KR101333261B1 - 불소 함유 배수의 처리 방법 - Google Patents

불소 함유 배수의 처리 방법 Download PDF

Info

Publication number
KR101333261B1
KR101333261B1 KR1020070096303A KR20070096303A KR101333261B1 KR 101333261 B1 KR101333261 B1 KR 101333261B1 KR 1020070096303 A KR1020070096303 A KR 1020070096303A KR 20070096303 A KR20070096303 A KR 20070096303A KR 101333261 B1 KR101333261 B1 KR 101333261B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
calcium
fluoride
sludge
fluorine
less
Prior art date
Application number
KR1020070096303A
Other languages
English (en)
Other versions
KR20080027193A (ko
Inventor
슈헤이 이자와
다카히로 카와카츠
Original Assignee
쿠리타 고교 가부시키가이샤
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 쿠리타 고교 가부시키가이샤 filed Critical 쿠리타 고교 가부시키가이샤
Publication of KR20080027193A publication Critical patent/KR20080027193A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR101333261B1 publication Critical patent/KR101333261B1/ko

Links

Images

Classifications

    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C02—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
    • C02F—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
    • C02F1/00—Treatment of water, waste water, or sewage
    • C02F1/52—Treatment of water, waste water, or sewage by flocculation or precipitation of suspended impurities
    • C02F1/5209—Regulation methods for flocculation or precipitation
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C02—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
    • C02F—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
    • C02F1/00—Treatment of water, waste water, or sewage
    • C02F1/58—Treatment of water, waste water, or sewage by removing specified dissolved compounds
    • C02F1/583—Treatment of water, waste water, or sewage by removing specified dissolved compounds by removing fluoride or fluorine compounds
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C02—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
    • C02F—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
    • C02F2101/00—Nature of the contaminant
    • C02F2101/10—Inorganic compounds
    • C02F2101/12—Halogens or halogen-containing compounds
    • C02F2101/14—Fluorine or fluorine-containing compounds
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C02—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
    • C02F—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
    • C02F2209/00—Controlling or monitoring parameters in water treatment
    • C02F2209/06—Controlling or monitoring parameters in water treatment pH

Landscapes

  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Hydrology & Water Resources (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Environmental & Geological Engineering (AREA)
  • Water Supply & Treatment (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Removal Of Specific Substances (AREA)

Abstract

본 발명은 미세한 불화 칼슘의 석출을 억제하고, 적은 공정으로 안정한 처리 수질을 획득과 동시에 수분 함유율이 낮은 오니 생성에 관한 것이다.
불소 함유 배수에 칼슘 화합물을 첨가하여 불화 칼슘을 포함하는 불용화물을 생성시키는 반응 공정과, 생성된 불화 칼슘의 불용화물을 포함하는 오니와 분리수로 고액분리하는 분리 공정과, 분리된 상기 오니를 반송 오니로서 상기 반응 공정에 반송하는 오니 반송 공정을 포함하는 불소 함유 배수의 처리 방법이며, 상기 반응 공정은 직렬 2단의 반응조를 포함하고, 제 1단의 반응조에 불화물 이온의 당량 미만, 칼슘 이온이 1 mg/L이상 50mg/Ｌ이하 잔류하도록 칼슘 화합물을 첨가하고, 불화물 이온이 80mg/Ｌ이하로 하고, 제 2단의 반응조에는 제 1단의 반응조에 잔류하는 불화물 이온의 당량 이상, 불화물 이온 농도가 15mg/Ｌ미만이 되도록 칼슘 화합물을 첨가하는 것이다.
오니, 불화 칼슘

