JP4014498B2 - 多軸のレーザ加工機 - Google Patents

多軸のレーザ加工機 Download PDF

Info

Publication number
JP4014498B2
JP4014498B2 JP2002365586A JP2002365586A JP4014498B2 JP 4014498 B2 JP4014498 B2 JP 4014498B2 JP 2002365586 A JP2002365586 A JP 2002365586A JP 2002365586 A JP2002365586 A JP 2002365586A JP 4014498 B2 JP4014498 B2 JP 4014498B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
laser
positioning
processing
positioning device
optical path
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
JP2002365586A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2004195495A (ja
Inventor
泉 波多
秀典 立石
康有 清水
利弥 西村
哲雄 村上
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Via Mechanics Ltd
Original Assignee
Hitachi Via Mechanics Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hitachi Via Mechanics Ltd filed Critical Hitachi Via Mechanics Ltd
Priority to JP2002365586A priority Critical patent/JP4014498B2/ja
Priority to TW092134152A priority patent/TW200414957A/zh
Priority to CNB2003101213543A priority patent/CN100479971C/zh
Priority to KR1020030091392A priority patent/KR101079067B1/ko
Priority to US10/735,858 priority patent/US7164099B2/en
Publication of JP2004195495A publication Critical patent/JP2004195495A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP4014498B2 publication Critical patent/JP4014498B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23KSOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/02Positioning or observing the workpiece, e.g. with respect to the point of impact; Aligning, aiming or focusing the laser beam
    • B23K26/06Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing
    • B23K26/062Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing by direct control of the laser beam
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23KSOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/02Positioning or observing the workpiece, e.g. with respect to the point of impact; Aligning, aiming or focusing the laser beam
    • B23K26/06Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing
    • B23K26/067Dividing the beam into multiple beams, e.g. multifocusing
    • B23K26/0673Dividing the beam into multiple beams, e.g. multifocusing into independently operating sub-beams, e.g. beam multiplexing to provide laser beams for several stations
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23KSOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/02Positioning or observing the workpiece, e.g. with respect to the point of impact; Aligning, aiming or focusing the laser beam
    • B23K26/04Automatically aligning, aiming or focusing the laser beam, e.g. using the back-scattered light
    • B23K26/042Automatically aligning the laser beam
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23KSOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/02Positioning or observing the workpiece, e.g. with respect to the point of impact; Aligning, aiming or focusing the laser beam
    • B23K26/06Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing
    • B23K26/067Dividing the beam into multiple beams, e.g. multifocusing

Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、1つのレーザ発振器から出力されたレーザを複数の加工ヘッドに供給し、加工ヘッド毎にレーザを位置決めして加工対象物を加工するようにした、いわゆる多軸のレーザ加工機に関する。
【0002】
【従来の技術】
例えば、加工ヘッドの数が2個である従来の2軸レーザ加工機には、レーザ発振器を2つ設け、レーザ発振器から最終的な加工対象物に至るレーザの経路を2系統にしたものがある。このように構成された2軸レーザ加工機は各軸をほぼ独立して制御できるので、加工効率は1軸レーザ加工機の約2倍になる。しかし、2つのレーザ発振器を使用するため、装置の価格および保守費用が高価になる。
【0003】
また、1つのレーザ発振器から出力されたレーザをハーフミラーを用いて2系統に分岐させて2軸レーザ加工機を構成したものもある。このように構成された2軸レーザ加工機は、前者に比べて装置を安価に構成できる。
【0004】
しかし、2系統のレーザが同時に出力されるので、レーザが出力される前に各系統のレーザ位置決め装置の動作を完了させておく必要がある。すなわち、先に位置決めが終了した系統は他の系統の位置決めが終了するまで待機しなければならない。このため、加工能率が向上するとは限らない。
【0005】
そこで、特開2000−263271号公報記載の発明では、1つのレーザ発振器から出力されたレーザを偏向素子(音響光学素子)により2方向に偏向させるようにして、2軸レーザ加工機を構成している。このように構成された2軸レーザ加工機は、装置単価を安価にすることができるだけでなく、レーザ発振器の稼働率を向上させることができた。
【0006】
【特許文献1】
特開2000−263271号公報
【0007】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、特開2000−263271号公報記載の発明では、総ての系統におけるレーザ位置決め時間とレーザ出力時間が同じであることが前提になっている。
【0008】
一般に、それぞれの系統における加工位置は互いに異なる場合がほとんどである。このため、位置決め時間として位置決めに要する時間の最大値を設定しなければならず、作業能率が向上するとは限らなかった。
【0009】
本発明の目的は、上記従来技術における課題を解決し、それぞれの系統における加工位置が互いに異なる場合であっても、作業能率を向上させることができる多軸のレーザ加工機を提供するにある。
【0010】
【課題を解決するための手段】
上記の目的を達成するため、本発明は、レーザを出力する1つのレーザ発振器と、前記レーザの光路を複数の方向に切り替える偏向装置と、前記複数の光路のそれぞれに配置された前記光路と同数のレーザ位置決め装置と、を有し、前記レーザを前記レーザ位置決め装置のいずれかに供給して加工をする多軸のレーザ加工機において、前記レーザ位置決め装置に対して加工位置を指令する指令装置と、前記偏向装置を制御してレーザの光路を切り替えさせ、前記レーザ位置決め装置の1つにレーザを供給する調停手段と、を備え、前記複数のレーザ位置決め装置は互いに独立して動作し、前記指令装置から指令された加工位置に位置決めが終了した時点で位置決め終了信号を出力し、前記調停手段は、前記レーザ位置決め装置から出力される前記位置決め終了信号に基づいて前記レーザの入力先のレーザ位置決め装置を選択し、該選択したレーザ位置決め装置にレーザを供給するように前記偏向装置を制御してレーザの光路を切り替えさせるとともに、前記複数のレーザ位置決め装置が同時に位置決めを終了した場合は、前記レーザを予め定める順序に従って前記レーザ位置決め装置に供給するように前記偏向装置を制御してレーザの光路を切り替えさせることを特徴とする。
【0011】
【発明の実施の形態】
以下、本発明を図示の実施形態に基づいて説明する。
【0012】
図1は本発明の実施形態に係る2軸レーザ加工機の構成図である。
【0013】
レーザコントローラ2は、調停装置5からの信号により、レーザ発振器1の出力を制御する。レーザ発振器1から出力されるレーザ3の光路(図中に点線で示す)上には、音響光学偏向器(Acousto−Optic Modulator。以下、AOMという。)4が配置されている。AOM4は調停装置5から制御信号が入力されると入射したレーザ3を角度θ偏向させ、その他の場合はそのまま透過させる(以下、透過したレーザ3を「レーザ3a」、偏向側のレーザ3すなわち角度θ偏向されたレーザ3を「レーザ3b」という。)。
【0014】
レーザ3aの光路上には、第1の軸J1に保持されたレーザ位置決め装置6aが配置されている。また、レーザ3bの光路上には、第2の軸J2に保持されたレーザ位置決め装置6bが配置されている。レーザ位置決め装置6a、6bは、調停装置5およびNC装置7に接続されている。加工対象8は加工物位置決め装置9上に固定されている。
【0015】
次に、各部の動作を説明する。
【0016】
図2は、レーザ位置決め装置6a(すなわち軸J1)の動作を示すフローチャートである。
【0017】
図示を省略する起動ボタンがオンされると、レーザ位置決め装置6aはNC装置7から指示された加工箇所の座標を確認し(手順S100)、次の加工箇所がある場合は手順S110の処理を行い、その他の場合は加工完了信号をNC装置7に出力して(手順S140)、処理を終了する。手順S110では、レーザ位置決め装置6aの図示を省略する機構部を動作させてレーザ3aの光路を位置決めし、位置決めが終了すると位置決め終了信号を調停装置5に出力する(手順S120)。そして、調停装置5から出力されるレーザ出力完了信号を受け取るまで待機し(手順S130)、レーザ出力完了信号を受け取ると、手順S100の処理を行う。
【0018】
レーザ位置決め装置6b(すなわち軸J2)は、レーザ位置決め装置6aと同様に、上記手順S100〜手順S140の処理を行う。なお、レーザ位置決め装置6aとレーザ位置決め装置6bは、互いに独立して、上記手順S100〜手順S140の処理を行う。
【0019】
図3は、調停装置5の動作を示すフローチャートである。
【0020】
図示を省略する起動ボタンがオンされると、調停装置5は、レーザ位置決め装置6aが位置決めを終了したかどうかを確認し(手順S300)、レーザ位置決め装置6aが位置決めを終了している場合は、手順S310の処理を行い、その他の場合は手順S330の処理を行う。手順S310ではレーザコントロール2にレーザ3を出力するように指示し、レーザ3を予め定められた回数照射させる。そして、レーザ3の照射が完了すると、レーザ出力完了信号をレーザ位置決め装置6aに出力して(手順S320)、手順S300の処理を行う。
【0021】
