KR101606284B1 - Electrical connection device having porous insulating sheet with through hole and test socket - Google Patents

Electrical connection device having porous insulating sheet with through hole and test socket Download PDF

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Abstract

The present invention relates to an electrical connection device electrically connecting between a device to be tested and a test apparatus, comprising: a first supporting sheet configured for a porous insulating sheet of which a plurality of penetrating holds is formed on each location corresponded to a connection terminal of the device to be tested; a first elastic sheet comprising a conducting unit which is formed as an elastic material on a lower part of the first supporting sheet, and formed as a conducting particle is condensed on a location corresponded to the penetrating hole and an insulator which formed adjacent on the conducting unit and insulates and supports the conducting unit; a second supporting sheet comprising a porous insulating sheet in which a plurality of penetrating hole is formed on each location corresponded to a connection terminal of the device to be tested; and a second elastic sheet composing a conducting unit which is formed as the elastic material on a lower part of the second supporting sheet, and formed as a conducting particle is condensed on a location corresponded to the penetrating hole and the insulator which is formed adjacent on the conducting unit and insulates and supports the conducting unit. The second elastic sheet is positioned to be attached on the first elastic sheet, such that the penetrating hole of the first supporting sheet and the penetrating hole of the second supporting sheet is positioned in a row.

Description

관통 홀이 형성된 다공성 절연시트를 갖는 전기적 접속체 및 테스트 소켓{Electrical connection device having porous insulating sheet with through hole and test socket}Technical Field [0001] The present invention relates to an electrical connector having a porous insulating sheet having a through hole and a test socket,

본 발명은 전기 소자의 검사 등에 이용될 수 있는 전기적 접속체(electrical connection device)에 관한 것으로서, 특히 피검사 소자와 검사 장치를 전기적으로 접속하여 연결하는 전기적 접속체와 그 전기적 접속체를 포함하는 테스트 소켓에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an electrical connection device that can be used for inspection of an electric device and the like. More particularly, the present invention relates to an electrical connection device for electrically connecting and inspecting a device to be inspected and an inspection device, Lt; / RTI >

반도체 소자 등의 전기적 특성 검사를 위해 피검사 소자와 검사 장치를 접속하는 테스트용 소켓이 많이 사용되고 있다. 이러한 테스트용 소켓은 피검사 소자의 접속단자와 검사 장치의 패드를 서로 연결시켜 전기적인 신호가 양방향으로 흐를 수 있도록 하는 것이다.BACKGROUND ART A test socket for connecting an inspected device to an inspection device is widely used for electrical characteristics testing of semiconductor devices and the like. These test sockets connect the connection terminals of the device to be inspected and the pads of the inspecting device so that electrical signals can flow in both directions.

테스트용 소켓의 내부에 사용되는 접촉 수단으로서는 탄성 도전시트 또는 포고 핀(pogo pin)이 이용될 수 있으며, 탄성 도전시트를 사용한 전기적 접속체의 일례를 도 1에 나타내었다.An elastic conductive sheet or a pogo pin can be used as the contact means used for the inside of the test socket, and an example of the electrical connecting member using the elastic conductive sheet is shown in Fig.

도 1에 나타낸 바와 같이, 전기적 접속체(100)는 검사 장치(200)의 위에 탑재되는 것으로서, 도전패드(130)가 형성된 지지시트(110)와, 상기 지지시트(110)의 하측에 배치되는 탄성시트(120)로 이루어지며, 프레임(220) 및 가이드 핀(230)에 의해 검사 장치(200)에 정렬 및 고정된다.1, the electrical connector 100 is mounted on the inspection apparatus 200 and includes a support sheet 110 on which a conductive pad 130 is formed and a support sheet 110 on a lower side of the support sheet 110 And is made of an elastic sheet 120 and is aligned and fixed to the inspection apparatus 200 by the frame 220 and the guide pin 230.

탄성시트(120)는 두께 방향으로는 전기적인 흐름이 가능하게 하고 두께 방향과 수직인 면 방향으로는 전기적인 흐름이 불가능하게 하는 것으로서, 탄성 압축되어 피검사 소자(300)의 접속단자(310)로부터 가해지는 충격력을 흡수할 수 있도록 설계된다. 탄성시트(120)는 피검사 소자(300)의 접속단자(310)와 검사 장치(200)의 패드(210) 사이에 배치되는 도전부(121)와, 상기 도전부(121)를 절연 및 지지하는 절연부(122)로 이루어진다. 절연부(122)는 실리콘 고무와 같은 탄성 물질로 이루어지고, 도전부(121)는 탄성 물질 내에 다수의 도전입자가 함유된 형태로 이루어진다.The elastic sheet 120 elastically compresses the elastic sheet 120 to allow the electrical current to flow in the thickness direction and not to flow in the plane direction perpendicular to the thickness direction, So as to absorb the impact force exerted by the impact force. The elastic sheet 120 includes a conductive part 121 disposed between the connection terminal 310 of the device under test 300 and the pad 210 of the inspection device 200 and a conductive part 121 insulated and supported And an insulating portion 122 for connecting the electrodes. The insulating portion 122 is made of an elastic material such as silicone rubber, and the conductive portion 121 is formed in a form in which a large number of conductive particles are contained in the elastic material.

