KR101329761B1

KR101329761B1 - Flatness measuring apparatus and method for carrier

Info

Publication number: KR101329761B1
Application number: KR1020110080987A
Authority: KR
Inventors: 박민호; 이재승; 김정훈
Original assignee: 주식회사 에스에프에이
Priority date: 2011-08-16
Filing date: 2011-08-16
Publication date: 2013-11-15
Also published as: KR20130019063A

Abstract

캐리어 평탄도 측정장치가 개시된다. 본 발명의 일 실시예에 따른 캐리어 평탄도 측정장치는, 기판이 부착되는 캐리어를 거치하는 거치대; 캐리어의 기판이 부착되는 면이 지면을 향하도록 거치대를 회전시키는 회전유닛; 및 거치대 하부에서 거치대에 대하여 상대 이동 가능하게 마련되어 캐리어의 기판이 부착되는 면의 평탄도를 측정하는 센싱유닛을 포함한다.Disclosed is a carrier flatness measuring apparatus. Carrier flatness measuring apparatus according to an embodiment of the present invention, the cradle for mounting the carrier to which the substrate is attached; A rotating unit which rotates the holder so that the surface to which the substrate of the carrier is attached faces the ground; And a sensing unit provided at a lower portion of the cradle so as to be movable relative to the cradle to measure flatness of a surface to which the substrate of the carrier is attached.

Description

Flatness measuring apparatus and measuring method

본 발명은, 캐리어 평탄도 측정장치 및 측정방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는, 실제 조건과 동일한 상태에서 기판을 이송하는 캐리어의 평탄도를 측정할 수 있는 캐리어 평탄도 측정장치 및 측정방법에 관한 것이다.The present invention relates to a carrier flatness measuring apparatus and a measuring method, and more particularly, to a carrier flatness measuring apparatus and measuring method capable of measuring the flatness of a carrier for transporting a substrate under the same conditions as actual conditions. will be.

평판표시소자(FPD) 중에서 요즘에 각광받고 있는 OLED는 유기물의 자체 발광에 의해 컬러 화상을 구현하는 초경박형 표시장치로서, 그 구조가 간단하면서 광효율이 높다는 점에서 차세대의 유망 디스플레이 장치로서 주목받고 있다.Among flat panel display devices (FPDs), OLEDs, which have been popular in recent years, have been attracting attention as a promising display device of the next generation in that they have a simple structure and a high light efficiency, and realize a color image by self- .

이러한 OLED의 제조 공정은 크게 패턴(Pattern) 형성 공정, 유기박막 증착 공정, 봉지 공정, 그리고 유기박막이 증착된 기판과 봉지 공정을 거친 기판을 붙이는 합착 공정으로 나뉜다.The manufacturing process of the OLED is divided into a pattern forming process, an organic film deposition process, a sealing process, and a deposition process in which an organic thin film is deposited and a sealing process is performed.

이 중 유기박막 증착 공정은, 기판이 증착챔버 내에서 정지된 상태 또는 기판이 증착챔버 내를 이동하는 중에 이루어지는데, 기판의 처짐이 발생하는 경우 증착이 균일하게 이루어질 수 없다.Among them, the organic thin film deposition process is performed while the substrate is stopped in the deposition chamber or while the substrate is moving in the deposition chamber, and the deposition can not be made uniform when deflection of the substrate occurs.

특히, 기판이 대면적화되면서 처짐량이 심해지고 있어, 이를 보완하기 위해 기판을 이송시키때 캐리어가 사용되고 있다. In particular, as the substrate becomes larger, the amount of deflection increases, and a carrier is used to transfer the substrate to compensate for this.

캐리어를 이용한 기판의 이송은 대면적 기판의 처짐을 어느 정도 방지할 수 있으나, 캐리어 자체의 평탄도가 유지되지 않는 경우 기판의 처짐과 같은 동일한 문제가 발생할 수 있다. The transfer of the substrate using the carrier may prevent the large area of the substrate from sagging, but may cause the same problem as the substrate sag when the flatness of the carrier itself is not maintained.

따라서 캐리어의 평탄도가 증착기의 증착 정도에 많은 영향을 미치고 있어, 패널 가공 시 주기적으로 캐리어의 평탄도 측정이 행해지고 있다.Therefore, the flatness of the carrier has a great influence on the deposition degree of the vapor deposition machine, and the flatness of the carrier is periodically measured during panel processing.

그러나 종래에는 캐리어에 의한 기판의 이송에서 캐리어의 평탄도가 중요시됨에도 불구하고 캐리어의 평탄도를 측정할 수 있는 별도의 장치가 없어, 단순히 정반 상에서 하이트 게이지(Height gauge) 또는 레이저 센서로 캐리어의 평탄도를 측정하였다.However, conventionally, although the flatness of the carrier is important in the transfer of the substrate by the carrier, there is no separate device that can measure the flatness of the carrier, so that the flatness of the carrier is simply a height gauge or a laser sensor on the surface plate. The degree was measured.

이러한 종래의 하이트 게이지 또는 레이저 센서를 이용한 캐리어 평탄도 측정은, 캐리어의 상부면에 점착척을 위치시킨 상태에서 기판을 부착시켜 정반위에 위치시킨 후 평탄도를 측정하게 되므로, 실제 사용 공정과 다른 상태에서 측정하게 되어, 실제 상황과 다른 값을 얻을 수밖에 없다는 문제가 있다.In the conventional flatness measurement using a height gauge or a laser sensor, the flatness is measured after attaching the substrate in the state where the adhesive chuck is placed on the upper surface of the carrier, and then measuring the flatness. The problem is that the measurement is performed at, and the value is different from the actual situation.

[문헌 1] KR 10-1998-0007928 A 1998. 3. 30Document 1 KR 10-1998-0007928 A March 30, 1998 [문헌 2] KR 10-1997-0010673 A 1997. 3. 29Document 2 KR 10-1997-0010673 A 1997. 3. 29

따라서 본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는, 캐리어의 실제 사용공정과 동일한 조건에서 캐리어의 평탄도를 측정할 수 있는 캐리어 평탄도 측정장치를 제공하는 것이다.Therefore, the present invention is to provide a carrier flatness measuring apparatus capable of measuring the flatness of the carrier under the same conditions as the actual use process of the carrier.

본 발명의 일 측면에 따르면, 기판이 부착되는 캐리어를 거치하는 거치대; 상기 캐리어의 상기 기판이 부착되는 면이 지면을 향하도록 상기 거치대를 회전시키는 회전유닛; 및 상기 거치대 하부에서 상기 거치대에 대하여 상대 이동 가능하게 마련되어 상기 캐리어의 상기 기판이 부착되는 면의 평탄도를 측정하는 센싱유닛을 포함하는 캐리어 평탄도 측정장치가 제공될 수 있다.According to an aspect of the invention, the cradle for mounting the carrier to which the substrate is attached; A rotating unit which rotates the holder so that the surface to which the substrate of the carrier is attached faces the ground; And a sensing unit provided to be relatively movable with respect to the cradle under the cradle, and including a sensing unit measuring a flatness of a surface to which the substrate of the carrier is attached.

