KR101331681B1 - 전력 모듈 패키지 - Google Patents

전력 모듈 패키지 Download PDF

Info

Publication number
KR101331681B1
KR101331681B1 KR1020110092594A KR20110092594A KR101331681B1 KR 101331681 B1 KR101331681 B1 KR 101331681B1 KR 1020110092594 A KR1020110092594 A KR 1020110092594A KR 20110092594 A KR20110092594 A KR 20110092594A KR 101331681 B1 KR101331681 B1 KR 101331681B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
substrate
metal layer
power module
delete delete
power
Prior art date
Application number
KR1020110092594A
Other languages
English (en)
Other versions
KR20130029269A (ko
Inventor
김광수
강정은
이영기
Original Assignee
삼성전기주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 삼성전기주식회사 filed Critical 삼성전기주식회사
Priority to KR1020110092594A priority Critical patent/KR101331681B1/ko
Priority to JP2011263023A priority patent/JP2013062480A/ja
Priority to US13/316,121 priority patent/US20130062744A1/en
Publication of KR20130029269A publication Critical patent/KR20130029269A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR101331681B1 publication Critical patent/KR101331681B1/ko

Links

Images

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L23/00Details of semiconductor or other solid state devices
    • H01L23/34Arrangements for cooling, heating, ventilating or temperature compensation ; Temperature sensing arrangements
    • H01L23/36Selection of materials, or shaping, to facilitate cooling or heating, e.g. heatsinks
    • H01L23/367Cooling facilitated by shape of device
    • H01L23/3677Wire-like or pin-like cooling fins or heat sinks
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L23/00Details of semiconductor or other solid state devices
    • H01L23/48Arrangements for conducting electric current to or from the solid state body in operation, e.g. leads, terminal arrangements ; Selection of materials therefor
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L23/00Details of semiconductor or other solid state devices
    • H01L23/28Encapsulations, e.g. encapsulating layers, coatings, e.g. for protection
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L23/00Details of semiconductor or other solid state devices
    • H01L23/34Arrangements for cooling, heating, ventilating or temperature compensation ; Temperature sensing arrangements
    • H01L23/36Selection of materials, or shaping, to facilitate cooling or heating, e.g. heatsinks
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/26Layer connectors, e.g. plate connectors, solder or adhesive layers; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/31Structure, shape, material or disposition of the layer connectors after the connecting process
    • H01L2224/32Structure, shape, material or disposition of the layer connectors after the connecting process of an individual layer connector
    • H01L2224/321Disposition
    • H01L2224/32151Disposition the layer connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
    • H01L2224/32221Disposition the layer connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
    • H01L2224/32225Disposition the layer connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/48Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
    • H01L2224/481Disposition
    • H01L2224/48151Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
    • H01L2224/48221Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
    • H01L2224/48225Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation
    • H01L2224/48227Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation connecting the wire to a bond pad of the item
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/73Means for bonding being of different types provided for in two or more of groups H01L2224/10, H01L2224/18, H01L2224/26, H01L2224/34, H01L2224/42, H01L2224/50, H01L2224/63, H01L2224/71
    • H01L2224/732Location after the connecting process
    • H01L2224/73251Location after the connecting process on different surfaces
    • H01L2224/73265Layer and wire connectors
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L24/00Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
    • H01L24/73Means for bonding being of different types provided for in two or more of groups H01L24/10, H01L24/18, H01L24/26, H01L24/34, H01L24/42, H01L24/50, H01L24/63, H01L24/71
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/10Details of semiconductor or other solid state devices to be connected
    • H01L2924/11Device type
    • H01L2924/13Discrete devices, e.g. 3 terminal devices
    • H01L2924/1304Transistor
    • H01L2924/1305Bipolar Junction Transistor [BJT]
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/10Details of semiconductor or other solid state devices to be connected
    • H01L2924/11Device type
    • H01L2924/13Discrete devices, e.g. 3 terminal devices
    • H01L2924/1304Transistor
    • H01L2924/1305Bipolar Junction Transistor [BJT]
    • H01L2924/13055Insulated gate bipolar transistor [IGBT]
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/19Details of hybrid assemblies other than the semiconductor or other solid state devices to be connected
    • H01L2924/191Disposition
    • H01L2924/19101Disposition of discrete passive components
    • H01L2924/19105Disposition of discrete passive components in a side-by-side arrangement on a common die mounting substrate

