KR101567479B1 - 커넥터 접속 방식의 프로브 카드 - Google Patents

Abstract

커넥터 접속 방식의 프로브 카드가 개시된다. 본 발명에 따른 커넥터 접속 방식의 프로브 카드는, 중앙에 개구부가 형성되고 표면에 다수의 채널이 형성된 메인회로기판; 상기 메인회로기판의 개구부에 결합되며, 상기 메인회로기판의 다수의 채널과 전기적으로 연결되는 서브회로기판; 상기 다수의 채널 각각에 형성되며 통전 가능한 연결구; 상기 연결구에 분리 가능하도록 일단에 체결수단이 형성되며 상기 서브회로기판과 채널을 연결하여 전기적으로 통하도록 하는 케이블을 포함한다.
이에 따르면, 프로브카드의 다수의 채널과 동축케이블이 소켓 결합구조를 취함으로써 탈부착이 용이해질 수 있으며, 유지 보수가 용이하고, 채널간의 이동이 용이하여 가변성이 뛰어난 장점이 있다.

Description

커넥터 접속 방식의 프로브 카드{PROBE CARD OF THE CONNECTOR CONNECTION METHOD}

본 발명은 커넥터 접속 방식의 프로브 카드에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 프로브카드의 전류 특성에 관한 테스트에 적용되는 커넥터 접속 방식의 프로브 카드에 관한 것이다.

일반적인 반도체 소자들은 웨이퍼 단위의 공정 완료 후 최종 Package 전 즉, 공정 수율 및 전기적 신호의 이상 유무를 판별하기 위해 제품의 테스트를 거치게 되는데 측정하려는 소자의 패드 면에 접촉하여 소자의 상태를 측정하는 프로브 카드가 사용된다.

프로브 카드에 관련된 선행기술로는 본 발명자가 선출원한 국내특허등록 제1047537호의 "프로브 카드"가 개시되어 있다.

상기 선행기술은 메인회로기판과 공간 변형기를 연결하기 위한 서브회로기판을 구비함으로써 도선 연결하는 작업이 용이하여 작업시간이 단축되고 작업 오류도 방지될 수 있는 프로브 카드에 관한 것이었다.

한편 프로브 카드는 반도체 웨이퍼의 중요한 측정요소 중 하나이다.

도 4에 도시된 바와 같이, 프로브 카드는 메인회로기판(2')의 중앙에 서브회로기판(4')이 구비되고, 상기 메인회로기판(2')의 표면에 형성된 다수의 채널(3')과 서브회로기판(4')이 케이블(100')을 이용하여 최단거리로 납땜처리된다.

그러나 종래 기술은 고장이 발생되었을때 납땜부위를 제거한 후 분리해야 하므로 작업이 번거롭고 공정에 많은 시간이 소요되는 문제점이 있었다.

본 발명은 상기한 종래 기술의 문제점을 해소하기 위해 안출된 것으로, 프로브카드의 다수의 채널과 동축케이블을 탈부착 가능한 구조로 개선함으로써 유지 보수가 용이하고, 채널 이동이 용이하여 가변성이 뛰어난 커넥터 접속 방식의 프로브 카드를 제공하는데 그 목적이 있다.

본 발명의 일 실시예는, 중앙에 개구부가 형성되고 표면에 다수의 채널이 형성된 메인회로기판; 상기 메인회로기판의 개구부에 결합되며, 상기 메인회로기판의 다수의 채널과 전기적으로 연결되는 서브회로기판; 상기 다수의 채널 각각에 형성되며 통전 가능한 연결구; 상기 연결구에 분리 가능하도록 일단에 체결수단이 형성되며 상기 서브회로기판과 채널을 연결하여 전기적으로 통하도록 하는 케이블을 포함하는 것을 특징으로 하는 커넥터 접속 방식의 프로브 카드를 제공한다.

또한 상기 메인회로기판의 개구부의 상면에 설치되는 스페이서; 상기 스페이서의 상면에 설치되며, 상기 케이블의 일측에 연결되는 케이블 홀더; 상기 스페이서의 하면에 설치되며 메인회로기판의 개구부에 삽입되는 서브회로기판; 상기 서브회로기판의 하부에 설치되며 다수의 탐침이 형성된 프로브 헤드; 상기 프로브 헤드 및 서브회로기판이 수용되고, 상기 스페이서의 하부에 결합되는 헤드커버를 포함한다.

상기 체결수단은 상기 연결구의 끼움공에 끼워지는 돌기가 형성된다.