상기 센싱유닛은, 상기 캐리어의 처짐량을 측정하는 레이저 변위센서; 상기 레이저 변위센서를 Z축 방향으로 이동시키는 Z축 구동부; 상기 Z축 구동부를 상기 캐리어의 폭 방향인 Y축 방향으로 이동시키는 Y축 구동부; 및 상기 Y축 구동부를 상기 캐리어의 길이 방향인 X축 방향으로 이동시키는 X축 구동부를 포함할 수 있다.The sensing unit, the laser displacement sensor for measuring the amount of deflection of the carrier; A Z-axis driving unit for moving the laser displacement sensor in the Z-axis direction; A Y-axis driving unit for moving the Z-axis driving unit in a Y-axis direction that is a width direction of the carrier; And an X-axis driving unit for moving the Y-axis driving unit in an X-axis direction that is a longitudinal direction of the carrier.

상기 거치대는, 상기 캐리어의 측면에 요홈 형태로 마련되는 영구자석에 삽입되어, 상기 캐리어를 비접촉식의 자기부상 방식으로 이송시키는 고정자를 포함할 수 있다.The cradle may include a stator inserted into a permanent magnet provided in a groove shape on a side of the carrier to transfer the carrier in a non-contact magnetic levitation manner.

상기 회전유닛은, 상기 거치대의 적어도 일 측면에 마련되어 상기 거치대와 함께 회전하는 회전 종동모듈; 및 상기 거치대의 회전 시 상기 회전 종동모듈에 결합하여 회전력을 전달하는 회전 구동모듈을 포함할 수 있다.The rotating unit, the rotary driven module is provided on at least one side of the cradle to rotate with the cradle; And it may include a rotation drive module for transmitting a rotational force coupled to the rotation driven module when the holder is rotated.

상기 회전 종동모듈은, 상기 회전 구동모듈의 회전력을 전달받아 상기 거치대를 회전시키는 종동 회전부; 및 상기 거치대의 회전 시 상기 캐리어가 상기 거치대로부터 이탈되지 않도록 지지하며, 상기 거치대의 회전 종료 시 상기 거치대가 수평을 유지하도록 지지하는 회전 지지부를 포함할 수 있다.The rotary driven module, the driven rotary unit for receiving the rotational force of the rotary drive module to rotate the cradle; And a carrier supporting the carrier so as not to be separated from the holder when the holder is rotated, and supporting the holder to be horizontal when the holder is rotated.

상기 종동 회전부는, 상기 거치대의 양측 중앙부에 일측이 결합하여 마련되는 종동 회전축; 상기 종동 회전축이 회전가능하도록 베어링에 의해 결합하는 슬리브; 및 상기 종동 회전축의 타측에 결합되며, 상기 거치대의 회전 시 상기 회전 구동모듈이 결합하는 종동 플랜지를 포함할 수 있다.The driven rotary unit, the driven rotary shaft is provided with one side coupled to the central portion of both sides of the cradle; A sleeve coupled by a bearing such that the driven rotating shaft is rotatable; And a driven flange coupled to the other side of the driven rotation shaft and coupled to the rotation driving module when the holder is rotated.

상기 회전 지지부는, 상기 거치대의 회전 시에는 상기 캐리어를 지지하며, 상기 거치대의 회전 종료시에는 상기 거치대가 수평을 유지하도록 지지하는 지지로드; 상기 종동 회전축에 슬라이딩 가능하게 삽입되며, 상기 지지로드를 가압하여 상기 캐리어에 결합시키는 푸쉬로드; 및 상기 푸쉬로드와 상기 종동 회전축 사이에 개재되어 상기 푸쉬로드가 상기 지지로드를 가압한 후 탄성적으로 복귀하도록 마련되는 탄성부재를 더 포함할 수 있다.The rotation support unit, the support rod for supporting the carrier when the holder is rotated, and the holder to maintain the horizontal when the end of the rotation of the holder; A push rod slidably inserted into the driven rotation shaft and configured to press the support rod to couple to the carrier; And an elastic member interposed between the push rod and the driven rotary shaft to be elastically returned after the push rod presses the support rod.

상기 회전 구동모듈은, 상기 거치대의 회전 시 상기 종동 플랜지에 결합하는 구동 플랜지; 상기 구동 플랜지에 결합하여 회전력을 전달하는 구동 회전축; 상기 구동 플랜지가 상기 종동 플랜지에 체결되도록 가압하는 가압 실린더; 및 상기 구동 회전축과 기어박스에 의해 연결되는 구동모터를 포함할 수 있다.The rotation drive module, the drive flange coupled to the driven flange when the holder is rotated; A driving rotary shaft coupled to the driving flange to transmit a rotational force; A pressurizing cylinder for pressurizing the driving flange to be coupled to the driven flange; And a driving motor connected by the driving rotary shaft and the gearbox.

상기 구동 회전축은, 상기 구동 플랜지가 상기 종동 플랜지에 결합한 상태에서 상기 푸쉬로드를 가압할 수 있도록 상기 구동 플랜지면 외측으로 돌출되어 마련되는 가압부를 포함할 수 있다.The driving rotation shaft may include a pressing part protruding outward of the driving flange surface to press the push rod in a state in which the driving flange is coupled to the driven flange.

상기 회전유닛에 의해 회전된 상기 캐리어의 기판 부착면이 지면과 평행하도록 조절하는 틸드유닛을 더 포함할 수 있다.It may further include a tilde unit for adjusting the substrate attachment surface of the carrier rotated by the rotating unit parallel to the ground.

상기 틸팅유닛은, 상기 거치대의 길이방향을 따라 양측을 지지하는 틸팅 보조부재; 및 상기 틸팅 보조부재의 하부의 네 지점에 연결되어 상기 거치대의 모서리 네 영역을 개별적으로 Z축 방향으로 승하강시키는 승강모듈을 포함할 수 있다.The tilting unit may include a tilting auxiliary member supporting both sides in the longitudinal direction of the holder; And an elevating module connected to four points of the lower part of the tilting auxiliary member to individually lift and lower four corners of the cradle in the Z-axis direction.

상기 센싱유닛을 지지하며, 지면으로부터 전달되는 진동을 흡수하는 유닛 지지대를 더 포함할 수 있다.It may further include a unit support for supporting the sensing unit, absorbing the vibration transmitted from the ground.

본 발명의 다른 측면에 따르면, 캐리어의 기판이 부착되는 면이 지면을 향하도록 마련하는 단계; 및 상기 캐리어의 상기 기판이 부착되는 면의 하부에서 상기 캐리어의 상기 기판이 부착되는 면의 평탄도를 측정하는 단계를 포함하는 캐리어 평탄도 측정방법이 제공될 수 있다.According to another aspect of the invention, the step of providing a surface to which the substrate of the carrier is attached facing the ground; And measuring the flatness of the surface on which the substrate is attached to the carrier under the surface on which the substrate is attached to the carrier.