Description

불소 함유 배수의 처리 방법{METHOD FOR TREATING FLUORIC CONTAINING DRAINAGE}
본 발명은 불소 함유 배수에 염화 칼슘이나 수산화 칼슘 등의 칼슘 화합물을 첨가하여 불소를 불용성의 불화 칼슘(ＣａＦ2)으로 고액분리(固液分離 : 고체와 액체를 분리)하는 방법에 관한 것이다. 본 발명은 특히 배수 중의 불소에 대하여 칼슘 화합물을 유효하게 작용시켜서 고수질(高水質)의 처리수를 획득과 동시에 수분 함유율(含水率)이 낮은 오니(汚泥)를 생성하는 불소 함유 배수의 처리 방법에 관한 것이다.
불화물 이온을 포함하는 불소 함유물로는 반도체부품 제조에 있어서의 실리콘 웨이퍼 제조 공정에서 배출되는 불소 함유 폐수, 스텐레스 강판 제조 공정에서 배출되는 산성 세정 폐수, 알루미늄 표면처리 폐수, 불산제조 폐수, 비료제조 폐수, 쓰레기 소각 폐수 등이 있다. 이들 불소 함유 배수는 일반적으로 다음과 같 은 2단 처리·다단 처리로 처리되고 있다.
즉, 우선 제 1 단에서 불소 함유 배수에 수산화 칼슘을 첨가하여 ｐＨ를 10∼11로 하는 제 1 반응 공정과, 그 반응액에 과잉분의 칼슘 이온 120∼250 mg/L에 상당하는 수산화 칼슘을 주입하는 동시에, 염산으로 중화하는 제 2 반응 공정을 가지는 처리 방법이 채용되고 있다(특허문헌 1참조). 또한, 알카리성 하에서는 수산화 칼슘과 불산의 반응이 느리기 때문에, ｐＨ를 산성 혹은 중성으로 유지하면서 불소 이온에 대하여 0.3∼0.5 당량의 수산화 칼슘을 첨가하고, 생성되는 불용물을 분리하고, 상등액에 대하여 같은 처리를 반복하는 것도 수행되고 있다(특허문헌 2참조).
특허문헌1 일본국 특허공개 제2004-283759(2004.10.14, 특허청구범위, 도 1)
특허문헌2 일본국 특허 제3378362호 (2003.02.17, 특허청구 범위, 단락 13)
수산화 칼슘을 ｐＨ10∼11로 조정하는 ｐＨ조정제를 겸한 불소불용화제로 채용하면, 불소 이온이 당량 이상 첨가되는 경우가 있고, 미세한 불화 칼슘이 석출되며, 그것이 처리수에 새어나가 처리수 수질이 안정하지 않다는 문제가 있었다. 또한, 고수질의 처리수를 얻기 위하여 생성된 미세한 불화 칼슘을 폴리머 등의 응집제에 의하여 응집 침전 처리하면, 생성하는 오니의 수분 함유율이 높아지고, 폐기물량이 많아지는 문제가 있었다. 또한, 불소 이온에 대하여 0.3∼0.5 당량의 수산화 칼슘을 첨가하고, 생성되는 불용화물을 분리하는 방법으로는 첨가 공정과 분리 공정을 적어도 3회 반복해야 하며, 처리수 불소농도를 15 mg/Ｌ이하로 저하시키는 것은 4∼5회 반복해야 했다.
본 발명은 적은 공정으로 안정한 처리 수질을 획득과 동시에 수분 함유율이 낮은 오니를 생성하기 위해서, 처음에 불소 이온을 대강 제거하면, 다음에 잔류하는 불화물 이온에 대하여 당량 이상의 칼슘 화합물을 첨가하여도 미세한 불화 칼슘의 생성은 억제할 수 있음을 발견하여, 상술한 종래 기술의 문제점을 해결하기에 이르렀다. 즉, 본 발명의 제 1의 실시예는 불소 함유 배수에 칼슘 화합물을 첨가하여 불화 칼슘을 포함하는 불용화물을 생성시키는 반응 공정과, 생성된 불화 칼슘의 불용화물을 포함하는 오니와 분리수로 고액분리하는 분리 공정과, 분리된 상기 오니를 반송 오니로 상기 반응 공정에 반송하는 오니 반송 공정을 포함하는 불소 함유 배수의 처리 방법에 있어서, 상기 반응 공정은 직렬 2단의 반응조를 포함하고, 제 1단의 반응조에 불화물 이온의 당량 미만, 칼슘 이온이 1 mg/Ｌ이상 50 mg/Ｌ이하 잔류하도록 칼슘 화합물을 첨가하여 불화물 이온을 80 mg/Ｌ이하로 하고, 제 2단의 반응조에는 제 1단의 반응조에 잔류하는 불화물 이온의 당량 이상, 불화물 이온 농도가 15 mg/Ｌ미만이 되도록 칼슘 화합물을 첨가하는 것을 특징으로 하는 불소 함유 배수의 처리 방법이다. 또한, 본 발명의 제 2의 실시예는 제 1의 실시예에 있어서 제 1단의 반응조의 ｐＨ를 3∼6로 조절하는 것을 특징으로 하는 불소 함유 배수의 처리 방법이다.
