치(10)에서의 이방 도전막(10A)은, 각각 두께 방향으로 신장하는 복수의 원주형의 도전로 형성부(11)와, 이들 도전로 형성부(11)를 서로 절연하는 절연부(14)에 의해 구성되어 있고, 본 예에서는 도전로 형성부(11)가 격자점 위치에 따라서 일정한 피치로 배치되어 있다. 또한, 이방 도전막(10A)은 전체가 절연성의 탄성 고분자 물질에 의해 형성되고, 그 도전로 형성부(11)에는 자성을 띠는 도전성 입자 P가 두께 방향으로 늘어서도록 배향한 상태로 함유되어 있다. 이에 대하여, 절연부(14)는 도전성 입자가 전혀 혹은 거의 함유되어 있지 않은 것이다. 한편, 절연부(14)는 개개의 도전로 형성부(11)의 주위를 둘러싸도록 일체적으로 형성되어 있으며, 이로써 모든 도전로 형성부(11)는 절연부(14)에 의해 서로 절연된 상태로 되어 있다. 또한, 상기 시트형 커넥터(20)는 유연한 절연성 시트(21)를 갖고, 이 절연성 시트(21)에는 당해 절연성 시트(21)의 두께 방향으로 신장하는 금속으로 이루어지는 복수의 전극 구조체(22)가, 접속 대상 전극의 패턴과 대응하는 패턴을 따라서, 당해 절연성 시트(21)의 면 방향으로 서로 떨어져 배치되어 있다. In order to solve such a disadvantage, an anisotropic conductive connector device 10 is disclosed. 1, the anisotropic conductive connector device 10 includes a rectangular anisotropic conductive film 10A, a sheet-like connector 20 integrally provided on one surface of the anisotropic conductive film 10A, And a support member 30 in the shape of a rectangular plate that supports the support member 10A. The anisotropic conductive film 10A in this anisotropically conductive connector device 10 has a plurality of columnar conductive path forming portions 11 each extending in the thickness direction and a plurality of conductive path forming portions 11, And the insulating portion 14. In this example, the conductive path forming portions 11 are arranged at a constant pitch according to the lattice point positions. In addition, the anisotropic conductive film 10A is formed entirely of an insulating elastic polymer material, and the conductive path forming portion 11 contains the conductive particles P that are magnetized so as to be aligned in the thickness direction . On the other hand, the insulating portion 14 contains no or almost no conductive particles. On the other hand, the insulating portion 14 is integrally formed so as to surround the peripheries of the individual conductive path forming portions 11, whereby all the conductive path forming portions 11 are insulated from each other by the insulating portion 14 . The sheet-like connector 20 has a flexible insulating sheet 21 on which a plurality of electrode structures 22 made of a metal extending in the thickness direction of the insulating sheet 21 are connected Are disposed apart from each other in the surface direction of the insulating sheet 21 along the pattern corresponding to the pattern of the target electrode.

이러한 검사용 커넥터는 도 2에 도시된 바와 같이, 피검사 디바이스(40)가 하강하여 피검사 디바이스(40)의 단자(40)가 전극 구조체(22)의 상면에 접촉하면서 상기 피검사 디바이스(40)가 상기 검사용 커넥터를 가압하면, 도전로 형성부(11)가 두께방향으로 가압되면서 전기적 도통상태가 된다. 이러한 상태에서 검사장치에서 소정의 전기적 신호가 인가되면 해당 전기적 신호는 도전로 형성부(11), 전극 구조체(22)를 통하여 피검사 디바이스(40)의 단자(41)로 인가되면서 소정의 전기적 검사를 수행하게 된다.2, the inspecting device 40 is lowered so that the terminal 40 of the device under test 40 contacts the upper surface of the electrode structure 22 while the inspecting device 40 ) Presses the inspection connector, the conductive path forming portion 11 is pressed in the thickness direction and becomes electrically conductive. When a predetermined electrical signal is applied to the inspection device in this state, the electrical signal is applied to the terminal 41 of the device under test 40 through the conductive path forming part 11 and the electrode structure 22, .

이러한 종래기술에 따른 검사용 커넥터는, 다음과 같은 문제점이 있게 된다.Such a conventional inspection connector has the following problems.

검사가 요구되는 피검사 디바이스(40)는 여러가지 요인으로 인하여 평평한 상태를 유지하지 못하고 도 3에 도시된 바와 같이 휘어진 상태를 가지는 경우가 있게 된다. 즉, 피검사 디바이스(40)가 평판 상태를 유지하지 못하고 곡면상태로 굴곡진 형태를 가질 수 있게 되는데, 이와 같이 피검사 디바이스(40)가 휘어지는 경우에는 피검사 디바이스(40)의 단자(41)들의 높낮이가 불균일하게 된다. 예를 들어 도 3에 도시된 바와 같이 피검사 디바이스(40)의 중앙에서 가장자리를 향할수록 아래로 굽어져 있는 경우에는 피검사 디바이스(40)의 단자(41)들도 중앙보다 가장자리 측에 아래로 낮게 유지되어 있게 된다. 이러한 상태에서 상기 피검사 디바이스(40)가 하강하여 검사용 커넥터를 가압하는 경우에는 가장자리 측의 도전로 형성부(11)를 중앙 측의 도전로 형성부(11)에 비하여 크게 가압하게 되는데, 이와 같이 가장자리 측에 배치된 도전로 형성부(11)를 과도하게 가압하는 경우에는 안정적인 전기적 접촉을 유지하기 어렵고 많이 눌린 부분의 수명이 짧아지게 된다는 문제점이 있다.The inspected device 40 to be inspected may not maintain a flat state due to various factors and may have a warped state as shown in FIG. When the device 40 to be inspected is bent as described above, the terminal 41 of the device under test 40 can be bent in a curved state without maintaining the flat state of the device 40 to be inspected. So that the height of them becomes uneven. 3, the terminals 41 of the device under test 40 are also bent downward toward the edge from the center of the device 40 to be inspected, as shown in FIG. 3, It is kept low. In this state, when the device to be inspected 40 is lowered and presses the inspection connector, the edge-side conductive path forming portion 11 is greatly pressed as compared with the central conductive path forming portion 11, When the conductive path forming portion 11 disposed on the side of the edge is excessively pressed, it is difficult to maintain stable electrical contact and the life of the pressed portion is greatly shortened.

즉, 종래기술에 따른 검사용 커넥터는 피검사 디바이스가 전체적으로 평판형태를 유지하는 것을 감안하여 제작하고 있는데, 이와 같이 피검사 디바이스의 휨이 발생되는 경우에는 각 도전로 형성부마다 가압력이 상이하게 작용하게 됨으로서 전체적인 검사용 커넥터의 수명에 영향을 미치게 됨은 물론 안정적인 전기적 검사도 어렵다는 문제점이 있다.That is, in the connector for inspection according to the related art, the inspecting device is manufactured in consideration of the fact that the inspecting device maintains a flat plate shape as a whole. When deflection of the device to be inspected occurs in this way, The life of the entire inspection connector is influenced and a stable electrical inspection is also difficult.

1. 대한민국 공개특허공보 제10-2006-0013429호1. Korean Patent Publication No. 10-2006-0013429

본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위하여 창출된 것으로서, 더욱 상세하게는 검사가 요구되는 피검사 디바이스에 휨이 발생되어 있는 경우도 안정적인 전기적 접속이 가능하고 수명이 크게 감소되지 않는 검사용 커넥터를 제공하는 것을 목적으로 한다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above-mentioned problems, and it is an object of the present invention to provide an inspection connector which can stably provide electrical connection even when deflection occurs in an inspected device requiring inspection, .

상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 검사용 커넥터는, 피검사 디바이스와 검사장치의 사이에 배치되어 피검사 디바이스의 단자와 검사장치의 패드를 서로 전기적으로 접속시키기 위한 검사용 커넥터에 있어서, 상기 피검사 디바이스의 단자와 대응되는 위치마다 배치되며 절연성 탄성물질 내에 다수의 도전성 입자가 두께방향으로 배치되어 있는 복수의 제1도전부와, 상기 제1도전부들을 감싸면서 지지하는 제1절연 지지부를 포함하는 제1 이방 도전성 시트;In order to achieve the above object, according to the present invention, there is provided an inspection connector for electrically connecting a terminal of a device to be inspected and a pad of an inspection apparatus, the connector being disposed between the device to be inspected and the inspection apparatus, A plurality of first conductive parts arranged in positions corresponding to terminals of the device to be inspected and having a plurality of conductive particles arranged in a thickness direction in an insulating elastic material and a first insulating supporting part surrounding and supporting the first conductive parts, A first anisotropic conductive sheet;

상기 제1 이방 도전성 시트의 하측에 배치되며 제1절연성 시트에 상기 제1도전부와 대응되는 위치마다 제1전극이 형성되어 있는 제1시트형 커넥터; 및A first sheet-like connector disposed below the first anisotropic conductive sheet and having a first electrode formed on the first insulating sheet at a position corresponding to the first conductive portion; And

상기 제1시트형 커넥터의 하측에 배치되며 상기 제1전극과 대응되는 위치마다 배치되며 절연성 탄성물질 내에 다수의 도전성 입자가 두께방향으로 배치되어 있는 제2도전부와, 상기 제2도전부들을 감싸면서 지지하는 제2절연 지지부를 포함하는 제2 이방 도전성 시트;를 포함하되,A second conductive part disposed below the first sheet-like connector and disposed at a position corresponding to the first electrode and having a plurality of conductive particles arranged in a thickness direction in an insulating elastic material; And a second anisotropically conductive sheet including a second insulating support portion for supporting the second anisotropic conductive sheet,

상기 제1 이방 도전성 시트의 가장자리에 배치된 제1도전부의 두께는, 상기 제1 이방 도전성 시트의 가운데 부위에 배치된 제1도전부의 두께와 다르다.The thickness of the first conductive part disposed at the edge of the first anisotropically conductive sheet is different from the thickness of the first conductive part disposed at the center of the first anisotropic conductive sheet.