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Cooling Or The Like Of Semiconductors Or Solid State Devices (AREA)

Abstract

본 발명의 실시예는 전력 모듈 패키지에 관한 것으로서, 일면과 타면을 갖는 제1 기판; 상기 제1 기판의 상기 일면으로부터 타면을 관통하도록 형성된 제1 비아; 상기 제1 기판의 일면에 형성된 메탈층; 상기 메탈층 상에 형성된 반도체 소자; 및 상기 제1 기판의 타면에 형성되는 메탈 플레이트;를 포함하는 것을 특징으로 한다.

Description

전력 모듈 패키지{Power Module Package}
본 발명은 전력 모듈 패키지에 관한 것이다.
전 세계적으로 에너지 사용량이 증가함에 따라, 제한된 에너지의 효율적인 사용에 지대한 관심을 가지기 시작했다. 이에 따라, 기존 가전용/산업용 제품에서 에너지의 효율적인 컨버젼(Conversion)을 위한 IPM(Intelligent Power Module)을 적용한 인버터의 채용이 가속화되고 있다.
이와 같은 파워 모듈의 확대 적용에 따라 시장의 요구는 더욱더 고집적화/고용량화/소형화되고 있으며, 이에 따른 파워 모듈의 고집적화는 전자 부품의 발열 문제와 모듈 전체의 성능을 떨어뜨리는 결과를 초래하고 있다.
따라서, 파워 모듈의 효율 증가와 고신뢰성 확보를 위해서는 위와 같은 발열 문제를 해결할 수 있는 고집적/고방열 패키지 구조가 요구되고 있는 실정이다.
본 발명은 상술한 종래기술의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 본 발명의 일 측면은 방열 특성이 향상된 전력 모듈 패키지를 제공하기 위한 것이다.
본 발명의 일 실시예에 의한 전력 모듈 패키지는, 일면과 타면을 갖는 제1 기판;
상기 제1 기판의 상기 일면으로부터 타면을 관통하도록 형성된 제1 비아;
상기 제1 기판의 일면에 형성된 메탈층;
상기 메탈층 상에 형성된 반도체 소자; 및
상기 제1 기판의 타면에 형성되는 메탈 플레이트;를 포함할 수 있다.
여기에서, 상기 반도체 소자는 전력 소자와 제어 소자를 포함하고,
상기 전력 소자 상에 형성된 히트싱크;를 더 포함할 수 있다.
또한, 상기 반도체 소자는 전력 소자와 제어 소자를 포함하고, 상기 제1 비아는 방열 비아와 신호 비아를 포함하며,
상기 전력 소자는 상기 메탈층 상에 형성되되, 상기 방열 비아 형성 영역에 대응되게 형성될 수 있다.
또한, 상기 제1 비아는 방열 비아와 신호 비아를 포함하며,
상기 메탈 플레이트는 상기 방열 비아에 연결되게 형성될 수 있다.
또한, 상기 반도체 소자는 전력 소자와 제어 소자를 포함하고, 상기 제1 비아는 방열 비아와 신호 비아를 포함하며,
상기 제어 소자는 상기 메탈층 상에 형성되되, 상기 신호 비아 형성 영역에 대응되게 형성될 수 있다.
또한, 상기 반도체 소자는 전력 소자와 제어 소자를 포함하고,
상기 전력 소자와 제어 소자는 각각 패키지 형태일 수 있다.
또한, 상기 반도체 소자가 패키지 형태인 경우,
상기 패키지 형태의 반도체 소자와 상기 메탈층 간을 전기적으로 연결시키는 리드 프레임;을 더 포함할 수 있다.
또한, 상기 반도체 소자와 상기 메탈층 간을 전기적으로 연결시키는 와이어;를 더 포함할 수 있다.
또한, 상기 제1 기판의 타면측에 형성되되, 상기 메탈 플레이트를 통해 상기 제1 기판과 연결되게 형성된 제2 기판;을 더 포함할 수 있다.
또한, 상기 제2 기판의 일면으로부터 타면을 관통하도록 형성된 제2 비아;를 더 포함하고, 상기 제2 비아는 상기 메탈 플레이트와 연결되게 형성될 수 있다.
다른 본 발명의 실시예에 의한 전력 모듈 패키지는, 일면과 타면을 갖는 제1 기판;