한편, 지지시트(110)는 탄성시트(120)의 상면에 부착되어 도전패드(130)를 지지하면서 절연성을 유지시키는 역할을 한다. 최근에 이러한 지지시트(110)가 탄성시트(120)에 더욱 견고하게 고정되도록 하기 위해, 메쉬(mesh) 또는 부직포 등의 다공성 절연시트를 사용하는 경우가 증가하고 있다.The support sheet 110 is attached to the upper surface of the elastic sheet 120 to support the conductive pad 130 and maintain the insulation property. Recently, a porous insulating sheet such as a mesh or nonwoven fabric has been increasingly used in order to firmly fix the supporting sheet 110 to the elastic sheet 120.

이 경우, 다공성 절연시트(140)는 도 2에 나타낸 바와 같이 도전패드(130)에 일체로 결합되거나, 도 3에 나타낸 바와 같이 탄성시트(120)의 내부에 삽입되는 구조로 이루어진다. In this case, the porous insulating sheet 140 is formed integrally with the conductive pad 130 as shown in FIG. 2 or inserted into the elastic sheet 120 as shown in FIG.

일례로서, 한국등록특허 제10-1151880호(특허문헌 1)에 의하면, 다공성의 그물망 형태로 이루어지는 메쉬 시트와 메쉬 시트에 일체적으로 연결되는 전극에 대해 개시하고 있으며, 한국등록특허 제10-1204941호(특허문헌 2)에 의하면, 도전패드가 다공성 절연시트의 공극을 채우면서 시트부재의 상면과 하면으로부터 돌출되어 시트부재에 일체로 결합된 구조를 개시하고 있다.As an example, Korean Patent No. 10-1151880 (Patent Document 1) discloses an electrode which is integrally connected to a mesh sheet and a mesh sheet which are formed in the form of a porous network, and Korean Patent No. 10-1204941 (Patent Document 2) discloses a structure in which a conductive pad protrudes from the upper surface and the lower surface of a sheet member while filling the voids of the porous insulating sheet, and is integrally joined to the sheet member.

그러나 다공성 절연시트를 이용한 종래의 테스트용 소켓의 경우, 내구성이나 제작 용이성 등에서 장점이 있으나, 미세 피치나 고전류 특성을 갖도록 하는 데에 있어서 다공성 절연시트의 활용도는 거의 없다.However, the conventional test socket using the porous insulating sheet is advantageous in terms of durability and ease of fabrication, but the porous insulating sheet is hardly utilized in providing fine pitch and high current characteristics.

특허문헌 1: 한국등록특허 제10-1151880호Patent Document 1: Korean Patent No. 10-1151880 특허문헌 2: 한국등록특허 제10-1204941호Patent Document 2: Korean Patent No. 10-1204941

본 발명은 상기한 종래의 다공성 절연시트를 이용한 테스트 소켓용 전기적 접속체의 성능을 개선하기 위한 것으로서, 관통 홀이 형성된 다공성 절연시트를 이용하여, 전기적 접속체의 전기적 특성과 내구성 등을 향상시키는 것을 그 목적으로 한다.
The present invention is to improve the performance of the electrical connector for a test socket using the above-described conventional porous insulating sheet. It is an object of the present invention to improve the electrical characteristics and durability of an electrical connecting body by using a porous insulating sheet having through- It is for that purpose.