상기 검사용 커넥터에서, 상기 제1 이방 도전성 시트의 가장자리에 배치된 제1도전부의 두께는, 상기 제1 이방 도전성 시트의 가운데 부위에 배치된 제1도전부의 두께보다 작을 수 있다.In the connector for inspection, the thickness of the first conductive part disposed at the edge of the first anisotropically conductive sheet may be smaller than the thickness of the first conductive part disposed at the center of the first anisotropic conductive sheet.

상기 검사용 커넥터에서, 상기 제1 이방 도전성 시트의 가장자리에 배치된 제1도전부의 두께는, 상기 제1 이방 도전성 시트의 가운데 부위로 갈수록 증가될 수 있다.In the connector for inspection, the thickness of the first conductive part disposed at the edge of the first anisotropically conductive sheet may be increased toward the center of the first anisotropic conductive sheet.

상기 검사용 커넥터에서, 상기 제1도전부의 표면은, 상기 제1절연 지지부의 표면보다 돌출되어 있으며 , 상기 제1 이방 도전성 시트의 가장자리에서 제1도전부가 제1절연 지지부보다 돌출된 돌출높이는, 상기 제1 이방 도전성 시트의 중앙부위에서 제1도전부가 제1절연 지지부보다 돌출된 돌출높이와 다를 수 있다.The surface of the first conductive part protrudes from the surface of the first insulating supporting part and the protruding height of the first conductive part protruding from the first insulating supporting part at the edge of the first anisotropic conductive sheet, The first conductive portion may be different from the protruding height protruding from the first insulating support portion on the central portion of the first anisotropic conductive sheet.

상기 검사용 커넥터에서,In the inspection connector,

상기 제1 이방 도전성 시트의 가장자리에서 제1도전부가 제1절연 지지부보다 돌출된 돌출높이는, 상기 제1 이방 도전성 시트의 중앙부위에서 제1도전부가 제1절연 지지부보다 돌출된 돌출높이보다 작을 수 있다.The protruding height of the first anisotropic conductive sheet protruding from the first insulating support portion may be smaller than the protruding height of the first anisotropic conductive sheet protruding from the center of the first anisotropic conductive sheet than the first insulative support portion.

상기 검사용 커넥터에서, 상기 제2 이방 도전성 시트의 가장자리에 배치된 제2도전부의 두께는, 상기 제2 이방 도전성 시트의 가운데 부위에 배치된 제2도전부의 두께와 다를 수 있다.In the connector for inspection, the thickness of the second conductive part disposed at the edge of the second anisotropically conductive sheet may be different from the thickness of the second conductive part disposed at the center of the second anisotropic conductive sheet.

상기 검사용 커넥터에서, 상기 제2 이방 도전성 시트의 가장자리에 배치된 제2도전부의 두께는, 상기 제2 이방 도전성 시트의 가운데 부위에 배치된 제2도전부의 두께보다 작을 수 있다.In the connector for inspection, the thickness of the second conductive part disposed at the edge of the second anisotropic conductive sheet may be smaller than the thickness of the second conductive part disposed at the center of the second anisotropic conductive sheet.

상기 검사용 커넥터에서, In the inspection connector,

상기 제2 이방 도전성 시트의 가장자리에 배치된 제2도전부의 두께는, 상기 제2 이방 도전성 시트의 가운데 부위로 갈수록 증가될 수 있다.The thickness of the second conductive part disposed at the edge of the second anisotropic conductive sheet may increase toward the center of the second anisotropic conductive sheet.

상기 검사용 커넥터에서, 상기 제2도전부의 표면은, 상기 제2절연 지지부의 표면보다 돌출되어 있으며 , 상기 제2 이방 도전성 시트의 가장자리에서 제2도전부의 표면이 제2절연 지지부의 표면보다 돌출된 돌출높이는,The surface of the second conductive part protrudes from the surface of the second insulating supporting part and the surface of the second conductive part protrudes from the surface of the second insulating supporting part at the edge of the second anisotropic conductive sheet The projecting height,

상기 제2 이방 도전성 시트의 중앙부위에서 제2도전부의 표면이 제2절연 지지부의 표면보다 돌출된 돌출높이와 다를 수 있다.The surface of the second conductive portion may be different from the protruding height protruding from the surface of the second insulating support portion on the central portion of the second anisotropic conductive sheet.

상기 검사용 커넥터에서, 상기 제2 이방 도전성 시트의 가장자리에서 제2도전부가 제2절연 지지부보다 돌출된 돌출높이는, 상기 제2 이방 도전성 시트의 중앙부위에서 제2도전부가 제2절연 지지부보다 돌출된 돌출높이보다 작을 수 있다.The protruding height of the second anisotropic conductive sheet at the edge of the second anisotropically conductive sheet protruding from the second insulating support portion is larger than the height of the protrusion of the second anisotropically conductive sheet protruding from the second insulating support portion May be less than the height.

상기 검사용 커넥터에서, 상기 제1시트형 커넥터의 가장자리에 배치된 제1전극의 두께는, 상기 제1시트형 커넥터의 가운데 부위에 배치된 제1전극의 두께와 다를 수 있다.In the connector for inspection, the thickness of the first electrode disposed at the edge of the first sheet-like connector may be different from the thickness of the first electrode disposed at the center of the first sheet-like connector.

상기 검사용 커넥터에서, 상기 제1시트형 커넥터의 가장자리에 배치된 제1전극의 두께는, 상기 제1시트형 커넥터의 가운데 부위에 배치된 제1전극의 두께보다 작을 수 있다.In the connector for inspection, the thickness of the first electrode disposed at the edge of the first sheet-like connector may be smaller than the thickness of the first electrode disposed at the center of the first sheet-like connector.

상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 검사용 커넥터는, 피검사 디바이스와 검사장치의 사이에 배치되어 피검사 디바이스의 단자와 검사장치의 패드를 서로 전기적으로 접속시키기 위한 검사용 커넥터에 있어서,In order to achieve the above object, according to the present invention, there is provided an inspection connector for electrically connecting a terminal of a device to be inspected and a pad of an inspection apparatus, the connector being disposed between the device to be inspected and the inspection apparatus,

상기 피검사 디바이스의 단자와 대응되는 위치마다 배치되며 절연성 탄성물질 내에 다수의 도전성 입자가 두께방향으로 배치되어 있는 제1도전부와, 상기 제1도전부들을 감싸면서 지지하는 제1절연 지지부를 포함하는 제1 이방 도전성 시트;A first conductive part disposed at a position corresponding to a terminal of the device to be inspected and having a plurality of conductive particles arranged in a thickness direction in an insulating elastic material and a first insulating supporting part surrounding and supporting the first conductive parts A first anisotropic conductive sheet;

상기 제1 이방 도전성 시트의 하측에 배치되며 절연성 시트에 상기 제1도전부와 대응되는 위치마다 제1전극이 형성되어 있는 시트형 커넥터; 및A sheet-like connector disposed on the lower side of the first anisotropic conductive sheet and having a first electrode formed on the insulating sheet at a position corresponding to the first conductive portion; And

상기 시트형 커넥터의 하측에 배치되며 상기 제1전극과 대응되는 위치마다 배치되며 절연성 탄성물질 내에 다수의 도전성 입자가 두께방향으로 배치되어 있는 제2도전부와, 상기 제2도전부들을 감싸면서 지지하는 제2절연 지지부를 포함하는 제2 이방 도전성 시트;를 포함하되,A second conductive part disposed on the lower side of the sheet-like connector and disposed at a position corresponding to the first electrode and having a plurality of conductive particles arranged in a thickness direction in an insulating elastic material; And a second anisotropically conductive sheet including a second insulating support portion,

상기 제2 이방 도전성 시트의 가장자리에 배치된 제2도전부의 두께는, 상기 제2 이방 도전성 시트의 가운데 부위에 배치된 제2도전부의 두께와 다르다.The thickness of the second conductive portion disposed at the edge of the second anisotropically conductive sheet is different from the thickness of the second conductive portion disposed at the center of the second anisotropic conductive sheet.

