KR101356190B1 - 절단방법 및 에피택셜 웨이퍼의 제조방법 - Google Patents

Abstract

와이어를 복수의 홈부착 롤러에 감고, 이 홈부착 롤러에 절단용 슬러리를 공급하면서, 상기 와이어를 주행시키면서 잉곳에 눌러 웨이퍼 형상으로 절단하는 방법으로서, 미리, 상기 홈부착 롤러에 상기 절단용 슬러리를 공급 온도를 제어하여 공급하면서 잉곳을 절단하는 시험을 행하고, 상기 홈부착 롤러의 축 방향 변위와 상기 절단용 슬러리의 공급 온도의 관계를 조사하고, 이 홈부착 롤러의 축 방향 변위와 절단용 슬러리의 공급 온도와의 관계로부터 상기 절단용 슬러리의 공급 온도 프로파일을 설정하고, 이 공급 온도 프로파일에 기초하여 상기 절단용 슬러리를 공급하는 것에 의해, 상기 홈부착 롤러의 축 방향 변위를 제어하면서 잉곳을 절단하고, 절단되는 웨이퍼 전수의 휨을 한 방향으로 정렬하는 절단방법을 제공한다. 이에 의해 와이어쏘를 이용하여 잉곳을 절단할 때, 간단하면서 재현성이 좋고, 웨이퍼 전수의 휨을 한 방향으로 정렬하여 절단할 수 있는 절단방법이 제공된다.

잉곳, 와이어, 쏘, 절단, 슬러리, 온도, 휨, 정렬

Description

절단방법 및 에피택셜 웨이퍼의 제조방법{Cutting Method and Epitaxial Wafer Manufacturing Method}

본 발명은 와이어쏘를 이용하여 실리콘 잉곳, 화합물 반도체의 잉곳 등에서 다수의 웨이퍼를 절출(切出)하는 절단방법과 상기 절단방법에 의해 절출한 웨이퍼에 에피택셜층을 적층하는 에피택셜 웨이퍼의 제조방법에 관한 것이다.

근래, 웨이퍼의 대형화가 요구되고 있고, 이 대형화에 따라 잉곳의 절단에는 와이어쏘가 사용되고 있다.

와이어쏘는, 와이어(고장력강선)를 고속 주행시키고 여기에 슬러리를 가하면서 잉곳(워크)을 눌러서 절단하여, 다수의 웨이퍼를 동시에 절출하는 장치이다(일본 특개평9-262826호 공보 참조).

여기서, 도 11에 일반적인 와이어쏘의 일례의 개요를 나타낸다.

도 11에 나타낸 바와 같이, 와이어쏘(101)는 주로 잉곳을 절단하기 위한 와이어(102), 와이어(102)를 권회한 홈부착 롤러(103)(와이어 가이드), 와이어(102)에 장력을 부여하기 위한 기구(104), 절단되는 잉곳을 송출하는 기구(105), 절단 시에 슬러리를 공급하는 기구(106)로 구성되어 있다.

와이어(102)는, 한쪽의 와이어릴(107)에서 풀려 트래버서(108)를 사이에 두고 파우더클러치[정토르크모터(109)]나 댄서롤러(데드웨이트)(미도시) 등으로 이루어진 장력부여기구(104)를 거쳐 홈부착 롤러(103)에 들어간다. 와이어(102)는 이 홈부착 롤러(103)에 300~400회 정도 감긴 후, 다른 쪽의 장력부여기구(104')를 거쳐 와이어릴(107')에 권취된다.

또한, 홈부착롤러(103)는 철강제 원통 주위에 폴리우레탄 수지를 압입하고, 그 표면에 일정한 피치로 홈을 형성한 롤러이고, 감긴 와이어(102)가 구동용 모터(110)에 의해 미리 정해진 주기로 왕복 방향으로 구동할 수 있도록 되어 있다.

한편, 잉곳 절단 시에는 도 12에 나타낸 바와 같은 잉곳이송기구(105)에 의해, 잉곳은 홈부착 롤러(103)에 권회된 와이어(102)로 송출된다. 이 잉곳이송기구(105)는 잉곳을 보내기 위한 잉곳이송테이블(111), LM가이드(112), 잉곳을 파지하는 잉곳크램프(113), 슬라이스 지지판(114)등으로 이루어져 있으며 컴퓨터 제어로 LM가이드(112)를 따라 잉곳이송테이블(111)을 구동시킴으로써 미리 프로그램된 이송 속도로 선단에 고정된 잉곳을 송출하는 것이 가능하다.

그리고 홈부착 롤러(103), 감긴 와이어(102)의 근방에는 노즐(115)이 설치되어 있으며, 절단 시에 슬러리탱크(116)에서 홈부착 롤러(103), 와이어(102)에 슬러리를 공급할 수 있도록 되어 있다. 또한, 슬러리탱크(116)에는 슬러리칠러(117)가 접속되어 있어, 공급하는 슬러리 온도를 조정할 수 있도록 되어 있다.

이와 같은 와이어쏘(101)를 이용하여 와이어(102)에 와이어장력부여기 구(104)를 이용하여 적당한 장력을 가해 구동용 모터(110)에 의해 와이어(102)를 왕복 방향으로 주행시키면서 잉곳을 슬라이스한다.

그런데, 상기와 같은 와이어쏘(101)를 이용하여 절출된 웨이퍼는 예를 들어 반도체 웨이퍼의 경우, 통상 폴리쉬(연마) 후에 에피택셜 성장을 행하여 제품이 되는 경우가 있다.

실리콘 웨이퍼의 에피택셜 성장에서는, 폴리쉬한 웨이퍼 표면에 두께 수 ㎛의 실리콘 단결정 박막(에피택셜층)을 화학 기상 석출(CVD) 등으로 성장시켜, 웨이퍼로서의 전기적, 물리적 성질을 개선하여 이 에피택셜층 표면에 디바이스 소자를 만들어 넣는다.

웨이퍼와 에피택셜층에는 여러가지 조합이 있으나, P형 저저항 웨이퍼에 통상 저항의 P형 에피택셜층을 성장시킨 것이 일반적이다.

이 에피택셜 성장을 실시할 때에 특징적인 것은, 도 13에 나타낸 바와 같이, 성장 후의 웨이퍼에 Bow(휨)이 발생하는 것이다. 도 13에, 웨이퍼(222)에 에피택셜층(223)이 적층된 에피택셜 웨이퍼(221)의 일례를 나타낸다.

