KR101600739B1 - 기판 케이스 세정 장치 - Google Patents

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Abstract

<과제> 바깥 공기에 노출된 외부 포드에 부착된 오염 물질이 내부 포드를 오염시키지 않게 하여 양자를 세정할 수 있도록 하여 세정 정밀도의 향상을 도모한다.
<해결 수단> 내부에 기판을 수용하는 내부 포드 N과, 내부에 내부 포드 N을 수용하는 외부 포드 M을 구비하는 기판 케이스 C를 기판이 빈 상태에서 세정하는 것으로, 청정 공간을 형성하는 부스(10)를 구비하고, 부스(10) 내에 외부 포드 M의 외부 베이스 Mb 및 외부 쉘 Ms의 각 부품을 분리한 상태로 수용하여 세정하는 제1 세정 탱크(40)와, 내부 포드 N의 내부 베이스 Nb 및 내부 쉘 Ns의 각 부품을 분리한 상태로 수용하여 세정하는 제2 세정 탱크(50)를 설치하고, 이들 각 부품을 대응하는 제1 세정 탱크(40) 및 제2 세정 탱크(50)에 대해서 반송을 행하는 반송 기구를 구비한다.

Description

기판 케이스 세정 장치{SUBSTRATE-CASE CLEANING DEVICE}
본 발명은 전자 부품의 회로 패턴을 전사할 때에 사용되는 마스크 기판이나 웨이퍼 등의 반도체 기판 등의 기판을 보관 혹은 운반할 때에 사용되는 기판 케이스를 세정하는 기판 케이스 세정 장치에 관한 것이다.
종래, 이런 종류의 기판 케이스 세정 장치로서는, 예를 들면 특허 문헌 1(일본국 특허공개 2005-109523호 공보)에 게재된 것이 알려져 있다. 도 22에 나타내듯이, 이 기판 케이스 세정 장치 Sa는 베이스(base) Cb와 이 베이스 Cb를 덮는 쉘(shell) Cs로 이루어지고, 내부에 기판(도시하지 않음)을 수용하는 기판 케이스 C를 기판이 빈 상태에서 세정한다. 기판 케이스 세정 장치 Sa는 청정 공간을 형성하는 부스(booth)(200)를 구비하고 있고, 이 부스(200) 내에 베이스 Cb 및 쉘 Cs의 각 부품을 분리한 상태로 수용하여 세정하는 세정 탱크(201)가 설치되어 있다. 세정 탱크(tank)(201)는 상방으로 개방하는 개구를 가진 탱크 본체(202)와, 탱크 본체(202)의 개구를 개폐하는 뚜껑(203)을 구비하고 있다. 부스(200)의 외부에는 기판 케이스 C를 재치(載置)하는 재치대(204)가 설치되어 있다. 암 로봇(arm robot)(205)이 재치대(204)에 재치된 기판 케이스 C를 파지 핸드(hand)(207)로 파지하여 부스(200)의 내부에 설치된 지지대(206)로 반송한다. 그리고, 암 로봇(205)이 지지대(206)에 지지된 기판 케이스 C의 쉘 Cs를 파지 핸드(207)로 파지하여 세정 탱크(201)의 탱크 본체(202) 내로 반송해 두고, 기판 케이스 C의 베이스 Cb를 세정 탱크(201)의 뚜껑(203)으로 반송하여 세트(set)한다. 그 후, 뚜껑(203)을 닫은 상태에서 쉘 Cs 및 베이스 Cb가 탱크 본체(202) 내에서 세정된다. 세정이 종료되면 세정 탱크(201)의 뚜껑(203)이 열리고, 암 로봇(205)이 기판 케이스 C의 베이스 Cb 및 쉘 Cs를 순차 반송하고, 지지대(206) 상에서 기판 케이스 C에 조립한다. 그리고, 다시 암 로봇(205)이 지지대(206)로부터 기판 케이스 C를 부스(200) 밖의 재치대(204)로 반송한다.
일본국 특허공개 2005-109523호 공보
그런데, 예를 들면 실리콘 웨이퍼 상에 집적회로 패턴을 묘화하는 포토리소그래피(photolithography) 기술에 있어서는, LSI의 고집적화에 수반하여, EUV(Extreme Ultra Violet) 광이 진공중에서 조사되는 기판으로서의 EUV 마스크가 이용되도록 되어 있다. 이 EUV 마스크를 수납하여 보관하는 기판 케이스는, 도 20A 및 도 20B에 나타내듯이, 2중 구조로 되어 있다. 이 2중 구조로 되는 기판 케이스 C는 내부 포드(inner pod) N과 외부 포드(outer pod) M을 구비하고 있다. 내부 포드 N은 내부 베이스(inner base) Nb 및 이 내부 베이스 Nb를 덮는 내부 쉘(inner shell) Ns로 이루어지고, 내부에 기판 D로서의 마스크를 수용한다. 외부 포드 M은, 내부 포드 N의 내부 베이스 Nb를 지지하는 외부 베이스(outer base) Mb 및 외부 베이스 Mb를 덮는 외부 쉘(outer shell) Ms로 이루어지고, 내부에 내부 포드 N을 수용한다. 이와 같이 기판 케이스 C를 2중 구조로 하는 것은, 기판 D가 바깥 공기에 오염되는 것으로부터 철저하게 방지하기 위해서이다. 외부 포드 M은 바깥 공기에 노출되지만, 내부 포드 N은 의도적으로 외부 포드 M을 열지 않는 한 바깥 공기에 노출되는 일은 없다.
이와 같이 기판 케이스 C를 세정하는 경우, 상기 종래와 같은 기판 케이스 세정 장치 Sa를 이용하여 세정하는 것이 생각될 수 있다. 그렇지만, 종래의 세정 장치 Sa에서는 1개의 세정 탱크(201) 내에서 외부 포드 M과 내부 포드 N을 수용하여 세정하는 것은 구조적으로 어렵다. 만일, 외부 포드 M과 내부 포드 N을 세정 탱크(201)에 수용하여 세정할 수가 있었다고 해도, 바깥 공기에 노출된 외부 포드 M에 부착된 오염 물질이 세정 탱크(201) 안에서 내부 포드 N에 대해 2차 오염을 초래할 가능성이 있다고 하는 문제가 있다. 내부 포드 N은 기판 D를 직접 수납하는 것이므로 보다 청정할 필요가 있다.
본 발명은 상기의 사정을 감안하여 이루어진 것으로, 바깥 공기에 노출된 외부 포드에 부착된 오염 물질이 내부 포드를 오염시키지 않게 하여 양자를 세정할 수 있도록 하여 세정 정밀도의 향상을 도모한 기판 케이스 세정 장치를 제공하는 것이다.
본 발명과 관련되는 기판 케이스 세정 장치는, 내부 베이스 및 이 내부 베이스를 덮는 내부 쉘로 이루어지고 내부에 기판을 수용하는 내부 포드와, 이 내부 포드의 내부 베이스를 지지하는 외부 베이스 및 이 외부 베이스를 덮는 외부 쉘로 이루어지고 내부에 이 내부 포드를 수용하는 외부 포드를 구비하는 기판 케이스를 상기 기판이 빈 상태에서 세정하는 기판 케이스 세정 장치로서, 청정 공간을 형성하는 부스와, 이 부스 내에 설치되고, 상기 외부 포드의 외부 베이스 및 외부 쉘의 각 부품을 분리한 상태로 수용하여 세정하는 제1 세정 탱크와, 상기 부스 내에 설치되고, 상기 내부 포드의 내부 베이스 및 내부 쉘의 각 부품을 분리한 상태로 수용하여 세정하는 제2 세정 탱크와, 상기 외부 포드 및 상기 내부 포드의 각 부품을 대응하는 상기 제1 세정 탱크 및 상기 제2 세정 탱크에 대해서 반송하는 반송 기구를 구비한 구성으로 된다.
이에 의해 기판 케이스를 세정할 때는, 반송 기구가, 외부 포드의 외부 베이스 및 외부 쉘의 각 부품을 제1 세정 탱크로 반송함과 아울러, 내부 포드의 내부 베이스 및 내부 쉘의 각 부품을 제2 세정 탱크로 반송한다. 그리고, 제1 세정 탱크 및 제2 세정 탱크에 있어서, 각각 외부 포드 및 내부 포드의 각 부품이 세정된다. 이 경우, 외부 포드와 내부 포드는 각각 다른 세정 탱크에서 세정되므로, 바깥 공기에 노출된 외부 포드에 부착된 오염 물질이 내부 포드에 대해 2차 오염을 초래하는 사태를 방지할 수가 있어 세정 정밀도를 향상시킬 수가 있다. 그리고, 세정이 종료되면 반송 기구에 의해 외부 포드의 외부 베이스 및 외부 쉘의 각 부품을 제1 세정 탱크로부터 취출하여 반송함과 아울러, 내부 포드의 내부 베이스 및 내부 쉘의 각 부품을 제2 세정 탱크로부터 취출하여 반송한다.
