KR101445905B1 - 작동 범위가 확장된 레이저 가공 장치 - Google Patents

작동 범위가 확장된 레이저 가공 장치 Download PDF

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트룸프 베르크초이그마쉬넨 게엠베하 + 코. 카게
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Abstract

본 발명에 따르면, 레이저 가공 장치(10, 30, 50, 90)로서, 일측부에 적어도 하나의 레이저 가공 헤드(17, 18, 32, 33, 34, 35, 55, 56, 57, 58, 59, 60, 61, 62, 65, 66, 71, 82, 83)가 배치되는 캐리어 구조체(13, 31, 95)와, 공작물 유지 부재 및/또는 공작물 지지체(11)를 구비하고, 레이저 가공 헤드(17, 18, 32, 33, 34, 35, 55, 56, 57, 58, 59, 60, 61, 62, 65, 66, 71, 82, 83)와 공작물 유지 부재 및/또는 공작물 지지체(11)는 서로에 대해 이동 가능하며, 적어도 하나의 레이저 가공 헤드(17, 18, 32, 33, 34, 35, 55, 56, 57, 58, 59, 60, 61, 62, 65, 66, 71, 82, 83)는 캐리어 구조체(13, 31, 95)의 2개의 대향 측부에 배치되는 것인 레이저 가공 장치가 제공된다. 이에 의해, 작동 범위가 증가될 수 있다.

Description

작동 범위가 확장된 레이저 가공 장치{LASER MACHINING TOOL HAVING EXPANDED WORK SPACE}
본 발명은, 일측부에 적어도 하나의 레이저 가공 헤드가 배치되는 캐리어 구조체와, 공작물 지지체를 구비하는 레이저 가공 장치로서, 상기 레이저 가공 헤드와 공작물 지지체는 서로에 대해 이동 가능한 것인 레이저 가공 장치에 관한 것이다.
예컨대 JP 03-138092 A로부터, 가공 대상 공작물이 공작물 지지체 상에 배치되는 것인 레이저 가공 장치가 공지되어 있다. 공작물 지지체 위에서, 포탈(portal)이 공작물의 종방향으로 이동될 수 있다. 포탈 상에서 일측부에, 포탈의 이동에 의해 공작물에 대해 이동될 수 있는 레이저 가공 헤드를 배치하는 것이 가능하다. 레이저 가공 헤드를 사용하여, 공작물을 가공하는 것이 가능하다. 레이저 가공 장치의 기지의 구조에 있어서는, 레이저 가공 장치의 기부면보다 훨씬 작은 공작물만이 가공 대상이 되도록 되어 있다. 포탈의 폭으로 인해, 툴에 대해 접근할 수 없고, 그 결과 가공될 수 없는 영역이 형성된다.
DE 196 20 391 A1에는, 예컨대 종이, 판지, 플라스틱 재료 등과 같은 비금속 캐리어 재료를 포함하는 평면형 물체를 가공하기 위한 평면형 물체 가공용 디바이스로서, 가공 대상 물체가 배치되는 작동면과, 작동면 위에서 뻗고, 전체 가공면에 위에서 일방향으로 변위 가능하도록 안내되는 아암, 및 물체를 가공하기 위한 가공 헤드를 구비하고, 상기 가공 헤드는 아암의 이동 방향에 대해 직각으로 아암 상에서 변위 가능하도록 안내되는 것인 평면형 물체 가공용 디바이스가 개시되어 있다. 특히, 복수 개의 가공 헤드는 아암 상에 마련될 수 있다. 가공 헤드는 비금속 캐리어 재료를 인발 가공(drawing), 절삭 가공(cutting) 또는 홈 가공(grooving)하도록 구성될 수 있다.
DE 36 04 470 A1에는, 3개의 상호 직교축을 따라 위치 설정될 수 있는 가공 유닛을 구비하는 재료 가공 스테이션이 개시되어 있다. 이러한 목적으로, 지지체가 일반적으로 수직으로 배치되고, 이 지지체에는 슬라이딩 부재를 위한 수평 방향 연장 스핀들 구동부가 마련되며, 이때 슬라이딩 부재에는 스핀들 구동부가 마련되고 바닥에 대해 수직으로 변위될 수 있다. 이러한 슬라이딩 부재는 처리 유닛을 수용하며, 이때 처리 유닛은 지지체의 평면에 대해 수직으로 변위될 수 있다.