상기한 기술적 과제를 해결하기 위한 본 발명에 따른 전기적 접속체는, 피검사 소자와 검사 장치를 전기적으로 연결하는 전기적 접속체로서, 상기 피검사 소자의 접속단자와 대응되는 위치마다 다수의 관통 홀이 형성된 다공성 절연시트로 이루어진 제1 지지시트; 상기 제1 지지시트의 하측에 탄성물질로서 형성되고, 상기 관통 홀에 대응하는 위치에 도전성 입자가 응집되어 형성된 도전부와, 상기 도전부에 인접하게 형성되어 상기 도전부를 절연 및 지지하는 절연부로 이루어진 제1 탄성시트; 상기 피검사 소자의 접속단자와 대응되는 위치마다 다수의 관통 홀이 형성된 다공성 절연시트로 이루어진 제2 지지시트; 및 상기 제2 지지시트의 하측에 탄성물질로서 형성되고, 상기 관통 홀에 대응하는 위치에 도전성 입자가 응집되어 형성된 도전부와, 상기 도전부에 인접하게 형성되어 상기 도전부를 절연 및 지지하는 절연부로 이루어진 제2 탄성시트를 포함하고; 상기 제1 지지시트의 관통 홀과 상기 제2 지지시트의 관통 홀이 일렬로 배치되도록, 상기 제1 지지시트 위에 상기 제2 탄성시트가 부착되어 배치되어 있다.According to an aspect of the present invention, there is provided an electrical connection body for electrically connecting an element to be inspected and an inspection apparatus, wherein a plurality of through holes are provided at positions corresponding to connection terminals of the element to be inspected A first support sheet made of a porous insulating sheet formed; A conductive part formed as an elastic material below the first support sheet and formed by agglomerating conductive particles at a position corresponding to the through hole and an insulating part formed adjacent to the conductive part to insulate and support the conductive part A first elastic sheet; A second support sheet made of a porous insulating sheet having a plurality of through holes formed at positions corresponding to connection terminals of the device to be inspected; A conductive part formed as an elastic material below the second support sheet and formed by agglomerating conductive particles at a position corresponding to the through hole; and an insulating part formed adjacent to the conductive part to insulate and support the conductive part And a second elastic sheet formed on the second elastic sheet; The second elastic sheet is disposed on the first support sheet so that the through holes of the first support sheet and the through holes of the second support sheet are arranged in a line.

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상기한 기술적 과제를 해결하기 위한 본 발명에 따른 또 다른 전기적 접속체는, 피검사 소자와 검사 장치를 전기적으로 연결하는 전기적 접속체로서, 상기 피검사 소자의 접속단자와 대응되는 위치마다 다수의 관통 홀이 형성된 다공성 절연시트로 이루어진 제1 지지시트; 상기 제1 지지시트의 하측에 탄성물질로서 형성되고, 상기 관통 홀에 대응하는 위치에 도전성 입자가 응집되어 형성된 도전부와, 상기 도전부에 인접하게 형성되어 상기 도전부를 절연 및 지지하는 절연부로 이루어진 제1 탄성시트; 상기 피검사 소자의 접속단자와 대응되는 위치마다 다수의 관통 홀이 형성된 다공성 절연시트로 이루어진 제2 지지시트; 상기 제2 지지시트의 하측에 탄성물질로서 형성되고, 상기 관통 홀에 대응하는 위치에 도전성 입자가 응집되어 형성된 도전부와, 상기 도전부에 인접하게 형성되어 상기 도전부를 절연 및 지지하는 절연부로 이루어진 제2 탄성시트; 및 탄성물질로서 형성되고, 상기 관통 홀에 대응하는 위치에 도전성 입자가 응집되어 형성된 도전부와, 상기 도전부에 인접하게 형성되어 상기 도전부를 절연 및 지지하는 절연부로 이루어진 제3 탄성시트를 포함하여 이루어지고; 상기 제1 지지시트의 관통 홀, 상기 제2 지지시트의 관통 홀 및 제3 탄성시트의 도전부가 일렬로 배치되도록, 상기 제1 지지시트 위에 상기 제2 탄성시트가 부착되어 배치되고, 제2 지지시트 위에 제3 탄성시트가 부착되어 배치된다.
상기 다공성 절연시트는 절연성의 유기섬유 또는 다공성 실리콘 필름인 것이 바람직하다.
상기한 본 발명에 따른 전기적 접속체들의 제2 탄성시트의 도전부는, 상기 제1 탄성시트의 도전부보다 고밀도로 형성되는 것이 바람직하다.
상기 제2 탄성시트의 도전부를 형성하는 도전성 입자는 상기 제1 탄성시트의 도전부를 형성하는 도전성 입자보다 직경이 작은 것이 바람직하다.
또한, 상기한 기술적 과제를 해결하기 위해 본 발명은 상기 전기적 접속체를 포함하는 테스트 소켓을 제공한다.According to another aspect of the present invention, there is provided an electrical connecting body for electrically connecting an element to be inspected and an inspection apparatus, A first support sheet made of a porous insulating sheet having holes formed therein; A conductive part formed as an elastic material below the first support sheet and formed by agglomerating conductive particles at a position corresponding to the through hole and an insulating part formed adjacent to the conductive part to insulate and support the conductive part A first elastic sheet; A second support sheet made of a porous insulating sheet having a plurality of through holes formed at positions corresponding to connection terminals of the device to be inspected; A conductive portion formed as an elastic material below the second support sheet and formed by agglomerating conductive particles at a position corresponding to the through hole and an insulating portion formed adjacent to the conductive portion to insulate and support the conductive portion A second elastic sheet; And a third elastic sheet formed as an elastic material and having a conductive portion formed by aggregating conductive particles at a position corresponding to the through hole and an insulating portion formed adjacent to the conductive portion to insulate and support the conductive portion, ; The through holes of the first support sheet, the through holes of the second support sheet, and the conductive portions of the third elastic sheet are arranged in a line, the second elastic sheet is attached and disposed on the first support sheet, A third elastic sheet is attached and disposed on the sheet.
The porous insulating sheet is preferably an insulating organic fiber or a porous silicon film.
It is preferable that the conductive portion of the second elastic sheet of the electrical contact members according to the present invention is formed at a higher density than the conductive portion of the first elastic sheet.
The conductive particles forming the conductive portion of the second elastic sheet are preferably smaller in diameter than the conductive particles forming the conductive portion of the first elastic sheet.
According to another aspect of the present invention, there is provided a test socket including the electrical connection body.

