KR101515705B1 - Apparatus for exchanging a collet holder - Google Patents

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KR101515705B1 KR1020130087366A KR20130087366A KR101515705B1 KR 101515705 B1 KR101515705 B1 KR 101515705B1 KR 1020130087366 A KR1020130087366 A KR 1020130087366A KR 20130087366 A KR20130087366 A KR 20130087366A KR 101515705 B1 KR101515705 B1 KR 101515705B1
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Abstract

콜릿 홀더 교체 장치는 평판부 상에 서로 다른 종류의 콜릿이 부착된 콜릿 홀더를 수용하는 수용부가 다수 구비된다. 수용부는 콜릿이 부착된 콜릿 홀더를 수용하기 위한 상방이 개방된 중공의 몸체 및 몸체의 상면에 구비되며, 콜릿이 부착된 콜릿 홀더가 기준 방향으로 배치된 경우 콜릿이 부착된 콜릿 홀더 및 콜릿 홀더와 결합되는 픽업 헤드의 상하 이동을 허용하고, 콜릿이 부착된 콜릿 홀더가 기준 방향에 대해 일정 각도 회전된 경우 픽업 헤드의 상방 이동은 허용하고 콜릿이 부착된 콜릿 홀더의 상방 이동을 제한하여 콜릿이 부착된 콜릿 홀더를 픽업 헤드로부터 분리하기 위한 걸림턱으로 이루어진다. 따라서, 픽업 헤드는 콜릿이 부착된 콜릿 홀더를 신속하고 용이하게 교체할 수 있다. The collet holder replacing apparatus includes a plurality of accommodating portions for accommodating collet holders having different types of collets on the flat plate portion. The receptacle is provided on a top surface of the body and a hollow body which is opened upward to receive the collet holder having the collet. When the collet holder with the collet is arranged in the reference direction, the collet holder and the collet holder Allowing the up and down movement of the coupled pick-up head, allowing upward movement of the pick-up head when the collet holder with the collet is rotated at a constant angle relative to the reference direction and restricting upward movement of the collet holder with the collet, And a catching jaw for separating the collet holder from the pick-up head. Thus, the pick-up head can quickly and easily replace the collet holder to which the collet is attached.

Description

콜릿 홀더 교체 장치{Apparatus for exchanging a collet holder}Apparatus for exchanging a collet holder < RTI ID = 0.0 >

본 발명은 콜릿 홀더 교체 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 다양한 크기의 콜릿들이 부착된 콜릿 홀더를 교체하기 위한 콜릿 홀더 교체 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a collet holder replacement device, and more particularly to a collet holder replacement device for replacing a collet holder with collets of various sizes.

일반적으로, 다이 본딩 공정은 소잉 공정을 통해 개별화된 다이들을 기판에 본딩하기 위한 공정으로, 상기 다이 본딩 공정에서 웨이퍼로부터 상기 다이들을 픽업하여 이송하는 픽업 유닛이 사용될 수 있다. 상기 픽업 유닛은 상기 진공을 이용하여 상기 다이를 픽업하기 위한 콜릿과 상기 콜릿이 결합되는 픽업 헤드 및 상기 픽업 헤드를 이동시키기 위한 구동부를 포함할 수 있다.Generally, the die bonding process is a process for bonding individualized dies to a substrate through a soaking process, and a pickup unit for picking up and transferring the dies from a wafer in the die bonding process may be used. The pick-up unit may include a collet for picking up the die using the vacuum, a pick-up head to which the collet is coupled, and a drive unit for moving the pick-up head.

일 예로서, 상기 콜릿과 상기 콜릿 홀더는 자기력으로 서로 결합되며, 상기 콜릿 홀더는 상기 픽업 헤드의 축에 볼트 조립될 수 있다. 또한, 상기 픽업 헤드 및 상기 콜릿 홀더에는 진공을 제공하기 위한 공압 배관이 구비될 수 있으며, 상기 콜릿에는 상기 공압 배관과 연결되어 상기 다이를 픽업하기 위한 복수의 흡착홀들이 구비될 수 있다.In one example, the collet and the collet holder are coupled to each other by a magnetic force, and the collet holder can be bolted to an axis of the pick-up head. In addition, the pick-up head and the collet holder may be provided with a pneumatic pipe for providing vacuum, and the collet may be provided with a plurality of suction holes connected to the pneumatic pipe to pick up the die.

한편, 픽업할 다이들의 크기에 따라 상기 콜릿들의 크기도 달라질 수 있다. 따라서, 상기 다이들의 크기에 따라 상기 콜릿을 교체할 필요가 있다. The sizes of the collets may vary depending on the sizes of the dies to be picked up. Therefore, it is necessary to replace the collet according to the size of the dies.

또한, 상기 콜릿은 다이와 직접 접촉되는 관계로 유연한 물질, 예를 들면, 합성 고무 등과 같은 물질로 이루어질 수 있으며, 일정 기간 사용 후 마모 등의 이유로 교체가 요구될 수 있다. The collet may be made of a flexible material, for example, a synthetic rubber or the like in direct contact with the die, and may be required to be replaced due to abrasion or the like after a certain period of use.

상기 콜릿의 교체는 작업자에 의해 수동으로 이루어지며, 필요에 따라 상기 픽업 헤드의 축에 볼트 조립된 콜릿 홀더를 풀어 상기 콜릿을 교체해야 한다. 그러므로, 작업자에 의한 수동 교체 방법에는 상당한 시간이 소요될 수 있으며, 새로운 콜릿이 상기 콜릿 홀더에 정확히 부착되지 않는 경우 다이 본딩 공정에서 불량 발생율이 증가될 수 있다. 따라서, 상기 콜릿의 자동 교체를 위한 방법 및 장치에 대한 요구가 지속적으로 제기되고 있다.Replacement of the collet is manually performed by the operator. If necessary, the collet must be removed by unscrewing the collet holder bolted to the shaft of the pick-up head. Therefore, a manual replacement method by the operator may take a considerable time, and the failure incidence rate in the die bonding process may be increased if a new collet is not accurately attached to the collet holder. Accordingly, there is a continuing need for a method and apparatus for automatic replacement of the collet.

본 발명은 콜릿이 부착된 콜릿 홀더를 자동으로 교체할 수 있는 콜릿 홀더 교체 장치를 제공한다. The present invention provides a collet holder replacement device that can automatically replace a collet holder with a collet.

본 발명에 따른 콜릿 홀더 교체 장치는 평판부 및 콜릿이 부착된 콜릿 홀더를 수용하기 위한 상방이 개방된 중공의 몸체 및 상기 몸체의 상면에 구비되며, 상기 콜릿이 부착된 콜릿 홀더가 기준 방향으로 배치된 경우 상기 콜릿이 부착된 콜릿 홀더 및 상기 콜릿 홀더와 결합되는 픽업 헤드의 상하 이동을 허용하고, 상기 콜릿이 부착된 콜릿 홀더가 상기 기준 방향에 대해 일정 각도 회전된 경우 상기 픽업 헤드의 상방 이동은 허용하고 상기 콜릿이 부착된 콜릿 홀더의 상방 이동을 제한하여 상기 콜릿이 부착된 콜릿 홀더를 상기 픽업 헤드로부터 분리하기 위한 걸림턱으로 이루어지며, 상기 평판부 상에 다수개가 구비되어 서로 다른 종류의 콜릿이 부착된 콜릿 홀더를 수용하는 수용부를 포함할 수 있다. The collet holder replacing apparatus according to the present invention is characterized in that the collet holder replacing apparatus according to the present invention comprises a hollow body having an open top for receiving a collet holder having a flat plate portion and a collet, Up movement of the pick-up head coupled with the collet holder and the collet holder when the collet is attached to the collet holder and the upward movement of the pick-up head when the collet holder with the collet is rotated at a predetermined angle with respect to the reference direction, And a locking jaw for allowing upward movement of the collet holder with the collet attached thereon to separate the collet holder with the collet from the pick-up head, wherein a plurality of collet holders are provided on the flat plate portion, And an accommodating portion for accommodating the attached collet holder.