즉, P형 저저항 웨이퍼(222)는, 실리콘 보다 원자 반경이 작은 붕소(B)를 도펀트로 다량 포함하므로, 넌도프·실리콘 보다 평균 격자간 거리가 작다.

한편, 통상 저항의 P형 에피택셜층(223)은 도펀트량이 적고, 웨이퍼보다 상대적으로 평균 격자간 거리가 크다. 이로 인해, 웨이퍼(222) 상에 에피택셜층(223)을 성장시킨 경우는, 평균 격자간 거리가 다른 양자의 바이메탈 변형에 의해 에피택셜 웨이퍼(221)에서는 에피택셜층(223)이 볼록(凸)해진 방향으로 Bow변화가 생긴 것이 되기 쉽다.

참고로, 실리콘 보다 원자 반경이 큰 비소(As)를 도펀트로서 다량 포함하는 N형 저저항 웨이퍼 상에, 도펀트량이 적은 통상 저항의 N형 에피택셜층을 성장시킨 에피택셜 웨이퍼에서는, 도 13에 나타낸 경우와 반대로 에피택셜층이 오목해지는 방향으로 Bow변화가 생긴 것이 된다.

여기서, 도 14에 에피택셜 성장에 의한 Bow 변화의 일례를 나타낸다. 도 14(A)에서, 횡축은 슬라이스 후에 폴리쉬한 에피택셜 성장 전의 웨이퍼(PW)(또는, 슬라이스 후의 웨이퍼)에서의 Bow치이고, 종축은 이 PW에 에피택셜 성장한 에피택셜 웨이퍼(EPW)에서의 Bow치이다.

또한, 도 14(B)는, Bow치를 횡축으로 하고 상기 PW와 EPW의 각 Bow치에서의 분포 비율을 나타낸 그래프이다.

도14에서 알 수 있듯이, 와이어쏘로 슬라이스 하고 폴리쉬한 PW에서의 Bow와 여기에 에피택셜 성장시킨 에피택셜 웨이퍼에서의 Bow의 상관 관계는 매우 좋다(R²=0.94).

그리고, 에피택셜 성장에 의한 Bow 증가분은 +10㎛ 정도인 것을 알 수 있다(예를 들어, 도 14(A)에서 PW Bow가 0㎛일 때, EPW Bow가 10㎛). 한편 여기서는, 에피택셜층 측이 볼록 방향으로 변위되어 있는 경우를 [+]방향으로 정의하고 있다.

한편, 제품으로 에피택셜 웨이퍼를 생각한 경우에는, 에피택셜 성장 후에 Bow의 크기(절대치)를 최소로 하는 것이 요구된다.

이는, 에피택셜 성장에 의해 원료가 되는 웨이퍼에서의 Bow가 없어지도록 에피택셜층을 적층함으로써 실시할 수 있다고 고려된다.

따라서, 상기와 같이 슬라이스 후의 웨이퍼의 원래 Bow를 지우도록 에피택셜층을 적층하기 위해서는, 우선 웨이퍼의 Bow 방향(+/-)을 에피택셜 성장을 행하기 전에 미리 한 방향으로 정렬해 둘 필요가 있다.

그러나, 종래법에 의해 잉곳을 슬라이스하여 절출한 경우, 통상 잉곳의 축방향 위치마다 Bow의 방향이 모두 다르게 된다.

따라서, 폴리쉬 전의 공정에서, 슬라이스하여 얻어진 웨이퍼의 전수(全數)를 각각 측정하고, 원하는 방향과 역방향의 Bow인 경우에는 한장씩 웨이퍼의 표리(表裏)를 뒤집어 연마 장치 등에 역방향으로 바꾸어 넣는 작업을 할 필요가 있어 매우 복잡하였다.

그래서, 본 발명은, 상기 문제점을 감안하여 이루어진 것으로, 와이어쏘를 이용하여 잉곳을 절단할 때, 간단하면서 재현성이 좋고, 웨이퍼 전수의 휨을 한 방향으로 정렬하여 절단할 수 있는 절단방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.

나아가, 본 발명은 이 절단방법을 이용함으로써 종래와 같이 잘라낸 슬라이스 웨이퍼의 Bow 측정 및 표리 변경 작업을 필요로 하지 않는 에피택셜 웨이퍼의 제조방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.

상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명은, 와이어를 복수의 홈부착 롤러에 감고, 이 홈부착 롤러에 절단용 슬러리를 공급하면서, 상기 와이어를 주행시키면서 잉곳에 눌러 웨이퍼 형상으로 절단하는 방법으로서, 미리, 상기 홈부착 롤러에 상기 절단용 슬러리를 공급 온도를 제어하여 공급하면서 잉곳을 절단하는 시험을 행하고, 상기 홈부착 롤러의 축 방향 변위와 상기 절단용 슬러리의 공급 온도의 관계를 조사하고, 이 홈부착 롤러의 축 방향 변위와 절단용 슬러리의 공급 온도와의 관계로부터 상기 절단용 슬러리의 공급 온도 프로파일을 설정하고, 이 공급 온도 프로파일에 기초하여 상기 절단용 슬러리를 공급하는 것에 의해 상기 홈부착 롤러의 축 방향 변위를 제어하면서 잉곳을 절단하고, 절단되는 웨이퍼 전수(全數)의 휨을 한 방향으로 정렬하는 것을 특징으로 하는 절단방법을 제공한다.

이와 같이, 본 발명의 절단방법에서는, 우선, 홈부착 롤러에 절단용 슬러리를 공급 온도를 제어하여 공급하면서 잉곳을 절단하는 시험을 행하고, 홈부착 롤러의 축방향 변위와 절단용 슬러리의 공급 온도와의 관계를 조사해 둔다.

이와 같은 조사를 미리 행함으로써, 사용하는 와이어쏘마다 고유의 홈부착 롤러의 축방향 변위와 절단용 슬러리의 공급 온도와의 관계를 미리 얻을 수 있다.

그 후, 상기와 같이 하여 얻어진 홈부착 롤러의 축방향 변위와 절단용 슬러리의 공급 온도의 관계로부터, 절단되는 웨이퍼의 휨이 한 방향으로 정렬된 절단용 슬러리의 공급 온도 프로파일을 설정한다.

그리고, 이 프로파일에 기초하여 절단용 슬러리를 공급하는 것에 의해, 그 사용하는 와이어쏘의 홈부착 롤러의 축방향 변위를 제어하면서 잉곳을 절단하고, 절단되는 웨이퍼 전수의 휨을 한 방향으로 정렬한다.