また、手順S330では、レーザ位置決め装置6bが位置決めを終了したかどうかを確認し、レーザ位置決め装置6bが位置決めを終了している場合は、手順S340の処理を行い、その他の場合は手順S300の処理を行う。手順S340では、AOM4をオンした後、レーザコントロール2にレーザ3を出力するように指示し、レーザ3を予め定められた回数照射させる(手順S350)。そして、レーザ3の照射が完了すると、レーザ出力完了信号をレーザ位置決め装置6bに出力すると共に(手順S360)、AOM4をオフした後(手順S370)、手順S300の処理を行う。
【0022】
次に、装置全体の動作を説明する。
【0023】
図示を省略する起動ボタンがオンされると、NC装置7はレーザ位置決め装置6a、6bに対して加工位置を指令する。指令を受けたレーザ位置決め装置6a、6bは、NC装置7から指令されたデータに基づきレーザ3a、3bの光路を加工対象8上の加工位置に位置決めし、位置決めが終了すると、それぞれ位置決め終了信号を調停装置5に出力する。
【0024】
例えば、レーザ位置決め装置6aの位置決めがレーザ位置決め装置6bよりも先に終了したとする。レーザ位置決め装置6aから位置決め終了信号を受けた調停装置5は、レーザコントローラ2を動作させ、レーザ発振器1にレーザ3を出力させる。AOM4がオフであるので、レーザ3aがレーザ位置決め装置6a入力され、加工対象8上の加工位置に照射される。レーザ3aの照射が完了し、調停装置5からレーザ出力完了信号を受け取ると、レーザ位置決め装置6aはレーザ3aの光路を次の加工位置に位置決めする動作を開始する。
【0025】
次に、レーザ位置決め装置6bの位置決めが終了したとすると(このとき、レーザ位置決め装置6aは位置決め中である。)、位置決め終了を受けた調停装置5は、AOM4をオンしてから、レーザ発振器2を動作させ、レーザ3を出力させる。AOM4がオンであるので、レーザ3bがレーザ位置決め装置6bに入力され、加工対象8上の加工位置に照射される。レーザ3bの照射が完了し、調停装置5からレーザ出力完了信号を受け取ると、レーザ位置決め装置6bはレーザ3bの光路を次の加工位置に位置決めする動作を開始する。以下、加工が完了するまで、上記の動作を繰り返す。
【0026】
なお、上記フローチャートから明らかなように、レーザ位置決め装置6a、6bの一方が加工中に他方の位置決めが終了した場合、他方は一方の作業が終了するまで待機させられる。また、レーザ位置決め装置6aとレーザ位置決め装置6bの位置決めが同時に終了した場合、レーザ位置決め装置6a(すなわち軸J1)が優先される。
【0027】
このように、レーザ3を光路の位置決めが終了した軸に供給するので、レーザ発信器2の稼働率を向上させることができる。
【0028】
ところで、この実施形態の場合、加工対象物上に照射されるレーザ3a、3bの強度波形はレーザ発振器2から出力されたレーザ3の強度波形とほぼ同一になる。後述するように、レーザ3の強度は一定ではないので、例えば、AOM4とレーザ位置決め装置6a、6bとの間にそれぞれ波形整形器を配置してレーザ3の強度を制御可能に構成すると、加工品質あるいは加工形状を向上させることができる。
【0029】
図4は本発明の変形例を示すレーザ加工機の構成図であり、図1と同じもの、または同一機能のものは、同一の符号を付して説明を省略する。
【0030】
波形整形器(ここではAOM)10は、レーザ3の光路上のAOM4の後方に配置され、AOM10の後方にはレーザ・ストッパ11が配置されている。AOM10は調停装置5に接続されている。レーザ位置決め装置6aはAOM10の偏向側に、レーザ位置決め装置6bはAOM4の偏向側に、それぞれ配置されている。
【0031】
次に、この実施形態の動作を説明する。
【0032】
図5は、この実施形態の動作タイムチャート図である。なお、特に指令をしない限り、AOM4、10はオフである。
【0033】
例えば、レーザ位置決め装置6aの位置決めがレーザ位置決め装置6bよりも先に終了したとする(時刻T0)。レーザ位置決め装置6aから位置決め終了信号を受けた調停装置5は、レーザ発振器2を動作させ、レーザ3を出力させると共に、経過時間tの計測を開始する。AOM4、10がオフであるので、レーザ3はAOM4、10を透過してレーザ・ストッパ11に入射する。調停装置5は、経過時間tがレーザ3の強度が略一定になるのに要する時間t1になると(時刻T1)、AOM10をオンする。この結果、レーザ3はレーザ位置決め装置6aにより位置決めされて加工部に入射する。また、時刻T1から照射時間t2が経過すると(時刻T2)、AOM10をオフする。以下、同様にして、指定された回数、レーザ3を照射し、レーザ3の照射が完了すると、レーザ位置決め装置6aはレーザ3aの光路を次の加工位置に位置決めする動作を開始する。
【0034】
次に、レーザ位置決め装置6bの位置決めが終了したとすると(このとき、レーザ位置決め装置6aは位置決め動作中である。)(時刻T3)、位置決め終了を受けた調停装置5は、レーザ発振器2を動作させ、レーザ3を出力させる。レーザ3はAOM4、10を透過してレーザ・ストッパ11に入射する。調停装置5は、経過時間tが時間t1になると(時刻T4)、AOM4をオンする。この結果、レーザ3はレーザ位置決め装置6bにより位置決めされて加工部に入射する。また、時刻T4から照射時間t2が経過すると(時刻T5)、AOM4をオフする。以下、同様にして、指定された回数、レーザ3を照射する。レーザ3bの照射が完了すると、レーザ3bの光路を次の加工位置に位置決めする動作を開始する。
【0035】
以下、加工が完了するまで、上記の動作を繰り返す。
【0036】
このようにすると、加工部には、ほぼ一定の強度のレーザ3が供給されるので、加工品質が均質になる。
【0037】
なお、加工ヘッドが2個である2軸レーザ加工機について説明したが、上記に基づき。さらに加工ヘッドを増やすことができることは言うまでもない。
【0038】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によればそれぞれの軸の加工位置が異なる場合であっても、待ち時間を最小限にすることが可能となり、加工効率を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係るレーザ加工機の構成図である。
【図2】本発明に係るレーザ位置決め装置の動作を示すフローチャートである。
【図3】本発明に係る調停装置の動作を示すフローチャートである。
【図4】本発明の変形例を示すレーザ加工機の構成図である。
【図5】本発明の変形例における動作タイムチャート図である。
【符号の説明】
3 レーザ
4 偏向手段(AOM)
5 調停手段
6a,6b レーザ位置決め装置
J1,J2 軸