그리고, 본 발명과 관련되는 기판 케이스 세정 장치에 있어서, 상기 부스 내에서 상기 기판 케이스를 상기 외부 베이스 혹은 상기 외부 쉘을 아래로 하여 수직 방향으로 분리 가능하게 조립한 상태로 지지하는 지지대가 설치되고, 상기 반송 기구는, 상기 지지대에 상기 기판 케이스가 상기 외부 베이스를 아래로 하여 지지된 경우, 상기 기판 케이스의 세정 전에, 외부 쉘, 내부 쉘, 내부 베이스, 외부 베이스의 순으로 이들을 상기 지지대로부터 각각 대응하는 상기 제1 세정 탱크 내 및 상기 제2 세정 탱크 내로 반송하고, 이 기판 케이스의 세정 후에, 외부 베이스, 내부 베이스, 내부 쉘, 외부 쉘의 순으로 이들을 대응하는 상기 제1 세정 탱크 내 및 상기 제2 세정 탱크 내로부터 상기 지지대로 반송하여 조립하고, 상기 반송 기구는, 상기 지지대에 상기 기판 케이스가 상기 외부 쉘을 아래로 하여 지지되어 있는 경우, 상기 기판 케이스의 세정 전에, 외부 베이스, 내부 베이스, 내부 쉘, 외부 쉘의 순으로 이들을 상기 지지대로부터 각각 대응하는 상기 제1 세정 탱크 내 및 상기 제2 세정 탱크 내로 반송하고, 이 기판 케이스의 세정 후에, 외부 쉘, 내부 쉘, 내부 베이스, 외부 베이스의 순으로 이들을 대응하는 상기 제1 세정 탱크 내 및 상기 제2 세정 탱크 내로부터 상기 지지대로 반송하여 조립하는 구성으로 할 수가 있다.
이와 같이 하여 반송 기구에 의해, 세정 전은, 외부 포드 및 내부 포드의 각 부품을 순차 대응하는 제1 세정 탱크 및 제2 세정 탱크로 반송할 수가 있고, 세정 후는, 외부 포드 및 내부 포드의 각 부품을 순차 대응하는 제1 세정 탱크 및 제2 세정 탱크로부터 취출하여 반송할 수가 있으므로, 외부 포드 및 내부 포드의 각 부품을 확실하게 분리하고 조립할 수가 있다.
또, 본 발명과 관련되는 기판 케이스 세정 장치에 있어서, 상기 제1 세정 탱크 및 상기 제2 세정 탱크의 각각은, 상방으로 개방하는 개구를 가진 탱크 본체와, 이 탱크 본체의 개구를 상기 기판 케이스의 외부 포드 또는 내부 포드의 각 부품이 반송될 때에 열림으로 하고, 이 각 부품의 세정시에 닫힘으로 하는 개폐 가능한 뚜껑을 구비하고, 상기 지지대, 상기 제1 세정 탱크 및 상기 제2 세정 탱크는, 수평 일방향을 따라 직렬적으로 배열되고, 상기 반송 기구는, 상기 외부 포드의 외부 베이스 및 외부 쉘, 상기 내부 포드의 내부 베이스 및 내부 쉘을 각각 파지 가능한 파지 기구와, 이 파지 기구를 수직 방향으로 승강 이동시키는 승강 기구와, 이 파지 기구를 수평 일방향으로 주행 이동시키는 주행 이동 기구와, 상기 파지 기구, 상기 승강 기구 및 상기 주행 이동 기구를 구동 제어하는 제어부를 구비한 구성으로 할 수가 있다.
이에 의해 반송 기구는, 제어부의 제어에 의해, 파지 기구를 수직 방향(Z축 방향)과 수평 일방향(Y축 방향)의 2축 방향으로 이동시키는 것만으로 각 부품을 반송할 수 있으므로, 종래의 암 로봇과 비교하여 구조를 간단하고 쉽게 할 수가 있고, 각 부품의 분리 반송을 용이하게 할 수가 있다. 또, 공간을 넓게 취하지 않아도 되어 공간 절약화를 도모할 수가 있다.
또한, 본 발명과 관련되는 기판 케이스 세정 장치에 있어서, 상기 파지 기구가, 상기 수평 일방향에 직교하는 수평 타방향으로 서로 근접 이간 가능한 한 쌍의 핸드 단체를 구비한 파지 핸드와, 이 파지 핸드의 상기 한 쌍의 핸드 단체를 근접 이간시키는 구동부를 구비하고, 상기 제어부의 제어에 의해 상기 파지 핸드의 상기 한 쌍의 핸드 단체에 상기 외부 포드의 외부 베이스 및 외부 쉘, 내부 포드의 내부 베이스 및 내부 쉘을 개별적으로 파지시키는 구성으로 할 수가 있다. 이와 같이 하여 제어부의 제어에 의해, 파지 기구를 수평 일방향(Y축 방향)과 수직 방향(Z축 방향)의 2축 방향으로 이동시켜 위치 결정하고, 파지 핸드를 수평 타방향(X축 방향)으로 이동시키는 것만으로 각 부품을 파지할 수가 있고, 또한 한 쌍의 핸드 단체로 모든 부품을 파지할 수 있기 때문에 구조를 간단하게 할 수가 있다.
이 경우, 필요에 따라 상기 파지 핸드의 상기 한 쌍의 핸드 단체가, 상기 외부 포드의 외부 베이스 및 외부 쉘 및 내부 포드의 내부 베이스 및 내부 쉘의 각 파지부를 그 형상에 따라 계지하는 계지부를 구비한 구성으로 할 수가 있다. 이에 의해 계지부에서 각 부품이 계지되므로 파지가 확실하게 이루어진다.
본 발명의 기판 케이스 세정 장치에 의하면, 기판 케이스의 외부 포드와 내부 포드를 각각 다른 세정 탱크로 세정하므로, 바깥 공기에 노출된 외부 포드에 부착된 오염 물질이 내부 포드에 대해 2차 오염을 초래하는 사태를 방지할 수가 있어 그 만큼 세정 정밀도를 향상시킬 수가 있다.
도 1은 본 발명의 실시의 형태와 관련되는 기판 케이스 세정 장치를 나타내는 측면 단면도이다.
도 2는 본 발명의 실시의 형태와 관련되는 기판 케이스 세정 장치를 나타내는 평면 단면도이다.
도 3은 본 발명의 실시의 형태와 관련되는 기판 케이스 세정 장치를 나타내는 횡단면도이다.
도 4는 본 발명의 실시의 형태와 관련되는 기판 케이스 세정 장치를 나타내는 정면도이다.
도 5는 본 발명의 실시의 형태와 관련되는 기판 케이스 세정 장치의 재치대를 나타내는 사시도이다.
도 6a는 본 발명의 실시의 형태와 관련되는 기판 케이스 세정 장치의 지지대를 나타내는 사시도이다.
도 6b는 본 발명의 실시의 형태와 관련되는 기판 케이스 세정 장치의 지지대의 기판 케이스를 지지한 상태를 나타내는 도이다.
도 7은 본 발명의 실시의 형태와 관련되는 기판 케이스 세정 장치의 지지대 및 파지 기구를 그 작용과 함께 나타내는 도이다.
도 8a는 본 발명의 실시의 형태와 관련되는 기판 케이스 세정 장치의 이재(移載) 기구를 그 동작과 함께 나타내는 공정도(그 1)이다.
도 8b는 본 발명의 실시의 형태와 관련되는 기판 케이스 세정 장치의 이재 기구를 그 동작과 함께 나타내는 공정도(그 2)이다.
도 8c는 본 발명의 실시의 형태와 관련되는 기판 케이스 세정 장치의 이재 기구를 그 동작과 함께 나타내는 공정도(그 3)이다.
도 8d는 본 발명의 실시의 형태와 관련되는 기판 케이스 세정 장치의 이재 기구를 그 동작과 함께 나타내는 공정도(그 4)이다.
도 8e는 본 발명의 실시의 형태와 관련되는 기판 케이스 세정 장치의 이재 기구를 그 동작과 함께 나타내는 공정도(그 5)이다.
도 9는 본 발명의 실시의 형태와 관련되는 기판 케이스 세정 장치의 제1 세정 탱크(제2 세정 탱크)의 내부 구성을 나타내는 사시도이다.
도 10a는 본 발명의 실시의 형태와 관련되는 기판 케이스 세정 장치의 제1 세정 탱크의 외부 쉘을 지승한 상태를 나타내는 평면도이다.
도 10b는 본 발명의 실시의 형태와 관련되는 기판 케이스 세정 장치의 제1 세정 탱크의 외부 쉘을 지승한 상태를 나타내는 측면 단면도이다.
도 11a는 본 발명의 실시의 형태와 관련되는 기판 케이스 세정 장치의 제1 세정 탱크의 외부 베이스를 지승한 상태를 나타내는 평면도이다.
도 11b는 본 발명의 실시의 형태와 관련되는 기판 케이스 세정 장치의 제1 세정 탱크의 외부 베이스를 지승한 상태를 나타내는 측면 단면도이다.
도 12a는 본 발명의 실시의 형태와 관련되는 기판 케이스 세정 장치의 제2 세정 탱크의 내부 쉘을 지승한 상태를 나타내는 평면도이다.
도 12b는 본 발명의 실시의 형태와 관련되는 기판 케이스 세정 장치의 제2 세정 탱크의 내부 쉘을 지승한 상태를 나타내는 측면 단면도이다.
도 13a는 본 발명의 실시의 형태와 관련되는 기판 케이스 세정 장치의 제2 세정 탱크의 내부 베이스를 지승한 상태를 나타내는 평면도이다.
도 13b는 본 발명의 실시의 형태와 관련되는 기판 케이스 세정 장치의 제2 세정 탱크의 내부 베이스를 지승한 상태를 나타내는 측면 단면도이다.
도 14a는 본 발명의 실시의 형태와 관련되는 기판 케이스 세정 장치의 제2 세정 탱크에 내부 포드(inner pod)가 지승된 상태를 나타내는 평면도이다.
도 14b는 본 발명의 실시의 형태와 관련되는 기판 케이스 세정 장치의 제2 세정 탱크에 내부 포드가 지승된 상태를 나타내는 측면 단면도이다.
도 15a는 본 발명의 실시의 형태와 관련되는 기판 케이스 세정 장치의 제1 세정 탱크에 외부 포드(outer pod)가 지승된 상태를 나타내는 평면도이다.