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본 발명에 따른 테스트 소켓용 전기적 접속체 및 그 테스트 소켓은 다음과 같은 효과를 기대할 수 있다.The electrical connector for a test socket and the test socket thereof according to the present invention can expect the following effects.

먼저, 관통 홀이 형성된 다공성 절연시트를 이용하여 전기적 접속체를 제작함으로써, 관통 홀이 도전성 입자를 정렬시키는 역할을 하게 되고 관통 홀 사이로 도전성 입자가 응집되어, 고밀도의 도전 패드를 형성할 수 있다. 따라서 전기적 접속체가 고전류의 우수한 특성을 나타낼 수 있다.First, by manufacturing the electrical connecting body using the porous insulating sheet having the through holes, the through holes serve to align the conductive particles, and the conductive particles aggregate between the through holes, thereby forming the high density conductive pad. Therefore, the electrical connecting body can exhibit excellent characteristics of high current.

다음으로, 다공성 절연시트로 지지시트를 형성함으로써 시트와 탄성물질의 결합력이 강화되어, 피검자 소자의 접속단자 사이의 간격이 좁은 경우에도 전기적 접속체의 내구성이 향상될 수 있다. Next, by forming the supporting sheet with the porous insulating sheet, the bonding force between the sheet and the elastic material is strengthened, so that the durability of the electrical connecting body can be improved even when the interval between the connecting terminals of the test subject element is narrow.

또한, 다수의 다공성 절연시트를 적층하고, 탄성시트의 도전성 입자의 밀도를 위치에 따라 고밀도화함으로써, 전기적 접속체가 우수한 고전류의 특성을 나타낼 수 있다.
Further, by stacking a plurality of porous insulating sheets and densifying the density of the conductive particles of the elastic sheet in accordance with the positions, the electrical connector can exhibit excellent high current characteristics.

도 1은 종래의 테스트 소켓용 전기적 접속체를 개략적으로 나타내는 단면도.
도 2는 다공성 절연시트를 사용하는 종래의 테스트 소켓용 전기적 접속체의 일례를 나타내는 단면도.
도 3은 다공성 절연시트를 사용하는 종래의 테스트 소켓용 전기적 접속체의 다른 일례를 나타내는 단면도.
도 4는 본 발명의 실시예에 따른 관통 홀이 형성된 다공성 절연시트를 나타내는 평면도.
도 5 내지 도 7는 본 발명의 실시예에 따른 전기적 접속체가 금형 내에서 제조되는 과정을 나타내는 단면도.
도 8은 본 발명의 실시예에 따른 전기적 접속체를 나타내는 단면도.
도 9는 본 발명의 변형예에 따른 전기적 접속체를 나타내는 단면도.
도 10은 본 발명의 또 다른 변형예에 따른 전기적 접속체를 나타내는 단면도.1 is a cross-sectional view schematically showing a conventional electrical connector for a test socket;
2 is a cross-sectional view showing an example of a conventional electrical connector for a test socket using a porous insulating sheet.
3 is a cross-sectional view showing another example of a conventional electrical connector for a test socket using a porous insulating sheet.
4 is a plan view showing a porous insulating sheet having a through hole according to an embodiment of the present invention.
5 to 7 are cross-sectional views illustrating a process of manufacturing an electrical connecting member in a mold according to an embodiment of the present invention.
8 is a sectional view showing an electrical contact according to an embodiment of the present invention.
9 is a sectional view showing an electrical contact according to a modified example of the present invention.
10 is a cross-sectional view showing an electrical contact according to still another modification of the present invention.

이하, 첨부한 도면을 참고하여 본 발명의 바람직한 실시예에 대해 설명한다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

본 발명의 실시예에 따른 테스트 소켓용 전기적 접속체의 제조 방법을 도 4 내지 6에 나타내었다.A method of manufacturing an electrical connector for a test socket according to an embodiment of the present invention is shown in Figs.