본 발명에 따르면, 프로브카드의 다수의 채널과 동축케이블이 소켓 결합구조를 취함으로써 탈부착이 용이해질 수 있으며, 유지 보수가 용이하고, 채널간의 이동이 용이하여 가변성이 뛰어난 장점이 있다.

도 1은 본 발명에 따른 커넥터 접속 방식의 프로브 카드를 나타낸 분해사시도,
도 2는 본 발명에 따른 커넥터 접속 방식의 프로브 카드를 나타낸 결합된 사시도,
도 3은 본 발명에 따른 커넥터 접속 방식의 프로브 카드를 나타낸 결합된 단면도,
도 4는 종래 기술에 따른 프로브 카드의 일부를 나타낸 도면.

이하 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 토대로 상세하게 설명하면 다음과 같다.

하기에서 설명될 실시예는 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 발명을 용이하게 실시할 수 있을 정도로 상세하게 설명하기 위한 것이며, 이로 인해 본 발명의 기술적인 사상 및 범주가 한정되는 것을 의미하지는 않는다.

또한, 도면에 도시된 구성요소의 크기나 형상 등은 설명의 명료성과 편의상 과장되게 도시될 수 있으며, 본 발명의 구성 및 작용을 고려하여 특별히 정의된 용어들은 사용자, 운용자의 의도 또는 관례에 따라 달라질 수 있고, 이러한 용어들에 대한 정의는 본 명세서 전반에 걸친 내용을 토대로 내려져야 함을 밝혀둔다.

첨부된 도면 중에서, 도 1은 본 발명에 따른 커넥터 접속 방식의 프로브 카드를 나타낸 분해사시도, 도 2는 본 발명에 따른 커넥터 접속 방식의 프로브 카드를 나타낸 결합된 사시도, 도 3은 본 발명에 따른 커넥터 접속 방식의 프로브 카드를 나타낸 결합된 단면도이다.

도 1 내지 도 3에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 커넥터 접속 방식의 프로브 카드(A)는, 중앙에 개구부(20)가 형성되고 표면에 다수의 채널(3)이 형성된 메인회로기판(2); 상기 메인회로기판(2)의 개구부(20)에 결합되며, 메인회로기판(2)의 다수의 채널(3)과 전기적으로 연결되는 서브회로기판(4); 상기 다수의 채널(3) 각각에 형성되며 통전 가능한 연결구(5); 상기 연결구(5)에 분리 가능하도록 일단에 체결수단(36)이 형성되며 상기 서브회로기판(4)과 채널(3)을 연결하여 전기적으로 통하도록 하는 케이블(6);을 포함한다.

상기 메인회로기판(2)의 개구부(20)의 직경은 상기 서브회로기판(4)이 관통가능하도록 서브회로기판(4)의 직경보다 크게 형성된다.

따라서 상기 서브회로기판(4)이 메인회로기판(2)의 개구부(20)에 삽입되어 승강되도록 하여 프로브 블럭(6)의 높이 및 평탄도를 조절할 수 있다.

서브회로기판(4)은 메인회로기판(2)의 개구부(20)를 통과할 수 있도록 적정한 직경으로 형성됨이 바람직하고, 이 서브회로기판(4)과 그에 부착된 프로브 헤드가 승강될 수 있어 높이 및 평탄도를 미세 조정할 수 있다.

상기 메인회로기판(2)의 표면의 외주연에 다수의 채널(3)이 원주방향으로 형성된다.

상기 다수의 채널(3) 각각은, 도전성의 재질로 이루어지며, 대략 긴 타원형상으로 형성된다.

또한 본 발명은, 상기 메인회로기판(2)의 개구부의 상면에 설치되는 스페이서(100)와, 상기 스페이서(100)의 상면에 설치되며, 상기 케이블(6)의 일측에 연결되는 케이블 홀더(200)를 포함한다.

서브회로기판(4)은 상기 스페이서(100)의 하면에 설치되며 메인회로기판(2)의 개구부(20)에 삽입된다.

그리고 상기 서브회로기판(4)의 하부에는 다수의 탐침(350)이 형성된 프로브 헤드(300)가 설치된다.

상기 프로브 헤드(300)는 원판형상이며 홀 가공이 용이하며 저항이 높은 재료로 이루어져 누설 전류를 최소화하도록 한 것으로, 바람직하게는 세라믹, 엔지니어링 플라스틱 재질로 이루어진다.

그리고 중앙부에는 프로브 탐침(8)이 결합되는 미세홀(60)이 형성되어 프로브 탐침(8)을 고정할 수 있고, 프로브 탐침(8)은 외부의 도선과 통전 가능하게 연결된다.

이후 상기 프로브 헤드(300) 및 서브회로기판(4)이 수용되고, 상기 스페이서(100)의 하부에 헤드커버(400)가 결합된다.