제 1단의 반응조에 불화물 이온의 당량 미만, 칼슘 이온이 1 mg/Ｌ이상 50 mg/Ｌ이하 잔류하도록 칼슘 화합물을 첨가하므로, 미세한 불화 칼슘의 생성을 억제하고, 불소를 대강 제거할 수 있다. 또한, 제 2단의 반응조에서는 잔류하는 불화물 이온의 당량 이상으로 지나치게 칼슘 화합물을 첨가하여 불화물 이온을 불용화시키므로, 미세한 불화 칼슘의 생성을 억제할 수 있고, 처리수 수질이 안정함과 동시에 불화 칼슘 입자를 크게 성장시키기 때문에, 수분 함유율의 낮은 오니가 생성된다. 또한, 제 1단의 반응조의 ｐＨ를 3∼6로 조정하면, 칼슘 화합물의 첨가량이 적게 된다.
이하에서는 도 1을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 상세히 설명하였다.
도 1은 본 발명의 처리과정의 개략도이다. 참조번호(1)은 원수 유입로, 참조번호(2)는 제 1 반응조, 참조번호(3)은 제 2 반응조, 참조번호(4)는 응집조, 참조번호(5)는 침전조, 참조번호(6)은 오니 반송로, 참조번호(7)은 칼슘 첨가 배관, 참조번호(8)은 ｐＨ조정제 주입 배관이다.
불소 함유 배수인 원수(原水)는 원수 유입로(1)에서 제 1 반응조(2)에 유입되고, 그곳에서 불화물 이온의 당량 미만의 칼슘 화합물이 첨가된다. 또한, ｐＨ조정제가 주입되어 ｐＨ가 3∼11, 보다 바람직하게는 3∼6으로 조정되고, 칼슘 이온과 불화물 이온이 반응하여 불화 칼슘이 석출된다. ｐＨ가 3보다 작으면 불화 칼슘의 용해도가 커서 불화물 이온 농도를 저감할 수 없고,ｐＨ가 11보다 크면 탄산 칼슘의 석출이 현저해져서 스케일의 문제가 생긴다. ｐＨ3∼6의 경우, 적은 칼슘 첨가량으로 불화물 이온을 반응시켜서 불화 칼슘으로서 석출시킬 수 있다.이 때, 후술하는 반송 오니가 핵이 되고, 그 표면에 불화 칼슘이 석출되므로, 미세한 불화 칼슘의 생성이 억제됨과 동시에 불화 칼슘 입자가 크게 성장한다.
본 발명자들의 검토에 의하면, 반응조에 유입하는 불화물 이온 농도 및 반응조에 잔류하는 칼슘 이온 농도가 도2에 파선으로 나타낸 용해도곡선(불화 칼슘의 이론용해도적 [Ｃａ2+] [F-]2=4.9 X 10-11ｍｏｌ3/l3)과 실선에서 나타낸 과용해도곡선 사이의 영역이라면, 미세한 불화 칼슘의 생성이 억제됨과 동시에 핵표면에 불화 칼슘이 석출되고, 불화 칼슘 입자가 크게 성장하는 것을 알 수 있다. 또한, 과용해도곡선보다 고농도라면 미세한 불화 칼슘이 생성하는 것을 알 수 있다. 불화물 이온을 15mg/Ｌ미만에까지 처리할 경우, 칼슘 이온은 불화물 이온의 당량 이상, 바람직하게는 당량보다 200∼300 mg/L과잉으로 존재해야 한다. 이 때문에, 도 2로부터 알 수 있듯이, 우선 불화물 이온을 80mg/Ｌ이하로 저감해야 한다.
칼슘 화합물의 첨가량은 제 1 반응조의 불화물 이온 농도가 80mg/Ｌ이하가 되고, 잔류 칼슘 이온 농도가 저농도가 되도록 첨가한다. 즉, 불화물 이온의 당량미만이어도 제 1 반응조에 칼슘 이온이 어느 정도는 잔류하도록, 즉, 칼슘 이온이 1mg/Ｌ이상 50mg/Ｌ이하 잔류하도록 첨가한다. 칼슘 이온이 1 mg/Ｌ미만이라면, 불소를 대강 제거할 수 없을 수도 있고, 50 mg/L을 초월하면, 미세한 불화 칼슘의 생성을 억제할 수 없는 우려가 있다.