WO 2005/099979 A1에는, 2개의 레이저 빔 가공 헤드가 공통 슬라이딩 부재 상에 배치되는 디바이스가 개시되어 있다.
DE 203 06 581 U1에는, 차량 본체의 구성 요소를 용접하기 위한 레이저 용접 디바이스로서, 원격 레이저로서 구성되고 구성 요소에 대해 간격을 두고 배치되는 복수 개의 레이저 용접 헤드를 포함하는 레이저 용접 디바이스가 개시되어 있다.
DE 100 06 516 A1에는, 빔 결합기(beam unifier)를 통해 결합되고 공통 빔 가이드를 통해 공작물 상으로 안내되는 복수 개의 레이저 빔을 이용하여 공작물을 가공하는 방법이 개시되어 있다.
DE 10 2005 025 506 A1에는, 가공 테이블과 레이저 콜리메이션(collimation) 및 위치 설정용 수단의 상대 이동을 이용하여, 가공 테이블에 고착되는 시트형 공작물을 가공하고, 시트형 공작물을 길이 방향으로 반복적으로 이동시킴으로써 가공 대상 영역의 가공이 완료되었을 때 다음으로 가공되도록 되어 있는 영역을 가공 테이블 상의 위치에 고정하도록 구성된 레이저 가공 장치가 개시되어 있다.
본 발명의 목적은, 대형 공작물이 가공될 수 있거나 또는 레이저 가공 장치에 대한 공간 요건이 감소되도록 대형 작동 공간을 갖는 레이저 가공 장치를 제공하는 것이다.
상기 목적은, 제1 레이저 가공 헤드가 캐리어 구조체의 제1 측부에 배치되고, 제2 레이저 가공 헤드가 캐리어 구조체의 제2 측부에 배치되며, 빔 디플렉터(beam deflector)가 마련되고, 이 빔 디플렉터에 의해 빔 발생기의 레이저 빔이 레이저 가공 헤드들 사이에서 전환될 수 있는 것인, 서두에서 언급한 유형의 레이저 처리 장치에 의해, 본 발명에 따라 달성된다. 상호 대향 레이저 가공 헤드의 작동 범위는 중첩되고 갭이 없는 방식으로 서로 연장된다. 레이저 가공 장치의 기부면과, X 방향 및 Y 방향으로의 레이저 가공 헤드의 이동성에 의해 실질적으로 정해지는 작동 범위는 이에 따라 거의 중첩되도록 될 수 있다. 그 결과, 대형 공작물이 처리될 수 있도록 작동 범위를 증가시키는 것이 가능하거나, 공간 요건, 구체적으로는 레이저 가공 장치의 기부면 영역 요건을 줄이는 것이 가능하다. 제조의 관점에서의 기술적 장점은, 앞서와 같이 캐리어 구조체의 단지 일측부 상에만 레이저 가공 헤드를 갖는 장치가 제조될 수 있고, 소비자는 소비자가 또한 대향 측부에 레이저 가공 헤드를 구비할 것을 원하는지의 여부를 매우 늦게 결정할 수 있다는 것이다.
빔 디플렉터는, 상기 요건들에 따라 하나의 레이저 가공 헤드 또는 다른 레이저 가공 헤드로 레이저 빔을 재안내할 수 있도록 하기 위해 제어될 수 있고 구성될 수 있다.
적어도 2개의 레이저 가공 헤드가 캐리어 구조체의 양측부에 배치되는 것이 매우 유리하다. 이러한 레이저 가공 헤드의 증가로 인해, 작동 범위를 매우 양호하게 사용할 수 있다. 레이저 가공 장치의 기부면 영역은 레이저 가공 헤드의 작동 범위와 실질적으로 동일하다. 추가로, 공작물은, 보다 높은 가공율을 실현할 수 있도록 복수의 위치에서 동시에 가공될 수 있다.
