KR101388989B1

KR101388989B1 - 기판검사치구, 치구 베이스 유닛 및 기판검사장치

Info

Publication number: KR101388989B1
Application number: KR1020120123393A
Authority: KR
Inventors: 마코토 후지노
Original assignee: 니혼덴산리드가부시키가이샤
Priority date: 2011-11-07
Filing date: 2012-11-02
Publication date: 2014-04-24
Also published as: CN103091516A; TWI457576B; TW201341814A; KR20130050239A; JP2013100994A

Abstract

(과제) 검사대상인 피검사기판의 구성의 변경에 따른 기판검사치구의 구성의 변경의 부담을 경감시킬 수 있는 기판검사치구 및 그 관련 기술을 제공한다.
(해결수단) 이 기판검사치구(2)는, 치구본체(6), 전극유닛(7) 및 검사헤드(8)를 구비한다. 전극유닛(7)은 매트릭스 모양으로 설치된 복수의 전극 헤드부를 구비하고, 치구본체(6)에 교환 가능하게 부착된다. 검사헤드(8)는 복수의 프로브와 프로브 지지부재를 구비하고, 그 각 프로브의 후단부가 전극유닛(7) 중에서 어느 하나의 전극 헤드부와 전기적으로 접촉하도록, 전극유닛(7) 또는 치구본체(6)에 교환 가능하게 부착된다. 전극유닛(7)의 전극 헤드부는, 프로브의 배치형태가 서로 다른 복수 종류의 검사헤드(8)에 대응 가능하게, 검사헤드(8)의 프로브의 설치 피치보다도 작은 설치 피치로 매트릭스 모양으로 설치되어 있다.

Description

기판검사치구, 치구 베이스 유닛 및 기판검사장치{JIG FOR SUBSTRATE INSPECTION, BASE UNITS OF JIG AND SUBSTRATE INSPECTION APPARATUS}

본 발명은, 기판검사장치에 부착되어, 피검사기판에 형성된 배선패턴의 전기적 특성에 관한 검사에 사용되는 기판검사치구 및 그 관련 기술에 관한 것이다.

종래의 기판검사치구로서, 전극유닛에 설치된 전극부의 구성을, 프로브의 설치형태가 서로 다른 복수 종류의 검사헤드에 대응하는 유니버셜한 구성으로 하고, 검사대상인 피검사기판의 배선패턴 등의 구성에 대응하여 검사헤드를 교환 가능하게 한 것이 있다.

또한 상기한 종래의 기판검사치구를 사용한 기판검사장치에서는, 기판검사치구의 전극유닛의 전극부와 검사처리부 사이의 전기적인 접속관계를 전환하는 접속전환유닛이, 기판검사장치 본체에 있어서 기판검사치구의 전극유닛의 하측(또는 상측)에 배치되어 있다.

또한, 유니버셜한 전극부의 구성을 구비하는 기판검사치구에 관한 선행기술문헌으로서는, 예를 들면 특허문헌1을 들 수 있다.

일본국 특허 제2598482호 공보

그러나 상기한 종래의 기판검사치구에서는, 전극유닛의 교환이 상정되어 있지 않기 때문에, 프로브의 설치 피치 등이 서로 다른 검사헤드를 설치하려고 하는 경우에는, 기판검사치구 전체를 교환할 필요가 있었다. 이 때문에 검사대상인 피검사기판의 구성(예를 들면 배선패턴의 형성 피치 등)의 변경에 따른 기판검사치구의 구성의 변경의 부담이 컸다.

또한 상기한 바와 같이 접속전환유닛이 기판검사장치 본체에 있어서 기판검사치구의 전극유닛의 하측(또는 상측)에 배치된 구성에서는, 기판검사장치에 있어서 기판검사치구의 전극유닛이 배치되는 부분 및 그 주변의 구성이 복잡해지므로 기판검사치구의 교환 등을 하기 어렵다고 하는 문제가 있다.

또한 기판검사장치 본체에 있어서 기판검사치구의 전극유닛이 배치되는 부분의 하측(또는 상측)에는, 기판검사치구의 위치조절을 하는 위치조절 기구가 배치되는 것이 많다. 이 때문에 상기와 같은 구성에서는, 접속전환유닛이 방해를 받고, 위치조절 기구의 설치 스페이스를 확보하는 것이 어려울 경우가 있었다.

따라서, 본 발명이 해결해야 할 제1과제는, 검사대상인 피검사기판의 구성의 변경에 따른 기판검사치구의 구성의 변경의 부담을 경감시킬 수 있는 기판검사치구 및 그 관련 기술을 제공하는 것이다.

또한, 본 발명이 해결해야 할 제2과제는, 기판검사치구 및 전극유닛의 교환이 용이하게 이루어짐과 아울러 기판검사치구의 위치조절 기구의 설치 스페이스 확보가 용이한 기판검사장치를 제공하는 것이다.

상기한 과제를 해결하기 위해서, 제1국면에서는, 기판검사장치에 부착되어 피검사기판에 형성된 배선패턴의 전기적 특성에 관한 검사에 사용되는 기판검사치구로서, 치구본체와, 매트릭스 모양으로 설치된 복수의 전극부를 구비하고, 상기 치구본체에 교환 가능하게 부착되는 전극유닛과, 복수의 프로브와 상기 복수의 프로브를 지지하는 프로브 지지부재를 구비하고, 그 각 프로브의 후단부가 상기 전극유닛 중에서 어느 하나의 상기 전극부와 전기적으로 접촉하도록, 상기 전극유닛 또는 상기 치구본체에 교환 가능하게 부착되는 검사헤드를 구비하고, 상기 검사헤드의 상기 프로브는, 그 선단부가 검사대상인 상기 피검사기판의 상기 배선패턴상에 설정되는 검사점에 대응하도록 배치되고, 상기 전극유닛의 상기 전극부는, 상기 프로브의 배치형태가 서로 다른 복수 종류의 상기 검사헤드에 대응 가능하게, 상기 검사헤드의 상기 프로브의 설치 피치보다도 작은 설치 피치로 매트릭스 모양으로 설치되어 있다.

상기에서 매트릭스 모양이라 함은, 물리적으로 정확히 매트릭스는 물로 대략 매트릭스인 모양도 포함하는 개념이다. 이하, 동일하다.