상기 캐리어를 거치대에 거치시키는 단계를 더 포함하며, 상기 캐리어의 상기 기판이 부착되는 면이 지면을 향하도록 마련하는 단계는, 상기 거치대를 180도 회전시켜 상기 캐리어의 상기 기판이 부착되는 면이 지면을 향하도록 하는 단계일 수 있다.And mounting the carrier on a holder, wherein the step of attaching the surface of the carrier to the surface of the carrier is directed toward the ground. The surface of the carrier is attached to the surface by rotating the holder 180 degrees. May be directed.

상기 캐리어의 상기 기판이 부착되는 면의 평탄도를 측정하는 단계는, 상기 레이저 변위센서를 이용하여 상기 거치대의 네 모서리 영역의 높이를 측정하여 상기 거치대의 평행도를 측정하는 단계; 상기 거치대의 하부에 연결되어 마련되는 틸팅유닛을 이용하여 상기 거치대의 네 모서리 영역을 개별적으로 승강시킴으로써 상기 거치대의 평행도를 조정하는 단계; 및 상기 레이저 변위센서를 이용하여 상기 캐리어의 기판 부착면 하부를 이동하며 굴곡도를 측정하는 단계를 포함할 수 있다.Measuring the flatness of the surface of the carrier is attached, measuring the parallelism of the cradle by measuring the height of the four corners of the cradle using the laser displacement sensor; Adjusting the parallelism of the cradle by individually elevating four corner regions of the cradle using a tilting unit connected to a lower part of the cradle; And measuring a degree of curvature by moving a lower portion of the substrate attaching surface of the carrier using the laser displacement sensor.

본 발명의 실시예들은, 캐리어의 실제 사용공정과 동일한 조건에서 캐리어의 평탄도를 측정할 수 있는 캐리어 평탄도 측정장치를 제공할 수 있다.Embodiments of the present invention can provide a carrier flatness measuring apparatus capable of measuring the flatness of the carrier under the same conditions as the actual use process of the carrier.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 캐리어 평탄도 측정장치의 사시도이다.
도 2는 도 1의 캐리어 평탄도 측정장치의 정면도이다.
도 3은 도 1의 캐리어 평탄도 측정장치의 회전 종동모듈의 사시도이다.
도 4는 도 1의 캐리어 평탄도 측정장치의 회전 구동모듈의 사시도이다.
도 5는 회전 종동모듈의 수직 단면의 부분 확대도이다.
도 6은 회전 종동모듈의 수평 단면의 부분 확대도이다.
도 7은 회전 구동모듈의 수직 단면의 부분 확대도이다.1 is a perspective view of a carrier flatness measuring apparatus according to an embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a front view of the carrier flatness measuring apparatus of FIG. 1.
3 is a perspective view of a rotary driven module of the carrier flatness measuring apparatus of FIG.
4 is a perspective view of a rotation driving module of the carrier flatness measuring apparatus of FIG. 1.
5 is a partially enlarged view of a vertical section of the rotary driven module.
6 is a partially enlarged view of a horizontal cross section of the rotary driven module.
7 is a partially enlarged view of a vertical cross section of the rotary drive module.

본 발명과 본 발명의 동작상의 이점 및 본 발명의 실시에 의하여 달성되는 목적을 충분히 이해하기 위해서는 본 발명의 바람직한 실시예를 예시하는 첨부도면 및 첨부도면에 기재된 내용을 참조하여야만 한다.In order to fully understand the present invention, operational advantages of the present invention, and objects achieved by the practice of the present invention, reference should be made to the accompanying drawings and the accompanying drawings which illustrate preferred embodiments of the present invention.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 설명함으로써, 본 발명을 상세히 설명한다. 각 도면에 제시된 동일한 참조부호는 동일한 부재를 나타낸다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. Like reference symbols in the drawings denote like elements.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 캐리어 평탄도 측정장치의 사시도이고, 도 2는 도 1의 캐리어 평탄도 측정장치의 정면도이며, 도 3은 도 1의 캐리어 평탄도 측정장치의 회전 종동모듈의 사시도이고, 도 4는 도 1의 캐리어 평탄도 측정장치의 회전 구동모듈의 사시도이며, 도 5는 회전 종동모듈의 수직 단면의 부분 확대도이고, 도 6은 회전 종동모듈의 수평 단면의 부분 확대도이며, 도 7은 회전 구동모듈의 수직 단면의 부분 확대도이다.1 is a perspective view of a carrier flatness measuring apparatus according to an embodiment of the present invention, Figure 2 is a front view of the carrier flatness measuring apparatus of Figure 1, Figure 3 is a rotation driven module of the carrier flatness measuring apparatus of Figure 1 4 is a perspective view of a rotational drive module of the carrier flatness measuring apparatus of FIG. 1, FIG. 5 is a partial enlarged view of a vertical cross section of the rotary driven module, and FIG. 7 is a partially enlarged view of a vertical cross section of the rotary drive module.

이들 도면을 참조하면, 본 실시예의 캐리어 평탄도 측정장치(10)는, 기판이 부착되는 캐리어(20)를 거치하는 거치대(100)와, 거치대(100)를 회전시키는 회전유닛(200)과, 캐리어(20)의 평탄도를 측정하는 센싱유닛(300)과, 캐리어(20)의 평행도를 조정하는 틸팅유닛(400)과, 센싱유닛(300)과 틸팅유닛(400)을 지지하는 유닛지지대(500)를 포함한다.Referring to these drawings, the carrier flatness measuring apparatus 10 of the present embodiment includes a holder 100 for mounting the carrier 20 to which the substrate is attached, a rotating unit 200 for rotating the holder 100, The sensing unit 300 for measuring the flatness of the carrier 20, the tilting unit 400 for adjusting the parallelism of the carrier 20, the unit support for supporting the sensing unit 300 and the tilting unit 400 ( 500).

본 실시예에서 회전유닛(200)은 캐리어(20)의 기판이 부착되는 면이 지면을 향하도록 거치대(100)를 180도 회전시킨다.In this embodiment, the rotary unit 200 rotates the holder 100 by 180 degrees so that the surface on which the substrate of the carrier 20 is attached faces the ground.

거치대(100)는 기판이 부착되는 캐리어(20)를 이송 가능한 상태로 지지하기 위한 것으로 상/하부 프레임(101, 102)과, 상/하부 프레임(101, 102)을 연결하는 프레임 연결부재(103)를 포함한다.The cradle 100 is for supporting the carrier 20 to which the substrate is attached in a transportable state. The frame connecting member 103 connects the upper and lower frames 101 and 102 and the upper and lower frames 101 and 102. ).

본 실시예에 적용되는 캐리어(20)는 비접촉식의 자기부상 방식에 의해 기판을 이송하는 캐리어(20)일 수 있다.The carrier 20 applied to the present embodiment may be a carrier 20 for transferring a substrate by a non-contact magnetic levitation method.

자기부상 방식에 의한 이송은 도면에 도시되어 있지 않으나, 증착챔버 내의 이송선로에 코일을 포함하는 전자석의 고정자를 배치하고, 캐리어에 마그넷을 포함하는 운동자를 배치함으로써 고정자와 운동자의 전자기력에 의해 운동자가 직선운동하는 원리를 이용하는 것이다.Although not shown in the drawing, the magnetic levitation method is carried out by placing the stator of the electromagnet including the coil in the transfer line in the deposition chamber and the mover including the magnet in the carrier. It uses the principle of linear movement.