도 15b는 본 발명의 실시의 형태와 관련되는 기판 케이스 세정 장치의 제1 세정 탱크에 외부 포드가 지승된 상태를 나타내는 측면 단면도이다.
도 16a는 본 발명의 실시의 형태와 관련되는 기판 케이스 세정 장치의 반송 기구에 있어서의 파지 기구 및 승강 기구를 나타내는 사시도이다.
도 16b는 본 발명의 실시의 형태와 관련되는 기판 케이스 세정 장치의 반송 기구에 있어서의 파지 기구의 파지 핸드의 주요부를 나타내는 주요부 사시도이다.
도 17a는 본 발명의 실시의 형태와 관련되는 기판 케이스 세정 장치의 파지 기구의 외부 쉘을 파지한 상태를 나타내는 도이다.
도 17b는 본 발명의 실시의 형태와 관련되는 기판 케이스 세정 장치의 파지 기구의 외부 베이스를 파지한 상태를 나타내는 도이다.
도 18a는 본 발명의 실시의 형태와 관련되는 기판 케이스 세정 장치의 파지 기구의 내부 쉘(inner shell)을 파지한 상태를 나타내는 도이다.
도 18b는 본 발명의 실시의 형태와 관련되는 기판 케이스 세정 장치의 파지 기구의 내부 베이스(inner base)의 파지한 상태를 나타내는 도이다.
도 19는 본 발명의 실시의 형태와 관련되는 기판 케이스 세정 장치의 보유부의 구성을 나타내는 사시도이다.
도 20a는 본 발명의 실시의 형태와 관련되는 기판 케이스 세정 장치가 취급하는 기판 케이스를 나타내는 전체 사시도이다.
도 20b는 본 발명의 실시의 형태와 관련되는 기판 케이스 세정 장치가 취급하는 기판 케이스를 나타내는 분해 사시도이다.
도 21은 본 발명의 실시의 형태와 관련되는 기판 케이스 세정 장치가 취급하는 기판 케이스의 외부 베이스(outer base)의 외측면을 나타내는 도이다.
도 22는 종래의 기판 케이스 세정 장치의 일례를 나타내는 도이다.
이하, 첨부 도면에 기초하여 본 발명의 실시의 형태와 관련되는 기판 케이스 세정 장치에 대해 상세하게 설명한다.
도 1 내지 도 19에 나타내는 본 발명의 실시의 형태와 관련되는 기판 케이스 세정 장치 S는, 상기한 EUV 마스크를 수납하는 기판 케이스 C를 취급하는 것이다. 도 20a 및 도 20b에 나타내듯이, 기판 케이스 C는, 대략 직사각형 상자 모양으로 형성되고, 내부 베이스(inner base) Nb 및 이 내부 베이스 Nb를 덮는 내부 쉘(inner shell) Ns로 이루어지고 내부에 기판 D로서의 마스크를 수용하는 내부 포드 N과, 내부 포드 N의 내부 베이스 Nb를 지지하는 외부 베이스(outer base) Mb 및 외부 베이스 Mb를 덮는 외부 쉘(outer shell) Ms로 이루어지고 내부에 내부 포드 N을 수용하는 외부 포드 M을 구비하고 있다. 기판 케이스 세정 장치 S는 기판 케이스 C를 기판 D가 빈 상태에서 세정한다.
도 21에 나타내듯이, 외부 포드 M의 외부 베이스 Mb의 중앙에는, 외부 포드 M의 외부 베이스 Mb 및 외부 쉘 Ms, 내부 포드 N의 내부 베이스 Nb 및 내부 쉘 Ns의 각 부품을 서로 이탈 불능하게 잠그고 이탈 가능하게 잠금 해제 가능한 래치형(latch type)의 잠금부(1)가 설치되어 있다. 잠금부(1)는 외부 베이스 Mb의 외측면에 형성된 삽입 구멍(2)을 가지고, 이 삽입 구멍(2)의 내부에 기구부(도시하지 않음)가 설치되어 있다. 후술하는 지지대(20)에 설치한 래치 구동부(21)의 래치 핀(latch pin)(21a)이, 이 삽입 구멍(2)으로부터 삽입되고, 래치 구동부(21)의 회동(回動) 동작에 의해 잠금부(1)는 잠금 및 잠금 해제 가능하게 되어 있다. 또, 후술하는 재치대(13)에 설치된 위치 결정 핀(15)이 삽입되는 위치 결정 오목부(3)가 등각도 관계로 3개소에 설치되어 있다. 또한, 후술하는 지지대(20)의 계합 볼록부(23) 및 제1 세정 장치(40)의 뚜껑(43)의 이면에 설치된 위치 결정하기 위한 계합 볼록부(91)가 계합하는 계합 오목부(4)가 위치 결정 오목부(3)의 외측에 인접하여 등각도(等角度) 관계로 3개소에 설치되어 있다.
본 발명의 실시의 형태와 관련되는 기판 케이스 세정 장치 S는, 도 1 내지 도 4에 나타내듯이, 청정 공간을 형성하는 부스(10)를 구비하고 있다. 부스(10)에는 기판 케이스 C가 통과 가능하고 또한 셔터(12)로 개폐되는 개구(11)가 설치되어 있다. 셔터(12)는 액츄에이터(12a)로 개폐 동작시켜진다. 부스(10)의 개구(11)의 외부에는, 기판 케이스 C가 소정의 방향으로 소정 위치에 위치 결정되어 재치 가능한 재치대(13)가 설치되어 있다. 재치대(13)는 기판 케이스 C의 외부 베이스 Mb를 아래로 하여 지지하는 것으로, 도 5에 나타내듯이, 부스(10)측을 향해 개방하고 기판 케이스 C의 외부 베이스 Mb의 계합 오목부(4)를 노출시키는 개방부(14)를 가진 포크 모양으로 형성되어 있다. 재치대(13)의 상면에는, 외부 베이스 Mb의 이면에 설치된 3개의 위치 결정 오목부(3)에 삽입되어 위치 결정하는 3개의 위치 결정 핀(15)이 설치되어 있다. 또, 재치대(13)의 상면에는, 외부 베이스 Mb의 모서리부를 보유하는 위치 결정용의 4개의 위치 결정 블록(16)이 설치되어 있다.
또, 기판 케이스 세정 장치 S는, 도 1, 도 2, 도 6A 내지 도 8e에 나타내듯이, 부스(10) 내에서 기판 케이스 C를 외부 베이스 Mb를 아래로 하여 수직 방향으로 분리 가능하게 조립한 상태로 지지하는 지지대(20)를 구비하고 있다. 지지대(20)는 이재(移載) 기구(30)에 설치되어 있다. 자세하게는, 도 6a에 나타내듯이, 지지대(20)의 중앙에는, 지지한 기판 케이스 C의 외부 베이스 Mb의 삽입 구멍(2)으로부터 삽입되고 잠금부(1)의 잠금 및 잠금 해제를 행하는 래치 구동부(21)가 설치되어 있다. 래치 구동부(21)는 회전 가능한 원반에 복수의 래치 핀(21a)을 세워서 설치하여 이루어진다. 래치 구동부(21)의 원반을 회전시키는 액츄에이터(22)가 설치되어 있다. 또한, 지지대(20)의 외주부에는, 지지한 기판 케이스 C의 외부 베이스 Mb의 3개의 계합 오목부(4)에 계합하는 3개의 계합 볼록부(23)가 설치되어 있다. 또한, 지지대(20)에는, 지지한 기판 케이스 C의 외부 베이스 Mb를 흡착하는 4개의 공기(air) 흡인형의 흡착반(24)이 설치되어 있다.
또, 도 1, 도 2, 도 7 내지 도 8e에 나타내듯이, 지지대(20)가 설치되는 이재 기구(30)는, 기판 케이스 C의 세정 전에 셔터(12)를 열림으로 하여 재치대(13)에 재치된 기판 케이스 C를 지지대(20)에 이재하고, 기판 케이스 C의 세정 후에 셔터(12)를 열림으로 하여 지지대(20)에 지지된 기판 케이스 C를 재치대(13)에 이재한다. 이 이재 기구(30)는 지지대(20)를 탑재하는 기대(31)를 구비하고 있다. 기대(31)는 재치대(13)측으로 진출하여 재치대(13)와 지지대(20)의 사이에서 기판 케이스 C의 수취 및 인도를 행하는 진출 위치 R1, 및 부스(10) 내로 후퇴하여 후술하는 반송 기구와의 사이에서 기판 케이스 C의 인도 및 수취를 행하는 후퇴 위치 R2의 2위치 사이에서 이동 가능하게 되어 있다. 또, 기대(31)는 후퇴 위치 R2보다 더 후퇴한 초기 위치 R3에도 위치하게 될 수 있다. 이재 기구(30)는, 이 이동하는 기대(31)를 이동 가능하게 지지하는 레일(32)과, 기대(31)를 진출 위치 R1 및 후퇴 위치 R2의 2위치, 및 초기 위치 R3으로 이동시키는 예를 들면 볼(ball) 나사 기구를 구비한 진퇴 구동부(33)를 구비하고 있다.
지지대(20)는, 도 8b 및 도 8c에 나타내듯이, 이재 기구(30)의 기대(31)에 대해서 상하 동작 가능하게 설치되어 있고, 기대(31)에는 지지대(20)를 상하 동작시키는 공기 실린더 장치로 이루어지는 상하 구동부(34)가 설치되어 있다. 이재 기구(30)는, 진출 위치 R1에서, 지지대(20)를 상승시킴으로써, 지지대(20)의 계합 볼록부(23)를 기판 케이스 C의 계합 오목부(4)에 계합시킴과 아울러, 흡착반(24)으로 기판 케이스 C를 흡착하여 기판 케이스 C를 들어 올린다. 그리고, 이재 기구(30)는 지지대(20)를 기판 케이스 C를 들어 올린 채로 재치대(13)의 개방구(14)를 통과하여 이동 가능하게 하고 있다. 또, 지지대(20)에 설치한 래치 구동부(21)는, 기대(31)의 진출 위치 R1에서 지지대(20)를 상승시켜서 지지대(20)의 계합 볼록부(23)를 기판 케이스 C의 계합 오목부(4)에 계합시켰을 때, 잠금부(1)의 잠금 및 잠금 해제를 행한다.