또한 제2국면에서는, 제1국면에 관한 기판검사치구에 있어서, 상기 전극유닛은, 상기 프로브 유닛과의 대향면에 형성된 복수의 전극구멍을 구비하는 절연성의 전극 기대재(電極基臺材)와, 도전성의 봉상(棒狀)의 형태를 구비하고, 상기 전극 기대재의 상기 전극구멍내에 설치되어 상기 전극부를 구성하는 전극 헤드부와, 도전성을 구비함과 아울러 코일 스프링 모양의 형태를 구비하고, 상기 전극구멍내에 삽입되어 그 신축방향의 일방측 단부가 상기 전극 헤드부의 후단측에 접촉되는 도전코일 스프링재와, 도전성을 구비하고, 그 선단부가 상기 전극구멍내에 삽입되어서 상기 도전코일 스프링재의 상기 신축방향의 타방측 단부에 접촉되는 중계 접속재를 구비한다.

상기에서 봉상이라 함은, 물리적으로 정확히 봉상은 물론 대략 봉상인 모양도 포함하는 개념이다. 또한 코일 스프링 모양이라 함은 정확히 물리적으로 코일 스프링은 대략 코일 스프링의 모양도 포함는 개념이다. 이하, 동일하다.

또한 제3국면에서는, 제2국면에 관한 기판검사치구에 있어서, 상기 전극 기대재의 상기 전극구멍내에는, 상기 전극 헤드부의 일부와 접촉하여 상기 전극 헤드부의 상기 검사헤드측으로의 대한 변위를 저지하는 접촉부가 설치되고, 상기 도전코일 스프링재는, 상기 전극구멍내에 있어서 신축방향으로 압축된 상태에서 상기 전극 헤드부와 상기 중계 접속재 사이에 삽입되어 있다.

또한 제4국면에서는, 제3국면에 관한 기판검사치구에 있어서, 상기 전극유닛의 상기 전극 헤드부에 있어서 상기 프로브의 후단부측을 향한 선단부는, 상기 검사헤드의 상기 프로브가 접촉되지 않고 있는 상태에 있어서, 상기 전극 기대재에 있어서 상기 검사헤드와의 대향면과 실질적으로 가지런하게 되는 위치에 배치되어 있다.

상기에서 가지런하게 되는 위치라 함은, 물리적으로 정확히 가지런하게 되는 위치는 물로 대략 또는 실질적으로 가지런하게 되는 위치도 포함하는 개념이다. 이하, 동일하다.

또한 제5국면에서는, 제3국면에 관한 기판검사치구에 있어서, 상기 전극유닛의 상기 전극 헤드부에 있어서 상기 프로브의 후단부측을 향한 선단부는, 상기 검사헤드의 상기 프로브가 접촉되지 않고 있는 상태에 있어서, 상기 전극 기대재에 있어서 상기 검사헤드와의 대향면에 대하여 상기 검사헤드와 이반하는 방향으로 오목모양으로 후퇴한 위치에 배치되어 있다.

또한 제6국면에서는, 제1국면에 관한 기판검사치구에 있어서, 상기 전극유닛에는, 상기 전극부의 상기 설치 피치가 서로 다른 복수의 전극설치영역이 형성되어 있다.

또한 제7국면에서는, 제1국면에 관한 기판검사치구에 있어서, 상기 전극유닛의 상기 전극부에 있어서 상기 프로브의 상기 후단부측을 향한 선단부는, 그 중앙부가 대략 오목하게 들어간 오목형상을 구비한다.

상기에서 오목하게 들어간 오목형상이라 함은, 물리적으로 정확히 오목하게 들어간 형상은 물론 대략 오목하게 들어간 형상도 포함하는 개념이다. 이하, 동일하다.

또한 제8국면에서는, 제1국면에 관한 기판검사치구에 있어서, 상기 전극유닛의 상기 전극부에 있어서 상기 프로브의 상기 후단부측을 향한 선단부의 가장자리부는, 상기 프로브의 상기 후단부측으로 돌출하는 복수의 돌기가 형성되어 있다.

또한 제9국면에서는, 제1국면에 관한 기판검사치구에 있어서, 상기 검사헤드의 상기 프로브의 상기 선단부 및 후단부는, 상기 프로브 지지부재에 있어서 상기 피검사기판측을 향한 선단측의 끝면 및 상기 전극유닛측을 향한 후단측의 끝면으로부터 돌출하고 있다.

또한 제10국면에서는, 제1국면에 관한 기판검사치구와, 상기 기판검사치구가 부착되는 검사장치본체를 구비한 기판검사장치로서, 상기 검사장치본체는, 상기 기판검사치구를 통하여 상기 피검사기판의 상기 배선패턴의 전기적 특성을 검사하는 검사처리부와, 상기 기판검사장치 본체에 있어서 상기 기판검사장치 본체에 부착된 상기 기판검사치구의 상기 전극유닛과 상하방향으로 대향하는 영역으로부터 떨어진 위치에 배치되고, 상기 기판검사치구의 상기 전극부와 상기 검사처리부의 전기적인 접속관계를 전환하는 접속전환유닛을 구비한다.

또한 제11국면에서는, 복수의 프로브를 구비한 검사헤드와 함께 기판검사장치에 부착되고, 피검사기판에 형성된 배선패턴의 전기적 특성에 관한 검사에 사용되는 치구 베이스 유닛으로서, 치구본체와, 매트릭스 모양으로 설치된 복수의 전극부를 구비하고, 상기 치구본체에 교환 가능하게 부착되는 전극유닛을 구비하고, 상기 검사헤드가 상기 전극유닛 또는 상기 치구본체에 교환 가능하게 부착됨에 따라, 상기 검사헤드의 상기 프로브의 후단부가 상기 전극유닛 중에서 어느 하나의 상기 전극부와 전기적으로 접촉하고, 상기 전극유닛의 상기 전극부는, 상기 프로브의 배치형태가 서로 다른 복수 종류의 상기 검사헤드에 대응 가능하게, 상기 검사헤드의 상기 프로브의 설치 피치보다도 작은 설치 피치로 매트릭스 모양으로 설치되어 있다.

상기 제1 또는 제9국면에 관한 기판검사치구에 의하면, 전극유닛이 교환 가능하기 때문에, 프로브의 설치 피치 등이 서로 다른 검사헤드를 설치하려고 하는 경우에도, 기판검사치구 전체를 교환하지 않고 전극유닛을 교환함으로써 그에 대응할 수 있다. 이 때문에 검사대상인 피검사기판의 구성(예를 들면 배선패턴의 형성 피치 등)의 변경에 따른 기판검사치구의 구성의 변경의 부담을 경감시킬 수 있다.