Claims (1)

  1. レーザを出力する1つのレーザ発振器と、前記レーザの光路を複数の方向に切り替える偏向装置と、前記複数の光路のそれぞれに配置された前記光路と同数のレーザ位置決め装置と、を有し、前記レーザを前記レーザ位置決め装置のいずれかに供給して加工をする多軸のレーザ加工機において、
    前記レーザ位置決め装置に対して加工位置を指令する指令装置と、
    前記偏向装置を制御してレーザの光路を切り替えさせ、前記レーザ位置決め装置の1つにレーザを供給する調停手段と、を備え、
    前記複数のレーザ位置決め装置は互いに独立して動作し、前記指令装置から指令された加工位置に位置決めが終了した時点で位置決め終了信号を出力し、
    前記調停手段は、前記レーザ位置決め装置から出力される前記位置決め終了信号に基づいて前記レーザの入力先のレーザ位置決め装置を選択し、該選択したレーザ位置決め装置にレーザを供給するように前記偏向装置を制御してレーザの光路を切り替えさせるとともに、前記複数のレーザ位置決め装置が同時に位置決めを終了した場合は、前記レーザを予め定める順序に従って前記レーザ位置決め装置に供給するように前記偏向装置を制御してレーザの光路を切り替えさせることを特徴とするレーザ加工機。
JP2002365586A 2002-12-17 2002-12-17 多軸のレーザ加工機 Expired - Lifetime JP4014498B2 (ja)

Priority Applications (5)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2002365586A JP4014498B2 (ja) 2002-12-17 2002-12-17 多軸のレーザ加工機
TW092134152A TW200414957A (en) 2002-12-17 2003-12-04 Multi-axis laser machine, method for machining with the same, and recording medium recording computer program
CNB2003101213543A CN100479971C (zh) 2002-12-17 2003-12-12 多轴激光加工机及其加工方法
KR1020030091392A KR101079067B1 (ko) 2002-12-17 2003-12-15 다축 레이저 가공기
US10/735,858 US7164099B2 (en) 2002-12-17 2003-12-16 Multi-axis laser machine, method for machining with the same, and recording medium recording computer program for controlling the same