본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 수용부는 상기 제1 몸체의 저면에 구비되며, 상기 콜릿이 부착된 콜릿 홀더를 탄성적으로 지지하기 위한 지지부를 더 포함할 수 있다. According to an embodiment of the present invention, the receiving portion is provided on the bottom surface of the first body, and may further include a support portion for elastically supporting the collet holder to which the collet is attached.

본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 지지부는 상기 제1 몸체의 내부에 수평 상태로 배치되는 플레이트 및 상기 제1 몸체의 내부 저면과 상기 플레이트 사이에 배치되며, 상기 콜릿 홀더와 상기 콜릿이 하강하여 상기 플레이트와 접촉할 때 상기 콜릿에 가해지는 충격을 완충하기 위한 코일 스프링을 포함할 수 있다. According to one embodiment of the present invention, the support portion is disposed between the plate and the inner bottom surface of the first body, the plate being horizontally disposed inside the first body, and the collet holder and the collet are lowered And a coil spring for buffering an impact applied to the collet when the plate contacts the plate.

본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 콜릿이 상기 플레이트와 접촉한 상태에서도 용이하게 회전하도록 상기 플레이트는 저마찰 계수를 갖는 물질로 이루어질 수 있다. According to one embodiment of the present invention, the plate may be made of a material having a low coefficient of friction such that the collet easily rotates even in contact with the plate.

본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 수용부는 상기 수용부들의 제1 몸체와 일정 간격만큼 이격되도록 상기 제1 몸체를 관통하여 상기 평판부와 체결되고, 상기 콜릿이 부착된 콜릿 홀더와 상기 제1 몸체가 오정렬된 경우 상기 제1 몸체가 요동 가능하도록 하는 제1 체결 나사를 더 포함할 수 있다. According to an embodiment of the present invention, the receiving portion is coupled to the flat plate portion through the first body so as to be spaced apart from the first body of the receiving portions by a predetermined distance, and the collet holder, And a first fastening screw for swinging the first body when the first body is misaligned.

본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 제1 걸림턱과 인접한 상기 제1 몸체의 측벽은 자성체로 이루어지며, 상기 콜릿 홀더의 제1 영구자석과 상기 제1 몸체의 측벽 사이의 자력으로 인해 상기 콜릿 홀더가 상기 제1 몸체의 측벽에 고정될 수 있다. According to one embodiment of the present invention, the sidewall of the first body adjacent to the first engaging jaw is made of a magnetic material, and the magnetic force between the first permanent magnet of the collet holder and the sidewall of the first body The collet holder may be fixed to the side wall of the first body.

본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 콜릿 홀더 교체 장치는 상하방이 개방된 중공의 제2 몸체 및 상기 제2 몸체의 상면에 구비되며, 상기 콜릿이 부착된 콜릿 홀더가 기준 방향으로 배치된 경우 상기 콜릿이 부착된 콜릿 홀더 및 상기 콜릿 홀더와 결합되는 픽업 헤드의 상하 이동을 허용하고, 상기 콜릿이 부착된 콜릿 홀더가 상기 기준 방향에 대해 일정 각도 회전된 경우 상기 픽업 헤드의 상방 이동은 허용하고 상기 콜릿이 부착된 콜릿 홀더의 상방 이동을 제한하여 상기 콜릿이 부착된 콜릿 홀더를 상기 픽업 헤드로부터 분리하기 위한 제2 걸림턱으로 이루어지며, 상기 평판부에 형성된 개구 상에 구비되는 분리부를 더 포함할 수 있다. According to an embodiment of the present invention, the collet holder replacing device includes a second hollow body having upper and lower openings and an upper surface of the second body, wherein when the collet holder with the collet is arranged in the reference direction Allowing the pick-up head coupled with the collet holder and the collet holder to move upwards when the collet holder is rotated at a predetermined angle relative to the reference direction, And a second latching jaw for restricting upward movement of the collet holder with the collet attached thereto and separating the collet holder with the collet holder from the pick-up head, and further comprising a separating portion provided on the opening formed in the flat plate portion can do.

본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 콜릿 홀더 교체 장치는 상기 평판부에서 상기 개구의 하부에 구비되며, 상기 분리부에 상기 픽업 헤드로부터 분리된 상기 콜릿이 부착된 콜릿 홀더를 수용하기 위한 회수부를 더 포함할 수 있다. According to one embodiment of the present invention, the collet holder replacing device is provided at the lower portion of the opening in the flat plate portion, and the collection portion for receiving the collet holder attached with the collet separated from the pick- And the like.

본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 콜릿 홀더 교체 장치는 상기 평판부와 연결되며, 상기 분리부 또는 상기 수용부들이 상기 픽업 헤드의 아래에 위치되도록 상기 평판부를 이동시키기 위한 구동부를 더 포함할 수 있다.According to an embodiment of the present invention, the collet holder replacing apparatus further includes a driving unit connected to the flat plate and moving the flat plate so that the separating unit or the accommodating units are positioned below the pick-up head .

본 발명에 따른 콜릿 홀더 교체 장치는 수용부의 걸림턱을 이용하여 픽업 헤드로부터 콜릿이 부착된 콜릿 홀더를 분리하고, 상기 픽업 헤드가 다른 수용부에 수용된 콜릿이 부착된 콜릿 홀더와 결합함으로서 상기 콜릿과 상기 콜릿 홀더를 자동으로 교체할 수 있다. 따라서, 상기 콜릿을 교체하는데 소요되는 시간을 줄일 수 있다. The collet holder replacing apparatus according to the present invention separates a collet holder having a collet from a pick-up head by using a catching jaw of a receiving section, and by coupling the pick-up head with a collet holder having a collet accommodated in another receiving section, The collet holder can be automatically replaced. Therefore, the time required for replacing the collet can be reduced.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 콜릿 홀더 교체 장치를 설명하기 위한 개략적인 구성도이다.
도 2는 도 1에 도시된 평판부, 수용부 및 분리부를 설명하기 위한 개략적인 평면도이다.
도 3은 도 1에 도시된 수용부를 설명하기 위한 개략적인 단면도이다.
도 4는 도 1에 도시된 분리부를 설명하기 위한 개략적인 단면도이다.
도 5는 도 1에 도시된 픽업 헤드, 콜릿 홀더 및 콜릿을 설명하기 위한 개략적인 단면도이다.
도 6은 도 5에 도시된 픽업 헤드를 설명하기 위한 사시도이다.
도 7은 도 5에 도시된 콜릿 홀더 및 콜릿을 설명하기 위한 평면도이다.
도 8 내지 도 10은 도 3에 도시된 수용부를 이용하여 콜릿 홀더의 교체하는 방법을 설명하기 위한 개략적이 단면도들이다.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS FIG. 1 is a schematic block diagram illustrating a collet holder replacement apparatus according to an embodiment of the present invention; FIG.
2 is a schematic plan view for explaining the flat plate portion, the receiving portion and the separating portion shown in FIG.
3 is a schematic cross-sectional view for explaining the accommodating portion shown in Fig.
4 is a schematic cross-sectional view for explaining the separator shown in Fig.
5 is a schematic sectional view for explaining the pick-up head, collet holder and collet shown in Fig.
6 is a perspective view for explaining the pick-up head shown in Fig.
7 is a plan view for explaining the collet holder and the collet shown in Fig.
Figs. 8 to 10 are schematic cross-sectional views for explaining a method of replacing the collet holder using the receptacle shown in Fig.