본 실시예에서 캐리어(20)의 평탄도 측정은 증착챔버 내에서 캐리어(20)가 이송되는 구조와 동일한 조건에서 측정될 수 있도록 캐리어(20)와 거치대(100)에 각각 자기부상 방식에 의한 운동자(21)와 고정자(104)가 마련된다.In this embodiment, the flatness measurement of the carrier 20 may be measured by the magnetic levitation method on the carrier 20 and the cradle 100 so that the carrier 20 may be measured under the same conditions as the structure in which the carrier 20 is transported in the deposition chamber. 21 and the stator 104 are provided.

캐리어(20)에 마련되는 운동자(21)는 거치대(100)에 마련된 고정자(104)가 삽입되어 슬라이딩 될 수 있도록 한글 자음 'ㄷ'자 형태의 요홈으로 마련될 수 있다.The exerciser 21 provided in the carrier 20 may be provided as a concave of the Korean consonant 'c' shape so that the stator 104 provided in the holder 100 can be inserted and slid.

고정자(104)의 코일에 전류가 공급되면 고정자(104)와 운동자(21)와의 전자기력에 의해 캐리어(20)가 부상 상태에서 이동될 수 있으나, 캐리어(20)의 평탄도를 측정하는 동안에는 전류공급이 반드시 필요한 것은 아니다.When a current is supplied to the coil of the stator 104, the carrier 20 may be moved in an injured state by the electromagnetic force between the stator 104 and the mover 21, but the current is supplied while the flatness of the carrier 20 is measured. This is not necessary.

거치대(100)의 상/하부 프레임(101, 102)은 대칭되는 형태로 마련될 수 있다. 따라서 거치대(100)를 180도 회전시킨 후에도 거치대(100)의 상부와 하부의 조건은 동일하며, 캐리어(20)의 상부와 하부면 만이 전환될 뿐이다.The upper and lower frames 101 and 102 of the cradle 100 may be provided in a symmetrical form. Therefore, even after the holder 100 is rotated 180 degrees, the upper and lower conditions of the holder 100 are the same, and only the upper and lower surfaces of the carrier 20 are switched.

상/하부 프레임(101, 102)은 캐리어(20)의 평탄도 측정 시 방해가 되지 않도록 중앙부가 오픈되어 있으며, 자중을 줄일 수 있는 격자형태로 마련될 수 있다.The upper and lower frames 101 and 102 are open at the center part so as not to interfere when measuring the flatness of the carrier 20, and may be provided in a lattice form to reduce self weight.

상/하부 프레임(101, 102)을 연결하는 프레임 결합부재(103)에는 후술되는 회전 종동모듈(210)이 결합하는데, 회전 종동모듈(210)이 회전하면 거치대(100)와 캐리어(20)가 함께 회전하게 된다.The frame coupling member 103 connecting the upper / lower frames 101 and 102 is coupled to the rotating driven module 210 which will be described later. When the rotating driven module 210 rotates, the holder 100 and the carrier 20 are connected. Will rotate together.

회전유닛(200)은, 거치대(100)의 양측에 마련되는 회전 종동모듈(210)과, 회전 종동모듈(210)에 회전력을 전달하는 회전 구동모듈(240)을 포함한다.The rotation unit 200 includes a rotation driven module 210 provided on both sides of the cradle 100 and a rotation driving module 240 for transmitting rotational force to the rotation driven module 210.

본 실시예에서 회전 종동모듈(210)은 거치대(100)의 중앙부 양측에 대칭되게 마련되나, 회전 종동모듈(210)을 거치대(100)의 일측에만 마련하고, 타측은 단순히 거치대(100)가 회전 가능하게 지지되는 형태로 마련될 수도 있다.In this embodiment, the rotary driven module 210 is provided symmetrically on both sides of the center portion of the cradle 100, the rotary driven module 210 is provided only on one side of the cradle 100, the other side simply rotates the cradle 100 It may be provided in a form that is possibly supported.

도 3과 함께 도 5, 6을 참조하면, 이러한 회전 종동모듈(210)은, 종동 회전부(220)와, 종동 회전부(220)의 내측으로 연결되어 거치대(100)의 회전 시 캐리어(20)가 거치대(100)로부터 이탈되지 않도록 지지하는 회전 지지부(230)를 포함한다.Referring to FIGS. 5 and 6 together with FIG. 3, the rotary driven module 210 is connected to the driven rotary part 220 and the driven rotary part 220 so that the carrier 20 is rotated when the holder 100 is rotated. Rotational support 230 for supporting so as not to be separated from the cradle (100).

종동 회전부(220)는 회전 구동모듈(240)의 회전력을 전달받아 거치대(100)와 함께 회전하는 부분으로서, 종동 회전축(221)과, 종동 회전축(221)과 결합하는 슬리브(223)와, 종동 회전축(221)의 말단부에 결합되며 거치대(100)의 회전 시 회전 구동모듈(240)이 결합하는 종동 플랜지(222)를 포함한다.The driven rotation part 220 is a part that rotates together with the holder 100 by receiving the rotational force of the rotation driving module 240, the driven rotation shaft 221, the sleeve 223 coupled with the driven rotation shaft 221, and the driven It is coupled to the distal end of the rotary shaft 221 and includes a driven flange 222 is coupled to the rotary drive module 240 when the holder 100 is rotated.

종동 회전축(221)은 회전 지지부(230)가 내측에 배치될 수 있도록 중공의 원통 형상으로, 일측이 거치대(100)의 프레임 연결부재(103)에 고정된다. 또한, 거치대(100)와 함께 회전 가능하도록 슬리브(223)와 베어링에 의해 결합된다.The driven rotary shaft 221 is a hollow cylindrical shape so that the rotary support 230 is disposed inside, one side is fixed to the frame connecting member 103 of the cradle 100. In addition, the sleeve 223 and is coupled by the bearing so as to be rotatable with.

종동 회전축(221)의 타측에는 종동 플랜지(222)가 결합된다. 종동 플랜지(222)는 회전 구동모듈(240)이 결합하는 부분으로서, 원주 방향을 따라 다수의 체결홀(222a)이 형성된다.The other side of the driven rotary shaft 221 is coupled to the driven flange 222. The driven flange 222 is a portion to which the rotation drive module 240 is coupled, and a plurality of fastening holes 222a are formed along the circumferential direction.

한편, 회전 지지부(230)는, 지지로드 결합부재(232)와, 지지로드 결합부재(232)의 양측에 연결되는 지지로드(231a, 231b)와, 종동 회전축(221)에 슬라이딩 가능하게 삽입되며 지지로드 결합부재(232)를 가압하는 푸쉬로드(233)와, 푸쉬로드(233)와 종동 회전축(221) 사이에 개재되어 푸쉬로드(233)가 지지로드 결합부재(232)를 가압한 후 탄성적으로 복귀하도록 마련되는 탄성부재(234)를 포함한다.On the other hand, the rotary support 230, the support rod coupling member 232, the support rods 231a, 231b connected to both sides of the support rod coupling member 232, and is inserted into the driven rotary shaft 221 slidably The push rod 233 pressurizes the support rod coupling member 232 and is interposed between the push rod 233 and the driven rotary shaft 221 so that the push rod 233 presses the support rod coupling member 232 and then burns. It includes an elastic member 234 provided to return to sexual.