상기 제2국면에 관한 기판검사치구에 의하면, 검사헤드가 부착되고, 프로브의 후단부가 전극 헤드부에 전기적으로 접촉되었을 때에, 도전코일 스프링재의 가압력에 의하여 전극 헤드부가 프로브의 후단부에 탄성적으로 가압되어서 접촉되기 때문에 프로브와 전극 헤드부와의 전기적인 접촉상태를 안정시킬 수 있다.

상기 제3국면에 관한 기판검사치구에 의하면, 검사헤드가 부착되어 있지 않고, 전극 헤드부가 프로브와의 접촉을 대기하는 상태에서는, 압축된 상태에서 삽입된 도전코일 스프링재의 가압력에 의하여 전극 헤드부가 전극구멍내의 상한위치에 탄성적으로 가압되고 있다. 이 때문에 대기상태에 있는 전극 헤드부의 선단부의 위치를 정확하게 결정할 수 있고, 이에 따라 검사헤드가 부착되었을 때에 프로브의 후단부를 전극 헤드부에 확실하게 전기적으로 접촉시킬 수 있다.

상기 제4국면에 관한 기판검사치구에 의하면, 전극유닛에 있어서 전극 헤드부의 프로브의 후단부측을 향한 선단부가, 검사헤드의 프로브가 접촉되지 않고 있는 상태에 있어서, 전극 기대재에 있어서 검사헤드와의 대향면과 실질적으로 가지런하게 되는 위치에 배치되어 있다. 그 때문에, 전극 헤드부에 대한 프로브의 후단부의 접촉에 따른 압력에 의하여, 전극 헤드부의 선단부가 전극 기대재의 상기 대향면에 대하여 검사헤드로부터 이반하는 방향으로 오목모양으로 약간 후퇴하게 되고, 이에 따라 프로브의 후단부의 전극 헤드부의 선단부로부터의 변위(變位)가 방지되어, 프로브와 전극 헤드부의 접촉상태를 안정시킬 수 있다.

상기 제5국면에 관한 기판검사치구에 의하면, 전극유닛에 있어서 전극 헤드부의 프로브의 후단부측을 향한 선단부가, 검사헤드의 프로브가 접촉되지 않고 있는 상태에 있어서, 전극 기대재에 있어서 검사헤드와의 대향면에 대하여 검사헤드와 이반하는 방향으로 오목모양으로 후퇴한 위치에 배치되어 있다. 그 때문에, 프로브의 후단부가 전극 헤드부에 접촉한 후 뿐만 아니라 접촉할 때에도, 프로브의 후단부의 위치를 변위시키지 않고 전극 헤드부의 상단부에 확실하게 접촉시킬 수 있어, 프로브와 전극 헤드부의 접촉상태를 보다 안정시킬 수 있다.

상기 제6국면에 관한 기판검사치구에 의하면, 전극유닛에는 전극부의 설치 피치가 서로 다른 복수의 전극설치영역이 형성되어 있기 때문에, 검사헤드의 프로브의 설치 피치가 부분적으로 다르게 되어 있는 경우에도 대응할 수 있다. 그 결과, 배선패턴의 형성 피치 등이 서로 다른 복수의 영역을 구비하는 피검사기판에 관해서도, 1개의 기판검사치구를 사용하여 한번에 검사할 수 있다.

상기 제7국면에 관한 기판검사치구에 의하면, 전극유닛의 전극부에 있어서 프로브의 후단부측을 향한 선단부의 중앙부가 오목하게 들어간 오목형상을 구비하고 있다. 그 때문에, 프로브의 후단부가 전극부의 선단부의 오목부내에 삽입되도록 하여 전극부와 전기적으로 접촉하기 때문에, 프로브와 전극부의 전기적인 접촉상태를 안정시킬 수 있다.

상기 제8국면에 관한 기판검사치구에 의하면, 전극유닛의 전극부에 있어서 상기 프로브의 후단부측을 향한 선단부의 가장자리부는, 프로브의 후단부측으로 돌출하는 복수의 돌기가 형성되어 있다. 그 때문에, 프로브의 후단부가, 전극부의 선단부의 가장자리부분에 형성된 복수의 돌기의 내측에 삽입되도록 하여 전극부와 전기적으로 접촉하기 때문에, 프로브와 전극부와의 전기적인 접촉상태를 안정시킬 수 있다.

상기 제10국면에 관한 기판검사장치에 의하면, 접속전환유닛이, 기판검사장치 본체에 있어서, 기판검사장치 본체에 부착된 기판검사치구의 전극유닛과 상하방향으로 대향하는 영역으로부터 떨어진 위치에 배치되어 있다. 그 때문에, 기판검사장치에 있어서 기판검사치구의 전극유닛이 배치되는 부분 및 그 주변의 구성을 간단히 할 수 있어서, 기판검사치구 및 전극유닛의 교환작업 등이 용이하게 된다. 또한 기판검사치구의 위치조절기구의 설치 스페이스 확보도 용이하게 된다.

상기 제11국면에 관한 치구 베이스 유닛에 의하면, 전극유닛이 교환 가능하기 때문에, 프로브의 설치 피치 등이 서로 다른 검사헤드를 설치하려고 하는 경우에도, 기판검사치구 전체를 교환하지 않고 전극유닛을 교환함으로써 그에 대응할 수 있다. 이 때문에 검사대상인 피검사기판의 구성(예를 들면 배선패턴의 형성 피치 등)의 변경에 따른 기판검사치구의 구성의 변경에 대한 부담을 경감시킬 수 있다.

도1은 본 발명의 1실시형태에 관한 기판검사치구가 사용된 기판검사장치의 구성을 부분적으로 나타내는 도면이다.
도2는 도1의 기판검사치구의 단면도의 일부에 대한 구성을 확대하여 나타내는 도면이다.
도3은 검사헤드의 구성을 나타내는 단면도이다.
도4는 전극유닛의 전극 헤드부 및 그 주변의 구성을 확대하여 나타내는 단면도이다.
도5는 도4의 구성의 변형예를 나타내는 도면이다.
도6은 전극유닛의 전극구멍 및 전극 헤드부 등의 배치형태에 관한 변형예를 도식적으로 나타내는 개략적인 평면도이다.
도7은 전극유닛에 구비되는 전극 헤드부의 선단부의 구성에 관한 제1의 변형예를 나타내는 단면도이다.
도8(a), 도8(b)는 전극유닛에 구비되는 전극헤드의 선단부의 구성에 관한 제2의 변형예를 나타내는 단면도 및 평면도이다.