이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 콜릿 홀더 교체 장치에 대해 상세히 설명한다. 본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 특정 실시 예들을 도면에 예시하고 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조부호를 유사한 구성요소에 대해 사용하였다. 첨부된 도면에 있어서, 구조물들의 치수는 본 발명의 명확성을 기하기 위하여 실제보다 확대하여 도시한 것이다. Hereinafter, a collet holder replacing apparatus according to an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. The present invention is capable of various modifications and various forms, and specific embodiments are illustrated in the drawings and described in detail in the text. It should be understood, however, that the invention is not intended to be limited to the particular forms disclosed, but includes all modifications, equivalents, and alternatives falling within the spirit and scope of the invention. Like reference numerals are used for like elements in describing each drawing. In the accompanying drawings, the dimensions of the structures are enlarged to illustrate the present invention in order to clarify the present invention.

제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소도 제1 구성요소로 명명될 수 있다. The terms first, second, etc. may be used to describe various components, but the components should not be limited by the terms. The terms are used only for the purpose of distinguishing one component from another. For example, without departing from the scope of the present invention, the first component may be referred to as a second component, and similarly, the second component may also be referred to as a first component.

본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시 예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.The terminology used in this application is used only to describe a specific embodiment and is not intended to limit the invention. The singular expressions include plural expressions unless the context clearly dictates otherwise. In this application, the terms "comprises", "having", and the like are used to specify that a feature, a number, a step, an operation, an element, a part or a combination thereof is described in the specification, But do not preclude the presence or addition of one or more other features, integers, steps, operations, components, parts, or combinations thereof.

다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
Unless defined otherwise, all terms used herein, including technical or scientific terms, have the same meaning as commonly understood by one of ordinary skill in the art to which this invention belongs. Terms such as those defined in commonly used dictionaries are to be interpreted as having a meaning consistent with the contextual meaning of the related art and are to be interpreted as either ideal or overly formal in the sense of the present application Do not.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 콜릿 홀더 교체 장치를 설명하기 위한 개략적인 구성도이고, 도 2는 도 1에 도시된 평판부, 수용부 및 분리부를 설명하기 위한 개략적인 평면도이다. 도 3은 도 1에 도시된 수용부를 설명하기 위한 개략적인 단면도이고, 도 4는 도 1에 도시된 분리부를 설명하기 위한 개략적인 단면도이다. 도 5는 도 1에 도시된 픽업 헤드, 콜릿 홀더 및 콜릿을 설명하기 위한 개략적인 단면도이고, 도 6은 도 5에 도시된 픽업 헤드를 설명하기 위한 사시도이며, 도 7은 도 5에 도시된 콜릿 홀더 및 콜릿을 설명하기 위한 평면도이다. FIG. 1 is a schematic structural view for explaining a collet holder replacing apparatus according to an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a schematic plan view for explaining a flat plate, a receiving portion and a separating portion shown in FIG. Fig. 3 is a schematic sectional view for explaining the accommodating portion shown in Fig. 1, and Fig. 4 is a schematic sectional view for explaining the separating portion shown in Fig. Fig. 5 is a schematic sectional view for explaining the pick-up head, collet holder and collet shown in Fig. 1, Fig. 6 is a perspective view for explaining the pickup head shown in Fig. 5, A holder and a collet.

도 1 내지 도 7을 참조하면, 콜릿 홀더 교체 장치(100)는 다이 본딩 공정에서 픽업할 다이의 크기가 변경되거나, 장시간 사용으로 콜릿(20)이 마모되어 콜릿(20)이 고정된 콜릿 홀더(30)를 자동 교체하기 위해 사용될 수 있다. Referring to FIGS. 1 to 7, the collet holder replacing apparatus 100 may be configured such that the size of the die to be picked up in the die bonding process is changed, or the collet 20 is worn out for a long period of time and the collet 20 is fixed to the collet holder 30). ≪ / RTI >

구체적으로, 상기 다이 본딩 공정에서 픽업 유닛(10)은 다이싱 공정을 통해 개별화된 후 다이싱 테이프 상에 부착되어 제공되는 웨이퍼로부터 다이를 픽업하여 이송하기 위하여 사용될 수 있다. 또한, 픽업 유닛(10)은 상기 다이를 기판 상에 본딩하기 위하여 사용될 수 있다.Specifically, in the die bonding process, the pick-up unit 10 can be used for picking up and transporting a die from a wafer which is individualized through a dicing process and then adhered on the dicing tape. Further, the pick-up unit 10 can be used for bonding the die onto the substrate.

픽업 유닛(10)은 픽업 헤드(40), 픽업 헤드(40)와 결합되는 콜릿 홀더(30) 및 콜릿 홀더(30)에 부착된 콜릿(20)을 포함할 수 있다. 콜릿(20)은 자기력을 이용하여 콜릿 홀더(30)에 장착될 수 있다. 특히, 콜릿(20)에는 상기 다이를 흡착하기 위한 복수의 흡착홀들(22)이 구비될 수 있으며, 콜릿 홀더(30)는 흡착홀들(22)에 진공을 제공하기 위한 제1 공압 배관(32)이 구비될 수 있다. 또한, 픽업 헤드(40)에도 제1 공압 배관(32)과 연결되는 제2 공압 배관(42)이 구비될 수 있다.  The pick-up unit 10 may include a pick-up head 40, a collet holder 30 coupled with the pick-up head 40, and a collet 20 attached to the collet holder 30. The collet 20 can be mounted on the collet holder 30 using magnetic force. Particularly, the collet 20 may be provided with a plurality of suction holes 22 for sucking the die, and the collet holder 30 may include a first pneumatic piping (not shown) for providing a vacuum to the suction holes 22 32 may be provided. The pickup head 40 may also be provided with a second pneumatic piping 42 connected to the first pneumatic piping 32.

콜릿(20)은 대략 사각 형태를 가질 수 있으며 경질의 상부 패드(24)와 연질의 하부 패드(26)를 포함할 수 있다. 상기 다이를 흡착하기 위한 흡착홀들(22)은 상기 상부 패드(24)와 하부 패드(26)를 관통하여 구비될 수 있으며, 콜릿 홀더(30)의 제1 공압 배관(32)과 연통될 수 있다.The collet 20 may have a generally rectangular shape and may include a hard top pad 24 and a soft bottom pad 26. The suction holes 22 for sucking the die may be provided through the upper pad 24 and the lower pad 26 and may be communicated with the first pneumatic piping 32 of the collet holder 30. [ have.

일 예로서, 콜릿 홀더(30)는 콜릿(20)이 장착될 수 있도록 대략 사각 형태를 가질 수 있다. 이때, 콜릿 홀더(30)의 모서리 부위에는 각각 리세스(38)가 구비될 수 있다. 리세스(38)를 통해 콜릿 홀더(30)에 부착된 콜릿(20)이 노출되므로, 콜릿 홀더(30)로부터 콜릿(20)을 용이하게 분리할 수 있다. As an example, the collet holder 30 may have a substantially rectangular shape so that the collet 20 can be mounted. At this time, recesses 38 may be provided at corner portions of the collet holder 30, respectively. The collet 20 attached to the collet holder 30 is exposed through the recess 38 so that the collet 20 can be easily separated from the collet holder 30. [

상기 픽업 헤드(40)와 콜릿(20)의 형상은 사각에 한정되지 않으며, 경우에 따라서 원형 등 다양한 형태가 사용될 수 있으므로, 이에 의해 본 발명의 범위가 제한되지는 않을 것이다.The shape of the pick-up head 40 and the collet 20 is not limited to a square, and various shapes such as a circular shape may be used in some cases, so that the scope of the present invention is not limited thereto.

