KR101567484B1 - 세정 기능을 갖는 프로브 카드 - Google Patents

Abstract

세정 기능을 갖는 프로브 카드가 개시된다. 본 발명에 따른 세정 기능을 갖는 프로브 카드는, 다수의 미세 탐침이 수용되는 프로브헤드를 갖는 프로브카드에 있어서, 상기 프로브헤드는 내부에 상기 다수의 미세 탐침이 수용되는 공간이 형성되고, 상기 공간과 통하는 세정용 통공이 적어도 1개소 이상 형성되어 이루어진다.

Description

세정 기능을 갖는 프로브 카드{A PROBE CARD WITH A CLEANING FUNCTION}

본 발명은 세정 기능을 갖는 프로브 카드에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 반도체 웨이퍼의 DC 파라미터 및 극미세 전류 특성에 관한 테스트에 적용되는 프로브 카드에 있어서 프로브 탐침이 장착된 헤드 부분에 누적된 미세 먼지를 제거할 수 있도록 한 세정 기능을 갖는 프로브 카드에 관한 것이다.

일반적인 반도체 소자들은 웨이퍼 단위의 공정 완료 후 최종 Package 전 즉, 공정 수율 및 전기적 신호의 이상 유무를 판별하기 위해 제품의 테스트를 거치게 되는데 측정하려는 소자의 패드 면에 접촉하여 소자의 상태를 측정하는 프로브 카드가 사용된다.

프로브 카드에 관련된 선행기술로는 본 발명자가 선출원한 국내특허등록 제1047537호의 "프로브 카드"가 개시되어 있다.

상기 선행기술은 메인회로기판과 공간 변형기를 연결하기 위한 서브회로기판을 구비함으로써 도선 연결하는 작업이 용이하여 작업시간이 단축되고 작업 오류도 방지될 수 있는 프로브 카드에 관한 것이었다.

종래 프로브 카드는 다수의 미세한 탐침이 구비되고, 이들 다수의 미세한 탐침이 수용되는 프로브헤드가 포함되는데, 프로브헤드는 다수의 미세한 탐침이 수용되도록 공간이 형성되어 있다.

그런데 프로브헤드의 내부 공간에 미세한 입자들이 유입되어 누적되고, 이로 인해 탐침의 기능저하가 유발되므로 기존 수직형 프로브카드의 경우 내부 파티클 제거를 위하여 프로브헤드를 분리하여 세정하여 왔다.

그러나 프로브헤드를 분리할 경우 핀 데미지 또는 프로브헤드 자체에 손상을 줄 위험이 있다.

본 발명은 상기한 종래 기술의 문제점을 해소하기 위해 안출된 것으로, 프로브 헤드를 분리할 필요 없이 내부 공간에 누적되는 미세 입자들을 용이하게 세정할 수 있도록 하여 핀 데미지 및 프로브헤드의 손상을 방지할 수 있도록 한 세정 기능을 갖는 프로브 카드를 제공하는데 그 목적이 있다.

상기한 본 발명의 목적은, 다수의 미세 탐침이 수용되는 프로브헤드를 갖는 프로브카드에 있어서, 상기 프로브헤드는 내부에 상기 다수의 미세 탐침이 수용되는 공간이 형성되고, 상기 공간과 통하는 세정용 통공이 적어도 1개소 이상 형성되어 이루어진 것을 특징으로 하는 프로브 카드에 의해 달성될 수 있다.

상기 프로브헤드는 상부 기판과 하부 기판이 중첩되어 결합된 것이고, 상기 상부 기판의 저면에 오목하게 요입되어 제1요부가 형성되고, 상기 하부 기판의 상면에는 오목하게 요입되어 제1요부에 대응되는 제2요부가 형성된 것으로, 상기 제1요부와 제2요부가 맞대어지게 결합되어 상기 공간이 형성되도록 한 것을 특징으로 한다.

상기 하부 기판에 세정용 통공이 형성되어 제2요부에 통하도록 한 것을 특징으로 한다.

상기 제1요부 및 제2요부의 저면에는 다수의 미세 탐침의 일단부가 관통하는 미세홀이 형성되는 것을 특징으로 한다.

본 발명에 따르면, 프로브 헤드를 분리할 필요 없이 내부 공간에 세정액을 디핑시켜 초음파 세척을 하여 미세 입자들을 용이하게 세정할 수 있도록 하여 핀 데미지 및 프로브헤드의 손상을 방지할 수 있어 유지 비용을 월등히 절감할 수 있는 효과가 있다.

도 1은 본 발명에 따른 세정 기능을 갖는 프로브 카드를 나타낸 사시도,
도 2는 본 발명에 따른 세정 기능을 갖는 프로브 카드에서 '프로브헤드'를 나타낸 확대 사시도,
도 3은 본 발명에 따른 세정 기능을 갖는 프로브 카드에서 '프로브헤드'를 나타낸 분해 사시도,
도 4는 본 발명에 따른 세정 기능을 갖는 프로브 카드에서 '프로브헤드'를 나타낸 단면도.

이하 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 토대로 상세하게 설명하면 다음과 같다.

하기에서 설명될 실시예는 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 발명을 용이하게 실시할 수 있을 정도로 상세하게 설명하기 위한 것이며, 이로 인해 본 발명의 기술적인 사상 및 범주가 한정되는 것을 의미하지는 않는다.