레이저 가공 헤드는 캐리어 구조체를 따라 이동 가능한 것이 매우 유리하다. 이에 의해, 공작물의 거의 모든 영역이 레이저 가공 헤드에 대해 접근 가능하다. 몇몇 경우에, 이에 의해 보다 큰 질량을 이동시켜야만 하기 때문에 캐리어 구조체에 대해 공작물을 이동시키는 것보다 캐리어 구조체를 따라 레이저 가공 헤드를 이동시키는 것이 간단할 수 있다.
일양태에 따르면, 캐리어 구조체의 동일한 측부에 있는 레이저 가공 헤드들은 서로 독립적으로 또는 커플링된 상태로 이동 가능하도록 마련될 수 있다. 공작물의 가공 중에, 적절한 위치에서 하나의 레이저 가공 헤드로부터 다른 레이저 가공 헤드로 전환하는 것이 가능하다.
그러나, 하나의 레이저 가공 헤드로부터 다른 레이저 가공 헤드로의 전환은 또한 다른 축방향으로, 즉 캐리어 구조체의 제1 측부에 배치된 하나의 레이저 가공 헤드로부터 캐리어 구조의 반대 측부에 배치된 레이저 가공 헤드로 이루어질 수도 있다. 캐리어 구조체의 상이한 측부에 배치되는 레이저 가공 헤드는 캐리어 구조체를 따라 커플링된 상태로 또는 서로 독립적으로 이동될 수 있다.
적어도 하나의 레이저 가공 헤드는 추가의 축을 갖는 것이 매우 바람직하다. 이에 의해, 국소적으로 제한된 방식으로 매우 다양한 공작물 가공 공정을 실시하는 것이 가능하다.
본 발명의 하나의 구조에 따르면, 캐리어 구조체는 공작물 지지체에 대해 이동 가능하도록 마련될 수 있다. 이에 의해, 작동 공간을 훨씬 양호하게 사용하는 것이 가능하다.
복수 개의 레이저 가공 헤드가 공통 슬라이딩 부재 상에 배치될 때, 공작물 가공 공정에 대한 다른 가능성이 형성된다. 그 결과, 레이저 가공 헤드들은 공통 슬라이딩 부재에 의해 함께, 캐리어 구조체에 대해 이동될 수 있다.
일양태에 따르면, 적어도 하나의 레이저 가공 헤드는 슬라이딩 부재에 대해, 구체적으로는 선형 방식으로 이동 가능하도록 마련될 수 있다. 그 결과, 하나의 레이저 가공 헤드의 다른 레이저 가공 헤드에 대한 상대 위치가 변경될 수 있다. 또한, 매우 다양한 공작물 가공 공정이 가능하다.
또한, 레이저 가공 헤드는 서로 독립적으로 또는 커플링된 상태로, 구체적으로는 선형 방식으로 슬라이딩 부재에 대해 이동 가능하도록 마련될 수 있다.
적어도 2개의 레이저 헤드가 마련되면, 가공 대상 공작물에 따라 출력을 조정하는 다양한 가능성이 존재한다.
적어도 2개의 빔 발생기가 마련되는 것이 매우 유리하다. 구체적으로는, 레이저 가공 헤드만큼 많은 빔 발생기를 마련하는 것이 가능하다. 빔 발생기는 레이저 가공 헤드에 고정식으로 결합될 수 있다. 동일한 유형의 공작물을 능숙하게 에워싸는 것에 의해, 2개의 빔 발생기를 장착하여 2개의 공작물을 동시에 가공하는 것이 가능하다. 빔 발생기의 출력이 적절한 위치에서 분할되고 2개의 레이저 가공 헤드로 재안내되는 것도 또한 고려할 수 있다. 이러한 목적으로, 빔 스플리터 모듈(beam splitter module)이 마련되는 것이 유리하다.
개별 공작물을 매우 강력한 출력으로 가공하는 경우, 하나의 에너지 빔을 형성하도록 적절한 위치에서 2개의 빔 발생기의 빔을 결합하는 것이 가능하다. 이러한 목적으로, 빔 커플러(beam coupler)를 마련하는 것이 가능하다. 이때, 빔 커플러는 빔 디플렉터에 연결될 수도 있고, 또한 단지, 빔 커플러가 디플렉터로서 사용될 수 있고 다수의 레이저 가공 헤드에 에너지 빔을 공급할 수 있도록 이동 가능할 수도 있다.