상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 검사용 커넥터는, 피검사 디바이스와 검사장치의 사이에 배치되어 피검사 디바이스의 단자와 검사장치의 패드를 서로 전기적으로 접속시키기 위한 검사용 커넥터에 있어서, In order to achieve the above object, according to the present invention, there is provided an inspection connector for electrically connecting a terminal of a device to be inspected and a pad of an inspection apparatus, the connector being disposed between the device to be inspected and the inspection apparatus,

상기 피검사 디바이스의 단자와 대응되는 위치마다 배치되며 절연성 탄성물질 내에 다수의 도전성 입자가 두께방향으로 배치되어 있는 제1도전부와, 상기 제1도전부들을 감싸면서 지지하는 제1절연 지지부를 포함하는 제1 이방 도전성 시트;A first conductive part disposed at a position corresponding to a terminal of the device to be inspected and having a plurality of conductive particles arranged in a thickness direction in an insulating elastic material and a first insulating supporting part surrounding and supporting the first conductive parts A first anisotropic conductive sheet;

상기 제1 이방 도전성 시트의 하측에 배치되며 절연성 시트에 상기 제1도전부와 대응되는 위치마다 제1전극이 형성되어 있는 제1시트형 커넥터; 및A first sheet-like connector disposed below the first anisotropically conductive sheet and having a first electrode formed on an insulating sheet at a position corresponding to the first conductive portion; And

상기 시트형 커넥터의 하측에 배치되며 상기 제1전극과 대응되는 위치마다 배치되며 절연성 탄성물질 내에 다수의 도전성 입자가 두께방향으로 배치되어 있는 제2도전부와, 상기 제2도전부들을 감싸면서 지지하는 제2절연 지지부를 포함하는 제2 이방 도전성 시트;를 포함하되,A second conductive part disposed on the lower side of the sheet-like connector and disposed at a position corresponding to the first electrode and having a plurality of conductive particles arranged in a thickness direction in an insulating elastic material; And a second anisotropically conductive sheet including a second insulating support portion,

상기 시트형 커넥터의 가장자리에 배치된 제1전극의 두께는, 상기 시트형 커넥터의 가운데 부위에 배치된 제1전극의 두께와 다르다.The thickness of the first electrode disposed at the edge of the sheet-like connector differs from the thickness of the first electrode disposed at the center of the sheet-like connector.

상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 검사용 커넥터는, 피검사 디바이스와 검사장치의 사이에 배치되어 피검사 디바이스의 단자와 검사장치의 패드를 서로 전기적으로 접속시키기 위한 검사용 커넥터에 있어서,In order to achieve the above object, according to the present invention, there is provided an inspection connector for electrically connecting a terminal of a device to be inspected and a pad of an inspection apparatus, the connector being disposed between the device to be inspected and the inspection apparatus,

상기 피검사 디바이스의 단자와 대응되는 위치마다 배치되며 절연성 탄성물질 내에 다수의 도전성 입자가 두께방향으로 배치되어 있는 제3도전부와, 상기 제3도전부들을 감싸면서 지지하는 제3절연 지지부를 포함하는 제3 이방 도전성 시트를 포함하되,A third conductive part disposed at a position corresponding to a terminal of the device to be inspected and having a plurality of conductive particles arranged in a thickness direction in an insulating elastic material and a third insulating supporting part surrounding and supporting the third conductive parts And a third anisotropic conductive sheet,

상기 제3 이방 도전성 시트의 가장자리에 배치된 제3도전부의 두께는, 상기 제3 이방 도전성 시트의 가운데 부위에 배치된 제3도전부의 두께와 다르다.The thickness of the third conductive part disposed at the edge of the third anisotropically conductive sheet is different from the thickness of the third conductive part disposed at the center of the third anisotropic conductive sheet.

상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 검사용 커넥터는, 피검사 디바이스와 검사장치의 사이에 배치되어 피검사 디바이스의 단자와 검사장치의 패드를 서로 전기적으로 접속시키기 위한 검사용 커넥터에 있어서,In order to achieve the above object, according to the present invention, there is provided an inspection connector for electrically connecting a terminal of a device to be inspected and a pad of an inspection apparatus, the connector being disposed between the device to be inspected and the inspection apparatus,

상기 피검사 디바이스의 단자와 대응되는 위치마다 배치되며 절연성 탄성물질 내에 다수의 도전성 입자가 두께방향으로 배치되어 있는 제4도전부와, 상기 제4도전부들을 감싸면서 지지하는 제4절연 지지부를 포함하는 제4 이방 도전성 시트; 및 상기 제4 이방 도전성 시트의 하측에 배치되며 절연성 시트에 상기 제4도전부와 대응되는 위치마다 제2전극이 형성되어 있는 제2시트형 커넥터를 포함하되,A fourth conductive part disposed at a position corresponding to a terminal of the device to be inspected and having a plurality of conductive particles arranged in a thickness direction in an insulating elastic material and a fourth insulating supporting part surrounding and supporting the fourth conductive parts A fourth anisotropically conductive sheet; And a second sheet-like connector disposed on the lower side of the fourth anisotropically conductive sheet and having a second electrode formed on the insulating sheet at a position corresponding to the fourth conductive portion,

상기 제2시트형 커넥터의 가장자리에 배치된 제2전극의 두께는, 상기 제2시트형 커넥터의 가운데 부위에 배치된 제2전극의 두께와 다르다.The thickness of the second electrode disposed at the edge of the second sheet-like connector differs from the thickness of the second electrode disposed at the center of the second sheet-like connector.

본 발명은 이방 도전성 시트에서 도전부의 두께를 달리 함으로서 피검사 디바이스에 휨이 발생하게 된 경우에도 전체적인 가압력 면에서 크게 차이가 나지 않도록 하고 이에 따라서 안정적인 전기적 검사가 가능하고, 수명이 전체적으로 크게 저하되지 않는 장점이 있다.The present invention can prevent a significant difference in the overall pressing force even when a deflection occurs in the device to be inspected by varying the thickness of the conductive part in the anisotropic conductive sheet, and thus can perform a stable electrical inspection, There are advantages.

도 1은 종래기술의 검사용 커넥터를 도시한 도면.
도 2 및 도 3은 도 1의 검사용 커넥터의 작동모습을 나타내는 도면.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 검사용 커넥터를 도시한 도면.
도 5는 도 4의 작동모습을 나타내는 도면.
도 6은 본 발명의 다른 실시예에 따른 검사용 커넥터를 도시한 도면.
도 7은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 검사용 커넥터를 도시한 도면.
도 8은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 검사용 커넥터를 도시한 도면.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS Fig. 1 shows a prior art connector for inspection. Fig.
Figs. 2 and 3 are views showing an operation of the inspection connector of Fig. 1. Fig.
4 is a view showing a connector for inspection according to an embodiment of the present invention;
5 is a view showing the operation of Fig.
6 is a view showing a connector for inspection according to another embodiment of the present invention.
7 is a view showing a connector for inspection according to another embodiment of the present invention.
8 is a view showing a connector for inspection according to another embodiment of the present invention.

이하, 본 발명의 일 실시예에 따른 검사용 커넥터를 첨부된 도면을 참조하면서 상세하게 설명한다.Hereinafter, an inspection connector according to an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

본 발명에 따른 검사용 커넥터(100)는, 피검사 디바이스(170)와 검사장치(180)의 사이에 배치되어 피검사 디바이스(170)의 단자(171)와 검사장치(180)의 패드(181)를 서로 전기적으로 접속시키기 위한 것이다.The inspection connector 100 according to the present invention is disposed between the device under test 170 and the inspection device 180 so that the terminals 171 of the device under inspection 170 and the pads 181 ) To each other.

이러한 검사용 커넥터(100)는, 제1 이방 도전성 시트(110)와, 제1시트형 커넥터(120)와, 제2 이방 도전성 시트(130)로 이루어진다.The inspection connector 100 includes a first anisotropic conductive sheet 110, a first sheet-like connector 120, and a second anisotropic conductive sheet 130.

상기 제1 이방 도전성 시트(110)는, 상기 피검사 디바이스(170)의 단자(171)와 대응되는 위치마다 배치되며 절연성 탄성물질 내에 다수의 도전성 입자가 두께방향으로 배치되어 있는 복수의 제1도전부(111)와, 상기 제1도전부(111)들을 감싸면서 지지하는 제1절연 지지부(112)를 포함한다.The first anisotropically conductive sheet 110 is disposed at a position corresponding to the terminal 171 of the device under test 170 and has a plurality of first conductive And a first insulating support 112 for supporting and supporting the first conductive parts 111.

이때 제1도전부(111)를 구성하는 탄성 절연물질로는 탄성 고분자 물질로서는, 가교 구조를 갖는 고분자 물질이 바람직하다. 이러한 탄성 고분자 물질을 얻기 위해 이용할 수 있는 경화성의 고분자 물질 형성 재료로서는, 여러 가지의 것을 이용할 수 있고, 그 구체예로서는, 폴리부타디엔 고무, 천연 고무, 폴리이소프렌 고무, 스티렌-부타디엔 공중합체 고무, 아크릴로니트릴-부타디엔 공중합체 고무 등의 공역(共役) 디엔계 고무 및 이들의 수소 첨가물, 스티렌-부타디엔-디엔블록 공중합체 고무, 스티렌-이소프렌블록 공중합체 등의 블록 공중합체 고무 및 이들의 수소 첨가물, 클로로프렌 고무, 우레탄 고무, 폴리에스테르계 고무, 에피크롤히드린 고무, 실리콘 고무, 에틸렌-프로필렌 공중합체 고무, 에틸렌-프로필렌-디엔 공중합체 고무 등을 들 수 있다. At this time, as the elastic insulation material constituting the first conductive portion 111, a polymer material having a crosslinked structure is preferable as the elastic polymer material. As the curable polymeric substance-forming material that can be used to obtain such an elastic polymer material, various materials can be used. Specific examples thereof include polybutadiene rubber, natural rubber, polyisoprene rubber, styrene-butadiene copolymer rubber, Conjugated diene rubbers such as acrylonitrile-butadiene copolymer rubber and nitrile-butadiene copolymer rubber, and hydrogenated products thereof, block copolymer rubbers such as styrene-butadiene-diene block copolymer rubber and styrene-isoprene block copolymer and hydrogenated products thereof, Rubber, urethane rubber, polyester rubber, epichlorohydrin rubber, silicone rubber, ethylene-propylene copolymer rubber, ethylene-propylene-diene copolymer rubber and the like.