한편, 콜릿 홀더(30)는 콜릿(20)과 자기력에 의해 서로 결합될 수 있다. 일 예로서, 콜릿 홀더(30)는 자기력을 제공하기 위하여 제1 영구자석(34)이 구비될 수 있으며, 콜릿(20)의 상부 패드(24)는 자성체로 이루어질 수 있다. 또 한편으로, 콜릿 홀더(30)의 하부면 가장자리 부위에는 콜릿(20)의 장착 위치를 안내하기 위한 가이드 부재들(미도시)이 배치될 수 있다.On the other hand, the collet holder 30 can be coupled to the collet 20 by magnetic force. As an example, the collet holder 30 may be provided with a first permanent magnet 34 to provide a magnetic force, and the upper pad 24 of the collet 20 may be made of a magnetic material. On the other hand, guide members (not shown) for guiding the mounting position of the collet 20 may be disposed on the lower edge of the collet holder 30.

일 예로서, 픽업 헤드(40)는 콜릿 홀더(30)가 장착되며, 콜릿 홀더(30)를 회전시킬 수 있다. 픽업 헤드(40)는 콜릿 홀더(30)의 제1 공압 배관(32)과 연결되는 제2 공압 배관(42)을 가질 수 있다. As an example, the pick-up head 40 is mounted with a collet holder 30, and can rotate the collet holder 30. The pick-up head 40 may have a second pneumatic piping 42 connected to the first pneumatic piping 32 of the collet holder 30.

픽업 헤드(40)와 콜릿 홀더(40)도 자기력에 의해 서로 결합될 수 있다. 일 예로서, 픽업 헤드(40)에는 상기 자기력을 제공하기 위하여 제2 영구자석(44)이 구비될 수 있으며, 콜릿 홀더(30)는 자성체로 이루어질 수 있다. 또 한편으로, 픽업 헤드(40)와 콜릿 홀더(30)의 결합시 정렬을 위해 픽업 헤드(40)는 돌출부(46)를 가지며, 콜릿 홀더(30)는 돌출부(46)를 수용하기 위한 수용홈(36)을 가질 수 있다. 구체적으로, 돌출부(46)는 대략 원기둥 형상을 가지며, 상기 원기둥의 측면에 돌출부(46)가 수용홈(36) 내부에서 공회전하는 것을 방지하기 위한 적어도 하나의 평탄면을 갖는다. 수용홈(36)은 돌출부(46)와 대응하는 형상을 갖는다. 따라서, 돌출부(46)가 수용홈(36)에 삽입되어 상기 평탄면이 수용홈(36)에 맞물리므로, 픽업 헤드(40)가 회전함에 따라 콜릿 홀더(30)도 같이 회전할 수 있다. The pick-up head 40 and the collet holder 40 can also be coupled to each other by magnetic force. As an example, the pick-up head 40 may be provided with a second permanent magnet 44 to provide the magnetic force, and the collet holder 30 may be made of a magnetic material. On the other hand, the pick-up head 40 has a protrusion 46 for alignment during the engagement of the pick-up head 40 with the collet holder 30, and the collet holder 30 has a receiving groove for receiving the protrusion 46 (36). Specifically, the projecting portion 46 has a substantially cylindrical shape, and has at least one flat surface for preventing the projecting portion 46 from idling inside the receiving groove 36 on the side surface of the cylinder. The receiving groove 36 has a shape corresponding to the projection 46. Therefore, since the projecting portion 46 is inserted into the receiving groove 36 and the flat surface is engaged with the receiving groove 36, the collet holder 30 can rotate as the pickup head 40 rotates.

콜릿 홀더 교체 장치(100)는 평판부(110), 수용부(120), 분리부(130), 회수부(140) 및 구동부(160)를 포함한다. The collet holder replacing apparatus 100 includes a flat plate 110, a receiving portion 120, a separating portion 130, a collecting portion 140 and a driving portion 160.

평판부(110)는 원판 또는 다각판 형태를 가지며, 수용부(120)가 구비되기 위한 제1 영역(112)들과 분리부(130)가 구비되기 위한 제2 영역(114)을 포함한다. 제1 영역(112)들과 제2 영역(114)은 평판부(110)의 둘레를 따라 위치할 수 있다. The flat plate portion 110 has a disk or a polygonal shape and includes a first region 112 for accommodating the accommodating portion 120 and a second region 114 for accommodating the separating portion 130. The first regions 112 and the second regions 114 may be located along the periphery of the plate portion 110.

평판부(110)는 상부면 중앙 부위에 상기 웨이퍼로부터 이송된 다이가 지지되는 척(116)이 구비될 수 있다. 즉, 평판부(110)는 상기 웨이퍼로부터 이송된 다이를 일시적으로 지지하는 버퍼 유닛으로서 기능할 수 있다. The flat plate portion 110 may be provided with a chuck 116 on which a die transferred from the wafer is supported. That is, the flat plate portion 110 can function as a buffer unit for temporarily supporting the die transferred from the wafer.

수용부(120)는 평판부(110)의 제1 영역(112)들에 각각 배치된다. 예를 들면, 수용부(110)는 제1 영역(112)에 그냥 배치되거나, 제1 영역(112) 형성된 개구 또는 홈에 삽입되어 배치될 수 있다. The receiving portions 120 are disposed in the first regions 112 of the flat plate portion 110, respectively. For example, the accommodating portion 110 may be disposed in the first region 112 or inserted into the opening or groove formed in the first region 112.

수용부(120)는 콜릿(20)이 부착된 콜릿 홀더(30)를 각각 수용한다. 이때, 각 수용부(120)에 수용된 콜릿(20)들은 서로 다른 크기를 다이를 픽업할 수 있는 서로 다른 종류일 수 있다. 수용부(120)는 상방이 개방된 중공의 제1 몸체(121)를 갖는다. 콜릿(20)이 부착된 콜릿 홀더(30)는 기준 방향으로 배치된 상태에서 하강하여 제1 몸체(121)의 내부로 삽입되며, 제1 몸체(121)의 내부에서 상기 기준 방향에 대해 일정 각도만큼 회전할 수 있다. 이때, 상기 기준 방향은 콜릿(20)이 부착된 콜릿 홀더(30)가 회전없이 상하 이동만으로 수용부(120)에 삽입되거나 배출될 수 있는 방향을 의미한다. The receiving portion 120 accommodates the collet holder 30 to which the collet 20 is attached, respectively. At this time, the collets 20 accommodated in the respective receiving portions 120 may be of different kinds capable of picking up dies of different sizes. The receiving portion 120 has a hollow first body 121 having an open top. The collet holder 30 with the collet 20 is lowered in a state of being disposed in the reference direction and inserted into the first body 121. The collet holder 30 is inserted into the first body 121 at a predetermined angle . In this case, the reference direction means a direction in which the collet holder 30 with the collet 20 attached thereto can be inserted into or discharged from the accommodating portion 120 by only moving up and down without rotation.

제1 몸체(121)는 양측면에 각각 제1 플랜지(122)를 갖는다. 체결 나사(123)가 제1 플랜지(122)를 관통하여 평판부(110)와 체결된다. 따라서, 제1 몸체(121)가 평판부(110)에 고정될 수 있다. 이때, 도 3과 같이 제1 체결 나사(123)는 제1 플랜지(122)와 수평 방향 및 수직 방향으로 일정한 간격만큼 이격될 수 있다. 그러므로, 제1 몸체(121)가 평판부(110)에 고정된 상태에서 상기 간격만큼 수평 방향 및 수직 방향으로 요동할 수 있다. 따라서, 콜릿(20)이 부착된 콜릿 홀더(30)와 제1 몸체(121)의 정렬이 약간 어긋나더라도 제1 몸체(121)가 요동 가능하므로 콜릿 홀더(30)와 제1 몸체(121)의 어긋난 정렬을 맞출 수 있다. The first body 121 has first flanges 122 on both sides thereof. The fastening screw 123 passes through the first flange 122 and is fastened to the flat plate portion 110. Therefore, the first body 121 can be fixed to the flat plate portion 110. 3, the first fastening screw 123 may be spaced apart from the first flange 122 by a predetermined distance in the horizontal and vertical directions. Therefore, in a state where the first body 121 is fixed to the flat plate portion 110, the first body 121 can swing in the horizontal direction and the vertical direction by the gap. Therefore, even if the alignment of the collet holder 30 with the collet 20 is slightly shifted from the alignment of the first body 121, the first body 121 can be swung so that the collet holder 30 and the first body 121 The misalignment can be aligned.