이와 같이, 상기 와이어쏘별로 고유의 상기 관계로부터 절단용 슬러리의 공급 온도 프로파일을 설정하고, 이에 따라 실제로 절단용 슬러리를 공급하여 절단하므로, 간단하면서도 재현성이 좋고, 절단되는 웨이퍼 전수의 휨을 한 방향으로 정렬할 수 있다.

그리고, 웨이퍼 전수의 휨을 한 방향으로 정렬할 수 있으므로, 후술하는 바와 같이, 에피택셜층을 적층하기 전에, 원하는 면측에 에피택셜 성장할 수 있도록, 미리 각 웨이퍼의 형상을 측정하고, 웨이퍼의 표리를 바꾸어 Bow의 방향을 정렬하는 작업을 생략할 수 있다.

이 때, 상기 절단용 슬러리의 공급 온도 프로파일을 조정하여 상기 절단되는 웨이퍼 전수의 휨의 크기를 조정할 수 있다.

상기와 같이, 미리 홈부착 롤러의 축방향 변위와 절단용 슬러리의 공급 온도의 관계를 조사해 두기 때문에, 그 관계로부터 설정하는 절단용 슬러리의 공급 온도 프로파일을 조정함으로써, 홈부착 롤러의 축방향 변위를 조정하고, 절단되는 웨이퍼 전수의 휨의 크기를 조정할 수 있다.

또한, 상기 절단용 슬러리의 공급 온도 프로파일을, 적어도, 상기 잉곳의 절입 깊이가 직경의 1/2에 달한 후부터 공급 온도가 서서히 상승하는 프로파일로 할 수 있다.

또는, 상기 절단용 슬러리의 공급 온도 프로파일을 상기 잉곳의 절단 개시시부터 공급 온도가 서서히 상승하는 프로파일로 할 수 있다.

이와 같이, 절단용 슬러리의 공급 온도 프로파일을 적어도 잉곳의 절입 깊이가 직경의 1/2에 달한 후 부터 공급 온도가 서서히 상승하는 프로파일로 하거나, 또는 절단용 슬러리의 공급 온도 프로파일을 잉곳의 절단 개시시부터 공급 온도가 서서히 상승하는 프로파일로 하거나에 의해, 절단되는 웨이퍼 전수의 휨을 보다 용이하게 한 방향으로 정렬할 수 있다.

또한, 본 발명은, 상기 절단방법에 의해 휨이 한 방향으로 정렬된 웨이퍼를 절출하고, 이 휨이 한 방향으로 정렬된 웨이퍼에 에피택셜층을 적층하는 것을 특징으로 하는 에피택셜 웨이퍼의 제조방법을 제공한다.

이와 같이, 상기 절단방법에 의해 휨이 한 방향으로 정렬된 웨이퍼를 절출하고, 이 휨이 한 방향으로 정렬된 웨이퍼에 에피택셜층을 적층함으로써, 에피택셜 성장을 하기 전에 미리 잉곳에서 절출한 웨이퍼의 Bow 방향을 측정하고, 방향이 정렬되지 않은 경우, 그 표리를 바꾸어 Bow의 방향을 한 방향으로 정렬하는 종래에는 필요했던 작업을 생략할 수 있어, 작업 효율을 대폭으로 향상시킬 수 있다.

본 발명의 절단방법이라면 웨이퍼 전수의 휨을 한 방향으로 정렬하여 절단할 수 있고, 또한 간단하면서 재현성 좋게 행할 수 있다.

그리고, 웨이퍼 전수의 휨을 한 방향으로 정렬하여 절단할 수 있으므로 에피택셜 성장을 행하기 전에 잉곳에서 잘라낸 웨이퍼의 Bow 측정 및 표리 변환 작업을 할 필요가 없어 작업 효율을 현저히 개선할 수 있다.

도 1은 본 발명의 절단방법에 사용할 수 있는 와이어쏘의 일례를 나타내는 개략도이다.

도 2는 홈부착 롤러의 구조의 일례를 나타내는 개략 평면도이다.

도 3은 홈부착 롤러의 신축량 측정방법을 설명하는 설명도이다.

도 4는 홈부착 롤러3의 축방향 변위와 절단용 슬러리의 공급 온도의 관계의 일례를 나타낸 그래프이다.

도 5의 (A)는 예비 시험 결과로부터 설정한 절단용 슬러리의 공급 온도 프로파일의 일례를 나타낸 그래프이고, (B)는 예비 시험 결과로부터 설정한 다른 절단용 슬러리의 공급 온도 프로파일의 일례를 나타내는 그래프이다.

도 6은 웨이퍼 휨 방향이 한 방향이 되도록 절단하는 과정을 나타낸 설명도이다.

도 7은 실시예의 예비 시험에서 얻어진 홈부착 롤러의 축방향 변위와 절단용 슬러리의 공급 온도와의 관계를 나타내는 그래프이다.

도 8은 실시예 및 비교예에서 절단용 슬러리의 공급 온도 프로파일을 나타내는 그래프이다.

도 9는 워크 절입 깊이와 홈부착 롤러의 축방향 변위의 관계를 나타내는 그래프로서, (A)는 실시예이고, (B)는 비교예이다.

도 10은 슬라이스 웨이퍼 전수의 Bow 측정 결과를 나타내는 그래프로서, (A)는 실시예이고, (B)는 비교예이다.

도 11은 종래의 절단방법에 사용되는 와이어쏘의 일례를 나타내는 개략도이 다.

도 12는 잉곳이송기구의 일례를 나타내는 개략도이다.

도 13은 에피택셜 성장에 의한 Bow 변화 원인을 설명하기 위한 설명도이다.

도 14의 (A)는 에피택셜 웨이퍼(EPW)와 웨이퍼(PW)의 Bow치의 상관 관계를 나타내는 그래프이고, (B)는 에피택셜 웨이퍼(EPW)와 웨이퍼(PW)의 각 Bow치에서의 비율 분포를 나타낸 그래프이다.

도 15는 잉곳 절단 시에 홈부착 롤러의 신장과 절단 궤적의 일례를 나타내는 설명도이다.

이하, 본 발명의 실시 형태에 대해 설명하지만, 본 발명은 이에 한정되는 것은 아니다.

상술한 바와 같이, 웨이퍼에 에피택셜 성장을 실시하면, 도 13에 나타낸 바와 같이, 에피택셜 웨이퍼에 휨이 발생한다.