본 발명의 매우 유리한 구조에서는 격벽이 마련될 수 있으며, 이에 따라 공작물 가공 공정이 격벽의 일측부에서 실시될 수 있는 한편, 격벽의 다른 측부에서는 공작물이 로딩되거나 언로딩될 수 있다. 격벽이 제거되면, 대형 공작물도 또한 가공할 수 있다.
본 발명의 다른 특징 및 장점은, 본 발명에 있어서 중요한 세부 사항을 도시한 도면을 참고하여 본 발명의 실시예에 관한 아래의 설명과 청구 범위로부터 이해될 것이다. 개별 특징들은 개별적으로 또는 본 발명의 변형예에서 함께 임의로 조합되어 구현될 수 있다.
본 발명의 바람직한 실시예는 도면에 개략적으로 도시되어 있으며, 도면을 참고하여 아래에서 보다 상세히 설명된다.
본 발명에 따르면, 대형 레이저 공작물이 가공될 수 있거나, 또는 레이저 가공 장치에 대한 공간 요건이 감소되도록 대형 작동 공간을 갖는 레이저 가공 장치가 제공된다.
도 1은 레이저 가공 장치의 제1 실시예의 평면도이고,
도 2는 4개의 레이저 가공 헤드를 구비하는 레이저 가공 장치의 평면도이며,
도 3은 슬라이딩 부재 상에 배치되는 복수 개의 레이저 가공 헤드를 구비하는 레이저 가공 장치의 개략적인 평면도이고,
도 4a 및 도 4b는 빔 디플렉터를 구비하는 레이저 가공 장치를 도시한 도면이며,
도 5는 2개의 빔 발생기를 구비하는 레이저 가공 장치를 도시한 도면이고,
도 6a 및 도 6b는 빔 커플링 모듈을 구비하는 레이저 가공 장치이며,
도 7a 내지 도 7c는 빔 안내 모듈을 구비하는 레이저 가공 장치를 도시한 도면이고,
도 8은 격벽을 구비하는 레이저 가공 장치를 도시한 도면이다.
도 1에는, 공작물(12)이 배치되는 공작물 지지체(11)를 구비하는 레이저 가공 장치(10)가 도시되어 있다. 공작물(12) 위에는, 캐리어 구조체(13)가 포탈 형태로 배치된다. 캐리어 구조체(13)는 가이드(15, 16)를 따라 이중 화살표(14) 방향으로 이동될 수 있다. 이 경우, 캐리어 구조체(13)는 선형 구동부에 의해 구동된다. 이중 화살표(14) 방향으로의 이동이 일어나는 구성은 (툴) 축이라고 한다. 레이저 가공 헤드(17, 18)가 캐리어 구조체(13)의 양측부에 배치된다. 이들 레이저 가공 헤드는 캐리어 구조체(13)에 대해 이중 화살표(19) 방향으로 이동될 수 있다. 이중 화살표(19) 방향으로의 이동이 일어나는 구성도 역시 (툴) 축이라고 한다. 레이저 가공 헤드(17, 18)가 캐리어 구조체의 양측부에 배치된다는 사실로 인해, 최대 작동 범위가 달성된다. 구체적으로는, 실질적으로 가이드(15, 16)만큼 길고, 폭이 거의 가이드(15, 16)의 간격에 대응하는 공작물을 가공하는 것이 가능하다.
레이저 가공 장치(10) 주변에는, 또한 오퍼레이터 콘솔(20), 스위치 캐비넷(21), 배기관(22), 냉각 유닛(23), 전원(24), 유압 유닛(35) 및 공작물을 로딩 및 언로딩하기 위한 디스크 체인저(26)와 같은 추가의 디바이스가 배치된다.