제1 몸체(121)의 상부면에 양측에는 제1 걸림턱(124)이 구비된다. 콜릿(20)이 부착된 콜릿 홀더(30)가 상기 기준 방향으로 배치된 경우, 제1 걸림턱(124)은 픽업 헤드(40), 콜릿 홀더(30) 및 콜릿(20)의 상하 이동은 허용한다. 콜릿(20)이 부착된 콜릿 홀더(30)가 상기 기준 방향에서 상기 일정 각도 회전된 경우, 제1 걸림턱(124)은 픽업 헤드(40)의 상하 이동은 허용하지만 콜릿(20)이 부착된 콜릿 홀더(30)의 상방 이동을 제한한다. On both sides of the upper surface of the first body 121, a first latching jaw 124 is provided. When the collet holder 30 with the collet 20 attached thereto is disposed in the reference direction, the first engaging jaw 124 permits the vertical movement of the pickup head 40, the collet holder 30, and the collet 20 do. When the collet holder 30 with the collet 20 is rotated at the predetermined angle in the reference direction, the first stopping jaw 124 allows the pickup head 40 to move up and down, Thereby restricting upward movement of the collet holder 30.

일 예로, 픽업 헤드(40)로부터 콜릿(20)이 부착된 콜릿 홀더(30)를 분리하기 위해서는 픽업 헤드(40)가 콜릿(20)이 부착된 콜릿 홀더(30)를 상기 기준 방향으로 위치시킨 상태에서 제1 몸체(121)의 내부를 향해 하강한 후, 픽업 헤드(40)가 콜릿(20)이 부착된 콜릿 홀더(30)와 같이 상기 일정 각도만큼 회전한 후 상승한다. 이때, 콜릿(20)이 부착된 콜릿 홀더(30)가 제1 걸림턱(124)에 걸려 픽업 헤드(40)로부터 분리되고 픽업 헤드(40)만 상승한다. 픽업 헤드(40)로부터 분리된 콜릿(20)이 부착된 콜릿 홀더(30)는 제1 몸체(121)에 수용된 상태를 유지한다. For example, in order to separate the collet holder 30 with the collet 20 from the pick-up head 40, the pick-up head 40 moves the collet holder 30 with the collet 20 in the reference direction The pick-up head 40 rotates by the predetermined angle like the collet holder 30 with the collet 20 attached thereto, and then ascends. At this time, the collet holder 30 attached with the collet 20 is caught by the first stopping jaw 124, separated from the pickup head 40, and raised only by the pickup head 40. The collet holder 30 attached with the collet 20 separated from the pick-up head 40 is held in the first body 121.

한편, 픽업 헤드(40)에 콜릿(20)이 부착된 콜릿 홀더(30)를 장착하기 위해서는 픽업 헤드(40)가 제1 몸체(121)의 내부를 향해 하강하여 콜릿(20)이 부착된 콜릿 홀더(30)와 결합한 후, 픽업 헤드(40)가 콜릿(20)이 부착된 콜릿 홀더(30)와 같이 상기 일정 각도만큼 회전하여 콜릿(20)이 부착된 콜릿 홀더(30)를 상기 기준 방향으로 위치시킨 상태에서 픽업 헤드(40)가 콜릿(20)이 부착된 콜릿 홀더(30)와 같이 상승한다. In order to mount the collet holder 30 with the collet 20 on the pickup head 40, the pickup head 40 is lowered toward the inside of the first body 121 and the collet 20, The pickup head 40 is rotated by the predetermined angle like the collet holder 30 with the collet 20 attached thereto and the collet holder 30 attached with the collet 20 is moved to the reference direction The pick-up head 40 ascends like the collet holder 30 with the collet 20 attached thereto.

한편, 제1 걸림턱(124)과 인접한 제1 몸체(121)의 측벽은 자성체일 수 있다. 따라서, 콜릿 홀더(30)의 제1 영구자석(34)과 제1 몸체(121)의 측벽 사이의 자력으로 인해 콜릿 홀더(30)가 제1 몸체(121)의 측벽에 고정될 수 있다. Meanwhile, the side wall of the first body 121 adjacent to the first stopping protrusion 124 may be a magnetic body. The collet holder 30 can be fixed to the side wall of the first body 121 due to the magnetic force between the first permanent magnet 34 of the collet holder 30 and the side wall of the first body 121.

제1 몸체(121)의 저면에는 콜릿(20)이 부착된 콜릿 홀더(30)를 탄성적으로 지지하기 위한 지지부(126)가 구비된다. A support portion 126 for elastically supporting the collet holder 30 with the collet 20 is provided on the bottom surface of the first body 121.

지지부(126)는 플레이트(127) 및 코일 스프링(128)을 포함한다. The support portion 126 includes a plate 127 and a coil spring 128.

플레이트(127)는 제1 몸체(121)의 내부에 수평 상태로 배치된다. 코일 스프링(128)은 제1 몸체(121)의 저면과 플레이트(127) 사이에 배치되며, 플레이트(127)를 탄성적으로 지지한다The plate 127 is disposed horizontally inside the first body 121. The coil spring 128 is disposed between the bottom surface of the first body 121 and the plate 127 and resiliently supports the plate 127

플레이트(127)는 제1 몸체(121)에 수용된 콜릿(20) 및 콜릿 홀더(30)를 지지한다. 따라서, 플레이트(127)는 콜릿 홀더(30)에 부착된 콜릿(20)의 하부 패드(26)와 접촉한다. 플레이트(127)는 저마찰 계수를 갖는 물질로 이루어질 수 있다. 상기 물질의 예로는 PEEK 수지, 테프론 수지 등을 들 수 있다. 플레이트(127)의 마찰 계수가 낮으므로, 콜릿(20)의 하부 패드(26)가 플레이트(127)와 접촉한 상태에서도 용이하게 회전할 수 있고, 상기 하부 패드(26)의 손상을 방지할 수 있다. The plate 127 supports the collet 20 and the collet holder 30 housed in the first body 121. Thus, the plate 127 contacts the lower pad 26 of the collet 20 attached to the collet holder 30. The plate 127 may be made of a material having a low coefficient of friction. Examples of the material include PEEK resin and Teflon resin. The lower pad 26 of the collet 20 can be easily rotated even when the lower pad 26 is in contact with the plate 127 because the coefficient of friction of the plate 127 is low, have.

코일 스프링(128)은 콜릿 홀더(30)와 콜릿(20)이 하강하여 플레이트(127)와 접촉할 때 콜릿(20)에 가해지는 충격을 완충한다. 따라서, 콜릿(20)의 손상을 방지할 수 있다. The coil spring 128 cushions the shock applied to the collet 20 when the collet holder 30 and the collet 20 descend to contact the plate 127. Therefore, damage to the collet 20 can be prevented.