지지로드(231a, 231b)는 거치대(100)의 회전 시 캐리어(20)가 거치대(100)로부터 이탈되지 않도록 지지하는 제1 지지로드(231a)와, 회전이 종료된 뒤 거치대(100)의 수평이 유지되도록 거치대(100)를 지지하는 제2 지지로드(231b)를 포함한다. The support rods 231a and 231b may include a first support rod 231a for supporting the carrier 20 so as not to be separated from the holder 100 when the holder 100 is rotated, and horizontally of the holder 100 after the rotation is completed. It includes a second support rod (231b) for supporting the holder 100 to be maintained.

제1 지지로드(231a)는 지지로드 결합부재(232)의 일측에 한 쌍으로 마련되며, 거치대(100)의 회전 시에만 캐리어(20)의 측면 상부와 하부에 마련된 제1 결합홈(22)에 삽입된다. 제1 지지로드(231a)가 제1 결합홈(22)에 삽입됨으로써 거치대(100)의 회전 중에도 캐리어(20)가 거치대(100)로부터 이탈되지 않고 거치대(100)와 함께 회전하게 된다.The first support rod 231a is provided in one pair on the support rod coupling member 232, and the first coupling groove 22 provided at the upper and lower sides of the carrier 20 only when the holder 100 is rotated. Is inserted into As the first support rod 231a is inserted into the first coupling groove 22, the carrier 20 rotates together with the holder 100 without being separated from the holder 100 even during the rotation of the holder 100.

제2 지지로드(231b)는 지지로드 결합부재(232)의 타측에 한 쌍으로 마련되며, 거치대(100)와 프레임 결합부재(103)를 슬라이딩 가능하게 관통하여 슬리브 고정부재(224)에 마련된 제2 결합홈(224a)에 삽입된다. 제2 지지로드(231b)가 제2 결합홈(224a)에 삽입되면 거치대(100)가 수평 상태로 유지된다.The second support rod 231b is provided in a pair on the other side of the support rod coupling member 232, and is formed in the sleeve fixing member 224 by slidably penetrating the cradle 100 and the frame coupling member 103. 2 is inserted into the coupling groove 224a. When the second support rod 231b is inserted into the second coupling groove 224a, the holder 100 is maintained in a horizontal state.

이러한 제1 지지로드(231a)와 제2 지지로드(231b)가 제1 결합홈(22) 또는 제2 결합홈(224a)에의 삽입되는 것은 푸쉬로드(233)에 의해 선택적으로 이루어진다.The insertion of the first support rod 231a and the second support rod 231b into the first coupling groove 22 or the second coupling groove 224a is selectively performed by the push rod 233.

도 6에 도시된 바와 같이, 푸쉬로드(233)는 지지로드 결합부재(232)의 타측, 즉, 제2 지지로드(231b)가 연결된 측에 연결된다. 푸쉬로드(233)가 지지로드 결합부재(232)를 가압하여 밀면 제1 지지로드(231a)가 제1 결합홈(22)에 삽입되고, 푸쉬로드(233)의 가압이 해제되면 제2 지지로드(231b)가 제2 결합홈(224a)에 삽입된다.As shown in FIG. 6, the push rod 233 is connected to the other side of the support rod coupling member 232, that is, the side to which the second support rod 231b is connected. When the push rod 233 pushes and pushes the support rod coupling member 232, the first support rod 231a is inserted into the first coupling groove 22, and when the push rod 233 is released, the second support rod is pressed. 231b is inserted into the second coupling groove 224a.

한편, 회전 구동모듈(240)은, 도 4와 도 7을 함께 참조하면, 거치대(100) 회전 시 종동 플랜지(222)에 결합하는 구동 플랜지(242)와, 구동 플랜지(242)에 연결되는 구동 회전축(241)과, 구동 회전축(241)을 가압하는 가압실린더(243)와, 구동 회전축(241)을 회전시키는 서보모터(244)를 포함한다. 회전 구동모듈(240)은 구동모듈 지지대(246)에 의해 회전 종동모듈(210)과 같은 높이로 지지된다.Meanwhile, referring to FIGS. 4 and 7, the rotation drive module 240 includes a drive flange 242 coupled to the driven flange 222 and a drive connected to the drive flange 242 when the holder 100 rotates. The rotary shaft 241, a pressure cylinder 243 for pressing the driving rotary shaft 241, and a servomotor 244 for rotating the driving rotary shaft 241 are included. The rotation drive module 240 is supported at the same height as the rotation driven module 210 by the drive module support 246.

구동 플랜지(242)에는 종동 플랜지(222)의 체결홀(222a)에 삽입되는 다수의 체결돌기(242a)가 마련된다. 체결돌기(242a)가 체결홀(222a)에 삽입되면 구동 플랜지(242)의 회전에 의해 종동 플랜지(222)가 함께 회전하게 된다.The driving flange 242 is provided with a plurality of fastening protrusions 242a inserted into the fastening holes 222a of the driven flange 222. When the fastening protrusion 242a is inserted into the fastening hole 222a, the driven flange 222 rotates together by the rotation of the driving flange 242.

구동 플랜지(242)에 연결되는 구동 회전축(241)에는 가압부(241a)가 연장되어 마련된다. 가압부(241a)는 구동 플랜지(242) 면의 외측으로 돌출되어 있어, 구동 플랜지(242)가 종동 플랜지(222)에 결합될 때 푸쉬로드(233)를 가압하게 된다.The pressing part 241a is provided to the driving rotation shaft 241 connected to the driving flange 242. The pressing part 241a protrudes outward from the surface of the driving flange 242, thereby pressing the push rod 233 when the driving flange 242 is coupled to the driven flange 222.

구동 플랜지(242)와 종동 플랜지(222)의 결합은 가압 실린더(243)에 의해 이루어진다. 가압 실린더(243)가 구동 회전축(241)의 말단부를 가압하여 구동 회전축(241)을 이동시키면, 구동 플랜지(242)가 종동 플랜지(222)에 결합하는 한편, 구동 회전축(241)의 가압부(241a)가 푸쉬로드(233)를 밀어 내게 된다. 푸쉬로드(233)가 이동하여 제1 지지로드(231a)가 제1 결합홈(22)에 결합되고, 제2 지지로드(231b)가 제2 결합홈(224a)으로부터 분리되면 거치대(100)의 회전준비가 완료된다.The coupling of the drive flange 242 and the driven flange 222 is made by the pressurized cylinder 243. When the pressurizing cylinder 243 presses the distal end of the drive rotary shaft 241 to move the drive rotary shaft 241, the drive flange 242 engages with the driven flange 222, while the presser portion of the drive rotary shaft 241 ( 241a pushes the push rod 233. When the push rod 233 moves and the first support rod 231a is coupled to the first coupling groove 22, and the second support rod 231b is separated from the second coupling groove 224a, the cradle 100 is moved. The rotation preparation is completed.