상기 제1 기판의 상기 일면으로부터 타면을 관통하도록 형성된 비아;
상기 제1 기판의 일면에 형성된 메탈층; 및
상기 메탈층 상에 형성된 반도체 소자;를 포함할 수 있다.
또한, 상기 반도체 소자는 전력 소자와 제어 소자를 포함하고,
상기 전력 소자 상에 형성된 히트싱크;
를 더 포함할 수 있다.
또한, 상기 반도체 소자는 전력 소자와 제어 소자를 포함하고, 상기 비아는 방열 비아와 신호 비아를 포함하며,
상기 전력 소자는 상기 메탈층 상에 형성되되, 상기 방열 비아 형성 영역에 대응되게 형성될 수 있다.
또한, 상기 반도체 소자는 전력 소자와 제어 소자를 포함하고, 상기 비아는 방열 비아와 신호 비아를 포함하며,
상기 제어 소자는 상기 메탈층 상에 형성되되, 상기 신호 비아 형성 영역에 대응되게 형성될 수 있다.
또한, 상기 반도체 소자는 전력 소자와 제어 소자를 포함하고,
상기 전력 소자와 제어 소자는 각각 패키지 형태일 수 있다.
또한, 상기 반도체 소자가 패키지 형태인 경우, 상기 패키지 형태의 반도체 소자와 상기 메탈층 간을 전기적으로 연결시키는 리드 프레임;을 더 포함할 수 있다.
또한, 상기 반도체 소자와 상기 메탈층 간을 전기적으로 연결시키는 와이어;를 더 포함할 수 있다.
또한, 상기 제1 기판의 타면측에 형성된 제2 기판;을 더 포함할 수 있다.
본 발명의 특징 및 이점들은 첨부도면에 의거한 다음의 상세한 설명으로 더욱 명백해질 것이다.
이에 앞서 본 명세서 및 청구범위에 사용된 용어나 단어는 통상적이고 사전적인 의미로 해석되어서는 아니되며, 발명자가 그 자신의 발명을 가장 최선의 방법으로 설명하기 위해 용어의 개념을 적절하게 정의할 수 있다는 원칙에 입각하여 본 발명의 기술적 사상에 부합되는 의미와 개념으로 해석되어야만 한다.
본 발명의 실시예에 의한 전력 모듈 패키지는 고방열성 전력 소자와 제어 소자를 서로 분리하여 배치함에 따라, 상대적으로 열적으로 취약한 제어 소자들의 전력 소자들로부터의 열의 영향력을 최소화하여, 모듈의 신뢰성 및 성능 향상 효과를 기대할 수 있다.
또한, 본 발명의 일 실시예에 의한 전력 모듈 패키지는 전력 소자에 연결되게 방열 비아와 히트 싱크를 형성하고, 메인 보드에 해당하는 기판에 방열 비아를 형성함에 따라, 열 방출 효과를 극대화할 수 있다.
또한, 본 발명의 일 실시예는 반도체 소자가 실장되는 집적용 기판을 별도로 형성함에 따라, 모듈의 용도 및 스펙에 따라 반도체 소자의 배치 및 추가 구현하는 것이 용이하여 전체 전력 모듈 패키지의 디자인 자유도가 증가한다는 효과가 있다.
또한, 본 발명의 일 실시예는 전력 소자와 제어 소자 파트를 각각 별도로 구현하기 때문에, 용도에 따른 전체 모듈의 디자인 변경이 용이하여 생산성이 향상되고, 불량 발생 시 폐기량도 감소시킬 수 있다는 효과를 기대할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 의한 전력 모듈 패키지의 구성을 나타내는 단면도,
도 2는 본 발명의 다른 실시예에 의한 전력 모듈 패키지의 구성을 나타내는 단면도,
도 3은 본 발명의 제1 기판의 일 실시예를 나타내는 단면도,
도 4는 본 발명의 제1 기판의 다른 실시예를 나타내는 단면도,
도 5 및 도 6은 본 발명의 실시예에 의한 전력 모듈 패키지의 배치예를 설명하기 위한 평면도이다.