또한, 코일 스프링(128)은 복원력으로 인해 플레이트(127)가 상승하고, 이에 따라 플레이트(127)가 제1 몸체(121)에 수용된 콜릿(20)이 부착된 콜릿 홀더(30)를 밀어올려 제1 걸림턱(124)과 밀착된 상태를 유지시킨다. 따라서, 콜릿(20)이 부착된 콜릿 홀더(30)가 제1 몸체(121) 내부에 안정적으로 고정될 수 있다. The plate 127 rises due to the restoring force of the coil spring 128 so that the plate 127 pushes up the collet holder 30 attached with the collet 20 accommodated in the first body 121, 1 retaining jaw 124 is maintained. Therefore, the collet holder 30 to which the collet 20 is attached can be stably fixed within the first body 121.

분리부(130)는 평판부(110)의 제2 영역(114)에 배치된다. 예를 들면, 분리부(130)는 제2 영역(114) 형성된 개구에 삽입되어 배치될 수 있다. The separating portion 130 is disposed in the second region 114 of the flat plate portion 110. For example, the separating portion 130 may be inserted into the opening formed in the second region 114.

분리부(130)는 콜릿(20)이 부착된 콜릿 홀더(30)를 픽업 헤드(40)로부터 분리하기 위한 것으로, 상하방이 개방된 중공의 제2 몸체(131)를 갖는다. 콜릿(20)이 부착된 콜릿 홀더(30)는 기준 방향으로 배치된 상태에서 하강하여 제2 몸체(131)의 내부로 삽입되며, 제2 몸체(131)의 내부에서 상기 기준 방향에 대해 일정 각도만큼 회전할 수 있다. The separating part 130 separates the collet holder 30 with the collet 20 from the pickup head 40 and has a hollow second body 131 with upper and lower openings. The collet holder 30 with the collet 20 is lowered in a state of being disposed in the reference direction and inserted into the second body 131. The collet holder 30 is inserted into the second body 131 at a predetermined angle .

제2 몸체(131)는 양측면에 각각 제2 플랜지(132)를 갖는다. 체결 나사(133)가 제2 플랜지(132)를 관통하여 평판부(110)와 체결된다. 따라서, 제2 몸체(131)가 평판부(110)에 고정될 수 있다. 이때, 도 4와 같이 제2 체결 나사(133)는 제2 플랜지(132)와 수평 방향 및 수직 방향으로 일정한 간격만큼 이격될 수 있다. 그러므로, 제2 몸체(131)가 평판부(110)에 고정된 상태에서 상기 간격만큼 수평 방향 및 수직 방향으로 요동할 수 있다. 따라서, 콜릿(20)이 부착된 콜릿 홀더(30)와 제2 몸체(131)의 정렬이 약간 어긋나더라도 제2 몸체(131)가 요동 가능하므로 콜릿 홀더(30)와 제2 몸체(131)의 어긋난 정렬을 맞출 수 있다. The second body 131 has second flanges 132 on both sides thereof. The fastening screw 133 passes through the second flange 132 and is fastened to the flat plate portion 110. Therefore, the second body 131 can be fixed to the flat plate 110. 4, the second fastening screw 133 may be spaced apart from the second flange 132 by a predetermined distance in the horizontal and vertical directions. Therefore, in a state where the second body 131 is fixed to the flat plate 110, it can swing in the horizontal direction and the vertical direction by the gap. Therefore, even if the alignment of the collet holder 30 with the collet 20 is slightly shifted from the alignment of the second body 131, the second body 131 can be swung so that the collet holder 30 and the second body 131 The misalignment can be aligned.

제2 몸체(131)의 상부면에 양측에는 제2 걸림턱(134)이 구비된다. 콜릿(20)이 부착된 콜릿 홀더(30)가 상기 기준 방향으로 배치된 경우, 제2 걸림턱(134)은 픽업 헤드(40), 콜릿 홀더(30) 및 콜릿(20)의 상하 이동은 허용한다. 콜릿(20)이 부착된 콜릿 홀더(30)가 상기 기준 방향에서 상기 일정 각도 회전된 경우, 제2 걸림턱(134)은 픽업 헤드(40)의 상하 이동은 허용하지만 콜릿(20)이 부착된 콜릿 홀더(30)의 상방 이동을 제한한다. On the upper surface of the second body 131, a second locking protrusion 134 is provided on both sides. When the collet holder 30 with the collet 20 attached thereto is disposed in the reference direction, the second engaging jaw 134 allows the pickup head 40, the collet holder 30, and the collet 20 to move up and down do. When the collet holder 30 with the collet 20 is rotated at the predetermined angle in the reference direction, the second latching jaw 134 allows the pickup head 40 to move up and down, Thereby restricting upward movement of the collet holder 30.

일 예로, 픽업 헤드(40)로부터 콜릿(20)이 부착된 콜릿 홀더(30)를 분리하기 위해서는 픽업 헤드(40)가 콜릿(20)이 부착된 콜릿 홀더(30)를 상기 기준 방향으로 위치시킨 상태에서 제2 몸체(131)의 내부를 향해 하강한 후, 픽업 헤드(40)가 콜릿(20)이 부착된 콜릿 홀더(30)와 같이 상기 일정 각도만큼 회전한 후 상승한다. 이때, 콜릿(20)이 부착된 콜릿 홀더(30)가 제2 걸림턱(134)에 걸려 픽업 헤드(40)로부터 분리되고 픽업 헤드(40)만 상승한다. 픽업 헤드(40)로부터 분리된 콜릿(20)이 부착된 콜릿 홀더(30)는 제2 몸체(131)의 하방을 통해 배출된다. For example, in order to separate the collet holder 30 with the collet 20 from the pick-up head 40, the pick-up head 40 moves the collet holder 30 with the collet 20 in the reference direction The pick-up head 40 rotates by the predetermined angle like the collet holder 30 with the collet 20 attached thereto and then ascends. At this time, the collet holder 30 attached with the collet 20 is caught by the second stopping jaw 134, separated from the pickup head 40, and raised only by the pickup head 40. The collet holder 30 attached with the collet 20 separated from the pick-up head 40 is discharged through the lower part of the second body 131.

한편, 평판부(110)의 제2 영역(114)의 하부에는 픽업 헤드(40)로부터 분리된 콜릿(20)이 부착된 콜릿 홀더(30)를 회수하기 위한 회수부(140)가 마련될 수 있다. 회수부(140)는 평판부(110)에 장착되거나, 이와 다르게 평판부(110)와는 별도로 구비될 수도 있다.A collection unit 140 for collecting the collet holder 30 attached with the collet 20 separated from the pickup head 40 may be provided below the second area 114 of the flat plate 110 have. The recovery unit 140 may be mounted on the flat plate 110 or may be provided separately from the flat plate 110.

상기와 같이 픽업 헤드(40)로부터 콜릿(20)이 부착된 콜릿 홀더(30)가 제거된 후 픽업 헤드(40)는 수용부(120)에 각각 수용된 콜릿(20)이 부착된 콜릿 홀더(30)들 중 하나를 장착할 수 있다. 예를 들면, 평판부(110)는 수용부(120) 또는 분리부(130)가 픽업 헤드(40)의 아래에 위치되도록 구동부(150)에 의해 이동 가능하게 구성될 수 있다.After the collet holder 30 with the collet 20 is removed from the pick-up head 40 as described above, the pick-up head 40 includes a collet holder 30 ). ≪ / RTI > For example, the flat plate portion 110 may be configured to be movable by the driving portion 150 such that the receiving portion 120 or the separating portion 130 is positioned below the pickup head 40.