이 중에서 제1 이방 도전성 시트(110)에 내후성이 요구되는 경우에는, 공역 디엔계 고무 이외의 것을 이용하는 것이 바람직하고, 특히 성형 가공성 및 전기 특성의 관점에서 실리콘 고무를 이용하는 것이 바람직하다.When weather resistance is required for the first anisotropic conductive sheet 110, it is preferable to use a material other than the conjugated diene rubber, and in particular, from the viewpoints of moldability and electrical characteristics, it is preferable to use silicone rubber.

상기 도전성 입자서는, 후술하는 방법에 의해 당해 입자를 쉽게 배향시킬 수 있으므로, 자성을 띠는 도전성 입자가 이용된다. 이러한 도전성 입자의 구체예로서는, 철, 코발트, 니켈 등의 자성을 갖는 금속의 입자 혹은 이들 합금의 입자 또는 이들의 금속을 함유하는 입자, 또는 이들의 입자를 코어 입자로 하여, 당해 코어 입자의 표면에 금, 은, 팔라듐, 로듐 등의 도전성이 양호한 금속의 도금을 한 것, 혹은 비자성 금속 입자 혹은 글래스 비드 등의 무기물질 입자 또는 폴리머 입자를 코어 입자로 하여, 당해 코어 입자의 표면에 니켈, 코발트 등의 도전성 자성 금속의 도금을 한 것 등을 들 수 있다.The conductive particles can be easily oriented by the method described below, and thus magnetic particles are used. Specific examples of such conductive particles include particles of metal having magnetic properties such as iron, cobalt, and nickel, particles of these alloys, or particles containing these metals, or particles thereof as core particles, Metal particles or polymer particles such as non-magnetic metal particles or glass beads are used as core particles, and nickel, cobalt, or the like is coated on the surfaces of the core particles, , And the like, and the like.

이들 중에서는 니켈 입자를 코어 입자로 하고, 그 표면에 도전성이 양호한 금 도금을 한 것을 이용하는 것이 바람직하다.Among them, it is preferable to use nickel particles as core particles and gold plating with good conductivity on the surface thereof.

이때, 상기 제1 이방 도전성 시트(110)의 가장자리에 배치된 제1도전부(111)의 두께는, 상기 제1 이방 도전성 시트(110)의 가운데 부위에 배치된 제1도전부(111)의 두께와 다를 수 있다. 구체적으로는 상기 제1 이방 도전성 시트(110)의 가장자리에 배치된 제1도전부(111)의 두께는, 상기 제1 이방 도전성 시트(110)의 가운데 부위에 배치된 제1도전부(111)의 두께보다 작을 수 있다. 또한, 상기 제1 이방 도전성 시트(110)의 가장자리에 배치된 제1도전부(111)의 두께는, 상기 제1 이방 도전성 시트(110)의 가운데 부위로 갈수록 증가될 수 있다. 연속적으로 제1도전부(111)의 두께가 면방향을 따라서 증가되는 것이 가능하지만 불연속적으로 증가되는 것도 가능하다. 예를 들어 제1도전부(111)의 어느 부분은 면방향을 따라서 일정하다가 다른 부분에서 증가되는 것이 가능함은 물론이다. The thickness of the first conductive part 111 disposed at the edge of the first anisotropic conductive sheet 110 may be greater than the thickness of the first conductive part 111 disposed at the center of the first anisotropically conductive sheet 110 Thickness may be different. The thickness of the first conductive part 111 disposed at the edge of the first anisotropic conductive sheet 110 may be greater than the thickness of the first conductive part 111 disposed at the center of the first anisotropically conductive sheet 110, Lt; / RTI > The thickness of the first conductive part 111 disposed at the edge of the first anisotropic conductive sheet 110 may be increased toward the center of the first anisotropic conductive sheet 110. It is possible that the thickness of the first conductive portion 111 continuously increases along the plane direction, but it is also possible to increase discontinuously. For example, it is needless to say that any portion of the first conductive portion 111 is constant along the plane direction but can be increased at other portions.

또한, 상기 제1도전부(111)의 표면은, 상기 제1도전부(111)의 표면은, 상기 제1절연 지지부(112)의 표면보다 돌출되어 있으며, 상기 제1 이방 도전성 시트(110)의 가장자리에서 제1도전부(111)가 제1절연 지지부(112)보다 돌출된 돌출높이는, 상기 제1 이방 도전성 시트(110)의 중앙부위에서 제1도전부(111)가 제1절연 지지부(112)보다 돌출된 돌출높이와 다를 수 있다. 구체적으로 상기 제1 이방 도전성 시트(110)의 가장자리에서 제1도전부(111)가 제1절연 지지부(112)보다 돌출된 돌출높이는, 상기 제1 이방 도전성 시트(110)의 중앙부위에서 제1도전부(111)가 제1절연 지지부(112)보다 돌출된 돌출높이보다 작을 수 있다.The surface of the first conductive part 111 may protrude from the surface of the first insulating support part 112 and the surface of the first conductive part 110 may protrude from the surface of the first insulating support part 112, The protruding height of the first conductive part 111 protruding from the first insulating support part 112 at the edge of the first anisotropically conductive sheet 110 is larger than the protrusion height of the first insulating part 112 And the protrusion height may be different from the protrusion height. The protrusion height of the first conductive part 111 protruding from the edge of the first anisotropically conductive sheet 110 is greater than the protrusion height of the first anisotropic conductive sheet 110 on the center of the first anisotropic conductive sheet 110, The portion 111 may be smaller than the protruding height protruding from the first insulative support portion 112.

구체적으로 도 4에서는 제1도전부(111)의 상면은 상기 제1절연 지지부(112)의 상면보다 동일한 높이로 돌출되어 있으며 제1도전부(111)의 하면이 상기 제1절연 지지부(112)의 하면보다 소정높이 돌출되어 있게 된다. 이때 제1도전부(111)의 하면은 제1 이방 도전성 시트(110)의 중앙부위에서 가장자리쪽으로 갈수록 감소되는 돌출높이를 가지고 있어서 각 제1도전부(111)의 두께(각 도전부의 상면과 하면까지의 거리)를 중앙부위와 가장자리 쪽에서 서로 다르게 한다. 즉, 도 4에서는 제1도전부(111)의 하면의 돌출높이를 조정함으로서 제1도전부(111)의 두께를 변동시킨다.4, the upper surface of the first conductive part 111 is protruded to the same height as the upper surface of the first insulating supporting part 112, and the lower surface of the first conductive part 111 protrudes from the first insulating supporting part 112, As shown in FIG. At this time, the lower surface of the first conductive part 111 has a protruding height decreasing from the center of the first anisotropically conductive sheet 110 toward the edge, so that the thickness of each first conductive part 111 The distance between the center portion and the edge portion is made different from each other. That is, in FIG. 4, the thickness of the first conductive portion 111 is changed by adjusting the protruding height of the lower surface of the first conductive portion 111.

상기 제1절연 지지부(112)는 상기 제1도전부(111)를 지지하면서 상기 도전부를 서로 절연시키는 것으로서 상기 제1도전부(111)와 일체로 연결되어 있으면서 상기 제1도전부(111)를 구성하는 탄성 절연물질과 동일한 소재로 이루어질 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니며 제1도전부(111)와는 다른 소재로 이루어지는 것도 가능하다. 예를 들어 상기 제1도전부(111)를 구성하는 탄성 절연물질보다 탄력성이 좋은 소재를 사용하는 것도 가능하다.The first insulator 112 supports the first conductor 111 and insulates the conductor from the first conductor 111. The first insulator 112 is integrally connected to the first conductor 111, However, the present invention is not limited to this, and it may be made of a material different from that of the first conductive part 111. For example, it is possible to use a material having better resilience than the elastic insulating material constituting the first conductive part 111.

상기 제1시트형 커넥터(120)는, 상기 제1 이방 도전성 시트(110)의 하측에 배치되며 제1절연성 시트(121)에 상기 제1도전부(111)와 대응되는 위치마다 제1전극(122)이 형성되어 있는 것이다. The first sheet-like connector 120 is disposed below the first anisotropically conductive sheet 110 and has a first electrode 122 (see FIG. 1) at a position corresponding to the first conductive portion 111 on the first insulating sheet 121, Is formed.