도 2에 따른 레이저 가공 장치(30)의 구조에서는, 총 4개의 레이저 가공 헤드(32, 33, 34, 35)가 캐리어 구조체(31) 상에 마련되고, 2개의 레이저 헤드(32, 35; 33, 34)가 캐리어 구조체(31)의 각각의 측부에 각각 배치된다. 레이저 가공 헤드(32, 33, 34, 35)는 각각 슬라이딩 부재(36, 37, 38, 39) 상에 배치된다. 슬라이딩 부재(36, 37, 38, 39)는 이중 화살표(Y1, Y2) 방향으로 이동될 수 있고, 캐리어 구조체(31) 전체는 이중 화살표(X) 방향으로 이동될 수 있다. 이는, 표면 영역(40)으로 나타내는 작동 범위 또는 작동 공간이 레이저 가공 장치(30)에 의해 가공될 수 있다는 것을 뜻한다. 작동 범위(40)는 실질적으로 레이저 가공 장치(30)의 기부면 영역(41)에 상응한다. 캐리어 구조체(31)의 폭으로 인해, 캐리어 구조체(31)의 폭에 상응하고 어떠한 가공 공정도 실시될 수 없는 영역은 형성되지 않는다.
레이저 가공 헤드(32, 33, 34, 35)는 예컨대 슬라이딩 부재(36, 37, 38, 39) 상에서 중앙의 위치에 고정되도록 배치될 수도 있고, 슬라이딩 부재(36, 37, 38, 39)에 대한 레이저 가공 헤드(32, 33, 34, 35)의 매우 다양한 이동이 가능하도록 추가의 짧은 축 상에 배치될 수도 있다.
도 3에 따른 레이저 가공 장치(50)에서는, 2개의 레이저 가공 헤드(55, 56, 57, 58, 59, 60, 61, 62)가 각각의 슬라이딩 부재(51, 52, 53, 54) 상에 각각 마련된다. 레이저 가공 헤드(55, 56, 57, 58, 59, 60, 61, 62)는, 슬라이딩 부재(51, 52, 53, 54) 상의 위치에 고정되도록 배치될 수도 있고, 커플링된 상태로 또는 서로 독립적으로 슬라이딩 부재 상에서 이동 가능하도록 배치될 수도 있다. 작동 범위는 도면 부호 63으로 나타내고, 레이저 가공 장치(50)의 기부면 영역은 도면 부호 64로 나타낸다.
도 4a 및 도 4b는 2개의 레이저 가공 헤드(55, 56) 사이의 출력 전환을 개략적으로 예시한다. 빔 발생기(67)에서 빔이 발생되고, 빔 디플렉터(68)를 통해 레이저 가공 헤드(65)(도 4a) 또는 레이저 가공 헤드(66)(도 4b)에 공급된다. 이에 따라, 공작물의 가공 중에, 적절한 위치에서 레이저 가공 헤드(65)로부터 레이저 가공 헤드(66)로 전환하는 것이 가능하다. 이러한 목적으로, 빔 디플렉터(68)는 이동 가능하게 배치될 수 있고, 제어 디바이스에 의해 제어될 수 있다.
그러나, 도 5에 예시된 바와 같이, 또한 각기 관련 레이저 가공 헤드(71, 72)와 연동하는 복수 개의 빔 발생기(69, 70)가 마련될 수도 있다.
그러나, 도 6a 및 도 6b에서 볼 수 있다시피, 복수 개의 빔 발생기(73, 74)가 사용될 때 출력을 조정하는 다른 가능성도 또한 존재한다. 빔 발생기(73, 74)의 빔은 빔 커플링 모듈(75)로 안내될 수 있으며, 이 빔 커플링 모듈에서 레이저 출력은 적어도 부분적으로 함께 합쳐지고, 이어서 레이저 가공 헤드(76, 77)들 중 어느 하나로 전달된다. 빔 커플링 모듈(75)은, 빔 출력이 선택적으로 레이저 가공 헤드(76)(도 6a) 또는 레이저 가공 헤드(77)(도 6b)에 전달될 수 있도록 이동 가능하게 배치될 수 있다. 빔 커플링 모듈(75)로 인해, 커플링된 출력의 단지 일부만을 레이저 가공 헤드(76, 77)에 전달하는 것도 또한 선택적으로 가능하다.