본 발명의 목적, 특정한 장점들 및 신규한 특징들은 첨부된 도면들과 연관되어지는 이하의 상세한 설명과 바람직한 실시예들로부터 더욱 명백해질 것이다. 본 명세서에서 각 도면의 구성요소들에 참조번호를 부가함에 있어서, 동일한 구성 요소들에 한해서는 비록 다른 도면상에 표시되더라도 가능한 한 동일한 번호를 가지도록 하고 있음에 유의하여야 한다. 또한, 본 발명을 설명함에 있어서, 관련된 공지 기술에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명은 생략한다. 본 명세서에서, 제1, 제2 등의 용어는 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하기 위해 사용되는 것으로, 구성요소가 상기 용어들에 의해 제한되는 것은 아니다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시형태를 상세히 설명하기로 한다.
전력 모듈 패키지- 제1 실시예
도 1은 본 발명의 일 실시예에 의한 전력 모듈 패키지의 구성을 나타내는 단면도이다.
도 1에서 도시하는 바와 같이, 전력 모듈 패키지(500)는 일면과 타면을 갖는 제1 기판(110), 제1 기판(110)의 일면으로부터 타면을 관통하도록 형성된 제1 비아(120, 130), 제1 기판(110)의 타면에 형성되는 메탈 플레이트(400), 제1 기판(110)의 일면에 형성된 메탈층(140) 및 메탈층(140) 상에 형성된 반도체 소자(150, 170, 180)를 포함할 수 있다.
여기에서, 반도체 소자는 전력 소자(150)와 제어 소자(170, 180)를 포함할 수 있다.
이때, 도 1, 도3 및 도 4에서 도시하는 바와 같이, 전력 소자(150)와 제어 소자(180)는 각각 패키지 형태일 수도 있다.
예를 들어, 전력 소자(150)는 IGBT(Insulated Gate Bipolar Transistor), 다이오드(Diode) 등과 같이 발열량이 큰 소자를 의미하며, 제어 소자(170, 180)는 제어 IC(Control Integrated Circuit), 수동(Passive) 소자와 같이 발열량이 전력 소자에 비해 상대적으로 작은 소자를 의미하는 것으로 정의하기로 한다.
또한, 제1 비아(120, 130)는 방열 비아(120)와 신호 비아(130)를 포함할 수 있다.
또한, 히트싱크(200)는 전력 소자(150) 상에 형성될 수 있다.
이때, 제어 소자(170, 180)에 비해 발열량이 큰 전력 소자(150)는 히트싱크(200) 및 방열 비아(120)와 연결되어 있기 때문에, 전력 소자(150)로부터 발생되는 열을 효과적으로 방출시킬 수 있다는 효과를 기대할 수 있는 것이다.
또한, 전력 소자(150)의 원활한 열 방출 효과로 인해 제어 소자(170, 180)를 비롯한 전력 모듈 패키지(500) 전체의 동작 신뢰성도 향상시킬 수 있다는 효과를 기대할 수 있는 것이다.
또한, 전력 소자(150)는 메탈층(140) 상에 형성되되, 방열 비아(120) 형성 영역에 대응되게 형성될 수 있다.
즉, 전력 소자(150)와 방열 비아(120)가 서로 인접하게 형성되어, 방열 비아(120)가 전력 소자(150)로부터 발생되는 열을 하부로 빠르게 전달할 수 있도록 하는 것이다.
또한, 제어 소자(170, 180)는 메탈층(140) 상에 형성되되, 신호 비아(130) 형성 영역에 대응되게 형성될 수 있다.
즉, 도 1에서 도시하는 바와 같이, 메탈층(140) 상에 형성된 제어 소자(170, 180)가 신호 비아(130)를 통해 외부접속단자(190)와 연결되어 제2 기판(310)과 전기적으로 연결되는 것이다. 이때, 참조번호 170의 제어 소자와 같이 와이어를 통해 신호 비아(130)에 연결되는 것도 가능하다.
도 1에서는 제1 기판(110)과 제2 기판(310)이 볼 그리드 어레이(BGA) 방식으로 연결된 예를 도시하였지만, 이에 한정되지 않으며, 랜드 그리드 어레이(LGA) 방식 등으로 연결되는 것도 가능하다.
또한, 도 1, 도3 및 도 4에서 도시하는 바와 같이, 반도체 소자(150, 171)가 패키지 형태인 경우, 패키지 형태의 반도체 소자와 메탈층 간을 전기적으로 연결시키는 리드 프레임(160)을 더 포함할 수 있다.