상기 제1절연성 시트(121)는 상기 피검사 디바이스(170)의 단자(171)와 대응되는 위치마다 복수의 관통공이 형성되며 유연성이 있으면서 절연성의 소재로 이루어지는 것이다. 이러한 제1절연성 시트(121)를 구성하는 재료로는 폴리이미드 수지, 에폭시 수지 등의 열경화성 수지, 폴리에틸렌테레프탈레이트 수지, 폴리부티렌테레프탈레이트 수지 등의 폴리에스테르 수지, 폴리염화비닐 수지, 폴리스티렌수지, 폴리아크릴니트릴 수지, 폴리에틸렌 수지, 폴리프로필렌 수지, 아크릴 수지, 폴리부타디엔 수지, 폴리페닐렌에테르, 폴리페닐렌설파이드, 폴리아미드, 폴리옥시메틸렌 등의 열가소성 수지를 이용할 수 있지만, 폴리이미드 수지가 바람직하다. The first insulating sheet 121 is formed of a flexible and insulating material having a plurality of through holes formed at positions corresponding to the terminals 171 of the device under test 170. Examples of the material constituting the first insulating sheet 121 include thermosetting resin such as polyimide resin and epoxy resin, polyester resin such as polyethylene terephthalate resin and polybutylene terephthalate resin, polyvinyl chloride resin, polystyrene resin, A thermoplastic resin such as polyacrylonitrile resin, polyethylene resin, polypropylene resin, acrylic resin, polybutadiene resin, polyphenylene ether, polyphenylene sulfide, polyamide and polyoxymethylene can be used, but polyimide resin is preferable .

또한, 제1절연성 시트(121)는 이에 한정되는 것은 아니며 메쉬 혹은 부직포를 사용할 수 있으며 구체적으로는 유기 섬유에 의해 형성된 것을 적합하게 이용할 수 있다. 이러한 유기 섬유로서는, 폴리테트라플루오로에틸렌 섬유 등의 불소 수지 섬유, 아라미드 섬유, 폴리에틸렌 섬유, 폴리아릴레이트섬유, 나일론 섬유, 폴리 에스테르 섬유 등을 들 수 있다.In addition, the first insulating sheet 121 is not limited thereto, and a mesh or a nonwoven fabric may be used. Specifically, the first insulating sheet 121 may be formed of organic fibers. Examples of such organic fibers include fluororesin fibers such as polytetrafluoroethylene fibers, aramid fibers, polyethylene fibers, polyarylate fibers, nylon fibers, and polyester fibers.

또한, 유기 섬유로서, 그 선열 팽창 계수가 접속 대상 부재를 형성하는 재료의 선열 팽창 계수와 동등 혹은 근사한 것을 이용함으로써, 당해 이방 도전막의 열팽창이 억제되므로, 온도 변화에 의한 열이력을 받은 경우에도, 접속 대상 부재에 대한 양호한 전기적 접속 상태를 안정적으로 유지할 수 있다.Further, by using the organic fiber having the coefficient of linear thermal expansion equal to or close to the coefficient of linear thermal expansion of the material forming the member to be connected, thermal expansion of the anisotropic conductive film is suppressed, It is possible to stably maintain a good electrical connection state with respect to the member to be connected.

상기 제1전극(122)은, 상기 제1절연성 시트(121)의 상기 관통공에 결합되어 상기 제1절연성 시트(121)의 상면과 상기 제1절연성 시트(121)의 하면보다 돌출되어 있는 것이다. The first electrode 122 is coupled to the through hole of the first insulating sheet 121 and protrudes from the upper surface of the first insulating sheet 121 and the lower surface of the first insulating sheet 121 .

이러한 제1전극(122)을 구성하는 소재로는 도전성이 우수한 강자성체로 구성될 수 있으며, 구체적으로는 철, 니켈, 코발트 또는 이들의 합금 등을 예로 들 수 있다. 또한, 제1전극(122)의 소재가 이에 한정되는 것은 아니며 구리 등을 소재로서 사용하는 것이 가능하다. 상기 제1전극(122)은 피검사 디바이스(170)의 단자(171)와 대응되는 수만큼 제1시트형 커넥터(120)에 부착되어 있으며 각각의 제1전극(122)은 서로 이격되어 배치되어 있게 된다.The first electrode 122 may be made of a ferromagnetic material having excellent conductivity, and examples thereof include iron, nickel, cobalt, or an alloy thereof. In addition, the material of the first electrode 122 is not limited to this, and it is possible to use copper or the like as a material. The first electrodes 122 are attached to the first sheet-like connector 120 by a number corresponding to the terminals 171 of the device under test 170 and the first electrodes 122 are spaced apart from each other do.

상기 제2 이방 도전성 시트(130)는, 상기 제1시트형 커넥터(120)의 하측에 배치되며 상기 제1전극(122)과 대응되는 위치마다 배치되며 절연성 탄성물질 내에 다수의 도전성 입자가 두께방향으로 배치되어 있는 제2도전부(131)와, 상기 제2도전부(131)들을 감싸면서 지지하는 제2절연 지지부(132)를 포함한다.The second anisotropically conductive sheet 130 is disposed below the first sheet-like connector 120 and disposed at a position corresponding to the first electrode 122, and a plurality of conductive particles are arranged in the insulating elastic material in the thickness direction And a second insulating support 132 for supporting and supporting the second conductive parts 131. The second conductive support part 131 includes a second conductive support part 131,

이때 제2도전부(131) 및 제2절연 지지부(132)를 구성하는 소재를 제1도전부(111) 및 제2절연 지지부(132)를 구성하는 소재와 동일할 수 있으므로 자세한 설명은 생략한다.Since the material constituting the second conductive portion 131 and the second insulating supporting portion 132 may be the same as the material constituting the first conductive portion 111 and the second insulating supporting portion 132, detailed description is omitted .

한편, 상기 제2 이방 도전성 시트(130)의 가장자리에 배치된 제2도전부(131)의 두께는, 상기 제2 이방 도전성 시트(130)의 가운데 부위에 배치된 제2도전부(131)의 두께와 다르다. 구체적으로, 상기 제2 이방 도전성 시트(130)의 가장자리에 배치된 제2도전부(131)의 두께는, 상기 제2 이방 도전성 시트(130)의 가운데 부위에 배치된 제2도전부(131)의 두께보다 작을 수 있다. 이때, 상기 제2 이방 도전성 시트(130)의 가장자리에 배치된 제2도전부(131)의 두께는, 상기 제2 이방 도전성 시트(130)의 가운데 부위로 갈수록 증가될 수 있다.The thickness of the second conductive part 131 disposed at the edge of the second anisotropic conductive sheet 130 may be greater than the thickness of the second conductive part 131 disposed at the center of the second anisotropically conductive sheet 130 It is different from the thickness. The thickness of the second conductive part 131 disposed at the edge of the second anisotropic conductive sheet 130 may be greater than the thickness of the second conductive part 131 disposed at the center of the second anisotropically conductive sheet 130, Lt; / RTI > At this time, the thickness of the second conductive part 131 disposed at the edge of the second anisotropic conductive sheet 130 may be increased toward the center of the second anisotropic conductive sheet 130.

또한, 상기 제2도전부(131)의 표면은, 상기 제2절연 지지부(132)의 표면보다 돌출되어 있으며 , 상기 제2 이방 도전성 시트(130)의 가장자리에서 제2도전부(131)의 표면이 제2절연 지지부(132)의 표면보다 돌출된 돌출높이는, 상기 제2 이방 도전성 시트(130)의 중앙부위에서 제2도전부(131)의 표면이 제2절연 지지부(132)의 표면보다 돌출된 돌출높이와 다를 수 있으며, 상기 제2 이방 도전성 시트(130)의 가장자리에서 제2도전부(131)가 제2절연 지지부(132)보다 돌출된 돌출높이는, 상기 제2 이방 도전성 시트(130)의 중앙부위에서 제2도전부(131)가 제2절연 지지부(132)보다 돌출된 돌출높이보다 작은 것이 가능하다.The surface of the second conductive part 131 protrudes from the surface of the second insulating supporting part 132 and the surface of the second conductive part 131 at the edge of the second anisotropically conductive sheet 130 The protruding height of the second insulating support part 132 is larger than that of the second insulating support part 132 when the surface of the second conductive part 131 is protruded from the center of the second anisotropically conductive sheet 130 The protruding height of the second anisotropically conductive sheet 130 may be different from that of the second anisotropic conductive sheet 130. The protrusion height of the second anisotropic conductive sheet 130, The second conductive portion 131 may be smaller than the protruding height protruding from the second insulating support portion 132 on the central portion.

도 4에서는 제2도전부(131)의 하면이 제2절연 지지부(132)보다 돌출된 돌출높이가 동일한 것을 예시하고 있으며, 제2도전부(131)의 하면이 상기 제2절연 지지부(132)보다 돌출된 돌출높이가 중앙부위에서 가장자리 측으로 갈수록 감소되는 것을 예시한다.4 illustrates that the lower surface of the second conductive part 131 protrudes from the second insulating supporting part 132 and the lower surface of the second conductive part 131 contacts the second insulating supporting part 132, The projecting height of the projecting portion is reduced from the center portion to the edge portion side.

도면에서 도면부호 101은 사각프레임을 의미하며, 이러한 사각프레임(101)은 제1 이방 도전성 시트(110), 제1시트형 커넥터(120) 및 제2도전성 시트의 가장자리측에 결합되어 검사장치(180) 측에 고정결합시키는 기능을 수행한다.In the drawing, reference numeral 101 denotes a rectangular frame, which is coupled to the edge side of the first anisotropic conductive sheet 110, the first sheet-like connector 120 and the second conductive sheet, To be fixedly connected.

이러한 본 발명에 다른 검사용 커넥터(100)는 다음과 같은 작용효과를 가진다.The inspection connector 100 according to the present invention has the following operational effects.