도 7a 내지 도 7c에 도시된 본 발명의 구조에 따르면, 레이저 출력은 빌 발생기(80)를 사용하여 생성될 수 있고, 빔 스플리터 모듈(81)을 통해 제1 레이저 가공 헤드(82) 또는 제2 레이저 가공 헤드(83)로 전달될 수 있다. 도 7a 및 도 7b에서, 빔 스플리터 모듈은 수동형이다. 이는 빔 발생기(80)의 레이저 출력이 레이저 가공 헤드(82)(도 7a) 또는 레이저 가공 헤드(83)(도 7b)로 전달된다는 것을 의미한다. 도 7c에서, 빔 스플리터 모듈은 능동형이다. 이는 빔 발생기(80)의 레이저 출력이 분할되고, 발생된 레이저 출력의 일부가 레이저 가공 헤드(82, 83) 모두로 전달될 수 있다는 것을 의미한다.
도 4 내지 도 7은 다양한 빔 안내 가능성을 예시한다. 이는 예를 들어 캐리어 구조체 상의 2개의 대향 레이저 가공 헤드를 이용하여 예시되었다. 이러한 개념은 또한 캐리어 구조체 상의 복수 개의 대향 레이저 가공 헤드에도 적용될 수 있다는 것을 이해할 것이다. 더욱이, 캐리어 구조체의 동일한 측부에 배치되는 2개 이상의 레이저 가공 헤드에 대한 빔 안내 개념을 사용하는 것을 고려할 수 있다.
도 8에는 공작물 지지체 상에 격벽(91)을 갖는 레이저 가공 장치(90)의 구조가 도시되어 있다. 격벽(91)이 사용될 때, 이에 의해 일측부에서는 공작물 처리 공정을 실시하고, 타측부(93)에서는 공작물(94)을 로딩하거나 업로딩하는 것이 가능하다. 레이저 가공 헤드를 지닌 캐리어 구조체는 양측부로부터 격벽에 근접하도록 이동될 수 있기 때문에, 사실상 이러한 작동 모드에서는 추가의 표면 영역 요건이 존재하지 않는다. 공작물 가공 공정이 우측부(92)에서 완료될 때, 캐리어 구조체(95)는, 공작물 가공 공정이 좌측부의 위치에서 실시될 수 있도록 좌측부(93)로 이동될 수 있는 한편, 우측부(92)에서 가공된 공작물(96)은 제거되고, 신규의 공작물이 로딩될 수 있다. 또한, 격벽(91)을 생략하고, 양측부(92, 93)에서 연장되는 공작물을 가공하는 것을 고려할 수 있다.
10, 30, 50, 90 : 레이저 가공 장치
11 : 공작물 지지체
12 : 공작물
13, 31, 95 : 캐리어 구조체
17, 18, 32, 33, 34, 35, 55, 56, 57, 58, 59, 60, 61, 62, 65, 66, 71, 82, 83 : 레이저 가공 헤드
51, 52, 53, 54 : 슬라이딩 부재
68 : 빔 디플렉터
69, 70, 73, 74 : 빔 발생기
75 : 빔 커플링 모듈
81 : 빔 스플리터 모듈
91 : 격벽

Claims (13)

  1. 레이저 가공 장치(10, 30, 50, 90)로서, 제1 측부 및 제2 측부에 각각 적어도 하나의 레이저 가공 헤드(17, 18, 32, 33, 34, 35, 55, 56, 57, 58, 59, 60, 61, 62, 65, 66, 71, 82, 83)가 배치되는 캐리어 구조체(13, 31, 95)와 공작물 지지체(11)를 구비하고, 레이저 가공 헤드(17, 18, 32, 33, 34, 35, 55, 56, 57, 58, 59, 60, 61, 62, 65, 66, 71, 82, 83)와 공작물 지지체(11)는 서로에 대해 이동 가능한 것인 레이저 가공 장치에 있어서,
    제1 레이저 가공 헤드는 상기 캐리어 구조체(13, 31, 95)의 제1 측부에 배치되고, 제2 레이저 가공 헤드는 상기 캐리어 구조체(13, 31, 95)의 제2 측부에 배치되며, 빔 발생기(67)의 레이저 빔을 제1 레이저 가공 헤드 및 제2 레이저 가공 헤드 사이에서 전환시킬 수 있는 빔 디플렉터(beam deflector)(68)가 마련되고,
    상기 레이저 가공 헤드(17, 18, 32, 33, 34, 35, 55, 56, 57, 58, 59, 60, 61, 62, 65, 66, 71, 82, 83)는 상기 캐리어 구조체(13, 31, 95)의 제1 측부 및 제2 측부 상에 구비된 슬라이딩 부재 상에 배치되며, 상기 슬라이딩 부재는 상기 캐리어 구조체(13, 31, 95)에 대해 이동 가능하고, 적어도 하나의 레이저 가공 헤드는 상기 슬라이딩 부재에 대해 이동 가능한 것을 특징으로 하는 레이저 가공 장치.