도1 내지 도5를 참조하여 본 발명의 1실시형태에 관한 기판검사치구가 적용된 기판검사장치에 대하여 설명한다.

이러한 기판검사장치(1)는, 도1에 나타나 있는 바와 같이 기판검사치구(2)와, 그 기판검사치구(2)가 부착되는 검사장치본체(3)를 구비하고 있어, 도면에 나타나 있지 않은 피검사기판에 형성된 배선패턴의 전기적 특성에 관한 검사에 사용된다. 구체적인 검사로서는, 예를 들면 배선패턴의 도통검사(導通檢査) 및 배선패턴간의 절연검사(絶緣檢査) 등을 들 수 있다.

기판검사치구(2)는, 도1에 나타나 있는 바와 같이 치구본체(6), 전극유닛(7) 및 검사헤드(8)를 구비하고 있다. 또한, 치구본체(6)와 전극유닛(7)을 합쳐서 치구 베이스 유닛(9)이라고 부르는 경우도 있다.

치구본체(6)는 기판검사치구(2)의 기대(基臺) 부분을 구성하는 것으로서, 도1에 나타나 있는 바와 같이 대략 판자모양의 기대부재(61)와, 그 기대부재(61)의 윈도우부(61a)에 부착된 커넥터(62)를 구비하고 있다. 윈도우부(61a) 및 커넥터(62)는, 기대부재(61)에 있어서 전극유닛(7)이 부착되는 부착부(61b)로부터 기대부재(61)의 연장방향인 가로방향으로 떨어진 위치에 배치되어 있다. 이렇게 구성되는 치구본체(6)는, 검사장치본체(3)에 있어서 도면에 나타나 있지 않은 치구 부착부에 착탈이 가능하게 부착된다. 치구본체(6)와 검사장치본체(3)의 고정을 위한 고정구조에는, 예를 들면 간단한 원터치 조작 등에 의하여 고정 및 고정해제가 가능한 구조 혹은 볼트고정 등이 사용된다.

전극유닛(7)은, 도1 및 도2에 나타나 있는 바와 같이 전극 기대재(71)와, 그 전극 기대재(71)에 의하여 지지되는 복수조의 전극헤드부(72), 도전코일 스프링재(73) 및 중계접속재(74)를 구비하여 구성된다. 이 중에서, 전극헤드부(72)가 본 발명에 관한 전극부에 해당된다.

전극 기대재(71)는, 도2에 나타나 있는 바와 같이 절연성을 구비하는 복수의 판상부재를 포개서 구성되어 있고, 전극헤드부(72), 도전코일 스프링재(73) 및 중계접속재(74)가 삽입되어서 지지되는 복수의 전극구멍(711)이 형성되어 있다. 전극구멍(711)은, 전극 기대재(71)를 이 기판검사치구(2)의 축방향인 상하방향으로 관통하고 있고, 그 검사헤드(8)측인 헤드측 단부(711a) 및 검사헤드(8)측과 반대측인 바닥부측 단부(71lb) 부분의 내경이 그 중간부(711c)의 내경보다도 좁게 되어 있다. 또한 전극구멍(711)의 헤드측 단부(711a)는, 전극 기대재(71)에 있어서 검사헤드(8)와의 대향면(712)으로 개구하고 있다. 또한, 변형예로서 전극 기대재(71)를 1매의 판상체(板狀體)에 의하여 구성하더라도 좋다.

전극헤드부(72)는 도전성(예를 들면 금속제)의 대략 봉(棒)모양의 형태를 구비하고, 선단측 소경부(721), 중간 대경부(722) 및 후단측 소경부(723)를 구비하고 있다. 중간 대경부(722)의 외경은, 선단측 소경부(721) 및 후단측 소경부(723)보다도 큼과 아울러 전극 기대재(71)의 전극구멍(711)의 중간부(711c)의 내경보다도 작으며 헤드측 단부(711a)의 내경보다도 크다. 또한 선단측 소경부(721)의 외경은 전극구멍(711)의 헤드측 단부(711a)의 내경보다도 작다.

이러한 전극헤드부(72)는, 선단측 소경부(721)가 전극구멍(711)의 헤드측 단부(711a)내에 바닥부측으로부터 삽입되도록 하여 전극구멍(711)내에 삽입되어, 후술하는 도전코일 스프링재(73)의 가압력에 의하여 검사헤드(8)측에 탄성적으로 가압된 상태로 지지된다. 이 상태에 있어서, 도4에 나타나 있는 바와 같이 전극헤드부(72)의 선단측 소경부(721)와 중간 대경부(722) 사이의 단차부(724)가, 전극구멍(711)내의 헤드측 단부(711a)와 중간부(711c) 사이의 단차부(711d)(본 발명에 관한 접촉부에 해당)에 접촉함으로써 검사헤드(8)측으로 전극헤드부(72)가 변위하는 것을 저지하게 되어 있다.

이러한 때에, 도4에 나타나 있는 바와 같이 전극헤드부(72)에 있어서 검사헤드(8)측을 향한 선단부(도4의 도면에 나타나 있는 예에서는 선단면)(725)는, 전극 기대재(71)에 있어서 검사헤드(8)와의 대향면(712)과 실질적으로 하나의 면으로 가지런하게 되는 위치에 위치하도록 설정되어 있다. 또는, 이 도4에 나타내는 구성의 변형예로서, 도5에 나타나 있는 바와 같이 전극헤드부(72)의 선단부(도4의 도면에 나타나 있는 예에서는 선단면)(725)를, 전극 기대재(71)의 대향면(712)에 대하여 검사헤드(8)로부터 이반하는 방향으로 오목모양으로 후퇴한 위치에 위치하도록 설정하더라도 좋다.

도전코일 스프링재(73)는, 도전재료(예를 들면 금속)에 의하여 형성된 대략 코일 스프링 모양의 형태를 구비하고, 전극구멍(711)내에 있어서 그 신축방향으로 압축된 상태에서 전극헤드부(72)와 후술하는 중계접속재(74) 사이에 삽입되어 있다. 그리고 도전코일 스프링재(73)의 신축방향의 일방측 단부가 전극헤드부(72)의 후단측에 접촉함과 아울러 그 타방측 단부가 중계접속재(74)의 선단부에 접촉하고, 이에 따라 전극헤드부(72)와 중계접속재(74)가 도전코일 스프링재(73)를 통하여 전기적으로 접속된다. 또한, 본 실시형태에서는, 도전코일 스프링재(73)의 상기 일방측 단부가 전극헤드부(72)의 후단측 소경부(723)에 외부로부터 결합된 상태에서, 후단측 소경부(723)와 중간 대경부(722) 사이의 단차부에 접촉하여 전극헤드부(72)를 검사헤드(8)측으로 가압하고 있다.