먼저, 휨이 발생된 피검사 디바이스(170)를 준비한 후에 이를 통하여 전기적 검사를 수행하는 경우, 피검사 디바이스(170)를 도 4에 도시된 바와 같이 검사용 커넥터(100)의 상측에 배치한 후에 이를 도 5에 도시된 바와 같이 하강시킨 후에 피검사 디바이스(170)를 가압하여 검사용 커넥터(100)의 제1도전부(111)의 상면에 밀착되도록 한다.First, when the inspected device 170 having the deflection is prepared and then the electrical inspection is performed through the defective inspection device 170, the inspected device 170 is disposed on the upper side of the inspection connector 100 as shown in FIG. 4 5, the inspected device 170 is pressed and brought into close contact with the upper surface of the first conductive portion 111 of the connector 100 for inspection.

이때, 제1도전부(111)의 위치는 피검사 디바이스(170)의 휘어짐을 감안하여 중앙부위에서 가장자리측으로 갈수록 감소되는 형태를 가지고 있기 때문에, 피검사 디바이스(170)의 가압력에 의하여 제1도전부(111), 제2도전부(131)의 가압량이 일정하게 유지될 수 있다. 즉, 도 5에 도시된 상태에서 피검사 디바이스(170)를 가압하는 경우 단자(171)의 위치가 중앙에서 가장자리 측으로 갈수로 낮게 위치하는 경우 이에 대응하여 제1도전부(111)의 상면 위치도 각각 다르기 배치되어 있어서 어느 한 제1도전부(111) 또는 제2도전부(131)만 과도하게 가압하는 일이 없게 되고 전체적으로 균등한 가압력으로 가압하게 되며 각 제1도전부(111) 또는 제2도전부(131)의 면방향 팽창량도 거의 일정하게 되는 것이다.In this case, since the position of the first conductive portion 111 is reduced from the center to the edge side in consideration of the warping of the device under test 170, The pressing amount of the first conductive portion 111 and the second conductive portion 131 can be kept constant. 5, when the position of the terminal 171 is located at a low level from the center to the edge side, the upper surface position of the first conductive portion 111 So that any one of the first conductive portions 111 or the second conductive portions 131 is not excessively pressed and is pressed with a uniform pressing force as a whole, and the first conductive portions 111 or the second conductive portions 131 The amount of expansion in the plane direction of the conductive portion 131 is also substantially constant.

이에 따라서 본 발명의 검사용 커넥터(100)는 이방 도전성 시트가 두개 이상이 적층된 구조로 되어 있고 각 이방 도전성 시트의 사이에는 각 단자(171)별로 상하 통전이 되는 필름이나 메쉬로 이루어진 시트형 커넥터가 배치되어 상하 이방 도전성 시트 간에 전기적 신호가 잘 전달 되도록 한다.Accordingly, the inspection connector 100 of the present invention has a structure in which two or more anisotropically conductive sheets are stacked, and a sheet-like connector made of a film or mesh, which is vertically energized for each terminal 171, So that electrical signals can be transmitted between the upper and the lower anisotropic conductive sheets.

또한, 각 이방 도전성 시트의 도전부는 상하 돌출이 되어 있는 것이 있으며 면방향으로 각각의 돌출 높이를 조정하면 제1, 2 이방 도전성 시트가 결합된 검사용 소켓은 상단의 높이를 다르게 할 수 있다.The conductive portions of the respective anisotropic conductive sheets are vertically protruded. When the height of each protrusion is adjusted in the surface direction, the height of the top of the test socket to which the first and second anisotropic conductive sheets are coupled can be made different.

이에 따라서 단자(171)의 높이 편차가 있는 피검사 디바이스(170)를 검사할 때 각 위치에 맞춰 도전부 상단의 높이를 다르게 제작하면 피검사 디바이스(170)가 검사용 소켓에 접촉할 때 각 도전부에 가해지는 압력과 스트로크(가압높이)의 편차를 줄여 균일한 접촉이 되도록 할 수 있다.When the inspected device 170 having the height deviation of the terminal 171 is inspected, if the height of the top of the conductive part is made different according to each position, when the inspected device 170 contacts the inspection socket, It is possible to reduce the deviation of the pressure applied to the part and the stroke (pressurized height), thereby achieving uniform contact.

이러한 본 발명의 검사용 커넥터(100)는, 다음과 같이 변형되는 것도 가능하다.The inspection connector 100 of the present invention can be modified as follows.

상술한 실시예에서는 검사용 커넥터(100)에서 제1 이방 도전성 시트(110) 및 제2 이방 도전성 시트(130)의 제1도전부(111) 및 제2도전부(131)의 돌출높이를 각각 조정하여 피검사 디바이스(170)의 단자(171) 높이 편차를 극복하는 것을 예시하고 있으나, 이에 한정되는 것은 아니며 도 6에 도시된 바와 같이 제1시트형 커넥터(120)의 제1전극(122)의 두께를 변경하여 전체적인 검사용 커넥터(100)의 두께를 조정하는 것도 가능하다.The protruding heights of the first conductive portion 111 and the second conductive portion 131 of the first anisotropically conductive sheet 110 and the second anisotropically conductive sheet 130 in the inspection connector 100 are set to be 6, the first electrode 122 of the first sheet-like connector 120 has a height difference of a height of the terminal 171 of the inspected device 170. However, the present invention is not limited thereto, It is also possible to adjust the thickness of the entire inspection connector 100 by changing the thickness.

예를 들어 상기 시트형 커넥터의 가장자리에 배치된 제1전극(122)의 두께는, 상기 시트형 커넥터의 가운데 부위에 배치된 제1전극(122)의 두께와 다른 것이 가능하며, 구체적으로는 상기 시트형 커넥터의 가장자리에 배치된 제1전극(122)의 두께를, 상기 시트형 커넥터의 가운데 부위에 배치된 제1전극(122)의 두께보다 작게 함으로서 전체적인 검사용 커넥터(100)의 두께를 조정하는 것이 가능함은 물론이다.For example, the thickness of the first electrode 122 disposed at the edge of the sheet-like connector may be different from the thickness of the first electrode 122 disposed at the center of the sheet-like connector, It is possible to adjust the thickness of the entire inspection connector 100 by making the thickness of the first electrode 122 disposed at the edge of the sheet-like connector smaller than the thickness of the first electrode 122 disposed at the center of the sheet- Of course.

또한, 상술한 실시예에서는 2개의 이방 도전성 시트는 상하 적층한 형태를 예시하고 있으나, 도 7에 도시된 바와 같이 상기 피검사 디바이스(170)의 단자(171)와 대응되는 위치마다 배치되며 절연성 탄성물질 내에 다수의 도전성 입자가 두께방향으로 배치되어 있는 제3도전부(141)와, 상기 제3도전부(141)들을 감싸면서 지지하는 제3절연 지지부(142)를 포함하는 제3 이방 도전성 시트(140)를 포함하되, 상기 제3 이방 도전성 시트(140)의 가장자리에 배치된 제3도전부(141)의 두께는, 상기 제3 이방 도전성 시트(140)의 가운데 부위에 배치된 제3도전부(141)의 두께와 다른 것도 가능한다. 즉, 단일의 제3 이방 도전성 시트(140)에서 제3도전부(141)의 두께를 달리함으로서 휨이 발생된 피검사 디바이스(170)의 전기적 검사에 사용하는 것이 가능함은 물론이다.7, the two anisotropic conductive sheets are stacked at positions corresponding to the terminals 171 of the device under test 170, and the insulating elasticity A third anisotropically conductive sheet 141 including a third conductive part 141 in which a plurality of conductive particles are arranged in the thickness direction of the material and a third insulating supporting part 142 that surrounds and supports the third conductive parts 141, The third anisotropic conductive sheet 140 may be formed on the third anisotropically conductive sheet 140. The thickness of the third anisotropic conductive sheet 140 disposed on the edge of the third anisotropic conductive sheet 140 may be, The thickness of the portion 141 may be different. That is, it is of course possible to use the third anisotropic conductive sheet 140 for electrical inspection of the inspected device 170 in which the warping is generated by varying the thickness of the third conductive part 141 in the single third anisotropic conductive sheet 140.

또한, 이와 함께 도 8에 도시된 바와 같이, 상기 피검사 디바이스(170)의 단자(171)와 대응되는 위치마다 배치되며 절연성 탄성물질 내에 다수의 도전성 입자가 두께방향으로 배치되어 있는 제4도전부(151)와, 상기 제4도전부(151)들을 감싸면서 지지하는 제4절연 지지부(152)를 포함하는 제4 이방 도전성 시트(150); 및 상기 제4 이방 도전성 시트(150)의 하측에 배치되며 절연성 시트에 상기 제4도전부(151)와 대응되는 위치마다 제2전극(162)이 형성되어 있는 제2시트형 커넥터(160)를 포함하되, 상기 제2시트형 커넥터(160)의 가장자리에 배치된 제2전극(162)의 두께는, 상기 제2시트형 커넥터(160)의 가운데 부위에 배치된 제2전극(162)의 두께와 다른 것도 가능하다.As shown in FIG. 8, a plurality of conductive particles are disposed in positions corresponding to the terminals 171 of the device under test 170, and a plurality of conductive particles are arranged in the insulating elastic material in the thickness direction. A fourth anisotropically conductive sheet 150 including a first insulating support 151 and a fourth insulating support 152 surrounding and supporting the fourth conductive portions 151; And a second sheet-like connector (160) disposed below the fourth anisotropic conductive sheet (150) and having a second electrode (162) formed on the insulating sheet at a position corresponding to the fourth conductive portion (151) The thickness of the second electrode 162 disposed at the edge of the second sheet-like connector 160 is different from the thickness of the second electrode 162 disposed at the center of the second sheet-like connector 160 It is possible.