구동 회전축(241)은 기어박스(245)에 의해 서보모터(244)에 연결된다. 기어박스(245)는 구동 회전축(241)에 연결되는 종동기어(245b)와, 종동기어(245b)에 연결되는 구동기어(245a)와, 구동기어(245a)와 서보모터(244)의 회전축을 연결하는 베벨기어(245c)를 포함한다. 여기서 구동기어(245a)와 종동기어(245b)는 가압 실린더(243)가 구동 회전축(241)을 가압하여 구동 회전축(241)이 이동하는 경우에 결합하게 된다. 다만, 이러한 구동 회전축(241)과 서보모터(244)를 연결하는 기어연결 구조는 하나의 예시일 뿐 공지된 여타의 축 연결구조를 사용하여도 무방한 것이고, 본 실시예의 권리범위가 이러한 기어연결 구조로 제한되는 것은 아니다.The drive rotary shaft 241 is connected to the servo motor 244 by the gearbox 245. The gear box 245 has a driven gear 245b connected to the drive rotary shaft 241, a drive gear 245a connected to the driven gear 245b, a rotation shaft of the drive gear 245a and the servo motor 244. Bevel gear 245c for connecting. Here, the drive gear 245a and the driven gear 245b are coupled when the pressure cylinder 243 presses the drive rotation shaft 241 to move the drive rotation shaft 241. However, the gear connecting structure for connecting the drive rotary shaft 241 and the servomotor 244 is just one example and may be any other known shaft connecting structure, and the scope of the present embodiment is such a gear connecting. It is not limited to the structure.

서보모터(244)의 회전 구동에 의해 거치대(100)가 180도 회전하게 되면 기판이 장착된 부분이 지면을 향하도록 캐리어(20)도 함께 회전한다. 이와 같이 캐리어(20)가 실제 상향식 진공증착 공정에서와 같은 조건에 위치하면, 센싱유닛(300)에 의해 캐리어(20)의 평탄도가 측정된다.When the holder 100 is rotated 180 degrees by the rotational driving of the servomotor 244, the carrier 20 also rotates together so that the portion on which the substrate is mounted faces the ground. As such, when the carrier 20 is positioned under the same conditions as in the actual bottom-up vacuum deposition process, the flatness of the carrier 20 is measured by the sensing unit 300.

여기서 평탄도는 캐리어(20)의 기판 장착면의 기울어진 정도를 의미하는 평행도 뿐만 아니라 부분적인 처짐에 의한 굴곡 정도를 의미하는 굴곡도를 모두 포함하는 의미이다.Here, the flatness means not only parallelism, which means the degree of inclination of the substrate mounting surface of the carrier 20, but also all of the degree of bending, which means the degree of bending due to partial deflection.

다시 도 1 내지 도 3을 참조하면, 센싱유닛(300)은, 캐리어(20)의 하부에서 이동하며 캐리어(20)의 처짐량을 측정하는 레이저 변위센서(340)와, 레이저 변위센서(340)가 Z축 방향으로 슬라이딩 가능하도록 결합하는 Z축 구동부(330)와, Z축 구동부(330)가 캐리어(20)의 폭 방향인 Y축 방향으로 이동 가능하도록 결합하는 Y축 구동부(320)와, Y축 구동부(320)가 캐리어(20)의 길이 방향인 X축 방향으로 이동 가능하도록 결합하는 X축 구동부(310)를 포함한다.Referring again to FIGS. 1 to 3, the sensing unit 300 includes a laser displacement sensor 340 and a laser displacement sensor 340 that move under the carrier 20 and measure the amount of deflection of the carrier 20. Z-axis drive unit 330 to be slidably coupled in the Z-axis direction, Y-axis drive unit 320 is coupled to the Z-axis drive unit 330 to be movable in the Y-axis direction of the width direction of the carrier 20, and Y The axis driver 320 includes an X axis driver 310 coupled to be movable in the X axis direction, which is the longitudinal direction of the carrier 20.

레이저 변위센서(340)는 캐리어(20)의 기판 장착면에 레이저빔을 주사하고 반사되는 레이저빔의 시간편차를 거리로 환산하여 변위를 측정하는 방식이 사용될 수 있다.The laser displacement sensor 340 may be a method of measuring the displacement by scanning the laser beam on the substrate mounting surface of the carrier 20 and converting the time deviation of the reflected laser beam into a distance.

또한, X축 구동부(310), Y축 구동부(320) 및 Z축 구동부(330)는 도면에 자세히 도시되어 있지 않으나, 공지된 서보모터, 볼 스크류 및 LM가이드에 의해 구동되는 방식 또는 리니어 모터에 의해 구동되는 방식이 사용될 수 있다.In addition, the X-axis drive unit 310, Y-axis drive unit 320 and Z-axis drive unit 330 is not shown in detail in the drawings, but is driven by a known servo motor, ball screw and LM guide or linear motor Driven may be used.

이러한 X축 구동부(310), Y축 구동부(320) 및 Z축 구동부(330)에 의하여 레이저 변위센서(340)는 캐리어(20)의 하부에서 자유롭게 이동하며 캐리어(20)의 평탄도를 측정할 수 있게 된다.The laser displacement sensor 340 moves freely under the carrier 20 and measures the flatness of the carrier 20 by the X-axis driver 310, the Y-axis driver 320, and the Z-axis driver 330. It becomes possible.

한편, 캐리어(20)의 평탄도 측정은 캐리어(20)의 평행도를 먼저 측정하여 캐리어(20)의 수평 상태를 조정한 후, 캐리어(20)의 처짐 정도 즉, 굴곡도를 측정하는 순서로 이루어질 수 있다.Meanwhile, the flatness measurement of the carrier 20 is performed in order of measuring the parallelism of the carrier 20 to adjust the horizontal state of the carrier 20, and then measuring the degree of deflection of the carrier 20, that is, the degree of bending. Can be.

캐리어(20)의 평행도 측정은 레이저 변위센서(340)을 캐리어(20)의 네 모서리 영역으로 순차적으로 이동시키며 레이저 변위센서(340)와의 상대적인 거리를 측정함으로써 이루어진다.The parallelism measurement of the carrier 20 is performed by sequentially moving the laser displacement sensor 340 to four corner regions of the carrier 20 and measuring a relative distance from the laser displacement sensor 340.

캐리어(20)의 평행도가 측정되면, 틸팅유닛(400)에 의해 캐리어(20)의 평행도가 조절된다. When the parallelism of the carrier 20 is measured, the parallelism of the carrier 20 is adjusted by the tilting unit 400.

이러한 틸팅유닛(400)은 거치대(100)의 네 모서리 영역을 개별적으로 Z축 방향으로 승강시키는 승강모듈(410)과, 승강모듈(410)과 거치대(100)을 연결하는 틸팅부재(420)을 포함한다.The tilting unit 400 includes an elevating module 410 for elevating four corner regions of the cradle 100 individually in the Z-axis direction, and a tilting member 420 connecting the elevating module 410 and the cradle 100. Include.

틸팅부재(420)는 슬리브 고정부재(224)에 결합하되며, 거치대(100)의 회전 시 간섭되지 않도록 거치대(100)의 회전경로로부터 이격되어 마련된다. The tilting member 420 is coupled to the sleeve fixing member 224 and is spaced apart from the rotation path of the holder 100 so as not to interfere with the rotation of the holder 100.