또한, 도 1 내지 도 3, 도 9 내지 도 15b에 나타내듯이, 부스(10) 내에는 외부 포드 M의 외부 베이스 Mb 및 외부 쉘 Ms의 각 부품을 분리한 상태로 수용하여 세정하는 제1 세정 탱크(40)와, 내부 포드 N의 내부 베이스 Nb 및 내부 쉘 Ns의 각 부품을 분리한 상태로 수용하여 세정하는 제2 세정 탱크(50)가 설치되어 있다. 상기의 지지대(20), 제1 세정 탱크(40) 및 제2 세정 탱크(50)는 수평 일방향(Y축 방향)을 따라 직렬적으로 배열되어 있다.
또, 부스(10) 내에는 기판 케이스 C의 외부 포드 M 및 내부 포드 N의 각 부품을 지지대(20)와 대응하는 제1 세정 탱크(40) 및 제2 세정 탱크(50)와의 사이에서 반송하는 반송 기구(60)가 구비되어 있다.
자세하게는, 제1 세정 탱크(40)는 상방으로 개방하는 개구(41)를 가진 탱크 본체(42)와, 탱크 본체(42)의 개구(41)를 기판 케이스 C의 외부 포드 M의 각 부품을 반송할 때에 열림으로 하고, 각 부품의 세정시에 닫힘으로 하는 개폐 가능한 뚜껑(43)을 구비하고 있다.
또, 도 9에 나타내듯이, 제1 세정 탱크(40)는 탱크 본체(42)의 저부에 수직 방향의 축선을 중심으로 회전 가능하게 설치된 제1 회전판(44)과, 제1 회전판(44)을 회전 구동하는 제1 회전 구동부(45)와, 제1 회전판(44)에 세워서 설치되고 소정의 높이 위치에서 외부 베이스 Mb의 외연(外緣)의 일부(실시의 형태에서는 4개의 모서리부)를 지승(支承)하는 복수(4개)의 외부 베이스 지승간(支承杆)(46)과, 제1 회전판(44)에 세워서 설치되고 외부 베이스 지승간(46)과는 다른 소정의 높이 위치에서 외부 쉘 Ms의 외연의 일부(실시의 형태에서는 4개의 모서리부)를 지승하는 복수(4개)의 외부 쉘 지승간(47)을 구비하고 있다.
외부 베이스 지승간(46)은, 외부 쉘 지승간(47)보다 높게 설정되고, 외부 쉘 Ms보다 높은 위치에서 외부 베이스 Mb를 지승한다. 도 9에 나타내듯이, 외부 베이스 지승간(46) 및 외부 쉘 지승간(47) 각각의 선단부에는, 각 부품의 모서리부를 지승하는 지승체(48)와, 지승체(48)의 좌우에 설치되고 각 부품의 모서리의 양측을 가이드 하는 가이드 핀(49)이 구비되어 있다.
또, 제1 세정 탱크(40)의 복수의 외부 베이스 지승간(46)과 복수의 외부 쉘 지승간(47)은 서로 회전 방향이 다른 위치에 세워서 설치되어 있다. 실시의 형태에서는, 도 9 내지 도 15b에 나타내듯이, 복수의 외부 베이스 지승간(46) 및 복수의 외부 쉘 지승간(47)은, 45° 회전 방향으로 위상을 어긋나게 하여 세워서 설치되어 있다.
한편, 제2 세정 탱크(50)는 상방으로 개방하는 개구(51)를 가진 탱크 본체(52)와, 탱크 본체(52)의 개구(51)를 기판 케이스 C의 내부 포드 N의 각 부품을 반송할 때에 열림으로 하고, 각 부품의 세정시에 닫힘으로 하는 개폐 가능한 뚜껑(53)을 구비하고 있다.
도 9에 있어서는, 제1 세정 탱크(40)의 내부를 나타내지만, 제2 세정 탱크(50)에 있어서도 제1 세정 탱크(40)와 구성이 공통되므로 대응하는 부위에 제2 세정 탱크(50)의 부호를 괄호 쓰기로 붙였다. 이 도 9에 나타내듯이, 제2 세정 탱크(50)는 탱크 본체(52)의 저부에 수직 방향의 축선을 중심으로 회전 가능하게 설치된 제2 회전판(54)과, 제2 회전판(54)을 회전 구동하는 제2 회전 구동부(55)와, 제2 회전판(54)에 세워서 설치되고 소정의 높이 위치에서 내부 베이스 Nb의 외연(外緣)의 일부(실시의 형태에서는 4개의 모서리부)를 지승(支承)하는 복수(4개)의 내부 베이스 지승간(56)과, 제2 회전판(54)에 세워서 설치되고 내부 베이스 지승간(56)과는 다른 소정의 높이 위치에서 내부 쉘 Ns의 외연의 일부(실시의 형태에서는 4개의 모서리부)를 지승(支承)하는 복수(4개)의 내부 쉘 지승간(57)을 구비하고 있다.
내부 베이스 지승간(56)은 내부 쉘 지승간(57)보다 높게 설정되고, 내부 쉘 Ns보다 높은 위치에서 내부 베이스 Nb를 지승한다. 도 9에 나타내듯이, 내부 베이스 지승간(56) 및 내부 쉘 지승간(57) 각각의 선단부에는, 각 부품의 모서리부를 지승하는 지승체(58)와, 지승체(58)의 좌우에 설치되고 각 부품의 모서리의 양측을 가이드 하는 가이드 핀(guide pin)(59)이 구비되어 있다.
또, 제2 세정 탱크(50)의 복수의 내부 베이스 지승간(56)과 복수의 내부 쉘 지승간(57)은 서로 회전 방향이 다른 위치에 세워서 설치되어 있다. 실시의 형태에서는, 도 9 내지 도 15b에 나타내듯이, 복수의 내부 베이스 지승간(56) 및 복수의 내부 쉘 지승간은, 45° 회전 방향으로 위상을 어긋나게 하여 세워서 설치되어 있다.
또한, 제1 세정 탱크(40) 및 제2 세정 탱크(50) 내에는 주지의 세정액을 분사하는 세정액 노즐군, 건조 공기(dry air)를 분출하여 건조시키는 공기(air) 노즐이 설치되어 있다.
또, 본 장치는, 도 4에 나타내듯이, 후술하는 제어부(100)를 구비하고 있다. 제어부(100)는 제1 회전 구동부(45)를 제어하고, 외부 베이스 Mb의 지승 및 지승 해제시의 외부 베이스 지승간(46)의 정지 위치와, 외부 쉘 Ms의 지승 및 지승 해제시의 외부 쉘 지승간(47)의 정지 위치를 위상을 다르게 하여 설정하는 기능을 구비하고 있다. 실시의 형태에서는, 도 10A 및 도 11A에 나타내듯이, 45° 회전 방향으로 위상을 어긋나게 한다.
이 제어부(100)는 마찬가지로 제2 회전 구동부(55)를 제어하고, 내부 베이스 Nb의 지승 및 지승 해제시의 내부 베이스 Nb의 지승간의 정지 위치와, 내부 쉘 Ns의 지승 및 지승 해제시의 내부 쉘 지승간(57)의 정지 위치를 위상을 다르게 하여 설정하는 기능을 구비하고 있다. 실시의 형태에서는, 도 12a 및 도 13a에 나타내듯이, 45° 회전 방향으로 위상을 어긋나게 한다.
그리고, 또 반송 기구(60)는, 기판 케이스 C가 그 외부 베이스 Mb를 아래로 하여 지지대(20)에 지지되어 있으므로, 기판 케이스 C의 세정 전에, 외부 쉘 Ms, 내부 쉘 Ns, 내부 베이스 Nb, 외부 베이스 Mb의 순으로 이들을 지지대(20)로부터 각각 대응하는 제1 세정 탱크(40) 내 및 제2 세정 탱크(50) 내로 반송한다. 또, 반송 기구(60)는, 기판 케이스 C의 세정 후에, 외부 베이스 Mb, 내부 베이스 Nb, 내부 쉘 Ns, 외부 쉘 Ms의 순으로 이들을 대응하는 제1 세정 탱크(40) 내 및 제2 세정 탱크(50) 내로부터 지지대(20)로 반송하여 조립한다.
자세하게는, 반송 기구(60)는, 도 2, 도 3, 도 7, 도 10a 내지 도 18b에 나타내듯이, 외부 포드 M의 외부 베이스 Mb 및 외부 쉘 Ms, 내부 포드 N의 내부 베이스 Nb 및 내부 쉘 Ns를 각각 파지 가능한 파지 기구(61)와, 파지 기구(61)를 수직 방향(Z축 방향)으로 승강 이동시키는 승강 기구(62)와, 파지 기구(61)를 수평 일방향(Y축 방향)으로 주행 이동시키는 주행 이동 기구(63)를 구비하고 있다. 상기의 제어부(100)는, 파지 기구(61), 승강 기구(62) 및 주행 이동 기구(63)를 구동 제어한다. 이에 의해 지지대(20), 제1 세정 탱크(40) 및 제2 세정 탱크(50)는 수평 일방향(Y축 방향)을 따라 직렬로 설치되어 있고, 반송 기구(60)는, 제어부(100)의 제어에 의해, 파지 기구(61)를 수직 방향(Z축 방향)과 수평 일방향(Y축 방향)의 2축 방향으로 이동시키는 것만으로 각 부품을 반송할 수 있다. 이 때문에 반송 기구(60)는 종래의 암 로봇과 비교하여 구조를 간단하고 쉽게 할 수가 있고, 각 부품의 분리 반송을 용이하게 할 수가 있다. 또, 공간을 넓게 취하지 않아도 되어 공간 절약화를 도모할 수가 있다.