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2002365586A JP4014498B2 (ja) 2002-12-17 2002-12-17 多軸のレーザ加工機

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2004195495A JP2004195495A (ja) 2004-07-15
JP4014498B2 true JP4014498B2 (ja) 2007-11-28

Family

ID=32763105

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2002365586A Expired - Lifetime JP4014498B2 (ja) 2002-12-17 2002-12-17 多軸のレーザ加工機

Country Status (5)

Country Link
US (1) US7164099B2 (ja)
JP (1) JP4014498B2 (ja)
KR (1) KR101079067B1 (ja)
CN (1) CN100479971C (ja)
TW (1) TW200414957A (ja)

Families Citing this family (27)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6947454B2 (en) * 2003-06-30 2005-09-20 Electro Scientific Industries, Inc. Laser pulse picking employing controlled AOM loading
US7435927B2 (en) * 2004-06-18 2008-10-14 Electron Scientific Industries, Inc. Semiconductor link processing using multiple laterally spaced laser beam spots with on-axis offset
US7687740B2 (en) * 2004-06-18 2010-03-30 Electro Scientific Industries, Inc. Semiconductor structure processing using multiple laterally spaced laser beam spots delivering multiple blows
US8148211B2 (en) * 2004-06-18 2012-04-03 Electro Scientific Industries, Inc. Semiconductor structure processing using multiple laser beam spots spaced on-axis delivered simultaneously
US8383982B2 (en) * 2004-06-18 2013-02-26 Electro Scientific Industries, Inc. Methods and systems for semiconductor structure processing using multiple laser beam spots
JP5294629B2 (ja) * 2004-06-18 2013-09-18 エレクトロ サイエンティフィック インダストリーズ インコーポレーテッド 複数のレーザビームスポットを使用する半導体構造加工
US7633034B2 (en) * 2004-06-18 2009-12-15 Electro Scientific Industries, Inc. Semiconductor structure processing using multiple laser beam spots overlapping lengthwise on a structure
US7629234B2 (en) * 2004-06-18 2009-12-08 Electro Scientific Industries, Inc. Semiconductor structure processing using multiple laterally spaced laser beam spots with joint velocity profiling
US7935941B2 (en) * 2004-06-18 2011-05-03 Electro Scientific Industries, Inc. Semiconductor structure processing using multiple laser beam spots spaced on-axis on non-adjacent structures
US7923306B2 (en) * 2004-06-18 2011-04-12 Electro Scientific Industries, Inc. Semiconductor structure processing using multiple laser beam spots
US20060114948A1 (en) * 2004-11-29 2006-06-01 Lo Ho W Workpiece processing system using a common imaged optical assembly to shape the spatial distributions of light energy of multiple laser beams
TWI382795B (zh) * 2005-03-04 2013-01-11 Hitachi Via Mechanics Ltd A method of opening a printed circuit board and an opening device for a printed circuit board
CA2558898C (en) 2005-09-07 2013-11-05 Purdue Research Foundation Laser assisted machining process with distributed lasers
JP4917382B2 (ja) * 2006-08-09 2012-04-18 株式会社ディスコ レーザー光線照射装置およびレーザー加工機
US8604381B1 (en) 2006-10-12 2013-12-10 Purdue Research Foundation Integrated laser material processing cell
JP5036276B2 (ja) * 2006-11-02 2012-09-26 株式会社ディスコ レーザー加工装置
US7767932B2 (en) * 2007-06-29 2010-08-03 Trumpf, Inc. High dynamics laser processing machine
DE102008022449A1 (de) * 2008-05-08 2009-11-12 Trumpf Werkzeugmaschinen Gmbh + Co. Kg Laserbearbeitungsmaschine mit erweitertem Arbeitsraum
US8350187B2 (en) * 2009-03-28 2013-01-08 Electro Scientific Industries, Inc. Method and apparatus for laser machining
IT1397985B1 (it) * 2010-02-08 2013-02-04 Prima Ind Spa Procedimento di monitoraggio della qualità di processi di lavorazione laser e relativo sistema
WO2012003268A2 (en) * 2010-07-02 2012-01-05 Kurt J. Lesker Company Methods for manufacturing a vacuum chamber and components thereof, and improved vacuum chambers and components thereof
US9539681B2 (en) 2011-11-30 2017-01-10 Board Of Trustees Of Northern Illinois University Laser assisted machining system for ceramics and hard materials
TW201544222A (zh) * 2014-02-21 2015-12-01 Panasonic Ip Man Co Ltd 雷射加工裝置
US10239155B1 (en) * 2014-04-30 2019-03-26 The Boeing Company Multiple laser beam processing
JP6382901B2 (ja) * 2016-09-29 2018-08-29 ファナック株式会社 レーザー加工システム
HUE064074T2 (hu) * 2016-11-18 2024-02-28 Ipg Photonics Corp Összeállítás és eljárás anyagok lézeres feldolgozására
TWI705869B (zh) * 2019-12-31 2020-10-01 星雲電腦股份有限公司 雷射整合切換裝置