그래서, 웨이퍼에 에피택셜 성장을 행하기 전에, Bow 방향을 미리 한 방향으로 정렬해 두고, 원료가 되는 웨이퍼의 Bow를 제거하여 에피택셜층을 적층하면, 완성된 에피택셜 웨이퍼의 Bow 크기를 최소로 할 수 있어 제품으로서 바람직하다.

예를 들어, 도 14(A)에서는, 웨이퍼의 Bow를 평균치로 약 -10㎛가 되도록 슬라이스 시에 만들면, 에피택셜 웨이퍼의 Bow 절대치가 최소가 될 것이 기대된다(단, 실제로는 웨이퍼 Bow의 절대치가 너무 크면 슬라이스 시의 굴곡저감이나 양두 연삭에서의 나노토포그래피의 저감이 곤란해 지므로, 실제 목표치는 평균치로 약 -5㎛정도가 타당할 것으로 생각된다).

그러나, 그 원료가 되는 웨이퍼, 즉 와이어쏘로 절출한 웨이퍼에서는 통상 그 잘라낸 웨이퍼의 Bow 방향은 한 방향으로는 정렬되어 있지 않다.

때문에, 에피택셜 성장을 행하기 전에 웨이퍼의 전수에 대하여 형상 측정을 행하고, 휨 방향을 한 방향으로 정렬하는 공정이 필요하였다.

따라서, 본 발명자들은, 와이어쏘와 잘라낸 와이어의 관계에 대하여 예의 연구하였다. 원래 상기의 슬라이스 웨이퍼에 각각 서로 다른 방향의 Bow가 발생하는 원인으로, 잉곳 절단 중에, 공급하는 절단용 슬러리의 온도를 상승시키면, 그에 따라 와이어를 감은 홈부착 롤러가 열팽창하고, 축 방향으로 신장(또는 수축)하는 것을 들 수 있다.

예를 들어, 도 15에 나타낸 예를 들 수 있다. 도15에서는, 일반적인 와이어쏘를 이용하여 절단 개시 시에 절단용 슬러리의 공급 온도를 23℃로 하고, 그 후 온도를 내려 절단 중반은 22℃로 하고, 그리고 절단 종료시 부근에서 상승시켜 절단 종료 시에 24℃로 하는 종래의 절단방법에서의 표준적인 공급 온도 프로파일로 절단용 슬러리를 공급하여 절단한 경우의 홈부착 롤러의 축길이(軸長)변화 및 잉곳에서의 절단 궤적 변화의 일례를 나타낸 것이다.

도 15에 나타내는 것과 같이, 잉곳의 축 방향의 각 위치에서 절단 궤적이 서로 달라지게 되고, 따라서 절출한 웨이퍼의 Bow 방향도 한 방향으로 전수가 정렬되지 않게 된다.

나아가, 상기와 같은 홈부착 롤러의 축방향 신장·수축은 와이어쏘의 구조에 의해 고유하므로, 사용하는 와이어쏘에 따라, 절단 중에서 축방향 변위 프로파일은 여러 가지이고, 절단 궤적은 각각 다르다.

이와 같이, 슬라이스 시에 전수의 웨이퍼 Bow를 한방향으로 만드는 것은 용이하지 않았다.

이에 대하여, 종래에서는 절단 중에 홈부착 롤러의 축길이를 변화시킴으로써, Bow치를 억제하여 웨이퍼상으로 절단하는 방법이 개시되어 있다(일본 특개평5-185419호 공보 등 참조).

예를 들어, 홈부착 롤러의 축길이를 측정하면서, 이 데이터를 컴퓨터로 연산함으로써, 홈부착 롤러의 축수 안을 순환시키는 냉각수의 온도를 제어하거나, 슬러리 공급 온도를 제어하여 잉곳을 절단하는 방법이다.

그러나, 절단 중에 축길이를 검출하고, 그 길이를 변경하는 것은 제어가 어렵고 홈부착 롤러의 축방향 변화의 추수(追隨)성이 나쁘다는 문제가 있어 실용적이지 않다.

따라서, 본 발명자들은, 우선 예비 시험을 행하여 절단용 슬러리의 공급 온도와 홈부착 롤러의 축방향 변위의 관계를 조사하고, 그 관계로부터 절단되는 웨이퍼의 휨이 한 방향으로 정렬되는 절단용 슬러리의 공급 온도 프로파일을 설정하고, 나아가, 이 프로파일에 기초하여 절단용 슬러리의 공급을 행하여 잉곳을 절단하고, 절단되는 웨이퍼 전수의 휨을 한 방향으로 정렬하는 절단방법을 생각해 냈다.

이와 같은 절단방법이라면, 절출된 웨이퍼 전수의 휨이 한 방향으로 정렬되 어 있으므로, 예를 들어 절출된 웨이퍼에 에피택셜 성장을 행할 경우, 종래에서의 에피택셜 성장 전에 행했던 웨이퍼의 형상 측정, 휨을 한 방향으로 정렬하는 공정을 생략할 수 있어, 작업 효율을 개선할 수 있다.

또한, 예비 시험을 행하여, 사용하는 와이어쏘의 홈부착 롤러의 특성을 조사해 두고, 그 조사 결과로부터 설정한 절단용 슬러리의 공급 온도 프로파일에 따라 절단용 슬러리를 공급하여 절단하므로, 간단하면서 확실히 재현성 높게 웨이퍼의 휨을 한 방향으로 정렬하여 절단할 수 있다.

사용하는 와이어쏘(홈부착 롤러)가 달라도 예비 시험을 행하므로 그때마다 대응할 수 있다.

이하, 와이어쏘를 이용한 본 발명의 절단방법에 대하여 도면을 참조하여 상세히 설명하지만 본 발명은 이에 한정되지 않는다.

도 1에, 본 발명의 절단방법에 사용할 수 있는 와이어쏘의 일례를 나타낸다.

도 1에 나타내는 바와 같이 와이어쏘(1)는, 주로 잉곳을 절단하기 위한 와이어(2), 홈부착 롤러(3), 와이어 장력부여기구(4), 잉곳이송기구(5), 슬러리공급기구(6)로 구성되어 있다.

우선, 슬러리공급기구(6)에 대해 설명한다. 이 슬러리공급기구(6)로서 홈부착 롤러(3)(와이어(2))에 절단용 슬러리를 공급하는 노즐(15)이 배설되어 있다. 또한, 이 노즐(15)에서 공급되는 절단용 슬러리는 공급 온도를 제어할 수 있게 되어 있다.