또한, 도 1에서 도시하는 바와 같이, 전력 모듈 패키지(500)는 반도체 소자(170)와 메탈층(140) 간을 전기적으로 연결시키는 와이어를 더 포함할 수 있다.
또한, 메탈 플레이트(400)는 방열 비아(120)에 연결되게 형성될 수 있다.
또한, 제1 기판(110)의 타면측에 형성되되, 메탈 플레이트(400)를 통해 제1 기판(110)과 연결되게 형성된 제2 기판(310)을 포함할 수 있다.
여기에서, 메탈 플레이트(400)는 제1 기판(110)과 제2 기판(310) 사이에 형성되어, 제2 기판(310)에 비해 상대적으로 전력 소자(150) 등의 구성으로 인해 압력을 받는 제1 기판(110)을 지지하는 역할, 방열 비아(120)로부터 전달되는 열을 수평, 수직 방향으로 전달하는 방열 기능 및 제1 기판(110)과 제2 기판(310) 간의 전기적 연결 기능을 수행할 수 있다.
상기 메탈 플레이트(400)는 1차적으로 방열 비아(120)를 통해 전달된 열을 2차로 전달하는 역할을 수행하기 때문에, 전력 소자(150)로부터의 열을 빠르게 방출시켜, 전력 소자(150)의 열이 제어 소자(170, 180)에 미치는 영향을 최소화하는 역할을 수행하는 것이다.
또한, 전력 모듈 패키지(500)는 제2 기판(310)의 일면으로부터 타면을 관통하도록 형성된 제2 비아(330)를 더 포함할 수 있다.
이때, 제2 비아(330)는 메탈 플레이트(400)와 연결되게 형성될 수 있다.
상기 제2 비아(330)는 메탈 플레이트(400)와 연결되게 형성되기 때문에, 전력 소자(150)로부터 발생하는 열의 방출을 보다 효율적으로 수행할 수 있도록 하는 역할을 한다.
한편, 도 3 및 도 4에서 도시하는 바와 같이, 제1 기판측 전력 모듈 패키지(100)는 제2 기판(310)에 결합되기 이전에 제1 비아(120, 130)가 형성된 제1 기판(110)에 메탈층(140)을 형성하고, 메탈층(140) 상에 반도체 소자(150, 170, 180)를 실장한 후 전기적 연결을 위한 와이어 또는 리드 프레임을 형성한 상태인 것이다.
여기에서, 제1 기판측 전력 모듈 패키지(100)는 메인 보드에 해당하는 제2 기판(310)에 결합하기 이전의 전력 모듈 패키지를 의미하는 것으로 정의하기로 한다.
또한, 반도체 소자(150, 170, 180)는 베어(Bare) 소자뿐만 아니라 참조번호 150 및 171과 같이 패키징 형태의 소자도 적용할 수 있다.
상기 베어 소자는 패키지에 들어가 있지 않고, 웨이퍼(wafer)에서 잘라낸 소자를 의미하고, 패키징 형태의 소자는 패키지에 들어가 있는 상태의 소자를 의미하는 것이다.
본 발명의 실시예에서, 제1 기판(110)은 1차적으로 집적 보드 역할로, 도 5 및 도 6에서 도시하는 바와 같이, 기판 상에 전력 소자(150)와 제어 소자(170, 180)를 실장하기 때문에, 반도체 소자 배치, 회로 형성 등과 같은 설계에 있어 자유도를 향상시킬 수 있다.
전력 모듈 패키지- 제2 실시예
도 2는 본 발명의 다른 실시예에 의한 전력 모듈 패키지의 구성을 나타내는 단면도로서, 메탈 플레이트(400)를 포함하지 않는 경우를 예로 들어 설명하기로 한다.
다만, 제2 실시예에 대한 구성 중 제1 실시예의 구성과 동일한 구성에 대한 설명은 생략하고, 상이한 부분에 대해서만 설명하기로 한다.
도 2에서 도시하는 바와 같이, 전력 모듈 패키지(500)는 일면과 타면을 갖는 제1 기판(110), 제1 기판(110)의 일면으로부터 타면을 관통하도록 형성된 비아(120, 130), 제1 기판(110)의 일면에 형성된 메탈층(140) 및 메탈층(140) 상에 형성된 반도체 소자(150, 170, 180)를 포함할 수 있다.
여기에서, 반도체 소자는 전력 소자(150)와 제어 소자(170, 180)를 포함한다.