다음으로 불소가 대강 제거된 제 1 반응조(2)의 반응액은 고액분리할 것 없이 제 2 반응조(3)에 유입시킨다. 거기에서 불화물 이온의 당량 이상 많은 칼슘 화합물이 첨가되어, 잔류하는 불화물 이온을 불용화한다. 이 때, ｐＨ조정은 처리수의 방류를 고려하여 ｐＨ 5.8∼8.6의 사이로 ｐＨ조정하는 것이 바람직하다.
제 2 반응조(3)의 반응액은 응집조 4에 도입하는 것이 바람직하다. 제 1 반응조(2)나 제 2 반응조(3)에 있어서의 칼슘 화합물의 첨가량의 설정을 잘못하는 등의 이유로, 미세한 불화 칼슘의 생성을 억제할 수 없었던 경우나, 처리수 수질을 더욱 향상시키기 위하여, 응집제조(4)에서는 고분자응집제를 첨가할 수 있다 (도시하지 않음).
다음으로,응집되거나 응집 처리되지 않은 반응액은 침전조(5)로 고액분리되고, 불화 칼슘을 포함하는 불용화물 현탁액(slurry)은 반송 오니로서 오니 반송로(6)에서 제 1 반응조(2)로 반송되며, 칼슘과 불화물 이온이 반응하여 불화 칼슘이 석출되는 핵이 된다. 오니 반송량은 원수 유량의 0.01∼10배 정도로 통상적으로는 0.05∼0.5배, 원수의 불화물 농도가 높을 경우는, 희석을 반복하여 0.1∼10배로 하는 것이 바람직하다. 분리물은 처리수 배출로(9)로부터 처리수로서 배출된다.
칼슘 화합물로는 칼슘 이온을 유리하는 것으로 무방하고, 염화 칼슘이나 수산화 칼슘을 예로 들 수 있다. ｐＨ조정제로는 수산화 나트륨, 수산화 칼륨, 수산화 칼슘 등의 알칼리나, 염산, 황산 등의 산을 이용할 수 있다.
실시예 1
도 1에 나타낸 처리과정에서 불소 함유 배수를 처리하였다.
원수 수질은 이하와 같다.
ｐＨ : 3.4, F : 131 mg/L, ＰＯ43--P : 1 mg/L, ＳＯ4 2- : 21.3 mg/L,
ＳｉＯ2 : 39 mg/L, 모든 유기물(ＴＯＣ) : 3.3 mg/L.
제 1 반응조(2), 제 2 반응조(3) 및 응집조(4)의 용량은 각 1L, 침전조(5)의 용량은 15L이고, 상기 원수의 유량은 4L/Ｈｒ, 반송 오니량은, 0.1L/Ｈｒ으로 하였다. 칼슘 화합물로는 염화 칼슘을 이용하였고, 제 1 반응조(2) 및 제 2 반응조(3)에 각각 첨가하였다. ｐＨ조정에는 0.1N의 수산화 나트륨을 채용하고, 제 1 반응조(2) 및 제 2 반응조의 ｐＨ를 5 ± 0.5로 조정하였다. 응집조(4)에는 고분자응집제를 첨가하지 않고, 단순한 체류조로 하였다. 또한, 처리개시 시에는 종정(種晶)으로서 평균 입경 5 ㎛의 불화 칼슘을 제 1 반응조(2)에 첨가하였다. 제 1, 2 반응조 안의 반응액 및 처리수를 막 여과기(membrane filter : 구경 0.45 ㎛)로 여과하고, 여액(濾液)을 분석하여, 결과를 표 1에 나타내었다. 염화 칼슘의 첨가량도 함께 표1에 나타내었다. 또한, 침전오니를 원심분리기에 의하여 2000G으로 탈수하고, 수분 함유율을 측정하여 표 1에 나타내었다.
비교예 1
실시예 1에 있어서, 제 2 반응조에 염화 칼슘을 첨가할 것 없이, 제 1 반응조에만 염화 칼슘을 불화물 이온 당량보다 많이 첨가한 것 이외에는 실시예 1과 마찬가지로 수행하였다. 처리수의 수질을 표1에 나타내었다.
비교예 2
비교예 1에 있어서, 응집조(4)에 고분자응집제 쿠리후롯쿠(쿠리타공업 주식 회사 등록상표)ＰＡ331(폴리아크릴아미드의 부분 가수분해물)을 3 mg/L 첨가한 것 이외는 비교예 1과 마찬가지로 처리하였다.처리수의 수질을 표 1에 나타내었다. 또한, 침전 오니를 원심분리기에 의해 2000G으로 탈수하고, 수분 함유율을 측정하여 표 1에 나타내었다.
실험No. 실시예I 비교예1 비교예2