중계접속재(74)는 도전성을 구비하고, 전극헤드부(72)를 후술하는 접속전환유닛(32)에 전기적으로 접속시킨다. 그리고 중계접속재(74)의 선단부가 바닥부측 단부(71lb)로부터 전극구멍(711)내에 삽입되어, 도전코일 스프링재(73)를 통하여 전극헤드부(72)와 전기적으로 접속되어 있다.

중계접속재(74)의 구체적인 구성으로서는, 예를 들면 도전성의 와이어(741)와, 그 와이어(741)의 선단에 접합되고 도전성을 구비하는 스프링 접촉부(742)를 구비하여 구성되어 있다. 와이어(741)의 선지름(線徑)은, 전극구멍(711)의 바닥부측 단부(71lb)의 내경보다도 작게 설정되어 있다. 스프링 접촉부(742)의 외경은, 와이어(741)의 선지름 및 전극구멍(711)의 바닥부측 단부(71lb)의 내경보다도 크고 또한 중간부(711c)의 내경보다도 작게 설정되어 있다. 이 때문에 전극구멍(711)내에 있어서, 스프링 접촉부(742)가 바닥부측 단부(71lb)에 있어서 검사헤드(8)측의 개구부와 결합하고, 이에 따라 중계접속재(74)에 있어서 전극구멍(711)내에 삽입된 부분이 전극구멍(711)에서 빠지지 않게 되어 있다. 전극구멍(711)으로부터 인출된 와이어(741)는 커넥터(62)에 전기적으로 접속된다. 또한, 와이어(741)는 도체심(導體芯)의 주위를 수지 등의 절연재(絶緣材)에 의하여 피복하고 있는 것이 바람직하다. 또한 와이어(741)는, 전극구멍(711)으로부터 커넥터(62)까지 연속한 것이더라도 좋고, 도중에 다른 중계 와이어에 전기적으로 접속하여, 그 중계 와이어를 통하여 커넥터(62)와 전기적으로 접속되더라도 좋다. 또한 스프링 접촉부(742)로서는, 예를 들면 솔더링볼 등의 금속제의 볼이 사용된다.

이러한 전극유닛(7)의 전극구멍(711) 및 전극헤드부(72)는, 프로브(81)의 배치형태가 서로 다른, 후술하는 복수 종류의 검사헤드(8)에 대응 가능하게, 검사헤드(8)의 프로브(81)의 설치 피치보다도 작은 설치 피치로 대략 매트릭스 모양으로 설치되어 있다. 그리고 검사헤드(8)가 전극유닛(7)에 부착되는 데에 따라, 검사헤드(8)의 프로브(81)의 후단부(8lb)가, 전극유닛(7)에 있어서 대략 매트릭스 모양으로 설치된 어느 하나의 전극헤드부(72)와 전기적으로 접촉하게 되어 있다.

이러한 때에, 전극헤드부(72)는, 프로브(81)와의 접촉에 따른 프로브(81)로부터의 압력에 의하여 도전성코일 스프링재(73)의 가압력에 저항하여 전극구멍(711)의 내측으로 약간 압입된 상태가 된다. 이에 따라, 전극헤드부(72)의 선단부(725)가 전극 기대재(71)의 대향면(712)에 대하여 검사헤드(8)로부터 이반하는 방향으로 오목모양으로 약간 후퇴한 상태가 되고, 이에 따라 프로브(81)의 후단부(81a)가 전극헤드부(72)의 선단부(725)로부터 변위되는 것이 방지되어, 프로브(81)와 전극헤드부(72)의 접촉상태가 안정된다.

이러한 전극유닛(7)은, 치구본체(6)의 기대부재(61)의 부착부(61b)에 교환이 가능하게 부착된다. 전극유닛(7)과 치구본체(6)의 기대부재(61)의 고정을 위한 고정구조에는, 예를 들면 간단한 원터치 조작 등에 의하여 고정 및 고정해제가 가능한 구조 혹은 볼트고정 등이 사용된다.

검사헤드(8)는, 도3에 나타나 있는 바와 같이 도전성을 구비하는 가늘고 긴 대략 바늘모양의 형태를 구비하는 복수의 프로브(81)와, 그 복수의 프로브(81)를 지지하는 프로브 지지부재(82)를 구비하여 구성되어 있다. 프로브 지지부재(82)는, 도면에 나타나 있지 않은 검사대상인 피검사기판측에 위치하는 선단측 지지부재(821)와, 전극유닛(7)측에 배치되는 후단측 지지부재(822)와, 선단측 지지부재(821)와 후단측 지지부재(822)를 연결하여 고정시키는 연결부재(823)를 구비하고 있다. 선단측 지지부재(821)와 후단측 지지부재(822)는, 상하방향으로 간격을 둔 상태에서 연결부재(823)에 의하여 연결되어 있다. 또한 선단측 지지부재(821) 및 후단측 지지부재(822)에는, 프로브(81)가 삽입되어서 지지되는 복수의 지지구멍이 형성되어 있고, 선단측 지지부재(821)의 지지구멍에는 프로브(81)의 선단측이 삽입되어 지지되고, 후단측 지지부재(822)의 지지구멍에는 프로브(81)의 후단측이 삽입되어 지지된다.

이러한 프로브(81)의 지지상태에 있어서, 프로브(81)의 선단부(81a) 및 후단부(8lb)는, 선단측 지지부재(821)에 있어서 피검사기판측을 향한 선단측의 끝면(821a) 및 후단측 지지부재(822)에 있어서 전극유닛(7)측을 향한 후단측의 끝면(822a)으로부터 돌출하고 있다. 그리고 프로브(81)의 선단부(81a)가 검사대상인 피검사기판의 배선패턴상에 형성된 검사점에 전기적으로 접촉되고, 후단부(8lb)가 전극유닛(7)의 전극헤드부(72)에 전기적으로 접촉된다.

또한, 도3의 도면에 나타나 있는 예에서는, 선단측 지지부재(821) 및 후단측 지지부재(822)는, 절연성을 구비하는 복수의 판상부재를 포개서 각각 구성되어 있지만, 단일 판상부재에 의하여 구성하더라도 좋다.