도 16a 및 도 16b에 나타내듯이, 파지 기구(61)는 베이스 판(64)을 구비하고 있다. 승강 기구(62)는, 베이스 판(64)을 승강 동작 가능하게 지지하는 승강 레일(65)을 구비하고, 도시 외의 구동부로 베이스 판(64)을 승강 동작시키고 수직 방향(Z축 방향)의 소망의 위치에 위치 결정한다. 또, 주행 이동 기구(63)는 승강 레일(65)을 수평 일방향(Y축 방향)으로 이동 가능하게 지지하고 스탠드(66)에 고정된 수평 레일(67)을 구비하고 있다. 주행 이동 기구(63)는, 도시 외의 구동부로 승강 레일(65)을 이동시키고, 수평 일방향(Y축 방향)의 소망의 위치에서 위치 결정한다.
파지 기구(61)는, 도 3, 도 7, 도 16a 내지 도 18b에 나타내듯이, 수평 일방향(Y축 방향)에 직교하는 수평 타방향(X축 방향)에 서로 근접 이간 가능한 한 쌍의 핸드 단체(71, 71)를 구비한 파지 핸드(70)와, 파지 핸드(70)의 한 쌍의 핸드 단체(71, 71)를 근접 이간시키는 구동부(72)를 구비하고 있다. 구동부(72)는, 예를 들면 공기 실린더 장치로 구성되어 상기의 베이스 판(64)에 탑재되어 있다. 제어부(100)는, 그 제어에 의해 파지 핸드(70)의 한 쌍의 핸드 단체(71, 71)에, 외부 포드 M의 외부 베이스 Mb 및 외부 쉘 Ms, 내부 포드 N의 내부 베이스 Nb 및 내부 쉘 Ns를 개별적으로 파지시킨다. 파지 기구(61)에 의한 부품의 파지는, 제어부(100)의 제어에 의해, 파지 기구(61)를 수평 일방향(Y축 방향)과 수직 방향(Z축 방향)의 2축 방향으로 이동시켜 위치 결정하고, 파지 핸드(70)를 수평 타방향(X축 방향)으로 이동시키는 것만으로 가능하다. 또한, 한 쌍의 파지 단체(71, 71)로 모든 부품을 파지할 수 있기 때문에 구조를 간단하게 할 수가 있다.
도 16b, 도 17a, 도 17b, 도 18a 및 도 18b에 나타내듯이, 파지 핸드(70)의 한 쌍의 핸드 단체(71, 71)에는, 외부 포드 M의 외부 베이스 Mb 및 외부 쉘 Ms, 내부 포드 N의 내부 베이스 Nb 및 내부 쉘 Ns의 각 파지부의 형상에 각각 대응하여 계지하는 계지부(73, 74, 75, 76)가 형성되어 있다.
또, 기판 케이스 세정 장치 S에 있어서, 제어부(100)는 그 제어에 의해 기판 케이스 C의 세정 중에 파지 핸드(70)를 대기 위치 Q(도 2)에 대기시킨다. 실시의 형태에서는, 대기 위치 Q는 부스(10)의 셔터(12)측 단부에 설정된다. 또, 도 1, 도 2, 도 16a 및 도 16b에 나타내듯이, 파지 핸드(70)를 세정하는 세정 수단(80)이 설치되어 있다. 이 세정 수단(80)은 파지 핸드(70)에 대해서 그 대기 위치 Q의 근방에서 가스를 분사하는 분사 노즐(81)과, 분사 노즐(81)로부터 분사된 가스를 부스(10) 내로부터 배기하는 배기 팬(fan)(82)을 구비하고 있다. 가스로서는, 예를 들면 공기, 질소 가스 등을 이용할 수가 있다.
또한, 기판 케이스 세정 장치 S에 있어서, 도 1 및 도 19에 나타내듯이, 제1 세정 탱크(40) 내에는 외부 포드 M의 외부 베이스 Mb 및 외부 쉘 Ms의 적어도 어느 일방의 부품(실시의 형태에서는 외부 베이스 Mb)의 외측면의 세정이 불필요할 때, 세정이 불필요한 부품의 외측면을 덮어 보유 가능한 보유부(90)가 설치되어 있다. 보유부(90)는 제1 세정 탱크(40)의 뚜껑(43)의 이면에 설치되고, 세정이 불필요한 부품으로서의 외부 베이스 Mb의 외측면을 뚜껑(43)의 이면에서 덮도록 하고 있다. 보유부(90)는 뚜껑(43)의 이면에 보유하는 외부 베이스 Mb의 3개의 계합 오목부(4)에 계합하는 3개의 계합 볼록부(91)를 구비하고 있다. 또, 보유부(90)는 뚜껑(43)의 이면에 외부 베이스 Mb의 외측면을 흡착하는 4개의 흡착반(92)을 구비하고 있다. 뚜껑(43)의 이면을 이용했으므로, 보유부(90)의 구조를 간단하고 쉽게 할 수가 있다.
그리고, 제어부(100)는, 외부 포드 M의 외부 베이스 Mb의 외측면의 세정이 불필요한지 아닌지의 판정에 있어서 불필요하다고 판정했을 때, 해당하는 외부 베이스 Mb를 반송 기구(60)에 의해 보유부(90)로 반송시키는 기능을 구비하고 있다. 제어부(100)에 의한 세정이 불필요한지 아닌지의 판정은, 미리 세정과 관련되는 기판 케이스 C의 세정 전에 행하는 프로그래밍에 의해, 혹은 기판 케이스 C의 형식이나 형상 등을 센서에 의해 검출하여 행해진다. 실시의 형태에서는, 세정과 관련되는 기판 케이스 C의 세정 전에 행하는 프로그래밍에 의해 행해진다.
또한, 제어부(100)는, 상기한 셔터(12)의 개폐 제어, 이재 기구(30)의 구동 제어, 반송 기구(60)의 구동 제어, 제1 세정 탱크(40) 및 제2 세정 탱크(50)의 뚜껑(43, 53)의 개폐 제어, 회전판(44, 54)의 회전 제어, 세정, 건조 제어 등의 여러 가지의 제어를 행한다.
이 실시의 형태와 관련되는 기판 케이스 세정 장치 S에 있어서 이하와 같이 기판 케이스 C의 세정을 한다.
미리 제어부(100)에는, 외부 포드 M의 외부 베이스 Mb의 외측면의 세정이 불필요한지 아닌지를 기판 케이스 C의 세정 전에 행하는 프로그래밍을 해 둔다. 여기에서는, 먼저 외부 베이스 Mb의 외측면의 세정이 필요한 경우에 대해 설명한다.
먼저, 도 8A에 나타내듯이, 재치대(13)에 세정과 관련되는 기판 케이스 C가 다른 반송기 등을 이용하여 세팅(setting)된다. 기판 케이스 C의 세정 전에 있어서는, 도 8B에 나타내듯이, 부스(10)의 셔터(12)가 열리고, 이재 기구(30)의 진퇴 구동부(33)가 기대(31)를 지지대(20)와 함께 초기 위치 R3으로부터 진출 위치 R1로 진출시킴과 아울러, 재치대(13)에 재치된 기판 케이스 C를 지지대(20) 상에 수취한다. 이 때에는, 도 8C 및 도 6B에 나타내듯이, 기대(31)의 진출 위치 R1에서 상하 구동부(34)가 지지대(20)를 상승시키고, 지지대(20)의 계합 볼록부(23)를 기판 케이스 C의 외부 베이스 Mb의 계합 오목부(4)에 계합시켜서 기판 케이스 C를 들어 올린다. 또, 외부 베이스 Mb를 흡착반(24)으로 흡착한다. 이 때문에 기판 케이스 C가 좌우 전후로 움직이는 사태가 방지되어 확실하게 지지대(20) 상에 위치 결정된다. 또한, 지지대(20)의 래치 구동부(21)의 래치 핀(21a)이 외부 베이스 Mb의 삽입 구멍(2)으로부터 삽입된다.
다음에, 도 8d에 나타내듯이, 이재 기구(30)의 진퇴 구동부(33)가 기대(31)를 지지대(20)와 함께 진출 위치 R1로부터 후퇴 위치 R2로 후퇴시킨다. 이 경우, 재치대(13)는 개방부(14)를 가진 포크 모양으로 형성되어 있으므로, 지지대(20)는 기판 케이스 C를 들어 올린 채로 재치대(13)의 개방구(14)를 통과하여 이동하고, 후퇴 위치 R2에 위치 결정된다. 이 경우, 지지대(20) 자체를 직접 이동시켜서, 지지대(20)로 기판 케이스 C의 수취를 행하므로, 종래와 같이 암 로봇으로 이동시키는 것과 비교하여 기판 케이스 전체의 파지가 불필요하게 되어, 기판 케이스 C의 재치대(13)로부터 지지대(20)로의 이재가 복잡하게 되는 일 없이 간단하고 쉽게 된다. 또한, 기판 케이스 C의 지지대(20)로의 위치 결정도 용이하게 행할 수가 있게 된다. 특히, 재치대(13)의 소정 위치에 위치 결정되어 재치된 기판 케이스 C를 계합 오목부(4)와 계합 볼록부(23)의 계합에 의해 지지대(20) 상의 소정 위치에 위치 결정하여 지지할 수가 있고, 위치 결정 정밀도를 향상시킬 수가 있다. 이 후퇴 위치 R2에 있어서는, 도 8E에 나타내듯이, 래치 구동부(21)가 구동되어 잠금이 해제되어 지지대(20)에 지지된 외부 포드 M의 외부 베이스 Mb 및 외부 쉘 Ms, 내부 포드 N의 내부 베이스 Nb 및 내부 쉘 Ns의 각 부품이 이탈 가능하게 된다. 또, 셔터(12)가 닫혀진다.