승강모듈(410)의 승강구조 또한 전술한 센싱유닛(300)과 마찬가지로 서보모터, LM가이드 및 볼스크류를 이용하여 구동될 수 있다. 승강모듈(410)에 의해 틸팅부재(420)의 수평이 조절되면 거치대(100)의 수평이 조절되고, 최종적으로 캐리어(20)의 평행도가 조절될 수 있다.The lifting structure of the lifting module 410 may also be driven using a servo motor, an LM guide, and a ball screw like the sensing unit 300 described above. When the tilting member 420 is horizontally adjusted by the elevating module 410, the horizontality of the holder 100 may be adjusted, and finally the parallelism of the carrier 20 may be adjusted.

한편, 유닛 지지대(500)는, 전술한 센싱유닛(300)과 틸팅유닛(400)을 지지하고, 지면으로부터의 진동을 흡수하기 위해 마련되는 것으로, 지면과 접촉하는 하부 지지대(503)와, 하부 지지대(503)의 상부에 마련되는 진동 흡수부재(502)와, 진동 흡수부재(502)의 상부에 마련되는 상부 지지대(501)를 포함한다.On the other hand, the unit support 500 is provided to support the sensing unit 300 and the tilting unit 400 described above, and to absorb vibration from the ground, the lower support 503 in contact with the ground, and the lower The vibration absorbing member 502 is provided on the upper portion of the support 503, and the upper support 501 is provided on the upper portion of the vibration absorbing member 502.

상부 지지대(501) 상에는 센싱유닛(300)과 틸팅유닛(400)이 배치됨으로써 지면으로부터의 진동이 차단된 상태에서 캐리어(20)의 평탄도가 측정될 수 있다.Since the sensing unit 300 and the tilting unit 400 are disposed on the upper support 501, the flatness of the carrier 20 may be measured in a state where vibration from the ground is blocked.

이상과 같이 구성되는 본 실시예의 캐리어 평탄도 측정장치(10)의 작동 과정을 캐리어 평탄도 측정 순서에 따라 설명하면 다음과 같다.Referring to the operation of the carrier flatness measuring device 10 of the present embodiment configured as described above in accordance with the carrier flatness measurement order as follows.

캐리어(20)의 평탄도 측정은 캐리어(20)를 증착챔버 내에서와 같이 기판이 부착되는 면이 지면을 향하도록 180도 회전하는 단계로부터 시작된다.The flatness measurement of the carrier 20 begins by rotating the carrier 20 by 180 degrees such that in the deposition chamber the side to which the substrate is attached is towards the ground.

캐리어(20)의 회전은 캐리어(20)를 거치대(100)에 거치시킨 후, 거치대(100)를 회전시킴으로써 이루어진다.The carrier 20 is rotated by mounting the carrier 20 to the holder 100 and then rotating the holder 100.

거치대(100)를 회전시키기 위해 가압 실린더(243)가 구동 회전축(241)을 가압하면, 구동 회전축(241)이 이동하며 구동 플랜지(242)와 종동 플랜지(222)가 결합한다. 이와 동시에 구동 회전축(241)의 가압부(241a)가 푸쉬로드(233)를 가압하여 지지로드 결합부재(232)를 캐리어(20) 측으로 이동시킨다.When the pressure cylinder 243 presses the driving rotary shaft 241 to rotate the cradle 100, the driving rotary shaft 241 moves and the driving flange 242 and the driven flange 222 are coupled to each other. At the same time, the pressing portion 241a of the driving rotary shaft 241 presses the push rod 233 to move the support rod coupling member 232 toward the carrier 20.

지지로드 결합부재(232)가 캐리어(20) 측으로 이동하면 제1 지지로드(231a)가 제1 결합홈(22)에 삽입됨과 동시에 제2 지지로드(231b)는 프레임 결합부재(224)의 제2 결합홈(224a)으로부터 분리됨으로써 거치대(100)의 회전 준비가 완료된다.When the support rod coupling member 232 moves to the carrier 20 side, the first support rod 231a is inserted into the first coupling groove 22 and the second support rod 231b is formed of the frame coupling member 224. 2 is separated from the coupling groove 224a, the preparation for rotation of the holder 100 is completed.

이 후, 서보모터(244)의 구동에 의해 캐리어(20)의 기판 부착면이 지면을 향하도록 거치대(100)가 180도 회전하게 된다.Thereafter, the holder 100 rotates 180 degrees so that the substrate attachment surface of the carrier 20 faces the ground by driving the servomotor 244.

거치대(100)의 회전이 끝나면 가압 실린더(243)가 릴리스(Release) 되고 탄성부재(234)의 탄성력에 의해 푸쉬로드(233)와 구동 회전축(241)이 원위치로 복귀하게 된다. 이때 지지로드 결합부재(232)도 원위치로 함께 복귀함으로써 제1 지지로드(231a)는 제1 결합홈(22)으로부터 이탈하고, 제2 지지로드(231b)는 제2 결합홈(224a)에 삽입된다. 제2 지지로드(231b)에 의해 거치대(100)는 수평 상태로 유지된다.After the rotation of the holder 100 is completed, the pressure cylinder 243 is released and the push rod 233 and the driving shaft 241 are returned to their original positions by the elastic force of the elastic member 234. At this time, the support rod coupling member 232 is also returned to its original position so that the first support rod 231a is separated from the first coupling groove 22 and the second support rod 231b is inserted into the second coupling groove 224a. do. The cradle 100 is maintained in a horizontal state by the second support rod 231b.

거치대(100) 회전이 완료되면, 센싱유닛(300)의 구동에 의해 캐리어(20)의 평탄도가 측정된다. 캐리어(20)의 평탄도 측정을 위해서는 먼저, 캐리어(20)의 평행도를 측정하는 단계가 수행된다.When the holder 100 is completely rotated, the flatness of the carrier 20 is measured by driving the sensing unit 300. In order to measure the flatness of the carrier 20, first, the parallelism of the carrier 20 is measured.

전술한 바와 같이 캐리어(20)의 평행도 측정을 위해서 레이저 변위센서(340)는 캐리어(20)의 네 모서리 영역으로 차례로 이동하며 모서리 영역과 레이저 변위센서(340)와의 상대적인 거리를 측정하게 된다.As described above, in order to measure the parallelism of the carrier 20, the laser displacement sensor 340 sequentially moves to four corner regions of the carrier 20, and measures the relative distance between the edge region and the laser displacement sensor 340.

캐리어(20)가 일측으로 기울어진 경우에는 틸팅유닛(400)에 의해 평행도 조절단계가 수행된다. 즉, 기울어진 모서리 영역의 승강모듈(410)을 조정하여 캐리어(20)와 레이저 변위센서(340)가 평행한 상태가 되도록 조절된다.When the carrier 20 is inclined to one side, the parallelism adjusting step is performed by the tilting unit 400. That is, the carrier 20 and the laser displacement sensor 340 are adjusted to be in parallel by adjusting the elevating module 410 of the inclined edge region.