제 1 반응조

 칼슘화합물 첨가량
(mgCa/L)		 90 340 340
F이온 농도
(mgF/L)		 64 15 15
칼슘 농도
(mgCa/L)		 8 195 195


제 2 반응조

 칼슘화합물 첨가량
(mgCa/L)		 250 0 0
F이온 농도
(mgF/L)		 15 - -
칼슘 농도
(mgCa/L)		 196 - -


처리수

 F이온 농도
(mgF/L)		 13 13 13
전 F 농도
(mgF/L)		 13 40 13
탁도
(NTU)		 <1 23 <1
생성오니
(원심탈수 후)		 수분함유율
(%)		 8 - 42
오니량
(습중: g/d)		 26 - 42
표 1로부터 비교예 1은 고농도의 불소와 고농도의 칼슘이 반응하기 때문에 미세한 불화칼슘 입자가 생성되고, 처리수 쪽으로 새어나가기 때문에, 처리수의 전 불소 농도가 높고, 양호한 처리수가 획득되지 않는 것을 알 수 있다. 비교예 2에서는 미세한 불화칼슘 입자를 고분자 응집제로 응집침전제거하기 때문에 양호한 처리수가 획득된다. 그러나, 미세입자를 응집시킨 오니는 물이 빠지지 않으므로, 오니발생량이 많아지는 것을 알 수 있다. 실시예 1에서는 칼슘 총 첨가량은 같아도, 제 1 반응조에서 불소를 대강 제거하였으므로, 미세한 불화칼슘입자의 생성을 억제하고, 종정표면에 불화칼슘을 석출시켰으므로, 양호한 처리수질이 획득되었다.
도 1은 본 발명의 불소함유배수의 처리방법의 실시예를 나타낸 계통도이다.
도 2는 불화칼슘의 용해도를 나타낸 그래프로서, 세로축은 칼슘 농도, 가로축은 불화물이온 농도를 나타내고, 파선은 용해도곡선이고, 실선은 과용해도 곡선이며, 점선은 칼슘이온과 불화물이온의 당량선이다.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>
2 : 제 1 반응조 3 : 제 2 반응조
4 : 응집조 5 : 침전조
6 : 오니 반송로 7 : 칼슘 첨가 배관
8 : ｐＨ 조정제 주입 배관