한편, 도면에서는 구체적으로 도시하지 않았으나, 단일의 이방 도전성 시트의 시트형 커넥터의 조합에서 전극의 두께를 동일하게 유지하고 이방 도전성 시트의 도전부 두께만을 변경하여 전체적인 검사용 시트의 두께를 조정하는 것이 가능함은 물론이다.On the other hand, although not specifically shown in the drawing, it is possible to adjust the thickness of the entire inspection sheet by changing the thickness of the conductive part of the anisotropically conductive sheet while maintaining the thickness of the electrodes in the same combination of the sheet-like connectors of a single anisotropically conductive sheet. Of course.

이상에서 다양한 실시예를 들어 본 발명을 설명하였으나, 이에 한정되는 것은 아니며 본 발명의 권리범위로부터 합리적으로 해석될 수 있는 것이라면 무엇이나 본 발명의 권리범위에 속하는 것은 당연하다.  While the present invention has been described with reference to the particular embodiments, it is to be understood that the invention is not limited to the disclosed embodiments, but, on the contrary, is intended to cover various modifications and equivalent arrangements included within the spirit and scope of the appended claims.

100...검사용 커넥터 110...제1 이방 도전성 시트
111...제1도전부 112...제1절연 지지부
120...제1시트형 커넥터 121...제1절연성 시트
122...제1전극 130...제2 이방 도전성 시트
131...제2도전부 132...제2절연 지지부
140...제3 이방 도전성 시트 141...제3도전부
142...제3절연 지지부 150...제4 이방 도전성 시트
151...제4도전부 152...제4절연 지지부
160...제2시트형 커넥터 161...제2절연성 시트
162...제2전극100 ... Inspection connector 110 ... First anisotropic conductive sheet
111 ... first conductive portion 112 ... first insulating support portion
120 ... first sheet-like connector 121 ... first insulating sheet
122 ... first electrode 130 ... second anisotropic conductive sheet
131 ... second conductive part 132 ... second insulating support part
140 ... Third anisotropic conductive sheet 141 ... Third conductive part
142 ... third insulating support part 150 ... fourth anisotropic conductive sheet
151 ... fourth conductive portion 152 ... fourth insulating support portion
160 ... second sheet-like connector 161 ... second insulating sheet
162 ... second electrode

Claims (16)