구체적으로는, 예를 들어 도 1에 나타난 바와 같이, 슬러리탱크(16)에서 컴 퓨터(18)에 의해 제어된 열 교환기(19)를 사이에 두고 노즐(15)에 접속함으로써, 절단용 슬러리의 공급 온도를 제어하는 구성으로 할 수 있다.

또한, 슬러리 종류는 특별히 한정되지 않고, 종래와 동일한 것을 이용할 수 있다. 예를 들어 GC(탄화 규소) 지립(砥粒)을 액체에 분산시킨 것으로 할 수 있다.

그리고, 절단용 슬러리를 공급하는 노즐(15)과 잉곳이송기구(5)는 컴퓨터(18)에 접속되어 있고, 미리 설정한 프로그램에 의해 소정의 잉곳 이송량, 즉 소정의 잉곳 절단량에 대하여 자동적으로 노즐(15)로부터 소정량, 소정 타이밍으로 온도 제어된 절단용 슬러리를 홈부착 롤러(3)[와이어(2)]에 분사할 수 있도록 되어 있다.

상기 잉곳 이송량이나 슬러리 분사량 및 타이밍, 나아가 슬러리 공급 온도는, 컴퓨터(18)에 의해 원하는 대로 제어할 수 있으나, 특별히 제어 수단은 이에 한정되지 않는다.

또한, 상기 슬러리 공급 기구(6) 이외의 와이어(2), 홈부착 롤러(3), 와이어 장력부여기구(4), 잉곳이송기구(5)는, 도11의 종래 절단방법에 사용되는 와이어쏘(101)와 동일한 것으로 할 수 있다.

와이어(2)의 종류나 크기, 홈부착 롤러(3)의 홈핏치, 나아가 다른 기구에서의 구성 등은 특별히 한정되지 않고, 종래법에 따라 원하는 절단 조건이 되도록 그때마다 결정할 수 있다.

예를 들어, 와이어(2)는, 폭 0.13mm~0.18mm 정도의 특수 피아노선으로 된 것으로 하고, [원하는 웨이퍼 두께 + 절단대(切代)]의 홈핏치를 갖는 홈부착 롤러(3) 로 할 수 있다.

한편, 여기서 홈부착 롤러(3)에 대해 추가로 설명한다.

종래부터 사용되고 있는 홈부착 롤러(3)의 일례로서, 도 2에 나타내는 것과 같은 것을 들 수 있다.

홈부착 롤러(3)의 양단에는, 홈부착 롤러의 축(20)을 지지하고 있는 축수(21,21')가 배설되어 있으나, 전술한 절단 중의 홈부착 롤러(3)의 축 방향 변화를 고려하여, 예를 들어 축수(21)는 래디얼 타입의 것이고, 이 래디얼 타입의 축수(21) 측에 홈부착 롤러(3)가 축방향으로 신장되는 것이 가능하게 되어 있고, 한편, 축수(21')는 트러스트 타입의 것이고, 이 트러스트 타입의 축수(21')측으로는 신장되기 어려운 구조로 되어 있다.

통상, 홈부착 롤러(3)는 이와 같은 구조이고, 홈부착 롤러(3)가 축방향으로 길이가 변화한 경우에 장치에 부하가 너무 많이 걸리지 않도록, 양측을 함께 고정하는 것이 아니라 한쪽이 그 변화에 대응할 수 있도록 되어 있다.

따라서, 본 와이어쏘 장치(1)에서는, 홈부착 롤러(3)가 축방향으로 신장이 진행되는 경우, 주로 래디얼 타입의 축수(21)측(홈부착 롤러(3)의 전방이라 한다)으로 신장이 진행되게 된다.

한편, 본 발명의 절단방법에서는, 사용하는 와이어쏘(1)에서 홈부착 롤러(3)는 상기와 같은 타입에 한정되지 않는다.

또한, 도3에 나타내는 바와 같이, 와전류 센서를 홈부착 롤러의 축방향에 근접하여 배설해 둔다. 이는, 예비 시험 시에 홈부착 롤러(3)의 축방향 변위를 측정 할 수 있도록 하기 위함이다.

이 홈부착 롤러(3)의 축방향 변위 측정은 상기 수단에 한정되지 않으나 와전류 센서를 이용하면 비접촉으로 정밀도 높게 측정할 수 있으므로 바람직하다.

각 센서는 컴퓨터(18)에 접속되어 있고, 측정으로 얻어진 데이터는 컴퓨터(18)로 데이터 처리할 수 있도록 되어 있다.

이하, 이와 같은 와이어쏘(1)를 이용하여, 본 발명의 절단방법을 실시하는 순서에 대해 설명한다.

우선, 이 사용하는 와이어쏘(1)에서의 홈부착 롤러(3)의 축방향 변위와, 절단 중에 이 홈부착 롤러(3)에 공급하는 절단용 슬러리의 공급 온도의 관계를 조사하기 위하여 예비 시험을 행한다.

이 예비 시험 후에 실제로 절단을 행하는(본 절단 공정이라 함) 잉곳과 동일한 잉곳을 준비하고, 절단용 슬러리의 공급 온도를 제어하고, 변화시키면서 잉곳의 절단을 행한다. 동시에 홈부착 롤러(3)의 축방향에 근접하여 배설한 와전류 센서에 의해 홈부착 롤러(3)의 축방향 변위도 측정한다.

이 때의 절단용 슬러리의 공급 온도 프로파일은 특별히 한정되지 않고, 각 공급 온도에 대응한 홈부착 롤러(3)의 축방향 변위를 확실히 측정할 수 있는 프로파일이면 된다.

예를 들어, 절단 개시 시에 잉곳과 같은 온도에서 공급하기 시작하여, 절단용 슬러리의 공급 온도 변화에 추수(追隨)할 수 있는 정도의 속도로 공급 온도를 서서히 올려감으로써, 각 공급 온도에서의 홈부착 롤러(3)의 축방향 변위를 측정할 수 있다.

한편, 상술한 바와 같이, 이 예비 시험으로 홈부착 롤러(3)의 축방향 변위와 절단용 슬러리의 공급 온도의 관계를 조사하는 것이나, 이 예비 시험 시에는 와이어로의 장력 등 다른 조건은, 뒤에 행하는 본 절단 공정에서의 조건과 동일한 것으로 하는 것이 바람직하다.

이와 같이 함으로써, 예비 시험에서 얻은 홈부착 롤러(3)의 축방향 변위와 절단용 슬러리의 공급 온도의 관계를, 보다 정확히 본 절단 공정에 적용할 수 있게 된다.