Claims (2)

  1. 불소 함유 배수에 칼슘 화합물을 첨가하여 불화 칼슘을 포함하는 불용화물을 생성시키는 반응 공정, 생성된 불화 칼슘의 불용화물을 포함하는 오니와 분리수로 고액분리하는 분리 공정, 및 분리된 상기 오니를 반송 오니로서 상기 반응 공정에 반송하는 오니 반송 공정을 포함하는 불소 함유 배수의 처리 방법으로서,
    상기 반응 공정은 직렬 2단의 반응조를 포함하고, 제 1단의 반응조에 불화물 이온의 당량 미만, 칼슘 이온이 1 mg/L이상 50 mg/Ｌ이하로 잔류하도록 칼슘 화합물을 첨가하여 잔류하는 불화물 이온을 80 mg/Ｌ이하로 하고, 제 2단의 반응조에는 제 1단의 반응조에서 잔류하는 불화물 이온의 당량 이상, 불화물 이온 농도가 15 mg/Ｌ미만이 되도록 칼슘 화합물을 첨가하는 것을 특징으로 하는 불소 함유 배수의 처리 방법.
  2. 제 1 항에 있어서, 제 1단계의 반응조의 ｐＨ를 3~6으로 조절하는 것을 특징으로 하는 불소 함유 배수의 처리 방법.
KR1020070096303A 2006-09-22 2007-09-21 불소 함유 배수의 처리 방법 KR101333261B1 (ko)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2006257731A JP4650384B2 (ja) 2006-09-22 2006-09-22 フッ素含有排水の処理方法
JPJP-P-2006-00257731 2006-09-22

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20080027193A KR20080027193A (ko) 2008-03-26
KR101333261B1 true KR101333261B1 (ko) 2013-11-27

Family

ID=39305759

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020070096303A KR101333261B1 (ko) 2006-09-22 2007-09-21 불소 함유 배수의 처리 방법

Country Status (4)

Country Link
JP (1) JP4650384B2 (ko)
KR (1) KR101333261B1 (ko)
CN (1) CN101157507B (ko)
TW (1) TWI422532B (ko)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102112112B1 (ko) * 2019-11-19 2020-05-18 에코매니지먼트코리아홀딩스 주식회사 폐산 재활용 공정

Families Citing this family (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101823799B (zh) * 2009-03-06 2012-08-15 昆山工研院华科生物高分子材料研究所有限公司 一种处理酸性含氟废水的方法
TW201236983A (en) * 2011-03-03 2012-09-16 Chiou-Mei Chen Treatment method for waste water in process of preparing silicon chip
CN102225814B (zh) * 2011-04-13 2012-11-14 黑龙江省牡丹江农垦奥宇石墨深加工有限公司 含氟废水处理装置及其处理方法
CN102350176A (zh) * 2011-09-07 2012-02-15 四川明晶光电科技有限公司 一种处理氟化物废水废气的方法
KR101382171B1 (ko) * 2012-11-07 2014-04-10 대림산업 주식회사 불소 성분을 포함하는 폐수의 처리 방법
JP5692278B2 (ja) * 2013-04-25 2015-04-01 栗田工業株式会社 フッ化物含有水の処理方法及び処理装置
WO2015198438A1 (ja) * 2014-06-26 2015-12-30 栗田工業株式会社 フッ化物含有水の処理方法及び処理装置
KR101559852B1 (ko) * 2014-11-13 2015-10-13 오에스케이 주식회사 식각공정에서 발생하는 붕불산 폐수의 처리방법
JP6728546B2 (ja) * 2015-03-31 2020-07-22 住友金属鉱山エンジニアリング株式会社 廃水の処理方法、廃水の処理システム
CN107792832B (zh) * 2016-08-31 2020-04-03 中国科学院过程工程研究所 一种酸性含氟废水中氟资源的回收方法
CN111646591A (zh) * 2020-06-08 2020-09-11 苏州晟德水处理有限公司 一种半导体含氟废水的处理方法