먼저, 도 4에 나타낸 바와 같이, 다공성 절연시트에 피검사 소자(300)의 접속단자(310)와 대응되는 위치마다 다수의 관통 홀(411)을 형성하여 지지시트(410)를 형성한다. 이러한 관통 홀(411)은 레이저 또는 기계적인 가공에 의하여 형성할 수 있다.First, as shown in FIG. 4, a plurality of through holes 411 are formed in the porous insulating sheet at positions corresponding to the connection terminals 310 of the device under test 300 to form the support sheet 410. The through holes 411 can be formed by laser or mechanical processing.

다공성 절연시트는 다공성의 그물망 형태로 이루어지는 것으로서, 절연성을 가지면서 유기섬유 또는 다공성 실리콘 필름으로 형성된 것이 바람직하며, 이러한 유기섬유로는 폴리테트라플루오로에틸렌 수지 등의 불소 수지 섬유, 아라미드 섬유, 폴리에틸렌 섬유, 폴리아릴레이트 섬유, 나일론 섬유, 폴리에스테르 섬유 등이 사용될 수 있다.The porous insulating sheet is formed in the form of a porous mesh, and is preferably formed of an organic fiber or a porous silicon film with insulating properties. Examples of such organic fibers include fluororesin fibers such as polytetrafluoroethylene resin, aramid fibers, polyethylene fibers , Polyarylate fibers, nylon fibers, polyester fibers and the like can be used.

다음으로, 도 5에 나타낸 바와 같이 내부 공간이 비어있는 금형(500) 내에 상기 지지시트(410)를 삽입하여 배치시킨다. 금형(500)의 상부 및 하부에는 피검사 소자(300)의 접속단자(310)와 대응되는 위치마다 강자성체층(510)이 형성되어 있으며, 지지시트(410)의 관통 홀(411)은 강자성체층(510)과 대응되는 위치에 배치된다.Next, as shown in FIG. 5, the support sheet 410 is inserted and arranged in the mold 500 in which the inner space is empty. The upper and lower portions of the mold 500 are provided with a ferromagnetic layer 510 at positions corresponding to the connection terminals 310 of the device under test 300. The through holes 411 of the support sheet 410 are formed on the ferromagnetic layer (510).

다음으로, 도 6에 나타낸 바와 같이 상기 금형(500) 내에 도전성 입자(423)가 함유되어 있는 액상의 탄성 물질(424)을 충전한다. 탄성 물질로는 가교 구조를 갖는 내열성의 고분자 물질이 바람직하다. 예를 들어, 액상 실리콘 고무, 고경도의 우레탄 수지, 에폭시계 수지 및 아크릴계 수지 등이 사용될 수 있다.Next, as shown in Fig. 6, a liquid-like elastic material 424 containing the conductive particles 423 is filled in the mold 500. Then, as shown in Fig. The elastic material is preferably a heat-resistant polymer material having a crosslinked structure. For example, a liquid silicone rubber, a high-hardness urethane resin, an epoxy resin, and an acrylic resin may be used.

다음으로, 상기 강자성체층(510)을 통해 금형(500)의 두께 방향으로 자장(magnetic field)을 가하여, 도 7에 나타낸 바와 같이, 도전성 입자(423)가 두께 방향으로 배치되도록 한다. 즉, 자장에 의하여 도전성 입자(423)가 피검자 소자(300)의 접속단자(310)에 대응되는 위치마다 일렬로 배치된다. 이때, 도 4에 나타낸 지지시트(410)의 관통 홀(411)이 도전성 입자(423)를 정렬(align)시키는 역할을 하게 되어, 관통 홀(411) 사이로 도전성 입자(423)가 고밀도로 응집될 수 있다. Next, a magnetic field is applied in the thickness direction of the mold 500 through the ferromagnetic layer 510 so that the conductive particles 423 are arranged in the thickness direction as shown in FIG. That is, the conductive particles 423 are arranged in a line by the magnetic field at each position corresponding to the connection terminal 310 of the test subject element 300. At this time, the through holes 411 of the support sheet 410 shown in FIG. 4 align the conductive particles 423, so that the conductive particles 423 are aggregated at high density between the through holes 411 .

다음으로, 가열 등의 방법으로 탄성 물질(424)을 경화시켜, 관통 홀(411)이 형성된 다공성 절연시트가 삽입된 전기적 접속체(400)를 제조할 수 있다. Next, the elastic material 424 is cured by heating or the like to produce the electrical connecting member 400 into which the porous insulating sheet with the through-hole 411 is inserted.