이러한 검사헤드(8)는 전극유닛(7)에 교환 가능하게 부착된다. 검사헤드(8)와 전극유닛(7)의 고정을 위한 고정구조에는, 예를 들면 간단한 원터치 조작 등에 의하여 고정 및 고정해제가 가능한 구조 혹은 볼트고정 등이 사용된다. 변형예로서, 검사헤드(8)를 전극유닛(7)에 대하여가 아니라, 치구본체(6)의 기대부재(61)의 부착부(61b)에 대하여 직접 부착하더라도 좋다.

검사헤드(8)의 프로브(81)는, 그 선단부(81a)가 검사대상인 피검사기판의 배선패턴상에 설정되는 검사점에 대응하도록 배치되어 있다. 즉 검사헤드(8)는, 검사대상인 피검사기판의 종류별로 복수 종류로 준비되어 있고, 검사대상인 피검사기판의 종류가 변경되는 데에 따라서 적절하게 교환되도록 되어 있다.

이에 대하여 전극유닛(7)쪽은, 프로브(81)의 설치형태가 서로 다른 복수 종류의 검사헤드(8)에 대응이 가능하게 전극구멍(711) 및 전극헤드부(722) 등의 구성이 설정되어 있다. 이 때문에 검사대상인 피검사기판의 종류가 변경되었을 때에, 검사헤드(8)의 프로브(81)의 설치형태의 변경 정도가 전극유닛(7)이 대응 가능한 범위내(예를 들면 프로브(81)의 설치 피치가 큰 변경이 없을 경우 등)이면, 검사헤드(8)만 교환하면 전극유닛(7)은 교환하지 않아도 되게 되어 있다.

또한 본 실시형태에 관한 전극유닛(7)은 용이하게 교환 가능하기 때문에, 가령 피검사기판의 종류의 변경에 따른 검사헤드(8)의 프로브(81)의 설치형태의 변경 정도가 전극유닛(7)이 대응 가능한 범위외(예를 들면 프로브(81)의 설치 피치가 크게 변경되었을 경우 등)이더라도, 전극유닛(7)을 교환하면 치구본체(6)는 교환하지 않아도 되게 되어 있다.

다음에 검사장치본체(3)의 구성에 대하여 설명한다. 검사장치본체(3)는, 도1에 나타나 있는 바와 같이 검사처리부(31)와 접속전환유닛(32)을 구비하고 있다. 검사처리부(31)는 기판검사치구(2)를 통하여 피검사기판의 배선패턴의 전기적 특성을 검사한다.

접속전환유닛(32)은, 복수의 스위칭 소자(예를 들면 반도체 스위칭 소자)를 구비하여 구성되어, 기판검사치구(2)의 전극헤드부(72)와 검사처리부(31) 사이를 전기적으로 접속하는 배선에 삽입되어, 전극헤드부(72)와 검사처리부(31)의 전기적인 접속관계를 전환한다.

이러한 접속전환유닛(32)은, 검사장치본체(3)에 있어서, 검사장치본체(3)에 부착된 기판검사치구(2)의 전극유닛(7)과 상하방향으로 대향하는 영역으로부터 가로방향으로 떨어진 위치에 배치되어 있다. 본 실시형태에서는, 접속전환유닛(32)은, 기판검사치구(2)의 치구본체(6)의 기대부재(61)에 있어서 전극유닛(7)과는 반대측에 배치된다. 또한 접속전환유닛(32)에 있어서 기판검사치구(2)측을 향한 면에는 커넥터부(321)가 설치되어 있다. 그리고 그 커넥터부(321)를 커넥터(62)에 접속함으로써, 접속전환유닛(32)이, 커넥터(62) 및 와이어(741)를 포함하는 중계접속재(74)를 통하여 전극헤드부(72)와 전기적으로 접속되어 있다. 즉 본 실시형태에서는, 전극헤드부(72)와 접속전환유닛(32)의 전기적인 접속은, 우선 치구본체(6)의 기대부재(61)에서 전극유닛(7)측의 부분에 있어서, 전극헤드부(72)와 커넥터(62) 사이에 도전코일 스프링재(73) 등을 통하여 와이어(741)에 의하여 이루어진다. 계속하여 그 와이어(741)와, 기대부재(61)에 있어서 전극유닛(7)과는 반대측에 배치된 접속전환유닛(32)이 커넥터(62)를 통하여 전기적으로 접속된다.

이러한 기판검사장치(1)에 의한 검사에서는, 우선 기판검사치구(2)의 각 프로브(81)의 선단부(81a)가 피검사기판의 배선패턴의 각 검사점에 전기적으로 접촉된다. 그리고 접속전환유닛(32)에 의하여 프로브(81)의 후단부(8lb)가 전기적으로 접촉하고 있는 전극헤드부(72) 중에서 검사대상으로 되어 있는 배선패턴의 조합에 대응하는 전극헤드부(72)가 선택적으로 검사처리부(31)와 전기적으로 접속된다. 그리고 검사처리부(31)에 의한 검사용 전력(檢査用電力)이, 그 선택된 전극헤드부(72) 및 프로브(81)를 통하여 검사대상인 배선패턴에 공급된다. 그에 따라, 도통성(導通性) 또는 절연성(絶緣性) 등에 관한 검사를 위한 신호가, 검사대상의 배선패턴으로부터 프로브(81) 및 그 선택된 전극헤드부(72)를 통하여 검사처리부(31)에 의하여 검출되고, 그 검출 결과에 의거하여 검사대상의 배선패턴의 도전성 또는 절연성 등이 양부판정(良否判定)이 이루어진다. 1개의 배선패턴의 조합에 대한 검사가 종료되면, 다음의 배선패턴의 조합에 대한 검사가 이루어진다.

이상과 같이, 본 실시형태에 관하여 기판검사치구(2) 및 그를 사용한 기판검사장치(1)에 의하면, 전극유닛(7)이 교환 가능하기 때문에, 프로브(81)의 설치 피치 등이 서로 다른 검사헤드(8)를 설치하려고 하는 경우에도, 기판검사치구(2) 전체를 교환하지 않고, 전극유닛(7)을 교환함으로써 그에 대응할 수 있다. 이 때문에 검사대상인 피검사기판의 구성(예를 들면 배선패턴의 형성 피치 등)의 변경에 따른 기판검사치구(2)의 구성의 변경의 부담을 경감시킬 수 있다.