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001219177A (ja) * 2000-02-10 2001-08-14 Kurita Water Ind Ltd フッ素含有水の処理方法及び処理装置
JP2006167552A (ja) * 2004-12-14 2006-06-29 Kurita Water Ind Ltd フッ素含有排水の処理方法及び処理装置

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5223851A (en) * 1975-08-15 1977-02-23 Hitachi Ltd Drainage disposal process
JPS5846355B2 (ja) * 1976-01-09 1983-10-15 三菱マテリアル株式会社 含弗素−アンモニア性廃液の処理方法
JPS627490A (ja) * 1985-07-05 1987-01-14 Tokuyama Soda Co Ltd 排水の処理方法
TW495487B (en) * 1999-06-07 2002-07-21 Ind Tech Res Inst Process for removing fluoride from wastewater
TW200538402A (en) * 2004-05-19 2005-12-01 Powerchip Semiconductor Corp Method of fluoride-contained wastewater treatment
CN100351185C (zh) * 2004-10-28 2007-11-28 力晶半导体股份有限公司 一种含氟废水处理的方法

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001219177A (ja) * 2000-02-10 2001-08-14 Kurita Water Ind Ltd フッ素含有水の処理方法及び処理装置
JP2006167552A (ja) * 2004-12-14 2006-06-29 Kurita Water Ind Ltd フッ素含有排水の処理方法及び処理装置

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102112112B1 (ko) * 2019-11-19 2020-05-18 에코매니지먼트코리아홀딩스 주식회사 폐산 재활용 공정

Also Published As

Publication number Publication date
JP4650384B2 (ja) 2011-03-16
JP2008073646A (ja) 2008-04-03
TW200817289A (en) 2008-04-16
CN101157507B (zh) 2011-07-27
TWI422532B (zh) 2014-01-11
KR20080027193A (ko) 2008-03-26
CN101157507A (zh) 2008-04-09

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101333261B1 (ko) 불소 함유 배수의 처리 방법
US20070151932A1 (en) Removal of phosphorous from wastewater
KR20010071946A (ko) 불소 함유 폐수의 처리방법 및 처리장치
KR101311157B1 (ko) 고농도 불소 함유 폐수의 처리방법
JP5440199B2 (ja) シリコンウエハエッチング排水の処理方法及び処理装置
JP4858449B2 (ja) フッ素含有排水の処理方法
CN111302522A (zh) 一种高效除污水中氟方法
JP2008104946A (ja) フッ素含有排水の処理方法
WO2016042901A1 (ja) 生物処理方法及び生物処理装置
JP2007125510A (ja) フッ素含有水の処理方法
CN112875824A (zh) 一种基于自结晶流化床的脱硫废水零排放系统及方法
CN111302536A (zh) 一种含氟磷废水的处理系统及处理工艺
CN111362460A (zh) 一种火力发电厂中水高效回收处理方法
CN113620546B (zh) 一种硅片清洗污水的处理方法
CN213416607U (zh) 一种污水处理装置系统
CN211339084U (zh) 煤化工气化污水预处理装置
JP3697800B2 (ja) 排水の処理方法
JPH10230282A (ja) 弗素含有排水の処理方法
JP4487492B2 (ja) フッ素含有排水の処理方法
KR20060051767A (ko) 불소 함유 배수 처리 방법
KR100756838B1 (ko) 폐수 처리 방법
JP4136194B2 (ja) フッ素含有廃水の処理方法
KR101007522B1 (ko) 멤브레인을 이용한 불산 폐수 처리시스템 및 처리방법
JP3420777B2 (ja) アルミニウムの不溶化方法
JP3543434B2 (ja) 硫酸含有排水の処理方法

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E601 Decision to refuse application
J201 Request for trial against refusal decision
S901 Examination by remand of revocation
GRNO Decision to grant (after opposition)
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20161019

Year of fee payment: 4

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20171018

Year of fee payment: 5

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20181101

Year of fee payment: 6