이때, 도 1, 도3 및 도 4에서 도시하는 바와 같이, 전력 소자(150)와 제어 소자(180)는 각각 패키지 형태일 수도 있다.
예를 들어, 전력 소자(150)는 IGBT(Insulated Gate Bipolar Transistor), 다이오드(Diode) 등과 같이 발열량이 큰 소자를 의미하며, 제어 소자(170, 180)는 제어 IC(Control Integrated Circuit), 수동(Passive) 소자와 같이 발열량이 전력 소자에 비해 상대적으로 작은 소자를 의미하는 것으로 정의하기로 한다.
또한, 비아는 방열 비아(120)와 신호 비아(130)를 포함할 수 있다.
또한, 히트싱크(200)는 전력 소자(150) 상에 형성될 수 있다.
이때, 제어 소자(170, 180)에 비해 발열량이 큰 전력 소자(150)는 히트싱크(200) 및 방열 비아(120)와 연결되어 있기 때문에, 전력 소자(150)로부터 발생되는 열을 효과적으로 방출시킬 수 있다는 효과를 기대할 수 있는 것이다.
또한, 전력 소자(150)의 원활한 열 방출 효과로 인해 제어 소자(170, 180)를 비롯한 전력 모듈 패키지(500) 전체의 동작 신뢰성도 향상시킬 수 있다는 효과를 기대할 수 있는 것이다.
또한, 전력 소자(150)는 메탈층(140) 상에 형성되되, 방열 비아(120) 형성 영역에 대응되게 형성될 수 있다.
또한, 전력 모듈 패키지(500)는 제1 기판(110)의 타면측에 형성된 제2 기판(310)을 더 포함할 수 있다.
또한, 제어 소자(170, 180)는 메탈층(140) 상에 형성되되, 신호 비아(130) 형성 영역에 대응되게 형성될 수 있다.
즉, 도 1에서 도시하는 바와 같이, 메탈층(140) 상에 형성된 제어 소자(180)가 신호 비아(130)를 통해 외부접속단자(190)와 연결되어 제2 기판(310)과 연결될 수 있는 것이다.
도 1에서는 제1 기판(110)과 제2 기판(310)이 볼 그리드 어레이(BGA) 방식으로 연결된 예를 도시하였지만, 이에 한정되지 않으며, 랜드 그리드 어레이(LGA) 방식 등으로 연결되는 것도 가능하다.
또한, 도 1, 도3 및 도 4에서 도시하는 바와 같이, 반도체 소자가 패키지 형태인 경우, 패키지 형태의 반도체 소자와 메탈층 간을 전기적으로 연결시키는 리드 프레임(160)을 더 포함할 수 있다.
또한, 도 1에서 도시하는 바와 같이, 전력 모듈 패키지(500)는 반도체 소자(170)와 메탈층(140) 간을 전기적으로 연결시키는 와이어를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 실시예에서, 제1 기판(110)은 1차적으로 집적 보드 역할로, 도 5 및 도 6에서 도시하는 바와 같이, 기판 상에 전력 소자(150)와 제어 소자(170, 180)를 실장하기 때문에, 반도체 소자 배치, 회로 형성 등과 같은 설계에 있어 자유도가 향상될 수 있다.
이상 본 발명을 구체적인 실시예를 통하여 상세히 설명하였으나, 이는 본 발명을 구체적으로 설명하기 위한 것으로, 본 발명에 따른 전력 모듈 패키지는 이에 한정되지 않으며, 본 발명의 기술적 사상 내에서 당 분야의 통상의 지식을 가진 자에 의해 그 변형이나 개량이 가능함이 명백하다.
본 발명의 단순한 변형 내지 변경은 모두 본 발명의 영역에 속하는 것으로 본 발명의 구체적인 보호 범위는 첨부된 특허청구범위에 의하여 명확해질 것이다.
100 : 제1 기판측 전력 모듈 패키지 110 : 제1 기판
120, 130 : 제1 비아, 비아 140, 320 : 메탈층
150 : 전력 모듈 160 : 리드 프레임
170, 180 : 반도체 소자 190 : 외부접속단자
200 : 히트 싱크
310 : 제2 기판 330 : 제2 비아
400 : 메탈 플레이트 500 : 전력 모듈 패키지