이 상태에 있어서, 도 1에 나타내듯이, 제1 세정 탱크(40) 및 제2 세정 탱크(50)의 뚜껑(43, 53)이 열리고, 반송 기구(60)가 구동되고, 지지대(20)는 반송 기구(60)에 기판 케이스 C의 각 부품을 인도한다. 반송 기구(60)는, 외부 쉘 Ms, 내부 쉘 Ns, 내부 베이스 Nb, 외부 베이스 Mb의 순으로 이들을 지지대(20)로부터 각각 대응하는 제1 세정 탱크(40) 내 및 제2 세정 탱크(50) 내로 반송한다. 파지 기구(61)에 의한 부품의 파지는, 제어부(100)의 제어에 의해, 파지 기구(61)를 수평 일방향(Y축 방향)과 수직 방향(Z축 방향)의 2축 방향으로 이동시켜 위치 결정하고, 파지 핸드(70)를 수평 타방향(X축 방향)으로 이동시켜 행해진다. 이 경우, 파지 핸드(70)의 한 쌍의 핸드 단체(71, 71)로 모든 부품을 파지할 수 있다. 즉, 파지 핸드(70)의 한 쌍의 핸드 단체(71, 71)에, 외부 포드 M의 외부 베이스 Mb 및 외부 쉘 Ms, 내부 포드 N의 내부 베이스 Nb 및 내부 쉘 Ns의 각 파지부의 형상에 각각 대응하여 계지하는 계지부(73, 74, 75, 76)를 구비하였으므로, 각 부품의 파지가 확실하게 이루어진다. 도 7, 도 10b 및 도 17a에는 외부 쉘 Ms의 파지 상태, 도 11B 및 도 17b에는 외부 베이스 Mb의 파지 상태, 도 12b 및 도 18a에는 내부 쉘 Ns의 보유 상태, 도 13b 및 도 18b에는 내부 베이스 Nb의 파지 상태가 나타나 있다.
이 경우, 제1 세정 탱크(40)에 있어서의 외부 쉘 Ms 및 외부 베이스 Mb의 받아들임은 이하와 같이 행해진다. 도 10a 및 도 10b에 나타내듯이, 제어부(100)는, 먼저 외부 쉘 Ms의 모서리부를 외부 쉘 지승간(47)으로 지승할 수 있도록 제1 회전판(44)을 회전 구동하고, 소정의 회전 위치에서 정지시킨다. 이 상태에서 외부 쉘 Ms를 파지한 파지 핸드(70)가 제1 세정 탱크(40) 내로 강하하여 외부 쉘 Ms를 외부 쉘 지승간(47)에 지승시키고, 그 후 상승한다. 이 경우, 외부 쉘 Ms는, 높이가 낮은 외부 쉘 지승간(47)에 지승되므로, 파지 핸드(70)와 함께 높이가 높은 외부 베이스 지승간(46)보다 아래에 위치하게 되지만, 외부 베이스 지승간(46)과 외부 쉘 지승간(47)은 서로 회전 방향이 다른 위치에 세워서 설치되어 있으므로, 이 높이가 높은 쪽의 외부 베이스 지승간(46)에 대해서는 간섭하지 않게 할 수가 있고, 외부 쉘 Ms를 확실하게 반송하여 지승 보유시킬 수가 있게 된다.
다음에, 도 11a에 나타내듯이, 제어부(100)는, 외부 베이스 Mb의 모서리부를 외부 베이스 지승간(46)으로 지승할 수 있도록 제1 회전판(44)을 회전 구동하고, 소정의 회전 위치에서 정지시킨다. 즉, 복수의 외부 베이스 지승간(46)과 복수의 외부 쉘 지승간(47)은 서로 회전 방향이 다른 위치에 세워서 설치되어 있으므로, 45° 회전 방향으로 위상을 어긋나게 한다. 반송 기구(60)는, 파지 기구(61)를 수평 일방향(Y축 방향)과 수직 방향(Z축 방향)의 2축 방향으로 밖에 이동시킬 수가 없고, 외부 베이스 Mb의 방향이나 파지 핸드(70)의 방향을 바꿀 수가 없다. 그러나, 외부 베이스 지승간(46)의 정지 위치와, 외부 쉘 Ms의 지승간의 정지 위치를 위상을 다르게 하여 설정하여, 반송 기구(60)에 대한 각 지승간의 위치 조정을 행할 수가 있기 때문에, 외부 베이스 Mb를 외부 베이스 지승간(46)에 확실하게 지승시킬 수가 있게 된다.
한편, 제2 세정 탱크(50)에 있어서의 내부 쉘 Ns 및 내부 베이스 Nb의 받아들임은 이하와 같이 행해진다. 도 12a 및 도 12b에 나타내듯이, 제어부(100)는, 먼저 내부 쉘 Ns의 모서리부를 내부 쉘 지승간(57)으로 지승할 수 있도록 제2 회전판(54)을 회전 구동하고, 소정의 회전 위치에서 정지시킨다. 이 상태에서 내부 쉘 Ns를 파지한 파지 핸드(70)가 제2 세정 탱크(50) 내로 강하하여 내부 쉘 Ns를 내부 쉘 지승간(57)에 지승시키고, 그 후 상승한다. 이 경우, 내부 쉘 Ns는 높이가 낮은 내부 쉘 지승간(57)의 쪽에 지승되므로, 파지 핸드(70)와 함께 높이가 높은 내부 베이스 지승간(56)보다 아래에 위치하게 되지만, 내부 베이스 지승간(56)과 내부 쉘 지승간(57)은 서로 회전 방향이 다른 위치에 세워서 설치되어 있으므로, 이 높이가 높은 쪽의 내부 베이스 지승간(56)에 대해서는 간섭하지 않게 할 수가 있고, 내부 쉘 Ns를 확실하게 반송하여 지승 보유시킬 수가 있게 된다.
다음에, 도 13a에 나타내듯이, 제어부(100)는, 내부 베이스 Nb의 모서리부를 내부 베이스 지승간(56)으로 지승할 수 있도록 제2 회전판(54)을 회전 구동하고, 소정의 회전 위치에서 정지시킨다. 즉, 복수의 내부 베이스 지승간(56)과 복수의 내부 쉘 지승간(57)은 서로 회전 방향이 다른 위치에 세워서 설치되어 있으므로, 45° 회전 방향으로 위상을 어긋나게 한다. 반송 기구(60)는, 파지 기구(61)를 수평 일방향(Y축 방향)과 수직 방향(Z축 방향)의 2축 방향으로 밖에 이동시킬 수가 없고, 내부 베이스 Nb의 방향이나 파지 핸드(70)의 방향을 바꿀 수가 없다. 그러나, 내부 베이스 지승간(56)의 정지 위치와 내부 쉘 Ns의 지승간의 정지 위치를 위상을 다르게 하여 설정하여, 반송 기구(60)에 대한 각 지승간의 위치 조정을 행할 수가 있기 때문에, 내부 베이스 Nb를 내부 베이스 지승간(56)에 확실하게 지승시킬 수가 있게 된다.
반송 기구(60)가, 도 14a, 도 14b, 도 15a 및 도 15b에 나타내듯이, 외부 쉘 Ms, 내부 쉘 Ns, 내부 베이스 Nb, 외부 베이스 Mb의 순으로 이들을 지지대(20)로부터 각각 대응하는 제1 세정 탱크(40) 내 및 제2 세정 탱크(50) 내로 다 반송했다면, 도 2에 나타내듯이, 파지 핸드(70)는, 대기 위치 Q에 대기시켜진다. 그리고, 도 1에 나타내듯이, 제1 세정 탱크(40) 및 제2 세정 탱크(50)에서는 뚜껑(43, 53)이 닫혀지고, 외부 포드 M 및 내부 포드 N의 각 부품이 세정된다. 이 경우, 외부 포드 M과 내부 포드 N은, 각각 다른 세정 탱크(40, 50)에서 세정되므로, 바깥 공기에 노출된 외부 포드 M에 부착된 오염 물질이 내부 포드 N에 대해 2차 오염을 초래하는 사태를 방지할 수가 있어 그 만큼 세정 정밀도를 향상시킬 수가 있다.
또, 도 15a 및 도 15b에 나타내듯이, 제1 세정 탱크(40)에 있어서는, 외부 베이스 지승간(46)과 외부 쉘 지승간(47)은 다른 소정의 높이 위치에서 각 부품을 지승하고 있으므로, 탱크 본체(42) 내에 있어서, 외부 베이스 Mb 및 외부 쉘 Ms가 각각 이들의 외면 및 내면을 노출시킴과 아울러 서로 분리하여 보유되게 된다. 이 때문에 세정을 행할 때에는 세정액이 치우침이 없이 외부 베이스 Mb 및 외부 쉘 Ms에 두루 미치기 때문에 세정을 확실하게 행할 수가 있게 된다.