도 8에 상기한 본 발명의 실시예에 따라 제조된 테스트 소켓용 전기적 접속체를 나타내었다. 도 8에 나타낸 바와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 전기적 접속체는 관통 홀(411)이 형성된 다공성 절연시트로 이루어진 지지시트(410)와, 상기 지지시트(410)의 하측에 배치되고 탄성물질로 이루어진 탄성시트(420)를 포함한다. 8 shows an electrical connector for a test socket manufactured according to the embodiment of the present invention. 8, the electrical connecting body according to the embodiment of the present invention includes a supporting sheet 410 made of a porous insulating sheet having a through hole 411 formed thereon, And an elastic sheet 420 made of polypropylene.

지지시트(410)의 관통 홀(411)은 피검사 소자(300)의 접속단자(310)에 대응하는 위치에 형성된다.The through hole 411 of the support sheet 410 is formed at a position corresponding to the connection terminal 310 of the device under test 300. [

탄성시트(420)는 상기 관통 홀(411)에 대응하는 위치에 도전성 입자가 응집되어 형성되는 도전부(421)와, 상기 도전부(421)에 인접하게 형성되어 도전부(421)를 절연 및 지지하는 절연부(422)로 이루어진다.The elastic sheet 420 includes a conductive part 421 formed by cohering conductive particles at a position corresponding to the through hole 411 and a conductive part 421 formed adjacent to the conductive part 421, And an insulating portion 422 for supporting.

상기와 같은 본 발명의 전기적 접속체(400)는 다공성 절연시트를 이용함으로써 도전부(421) 사이가 미세한 경우에도 충분한 내구성을 유지할 수 있으며, 관통 홀(411) 사이에 도전성 입자가 응집되어 고밀도의 도전성 패드를 형성할 수 있다.The electrical connection member 400 of the present invention as described above can maintain sufficient durability even when the space between the conductive parts 421 is fine by using the porous insulating sheet and the conductive particles are agglomerated between the through holes 411, A conductive pad can be formed.

한편, 상기한 본 발명의 실시예에 따라 제조된 전기적 접속체를 이용하여, 변형된 형태의 전기적 접속체를 제조할 수 있다.On the other hand, a deformed electrical connection body can be manufactured by using the electrical connection body manufactured according to the embodiment of the present invention described above.

먼저, 도 9에 나타낸 바와 같이, 상기 실시예에 따라 제조된 2개의 전기적 접속체(400)를 접착하여, 2개의 지지시트(410a, 410b)와 2개의 탄성시트(420a, 430b)를 갖는 구조로 형성할 수 있다. First, as shown in FIG. 9, two electrical connecting bodies 400 manufactured according to the above embodiment are bonded to form a structure having two support sheets 410a and 410b and two elastic sheets 420a and 430b .

이때, 제1 탄성시트(420a)의 도전부(421a)와 제2 탄성시트(420b)의 도전부(421b)와의 도전성 입자의 함량을 서로 다르게 형성할 수 있다. 즉, 제2 탄성시트(420b)의 도전부(421b)를 제1 탄성시트(420a)의 도전부(421a)보다 고밀도로 형성함으로써, 도전성이 강화되어 전기적 접속력이 증가된다. At this time, the content of conductive particles between the conductive portion 421a of the first elastic sheet 420a and the conductive portion 421b of the second elastic sheet 420b may be different from each other. That is, by forming the conductive portion 421b of the second elastic sheet 420b at a higher density than the conductive portion 421a of the first elastic sheet 420a, the electrical conductivity is enhanced and the electrical connection force is increased.

이 경우, 제2 탄성시트(420b)의 도전부(421b)에 충전되는 도전성 입자를, 제1 탄성시트(420a)의 도전부(421a)에 충전되는 도전성 입자보다 직경이 작은 것으로 함으로써, 제2 탄성시트(420b)의 도전부(421b)를 고밀도로 형성할 수도 있다. 즉, 제2 탄성시트(420b)의 도전부(421b)의 공극을 줄임으로써 고밀도로 형성할 수도 있다.In this case, by making the conductive particles filled in the conductive portion 421b of the second elastic sheet 420b smaller in diameter than the conductive particles filled in the conductive portion 421a of the first elastic sheet 420a, The conductive portion 421b of the elastic sheet 420b may be formed at a high density. That is, it can be formed at a high density by reducing the air gap of the conductive portion 421b of the second elastic sheet 420b.