제1 영역(112)들과 제2 영역(114)이 평판부(110)의 둘레를 따라 위치하는 경우, 구동부(150)는 평판부(110)를 회전시켜 콜릿(20)이 부착된 콜릿 홀더(30)가 수납된 수용부(120) 중 하나가 콜릿(20)이 부착된 콜릿 홀더(30)가 제거된 픽업 헤드(40) 아래에 위치되도록 할 수 있다.
When the first areas 112 and the second areas 114 are located along the circumference of the flat plate part 110, the driving part 150 rotates the flat plate part 110 to move the collet holder 20, One of the receiving portions 120 accommodating the collet holder 30 may be positioned below the pick-up head 40 from which the collet holder 30 with the collet 20 attached is removed.

도 8 내지 도 10은 도 3에 도시된 수용부를 이용하여 콜릿 홀더의 교체하는 방법을 설명하기 위한 개략적이 단면도들이다.Figs. 8 to 10 are schematic cross-sectional views for explaining a method of replacing the collet holder using the receptacle shown in Fig.

도 8 내지 도 10을 참조하면, 콜릿(20)이 부착된 콜릿 홀더(30)를 교체하기 위해 구동부(150)가 평판부(110)를 이동시켜 픽업 헤드(40), 콜릿 홀더(30) 및 콜릿(20)을 빈 수용부(120)의 상방에 위치시킨다. 8 to 10, in order to replace the collet holder 30 with the collet 20, the driving unit 150 moves the flat plate 110 to move the pickup head 40, the collet holder 30, The collet 20 is positioned above the empty accommodating portion 120.

이후, 도 8과 같이 픽업 헤드(40)가 콜릿(20)이 부착된 콜릿 홀더(30)를 상기 기준 방향으로 위치시킨 상태에서 수용부(120)의 몸체(121) 내부를 향해 하강한다. 이때, 콜릿 홀더(30)의 상면이 제1 걸림턱(124)보다 낮도록 픽업 헤드(40)가 하강한다. 콜릿(20)이 부착된 콜릿 홀더(30)는 지지부(126)에 의해 완충되므로 콜릿(20)의 손상을 방지할 수 있다.8, the pick-up head 40 is lowered toward the inside of the body 121 of the receiving part 120 with the collet holder 30 with the collet 20 attached thereto positioned in the reference direction. At this time, the pickup head 40 is lowered so that the upper surface of the collet holder 30 is lower than the first stopping jaw 124. Since the collet holder 30 with the collet 20 is buffered by the support portion 126, damage to the collet 20 can be prevented.

다음으로, 도 9와 같이 픽업 헤드(40)가 콜릿(20)이 부착된 콜릿 홀더(30)와 같이 상기 일정 각도만큼 회전한다. 이때, 콜릿(20)의 하부 패드(26)가 플레이트(127)와 접촉한 상태에서도 용이하게 회전할 수 있고, 하부 패드(26)의 손상을 방지할 수 있다. Next, as shown in FIG. 9, the pick-up head 40 rotates by the predetermined angle like the collet holder 30 with the collet 20 attached thereto. At this time, even when the lower pad 26 of the collet 20 is in contact with the plate 127, the lower pad 26 can be easily rotated, and damage to the lower pad 26 can be prevented.

이후, 도 10과 같이 픽업 헤드(40)가 상승하고, 콜릿(20)이 부착된 콜릿 홀더(30)는 픽업 헤드(40)와 같이 상승하다가 제1 걸림턱(124)에 걸려 픽업 헤드(40)로부터 분리된다. 픽업 헤드(40)로부터 분리된 콜릿(20)이 부착된 콜릿 홀더(30)는 제1 몸체(121)에 수용된 상태를 유지한다. 이때, 콜릿(20)이 부착된 콜릿 홀더(30)는 지지부(126)에 의해 탄성적으로 지지되므로 제1 걸림턱(124)에 접촉한 상태를 유지한다. 10, the collet holder 30 with the collet 20 is lifted up like the pick-up head 40 and is caught by the first stopping jaw 124 to move the pick-up head 40 . The collet holder 30 attached with the collet 20 separated from the pick-up head 40 is held in the first body 121. At this time, since the collet holder 30 with the collet 20 is elastically supported by the support portion 126, the collet holder 30 remains in contact with the first stopping jaw 124.

픽업 헤드(40)에 콜릿(20)이 부착된 콜릿 홀더(30)를 장착하는 과정은 픽업 헤드(40)로부터 콜릿(20)이 부착된 콜릿 홀더(30)를 분리하는 상기 과정을 역순으로 진행한다. The process of mounting the collet holder 30 having the collet 20 attached to the pickup head 40 is performed in the reverse order of the process of separating the collet holder 30 with the collet 20 from the pickup head 40 do.

구체적으로, 구동부(150)가 평판부(110)를 이동시켜 픽업 헤드(40)를 교체하고자 하는 콜릿(20)이 부착된 콜릿 홀더(30)가 수용된 수용부(120)의 상방에 위치시킨다. Specifically, the driving unit 150 moves the flat plate 110 to position the pick-up head 40 above the accommodating part 120 in which the collet holder 30 attached with the collet 20 to be replaced is housed.

픽업 헤드(40)가 제1 몸체(121)의 내부를 향해 하강하여 콜릿(20)이 부착된 콜릿 홀더(30)와 결합한다. 예를 들면, 픽업 헤드(40)의 돌출부(46)가 콜릿 홀더(30)의 수용홈(36)에 삽입되어 픽업 헤드(40)와 콜릿 홀더(30)가 정렬된다. 이 상태에서 픽업 헤드(40)의 제2 영구자석(44)이 자성체인 콜릿 홀더(30)와 자기력이 작용하여 픽업 헤드(40)와 콜릿 홀더(40)가 서로 결합된다. 이때, 콜릿 홀더(30)의 상면이 제1 걸림턱(124)보다 낮도록 픽업 헤드(40)가 하강한다. The pick-up head 40 descends toward the inside of the first body 121 and engages with the collet holder 30 to which the collet 20 is attached. The protrusion 46 of the pickup head 40 is inserted into the receiving groove 36 of the collet holder 30 so that the pickup head 40 and the collet holder 30 are aligned. In this state, magnetic force acts on the second permanent magnet 44 of the pickup head 40 with the collet holder 30, which is a magnetic body, so that the pickup head 40 and the collet holder 40 are coupled to each other. At this time, the pickup head 40 is lowered so that the upper surface of the collet holder 30 is lower than the first stopping jaw 124.

다음으로, 픽업 헤드(40)가 콜릿(20)이 부착된 콜릿 홀더(30)와 같이 상기 일정 각도만큼 회전하여 콜릿(20)이 부착된 콜릿 홀더(30)를 상기 기준 방향으로 위치시킨다. Next, the pick-up head 40 is rotated by the predetermined angle like the collet holder 30 with the collet 20 attached thereto to position the collet holder 30 to which the collet 20 is attached in the reference direction.

이후, 픽업 헤드(40)가 콜릿(20)이 부착된 콜릿 홀더(30)와 같이 상승함으로콜릿(20)이 부착된 콜릿 홀더(30)의 교체가 완료된다. Thereafter, the pick-up head 40 is lifted up like the collet holder 30 with the collet 20, thereby completing the replacement of the collet holder 30 to which the collet 20 is attached.

상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 콜릿 홀더 교체 장치는 픽업 헤드로부터 콜릿이 부착된 콜릿 홀더를 분리하여 새로운 콜릿이 부착된 콜릿 홀더와 결합하는 과정을 자동화할 수 있다. 따라서, 상기 콜릿 및 콜릿 홀더를 교체하는데 소요되는 시간을 줄일 수 있다. 또한, 상기 콜릿 및 콜릿 홀더를 같이 교체하므로 상기 콜릿이 상기 콜릿 홀더의 부착 불량을 방지하여 다이 본딩 공정의 공정 신뢰성을 향상시킬 수 있다. As described above, the collet holder replacing apparatus according to the present invention can automate the process of separating the collet holder with the collet from the pick-up head and combining the collet holder with the new collet. Therefore, the time required for replacing the collet and the collet holder can be reduced. In addition, since the collet and the collet holder are exchanged together, the collet can prevent the adhesion failure of the collet holder, and the process reliability of the die bonding process can be improved.