한편, 도 14a 및 도 14b에 나타내듯이, 제2 세정 탱크(50)에 있어서도, 내부 베이스 지승간(56)과 내부 쉘 지승간(57)은 다른 소정의 높이 위치에서 각 부품을 지승하고 있으므로, 탱크 본체(52) 내에 있어서, 내부 베이스 Nb 및 내부 쉘 Ns가 각각 이들의 외면 및 내면을 노출시킴과 아울러 서로 분리하여 보유되게 된다. 이 때문에 세정을 행할 때에는 세정액이 치우침이 없이 내부 베이스 Nb 및 내부 쉘 Ns에 두루 미치기 때문에 세정을 확실하게 행할 수가 있게 된다.
즉, 종래와 같이 뚜껑(43, 53)에 일방의 부품을 장착하여 세정하는 경우에는, 뚜껑(43, 53)에 장착한 부품의, 특히 뚜껑(43, 53)측의 면에는 충분히 세정액이 두루 미치기 어렵지만, 본 발명의 구성에서는 각 부품을 탱크 본체(42, 52) 내에 있어서 이간시켜 세정할 수 있으므로, 세정액을 치우침이 없이 두루 미치게 하여 세정을 확실하게 행할 수가 있게 되는 것이다.
이 외부 포드 M 및 내부 포드 N의 각 부품의 세정 중에 있어서는, 대기 위치 Q에 있는 파지 핸드(70)에 대해서 세정 수단(80)의 분사 노즐(81)로부터 가스가 분사되어 파지 핸드(70)의 세정을 한다. 파지 핸드(70)는, 각 부품의 파지에 의해 각 부품에 부착된 오염 물질이 옮겨 부착하여 오염되는 일이 있지만, 이 분사 노즐(81)의 가스 분사에 의해 정화할 수 있다. 이 때문에 파지 핸드(70)가 세정 후의 각 부품을 파지하여 반송할 때에, 정화된 각 부품을 다시 오염시켜 버리는 사태를 방지할 수가 있다. 또, 파지 핸드(70)의 세정은 각 부품의 세정 중에 행하므로 각 부품을 세정할 때에 세정할 수가 있고, 확실하게 세정 후의 각 부품의 오염을 방지할 수가 있다. 또, 분사 노즐(81)로부터 가스를 분사하여 파지 핸드(70)에 부착한 오염 물질을 떨어뜨리므로, 확실하게 오염 물질을 제거할 수 있게 된다. 또한, 제거된 오염 물질은 배기 팬(fan)(82)에 의해 부스(10) 밖으로 배출되므로 항상 부스(10) 내를 청정하게 보유할 수가 있다.
외부 포드 M 및 내부 포드 N의 각 부품의 세정이 종료되면 상기와는 역의 공정에 따라, 먼저 제1 세정 탱크(40) 및 제2 세정 탱크(50)의 뚜껑(43, 53)이 열리고, 반송 기구(60)에 의해 이번은 외부 베이스 Mb, 내부 베이스 Nb, 내부 쉘 Ns, 외부 쉘 Ms의 순으로 이들이 대응하는 제1 세정 탱크(40) 내 및 제2 세정 탱크(50) 내로부터 지지대(20)로 반송되어 조립할 수 있도록 한다. 파지 기구(61)에 의한 부품의 파지는, 상술한 것처럼, 제어부(100)의 제어에 의해, 파지 기구(61)를 수평 일방향(Y축 방향)과 수직 방향(Z축 방향)의 2축 방향으로 이동시켜 위치 결정하고, 파지 핸드(70)를 수평 타방향(X축 방향)으로 이동시켜 행해진다. 이 경우, 파지 핸드(70)의 한 쌍의 핸드 단체(71, 71)로 모든 부품을 파지할 수 있다. 또, 파지 핸드(70)의 한 쌍의 핸드 단체(71, 71)에, 외부 포드 M의 외부 베이스 Mb 및 외부 쉘 Ms, 내부 포드 N의 내부 베이스 Nb 및 내부 쉘 Ns의 각 파지부의 형상에 각각 대응하여 계지하는 계지부(73, 74, 75, 76)를 구비하였으므로, 각 부품의 파지가 확실하게 이루어진다.
이 경우, 제1 세정 탱크(40)에 있어서의 외부 베이스 Mb 및 외부 쉘 Ms의 취출은 이하와 같이 이루어진다. 제어부(100)는, 먼저 도 11a에 나타내듯이, 외부 베이스 Mb를 파지 핸드(70)로 파지할 수 있도록 제1 회전판(44)을 회전 구동하고, 소정의 회전 위치에서 정지시킨다. 이 상태에서 파지 핸드(70)가 강하하여 외부 베이스 Mb를 파지하고, 그 후 상승한다. 다음에, 제어부(100)는, 도 10A에 나타내듯이, 외부 쉘 Ms를 파지 핸드(70)로 파지할 수 있도록 제1 회전판(44)을 회전 구동하고, 소정의 회전 위치에서 정지시킨다. 즉, 복수의 외부 베이스 지승간(46)과 복수의 외부 쉘 지승간(47)은 서로 회전 방향이 다른 위치에 세워서 설치되어 있으므로, 45° 회전 방향으로 위상을 어긋나게 한다. 이 상태에서 파지 핸드(70)가 강하하여 외부 쉘 Ms를 파지하고, 그 후 상승한다. 이 경우, 외부 쉘 Ms는 높이가 낮은 외부 쉘 지승간(47)의 쪽에 지승되므로, 파지 핸드(70)와 함께 높이가 높은 외부 베이스 지승간(46)보다 아래의 위치로부터 상승하지만, 외부 베이스 지승간(46)과 외부 쉘 지승간(47)은 서로 회전 방향이 다른 위치에 세워서 설치되어 있으므로, 이 높이가 높은 쪽의 외부 베이스 지승간(46)에 대해서는 간섭하지 않게 할 수가 있고, 외부 쉘 Ms를 확실하게 취출할 수가 있다.
한편, 제2 세정 탱크(50)에 있어서의 내부 베이스 Nb 및 내부 쉘 Ns의 취출은 이하와 같이 이루어진다. 제어부(100)는, 먼저 도 13a에 나타내듯이, 내부 베이스 Nb를 파지 핸드(70)로 파지할 수 있도록 제2 회전판(54)을 회전 구동하고, 소정의 회전 위치에서 정지시킨다. 이 상태에서 파지 핸드(70)가 강하하여 내부 베이스 Nb를 파지하고, 그 후 상승한다. 다음에, 제어부(100)는, 도 12a에 나타내듯이, 내부 쉘 Ns를 파지 핸드(70)로 파지할 수 있도록 제2 회전판(54)을 회전 구동하고, 소정의 회전 위치에서 정지시킨다. 즉, 복수의 내부 베이스 지승간(56)과 복수의 내부 쉘 지승간(57)은 서로 회전 방향이 다른 위치에 세워서 설치되어 있으므로, 45° 회전 방향으로 위상을 어긋나게 한다. 이 상태에서 파지 핸드(70)가 강하하여 내부 쉘 Ns를 파지하고, 그 후 상승한다. 이 경우, 내부 쉘 Ns는 높이가 낮은 내부 쉘 지승간(57)의 쪽에 지승되므로, 파지 핸드(70)와 함께 높이가 높은 내부 베이스 지승간(56)보다 아래의 위치로부터 상승하지만, 내부 베이스 지승간(56)과 내부 쉘 지승간(57)은 서로 회전 방향이 다른 위치에 세워서 설치되어 있으므로, 이 높이가 높은 쪽의 내부 베이스 지승간(56)에 대해서는 간섭하지 않게 할 수가 있고, 내부 쉘 Ns를 확실하게 취출할 수가 있다.
이와 같이 각 세정 탱크(40, 50)로부터 차례로 취출된 외부 베이스 Mb, 내부 베이스 Nb, 내부 쉘 Ns, 외부 쉘 Ms는, 상기와는 역의 공정을 거쳐 지지대(20) 상에서 조립되고, 기판 케이스 C로서 지지대(20)에 지지를 수취한다(도 8e 참조). 이 상태에서 래치 구동부(21)가 구동되어 기판 케이스 C는 잠기게 되고, 외부 포드 M의 외부 베이스 Mb 및 외부 쉘 Ms, 내부 포드 N의 내부 베이스 Nb 및 내부 쉘 Ns의 각 부품이 이탈 불능으로 된다. 그리고, 부스(10)의 셔터(12)가 열리고, 이재 기구(30)의 진퇴 구동부(33)가 기대(31)를 지지대(20)와 함께 후퇴 위치 R2로부터 진출 위치 R1로 진출시킴과 아울러, 재치대(13)에 지지대(20) 상의 기판 케이스 C를 인도한다(도 8d, 도 8c 참조). 이 경우, 기대(31)를 지지대(20)와 함께 진출 위치 R1에 진출시키지만, 재치대(13)는 개방부(14)를 가진 포크 모양으로 형성되어 있으므로, 지지대(20)는 기판 케이스 C를 들어 올린 채로 재치대(13)의 개방구를 통과하여 이동하고, 진출 위치 R1에 위치 결정된다. 이 진출 위치 R1에서는, 상하 구동부(34)가 지지대(20)를 하강시키고, 지지대(20)의 계합 볼록부(23)를 기판 케이스 C의 계합 오목부(4)로부터 떼어내어 기판 케이스 C를 재치대(13)에 재치한다(도 8B 참조). 이 경우, 지지대(20) 자체를 직접 이동시켜서, 지지대(20)로 기판 케이스 C의 수취 및 인도를 행하므로, 종래와 같이 암 로봇으로 이동시키는 것과 비교하여 기판 케이스 전체의 파지가 불필요하게 되고, 재치대(13)로부터 지지대(20)로의 이재(移載)를 복잡하게 하는 일 없이 간단하고 쉽게 하고, 또한 재치대(13)로의 위치 결정도 용이하게 행할 수가 있게 된다. 그리고, 지지대(20)는 초기 위치 R3으로 후퇴하고, 이 상태에서 재치대(13)로부터 기판 케이스 C가 밖으로 반송된다.