또 다른 형태로서, 도 9에 나타낸 2개 전기적 접속체 위에, 다공성 절연시트로 된 지지시트를 포함하지 않는 탄성시트(420c)를 추가로 부착한 형태로 형성할 수도 있다. 이를 도 10에 나타내었다. 도 10에 나타낸 전기적 접속체는, 다공성 절연시트(410a, 410b)에 의해 구분되는 3개의 층으로 이루어진 도전부(421a, 421b, 421c)를 포함하고 있으며, 도전부 421b가 도전부 421a 및 421c보다 고밀도로 형성된다.
In another embodiment, the elastic sheet 420c not including the support sheet made of the porous insulating sheet may be additionally attached on the two electrical connecting bodies shown in Fig. This is shown in Fig. 10 includes conductive portions 421a, 421b, and 421c formed of three layers separated by the porous insulating sheets 410a and 410b, and the conductive portion 421b includes conductive portions 421a and 421c And is formed at a high density.

이상 설명한 본 발명에 따른 전기적 접속체 및 그 테스트 소켓은 반도체 소자 등의 검사를 위한 테스트용 소켓에 가장 적합하게 적용될 수 있으나, 테스트용 소켓으로 한정되는 것은 아니며, 소자 또는 장치 사이에서 전기적 연결을 필요로 하는 여러 기술 분야에 적용될 수 있다.The electrical contact and the test socket according to the present invention can be most suitably applied to test sockets for testing semiconductor devices and the like, but they are not limited to test sockets and need electrical connection between devices or devices The present invention can be applied to various technical fields.

본 발명은 상기한 바람직한 실시예 및 변형예와 첨부한 도면을 참조하여 설명되었지만, 본 발명의 사상 및 범위 내에서 상이한 실시예를 구성할 수도 있다. 따라서 본 발명의 범위는 첨부된 청구범위에 의해 정해지며, 본 명세서에 기재된 특정 실시예에 의해 한정되지 않는 것으로 해석되어야 한다.Although the present invention has been described with reference to the preferred embodiments and modifications and the accompanying drawings, it is to be understood that the present invention may be embodied in many different forms without departing from the spirit or essential characteristics thereof. Accordingly, the scope of the present invention is defined by the appended claims, and is not to be construed as limited to the specific embodiments described herein.

100, 400: 전기적 접속체
110, 410, 410a, 410b : 지지시트
120, 420, 420a, 420b, 420c: 탄성시트
121, 421, 421a, 431b, 421c: 도전부
122, 422: 절연부 130: 도전패드
140: 다공성 절연시트 200: 검사 장치
210: 패드 220: 프레임
230 가이드 핀 300: 피검사 소자
310: 접속단자 411: 관통 홀
423: 도전성 입자 424: 액상의 탄성 물질
500: 금형 510: 강자성체층100, 400: Electrical connection body
110, 410, 410a, 410b:
120, 420, 420a, 420b, 420c:
121, 421, 421a, 431b, 421c:
122, 422: insulation part 130: conductive pad
140: Porous insulation sheet 200: Inspection device
210: pad 220: frame
230 Guide pin 300: Inspected element
310: connection terminal 411: through hole
423: conductive particles 424: liquid elastic material
500: mold 510: ferromagnetic layer

Claims (10)

삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 피검사 소자와 검사 장치를 전기적으로 연결하는 전기적 접속체로서,
상기 피검사 소자의 접속단자와 대응되는 위치마다 다수의 관통 홀이 형성된 다공성 절연시트로 이루어진 제1 지지시트;
상기 제1 지지시트의 하측에 탄성물질로서 형성되고, 상기 관통 홀에 대응하는 위치에 도전성 입자가 응집되어 형성된 도전부와, 상기 도전부에 인접하게 형성되어 상기 도전부를 절연 및 지지하는 절연부로 이루어진 제1 탄성시트;
상기 피검사 소자의 접속단자와 대응되는 위치마다 다수의 관통 홀이 형성된 다공성 절연시트로 이루어진 제2 지지시트; 및
상기 제2 지지시트의 하측에 탄성물질로서 형성되고, 상기 관통 홀에 대응하는 위치에 도전성 입자가 응집되어 형성된 도전부와, 상기 도전부에 인접하게 형성되어 상기 도전부를 절연 및 지지하는 절연부로 이루어진 제2 탄성시트를 포함하고,
상기 제1 지지시트의 관통 홀과 제2 지지시트의 관통 홀이 일렬로 배치되도록, 상기 제1 지지시트 위에 상기 제2 탄성시트가 부착되어 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 전기적 접속체.
An electrical connecting body for electrically connecting a device to be inspected and a testing apparatus,
A first supporting sheet made of a porous insulating sheet having a plurality of through holes per position corresponding to connection terminals of the device to be inspected;
A conductive part formed as an elastic material below the first support sheet and formed by agglomerating conductive particles at a position corresponding to the through hole and an insulating part formed adjacent to the conductive part to insulate and support the conductive part A first elastic sheet;
A second support sheet made of a porous insulating sheet having a plurality of through holes formed at positions corresponding to connection terminals of the device to be inspected; And
A conductive portion formed as an elastic material below the second support sheet and formed by agglomerating conductive particles at a position corresponding to the through hole and an insulating portion formed adjacent to the conductive portion to insulate and support the conductive portion And a second elastic sheet,
Wherein the second elastic sheet is disposed on the first support sheet so that the through holes of the first support sheet and the through holes of the second support sheet are arranged in a line.
피검사 소자와 검사 장치를 전기적으로 연결하는 전기적 접속체로서,
상기 피검사 소자의 접속단자와 대응되는 위치마다 다수의 관통 홀이 형성된 다공성 절연시트로 이루어진 제1 지지시트;
상기 제1 지지시트의 하측에 탄성물질로서 형성되고, 상기 관통 홀에 대응하는 위치에 도전성 입자가 응집되어 형성된 도전부와, 상기 도전부에 인접하게 형성되어 상기 도전부를 절연 및 지지하는 절연부로 이루어진 제1 탄성시트;
상기 피검사 소자의 접속단자와 대응되는 위치마다 다수의 관통 홀이 형성된 다공성 절연시트로 이루어진 제2 지지시트;
상기 제2 지지시트의 하측에 탄성물질로서 형성되고, 상기 관통 홀에 대응하는 위치에 도전성 입자가 응집되어 형성된 도전부와, 상기 도전부에 인접하게 형성되어 상기 도전부를 절연 및 지지하는 절연부로 이루어진 제2 탄성시트; 및
탄성물질로서 형성되고, 상기 관통 홀에 대응하는 위치에 도전성 입자가 응집되어 형성된 도전부와, 상기 도전부에 인접하게 형성되어 상기 도전부를 절연 및 지지하는 절연부로 이루어진 제3 탄성시트를 포함하여 이루어지고,
상기 제1 지지시트의 관통 홀, 제2 지지시트의 관통 홀 및 상기 제3 탄성시트의 도전부가 일렬로 배치되도록, 상기 제1 지지시트 위에 상기 제2 탄성시트가 부착되어 배치되고, 제2 지지시트 위에 제3 탄성시트가 부착되어 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 전기적 접속체.
An electrical connecting body for electrically connecting a device to be inspected and a testing apparatus,
A first supporting sheet made of a porous insulating sheet having a plurality of through holes per position corresponding to connection terminals of the device to be inspected;
A conductive part formed as an elastic material below the first support sheet and formed by agglomerating conductive particles at a position corresponding to the through hole and an insulating part formed adjacent to the conductive part to insulate and support the conductive part A first elastic sheet;
A second support sheet made of a porous insulating sheet having a plurality of through holes formed at positions corresponding to connection terminals of the device to be inspected;
A conductive portion formed as an elastic material below the second support sheet and formed by agglomerating conductive particles at a position corresponding to the through hole and an insulating portion formed adjacent to the conductive portion to insulate and support the conductive portion A second elastic sheet; And
And a third elastic sheet formed as an elastic material and having a conductive portion formed by aggregating conductive particles at a position corresponding to the through hole and an insulating portion formed adjacent to the conductive portion to insulate and support the conductive portion under,
The second elastic sheet is attached and arranged on the first support sheet so that the through holes of the first support sheet, the through holes of the second support sheet, and the conductive portions of the third elastic sheet are arranged in a line, Wherein the third elastic sheet is disposed on the sheet.
청구항 5 또는 청구항 6에 있어서,
상기 다공성 절연시트는 절연성의 유기섬유 또는 다공성 실리콘 필름인 것을 특징으로 하는 전기적 접속체.
The method according to claim 5 or 6,
Wherein the porous insulating sheet is an insulating organic fiber or a porous silicon film.
청구항 5 또는 청구항 6에 있어서,
상기 제2 탄성시트의 도전부는 상기 제1 탄성시트의 도전부보다 고밀도로 형성된 것을 특징으로 하는 전기적 접속체.
The method according to claim 5 or 6,
Wherein the conductive portion of the second elastic sheet is formed at a higher density than the conductive portion of the first elastic sheet.
청구항 5 또는 청구항 6에 있어서,
상기 제2 탄성시트의 도전부를 형성하는 도전성 입자는 상기 제1 탄성시트의 도전부를 형성하는 도전성 입자보다 직경이 작은 것을 특징으로 하는 전기적 접속체.
The method according to claim 5 or 6,
Wherein the conductive particles forming the conductive portion of the second elastic sheet are smaller in diameter than the conductive particles forming the conductive portion of the first elastic sheet.
청구항 5 또는 청구항 6에 기재된 전기적 접속체를 포함하는 테스트 소켓.A test socket comprising the electrical contact according to claim 5 or claim 6.
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