상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.It will be apparent to those skilled in the art that various modifications and variations can be made in the present invention without departing from the spirit or scope of the present invention as defined by the following claims. It can be understood that it is possible.

100 : 콜릿 홀더 교체 장치 110 : 평판부
120 : 수용부 130 : 분리부
140 : 회수부 150 : 구동부
10 : 픽업 유닛 20 : 콜릿
30 : 콜릿 홀더 40 : 픽업 헤드100: Collet holder replacement device 110: Flat plate part
120: accommodating portion 130: separating portion
140: recovery unit 150:
10: pick-up unit 20: collet
30: Collet holder 40: Pickup head

Claims (9)

평판부; 및
콜릿이 부착된 콜릿 홀더를 수용하기 위한 상방이 개방된 중공의 제1 몸체 및 상기 제1 몸체의 상면에 구비되며, 상기 콜릿이 부착된 콜릿 홀더가 기준 방향으로 배치된 경우 상기 콜릿이 부착된 콜릿 홀더 및 상기 콜릿 홀더와 결합되는 픽업 헤드의 상하 이동을 허용하고, 상기 콜릿이 부착된 콜릿 홀더가 상기 기준 방향에 대해 일정 각도 회전된 경우 상기 픽업 헤드의 상방 이동은 허용하고 상기 콜릿이 부착된 콜릿 홀더의 상방 이동을 제한하여 상기 콜릿이 부착된 콜릿 홀더를 상기 픽업 헤드로부터 분리하기 위한 제1 걸림턱으로 이루어지며, 상기 평판부 상에 다수개가 구비되어 서로 다른 종류의 콜릿이 부착된 콜릿 홀더를 수용하는 수용부를 포함하고,
상기 수용부는 상기 제1 몸체의 저면에 구비되며, 상기 콜릿이 부착된 콜릿 홀더를 탄성적으로 지지하기 위한 지지부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 콜릿 홀더 교체 장치. A flat plate portion; And
A first body having a hollow open top to receive a collet holder having a collet, and a second body provided on an upper surface of the first body, wherein when the collet holder with the collet is arranged in a reference direction, A collet holder for holding the collet in the collet holder; and a collet holder coupled to the collet holder, wherein the collet holder permits upward movement of the pick-up head coupled with the collet holder, A collet holder having a plurality of collets on the flat plate part and having different kinds of collets attached thereto; and a collet holder having a plurality of collets on the flat plate part for separating the collet holder with the collet holder from the pick- And a receiving portion for receiving the receiving portion,
Wherein the receiving portion is provided on a bottom surface of the first body and further comprises a support portion for elastically supporting the collet holder to which the collet is attached. 삭제delete 제1항에 있어서, 상기 지지부는,
상기 제1 몸체의 내부에 수평 상태로 배치되는 플레이트; 및
상기 제1 몸체의 내부 저면과 상기 플레이트 사이에 배치되며, 상기 콜릿 홀더와 상기 콜릿이 하강하여 상기 플레이트와 접촉할 때 상기 콜릿에 가해지는 충격을 완충하기 위한 코일 스프링을 포함하는 것을 특징으로 하는 콜릿 홀더 교체 장치. The apparatus according to claim 1,
A plate horizontally disposed within the first body; And
And a coil spring disposed between the inner bottom surface of the first body and the plate and buffering shocks applied to the collet when the collet holder and the collet descend and come into contact with the plate. Holder replacement device. 제3항에 있어서, 상기 콜릿이 상기 플레이트와 접촉한 상태에서도 용이하게 회전하도록 상기 플레이트는 저마찰 계수를 갖는 물질로 이루어지는 것을 특징으로 하는 콜릿 홀더 교체 장치. The collet holder replacing apparatus according to claim 3, wherein the plate is made of a material having a low coefficient of friction such that the collet easily rotates even in contact with the plate. 제1항에 있어서, 상기 수용부들의 제1 몸체와 일정 간격만큼 이격되도록 상기 제1 몸체를 관통하여 상기 평판부와 체결되고, 상기 콜릿이 부착된 콜릿 홀더와 상기 제1 몸체가 오정렬된 경우 상기 제1 몸체가 요동 가능하도록 하는 제1 체결 나사를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 콜릿 홀더 교체 장치.[2] The apparatus of claim 1, further comprising: a collet holder coupled to the flat plate through the first body such that the first body is spaced apart from the first body by a predetermined distance, and when the first body is misaligned with the collet holder, Further comprising a first fastening screw for allowing the first body to swing. 제1항에 있어서, 상기 제1 걸림턱과 인접한 상기 제1 몸체의 측벽은 자성체로 이루어지며, 상기 콜릿 홀더의 제1 영구자석과 상기 제1 몸체의 측벽 사이의 자력으로 인해 상기 콜릿 홀더가 상기 제1 몸체의 측벽에 고정되는 것을 특징으로 하는 콜릿 홀더 교체 장치. [2] The apparatus of claim 1, wherein the sidewall of the first body adjacent to the first stopping jaw is made of a magnetic material, and because of the magnetic force between the first permanent magnet of the collet holder and the sidewall of the first body, Wherein the collet holder is fixed to a side wall of the first body. 제1항에 있어서, 상하방이 개방된 중공의 제2 몸체 및 상기 제2 몸체의 상면에 구비되며, 상기 콜릿이 부착된 콜릿 홀더가 기준 방향으로 배치된 경우 상기 콜릿이 부착된 콜릿 홀더 및 상기 콜릿 홀더와 결합되는 픽업 헤드의 상하 이동을 허용하고, 상기 콜릿이 부착된 콜릿 홀더가 상기 기준 방향에 대해 일정 각도 회전된 경우 상기 픽업 헤드의 상방 이동은 허용하고 상기 콜릿이 부착된 콜릿 홀더의 상방 이동을 제한하여 상기 콜릿이 부착된 콜릿 홀더를 상기 픽업 헤드로부터 분리하기 위한 제2 걸림턱으로 이루어지며, 상기 평판부에 형성된 개구 상에 구비되는 분리부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 콜릿 홀더 교체 장치. [2] The apparatus of claim 1, further comprising: a hollow second body having upper and lower openings; and a collet holder provided on an upper surface of the second body, wherein when the collet holder with the collet is disposed in the reference direction, And a vertical movement of the pick-up head coupled with the holder is allowed, and when the collet holder attached to the collet is rotated at a predetermined angle with respect to the reference direction, the upward movement of the pick-up head is allowed and the collet holder Further comprising a separating part formed on the opening formed in the flat plate part, the separating part being composed of a second engaging jaw for separating the collet holder from the pick-up head by restricting the collet holder. 제7항에 있어서, 상기 평판부에서 상기 개구의 하부에 구비되며, 상기 분리부에 상기 픽업 헤드로부터 분리된 상기 콜릿이 부착된 콜릿 홀더를 수용하기 위한 회수부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 콜릿 홀더 교체 장치. [8] The collet holder according to claim 7, further comprising a collecting portion provided at a lower portion of the opening in the flat plate portion and adapted to receive a collet holder attached to the collet separated from the pick- Replacement device. 제7항에 있어서, 상기 평판부와 연결되며, 상기 분리부 또는 상기 수용부들이 상기 픽업 헤드의 아래에 위치되도록 상기 평판부를 이동시키기 위한 구동부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 콜릿 홀더 교체 장치. The apparatus according to claim 7, further comprising a driving unit connected to the flat plate unit, for moving the flat plate unit such that the separating unit or the receiving units are positioned below the pick-up head.
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