Claims (18)

  1. 일면과 타면을 갖는 제1 기판;
    상기 제1 기판의 상기 일면으로부터 타면을 관통하도록 형성된 제1 비아;
    상기 제1 기판의 일면에 형성된 메탈층;
    상기 메탈층 상에 형성된 반도체 소자;
    상기 제1 기판의 타면에 형성되는 메탈 플레이트;
    상기 제1 기판의 타면측에 형성되되, 상기 메탈 플레이트를 통해 상기 제1 기판과 연결되게 형성된 제2 기판; 및
    상기 제2 기판의 일면으로부터 타면을 관통하도록 형성된 제2 비아;를 포함하고,
    상기 반도체 소자는 전력 소자와 제어 소자를 포함하고, 상기 제1 비아는 방열 비아와 신호 비아를 포함하며,
    상기 전력 소자는 상기 메탈층 상에 형성되되, 상기 방열 비아 형성 영역에 대응되게 형성되고,
    상기 메탈 플레이트는 상기 방열 비아에 연결되게 형성되고,
    상기 제2 비아는 상기 메탈 플레이트와 연결되게 형성되며,
    상기 메탈 플레이트는 상기 제1 기판을 지지하고, 상기 방열 비아로부터 전달되는 열을 수평 및 수직 방향으로 전달하며, 상기 제1 기판과 상기 제2 기판 간의 전기적 연결기능을 수행하도록 구성되는 것을 특징으로 하는 전력 모듈 패키지.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 전력 소자 상에 형성된 히트싱크;를 더 포함하는 전력 모듈 패키지.
  3. 삭제
  4. 삭제
  5. 청구항 1에 있어서,
    상기 제어 소자는 상기 메탈층 상에 형성되되, 상기 신호 비아 형성 영역에 대응되게 형성되는 전력 모듈 패키지.
  6. 청구항 1에 있어서,
    상기 전력 소자와 제어 소자는 각각 패키지 형태인 전력 모듈 패키지.
  7. 청구항 1에 있어서,
    상기 반도체 소자가 패키지 형태인 경우,
    상기 패키지 형태의 반도체 소자와 상기 메탈층 간을 전기적으로 연결시키는 리드 프레임;
    을 더 포함하는 전력 모듈 패키지.
  8. 청구항 1에 있어서,
    상기 반도체 소자와 상기 메탈층 간을 전기적으로 연결시키는 와이어;
    를 더 포함하는 전력 모듈 패키지.
  9. 삭제
  10. 삭제
  11. 삭제
  12. 삭제
  13. 삭제
  14. 삭제
  15. 삭제
  16. 삭제
  17. 삭제
  18. 삭제
KR1020110092594A 2011-09-14 2011-09-14 전력 모듈 패키지 KR101331681B1 (ko)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020110092594A KR101331681B1 (ko) 2011-09-14 2011-09-14 전력 모듈 패키지
JP2011263023A JP2013062480A (ja) 2011-09-14 2011-11-30 電力モジュールパッケージ
US13/316,121 US20130062744A1 (en) 2011-09-14 2011-12-09 Power module package