그리고, 상기와 같이 하여 예를 들어 도4와 같은 홈부착 롤러(3)의 축방향 변위와 절단용 슬러리의 공급 온도의 관계를 얻을 수 있다.

한편, 도4의 상부 라인은, 홈부착 롤러(3)가 후방[즉, 트러스트 타입의 축수(21') 측]으로 연장된 량, 하부 라인은 전방[래디얼 타입의 축수(21)측]으로 신장된 량을 나타내고 있다.

앞에 설명한 바와 같이, 트러스트 타입과 래디얼 타입의 축수(21, 21')에서 홈부착 롤러의 축(20)을 지지하고 있는 본 와이어쏘(1)의 홈부착 롤러(3)에서는, 절단용 슬러리 온도가 높아져도, 홈부착 롤러(3)는 후방측인 트러스트 타입의 축수(21')측에서는 별로 신장되지 않고, 전방측인 래디얼 타입의 축수(21) 측에서는 신장이 진행되는 결과가 나타남을 알 수 있다.

이와 같이 하여 얻어진 상기 관계로부터 이제부터 행할 본 절단 공정에서의 절단용 슬러리의 공급 온도 프로파일을 설정한다.

이 공급 온도 프로파일을 설정할 때, 절단되는 웨이퍼 전체의 휨이 한 방향으로 정렬되는 절단 궤적이 형성되도록 하여 프로파일을 설정한다.

이 프로파일의 설정에 있어서는, 예를 들어 컴퓨터(18) 등을 이용하여 행하면 간단하고 정확하게 설정할 수 있어 바람직하다. 예비 시험에서 얻어진 데이터를 컴퓨터(18)로 처리하고 미리 결정해둔 원하는 절단 궤적, 즉 원하는 대로 홈부착 롤러가 축방향으로 변화하도록 적절한 절단용 슬러리의 공급 온도 프로파일을 얻을 수 있다.

상기 절단용 슬러리의 공급 온도 프로파일에 대해 보다 구체적으로 설명한다.

한편, 여기서도 사용하는 와이어쏘를 도 1~3에 나타내는 구조를 갖는 와이어쏘(1)로 설명한다.

즉, 도 4와 같은 홈부착 롤러(3)의 축방향 변위와 절단용 슬러리의 공급 온도의 관계를 얻을 수 있는 장치이다.

단, 당연히 본 발명은 이러한 와이어쏘를 사용하는 것에 한정되는 것은 아니다. 적의, 와이어쏘 마다의 특성에 맞추어 절단용 슬러리의 공급 온도 프로파일을 조정할 수 있다.

우선, 원래 종래에는, 절단용 슬러리의 공급 온도는, 22~24℃ 정도의 범위에서만 변화시키고, 이와 같은 좁은 범위에서는 홈부착 롤러(3)의 축방향 변위와 절단용 슬러리의 공급 온도의 관계가 도 4에 나타내는 그래프인 경우, 홈부착 롤러(3)가 후방으로 신장하는 양도 전방으로 신장하는 양도 각각 전 절단 공정에서 절단 개시 부근과 절단 종료 부근에서 별 차이가 없고, 즉, 작은 변화로 Bow의 방향도 쉽게 변하게 된다. Bow치를 작게 억제하고자 하는 경우도 동일한 일이 생기기 쉬운 것으로 생각된다.

따라서, 절단 궤적이 한방향으로 정렬되기가 매우 어렵고, 당연히 절출되는 웨이퍼도 잉곳의 축방향 위치에 따라 Bow 방향이 변화하게 된다(특히, 잉곳의 양단부에서는 각각 Bow 방향이 반대가 될 가능성이 높다).

따라서, 예를 들어 도 5(A)에 나타낸 바와 같은 프로파일로 설정함으로써, 공급 온도를 높혀가고, 오히려 홈부착 롤러의 축방향 변위량을 증대시켜(도 4 참조), 절단되는 웨이퍼 전수의 휨이 한방향으로 정렬되는 절단 궤적이 되도록, 절단 중의 홈부착 롤러(3)의 축방향 변위를 제어하는 것이 좋다.

도 5(A)에 나타내는 공급 온도 프로파일(Ts)은, 잉곳의 절입 깊이가 직경의 1/2 이상이 되고 나면, 공급 온도가 서서히 상승하는 프로파일이다.

한편, 비교를 위하여 종래에 있어서 표준의 절단용 슬러리의 공급 온도 프로파일(Ts')을 표시해 둔다.

이와 같은 프로파일(Ts)이라면, 잉곳은 반이상 절입한 후 절단이 종료될 때까지 절단용 슬러리의 공급 온도를 서서히 올리므로, 도4에서도 알 수 있듯이, 홈부착 롤러(3)의 전단부가 전방향으로 신장되어 가고, 또한 후단부도, 잉곳의 절입 깊이가 직경의 1/2 이상이 된 후 조금 전방향으로 신장되게 되므로, 잉곳의 양단부에서의 절단 궤적은, 잉곳 후방을 향해 볼록의 휨 형상(잉곳 후단부의 절단 궤적에서는, 절단 개시 부근과 절단 종료 부근에서는 궤적이 반대가 되고, 잉곳 중심 부 근이 전수의 반환점이 된다)으로 할 수 있다. 따라서, 절단되는 웨이퍼 전수의 휨을 한방향으로 정렬하여 절단할 수 있다.

도 6에 절단되는 웨이퍼 전수의 휨이 한 방향으로 정렬되어 절단되는 과정을 일례로 나타낸다. 도 6에 나타내는 바와 같이, 홈부착 롤러가 전방향으로 크게 신장함으로써, 절단 궤적의 휨이 정렬되어 있는 것을 알 수 있다.

한편, 상기와 같이 특히 홈부착 롤러(3)의 후단부에서, 절단 개시 부근에서 후방으로 신장하고, 그 후 절단 중에 적어도 조금 전방으로 신장시키면, 그 후 후단부에서의 절단 궤적의 휨 방향도 잉곳 전단부에서의 절단 궤적의 휨 방향과 동일하게 할 수 있다.

또한, 예를 들어 도 5(B)에 나타낸 바와 같은, 잉곳의 절단 개시 시부터, 공급 온도가 서서히 상승하는 프로파일로 하고, 이 프로파일에 기초하여 절단용 슬러리를 공급하고, 홈부착 롤러(3)의 변위를 제어하면서 절단함으로써, 웨이퍼 전수의 휨을 한방향으로 정렬할 수도 있다.