피검사 디바이스와 검사장치의 사이에 배치되어 피검사 디바이스의 단자와 검사장치의 패드를 서로 전기적으로 접속시키기 위한 검사용 커넥터에 있어서,
상기 피검사 디바이스의 단자와 대응되는 위치마다 배치되며 절연성 탄성물질 내에 다수의 도전성 입자가 두께방향으로 배치되어 있는 복수의 제1도전부와, 상기 제1도전부들을 감싸면서 지지하는 제1절연 지지부를 포함하는 제1 이방 도전성 시트;
상기 제1 이방 도전성 시트의 하측에 배치되며 제1절연성 시트에 상기 제1도전부와 대응되는 위치마다 제1전극이 형성되어 있는 제1시트형 커넥터; 및
상기 제1시트형 커넥터의 하측에 배치되며 상기 제1전극과 대응되는 위치마다 배치되며 절연성 탄성물질 내에 다수의 도전성 입자가 두께방향으로 배치되어 있는 제2도전부와, 상기 제2도전부들을 감싸면서 지지하는 제2절연 지지부를 포함하는 제2 이방 도전성 시트;를 포함하되,
상기 제1 이방 도전성 시트의 가장자리에 배치된 제1도전부의 두께는, 상기 제1 이방 도전성 시트의 가운데 부위에 배치된 제1도전부의 두께와 다른 것을 특징으로 하는 검사용 커넥터.A testing connector for electrically connecting a terminal of a device to be inspected and a pad of an inspecting device to each other, the insulated connector being disposed between the inspected device and the inspecting device,
A plurality of first conductive parts disposed in positions corresponding to terminals of the device to be inspected and having a plurality of conductive particles arranged in a thickness direction in an insulating elastic material, A first anisotropic conductive sheet comprising:
A first sheet-like connector disposed below the first anisotropic conductive sheet and having a first electrode formed on the first insulating sheet at a position corresponding to the first conductive portion; And
A second conductive part disposed below the first sheet-like connector and disposed at a position corresponding to the first electrode and having a plurality of conductive particles arranged in a thickness direction in an insulating elastic material; And a second anisotropically conductive sheet including a second insulating support portion for supporting the second anisotropic conductive sheet,
Wherein a thickness of the first conductive portion disposed at an edge of the first anisotropic conductive sheet is different from a thickness of the first conductive portion disposed at a center portion of the first anisotropic conductive sheet. 제1항에 있어서,
상기 제1 이방 도전성 시트의 가장자리에 배치된 제1도전부의 두께는, 상기 제1 이방 도전성 시트의 가운데 부위에 배치된 제1도전부의 두께보다 작은 것을 특징으로 하는 검사용 커넥터.The method according to claim 1,
Wherein the thickness of the first conductive portion disposed at the edge of the first anisotropic conductive sheet is smaller than the thickness of the first conductive portion disposed at the center of the first anisotropic conductive sheet. 제1항에 있어서,
상기 제1 이방 도전성 시트의 가장자리에 배치된 제1도전부의 두께는, 상기 제1 이방 도전성 시트의 가운데 부위로 갈수록 증가되는 것을 특징으로 하는 검사용 커넥터.The method according to claim 1,
Wherein a thickness of the first conductive part disposed at an edge of the first anisotropic conductive sheet is increased toward the center of the first anisotropic conductive sheet. 제1항에 있어서,
상기 제1도전부의 표면은, 상기 제1절연 지지부의 표면보다 돌출되어 있으며 , 상기 제1 이방 도전성 시트의 가장자리에서 제1도전부가 제1절연 지지부보다 돌출된 돌출높이는, 상기 제1 이방 도전성 시트의 중앙부위에서 제1도전부가 제1절연 지지부보다 돌출된 돌출높이와 다른 것을 특징으로 하는 검사용 커넥터.The method according to claim 1,
The surface of the first conductive part protrudes from the surface of the first insulating support part and the protruding height of the first conductive part protruding from the first insulating support part at the edge of the first anisotropic conductive sheet, And the first conductive portion on the central portion is different from the protruding height protruded from the first insulating support portion. 제4항에 있어서,
상기 제1 이방 도전성 시트의 가장자리에서 제1도전부가 제1절연 지지부보다 돌출된 돌출높이는, 상기 제1 이방 도전성 시트의 중앙부위에서 제1도전부가 제1절연 지지부보다 돌출된 돌출높이보다 작은 것을 특징으로 하는 검사용 커넥터.5. The method of claim 4,
The protrusion height of the first anisotropically conductive sheet protruding from the first insulating support portion at the edge of the first anisotropically conductive sheet is smaller than the protrusion height of the first anisotropic conductive sheet protruding from the center of the first anisotropic conductive sheet, The connector for inspection. 제1항에 있어서,
상기 제2 이방 도전성 시트의 가장자리에 배치된 제2도전부의 두께는, 상기 제2 이방 도전성 시트의 가운데 부위에 배치된 제2도전부의 두께와 다른 것을 특징으로 하는 검사용 커넥터.The method according to claim 1,
Wherein the thickness of the second conductive portion disposed at the edge of the second anisotropically conductive sheet is different from the thickness of the second conductive portion disposed at the center of the second anisotropic conductive sheet. 제6항에 있어서,
상기 제2 이방 도전성 시트의 가장자리에 배치된 제2도전부의 두께는, 상기 제2 이방 도전성 시트의 가운데 부위에 배치된 제2도전부의 두께보다 작은 것을 특징으로 하는 검사용 커넥터.The method according to claim 6,
Wherein the thickness of the second conductive portion disposed at the edge of the second anisotropically conductive sheet is smaller than the thickness of the second conductive portion disposed at the center of the second anisotropic conductive sheet. 제6항에 있어서,
상기 제2 이방 도전성 시트의 가장자리에 배치된 제2도전부의 두께는, 상기 제2 이방 도전성 시트의 가운데 부위로 갈수록 증가되는 것을 특징으로 하는 검사용 커넥터.The method according to claim 6,
Wherein a thickness of the second conductive portion disposed at an edge of the second anisotropic conductive sheet is increased toward the center of the second anisotropic conductive sheet. 제1항에 있어서,
상기 제2도전부의 표면은, 상기 제2절연 지지부의 표면보다 돌출되어 있으며 , 상기 제2 이방 도전성 시트의 가장자리에서 제2도전부의 표면이 제2절연 지지부의 표면보다 돌출된 돌출높이는,
상기 제2 이방 도전성 시트의 중앙부위에서 제2도전부의 표면이 제2절연 지지부의 표면보다 돌출된 돌출높이와 다른 것을 특징으로 하는 검사용 커넥터.The method according to claim 1,
The surface of the second conductive part protrudes from the surface of the second insulating support part and the protruding height of the second conductive part at the edge of the second anisotropic conductive sheet protrudes from the surface of the second insulating support part,
And the surface of the second conductive portion on the central portion of the second anisotropic conductive sheet is different from the surface of the second insulating support portion protruding from the surface of the second insulating support portion. 제9항에 있어서,
상기 제2 이방 도전성 시트의 가장자리에서 제2도전부가 제2절연 지지부보다 돌출된 돌출높이는, 상기 제2 이방 도전성 시트의 중앙부위에서 제2도전부가 제2절연 지지부보다 돌출된 돌출높이보다 작은 것을 특징으로 하는 검사용 커넥터.10. The method of claim 9,
The protrusion height at which the second conductive portion protrudes from the edge of the second anisotropically conductive sheet is smaller than the protrusion height at which the second conductive portion protrudes from the central portion of the second anisotropically conductive sheet, The connector for inspection. 제1항에 있어서,
상기 제1시트형 커넥터의 가장자리에 배치된 제1전극의 두께는, 상기 제1시트형 커넥터의 가운데 부위에 배치된 제1전극의 두께와 다른 것을 특징으로 하는 검사용 커넥터.The method according to claim 1,
And the thickness of the first electrode disposed at the edge of the first sheet-like connector is different from the thickness of the first electrode disposed at the center of the first sheet-like connector. 제11항에 있어서,
상기 제1시트형 커넥터의 가장자리에 배치된 제1전극의 두께는, 상기 제1시트형 커넥터의 가운데 부위에 배치된 제1전극의 두께보다 작은 것을 특징으로 하는 검사용 커넥터.12. The method of claim 11,
The thickness of the first electrode disposed at the edge of the first sheet-like connector is smaller than the thickness of the first electrode disposed at the center of the first sheet-like connector. 피검사 디바이스와 검사장치의 사이에 배치되어 피검사 디바이스의 단자와 검사장치의 패드를 서로 전기적으로 접속시키기 위한 검사용 커넥터에 있어서,
상기 피검사 디바이스의 단자와 대응되는 위치마다 배치되며 절연성 탄성물질 내에 다수의 도전성 입자가 두께방향으로 배치되어 있는 제1도전부와, 상기 제1도전부들을 감싸면서 지지하는 제1절연 지지부를 포함하는 제1 이방 도전성 시트;
상기 제1 이방 도전성 시트의 하측에 배치되며 절연성 시트에 상기 제1도전부와 대응되는 위치마다 제1전극이 형성되어 있는 시트형 커넥터; 및
상기 시트형 커넥터의 하측에 배치되며 상기 제1전극과 대응되는 위치마다 배치되며 절연성 탄성물질 내에 다수의 도전성 입자가 두께방향으로 배치되어 있는 제2도전부와, 상기 제2도전부들을 감싸면서 지지하는 제2절연 지지부를 포함하는 제2 이방 도전성 시트;를 포함하되,
상기 제2 이방 도전성 시트의 가장자리에 배치된 제2도전부의 두께는, 상기 제2 이방 도전성 시트의 가운데 부위에 배치된 제2도전부의 두께와 다른 것을 특징으로 하는 검사용 커넥터.A testing connector for electrically connecting a terminal of a device to be inspected and a pad of an inspecting device to each other, the insulated connector being disposed between the inspected device and the inspecting device,
A first conductive part disposed at a position corresponding to a terminal of the device to be inspected and having a plurality of conductive particles arranged in a thickness direction in an insulating elastic material and a first insulating supporting part surrounding and supporting the first conductive parts A first anisotropic conductive sheet;
A sheet-like connector disposed on the lower side of the first anisotropic conductive sheet and having a first electrode formed on the insulating sheet at a position corresponding to the first conductive portion; And
A second conductive part disposed on the lower side of the sheet-like connector and disposed at a position corresponding to the first electrode and having a plurality of conductive particles arranged in a thickness direction in an insulating elastic material; And a second anisotropically conductive sheet including a second insulating support portion,
Wherein the thickness of the second conductive portion disposed at the edge of the second anisotropically conductive sheet is different from the thickness of the second conductive portion disposed at the center of the second anisotropic conductive sheet. 피검사 디바이스와 검사장치의 사이에 배치되어 피검사 디바이스의 단자와 검사장치의 패드를 서로 전기적으로 접속시키기 위한 검사용 커넥터에 있어서,
상기 피검사 디바이스의 단자와 대응되는 위치마다 배치되며 절연성 탄성물질 내에 다수의 도전성 입자가 두께방향으로 배치되어 있는 제1도전부와, 상기 제1도전부들을 감싸면서 지지하는 제1절연 지지부를 포함하는 제1 이방 도전성 시트;
상기 제1 이방 도전성 시트의 하측에 배치되며 절연성 시트에 상기 제1도전부와 대응되는 위치마다 제1전극이 형성되어 있는 제1시트형 커넥터; 및
상기 제1시트형 커넥터의 하측에 배치되며 상기 제1전극과 대응되는 위치마다 배치되며 절연성 탄성물질 내에 다수의 도전성 입자가 두께방향으로 배치되어 있는 제2도전부와, 상기 제2도전부들을 감싸면서 지지하는 제2절연 지지부를 포함하는 제2 이방 도전성 시트;를 포함하되,
상기 제1시트형 커넥터의 가장자리에 배치된 제1전극의 두께는, 상기 제1시트형 커넥터의 가운데 부위에 배치된 제1전극의 두께와 다른 것을 특징으로 하는 검사용 커넥터.A testing connector for electrically connecting a terminal of a device to be inspected and a pad of an inspecting device to each other, the insulated connector being disposed between the inspected device and the inspecting device,
A first conductive part disposed at a position corresponding to a terminal of the device to be inspected and having a plurality of conductive particles arranged in a thickness direction in an insulating elastic material and a first insulating supporting part surrounding and supporting the first conductive parts A first anisotropic conductive sheet;
A first sheet-like connector disposed below the first anisotropically conductive sheet and having a first electrode formed on an insulating sheet at a position corresponding to the first conductive portion; And
A second conductive part disposed below the first sheet-like connector and disposed at a position corresponding to the first electrode and having a plurality of conductive particles arranged in a thickness direction in an insulating elastic material; And a second anisotropically conductive sheet including a second insulating support portion for supporting the second anisotropic conductive sheet,
And the thickness of the first electrode disposed at the edge of the first sheet-like connector is different from the thickness of the first electrode disposed at the center of the first sheet-like connector. 피검사 디바이스와 검사장치의 사이에 배치되어 피검사 디바이스의 단자와 검사장치의 패드를 서로 전기적으로 접속시키기 위한 검사용 커넥터에 있어서,
상기 피검사 디바이스의 단자와 대응되는 위치마다 배치되며 절연성 탄성물질 내에 다수의 도전성 입자가 두께방향으로 배치되어 있는 제3도전부와, 상기 제3도전부들을 감싸면서 지지하는 제3절연 지지부를 포함하는 제3 이방 도전성 시트를 포함하되,
상기 제3 이방 도전성 시트의 가장자리에 배치된 제3도전부의 두께는, 상기 제3 이방 도전성 시트의 가운데 부위에 배치된 제3도전부의 두께와 다른 것을 특징으로 하는 검사용 커넥터.A testing connector for electrically connecting a terminal of a device to be inspected and a pad of an inspecting device to each other, the insulated connector being disposed between the inspected device and the inspecting device,
A third conductive part disposed at a position corresponding to a terminal of the device to be inspected and having a plurality of conductive particles arranged in a thickness direction in an insulating elastic material and a third insulating supporting part surrounding and supporting the third conductive parts And a third anisotropic conductive sheet,
Wherein the thickness of the third conductive part disposed at the edge of the third anisotropically conductive sheet is different from the thickness of the third conductive part disposed at the center of the third anisotropic conductive sheet. 피검사 디바이스와 검사장치의 사이에 배치되어 피검사 디바이스의 단자와 검사장치의 패드를 서로 전기적으로 접속시키기 위한 검사용 커넥터에 있어서,
상기 피검사 디바이스의 단자와 대응되는 위치마다 배치되며 절연성 탄성물질 내에 다수의 도전성 입자가 두께방향으로 배치되어 있는 제4도전부와, 상기 제4도전부들을 감싸면서 지지하는 제4절연 지지부를 포함하는 제4 이방 도전성 시트; 및
상기 제4 이방 도전성 시트의 하측에 배치되며 절연성 시트에 상기 제4도전부와 대응되는 위치마다 제2전극이 형성되어 있는 제2시트형 커넥터를 포함하되,
상기 제2시트형 커넥터의 가장자리에 배치된 제2전극의 두께는, 상기 제2시트형 커넥터의 가운데 부위에 배치된 제2전극의 두께와 다른 것을 특징으로 하는 검사용 커넥터.A testing connector for electrically connecting a terminal of a device to be inspected and a pad of an inspecting device to each other, the insulated connector being disposed between the inspected device and the inspecting device,
A fourth conductive part disposed at a position corresponding to a terminal of the device to be inspected and having a plurality of conductive particles arranged in a thickness direction in an insulating elastic material and a fourth insulating supporting part surrounding and supporting the fourth conductive parts A fourth anisotropically conductive sheet; And
And a second sheet-like connector disposed on the lower side of the fourth anisotropic conductive sheet and having a second electrode formed on the insulating sheet at a position corresponding to the fourth conductive portion,
The thickness of the second electrode disposed at the edge of the second sheet-like connector is different from the thickness of the second electrode disposed at the center of the second sheet-like connector.
KR1020150012252A 2015-01-26 2015-01-26 Test connector KR101614472B1 (en)

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