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020110092594A KR101331681B1 (ko) 2011-09-14 2011-09-14 전력 모듈 패키지

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20130029269A KR20130029269A (ko) 2013-03-22
KR101331681B1 true KR101331681B1 (ko) 2013-11-20

Family

ID=47829103

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020110092594A KR101331681B1 (ko) 2011-09-14 2011-09-14 전력 모듈 패키지

Country Status (3)

Country Link
US (1) US20130062744A1 (ko)
JP (1) JP2013062480A (ko)
KR (1) KR101331681B1 (ko)

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6682741B2 (ja) * 2014-06-23 2020-04-15 サムソン エレクトロ−メカニックス カンパニーリミテッド. 回路基板及び回路基板組立体
KR102262906B1 (ko) * 2014-11-13 2021-06-09 삼성전기주식회사 회로기판
KR102340776B1 (ko) * 2014-12-30 2021-12-20 엘지이노텍 주식회사 카메라 모듈

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0955459A (ja) * 1995-06-06 1997-02-25 Seiko Epson Corp 半導体装置
JP2005101366A (ja) * 2003-09-25 2005-04-14 Kyocera Corp 高周波モジュール
KR20070074657A (ko) * 2004-12-13 2007-07-12 다이킨 고교 가부시키가이샤 파워 모듈과 그 제조 방법 및 공기 조화기

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3004578B2 (ja) * 1995-05-12 2000-01-31 財団法人工業技術研究院 熱放散増強のための多熱導伝路とパッケージ統合性及び信頼性向上のための縁の周りを囲むキャップからなる集積回路パッケージ
JPH10178243A (ja) * 1996-10-15 1998-06-30 Iwaki Electron Corp Ltd 放熱板付きプリント回路基板およびその製造方法
JPH10313071A (ja) * 1997-05-09 1998-11-24 Sony Corp 電子部品及び配線基板装置
JP3923703B2 (ja) * 2000-03-29 2007-06-06 ローム株式会社 放熱手段を有するプリント配線板
JP2002198660A (ja) * 2000-12-27 2002-07-12 Kyocera Corp 回路基板及びその製造方法
JP2003060132A (ja) * 2001-08-16 2003-02-28 Oki Electric Ind Co Ltd 基板構造、半導体装置及びその製造方法
JP2005109005A (ja) * 2003-09-29 2005-04-21 Murata Mfg Co Ltd モジュールの放熱構造
JP2008098556A (ja) * 2006-10-16 2008-04-24 Fujitsu Ltd プリント板放熱装置

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0955459A (ja) * 1995-06-06 1997-02-25 Seiko Epson Corp 半導体装置
JP2005101366A (ja) * 2003-09-25 2005-04-14 Kyocera Corp 高周波モジュール
KR20070074657A (ko) * 2004-12-13 2007-07-12 다이킨 고교 가부시키가이샤 파워 모듈과 그 제조 방법 및 공기 조화기

Also Published As

Publication number Publication date
US20130062744A1 (en) 2013-03-14
KR20130029269A (ko) 2013-03-22
JP2013062480A (ja) 2013-04-04

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US10573579B2 (en) Semiconductor package with improved heat dissipation
EP3107120B1 (en) Power semiconductor module
KR101208332B1 (ko) 반도체 패키지용 클립 구조 및 이를 이용한 반도체 패키지
US20190115269A1 (en) Semiconductor package having a stiffener ring
KR100973722B1 (ko) 방열기를 가지는 전자 모듈 어셈블리
TW201415587A (zh) 半導體裝置的熱能管理結構及其製造方法
KR101237566B1 (ko) 전력 모듈 패키지 및 그 제조방법
CN111261598A (zh) 封装结构及其适用的电源模块
US20190141834A1 (en) Mechanically-compliant and electrically and thermally conductive leadframes for component-on-package circuits
KR101331681B1 (ko) 전력 모듈 패키지
KR20130069108A (ko) 반도체 패키지
CN105118818A (zh) 一种方形扁平无引脚封装结构的功率模块
KR20130045596A (ko) 전력 모듈 패키지 및 그 제조방법
US8536701B2 (en) Electronic device packaging structure
CN100361296C (zh) 具有改善散热结构的印刷电路板及电子装置
TWI553791B (zh) 晶片封裝模組與封裝基板
KR101255930B1 (ko) 전력 모듈 패키지 및 그 제조방법
TWI225296B (en) Chip assembly package
CN210379038U (zh) 用于布置芯片的引线框架、封装体以及电源模块
KR20110080548A (ko) 발광 장치
KR102418409B1 (ko) 방열 클립을 구비한 전력 반도체 장치
CN219811493U (zh) 功率器件封装结构
CN210129504U (zh) 智能功率模块及空调器
KR20080029264A (ko) 메모리 모듈
CN203300637U (zh) 半导体封装体

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
LAPS Lapse due to unpaid annual fee