또한, 이와 같이 절단의 보다 빠른 단계에서부터 절단용 슬러리의 공급 온도를 올리는 프로파일로 함으로써, 이 경우에는, 절단되는 웨이퍼 전수의 휨 크기를 크게 조정할 수 있다. 이는, 도 4,6에서도 알 수 있다.

즉, 절단용 슬러리의 공급 온도가 높을수록, 홈부착 롤러(3)의 축방향 변위량도 크므로, 절단 개시 시부터 공급 온도를 서서히 올림으로써, 잉곳의 각 위치에서 각각 절단 궤적도 보다 크게 커브된 것이 되고, 절단되는 웨이퍼 전수의 휨 크기도 더욱 더 커지게 된다. 원하는 크기의 휨을 얻을 수 있도록 적의 조정하면 된 다.

한편, 도 5(A)(B)에 나타내는 2가지의 절단용 슬러리의 공급 온도 프로파일을 예를 들어 설명하였으나, 당연히 이들 프로파일에 한정되는 것은 아니다.

사용하는 와이어쏘에 의해, 예비 시험을 행함으로써, 이 와이어쏘(홈부착 롤러) 각각의 특성을 조사하고, 그리고 이 조사에서 얻어진 홈부착 롤러의 축방향 변위와 절단용 슬러리의 공급 온도의 관계로부터, 원하는 바와 같이 웨이퍼 전수의 휨을 한방향으로 정렬할 수 있도록 적의 절단용 슬러리의 공급 온도 프로파일을 설정하고, 이에 기초하여 절단용 슬러리를 공급하여 잉곳을 절단함으로써, 웨이퍼 전수의 휨을 한 방향으로 정렬할 수 있다.

따라서, 와이어쏘가 달라도 그때마다 대응할 수 있고, 또한 예비 시험을 통해 얻어진 절단용 슬러리의 공급 온도 프로파일에 기초하여 절단하기만 하면 되므로, 간단히 그리고 재현성 높게 웨이퍼 전수의 휨을 한 방향으로 정렬할 수 있다.

그리고, 본 발명의 에피택셜 웨이퍼의 제조방법은, 상기와 같은 본 발명의 절단방법에 의해 휨이 한 방향으로 정렬된 웨이퍼를 절출하고, 이 휨이 한 방향으로 정렬된 웨이퍼에 에피택셜층을 적층하여 제조하는 방법이다.

앞에서 설명한 바와 같이, 종래에는, 잉곳에서 절단되는 웨이퍼의 전수의 휨을 한 방향으로 정렬하는 것은 용이하지 않고, 따라서 에피택셜층을 적층하는 것보다 앞에(예를 들어 웨이퍼를 폴리쉬하기 전), 휨 방향이 잉곳 축방향 위치에 의해 달라진 웨이퍼를 한장 한장 형상을 측정하여 휨 방향을 확인하고, 방향이 반대인 경우는 그 표리를 뒤집어줌으로써, 웨이퍼 전수의 휨 방향을 한 방향으로 정렬하는 작업을 하지 않으면 안되었다. 이와 같은 작업은 매우 번잡하고 비용 및 시간을 필요로 한다.

그러나, 본 발명의 에피택셜 웨이퍼의 제조방법에서는, 잉곳에서 절출한 시점에서 이미 웨이퍼 전수의 휨이 한방향으로 정렬되어 있으므로, 상기와 같은 번잡한 작업을 행할 필요가 없고, 휨이 한 방향으로 정렬된 웨이퍼에 에피택셜 성장을 행할 수 있어, 매우 간단하며, 작업 효율을 현저히 향상시킬 수 있다.

한편, 당연히 에피택셜 성장 전에, 그 휨이 한 방향으로 정렬된 웨이퍼에 미리 폴리쉬 등의 공정을 행할 수도 있다.

이하, 본 발명을 실시예에 의해 보다 상세히 설명하지만, 본 발명은 이에 한정되지 않는다.

(실시예)

도 1에 나타내는 와이어쏘를 이용하여 본 발명의 절단방법을 실시하였다.

예비 시험으로서 본 절단 공정에서 이용하는 직경 300mm, 축방향 길이 180mm의 실리콘 잉곳과 동일한 실리콘 잉곳을 절단용 슬러리의 공급 온도를 제어하여 공급하면서 웨이퍼 형상으로 절단하였다.

한편, 폭 160㎛의 와이어를 사용하고, 2.5kgf의 장력을 가하여 500m/min의 평균 속도로 60s/c의 사이클로 와이어를 왕복 방향으로 주행시켜 절단하였다.

또한, 슬러리로는, GC#1500과 쿨런트를 중량비 1:1의 비율로 혼합한 것을 이 용하였다. 이들 조건은 뒤에 행할 본 절단 공정에서의 절단 조건과 동일하다.

그리고, 이때, 절단용 슬러리의 공급 온도를 22℃에서 35℃로 상승시켜, 와전류 센서에 의해 홈부착 롤러(3)의 신장을 측정하고, 홈부착 롤러의 축방향 변위와 절단용 슬러리의 공급 온도와의 관계를 얻었다. 이 관계를 도7에 나타낸다. 도7의 상부 라인은, 홈부착 롤러가 후방으로 신장된 량, 하부 라인은 전방으로 신장된 량을 절단용 슬러리의 공급 온도별로 나타내고 있다. 이는, 앞에 도 4에 나타낸 관계와 동일한 패턴으로 되어 있다.

다음에, 이 얻어진 관계를 바탕으로 잉곳에서의 절단 궤적의 휨 방향이 잉곳의 축방향의 각 위치에서 후방으로 볼록하게 되도록 하여 절단되는 웨이퍼의 휨 방향이 그 방향으로 모두 정렬되도록, 도 8에 나타내는 절단용 슬러리의 공급 온도 프로파일을 설정하였다.

이 프로파일에 기초하여, 본 절단 공정으로서 상기 실리콘 잉곳의 절단을 행하고, 170장의 슬라이스 웨이퍼를 얻었다. 절단 조건은 상술한 바와 같이 선행의 예비 시험과 동일하다.

한편, 본 절단 공정 시에 와전류 센서에 의해 홈부착 롤러의 축방향 변위를 측정하였다. 도9에 그 측정 결과로 잉곳 절입 깊이와 홈부착 롤러의 축방향 변위의 관계를 나타낸다.