또한 검사헤드(8)가 전극유닛(7)에 부착되고, 프로브(81)의 후단부(8lb)가 전극헤드부(72)에 전기적으로 접촉되었을 때에, 도전코일 스프링재(73)의 가압력에 의하여 전극헤드부(72)가 프로브(81)의 후단부(8lb)에 탄성적으로 가압되어서 접촉되기 때문에 프로브(81)와 전극헤드부(72)의 전기적인 접촉상태를 안정시킬 수 있다.

또한 검사헤드(8)가 부착되어 있지 않고, 전극헤드부(72)가 프로브(81)의 접촉을 대기하고 있는 상태에서는, 압축된 상태에서 삽입된 도전코일 스프링재(73)의 가압력에 의하여 전극헤드부(72)가 전극구멍(711)내의 상한위치에 탄성적으로 가압되고 있다. 이 때문에 대기상태에 있는 전극헤드부(72)의 선단부(725)의 위치를 정확하게 결정할 수 있고, 이에 따라 검사헤드(8)가 부착되었을 때에 프로브(81)의 후단부(8lb)를 전극헤드부(72)에 확실하게 전기적으로 접촉시킬 수 있다.

또한 전극헤드부(72)의 선단부(725)가, 도4에 나타나 있는 바와 같이 검사헤드(8)의 프로브(81)의 접촉을 대기하고 있는 상태에서, 전극 기대재(71)의 대향면(712)과 실질적으로 가지런하게 되는 위치에 배치되어 있다. 그 때문에, 프로브(81)의 후단부(8lb)가 전극헤드부(72)에 접촉함에 따른 압력에 의하여 전극헤드부(72)의 선단부(725)가 전극 기대재(71)의 대향면(712)에 대하여 검사헤드(8)로부터 이반하는 방향으로 오목모양으로 약간 후퇴하게 되고, 이에 따라 프로브(81)의 후단부(8lb)가 전극헤드부(72)의 선단부(725)로부터 위치변위(位置變位)되는 것이 방지되어 프로브(81)와 전극헤드부(72)의 접촉상태를 안정시킬 수 있다.

또한 도5에 나타내는 변형예에 관한 구성에서는, 전극헤드부(72)의 선단부(725)가, 프로브(81)와의 접촉대기 상태에 있어서 전극 기대재(71)의 대향면(712)에 대하여 검사헤드(8)로부터 이반하는 방향으로 오목모양으로 후퇴한 위치에 배치되어 있다. 그 때문에, 프로브(81)의 후단부(8lb)가 전극헤드부(72)에 접촉한 후 뿐만 아니라 접촉할 때에도, 프로브(81)의 후단부(8lb)로부터 위치변위가 방지되면서 전극헤드부(72)의 상단부(725)에 확실하게 접촉시킬 수 있어, 프로브(81)와 전극헤드부(72)의 접촉상태를 보다 안정시킬 수 있다.

본 실시형태에 관한 기판검사장치(1)에 의하면, 도1에 나타나 있는 바와 같이 접속전환유닛(32)이, 검사장치본체(3)에 있어서, 검사장치본체(3)에 부착된 기판검사치구(2)의 전극유닛(7)과 상하방향으로 대향하는 영역으로부터 가로방향으로 떨어진 위치에 배치되어 있다. 그 때문에, 기판검사장치(1)에 있어서 기판검사치구(2)의 전극유닛(7)이 배치되는 부분 및 그 주변의 구성을 간단하게 할 수 있어, 기판검사치구(2) 및 전극유닛(7)의 교환작업 등이 용이하게 된다. 또한 기판검사치구(2)의 도면에 나타나 있지 않은 위치조절기구의 설치 스페이스 확보도 용이하게 된다.

이하에서는, 상기 실시형태에 관한 구성의 변형예에 대하여 설명한다. 상기 실시형태에 관한 전극유닛(7)에서는, 전극유닛(7)의 전극 기대재(71)의 대향면(712)에 형성되는 전극구멍(711) 및 전극헤드부(72) 등을 대향면(712)의 대략 전체 면에 있어서 똑같은 설치 피치로 설치하는 것을 상정하고 있었다. 이 점에 관한 변형예로서, 도6에 나타나 있는 바와 같이 대향면(712)에, 전극구멍(711) 및 전극헤드부(72) 등의 설치 피치가 서로 다른 복수의 전극설치영역(712a, 712b)을 형성하여도 좋다. 이에 따라 검사헤드(8)의 프로브(81)의 설치 피치가 부분적으로 다르게 되어 있는 경우에도 대응할 수 있음과 아울러, 배선패턴의 형성 피치 등이 서로 다른 복수의 영역을 구비하는 피검사기판에 관해서도, 1개의 기판검사치구(2)를 사용하여 한번에 검사할 수 있게 된다.

또한 전극헤드부(72)의 선단부(725)의 구성에 관한 변형예로서는, 도7에 나타내는 구성 및 도8(a), 도8(b)에 나타나 있는 구성을 들 수 있다. 도7에 나타내는 구성에서는, 전극헤드부(72)의 선단부(725)가, 그 중앙부가 대략 오목하게 들어간 오목형상을 구비하고 있다. 이 도7의 구성에 의하면, 프로브(81)의 후단부(8lb)가 전극헤드부(72)의 선단부(725)의 오목형상(726)내에 삽입되어 전극헤드부(72)와 전기적으로 접촉하기 때문에, 프로브(81)와 전극헤드부(72)의 전기적인 접촉상태를 안정시킬 수 있다.

또한 도8(a) 및 도8(b)에 나타나 있는 구성에서는, 전극헤드부(72)의 선단부(725)의 가장자리 부분에, 프로브(81)의 후단부(8lb) 측으로 돌출하는 복수의 돌기(727)가 형성되어 있다. 그 때문에, 프로브(81)의 후단부(8lb)가, 전극헤드부(72)의 선단부(725)의 가장자리부분에 형성된 복수의 돌기(727)의 내측에 삽입되도록 하여 전극헤드부(72)와 전기적으로 접촉하기 때문에, 프로브(81)와 전극헤드부(72)의 전기적인 접촉상태를 안정시킬 수 있다.