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5302798A (en) * 1991-04-01 1994-04-12 Canon Kabushiki Kaisha Method of forming a hole with a laser and an apparatus for forming a hole with a laser
DE19534590A1 (de) * 1995-09-11 1997-03-13 Laser & Med Tech Gmbh Scanning Ablation von keramischen Werkstoffen, Kunststoffen und biologischen Hydroxylapatitmaterialien, insbesondere Zahnhartsubstanz
DE19634190C2 (de) * 1996-08-23 2002-01-31 Baasel Carl Lasertech Mehrkopf-Lasergravuranlage
JPH1147965A (ja) * 1997-05-28 1999-02-23 Komatsu Ltd レーザ加工装置
JP3945951B2 (ja) * 1999-01-14 2007-07-18 日立ビアメカニクス株式会社 レーザ加工方法およびレーザ加工機
US6605796B2 (en) * 2000-05-25 2003-08-12 Westar Photonics Laser beam shaping device and apparatus for material machining

Also Published As

Publication number Publication date
CN100479971C (zh) 2009-04-22
KR101079067B1 (ko) 2011-11-02
CN1507974A (zh) 2004-06-30
KR20040055606A (ko) 2004-06-26
US20040173590A1 (en) 2004-09-09
JP2004195495A (ja) 2004-07-15
TW200414957A (en) 2004-08-16
TWI308094B (ja) 2009-04-01
US7164099B2 (en) 2007-01-16

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4014498B2 (ja) 多軸のレーザ加工機
CN100488698C (zh) 激光焊接系统和激光焊接控制方法
US6522949B1 (en) Robot controller
JP4800939B2 (ja) レーザ加工装置、プログラム作成装置およびレーザ加工方法
JP6325646B1 (ja) ロボットを用いてレーザ加工を行うレーザ加工ロボットシステム及びレーザ加工ロボットの制御方法
JP2012510901A (ja) 被加工物の高スループットレーザ加工を実現するためにレーザビーム位置決めシステムに対する動的熱負荷を制御する方法
JP2004174709A (ja) 工作物を加工するための方法および装置
KR101818840B1 (ko) 레이저가공장치
JP2006281268A (ja) レーザ加工機
JP2007038287A (ja) レーザ加工方法及びレーザ加工装置
JPH07129217A (ja) レーザセンサを用いたロボット制御方法
WO2017051504A1 (ja) レーザ加工システム
JPH07112287A (ja) Ncレーザ装置
JP2004358507A (ja) レーザ加工装置とレーザ加工方法
JP2007054853A (ja) レーザ加工装置及び加工方法
JP3114533B2 (ja) レーザ穴あけ加工装置及びレーザ穴あけ加工方法
TWI675717B (zh) 雷射加工方法及雷射加工裝置
JP2014108454A (ja) レーザ加工機
JP7203315B2 (ja) レーザ発振器及びそれを用いたレーザ加工装置
KR102131685B1 (ko) 이중 스캐너를 이용한 연속 가공 장치 및 연속 가공 방법
JP4496107B2 (ja) レーザ加工装置およびその信号中継装置
JP2001340985A (ja) レーザ加工機
JPH08215875A (ja) レーザ加工装置
JP2005169481A (ja) 位置決め加工方法及び装置
JP2019107693A (ja) レーザ加工装置、レーザ加工方法、その方法のためのプログラム及びそのプログラムを記録した記録媒体

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20050331

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20060811

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20060822

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20061023

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20070605

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20070803

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20070828

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20070911

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100921

Year of fee payment: 3

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 4014498

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100921

Year of fee payment: 3

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110921

Year of fee payment: 4

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120921

Year of fee payment: 5

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120921

Year of fee payment: 5

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130921

Year of fee payment: 6

S533 Written request for registration of change of name

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350

S531 Written request for registration of change of domicile

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313532

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350

S531 Written request for registration of change of domicile

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350

EXPY Cancellation because of completion of term