다음에, 외부 베이스 Mb의 외측면의 세정이 불필요한 경우에 대해 설명한다. 이 경우에는, 미리 제어부(100)에는, 외부 포드 M의 외부 베이스 Mb의 외측면의 세정이 불필요한 것을 프로그래밍 해 둔다.
상기와 마찬가지로 지지대(20)에 지지된 외부 포드 M의 외부 베이스 Mb 및 외부 쉘 Ms, 내부 포드 N의 내부 베이스 Nb 및 내부 쉘 Ns의 각 부품을 반송 기구(60)로 반송한다. 이 때는, 도 1 및 도 19에 나타내듯이, 마지막 외부 베이스 Mb는, 제1 세정 탱크(40)의 뚜껑(43)의 이면에 설치한 보유부(90)에 보유된다. 이 경우, 보유부(90)의 계합 볼록부(91)를 외부 베이스 Mb의 계합 오목부(4)에 계합시킴과 아울러, 외부 베이스 Mb를 흡착반(92)으로 흡착한다. 그 때문에, 외부 베이스 Mb가 좌우 전후로 움직이는 사태가 방지되어 확실하게 보유부(90)에 보유된다.
이 상태에서 뚜껑(43)을 닫고서 세정을 행한다. 이 경우, 외부 베이스 Mb의 외측면이 덮이므로, 내측면에는 세정액이 미쳐 세정을 하지만, 외측면에 세정액이 침입하는 것이 저지되어 세정을 행하지 않아도 되게 된다. 이 때문에 외부 베이스 Mb의 외측면에는 위치 결정용의 구멍이나 각 부품의 조립을 잠그는 잠금부(1) 등이 있어, 세정하면 이들에 세정액이 침입해 버려 건조에 많은 시간이 들거나 건조되어 있지 않는 상태로 방치하면 내부에서 곰팡이가 발생하는 등의 악영향이 있거나 하는 경우가 있지만, 세정을 하지 않게 되므로 이러한 악영향을 회피할 수 있다.
또한, 상기 실시의 형태에서는, 지지대(20)에 기판 케이스 C의 외부 베이스 Mb를 아래로 하여 지지하는 경우를 나타냈지만, 반드시 이것에 한정되는 것은 아니고, 지지대(20)에 기판 케이스 C의 외부 쉘 Ms를 아래로 하여 지지하고, 기판 케이스 C의 세정 전에, 외부 베이스 Mb, 내부 베이스 Nb, 내부 쉘 Ns, 외부 쉘 Ms의 순으로 이들을 지지대(20)로부터 각각 대응하는 제1 세정 탱크(40) 내 및 제2 세정 탱크(50) 내로 반송하고, 기판 케이스 C의 세정 후에, 외부 쉘 Ms, 내부 쉘 Ns, 내부 베이스 Nb, 외부 베이스 Mb의 순으로 이들을 대응하는 제1 세정 탱크(40) 내 및 제2 세정 탱크(50) 내로부터 지지대(20)로 반송하여 조립하는 구성으로 해도 좋고 적당하게 변경해도 지장이 없다.
S　기판 케이스 세정 장치 C　기판 케이스
N　내부 포드(inner pod)
Nb　내부 베이스 Ns　내부 쉘
M　외부 포드(outer pod)
Mb　외부 베이스 Ms　외부 쉘
D　기판
1　잠금부 2　삽입 구멍
3　위치 결정 오목부 4　계합 오목부
10　부스(booth) 11　개구
12　셔터(shutter) 13　재치대
14　개방부 15　위치 결정 핀(pin)
16　위치 결정 블록 20　지지대
21　래치 구동부 23　계합 볼록부
24　흡착반
30　이재 기구 31　기대(機臺)
R1　진출 위치 R2　후퇴 위치
R3　초기 위치
32　레일(rail)
33　진퇴 구동부 34　상하 구동부
40　제1 세정 탱크 41　개구
42　탱크 본체 43　뚜껑
44　제1 회전판 45　제1 회전 구동부
46　외부 베이스 지승간 47　외부 쉘 지승간
48　지승체 49　가이드 핀
50　제2 세정 탱크 51　개구
52　탱크 본체 53　뚜껑
54　제2 회전판 55　제2 회전 구동부
56　내부 베이스 지승간 57　내부 쉘 지승간
58　지승체 59　가이드 핀
60　반송 기구 61　파지 기구
62　승강 기구 63　주행 이동 기구
64　베이스 판 65　승강 레일
66　스탠드(stand) 67　수평 레일
70　파지 핸드 71　핸드 단체
72　구동부
73, 74, 75, 76 계지부
80　세정 수단 Q　대기 위치
81　분사 노즐 82　배기 팬(fan)
90　보유부 91　계합 볼록부
92　흡착반 100　제어부

Claims (5)

  1. 내부 베이스 및 이 내부 베이스를 덮는 내부 쉘로 이루어지고 내부에 기판을 수용하는 내부 포드와, 이 내부 포드의 내부 베이스를 지지하는 외부 베이스 및 이 외부 베이스를 덮는 외부 쉘로 이루어지고 내부에 이 내부 포드를 수용하는 외부 포드를 구비하는 기판 케이스를 상기 기판이 빈 상태에서 세정하는 기판 케이스 세정 장치로서,
    청정 공간을 형성하는 부스와,
    이 부스 내에 설치되고, 상기 외부 포드의 외부 베이스 및 외부 쉘의 각 부품을 분리한 상태로 수용하여 세정하는 제1 세정 탱크와,
    상기 부스 내에 설치되고, 상기 내부 포드의 내부 베이스 및 내부 쉘의 각 부품을 분리한 상태로 수용하여 세정하는 제2 세정 탱크와,
    상기 외부 포드 및 상기 내부 포드의 각 부품을 대응하는 상기 제1 세정 탱크 및 상기 제2 세정 탱크에 대해서 반송하는 반송 기구를 구비하는 기판 케이스 세정 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 부스 내에서 상기 기판 케이스를 상기 외부 베이스 혹은 상기 외부 쉘을 아래로 하여 수직 방향으로 분리 가능하게 조립한 상태로 지지하는 지지대를 구비하고,
    상기 반송 기구는, 상기 지지대에 상기 기판 케이스가 상기 외부 베이스를 아래로 하여 지지된 경우, 상기 기판 케이스의 세정 전에, 외부 쉘, 내부 쉘, 내부 베이스, 외부 베이스의 순으로 이들을 상기 지지대로부터 각각 대응하는 상기 제1 세정 탱크 내 및 상기 제2 세정 탱크 내로 반송하고, 이 기판 케이스의 세정 후에, 외부 베이스, 내부 베이스, 내부 쉘, 외부 쉘의 순으로 이들을 대응하는 상기 제1 세정 탱크 내 및 상기 제2 세정 탱크 내로부터 상기 지지대로 반송하여 조립하고,
    상기 반송 기구는, 상기 지지대에 상기 기판 케이스가 상기 외부 쉘을 아래로 하여 지지되어 있는 경우, 상기 기판 케이스의 세정 전에, 외부 베이스, 내부 베이스, 내부 쉘, 외부 쉘의 순으로 이들을 상기 지지대로부터 각각 대응하는 상기 제1 세정 탱크 내 및 상기 제2 세정 탱크 내로 반송하고, 이 기판 케이스의 세정 후에, 외부 쉘, 내부 쉘, 내부 베이스, 외부 베이스의 순으로 이들을 대응하는 상기 제1 세정 탱크 내 및 상기 제2 세정 탱크 내로부터 상기 지지대로 반송하여 조립하는 기판 케이스 세정 장치.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 제1 세정 탱크 및 상기 제2 세정 탱크의 각각은, 상방으로 개방하는 개구를 가진 탱크 본체와, 이 탱크 본체의 개구를 상기 기판 케이스의 외부 포드 또는 내부 포드의 각 부품이 반송될 때에 열림으로 하고, 이 각 부품의 세정시에 닫힘으로 하는 개폐 가능한 뚜껑을 구비하고,
    상기 지지대, 상기 제1 세정 탱크 및 상기 제2 세정 탱크는, 수평 일방향을 따라 직렬적으로 배열되고, 상기 반송 기구는, 상기 외부 포드의 외부 베이스 및 외부 쉘, 상기 내부 포드의 내부 베이스 및 내부 쉘을 각각 파지 가능한 파지 기구와,
    이 파지 기구를 수직 방향으로 승강 이동시키는 승강 기구와,
    이 파지 기구를 수평 일방향으로 주행 이동시키는 주행 이동 기구와,
    상기 파지 기구, 상기 승강 기구 및 상기 주행 이동 기구를 구동 제어하는 제어부를 구비하는 기판 케이스 세정 장치.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 파지 기구는, 상기 수평 일방향에 직교하는 수평 타방향으로 서로 근접 이간 가능한 한 쌍의 핸드 단체를 구비한 파지 핸드와,
    이 파지 핸드의 상기 한 쌍의 핸드 단체를 근접 이간시키는 구동부를 구비하고,
    상기 제어부의 제어에 의해 상기 파지 핸드의 상기 한 쌍의 핸드 단체에 상기 외부 포드의 외부 베이스 및 외부 쉘, 내부 포드의 내부 베이스 및 내부 쉘을 개별적으로 파지시키는 기판 케이스 세정 장치.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 파지 핸드의 상기 한 쌍의 핸드 단체는, 상기 외부 포드의 외부 베이스 및 외부 쉘 및 내부 포드의 내부 베이스 및 내부 쉘의 각 파지부를 그 형상에 따라 계지하는 계지부를 구비하는 기판 케이스 세정 장치.
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