1 : 기판검사장치
2 : 기판검사치구
3 : 검사장치본체
31 : 검사처리부
32 : 접속전환유닛
6 : 치구본체
61 : 기대부재
62 : 커넥터
7 : 전극유닛
71 : 전극기대재
711 : 전극구멍
712 : 대향면
72 : 전극헤드부
725 : 선단
726 : 오목형상
727 : 돌기
73 : 도전코일 스프링재
74 : 중계 접속재
8 : 검사헤드
81 : 프로브
82 : 프로브 지지부재
9 : 치구 베이스 유닛

Claims

기판검사장치에 부착되어 피검사기판에 형성된 배선패턴의 전기적 특성에 관한 검사에 사용되는 기판검사치구로서,
치구본체와,
매트릭스 모양으로 설치된 복수의 전극부를 구비하고, 상기 치구본체에 교환 가능하게 부착되는 전극유닛과,
복수의 프로브와 상기 복수의 프로브를 지지하는 프로브 지지부재를 구비하고, 그 각 프로브의 후단부가 상기 전극유닛 중에서 어느 하나의 상기 전극부와 전기적으로 접촉하도록, 상기 전극유닛 또는 상기 치구본체에 교환 가능하게 부착되는 검사헤드를
구비하고,
상기 검사헤드의 상기 프로브는, 그 선단부가 검사대상인 상기 피검사기판의 상기 배선패턴상에 설정되는 검사점에 대응하도록 배치되고,
상기 전극유닛의 상기 전극부는, 상기 프로브의 배치형태가 서로 다른 복수 종류의 상기 검사헤드에 대응 가능하게, 상기 검사헤드의 상기 프로브의 설치 피치보다도 작은 설치 피치로 매트릭스 모양으로 설치되는 것을 특징으로 하는 기판검사치구.
제1항에 있어서,
상기 전극유닛은,
상기 검사헤드와의 대향면에 형성된 복수의 전극구멍을 구비하는 절연성의 전극 기대재(電極基臺材)와,
도전성이며 봉상의 형태를 구비하고, 상기 전극 기대재의 복수의 전극구멍내에 설치되어 복수의 전극부를 구성하는 전극 헤드부와,
도전성을 구비함과 아울러 코일 스프링 모양의 형태를 구비하고, 상기 전극구멍내에 삽입되어 그 신축방향의 일방측 단부가 상기 전극 헤드부의 후단측에 접촉되는 도전코일 스프링재와,
도전성을 구비하고, 그 선단부가 상기 전극구멍내에 삽입되어서 상기 도전코일 스프링재의 상기 신축방향의 타방측 단부에 접촉되는 중계 접속재를
구비하는 것을 특징으로 하는 기판검사치구.
제2항에 있어서,
상기 전극 기대재의 상기 전극구멍내에는, 상기 전극 헤드부의 일부와 접촉하여 상기 전극 헤드부의 상기 검사헤드측으로의 변위를 저지하는 접촉부가 설치되고,
상기 도전코일 스프링재는, 상기 전극구멍내에 있어서 신축방향으로 압축된 상태에서 상기 전극 헤드부와 상기 중계 접속재 사이에 삽입되는 것을 특징으로 하는 기판검사치구.
제3항에 있어서,
상기 전극유닛의 상기 전극 헤드부에 있어서 상기 프로브의 후단부측을 향한 선단부는, 상기 검사헤드의 상기 프로브가 접촉되지 않고 있는 상태에 있어서, 상기 전극 기대재에 있어서 상기 검사헤드와의 대향면과 가지런하게 되는 위치에 배치되는 것을 특징으로 하는 기판검사치구.
제3항에 있어서,
상기 전극유닛의 상기 전극 헤드부에 있어서 상기 프로브의 후단부측을 향한 선단부는, 상기 검사헤드의 상기 프로브가 접촉되지 않고 있는 상태에 있어서, 상기 전극 기대재에 있어서 상기 검사헤드와의 대향면에 대하여 상기 검사헤드와 이반하는 방향으로 오목모양으로 후퇴한 위치에 배치되는 것을 특징으로 하는 기판검사치구.
제1항에 있어서,
상기 전극유닛에는, 상기 전극부의 상기 설치 피치가 서로 다른 복수의 전극설치영역이 형성되는 것을 특징으로 하는 기판검사치구.
제1항에 있어서,
상기 전극유닛의 상기 전극부에 있어서 상기 프로브의 상기 후단부측을 향한 선단부는, 그 중앙부가 오목하게 들어간 오목형상을 구비하는 것을 특징으로 하는 기판검사치구.
제1항에 있어서,
상기 전극유닛의 상기 전극부에 있어서 상기 프로브의 상기 후단부측을 향한 선단부의 가장자리부는, 상기 프로브의 상기 후단부측으로 돌출하는 복수의 돌기가 형성되는 것을 특징으로 하는 기판검사치구.
제1항에 있어서,
상기 검사헤드의 상기 프로브의 상기 선단부 및 후단부는, 상기 프로브 지지부재에 있어서 상기 피검사기판측을 향한 선단측의 끝면 및 상기 전극유닛측을 향한 후단측의 끝면으로부터 돌출하고 있는 것을 특징으로 하는 기판검사치구.
제1항의 기판검사치구와, 상기 기판검사치구가 부착되는 검사장치본체를 구비한 기판검사장치로서,
상기 검사장치본체는,
상기 기판검사치구를 통하여 상기 피검사기판의 상기 배선패턴의 전기적 특성을 검사하는 검사처리부와,
상기 기판검사장치 본체에 있어서 상기 기판검사장치 본체에 부착된 상기 기판검사치구의 상기 전극유닛과 상하방향으로 대향하는 영역으로부터 떨어진 위치에 배치되고, 상기 기판검사치구의 상기 전극부와 상기 검사처리부의 전기적인 접속관계를 전환하는 접속전환유닛을
구비하는 것을 특징으로 하는 기판검사장치.
복수의 프로브를 구비한 검사헤드와 함께 기판검사장치에 부착되고, 피검사기판에 형성된 배선패턴의 전기적 특성에 관한 검사에 사용되는 치구 베이스 유닛으로서,
치구본체와,
매트릭스 모양으로 설치된 복수의 전극부를 구비하고, 상기 치구본체에 교환 가능하게 부착되는 전극유닛을
구비하고,
상기 검사헤드가 상기 전극유닛 또는 상기 치구본체에 교환 가능하게 부착됨에 따라, 상기 검사헤드의 상기 프로브의 후단부가 상기 전극유닛 중에서 어느 하나의 상기 전극부와 전기적으로 접촉하고,
상기 전극유닛의 상기 전극부는, 상기 프로브의 배치형태가 서로 다른 복수 종류의 상기 검사헤드에 대응 가능하게 상기 검사헤드의 상기 프로브의 설치 피치보다도 작은 설치 피치로 매트릭스 모양으로 설치되는 것을 특징으로 하는 치구 베이스 유닛.