  2. 제1항에 있어서, 적어도 2개의 레이저 가공 헤드(17, 18, 32, 33, 34, 35, 55, 56, 57, 58, 59, 60, 61, 62, 65, 66, 71, 82, 83)는 캐리어 구조체(13, 31, 95)의 양측부 각각에 배치되는 것을 특징으로 하는 레이저 가공 장치.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서, 레이저 가공 헤드(17, 18, 32, 33, 34, 35, 55, 56, 57, 58, 59, 60, 61, 62, 65, 66, 71, 82, 83)는 캐리어 구조체(13, 31, 95)를 따라 이동될 수 있는 것을 특징으로 하는 레이저 가공 장치.
  4. 제3항에 있어서, 캐리어 구조체(13, 31, 95)의 동일한 측부에 있는 레이저 가공 헤드(17, 18, 32, 33, 34, 35, 55, 56, 57, 58, 59, 60, 61, 62, 65, 66, 71, 82, 83)는 서로 독립적으로 또는 커플링된 상태로 이동될 수 있는 것을 특징으로 하는 레이저 가공 장치.
  5. 삭제
  6. 제1항 또는 제2항에 있어서, 캐리어 구조체(13, 31, 95)는 공작물 지지체(11)에 대해 이동될 수 것을 특징으로 하는 레이저 가공 장치.
  7. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 슬라이딩 부재는 공통 슬라이딩 부재(51, 52, 53, 53)로 형성됨으로써, 복수 개의 레이저 가공 헤드(55, 56, 57, 58, 59, 60, 61, 62)가 공통 슬라이딩 부재(51, 52, 53, 54) 상에 배치되는 것을 특징으로 하는 레이저 가공 장치.
  8. 제7항에 있어서, 적어도 하나의 레이저 가공 헤드(55, 56, 57, 58, 59, 60, 61, 62)가 공통 슬라이딩 부재(51, 52, 53, 54)에 대해 선형 방식으로 이동될 수 있는 것을 특징으로 하는 레이저 가공 장치.
  9. 제7항에 있어서, 레이저 가공 헤드(55, 56, 57, 58, 59, 60, 61, 62)는 서로 독립적으로 또는 커플링된 상태로 공통 슬라이딩 부재(51, 52, 53, 54)에 대해 선형 방식으로 이동될 수 있는 것을 특징으로 하는 레이저 가공 장치.
  10. 제1항 또는 제2항에 있어서, 적어도 2개의 빔 발생기(69, 70, 73, 74)가 마련되는 것을 특징으로 하는 레이저 가공 장치.
  11. 제10항에 있어서, 2개의 빔 발생기(73, 74)의 레이저 빔을 커플링하고 이 레이저 빔을 레이저 가공 헤드에 제공하는 빔 커플러(beam coupler)(75)가 마련되는 것을 특징으로 하는 레이저 가공 장치.
  12. 제1항 또는 제2항에 있어서, 빔 스플리터 모듈(beam splitter molule)(81)이 마련되는 것을 특징으로 하는 레이저 가공 장치.
  13. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 공작물 지지체(11) 상에 격벽(91)이 마련되는 것을 특징으로 하는 레이저 가공 장치.
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