또한, 도면에 도시된 구성요소의 크기나 형상 등은 설명의 명료성과 편의상 과장되게 도시될 수 있으며, 본 발명의 구성 및 작용을 고려하여 특별히 정의된 용어들은 사용자, 운용자의 의도 또는 관례에 따라 달라질 수 있고, 이러한 용어들에 대한 정의는 본 명세서 전반에 걸친 내용을 토대로 내려져야 함을 밝혀둔다.

첨부된 도면 중에서, 도 1은 본 발명에 따른 세정 기능을 갖는 프로브 카드를 나타낸 사시도, 도 2는 본 발명에 따른 세정 기능을 갖는 프로브 카드에서 '프로브헤드'를 나타낸 확대 사시도, 도 3은 본 발명에 따른 세정 기능을 갖는 프로브 카드에서 '프로브헤드'를 나타낸 분해 사시도, 도 4는 본 발명에 따른 세정 기능을 갖는 프로브 카드에서 '프로브헤드'를 나타낸 단면도이다.

도 1 내지 도 8에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 세정 기능을 갖는 프로브 카드(A)는, 메인회로기판(100)의 하부에 장착되며, 다수의 미세 탐침(200)이 수용되는 프로브헤드(300)를 포함한다.

상기 프로브헤드(300)는 내부에 상기 다수의 미세 탐침(200)이 수용되는 공간(320)이 형성되고, 상기 공간(320)과 통하는 세정용 통공(340)이 적어도 1개소 이상 형성되어 이루어진다.

상기 프로브헤드(300)는 상부 기판(310)과 하부 기판(330)이 중첩되어 결합된 것으로, 상부 기판(310)과 하부 기판(330)은 원판 형상으로 이루어진다.

또한 상기 상부 기판(310)의 저면에 오목하게 요입되어 제1요부(351)가 형성되고,

상기 하부 기판(330)의 상면에는 오목하게 요입되어 제1요부(351)에 대응되는 제2요부(352)가 형성된다.

따라서 상기 상부 기판(310)과 하부 기판(330)이 중첩되면 상기 제1요부(351)와 제2요부(352)가 맞대어지게 결합됨으로써 내부에는 상기 공간(320)이 형성될 수 있다.

상기 제1요부(351) 및 제2요부(352)의 저면에는 다수의 미세 탐침(200)의 일단부가 관통하는 미세홀(370)이 형성된다.

여기서 상기 제1요부(351) 및 제2요부(352)는 사각형으로 형성되는데 다수의 미세 탐침(200)이 대략 사각형으로 배열되어 공간에 수용되고, 이들 다수의 미세 탐침(200) 집합체 보다 더 크게 공간이 형성됨이 바람직하다.

본 발명의 주된 특징은 상기 하부 기판(330)에 세정용 통공(340)이 형성되어 제2요부(352)에 통하도록 한 것이다.

상기 세정용 통공(340)은 하부 기판(330)에 적어도 2개 이상으로 형성되며 이들 세정용 통공(340)은 이격되어 형성된다.

따라서 세정용 통공(340)을 통해 세정 용액이 주입될 수 있어 공간(320) 내부로 세정 용액이 유입될 수 있는 것이다.

즉 프로브헤드(300)를 메인회로기판(100)으로부터 분리한 후 이를 용기에 넣어 세정 용액에 침지시킨 다음 초음파 발진기(미도시)를 온 시켜 초음파를 발생시킨다. 초음파 발진기는 세정용액이 담긴 용기의 일측에 구비된다.

세정 용액이 세정용 통공(340)을 통해 공간(320) 내부로 유입되므로 내부에 누적되어 있던 미세 입자들이 용해된 후 초음파에 의해 박리되어 공간(320) 내부로부터 빠져나오게 되어 제거될 수 있다.

비록 본 발명이 상기 언급된 바람직한 실시예와 관련하여 설명되어졌지만, 발명의 요지와 범위로부터 벗어남이 없이 다양한 수정 및 변형이 가능한 것은 당업자라면 용이하게 인식할 수 있을 것이며, 이러한 변경 및 수정은 모두 첨부된 청구의 범위에 속함은 자명하다.

100 : 메인회로기판 200 : 미세 탐침
300 : 프로브헤드 320 : 공간
310 : 상부 기판 330 : 하부 기판
340 : 세정용 통공 351 : 제1요부
352 : 제2요부

Claims (4)

1. 다수의 미세 탐침이 수용되는 프로브헤드를 갖는 프로브카드에 있어서,
   상기 프로브헤드는 내부에 상기 다수의 미세 탐침이 수용되는 공간이 형성되고,
   상기 공간과 통하는 세정용 통공이 적어도 1개소 이상 형성되어 이루어지며,
   상기 프로브헤드는
   상부 기판과 하부 기판이 중첩되어 결합되고,
   상기 상부 기판의 저면에 오목하게 요입되어 제1요부가 형성되고,
   상기 하부 기판의 상면에는 오목하게 요입되어 제1요부에 대응되는 제2요부가 형성된 것으로,
   상기 제1요부와 제2요부가 맞대어지게 결합되어 상기 공간이 형성되고,
   상기 하부 기판에 세정용 통공이 형성되어 제2요부에 통하도록 하며,
   상기 세정용 통공은 하부 기판에 적어도 2개 이상으로 형성되며, 세정용 통공은 이격되어 형성되는 것을 특징으로 하는 프로브 카드.
2. 삭제
3. 삭제
4. 제 1항에 있어서,
   상기 제1요부 및 제2요부의 저면에는 다수의 미세 탐침의 일단부가 관통하는 미세홀이 형성되는 것을 특징으로 하는 프로브 카드.
   

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