상기 체결수단(36)은 상기 연결구(5)의 끼움공에 끼워지는 돌기(362)가 형성된다. 따라서 체결수단(36)의 돌기(362)를 연결구(5)의 끼움공(52)에 꽂아 결합된다.

연결구(5)는 원통 형상이며, 상단이 개구되어 끼움공(52)이 내부에 형성된다.

체결수단(36)은 연결구(5)와 견고하게 결합된 상태가 유지될 수 있도록 나사결합 또는 억지끼움 결합이 채택된다.

일 예로써, 상기 연결구(5)는 외면에 나사산이 형성되고, 상기 체결수단(36)은 상기 연결구의 외면에 나사결합되도록 내주면에 나사산이 형성된다.

또는 다른 예로는, 상기 연결구(5)는 외면에 형성된 환형의 걸림턱이 형성되고, 상기 체결수단(36)은 상기 연결구(5)의 외면에 끼움 결합되도록 내주면에 환형의 걸림홈이 형성된다.

이와 같이 구성된 본 발명의 작용을 설명하면 다음과 같다.

메인회로기판(2)에 형성된 다수의 채널(3)에는 각기 대응되는 케이블(6)이 연결되는데 각 케이블(6)은 채널(3)에 형성된 연결구(5)에 탈착 가능한 체결수단(36)이 구비됨으로써 케이블(6)의 끼움 결합이 용이하고, 이에 따라 케이블(6)의 교체시 간편하게 교체 작업이 이루어질 수 있게 된다.

또한 일 채널(3)에 연결되었던 케이블(6)을 다른 채널(3)로 이동시킬 필요가 있을때에도 체결수단(36)을 분리하여 다른 채널(3)의 연결구(5)에 꽂으면 되므로 매우 간편한 가변성이 제공될 수 있는 것이다.

비록 본 발명이 상기 언급된 바람직한 실시예와 관련하여 설명되어졌지만, 발명의 요지와 범위로부터 벗어남이 없이 다양한 수정 및 변형이 가능한 것은 당업자라면 용이하게 인식할 수 있을 것이며, 이러한 변경 및 수정은 모두 첨부된 청구의 범위에 속함은 자명하다.

2 : 메인회로기판 3 : 채널
4 : 서브회로기판 5 : 연결구
6 ; 케이블 36 : 체결수단
52 : 끼움공 100 : 스페이서
200 : 케이블 홀더 300 : 프로브헤드
350 ; 탐침 400 : 헤드커버

Claims (5)

1. 중앙에 개구부가 형성되고 표면에 다수의 채널이 형성된 메인회로기판;
   상기 메인회로기판의 개구부에 결합되며, 상기 메인회로기판의 다수의 채널과 전기적으로 연결되는 서브회로기판;
   상기 다수의 채널 각각에 형성되며 통전 가능한 연결구;
   상기 연결구에 분리 가능하도록 일단에 체결수단이 형성되며 상기 서브회로기판과 채널을 연결하여 전기적으로 통하도록 하는 케이블;를 포함하고,
   상기 메인회로기판의 개구부의 상면에 설치되는 스페이서;
   상기 스페이서의 상면에 설치되며, 상기 케이블의 일측에 연결되는 케이블 홀더;를 포함하고,
   상기 서브회로기판은 상기 스페이서의 하면에 설치되며 메인회로기판의 개구부에 삽입되며;
   상기 서브회로기판의 하부에 설치되며 다수의 탐침이 형성된 프로브 헤드;
   상기 프로브 헤드 및 서브회로기판이 수용되고, 상기 스페이서의 하부에 결합되는 헤드커버
   를 포함하는 것을 특징으로 하는 커넥터 접속 방식의 프로브 카드.
2. 삭제
3. 제 1항에 있어서,
   상기 체결수단은
   상기 연결구의 끼움공에 끼워지는 돌기가 형성된 것을 특징으로 하는 커넥터 접속 방식의 프로브 카드.
4. 제 3항에 있어서,
   상기 연결구는 외면에 나사산이 형성되고, 상기 체결수단은 상기 연결구의 외면에 나사결합되도록 내주면에 나사산이 형성된 것을 특징으로 하는 커넥터 접속 방식의 프로브 카드.
5. 제 3항에 있어서,
   상기 연결구는 외면에 형성된 환형의 걸림턱이 형성되고, 상기 체결수단은 상기 연결구의 외면에 끼움 결합되도록 내주면에 환형의 걸림홈이 형성된 것을 특징으로 하는 커넥터 접속 방식의 프로브 카드.
   
   
   

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