평행도 조절이 끝나면 캐리어(20)의 굴곡도를 측정하는 단계가 수행된다. 굴곡도 측정은 레이저 변위센서(340)를 캐리어(20) 하부에서 일정한 패턴으로 이동시키며 캐리어(20) 부분적인 처짐량을 측정하는 것이다. 측정된 데이터로부터 캐리어(20)의 굴곡도가 허용 굴곡도 이내인지 아닌지를 판단할 수 있게 된다.After adjusting the parallelism, the step of measuring the degree of bending of the carrier 20 is performed. The bending degree measurement measures the partial deflection of the carrier 20 by moving the laser displacement sensor 340 in a predetermined pattern under the carrier 20. From the measured data, it is possible to determine whether the degree of curvature of the carrier 20 is within the allowable degree of curvature.

이상에서와 같이 본 실시예의 캐리어 평탄도 측정장치(10)는 회전유닛(200)과 틸팅유닛(400)에 의해 캐리어(20)를 실제 공정에서와 동일한 상태가 되도록 조정한 후 캐리어(20)의 평탄도를 측정함에 따라 실제 공정상태와 동일한 측정값을 얻을 수 있게 된다.As described above, the carrier flatness measuring apparatus 10 of the present embodiment is adjusted by the rotating unit 200 and the tilting unit 400 to be in the same state as in the actual process, and then the carrier 20 By measuring the flatness, it is possible to obtain the same measured value as the actual process state.

이상에서 설명한 본 발명은 기재된 실시예에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 사상 및 범위를 벗어나지 않고 다양하게 수정 및 변형할 수 있음은 이 기술의 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 자명하다. 따라서 그러한 수정 예 또는 변형 예들은 본 발명의 특허청구범위에 속한다 하여야 할 것이다.It will be apparent to those skilled in the art that the present invention described above is not limited to the described embodiments, and various modifications and variations can be made without departing from the spirit and scope of the present invention. Accordingly, such modifications or variations are intended to fall within the scope of the appended claims.

100: 거치대 200: 회전유닛
210: 회전 종동모듈 220: 회전 종동부
221: 종동 회전축 222: 종동 플랜지
223: 슬리브 224: 슬리브 고정부재
230: 회전 지지부 231a, 231b: 지지로드
232: 지지로드 결합부재 233: 푸쉬로드
240: 회전 구동모듈 241: 구동 회전축
242: 구동 플랜지 243: 가압 실린더
244: 서보모터 245: 기어박스
300: 센싱유닛 310: X축 구동부
320: Y축 구동부 330: Z축 구동부
340: 레이저 변위센서 400: 틸팅유닛
410: 승강모듈 420: 틸팅부재
500: 유닛 지지대 100: holder 200: rotating unit
210: rotary follower module 220: rotary follower
221: driven rotating shaft 222: driven flange
223: sleeve 224: sleeve fixing member
230: rotation support parts 231a, 231b: support rods
232: support rod coupling member 233: push rod
240: rotary drive module 241: driving rotary shaft
242: drive flange 243: pressurized cylinder
244: servomotor 245: gearbox
300: sensing unit 310: X-axis drive unit
320: Y-axis driver 330: Z-axis driver
340: laser displacement sensor 400: tilting unit
410: lifting module 420: tilting member
500: unit support

Claims

Cradle for mounting the carrier to which the substrate is attached;
A rotating unit which rotates the holder so that the surface to which the substrate of the carrier is attached faces the ground;
A sensing unit provided at a lower portion of the cradle so as to be movable relative to the cradle to measure flatness of a surface to which the substrate of the carrier is attached; And
And a tilting unit for adjusting the substrate attaching surface of the carrier rotated by the rotating unit to be parallel to the ground.

The method of claim 1,
The sensing unit,
A laser displacement sensor for measuring a deflection amount of the carrier;
A Z-axis driving unit for moving the laser displacement sensor in the Z-axis direction;
A Y-axis driving unit for moving the Z-axis driving unit in a Y-axis direction that is a width direction of the carrier; And
And an X-axis driving unit for moving the Y-axis driving unit in the X-axis direction, which is the longitudinal direction of the carrier.

The method of claim 1,
The cradle,
Carrier flatness measuring device including a stator is inserted into the permanent magnet provided in the groove shape on the side of the carrier, for transporting the carrier in a non-contact magnetic levitation method.

The method of claim 1,
The rotation unit includes:
A rotary driven module provided on at least one side of the holder to rotate together with the holder; And
Carrier flatness measurement device comprising a rotation drive module coupled to the rotation driven module for transmitting the rotational force when the holder is rotated.

5. The method of claim 4,
The rotary driven module,
A driven rotary part which receives the rotational force of the rotary drive module to rotate the cradle; And
And a carrier supporting the carrier so that the carrier is not separated from the holder when the holder is rotated, and supporting the holder to keep horizontal when the holder is rotated.

The method of claim 5,
The driven rotating part,
A driven rotating shaft provided with one side coupled to both side central portions of the holder;
A sleeve coupled by a bearing such that the driven rotating shaft is rotatable; And
Is coupled to the other side of the driven rotating shaft, the carrier flatness measuring device comprising a driven flange to which the rotation drive module is coupled when the holder is rotated.

The method according to claim 6,
The rotation support portion,
A support rod supporting the carrier when the holder is rotated, and supporting the holder by keeping the holder horizontal when the holder is rotated;
A push rod slidably inserted into the driven rotation shaft and configured to press the support rod to couple to the carrier; And
And a resilient member interposed between the push rod and the driven rotational shaft to elastically return after the push rod presses the support rod.

The method of claim 7, wherein
The rotation drive module,
A driving flange coupled to the driven flange when the holder is rotated;
A driving rotary shaft coupled to the driving flange to transmit a rotational force;
A pressurizing cylinder for pressurizing the driving flange to be coupled to the driven flange; And
Carrier flatness measuring device comprising a drive motor connected by the drive rotation shaft and the gear box.

9. The method of claim 8,
The drive axis of rotation,
And a pressurizing part protruding outward from the driving flange surface to press the push rod while the driving flange is coupled to the driven flange.

delete

The method of claim 1,
The tilting unit includes:
A tilting auxiliary member supporting both sides in the longitudinal direction of the holder; And
And a lift module connected to four points of the lower part of the tilting auxiliary member to lift and lower four corners of the cradle individually in the Z-axis direction.

The method of claim 1,
Carrier flatness measuring device for supporting the sensing unit, further comprising a unit support for absorbing vibration transmitted from the ground.

Mounting the carrier on a holder;
Rotating the holder 180 degrees to provide a surface to which the substrate of the carrier is attached toward the ground; And
Measuring a flatness of a surface to which the substrate of the carrier is attached under the surface to which the substrate of the carrier is attached,
Measuring flatness of the surface of the carrier is attached,
Measuring the parallelism of the cradle by measuring a height of four corner regions of the cradle using a laser displacement sensor;
Adjusting the parallelism of the cradle by individually elevating four corner regions of the cradle using a tilting unit connected to a lower part of the cradle; And
And measuring a degree of curvature by moving a lower portion of the substrate attaching surface of the carrier using the laser displacement sensor.

delete