도 8과 같이 절입 깊이가 잉곳 직경의 1/2(절입 깊이 150mm)에 달했을 때 절단용 슬러리의 공급 온도를 서서히 상승시키고 있으므로, 도9에서 알 수 있듯이, 이 절입 깊이 150mm 부근에서 홈부착 롤러의 전단부가 보다 전방으로 크게 신장되 어 있는 것을 알 수 있다. 또한, 후단부도 절입 깊이 150mm 부근을 경계로 조금 전방으로 신장되어 있다.

즉, 이와 같은 신장 변화를 하는 홈부착 롤러를 이용하여 절단을 행하고 있으므로, 절단 궤적의 커브는 잉곳 전단부에서 후단부에 이르기까지 각 위치에서 후방으로 볼록하게 된 방향이 된다.

도 10(A)에 상기 실시예에서 절출한 웨이퍼의 전수에 대해 실제로 형상 측정을 행하고, Bow를 측정한 결과를 나타낸다.

도 10(A)에 나타난 바와 같이 모든 슬라이스 웨이퍼의 Bow가 -3 ~ -6㎛ 정도의 범위에 들어가고, Bow치가 마이너스의 한 방향으로 휨이 정렬되어 있는 것을 알 수 있다.

따라서, 이들 한 방향으로 휨이 정렬된 웨이퍼에 에피택셜 성장을 행할 때, 후술하는 비교예와 같이, 휨 방향이 반대인 것을 표리를 뒤집어 일부러 정렬할 필요가 없고, 그대로의 방향으로 폴리쉬하여 에피택셜층을 적층할 수 있었다.

한편, 여기서는 휨 방향을 확인하기 위해 Bow의 측정을 하였으나, 본 발명의 절단방법이라면, 상기와 같이 슬라이스 웨이퍼의 휨 방향은 한 방향으로 정렬되어 있으므로 이와 같은 Bow의 측정도 당연히 생략할 수 있다.

또한, Bow가 -3 ~ -6㎛ 정도의 범위이고 또한 편차가 적으므로, 에피택셜 웨이퍼로 된 후의 휨이 원하는 작은 값이며 또한 편차도 적은 것으로 얻을 수 있다.

(비교예)

상기 실시예에 이용한 와이어쏘를 사용하여, 실시예와 동일한 실리콘 잉곳을 웨이퍼 형상으로 절단하였다.

한편, 실시예와 달리 예비 시험은 행하지 않고, 절단용 슬러리의 공급 온도는, 도 8에 나타내는 바와 같이, 종래와 마찬가지로 실온 정도의 공급 온도 프로파일로 하였다.

한편, 다른 절단 조건은 실시예와 동일한 것으로 하였다.

도 9(B)에 나타내는 바와 같이, 홈부착 롤러의 축방향 변위는, 후단부에서는 절입 깊이 50~100mm 정도부터 후방으로 4㎛부근에서 거의 일정해지고, 전단부에서는 전방으로 4㎛부근에서 거의 일정해지고, 절단 종료 부근의 250~300mm에서 약간 전방으로 신장되어 8㎛가 되었다.

그 결과, 도 10(B)에 나타내는 바와 같이, 슬라이스 웨이퍼의 휨 방향은, 크게 나누어 잉곳 전단부에서 마이너스측이, 후단부에서 +측이 되어 있다.

나아가, 잉곳의 축방향 중심 영역에서는, Bow치는 마이너스와 플러스로 급격히 변환되어 있고, 전혀 휨 방향이 정렬되지 않은 것을 알 수 있다.

앞에서 설명한 바와 같이, 절단의 전 공정을 통하여 홈부착 롤러의 축방향 각 위치에서, 축방향의 변위량의 변화가 적은 경우 이와 같은 일이 비교적 쉽게 일어난다.

따라서, 에피택셜 성장을 행할 때에는, 종래와 같이 Bow의 측정을 웨이퍼 전수에 대하여 행하고, Bow가 반대 방향인 것은 표리를 뒤집어 휨 방향을 한 방향으로 정렬한 후 에피택셜층을 적층하였다. 이로 인해 작업 효율이 나쁘고 필요 이상 으로 시간과 비용이 들었다.

또한, 뒤집는 작업을 하더라도 Bow의 절대치가 0~5로 편차가 있고, 에피택셜 성장 후의 웨이퍼 휨을 원하는 것으로 하기 어렵다.

한편, 본 발명은, 상기 실시 형태에 한정되는 것은 아니다. 상기 실시 형태는 예시이며, 본 발명의 특허 청구 범위에 기재된 기술적 사상과 실질적으로 동일한 구성을 갖고, 동일한 작용 효과를 나타내는 것은 어떠한 것이라도 본 발명의 기술적 범위에 포함된다.

Claims (7)

1. 와이어를 복수의 홈부착 롤러에 감고, 이 홈부착 롤러에 절단용 슬러리를 공급하면서, 상기 와이어를 주행시키면서 잉곳에 눌러 웨이퍼 형상으로 절단하는 방법으로서, 미리, 상기 홈부착 롤러에 상기 절단용 슬러리를 공급 온도를 제어하여 공급하면서 잉곳을 절단하는 시험을 행하고, 상기 홈부착 롤러의 축 방향 변위와 상기 절단용 슬러리의 공급 온도의 관계를 조사하고, 이 홈부착 롤러의 축 방향 변위와 절단용 슬러리의 공급 온도의 관계로부터 상기 절단용 슬러리의 공급 온도 프로파일을 설정할 때, 적어도, 상기 잉곳의 절입 깊이가 직경의 1/2에 달한 후부터 공급 온도가 서서히 상승하는 프로파일이나 또는 상기 잉곳의 절단 개시시부터 공급 온도가 서서히 상승하는 프로파일로 설정하고, 이 공급 온도 프로파일에 기초하여 상기 절단용 슬러리를 공급하는 것에 의해, 상기 홈부착 롤러의 축 방향 변위를 제어하면서 잉곳을 절단하고, 절단되는 웨이퍼 전수(全數)의 휨을 한 방향으로 정렬하는 것을 특징으로 하는 절단방법.
2. 제1항에 있어서,

   상기 절단용 슬러리의 공급 온도 프로파일을 조정하여 상기 절단되는 웨이퍼 전수의 휨 크기를 조정하는 것을 특징으로 하는 절단방법.
3. 삭제
4. 삭제
5. 삭제
6. 삭제
7. 제1항 또는 제2항에 기재된 절단방법에 의해 휨이 한 방향으로 정렬된 웨이퍼를 절출하고, 이 휨이 한 방향으로 정렬된 웨이퍼에 에피택셜층을 적층하는 것을 특징으로 하는 에피택셜 웨이퍼의 제조방법.

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